JP4190317B2 - 洗浄システム - Google Patents

洗浄システム Download PDF

Info

Publication number
JP4190317B2
JP4190317B2 JP2003068984A JP2003068984A JP4190317B2 JP 4190317 B2 JP4190317 B2 JP 4190317B2 JP 2003068984 A JP2003068984 A JP 2003068984A JP 2003068984 A JP2003068984 A JP 2003068984A JP 4190317 B2 JP4190317 B2 JP 4190317B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaned
cleaning
unit
transport body
transport
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003068984A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004275847A (ja
Inventor
一夫 岸本
勇一 中田
隆人 北村
孝久 塚本
紀義 畠中
幸夫 南
隆浩 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibuya Corp
Original Assignee
Shibuya Machinery Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shibuya Machinery Co Ltd filed Critical Shibuya Machinery Co Ltd
Priority to JP2003068984A priority Critical patent/JP4190317B2/ja
Publication of JP2004275847A publication Critical patent/JP2004275847A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4190317B2 publication Critical patent/JP4190317B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被洗浄物を搬送体に支持しながら、洗浄部、すすぎ洗浄部、水切り部等からなる処理部に移送して、所期の洗浄を実施する洗浄システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
被洗浄物を各種の洗浄部や水切り部等の処理部内に移送して所期の洗浄処理を実施する洗浄システムは従来から広く知られている(特許文献1参照)。ところで、従来技術における被洗浄物の処理部への移送は、被洗浄物のみを移動することによって行い、各処理部において被洗浄物を固定した上、それぞれの洗浄処理を実施するという手法が広く採用されていた。この場合には、各処理部ごとに被洗浄物の固定動作及びその固定の解除動作が繰返されるため、作業性はあまりよくなかった。特に、被洗浄物が内部に通じる開孔部や強力な洗浄作用に弱い保護の必要な部分を有する場合には、各処理部ごとにその保護措置を施す必要が生じるため、更に作業性を低下させる原因になっていた。このため、研掃材等を使用した強力な洗浄方法は敬遠され、頑固な汚れの効率的な除去は困難な実情にあった。
【0003】
【特許文献1】
特開2000−70876号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような従来の技術的状況に鑑みて開発したものであり、被洗浄物の処理部への搬送手段を改良し、被洗浄物の移送に関する運転効率を向上することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するため、被洗浄物を洗浄する処理部と、該処理部を貫通して設けられた搬送路と、被洗浄物を支持しながら搬送する搬送体とを備え、その搬送体を前記処理部内に移送して被洗浄物を洗浄する洗浄システムにおいて、前記搬送体には、付勢されて被洗浄物を固定する固定手段を設け、前記処理部の手前に前記固定手段によって搬送体に移載される被洗浄物を所定位置に固定する被洗浄物の搬入部、前記処理部の下流に前記固定手段の固定を解除して搬送体から被洗浄物を取出す被洗浄物の搬出部をそれぞれ設けるとともに、前記搬出部で被洗浄物が取出された搬送体を前記搬入部に戻す循環路を設けるという技術手段を採用した。本発明によれば、被洗浄物を搬送体に支持した状態で各処理部へ移送するように構成したので、従来のそれぞれの処理部ごとに被洗浄物を固定するという煩雑な作業は省略されるとともに、前記搬送体を循環使用するように構成したので、その点でも作業性が向上され、被洗浄物の処理部への搬送に関する運転効率を大幅に向上できる。なお、前記搬送体に型替え機構を備え、前記搬入部の手前に、その型替え機構を介して支持する被洗浄物の種類に合わせて搬送体を型替えする搬送体の型替え部を設けてもよい(請求項2)。因みに、後述の実施例のように、被洗浄物に設けられた内部へ通じる開孔部を塞ぐ閉塞手段や被洗浄物の表面の要保護部分を覆う被覆手段を被洗浄物を移送する各搬送体に備え、被洗浄物の固定手段として活用するようにすれば、各処理部における保護作業の省略も可能である。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明は、ガスメータなどの洗浄システムとして好適であるが、これに限らず種々の被洗浄物の洗浄システムとして広く適用することが可能である。洗浄システムを構成する処理部としては、以下の実施例のように、適宜の研掃材を混入した洗浄液を使用する強力な洗浄作用により頑固な付着物を効率的に除去する第1洗浄部、水道水等の普通水や必要に応じて界面活性剤等を加えて調製した洗浄液を用いて被洗浄物の全面に対して第1洗浄部より軽い一般的な洗浄処理を実施する第2洗浄部、清水を使用して被洗浄物の全面を濯ぐすすぎ洗浄部、及びエアブロー等により被洗浄物に付着した水滴を除去する水切り部等から構成することが可能であるが、この形態に限らず他の形態も可能なことはいうまでもない。また、洗浄液の種類に関しても特段の制約はなく、種々の洗浄媒体が可能である。その噴射形態は、液状の噴射流を形成するものでもよいし、気体を混入して気液混合流として噴射する形態のものでもよい。さらに、洗浄液としては、加熱したものを用いてもよく、蒸気状のものを使用してもよい。なお、洗浄の形態に応じて前述のように第1洗浄部と第2洗浄部に分けずに一つの洗浄部としてもよい。本発明は、種々の被洗浄物に広く適用することができるが、特に内部の洗浄液の浸入をきらう部分に通じる開孔部や強力な洗浄作用に弱い保護の必要な要保護部分を有する被洗浄物の場合には、搬送体に内部へ通じる開孔部を塞ぐ閉塞手段や要保護部分を覆う被覆手段を備えるようにすれば、開孔部や要保護部分に対する保護措置を施したまま各処理部へ移送して所期の処理を実施することが可能なことから、運転効率の向上に有効である。また、要保護部分が保護されることから、頑固な汚れに適した強力な洗浄方法の適用も可能になる。
【0007】
【実施例】
以下、図面を用いて本発明の実施例に関して説明する。図1は洗浄システムの要部に関するレイアウトを例示した概略平面図であり、図2は前記洗浄システムの内部を示した概略構成図である。図示のように、本実施例では、被洗浄物としてガスメータを洗浄する場合を例示した。図中1は被洗浄物2の搬入路である。搬入路1を介して順次搬入される被洗浄物2は、図2に示したように、搬入部3において後述する搬送体4にセットされ、そのセット状態のまま搬送体4と共に各処理部内を移送して所期の洗浄処理を受ける。各搬送体4は、チェーンコンベヤ等の適宜の搬送手段5により移送される。本実施例では、各洗浄処理が間欠的に実施される形態を採用した場合に関して説明する。搬入部3において搬送体4にセットされた被洗浄物2は、先ず隣接する第1洗浄部6に移送され、噴射ノズル7からの高速噴射流を吹付けることにより、落ちにくい頑固な付着物が付着した部分に対する強力な洗浄処理が行われる。この第1洗浄部6では、例えば被洗浄面に吹付けた際に物理的な洗浄作用を奏する適宜の研掃材を混入したり、必要に応じて界面活性剤等を加えて調製した洗浄液を用いて、必要な部分に対する強力な洗浄処理を実施する。噴射ノズル7は、被洗浄物2の両側に配設され、それぞれ上下左右に移動可能に構成される。その設置数は場合に応じて増減することができる。なお、洗浄液の噴射形態に関しては、前述のように液状のまま噴射させて吹付けるようにしてもよいし、気体を混入して気液混合流として噴射させて吹付けるようにしてもよい。
【0008】
次の第2洗浄部8では、水道水等の普通水や、必要に応じて界面活性剤等を加えて調製した洗浄液を用い、噴射ノズル9から高速噴射して被洗浄物2の全面に対して第1洗浄部6より軽い洗浄処理を実施する。すなわち、この第2洗浄部8では、洗浄液中に研掃材を混入しない点で、第1洗浄部6より軽い洗浄処理が実施される。なお、噴射ノズル9は、被洗浄物2の両側に配設され、それぞれ上下左右に移動可能に構成される。その設置数は場合に応じて増減される。以上の第1洗浄部6における落ちにくい汚れに対する強力な洗浄処理と、第2洗浄部8における全面に対する洗浄処理が済んだ被洗浄物2は、次のすすぎ洗浄部10において全面に対して清水をかけて濯いだ後、水切り部11に移送し、エアブロー等により被洗浄物2の表面に付着した水滴を除去することにより、所期の洗浄処理が終了する。以上の第1洗浄部6、第2洗浄部8、すすぎ洗浄部10、及び水切り部11の各洗浄処理部は、それぞれシャッタ12〜16によって仕切り、本実施例では、第1洗浄部6、第2洗浄部8、及びすすぎ洗浄部10では2個ずつの被洗浄物2に対して同時に洗浄処理を実施し、水切り部11では1個の被洗浄物2に対して水切り処理を実施するように構成した。すなわち、第1洗浄部6、第2洗浄部8、及びすすぎ洗浄部10における洗浄処理は、前記搬送手段5により1間隔ごと間欠的に移動されるそれぞれの被洗浄物2に対して同時に実施され、水切り部11における水切り処理に対して2倍の処理時間が使用されることになる。
【0009】
前記水切り部11において水切り処理が済んで乾燥した被洗浄物2は、次の搬出部17に移送され、搬送体4から取出されて図1に示した搬出路18を介して順次搬出される。なお、本実施例では、第1洗浄部6から水切り部11までの被洗浄物2の移送は前記搬送手段5により行い、コンベヤチェーン等に設けた係止爪などを各搬送体4の後部等に係止して移送する。搬出部17には、モータ19により昇降可能に構成された昇降ベース20が設けられ、その昇降ベース20にチェーンコンベヤ等からなる搬送手段21を配設している。搬出部17において処理済みの被洗浄物2が取出された後の搬送体4は、搬送手段21に載置されたままの状態で、モータ19による昇降ベース20の下降により下段へと移動する。しかる後、搬送体4は、同じくチェーンコンベヤ等の搬送手段から構成される循環路22に移って前記搬入部3側へ移送される。なお、この場合、循環路22上を同時に移送される搬送体4の数は2〜3台程度でよく、それらの搬送体4は循環路22を構成する搬送手段に設けられた係止爪等が後部などに係止して移送される。循環路22の先方には、モータ23により昇降可能に構成された昇降ベース24が設置され、その昇降ベース24上にチェーンコンベヤ等からなる搬送手段25が配設されている。循環路22上を移送された搬送体4は、搬送手段25側へ移載された後、搬送手段25に載置されたままの状態で、モータ23による昇降ベース24の上昇により、上段の搬送体4の型替え部26へと移動される。この搬送体4の型替え部26では、被洗浄物2のサイズに変更が生じた場合に、後述のように搬送体4の型替え作業が行われる。図中27は型替え用のポテンショメータであり、搬送体4の上端部に当接して高さを検出して型替え用のデータとするものである。
【0010】
なお、図2に示したように、水切り部11の上方には清水用の給水タンク28が配設され、隣接するすすぎ洗浄部10のシャワノズル等へ清水を供給してすすぎ洗浄処理に使用するように構成している。この使用済みの清水は、すすぎ洗浄部10及び水切り部11の下方に配設されたガイド板29を介して貯留タンク30に回収される。この貯留タンク30に回収された使用済みの清水は、第2洗浄部8の前記噴射ノズル9へ供給して使用するように構成している。第1洗浄部6と第2洗浄部8の下方には、濾過用フィルタ31が駆動輪32と従動輪33との間に移動可能に張設されている。第2洗浄部8において使用された使用済みの洗浄液は、ガイド板34を介して前記濾過用フィルタ31上へ誘導され、洗い落された付着物等の異物を排除した後、下方に配設された貯留タンク35に回収される。この貯留タンク35に回収された使用済みの洗浄液は、第1洗浄部6の前記噴射ノズル7へ供給して使用するように構成している。そして、第1洗浄部6において使用された使用済みの洗浄液は、ガイド板36を介して前記濾過用フィルタ31に誘導され、洗い落された付着物等の異物を排除した後、下方に配設された貯留タンク37に回収され、必要に応じて適宜処理を施した上、外部へ廃棄される。なお、図中38は前記濾過用フィルタ31により排除された付着物等の異物を収容するための貯留タンクである。
【0011】
次に、被洗浄物2の搬送体4に関して詳細に説明する。図3〜図6は被洗浄物2の搬送体4を示したものであり、図3はその搬送体4を示した斜視図、図4は正面図、図5はX−X断面図、図6は解放状態を示した同断面図である。図示のように、搬送体4は、下部に被洗浄物2を載置する平板部39を有しており、その平板部39の両サイドにガイド支柱40,41を立設して、それらのガイド支柱40,41の内部に可動支柱42,43の下方部を昇降可能に嵌入している。図3に示したように、平板部39の下面には、凸条部44,45が平行に形成され、搬送路側に形成されるガイド部に係合して、搬送体4の移送を案内するように構成している。また、それらの凸条部44,45の間の、ガイド支柱40,41のそれぞれの下方にタイミングプーリを設置するとともに、一方のガイド支柱40の下方のタイミングプーリにギヤ46を一体的に取付け、前記タイミングプーリ間にタイミングベルト47を掛渡して、前記ギヤ46を回転することによりガイド支柱40,41に嵌入された双方の可動支柱42,43が同時に昇降するように構成している。例えば、可動支柱42,43の軸内に形成された図示しない雌ネジに螺合した送りネジ軸をそれぞれ前記タイミングプーリに連結するようにすれば、前記ギヤ46を回転することにより、タイミングベルト47を介してそれらの送りネジ軸が可動支柱42,43の雌ネジに対して相対的に回転して、可動支柱42,43を同時に昇降するように構成できる。しかして、前記型替え部26において被洗浄物2のサイズの変更に応じて搬送体4の型替えを行うに際しては、例えば図示しない駆動側のギヤを前進させ、前記ギヤ46に噛合わせて回転駆動し、可動支柱42,43を昇降させて高さを調整することにより、型替えを実施することができる。
【0012】
前記可動支柱42,43の相互間には横フレーム48を横架して、被洗浄物2のガスの流通路の開孔部や電子制御回路の収納部に設けられる開孔部を塞ぐ閉塞手段や、電子制御回路等の収容部分あるいは強力な洗浄作用により損傷しやすいゴム、樹脂などの材質からなる部分や塗料による印字部分などの要保護部分を覆う被覆手段を支持するように構成している。図示のように、横フレーム48の中央部には軸受部49を設け、昇降軸50を昇降自在に支持している。昇降軸50の上端部には受動部51を設け、この受動部51を図示しないシリンダ等により昇降駆動される押下部材52によって押下することにより、前記閉塞手段や被覆手段を解放するように構成している。受動部51には、図4に示したように、横フレーム48側に設置された支軸53,54に回転自在に支持された揺動レバー55,56の一端部が、図示しない該端部に形成された長孔に挿通された連結軸57を介して、長孔方向の相対移動の余裕をもって回転可能な状態に連結されている。同様に、それらの揺動レバー55,56の他端部は、長孔58,59に挿通された連結軸60,61を介して、それそれ横フレーム48側に設置された軸受部62,63により昇降自在に支持された昇降軸64,65の上端部に対して、長孔方向の相対移動の余裕をもって回転可能な状態に連結されている。そして、昇降軸64,65の下端部には、被洗浄物2の内部へ通じる開孔部66,67を塞ぐ閉塞部材68,69が付設されている。なお、昇降軸64,65の前記軸受部62,63と閉塞部材68,69との間にはスプリング70,71が外嵌されており、昇降軸64,65は、それらのスプリング70,71の作用により下方へ付勢され、閉塞部材68,69を被洗浄物2の内部へ通じる開孔部66,67へ圧接して閉塞状態を維持する。因みに、前記押下部材52により受動部51を押下した場合には、揺動レバー55,56が支軸53,54を中心に回動して、スプリング70,71を圧縮しながら昇降軸64,65を上昇し、図6に示したように閉塞部材68,69が被洗浄物2の内部へ通じる開孔部66,67から離間して閉塞状態が解除される。
【0013】
また、前記昇降軸50の下端部には当接板72を設けている。前記横フレーム48の両側面には支持板73,74を設置し、それらの下端部に図5に示したように支軸75,76を介して揺動レバー77,78を回動自在に支持している。揺動レバー77,78の相互間にはスプリング79が張設してあり、揺動レバー77,78の一端部に付設した被覆部材80,81を被洗浄物2の表面に指定された要保護部分82,83に圧接して被覆状態を維持するように構成している。因みに、前記押下部材52により受動部51を押下した場合には、昇降軸50が下降し、その昇降軸50の下端部に設けた当接板72に当接するローラ84,85を介して、揺動レバー77,78がスプリング79に抗して互いに拡開する方向に回動し、図6に示したように、被覆部材80,81が被洗浄物2の表面の前記要保護部分82,83から離間して被覆状態が解除される。
【0014】
以上のように、前記搬入部3において、空の搬送体4の受動部51を前記押下部材52により押下して、閉塞部材68,69及び被覆部材80,81を解放状態に待機させた後、搬入路1から被洗浄物2を搬送体4の平板部39の所定位置に移載し、その状態で前記押下部材52を上昇すれば、スプリング70,71の作用により閉塞部材68,69が下降して被洗浄物2の開孔部66,67に圧接して閉塞状態を維持し、またスプリング79の作用により揺動レバー77,78が相互に閉じる方向に回動して被覆部材80,81を被洗浄物2の表面の要保護部分82,83に圧接して被覆状態を維持する状態に移行し、被洗浄物2の搬送体4の所定位置へのセット作業が完了することになる。因みに、この場合、閉塞部材68,69の被洗浄物2の開孔部66,67への圧接と、被覆部材80,81の被洗浄物2の要保護部分82,83への圧接を、被洗浄物2を搬送体4へ固定する固定手段として活用して、それらの圧接状態により被洗浄物2を固定するように構成してもよいし、別の固定手段によって固定するように構成したり、別の固定手段と共にそれらの圧接状態を固定手段として活用する形態も可能である。
【0015】
しかして、搬入部3において搬送体4に所定の状態にセットされた被洗浄物2は、そのままのセット状態で順次、第1洗浄部6、第2洗浄部8、及びすすぎ洗浄部10において所期の洗浄処理を実施された後、水切り部11において被洗浄物2に付着した水滴を除去した上、搬出部17に移送される。搬出部17では、搬送体4の受動部51を前記押下部材52により押下して、スプリング70,71,79に抗して閉塞部材68,69及び被覆部材80,81を解放状態に待機させた後、被洗浄物2を搬送体4から取出して搬出路18を介して外部へ搬出することになる。被洗浄物2が搬出された空の搬送体4は、前記モータ19による昇降ベース20の下降により下段へと移動し、しかる後、循環路22に移載されて搬入部3側へ移送され、さらに前記搬送手段25側へ移載された上、モータ23による昇降ベース24の上昇により、上段の搬送体4の型替え部26へと移動され、必要に応じて型替えを行った後、隣接する前記搬入部3へ復帰されることになり、以上の洗浄動作を繰返すことになる。
【0016】
【発明の効果】
本発明によれば、被洗浄物を搬送体に支持した状態で各処理部へ移送するように構成したので、それぞれの処理部ごとに被洗浄物を固定するという煩雑な作業が省略されるとともに、前記搬送体を循環使用するように構成したので、その点でも作業性が向上され、両構成によって被洗浄物の処理部への搬送に関する運転効率を大幅に向上することができる。因みに、被洗浄物に設けられた内部へ通じる開孔部を塞ぐ閉塞手段や被洗浄物の表面の要保護部分を覆う被覆手段を搬送体に備えるようにすれば、各処理部における保護作業の省略も可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 洗浄システムの要部に関するレイアウトを例示した概略平面図である。
【図2】 同洗浄システムの内部を示した概略構成図である。
【図3】 被洗浄物の搬送体を示した斜視図である。
【図4】 同搬送体の正面図である。
【図5】 同搬送体のX−X断面図である。
【図6】 同搬送体の解放状態を示したX−X断面図である。
【符号の説明】
1…搬入路、2…被洗浄物、3…搬入部、4…搬送体、5…搬送手段、6…第1洗浄部、7…噴射ノズル、8…第2洗浄部、9…噴射ノズル、10…すすぎ洗浄部、11…水切り部、12〜16…シャッタ、17…搬出部、18…搬出路、19…モータ、20…昇降ベース、21…搬送手段、22…循環路、23…モータ、24…昇降ベース、25…搬送手段、26…型替え部、27…ポテンショメータ、28…給水タンク、29…ガイド板、30…貯留タンク、31…濾過用フィルタ、32…駆動輪、33…従動輪、34…ガイド板、35…貯留タンク、36…ガイド板、37,38…貯留タンク、39…平板部、40,41…ガイド支柱、42,43…可動支柱、44,45…凸条部、46…ギヤ、47…タイミングベルト、48…横フレーム、49…軸受部、50…昇降軸、51…受動部、52…押下部材、53,54…支軸、55,56…揺動レバー、57…連結軸、58,59…長孔、60,61…連結軸、62,63…軸受部、64,65…昇降軸、66,67…開孔部、68,69…閉塞部材、70,71…スプリング、72…当接板、73,74…支持板、75,76…支軸、77,78…揺動レバー、79…スプリング、80,81…被覆部材、82,83…要保護部分、84,85…ローラ

Claims (2)

  1. 被洗浄物を洗浄する処理部と、該処理部を貫通して設けられた搬送路と、被洗浄物を支持しながら搬送する搬送体とを備え、前記搬送体を前記処理部内に移送して被洗浄物を洗浄する洗浄システムであって、前記搬送体には、付勢されて被洗浄物を固定する固定手段を設け、前記処理部の手前に前記固定手段によって搬送体に移載される被洗浄物を所定位置に固定する被洗浄物の搬入部、前記処理部の下流に前記固定手段の固定を解除して搬送体から被洗浄物を取出す被洗浄物の搬出部をそれぞれ設けるとともに、前記搬出部で被洗浄物が取出された搬送体を前記搬入部に戻す循環路を設けたことを特徴とする洗浄システム。
  2. 前記搬送体は型替え機構を備え、前記搬入部の手前に、前記型替え機構を介して支持する被洗浄物の種類に合わせて搬送体を型替えする搬送体の型替え部を設けた請求項1に記載の洗浄システム。
JP2003068984A 2003-03-13 2003-03-13 洗浄システム Expired - Fee Related JP4190317B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003068984A JP4190317B2 (ja) 2003-03-13 2003-03-13 洗浄システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003068984A JP4190317B2 (ja) 2003-03-13 2003-03-13 洗浄システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004275847A JP2004275847A (ja) 2004-10-07
JP4190317B2 true JP4190317B2 (ja) 2008-12-03

Family

ID=33286131

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003068984A Expired - Fee Related JP4190317B2 (ja) 2003-03-13 2003-03-13 洗浄システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4190317B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6095295B2 (ja) * 2012-08-17 2017-03-15 株式会社プレテック スピンテーブルを用いた洗浄装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004275847A (ja) 2004-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3377161B2 (ja) ウエハの処理システム
JPH08155406A (ja) 洗浄装置
KR101614423B1 (ko) 패널세정시스템
TW569288B (en) Substrate processing apparatus, liquid processing apparatus and liquid processing method
KR100500169B1 (ko) 도킹형 기판 이송 및 처리 시스템과, 그를 이용한 이송 및 처리 방법
KR101746536B1 (ko) 포터블 열교환기의 열판 세척 장치
JP3851462B2 (ja) 基板処理装置
JP2002148818A (ja) 薬液処理装置及び方法
JP2003112951A (ja) ガラス板洗浄装置
JP3171822B2 (ja) 洗浄装置及び洗浄方法
JP4190317B2 (ja) 洗浄システム
JP4190316B2 (ja) 洗浄装置における被洗浄物搬送体
CN211386018U (zh) 清洁设备
JP2005527409A (ja) ステアリングホイールの表面に柄を自動転写する方法及び装置
JP3613782B2 (ja) 基板保持用チャックの洗浄・乾燥装置及び基板保持用チャックの洗浄・乾燥方法
JP2543007B2 (ja) ウエ−ハ枚葉洗浄装置
JP2003133217A (ja) 基板処理装置
CN110523731B (zh) 一种光学玻璃表面清洁处理优化方法
US5924431A (en) Electronic component cleaning apparatus
JP3999552B2 (ja) 処理装置
JPH07328566A (ja) 洗浄装置
JP3766968B2 (ja) 基板処理方法及び基板処理装置
JP3537875B2 (ja) 基板洗浄装置
JP2004016997A (ja) 基板の処理装置及び処理方法
JP2003303807A (ja) 基板の処理装置及び処理方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050927

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080620

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080814

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080912

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080916

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110926

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110926

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120926

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130926

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees