JP4240944B2 - 純水製造装置の施工方法、及び純水供給装置 - Google Patents
純水製造装置の施工方法、及び純水供給装置 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
【0002】
本発明は、移動式純水製造装置の仮設施工を併用した純水製造装置の施工方法に関する。
【0003】
【従来の技術】
従来、超純水製造装置は、純水を必要とする半導体等の製造会社等の客先から引合いを受け、客先から提供される処理仕様を検討した上で、その処理仕様を満足する純水製造装置の計画設計が行われる。その設計結果は、客先に提示され、客先側の処理仕様の変更を受ける等、必要な交渉を経て受注を受ける。この受注後、生産に移すための本設計が行われ、この設計に基づいて機材の調達等が行われた後、需要地での工事が行われ、試運転を経た後、引渡しが行われる。引合いから引渡しに至るまでの期間は長期に亘り、本設計から引渡しまでの時間だけ見ても相当な長い期間となる。
【0004】
そして、純水製造装置は、複数のシステム及び装備を備えたものであることから、純水の需要家の要求、純水の質、生産水量、原水の質、設置面積等の各種の条件に応じてその規模や装備の形態が異なり、ユースポイントに対応する処理仕様の決定には相当な時間を要するし、本設計に基づく各機器は純水製造装置メーカの制作工場で制作が行われ、各機器を需要家側に搬入し、組立、通水試運転等を経て引渡しが行われている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、純水や超純水を必要とする半導体製造工場等で、純水製造装置を設置する場合には、例えば、純水製造装置を構成する配管等の部品や逆浸透膜・イオン交換樹脂塔等のユニットを現地に集め、それらを組み立て、試運転や洗浄運転を実施した後、ユースポイントへの純水供給を行う場合、純水製造装置の設置が完了するまで、ユースポイントでの純水利用が不可能であり、洗浄を必要とする工場内の機器類の試運転等が行えず、製造工場の立上げでは工場全体の工事期間の短縮化を妨げる要因となっていた。
【0006】
そこで、本発明は、純水製造装置の施工期間及び立上げ期間を短縮させてユースポイントへの純水供給を可及的速やかに行うことができる純水製造装置の施工方法を提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決した本発明の純水製造装置の施工方法は次の通りである。
【0008】
請求項1に係る純水製造装置の施工方法は、純水の需要場所に純水製造装置を組立て施工する純水製造装置の施工方法であって、搬送可能な単位スキッドに分割できる第1の純水製造装置(2)を施工すべき前記需要場所に前記第1の純水製造装置の施工前に、前記需要場所に供給すべき前記純水の製造に関する情報に基づいて選定した移動可能な第2の純水製造装置(4)を前記需要場所に仮設置する工程と、前記第2の純水製造装置により製造される純水をユースポイント(6)へ供給する工程と、前記第1の純水製造装置の施工完了後、前記ユースポイントへの純水の供給を前記第2の純水製造装置から前記第1の純水製造装置に切り替える工程とを含むことを特徴とする。
請求項2に係る純水製造装置の施工方法は、純水の需要場所に純水製造装置を組立て施工する純水製造装置の施工方法であって、搬送可能な単位スキッドに分割できる第1の純水製造装置を施工すべき前記需要場所に前記第1の純水製造装置の施工前に前記需要場所に供給すべき前記純水の製造に関する情報を入手し、移動可能な第2の純水製造装置を前記情報に基づいて選定して前記需要場所に仮設置し、前記第2の純水製造装置と前記需要場所のユースポイントとの間に前記純水の流路を設定する工程と、前記第2の純水製造装置により製造された純水を前記ユースポイントへ供給する工程と、前記需要場所に前記第1の純水製造装置の施工を完了した後、前記第1の純水製造装置と前記ユースポイントとの間に流路を設置し、前記ユースポイントに対する前記第2の純水製造装置側から前記第1の純水製造装置への流路切替えにより、前記ユースポイントへの純水の供給を前記第2の純水製造装置から前記第1の純水製造装置に切り替える工程とを含むことを特徴とする。
【0009】
請求項3に係る純水製造装置の施工方法は、請求項1又は2のいずれか1項に係る純水製造装置の施工方法において、前記情報は前記需要場所の必要な水量、水質情報を用いて前記第2の純水製造装置を選定することを特徴とする。
請求項4に係る純水製造装置の施工方法は、請求項1乃至3のいずれか1項に係る純水製造装置の施工方法において、前記第1の純水製造装置の製造工程が、前記第1の純水製造装置の製造工場における試組み、水運転の後、輸送可能な大きさの要素に分解する工場試組み工程と、分解された前記要素を前記需要場所に輸送する輸送工程と、前記需要場所で本組みを行う本組み工程とを含んでいることを特徴とする。
請求項5に係る純水製造装置の施工方法は、請求項1乃至4のいずれか1項に係る純水製造装置の施工方法において、前記第2の純水製造装置が、一次純水システムを有し、該システムを構成する要素が処理仕様毎に構成されることを特徴とする。
請求項6に係る純水製造装置の施工方法は、請求項1乃至5のいずれか1項に係る純水製造装置の施工方法において、前記第2の純水製造装置が、一次純水システムと、前処理システム及びサブシステムとを有し、該システムを構成する要素が処理仕様毎に構成されることを特徴とする。
請求項7に係る純水製造装置の施工方法は、請求項5、6のいずれか1項に係る純水製造装置の施工方法において、前記一次純水システムを構成する要素として、電気式脱イオン装置、混床式イオン交換樹脂塔、脱気膜ユニット及び電気式脱イオン装置のいずれかと、活性炭塔、逆浸透膜とを少なくとも有することを特徴とする。
請求項8に係る純水製造装置の施工方法は、請求項6、7のいずれか1項に係る純水製造装置の施工方法において、前記サブシステムを構成する要素として、サブタンク、サブポンプ、UV殺菌機、混床式イオン交換樹脂塔、UF膜ユニットからなる群から選ばれることを特徴とする。
請求項9に係る純水製造装置の施工方法は、請求項5乃至7のいずれか1項に係る純水製造装置の施工方法において、前記各システムを構成する要素が、単一のフレーム内に搭載されることを特徴とする。
請求項10に係る純水供給装置は、純水の需要場所で純水を製造し、その純水を前記需要場所のユースポイントに供給する純水供給装置であって、搬送可能な単位スキッドに分割でき、原水の供給により純水を製造する第1の純水製造装置の前記需要場所に、前記第1の純水製造装置の施工前に前記純水の製造に関する情報に基づいて選定されて仮設置され、原水の供給により純水を製造する移動可能な第2の純水製造装置と、前記第2の純水製造装置と前記ユースポイントとの間に設置され、前記第2の純水製造装置により製造された純水を前記ユースポイントへ供給する流路と、前記需要場所に施工された前記第1の純水製造装置と前記ユースポイントとの間に設置され、前記第1の純水製造装置により製造された純水を前記ユースポイントへ供給する流路と、前記ユースポイントに対して前記流路を前記第2の純水製造装置側から前記第1の純水製造装置側へ切り替え、前記ユースポイントへの純水の供給元を前記第2の純水製造装置から前記第1の純水製造装置に切り替える流路切替手段とを含み、前記第1の純水製造装置が施工完了前の仮設置の純水供給装置であることを特徴とする。
請求項11に係る純水供給装置は、請求項10に記載の純水供給装置において、前記第1の純水製造装置に併設された流路を備え、該流路を用いて前記純水を施工途上の前記第1の純水製造装置に供給可能にしたことを特徴とする。
【0010】
このような純水製造装置の施工方法によれば、需要場所への第1の純水製造装置の施工に先駆けて移動可能な第2の純水製造装置を設置してユースポイントに純水供給を行って純水需要を満たし、第1の純水製造装置の施工完了の後、第2の純水製造装置から第1の純水製造装置に純水供給を切り替えるので、純水供給が可能な施工期間及び立上げ期間を飛躍的に短縮でき、例えば、工場全体の工事期間の短縮をも図ることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
【0012】
図1は、本発明の第1の実施の形態である純水製造装置の施工方法を示している。
【0013】
第1の純水製造装置2は、需要場所である工場に施工が予定されている純水製造設備であり、第2の純水製造装置4は、仮設の純水製造設備であって、移動式の純水製造設備である。この純水製造装置の施工方法は、純水製造装置を施工すべき需要場所に純水製造装置2の施工前に移動可能な純水製造装置4を仮設置する純水製造装置4の仮設工程、純水製造装置4で製造される純水をユースポイント6へ供給する純水製造及び供給工程、純水製造装置2の施工を行う純水製造装置2の施工工程、ユースポイント6への純水の供給を純水製造装置4から純水製造装置2に切り替える純水供給の切替工程等から構成される。
【0014】
(1) 純水製造装置4の仮設工程
純水製造装置2が立ち上がるまでに必要な水量、水質情報を使用者から入手し、その情報に基づき、移動式の純水製造装置4の選定を行う。選定した純水製造装置4を工場内の設置可能な場所に設置し、ユースポイント6への水の供給を行う。このとき、本設置の純水製造装置2への切替えを前提とした配管構成とする。例えば、純水製造装置2からユースポイント6に至る配管8、純水製造装置4からユースポイント6に至る配管10とともに、切替手段として切替弁12等を設置し、ユースポイント6側の配管8の設置工事を完了させた後、流路切替えを可能にしておく。そして、この実施の形態では、切替弁14、16及び配管18が設置されており、純水製造装置4で製造された純水を矢印Wで示すように、ユースポイント6に供給可能とするとともに、切替弁14、16を切り替えることにより、配管18から純水製造装置2に流し込み、製造途上の純水製造装置2の洗浄等に供することができ、純水製造装置2の調整期間の短縮化に寄与することができる。
【0015】
(2) 純水製造及び供給工程
純水製造装置4が施工を完了すれば、純水製造装置2が施工完了前、仮設の純水製造装置4から純水をユースポイント6に供給することができる。
【0016】
(3) 純水製造装置2の施工工程
純水製造装置2は公知の施工方法を選択してもよく、また、例えば、製造工場における試組み、水運転の後、輸送可能な大きさの要素に分解する工場試組み工程と、分解された要素を需要場所に輸送する輸送工程と、需要場所で本組みを行う本組工程とを含む施工方法を採用してもよい。即ち、純水製造装置2を搬送可能な単位スキッドに分割して、各単位スキッド毎に組み立て、各単位スキッドを純水製造装置2に工場で組み立て、試運転及び純水又は超純水洗浄を行った後に、単位スキッドに分割し、使用場所へ搬送できるようにする。現地工事時間が単位スキッドの組立時間と短い洗浄のみで済むため、従来の施工方法に比較して短時間で純水製造装置2を立ち上げ、ユースポイント6の要求仕様の必要量の純水が供給可能となる。
【0017】
(4) 純水供給の切替工程
純水製造装置2の施工完了の後、切替弁16を開いて純水製造装置2を稼働させるとともに、純水製造装置4の稼働を停止させ、切替弁12を純水製造装置2側に切り替えることにより、純水製造装置2で製造された純水をユースポイント6に供給する。純水製造装置4は、移動可能な純水製造設備であることから、純水供給の切替えの後、移動撤去を行う。
【0018】
以上説明したように、この施工方法によれば、純水製造装置2を施工期間及び立上げ期間内に移動式の純水製造装置4を速やかに立ち上げれば、純水製造装置2の施工期間及び立上げ期間内において、この純水製造装置4で得られる純水をユースポイント6に供給することができ、純水の供給開始時期を飛躍的に早めることができ、工場内の機器類の洗浄、試運転を早期に行えるので、ユースポイント6である工場の立上げ期間を大幅に短縮することができる。
【0019】
次に、この純水製造装置の施工方法について、純水製造装置4の仮設工程における純水製造装置4の施工例を説明すると、例えば、図2に示すように、純水製造装置4は、前処理システム20、一次純水システム22及びサブシステム24を備えた移動可能な設備である。この場合、コンテナ輸送等の可搬可能性及び機能性から、コンテナ等、トラック輸送可能な単一のフレーム内に搭載可能な単位として、前処理システム20を構成する要素としてDモジュール、一次純水システム22を構成する要素としてA1 モジュール、A2 モジュール、B1 モジュール・・・B5 モジュール、Cモジュール、サブシステム24を構成する要素としてSモジュールが処理仕様毎に構成される。
【0020】
ここで、A1 モジュール、A2 モジュールは、活性炭塔、保安フィルタ、逆浸透膜(RO膜)及び電気式脱イオン装置(KCDI)を有することを基本構成としたシステムであり、B1 モジュール〜B5 モジュールは、A1 モジュール、A2 モジュールにおけるKCDIがデミナーであることを基本構成としたシステムである。Cモジュールは、脱気膜ユニット及び電気式脱イオン装置(KCDI)を備えることを基本構成としたシステムである。また、Dモジュールは例えば、膜式前処理システム・モジュールであり、Sモジュールは例えば、サブタンク、サブポンプ、UV殺菌機、デミナー及びUF膜ユニットを備えた超純水を得るためのサブシステム・モジュールである。
【0021】
そこで、この純水製造装置4では、A1 モジュール、A2 モジュール、B1 モジュール・・・B5 モジュール、Cモジュールの何れかのモジュール単体で純水製造装置を構成する第1のパターン、DモジュールとA1 モジュール、A2 モジュール、B1 モジュール・・・B5 モジュール、Cモジュールの何れかとの組合せからなる2つのモジュールによって純水製造装置を構成する第2のパターン、A1 モジュール、A2 モジュール、B1 モジュール・・・B5 モジュール、Cモジュールの何れかとSモジュールとの組合せからなる2つのモジュールによって純水製造装置を構成する第3のパターン、DモジュールとA1 モジュール、A2 モジュール、B1 モジュール・・・B5 モジュール、Cモジュールの何れかとSモジュールとの組合せからなる3つのモジュールによって純水製造装置を構成する第4のパターンがある。モジュールの組合せによる、システム数を見ると、一次純水システム22のA1 モジュール〜Cモジュールの選択で8通り、A1 モジュール〜CモジュールとDモジュールとの組合せで8通り、A1 モジュール〜CモジュールとSモジュールとの組合せで8通り、DモジュールとA1 モジュール〜CモジュールとSモジュールとの組合せで8通りとなり、24通りのシステムが構成されることになる。これらのパターンは、原水の質、純水の質等で選択され、また、各モジュールには、水量等の仕様に応じて各種のシステムが構成される。従って、需要家は所望の仕様のモジュール選択を基礎として複数種の純水製造装置4から所望の仕様のものを選択することができることになる。
【0022】
この純水製造装置4は、例えば、図3に示すプログラムに従って設計し、製造することができる。ステップS1では、要求される水質が判定され、その水質が高い場合にはステップS2に移行し、その水質が低い場合にはステップS3に移行する。具体的な処理水質としては、5.0〔MΩ・cm〕の高純度が要求されているか、1.0〔MΩ・cm〕程度の低純度が要求されているかが判定され、水質が高い場合にはKCDI搭載型であるA1 モジュール、A2 モジュール又はCモジュールが候補となり、水質が低い場合にはデミナー搭載型であるB1 モジュール〜B5 モジュールが候補となる。
【0023】
ステップS4では、より高純度化が必要であるか否かが判定され、具体的には脱気膜処理が必要であるか否かが判定される。脱気膜処理が必要である場合にはステップS5に移行し、Cモジュールが選択される。また、脱気膜処理が必要でない場合にはステップS6に移行して処理水量を決定し、その結果、ステップS7でその処理水量に応じてA1 モジュールかA2 モジュールかが選択される。因みに、処理水量が例えば、10.0〔m3 /h〕の場合にはA1 モジュール、15.0〔m3 /h〕の場合にはA2 モジュールが選択される。この場合、処理水量が不足する場合には複数台のA1 モジュール、A2 モジュールの組合せが必要となる。例えば、処理水量が30.0〔m3 /h〕の場合には2台のA2 モジュール等の組合せが可能である。
【0024】
また、ステップS8においても、同様に、処理水量が決定され、その結果、ステップS9でその処理水量に応じてB1 モジュール〜B5 モジュールの何れかが選択される。因みに、処理水量が例えば、1.0〔m3 /h〕の場合にはB1 モジュール、2.5〔m3 /h〕の場合にはB2 モジュール、5.0〔m3 /h〕の場合にはB3 モジュール、10.0〔m3 /h〕の場合にはB4 モジュール、15.0〔m3 /h〕の場合にはB5 モジュールが選択される。この場合、処理水量が不足する場合には複数台のB1 モジュール〜B5 モジュールの組合せが必要となる。
【0025】
また、ステップS10では、純水に更に高純度化が要求されているか否か、即ち、二次純水(超純水)の要否を判定し、二次純水が必要である場合にはステップS11に移行し、Sモジュールを選択する。そして、ステップS12では、処理対象である原水が市水であるか工業用水であるか、即ち、前処理が必要であるか否かを判定する。原水が工業用水である場合には、その原水中の濁質等を除去することが必要となり、その除去が可能なDモジュールが候補となる。そこで、ステップS13では、Dモジュールが選択される。
【0026】
そして、ステップS10で二次純水が必要でない場合、ステップS12で前処理が不要な場合、又はステップS13でDモジュールが選択された後、ステップS14に移行し、全体のシステムが決定される。
【0027】
この場合、A1 モジュール〜Cモジュールは、単一のモジュールで純水製造装置4が構成されるので、仮組立や分解を経て本組立を行う必要はないし、仮に、DモジュールやSモジュールが選択されても、コンテナ輸送で連結するだけで純水製造装置4を実現することができる。その結果、純水製造装置4を極めて短時間で施工でき、ユースポイント6に対して可及的速やかな純水供給が可能となる。
【0028】
ここで、A1 モジュール〜Sモジュールの具体例について示すと、例えば、図4の(a)に示すように、A1 モジュール及びA2 モジュールを構成し、、例えば、図4の(b)に示すように、B1 モジュール〜B5 モジュールを構成し、図4の(c)に示すように、Cモジュールを構成し、例えば、図5の(d)に示すように、Dモジュールを構成し、例えば、図5の(e)に示すように、Sモジュールを構成することができる。
【0029】
そして、A1 モジュール及びA2 モジュールの処理仕様の一例を示すと、例えば、表1のようになる。この場合、処理水量は原水水温25℃時であり、回収率は原水水温によって異なるが、表1中の数値は50%時である。
【0030】
【表1】
【0031】
また、B1 モジュール〜B5 モジュールの処理仕様の一例を示すと、例えば、表2のようになる。この場合、処理水量は原水水温25℃時であり、回収率は原水水温によって異なるが、表2中の数値は50%時である。
【0032】
【表2】
【0033】
次に、この純水製造装置の施工方法について、純水製造装置2の施工工程の具体的な施工例を説明すると、純水製造装置2は、例えば、図6に示すように、前処理システム30、一次純水システム32及びサブシステム34を備えるとともに、要素として原水槽スキッド36、ポンプスキッド38、前処理用スキッド40、脱炭酸塔スキッド42、活性炭スキッド44、一次純水システム用スキッド46、サブシステム用スキッド48を備えている。
【0034】
ポンプスキッド38は、直方体形状のフレーム内に前段ポンプP1 及び後段ポンプP3 を設置したものである。前処理スキッド40は、直方体形状のフレーム内に熱交換器(H/E)、中和槽、凝集槽、ポンプP2 及び精密濾過装置(MF)を設置したものである。
【0035】
一次純水システム用スキッド46は、直方体形状のフレーム内に精密濾過装置(MF)、ポンプP4 、第1逆浸透膜分離装置(RO1 )、第2逆浸透膜分離装置(RO2 )、脱気膜装置(MD)及び電気脱イオン装置(CDI)を設置したものである。
【0036】
サブシステム用スキッド48は、直方体形状のフレーム内にサブタンク、ポンプP5 、熱交換器(H/E)、紫外線照射装置(UV)、デミナー即ち、混床式イオン交換樹脂塔(DI)及び限外濾過装置(UF)を設置したものである。
【0037】
この実施の形態では、これら各スキッド36〜48として、それぞれユースポイント6での定格使用量が15m3 /H、30m3 /H、45m3 /H、60m3 /Hである場合に応じて、処理能力が異なる4機種を標準品として用意してある。そして、需要家の要求に応じ、これらの4機種中何れか又は複数を組み合わせることにより、必要供給水量に対処できるようにしている。
【0038】
需要箇所への納入機種及び時期が決まると、据付現場では据付用基礎工事の手配及び施工を開始するとともに、純水製造装置の製造工場では、上記の機種から選択された機種の単位スキッドを試組みし、純水により通水試運転を行う。この試組みに際しては、本組みと同様の組立てを行う。即ち、据付現場での単位スキッドの配置に正確に合致させて単位スキッドを配置し、単位スキッド同士を配管等の接続部材で接続する。また、各機器の通電用電力ケーブルの結線と、センサ類の取付け、リード線の引き回し、制御回路との結線等もすべて行う。
【0039】
この試組みの段階では、高純度の水質が要求されるサブシステム用スキッド48内のイオン交換樹脂及び活性炭等の充填物を充填しなければ、該充填物の汚染に配慮する必要がなく、試組み工程や分解工程等の処理が行うことができる。ただし、前処理用スキッド40、一次純水システム用スキッド46等の高純度水質を要求されないスキッドの場合には、充填物を充填しておけば、次工程の純水の通水試運転により、その充填物も洗浄でき、効果的である。
【0040】
そして、試組み終了後、純水を通水し、漏水の有無や計装用機器の作動チェックを行う。この通水試運転中に不具合箇所が発見されたときには、当該箇所の補修や、パーツ交換を行い、再度通水試運転を行う。この通水試運転は、各スキッド及びスキッド間の接合配管が十分に洗浄されるまで行えば、現場での通水試運転時間を短縮でき、これは施工期間を短縮する上で好ましい。
【0041】
通水試運転の結果、要求仕様に適合すれば、水を抜き、単位スキッド間の通水用接続や電線の結線を解除し、各機器の内部に窒素ガスを封入する。その後、各単位スキッドを据付現場にトラック搬送し、現場で組み立てる。この現場組立ては、単位スキッド間の通水用接続と電線の結線及びイオン交換樹脂、活性炭の充填程度で済み、施工は極めて簡単に行うことができる。
【0042】
完成した純水製造装置2は、既にその製造工場にて試組み及び通水試運転が終了しているので、現場での単位スキッド同士の接続関係に不一致等の不都合が生じることはなく、また、現場での通水試運転によって要求仕様に適合させることができる。従って、現場での施工期間を短縮でき、需要家に対する引渡し納期を遵守できる等、納期短縮を図ることができる。
【0043】
なお、図1に示した実施の形態では、1つの移動式の純水製造装置4で構成したが、例えば、図7に示すように、純水製造装置4に同様の純水製造装置5を併設し、ユースポイント6側の配管8に切替手段としての切替弁13を設置し、配管15を通して純水製造装置5で製造された純水をユースポイント6に供給するようにしてもよい。
【0044】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、顧客の要求する所望の処理仕様、需要に対応した品質の高い純水製造装置等を迅速且つ容易に実現することができ、工期の短縮化を図ることができ、工場全体の工事期間の短縮に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る純水製造装置の施工方法を示すブロック図である。
【図2】移動式の純水製造装置の構成例を示すブロック図である。
【図3】移動式の純水製造装置の製造方法を示すフローチャートである。
【図4】各種の純水製造装置の構成例を示すブロック図である。
【図5】各種の純水製造装置の構成例を示すブロック図である。
【図6】固定式の純水製造装置の構成例を示すブロック図である。
【図7】本発明の第2の実施の形態に係る純水製造装置の施工方法を示すブロック図である。
【符号の説明】
2 第1の純水製造装置
4 第2の純水製造装置
6 ユースポイント
Claims (11)
- 純水の需要場所に純水製造装置を組立て施工する純水製造装置の施工方法であって、
搬送可能な単位スキッドに分割できる第1の純水製造装置を施工すべき前記需要場所に前記第1の純水製造装置の施工前に、前記需要場所に供給すべき前記純水の製造に関する情報に基づいて選定した移動可能な第2の純水製造装置を前記需要場所に仮設置する工程と、
前記第2の純水製造装置により製造される純水をユースポイントへ供給する工程と、
前記第1の純水製造装置の施工完了後、前記ユースポイントへの純水の供給を前記第2の純水製造装置から前記第1の純水製造装置に切り替える工程と、
を含むことを特徴とする純水製造装置の施工方法。 - 純水の需要場所に純水製造装置を組立て施工する純水製造装置の施工方法であって、
搬送可能な単位スキッドに分割できる第1の純水製造装置を施工すべき前記需要場所に前記第1の純水製造装置の施工前に前記需要場所に供給すべき前記純水の製造に関する情報を入手し、移動可能な第2の純水製造装置を前記情報に基づいて選定して前記需要場所に仮設置し、前記第2の純水製造装置と前記需要場所のユースポイントとの間に前記純水の流路を設定する工程と、
前記第2の純水製造装置により製造された純水を前記ユースポイントへ供給する工程と、
前記需要場所に前記第1の純水製造装置の施工を完了した後、前記第1の純水製造装置と前記ユースポイントとの間に流路を設置し、前記ユースポイントに対する前記第2の純水製造装置側から前記第1の純水製造装置への流路切替えにより、前記ユースポイントへの純水の供給を前記第2の純水製造装置から前記第1の純水製造装置に切り替える工程と、
を含むことを特徴とする純水製造装置の施工方法。 - 前記情報は前記需要場所の必要な水量、水質情報を用いて前記第2の純水製造装置を選定することを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の純水製造装置の施工方法。
- 前記第1の純水製造装置の製造工程が、
前記第1の純水製造装置の製造工場における試組み、水運転の後、輸送可能な大きさの要素に分解する工場試組み工程と、
分解された前記要素を前記需要場所に輸送する輸送工程と、
前記需要場所で本組みを行う本組み工程と、
を含んでいることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の純水製造装置の施工方法。 - 前記第2の純水製造装置が、一次純水システムを有し、該システムを構成する要素が処理仕様毎に構成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の純水製造装置の施工方法。
- 前記第2の純水製造装置が、一次純水システムと、前処理システム及びサブシステムとを有し、該システムを構成する要素が処理仕様毎に構成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の純水製造装置の施工方法。
- 前記一次純水システムを構成する要素として、電気式脱イオン装置、混床式イオン交換樹脂塔、脱気膜ユニット及び電気式脱イオン装置のいずれかと、活性炭塔、逆浸透膜とを少なくとも有することを特徴とする請求項5、6のいずれか1項に記載の純水製造装置の施工方法。
- 前記サブシステムを構成する要素として、サブタンク、サブポンプ、UV殺菌機、混床式イオン交換樹脂塔、UF膜ユニットからなる群から選ばれることを特徴とする請求項6、7のいずれか1項に記載の純水製造装置の施工方法。
- 前記各システムを構成する要素が、単一のフレーム内に搭載されることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の純水製造装置の施工方法。
- 純水の需要場所で純水を製造し、その純水を前記需要場所のユースポイントに供給する純水供給装置であって、
搬送可能な単位スキッドに分割でき、原水の供給により純水を製造する第1の純水製造装置の前記需要場所に、前記第1の純水製造装置の施工前に前記純水の製造に関する情報に基づいて選定されて仮設置され、原水の供給により純水を製造する移動可能な第2の純水製造装置と、
前記第2の純水製造装置と前記ユースポイントとの間に設置され、前記第2の純水製造装置により製造された純水を前記ユースポイントへ供給する流路と、
前記需要場所に施工された前記第1の純水製造装置と前記ユースポイントとの間に設置され、前記第1の純水製造装置により製造された純水を前記ユースポイントへ供給する流路と、
前記ユースポイントに対して前記流路を前記第2の純水製造装置側から前記第1の純水製造装置側へ切り替え、前記ユースポイントへの純水の供給元を前記第2の純水製造装置から前記第1の純水製造装置に切り替える流路切替手段と、
を含み、前記第1の純水製造装置が施工完了前の仮設置の純水供給装置であることを特徴とする純水供給装置。 - 前記第1の純水製造装置に併設された流路を備え、該流路を用いて前記純水を施工途上の前記第1の純水製造装置に供給可能にしたことを特徴とする請求項10に記載の純水供給装置。
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