JP4266333B2 - Magnification observation apparatus, image file generation apparatus, image file generation program, and computer-readable recording medium - Google Patents

Magnification observation apparatus, image file generation apparatus, image file generation program, and computer-readable recording medium Download PDF

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本発明は、拡大した画像を撮像して表示するマイクロスコープや顕微鏡のような拡大観察装置、画像ファイル生成装置、画像ファイル生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体に関する。   The present invention relates to a magnification observation apparatus such as a microscope or a microscope that captures and displays an enlarged image, an image file generation apparatus, an image file generation program, and a computer-readable recording medium.

今日、微小物体などを拡大して表示する拡大観察装置として、光学レンズを使った光学顕微鏡やデジタルマイクロスコープなどが利用されている。マイクロスコープは、光学系を介して入射する観察対象固定部に固定された観察対象からの反射光または透過光を、2次元状に配置された画素毎に電気的に読み取るCCDなどの受光素子を備える。CCDを用いて電気的に読み取られた画像をディスプレイ等の表示部に表示する(例えば特許文献1)。   Today, an optical microscope using an optical lens, a digital microscope, and the like are used as a magnifying observation device that magnifies and displays a minute object. The microscope includes a light receiving element such as a CCD that electrically reads reflected light or transmitted light from the observation target fixed to the observation target fixing unit incident via the optical system for each pixel arranged in a two-dimensional manner. Prepare. An image electrically read using a CCD is displayed on a display unit such as a display (for example, Patent Document 1).

拡大観察装置においては、一般に拡大倍率が高くなると焦点深度が浅くなり、ピントの合う領域が狭くなるため、観察対象の試料(ワーク)に凹凸や高低差があると全体を観察することが困難となる。このため、画像全体にピントの合った画像を深度合成によって作成する手法が利用されている。深度合成は、高さ方向にレンズまたは試料を移動させ、光軸方向における相対距離を変化させて複数の画像を撮影し、ピントの合った部分を抽出して合成することで、焦点深度の深い画像を撮像する。また、複数の画像を撮影する際に、レンズまたは観察対象の移動量を同時に記録しておけば、合成画像を作成する際に観察対象の高さ情報も得ることができるので、取得した画像を3次元データとして構築することも可能である。3次元データに基づいて3D画像を拡大観察装置の表示部に再現することで、様々な視点や角度から立体的に画像を観察、評価したり、高さなど表面形状の測定を行うことができる。   In a magnifying observation device, in general, when the magnifying power increases, the depth of focus becomes shallower and the in-focus area becomes narrower. Therefore, it is difficult to observe the whole if there are irregularities or height differences in the sample (workpiece) to be observed. Become. For this reason, a technique is used in which an image focused on the entire image is created by depth synthesis. In depth synthesis, the lens or sample is moved in the height direction, the relative distance in the optical axis direction is changed, multiple images are taken, and the in-focus part is extracted and synthesized, resulting in a deep focus depth. Take an image. In addition, when shooting a plurality of images, if the amount of movement of the lens or the observation target is recorded at the same time, the height information of the observation target can be obtained when creating the composite image. It is also possible to construct as three-dimensional data. By reproducing the 3D image on the display unit of the magnification observation apparatus based on the three-dimensional data, the image can be observed and evaluated three-dimensionally from various viewpoints and angles, and the surface shape such as the height can be measured. .

このようにして構築された3次元画像データを再利用のため保存する場合、一般には2次元画像と別個のファイルとして保存される。この結果、同じ観察対象に対して目的に応じて複数のファイルを管理する必要が生じる。特に、これらの3次元画像データファイルは通常2次元画像データファイルとの間で特別な関連付けがなされていないため、ユーザ側で同じファイル名を付けるなどの工夫が必要となり、管理が面倒となる。またファイル数が多くなるとファイルの対応関係の把握が複雑になり、必要なファイルが直ぐに探せ出せなかったり、ファイルが散逸するおそれもある。またファイルの保存、オープンも2次元画像データ、3次元画像データそれぞれで必要となり、操作が煩雑となる。   When the three-dimensional image data constructed in this way is stored for reuse, it is generally stored as a separate file from the two-dimensional image. As a result, it is necessary to manage a plurality of files according to the purpose for the same observation target. In particular, since these three-dimensional image data files are not normally associated with the two-dimensional image data files, it is necessary to devise such as giving the same file name on the user side, which makes management difficult. In addition, when the number of files increases, it becomes difficult to grasp the correspondence between files, and there is a possibility that necessary files cannot be found immediately, or files may be scattered. In addition, file storage and opening are required for each of the two-dimensional image data and the three-dimensional image data, and the operation becomes complicated.

また、2次元画像データのフォーマットは規格化された汎用的なデータ形式が普及しており、例えばjpegやtiffといった2次元画像データを表示可能なアプリケーションソフトが広く普及しているため、多くの環境で容易に扱える。これに対して、3次元データを利用できるアプリケーションソフトは一般的でなく、ファイル形式も独自のフォーマットが多く併存する。このため、多くの環境では3次元データを利用できず、3次元データを扱える専用のアプリケーションソフトを使用していないユーザはこれを扱えないという問題があった。
特開2000−214790号公報
In addition, the standardized general-purpose data format is widely used as the format of the two-dimensional image data. For example, application software capable of displaying two-dimensional image data such as jpeg and tiff is widely used. Can be handled easily. On the other hand, application software that can use three-dimensional data is not common, and there are many unique file formats. For this reason, 3D data cannot be used in many environments, and a user who does not use dedicated application software that can handle 3D data cannot handle this.
JP 2000-214790 A

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものである。本発明の主な目的は、3次元データを容易に管理できる拡大観察装置、画像ファイル生成装置、画像ファイル生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体を提供することにある。   The present invention has been made to solve such problems. A main object of the present invention is to provide a magnification observation apparatus, an image file generation apparatus, an image file generation program, and a computer-readable recording medium that can easily manage three-dimensional data.

上記の目的を達成するために、本発明の請求項1の拡大観察装置は、観察対象を撮像して2次元観察画像データを取得するための撮像部と、前記撮像部で取得した複数の2次元観察画像データと、撮像時の高さ情報に基づいて、3次元の観察画像データを生成するための制御部と、前記制御部で生成された3次元の観察画像データを表示するための表示部と、前記表示部で表示される3次元画像データを任意の2次元画像データに埋め込んで、一の画像データファイルとして出力するための出力部と、前記出力部で出力された画像データファイルを保存するための画像データ記憶部とを備え、前記出力部で3次元画像データを埋め込む先の2次元画像データが、前記表示部で表示される3次元画像を所望の表示状態として取得された2次元画像データであることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a magnifying observation apparatus according to claim 1 of the present invention includes an imaging unit for imaging an observation target and acquiring two-dimensional observation image data, and a plurality of 2 acquired by the imaging unit. A control unit for generating three-dimensional observation image data based on the three-dimensional observation image data and height information at the time of imaging, and a display for displaying the three-dimensional observation image data generated by the control unit A unit, an output unit for embedding three-dimensional image data displayed on the display unit in arbitrary two-dimensional image data, and outputting it as one image data file, and an image data file output by the output unit An image data storage unit for storing the 2D image data into which the 3D image data is embedded in the output unit is acquired as a desired display state of the 3D image displayed on the display unit 2 Dimensional painting And wherein the Oh Rukoto in the data.

また、請求項2の拡大観察装置は、請求項1に記載の拡大観察装置であって、前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データに関する情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする。   A magnification observation apparatus according to a second aspect is the magnification observation apparatus according to the first aspect, wherein information relating to the three-dimensional image data embedded in the two-dimensional image data by the output unit is in a two-dimensional image data format. It records in the area which can be used by the user.

さらに、請求項3の拡大観察装置は、請求項2に記載の拡大観察装置であって、前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる前記3次元画像データに関する情報として、3次元画像データを結合していることを示すフラグデータ、3次元画像データの結合領域アドレス、3次元画像データのサイズの少なくともいずれかを含む情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする。   Furthermore, the magnification observation apparatus according to claim 3 is the magnification observation apparatus according to claim 2, wherein three-dimensional image data is used as information regarding the three-dimensional image data embedded in the two-dimensional image data by the output unit. Information including at least one of flag data indicating that the images are combined, a combined area address of the three-dimensional image data, and a size of the three-dimensional image data is recorded in an area available to the user in the two-dimensional image data format. It is characterized by that.

さらにまた、請求項の拡大観察装置は、請求項1からのいずれかに記載の拡大観察装置であって、前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データのデータ領域を圧縮することを特徴とする。 Furthermore, the magnified observation device according to claim 4 is the magnified observation device according to any one of claims 1 to 3 , wherein the output unit is a data region of the three-dimensional image data embedded in the two-dimensional image data. Is compressed.

さらにまた、請求項の拡大観察装置は、請求項1からのいずれかに記載の拡大観察装置であって、前記出力部で出力される2次元画像データのフォーマットが、jpegまたはtiffのいずれかであることを特徴とする。 Furthermore, the magnification observation apparatus according to claim 5 is the magnification observation apparatus according to any one of claims 1 to 4 , wherein the format of the two-dimensional image data output from the output unit is jpeg or tiff. It is either.

また、請求項の画像ファイル生成装置は、2次元画像データと、該2次元画像データ撮像時の高さ情報とを取得するための入力部と、前記入力部で取得した複数の2次元観察画像データと相対高さ情報に基づいて、3次元の画像データを生成するための制御部と、前記制御部で生成された3次元画像データを任意の2次元画像データに埋め込んで、一の画像データファイルとして出力するための出力部と、前記出力部で出力された画像データファイルを保存するための画像データ記憶部とを備え、前記出力部で3次元画像データを埋め込む先の2次元画像データが、前記表示部で表示される3次元画像を所望の表示状態として取得された2次元画像データであることを特徴とする。 The image file generation device according to claim 6 is an input unit for acquiring two-dimensional image data and height information at the time of capturing the two-dimensional image data, and a plurality of two-dimensional observations acquired by the input unit. A control unit for generating three-dimensional image data based on the image data and the relative height information, and the three-dimensional image data generated by the control unit is embedded in arbitrary two-dimensional image data, so that one image An output unit for outputting as a data file, and an image data storage unit for storing the image data file output by the output unit, and the two-dimensional image data into which the three-dimensional image data is embedded by the output unit but wherein the Oh Rukoto the three-dimensional image displayed on the display unit a two-dimensional image data obtained as a desired display state.

さらに、請求項の画像ファイル生成装置は、請求項に記載の画像ファイル生成装置であって、前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データに関する情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする。 The image file generation device according to claim 7 is the image file generation device according to claim 6 , wherein information relating to the three-dimensional image data embedded in the two-dimensional image data by the output unit is obtained from the two-dimensional image data. It is characterized in that it is recorded in an area that can be used by the user during formatting.

さらにまた、請求項の画像ファイル生成装置は、請求項に記載の画像ファイル生成装置であって、前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる前記3次元画像データに関する情報として、3次元画像データを結合していることを示すフラグデータ、3次元画像データの結合領域アドレス、3次元画像データのサイズの少なくともいずれかを含む情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする。 Furthermore, an image file generation device according to claim 8 is the image file generation device according to claim 7 , wherein the output file includes three-dimensional information as information relating to the three-dimensional image data embedded in the two-dimensional image data. Area in which information including at least one of flag data indicating that image data is combined, 3D image data combining area address, and 3D image data size is available to the user in the 2D image data format It is characterized by recording.

さらにまた、請求項の画像ファイル生成装置は、請求項からのいずれかに記載の画像ファイル生成装置であって、前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データのデータ領域を圧縮することを特徴とする。 Furthermore, an image file generation device according to claim 9 is the image file generation device according to any one of claims 6 to 8 , wherein the output unit stores the three-dimensional image data embedded in the two-dimensional image data. The data area is compressed.

さらにまた、請求項10の画像ファイル生成装置は、請求項からのいずれかに記載の画像ファイル生成装置であって、前記出力部で出力される2次元画像データのフォーマットが、jpegまたはtiffのいずれかであることを特徴とする。 Furthermore, an image file generation device according to claim 10 is the image file generation device according to any one of claims 6 to 9 , wherein the format of the two-dimensional image data output from the output unit is jpeg or It is one of tiff.

また、請求項11の画像ファイル生成プログラムは、2次元画像データと、該2次元画像データ撮像時の相対高さ情報とを取得する機能と、取得した複数の2次元観察画像データと相対高さ情報に基づいて、3次元の画像データを生成する機能と、生成された3次元画像データを任意の2次元画像データに埋め込んで、一の画像データファイルとして出力する機能と、出力された画像データファイルを保存する機能とをコンピュータに実現させ、前記3次元画像データを埋め込む先の2次元画像データが、3次元画像データを所望の表示状態として取得された2次元画像データであることを特徴とする。 An image file generation program according to claim 11 has a function of acquiring two-dimensional image data and relative height information at the time of imaging the two-dimensional image data, and a plurality of acquired two-dimensional observation image data and relative height. A function for generating three-dimensional image data based on information, a function for embedding the generated three-dimensional image data in arbitrary two-dimensional image data, and outputting it as one image data file, and output image data to realize a function to save the file to the computer, two-dimensional image data of the previous embedding the three-dimensional image data, characterized Oh Rukoto a two-dimensional image data acquired three-dimensional image data as a desired display state And

さらに、請求項12の画像ファイル生成プログラムは、請求項11に記載の画像ファイル生成プログラムであって、2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データに関する情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする。 Furthermore, an image file generation program according to claim 12 is the image file generation program according to claim 11 , wherein information relating to the three-dimensional image data embedded in the two-dimensional image data is received by the user in the two-dimensional image data format. Is recorded in an available area.

さらにまた、請求項13の画像ファイル生成プログラムは、請求項12に記載の画像ファイル生成プログラムであって、前記3次元画像データに関する情報として、3次元画像データを結合していることを示すフラグデータ、3次元画像データの結合領域アドレス、3次元画像データのサイズの少なくともいずれかを含む情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする。 Furthermore, an image file generation program according to claim 13 is the image file generation program according to claim 12 , wherein flag data indicating that three-dimensional image data is combined as information about the three-dimensional image data. Information including at least one of the combined area address of the three-dimensional image data and the size of the three-dimensional image data is recorded in an area usable by the user in the two-dimensional image data format.

さらにまた、請求項14の画像ファイル生成プログラムは、請求項11から13のいずれかに記載の画像ファイル生成プログラムであって、2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データのデータ領域を圧縮することを特徴とする。 Furthermore, an image file generation program according to claim 14 is the image file generation program according to any one of claims 11 to 13 , wherein the data area of the three-dimensional image data embedded in the two-dimensional image data is compressed. It is characterized by doing.

さらにまた、請求項15の画像ファイル生成プログラムは、請求項11から14のいずれかに記載の画像ファイル生成プログラムであって、前記2次元画像データのフォーマットが、jpegまたはtiffのいずれかであることを特徴とする。 Furthermore, the image file generation program according to claim 15 is the image file generation program according to any one of claims 11 to 14, wherein the format of the two-dimensional image data is either jpeg or tiff. It is characterized by.

また、請求項16のコンピュータで読み取り可能な記録媒体は、請求項11から15のいずれかに記載される画像ファイル生成プログラムを格納したものである。記録媒体には、CD−ROM、CD−R、CD−RWやフレキシブルディスク、磁気テープ、MO、DVD−ROM、DVD−RAM、DVD−R、DVD−RW、DVD+R、DVD+RW、blu−layディスク等の磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリその他のプログラムを格納可能な媒体が含まれる。また上記のプログラムは、ネットワークを介してダウンロード可能な形態も含まれる。 A computer-readable recording medium according to a sixteenth aspect stores the image file generation program according to any one of the eleventh to fifteenth aspects. Recording media include CD-ROM, CD-R, CD-RW, flexible disk, magnetic tape, MO, DVD-ROM, DVD-RAM, DVD-R, DVD-RW, DVD + R, DVD + RW, Blu-ray disk, etc. Media that can store programs such as magnetic disks, optical disks, magneto-optical disks, semiconductor memories, and the like. The above-mentioned program includes a form that can be downloaded via a network.

本発明の拡大観察装置、画像ファイル生成装置、画像ファイル生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体によれば、一般に利用が容易な2次元画像データ中に、3次元画像データを埋め込んで利用できる。これによってユーザは一のファイルのみを保存すればよく、3次元画像データと2次元画像データを個別に保存し管理する必要が無くなり、ファイルの扱いが容易となる。また一のファイル内に2次元画像データと3次元画像データが格納されているため、ユーザが3次元画像データを扱えるアプリケーションソフトを有していなくとも、2次元画像データの閲覧は汎用的な表示ソフトを利用すれば可能となる。また3次元画像データを利用できる専用のアプリケーションソフトがあれば、埋め込まれた3次元画像データを利用できる。   According to the magnification observation apparatus, image file generation apparatus, image file generation program, and computer-readable recording medium of the present invention, three-dimensional image data can be embedded in two-dimensional image data that is generally easy to use. As a result, the user only has to save one file, and it is not necessary to save and manage the three-dimensional image data and the two-dimensional image data separately, and the handling of the file becomes easy. In addition, since 2D image data and 3D image data are stored in one file, viewing of 2D image data is a general-purpose display even if the user does not have application software that can handle 3D image data. This is possible using software. If there is dedicated application software that can use 3D image data, the embedded 3D image data can be used.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するための拡大観察装置、画像ファイル生成装置、画像ファイル生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体を例示するものであって、本発明は拡大観察装置、画像ファイル生成装置、画像ファイル生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体を以下のものに特定しない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the embodiment described below exemplifies a magnification observation device, an image file generation device, an image file generation program, and a computer-readable recording medium for embodying the technical idea of the present invention, The present invention does not specify a magnification observation apparatus, an image file generation apparatus, an image file generation program, and a computer-readable recording medium as follows.

また、本明細書は特許請求の範囲に示される部材を、実施の形態の部材に特定するものでは決してない。特に実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は特に特定的な記載がない限りは、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。さらに、本発明を構成する各要素は、複数の要素を同一の部材で構成して一の部材で複数の要素を兼用する態様としてもよいし、逆に一の部材の機能を複数の部材で分担して実現することもできる。   Further, the present specification by no means specifies the members shown in the claims to the members of the embodiments. In particular, the dimensions, materials, shapes, relative arrangements, and the like of the component parts described in the embodiments are not intended to limit the scope of the present invention unless otherwise specified, and are merely explanations. It is just an example. Note that the size, positional relationship, and the like of the members shown in each drawing may be exaggerated for clarity of explanation. Furthermore, in the following description, the same name and symbol indicate the same or the same members, and detailed description thereof will be omitted as appropriate. Furthermore, each element constituting the present invention may be configured such that a plurality of elements are constituted by the same member and the plurality of elements are shared by one member, and conversely, the function of one member is constituted by a plurality of members. It can also be realized by sharing.

本発明の実施例において使用される拡大観察装置とこれに接続される操作、制御、表示、その他の処理等のためのコンピュータ、プリンタ、外部記憶装置その他の周辺機器との接続は、例えばIEEE1394、RS−232xやRS−422、USB等のシリアル接続、パラレル接続、あるいは10BASE−T、100BASE−TX、1000BASE−T等のネットワークを介して電気的、あるいは磁気的、光学的に接続して通信を行う。接続は有線を使った物理的な接続に限られず、IEEE802.1x、OFDM方式等の無線LANやBluetooth(登録商標)等の電波、赤外線、光通信等を利用した無線接続等でもよい。さらにデータの交換や設定の保存等を行うための記録媒体には、メモリカードや磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリ等が利用できる。なお本明細書において拡大観察装置とは、拡大観察装置本体のみならず、これにコンピュータ、外部記憶装置等の周辺機器を組み合わせた撮像システムも含む意味で使用する。 The connection between the magnification observation apparatus used in the embodiment of the present invention and the computer, printer, external storage device and other peripheral devices for operation, control, display, and other processing connected thereto is, for example, IEEE 1394, RS-232x, RS-422, serial connection such as USB, parallel connection, or communication by electrical, magnetic, or optical connection via a network such as 10BASE-T, 100BASE-TX, 1000BASE-T Do. The connection is not limited to a physical connection using a wire, but may be a wireless connection using radio waves such as IEEE802.1x, OFDM, etc., Bluetooth (registered trademark) , infrared rays, optical communication, or the like. Furthermore, a memory card, a magnetic disk, an optical disk, a magneto-optical disk, a semiconductor memory, or the like can be used as a recording medium for exchanging data or storing settings. In this specification, the term “magnification observation apparatus” is used to include not only the magnification observation apparatus body but also an imaging system in which peripheral devices such as a computer and an external storage device are combined.

また、本明細書において拡大観察装置、画像ファイル生成装置、画像ファイル生成プログラムは、3次元画像データを含む画像ファイル生成を行うシステムそのもの、ならびに画像ファイル生成に関連する入出力、表示、演算、通信その他の処理をハードウェア的に行う装置や方法に限定するものではない。ソフトウェア的に処理を実現する装置や方法も本発明の範囲内に包含する。例えば汎用の回路やコンピュータにソフトウェアやプログラム、プラグイン、オブジェクト、ライブラリ、アプレット、コンパイラ、モジュール、特定のプログラム上で動作するマクロ等を組み込んで画像生成そのものあるいはこれに関連する処理を可能とした装置やシステムも、本発明の拡大観察装置、画像ファイル生成装置、画像ファイル生成プログラムに該当する。また本明細書においてコンピュータには、汎用あるいは専用の電子計算機の他、ワークステーション、端末、携帯型電子機器、PDCやCDMA、W−CDMA、FOMA(登録商標)、GSM、IMT2000や第4世代等の携帯電話、PHS、PDA、ページャ、スマートフォンその他の電子デバイスも包含する。さらに本明細書においてプログラムとは、単体で使用されるものに限られず、特定のコンピュータプログラムやソフトウェア、サービス等の一部として機能する態様や、必要時に呼び出されて機能する態様、OS等の環境においてサービスとして提供される態様、環境に常駐して動作する態様、バックグラウンドで動作する態様やその他の支援プログラムという位置付けで使用することもできる。   Further, in this specification, the magnification observation apparatus, the image file generation apparatus, and the image file generation program are a system itself that generates an image file including three-dimensional image data, and input / output, display, calculation, and communication related to image file generation. The present invention is not limited to an apparatus or method that performs other processing in hardware. An apparatus and method for realizing processing by software are also included in the scope of the present invention. For example, a general-purpose circuit or computer that incorporates software, programs, plug-ins, objects, libraries, applets, compilers, modules, macros that operate on specific programs, etc., and enables image generation itself or related processing And the system also correspond to the magnification observation apparatus, the image file generation apparatus, and the image file generation program of the present invention. In this specification, the computer includes a general-purpose or dedicated computer, a workstation, a terminal, a portable electronic device, PDC, CDMA, W-CDMA, FOMA (registered trademark), GSM, IMT2000, fourth generation, and the like. Mobile phones, PHS, PDAs, pagers, smartphones and other electronic devices. Further, in the present specification, the program is not limited to a program that is used alone, an aspect that functions as a part of a specific computer program, software, service, etc., an aspect that is called and functions when necessary, an environment such as an OS, etc. It can also be used as a mode provided as a service, a mode that operates resident in the environment, a mode that operates in the background, and other support programs.

[第1の実施の形態]
以下、図1から図2を用いて、本発明の第1の実施の形態に係る拡大観察装置を説明する。拡大観察装置は、図1に示すように観察対象の試料を照明するための照明部60と、照明部60により照明された試料を撮像する撮像部10と、撮像部10で撮像された拡大画像を表示する表示部52を有する情報処理装置50を備える。さらに図1の拡大観察装置は、試料を固定する試料固定部(試料Sを載置するステージ30)と、光学系11を介して入射する試料固定部に固定された試料Sからの反射光または透過光を電気的に読み取る撮像素子(CCD12)と、試料固定部と光学系11の光軸方向における相対距離を変化させ焦点を調整する焦点調整部(ステージ昇降器20)とを備える。さらにまた情報処理装置50は、図2に示すように、焦点調整部によって焦点を調整したときの試料固定部と光学系11の光軸方向における相対距離に関する焦点距離情報を、光軸方向とほぼ垂直な面内における試料の2次元位置情報と共に記憶する焦点距離情報記憶部(メモリ53)と、撮像素子によって読み取られた画像を表示する表示部52と、表示部52によって表示された画像の一部の領域を少なくとも一つ設定可能な領域設定部(操作部55、ポインティングデバイス55A)と、領域設定部によって設定された領域に対応する試料Sの一部または全部に関する焦点距離情報記憶部に記憶された焦点距離情報に基づいて、領域設定部によって設定された領域に対応する試料Sの光軸方向における平均高さを演算する演算部(制御部51)とを備える。この拡大観察装置は、光学系を介して入射する試料固定部に固定された試料からの反射光または透過光を電気的に読み取る撮像素子を用いて、指定された領域に対応する試料の光軸方向における平均高さ(深さ)を演算できる。
[First Embodiment]
The magnification observation apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the magnification observation apparatus includes an illumination unit 60 for illuminating a sample to be observed, an imaging unit 10 for imaging the sample illuminated by the illumination unit 60, and an enlarged image captured by the imaging unit 10. The information processing apparatus 50 which has the display part 52 which displays is provided. Further, the magnified observation apparatus of FIG. 1 includes a sample fixing unit (stage 30 on which the sample S is mounted) for fixing the sample, and reflected light from the sample S fixed to the sample fixing unit incident via the optical system 11 or An image sensor (CCD 12) that electrically reads transmitted light, and a focus adjustment unit (stage elevator 20) that adjusts the focal point by changing the relative distance between the sample fixing unit and the optical system 11 in the optical axis direction. Furthermore, as shown in FIG. 2, the information processing apparatus 50 displays the focal length information about the relative distance in the optical axis direction between the sample fixing unit and the optical system 11 when the focal point is adjusted by the focal point adjusting unit. A focal length information storage unit (memory 53) that stores the two-dimensional position information of the sample in a vertical plane, a display unit 52 that displays an image read by the image sensor, and one of the images displayed by the display unit 52 A region setting unit (operation unit 55, pointing device 55A) capable of setting at least one region of the unit, and a focal length information storage unit regarding a part or all of the sample S corresponding to the region set by the region setting unit An arithmetic unit (control) that calculates an average height in the optical axis direction of the sample S corresponding to the region set by the region setting unit based on the focal length information that has been set 51) and a. This magnifying observation apparatus uses an image sensor that electrically reads reflected light or transmitted light from a sample fixed to a sample fixing portion incident via an optical system, and uses the optical axis of the sample corresponding to a specified region. The average height (depth) in the direction can be calculated.

撮像部10は、図2に示すように、試料Sを載置する試料固定部の一形態であるステージ30と、ステージ30を移動させるステージ昇降器20と、ステージ30に固定された試料に光学系を介して入射される光の反射光または透過光を、2次元状に配置された画素毎に電気的に読み取る撮像素子の一形態としてCCD12と、CCD12を駆動制御するCCD制御回路13とを備える。さらに撮像部10には、拡大観察装置本体である情報処理装置50が接続される。情報処理装置50は、撮像素子によって電気的に読み取られた画像データを記憶する画像データ記憶部の一形態としてメモリ53と、撮像素子によって電気的に読み取られた画像データに基づいて画像を表示するディスプレイやモニタ等の表示部52と、表示部52上に表示される画面に基づいて入力その他の操作を行う操作部55と、操作部55によって入力された情報に基づいて画像処理その他各種の処理を行う制御部51とを備える。表示部52を構成するディスプレイは、高解像度表示が可能なモニタであり、CRTや液晶パネル等が利用される。   As shown in FIG. 2, the imaging unit 10 is optically applied to a stage 30 that is one form of a sample fixing unit on which the sample S is placed, a stage elevator 20 that moves the stage 30, and a sample fixed to the stage 30. A CCD 12 as one form of an imaging device that electrically reads reflected light or transmitted light incident through the system for each pixel arranged two-dimensionally, and a CCD control circuit 13 that drives and controls the CCD 12 Prepare. Furthermore, the information processing apparatus 50 which is a magnification observation apparatus main body is connected to the imaging part 10. FIG. The information processing apparatus 50 displays an image based on the memory 53 as one form of an image data storage unit that stores image data electrically read by the image sensor and image data electrically read by the image sensor. A display unit 52 such as a display and a monitor, an operation unit 55 that performs input and other operations based on a screen displayed on the display unit 52, and image processing and various other processes based on information input by the operation unit 55 The control part 51 which performs is provided. The display constituting the display unit 52 is a monitor capable of high-resolution display, and a CRT, a liquid crystal panel, or the like is used.

操作部55はコンピュータと有線もしくは無線で接続され、あるいはコンピュータに固定されている。一般的な操作部55としては、例えばマウスやキーボード、スライドパッド、トラックポイント、タブレット、ジョイスティック、コンソール、ジョグダイヤル、デジタイザ、ライトペン、テンキー、タッチパッド、アキュポイント等の各種ポインティングデバイスが挙げられる。またこれらの操作部55は、拡大観察用操作プログラムの操作の他、拡大観察装置自体やその周辺機器の操作にも利用できる。さらに、インターフェース画面を表示するディスプレイ自体にタッチスクリーンやタッチパネルを利用して、画面上をユーザが手で直接触れることにより入力や操作を可能としたり、または音声入力その他の既存の入力手段を利用、あるいはこれらを併用することもできる。図1の例では、操作部55はマウス55a等のポインティングデバイス55Aで構成される。操作部55は、後述する観察視点や拡大・縮小率等を変更するための変更部として機能する。   The operation unit 55 is connected to the computer by wire or wirelessly, or is fixed to the computer. Examples of the general operation unit 55 include various pointing devices such as a mouse, keyboard, slide pad, track point, tablet, joystick, console, jog dial, digitizer, light pen, numeric keypad, touch pad, and accu point. Further, these operation units 55 can be used for operations of the magnification observation apparatus itself and its peripheral devices in addition to the operations of the magnification observation operation program. Furthermore, using a touch screen or touch panel on the display itself that displays the interface screen, the user can directly input and operate the screen by hand, or use voice input or other existing input means, Or these can also be used together. In the example of FIG. 1, the operation unit 55 includes a pointing device 55A such as a mouse 55a. The operation unit 55 functions as a changing unit for changing an observation viewpoint and an enlargement / reduction ratio, which will be described later.

図1に本発明の実施の形態に係る拡大観察装置の外観図を示す。光学系および撮像素子を有するカメラ10aは、スタンド台41から鉛直方向に延びる支柱42に固定されたカメラ取り付け部43に取り付けられる。スタンド台41には、試料Sを載置するステージ30が上部に取り付けられたステージ昇降器20が配置される。カメラ10aおよびステージ昇降器20は情報処理装置50に接続されて制御される。情報処理装置50は、表示部52、およびマウス55a等の操作部55を備える。表示部52には、観察画像が表示される。   FIG. 1 shows an external view of a magnification observation apparatus according to an embodiment of the present invention. A camera 10 a having an optical system and an image sensor is attached to a camera attachment portion 43 fixed to a support column 42 extending in the vertical direction from the stand base 41. On the stand base 41, a stage elevator 20 on which a stage 30 on which the sample S is placed is attached is arranged. The camera 10a and the stage elevator 20 are connected to the information processing apparatus 50 and controlled. The information processing apparatus 50 includes a display unit 52 and an operation unit 55 such as a mouse 55a. An observation image is displayed on the display unit 52.

また、情報処理装置50である拡大観察装置にはコンピュータ70を接続可能であり、コンピュータ70に別途拡大観察用操作プログラムをインストールして、コンピュータ70側からも拡大観察装置を操作することもできる。本明細書において、コンピュータを使って拡大観察装置を操作する拡大観察用操作プログラムとは、拡大観察装置に外部接続された汎用もしくは専用コンピュータにインストールされる操作プログラムの他、上述した拡大観察装置の制御部である情報処理装置50に内蔵された操作プログラムも含む。拡大観察装置には、予め拡大観察装置を操作する操作機能あるいは操作プログラムが内蔵されている。この操作プログラムは、書き換え可能なソフトウェア、ファームウェアなどの形態で拡大観察装置に対してインストール、あるいはアップデートすることも可能である。従って、本明細書において拡大観察用操作プログラムを実行させるコンピュータには、拡大観察装置自体も含まれる。   Further, a computer 70 can be connected to the magnification observation apparatus which is the information processing apparatus 50, and a magnification observation operation program can be separately installed in the computer 70 so that the magnification observation apparatus can be operated from the computer 70 side. In this specification, the operation program for magnifying observation that operates the magnifying observation apparatus using a computer is an operation program installed in a general purpose or dedicated computer externally connected to the magnifying observation apparatus, as well as the above-described magnifying observation apparatus. It also includes an operation program incorporated in the information processing apparatus 50 as a control unit. The magnifying observation apparatus has a built-in operation function or operation program for operating the magnifying observation apparatus in advance. This operation program can be installed or updated in the magnifying observation apparatus in the form of rewritable software, firmware, or the like. Accordingly, the computer that executes the operation program for magnification observation in this specification includes the magnification observation apparatus itself.

図2に本発明の実施の形態に係る拡大観察装置のブロック図を示す。情報処理装置50は、表示部52と、制御プログラム・焦点距離情報・受光データ・2次元情報等を記憶するメモリ53と、情報処理装置50がカメラ10aおよびステージ昇降器20とデータを通信するためのインターフェイス54と、操作者が拡大観察装置に関する操作を行う操作部55とから構成される。ステージ昇降器20は、例えばステッピングモータ21と、ステッピングモータ21の昇降を制御するモータ制御部22とから構成される。撮像部10は、撮像素子として例えばCCD12等の受光素子と、CCD12を駆動制御するCCD制御回路13と、照明部60からステージ30上に載置された試料Sに対して照射された光の透過光や反射光をCCD12上に結像させる光学系11とを備える。   FIG. 2 is a block diagram of the magnification observation apparatus according to the embodiment of the present invention. The information processing apparatus 50 includes a display unit 52, a memory 53 that stores control programs, focal length information, received light data, two-dimensional information, and the like, and the information processing apparatus 50 communicates data with the camera 10 a and the stage elevator 20. Interface 54, and an operation unit 55 for an operator to perform operations related to the magnification observation apparatus. The stage elevator 20 includes, for example, a stepping motor 21 and a motor control unit 22 that controls the elevation of the stepping motor 21. The imaging unit 10 is a light-receiving element such as a CCD 12 as an imaging element, a CCD control circuit 13 that drives and controls the CCD 12, and transmission of light irradiated from the illumination unit 60 to the sample S placed on the stage 30. And an optical system 11 that forms an image of light and reflected light on the CCD 12.

[画素ずらし手段]
さらに撮像部10は、画素ずらしによってCCD12の持つ解像度以上の高解像度を得るための画素ずらし手段を備えることができる。画素ずらしとは、例えば画素ピッチの半分だけ被写体をずらして撮影した画像と、ずらす前の画像とを合成することにより高解像度化を図るものである。代表的な画像ずらしの機構としては、撮像素子を移動させるCCD駆動方式、LPFを傾斜させるLPF傾斜方式、レンズを移動させるレンズ移動方式等がある。図2においては、ステージ30に固定された試料Sから光学系11を介してCCD12に入射される反射光または透過光の入射光路を、少なくとも一の方向に、その方向におけるCCD12の一画素の間隔よりも小さい距離で光学的にシフトさせる光路シフト部14を備える。本発明の一実施形態において画素ずらしを実現するための機構や手法は、上記の構成に限られず、既知の方法や将来開発される方法が適宜利用できる。
[Pixel shifting means]
Furthermore, the imaging unit 10 can include pixel shifting means for obtaining a high resolution that is higher than the resolution of the CCD 12 by pixel shifting. Pixel shift is to increase the resolution by combining an image taken by shifting the subject by half the pixel pitch and an image before shifting. As a typical image shifting mechanism, there are a CCD driving method for moving an image sensor, an LPF tilting method for tilting an LPF, a lens moving method for moving a lens, and the like. In FIG. 2, the incident light path of reflected light or transmitted light incident on the CCD 12 from the sample S fixed to the stage 30 via the optical system 11 is set in at least one direction, and the interval of one pixel of the CCD 12 in that direction. An optical path shift unit 14 that optically shifts at a smaller distance is provided. In one embodiment of the present invention, the mechanism and method for realizing pixel shifting are not limited to the above configuration, and a known method or a method developed in the future can be used as appropriate.

情報処理装置50は、モータ制御回路22に対してステッピングモータ21の制御に関する制御データを入力することによって、試料固定部であるステージ30と、光学系11および撮像素子であるCCD12を有するカメラ10aとの光軸方向における相対距離、ここではz方向における高さを変化させる。具体的には、情報処理装置50は、ステージ昇降器20の制御に必要な制御データをモータ制御回路22に入力することによってステッピングモータ21の回転を制御し、ステージ30の高さz(z方向の位置)を昇降させる。ステッピングモータ21は、回転に応じた回転信号を生成する。情報処理装置50は、モータ制御回路22を介して入力される回転信号に基づいて、試料固定部と光学系11の光軸方向における相対距離に関する情報としてのステージ30の高さzを記憶する。なお本実施の形態においては、ステージ30の高さを変化させることによって試料固定部と光学系の光軸方向における相対距離を変化させる例を示したが、ステージ30を固定して光学系11の高さ、例えばカメラ10aの高さを変化させてもよい。   The information processing device 50 inputs control data related to the control of the stepping motor 21 to the motor control circuit 22, thereby allowing the stage 30 as the sample fixing unit, the camera 10 a having the optical system 11 and the CCD 12 as the imaging device, and The relative distance in the optical axis direction, here the height in the z direction is changed. Specifically, the information processing device 50 controls the rotation of the stepping motor 21 by inputting control data necessary for controlling the stage elevator 20 to the motor control circuit 22, and the height z (z direction) of the stage 30. Up and down). The stepping motor 21 generates a rotation signal corresponding to the rotation. The information processing apparatus 50 stores the height z of the stage 30 as information regarding the relative distance between the sample fixing unit and the optical system 11 in the optical axis direction based on the rotation signal input via the motor control circuit 22. In the present embodiment, the example in which the relative distance in the optical axis direction between the sample fixing unit and the optical system is changed by changing the height of the stage 30 is shown. The height, for example, the height of the camera 10a may be changed.

CCD12は、x方向およびy方向に2次元状に配置された画素毎に受光量を電気的に読み取ることができる。CCD12上に結像された試料Sの像は、CCD12の各画素において受光量に応じて電気信号に変換され、CCD制御回路13においてさらにデジタルデータに変換される。情報処理装置50は、CCD制御回路13において変換されたデジタルデータを受光データDとして、光軸方向(図2中のz方向)とほぼ垂直な面内(図2中のx、y方向)における試料の2次元位置情報としての画素の配置情報(x、y)と共にメモリ53に記憶する。ここで、光軸方向とほぼ垂直な面内とは、厳密に光軸に対して90°をなす面である必要はなく、その光学系および撮像素子における解像度において試料の形状を認識できる程度の傾きの範囲内にある観察面であればよい。   The CCD 12 can electrically read the amount of received light for each pixel arranged two-dimensionally in the x and y directions. The image of the sample S formed on the CCD 12 is converted into an electric signal according to the amount of received light at each pixel of the CCD 12 and further converted into digital data in the CCD control circuit 13. The information processing apparatus 50 uses the digital data converted by the CCD control circuit 13 as received light data D in a plane (x and y directions in FIG. 2) substantially perpendicular to the optical axis direction (z direction in FIG. 2). The information is stored in the memory 53 together with pixel arrangement information (x, y) as two-dimensional position information of the sample. Here, the in-plane substantially perpendicular to the optical axis direction does not need to be a plane that makes an angle of 90 ° with respect to the optical axis. Any observation surface may be used as long as it is within the tilt range.

また、以上の説明では試料固定部の一例として、試料がステージに載置される例を示したが、例えばステージの代わりにアームを取り付け、その先端に試料を固定する構成とすることもできる。さらにカメラ10aは、カメラ取り付け部43に装着して使用する他、脱着可能として手持ち等の方法により所望の位置、角度に配置することもできる。   In the above description, an example in which the sample is placed on the stage is shown as an example of the sample fixing unit. However, for example, an arm may be attached instead of the stage and the sample may be fixed to the tip. Further, the camera 10a can be used by being mounted on the camera mounting portion 43, and can be detachably disposed at a desired position and angle by a hand-held method.

図1に示す照明部60は、試料に落射光を照射するための落射照明60Aと、透過光を照射するための透過照明60Bを備える。これらの照明は、光ファイバー61を介して情報処理装置50と接続される。情報処理装置50は光ファイバー61を接続するコネクタ62を備えると共に、コネクタ62を介して光ファイバー61に光を送出するための光源(図示せず)を内蔵する。光源にはハロゲンランプ等が用いられる。   The illumination unit 60 shown in FIG. 1 includes an epi-illumination 60A for irradiating the sample with epi-illumination light and a transmission illumination 60B for irradiating the sample with transmitted light. These lights are connected to the information processing apparatus 50 via the optical fiber 61. The information processing apparatus 50 includes a connector 62 for connecting the optical fiber 61 and a light source (not shown) for sending light to the optical fiber 61 via the connector 62. A halogen lamp or the like is used as the light source.

[制御部51]
制御手段である制御部51は、撮像した観察画像を、表示部52で表示可能な解像度に変換して表示するよう制御する。図1の拡大観察装置においては、撮像部10がCCD12によって試料Sを撮像した観察画像を表示部52に表示する。一般にCCD等の撮像素子の性能は、表示部での表示能力を上回ることが多いので、撮像した観察画像を一画面に表示するためには画像を間引く等して解像度を一画面で表示可能なサイズまで落とし、縮小表示している。撮像部10で読み取ったときの読取解像度を第一の解像度とすると、表示部52においては第一の解像度よりも低い第二の解像度で表示されることとなる。
[Control unit 51]
The control unit 51, which is a control unit, controls the captured observation image to be converted into a resolution that can be displayed on the display unit 52 and displayed. In the magnification observation apparatus of FIG. 1, the imaging unit 10 displays an observation image obtained by imaging the sample S with the CCD 12 on the display unit 52. In general, the performance of an image sensor such as a CCD often exceeds the display capability of the display unit. Therefore, in order to display the captured observation image on one screen, the resolution can be displayed on one screen by thinning the image. Reduced to size and reduced. If the reading resolution when reading by the imaging unit 10 is the first resolution, the display unit 52 displays a second resolution lower than the first resolution.

[第2の実施の形態]
次に、本発明の第2の実施の形態に係る拡大観察装置を、図3を用いて説明する。第2の実施の形態の拡大観察装置において、撮像部であるカメラは、試料Sに対して照射された第一の光源(レーザ101)からの光の反射光を第一の光学系100を介して第一の受光素子(フォトダイオード112)によって受光する第一の撮像部と、試料Sに対して照射された第二の光源(白色ランプ201)からの光の反射光を第二の光学系200を介して第二の受光素子(CCD212)によって受光する第二の撮像部とを備える。
[Second Embodiment]
Next, a magnification observation apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the magnification observation apparatus according to the second embodiment, the camera serving as the imaging unit transmits the reflected light of the light from the first light source (laser 101) irradiated to the sample S via the first optical system 100. The second optical system reflects the reflected light of the first imaging unit that receives light by the first light receiving element (photodiode 112) and the second light source (white lamp 201) irradiated to the sample S. And a second imaging unit that receives light by the second light receiving element (CCD 212) via 200.

まず、第一の撮像部について説明する。第一の光学系100は、試料Sに単色光(例えばレーザ光)を照射するレーザ101、第一のコリメートレンズ102、偏光ビームスプリッタ103、1/4波長板104、水平偏向装置105、垂直偏向装置106、第一のリレーレンズ107、第二のリレーレンズ108、対物レンズ109、結像レンズ110、ピンホール板111、フォトダイオード112を有する。   First, the first imaging unit will be described. The first optical system 100 includes a laser 101 that irradiates a sample S with monochromatic light (for example, laser light), a first collimating lens 102, a polarizing beam splitter 103, a quarter-wave plate 104, a horizontal deflection device 105, and vertical deflection. A device 106, a first relay lens 107, a second relay lens 108, an objective lens 109, an imaging lens 110, a pinhole plate 111, and a photodiode 112 are included.

第一の光源には、例えば赤色レーザ光を発する半導体レーザ101が用いられる。レーザ駆動回路115によって駆動されるレーザ101から出射されたレーザ光は、第一のコリメートレンズ102を通り、偏光ビームスプリッタ103で光路を変えられ、1/4波長板104を通過する。この後、水平偏向装置105および垂直偏向装置106によって水平(横)方向および垂直(縦)方向に偏向された後、第一のリレーレンズ107および第二のリレーレンズ108を通過し、対物レンズ109によってステージ30上に置かれた試料Sの表面に集光される。   For example, a semiconductor laser 101 that emits red laser light is used as the first light source. The laser light emitted from the laser 101 driven by the laser driving circuit 115 passes through the first collimating lens 102, the optical path is changed by the polarization beam splitter 103, and passes through the quarter wavelength plate 104. Thereafter, the light is deflected in the horizontal (lateral) direction and the vertical (longitudinal) direction by the horizontal deflection device 105 and the vertical deflection device 106, and then passes through the first relay lens 107 and the second relay lens 108, and the objective lens 109. Is condensed on the surface of the sample S placed on the stage 30.

水平偏向装置105および垂直偏向装置106は、それぞれガルバノミラーで構成され、レーザ光を水平および垂直方向に偏向させることにより、試料Sの表面をレーザ光で走査する。ステージ30は、ステージ昇降器20によりz方向(光軸方向)に駆動される。これにより、対物レンズ109の焦点と試料Sとの光軸方向での相対距離を変化させることができる。   The horizontal deflection device 105 and the vertical deflection device 106 are each configured by a galvanometer mirror, and scan the surface of the sample S with the laser light by deflecting the laser light in the horizontal and vertical directions. The stage 30 is driven in the z direction (optical axis direction) by the stage elevator 20. As a result, the relative distance between the focal point of the objective lens 109 and the sample S in the optical axis direction can be changed.

試料Sで反射されたレーザ光は、上記の光路を逆に辿る。すなわち、対物レンズ109、第二のリレーレンズ108および第一のリレーレンズ107を通り、水平偏向装置105および垂直偏向装置106を介して1/4波長板104を再び通る。この結果、レーザ光は偏光ビームスプリッタ103を透過し、結像レンズ110によって集光される。集光されたレーザ光は、結像レンズ110の焦点位置に配置されたピンホール板111のピンホールを通過してフォトダイオード112に入射する。フォトダイオード112は受光量を電気信号に変換する。受光量に相当する電気信号は、出力アンプおよびゲイン制御回路(図示せず)を介してA/Dコンバータ113に入力され、デジタルデータに変換される。ここでは、第一の受光素子としてフォトダイオードを用いる例を示したが、フォトマルチプライヤ等を用いてもよい。また、レーザ101は赤色レーザに限定されず、青色、紫外光レーザを用いてもよい。このような短波長レーザを用いることによって高解像度の高さデータが得られる。   The laser beam reflected by the sample S follows the above optical path in reverse. That is, it passes through the objective lens 109, the second relay lens 108, and the first relay lens 107, and again passes through the quarter wavelength plate 104 via the horizontal deflection device 105 and the vertical deflection device 106. As a result, the laser light passes through the polarization beam splitter 103 and is collected by the imaging lens 110. The condensed laser light passes through the pinhole of the pinhole plate 111 disposed at the focal position of the imaging lens 110 and enters the photodiode 112. The photodiode 112 converts the amount of received light into an electrical signal. An electric signal corresponding to the amount of received light is input to the A / D converter 113 via an output amplifier and a gain control circuit (not shown), and converted into digital data. Here, an example in which a photodiode is used as the first light receiving element is shown, but a photomultiplier or the like may be used. Further, the laser 101 is not limited to a red laser, and a blue or ultraviolet laser may be used. By using such a short wavelength laser, high-resolution height data can be obtained.

上記のような構成の第一の撮像部により、試料Sの高さ(深さ)情報を得ることができる。以下に、その原理を簡単に説明する。上述のように、ステージ30がステージ昇降器20のステッピングモータ21およびモータ制御回路22によってz方向(光軸方向)に駆動されると、対物レンズ109の焦点と試料Sとの光軸方向における相対距離が変化する。そして、対物レンズ109の焦点が試料Sの表面(被測定面)に結ばれたときに、試料Sの表面で反射されたレーザ光は上記の光路を経て結像レンズ110で集光され、ほとんどすべてのレーザ光がピンホール板111のピンホールを通過する。したがって、このときにフォトダイオード112の受光量が最大になる。逆に、対物レンズ109の焦点が試料Sの表面(被測定面)からずれている状態では、結像レンズ109によって集光されたレーザ光はピンホール板111からずれた位置に焦点を結ぶので、一部のレーザ光しかピンホールを通過することができない。その結果、フォトダイオード112の受光量は著しく低下する。   The height (depth) information of the sample S can be obtained by the first imaging unit configured as described above. The principle will be briefly described below. As described above, when the stage 30 is driven in the z direction (the optical axis direction) by the stepping motor 21 and the motor control circuit 22 of the stage elevator 20, the relative focus between the focal point of the objective lens 109 and the sample S in the optical axis direction. The distance changes. When the focal point of the objective lens 109 is focused on the surface of the sample S (surface to be measured), the laser light reflected by the surface of the sample S is condensed by the imaging lens 110 through the optical path described above, and almost all. All the laser beams pass through the pinholes of the pinhole plate 111. Accordingly, at this time, the amount of light received by the photodiode 112 is maximized. On the contrary, in the state where the focus of the objective lens 109 is deviated from the surface (surface to be measured) of the sample S, the laser beam condensed by the imaging lens 109 is focused at a position deviated from the pinhole plate 111. Only a part of the laser beam can pass through the pinhole. As a result, the amount of light received by the photodiode 112 is significantly reduced.

したがって、試料Sの表面の任意の点について、ステージ30をz方向(光軸方向)に駆動しながらフォトダイオード112の受光量を検出すれば、その受光量が最大になるときのステージ30の高さを求めることができる。   Therefore, if the received light amount of the photodiode 112 is detected at any point on the surface of the sample S while driving the stage 30 in the z direction (optical axis direction), the height of the stage 30 when the received light amount becomes maximum. You can ask for it.

実際には、ステージ30を1ステップ移動するたびに水平偏向装置105および垂直偏向装置106によって試料Sの表面を走査してフォトダイオード112の受光量を取得する。図4は、1つの点(画素)におけるステージ30の高さzに対する受光データDの変化を示す。ステージ30を測定範囲の下端から上端までz方向に移動させたとき、走査範囲内の複数の点(画素)について、図4に示したように高さzに応じて変化する受光データDが得られる。この受光データDに基づいて、最大受光量とそのときの焦点距離Zfが各点(画素)ごとに得られる。この受光データDの最大値に対応するステージ30の高さzが焦点距離Zfとなる。したがって、この焦点距離Zfに基づいて試料Sの表面高さのx−y平面での分布が得られる。この処理は、インターフェイス53を介して入力されると共にメモリ53に記憶されたCCD12の受光データDを画素の配置情報(x、y)および高さ情報zに基づいて、制御部51によって行われる。   Actually, each time the stage 30 is moved by one step, the surface of the sample S is scanned by the horizontal deflecting device 105 and the vertical deflecting device 106 to obtain the amount of light received by the photodiode 112. FIG. 4 shows changes in the received light data D with respect to the height z of the stage 30 at one point (pixel). When the stage 30 is moved in the z direction from the lower end to the upper end of the measurement range, the light reception data D that changes in accordance with the height z as shown in FIG. 4 is obtained for a plurality of points (pixels) in the scanning range. It is done. Based on the received light data D, the maximum received light amount and the focal length Zf at that time are obtained for each point (pixel). The height z of the stage 30 corresponding to the maximum value of the received light data D is the focal length Zf. Accordingly, the distribution of the surface height of the sample S on the xy plane is obtained based on the focal length Zf. This processing is performed by the control unit 51 based on the pixel arrangement information (x, y) and the height information z based on the light reception data D of the CCD 12 input through the interface 53 and stored in the memory 53.

得られた表面高さの分布は、いくつかの方法で表示部52に表示することができる。例えば3次元表示によって試料の高さ分布(表面形状)を立体的に表示することができる。あるいは、高さデータを輝度データに変換することにより、明るさの2次元分布として表示できる。高さデータを色差データに変換することにより、高さの分布を色の分布として表示してもよい。   The obtained surface height distribution can be displayed on the display unit 52 by several methods. For example, the height distribution (surface shape) of the sample can be displayed three-dimensionally by three-dimensional display. Alternatively, it can be displayed as a two-dimensional distribution of brightness by converting the height data into luminance data. The height distribution may be displayed as a color distribution by converting the height data into color difference data.

第2の実施の形態においても、第1の実施の形態と同様に、第一の撮像部によって得られた高さデータに基づき、ポインティングデバイス55A等によって表示部52の画像上の2点を指定することによって矩形状に領域の設定を行い、領域内の平均高さや各領域間の相対高さを演算し、表示部52に表示することができる。   Also in the second embodiment, as in the first embodiment, two points on the image of the display unit 52 are designated by the pointing device 55A or the like based on the height data obtained by the first imaging unit. By doing so, the area is set in a rectangular shape, and the average height in the area and the relative height between the areas can be calculated and displayed on the display unit 52.

また、x−y走査範囲内の各点(画素)について得られた受光量を輝度データとする輝度信号から、試料wの表面画像(白黒画像)が得られる。各画素における最大受光量を輝度データとして輝度信号を生成すれば、表面高さの異なる各点でピントの合った被写界深度の非常に深い共焦点画像が得られる。また、任意の注目画素で最大受光量が得られた高さ(z方向位置)に固定した場合は、注目画素の部分と高低差が大きい部分の画素の受光量は著しく小さくなるので、注目画素と同じ高さの部分のみが明るい画像が得られる。   Further, a surface image (black and white image) of the sample w is obtained from a luminance signal that uses the received light amount obtained for each point (pixel) in the xy scanning range as luminance data. If a luminance signal is generated using the maximum amount of light received at each pixel as luminance data, a confocal image having a very deep depth of field can be obtained at each point having a different surface height. In addition, when the height (z-direction position) at which the maximum light reception amount is obtained at an arbitrary target pixel is fixed, the light reception amount of the pixel of the target pixel portion and the portion having a large difference in height is significantly reduced. A bright image is obtained only at the same height.

次に、第二の撮像部について説明する。第二の光学系200は、試料Sに白色光(カラー画像撮影用の照明光)を照射するための第二の光源201、第二のコリメートレンズ202、第1ハーフミラー203、第2ハーフミラー204、第2受光素子としてのCCD212を有する。また、第二の光学系200は第一の光学系100の対物レンズ109を共用し、両光学系100、200の光軸は一致している。   Next, the second imaging unit will be described. The second optical system 200 includes a second light source 201 for irradiating the sample S with white light (illumination light for color image shooting), a second collimating lens 202, a first half mirror 203, and a second half mirror. 204, a CCD 212 as a second light receiving element. The second optical system 200 shares the objective lens 109 of the first optical system 100, and the optical axes of both the optical systems 100 and 200 are the same.

第二の光源201には例えば白色ランプが用いられるが、特に専用の光源を設けず、自然光または室内光を利用してもよい。第二の光源201から出た白色光は、第二のコリメートレンズ202を通り、第一のハーフミラー203で光路を曲げられ、対物レンズ109によってステージ30上に置かれた試料Sの表面に集光される。   For example, a white lamp is used as the second light source 201, but a dedicated light source may not be provided, and natural light or room light may be used. The white light emitted from the second light source 201 passes through the second collimating lens 202, the optical path is bent by the first half mirror 203, and is collected on the surface of the sample S placed on the stage 30 by the objective lens 109. To be lighted.

試料Sで反射された白色光は、対物レンズ109、第一のハーフミラー203、第二のリレーレンズ108を通過し、第二のハーフミラー204で反射されてカラーで受光可能なCCD212に入射して結像する。CCD212は、第一の光学系100のピンホール板111のピンホールと共役または共役に近い位置に設けられている。CCD212で撮像されたカラー画像は、CCD制御回路213によって読み出されると共にデジタルデータに変換される。このようにして得られたカラー画像は、試料Sの観察用の拡大カラー画像として表示部52に表示される。   The white light reflected by the sample S passes through the objective lens 109, the first half mirror 203, and the second relay lens 108, is reflected by the second half mirror 204, and enters the CCD 212 that can receive light in color. To form an image. The CCD 212 is provided at a position that is conjugate or close to the conjugate with the pinhole of the pinhole plate 111 of the first optical system 100. A color image captured by the CCD 212 is read by the CCD control circuit 213 and converted into digital data. The color image thus obtained is displayed on the display unit 52 as an enlarged color image for observing the sample S.

また、第一の撮像部で得られた被写界深度の深い共焦点画像と第二の撮像部で得られた通常のカラー画像とを組み合わせて、すべての画素でピントの合った被写界深度の深いカラー共焦点画像を生成し、表示することもできる。例えば、第二の撮像部で得られたカラー画像を構成する輝度信号を第一の光学系100で得られた共焦点画像の輝度信号で置き換えることにより、簡易的にカラー共焦点画像を生成することができる。   Also, by combining a confocal image with a deep depth of field obtained by the first imaging unit and a normal color image obtained by the second imaging unit, the object field in which all pixels are in focus A deep color confocal image can also be generated and displayed. For example, a color confocal image is simply generated by replacing the luminance signal constituting the color image obtained by the second imaging unit with the luminance signal of the confocal image obtained by the first optical system 100. be able to.

ここでは、共焦点光学系である第一の光学系100を有する第一の撮像部と非共焦点光学系である第二の光学系200を有する第二の撮像部を備える拡大観察装置を示したが、第1の撮像部のみを備える構成とすることもできる。   Here, a magnification observation apparatus including a first imaging unit having a first optical system 100 that is a confocal optical system and a second imaging unit having a second optical system 200 that is a non-confocal optical system is shown. However, a configuration including only the first imaging unit may be employed.

また、第1の実施の形態に係る拡大観察装置のように、受光素子は2次元状に配置された画素毎に受光量を読み取る2次元撮像素子(例えばCCD)であり、焦点調整部が領域設定部によって設定された領域に対応する試料の一部または全部に対応する受光量の和に基づいて焦点を調整する構成とした場合、共焦点光学系のような複雑な構成を必要とすることなく、簡単な構成で試料の高さを測定することができる。特に、この拡大観察装置においては、画素単位でなく、操作者によって設定された領域単位、すなわち相当数の画素の相対距離に対する受光データの変化から受光データの最大値を判断すると共に、そのときの平均焦点距離に基づいて平均高さを演算することから、白色光を光源としCCDを受光素子として用いた場合であっても、各画素における受光データの焦点距離に対する変化のばらつきを低減でき、信頼性の高い平均高さの測定を行うことができる。さらに、2次元撮像素子としてカラーCCDを用いる場合は、RGBの受光データに基づいてその画素の受光データを算出してもよく、またRGBのうちの1または2の色調の受光データに基づいてその画素の受光データとしてもよい。   Further, like the magnification observation apparatus according to the first embodiment, the light receiving element is a two-dimensional imaging element (for example, CCD) that reads the amount of received light for each pixel arranged two-dimensionally, and the focus adjustment unit is an area. When the focal point is adjusted based on the sum of received light amounts corresponding to part or all of the sample corresponding to the region set by the setting unit, a complicated configuration like a confocal optical system is required. The height of the sample can be measured with a simple configuration. In particular, in this magnification observation apparatus, the maximum value of the light reception data is determined from the change in the light reception data with respect to the relative distance of the pixel, not the pixel unit, but the area unit set by the operator, and at that time Since the average height is calculated based on the average focal length, even when white light is used as a light source and a CCD is used as a light receiving element, variation in the variation of the received light data with respect to the focal length can be reduced. The average height can be measured. Further, when a color CCD is used as the two-dimensional imaging device, the light reception data of the pixel may be calculated based on the light reception data of RGB, or the light reception data of one or two colors of RGB may be used. The light reception data of the pixel may be used.

また、領域設定部によって設定された領域が、試料の大きさよりも大きく試料の全部を含んでいる場合には、試料以外の部分、すなわちステージの上面は平均高さの演算の対象から除外することが好ましい。より正確な試料の高さを演算することができるからである。この場合ステージの上面であるか否かは、その画素とその画素に隣接する画素との高さの差が所定高さ以上あるか否か等によって判別することができる。もちろん、領域設定部によって設定された領域が、試料の一部であっても、ステージの上面が領域に含まれる場合は、平均高さの演算の対象から除外することが好ましい。   In addition, if the area set by the area setting unit is larger than the sample size and includes the entire sample, the part other than the sample, that is, the upper surface of the stage, should be excluded from the calculation of the average height. Is preferred. This is because a more accurate sample height can be calculated. In this case, whether or not it is the upper surface of the stage can be determined based on whether or not the height difference between the pixel and the pixel adjacent to the pixel is a predetermined height or more. Of course, even if the region set by the region setting unit is a part of the sample, if the upper surface of the stage is included in the region, it is preferable to exclude it from the target for calculating the average height.

また、以上の実施の形態においては、試料固定部に固定された試料からの反射光を電気的に読み取る例を示したが、試料の背面から光を照射してその透過光を電気的に読み取るように構成してもよい。また、以上の説明では、試料固定部の一例として、試料がステージに載置される例を示したが、例えばステージの代わりにアームを取り付けその先端に試料を固定する構成とすることもできる。   In the above embodiments, the example in which the reflected light from the sample fixed to the sample fixing portion is electrically read has been shown. However, the transmitted light is electrically read by irradiating light from the back surface of the sample. You may comprise as follows. In the above description, an example in which the sample is placed on the stage is shown as an example of the sample fixing unit. However, for example, an arm may be attached instead of the stage and the sample may be fixed to the tip.

[3次元画像]
また拡大観察装置は、2次元的な画像のみならず、3次元画像を表示させることもできる。3次元データに基づいて3D画像を拡大観察装置の表示部52に再現することで、様々な視点や角度から立体的に画像を観察、評価したり、高さなど表面形状やプロファイルの測定を行うことができる。3次元画像を生成して表示するには、例えば光軸方向における相対距離、すなわち観察対象の試料とレンズの距離を変化させて、画像を複数枚撮像し、同時に画像撮像時の移動量を記録しておく。これによって合成画像を作成する際に観察対象の高さ情報も得ることができるので、取得した画像を3次元データとして構築できる。
[3D image]
In addition, the magnification observation apparatus can display not only a two-dimensional image but also a three-dimensional image. By reproducing the 3D image on the display unit 52 of the magnification observation apparatus based on the three-dimensional data, the image is observed and evaluated stereoscopically from various viewpoints and angles, and the surface shape and profile such as the height are measured. be able to. In order to generate and display a three-dimensional image, for example, the relative distance in the optical axis direction, that is, the distance between the sample to be observed and the lens is changed, and a plurality of images are captured, and the movement amount at the time of image capture is recorded simultaneously. Keep it. As a result, the height information of the observation target can also be obtained when creating a composite image, and thus the acquired image can be constructed as three-dimensional data.

一般的な3次元データの撮像方法を図5に基づいて説明する。まずステップS1で撮像部10、ステージ昇降器20および情報処理装置50等を初期化する。そしてステップS2で、レンズの移動量と移動範囲を設定する。レンズの移動範囲はレンズの高さの範囲であり、例えばユーザが大まかな高さを移動開始位置として指定する。またレンズの移動量はレンズの一回当たりの移動距離であり、細かく設定するほど詳細な画像が撮像できる反面、生成に時間がかかるので、観察目的に応じて適切な値に設定する。指定方法としては、ユーザが画像の精細さを指定し、これに応じた移動距離を拡大観察装置側が自動的に設定したり、ユーザが直接移動距離を数値などで指定する、あるいはデフォルトの既定値を利用するなどの方法がある。   A general three-dimensional data imaging method will be described with reference to FIG. First, in step S1, the imaging unit 10, the stage elevator 20 and the information processing apparatus 50 are initialized. In step S2, the moving amount and moving range of the lens are set. The movement range of the lens is a range of the lens height. For example, the user designates a rough height as the movement start position. The amount of movement of the lens is the distance of movement of the lens per one time. The finer the setting, the more detailed images can be taken, but the longer it takes to generate, so the value is set to an appropriate value according to the purpose of observation. As the specification method, the user specifies the fineness of the image, and the magnification distance is automatically set by the magnification observation device, or the user directly specifies the movement distance with a numerical value, or the default default value. There are methods such as using.

次にステップS3では、上記で指定された移動開始位置にレンズを設定する。そしてステップS4で撮像を開始する。撮像後、ステップS5でレンズをステップS2で設定された移動量だけ移動させ、ステップS6で移動範囲が終了位置に達したか否かを判定を行う。終了位置に達していない場合はステップS4に戻って撮像と移動ステップを繰り返す。移動の結果、ステップS2で設定された移動範囲を終えた時点でステップS7に移行し、2次元の撮像画像を合成する。そしてステップS8で、撮像された2次元データに基づいて3次元画像データを構築し、表示部52に表示させる。3次元データの構築には、レンズの位置とそのときに撮像された画像から、高さ方向に変化するプロファイルが演算できるので、異なる高さ毎に撮像された複数枚の2次元画像データを合成することで、立体的な形状を構築できる。例えば撮像された2次元画像で得られる離散的なプロファイルを補完して、連続的なプロファイルを合成する。この処理はハードウェア的に高速に行うことができる。   In step S3, the lens is set at the movement start position specified above. In step S4, imaging is started. After imaging, the lens is moved by the movement amount set in step S2 in step S5, and it is determined whether or not the movement range has reached the end position in step S6. If the end position has not been reached, the process returns to step S4 and the imaging and moving steps are repeated. As a result of the movement, when the movement range set in step S2 is finished, the process proceeds to step S7, and a two-dimensional captured image is synthesized. In step S8, 3D image data is constructed based on the captured 2D data and displayed on the display unit 52. For the construction of 3D data, a profile that changes in the height direction can be calculated from the position of the lens and the image captured at that time, so multiple 2D image data captured at different heights can be combined. By doing so, a three-dimensional shape can be constructed. For example, a continuous profile is synthesized by complementing a discrete profile obtained from a captured two-dimensional image. This process can be performed at high speed in hardware.

以上のようにして構築された3次元画像は、自由に視点の変更や画像の回転、反転、変形、拡大・縮小等して表示させることができる。変更操作は、変更部の一形態であるマウス55a等のポインティングデバイス55Aで行われる。画像の回転は、マウス55aを操作し、画像を選択してドラッグしたままマウスポインタを移動させることで、ドラッグされた方向に回転する。また拡大・縮小は、ホイールマウスのスクロールボタン55dに画面の拡大、縮小機能を割り当てることも可能である。これらの方法に限られず、変更部として操作ボタンやツールをソフトウェア画面上に配置して操作したり、操作機能をキーボードの特定のキーに割り付けたり、操作用の専用ハードウェアを変更部とすることもできる。   The three-dimensional image constructed as described above can be freely displayed by changing the viewpoint or rotating, inverting, deforming, enlarging or reducing the image. The changing operation is performed by a pointing device 55A such as a mouse 55a which is a form of the changing unit. The image is rotated in the dragged direction by operating the mouse 55a, selecting the image, and moving the mouse pointer while dragging. For enlargement / reduction, a screen enlargement / reduction function can be assigned to the scroll button 55d of the wheel mouse. Not limited to these methods, operation buttons and tools can be placed on the software screen for operation as a change unit, operation functions are assigned to specific keys on the keyboard, or dedicated hardware for operation is used as the change unit You can also.

このような3次元画像の取得方法や、取得された3次元データの表示を変更する手法は、既知の方法や将来開発される方法が適宜利用できる。例えば、オープンGL(Open Graphics Library)等のAPIが利用できる。   As such a three-dimensional image acquisition method and a method for changing the display of the acquired three-dimensional data, a known method or a method developed in the future can be used as appropriate. For example, an API such as Open GL (Open Graphics Library) can be used.

[2次元画像データの保存]
以上のようにして構築された3次元画像データを、表示部に表示すると共に画像データ記憶部の一態様である内部メモリにデータを保存する。3次元画像の保存には、3次元画像データのみを特定の3次元画像ファイルフォーマットで保存する他、任意の2次元画像に埋め込む形で2次元画像ファイルフォーマット形式で保存することもできる。例えば、3次元画像を所望の姿勢や倍率、光源や透過等の条件で表示させ、表示された3次元画像を2次元画像として取得した上で、この2次元画像データに元の3次元画像データを埋め込んで保存することもできる。ユーザは変更部の一形態であるマウス55aやツールを使って3次元画像の視点や拡大率を調整し、所望の姿勢で観察対象を表示させる。このとき表示部に表示される画像をキャプチャして、2次元画像として取り込む。
[Save two-dimensional image data]
The three-dimensional image data constructed as described above is displayed on the display unit, and the data is stored in an internal memory which is an aspect of the image data storage unit. In storing a three-dimensional image, only three-dimensional image data can be stored in a specific three-dimensional image file format, or can be stored in a two-dimensional image file format in a form embedded in an arbitrary two-dimensional image. For example, a 3D image is displayed under conditions such as a desired posture, magnification, light source, and transmission, and the displayed 3D image is acquired as a 2D image, and then the original 3D image data is added to the 2D image data. You can also embed and save. The user adjusts the viewpoint and magnification of the three-dimensional image using a mouse 55a and a tool that are one form of the changing unit, and displays the observation target in a desired posture. At this time, an image displayed on the display unit is captured and captured as a two-dimensional image.

2次元画像のデータフォーマットは、汎用的な形式が望ましい。画像フォーマットとしては、JPEG、JPEG2000、TIFF、BMP、PNG、GIF、WMF、EMF等が挙げられる。この内、ユーザが自由に設定可能な領域を持つ形式が望ましく、特にJPEG、TIFFが好適に利用できる。なおここでいうユーザとは、装置の使用者でなく、装置を設計する者を指す。   The data format of the two-dimensional image is preferably a general format. Examples of the image format include JPEG, JPEG2000, TIFF, BMP, PNG, GIF, WMF, EMF, and the like. Of these, a format having an area that can be freely set by the user is desirable, and JPEG and TIFF are particularly suitable. In addition, the user here refers to the person who designs the apparatus, not the user of the apparatus.

JPEGやTIFF形式のデータファイルには、図6、図7に示すようなユーザが利用可能な領域が存在する。図6はJPEG圧縮データの基本構造を示す。圧縮データファイルはISO/IEC10918−1に規定されるJPEG BaselineDCTフォーマットに準拠して記録し、これにアプリケーションマーカセグメント(APP1)を挿入する。また必要に応じてAPP1の直後に連続してAPP2を複数個記録することもできる。APP1の内部は、APP1マーカ、Exifの識別コード、付属情報本体から構成される。これらをすべて含んだAPP1のサイズは、JPEGの規格により64kバイト以下とする。付属情報はファイルヘッダを含むTIFFの構造をとり、最大2つのIFD(0th IFD、1st IFD)を記録できる。この内、0th IFDには圧縮されている二次元画像に関する付属情報を記録する。また1st IFDにはサムネイル画像を記録することができる。一方、APP2の内部は、APP2マーカ、FPXR(FlashPix Ready)の識別コード、およびFlashPix用拡張データ記録のためのコンテンツリスト、またはストリームデータから構成される。APP2もAPP1と同じく64kバイト以下の制限があり、これ以上のデータを記録する際はAPP2を複数個連続して記録する。また図7は、Exif IFDに記録される付属情報(フィールド名、コード)一覧表である。この図に示すように、タグ情報として様々な情報をユーザは付加することができる。   The data file in JPEG or TIFF format has areas available to the user as shown in FIGS. FIG. 6 shows the basic structure of JPEG compressed data. The compressed data file is recorded in accordance with the JPEG Baseline DCT format defined in ISO / IEC10918-1, and an application marker segment (APP1) is inserted into the compressed data file. If necessary, a plurality of APP2 can be recorded continuously immediately after APP1. The inside of APP1 is composed of an APP1 marker, an Exif identification code, and an attached information body. The size of APP1 including all of these is 64 kbytes or less according to the JPEG standard. The attached information has a TIFF structure including a file header, and can record a maximum of two IFDs (0th IFD, 1st IFD). Among these, the 0th IFD records auxiliary information regarding the compressed two-dimensional image. A thumbnail image can be recorded in the 1st IFD. On the other hand, the inside of APP2 is composed of an APP2 marker, an FPXR (FlashPix Ready) identification code, a content list for recording extended data for FlashPix, or stream data. APP2 also has a limit of 64 kbytes or less like APP1, and when more data is recorded, a plurality of APP2 are recorded continuously. FIG. 7 is a list of attached information (field name and code) recorded in the Exif IFD. As shown in this figure, the user can add various information as tag information.

[3次元画像データと2次元画像データの統合]
このようにして3次元画像を所望の状態で表示させて取得した2次元画像データに、元となる3次元画像データを埋め込み、一のファイルに統合することで、同一の観察対象に関する2次元データと3次元データを個別に保存することなく、1ファイルで利用できるようになる。この処理は、拡大観察装置で行う他、専用の画像ファイル生成装置で行うこともできる。画像ファイル生成装置は、撮像部などの画像撮像のためのハードウェアを持たず、取得された画像の処理を行う装置である。以下、拡大観察装置で3次元画像を2次元画像に埋め込む手順を図8に基づき説明する。
[Integration of 3D image data and 2D image data]
By embedding the original three-dimensional image data in the two-dimensional image data acquired by displaying the three-dimensional image in a desired state in this way and integrating them into one file, two-dimensional data relating to the same observation object And 3D data can be used in one file without having to be saved separately. This process can be performed by a magnified observation apparatus or a dedicated image file generation apparatus. The image file generation apparatus is an apparatus that does not have image capturing hardware such as an image capturing unit and processes acquired images. Hereinafter, a procedure for embedding a three-dimensional image in a two-dimensional image with the magnification observation apparatus will be described with reference to FIG.

まずステップS1で装置の初期化を行った後、高さの異なる2次元画像を撮影する(ステップS2)。ここでは、撮像部と観察対象の相対高さを変更しながら、撮像部で観察対象のスライス画像を複数枚取得する。そしてステップS3で3D処理と表示を行う。具体的には、複数のスライス画像と相対高さ情報から3次元の立体画像を構築して、作成された3次元画像を表示部に表示させる。次にステップS4で、作成された3次元画像を保存するか否かを判定する。保存しない場合は処理を終了し、保存する場合はステップS5に進む。ステップS5では、ファイラーを表示させる。ファイラーは、拡大観察装置に保存されている2次元画像をサムネイルなどの一覧形式で表示させる。そしてユーザは、ファイラー中から3次元画像データを埋め込む先の2次元画像を選択する(ステップS6)。すると拡大観察装置は、選択された2次元画像データと3次元画像データを結合する(ステップS7)。ここでは、2次元画像データの画像フォーマットをベースとして、この中に3次元画像データを埋め込んだ形の2次元画像データを生成する。   First, after the apparatus is initialized in step S1, two-dimensional images having different heights are photographed (step S2). Here, a plurality of slice images to be observed are acquired by the imaging unit while changing the relative height between the imaging unit and the observation target. In step S3, 3D processing and display are performed. Specifically, a three-dimensional stereoscopic image is constructed from a plurality of slice images and relative height information, and the created three-dimensional image is displayed on the display unit. Next, in step S4, it is determined whether or not to save the created three-dimensional image. If not saved, the process ends. If saved, the process proceeds to step S5. In step S5, the filer is displayed. The filer displays the two-dimensional image stored in the magnification observation apparatus in a list format such as a thumbnail. Then, the user selects the two-dimensional image into which the three-dimensional image data is embedded from the filer (step S6). Then, the magnification observation apparatus combines the selected 2D image data and 3D image data (step S7). Here, based on the image format of the two-dimensional image data, two-dimensional image data in a form in which the three-dimensional image data is embedded is generated.

上述のとおり、JPEGやTIFF形式のデータにはユーザが利用可能な領域が存在するので、この領域に3次元画像データに関する情報を記録する。ここでは、3次元画像データを結合していることを示すフラグデータ、3次元画像データの結合領域アドレス、3次元画像データのサイズを上記の領域に書き込む。さらに、指定された領域に3次元画像データを結合した2次元画像データを作成する。このようにして生成されるファイルの構成の一例を図9に示す。この図に示すように、2次元画像データファイルのヘッダ情報に3次元画像データに関する情報を記録し、さらに2次元画像データの後ろに3次元画像データを追加している。 As described above, since there is an area that can be used by the user in JPEG or TIFF format data, information relating to 3D image data is recorded in this area. Here, the flag data indicating that the three-dimensional image data is combined, the combined region address of the three-dimensional image data, and the size of the three-dimensional image data are written in the region. Further, two-dimensional image data is created by combining the three-dimensional image data with the designated area. An example of the configuration of the file generated in this way is shown in FIG. As shown in this figure, information relating to 3D image data is recorded in the header information of the 2D image data file, and 3D image data is added after the 2D image data.

このファイルは、3次元画像データを埋め込んでいるものの、ファイル形式としては汎用的な2次元画像ファイルの形式に従っている。したがって、画像ファイルを表示可能なソフトウェアで読み込み、2次元画像データ部分を表示することが可能である。ソフトウェアとしては、例えばフォトレタッチソフトなどの画像加工編集ソフトやインターネットブラウザ、ビューワソフトなどが利用できる。なお、3次元データに非対応のソフトウェアでこの2次元画像データを加工すると、通常の2次元画像データ形式に書き換えられてしまうため3次元画像データは失われる。ファイルをオープンしても、閲覧のみで書き込みをしない限りは元のファイルのデータ構造は維持されるため3次元データも保持される。   Although this file embeds three-dimensional image data, the file format conforms to a general-purpose two-dimensional image file format. Therefore, it is possible to read the image file with software that can display and display the two-dimensional image data portion. As software, for example, image processing editing software such as photo retouching software, Internet browser, viewer software, and the like can be used. If the 2D image data is processed with software that does not support 3D data, the 2D image data is rewritten into a normal 2D image data format, and the 3D image data is lost. Even if the file is opened, the data structure of the original file is maintained as long as it is not read and written, so that the three-dimensional data is also retained.

また、3次元データの閲覧に対応した専用ソフトでこのファイルを読み込むと、2次元画像データと共に3次元画像データも表示できる。専用表示ソフトでファイルを読み込む場合は、ヘッダ情報記録された3次元画像データの結合フラグを確認する。これによって3次元画像データが取り出され、3次元画像の表示が可能となる。また上述のとおり、3次元画像データの表示視点の変更や拡大率を変化させて表示させることも可能である。さらに、ソフトの同一画面上で2次元画像データと3次元画像データを同時に表示可能としたり、それぞれ加工や編集も可能とすることもできる。さらにまた、3次元画像を所望のアングルに設定し、既に記録されている2次元画像データ部分を新たな2次元画像で書き換えることも可能となる。加えて、3次元画像データの結合を解除し、2次元画像データのみとすることもできるし、新たな2次元画像データに3次元画像データを埋め込むこともできる。 When this file is read with dedicated software that supports browsing of 3D data, 3D image data can be displayed together with 2D image data. When reading files in the dedicated display software, to check the binding flags of the three-dimensional image data recorded in the header information. As a result, three-dimensional image data is extracted, and a three-dimensional image can be displayed. Further, as described above, it is also possible to change the display viewpoint of the 3D image data and change the enlargement ratio for display. Furthermore, 2D image data and 3D image data can be displayed at the same time on the same software screen, and can be processed and edited. Furthermore, it is possible to set the three-dimensional image to a desired angle and rewrite the already recorded two-dimensional image data portion with a new two-dimensional image. In addition, it is possible to release the combination of the three-dimensional image data so that only the two-dimensional image data is present, or to embed the three-dimensional image data in new two-dimensional image data.

以上のような画像データの生成、編集機能を備える装置やプログラムの他、このような機能を省き閲覧のみを可能とした簡易的な閲覧装置や閲覧プログラムとすることもできる。すなわち、3次元データおよび2次元データの表示や視点、拡大率などの変更は可能であるが、3次元データの生成はできない制限付のソフトウェアとする。例えば、閲覧プログラムを3次元データ付2次元画像データと共に送付あるいは配布することで、専用の画像ファイル生成プログラムが無くても3次元画像データを表示することが可能となる。例えば、閲覧プログラムを特定のホームページからダウンロード可能とするなど、無償で配布すれば、作成された3次元画像データを誰でも利用できるようになるので、利用が促進され普及しやすくなる。また3次元画像データの生成は閲覧ソフトではできないため、画像ファイル生成プログラムの需要も高まり、さらに利用の拡大が期待できる。   In addition to the apparatus and program having the above-described image data generation and editing functions, a simple browsing apparatus or browsing program that can be browsed by omitting such functions can be provided. In other words, the software is limited so that it is possible to change the display, viewpoint, and enlargement ratio of the three-dimensional data and the two-dimensional data, but cannot generate the three-dimensional data. For example, by sending or distributing a browsing program together with 2D image data with 3D data, 3D image data can be displayed without a dedicated image file generation program. For example, if the browsing program can be downloaded from a specific home page and distributed free of charge, anyone can use the created three-dimensional image data. In addition, since 3D image data cannot be generated by browsing software, the demand for image file generation programs increases, and further expansion of use can be expected.

上記のように2次元画像データに埋め込まれる3次元画像データは、圧縮してデータ容量をコンパクトにすることもできる。3次元画像データのデータ領域を既知の圧縮アルゴリズムで圧縮し、データサイズを小さくする。特に3次元画像データはデータサイズが大きくなる傾向にあるので、圧縮することで記憶領域を圧迫せず、また転送が容易となる。   As described above, the three-dimensional image data embedded in the two-dimensional image data can be compressed to reduce the data capacity. The data area of the three-dimensional image data is compressed with a known compression algorithm to reduce the data size. In particular, since the data size of 3D image data tends to increase, compression does not compress the storage area and facilitates transfer.

さらに、3次元画像データを暗号化して記録することもできる。データを暗号化することによってセキュリティを高め、情報漏洩のリスクを低減できる。暗号化のアルゴリズムも既知のアルゴリズムが適宜利用できる。   Further, the three-dimensional image data can be encrypted and recorded. Encrypting data can increase security and reduce the risk of information leakage. As the encryption algorithm, a known algorithm can be used as appropriate.

なお3次元画像データを埋め込む2次元画像データは、3次元画像データに基づいて取得した画像に限られず、任意の画像を利用できることはいうまでもない。例えば、3次元画像データを生成する際の基準となった複数の2次元画像データから任意の一枚を選択して、選択された2次元画像データを3次元画像データの埋め込み先とする。あるいは、3次元画像データと無関係な2次元画像に3次元画像データを埋め込むことも可能である。例えば、機密性の求められる3次元画像データを電子メールなどで送信する際に、意図的に無関係な2次元画像に埋め込むことで、万一第三者に盗み見られた場合でも偽装して隠蔽できる。   Needless to say, the two-dimensional image data in which the three-dimensional image data is embedded is not limited to an image acquired based on the three-dimensional image data, and any image can be used. For example, any one piece is selected from a plurality of two-dimensional image data used as a reference when generating the three-dimensional image data, and the selected two-dimensional image data is set as an embedding destination of the three-dimensional image data. Alternatively, it is possible to embed 3D image data in a 2D image unrelated to the 3D image data. For example, when transmitting 3D image data that requires confidentiality by e-mail or the like, it can be hidden by a third party by embedding it in an intentionally unrelated 2D image. .

本発明の拡大観察装置、画像ファイル生成装置、画像ファイル生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体は、顕微鏡やデジタルマイクロスコープ、デジタルカメラに利用して、3次元画像データを含む2次元画像を生成し閲覧できる。   The magnification observation apparatus, image file generation apparatus, image file generation program, and computer-readable recording medium of the present invention generate a two-dimensional image including three-dimensional image data using a microscope, a digital microscope, and a digital camera. And browse.

本発明の実施の形態に係る拡大観察装置の外観図である。1 is an external view of a magnification observation apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施の形態に係る拡大観察装置のブロック図である。It is a block diagram of the magnification observation device concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施の形態に係る拡大観察装置のブロック図である。It is a block diagram of the magnification observation apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 高さzに対する受光データの変化を示すグラフである。It is a graph which shows the change of the received light data with respect to height z. 3次元データの撮像方法の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the imaging method of three-dimensional data. JPEG圧縮データの基本構造を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the basic structure of JPEG compression data. 図6のExif IFDに記録される付属情報を示す一覧表である。It is a list which shows the attached information recorded on Exif IFD of FIG. 3次元データの保存方法の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the preservation | save method of three-dimensional data. 本発明の実施の形態に係る画像ファイル生成装置で生成されるファイル構成の一例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows an example of the file structure produced | generated by the image file production | generation apparatus which concerns on embodiment of this invention.

10・・・撮像部
10a・・・カメラ
11・・・光学系
12、212・・・CCD
13、213・・・CCD制御回路
14・・・光路シフト部
20・・・ステージ昇降器
21・・・ステッピングモータ
22・・・モータ制御回路
30・・・ステージ
41・・・スタンド台
42・・・支柱
43・・・カメラ取り付け部
50・・・情報処理装置
51・・・制御部
52・・・表示部
53・・・メモリ
54・・・インターフェイス
55・・・操作部
55A・・・ポインティングデバイス
55a・・・マウス
55b・・・左ボタン
55c・・・右ボタン
55d・・・スクロールボタン
60・・・照明部
60A・・・落射照明
60B・・・透過照明
61・・・光ファイバー
62・・・コネクタ
70・・・コンピュータ
100・・・第一の光学系
101・・・レーザ
102・・・第一のコリメートレンズ
103・・・偏光ビームスプリッタ
104・・・1/4波長板
105・・・水平偏向装置
106・・・垂直偏向装置
107・・・第一のリレーレンズ
108・・・第二のリレーレンズ
109・・・対物レンズ
110・・・結像レンズ
111・・・ピンホール板
112・・・フォトダイオード
113・・・A/Dコンバータ
115・・・レーザ駆動回路
200・・・第二の光学系
201・・・白色ランプ
202・・・第二のコリメートレンズ
203・・・第1ハーフミラー
204・・・第2ハーフミラー
S・・・試料
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Imaging part 10a ... Camera 11 ... Optical system 12, 212 ... CCD
DESCRIPTION OF SYMBOLS 13, 213 ... CCD control circuit 14 ... Optical path shift part 20 ... Stage elevator 21 ... Stepping motor 22 ... Motor control circuit 30 ... Stage 41 ... Stand stand 42 ... Support column 43 ... Camera mounting unit 50 ... Information processing device 51 ... Control unit 52 ... Display unit 53 ... Memory 54 ... Interface 55 ... Operation unit 55A ... Pointing device 55a ... Mouse 55b ... Left button 55c ... Right button 55d ... Scroll button 60 ... Illumination unit 60A ... Epi-illumination 60B ... Transmitted illumination 61 ... Optical fiber 62 ... Connector 70 ... Computer 100 ... First optical system 101 ... Laser 102 ... First collimating lens 103 ... Polarization beam Splitter 104 ... 1/4 wavelength plate 105 ... Horizontal deflection device 106 ... Vertical deflection device 107 ... First relay lens 108 ... Second relay lens 109 ... Objective lens 110 · ··· Imaging lens 111 ··· Pinhole plate 112 ··· Photodiode 113 ··· A / D converter 115 · · · Laser drive circuit 200 · · · Second optical system 201 · · · White lamp 202 · · · ..Second collimating lens 203 ... first half mirror 204 ... second half mirror S ... sample

Claims (16)

観察対象を撮像して2次元観察画像データを取得するための撮像部と、
前記撮像部で取得した複数の2次元観察画像データと、撮像時の高さ情報に基づいて、3次元の観察画像データを生成するための制御部と、
前記制御部で生成された3次元の観察画像データを表示するための表示部と、
前記表示部で表示される3次元画像データを任意の2次元画像データに埋め込んで、一の画像データファイルとして出力するための出力部と、
前記出力部で出力された画像データファイルを保存するための画像データ記憶部と
を備え
前記出力部で3次元画像データを埋め込む先の2次元画像データが、前記表示部で表示される3次元画像を所望の表示状態として取得された2次元画像データであることを特徴とする拡大観察装置。
An imaging unit for imaging an observation target and acquiring two-dimensional observation image data;
A plurality of two-dimensional observation image data acquired by the imaging unit and a control unit for generating three-dimensional observation image data based on height information at the time of imaging;
A display unit for displaying the three-dimensional observation image data generated by the control unit;
An output unit for embedding the three-dimensional image data displayed on the display unit in arbitrary two-dimensional image data and outputting it as one image data file;
An image data storage unit for storing the image data file output by the output unit ,
Expanding the two-dimensional image data to which the embedding three-dimensional image data by the output unit, characterized in Oh Rukoto a two-dimensional image data acquired a three-dimensional image to be displayed as desired display state on the display unit Observation device.
請求項1に記載の拡大観察装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データに関する情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする拡大観察装置。
The magnification observation device according to claim 1,
An enlarged observation apparatus, wherein information relating to 3D image data embedded in 2D image data by the output unit is recorded in an area available to a user in a 2D image data format.
請求項2に記載の拡大観察装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる前記3次元画像データに関する情報として、3次元画像データを結合していることを示すフラグデータ、3次元画像データの結合領域アドレス、3次元画像データのサイズの少なくともいずれかを含む情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする拡大観察装置。
The magnification observation apparatus according to claim 2,
As the information related to the 3D image data embedded in the 2D image data in the output unit, flag data indicating that the 3D image data is combined, a combined area address of the 3D image data, and the 3D image data An enlargement observation apparatus, wherein information including at least one of sizes is recorded in an area available to a user in a two-dimensional image data format.
請求項1からのいずれかに記載の拡大観察装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データのデータ領域を圧縮することを特徴とする拡大観察装置。
The magnification observation apparatus according to any one of claims 1 to 3 ,
A magnification observation apparatus that compresses a data area of 3D image data embedded in 2D image data by the output unit.
請求項1からのいずれかに記載の拡大観察装置であって、
前記出力部で出力される2次元画像データのフォーマットが、jpegまたはtiffのいずれかであることを特徴とする拡大観察装置。
The magnification observation apparatus according to any one of claims 1 to 4 ,
A magnification observation apparatus, wherein a format of two-dimensional image data output from the output unit is either jpeg or tiff.
2次元画像データと、該2次元画像データ撮像時の高さ情報とを取得するための入力部と、
前記入力部で取得した複数の2次元観察画像データと相対高さ情報に基づいて、3次元の画像データを生成するための制御部と、
前記制御部で生成された3次元画像データを任意の2次元画像データに埋め込んで、一の画像データファイルとして出力するための出力部と、
前記出力部で出力された画像データファイルを保存するための画像データ記憶部と、
を備え
前記出力部で3次元画像データを埋め込む先の2次元画像データが、前記表示部で表示される3次元画像を所望の表示状態として取得された2次元画像データであることを特徴とする画像ファイル生成装置。
An input unit for acquiring two-dimensional image data and height information at the time of capturing the two-dimensional image data;
A control unit for generating three-dimensional image data based on a plurality of two-dimensional observation image data and relative height information acquired by the input unit;
An output unit for embedding the three-dimensional image data generated by the control unit in arbitrary two-dimensional image data and outputting it as one image data file;
An image data storage unit for storing the image data file output by the output unit;
Equipped with a,
2-dimensional image data to which the embedding three-dimensional image data by said output unit, an image characterized by Oh Rukoto a three-dimensional image by the two-dimensional image data obtained as a desired display state displayed on the display unit File generator.
請求項に記載の画像ファイル生成装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データに関する情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする画像ファイル生成装置。
The image file generation device according to claim 6 ,
An image file generating apparatus, wherein information relating to 3D image data embedded in 2D image data by the output unit is recorded in an area available to a user in a 2D image data format.
請求項に記載の画像ファイル生成装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる前記3次元画像データに関する情報として、3次元画像データを結合していることを示すフラグデータ、3次元画像データの結合領域アドレス、3次元画像データのサイズの少なくともいずれかを含む情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする画像ファイル生成装置。
The image file generation device according to claim 7 ,
As the information related to the 3D image data embedded in the 2D image data in the output unit, flag data indicating that the 3D image data is combined, a combined area address of the 3D image data, and the 3D image data An image file generation apparatus, wherein information including at least one of sizes is recorded in an area available to a user in a two-dimensional image data format.
請求項からのいずれかに記載の画像ファイル生成装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データのデータ領域を圧縮することを特徴とする画像ファイル生成装置。
The image file generation device according to any one of claims 6 to 8 ,
An image file generation apparatus, wherein the output unit compresses a data area of 3D image data embedded in 2D image data.
請求項からのいずれかに記載の画像ファイル生成装置であって、
前記出力部で出力される2次元画像データのフォーマットが、jpegまたはtiffのいずれかであることを特徴とする画像ファイル生成装置。
The image file generation device according to any one of claims 6 to 9 ,
The image file generating apparatus, wherein the format of the two-dimensional image data output from the output unit is either jpeg or tiff.
2次元画像データと、該2次元画像データ撮像時の相対高さ情報とを取得する機能と、
取得した複数の2次元観察画像データと相対高さ情報に基づいて、3次元の画像データを生成する機能と、
生成された3次元画像データを任意の2次元画像データに埋め込んで、一の画像データファイルとして出力する機能と、
出力された画像データファイルを保存する機能と
をコンピュータに実現させ
前記3次元画像データを埋め込む先の2次元画像データが、3次元画像データを所望の表示状態として取得された2次元画像データであることを特徴とする画像ファイル生成プログラム。
A function of acquiring two-dimensional image data and relative height information at the time of imaging the two-dimensional image data;
A function of generating three-dimensional image data based on a plurality of acquired two-dimensional observation image data and relative height information;
A function of embedding the generated 3D image data in arbitrary 2D image data and outputting it as one image data file;
The computer has a function to save the output image data file ,
The 2-dimensional image data to which the embedding three-dimensional image data, the image file creation program characterized Oh Rukoto a two-dimensional image data acquired three-dimensional image data as a desired display state.
請求項11に記載の画像ファイル生成プログラムであって、
2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データに関する情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする画像ファイル生成プログラム。
An image file generation program according to claim 11 ,
An image file generation program for recording information on 3D image data embedded in 2D image data in an area available to a user in a 2D image data format.
請求項12に記載の画像ファイル生成プログラムであって、
前記3次元画像データに関する情報として、3次元画像データを結合していることを示すフラグデータ、3次元画像データの結合領域アドレス、3次元画像データのサイズの少なくともいずれかを含む情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする画像ファイル生成プログラム。
An image file generation program according to claim 12 ,
As information about the three-dimensional image data, information including at least one of flag data indicating that the three-dimensional image data is combined, a combined area address of the three-dimensional image data, and a size of the three-dimensional image data is two-dimensional. An image file generation program for recording in an area available to a user in an image data format.
請求項11から13のいずれかに記載の画像ファイル生成プログラムであって、
2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データのデータ領域を圧縮することを特徴とする画像ファイル生成プログラム。
An image file generation program according to any one of claims 11 to 13 ,
An image file generation program for compressing a data area of 3D image data embedded in 2D image data.
請求項11から14のいずれかに記載の画像ファイル生成プログラムであって、
前記2次元画像データのフォーマットが、jpegまたはtiffのいずれかであることを特徴とする画像ファイル生成プログラム。
The image file generation program according to any one of claims 11 to 14,
An image file generation program characterized in that the format of the two-dimensional image data is either jpeg or tiff.
請求項11から15のいずれかに記載される画像ファイル生成プログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体。 A computer-readable recording medium storing the image file generation program according to any one of claims 11 to 15 .
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