JP4285243B2 - レーザ装置およびレーザ加工装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施の形態1によるレーザ装置を示す構成図である。赤外レーザ発振器1は、図1に示すように、レーザ結晶19を励起するレーザ結晶励起装置20と、波長1064nmの赤外レーザ光21に対して部分透過である部分反射ミラー16と、赤外レーザ光21に対して全反射である全反射ミラー17とで構成され、さらに、レーザ共振器内部にはQスイッチ素子(以下「内部Qスイッチ素子」と言う)18が光軸上に配置され、かかる内部Qスイッチ素子18を用いてQスイッチ発振を行うことにより赤外レーザ光21を発生させる。
図3は、実施の形態1と同一の装置構成で実施される別の駆動方法を示すタイミングチャートであり、3つのタイミングチャートが時間に対応する横軸を揃えて示されている。図3中、最上部に示されたタイミングチャートは、外部AO素子4の回折効率の時間変調無しにレーザ装置をレーザ共振器1内部の内部Qスイッチ素子18のみで駆動した場合のレーザパルス列である。かかる従来の駆動方法では、レーザパルス列に対して500Hz程度で振動するような包絡的な振動成分が重畳されてしまう不具合があった。
実施の形態3のレーザ装置の駆動方法を以下に説明する。まず、外部AO素子4の回折効率の時間変調無しの状態でレーザ装置を駆動して、レーザパルス列をサンプリングする。コントローラ14によって、サンプリングしたレーザパルス列の時間に依存したレーザパルス強度の変動成分を解析して、かかる変動を相殺するような外部AO素子4の回折効率の変調制御パターンを決定する。
図4は、実施の形態1と同一の装置構成で実施される別の駆動方法を示すタイミングチャートであり、2つのタイミングチャートが時間に対応する横軸を揃えて示されている。図4において、上下のタイミングチャートは時間に対応する横軸を揃えて示されており、上側のタイミングチャートはQスイッチ動作時における内部Qスイッチ素子18の回折効率の時間変化を示している。また、下側のタイミングチャートはQスイッチレーザパルス列を示している。図4の上部のタイミングチャートに示されている時間幅Gは、内部Qスイッチ素子18の回折効率が高い値となってレーザ共振器1のQ値が低い状態となり、励起によりレーザ活性媒質に1回のレーザパルス発生に必要なエネルギーが蓄積される時間を表す。
Claims (3)
- レーザ発振器と、
前記レーザ発振器内の光軸上に配置されたQスイッチ素子と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光の光路上に配置されたレーザ光回折手段と、
前記レーザ光回折手段を経た前記レーザ光の光強度を検出するレーザ光検出手段と、
前記レーザ光検出手段から出力される検出信号に応じて前記レーザ光回折手段の回折効率と前記Qスイッチ素子の駆動を前記レーザ発振器の停止時に前記レーザ発振器からの漏れ光を低減し、前記レーザ発振器の発振時に前記レーザ光のパルスエネルギーの変動を低減するようにそれぞれ制御する制御信号を連動的に発する制御手段と、
を備えることを特徴とするレーザ装置。 - レーザ発振器と、
前記レーザ発振器内の光軸上に配置されたQスイッチ素子と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光の光路上に配置され前記レーザ光の波長を変換
する波長変換手段と、
前記レーザ発振器と前記波長変換手段との間の光路上に配置されたレーザ光回折手段と、
前記波長変換手段を経たレーザ光の光強度を検出するレーザ光検出手段と、
前記レーザ光検出手段から出力される検出信号に応じて前記レーザ光回折手段の回折効率と前記Qスイッチ素子の駆動を前記レーザ発振器の停止時に前記レーザ発振器からの漏れ光を低減し、前記レーザ発振器の発振時に前記レーザ光のパルスエネルギーの変動を低減するようにそれぞれ制御する制御信号を連動的に発する制御手段と、
を備えることを特徴とするレーザ装置。 - 請求項1または請求項2に記載のレーザ装置を備えたレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004002960A JP4285243B2 (ja) | 2004-01-08 | 2004-01-08 | レーザ装置およびレーザ加工装置 |
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US9696568B2 (en) | 2015-05-13 | 2017-07-04 | Lasertec Corporation | Light source apparatus and inspection apparatus |
JP2017221969A (ja) * | 2016-06-17 | 2017-12-21 | 株式会社ブイ・テクノロジー | レーザリフトオフ装置 |
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