JP4137254B2 - 透明導電積層体の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は低抵抗の透明導電積層体の製造方法に関し、さらに詳しくは高分子基板の上に低抵抗の透明導電膜を設けてなる透明導電積層体の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
各種表示素子或いは薄膜太陽電池の電極部には、可視光線透過率が高く、低抵抗な電気特性を有する透明導電膜が欠かせない。また、近年の携帯移動端末の急激な小型化・軽量化に伴って、透明電極基板にも、さらなる軽量な部材が要求されている。そのため、基板材料としては、ガラスに比べてより軽量な透明高分子基板材料にIn−Sn−Oを主成分とする膜(以下ITO膜と記す)を積層した透明導電性フィルムが使用されつつある。また、高分子基板上に形成したITO膜を用いてカラーの表示素子を作成することを鑑みた場合、ITO膜の表面抵抗は20Ω/□程度が望まれている。
【0003】
ITO膜をガラス及び/または高分子基板に形成するためには、DCマグネトロンスパッタリング、RFマグネトロンスパッタリング、真空蒸着法、イオンプレーティング法などが用いられている。特に大面積に対して膜厚分布を低減させた透明導電膜を形成するためにはDCマグネトロンスパッタリングが有効である。
【0004】
高分子基板上に積層されたITO膜はガラス基板上に積層されたITO膜に比較して一般的に比抵抗が高い。この理由には主として二つの要因が考えられる。一つはプロセス温度がガラス基板上への成膜プロセスに比較して低いために、十分に結晶成長を行うことができないことに起因している。もう一つは高分子基板の剛性に由来するところの膜厚の制約に起因している。これらの理由により、高分子基板上のITO膜は比抵抗が5.0×10-4Ω・cmより下がりにくく、60Ω/□以下の表面抵抗値、より望ましくは40Ω/□以下の表面抵抗値を有する透明導電膜を形成することは困難であった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
高分子基板上へのITOの形成においては、高分子基板のガラス転移温度が一般に200℃に満たないため、かかる温度以上に加熱することができず、ガラス上へのITO膜の形成時のように200℃を超えるような高い基板温度条件を使用することができない。また、高分子基板の曲げに対する剛性はガラス基板に比して小さいことより、高分子基板上にはせいぜい130nm程度しかITOを形成することができない。これ以上にITO膜の膜厚を厚くするように形成すると、高分子基板がITO膜の応力のために、そり(カール)を起こしてしまったり、或いはITO膜に傷が入ってしまうことがある。このようなことから、膜厚は最大で通常130〜300nm程度に抑制することが必要である。
【0006】
従って本発明は、高分子基板上に、ITO膜厚を増加させずに、表面抵抗の小さなITO膜を形成した透明導電積層体を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
一般にDCマグネトロンスパッタリングにおいて形成されるITO膜の構造及び電気特性は、その成膜温度に強く依存すると言われており、基板温度を室温に保って行った成膜では、結晶質部と非晶質部が混合した状態が形成される。また、この状態は、成膜雰囲気によって大きく異なると言われている。例えば、特開平9−50712号公報にあるように雰囲気中に水を導入することにより結晶の粒径及び数を制御するという積極的な不純物ガスの導入により、膜構造を制御するという方法がある。一方、特開平8−92740号公報においては不純物ガスを積極的に無くし、3.0×10-6Torrの真空系を構築することを含めたスパッタリング装置を用いる方法が報告されている。
【0008】
酸化物ターゲットを用いてDCマグネトロンスパッタによって透明導電膜を形成するプロセスにおいては、雰囲気中に消失するターゲット由来の酸素を補償するためにArガスと酸素ガスを導入する。導入する酸素のArガスに対する濃度が数%程度であることと、成膜雰囲気が数mTorrであることより、導入する酸素の分圧は1.0×10-5Torr台であると考えることができる。
【0009】
真空槽の背圧は、1.0×10-8Torr程度まで水が主成分であると言われている。したがって背圧はその真空系の水分圧と等しいと考えることができる。背圧が1.0×10-6Torrであれば、1.0×10-6Torrの水が存在していることになる。例えば1.0×10-5Torrの背圧に対して1.0×10-5Torrの酸素を添加して反応ガスを制御した場合は、水分圧は酸素分圧に対して50%の量に相当し、反応ガスとして酸素のみを使用しているとはもはや言えない状態にある。
【0010】
本発明者らは、高分子基板上のITO膜において、比抵抗が低減できない理由は成膜雰囲気に残留する水を完全に制御できていないことに由来すると考えた。そして、軽量であり耐衝撃性に優れている高分子基板の特性を最大限に活かすために、高分子基板の温度を該高分子基板のガラス転移温度より上昇させること無くITO膜の比抵抗を低減させることを成膜雰囲気の制御を通じて検討した。そして、基板温度を80℃未満の所望の値に設定し、成膜雰囲気を一定範囲に押え込みながら形成したITO膜を、高分子基板のガラス転移温度を超えないように、好適には80〜200℃の温度範囲で熱処理することにより、従来の成膜雰囲気において形成したITO膜に比して比抵抗が半減できることを見出した。
【0011】
すなわち本発明は、In−Sn−Oを主成分とするターゲットを用いて、高分子基板上に透明導電膜を製膜する透明導電積層体の製造方法であって、透明導電膜を製膜する雰囲気中の圧力を1×10 −6 以下とし、次いで、不活性ガス及び酸素を導入し、水分圧に対する酸素分圧の比を0〜1000の範囲とし、不活性ガスに対する水分圧の比を1.3×10−5〜2.5×10−4の範囲とし、かつ、80℃未満の温度に保持した雰囲気中で高分子基板上に透明導電膜を形成し、次いで、酸素を含む雰囲気下において当該高分子基板のガラス転移温度を超えない温度にて熱処理することにより、透明導電膜の比抵抗が1×10 −4 〜4.1×10 −4 Ω・cmの範囲の透明導電積層体を製造する透明導電積層体の製造方法である。
【0012】
本発明により、成膜雰囲気中の主として水からなる不純物の分圧を、背圧の制御により制御し、80℃未満の成膜温度において、高分子基板上に比抵抗が4×10−4〜6×10−4Ω・cmであるITO膜を形成し、その後、酸素を含む雰囲気中で熱処理を実施することにより、比抵抗が1×10−4〜4.1×10−4Ω・cmであるITO膜を提供することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明では、高分子基板上において、比抵抗が1×10−4〜4.1×10−4Ω・cmを示すような透明導電膜(代表としてITO膜と述べることがある)及び該ITO膜が積層された透明導電積層体の製造方法を提供する。
【0014】
通常、Physical Vaper Deposition(以下PVDと略)に用いる真空槽の到達真空度は1.0×10-5Torr程度に制御されることが多い。この場合の真空槽には1.0×10-5Torrの在留ガスが存在しており、その主成分は水であると言われる。ところで、高分子基板上に酸化物薄膜を形成するには、一般に金属及び/または金属酸化物を用いた反応性のPVDが用いられる。このとき金属酸化物を用いた反応性のPVDに必要な導入酸素の量は、同時に導入する不活性ガスに対して通常数%であるに過ぎない。PVDのうちスパッタリングに特化して述べれば、酸素の導入量は通常1.0×10-5Torrのオーダーである。このことより、到達真空度に言及しない真空槽にて形成される膜に真空槽内の残留ガスの影響が現れることは容易に推定できる。真空槽内の雰囲気(特に背圧)について言及していないPVDプロセスにおいて形成された透明導電膜の特性は、プロセスと物質との間に存在する物質固有の姿を正しく捉えているとは言い難い。
【0015】
本発明によれば、真空槽及び高分子基板に由来するガス成分である水を背圧制御を通じて制御し、成膜時に導入する不活性ガスに対する水分圧の比が1.3×10-5〜2.5×10-4の範囲に制御した真空槽にて、水分圧に対する反応ガスである酸素分圧比が10〜1000の範囲、より望ましくは50〜500の範囲、さらに望ましくは100〜250の範囲にあるような酸素を導入し、真空槽及び基板に由来する不純物を取り込みにくい状態にて成膜を行う。その後、酸素を有する雰囲気中にて、使用する高分子基板のガラス転移温度以下で行うことで、1×10-4〜4×10-4Ω・cmという非常に比抵抗が低減された高分子基板上のITO膜を得ることができる。特に、背圧(到達真空度)を従来の値に比べて大幅に低減すること、具体的には真空プロセスの真空の質を通常より1.5〜2桁良好にした(1×10-6〜1×10-8とすること)で、ITO製膜時の雰囲気中の水量を制御し低抵抗のITOが形成できたものである。
【0016】
真空槽中の不純物ガスの低減は、成膜されたITO膜に含有される不純物の低減をもたらす。しかし、ITO膜に含有される不純物の低減はITO膜を低比抵抗化するための十分条件であって必要条件ではない。これは、ITO膜の導電機構が膜中に存在するキャリアの生成機構と密接な相関を有することに由来する。キャリアの生成は基板温度に強く依存し、基板温度を室温から80℃として形成したITO膜では、成膜直後の状態において十分なキャリアが生成されていない。さらに、不純物として水を含むITO膜は、特定の膜形成条件では若干比抵抗を低減させることができるものの、水はITO膜中で酸素と優先的に結合しキャリアの生成を抑制してしまう。成膜雰囲気中の水を減少させた真空槽において形成されたITO膜は、不純物に由来するキャリアの生成の抑制が低減されるために、基板温度に対応したキャリアが生成されていると考えられる。また、構造は結晶質と非晶質が混在した状態になる。
【0017】
このようにして得られたITO膜を酸素を含む雰囲気下において加熱すると、膜中の不純物が少ないために、非晶質部が円滑に結晶化し、その際発生する熱及び外部からの加熱により、キャリアの生成が促進される。また、基板温度を200℃以上に設定したPVD(スパッタリング等の薄膜形成法)に伴う結晶化のような急激な結晶化と異なり、高分子基板のガラス転移温度未満という極めて低温プロセスによる結晶化は、熱力学的に平衡に近い状態で結晶化が起こるため、結晶粒内の転移や欠陥といった、キャリアの散乱要因が減少する。このため、比抵抗は従来のものに比較して著しく低減すると推定される。
【0018】
本発明においては、反応性DCマグネトロンスパッタリングにおいてITO膜を形成するにあたり、成膜雰囲気に存在する水を主成分とする不純物ガスの量を制御し、形成されたITO膜の抵抗値を酸素を含む雰囲気下において高分子基板のガラス転移温度より低い温度にて熱処理することにより、さらに低減されるものである。
【0019】
形成するITO膜は、酸化インジウムを主体としたものからなり、酸化錫を2.5〜25重量%含むものが抵抗値及び透過率の向上の観点から望ましい。5〜15重量%の酸化錫を含むITO膜が抵抗値及び透過率の観点からより望ましい。また、酸化インジウムを主体とし、酸化錫、酸化亜鉛、酸化アンチモン、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化セリウム、酸化マグネシウム、酸化カドミウム、酸化銅、酸化タングステン、酸化レニウム等のバンドギャップが大きい酸化物のうち少なくとも一種類の酸化物を含む複合酸化物であっても構わない。しかし、実用性を鑑みると酸化錫が望ましい。
【0020】
雰囲気中の水分圧は、到達真空度が1×10-8Torrまでの範囲であれば、背圧とほぼ一致していると考えることができるので、真空槽の背圧を水分圧として用いた。酸素分圧は、真空計にて測定した成膜時の全圧から背圧である水分圧を差し引き、マスフローコントローラーで設定したArガスと酸素ガスの流量比によって、全圧から背圧を差し引いた圧力を内分することによって求めた。特に酸素分圧を決定するときには、差動排気型のインプロセスモニターを用いても良い。またはダイナミックレンジが広く、数mTorrの圧力下においても計測が可能な四重極質量分析計を用いても良い。
【0021】
ITO膜の表面抵抗は三菱化学製のLoresta MP MCP−T350を用いて測定した。ITO膜の膜厚は、ガラス上へ成膜した当該膜の段差をSloan社製のDektakを用いて測定し、スパッタレートを求めこれから逆算した。
【0022】
高分子基板としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナナフタレート等のポリエステル系高分子、ポリオレフィン系高分子、ポリカーボネイト、ポリエーテルスルホン等を用いることができる。またこれらの高分子基板の少なくとも片面及び/または両面に、接着性、耐溶剤性等の付与するために有機系または無機系の下地層を単層または複数層有してもよい。これらの高分子基板の膜厚は、液晶用途としては0.4mmの厚さを有することが可能であるが、実装形態を考慮すると0.01〜0.4mm、好適には0.1mmの厚さを有することが視認性の点において望ましい。
【0023】
高分子基板は、形成されるITO膜との密着性の向上、高分子基板の耐久性の向上或いは、高分子基板のガスバリア能を向上させるために、高分子基板の片面或いは両面に、少なくとも一層以上からなるコーティング層を有していても構わない。このコーティング層は、無機物または有機物またはそれらの複合材料からなり、その膜厚は好ましくは0.01〜20μmである。コーティング層の形成にはコーターを用いた塗布法や、スプレー法、スピンコート法、インラインコート法等が用いられることが多いが、この限りではない。また、スパッタ法、蒸着法といった、PVD、CVDの手法が用いられても構わない。コーティング層としては、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、UV硬化系樹脂、エポキシ系樹脂等の樹脂成分やこれらとアルミナ、シリカ、マイカ等の無機粒子の混合物が使われても良い。或いは、高分子基板を二層以上の共押し出しによりコーティング層の機能を持たせても構わない。PVD、CVDの手法では、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化カルシウム、酸化バリウム、酸化錫、酸化インジウム、酸化タンタル、酸化チタン、酸化亜鉛等の酸化物や、窒化珪素、窒化チタン、窒化タンタル等の窒化物を用いることができる。このようなコーティング層を有する高分子基板は、光学特性としてレターデーションが低く、尚且つ透過率が高いことが望ましい。
【0024】
成膜雰囲気は主として不活性ガス及び酸素及び水からなるが、このとき不活性ガスとしてはHe、Ne、Ar、Kr、Xeを用いることができ、原子量の大きな不活性ガスほど形成される膜へのダメージが少なく比抵抗が低減されると言われているが、コスト面から考えてArが望ましい。
【0025】
このようにして形成された透明導電膜の成膜直後の比抵抗は、比抵抗が4×10−4〜6×10−4Ω・cm程度であるが、酸素を含む雰囲気下において熱処理を、高分子基板のガラス転移温度未満の温度にて実施することで比抵抗が低減され、比抵抗の値は1×10−4〜4.1×10−4Ω・cmのものを得ることができる。かかる比抵抗値はより望ましくは1×10−4〜3×10−4Ω・cmである。熱処理に要する時間は、基板に用いる高分子材料のガラス転移温度から決定される熱処理温度に強く依存するが、80〜200℃の温度範囲であれば、30分から360分程度である。より好ましくは、30分から120分程度である。
【0026】
本発明においては、抵抗値のみならず、他の透明導電膜の基本的な物理量の一つである全光線透過率及び当該膜の構造に関する知見を与えるX線回折についても併せて検討をおこなっている。全光線透過率はNIPPON DENSHOKU社製300Aを用いて、高分子基板と透明導電膜を分離すること無く測定した。X線回折強度はRigaku社製Rotaflex RU−300を用いて測定した。光学配置はブラッグーブレンターノの光学配置を用いた。光源にはCuKα線(波長:1.541Å)を50kV、200mAのパワーで用い、発散スリット1°、受光スリット1°及び散乱スリット0.15°を光学系として採用した。また、グラファイトのモノクロメーターも使用した。X線回折チャート上の(222)面及び(440)面からの強度は、回折ピークのピークトップの強度から、そのピークのベースラインを直線としたときのベースライン強度の差を読み取り、反射強度として定義した。また、光源のCuKα1、α2の分離は特に行うこと無く強度を読み取った。
【0027】
この熱処理を実施することによって、比抵抗の低減のみならず、全光線透過率の向上及びITO結晶に由来するX線回折チャート上30.5°(2θ)に現れる(222)反射強度及び50.5°(2θ)に現れる(440)反射強度の増加が実現される。特に全光線透過率の向上は液晶、その他の光学用途に対しては有利に働くので重要な因子である。ITO結晶に由来するX線回折チャート上の(222)反射強度及び(440)反射強度は、抵抗の低減が実現される膜においては、成膜直後には数百cpsから数千cpsであった強度が数千cpsに増加し、膜が結晶質なものに変化していることを示している。このような構造変化も抵抗低減に寄与しているものと考えられる。特に(440)反射強度は比抵抗が極めて低減された膜において成膜直後のX線回折強度に比較して熱処理後のX線回折強度が増加している。回折強度の増加量は熱処理前後の(440)反射強度比で評価し、熱処理後の強度に対する熱処理前の強度の比が0.01〜1であることが望ましい。より望ましくは0.01〜0.5の範囲に入るときでありこのとき抵抗の低減が著しい。
以下に実施例を示すが、本発明はこれらに制限されるものではない。
【0028】
[実施例1]
真空槽の背圧を1.0×10-7Torrとし、水分圧に対する酸素分圧の比が115となるように酸素を導入し、さらに不活性ガスとしてArを導入し全圧を3mTorrとした。酸素分圧はマスフローコントローラーにおける酸素流量と全ガス圧より計算で求め、1.2×10-5Torrであった。以下の実施例および比較例においても同様の方法で酸素分圧を決定した。また、このとき不活性ガスの圧力に対する水分圧の比は3.3×10-5であった。なお、背圧は水分圧と等しいと考えることができるので、水分圧は1.0×10-7Torrとする。
【0029】
In−Sn−Oからなる焼結ターゲットに1W/cm2の電力密度でDCマグネトロンスパッタリング法により、基板温度20℃のポリカーボネイト基板上へ、5wt%SnO2添加のIn2O3を130nm成膜した。
【0030】
当該膜の成膜直後の比抵抗を、四端子抵抗計にて測定したところ4.6×10-4Ω・cmであった。全光線透過率は80.9%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約8500cpsであった。(400)配向に由来するピーク強度は約200cpsであった。また(440)配向に由来するピーク強度は約1400cpsであった。
【0031】
当該膜をポリカーボネイトのガラス転移温度未満の温度である130℃で30分間熱処理を行い比抵抗を四端子抵抗計にて測定したところ4.0×10-4Ω・cmであった。熱処理時間を240分間としたときも比抵抗は同じであった。全光線透過率は82.4%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約10000cpsであった。(400)配向に由来するピーク強度は約240cpsであった。また(440)配向に由来するピーク強度は約2000cpsであった。熱処理後の(440)配向に由来する反射強度に対する熱処理前の(440)配向に由来する反射強度の強度比は0.7であった。
【0032】
これらの実施例・比較例の成膜パラメータのうち、酸素分圧/水分圧、水分圧/Ar分圧を下記表1にまとめた。また、成膜前後の比抵抗も表1に示した。
【0033】
[実施例2]
真空槽の背圧を実施例1と同じとし、水分圧に対する酸素分圧の比が160となるように酸素を導入し、さらに不活性ガスとしてArを導入し全圧を3mTorrとした。酸素分圧は1.6×10-5Torrであった。また、このとき不活性ガスの圧力に対する水分圧の比は3.3×10-5であった。In−Sn−Oからなる焼結ターゲットに1W/cm2の電力密度でDCマグネトロンスパッタリング法により、基板温度20℃のポリカーボネイト基板上へ、7.5wt%SnO2添加のIn2O3を130nm成膜した。
【0034】
当該膜の成膜直後の比抵抗を、四端子抵抗計にて測定したところ4.8E−4Ω・cmであった。全光線透過率は82.3%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約1700cpsであった。図1に示すように、(400)配向に由来するピーク強度は約300cpsであった。また(440)配向に由来するピーク強度は約800cpsであった。
【0035】
当該膜をポリカーボネイトのガラス転移温度未満の温度である130℃で30分間熱処理を行い比抵抗を四端子抵抗計にて測定したところ2.5E−4Ω・cmであった。熱処理時間を240分間としたときも比抵抗は同じであった。全光線透過率は86.8%であった。図2に示すように、(222)配向に由来するピーク強度は約5500cpsであった。(400)配向に由来するピーク強度は約700cpsであった。また(440)配向に由来するピーク強度は約3000cpsであった。熱処理後の(440)配向に由来する反射強度に対する熱処理前の(440)配向に由来する反射強度の強度比は0.3であった。
【0036】
[実施例3]
真空槽の背圧を実施例1と同じとし、水分圧に対する酸素分圧の比が200となるように酸素を導入し、さらに不活性ガスとしてArを導入し全圧を3mTorrとした。酸素分圧は2.0×10-5Torrであった。また、このとき不活性ガスの圧力に対する水分圧の比は3.4×10-5であった。In−Sn−Oからなる焼結ターゲットに1W/cm2の電力密度でDCマグネトロンスパッタリング法により、基板温度20℃のポリカーボネイト基板上へ、10wt%SnO2添加のIn2O3を130nm成膜した。
【0037】
当該膜の成膜直後の比抵抗を、四端子抵抗計にて測定したところ5.6×10-4Ω・cmであった。全光線透過率は80.0%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約400cpsであった。(400)配向に由来するピークは検出できなかった。また(440)配向に由来するピーク強度は約150cpsであった。
【0038】
当該膜をポリカーボネイトのガラス転移温度未満の温度である130℃で30分間熱処理を行い比抵抗を四端子抵抗計にて測定したところ2.0×10-4Ω・cmであった。熱処理時間を240分間としたときも比抵抗は同じであった。全光線透過率は85.9%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約4500cpsであった。(400)配向に由来するピーク強度は約800cpsであった。また(440)配向に由来するピーク強度は約3000cpsであった。熱処理後の(440)配向に由来する反射強度に対する熱処理前の(440)配向に由来する反射強度の強度比は0.05であった。
【0039】
[実施例4]
真空槽の背圧を実施例1と同じとし、水分圧に対する酸素分圧の比が260となるように酸素を導入し、さらに不活性ガスとしてArを導入し全圧を3mTorrとした。酸素分圧は2.6×10-5Torrであった。また、このとき不活性ガスの圧力に対する水分圧の比は3.3×10-5であった。In−Sn−Oからなる焼結ターゲットに1W/cm2の電力密度でDCマグネトロンスパッタリング法により、基板温度20℃のポリカーボネイト基板上へ、12.5wt%SnO2添加のIn2O3を130nm成膜した。
【0040】
当該膜の成膜直後の比抵抗を、四端子抵抗計にて測定したところ5.5×10-4Ω・cmであった。全光線透過率は81.2%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約200cpsであった。(400)配向に由来するピークは検出できなかった。また(440)配向に由来するピーク強度は約80cpsであった。
【0041】
当該膜をポリカーボネイトのガラス転移温度未満の温度である130℃で30分間熱処理を行い比抵抗を四端子抵抗計にて測定したところ2.3×10-4Ω・cmであった。120分間熱処理を行い、比抵抗を四端子抵抗計にて測定したところ1.8×10-4Ω・cmであった。熱処理を240分間行ったが比抵抗はさらなる比抵抗の低減は観測されなかった。全光線透過率は87.9%であった。(222)配向に由来するピーク強度は3500cpsであった。(400)配向に由来するピーク強度は約600cpsであった。また(440)配向に由来するピーク強度は約3500cpsであった。熱処理後の(440)配向に由来する反射強度に対する熱処理前の(440)配向に由来する反射強度の強度比は0.02であった。
【0042】
[実施例5]
真空槽の背圧を実施例1と同じとし、水分圧に対する酸素分圧の比が200となるように酸素を導入し、さらに不活性ガスとしてArを導入し全圧を3mTorrとした。酸素分圧は2.0×10-5Torrであった。また、このとき不活性ガスの圧力に対する水分圧は3.3×10-5であった。In−Sn−Oからなる焼結ターゲットに1W/cm2の電力密度でDCマグネトロンスパッタリング法により、基板温度20℃の両面にシリコン系ポリマーからなる有機コーティング層を1層形成したポリカーボネイト基板上へ、10wt%SnO2添加のIn2O3を130nm成膜した。
【0043】
当該膜の成膜直後の比抵抗を、四端子抵抗計にて測定したところ5.2×10-4Ω・cmであった。全光線透過率は82.1%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約300cpsであった。(400)配向に由来するピークは検出できなかった。また(440)配向に由来するピーク強度は約100cpsであった。
【0044】
当該膜をポリカーボネイトのガラス転移温度未満の温度である130℃で30分間熱処理を行い比抵抗を四端子抵抗計にて測定したところ2.0×10-4Ω・cmであった。熱処理時間を240分間としたときも比抵抗は同じであった。全光線透過率は86.7%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約4500cpsであった。(400)配向に由来するピーク強度は約600cpsであった。また(440)配向に由来するピーク強度は約2500cpsであった。熱処理後の(440)配向に由来する反射強度に対する熱処理前の(440)配向に由来する反射強度の強度比は0.04であった。
【0045】
[比較例1]
真空槽の背圧を6.0×10-6Torrとし、水分圧に対する酸素分圧の比が2.7となるように酸素を導入し、さらに不活性ガスとしてArを導入し全圧を1.3mTorrとした。酸素分圧は1.6×10-5Torrであった。また、このとき不活性ガスの圧力に対する水分圧は4.7×10-3であった。In−Sn−Oからなる焼結ターゲットに1W/cm2の電力密度でDCマグネトロンスパッタリング法により、基板温度20℃のポリカーボネイト基板上へ、10wt%SnO2添加のIn2O3を130nm成膜した。
【0046】
当該膜の成膜直後の比抵抗を、四端子抵抗計にて測定したところ5.8×10-4Ω・cmであった。全光線透過率は85.6%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約150cpsであった。(400)配向に由来するピークは検出できなかった。また(440)配向に由来するピークは検出できなかった。
【0047】
当該膜をポリカーボネイトのガラス転移温度以下の温度である130℃で30分間熱処理を行い比抵抗を四端子抵抗計にて測定したところ5.6×10-4Ω・cmであった。熱処理時間を240分間としたときの比抵抗は5.3×10-4Ω・cmであった。全光線透過率は86.1%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約600cpsであった。(400)配向に由来するピークは検出できなかった。また(440)配向に由来するピーク強度は約100cpsであった。熱処理後の(440)配向に由来する反射強度に対する熱処理前の(440)配向に由来する反射強度の強度比は0であった。
【0048】
[比較例2]
真空槽の背圧を1.0×10-7とし、水分圧に対する酸素分圧の比が1200となるように酸素を導入し、さらに不活性ガスとしてArを導入し全圧を3.5mTorrとした。酸素分圧は1.2×10-4Torrであった。また、このとき不活性ガスの圧力に対する水分圧は3.1×10-5であった。In−Sn−Oからなる焼結ターゲットに1W/cm2の電力密度でDCマグネトロンスパッタリング法により、基板温度20℃のポリカーボネイト基板上へ、10wt%SnO2添加のIn2O3を130nm成膜した。
【0049】
当該膜の成膜直後の比抵抗を、四端子抵抗計にて測定したところ7.0×10-4Ω・cmであった。全光線透過率は87.8%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約8000cpsであった。(400)配向に由来するピークは検出されなかった。また(440)配向に由来するピーク強度は約100cpsであった。
【0050】
当該膜をポリカーボネイトのガラス転移温度以下の温度である130℃で30分間熱処理を行い比抵抗を四端子抵抗計にて測定したところ4.5×10-3Ω・cmであった。熱処理時間を240分間としたときも比抵抗はほとんど同じであった。全光線透過率は86.7%であった。(222)配向に由来するピーク強度は約9000cpsであった。(400)配向に由来するピークは検出されなかった。また(440)配向に由来するピーク強度は約80cpsであった。熱処理後の(440)配向に由来する反射強度に対する熱処理前の(440)配向に由来する反射強度の強度比は1.3であった。
【0051】
【表1】
【0052】
このように、背圧の制御に伴う水分圧と酸素分圧の適切な制御により、熱処理を行った後、著しく比抵抗が低減された透明導電積層体が得られるようになった。同時に、全光線透過率も向上し、透明導電積層体としての機能を非常に高くすることができた。
【0053】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、高分子基板上に低温プロセスにて形成したすることにより、他に類を見ないような低比抵抗の透明導電積層体の製造方法及び透明導電積層体を与える。特にDCマグネトロンスパッタによって高分子基板の温度が低い条件で形成したIn−Sn−Oを主成分とする透明導電膜を、低温熱処理することにより、低抵抗で結晶質な透明導電性薄膜とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例2の製膜直後(熱処理前)のITOのX線回折強度の測定チャートである。
【図2】実施例2の熱処理後のITOのX線回折強度の測定チャートである。
Claims (6)
- In−Sn−Oを主成分とするターゲットを用いて、高分子基板上に透明導電膜を製膜する透明導電積層体の製造方法であって、
透明導電膜を製膜する雰囲気中の圧力を1×10 −6 以下とし、次いで、不活性ガス及び酸素を導入し、
水分圧に対する酸素分圧の比を0〜1000の範囲とし、
不活性ガスに対する水分圧の比を1.3×10−5〜2.5×10−4の範囲とし、
かつ、80℃未満の温度に保持した雰囲気中で高分子基板上に透明導電膜を形成し、
次いで、酸素を含む雰囲気下において当該高分子基板のガラス転移温度を超えない温度にて熱処理することにより、
透明導電膜の比抵抗が1×10 −4 〜4.1×10 −4 Ω・cmの範囲の透明導電積層体を製造する透明導電積層体の製造方法。 - 熱処理前における透明導電膜の比抵抗が、4×10−4〜6×10−4Ω・cmである請求項1記載の透明導電積層体の製造方法。
- 高分子基板の厚さが、0.01〜0.4mmである請求項1または2に記載の透明導電積層体の製造方法。
- 透明導電膜が酸化インジウムを主体とし、酸化錫を2.5〜25重量%含む請求項1〜3のいずれかに記載の透明導電積層体の製造方法。
- 透明導電膜を製膜する雰囲気中の水の分圧を1×10−6以下とし、次いで、不活性ガス及び酸素を導入する請求項1〜4のいずれかに記載の透明導電積層体の製造方法。
- 当該透明導電膜におけるX線回折法によって求めた(440)面からの反射強度について、熱処理後の反射強度に対する熱処理前の反射強度の比が、0.01〜1の範囲である請求項1〜5のいずれかに記載の透明導電積層体の製造方法。
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