JP4130748B2 - Drug holder and photomask blank container - Google Patents

Drug holder and photomask blank container Download PDF

Info

Publication number
JP4130748B2
JP4130748B2 JP2002096557A JP2002096557A JP4130748B2 JP 4130748 B2 JP4130748 B2 JP 4130748B2 JP 2002096557 A JP2002096557 A JP 2002096557A JP 2002096557 A JP2002096557 A JP 2002096557A JP 4130748 B2 JP4130748 B2 JP 4130748B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photomask blank
drug
holder
medicine
container
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2002096557A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2003297913A (en
Inventor
英雄 小林
Original Assignee
Hoya株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hoya株式会社 filed Critical Hoya株式会社
Priority to JP2002096557A priority Critical patent/JP4130748B2/en
Publication of JP2003297913A publication Critical patent/JP2003297913A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4130748B2 publication Critical patent/JP4130748B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばフォトマスク(レチクルを含む)等の製造に用いられるフォトマスクブランクを収容、保管あるいは収容して輸送するための容器に関し、特に、当該フォトマスクブランクの機能あるいは品質を損なわせる化学汚染物質を吸収除去するための薬剤(例えば、乾燥剤、脱酸素剤、脱臭剤、等々)を保持(収容)する薬剤保持具及び該薬剤保持具を備えたフォトマスクブランク収容容器に関する。
【0002】
【従来の技術】
フォトマスクブランク収容容器としては、規定の外形寸法及び形状からなるフォトマスクブランクを複数枚収容可能な、ポリプロピレン、ポリエチレン、ABS(アクリルニトリル−ブタジエン−スチレン共重合樹脂)、アクリル系等の樹脂からなる収容容器が使用されている。図6は、フォトマスクブランク収容容器として広く一般に使用されている収容容器の一例を示す断面図、図7は中箱にフォトマスクブランクを収容する様子を説明するための斜視図である(特公平4−29215号公報)。これらの図面において、フォトマスクブランク収容容器は、外箱底部30、外箱の蓋40及び内箱20で構成され、内箱20の対向する一対の溝21にフォトマスクブランク11が収容可能に構成されている。ブランク11の側部端面11bは内箱20の溝21に当接し、底部端面11cは内箱20の基板支持部22に当接して保持される。さらに外箱の蓋40には基板抑え具41が設けられており、この基板抑え具41における側部端面11b及び頭部端面11aと当接する部位には厚さ方向にブランク11を保持する凹部(溝が)形成されており、あらゆる方向の振動や衝撃に対しブランク11を完全に保持できるようになっている。このようにフォトマスクブランク収容容器は、輸送中の収容基板(即ち、フォトマスクブランク)の振動を抑え、収容容器との擦れによる発塵を抑えるべく、その形状は適当に工夫設計されている。また、フォトマスクブランク収容容器は、フォトマスクブランクの保管にも使用されている。なお、溝21の底部には開口窓23が、内箱20の底部には開口部24がそれぞれ設けられており、これらの部位にゴミ等が溜まるのを防ぐとともに洗浄によるゴミ等の除去を容易にしている。
【0003】
ここで、近年特に、化学汚染物質等に弱いレジストである化学増幅型レジストを塗布したフォトマスクブランクの収容に関し、当該レジストの機能あるいは品質を劣化させる原因となる例えばアミン化合物等のアルカリ汚染源物質を除去し品質を維持する目的で、例えばシリカゲル等の吸着乾燥剤を、フォトマスクブランク収容容器内に備えることが広く一般に行われている。
上記、シリカゲル等の薬剤は、当該薬剤の粉末が異物となってフォトマスクブランク表面に付着することを防ぐため、通気性樹脂等からなる薬剤袋に収容されている。この薬剤袋をフォトマスクブランク収容容器の内部に接着テープや接着剤等で貼り付けて収容する方法や、あるいは、予めフォトマスクブランク収容容器の設計段階で前記薬剤袋を収容できるポケットを設けてこのポケットに前記薬剤袋を収容する方法が、従来一般に行われてきた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、薬剤袋を接着テープ等でフォトマスクブランク収容容器の内部に貼り付ける方法では、接着テープのテープ自体あるいは接着剤から化学汚染物質が発生し、レジストの機能あるいは品質を劣化させることがあった。また、予め設計段階で上記薬剤袋を収容できるポケットを設けたフォトマスクブランク収容容器を製作する方法では、フォトマスクブランク収容容器の製作に費用がかかり、また、薬剤袋の大きさ(容積)が変わる毎に新たにフォトマスクブランク収容容器を設計し直す必要があり、多大な経費、労力と時間を必要とした。
さらに、従来法では、薬剤袋が振動することによって発塵する恐れがあった。また、従来法では、フォトマスクブランク収容容器内に、薬剤袋等を収容するスペースを確保する必要があった。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するためなされたものであり、以下の構成を有する。(構成1) 薬剤を保持するための薬剤保持具であって、
複数枚のフォトマスクブランクを収容するための対向する溝を有するフォトマスクブランク収容容器における前記溝に収容可能な外径寸法及び形状を有し、かつ、前記薬剤保持具は、前記溝に前記薬剤保持具を収容したときに前記薬剤保持具の振動を防止しうる形態を有するとを特徴とする薬剤保持具。
【0006】
(構成2) フォトマスクブランクと略同一の外径寸法及び形状を有する形態としたことを特徴とする構成1記載の薬剤保持具。
【0007】
(構成3) 前記薬剤保持具は中空部を備え、当該中空部に前記薬剤を収容し、かつ通気性を確保するために多数の貫通孔を設けた蓋体を前記中空部に機械的にはめ込んで固定する構造を有することを特徴とする構成1又は2記載の薬剤保持具。
【0008】
(構成4) 前記薬剤を収容した前記中空部に対応する薬剤保持容器の表裏両面に通気性を確保するために多数の貫通孔を設けたことを特徴とする構成1〜3のいずれかに記載の薬剤保持具。
【0009】
(構成5) 前記薬剤は、前記フォトマスクブランクの機能あるいは品質を損なわせる化学汚染物質を吸着除去及び/又は吸収除去するための薬剤であることを特徴とする構成1〜4のいずれかに記載の薬剤保持具。
【0010】
(構成6) 複数枚のフォトマスクブランクを収容するための対向する溝を有するフォトマスクブランク収容容器の容器であって、前記溝に構成1〜5のいずれかに記載の薬剤保持具を少なくとも1つ収容してなることを特徴とするフォトマスクブランク収容容器。
【0011】
【作用】
上記構成1に係る薬剤保持具は、フォトマスクブランク収容容器における複数枚のフォトマスクブランクを収容するための対向する溝に収納可能な外径寸法及び形状を有するので、フォトマスクブランク収容容器内に薬剤を収容するための他のスペースの確保が不要である。例えば、薬剤袋を貼り付けるスペースのない容器でも対応可能であり、複数枚のブランクを収納可能などのような容器にも対応可能である。つまり、既に広く一般に使用されているフォトマスクブランク収容容器に全くの変更を加えることなく、収容容器内に薬剤保持具を収容できる。また、上記構成1に係る薬剤保持具は、前記溝に前記薬剤保持具を収容したときに前記薬剤保持具の振動(がたつき)を防止しうる形態を有するので、薬剤保持具の振動によって生じる発塵を防止又は低減できる。ここで、薬剤保持具の振動を防止しうる形態とは、例えば図4に示すように、薬剤保持具1における溝21との係合部1eが溝21の少なくとも一部で挟持される厚さ、形状を有する形態をいう。前記薬剤保持具における前記溝との係合部が前記溝よりも薄いと、前記薬剤保持具が振動してしまい発塵が生じる。
【0012】
上記構成2に係る薬剤保持具は、フォトマスクブランクと略同一の外径寸法(厚さ含む)及び形状(面取り形状含む)であるので、フォトマスクブランクと同一の保持機構で前記薬剤保持具を保持可能である。
具体的には、図5に示すように、薬剤保持具1の両側部に関しては、フォトマスクブランク1と略同一の外径寸法(厚さ含む)及び形状(面取り形状含む)であるので、面取り部dが溝21の同じ位置に当接し溝の弾性で同じ力で保持される。また、薬剤保持具の上下方向の保持に関しては、例えば従来技術の欄で説明したのと同様に、薬剤保持具の底部端面は内箱の基板支持部22に当接して保持され、薬剤保持具の頭部端面及び測部端面は基板抑え具41に当接して保持され、ブランクと全く同一の保持機構によってあらゆる方向の振動や衝撃に対し薬剤保持具が完全に保持される。したがって、薬剤保持具の振動によって生じる発塵を完全に防止できる。なお、例えば、面取り部がなく溝との当接部が直角等であると、溝が削られて発塵する恐れがある。
薬剤保持具の厚さがフォトマスクブランクよりも薄いと、薬剤保持具が溝内で振動して発塵する。薬剤保持具の厚さがフォトマスクブランクよりも厚いと、薬剤保持具が溝に入らないか、あるいは溝に入っても容易に抜けない。薬剤保持具の上下方向の長さがフォトマスクブランクよりも短いと、上下方向には保持されず、薬剤保持具が上下方向に移動又は振動して発塵する。
また、前記薬剤保持具は、フォトマスクブランクと略同一の外径寸法(厚さ含む)及び形状(面取り形状含む)であるので、フォトマスクブランクと同様の要領で出し入れ可能である。
【0013】
フォトマスクブランクと略同一の外径寸法(厚さ含む)及び形状(面取り形状含む)は、公差の範囲内であることが好ましい。但し、薬剤保持具における少なくとも左右の2辺、少なくとも上下左右の4辺、あるいは上下左右の4辺のうち保持に関わる部位(収容容器と当接する部位)の硬さが、フォトマスクブランク(ガラス基板)より軟らかい材質の場合、硬さを考慮して同等の機構・強度で保持できるような厚さとすることが可能である。薬剤保持具の硬さがフォトマスクブランク(ガラス基板)と同等の硬さであれば同じ機構・強度で保持可能である。
【0014】
薬剤保持具の材質としては、薬剤保持具自身がガスを放出しない(脱ガスが少ない)材料が好ましい。また、薬剤を除く薬剤保持具への吸着の少ない材質が好ましい。これは、薬剤を除く薬剤保持具へ吸着された物質が放出されるのを防ぐためである。なお、薬剤保持具の材質が、フォトマスクブランク用基板と同じ材料(石英ガラス、無アルカリガラスなどのガラス材料)であるか、又は、フォトマスクブランク収容容器と同じ材質ならば、脱ガスや吸着の影響が同じで安心して使えるので好ましい。ポリカーボネートは脱ガスが少ないという観点から好ましい。
【0015】
薬剤保持具の態様としては、フォトマスクブランクと略同一の外径寸法及び形状を有する容器内に、薬剤を収容してなる態様が第一に挙げられる。
薬剤保持具の他の態様としては、薬剤自体(固形、バインダー等で固めたものを含む)を、フォトマスクブランクと略同一の外径寸法及び形状とした態様も含まれる。この場合、通気性を有する防塵フィルム、セルロース、クリーンペーパー、等で薬剤を包むことが好ましい。また、板状に成形した固形薬剤をステンレスフレーム等で補強した態様も含まれる。
薬剤保持具のさらに他の態様としては、フォトマスクブランク又はそのガラス基板に薬剤を塗布した態様や、ガラス基板を加工(貫通孔形成や、凹部形成など)して薬剤収容部を設けた態様などが挙げられる。
【0016】
上記構成3によれば、薬剤保持具は中空部を備え、蓋体を前記中空部に機械的にはめ込んで固定する構造を有し、蓋体を接着剤や接着テープ等を使用して固定する構造でないため、薬剤保持具から接着剤等に起因するガスが発生する恐れがない。つまり、接着剤等の、新たな化学汚染源となり得るものを全く必要とせずに、薬剤保持容器内に薬剤を収容できる。また、蓋体を脱着することによって薬剤の交換が可能である。
蓋体を前記中空部に機械的にはめ込んで固定する構造としては、例えば電池収容部の蓋体のように機械的にはめ込んで固定する公知の構造を利用できる。
なお、中空部に収容した薬剤袋等を、蓋体によって押さえ付ける等の構成とすることによって、薬剤袋が振動することによって生じる発塵の恐れを回避できるので好ましい。
【0017】
上記構成4によれば、前記薬剤を収容した前記中空部に対応する薬剤保持容器(蓋体を含む)の表裏両面に通気性を確保するために多数の貫通孔を設けることによって、化学汚染物質等の吸着除去又は吸収除去の効率アップが可能である。
【0018】
上記構成5によれば、前記薬剤は、前記フォトマスクブランクの機能あるいは品質を損なわせる化学汚染物質を吸着除去又は吸収除去するための薬剤であることによって、フォトマスクブランク、特に、化学増幅型レジストを塗布して作製したフォトマスクブランクの品質と機能性の維持の達成が可能となる。
ここで、化学汚染物質としては、フォトマスクブランクの収容容器内の雰囲気に含まれる化学汚染物質、あるいは収容容器自体または収容したフォトマスクブランクから発生する化学汚染物質、あるいはまた、フォトマスクブランク収容容器の外部から進入する化学汚染物質などが挙げられる。
また上記薬剤としては、これらの化学汚染物質を吸着除去又は吸収除去するための薬剤(例えば、吸着剤、乾燥剤、脱酸素剤、脱臭剤、等々)などが挙げられる。
シリカゲル吸着乾燥剤は、収容容器内の雰囲気に含まれる酸、アルカリ、有機物などのガスや、水分など何でも吸着、吸収するので好ましい。ゼオライトに関しても同様である。なお、乾燥剤は、収容容器内の雰囲気を乾燥させることによって、酸やアルカリの放出を抑制する作用があるので好ましい。これらの薬剤を適宜混合して使用することも可能である。
【0019】
上記構成6のフォトマスクブランク収容容器は、フォトマスクブランク収容容器の溝に、上記構成1〜5のいずれかに記載の薬剤収容具を少なくとも1つ収容してなるので、薬剤保持具の振動によって生じる発塵を防止又は低減できるとともに、フォトマスクブランク収容容器内に薬剤を収容するための他のスペースの確保が不要である。したがって、例えば薬剤袋を貼り付けるスペースのない容器でも対応可能であり、複数枚のブランクを収納可能などのような容器にも対応可能である。つまり、既に広く一般に使用されているフォトマスクブランク収容容器に全くの変更を加えることなく、使用することができる。
薬剤収容具は、フォトマスクブランク収容容器における複数の溝のうち、中央部又は中央部付近の溝に入れると、薬剤による吸着等の効果が均一になるので好ましい。また薬剤収容具を複数入れることで吸着性能等の向上が可能であるので好ましい。例えば、化学増幅型レジストの品質と機能性の維持をより向上させるため薬剤の容量を増やす必要が生じた場合であっても、薬剤収容具の収容枚数を調整することで容易に対応可能である。この場合、フォトマスクブランクの収容枚数は減るものの、フォトマスクブランク収容容器はいわゆる通い箱として繰り返し使用されるものであり、新たなフォトマスクブランク収容容器を作製するよりは経済的である。なお、従来法だとスペース確保に限界があるので薬剤の容量を増やすことは難しい。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の一実施の形態に係る薬剤保持具の斜視図、図2は図1のII−II線断図、図3は中箱に薬剤保持具を収容した状態を示す斜視図である。
図1及び図2に示すように、薬剤保持具1は、中空部4を備え、当該中空部4に薬剤5を収容し、かつ通気性を確保するために多数の貫通孔(小穴)3を設けた蓋体2によって薬剤5を保持する構造を有する。また、薬剤保持具1は、サイズ6インチ角、厚さ0.25インチのフォトマクスブランクと全く同一の外形寸法及び形状(面取り形状・寸法を含む)で作製した。なお、蓋体2は少なくとも一方が脱着可能であればよい。図1においては面取り部の図示を省略してある。図3に示すように、薬剤保持具1は、中箱20に形成された溝(フォトマクスブランクを収容するための溝)に収容される。なお、図3に示す中箱20は厚さ0.25インチの厚板用であるので中箱20の溝は、図7に示す溝の幅に比べ、広く形成されている。
上記実施の形態によれば、既に広く一般に使用されているフォトマスクブランク収容容器に全くの変更を加えることなく、収容容器内に薬剤保持具1を収容できる。
また、フォトマスクブランクと全く同一の保持機構で薬剤保持具1を保持できる。
さらに、接着剤等の、新たな化学汚染源となり得るものを全く必要とせずに、収容容器内に薬剤保持具1を収容できる。
【0021】
【実施例】
実施例1
薬剤5としては、薬剤の粉末が異物となってフォトマスクブランク表面に付着することを防ぐため通気性布(例えばクリーンペーパー等)からなる薬剤袋に収容されたものを使用した。具体的には、市販のシリカゲル乾燥剤(例えば富士化工(株)社製:CP3.75)を使用した。この薬剤袋を上記図1及び図2に示す薬剤保持具1の中空部4に収容(装着)し、蓋体2で薬剤袋が振動しないように固定して、薬剤保持具1を準備した。
薬剤保持具1及び蓋体2の材質は、ポリ・エーテル・エーテル・ケトン(PEEK)とした。
また、フォトマスクブランク収容容器としては、上述した図6に示した容器と同様の構成を有する広く一般に使用されている容器であって、6インチ角、厚さ0.25インチのフォトマスクブランクを5枚収容可能な収容容器を使用した。フォトマスクブランク収容容器の材料に関しては、ポリプロピレン樹脂にカーボンを練り込んだ樹脂を外箱底部30と中箱20に、アクリル系樹脂に赤色及び黄色顔料を練り込んだ樹脂を外箱の蓋40に用いた。
なお、輸送中の発塵を更に抑えるため、外箱の蓋40に中箱20を抑える中箱抑え具を設けた。これは、6インチ角、厚さ0.25インチのフォトマスクブランクのように重量が重くなると、個々のフォトマスクブランクを基板抑え具41のみで、輸送時の振動を抑えただけでは、発塵を完全に抑えることは難しい。そこで、今回用いたフォトマスクブランク収容容器は、収容したフォトマスクブランクが一体となって動く中箱20の動きを抑える中箱抑え具を設けた。
上記フォトマスクブランク収容容器を用い、上記で準備した薬剤保持具1を、1枚のフォトマスクブランクに代えて中箱20の中央部に収容し、その両側に4枚の電子線露光用ポジ型化学増幅型レジストであるFEP−171(フジフィルムアーチ社製)を塗布して製作したフォトマスクブランク11を2枚ずつ計4枚収容した(図3)。その後、中箱20を外箱底部30に入れた後、外箱の蓋40で蓋をした。次いで、輸送中のフォトマスクブランクの振動による収容容器との擦れ、あるいは、収容容器からの脱離を防止するため、ビニールテープにより外箱の蓋40と外籍底部30をそれらの係合部に沿って固定した。次いで、外部との通気性あるいは透水性を可能な限り遮断し、また、外部からの異物の混入を防ぐために、上記のフォトマスクブランクを収容したフォトマスクブランク収容容器をアルミラミネート袋(例えば、旭化成ポリフレックス(株)社製:OAD防湿袋)に入れ、その後、その袋を熱シールにより密封した後、4週間保管した(フォトマスクブランク1)。なお、従来、この形態により、フォトマスクブランクは出荷輸送され、あるいは、顧客にて使用されるまで保管される。
【0022】
比較例1
実施例1と同じフォトマスクブランク収容容器を用い、実施例1と同じ電子線露光用ポジ型化学増幅型レジストであるFEP−171(フジフィルムアーチ社製)を塗布して製作したフォトマスクブランク4枚を中箱20に収容し、この中箱20を外箱底部30に入れた後、外箱の蓋40で蓋をした。次いで、実施例1と同様にビニールテープを巻いて外箱の蓋40と外籍底部30を固定し、このブランク収容容器をアルミラミネート袋に入れ、熱シールにより密封した。その後、4週間保管した(フォトマスクブランク2)。
【0023】
4週間保管された上記のフォトマスクブランク1及び2を用いて、フォトマスクを作製し、所望のパターンの設計寸法に対する実寸法を測定し、実施例1と同じ電子線露光用ポジ型化学増幅型レジストを塗布して作製した直後の、即ち保管無しのフォトマスクブランク3を用いてフォトマスクを作製した場合に対する寸法差(即ち、上記電子線露光用ポジ型化学増幅型レジストであるFEP−171の保管による感度劣化)を求めたところ、フォトマスクブランク2は約10nmの寸法差を呈し、一方、フォトマスクブランク1は1nm以下の寸法差を示した。
上記の結果は、電子線露光用化学増幅型レジスト(例えば、FEP−171(フジフィルムアーチ社製))を塗布して製作したフォトマスクブランクの保管とその機能維持における、シリカゲル乾燥剤の必要性を明示する。そして、本発明の薬剤保持具1及びこの薬剤保持具1を収容してなるフォトマスクブランクの収容容器は、フォトマスクブランク、特に、化学増幅型レジストを塗布して作製したフォトマスクブランクの品質と機能性の維持を達成できることを明示する。
【0024】
比較例2
薬剤袋を収容できるポケットを設けたフォトマスクブランク収容容器を用い、このポケットに実施例1と同じ薬剤袋を収容し、更に実施例1と同じ電子線露光用ポジ型化学増幅型レジストであるFEP−171(フジフィルムアーチ社製)を塗布して製作したフォトマスクブランク4枚を収容して、実施例1と比較例2の振動試験を行い、パーティクルの個数を比較した。振動試験の条件は、一般車両環境(MILSTD−810Dトラックモード、X−Y−Z方向各々2時間)で行った。パーティクル個数の比較は、フォトマスクブランクの主表面に付着した0.3μm以上の大きさのパーティクルの個数(フォトマスクブランク4枚の平均値)を比較した。パーティクルは、レーザー走査欠陥検査装置(レーザー光の散乱光、透過光強度を比較して欠陥を調べる検査装置)で検出した。その結果、実施例1の場合12個であったのに対し、比較例2の場合466個であった。この結果から、本発明の薬剤保持具は、薬剤保持具の振動によって生じる発塵を防止又は低減できることがわかる。
【0025】
本発明は上記実施の形態及び実施例に限定されない。
例えば、本発明の薬剤保持具1は、レジストを塗布して作製したフォトマスクブランクの収容容器以外に、レジストを塗布していないフォトマスクブランクやガラス基板、その他の基板の収容容器にも適用可能である。
また、本発明の薬剤保持具1は、正方形の基板の収容容器に限らず、他の形状の基板の収容容器にも薬剤保持具の形態を合わせることによって適用可能である。
また、薬剤保持具1の材質は、フォトマスクブランク用基板と同じガラス基板でも適用可能である。
また、化学増幅型レジストとして、電子線露光用化学増幅型レジストの他に、レーザー露光用化学増幅型レジストなどの化学増幅型レジストにも適用可能である。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の薬剤保持具は、フォトマスクブランク収容容器の溝に薬剤保持具を収容したときに、薬剤保持具の振動を防止しうる形態を有するので、薬剤保持具の振動によって生じる発塵を防止又は低減できる。
特に、本発明の薬剤保持具がフォトマスクブランクと略同一の外径寸法及び形状である場合、フォトマスクブランクと同一の保持機構で薬剤保持具を保持できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る薬剤保持具の斜視図である。
【図2】図1のII−II線断面図である。
【図3】中箱に薬剤保持具を収容した状態を示す斜視図である。
【図4】薬剤保持具における溝との係合部の一形態を説明するための模式図である。
【図5】薬剤保持具における溝との係合部の他の形態を説明するための模式図である。
【図6】フォトマスクブランク収容容器を説明するための断面図である。
【図7】中箱にフォトマスクブランクを収容する様子を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
1 薬剤保持具
2 蓋体
3 貫通孔
4 中空部
5 薬剤
20 内箱
30 外箱底部
40 外箱の蓋
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a container for storing, storing or storing and transporting, for example, a photomask blank used for manufacturing a photomask (including a reticle), and in particular, a chemical that impairs the function or quality of the photomask blank. The present invention relates to a drug holder that holds (accommodates) a drug (for example, a desiccant, an oxygen scavenger, a deodorant, etc.) for absorbing and removing contaminants, and a photomask blank container that includes the drug holder.
[0002]
[Prior art]
The photomask blank storage container is made of a resin such as polypropylene, polyethylene, ABS (acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer resin), acrylic, or the like that can store a plurality of photomask blanks having the prescribed outer dimensions and shapes. A containment container is used. FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example of a storage container that is widely used as a photomask blank storage container, and FIG. 7 is a perspective view for explaining a state in which the photomask blank is stored in an inner box. No. 4-29215). In these drawings, the photomask blank container is composed of an outer box bottom 30, an outer box lid 40 and an inner box 20, and is configured so that the photomask blank 11 can be accommodated in a pair of grooves 21 facing the inner box 20. Has been. The side end face 11 b of the blank 11 is in contact with the groove 21 of the inner box 20, and the bottom end face 11 c is held in contact with the substrate support portion 22 of the inner box 20. Further, the lid 40 of the outer box is provided with a substrate pressing member 41, and a concave portion (which holds the blank 11 in the thickness direction at a portion contacting the side end surface 11b and the head end surface 11a in the substrate pressing member 41). A groove is formed so that the blank 11 can be completely held against vibrations and shocks in all directions. As described above, the shape of the photomask blank storage container is appropriately designed in order to suppress vibration of the transporting substrate (that is, the photomask blank) during transportation and suppress dust generation due to rubbing with the storage container. The photomask blank container is also used for storing photomask blanks. An opening window 23 is provided at the bottom of the groove 21, and an opening 24 is provided at the bottom of the inner box 20, so that dust or the like is prevented from accumulating at these portions and is easily removed by washing. I have to.
[0003]
Here, in particular, with regard to housing a photomask blank coated with a chemically amplified resist, which is a resist that is sensitive to chemical contaminants, etc., alkali contaminants such as amine compounds that cause deterioration of the function or quality of the resist are used. For the purpose of removing and maintaining the quality, for example, an adsorption drying agent such as silica gel is generally provided in the photomask blank storage container.
The drug such as silica gel is contained in a drug bag made of a breathable resin or the like in order to prevent the drug powder from becoming a foreign substance and adhering to the photomask blank surface. A method for storing the medicine bag by adhering the inside of the photomask blank storage container with an adhesive tape, an adhesive, or the like, or a pocket that can store the medicine bag in the design stage of the photomask blank storage container in advance. A method for accommodating the drug bag in a pocket has been generally performed.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the method of attaching the drug bag to the inside of the photomask blank container with adhesive tape or the like, chemical contaminants may be generated from the adhesive tape itself or the adhesive, which may deteriorate the function or quality of the resist. . In addition, in the method of manufacturing a photomask blank storage container provided with a pocket that can store the drug bag in the design stage in advance, the photomask blank storage container is expensive to manufacture, and the size (volume) of the drug bag is large. Every time it changed, it was necessary to redesign the photomask blank container, which required a great deal of cost, labor and time.
Furthermore, in the conventional method, there is a possibility that dust is generated by the vibration of the medicine bag. Further, in the conventional method, it is necessary to secure a space for storing a drug bag or the like in the photomask blank storage container.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been made to solve the above problems, and has the following configuration. (Configuration 1) A drug holder for holding a drug,
The photomask blank storage container having an opposing groove for storing a plurality of photomask blanks has an outer diameter size and a shape that can be received in the groove, and the medicine holder has the medicine in the groove. A medicine holder having a form capable of preventing vibration of the medicine holder when the holder is accommodated.
[0006]
(Structure 2) The medicine holder according to Structure 1, characterized in that it has a form having substantially the same outer diameter and shape as a photomask blank.
[0007]
(Structure 3) The medicine holder has a hollow portion, and a lid body in which the medicine is accommodated in the hollow portion and a plurality of through holes are provided in order to ensure air permeability is mechanically fitted into the hollow portion. 3. A medicine holder according to Configuration 1 or 2, wherein the medicine holder has a structure to be fixed by the above.
[0008]
(Structure 4) The structure according to any one of Structures 1 to 3, wherein a plurality of through holes are provided on both front and back surfaces of the medicine holding container corresponding to the hollow portion containing the medicine. Drug holder.
[0009]
(Structure 5) The said chemical | medical agent is a chemical | medical agent for adsorption removal and / or absorption removal of the chemical pollutant which impairs the function or quality of the said photomask blank, In any one of the structures 1-4 characterized by the above-mentioned. Drug holder.
[0010]
(Configuration 6) A container of a photomask blank storage container having an opposing groove for storing a plurality of photomask blanks, wherein at least one drug holder according to any one of configurations 1 to 5 is provided in the groove. One photomask blank storage container, characterized in that one is stored.
[0011]
[Action]
Since the chemical | medical agent holder which concerns on the said structure 1 has an outer diameter dimension and shape which can be accommodated in the groove | channel which opposes for accommodating the several photomask blank in a photomask blank storage container, in a photomask blank storage container It is not necessary to secure another space for storing the medicine. For example, a container having no space for attaching a medicine bag can be used, and any container capable of storing a plurality of blanks can be used. That is, the medicine holder can be stored in the storage container without any change to the photomask blank storage container that is already widely used in general. In addition, since the medicine holder according to the above configuration 1 has a form that can prevent vibration (rattle) of the medicine holder when the medicine holder is accommodated in the groove, Dust generation can be prevented or reduced. Here, the form capable of preventing the vibration of the medicine holder is, for example, as shown in FIG. 4, the thickness at which the engaging portion 1 e with the groove 21 in the medicine holder 1 is held by at least a part of the groove 21. , Refers to a form having a shape. When the engaging portion with the groove in the medicine holder is thinner than the groove, the medicine holder vibrates and dust is generated.
[0012]
Since the medicine holder according to Configuration 2 has substantially the same outer diameter (including thickness) and shape (including chamfered shape) as the photomask blank, the medicine holder is held by the same holding mechanism as the photomask blank. It can be held.
Specifically, as shown in FIG. 5, the both sides of the medicine holder 1 have substantially the same outer diameter (including thickness) and shape (including chamfered shape) as the photomask blank 1. The part d contacts the same position of the groove 21 and is held with the same force by the elasticity of the groove. Regarding the vertical holding of the medicine holder, for example, as described in the prior art section, the bottom end surface of the medicine holder is held in contact with the substrate support 22 of the inner box, and the medicine holder The head end face and the measurement part end face of the head are held in contact with the substrate holder 41, and the medicine holder is completely held against vibrations and shocks in all directions by the same holding mechanism as the blank. Therefore, dust generation caused by vibration of the medicine holder can be completely prevented. For example, if there is no chamfered portion and the contact portion with the groove is at a right angle or the like, the groove may be cut and dust may be generated.
When the thickness of the medicine holder is thinner than the photomask blank, the medicine holder vibrates in the groove and generates dust. If the thickness of the medicine holder is larger than that of the photomask blank, the medicine holder does not enter the groove or does not easily come out even if it enters the groove. When the vertical length of the medicine holder is shorter than the photomask blank, the medicine holder is not held in the vertical direction, and the medicine holder moves or vibrates in the vertical direction to generate dust.
Moreover, since the said chemical | medical agent holder is the outer diameter dimension (thickness is included) and shape (a chamfering shape is included) substantially the same as a photomask blank, it can be taken in and out in the same way as a photomask blank.
[0013]
The outer diameter dimension (including thickness) and shape (including chamfered shape) substantially the same as those of the photomask blank are preferably within a tolerance range. However, the hardness of a part related to holding (a part in contact with the container) among at least two sides on the drug holder, at least four sides on the top, bottom, left and right, or four sides on the top, bottom, left and right is a photomask blank (glass substrate). ) In the case of a softer material, it is possible to set the thickness so that it can be held with the same mechanism and strength in consideration of hardness. If the hardness of the medicine holder is equivalent to that of a photomask blank (glass substrate), it can be held with the same mechanism and strength.
[0014]
As the material of the drug holder, a material that does not release gas (less degassing) is preferable. Moreover, a material with little adsorption to the medicine holder excluding the medicine is preferable. This is to prevent the substance adsorbed to the medicine holder excluding the medicine from being released. In addition, if the material of the medicine holder is the same material as the photomask blank substrate (glass material such as quartz glass or non-alkali glass), or the same material as the photomask blank container, degassing and adsorption This is preferable because it can be used with peace of mind. Polycarbonate is preferred from the viewpoint of low degassing.
[0015]
As an aspect of the medicine holder, an aspect in which the medicine is accommodated in a container having substantially the same outer diameter and shape as the photomask blank is first mentioned.
As another aspect of the medicine holder, an aspect in which the medicine itself (including solids, solidified with a binder, etc.) is made to have substantially the same outer diameter and shape as the photomask blank is also included. In this case, it is preferable to wrap the drug in a dustproof film having air permeability, cellulose, clean paper, or the like. Moreover, the aspect which reinforced the solid chemical | medical agent shape | molded by plate shape with the stainless frame etc. is also contained.
Still other modes of the drug holder include a mode in which a drug is applied to a photomask blank or a glass substrate thereof, a mode in which a glass container is processed (through hole formation, recess formation, etc.) and a drug container is provided. Is mentioned.
[0016]
According to the configuration 3, the medicine holder has a hollow portion, has a structure in which the lid is mechanically fitted and fixed to the hollow portion, and the lid is fixed using an adhesive, an adhesive tape, or the like. Since it is not a structure, there is no possibility that gas resulting from an adhesive or the like is generated from the medicine holder. That is, the medicine can be stored in the medicine holding container without requiring any new chemical contamination source such as an adhesive. In addition, the medicine can be exchanged by removing the lid.
As a structure in which the lid is mechanically fitted and fixed to the hollow portion, a known structure in which the lid is mechanically fitted and fixed, such as a lid of the battery housing portion, can be used.
Note that it is preferable that the medicine bag or the like accommodated in the hollow portion is configured to be pressed by a lid body because the risk of dust generation caused by the vibration of the medicine bag can be avoided.
[0017]
According to the above configuration 4, by providing a large number of through holes on the front and back surfaces of the medicine holding container (including the lid) corresponding to the hollow portion containing the medicine, chemical contaminants are provided. It is possible to increase the efficiency of adsorption removal or absorption removal.
[0018]
According to the configuration 5, the chemical agent is a chemical agent for adsorbing or removing chemical contaminants that impair the function or quality of the photomask blank, and thus, a photomask blank, particularly a chemically amplified resist. It is possible to achieve the maintenance of the quality and functionality of the photomask blank produced by applying the coating.
Here, as the chemical contaminant, the chemical contaminant contained in the atmosphere in the photomask blank storage container, the chemical contaminant generated from the storage container itself or the stored photomask blank, or also the photomask blank storage container Chemical contaminants entering from the outside of the building.
Examples of the agent include agents for removing or absorbing these chemical pollutants (for example, adsorbents, desiccants, oxygen absorbers, deodorizers, etc.).
The silica gel adsorption desiccant is preferable because it adsorbs and absorbs any gas such as acid, alkali, organic matter and moisture contained in the atmosphere in the container. The same applies to zeolite. The desiccant is preferable because it has an action of suppressing the release of acid and alkali by drying the atmosphere in the container. It is also possible to use these drugs in an appropriate mixture.
[0019]
Since the photomask blank storage container of the said structure 6 accommodates at least 1 chemical | medical agent container in any one of the said structures 1-5 in the groove | channel of the photomask blank storage container, it is by vibration of a chemical | medical agent holder. Dust generation can be prevented or reduced, and it is not necessary to secure another space for storing the drug in the photomask blank storage container. Therefore, for example, a container without a space for attaching a medicine bag can be used, and any container that can store a plurality of blanks can be used. In other words, the photomask blank storage container that is already widely used can be used without any change.
It is preferable to place the medicine container in the groove near the center or the center of the plurality of grooves in the photomask blank container because the effect of adsorption by the medicine becomes uniform. In addition, it is preferable to add a plurality of medicine containers since the adsorption performance and the like can be improved. For example, even if it is necessary to increase the capacity of the drug in order to further improve the maintenance of the quality and functionality of the chemically amplified resist, it can be easily handled by adjusting the number of stored drug containers. . In this case, although the number of stored photomask blanks is reduced, the photomask blank storage container is repeatedly used as a so-called return box, which is more economical than making a new photomask blank storage container. In the conventional method, it is difficult to increase the volume of the drug because there is a limit to securing the space.
[0020]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below.
1 is a perspective view of a medicine holder according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG. 1, and FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the medicine holder is accommodated in an inner box. is there.
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the medicine holder 1 includes a hollow portion 4, a medicine 5 is accommodated in the hollow portion 4, and a large number of through holes (small holes) 3 are provided to ensure air permeability. It has a structure in which the medicine 5 is held by the provided lid 2. Moreover, the medicine holder 1 was produced with exactly the same external dimensions and shape (including chamfered shape and dimensions) as a photomax blank having a size of 6 inches square and a thickness of 0.25 inches. Note that it is sufficient that at least one of the lids 2 is removable. In FIG. 1, the chamfered portion is not shown. As shown in FIG. 3, the medicine holder 1 is accommodated in a groove (groove for accommodating a photomax blank) formed in the inner box 20. Since the inner box 20 shown in FIG. 3 is for a 0.25 inch thick plate, the groove of the inner box 20 is formed wider than the width of the groove shown in FIG.
According to the said embodiment, the chemical | medical agent holder 1 can be accommodated in a storage container, without adding a change to the photomask blank storage container already widely used generally.
Moreover, the chemical | medical agent holder 1 can be hold | maintained with the completely same holding mechanism as a photomask blank.
Furthermore, the medicine holder 1 can be stored in the storage container without requiring any new chemical contamination source such as an adhesive.
[0021]
【Example】
Example 1
As the medicine 5, a medicine contained in a medicine bag made of a breathable cloth (for example, clean paper) was used to prevent the medicine powder from becoming a foreign substance and adhering to the photomask blank surface. Specifically, a commercially available silica gel desiccant (for example, CP 3.75 manufactured by Fuji Chemical Co., Ltd.) was used. This medicine bag was accommodated (mounted) in the hollow portion 4 of the medicine holder 1 shown in FIGS. 1 and 2 and fixed with the lid 2 so that the medicine bag did not vibrate, whereby the medicine holder 1 was prepared.
The material of the medicine holder 1 and the lid 2 was poly-ether-ether-ketone (PEEK).
The photomask blank container is a widely used container having the same configuration as the container shown in FIG. 6 described above, and is a photomask blank having a 6 inch square and a thickness of 0.25 inch. A storage container capable of storing 5 sheets was used. Regarding the material of the photomask blank container, a resin in which carbon is kneaded into polypropylene resin is applied to the outer box bottom 30 and the inner box 20, and a resin in which red and yellow pigments are kneaded into acrylic resin is applied to the lid 40 of the outer box. Using.
In addition, in order to further suppress dust generation during transportation, an inner box retainer for suppressing the inner box 20 was provided on the lid 40 of the outer box. This is because when the weight increases like a photomask blank of 6 inches square and 0.25 inches in thickness, dust can be generated only by suppressing the vibration during transportation using only the substrate holder 41 for each photomask blank. It is difficult to completely suppress Therefore, the photomask blank storage container used this time is provided with an inner box retainer that suppresses the movement of the inner box 20 in which the stored photomask blank moves integrally.
Using the photomask blank storage container, the medicine holder 1 prepared above is stored in the center of the inner box 20 instead of one photomask blank, and four positive types for electron beam exposure are provided on both sides thereof. A total of four photomask blanks 11 prepared by applying FEP-171 (produced by Fuji Film Arch Co., Ltd.), which is a chemically amplified resist, were accommodated two by two (FIG. 3). Then, after putting the inner box 20 in the outer box bottom part 30, it covered with the cover 40 of the outer box. Next, in order to prevent rubbing with the receiving container due to vibration of the photomask blank being transported or detachment from the receiving container, the lid 40 of the outer box and the outer register bottom 30 are placed along their engaging parts with vinyl tape. Fixed. Next, in order to block the air permeability or water permeability from the outside as much as possible, and to prevent the entry of foreign matter from the outside, the photomask blank containing container containing the photomask blank is placed in an aluminum laminated bag (for example, Asahi Kasei). Polyflex Co., Ltd. product: OAD moisture-proof bag), and then the bag was sealed with a heat seal and stored for 4 weeks (photomask blank 1). Conventionally, according to this embodiment, the photomask blank is shipped and transported or stored until used by a customer.
[0022]
Comparative Example 1
Photomask blank 4 manufactured by applying FEP-171 (manufactured by Fuji Film Arch), which is the same positive-type chemically amplified resist for electron beam exposure as in Example 1, using the same photomask blank container as in Example 1. The sheets were accommodated in the inner box 20, and the inner box 20 was placed in the outer box bottom 30, and then covered with the outer box lid 40. Next, a vinyl tape was wound around in the same manner as in Example 1 to fix the cover 40 and the bottom part 30 of the outer case, and the blank container was put in an aluminum laminate bag and sealed by heat sealing. Thereafter, it was stored for 4 weeks (photomask blank 2).
[0023]
Using the above-described photomask blanks 1 and 2 stored for 4 weeks, a photomask is prepared, and the actual dimension with respect to the design dimension of the desired pattern is measured. The same positive chemical amplification type for electron beam exposure as in Example 1 Immediately after being produced by applying a resist, that is, when a photomask is produced using a photomask blank 3 without storage (that is, the above-described positive chemical amplification resist for electron beam exposure of FEP-171). When the sensitivity deterioration due to storage was determined, the photomask blank 2 exhibited a dimensional difference of approximately 10 nm, while the photomask blank 1 exhibited a dimensional difference of 1 nm or less.
The above results indicate the necessity of silica gel desiccant for storing and maintaining the function of a photomask blank manufactured by applying a chemically amplified resist for electron beam exposure (for example, FEP-171 (Fuji Film Arch)). Is specified. And the medicine holder 1 of this invention and the container of the photomask blank formed by containing this medicine holder 1 are the photomask blank, in particular, the quality of the photomask blank produced by applying a chemically amplified resist. Clarify that maintenance of functionality can be achieved.
[0024]
Comparative Example 2
Using a photomask blank storage container provided with a pocket capable of storing a drug bag, the same drug bag as in Example 1 is stored in this pocket, and FEP which is the same positive chemical amplification resist for electron beam exposure as in Example 1 Four photomask blanks manufactured by applying -171 (manufactured by Fuji Film Arch Co., Ltd.) were accommodated, and vibration tests of Example 1 and Comparative Example 2 were performed to compare the number of particles. The vibration test was performed in a general vehicle environment (MILSTD-810D track mode, 2 hours each in the XYZ directions). The number of particles was compared by comparing the number of particles having a size of 0.3 μm or more adhering to the main surface of the photomask blank (average value of four photomask blanks). The particles were detected by a laser scanning defect inspection apparatus (inspection apparatus that compares the scattered light and transmitted light intensity of laser light to inspect defects). As a result, it was 12 in the case of Example 1, but 466 in the case of Comparative Example 2. From this result, it can be seen that the medicine holder of the present invention can prevent or reduce dust generation caused by vibration of the medicine holder.
[0025]
The present invention is not limited to the above embodiments and examples.
For example, the medicine holder 1 of the present invention can be applied to a photomask blank containing no resist, a glass substrate, or another container containing containers other than a photomask blank containing container prepared by applying a resist. It is.
Moreover, the medicine holder 1 of the present invention is not limited to a square substrate container, but can be applied to other shapes of container containers by matching the form of the medicine holder.
The material of the medicine holder 1 can be applied to the same glass substrate as the photomask blank substrate.
In addition to the chemically amplified resist for electron beam exposure, the chemically amplified resist can be applied to a chemically amplified resist such as a chemically amplified resist for laser exposure.
[0026]
【The invention's effect】
As described above, the medicine holder of the present invention has a form that can prevent vibration of the medicine holder when the medicine holder is housed in the groove of the photomask blank housing container. Can prevent or reduce dust generation.
In particular, when the medicine holder of the present invention has substantially the same outer diameter and shape as the photomask blank, the medicine holder can be held by the same holding mechanism as the photomask blank.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a medicine holder according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.
FIG. 3 is a perspective view showing a state in which a medicine holder is housed in an inner box.
FIG. 4 is a schematic view for explaining one form of an engagement portion with a groove in a medicine holder.
FIG. 5 is a schematic diagram for explaining another form of the engaging portion with the groove in the medicine holder.
FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining a photomask blank storage container.
FIG. 7 is a perspective view for explaining a state in which the photomask blank is accommodated in the inner box.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Drug holder 2 Cover body 3 Through-hole 4 Hollow part 5 Drug 20 Inner box 30 Outer box bottom part 40 Outer box cover

Claims (6)

  1. 複数枚の化学増幅型レジストを塗布したフォトマスクブランクを収容するための対向する溝を有する樹脂製のフォトマスクブランク収容容器の内部に配設されて薬剤を保持する薬剤保持具であって、
    前記薬剤保持具は、前記溝に収容可能な外径寸法及び形状を有し、かつ、前記溝に収容したときに振動を防止しうるように前記対向する溝の少なくとも一部で挟持される厚さ、形状を有する係合部を両側部に有し、
    前記薬剤は、前記化学増幅型レジストを塗布したフォトマスクブランクの機能あるいは品質を損なわせる化学汚染物質を吸着除去及び吸収除去、または吸着除去もしくは吸収除去する薬剤である
    ことを特徴とする薬剤保持具。
    A drug holder for holding a drug disposed inside a resin-made photomask blank housing container having opposing grooves for housing a photomask blank coated with a plurality of chemically amplified resists ,
    The drug retainer has an outer diameter and shape can be accommodated in the groove, and at least a part in holding of grooves the opposed as capable of preventing vibration when the yield capacity previously Kimizo Having engaging portions on both sides with a thickness and shape
    The chemical agent is a chemical agent that performs adsorption removal and absorption removal, or adsorption removal or absorption removal of chemical contaminants that impair the function or quality of the photomask blank coated with the chemically amplified resist. Drug holder to do.
  2. フォトマスクブランクと同一の外径寸法及び形状を有する形態としたことを特徴とする請求項1記載の薬剤保持具。Drug holder according to claim 1, characterized in that a form with a photomask blank and the same outer diameter and shape.
  3. 前記薬剤保持具は中空部を備え、当該中空部に前記薬剤を収容し、かつ通気性を確保するための貫通孔を設けた蓋体を前記中空部に機械的にはめ込んで固定する構造を有することを特徴とする請求項1又は2記載の薬剤保持具。Comprising the medicament retainer hollow portion, a structure in which the hollow portion wherein the medicament were housed in and fixed fitted mechanically provided with a lid with holes in order to ensure proper ventilation in the hollow portion The medicine holder according to claim 1 or 2, wherein the medicine holder is provided.
  4. 前記薬剤を収容した前記中空部に対応する薬剤保持容器の表裏両面に通気性を確保するための貫通孔を設けたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の薬剤保持具。Drug holding tool according to claim 1, characterized in that a through-hole of the order to ensure proper ventilation on both sides of the drug holding container which corresponds to the hollow portion containing the drug .
  5. 前記薬剤保持具は、フォトマスクブランク用基板と同じガラス材料、ポリカーボネート、ポリ・エーテル・エーテル・ケトンから選ばれる材料で形成させることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の薬剤保持具。The drug holding device according to any one of claims 1 to 4, wherein the drug holding tool is formed of the same glass material as that of the photomask blank substrate, a material selected from polycarbonate, polyetheretheretherketone. Ingredients.
  6. 複数枚の化学増幅型レジストを塗布したフォトマスクブランクを収容するための対向する溝を有する樹脂製のフォトマスクブランク収容容器であって、前記溝に請求項1〜5のいずれかに記載の薬剤保持具を少なくとも1つ収容してなることを特徴とするフォトマスクブランク収容容器。 A plurality of chemically amplified resist facing photomask blank accommodating container made of resin having a groove for receiving the coated photomask blank, according to claim 1 in the groove A photomask blank container, which contains at least one medicine holder.
JP2002096557A 2002-03-29 2002-03-29 Drug holder and photomask blank container Active JP4130748B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002096557A JP4130748B2 (en) 2002-03-29 2002-03-29 Drug holder and photomask blank container

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002096557A JP4130748B2 (en) 2002-03-29 2002-03-29 Drug holder and photomask blank container

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003297913A JP2003297913A (en) 2003-10-17
JP4130748B2 true JP4130748B2 (en) 2008-08-06

Family

ID=29387461

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002096557A Active JP4130748B2 (en) 2002-03-29 2002-03-29 Drug holder and photomask blank container

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4130748B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080032645A (en) * 2005-08-02 2008-04-15 엔테그리스, 아이엔씨. Systems and methods for capture substrates
JP4973875B2 (en) * 2007-07-31 2012-07-11 信越化学工業株式会社 Synthetic quartz glass substrate storage case for photomask
JP5797430B2 (en) * 2011-03-18 2015-10-21 株式会社Screenホールディングス substrate container

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003297913A (en) 2003-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9527649B2 (en) Mask storage device for mask haze prevention
EP1866094B1 (en) Environmental control in a reticle smif pod
JP4023798B2 (en) Fabrication process and preservation method of packaged radiation-sensitive coated workpiece
JP4973875B2 (en) Synthetic quartz glass substrate storage case for photomask
JP4130748B2 (en) Drug holder and photomask blank container
JP2000352812A (en) Pellicle and its case
KR101910850B1 (en) Pellicle packing box
JP2004260087A (en) Storing container
JP2005043796A (en) Housing container of mask blanks, method for housing mask blanks, mask blanks package, and method for transporting mask blanks package
JP2004361705A (en) Method for housing large pellicle
JP5393298B2 (en) Mask case
US10734264B2 (en) Wafer container with external passive getter module
JP4972860B2 (en) Semiconductor laser module and printing apparatus using the same
JP2001053136A (en) Case
JP4442748B2 (en) How to pack a large pellicle
JP2019029596A (en) Substrate housing container and handling method of the same
JP3157664B2 (en) Pellicle storage container
JP5613367B2 (en) Chemical filter and its packing body and reticle storage box
JP2008060297A (en) Wafer storing container
JPH1039495A (en) Housing container for mask
JP2001048152A (en) Case
JP2001085507A (en) Substrate accommodating vessel and substrate-handling method
TW201703174A (en) Semiconductor wafer carrier assembly, door assembly, substrate container in combination with getter modules, and method of reducing concentration of contaminants with-in a front opening container
JP2012234100A (en) Storage method for synthetic quartz glass substrate for photomask or photomask blank, carrying method, and storage case
JP2506317Y2 (en) Mask storage container

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050324

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080207

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080219

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080421

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080520

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080523

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4130748

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110530

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110530

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120530

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130530

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140530

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250