JP4100790B2 - Electronic component adsorption device and electronic component test device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ICチップなどの電子部品を所定の温度で試験する電子部品試験装置およびこれに用いられる電子部品吸着装置に関し、特に高温試験時における電子部品の自己発熱を抑制して電子部品の損傷を防止するとともに正確な温度で試験を行うことができる電子部品試験装置および電子部品吸着装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置などの製造課程においては、最終的に製造されたICチップなどの電子部品を試験する試験装置が必要となる。このような試験装置の一種として、常温または常温よりも高い温度条件もしくは低い温度条件で、ICチップを試験するための装置が知られている。ICチップの特性として、常温または高温もしくは低温でも良好に動作することの保証が必要とされるからである。
【0003】
この種の電子部品試験装置においては、テストヘッドの上部をチャンバで覆って内部を密閉空間とし、このチャンバ内部を常温、高温または低温といった一定温度環境にしたうえで、ICチップをテストヘッドの上に搬送し、そこでICチップをテストヘッドに押圧して電気的に接続することで試験を行う。このような試験により、ICチップは良好に試験され、少なくとも良品と不良品とに分類される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、近年におけるICチップの高速化および高集積化に伴い、動作時の自己発熱量が増加する傾向となり、試験中においてもこうした自己発熱量は増加傾向にある。たとえば、ICチップの種類によっては30ワットもの自己発熱を生じるものがある。
【0005】
このため、たとえば125℃前後の高温試験を行うと、この熱量に加えて自己発熱による熱量がICチップに印加され、これによりICチップの温度がその許容限界を超えてしまうおそれがある。また、常温試験や低温試験においても、たとえチャンバ内部を一定温度に維持したとしても、ICチップの自己発熱量が生じるため目的とする試験温度で試験することが困難となる。
【0006】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、高温試験時における電子部品の自己発熱を抑制して電子部品の損傷を防止するとともに正確な温度で試験を行うことができる電子部品吸着装置および電子部品試験装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
(1)上記目的を達成するために、請求項1記載の電子部品吸着装置は、電子部品を吸着する吸着ヘッドと、前記吸着ヘッドに吸着力を付与する吸着力付与手段と、前記吸着ヘッドの吸着力を解除する吸着力破壊手段とを備え、前記電子部品の吸着保持および解放を行う電子部品吸着装置において、前記吸着ヘッドの吸着面には、前記吸着ヘッドの吸着力を解除するための流体が通過可能な溝部が形成されており、前記電子部品が固定位置に保持されているときに、前記電子部品を冷却するために前記電子部品に対して、前記吸着ヘッドの吸着力を解除するための流体を吹き付けることを特徴とする。
【0008】
また、請求項8記載の電子部品試験装置は、被試験電子部品を吸着する吸着ヘッドと、前記吸着ヘッドに吸着力を付与する吸着力付与手段と、前記吸着ヘッドの吸着力を解除する吸着力破壊手段とを備え、前記被試験電子部品の端子をテストヘッドのコンタクト部へ押し付けてテストを行う電子部品試験装置において、前記吸着ヘッドの吸着面には、前記吸着ヘッドの吸着力を解除するための流体が通過可能な溝部が形成されており、前記被試験電子部品のテスト中の少なくとも任意時間だけ、前記吸着ヘッドに押圧された被試験電子部品を冷却するために前記被試験電子部品に対して、前記吸着ヘッドの吸着力を解除するための流体を吹き付けることを特徴とする。
【0009】
吸着ヘッドで吸着された電子部品を解放する際に、単に吸着力の印加を停止しただけでは電子部品が円滑に解放されないことが少なくない。電子部品が小さく軽量であればあるほど、この問題は顕著となる。このため、吸着力破壊手段を設け、吸着ヘッドに吸着保持された電子部品に対してエアーなどの吸着用流体を強制的に逆流させて当該吸着力を解除することで、電子部品を円滑に解放することが行われる。
【0010】
本発明では、この吸着力破壊手段を利用して、テスト中の少なくとも任意時間だけ、吸着ヘッドに押圧された被試験電子部品に対して吸着ヘッドの吸着力を解除するための流体を吹き付けるので、テスト中に生じる自己発熱を周囲に放熱させることができる。この結果、特に高温テストなどで問題とされる過熱による電子部品の破壊または損傷を防止することができる。
【0011】
また、高温テストに限らず、流体を吹き付けることにより自己発熱による昇温が抑制されるので、目的とする正確な温度でテストを行うことができ、テスト結果の信頼性が向上する。
【0013】
吸着面に形成された溝部に流体が流れることで、電子部品に対する冷却効果が助長され、上述した自己発熱による昇温の抑制効果がより顕著となる。また、昇温抑制効果が高まることにより、少量の流体で、または短時間の流体の吹き付けで冷却することができる。
【0014】
(2)上記発明において、流体を吹き付けるための動作指令については特に限定されないが、請求項2および10記載の発明では、前記電子部品に対する前記流体の吹き付けは、制御手段から前記吸着力破壊手段へ指令信号を送出することにより実行されることを特徴とする。
【0015】
吸着ヘッドに電子部品を吸着保持したり吸着ヘッドから解放するために吸着力付与手段および吸着力破壊手段が制御されるが、この制御を統制する制御手段を共用するか或いは他の制御手段を設けるかなどして、流体の吹き付けを行うことができる。
【0016】
(3)上記発明において、電子部品に吹き付けられる流体の温度は特に限定されないが、請求項3および10記載の発明では、前記電子部品に吹き付けられる前記流体を所定温度に制御する温度制御ユニットをさらに備えたことを特徴とする。
【0017】
電子部品に吹き付けられる流体の温度を所定温度に制御することで、上述した冷却効果がより効率的に発揮される。
【0018】
(4)上記発明において、吸着力付与手段の具体的構成は特に限定されないが、請求項4および10記載の発明では、前記吸着力付与手段は、流体供給源と、前記吸着ヘッドに接続されるエジェクタと、前記流体供給源、前記エジェクタおよび前記吸着ヘッドで構成される流体路に設けられたエジェクタ弁と、を含むことを特徴とする。
【0019】
すなわち、エアーなどの流体を流体供給源からエジェクタに供給することで吸着ヘッドに電子部品を吸着保持することができる。この吸着力のON/OFFはエジェクタ弁の開閉により行われる。
【0020】
また、上記発明において、吸着力破壊手段の具体的構成は特に限定されないが、請求項5および10記載の発明では、前記吸着力破壊手段は、流体供給源と、前記流体供給源および前記吸着ヘッドに接続された破壊弁と、を含むことを特徴する。
【0021】
すなわち、エアーなどの流体を流体供給源から吸着ヘッドに供給することで、当該吸着ヘッドに吸着力とは逆方向に流体が流れるので、小さく軽量な電子部品であっても確実かつ正確に解放することができる。この解放のON/OFFは破壊弁の開閉により行われる。
【0022】
(5)これら請求項4,5および10記載の発明においては特に限定されないが、請求項6および10記載の発明では、前記吸着力付与手段の流体供給源と前記吸着力破壊手段の流体供給源とは、同一の流体供給源であることを特徴とする。こうすることで、流体供給用回路が簡素化され、コストダウンを図ることができる。
【0023】
また、これら請求項4,5および10記載の発明においては特に限定されないが、請求項7および10記載の発明では、前記電子部品に吹き付けられる前記流体は、前記吸着力付与手段に印加される流体が共用されることを特徴とする。こうすることでも、電子部品吸着装置および電子部品試験装置の流体供給用回路が簡素化され、コストダウンを図ることができる。
【0024】
(6)上記発明においては特に限定されないが、請求項9記載の発明は、前記コンタクト部の周囲雰囲気温度を一定にするためのチャンバをさらに備えたことを特徴とする。
【0025】
チャンバ内の雰囲気温度を一定に維持することで電子部品に所定温度を印加するタイプの電子部品試験装置に本発明を適用すると、上述した効果がより顕著となる。
【0026】
(8)上記発明において、流体の種類は特に限定されないが、取り扱いが容易であることや安価であることなどを考慮すればエアーがより好ましい。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は本発明の電子部品試験装置の実施形態を示す斜視図、図2は同電子部品試験装置における被試験ICの取り廻し方法を示す概念図、図3は同電子部品試験装置に設けられた各種の移送装置を模式的に示す平面図、図12は同電子部品試験装置のテストチャンバにおける被試験ICの取り廻し方法を説明するための断面図(図3の XII-XII線相当)、図13は同電子部品試験装置のアンローダ部における被試験ICの取り廻し方法を説明するための断面図(図3の XIII-XIII線相当)である。
【0028】
なお、図2および図3は、本実施形態の電子部品試験装置における被試験ICの取り廻し方法および搬送装置の動作範囲を理解するための図であって、実際には上下方向に並んで配置されている部材を平面的に示した部分もある。したがって、その機械的(三次元的)構造は図1を参照して説明する。
【0029】
本実施形態の電子部品試験装置1は、被試験ICに、たとえば常温、または125℃程度の高温、もしくはたとえば−30℃程度の低温の温度ストレスを与えた状態でICが適切に動作するかどうかを試験(検査)し、当該試験結果に応じてICを分類する装置であって、こうした温度ストレスを与えた状態での動作テストは、試験対象となる被試験ICが多数搭載されたトレイ(図示は省略するが、以下、カスタマトレイKTともいう。)から当該電子部品試験装置1内を搬送されるICキャリアCR(図5参照)に被試験ICを載せ替えて実施される。
【0030】
このため、本実施形態の電子部品試験装置1は、図1および図2に示すように、これから試験を行なう被試験ICを格納し、また試験済のICを分類して格納するIC格納部100と、このIC格納部100から送られる被試験ICをチャンバ部300に送り込むローダ部200と、テストヘッドを含むチャンバ部300と、チャンバ部300で試験が行なわれた試験済のICを分類して取り出すアンローダ部400とから構成されている。
【0031】
IC格納部100
IC格納部100には、試験前の被試験ICを格納する試験前ICストッカ101と、試験の結果に応じて分類された被試験ICを格納する試験済ICストッカ102とが設けられている。
【0032】
これらの試験前ICストッカ101及び試験済ICストッカ102は、枠状のトレイ支持枠と、このトレイ支持枠の下部から侵入して上部に向って昇降可能とするエレベータとを具備して構成されている。トレイ支持枠には、カスタマトレイKTが複数積み重ねられて支持され、この積み重ねられたカスタマトレイKTのみがエレベータによって上下に移動される。
【0033】
そして、試験前ICストッカ101には、これから試験が行われる被試験ICが格納されたカスタマトレイKTが積層されて保持される一方で、試験済ICストッカ102には、試験を終えた被試験ICが適宜に分類されたカスタマトレイKTが積層されて保持されている。
【0034】
なお、これら試験前ICストッカ101と試験済ICストッカ102とは同じ構造とされているので、試験前ICストッカ101と試験済ICストッカ102とのそれぞれの数を必要に応じて適宜数に設定することができる。
【0035】
図1及び図2に示す例では、試験前ストッカ101に1個のストッカLDが割り当てられ、またその隣にアンローダ部400へ送られる空ストッカEMPが1個割り当てられるとともに、試験済ICストッカ102として5個のストッカUL1,UL2,…,UL5が割り当てられて試験結果に応じて最大5つの分類に仕分けして格納できるように構成されている。つまり、良品と不良品の別の外に、良品の中でも動作速度が高速のもの、中速のもの、低速のもの、あるいは不良の中でも再試験が必要なもの等に仕分けされる。
【0036】
ローダ部200
上述したカスタマトレイKTは、IC格納部100と装置基板201との間に設けられたトレイ移送アーム(図示省略)によってローダ部200の窓部202に装置基板201の下側から運ばれる。そして、このローダ部200において、カスタマトレイKTに積み込まれた被試験ICを第1の移送装置204によって一旦ピッチコンバーションステージ203に移送し、ここで被試験ICの相互の位置を修正するとともにそのピッチを変更したのち、さらにこのピッチコンバーションステージ203に移送された被試験ICを第2の移送装置205を用いて、チャンバ部300内の位置CR1(図4参照)に停止しているICキャリアCRに積み替える。
【0037】
窓部202とチャンバ部300との間の装置基板201上に設けられたピッチコンバーションステージ203は、比較的深い凹部を有し、この凹部の周縁が傾斜面で囲まれた形状とされたICの位置修正およびピッチ変更手段であり、この凹部に第1の移送装置204に吸着された被試験ICを落し込むと、傾斜面で被試験ICの落下位置が修正されることになる。これにより、たとえば4個の被試験ICの相互の位置が正確に定まるとともに、カスタマトレイKTとICキャリアCRとの搭載ピッチが相違しても、位置修正およびピッチ変更された被試験ICを第2の移送装置205で吸着してICキャリアCRに積み替えることで、ICキャリアCRに形成されたIC収容部14に精度良く被試験ICを積み替えることができる。
【0038】
カスタマトレイKTからピッチコンバーションステージ203へ被試験ICを積み替える第1の移送装置204は、図3に示すように、装置基板201の上部に架設されたレール204aと、このレール204aによってカスタマトレイKTとピッチコンバーションステージ203との間を往復する(この方向をY方向とする)ことができる可動アーム204bと、この可動アーム204bによって支持され、可動アーム204bに沿ってX方向に移動できる可動ヘッド204cとを備えている。
【0039】
この第1の移送装置204の可動ヘッド204cには、吸着ヘッド204dが下向きに装着されており、この吸着ヘッド204dが空気を吸引しながら移動することで、カスタマトレイKTから被試験ICを吸着し、その被試験ICをピッチコンバーションステージ203に落とし込む。こうした吸着ヘッド204dは、可動ヘッド204cに対して例えば4本程度装着されており、一度に4個の被試験ICをピッチコンバーションステージ203に落とし込むことができる。
【0040】
一方、ピッチコンバーションステージ203からチャンバ部300内のICキャリアCR1へ被試験ICを積み替える第2の移送装置205も同様の構成であり、図1および図3に示すように、装置基板201およびテストチャンバ301の上部に架設されたレール205aと、このレール205aによってピッチコンバーションステージ203とICキャリアCR1との間を往復することができる可動アーム205bと、この可動アーム205bによって支持され、可動アーム205bに沿ってX方向に移動できる可動ヘッド205cとを備えている。
【0041】
この第2の移送装置205の可動ヘッド205cには、吸着ヘッド205dが下向に装着されており、この吸着ヘッド205dが空気を吸引しながら移動することで、ピッチコンバーションステージ203から被試験ICを吸着し、テストチャンバ301の天井に開設された入口303を介して、その被試験ICをICキャリアCR1に積み替える。こうした吸着ヘッド205dは、可動ヘッド205cに対して例えば4本程度装着されており、一度に4個の被試験ICをICキャリアCR1へ積み替えることができる。
【0042】
チャンバ部300
本実施形態に係るチャンバ部300は、ICキャリアCRに積み込まれた被試験ICに目的とする高温又は低温の温度ストレスを与える恒温機能を備えており、熱ストレスが与えられた状態にある被試験ICを恒温状態でテストヘッド302のコンタクト部302aに接触させ、図外のテスタにテストを行わせる。
【0043】
ちなみに、本実施形態の電子部品試験装置1では、被試験ICに低温の温度ストレスを与えた場合には後述するホットプレート401で除熱することで被試験ICへの結露を防止するが、被試験ICに高温の温度ストレスを与えた場合には、自然放熱によって除熱する。ただし、別途の除熱槽または除熱ゾーンを設けて、高温を印加した場合は被試験ICを送風により冷却して室温に戻し、また低温を印加した場合は被試験ICを温風またはヒータ等で加熱して結露が生じない程度の温度まで戻すように構成しても良い。
【0044】
コンタクト部302aを有するテストヘッド302は、テストチャンバ301の中央下側に設けられており、このテストヘッド302の両側にICキャリアCRの静止位置CR5が設けられている。そして、この位置CR5に搬送されてきたICキャリアCRに載せられた被試験ICを第3の移送装置304によってテストヘッド302上に直接的に運び、被試験ICをコンタクト部302aに電気的に接触させることにより試験が行われる。
【0045】
また、試験を終了した被試験ICは、ICキャリアCRには戻されずに、テストヘッド102の両側の位置CR5に出没移動するイグジットキャリアEXTに載せ替えられ、チャンバ部300の外に搬出される。高温の温度ストレスを印加した場合には、このチャンバ部300から搬出されてから自然に除熱される。
【0046】
図4は本実施形態におけるICキャリアの搬送経路を説明するための要部斜視図、図5はICキャリアの実施形態を示す斜視図、図6は図5の VI-VI線に沿う断面図(シャッタ閉)、図7は図5の VII-VII線に沿う断面図(シャッタ開)、図8はチャンバ部300における被試験ICのテスト順序を説明するための平面図である。
【0047】
まず、本実施形態のICキャリアCRは、チャンバ部300内を循環して搬送される。この取り廻しの様子を図4に示すが、本実施形態では、まずチャンバ部300の手前と奥とのそれぞれに、ローダ部200から送られてきた被試験ICが積み込まれるICキャリアCR1が位置し、この位置CR1のICキャリアCRは、図外の水平搬送装置によって水平方向の位置CR2に搬送される。
【0048】
なお、第2の移送装置205から被試験ICを受け取る位置は、厳密にいえば同図に示す位置CR1より僅かに上部とされている(この位置を図4に二点鎖線で示す)。これは、テストチャンバ301の天井に開設された入口303にICキャリアCRを下方から臨ませて、当該入口303をICキャリアCRで遮蔽し、チャンバ部300内の熱放出を防止するためであり、このためにICキャリアCRは、被試験ICを受け取る際に位置CR1から少しだけ上昇する。
【0049】
位置CR2に搬送されたICキャリアCRは、図4に示すエレベータ311によって鉛直方向の下に向かって幾段にも積み重ねられた状態で搬送され、位置CR5のICキャリアが空くまで待機したのち、最下段の位置CR3からテストヘッド302とほぼ同一レベル位置CR4へ図外の水平搬送装置によって搬送される。主としてこの搬送中に、被試験ICに高温または低温の温度ストレスが与えられる。
【0050】
さらに、図外の水平搬送装置によって、位置CR4からテストヘッド302側へ向かって水平方向の位置CR5に搬送され、ここで被試験ICのみがテストヘッド302のコンタクト部302aへ送られる。被試験ICがコンタクト部302aへ送られたあとのICキャリアCRは、図外の水平搬送装置によってその位置CR5から水平方向の位置CR6へ搬送されたのち、エレベータ314によって鉛直方向の上に向かって搬送され、元の位置CR1に戻る。
【0051】
このように、ICキャリアCRは、チャンバ部300内のみを循環して搬送されるので、一旦昇温または降温してしまえば、ICキャリア自体の温度はそのまま維持され、その結果、チャンバ部300における熱効率が向上することになる。
【0052】
図5は本実施形態のICキャリアCRの構造を示す斜視図であり、短冊状のプレート11の上面に8つの凹部12が形成され、この凹部12のそれぞれに被試験ICを載せるためのIC収容部14が2つずつ形成されている。
【0053】
本実施形態のIC収容部14は、凹部12にブロック13を取り付けることによりプレート11の長手方向に沿って16個形成され、プレート11の長手方向における被試験ICの搭載ピッチP1 (図8参照)が等間隔に設定されている。
【0054】
ちなみに、本実施形態のIC収容部14には、プレート11の凹部12とブロック13,13との間にガイド孔(図6参照)171が形成されたガイド用プレート17が挟持されている。被試験ICがチップサイズパッケージのBGA型ICのようにパッケージモールドの外周によっては位置決め精度が確保できない場合等においては、ガイド用プレート17のガイド孔171の周縁によって被試験ICの半田ボール端子HBを位置決めし、これによりコンタクトピンへの接触精度を高めることができる。
【0055】
図5に示すように、ICキャリアCRには、当該ICキャリアCRのIC収容部14に収納された被試験ICの位置ずれや飛び出し防止のため、その上面の開口面を開閉するためのシャッタ15が設けられている。
【0056】
このシャッタ15は、スプリング16によってプレート11に対して開閉自在とされており、被試験ICをIC収容部14に収容する際、またはIC収容部14から取り出す際に、シャッタ開閉機構182を用いて図7のように当該シャッタ15を開くことで、被試験ICの収容または取り出しが行われる。一方、シャッタ開閉機構182を解除すると、当該シャッタ15はスプリング16の弾性力により元の状態に戻り、図6に示すようにプレート11のIC収容部14の開口面はシャッタ15によって蓋をされ、これにより当該IC収容部14に収容された被試験ICは、高速搬送中においても位置ズレや飛び出しが生じることなく保持されることになる。
【0057】
本実施形態のシャッタ15は、図5に示すように、プレート11の上面に設けられた3つの滑車112により支持されており、中央の滑車112がシャッタ15に形成された長孔152に係合し、両端に設けられた2つの滑車112,112はシャッタ15の両端縁をそれぞれ保持する。
【0058】
ただし、中央の滑車112とシャッタ15の長孔152との係合は、プレート11の長手方向に対して殆どガタツキがない程度とされており、これに対して両端の滑車112とシャッタ15の両端縁との間には僅かな隙間が設けられている。こうすることで、チャンバ部300内においてICキャリアCRに熱ストレスが作用しても、それによる膨張または収縮は中央の滑車112を中心にして両端へ振り分けられ、両端に設けられた隙間によって適宜吸収される。したがって、シャッタ15の長手方向全体の膨張または収縮量は、最も膨張または収縮する両端でも半分の量となり、これによりプレート11の膨張または収縮量との格差を小さくすることができる。
【0059】
本実施形態のシャッタの開閉機構は以下のように構成されている。
まず、図4に示すICキャリアCRの取り廻し経路において、シャッタ15を開く必要がある位置は、第2の移送装置205から被試験ICを受け取る位置CR1(厳密にはその僅かに上部の窓部303)と、この被試験ICを第3の移送装置304によってテストヘッド302のコンタクト部302aへ受け渡す位置CR5の2ヶ所である。
【0060】
本実施形態では、位置CR1においては図4および図6,7に示すように、シャッタの開閉機構として、シャッタ15の上面に設けられた開閉用ブロック181を引っかけて開閉する流体圧シリンダ182が採用されている。この流体圧シリンダ182はテストチャンバ301側に取り付けられている。そして、図6および図7に示すように、停止状態にあるICキャリアCRに対して流体圧シリンダ182のロッドを後退させることで、シャッタ15に設けられた開閉用ブロック181を引っかけながら当該シャッタ15を開く。また、被試験ICの搭載が終了したら、流体圧シリンダ182のロッドを前進させることで当該シャッタ15を閉じる。
【0061】
これに対して、テストヘッド302の近傍位置CR5においては、ICキャリアCR自体が図外の水平搬送装置によって移動するので、これを利用してシャッタ15を開閉する。たとえば、ICキャリアCRは位置CR4から位置CR5へ向かって水平に搬送されるが、この途中にシャッタ15を開閉するためのストッパを、テストチャンバ301側であって、ICキャリアCRが位置CR4から位置CR5へ移動する際にシャッタ15の開閉用ブロック181に当接する位置に設ける。また、このストッパを設ける位置は、ICキャリアCRが位置CR5で停止したときにちょうどシャッタ15が全開する位置でもある。本例ではシャッタ15に2つの開閉用ブロック181が設けられているので、ストッパも2つ設ける。これによりICキャリアCRの水平搬送にともなってシャッタ15も全開することとなる。
【0062】
ICキャリアCRをこの位置CR5からCR6へ搬送する際に、シャッタ15を閉じる必要がある。このため、たとえば上述したストッパにカム面を形成しておき、ICキャリアCRが位置CR5から位置CR6へ向かって搬送される際に、シャッタ15の開閉用ブロック181の後端部が当該カム面に当接し続けることによりシャッタ15は徐々に閉塞することになる。
【0063】
ちなみに、第2の移送装置205や第3の移送装置304の可動ヘッド205c,304bには、被試験ICの受け渡しの際にICキャリアCRとの位置合わせを行うための位置決め用ピンが設けられている。代表例として図6に第2の移送装置205の可動ヘッド205cを示すが、第3の移送装置304の可動ヘッド304bについても同様の構成とされている。
【0064】
同図に示すように、可動ヘッド205cには、位置決め用ピン205e,205eが一つの被試験ICを跨いで2つ設けられている。このため、ICキャリアCRのプレート11側には、この位置決め用ピン205e,205eがそれぞれ係合する位置決め用孔113,113が形成されている。特に限定されないが、本例では、一方の位置決め用孔113(図6においては右側)を真円孔とし、他方の位置決め用孔(同図においては左側)を幅方向に長い長円孔とし、これにより主として一方の位置決め孔113にて位置合わせを行うとともに他方の位置決め用孔113で位置決め用ピン205eとの位置誤差を吸収することとしている。また、それぞれの位置決め用孔113の上面には位置決め用ピン205eを呼び込むためのテーパ面が形成されている。
【0065】
なお、図7に示す符号「153」は、シャッタ15を開いたときに、位置決め用ピン205eが位置決め用孔113に係合できるための開口部である。
【0066】
また、本実施形態の電子部品試験装置1では、テストヘッド302の近傍位置CR5において第3の移送装置304によって全ての被試験ICがテストヘッド302へ移送されると、ICキャリアCRは当該位置CR5から位置CR6へ戻されるが、このときそのICキャリアCRのIC収容部14の何れにも被試験ICが残留していないことを確認するために、残留検出装置が設けられている。
【0067】
この残留検出装置は、図4に示す位置CR5からCR6の途中に設けられた光電センサを有し、図6に示すICキャリアCRの中心線CLに沿ってZ軸方向に検出光を照射しこれを受光する。この検出光を通過させるために、プレート11のIC収容部14の底面にはそれぞれ貫通孔111が設けられ、シャッタ15にもそれぞれのIC収容部14に対応する位置に貫通孔154が設けられている。これにより、ICキャリアCRが被試験ICの受け渡しを終えて位置CR5からCR6へ移動するときに、その水平搬送装置のエンコーダから移動パルス信号を受け取り、これによりICキャリアCRのIC収容部14の位置タイミングを確認するとともに、そのタイミングにおける光電センサの受光状況を確認する。ここで、もしIC収容部14に被試験ICが残っていたら、光電センサによる受光は確認されないので、たとえば警報を発して異常である旨を喚起する。
【0068】
本実施形態のテストヘッド302には、8個のコンタクト部302aが一定のピッチP2 で設けられており、図8に示されるように、コンタクトアームの吸着ヘッド304cも同一ピッチP2 で設けられている。また、ICキャリアCRには、ピッチP1 で16個の被試験ICが収容され、このとき、P2 =2・P1 の関係とされている。
【0069】
テストヘッド302に対して一度に接続される被試験ICは、同図に示すように1行×16列に配列された被試験ICに対して、1列おきの被試験IC(斜線で示す部分)が同時に試験される。
【0070】
つまり、1回目の試験では、1,3,5,7,9,11,13,15列に配置された8個の被試験ICをテストヘッド302のコンタクト部302aに接続して試験し、2回目の試験では、ICキャリアCRを1列ピッチ分P1 だけ移動させて、2,4,6,8,10,12,14,16列に配置された被試験ICを同様に試験する。このため、テストヘッド302の両側の位置CR5に搬送されてきたICキャリアCRは、図外の水平搬送装置によってその長手方向にピッチP1 だけ移動する。
【0071】
ちなみに、この試験の結果は、ICキャリアCRに付された例えば識別番号と、当該ICキャリアCRの内部で割り当てられた被試験ICの番号で決まるアドレスに記憶される。
【0072】
本実施形態の電子部品試験装置1において、テストヘッド302のコンタクト部302aへ被試験ICを移送してテストを行うために、第3の移送装置304がテストヘッド302の近傍に設けられている。
【0073】
図9は吸着装置の実施形態を示す正面図(図3のIX矢視図)、図10は同吸着装置の要部断面および回路ブロックを示す図、図11は同吸着ヘッドの吸着面を示す底面図である。
【0074】
図12に示す第3の移送装置304は、ICキャリアCRの静止位置CR5およびテストヘッド302の延在方向(Y方向)に沿って設けられたレール304aと、このレール304aによってテストヘッド302とICキャリアCRの静止位置CR5との間を往復することができる可動ヘッド304bと、この可動ヘッド304bに下向きに設けられた吸着ヘッド304cとを備えている。
【0075】
吸着ヘッド304cは、図示しない駆動装置(たとえば流体圧シリンダや電動モータ)によって上下方向にも移動できるように構成されている。この吸着ヘッド304cの上下移動により、被試験ICを吸着できるとともに、コンタクト部302aに被試験ICを押し付けることができる。
【0076】
本実施形態の吸着ヘッド304cをさらに詳細に説明する。
図9および図10に示すように、吸着ヘッド304cは、図外のZ軸方向駆動装置に取り付けられて、コンタクト部302aに対して昇降するプッシャベース304c1と、このプッシャベース304c1に対してフローティング機構304c6を介して取り付けられた可動ベース304c3とからなり、可動ベース304c3に被試験ICを吸着するための吸着パッド304c2が固定されている。
【0077】
この様子を図10および図11に示すが、可動ベース304c3に固定された吸着ヘッド本体304c10は、ほぼ直方体形状とされ、内部に真空引きを行うための通孔304c11が形成されている。また、弾性体からなる吸着パッド304c2は、吸着ヘッド本体304c10内に固定されており、真空引きしたときの吸着力はこの吸着パッド304c2の先端に付与される。
【0078】
また、吸着ヘッド本体304c10の吸着面には、図11に示すような複数(ここでは4つ)の溝部304c12が形成されており、この通孔304c12は、被試験ICが図10に示すようにコンタクト部302aに押し付けられた状態において、吸着ヘッド本体304c10の通孔304c11と外部とを連通する。なお、図11に示された溝部304c12の形状や数量は単なる例示であって、被試験ICの自己発熱量やエアー温度等々の諸条件に応じて適宜変更することができる。
【0079】
この吸着ヘッド304cには、同図に示される空気圧回路305が設けられている。この空気圧回路305は、工場エアー(工場内に引き廻されたエアー配管系)や専用のコンプレッサなどのエアー源305a(本発明の流体供給源に相当する。)と、圧縮エアーを駆動源にして真空引きを行うエジェクタ305cと、このエジェクタ305cのON/OFFを行うエジェクタ弁305bとが直列的に接続され、この回路により生じた吸着力は吸着ヘッド304cの通孔304c11を介して吸着パッド304c2に付与される。
【0080】
また、エアー源305aから並列的に分岐された回路に破壊弁305eが設けられ、その先端が同じく吸着ヘッド304cの通孔304c11に接続されている。この破壊弁305eは、これを開くことでエアー源305aからの圧縮エアーを吸着パッド304c2に供給し、これにより当該吸着パッド304c2に付着した被試験ICを解放する機能を有するものである。つまり、被試験ICの解放時には瞬間的に破壊弁305eが開かれる。
【0081】
特に本実施形態では、この破壊弁305eからの圧縮エアーを利用して、被試験ICのテスト時に生じる自己発熱を放熱させることとしている。すなわち、真空引きを行う際のエジェクタ弁305bの開閉および被試験ICを解放する際の破壊弁305eの開閉の制御は、制御装置305fからの指令信号(電気的または空圧/油圧的の何れでも良い。)により行われ、被試験ICを吸着保持する際は破壊弁305eを閉じるとともにエジェクタ弁305bを開き、この吸着保持された被試験ICをコンタクト部302aへ押し付けるとエジェクタ弁305bも閉じる。
【0082】
このとき、被試験ICは吸着ヘッド304cとコンタクト部203aとによって固定されているのでエアー源305aは未使用となっている。したがって、エジェクタ弁305bを閉じたまま破壊弁305eを開き、エアー源305aからの圧縮エアーを通孔304c11を介して被試験ICに吹き付ける。これにより、一般的には常温とされている圧縮エアーが被試験ICに吹き付けられ、さらに吸着面に形成された溝部304c12を通過して流れるので、被試験ICが自己発熱してもこれを冷却することができる。
【0083】
このとき、特に限定はされないが、図10に示すように破壊弁305eの回路中に圧縮エアーの温度をコントロールする温度制御ユニット305dを設けておき、被試験ICに吹き付けられるエアーの温度を自己発熱量や試験温度に応じた適切な値とすることがより好ましい。
【0084】
なお、被試験ICに圧縮エアーを吹き付けるに際し、破壊弁305eは常時開とする必要はなく、たとえばON/OFFのデューティー比により流量をコントロールすることも可能である。
【0085】
プッシャベース304c1と可動ベース304c3との間に介装されるフローティング機構304c6は、以下のように構成されている。まず、後述する一方のガイド手段であるガイドブッシュ302a2に係合するガイドピン304c5は、その中央部にて可動ベース304c3に固定されており、その基端はプッシャベース304c1に固定された小径のピン304c7に挿通されている。これにより、可動ベース304c3は、プッシャベース304c1に対して、XY平面においてガイドピン304c5と小径ピン304c7との空隙ぶんだけ移動可能となる。
【0086】
また、可動ベース304c3は、プッシャベース304c1に対して、Z軸方向の上方向に移動可能となるが、これらプッシャベース304c1と可動ベース304c3との間に介装されたスプリング304c8によって、可動ベース304c3はプッシャベース304c1から離間する方向に付勢されている。したがって、外力が作用しないときは、図9に示す状態を維持するが、ガイドピン304c5とガイドブッシュ302a2とが係合する際にX方向またはY方向に外力が作用すると、可動ベース304c3はプッシャベース304c1に対してXY平面内で移動することとなる。また、後述する流体圧シリンダ304c4が押圧ブロック304c9を介して可動ベース304c3を押圧したときに可動ベース304c3のXY平面が傾いていると、スプリング304c8の弾性力に抗して可動ベース304c3がプッシャベース304c1に対してその姿勢を変えることになる。
【0087】
本実施形態の吸着ヘッド304cでは、プッシャベース304c1が装着されるベース304b1に流体圧シリンダ304c4が固定され、また可動ベース304c3には押圧ブロック304c9が取り付けられており、当該流体圧シリンダ304c4のロッド先端は、押圧ブロック304c9の上面に当接してここを押圧し、これを介して可動ベース304c3が押圧される。
【0088】
本実施形態の吸着ヘッド304cは、1枚の共通したプッシャベース304c1に対して、8個の可動ベース304c3が互いに独立してフローティングするように設けられており、上述した流体圧シリンダ304c4も各可動ベース304c3に対してそれぞれ独立した位置(ベース304b1)に設けられている。
【0089】
なお、可動ベース304c3には、先端にテーパ面を有するガイドピン304c5が固定され、コンタクト部302aにはガイドブッシュ302a2が固定されている。これらガイドピン304c5およびガイドブッシュ302a2が本発明のガイド手段を構成するが、吸着ヘッド304cがコンタクト部302aに向かって下降したときに、ガイドピン304c5がテーパ面からガイドブッシュ302a2に係合することで、可動ベース304c3がコンタクト部302aに対して位置合わせされることになる。
【0090】
また、被試験ICの種類が変わってコンタクト部302aの品種交換を行う場合には、吸着ヘッド304cについても品種交換が行われるが、本実施形態では図11に示すプッシャベース304c1から下の部品をチェンジキットとして交換し、ベース304b1や流体圧シリンダ304c4はそのまま汎用する。これにより、チェンジキットの構成部品が最小となってコストダウンを図ることができるとともにチェンジキットの重量も最小となって交換作業性が向上する。
【0091】
図12に示すように、本実施形態の第3の移送装置304では、一つのレール304aに2つの可動ヘッド304bが設けられており、その間隔が、テストヘッド302とICキャリアCRの静止位置CR5との間隔に等しく設定されている。そして、これら2つの可動ヘッド304bは、一つの駆動源(たとえばボールネジ装置)によって同時にY方向に移動する一方で、それぞれの吸着ヘッド304cは、それぞれ独立の駆動装置によって上下方向に移動する。
【0092】
既述したように、それぞれの吸着ヘッド304cは、一度に8個の被試験ICを吸着して保持することができ、その間隔はコンタクト部302aの間隔と等しく設定されている。
【0093】
アンローダ部400
アンローダ部400には、上述した試験済ICをチャンバ部300から払い出すためのイグジットキャリアEXTが設けられている。このイグジットキャリアEXTは、図3および図12に示すように、テストヘッド302の両側それぞれの位置EXT1と、アンローダ部400の位置EXT2との間をX方向に往復移動できるように構成されている。テストヘッド302の両側の位置EXT1では、図12に示すように、ICキャリアCRとの干渉を避けるために、ICキャリアの静止位置CR5のやや上側であって第3の移送装置304の吸着ヘッド304cのやや下側に重なるように出没する。
【0094】
イグジットキャリアEXTの具体的構造は特に限定されないが、図5に示すICキャリアCRのように、被試験ICを収容できる凹部が複数(ここでは8個)形成されたプレートで構成することができる。
【0095】
このイグジットキャリアEXTは、テストヘッド302の両側のそれぞれに都合2機設けられており、一方がテストチャンバ301の位置EXT1へ移動している間は、他方はアンローダ部400の位置EXT2へ移動するというように、ほぼ対称的な動作を行う。
【0096】
図3に戻り、本実施形態の電子部品試験装置1では、イグジットキャリアEXTの位置EXT2に近接して、ホットプレート401が設けられている。このホットプレート401は、被試験ICに低温の温度ストレスを与えた場合に、結露が生じない程度の温度まで加熱するためのものであり、したがって高温の温度ストレスを印加した場合には当該ホットプレート401は使用する必要はない。
【0097】
本実施形態のホットプレート401は、後述する第4の移送装置404の吸着ヘッド404dが一度に8個の被試験ICを保持できることに対応して、2列×16行、都合32個の被試験ICを収容できるようにされている。そして、第4の移送装置404の吸着ヘッド404dに対応して、ホットプレート401を4つの領域に分け、イグジットキャリアEXT2から吸着保持した8個の試験済ICをそれらの領域に順番に置き、最も長く加熱された8個の被試験ICをその吸着ヘッド404dでそのまま吸着して、バッファ部402へ移送する。
【0098】
ホットプレート401の近傍には、それぞれ昇降テーブル405を有する2つのバッファ部402が設けられている。図13は図3の XIII-XIII線に沿う断面図であり、各バッファ部402の昇降テーブル405は、イグジットキャリアEXT2およびホットプレート401と同じレベル位置(Z方向)と、それより上側のレベル位置、具体的には装置基板201のレベル位置との間をZ方向に移動する。このバッファ部402の具体的構造は特に限定されないが、たとえばICキャリアCRやイグジットキャリアEXTと同じように、被試験ICを収容できる凹部が複数(ここでは8個)形成されたプレートで構成することができる。
【0099】
また、これら一対の昇降テーブル405は、一方が上昇位置で静止している間は、他方が下降位置で静止するといった、ほぼ対称的な動作を行う。
【0100】
以上説明したイグジットキャリアEXT2からバッファ部402に至る範囲のアンローダ部400には、第4の移送装置404が設けられている。この第4の移送装置404は、図3および図13に示すように、装置基板201の上部に架設されたレール404aと、このレール404aによってイグジットキャリアEXT2とバッファ部402との間をY方向に移動できる可動アーム404bと、この可動アーム404bによって支持され、可動アーム404bに対してZ方向に上下移動できる吸着ヘッド404cとを備え、この吸着ヘッド404cが空気を吸引しながらZ方向およびY方向へ移動することで、イグジットキャリアEXTから被試験ICを吸着し、その被試験ICをホットプレート401に落とし込むとともに、ホットプレート401から被試験ICを吸着してその被試験ICをバッファ部402へ落とし込む。本実施形態の吸着ヘッド404cは、可動アーム404bに8本装着されており、一度に8個の被試験ICを移送することができる。
【0101】
ちなみに、図13に示すように、可動アーム404bおよび吸着ヘッド404cは、バッファ部402の昇降テーブル405の上昇位置と下降位置との間のレベル位置を通過できる位置に設定されており、これによって一方の昇降テーブル405が上昇位置にあっても、干渉することなく他方の昇降テーブル405に被試験ICを移送することができる。
【0102】
さらに、アンローダ部400には、第5の移送装置406および第6の移送装置407が設けられ、これら第3および第6の移送装置406,407によって、バッファ部402に運び出された試験済の被試験ICがカスタマトレイKTに積み替えられる。
【0103】
このため、装置基板201には、IC格納部100の空ストッカEMPから運ばれてきた空のカスタマトレイKTを装置基板201の上面に臨むように配置するための窓部403が都合4つ開設されている。
【0104】
第5の移送装置406は、図1,3および13に示すように、装置基板201の上部に架設されたレール406aと、このレール406aによってバッファ部402と窓部403との間をY方向に移動できる可動アーム406bと、この可動アーム406bによって支持され、可動アーム406bに対してX方向へ移動できる可動ヘッド406cと、この可動ヘッド406cに下向きに取り付けられZ方向に上下移動できる吸着ヘッド406dとを備えている。そして、この吸着ヘッド406dが空気を吸引しながらX、YおよびZ方向へ移動することで、バッファ部402から被試験ICを吸着し、その被試験ICを対応するカテゴリのカスタマトレイKTへ移送する。本実施形態の吸着ヘッド406dは、可動ヘッド406cに2本装着されており、一度に2個の被試験ICを移送することができる。
【0105】
なお、本実施形態の第5の移送装置406は、右端の2つの窓部403にセットされたカスタマトレイKTにのみ被試験ICを移送するように、可動アーム406bが短く形成されており、これら右端の2つの窓部403には、発生頻度の高いカテゴリのカスタマトレイKTをセットすると効果的である。
【0106】
これに対して、第6の移送装置406は、図1,3および13に示すように、装置基板201の上部に架設された2本のレール407a,407aと、このレール407a,407aによってバッファ部402と窓部403との間をY方向に移動できる可動アーム407bと、この可動アーム407bによって支持され、可動アーム407bに対してX方向へ移動できる可動ヘッド407cと、この可動ヘッド407cに下向きに取り付けられZ方向に上下移動できる吸着ヘッド407dとを備えている。そして、この吸着ヘッド407dが空気を吸引しながらX、YおよびZ方向へ移動することで、バッファ部402から被試験ICを吸着し、その被試験ICを対応するカテゴリのカスタマトレイKTへ移送する。本実施形態の吸着ヘッド407dは、可動ヘッド407cに2本装着されており、一度に2個の被試験ICを移送することができる。
【0107】
上述した第5の移送装置406が、右端の2つの窓部403にセットされたカスタマトレイKTにのみ被試験ICを移送するのに対し、第6の移送装置407は、全ての窓部403にセットされたカスタマトレイKTに対して被試験ICを移送することができる。したがって、発生頻度の高いカテゴリの被試験ICは、第5の移送装置406と第6の移送装置407とを用いて分類するとともに、発生頻度の低いカテゴリの被試験ICは第6の移送装置407のみによって分類することができる。
【0108】
こうした、2つの移送装置406,407の吸着ヘッド406d,407dが互いに干渉しないように、図1および図13に示すように、これらのレール406a,407aは異なる高さに設けられ、2つの吸着ヘッド406d,407dが同時に動作してもほとんど干渉しないように構成されている。本実施形態では、第5の移送装置406を第6の移送装置407よりも低い位置に設けている。
【0109】
ちなみに、図示は省略するが、それぞれの窓部403の装置基板201の下側には、カスタマトレイKTを昇降させるための昇降テーブルが設けられており、試験済の被試験ICが積み替えられて満杯になったカスタマトレイKTを載せて下降し、この満杯トレイをトレイ移送アームに受け渡し、このトレイ移送アームによってIC格納部100の該当するストッカUL1〜UL5へ運ばれる。また、カスタマトレイKTが払い出されて空となった窓部403には、トレイ移送アームによって空ストッカEMPから空のカスタマトレイKTが運ばれ、昇降テーブルに載せ替えられて窓部403にセットされる。
【0110】
本実施形態の一つのバッファ部402には、16個の被試験ICが格納でき、またバッファ部402の各IC格納位置に格納された被試験ICのカテゴリをそれぞれ記憶するメモリが設けられている。
【0111】
そして、バッファ部402に預けられた被試験ICのカテゴリと位置とを各被試験IC毎に記憶しておき、バッファ部402に預けられている被試験ICが属するカテゴリのカスタマトレイKTをIC格納部100(UL1〜UL5)から呼び出して、上述した第3および第6の移送装置406,407で対応するカスタマトレイKTに試験済ICを収納する。
【0112】
次に動作を説明する。
IC格納部100のストッカLDには、試験前のICが搭載されたカスタマトレイKTが収納されており、このカスタマトレイKTをローダ部200の窓部202にセットする。装置基板201の上面に臨んだこのカスタマトレイKTから、第1の移送装置204を用いて、一度にたとえば4個の被試験ICを吸着し、これを一旦ピッチコンバーションステージ203に落とし込んで被試験ICの位置修正とピッチ変更とを行う。
【0113】
次に、第2の移送装置205を用いて、ピッチコンバーションステージ203に落とし込まれた被試験ICを一度にたとえば4個ずつ吸着し、入口303からテストチャンバ301内へ運び込んで、位置CR1に静止しているICキャリアCRに載せる。テストチャンバ301内には、位置CR1が2箇所に設けられているので、第2の移送装置205は、これら2箇所のICキャリアCRに対して交互に被試験ICを運ぶ。このとき、ICキャリアCRのシャッタ15は流体圧シリンダ182(図4参照)によって開閉することになる。
【0114】
それぞれの位置CR1で被試験ICが16個載せられると、ICキャリアCRは、図4に示す順序CR1→CR2→…→CR4でテストチャンバ301内を搬送され、この間に、被試験ICに対して高温又は低温の温度ストレスが与えられる。
【0115】
試験前ICが搭載されたICキャリアCRが、テストヘッド302の両側の位置CR5まで運ばれると、図外のストッパによってICキャリア15のシャッタ15が開き、図12(A)に示すように第3の移送装置304の一方の吸着ヘッド(ここでは左側)304cが下降して被試験ICを1つおきに吸着し(図8参照)、再び上昇してここで待機する。これと同時に、他方の吸着ヘッド(ここでは右側)304cは、吸着した8個の被試験ICをテストヘッド302のコンタクト部302aに押し付けてテストを実行する。なお、被試験ICを吸着保持する際には、図10に示すように制御装置305fからエジェクタ弁305bおよび破壊弁305eに指令信号が送出され、破壊弁305eが閉じられるとともにエジェクタ弁305bが開かれる。
【0116】
このとき、左側のICキャリアCR5の上側にはイグジットキャリアEXT(二点鎖線で示す。)は存在せず、テストチャンバ301の外の位置EXT2に移動している。また、右側のICキャリアCR5の上側のうちEXT1にはイグジットキャリアEXTが存在し、右側の吸着ヘッド304cに吸着された被試験ICのテストが終了するのを待機する。
【0117】
図9に示すように、8個の被試験ICを吸着パッド304c2に吸着した吸着ヘッド304cは、図外のZ軸駆動装置によってその全体が下降し、このときガイドピン304c5がガイドブッシュ302a2に係合することで、可動ベース304c3がコンタクト部302aに対して適正な位置にフローティングする。
【0118】
被試験ICの半田ボール端子HBがコンタクト部302aのコンタクトピン302a1に接触する前後において、流体圧シリンダ304c4を作動させてロッド先端を前進させることで押圧ブロック304c9を介して可動ベース304c3の上面を押圧する。この押圧作用により、吸着ヘッド304cのプッシャベース304c1の全体が熱ストレスあるいは加工不良によって変形していても、これを吸収することができ、被試験ICのそれぞれの半田ボール端子HBが各コンタクトピン302a1に押し付けられる力がほぼ均等になる。
【0119】
また、被試験ICがコンタクト部302aに押し付けられると、それまでの真空引きは必要なくなるので、制御装置305fからエジェクタ弁305bへ指令信号を送出し、当該エジェクタ弁305bを閉じる。
【0120】
そして、エジェクタ弁305bを閉じたまま破壊弁305eを開き、エアー源305aからの圧縮エアーを通孔304c11を介して被試験ICに吹き付ける。これにより、一般的には常温とされている圧縮エアーまたは温度制御ユニット305dによって適切な温度とされた圧縮エアーが被試験ICに吹き付けられ、さらに吸着面に形成された溝部304c12を通過して流れるので、被試験ICが自己発熱してもこれを冷却することができる。
【0121】
こうして右側の吸着ヘッド304cに吸着された8個の被試験ICのテストが終了すると、図12(B)に示すように、これらの可動ヘッド304b,304bを右側へ移動させ、左側の吸着ヘッド304cに吸着した8個の被試験ICをテストヘッド302のコンタクト部302aに押し付けてテストを行う。
【0122】
一方、右側の吸着ヘッド304cに吸着された8個の試験済ICは、待機していたイグジットキャリアEXTに載せられ、次いで、この試験済ICが載せられたイグジットキャリアEXTは、テストチャンバ301内の位置EXT1からテストチャンバ301外の位置EXT2へ移動する。
【0123】
こうして、イグジットキャリアEXTがテストチャンバ301外へ移動すると、右側の吸着ヘッド304cは、右側の位置CR5にあるICキャリアCRに向かって下降し、残りの8個の被試験ICを吸着して再び上昇し、左側の吸着ヘッド304cに吸着された被試験ICのテストが終了するのを待機する。この吸着ヘッド304cが吸着する前に、ICキャリアCRは、残りの被試験ICを吸着ヘッド304cで吸着できるように、ピッチP1 だけ移動する(図8参照)。
【0124】
これと相前後して、左側のイグジットキャリアEXTがテストチャンバ301内へ移動し、左側の吸着ヘッド304cに吸着された被試験ICのテストが終了するのをこの位置EXT1で待機する。
【0125】
こうして、左側の吸着ヘッド304cに吸着された被試験ICのテストが終了すると、これらの可動ヘッド304b,304bを左側へ移動させ、右側の吸着ヘッド304cに吸着した残りの8個の被試験ICをテストヘッド302のコンタクト部302aに押し付けてテストを行う。
【0126】
一方、左側の吸着ヘッド304cに吸着された8個の試験済ICは、待機していたイグジットキャリアEXTに載せられ、次いで、この試験済ICが載せられたイグジットキャリアEXTは、テストチャンバ301内の位置EXT1からテストチャンバ301外の位置EXT2へ移動する。
【0127】
以下この動作を繰り返すが、一つのコンタクト部302aに対して、こうした2つの吸着ヘッド304cを交互にアクセスさせ、一方が他方のテストが終了するのを待機するので、一方の吸着ヘッド304cに被試験ICを吸着する時間が他方のテスト時間に吸収されることになり、その分だけインデックスタイムを短縮することができる。
【0128】
一方、上述したテストヘッド302でのテストを終了した被試験ICは、8個ずつ、2つのイグジットキャリアEXTによって交互にテストチャンバ301外の位置EXT2へ払い出される。
【0129】
図13に示すように、イグジットキャリアEXTによって右側の位置EXT2に払い出された8個の試験済ICは、第4の移送装置404の吸着ヘッド404cに一括して吸着され、ホットプレート401の4つの領域のうちの一つの領域に載せられる。なお、以下の本実施形態では低温の熱ストレスを印加した場合を想定して説明するが、高温の熱ストレスを印加した場合には、イグジットキャリアEXTから直接バッファ部402へ運ばれる。
【0130】
ホットプレート401の一つの領域に試験済ICを運んできた第4の移送装置404の吸着ヘッド404cは、原位置に戻ることなく、それまでホットプレート401に載せた試験済ICの中で最も時間が経過した8個のICをその位置で吸着し、下降位置にある方のバッファ部402の昇降テーブル405(ここでは右側)にその加熱された試験済ICを載せ替える。
【0131】
図13に示すように、第4の移送装置404のその前の動作によって8個の試験済ICが載せられた左側の昇降テーブル405は、上昇位置まで移動するとともに、これにともなって右側の昇降テーブル405は下降位置まで移動する。上昇位置に移動した左側の昇降テーブル405には、8個の試験済ICが搭載されており、これらの試験済ICは、第5および第6の移送装置406,407により、テスト結果の記憶内容にしたがって該当するカテゴリのカスタマトレイKTに移送される。図13は、第5の移送装置406により試験済ICをカスタマトレイKTに載せ替える例を示している。
【0132】
以下こうした動作を繰り返して、試験済ICを該当するカテゴリのカスタマトレイKTへ載せ替えるが、アンローダ部400において、第4の移送装置404と第5又は第6の移送装置406,407とを異なるレベル位置に配置することで、第4の移送装置404と第5および第6の移送装置406,407とを同時に動作させることができ、これによってスループットを高めることができる。
【0133】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【0134】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、テスト中に生じる自己発熱が周囲に放熱されるので、特に高温テストなどで問題とされる過熱による電子部品の破壊または損傷を防止することができる。
【0135】
また、高温テストに限らず、流体を吹き付けることにより自己発熱による昇温が抑制されるので、目的とする正確な温度でテストを行うことができ、テスト結果の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電子部品試験装置の実施形態を示す斜視図である。
【図2】図1の電子部品試験装置における被試験ICの取り廻し方法を示す概念図である。
【図3】図1の電子部品試験装置に設けられた各種の移送装置を模式的に示す平面図である。
【図4】図1の電子部品試験装置に適用されたICキャリアの搬送経路を説明するための要部斜視図である。
【図5】図1の電子部品試験装置に適用されたICキャリアの実施形態を示す斜視図である。
【図6】図5の VI-VI線に沿う断面図(シャッタ閉)である。
【図7】図5の VII-VII線に沿う断面図(シャッタ開)である。
【図8】図1の電子部品試験装置のテストチャンバにおける被試験ICのテスト順序を説明するための平面図である。
【図9】本発明の吸着装置の実施形態を示す正面図(図3のIX矢視図)である。
【図10】本発明の吸着装置の実施形態の要部断面および回路ブロックを示す図である。
【図11】図10に示す吸着ヘッドの吸着面を示す底面図である。
【図12】図1の電子部品試験装置のテストチャンバにおける被試験ICの取り廻し方法を説明するための断面図(図3の XII-XII線相当)である。
【図13】図1の電子部品試験装置のアンローダ部における被試験ICの取り廻し方法を説明するための断面図(図3の XIII-XIII線相当)である。
【符号の説明】
1…電子部品試験装置
100…IC格納部
200…ローダ部
300…チャンバ部
301…テストチャンバ
302…テストヘッド
302a…コンタクト部
304…第3の移送装置
304c…吸着ヘッド(吸着装置)
304c10…吸着ヘッド本体
304c11…通孔
304c12…溝部
305…空気圧回路
305a…エアー源(流体供給源)
305b…エジェクタ弁(吸着力付与手段)
305c…エジェクタ(吸着力付与手段)
305d…温度制御ユニット
305e…破壊弁(吸着力破壊手段)
305f…制御装置(制御手段)
400…アンローダ部
CR…ICキャリア
EXT…イグジットキャリア
IC…電子部品
HB…半田ボール(端子)[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electronic component testing apparatus for testing an electronic component such as an IC chip at a predetermined temperature, and an electronic component adsorption device used for the electronic component testing apparatus, and particularly to damage of the electronic component by suppressing self-heating of the electronic component during a high temperature test. The present invention relates to an electronic component test apparatus and an electronic component adsorption apparatus that can prevent a problem and perform a test at an accurate temperature.
[0002]
[Prior art]
In the manufacturing process of a semiconductor device or the like, a test apparatus for testing an electronic component such as an IC chip finally manufactured is required. As one type of such a test apparatus, an apparatus for testing an IC chip under normal temperature, a temperature condition higher or lower than normal temperature is known. This is because, as a characteristic of the IC chip, it is necessary to ensure that it operates well even at room temperature, high temperature or low temperature.
[0003]
In this type of electronic component testing apparatus, the upper part of the test head is covered with a chamber to form a sealed space, the interior of the chamber is kept at a constant temperature environment such as normal temperature, high temperature or low temperature, and the IC chip is mounted on the test head. Then, the IC chip is pressed against the test head and electrically connected thereto to perform the test. By such a test, the IC chip is well tested and classified into at least a good product and a defective product.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, with the recent increase in the speed and integration of IC chips, the amount of self-heating during operation tends to increase, and this amount of self-heating tends to increase even during testing. For example, some types of IC chips generate self-heating of 30 watts.
[0005]
For this reason, for example, when a high temperature test of about 125 ° C. is performed, the amount of heat due to self-heating is applied to the IC chip in addition to this amount of heat, which may cause the temperature of the IC chip to exceed its allowable limit. Further, even in the normal temperature test and the low temperature test, even if the inside of the chamber is maintained at a constant temperature, the self-heating amount of the IC chip is generated, so that it becomes difficult to perform the test at the target test temperature.
[0006]
The present invention has been made in view of such problems of the prior art, and suppresses self-heating of electronic components during a high-temperature test to prevent damage to the electronic components and perform testing at an accurate temperature. It is an object of the present invention to provide an electronic component adsorption device and an electronic component test device that can perform the above-described process.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
(1) In order to achieve the above object, an electronic component suction apparatus according to a first aspect of the present invention includes an adsorption head that adsorbs an electronic component, an adsorption force application unit that applies an adsorption force to the adsorption head, In an electronic component suction device that includes suction force breaking means for releasing the suction force, and performs suction holding and release of the electronic component,On the suction surface of the suction head, a groove portion through which a fluid for releasing the suction force of the suction head can pass is formed,When the electronic component is held in a fixed position,To cool the electronic componentsA fluid for releasing the suction force of the suction head is sprayed on the electronic component.
[0008]
Claims8The electronic component testing apparatus includes a suction head that sucks an electronic component to be tested, a suction force applying unit that applies a suction force to the suction head, and a suction force destruction unit that releases the suction force of the suction head. In the electronic component testing apparatus for testing by pressing the terminal of the electronic component to be tested against the contact part of the test head,On the suction surface of the suction head, a groove portion through which a fluid for releasing the suction force of the suction head can pass is formed,The electronic device under test pressed against the suction head for at least an arbitrary time during the test of the electronic device under testTo test the electronic components under testOn the other hand, a fluid for releasing the suction force of the suction head is sprayed.
[0009]
When releasing an electronic component sucked by the suction head, it is often the case that the electronic component is not released smoothly by simply stopping the application of the suction force. The smaller and lighter the electronic component, the more pronounced this problem. For this reason, the suction force breaking means is provided, and the electronic component is released smoothly by forcing the suction fluid such as air back against the electronic component sucked and held by the suction head to release the suction force. To be done.
[0010]
In the present invention, by utilizing this suction force breaking means, a fluid for releasing the suction force of the suction head is sprayed on the electronic device under test pressed against the suction head for at least an arbitrary time during the test. The self-heating generated during the test can be dissipated to the surroundings. As a result, it is possible to prevent destruction or damage of electronic components due to overheating, which is a problem particularly in high-temperature tests.
[0011]
In addition to the high-temperature test, since the temperature rise due to self-heating is suppressed by spraying the fluid, the test can be performed at the target accurate temperature, and the reliability of the test result is improved.
[0013]
When the fluid flows in the groove formed on the suction surface, the cooling effect on the electronic component is promoted, and the above-described temperature rise suppression effect due to self-heating becomes more remarkable. Further, since the temperature rise suppression effect is enhanced, it is possible to cool with a small amount of fluid or by spraying a fluid for a short time.
[0014]
(2) In the above invention, the operation command for spraying the fluid is not particularly limited.2and10In the described invention, spraying of the fluid onto the electronic component is performed by sending a command signal from the control means to the suction force breaking means.
[0015]
The suction force applying means and the suction force breaking means are controlled in order to hold the electronic component on the suction head and release it from the suction head. The control means for controlling this control is shared or other control means is provided. For example, the fluid can be sprayed.
[0016]
(3In the above invention, the temperature of the fluid sprayed on the electronic component is not particularly limited.3and10The described invention further includes a temperature control unit that controls the fluid sprayed to the electronic component to a predetermined temperature.
[0017]
By controlling the temperature of the fluid sprayed on the electronic component to a predetermined temperature, the above-described cooling effect is more efficiently exhibited.
[0018]
(4) In the above invention, the specific configuration of the adsorption force applying means is not particularly limited.4and10In the described invention, the suction force applying means includes a fluid supply source, an ejector connected to the suction head, and an ejector valve provided in a fluid path including the fluid supply source, the ejector, and the suction head. It is characterized by including these.
[0019]
That is, by supplying a fluid such as air from the fluid supply source to the ejector, the electronic component can be sucked and held on the suction head. This adsorption force is turned on and off by opening and closing the ejector valve.
[0020]
In the above invention, the specific configuration of the adsorption force breaking means is not particularly limited.5and10In the described invention, the adsorption force destruction means includes a fluid supply source and a destruction valve connected to the fluid supply source and the adsorption head.
[0021]
That is, by supplying a fluid such as air from the fluid supply source to the suction head, the fluid flows through the suction head in a direction opposite to the suction force, so that even a small and lightweight electronic component can be reliably and accurately released. be able to. This release ON / OFF is performed by opening and closing the destruction valve.
[0022]
(5) These claims4,5and10Although not particularly limited in the described invention, the claims6and10In the described invention, the fluid supply source of the adsorption force applying means and the fluid supply source of the adsorption force breaking means are the same fluid supply source. By doing so, the fluid supply circuit is simplified and the cost can be reduced.
[0023]
These claims4,5and10Although not particularly limited in the described invention, the claims7and10In the described invention, the fluid that is sprayed onto the electronic component is commonly used as the fluid that is applied to the adsorption force applying means. This also simplifies the fluid supply circuit of the electronic component adsorption device and the electronic component test device, and can reduce the cost.
[0024]
(6The invention is not particularly limited, but the claims9The described invention further includes a chamber for maintaining a constant ambient temperature around the contact portion.
[0025]
When the present invention is applied to an electronic component testing apparatus that applies a predetermined temperature to an electronic component by keeping the atmospheric temperature in the chamber constant, the above-described effect becomes more prominent.
[0026]
(8) In the above invention, the type of fluid is not particularly limited, but air is more preferable in consideration of easy handling and low cost.
[0027]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an electronic component testing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a conceptual diagram showing a method of routing an IC under test in the electronic component testing apparatus, and FIG. 3 is provided in the electronic component testing apparatus. FIG. 12 is a cross-sectional view (corresponding to the line XII-XII in FIG. 3) for explaining the method of routing the IC under test in the test chamber of the electronic component test apparatus. FIG. 13 is a cross-sectional view (corresponding to line XIII-XIII in FIG. 3) for explaining a method of routing the IC under test in the unloader section of the electronic component testing apparatus.
[0028]
2 and 3 are diagrams for understanding the IC handling method and the operation range of the transfer device in the electronic component test apparatus of the present embodiment, and are actually arranged in the vertical direction. There is also a portion in which the members that have been shown are shown in a plane. Therefore, the mechanical (three-dimensional) structure will be described with reference to FIG.
[0029]
The electronic
[0030]
For this reason, as shown in FIGS. 1 and 2, the electronic
[0031]
The
[0032]
The
[0033]
The
[0034]
Since the
[0035]
In the example shown in FIG. 1 and FIG. 2, one stocker LD is assigned to the
[0036]
The above-described customer tray KT is carried from the lower side of the
[0037]
The
[0038]
As shown in FIG. 3, the
[0039]
A
[0040]
On the other hand, the
[0041]
A
[0042]
The
[0043]
Incidentally, in the electronic
[0044]
The
[0045]
Further, the IC under test that has finished the test is not returned to the IC carrier CR, but is loaded onto the exit carrier EXT that moves in and out to the positions CR5 on both sides of the
[0046]
4 is a perspective view of a main part for explaining the IC carrier transport path in the present embodiment, FIG. 5 is a perspective view showing the embodiment of the IC carrier, and FIG. 6 is a sectional view taken along line VI-VI in FIG. 7 is a sectional view taken along the line VII-VII in FIG. 5 (shutter open), and FIG. 8 is a plan view for explaining the test sequence of the IC under test in the
[0047]
First, the IC carrier CR of the present embodiment is circulated and conveyed in the
[0048]
Strictly speaking, the position where the IC under test is received from the
[0049]
The IC carrier CR transported to the position CR2 is transported in a state where it is stacked in the vertical direction by the
[0050]
Further, a horizontal transport device (not shown) transports the
[0051]
Thus, since the IC carrier CR is circulated and conveyed only in the
[0052]
FIG. 5 is a perspective view showing the structure of the IC carrier CR of the present embodiment. Eight
[0053]
Sixteen
[0054]
Incidentally, a
[0055]
As shown in FIG. 5, the IC carrier CR has a
[0056]
The
[0057]
As shown in FIG. 5, the
[0058]
However, the engagement between the
[0059]
The shutter opening / closing mechanism of the present embodiment is configured as follows.
First, in the routing route of the IC carrier CR shown in FIG. 4, the position where the
[0060]
In the present embodiment, as shown in FIGS. 4, 6, and 7, a
[0061]
On the other hand, at the position CR5 near the
[0062]
When the IC carrier CR is transported from the position CR5 to CR6, the
[0063]
Incidentally, the
[0064]
As shown in the figure, the
[0065]
Reference numeral “153” shown in FIG. 7 is an opening through which the
[0066]
In the electronic
[0067]
This residual detection device has a photoelectric sensor provided in the middle of positions CR5 to CR6 shown in FIG. 4, and irradiates detection light in the Z-axis direction along the center line CL of the IC carrier CR shown in FIG. Is received. In order to allow this detection light to pass, through holes 111 are provided in the bottom surface of the
[0068]
In the
[0069]
The IC under test connected to the
[0070]
That is, in the first test, eight ICs to be tested arranged in
[0071]
Incidentally, the result of this test is stored in an address determined by, for example, the identification number assigned to the IC carrier CR and the number of the IC under test assigned inside the IC carrier CR.
[0072]
In the electronic
[0073]
FIG. 9 is a front view showing the embodiment of the suction device (as viewed in the direction of arrow IX in FIG. 3), FIG. 10 is a cross-sectional view of the main part of the suction device and a circuit block, and FIG. It is a bottom view.
[0074]
The
[0075]
The
[0076]
The
As shown in FIGS. 9 and 10, the
[0077]
This state is shown in FIGS. 10 and 11. The suction head main body 304c10 fixed to the movable base 304c3 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and a through hole 304c11 for performing vacuuming is formed therein. The suction pad 304c2 made of an elastic body is fixed in the suction head main body 304c10, and the suction force when evacuated is applied to the tip of the suction pad 304c2.
[0078]
Further, a plurality of (here, four) groove portions 304c12 as shown in FIG. 11 are formed on the suction surface of the suction head main body 304c10, and the IC under test is shown in FIG. In a state of being pressed against the
[0079]
The
[0080]
Further, a break valve 305e is provided in a circuit branched in parallel from the air source 305a, and the tip thereof is also connected to the through hole 304c11 of the
[0081]
Particularly in this embodiment, the compressed air from the destruction valve 305e is used to dissipate the self-heating generated during the test of the IC under test. That is, the control of the opening / closing of the
[0082]
At this time, since the IC under test is fixed by the
[0083]
At this time, although not particularly limited, as shown in FIG. 10, a temperature control unit 305d for controlling the temperature of the compressed air is provided in the circuit of the destruction valve 305e, and the temperature of the air blown to the IC under test is self-heated. It is more preferable to set an appropriate value according to the amount and the test temperature.
[0084]
When the compressed air is blown onto the IC under test, the destruction valve 305e does not need to be normally opened, and the flow rate can be controlled by, for example, an ON / OFF duty ratio.
[0085]
The floating mechanism 304c6 interposed between the pusher base 304c1 and the movable base 304c3 is configured as follows. First, a guide pin 304c5 that engages with a guide bush 302a2, which is one guide means to be described later, is fixed to the movable base 304c3 at the center thereof, and its proximal end is a small-diameter pin fixed to the pusher base 304c1. 304c7 is inserted. As a result, the movable base 304c3 can move with respect to the pusher base 304c1 by the gap between the guide pin 304c5 and the small diameter pin 304c7 in the XY plane.
[0086]
The movable base 304c3 can move upward in the Z-axis direction with respect to the pusher base 304c1, but the movable base 304c3 is provided by a spring 304c8 interposed between the pusher base 304c1 and the movable base 304c3. Is biased away from the pusher base 304c1. Therefore, when no external force is applied, the state shown in FIG. 9 is maintained. However, when the external force is applied in the X direction or the Y direction when the guide pin 304c5 and the guide bush 302a2 are engaged, the movable base 304c3 becomes the pusher base. It moves in the XY plane with respect to 304c1. Further, if the XY plane of the movable base 304c3 is inclined when a fluid pressure cylinder 304c4 described later presses the movable base 304c3 via the pressing block 304c9, the movable base 304c3 is pushed against the elastic force of the spring 304c8. The posture is changed with respect to 304c1.
[0087]
In the
[0088]
The
[0089]
A guide pin 304c5 having a tapered surface at the tip is fixed to the movable base 304c3, and a guide bush 302a2 is fixed to the
[0090]
In addition, when the type of IC under test is changed and the type of the
[0091]
As shown in FIG. 12, in the
[0092]
As described above, each of the suction heads 304c can suck and hold eight ICs to be tested at a time, and the interval is set equal to the interval of the
[0093]
The
[0094]
Although the specific structure of the exit carrier EXT is not particularly limited, it can be configured by a plate in which a plurality of recesses (eight in this case) capable of accommodating the IC under test are formed as in the IC carrier CR shown in FIG.
[0095]
Two exit carriers EXT are provided on each side of the
[0096]
Returning to FIG. 3, in the electronic
[0097]
The
[0098]
Two
[0099]
The pair of lift tables 405 perform a substantially symmetric operation in which one of them is stationary at the raised position while the other is stationary at the lowered position.
[0100]
The
[0101]
Incidentally, as shown in FIG. 13, the
[0102]
Further, the
[0103]
For this reason, the
[0104]
As shown in FIGS. 1, 3 and 13, the
[0105]
In the
[0106]
On the other hand, as shown in FIGS. 1, 3 and 13, the
[0107]
The
[0108]
In order to prevent the suction heads 406d and 407d of the two
[0109]
Incidentally, although not shown in the figure, an elevating table for elevating and lowering the customer tray KT is provided on the lower side of the
[0110]
One
[0111]
Then, the category and position of the IC under test stored in the
[0112]
Next, the operation will be described.
The stocker LD of the
[0113]
Next, using the
[0114]
When 16 ICs to be tested are placed at the respective positions CR1, the IC carrier CR is transported in the
[0115]
When the IC carrier CR on which the pre-test IC is mounted is transported to the positions CR5 on both sides of the
[0116]
At this time, the exit carrier EXT (indicated by a two-dot chain line) does not exist on the upper side of the left IC carrier CR5 and has moved to the position EXT2 outside the
[0117]
As shown in FIG. 9, the
[0118]
Before and after the solder ball terminal HB of the IC under test contacts the contact pin 302a1 of the
[0119]
Further, when the IC under test is pressed against the
[0120]
Then, the destruction valve 305e is opened while the
[0121]
When the test of the eight ICs to be tested attracted to the
[0122]
On the other hand, the eight tested ICs sucked by the
[0123]
Thus, when the exit carrier EXT moves out of the
[0124]
At the same time, the left exit carrier EXT moves into the
[0125]
Thus, when the test of the IC under test sucked by the
[0126]
On the other hand, the eight tested ICs sucked by the
[0127]
Hereinafter, this operation is repeated, but the two
[0128]
On the other hand, eight ICs to be tested that have completed the test with the
[0129]
As shown in FIG. 13, the eight tested ICs delivered to the right position EXT2 by the exit carrier EXT are collectively sucked by the
[0130]
The
[0131]
As shown in FIG. 13, the left lifting table 405 on which eight tested ICs are placed by the previous operation of the
[0132]
Thereafter, such an operation is repeated to transfer the tested IC to the customer tray KT of the corresponding category. In the
[0133]
The embodiment described above is described for facilitating the understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
[0134]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, since the self-heating generated during the test is radiated to the surroundings, it is possible to prevent destruction or damage of the electronic component due to overheating, which is a problem particularly in a high-temperature test.
[0135]
In addition to the high-temperature test, since the temperature rise due to self-heating is suppressed by spraying the fluid, the test can be performed at the target accurate temperature, and the reliability of the test result is improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an electronic device test apparatus according to the present invention.
2 is a conceptual diagram showing a method of routing an IC under test in the electronic component testing apparatus of FIG. 1. FIG.
FIG. 3 is a plan view schematically showing various transfer devices provided in the electronic component testing apparatus of FIG. 1;
4 is a perspective view of an essential part for explaining an IC carrier transport path applied to the electronic component testing apparatus of FIG. 1; FIG.
5 is a perspective view showing an embodiment of an IC carrier applied to the electronic component testing apparatus of FIG. 1. FIG.
6 is a cross-sectional view (shutter closed) taken along line VI-VI in FIG.
7 is a cross-sectional view (shutter open) taken along line VII-VII in FIG. 5;
8 is a plan view for explaining a test order of IC under test in a test chamber of the electronic component test apparatus of FIG. 1; FIG.
FIG. 9 is a front view (an IX arrow view of FIG. 3) showing the embodiment of the adsorption device of the present invention.
FIG. 10 is a diagram showing a cross-section of essential parts and a circuit block of an embodiment of the adsorption device of the present invention.
FIG. 11 is a bottom view showing a suction surface of the suction head shown in FIG. 10;
12 is a cross-sectional view (corresponding to line XII-XII in FIG. 3) for explaining a method of routing the IC under test in the test chamber of the electronic component testing apparatus in FIG. 1;
13 is a cross-sectional view (corresponding to line XIII-XIII in FIG. 3) for explaining a method of routing the IC under test in the unloader section of the electronic component testing apparatus in FIG.
[Explanation of symbols]
1 ... Electronic component testing equipment
100: IC storage unit
200: Loader section
300 ... Chamber part
301 ... Test chamber
302 ... Test head
302a ... Contact part
304 ... Third transfer device
304c ... Adsorption head (adsorption device)
304c10 ... Suction head body
304c11 ... through hole
304c12 ... Groove
305 ... Pneumatic circuit
305a ... Air source (fluid supply source)
305b ... Ejector valve (adsorption force applying means)
305c ... Ejector (Adsorption force applying means)
305d ... Temperature control unit
305e ... Release valve (Adsorption force destruction means)
305f ... Control device (control means)
400: Unloader section
CR ... IC carrier
EXT ... Exit carrier
IC ... Electronic components
HB ... Solder ball (terminal)
Claims (10)
前記吸着ヘッドの吸着面には、前記吸着ヘッドの吸着力を解除するための流体が通過可能な溝部が形成されており、
前記電子部品が固定位置に保持されているときに、前記電子部品を冷却するために前記電子部品に対して、前記吸着ヘッドの吸着力を解除するための流体を吹き付けることを特徴とする電子部品吸着装置。A suction head for sucking an electronic component; a suction force applying means for applying a suction force to the suction head; and a suction force breaking means for releasing the suction force of the suction head. In the electronic component adsorption device to perform,
On the suction surface of the suction head, a groove portion through which a fluid for releasing the suction force of the suction head can pass is formed,
When the electronic component is held at a fixed position, a fluid for releasing the suction force of the suction head is sprayed on the electronic component to cool the electronic component. Adsorption device.
前記吸着ヘッドの吸着面には、前記吸着ヘッドの吸着力を解除するための流体が通過可能な溝部が形成されており、
前記被試験電子部品のテスト中の少なくとも任意時間だけ、前記吸着ヘッドに押圧された被試験電子部品を冷却するために前記被試験電子部品に対して、前記吸着ヘッドの吸着力を解除するための流体を吹き付けることを特徴とする電子部品試験装置。A suction head for sucking an electronic component to be tested; a suction force applying means for applying a suction force to the suction head; and a suction force breaking means for releasing the suction force of the suction head; In an electronic component testing device that tests by pressing against the contact part of the test head,
On the suction surface of the suction head, a groove portion through which a fluid for releasing the suction force of the suction head can pass is formed,
For releasing the suction force of the suction head with respect to the electronic device under test to cool the electronic device under test pressed against the suction head for at least an arbitrary time during the test of the electronic device under test . An electronic component testing apparatus characterized by spraying a fluid.
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