JP4183109B2 - プラズマディスプレイパネルのリブ形成方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと記す)の製造工程に関するものであり、詳しくはPDPの放電空間を構成するリブをサンドブラスト加工法により形成する技術分野に属する。
【0002】
【従来の技術】
一般にPDPは、2枚の対向するガラス基材にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、その間にNe,Xe等を主体とするガスを封入した構造になっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を行うようにしている。情報表示をするためには、規則的に並んだセルを選択的に放電発光させる。このPDPには、電極が放電空間に露出している直流型(DC型)と絶縁層で覆われている交流型(AC型)の2タイプがあり、双方とも表示機能や駆動方法の違いによって、さらにリフレッシュ駆動方式とメモリー駆動方式とに分類される。
【0003】
図1にAC型PDPの一構成例を示す。この図は前面板と背面板を離した状態で示したもので、図示のように2枚のガラス基材1,2が互いに平行に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガラス基材2上に互いに平行に設けられたリブ3により一定の間隔に保持されるようになっている。前面板となるガラス基材1の背面側には透明電極である維持電極4と金属電極であるバス電極5とで構成される複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って誘電体層6が形成されており、さらにその上に保護層7(MgO層)が形成されている。また、背面板となるガラス基材2の前面側には前記複合電極と直交するようにリブ3の間に位置してアドレス電極8が互いに平行に形成されており、これを覆って誘電体層9が形成され、さらにリブ3の壁面とセル底面を覆うようにして蛍光体層10が設けられている。このAC型PDPは面放電型であって、前面板上の複合電極間に交流電圧を印加し、放電させる構造である。そしてこの放電により生じる紫外線により蛍光体層10を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認するようになっている。
【0004】
このようなPDPにおける背面板上のリブは、従来はスクリーン印刷による重ね刷りで形成されていたが、最近では精度の点から所謂サンドブラスト法により形成されることが多くなっている。この方法でリブを形成する場合、低融点ガラス粉末、耐火物フィラーなどの無機粉体を主成分又は成分とし、これに適当なバインダー樹脂及び溶剤を添加してなるリブペーストを基材上に塗布して乾燥させることでリブ材料層を形成し、その上に耐サンドブラスト性の有る感光性樹脂組成物層を設けた後、フォトリソグラフィー法でセル画定用マスクにパターニングし、そのサンドブラスト用マスクの上方の噴射ノズルから研削材を含む混合エアーを噴射することによりリブ材料層の不要部分を除去し、次いで耐サンドブラスト用マスクを除去してから焼成する手順が採られている。そして、その研削材として、ガラスビーズ、SiC、SiO2 、Al2 O3 、ZrO2 等の無機粉体が使用されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記したサンドブラスト法によるリブ形成方法では、噴射ノズルから研削材を含むエアーを噴射してリブ材料層をパターニングするが、この場合、研削材が基板に衝突した時に基板上に静電気が発生する。そして、この静電気がリブの品質に影響を与えることがある。特に、基板上の帯電量が多くなると、基板がサンドブラスト装置に近接しすぎると大きな放電を起こし、アドレス電極やリブに欠陥を生じることがある。
【0006】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、サンドブラスト加工時に生じる静電気により欠陥を生じないようにしたPDPのリブ形成方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明に係るPDPのリブ形成方法は、基板上にリブ材料層を形成し、その上に耐サンドブラスト用マスクをパターン状に形成した後、マスクの上方から研削材を含む混合エアーを噴射するサンドブラスト加工によりリブ材料層をリブ形状にパターニングする工程を含むPDPのリブ形成方法において、基板に向けて研削材を噴射する噴射ノズルに除電ブラシを取り付け、その除電ブラシを基板に接触させずに基板との距離を調整した上で、噴射ノズルを基板搬送方向に対して直交する方向に往復動させることにより、基板上に発生する静電気を除電しながらサンドブラスト加工を行うことを特徴とするものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
【0010】
図2は本発明で使用するサンドブラスト装置の一例を示す概略構成図である。
【0011】
図2において、20は基板加工室を示しており、被加工物である基板Gは搬送ローラの如き基板搬送手段21により基板加工室20の外から入口20aを通って搬入され、加工室内で搬送されながら加工された後、出口20bから外へ搬出されるようになっている。22は基板加工室20の中で基板Gに向けて研削材を噴射する噴射ノズルであり、図示しない研削材供給手段からエアーと共に研削材が供給管23を通って供給されるように構成されている。
【0012】
また、噴射ノズル22は、基板加工室20の上部に設けられた噴射ノズル移動手段により基板Gの搬送方向に対して直交する方向に往復動するように配置されている。図2に示す例では、基板加工室20の上面に、噴射ノズル22の供給管23が通るためのスリット状開口部20c,20dが設けられており、供給管23に取り付けられた台車24がスリット状開口部20c,20dの両側に設置されたレール25の上を移動するようになっている。
【0013】
噴射ノズル22は、図3の斜視図にも示すように、その側面に除電ブラシ30が取り付けられた構造をしている。この場合、噴射ノズル22におけるノズル孔が並ぶ方向と平行になる状態で取り付けられている。この除電ブラシ30は導電性のある樹脂製の毛31を植毛したものが好ましく、市販のものを利用することができる。なお、言うまでもないが、除電ブラシ30はアースしておく必要がある。そして、除電ブラシ30と基板Gとの間隔を調節できるようにしておくのが望ましい。例えば、噴射ノズル22に除電ブラシ30をネジで固定するような場合には、取付位置を移動できるようにしておけばよい。
【0014】
上記構成のサンドブラスト装置により、基板G上のリブ形成層をパターニングすると、噴射ノズル22から噴射された研削材が基板Gに当たって静電気が発生しても、基板G上の電荷が除電ブラシ30により常時取り除かれる。したがって、大きな放電現象が発生することがない。この場合、除電ブラシ30を基板Gに接触させなくとも、基板Gとの距離を調整することで、基板G上の帯電電荷を除去することができる。逆に、除電ブラシ30が基板Gに接触していると、リブを欠損させるなどの不具合を生じる可能性が高くなる。除電ブラシ30と基板Gとの距離は、両者が接触せずかつ20mm以下の範囲で調整するとよい。20mmを越えるようだと、除電作用をなさなくなる。実際的には5〜10mm程度の範囲内で調整するのが好ましい。
【0016】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、基板上にリブ材料層を形成し、その上に耐サンドブラスト用マスクをパターン状に形成した後、マスクの上方から研削材を含む混合エアーを噴射するサンドブラスト加工によりリブ材料層をリブ形状にパターニングする工程を含むPDPのリブ形成方法において、基板に向けて研削材を噴射する噴射ノズルに除電ブラシを取り付け、その除電ブラシを基板に接触させずに基板との距離を調整した上で、噴射ノズルを基板搬送方向に対して直交する方向に往復動させることにより、基板上に発生する静電気を除電しながらサンドブラスト加工を行うようにしたので、サンドブラスト加工中に大きな放電を起こすことがないことから、アドレス電極やリブに欠陥を生じることなく、リブのパターニングを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 プラズマディスプレイパネルの一例をその前面板と背面板とを離間状態で示す斜視図である。
【図2】 本発明で使用するサンドブラスト装置の一例を示す概略構成図である。
【図3】 図2のサンドブラスト装置における噴射ノズルの拡大斜視図である。
【符号の説明】
1,2 ガラス基材
3 リブ
4 維持電極
5 バス電極
6 誘電体層
7 保護層
8 アドレス電極
9 誘電体層
10 蛍光体層
20 基板加工室
20a 入口
20b 出口
20c,20d スリット状開口部
21 基板搬送手段
22 噴射ノズル
23 供給管
24 台車
25 レール
30 除電ブラシ
31 毛
G 基板
Claims (1)
- 基板上にリブ材料層を形成し、その上に耐サンドブラスト用マスクをパターン状に形成した後、マスクの上方から研削材を含む混合エアーを噴射するサンドブラスト加工によりリブ材料層をリブ形状にパターニングする工程を含むプラズマディスプレイパネルのリブ形成方法において、基板に向けて研削材を噴射する噴射ノズルに除電ブラシを取り付け、その除電ブラシを基板に接触させずに基板との距離を調整した上で、噴射ノズルを基板搬送方向に対して直交する方向に往復動させることにより、基板上に発生する静電気を除電しながらサンドブラスト加工を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルのリブ形成方法。
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