JP4173839B2 - 炭素繊維膜を備える電子素子の製造方法 - Google Patents
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Description
前記熱処理により形成される触媒微粒子6は、小さいほど触媒活性が高いので、1〜50nmの範囲の直径を備えていることが好ましく、さらに酸化被膜5の厚さより大きな直径を備えていることが好ましい。触媒微粒子6の直径が50nmを超えるとカーボンナノチューブ7を形成する能力が著しく低下する。また、触媒微粒子6の直径を意図的に1nm未満とすることは、技術的に困難である。また、触媒微粒子6の直径が酸化被膜5の厚さより小さいと、カーボンナノチューブ7と下地金属層3との間で導電性を得ることができない。
Claims (4)
- 基板と、該基板上に形成された下地金属層と、該下地金属層上に形成された触媒金属層とを備え、該下地金属層は、前記触媒金属層を形成する触媒金属よりも酸化しやすい金属から形成されている金属材料を、酸素を含む雰囲気中で熱処理して、該下地金属層の表面に酸化被膜を形成すると共に、該触媒金属層を形成する触媒金属を微粒化する工程と、
前記下地金属層の表面に前記酸化被膜が形成されると共に、前記触媒金属が微粒化された前記金属材料を、炭化水素ガス気流下で化学蒸着法により処理して、炭素繊維膜を形成させると共に、該酸化被膜の少なくとも一部を還元する工程とを備えることを特徴とする炭素繊維膜を備える電子素子の製造方法。 - 前記下地金属層の表面に酸化被膜を形成すると共に、前記触媒金属層を形成する触媒金属を微粒化する工程は、前記金属材料を酸素を含む雰囲気中で熱処理した後、不活性ガス雰囲気中で熱処理することを特徴とする請求項1記載の炭素繊維膜を備える電子素子の製造方法。
- 前記炭化水素ガスは、還元性ガスを含むことを特徴とする請求項1または請求項2記載の炭素繊維膜を備える電子素子の製造方法。
- 前記還元性ガスは、水素またはアンモニアであることを特徴とする請求項3記載の炭素繊維膜を備える電子素子の製造方法。
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