JP4226252B2

JP4226252B2 - Pressure abnormality detection device and automatic guided vehicle equipped with the same

Info

Publication number: JP4226252B2
Application number: JP2002038341A
Authority: JP
Inventors: 収司秋山; 克富田
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2002-02-15
Filing date: 2002-02-15
Publication date: 2009-02-18
Anticipated expiration: 2022-02-15
Also published as: JP2003243486A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure detecting means which can detect a plurality of abnormalities and an automatic guided vehicle which can properly indicate the presence or absence of a wafer on a single-transfer device by using the pressure detection means. SOLUTION: A pressure abnormality detection device having a pressure switch 56a and a pressure switch 56b has a mechanism wherein the pressure switch 56a transmits an off-signal in a prescribed pressure region between pressure (pa) and pressure (pb) and transmits an on-signal in other pressure regions; and the pressure switch 56b transmits an off-signal between pressure (pc) and pressure (pd) which are higher pressure or lower-pressure than the prescribed pressure of the pressure switch 56a, and transmits an on-signal in other pressure regions. A determination means for determining whether or not pressure is in a normal region or in an abnormal region by the combination of an on-signal and an off-signal transmitted therefrom is provided. COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、所定の圧力域にて発信される信号の組み合わせによって圧力が正常域か、異常域かを判定することが可能な圧力異常検出装置の構成、並びに、移載手段及び吸引保持手段と、この圧力異常検出装置とを備えた無人搬送車の構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体デバイス用等のウエハを一枚ずつ移載する枚葉移載装置、該ウエハを複数枚収納可能なバッファカセット、該ウエハの位置合わせを行うアライナーを搭載し、バッファカセットに収納されたウエハを枚葉移載装置により取り出し、アライナーにて所定の向きに位置合わせした上で、処理装置へ移載する無人搬送車が検討されている。
無人搬送車には吸引手段が備えられており、枚葉移載装置はウエハを吸引手段により吸着して移載を行う。この吸引手段は、エアコンプレッサーと、真空エジェクターと、配管と、保持バルブとを備えており、枚葉移載装置の板状物支持部であるピンセットに形成される吸引孔に接続されている。
ピンセットは、複数枚のウエハが若干の隙間を設けた積層状態で収納されるバッファカセットへの、ウエハの移載を可能とするため、厚みが非常に薄く造られているため、ウエハがピンセット上に載置されているか否かの確認を行う載荷センサを設けることができないという問題があった。
そこで、吸引手段の配管途中に圧力検知センサを設け、ウエハがピンセット上に載置されて正常に吸着されている場合に到達する圧力検知センサの圧力を検出することで、ピンセット上のウエハの有無を確認することが検討されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述の如く、圧力検知センサによりピンセット上のウエハの有無を確認するように構成した場合、ピンセット上に載置されているウエハが正常に吸着されているときには、ウエハの有無を正確に検出することができるが、ピンセット上にウエハが載置されてはいるが正常に吸着できていない場合や、吸引手段の配管詰まりや、圧力検知センサの断線等があった場合には、ウエハの有無を正確に検出することができないという問題があった。
そこで、本発明においては、圧力検知センサにより複数の異常を検知可能な圧力検知手段を提供すること、及びその圧力検知手段を用いることで、載荷センサを用いることなく、枚葉移載装置上のウエハの有無を正確に把握することができる無人搬送車を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するための手段を説明する。
即ち、請求項１においては、第一圧力検知部と第二圧力検知部とを備える圧力異常検知装置において、第一圧力検知部からの第一出力として、所定の圧力域である第一圧力値と第二圧力値との間においてオフ信号が出力され、その他の圧力域ではオン信号が出力されると共に、第二圧力検知部からの第二出力として、第一圧力検知部の前記所定の圧力域より低圧域である第三圧力値と第四圧力値との間において圧力が第四圧力値となるまでオン信号が出力され、圧力が一旦第四圧力値となった後に第四圧力値と第三圧力値との間にあるときにはオフ信号が出力されるが、圧力が第三圧力値になるとオン信号に切り替わり、再度第四圧力値になるまでオン信号が出力され、その他の圧力域ではオン信号が出力される機構をそれぞれ有し、第一出力がオフ信号で第二出力がオン信号の状態であるか、第一出力がオン信号で第二出力がオフ信号の状態であるか、第一出力と第二出力とがともにオン信号の状態であるか、によって圧力が正常域か、異常域かを判定する判定手段を設けた。
【０００５】
請求項２においては、減圧作動においては、前記第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値は、第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値の順に大きくなる値であり、第一圧力値と第二圧力値との間は、非作用時に通常発生するロスによって生じる減圧域であり、第三圧力値と第四圧力値との間は、正常に作用している減圧域であるように、第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値がそれぞれ設定される。
【０００６】
請求項３おいて、板状物を移載する移載手段と、該移載手段で板状物を吸引保持するための吸引保持手段と、吸引保持手段の吸引圧力の異常を検出するための請求項１から請求項２何れかに記載の圧力異常検出装置とを備えた。
【０００７】
請求項４において、前記圧力異常検出装置のオン信号及びオフ信号が、前記移載手段を具備する枚葉移載装置の動作シーケンスに組み込まれている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
次に、発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明を適用した実施の一形態の無人搬送車を示す側面図、図２は同じく平面図、図３は吸引手段のエア回路を示す回路図、図４は圧力検知センサの圧力スイッチからの出力と吸引手段の配管内圧力との関係を示す図、図５は圧力検知センサの表示部及び第二アームのストッパを示す平面図、図６は同じく側面図である。
【００１０】
本発明の無人搬送車の構成について説明する。
図１、図２に示す無人搬送車１は、下部の走行部２と、上部の作業部３とから構成され、
走行部２には、進行方向に対する左右に、無人搬送車１を走行可能とする走行車輪９・９・・・が備えられており、該走行部２により床面１１に敷設された走行レール１３上を走行するように構成されている。
走行車輪９・９・・は全輪駆動であり、同一の駆動モータ（不図示）の駆動力を分岐して、各々が駆動される。
【００１１】
作業部３には、本体の中央部にウエハ１０（図２図示）を移載するための枚葉移載装置５が設けられている。また、枚葉移載装置５の前後両側に、ウエハ１０の位置合わせを行うアライナー４、および複数枚のウエハ１０を収納可能なバッファカセット６が配置されている。
無人搬送車１は前後両側に走行可能であるが、以降の説明においてはアライナー４側を、無人搬送車１の前側とする。
なお、本実施の一形態の無人搬送車では、枚葉移載装置５により半導体のウエハ１０を移載するが、液晶ガラス板や樹脂パネル板などの板状物でも良い。
【００１２】
枚葉移載装置５には、二組のロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓが備えられている。無人搬送車１本体には基台２１が固設され、基台２１に対して昇降可能に設けられる昇降台２２には、ターンテーブル２３が水平方向へ回動可能に設けられ、ターンテーブル２３にロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓが設けられている。
ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓはそれぞれ、ウエハ１０を支持可能なピンセット３１Ｍ・３１Ｓと、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓとターンテーブル２３とを連結する第一アーム３２Ｍ・３２Ｓ、第二アーム３３Ｍ・３３Ｓとを備えている。
そして、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓは、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓをターンテーブル２３に対して、進退可能に構成されている。
【００１３】
無人搬送車１には、吸引手段１２が備えられており、ウエハ１０を支持するピンセット３１Ｍ・３１Ｓは、吸引手段１２によりウエハ１０を吸着可能としており、ウエハ１０の姿勢を保持しながら支持することができる。
即ち、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓの上面には、吸引手段１２に接続される吸引孔３１ａ・３１ａが形成されており、該吸引孔３１ａ・３１ａにより、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上に支持されるウエハ１０を吸着して保持するのである。
【００１４】
そして、枚葉移載装置５は、ウエハ１０を下方よりピンセット３１Ｍ・３１Ｓですくい上げるとともに吸着して支持し、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓの伸縮、およびターンテーブル２３の回転を行うことで、ウエハ１０の移載が可能である。尚、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上に支持しているウエハ１０をバッファカセット６内や処理装置上等に載置する際は、吸引孔３１ａ・３１ａによるウエハ１０の吸着を解除する。
【００１５】
アライナー４は、ウエハ１０の位置合わせをして、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓに対するウエハ１０の支持位置を整える装置である。ウエハ１０の支持位置を整えることで、無人搬送車１から処理装置のステーション（ウエハの載置部）へウエハ１０を移載する際等に、適確に載置することが可能となる。
【００１６】
また、バッファカセット６は、無人搬送車１側にウエハ１０を複数枚収納しておくための装置である。
バッファカセット６の前側（枚葉移載装置５を向く側）は開口しており、内部にはウエハ１０の両側端を支持するリブ３６・３６が、開口方向に対する左右に設けられて、多数段の棚が構成されている。
そして、ウエハ１０を保持したピンセット３１Ｍ・３１Ｓをバッファカセット６内部に挿入して、該ウエハ１０をリブ３６・３６上に載置することで、バッファカセット６に複数のウエハ１０を収納することが可能となっている。
【００１７】
次に、前記吸引手段１２について説明する。
図３に示すように、吸引手段１２は、エアコンプレッサ５１、吸着エア供給バルブ５２、真空エジェクタ５３、負圧保持バルブ５４、及びこれらを接続するエア配管を有しており、真空エジェクタ５３より先端側の負圧部分を、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓにおけるピンセット３１Ｍ・３１Ｓの吸引孔３１ａ・３１ａに接続している。
【００１８】
そして、吸着エア供給バルブ５２を開くと、コンプレッサ５１で圧縮されたエアが高速で真空エジュクタ５３に供給され、該真空エジェクタ５３より先端側の吸引孔３１ａ・３１ａに負圧が発生するため、該吸引孔３１ａ・３１ａによりウエハ１０を吸着することが可能となっている。
また、吸引孔３１ａ・３１ａにウエハ１０を吸着させた場合、真空エジェクタ５３から吸引孔３１ａ・３１ａまでの配管５７内はウエハ１０が吸引保持可能な程度の負圧状態となるが、負圧保持バルブ５４を閉じることで、この負圧状態を保持することが可能となっている。
さらに、吸引手段１２には、負圧開放用手動弁５５が設けられており、配管５７内の負圧状態を手動で開放できるように構成している。
【００１９】
また、配管５７には、該配管５７内の圧力を検知する圧力検知センサ５６が接続されている。
圧力検知センサ５６には、所定の圧力範囲でオン−オフの切り換えが行われる、
第一圧力検知部である圧力スイッチ５６ａと第二圧力検知部である圧力スイッチ５６ｂの二つが設けられており、それぞれの圧力スイッチ５６ａ・５６ｂが独立して、オン状態又はオフ状態の信号を外部に出力することができるように構成されている（以下、圧力スイッチ５６ａからの出力を第一出力と、圧力スイッチ５６ｂからの出力を第二出力という）。
そして、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂの出力により、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上にウエハ１０が載置されているか否かの判別を行うようにしている。
【００２０】
そして、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上にウエハ１０が載置されているか否かの判別は、吸引孔３１ａ・３１ａがウエハ１０を吸着して密閉されている状態と、吸引孔３１ａ・３１ａがウエハ１０を吸着しないで開放されている状態とでは、配管５７内の圧力が変わるため、この圧力の違いを圧力スイッチ５６ａ・５６ｂにより検出することで行っている。
しかし、吸引孔３１ａ・３１ａがウエハ１０により完全に密閉されている状態と、吸引孔３１ａ・３１ａが完全に開放されている状態との違いのみを検出するように構成していると、例えば、ウエハ１０と吸引孔３１ａ・３１ａとの間に異物を噛み込んたり、ウエハ１０の載置位置が正確でなかったりして、吸引孔３１ａ・３１ａが若干開放された状態となっている場合、配管５７に詰まりが生じた場合、及び圧力検知センサ５６に電気的な断線が生じた場合などには、これらの異常状況を把握することができず、ウエハ１０の載置状態も正確に検出することができない。
そこで、本案においては、圧力検知センサ５６を以下のように設定・制御することで、ウエハ１０の有無や異常状況を正確に把握できるようにしている。
【００２１】
図４に示すように、圧力スイッチ５６ａからは、配管５７内の圧力が第一圧力値である圧力ｐａから第二圧力値である圧力ｐｂの範囲内にあるときに、第一出力としてオフ信号が出力され、それ以外の圧力範囲にあるときにはオン信号が出力されるように設定している。
また、圧力スイッチ５６ｂからは、配管５７内の圧力が第四圧力値である圧力ｐｄとなるまで第二出力としてオン信号が出力され、圧力ｐｄに達すると、オン状態となっていた圧力センサ５６ｂがオフ状態に切り換わり、圧力が一旦圧力ｐｄとなった後に圧力ｐｄと圧力ｐｃとの間にあるときにはオフ信号が出力されるが、圧力上昇により配管内圧力が圧力ｐｃまで達すると、圧力センサ５６ｂがオン状態に切り換えられて、再度圧力ｐｄになるまでオン信号が出力されるように設定している。
尚、圧力ｐｃから圧力ｐｄまでの圧力範囲は、圧力ｐａから圧力ｐｂまでの圧力範囲よりも低圧である。また、各圧力ｐａ・ｐｂ・ｐｃ・ｐｄは全て負圧であり、圧力ｐａ、圧力ｐｂ、圧力ｐｃ、及び圧力ｐｄの順に低圧となっている。
【００２２】
ここで、各圧力ｐａ及び圧力ｐｂは、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上にウエハ１０が載置されず、吸引孔３１ａ・３１ａが完全に開放した状態で、吸着エア供給バルブ５２を開いた場合における配管５７内の圧力が、配管５７等で吸引抵抗の影響を受ける範囲の圧力ｐａから圧力ｐｂまでの範囲、すなわち、吸引・減圧作動しているが、ウエハ１０を保持する作用をしていないときに、配管５７内等で通常発生する減圧ロスによって生じる圧力域の値に設定している。
また、各圧力ｐｃ及び圧力ｐｄは、吸着エア供給バルブ５２が開いた状態で、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上にウエハ１０を載置して、吸引孔３１ａ・３１ａがウエハ１０により完全に閉じられた場合における配管５７内の圧力が、ウエハ１０が確実に真空吸着できる範囲の圧力ｐｃから圧力ｐｄまでの範囲内に含まれるような値に設定している。
【００２３】
そして、吸着エア供給バルブ５２が閉じた状態では配管５７内は大気開放されているため、該配管５７内の圧力は０（ｋＰａ）を示す。
また吸着エアバルブ５２が開かれている状態で配管５７に詰まりや破れなどの異常が生じているときには、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂにより検出される圧力は、圧力ｐａから圧力ｐｂの範囲から外れることになる。
つまり、配管５７が多少詰まっている状態では、吸引抵抗が通常の場合より若干増すため、圧力はｐｂから圧力ｐｃの範囲になる。
また、配管５７が完全に詰まっている状態では、吸引抵抗が増えて圧力ｐｄより低くなる。これは、作業者が誤ってピンセット３１Ｍ（３１Ｓ）上にウエハ１０を載置した場合も同様の圧力を示す。
また、配管５７が破れている状態では、大気が配管５７内に流入することで負圧を保てずに、圧力ｐａより高くなる。
このため、以上のような異常状態の時には、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの出力はいずれもオン状態を示す。
また、ウエハ１０とピンセット３１Ｍ（３１Ｓ）の間に異物がある場合や、ウエハ１０の位置ずれなどにより吸引孔３１ａ・３１ａが若干開放された状態となっている場合は、配管５７内の圧力は圧力ｐｂから圧力ｐｃまでの範囲内の値を示し、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの信号出力はともにオン状態となる。
なお、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂの断線および圧力スイッチ５６ａ・５６ｂ自身の異常を検出するために、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂは、通電しない状態ではオフ状態となり、通電するとオン信号を出力するようになっている。さらに、上記特定の場合にのみオフ信号を出力するようになっている。
したがって、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂを通電させた直後に、オフ状態からオン信号が出力されないときは、上記断線および圧力スイッチ５６ａ・５６ｂ自身の異常の可能性を検出できる。
【００２４】
以上のような特性を利用して、本無人搬送車１においては、ウエハ１０の有無や異常状況を、無人搬送車１に設けられる制御基板にて、次のようなシーケンスにより把握した上で、枚葉移載装置５でのウエハ１０の移載をするようにしている。
【００２５】
（１）まず、圧力検知センサ５６に電源供給がなされ、吸着エア供給バルブ５２が閉じた状態での、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの信号出力状態を確認する。
この場合、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂに断線が生じているなどの異常がなければ両圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの信号出力はオン状態となり、異常があれば異常がある圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの信号出力がオフ状態となる。
従って、この状態では、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂの断線や圧力スイッチ５６ａ・５６ｂ自体の故障などの異常の有無をチェックすることができ、制御基板では圧力スイッチ５６ａ・５６ｂがともにオン状態となっているかの確認がなされる。
【００２６】
（２）次に、（１）の状態で圧力スイッチ５６ａ・５６ｂがともにオン状態となっていることを確認すると、真空エジェクタ５３をオンするとともに、吸着エア供給バルブ５２が開かれる。
この状態では、ウエハ１０がピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上に載置されていなくて、配管５７に詰まりや破れなどの異常がない場合には、配管５７内の圧力は圧力ｐａから圧力ｐｂまでの範囲に収まり、圧力スイッチ５６ａの出力はオフ状態を、圧力スイッチ５６ｂの出力はオン状態を示す。
逆に、圧力スイッチ５６ａの出力がオフ状態、圧力スイッチ５６ｂの出力がオン状態を示していなければ、配管５７等に異常があると判断することができる。前述のように、配管５７が破れていても、多少詰まっていても、完全に詰まっていても、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂの出力は、ともにオン状態を示すからである。
従って、この状態にて配管５７の異常を検出することができる。
尚、この（２）の状態で圧力スイッチ５６ａ・５６ｂが、所定時間経過後にそれぞれオン状態・オン状態から、オン状態・オフ状態へ切り換わるようであれば、配管５７の異常ではなく、作業者によりピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上にウエハ１０が載置されている可能性が高い。
【００２７】
（３）さらに、（２）の状態に加えて、ウエハ１０をピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上に載置し、吸引孔３１ａ・３１ａに吸着させた状態とすると、ウエハ１０が吸引孔３１ａ・３１ａに正常に吸着されている場合には、配管５７内の圧力は低下していき、圧力ｐｄにまで達する。圧力がｐｄに達すると、圧力がｐｄより低い範囲でオン状態となっていた圧力センサ５６ｂの圧力がオフ状態に切り換わる。
逆に、ウエハ１０とピンセット３１Ｍ（３１Ｓ）との間に異物がある場合や、ウエハ１０の位置ずれなどにより吸引孔３１ａ・３１ａが若干開放された状態となっている場合は、配管５７内の圧力は圧力ｐｂから圧力ｐｃまでの範囲内の値を示し、圧力ｐｄまでは減少せず、圧力スイッチ５６ｂはオン状態を保ったままとなる。
これにより、ウエハ１０がピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上に正常に載置されているか否かの確認を行うことができ、正常に載置されていると判断されると、枚葉移載装置５によるウエハ１０の移載が行われる。
【００２８】
また、圧力がｐｄに達して圧力センサ５６ｂがオフ状態に切り換わると、真空エジェクタ５３が停止し、負圧保持バルブ５４を開状態から閉状態にすることによって、配管５７内が負圧状態に保持される。
真空エジェクタ５３を停止しての真空保持状態にあるときは、例えば、ウエハ１０とピンセット３１Ｍ・３１Ｓの隙間から大気が少しずつ配管５７内に侵入して徐々に配管内圧力が上昇していき、圧力上昇により配管内圧力が圧力ｐｃまで達すると、圧力センサ５６ｂがオン状態に切り換えられて、吸着エアバルブ５２が開状態となるとともに真空エジェクタ５３が再度運転を開始する。
このように、ウエハ１０をピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上で吸着して移載する際には、配管５７内の圧力を圧力ｐｃから圧力ｐｄの範囲内に保持して、確実かつ安定した姿勢でウエハ１０を移載するようにしている。
【００２９】
以上の如く、前述の（１）、（２）、（３）の各状態で異常の有無の検出が行われ、異常がない場合に限り（１）の状態から（２）の状態へ、（２）の状態から（３）の状態へ、（３）の状態からウエハ１０の移載動作へ、といったように、動作の切り換えが行われる。
一方、異常が検出された場合には、無人搬送車１の制御基板から上位の搬送車コントローラへ異常信号が出力されるとともに、無人搬送車１に設けられるパイロットランプが点灯される。また、搬送車コントローラは、無人搬送車１が設置される生産システムを管理しているホストコントローラへ異常信号を出力して、作業者に異常があったことを知らせるようにしている。
このため、本実施の一形態を示す無人搬送車１に、負圧によりウエハ１０を吸引・保持する枚葉移載装置５と、圧力センサ５６等を備えた圧力異常検出装置とを搭載し、移載動作のシーケンスプログラムに圧力異常検出装置の出力信号を利用することで、無人搬送車１でウエハ１０を目的の処理装置などに一枚ずつ確実に移載することができる。
また、移載動作中に異常があった場合には、速やかに作業者に知らせることができる。
【００３０】
このように、圧力検知センサ５６の圧力スイッチ５６ａ・５６ｂといったように、２系統の出力からの信号出力を組み合わせて判断を行うようにすることで、ウエハ１０が載置されているか否かの判断だけでなく、配管５７の異常や、圧力検知センサ５６自体の異常、及びウエハ１０の載置状態の異常などといった、複数の状況を判断することが可能となる。
【００３１】
また、圧力検知センサ５６における２系統の出力の内、一方の出力である圧力スイッチ５６ａが、ウエハ１０がピンセット３１Ｍ・３１Ｓへ載置されない状態で真空バルブ５４が開くとともに、真空エジェクタ５３が作動した際の配管の圧力範囲（圧力ｐａから圧力ｐｂまでの範囲）にて信号出力がオフ状態となり、他方の出力である圧力スイッチ５６ｂが、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓへ載置されたウエハ１０を正常な状態で吸着した際の圧力範囲（圧力ｐｃから圧力ｐｄまでの範囲）にて信号出力がオフ状態となるように設定し、それ以外では圧力スイッチ５６ａ・５６ｂがともにオン状態となるように設定しており、前述の複数の状況の判断は、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂにおける２つの出力のロジックを組み合わせるだけで実現することができるので、容易に判断することが可能である。
【００３２】
さらに、前述の如く、圧力検知センサ５６における圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの出力信号を、枚葉移載装置５の動作シーケンスに組み込んでいるので、該圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの出力結果に基づき、異常がないことを確認してから枚葉移載装置５の動作を進めていくことができ、ウエハ１０の確実な移載を行うことができる。
【００３３】
また、図５、図６に示すように、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓにそれぞれ備えられる圧力検知センサ５６・５６は、枚葉移載装置５のロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓが取り付けられる天板であるターンテーブル２３に、表示部５９・５９を設けており、該圧力検知センサ５６・５６により検知した圧力値などを表示するようにしている。
このように、圧力検知センサ５６・５６に表示部５９・５９を設け、該表示部５９・５９を、作業者が見やすい位置にあるターンテーブル２３に配置することで、圧力検知センサ５６・５６の検出値などを容易に把握することが可能となり、枚葉移載装置５のメンテナンス作業が行い易くなる。
【００３４】
また、ターンテーブル２３上には、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓにおける第二アーム３３Ｍ・３３Ｓの前進方向（図５における上方）への回動動作を規制する前進側ストッパ６１・６１、該第二アーム３３Ｍ・３３Ｓの後退方向（図５における下方）への回動動作を規制する後退側ストッパ６２・６２が設けられている。
前進側ストッパ６１・６１及び後退側ストッパ６２・６２は、ターンテーブル２３の上面から上方へ突出するピン部材であり、第二アーム３３Ｍ・３３Ｓの回動動作を機械的に規制するものである。
従って、第二アーム３３Ｍ・３３Ｓは、前進側ストッパ６１・６１により規制される位置から、後退側ストッパ６２・６２により規制される位置までの範囲Ｒ内で回動動作を行うこととなり、その回動動作範囲Ｒよりも前進側及び後退側には回動しない。
【００３５】
そして、前記表示部５９・５９は、第二アーム３３Ｍ・３３Ｓの回動動作範囲Ｒ外に配置されている。
このように、表示部５９・５９を回動動作範囲Ｒ外に配置することで、第二アーム３３Ｍ・３３Ｓがどのような回動位置に位置していようとも、表示部５９・５９が該第二アーム３３Ｍ・３３Ｓによって隠れることがなく、容易に表示内容を見ることができる。
【００３６】
【発明の効果】
請求項１記載の如く、第一圧力検知部と第二圧力検知部とを備える圧力異常検知装置において、第一圧力検知部からの第一出力として、所定の圧力域である第一圧力値と第二圧力値との間においてオフ信号が出力され、その他の圧力域ではオン信号が出力されると共に、第二圧力検知部からの第二出力として、第一圧力検知部の前記所定の圧力域より低圧域である第三圧力値と第四圧力値との間において圧力が第四圧力値となるまでオン信号が出力され、圧力が一旦第四圧力値となった後に第四圧力値と第三圧力値との間にあるときにはオフ信号が出力されるが、圧力が第三圧力値になるとオン信号に切り替わり、再度第四圧力値になるまでオン信号が出力され、その他の圧力域ではオン信号が出力される機構をそれぞれ有し、第一出力がオフ信号で第二出力がオン信号の状態であるか、第一出力がオン信号で第二出力がオフ信号の状態であるか、第一出力と第二出力とがともにオン信号の状態であるか、によって圧力が正常域か、異常域かを判定する判定手段を設けたので、
簡単な構成で、例えば、配管の異常や、圧力検知センサ自身の異常など、複数の状況の正常、異常を判断することができ、単一の状況の正常、異常を判断するものに比し、メンテナンス性が良い。
また、圧力が第四圧力値から上昇していくようなもの、例えば、ウエハなどの板状物を吸引保持するようなものの圧力を検出する場合に好適である。
つまり、第四圧力値になるまで負圧にし続け、第四圧力値になると圧力を保持するバルブなどを閉じて、負圧を維持するようにする。
そして、配管などからごく僅かに漏れだしていくので、安全な負圧保持が可能な上限圧力である第三圧力値まで圧力が上昇すると、前記バルブを開いて第四圧力値になるまで負圧にし続ける。
このような吸引保持の制御を、出力信号を利用することで容易に行うことができる。
【００３７】
請求項２記載の如く、減圧作動においては、前記第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値は、第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値の順に小さくなる値であり、第一圧力値と第二圧力値との間は、非作用時に通常発生するロスによって生じる減圧域であり、第三圧力値と第四圧力値との間は、正常に作用している減圧域であるように、第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値がそれぞれ設定されるので、
非作用時に圧力が第一圧力値から第二圧力値の間にあれば正常、そうでなければ異常と判断することができ、さらに、作用時に第三圧力値から第四圧力値の間にあれば正常、そうでなければ異常と判断することができる。
このため、非作用時に異常で有れば、配管やセンサ自体などの異常と判断でき、作用時に異常で有れば、正常に作用していない、例えば、吸着する作用を行う場合には、物品を吸着できていないということなどが判断できる。
【００３８】
請求項３記載の如く、板状物を移載する移載手段と、該移載手段で板状物を吸引保持するための吸引保持手段と、吸引保持手段の吸引圧力の異常を検出するための請求項１から請求項２の何れかに記載の圧力異常検出装置とを備えたので、
無人搬送車にこの圧力異常検出装置を適用して、ウエハやガラス基板などの板状物を搬送し、板状物を吸引保持して移載する際の圧力を、圧力異常検出装置で検出するようにすると、配管の異常や、センサ自体の異常、さらには、板状物の載置の有無などの検出を行うことができ、従来の圧力異常検出装置に比べて、検出も簡単で、コストも安価にできる。
【００３９】
請求項４記載の如く、前記圧力異常検出装置のオン信号及びオフ信号が、前記移載手段を具備する枚葉移載装置の動作シーケンスに組み込まれているので、
無人搬送車の運行・移載動作をシーケンスプログラムで制御する場合には、圧力検知センサからの出力結果に基づき、異常がないことを確認してから枚葉移載装置の動作を進めていくことができ、ウエハの移載を確実なものとすることができる。
また、そのシーケンスの動作状態と、圧力異常検出装置の前記圧力スイッチのオン信号及びオフ信号の組み合わせ状態とを比較することにより、異常箇所を特定できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した実施の一形態の無人搬送車を示す側面図である。
【図２】同じく平面図である。
【図３】吸引手段のエア回路を示す回路図である。
【図４】圧力検知センサの圧力スイッチからの出力と吸引手段の配管内圧力との関係を示す図である。
【図５】圧力検知センサの表示部及び第二アームのストッパを示す平面図である。
【図６】同じく側面図である。
【符号の説明】
１無人搬送車
５枚葉移載装置
１２吸引手段
２３ターンテーブル
３１ピンセット
３１ａ吸入孔
５１コンプレッサ
５３真空エジェクタ
５４負圧保持バルブ
５６圧力検知センサ
５６ａ・５６ｂ圧力スイッチ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a configuration of a pressure abnormality detection device capable of determining whether a pressure is a normal region or an abnormal region by a combination of signals transmitted in a predetermined pressure region, and a transfer unit and a suction holding unit. Further, the present invention relates to a configuration of an automatic guided vehicle including the pressure abnormality detection device.
[0002]
[Prior art]
In recent years, a single wafer transfer apparatus for transferring semiconductor wafers one by one, a buffer cassette capable of storing a plurality of wafers, an aligner for aligning the wafers, and being stored in the buffer cassette An automatic guided vehicle in which a wafer is taken out by a single wafer transfer device, aligned in a predetermined direction by an aligner, and transferred to a processing device has been studied.
The automatic guided vehicle is provided with a suction unit, and the single wafer transfer device performs transfer by sucking the wafer by the suction unit. This suction means includes an air compressor, a vacuum ejector, piping, and a holding valve, and is connected to a suction hole formed in tweezers that is a plate-like object support portion of the single wafer transfer device.
The tweezers are very thin so that the wafers can be transferred to a buffer cassette in which multiple wafers are stored in a stacked state with a slight gap. There is a problem that it is not possible to provide a loading sensor for confirming whether or not it is mounted on the vehicle.
Therefore, a pressure detection sensor is provided in the middle of the piping of the suction means, and the presence or absence of the wafer on the tweezers is detected by detecting the pressure of the pressure detection sensor that reaches when the wafer is placed on the tweezers and is normally adsorbed. It is considered to confirm.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, as described above, when the presence or absence of the wafer on the tweezers is confirmed by the pressure detection sensor, the presence or absence of the wafer is accurately detected when the wafer placed on the tweezers is normally adsorbed. If the wafer is placed on the tweezers but cannot be sucked normally, or if the suction means is clogged or the pressure sensor is disconnected, the presence or absence of the wafer There is a problem that it cannot be detected accurately.
Therefore, in the present invention, by providing a pressure detection means capable of detecting a plurality of abnormalities by the pressure detection sensor, and using the pressure detection means, on the single wafer transfer device without using a load sensor. It is an object of the present invention to provide an automatic guided vehicle capable of accurately grasping the presence or absence of a wafer.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
 The problems to be solved by the present invention are as described above. Next, means for solving the problems will be described.
 That is, in claim 1, in the pressure abnormality detection device including the first pressure detection unit and the second pressure detection unit, the first pressure value that is a predetermined pressure range as the first output from the first pressure detection unit. An off signal is output between the second pressure value and an on signal is output in other pressure ranges, and the predetermined pressure of the first pressure detection unit is used as a second output from the second pressure detection unit. Between the third pressure value and the fourth pressure value, which are lower than the pressure zoneAn ON signal is output until the pressure reaches the fourth pressure value, and an OFF signal is output when the pressure is between the fourth pressure value and the third pressure value after the pressure has once reached the fourth pressure value. Switches to the on signal when the pressure reaches the third pressure value, and the on signal is output until the fourth pressure value is reached again.In other pressure ranges, each has a mechanism that outputs an on signal, and the first output is an off signal and the second output is an on signal, or the first output is an on signal and the second output is an off signal. A determination unit is provided for determining whether the pressure is in a normal range or an abnormal range depending on whether the first output and the second output are ON signals.
[0005]
In claim 2, in the pressure reducing operation, the first pressure value, the second pressure value, the third pressure value, and the fourth pressure value are the first pressure value, the second pressure value, the third pressure value, and It is a value that increases in the order of the fourth pressure value, and between the first pressure value and the second pressure value is a reduced pressure region caused by a loss that normally occurs at the time of non-operation, the third pressure value and the fourth pressure value During the period, the first pressure value, the second pressure value, the third pressure value, and the fourth pressure value are set so as to be a pressure-reducing area that is normally operating.
[0006]
 In claim 3,A transfer means for transferring a plate-like material, a suction-holding means for sucking and holding the plate-like material by the transfer means, and an abnormality in suction pressure of the suction-holding means. The pressure abnormality detection device according to any one of 2 is provided.
[0007]
 In claim 4,An ON signal and an OFF signal of the pressure abnormality detection device are incorporated in an operation sequence of the single wafer transfer device including the transfer means.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, embodiments of the invention will be described.
1 is a side view showing an automatic guided vehicle according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view, FIG. 3 is a circuit diagram showing an air circuit of a suction means, and FIG. 4 is a pressure switch of a pressure detection sensor. FIG. 5 is a plan view showing a display unit of the pressure detection sensor and a stopper of the second arm, and FIG. 6 is a side view of the same.
[0010]
The configuration of the automatic guided vehicle of the present invention will be described.
An automated guided vehicle 1 shown in FIGS. 1 and 2 includes a lower traveling unit 2 and an upper working unit 3.
The traveling unit 2 is provided with traveling wheels 9, 9... That allow the automated guided vehicle 1 to travel on the left and right sides with respect to the traveling direction, and a traveling rail 13 laid on the floor 11 by the traveling unit 2. It is configured to travel on the top.
The traveling wheels 9, 9,... Are all-wheel drive, and are driven by branching the driving force of the same drive motor (not shown).
[0011]
The working unit 3 is provided with a single wafer transfer device 5 for transferring a wafer 10 (shown in FIG. 2) at the center of the main body. Further, an aligner 4 for aligning the wafer 10 and a buffer cassette 6 capable of storing a plurality of wafers 10 are arranged on both front and rear sides of the single wafer transfer device 5.
Although the automatic guided vehicle 1 can travel on both front and rear sides, the aligner 4 side is assumed to be the front side of the automatic guided vehicle 1 in the following description.
In the automatic guided vehicle of the present embodiment, the semiconductor wafer 10 is transferred by the single wafer transfer device 5, but a plate-like object such as a liquid crystal glass plate or a resin panel plate may be used.
[0012]
The single wafer transfer device 5 includes two sets of robot hands 30M and 30S. A base 21 is fixed to the main body of the automatic guided vehicle 1, and a turntable 23 is provided on a lifting table 22 that can be moved up and down with respect to the base 21. Robot hands 30M and 30S are provided.
Each of the robot hands 30M and 30S includes tweezers 31M and 31S that can support the wafer 10, first arms 32M and 32S that connect the tweezers 31M and 31S and the turntable 23, and second arms 33M and 33S. .
The robot hands 30M and 30S are configured so that the tweezers 31M and 31S can advance and retreat with respect to the turntable 23.
[0013]
The automatic guided vehicle 1 includes a suction unit 12, and the tweezers 31 M and 31 S that support the wafer 10 can suck the wafer 10 by the suction unit 12 and support the wafer 10 while maintaining the posture of the wafer 10. Can do.
That is, suction holes 31a and 31a connected to the suction means 12 are formed on the upper surfaces of the tweezers 31M and 31S, and the wafer 10 supported on the tweezers 31M and 31S is sucked by the suction holes 31a and 31a. And hold it.
[0014]
Then, the single wafer transfer device 5 picks up the wafer 10 from below with tweezers 31M and 31S and supports it by sucking and supporting it. The robot hand 30M and 30S are expanded and contracted, and the turntable 23 is rotated. Transfer is possible. When the wafer 10 supported on the tweezers 31M and 31S is placed on the buffer cassette 6 or on the processing apparatus, the suction of the wafer 10 by the suction holes 31a and 31a is released.
[0015]
The aligner 4 is an apparatus for aligning the wafer 10 and adjusting the support position of the wafer 10 with respect to the tweezers 31M and 31S. By adjusting the support position of the wafer 10, it is possible to place the wafer 10 accurately when the wafer 10 is transferred from the automatic guided vehicle 1 to a station (wafer placement portion) of the processing apparatus.
[0016]
The buffer cassette 6 is an apparatus for storing a plurality of wafers 10 on the automatic guided vehicle 1 side.
The front side of the buffer cassette 6 (the side facing the single wafer transfer device 5) is opened, and ribs 36 and 36 that support both side ends of the wafer 10 are provided on the left and right of the opening direction, and are arranged in multiple stages. Shelves are configured.
A plurality of wafers 10 can be stored in the buffer cassette 6 by inserting the tweezers 31M and 31S holding the wafer 10 into the buffer cassette 6 and placing the wafer 10 on the ribs 36 and 36. It is possible.
[0017]
Next, the suction means 12 will be described.
As shown in FIG. 3, the suction unit 12 includes an air compressor 51, an adsorption air supply valve 52, a vacuum ejector 53, a negative pressure holding valve 54, and an air pipe that connects them, and the tip of the suction means 12 extends from the vacuum ejector 53. The negative pressure portion on the side is connected to the suction holes 31a and 31a of the tweezers 31M and 31S in the robot hands 30M and 30S.
[0018]
When the suction air supply valve 52 is opened, the air compressed by the compressor 51 is supplied to the vacuum ejector 53 at a high speed, and negative pressure is generated in the suction holes 31a and 31a on the tip side from the vacuum ejector 53. The wafer 10 can be sucked by the suction holes 31a and 31a.
Further, when the wafer 10 is attracted to the suction holes 31a and 31a, the pipe 57 from the vacuum ejector 53 to the suction holes 31a and 31a is in a negative pressure state that allows the wafer 10 to be sucked and held. The negative pressure state can be maintained by closing the valve 54.
Further, the suction means 12 is provided with a negative pressure release manual valve 55 so that the negative pressure state in the pipe 57 can be manually opened.
[0019]
Further, a pressure detection sensor 56 for detecting the pressure in the pipe 57 is connected to the pipe 57.
The pressure detection sensor 56 is switched on and off in a predetermined pressure range.
There are provided a pressure switch 56a as a first pressure detection unit and a pressure switch 56b as a second pressure detection unit, and each of the pressure switches 56a and 56b independently outputs an ON state signal or an OFF state signal. (Hereinafter, the output from the pressure switch 56a is referred to as a first output and the output from the pressure switch 56b is referred to as a second output).
Based on the output of the pressure switches 56a and 56b, it is determined whether or not the wafer 10 is placed on the tweezers 31M and 31S.
[0020]
Whether or not the wafer 10 is placed on the tweezers 31M and 31S is determined based on the state in which the suction holes 31a and 31a adsorb the wafer 10 and are sealed, and the suction holes 31a and 31a hold the wafer 10. Since the pressure in the pipe 57 changes in the open state without being adsorbed, this difference in pressure is detected by the pressure switches 56a and 56b.
However, if it is configured to detect only the difference between the state in which the suction holes 31a and 31a are completely sealed by the wafer 10 and the state in which the suction holes 31a and 31a are completely open, When foreign matter is caught between the wafer 10 and the suction holes 31a and 31a, or the placement position of the wafer 10 is not accurate, the suction holes 31a and 31a are slightly opened. When clogging occurs in 57, or when an electrical disconnection occurs in the pressure detection sensor 56, these abnormal conditions cannot be grasped, and the mounting state of the wafer 10 can be accurately detected. I can't.
Therefore, in the present plan, the presence / absence of the wafer 10 and the abnormal state can be accurately grasped by setting and controlling the pressure detection sensor 56 as follows.
[0021]
 As shown in FIG. 4, when the pressure in the pipe 57 is within the range from the pressure pa that is the first pressure value to the pressure pb that is the second pressure value, the pressure switch 56a outputs an off signal as the first output. Is output, and an ON signal is output when the pressure is in the other pressure range.
 Further, the pressure in the pipe 57 is changed from the pressure switch 56b.An ON signal is output as the second output until the pressure pd that is the fourth pressure value is reached. When the pressure pd is reached, the pressure sensor 56b that has been in the ON state is switched to the OFF state, and the pressure temporarily becomes the pressure pd. After that, an off signal is output when the pressure is between the pressure pd and the pressure pc. However, when the pressure in the pipe reaches the pressure pc due to the pressure increase, the pressure sensor 56b is switched on and becomes the pressure pd again. Is set to output an ON signal.
 Note that the pressure range from the pressure pc to the pressure pd is lower than the pressure range from the pressure pa to the pressure pb. The pressures pa, pb, pc, and pd are all negative pressures, and the pressures are reduced in the order of the pressure pa, the pressure pb, the pressure pc, and the pressure pd.
[0022]
Here, the pressure pa and the pressure pb are the pipes 57 in the case where the suction air supply valve 52 is opened in a state where the wafer 10 is not placed on the tweezers 31M and 31S and the suction holes 31a and 31a are completely opened. The pressure in the range from the pressure pa to the pressure pb in the range affected by the suction resistance in the pipe 57 or the like, that is, when the suction / decompression operation is performed but the wafer 10 is not held, The pressure is set to a value in the pressure range caused by a pressure loss that normally occurs in the pipe 57 or the like.
Each pressure pc and pressure pd is when the wafer 10 is placed on the tweezers 31M / 31S and the suction holes 31a / 31a are completely closed by the wafer 10 with the suction air supply valve 52 open. The pressure in the pipe 57 is set to a value that is included in the range from the pressure pc to the pressure pd in a range where the wafer 10 can be reliably vacuum-sucked.
[0023]
When the suction air supply valve 52 is closed, the inside of the pipe 57 is open to the atmosphere, so the pressure in the pipe 57 indicates 0 (kPa).
Further, when an abnormality such as clogging or tearing occurs in the pipe 57 with the suction air valve 52 opened, the pressure detected by the pressure switches 56a and 56b deviates from the range of the pressure pa to the pressure pb. .
That is, in a state where the pipe 57 is somewhat clogged, the suction resistance is slightly increased as compared with the normal case, so the pressure is in the range from pb to pressure pc.
Further, when the pipe 57 is completely clogged, the suction resistance increases and becomes lower than the pressure pd. This also shows the same pressure when the operator erroneously places the wafer 10 on the tweezers 31M (31S).
Further, in a state where the pipe 57 is torn, the air flows into the pipe 57, so that the negative pressure cannot be maintained and becomes higher than the pressure pa.
For this reason, in the abnormal state as described above, the outputs from the pressure switches 56a and 56b both indicate the on state.
In addition, when there is a foreign object between the wafer 10 and the tweezers 31M (31S), or when the suction holes 31a and 31a are slightly opened due to the positional displacement of the wafer 10, the pressure in the pipe 57 is It indicates a value within the range from the pressure pb to the pressure pc, and both signal outputs from the pressure switches 56a and 56b are turned on.
In order to detect disconnection of the pressure switches 56a and 56b and abnormalities in the pressure switches 56a and 56b themselves, the pressure switches 56a and 56b are turned off when not energized, and output an on signal when energized. Yes. Further, an off signal is output only in the specific case.
Accordingly, when the ON signal is not output from the OFF state immediately after the pressure switches 56a and 56b are energized, the possibility of the disconnection and the abnormality of the pressure switches 56a and 56b themselves can be detected.
[0024]
Using the above characteristics, in the automatic guided vehicle 1, the presence / absence of the wafer 10 and the abnormal state are grasped by the following sequence on the control board provided in the automatic guided vehicle 1, The wafer 10 is transferred by the single wafer transfer device 5.
[0025]
 (1)First, power is supplied to the pressure detection sensor 56, and the signal output state from the pressure switches 56a and 56b in the state where the suction air supply valve 52 is closed is confirmed.
 In this case, if there is no abnormality such as disconnection of the pressure switches 56a and 56b, the signal output from both the pressure switches 56a and 56b is turned on. If there is an abnormality, the signal from the pressure switch 56a or 56b having the abnormality is detected. The output is turned off.
 Therefore, in this state, it is possible to check whether there is an abnormality such as disconnection of the pressure switches 56a and 56b or failure of the pressure switches 56a and 56b itself. In the control board, are both the pressure switches 56a and 56b turned on? Is confirmed.
[0026]
 (2)next,(1)When it is confirmed that the pressure switches 56a and 56b are both in the on state, the vacuum ejector 53 is turned on and the suction air supply valve 52 is opened.
 In this state, when the wafer 10 is not placed on the tweezers 31M and 31S and there is no abnormality such as clogging or tearing in the pipe 57, the pressure in the pipe 57 is in the range from the pressure pa to the pressure pb. The output of the pressure switch 56a indicates an off state, and the output of the pressure switch 56b indicates an on state.
 Conversely, if the output of the pressure switch 56a is not in the off state and the output of the pressure switch 56b does not indicate the on state, it can be determined that there is an abnormality in the pipe 57 or the like. This is because, as described above, the output of the pressure switches 56a and 56b shows an ON state regardless of whether the pipe 57 is broken, somewhat clogged, or completely clogged.
 Therefore, an abnormality of the pipe 57 can be detected in this state.
 In addition, this(2)If the pressure switches 56a and 56b are switched from the on state / on state to the on state / off state after a lapse of a predetermined time in the state of FIG. It is highly possible that the wafer 10 is placed on the substrate.
[0027]
 (3)further,(2)In addition to the above state, if the wafer 10 is placed on the tweezers 31M and 31S and is attracted to the suction holes 31a and 31a, the wafer 10 is normally attracted to the suction holes 31a and 31a. The pressure in the pipe 57 decreases and reaches the pressure pd. When the pressure reaches pd, the pressurepdThe pressure of the pressure sensor 56b that has been in the on state in the lower range is switched to the off state.
 Conversely, if there is a foreign object between the wafer 10 and the tweezers 31M (31S), or if the suction holes 31a and 31a are slightly opened due to the positional deviation of the wafer 10, the inside of the pipe 57 The pressure indicates a value within the range from the pressure pb to the pressure pc, and does not decrease until the pressure pd, and the pressure switch 56b remains on.
 Thereby, it can be confirmed whether or not the wafer 10 is normally placed on the tweezers 31M and 31S. If it is determined that the wafer 10 is normally placed, the wafer by the single wafer transfer device 5 is checked. Ten transfers are performed.
[0028]
When the pressure reaches pd and the pressure sensor 56b switches to the off state, the vacuum ejector 53 stops and the negative pressure holding valve 54 is changed from the open state to the closed state, so that the inside of the pipe 57 is brought into the negative pressure state. Retained.
When the vacuum ejector 53 is in a vacuum holding state, for example, air gradually enters the pipe 57 from the gap between the wafer 10 and the tweezers 31M and 31S, and the pressure in the pipe gradually increases. When the pressure in the pipe reaches the pressure pc due to the pressure increase, the pressure sensor 56b is switched to the on state, the suction air valve 52 is opened, and the vacuum ejector 53 starts operation again.
Thus, when the wafer 10 is attracted and transferred on the tweezers 31M and 31S, the pressure in the pipe 57 is maintained within the range of the pressure pc to the pressure pd, and the wafer 10 is maintained in a reliable and stable posture. I am trying to transfer.
[0029]
 As mentioned above,(1), (2), (3)Only when there is no abnormality in each status(1)From the state of(2)To the state of(2)From the state of(3)To the state of(3)The operation is switched such as from the above state to the transfer operation of the wafer 10.
 On the other hand, when an abnormality is detected, an abnormality signal is output from the control board of the automatic guided vehicle 1 to a higher-order guided vehicle controller, and a pilot lamp provided in the automatic guided vehicle 1 is turned on. Further, the transport vehicle controller outputs an abnormality signal to the host controller that manages the production system in which the automatic guided vehicle 1 is installed so as to notify the operator that there is an abnormality.
 For this reason, the automatic guided vehicle 1 showing one embodiment of the present invention is equipped with a single wafer transfer device 5 that sucks and holds the wafer 10 by negative pressure, and a pressure abnormality detection device including a pressure sensor 56 and the like. By using the output signal of the pressure abnormality detection device for the transfer operation sequence program, the wafers 10 can be reliably transferred to the target processing device or the like by the automatic guided vehicle 1 one by one.
 In addition, if there is an abnormality during the transfer operation, the operator can be notified immediately.
[0030]
As described above, the determination as to whether or not the wafer 10 is mounted is made by combining the signal outputs from the outputs of the two systems, such as the pressure switches 56a and 56b of the pressure detection sensor 56. In addition, it is possible to determine a plurality of situations such as an abnormality of the pipe 57, an abnormality of the pressure detection sensor 56 itself, an abnormality of the mounting state of the wafer 10, and the like.
[0031]
In addition, the pressure switch 56a, which is one of the two outputs of the pressure detection sensor 56, opens the vacuum valve 54 and the vacuum ejector 53 operates while the wafer 10 is not placed on the tweezers 31M and 31S. The signal output is turned off in the pressure range of the pipe (the range from the pressure pa to the pressure pb), and the pressure switch 56b as the other output is in a normal state with the wafer 10 placed on the tweezers 31M and 31S. Set the signal output to be in the OFF state within the pressure range when adsorbed at (the range from the pressure pc to the pressure pd), otherwise set the pressure switches 56a and 56b to be in the ON state. The above-described determination of the plurality of situations is realized only by combining two output logics in the pressure switches 56a and 56b. Since bets can be, it is possible to easily determine.
[0032]
Further, as described above, since the output signals from the pressure switches 56a and 56b in the pressure detection sensor 56 are incorporated in the operation sequence of the single wafer transfer device 5, based on the output results from the pressure switches 56a and 56b, After confirming that there is no abnormality, the operation of the single wafer transfer apparatus 5 can proceed, and the wafer 10 can be transferred reliably.
[0033]
5 and 6, the pressure detection sensors 56 and 56 provided in the robot hands 30M and 30S, respectively, are turntables that are top plates to which the robot hands 30M and 30S of the single wafer transfer device 5 are attached. 23, display portions 59 and 59 are provided to display pressure values detected by the pressure detection sensors 56 and 56, and the like.
In this way, the pressure detection sensors 56 and 56 are provided with the display portions 59 and 59, and the display portions 59 and 59 are arranged on the turntable 23 at a position that is easy for the operator to see, so that the pressure detection sensors 56 and 56 It becomes possible to easily grasp the detection value and the like, and the maintenance work of the single wafer transfer device 5 is facilitated.
[0034]
Further, on the turntable 23, the forward side stoppers 61 and 61 for restricting the rotational movement of the second arms 33M and 33S in the robot hands 30M and 30S in the forward direction (upward in FIG. 5), the second arms 33M. -Reverse side stoppers 62 and 62 are provided for restricting the rotational movement of 33S in the backward direction (downward in FIG. 5).
The forward-side stoppers 61 and 61 and the backward-side stoppers 62 and 62 are pin members that protrude upward from the upper surface of the turntable 23, and mechanically restrict the rotational movement of the second arms 33M and 33S.
Accordingly, the second arms 33M and 33S rotate in the range R from the position regulated by the forward stoppers 61 and 61 to the position regulated by the backward stoppers 62 and 62. It does not rotate forward and backward from the dynamic operation range R.
[0035]
The display portions 59 and 59 are disposed outside the rotation operation range R of the second arms 33M and 33S.
As described above, by disposing the display units 59 and 59 outside the rotation operation range R, the display units 59 and 59 can be connected to the second arm 33M or 33S regardless of the rotation position. The display contents can be easily viewed without being hidden by the two arms 33M and 33S.
[0036]
【The invention's effect】
 In the pressure abnormality detection device including the first pressure detection unit and the second pressure detection unit according to claim 1, the first output from the first pressure detection unit is a first pressure value that is a predetermined pressure range. An off signal is output between the second pressure value, an on signal is output in other pressure ranges, and the predetermined pressure range of the first pressure detection unit is used as a second output from the second pressure detection unit. Between the third and fourth pressure values, which are lower pressure rangesAn ON signal is output until the pressure reaches the fourth pressure value, and an OFF signal is output when the pressure is between the fourth pressure value and the third pressure value after the pressure has once reached the fourth pressure value. Switches to the on signal when the pressure reaches the third pressure value, and the on signal is output until the fourth pressure value is reached again.In other pressure ranges, each has a mechanism that outputs an on signal, and the first output is an off signal and the second output is an on signal, or the first output is an on signal and the second output is an off signal. Since there is a determination means for determining whether the pressure is in the normal range or the abnormal range depending on whether the first output and the second output are both in the ON signal state,
 With a simple configuration, for example, it is possible to judge the normality and abnormality of multiple situations such as abnormalities in piping and abnormalities of the pressure detection sensor itself, compared to those that judge normality and abnormality of a single situation, Good maintainability.
 Further, it is suitable for detecting the pressure of the pressure increasing from the fourth pressure value, for example, the pressure of holding a plate-like object such as a wafer.
 That is, the negative pressure is kept until the fourth pressure value is reached, and when the fourth pressure value is reached, the valve for holding the pressure is closed to maintain the negative pressure.
 And since it leaks very slightly from the piping etc., when the pressure rises to the third pressure value which is the upper limit pressure that can safely hold negative pressure, the valve is opened and the negative pressure is reached until the fourth pressure value is reached. Keep on.
 Such suction holding control can be easily performed by using an output signal.
[0037]
As described in claim 2, in the decompression operation, the first pressure value, the second pressure value, the third pressure value, and the fourth pressure value are the first pressure value, the second pressure value, the third pressure value, And the fourth pressure value becomes smaller in order, and the first pressure value and the second pressure value are a reduced pressure region caused by a loss that is normally generated during non-operation, and the third pressure value and the fourth pressure value. Since the first pressure value, the second pressure value, the third pressure value, and the fourth pressure value are set so as to be a pressure-reducing area that is normally operating,
If the pressure is between the first pressure value and the second pressure value during non-operation, it can be determined to be normal; otherwise, it can be determined to be abnormal. If it is normal, then it can be determined to be normal.
For this reason, if it is abnormal at the time of non-operation, it can be determined that the piping or the sensor itself is abnormal, and if it is abnormal at the time of operation, it is not operating normally, for example, when performing an adsorbing action, It is possible to determine that it is not adsorbed.
[0038]
 As described in claim 3,A transfer means for transferring a plate-like material, a suction-holding means for sucking and holding the plate-like material by the transfer means, and an abnormality in suction pressure of the suction-holding means. Since the pressure abnormality detection device according to any one of 2 is provided,
 By applying this pressure abnormality detection device to an automated guided vehicle, a plate-like object such as a wafer or a glass substrate is conveyed, and the pressure when the plate-like object is sucked and transferred is detected by the pressure abnormality detection device. By doing so, it is possible to detect abnormalities in piping, abnormalities in the sensor itself, and whether or not a plate-like object is placed, and the detection is easier and more cost-effective than conventional pressure abnormality detection devices. Can also be made cheaper.
[0039]
 As described in claim 4,Since the ON signal and the OFF signal of the pressure abnormality detection device are incorporated in the operation sequence of the single wafer transfer device including the transfer means,
 When the operation / transfer operation of an automated guided vehicle is controlled by a sequence program, confirm that there are no abnormalities based on the output from the pressure detection sensor before proceeding with the operation of the single wafer transfer device. Thus, the transfer of the wafer can be ensured.
 Moreover, there is an effect that an abnormal part can be specified by comparing the operation state of the sequence with the combination state of the ON signal and the OFF signal of the pressure switch of the pressure abnormality detecting device.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view showing an automatic guided vehicle according to an embodiment to which the present invention is applied.
FIG. 2 is a plan view of the same.
FIG. 3 is a circuit diagram showing an air circuit of suction means.
FIG. 4 is a diagram illustrating a relationship between an output from a pressure switch of a pressure detection sensor and a pressure in a pipe of a suction unit.
FIG. 5 is a plan view showing a display unit of a pressure detection sensor and a stopper of a second arm.
FIG. 6 is a side view of the same.
[Explanation of symbols]
1 Automated guided vehicle
5 sheet transfer equipment
12 Suction means
23 Turntable
31 tweezers
31a Suction hole
51 Compressor
53 Vacuum Ejector
54 Negative pressure retention valve
56 Pressure sensor
56a, 56b Pressure switch

Claims

In the pressure abnormality detection device including the first pressure detection unit and the second pressure detection unit,
As a first output from the first pressure detector, an off signal is output between the first pressure value and the second pressure value, which are predetermined pressure ranges, and an on signal is output in the other pressure ranges,
As the second output from the second pressure detection unit, until the pressure becomes the fourth pressure value between the third pressure value and the fourth pressure value which are lower than the predetermined pressure range of the first pressure detection unit When an ON signal is output and the pressure once reaches the fourth pressure value, an OFF signal is output when the pressure is between the fourth pressure value and the third pressure value, but when the pressure reaches the third pressure value, the ON signal is output. Each has a mechanism that outputs an ON signal until the fourth pressure value is reached again, and outputs an ON signal in other pressure ranges,
Whether the first output is an off signal and the second output is an on signal, the first output is an on signal and the second output is an off signal, or both the first output and the second output are on signals A pressure abnormality detection device, comprising: a determination unit configured to determine whether the pressure is in a normal range or an abnormal range depending on whether the pressure is in the state.

In the pressure reducing operation, the first pressure value, the second pressure value, the third pressure value, and the fourth pressure value are in the order of the first pressure value, the second pressure value, the third pressure value, and the fourth pressure value. Is a smaller value,
Between the first pressure value and the second pressure value is a reduced pressure region caused by a loss that normally occurs during non-action, and between the third pressure value and the fourth pressure value is a reduced pressure region that is operating normally. The pressure abnormality detection device according to claim 1, wherein the first pressure value, the second pressure value, the third pressure value, and the fourth pressure value are respectively set.

A transfer means for transferring a plate-like material, a suction-holding means for sucking and holding the plate-like material by the transfer means, and an abnormality in suction pressure of the suction-holding means. An automatic guided vehicle comprising the pressure abnormality detection device according to any one of 2 above.

The automatic guided vehicle according to claim 3, wherein an ON signal and an OFF signal of the pressure abnormality detection device are incorporated in an operation sequence of a single wafer transfer device including the transfer means.