JP4139369B2 - 試験待機電子装置のピックアップ方法と装置 - Google Patents

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本発明は試験待機電子装置のピックアップ方法と装置に係り、特に二種類の異なる弾性係数の弾性装置により二段階の圧縮を発生する試験待機電子装置のピックアップ方法と装置に関する。
電子装置は製造完成後に通常試験を行なう必要があり、それによって所定の機能を達成できるか否かを確定できる。試験時には、通常、バッチ全体の電子装置を試験機(tester)のトレイ(tray)中に放置し、試験機上のハンドラー(handler)で一つ或いは複数の電子装置をシャトル装置(shuttle means)に運び、続いてシャトル装置で試験待機電子装置を試験エリアに運送し、更に試験エリアのピックアップ装置で電子装置を吸着し、更にソケットに運び、試験を行ない、並びに試験完成後に、電子装置をシャトル装置に渡してトレイエリアに戻し、更に試験結果により電子装置を合格トレイ或いは不合格のトレイ中に入れる。
伝統的に、ピックアップ装置は軟式吸着ヘッドとされ、真空吸着方式でパッケージ完成した試験待機電子装置の上表面(即ち平坦な表面)を吸着し、その後、吸い上げた電子装置を試験機に運び、下圧動作で電子装置中の複数の端子(pads)を具えた下表面をソケット中の試験端子(pogo pins)と接触させ、電子装置の試験を行なう。前述の試験過程に合わせて、伝統的な電子装置は設計上、通常、端子が下表面に集中し、並びに上表面が平坦に保持される。一般には、電子装置の各端子の配置は相当に正確であるが、電子装置のパッケージ時の正確度は不足する場合があり、このため電子装置の厚さが不均一となり、このために電子装置が吸着される過程で、上表面を水平に保持することができても、下表面に垂直角度上の誤差が生じうる。
このような問題を解決するため、通常ピックアップ装置にはスプリング装置が取り付けられ、スプリングの弾性により試験待機電子装置の下表面を平らに押して試験機上のソケットに接合させる。また、電子装置に吸着時に回転或いは誤動作により水平の偏移を発生させないように、吸着ヘッドの周囲には一組のフローティングサイト(floating site)が取り付けられ、試験待機電子装置が吸着される時に、フローティングサイトで囲まれたエリアに滑り込んで試験待機電子装置が固定位置に制限されるようにしている。
図1に示されるように、ピックアップ装置10は吸着ヘッド12、フローティングサイト14とスプリング装置16を具えている。ピックアップ装置10は真空吸着方式を利用し、吸着ヘッド12において発生する吸引力により試験待機電子装置18を吸着し、並びに試験待機電子装置18を吸着してフローティングサイト14に滑り込ませて特定位置中に固定し、これは図2に示されるとおりである。このほか、スプリング装置16は試験待機電子装置18が下圧される時、試験待機電子装置18表面にかかる圧力を平均して分散させて緩衝し、端子が損傷する状況を防止する。
このほか、試験待機電子装置18がフローティングサイト14に滑り込んだ時、歪みの状況を発生しうるため、図2中の吸着ヘッド12は軟式の吸着ヘッドとされ、これにより試験待機電子装置18が吸着された後に、受力の不平均により一辺が先にフローティングサイト14に滑り込む時、図3に示されるように、軟式吸着ヘッド12が弾性を具備して変形を発生することで試験待機電子装置18に貼り付き、これにより試験待機電子装置18のその他の部分を平らに引っ張り、これは図2に示されるとおりである。これにより、フローティングサイトが電子装置を局限する範囲は試験待機電子装置18よりも僅かに大きな空間を保留して、吸着時に、空間が小さ過ぎて試験待機電子装置18とフローティングサイト14の間に過大な摩擦力が発生しひっかかりや歪みを発生するのを防止する必要がある。しかし、現在、電子装置の端子数は大量に増加し、ゆえに各端子間の正確度に対する要求もますます高くなっており、このためフローティングサイト14が保留できる空間の許容範囲もますます小さくなっており、これにより吸着の瞬間に試験待機電子装置18をフローティングサイト14に滑り込ませることもますます困難となっている。
このほか、製品の多様化要求に合わせ、多くの電子装置はパッケージの上表面と下表面に共に端子或いはその他の特殊アクセサリ、例えば電荷結合素子(CCD)180を取り付ける必要が生じ、この電荷結合素子180は通常、一つの表面に一層の感光層184が配置され光線を受け取り、並びにもう一つの表面に端子182が配置され外界と接触し、これは図4に示されるとおりである。しかし、試験時には、必要とする試験光が試験機より発射され、ゆえに感光層が下表面に設けられ、端子182が上表面に設けられなければならない。このとき、図5に示されるように、ピックアップ装置10はもともと有する吸着ヘッド12のほかに、更に上表面の端子182に対応する試験端子102が取り付けられなければならず、更にその他の設定により試験機と接触して試験信号を伝達しなければならない。このため、試験待機電子装置18が吸着されて、フローティングサイト14に滑り込む時、吸い取り角度の偏差により上表面の端子182と試験端子102が衝突し、試験端子102が損傷したり吸着ヘッド12の真空が破壊されて試験待機電子装置18が脱落することがあり、これは図6に示されるとおりである。
これにより、両面にアクセサリが取り付けられた電子装置18のピックアップ時に上表面の端子の試験端子との衝突を防止でき、並びに試験待機電子装置を正確にフローティングサイトに正確に順調に滑り込ませることができるようにし、ピックアップの失敗による性能低下を防止することが現在の電子装置に対する試験を行なう上での一大課題となっている。
本発明は一種の試験待機電子装置のピックアップ方法と装置を提供し、それは従来の技術中の試験待機電子装置がフローティングサイトに滑り込む時に、歪んで上表面の端子が試験端子に衝突し、これにより端子或いは試験端子が損傷したり試験待機電子装置が脱落する問題を防止できる方法と装置である。
本発明の主要な目的は、ピックアップ装置の吸着過程で、試験待機電子装置の上表面の端子の試験端子との衝突による端子の損壊或いは試験待機電子装置の脱落を防止することにあり、このため本発明では電子装置が吸着される時に、端子と試験端子に距離を保持させることで、衝突の問題を回避できるようにする。
本発明のもう一つの目的は、試験待機電子装置を正確に誤差範囲がますます小さくなるフローティングサイトに正確に滑り込ませられるようにすることにあり、このため本発明では吸着時の吸引力を利用して第1段階の収縮を形成し、電子装置を吸着後にフローティングサイトに引き入れ、試験待機電子装置が吸着される時にフローティングサイトに衝突する反作用力により偏差が形成される状況を防止できるようにする。
請求項1の発明は、吸着装置、ベース、吸気装置を具えた試験待機電子装置のピックアップ装置であり、
該吸着装置は、気密空間中に置かれ、少なくとも1本の吸管を具え、該吸管の一端が該気密空間と連通し、且つ試験待機電子装置の吸着される表面に複数の端子が設けられ、
該ベースは、該気密空間、フローティングサイト及び複数の試験端子を具え、該気密空間の両端開口が該吸気装置と該吸着装置に接触して該気密空間を形成し、該吸着装置が該気密空間中の第1位置と第2位置の間に制限されて移動し、並びに該気密空間と気密接触を保持し、
該吸気装置は、吸気により吸引力を発生し、各吸管が該吸引力により該試験待機電子装置を吸着し、該試験待機電子装置を吸着後に、該吸着装置と該試験待機電子装置を連帯して該フローティングサイトの制限する固定位置に引き動かして至らせ、並びに該吸引力が消失後に、該気密空間が該吸着装置を第1位置に回復させ、
該吸気装置が送気により推力を発生し、圧縮された気密空間を回復させ、該端子と該試験端子に、該吸着装置が第2位置に移動した時に、ある距離を保持させることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置としている。
請求項2の発明は、請求項1記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、吸着装置が第1弾性係数を具えた第1弾性装置を具え、該第1弾性装置と吸管が結合され、且つ該第1弾性装置がスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第1弾性装置は吸着装置が第2位置に移動させられた時、該第1弾性係数により端子と試験端子の間の距離を制御し、該端子と試験端子を不接触とし、第1弾性装置が第1弾性係数より大きい圧力を受ける時、該第1弾性装置の収縮により該端子と該試験端子が接触することを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置としている。
請求項3の発明は、請求項1記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、気密空間が第2弾性係数を具えた第2弾性装置を具え、該第2弾性装置は吸着装置の第1位置と第2位置の間の位置を制御し、且つ第2弾性装置はスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第2弾性装置は試験待機電子装置が吸着された後に、その吸引力を受けて圧縮され、並びに吸引力が消失した後、第2弾性装置が回復し、圧縮された気密空間を回復させることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置としている。
請求項4の発明は、請求項2記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、該気密空間が第2弾性係数を具えた第2弾性装置を更に包含し、該第2弾性装置は該吸着装置を制御して該第1位置と該第2位置の間に位置させ、該第2弾性装置の第2弾性係数が、第1弾性装置の第1弾性係数より小さいことを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置としている。
請求項5の発明は、試験待機電子装置のピックアップ方法において、
吸着される表面に複数の端子を具えた試験待機電子装置を、吸気装置の吸気により発生する吸引力により吸着装置に吸着させ、これにより気密空間に吸引力を形成させる、吸引力形成ステップと、
気密空間の形成した吸引力により吸着装置を気密空間中で移動させて第1段階の収縮を形成して試験待機電子装置を固定位置中に導入する、第1段階収縮形成ステップと、
試験機により下向きの圧力を提供して該試験待機電子装置の複数の端子を対応する試験端子に接触させて試験を行なう、第2段階収縮形成ステップと、
気密空間回復ステップと、
を具え、該吸着装置が第1弾性係数を具えた第1弾性装置を具え、該第1弾性装置がスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第1段階収縮が形成された後に、該第1弾性装置により試験待機電子装置の複数の端子と対応する試験端子が不接触とされ、且つ該下向きの圧力が第1弾性装置の弾性力より大きく、気密空間が第2弾性係数を具えた第2弾性装置を具え、且つ該第2弾性装置が気密空間の形成した吸引力を受けて圧縮され、並びにこの吸引力が消失した後に該第2弾性装置の第2弾性係数により圧縮された気密空間が回復させられることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ方法としている。
これにより、本発明では、二種類の異なる弾性係数の弾性装置を利用して二段階の圧縮を発生し、そのうち、第1段階の圧縮により吸着した試験待機電子装置をフローティングサイト(floating site)に移動させて試験待機電子装置の位置を固定し、この時、試験待機電子装置の端子(pads)と試験端子(pogo pin)は不接触とし、これにより試験待機電子装置の端子と試験端子の接触により吸着ヘッドの真空が破壊されて電子装置が脱落する問題を防止する。このほか、試験待機電子装置を試験機上の試験端子に移動させた時、更に第2段階の圧縮で試験待機電子装置の端子を試験端子と接触させて試験を行なう。試験完了後に、第2段階の圧縮を解除し、試験待機電子装置の端子と試験端子を分離させ、更に試験待機電子装置をトレイエリアに移動させて真空を破壊して釈放すると共に、第1段階の圧縮を解除する。
本発明は以下に具体的実施例を以て説明される。しかし、その詳細な記述のほか、本発明は更に広く他の実施例で実施可能であり、且つ本発明の範囲は実施例の記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に準じるものとする。
更に、明らかな記載を提供し本発明の理解を容易とするため、図中の各部分はその相対寸法により描かれておらず、ある寸法とその他の関係寸法の比は誇張されている。関係のない細部は完全には記載されておらず、図示を簡潔としている。
本発明は一つ或いは複数の吸管により電子装置を吸着し、各吸管は吸着装置に固定され、並びに各吸管の一端が電子装置を吸着するのに用いられ、別端は気密空間に連通し、並びに吸入装置(例えばポンプ)で気密空間に対する減圧を行ない真空を形成し、各吸管に吸引力を発生させて試験待機電子装置を吸着させる。試験待機電子装置が吸着された後、各吸管は気密を形成し、気密空間も気密を形成し、気密空間の圧縮により第1段の収縮が形成されて、試験待機電子装置をフローティングサイトの制限する範囲中に導入する。これにより試験待機電子装置が吸着後にフローティングサイトの制限する範囲中に導入され、こうして、吸着時の受力の不均一による歪みの状況を防止できると共に、試験待機電子装置を正確にフローティングサイトの制限する範囲内に導入でき、また、フローティングサイトの制限する範囲中の保留の空間を小さくすることができる。このほか、試験待機電子装置の吸着される表面に多くの端子が配設されている場合には、複数の吸管を用いて試験待機電子装置の表面の端子未配置部分を吸着して試験待機電子装置を吸着する吸引力を分散し、これにより本発明が吸着できる試験待機電子装置は試験待機電子装置の吸着される表面の端子位置により制限を受けることがない。このほか、試験待機電子装置の試験が完成した時、吸気装置はそれ以上吸気せず、並びに気密空間をもとの大きさに回復させる(即ちいわゆる真空破壊)する必要があり、この時、吸気装置の送気を利用して達成するか、或いは弾性装置(スプリング或いは弾性スポンジ)を利用して回復させる。
本発明の具体的実施例によると、試験待機電子装置のピックアップ装置100は、図7に示されるように、ベース24、吸着装置22と吸気装置26を具えている。吸着装置22はベース24の気密空間242中に位置し、それぞれ一本或いは複数本の吸管222を具え、この吸管222は軟性材質の管或いは伸縮機能を有する管とされる。吸気装置26が吸気実行する時、気密空間242及び吸管222が負圧を形成し、これにより吸引力を発生して試験待機電子装置28の端子を具備する表面を吸着する。吸管222が試験待機電子装置28の吸着を完成した後、更に気密空間242が更に大きな負圧を発生し、ゆえに全体の吸着装置22及び試験待機電子装置28が一緒に気密空間242の上端に吸引され、第1段階の収縮が完成する。
このほか、ベース24上にはフローティングサイト244、複数の試験端子246と気密空間242が配置されている。気密空間242の第1開口は吸気装置26に接続され、第2開口は吸着装置22を収容し、吸着装置22と気密空間242の間は気密接触し、即ち吸着装置22と気密空間242の間のギャップは非常に小さく、気体が漏れ出し難いか漏れ出し不能である。このほか、吸着装置22の接続端224は気密空間242内を移動可能であるが、xの範囲中の移動に制限され、即ち吸着装置22は一定範囲内を活動可能である。吸着装置22は吸気装置26が未吸気時に、吸着端(即ち第1位置と定義される)に接近して置かれ、吸気装置26が吸気時には、気体は吸着装置22の吸管222のみより進入し、並びに各吸管222が試験待機電子装置28を吸着して塞がれる時、気密空間242内に第1開口から吸着端の間の気密空間が形成される。不断の吸気により、気密空間は圧縮され、吸着装置22が第1位置から吸気装置26の第2位置(即ち気密空間242の上端)に移動し、これは図17に示されるとおりである。第1段階の収縮の移動はxに制限され、ゆえにxの移動に対する適宜設計と制御により、試験待機電子装置28の端子282と試験端子246をある距離に保持でき、衝突の問題を回避できる。
更に、本発明の吸着装置22中には更に第1弾性係数を具えた第1弾性装置30が設けられ、この第1弾性装置30はスプリング或いは弾性スポンジにより形成される。吸管222が試験待機電子装置28の吸着を完成後に、全体の吸着装置22及び試験待機電子装置28が一緒に気密空間242の上端(即ち第2位置)に吸引され、第1段階の収縮が完成する。第1弾性装置30は応力吸収の作用を有し、緩衝装置とされて第1段階の収縮により発生した圧力を吸収して、試験待機電子装置28が受ける応力を減らすほか、更に試験待機電子装置28に吸着後に水平な状態を保持させる調整を行なうのに用いられ、これにより試験待機電子装置28の端子282と試験端子246の間の距離を制御でき、こうして、試験待機電子装置28の端子282が第1段階の収縮時に、直接試験端子246に衝突するのを防止でき、これは図9に示されるとおりである。
上述のピックアップ装置100は試験待機電子装置28が吸管222に吸着され並びに第2開口に向けてxの移動距離を引き動かされた後、試験待機電子装置28は正確にフローティングサイト244の制限する範囲中に導入される。その後、試験待機電子装置28が試験機のソケット(図示せず)に移動させられる時、試験機が提供する下向きの圧迫の動作により第2段階の収縮を発生し、試験待機電子装置28とソケットが接合され、この下向きの圧力が第1弾性係数より大きい時、更に第1弾性装置30が圧縮され、端子282と試験端子246が接触させられ試験が行なわれ、これは図10に示されるとおりである。同様に、第1弾性装置30が有する応力吸収の作用により、緩衝装置として第2段階の収縮で発生する圧力が吸収され、端子282と試験端子246が緩和された力で接触完成し、過大な第2段階収縮力による試験待機電子装置28或いは試験端子246の損壊が防止される。
最後に試験待機電子装置28の試験が完成した後、試験機は下圧の力を終了し、並びに引き上げの力を提供し、試験待機電子装置28をソケットより離脱させる。この時、第1弾性装置30もまた端子282と試験端子246を分離させる。続いて、吸気装置26が送気を行ない(即ち真空破壊)、並びに試験待機電子装置28をトレイ中に落とす。真空が破壊された後、吸気装置26が気体を気密空間242に流入させて気密空間242の気圧を外部気圧と等しくし、吸着装置22を第1位置まで下降させる。
このほか、吸着装置22が正確に第1位置に戻って、吸管222と試験待機電子装置28の間の距離を保持し、吸着装置22が所定の吸引力で試験待機電子装置28を有効に吸着できるようにするため、本発明は更にもう一つの実施例を提供し、それは図11に示されるとおりである。本実施例中、先にピックアップ装置100の気密空間242中に第2弾性係数を具えた第2弾性装置32が置かれ、この第2弾性装置32を利用して吸着装置22の気密空間242中での位置を制御する。そのうち、第2弾性装置32の第2弾性係数は第1弾性装置30の第1弾性係数より小さくなければならず、これにより吸気装置26の発生する第1段階収縮の吸引力が第2弾性装置32を圧縮するが、第1弾性装置30を収縮させるには不足するため、端子282と試験端子246がある距離を維持して不接触とされる。試験待機電子装置28の試験が完成して真空破壊された後、吸気装置26が空気を気密空間242に流入させ、気密空間242の気圧を外部の気圧と等しくし、この時吸気装置26は第2弾性装置32の第2弾性係数により第1位置に回復する。
このほか、上述の第1弾性装置30と第2弾性装置32は一つ或いは複数の弾性部品で構成され、例えば環形リング、スポンジ或いはスプリングで構成され、本発明では弾性装置の種類と数量について制限を加えない。
本発明はまた一種の測定待機電子装置のピックアップ方法を提供し、それは図12に示されるようである。まず、ステップ410で、試験待機電子装置のピックアップ装置中にあって、吸気装置26の吸気により発生する吸引力により試験待機電子装置28を吸着し、気密空間242に吸引力を形成させる試験待機電子装置のピックアップ装置については先の実施例で詳しく説明しているため説明は省略する。続いて、ステップ420で、気密空間242の形成した吸引力により第1段階の収縮力を発生して気密空間242を封じ並びに試験待機電子装置28をフローティングサイト244の制限する固定位置中に導入する。そのうち、試験端子246と試験待機電子装置28の端子282は不接触状態を保持する。その後、ステップ430で、ピックアップ装置100の加える下向きの圧力により第2段階の収縮を形成し、試験待機電子装置28の端子282と試験端子246を接触させて試験を行なう。そのうち、第1弾性装置30により緩衝を行ない、試験待機電子装置28の端子282と試験端子246を適宜接触させる。最後に、ステップ440で、試験待機電子装置28を釈放した後、気密空間242の位置を回復し、そのうち気密空間242の回復においては、第2弾性装置32により気密空間242を確実に適当な位置に回復させる。
以上は本発明の実施例の説明であって本発明の特許請求範囲を限定するためのものではなく、以上の記述により本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が本発明を明確に理解し実行できる。本発明に基づく細部の修飾或いは改変であって本発明の精神の下でなしうるものは、いずれも本発明の請求範囲に属するものとする。
周知の技術の装置表示図である。 周知の技術の装置表示図である。 周知の技術の装置表示図である。 周知の技術の装置表示図である。 周知の技術の装置表示図である。 周知の技術の装置表示図である。 本発明の第1実施例の装置表示図である。 本発明の第1実施例の装置表示図である。 本発明の第1実施例の装置表示図である。 本発明の第1実施例の装置表示図である。 本発明の実施例の別の装置の表示図である。 本発明の別の実施例のフローチャートである。
符号の説明
10、100 ピックアップ装置
102 試験端子
12 吸着ヘッド
14 フローティングサイト
16 弾性装置
18 電子装置
180 電荷結合素子
182 端子
184 感光層
22 吸着装置
222 吸管
224 接続端
24 ベース
242 気密空間
244 フローティングサイト
246 試験端子
26 吸気装置
28 電子装置
282 端子
30 第1弾性装置
32 第2弾性装置

Claims (5)

  1. 吸着装置、ベース、吸気装置を具えた試験待機電子装置のピックアップ装置であり、
    該吸着装置は、気密空間中に置かれ、少なくとも1本の吸管を具え、該吸管の一端が該気密空間と連通し、且つ試験待機電子装置の吸着される表面に複数の端子が設けられ、
    該ベースは、該気密空間、フローティングサイト及び複数の試験端子を具え、該気密空間の両端開口が該吸気装置と該吸着装置に接触して該気密空間を形成し、該吸着装置が該気密空間中の第1位置と第2位置の間に制限されて移動し、並びに該気密空間と気密接触を保持し、
    該吸気装置は、吸気により吸引力を発生し、各吸管が該吸引力により該試験待機電子装置を吸着し、該試験待機電子装置を吸着後に、該吸着装置と該試験待機電子装置を連帯して該フローティングサイトの制限する固定位置に引き動かして至らせ、並びに該吸引力が消失後に、該気密空間が該吸着装置を第1位置に回復させ、
    該吸気装置が送気により推力を発生し、圧縮された気密空間を回復させ、該端子と該試験端子に、該吸着装置が第2位置に移動した時に、ある距離を保持させることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置。
  2. 請求項1記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、吸着装置が第1弾性係数を具えた第1弾性装置を具え、該第1弾性装置と吸管が結合され、且つ該第1弾性装置がスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第1弾性装置は吸着装置が第2位置に移動させられた時、該第1弾性係数により端子と試験端子の間の距離を制御し、該端子と試験端子を不接触とし、第1弾性装置が第1弾性係数より大きい圧力を受ける時、該第1弾性装置の収縮により該端子と該試験端子が接触することを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置。
  3. 請求項1記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、気密空間が第2弾性係数を具えた第2弾性装置を具え、該第2弾性装置は吸着装置の第1位置と第2位置の間の位置を制御し、且つ第2弾性装置はスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第2弾性装置は試験待機電子装置が吸着された後に、その吸引力を受けて圧縮され、並びに吸引力が消失した後、第2弾性装置が回復し、圧縮された気密空間を回復させることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置。
  4. 請求項2記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、該気密空間が第2弾性係数を具えた第2弾性装置を更に包含し、該第2弾性装置は該吸着装置を制御して該第1位置と該第2位置の間に位置させ、該第2弾性装置の第2弾性係数が、第1弾性装置の第1弾性係数より小さいことを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置。
  5. 試験待機電子装置のピックアップ方法において、
    吸着される表面に複数の端子を具えた試験待機電子装置を、吸気装置の吸気により発生する吸引力により吸着装置に吸着させ、これにより気密空間に吸引力を形成させる、吸引力形成ステップと、
    気密空間の形成した吸引力により吸着装置を気密空間中で移動させて第1段階の収縮を形成して試験待機電子装置を固定位置中に導入する、第1段階収縮形成ステップと、
    試験機により下向きの圧力を提供して該試験待機電子装置の複数の端子を対応する試験端子に接触させて試験を行なう、第2段階収縮形成ステップと、
    気密空間回復ステップと、
    を具え、該吸着装置が第1弾性係数を具えた第1弾性装置を具え、該第1弾性装置がスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第1段階収縮が形成された後に、該第1弾性装置により試験待機電子装置の複数の端子と対応する試験端子が不接触とされ、且つ該下向きの圧力が第1弾性装置の弾性力より大きく、気密空間が第2弾性係数を具えた第2弾性装置を具え、且つ該第2弾性装置が気密空間の形成した吸引力を受けて圧縮され、並びにこの吸引力が消失した後に該第2弾性装置の第2弾性係数により圧縮された気密空間が回復させられることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ方法。
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