JP4060516B2 - 回路シミュレーションのためのパラメータ抽出方法及びパラメータ抽出装置、並びに回路シミュレーションシステム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工程におけるモニタリング技術と回路シミュレーションへのモニタリングデータの活用技術に関するものであって、回路シミュレーションのためのパラメータ抽出方法及びパラメータ抽出装置、並びに回路シミュレーションシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】
設計者が電子回路を含むLSI設計を行うとき、プロセスからデザインルールを提供してもらって初めて実際のシリコンチップで動作するICやLSIが設計できる。デザインルールには電子回路のレイアウトを行うためのレイアウトルールのほかに回路シミュレーションを行うためのSPICEパラメータが含まれる。設計者は設計時に製造ばらつきを考慮して回路動作にマージンを持たせた設計を行うが、製造ばらつきの情報はプロセス側から供給されるSPICEパラメータが持っている。具体的には、例えば製造ばらつきのセンター値をあらわす「ティピカル(Typical)パラメータ」、回路動作が遅い方向にシフトすることが予想される「スロー(Slow)パラメータ」、回路動作が速い方向にシフトすることが予想される「ファースト(Fast)パラメータ」の三種類を1セットとして用意したものがある。設計者はすべてのパラメータで回路シミュレーションを行い動作確認を行う。
【0003】
また、より素子の製造ばらつきを現実的に表そうと、複数のSPICEパラメータを抽出しておいて統計的に処理して抽出する、「ワーストケースモデル」と呼ばれるパラメータセットの生成法も提案されて用いられている(例えば、従来技術文献1「P. Touhy et al.,”Realistic Worst-Case Parameters for Circuit Simulation”,IEE Proceedings,Vol.134,PtI, No.5, Oct. 1987, pp.137-140」参照。)。
【0004】
このパラメータセットの生成法では、上記「Slow−Typ−Fastパラメータ」と同様に、設計者はすべてのパラメータを用いて、回路シミュレーションを行い動作確認をする。ただし、「ワーストケースモデル」は、多数のパラメータセットができるため、回路シミュレーションに時間がかかるという欠点があるため、米国特許第5,790,436号特許明細書では、電子回路を構成する“要素回路”の回路シミュレーションをした後、その結果から「ベストケース(Best-case)」「ワーストケース(Worst-Case)」のパラメータを生成してシミュレーション回数を減らす工夫がなされている。
【0005】
また、数多くのSPICEパラメータを抽出することにも非常に時間を要するので、例えば、従来技術文献2「安田ほか,”多変量解析を用いたWorst Case MOSFET Model Parameter決定方法の開発”,電子情報通信学会技術報告,SDM96−122,pp.27−33,1996年11月」や従来技術文献3「D. Auvergne et al., "A statistical method for the analysis of CMOS process fluctuation on dynamic performance", IEEE 1997 International Conference on Microelectronics Test Structures, Vol.10, March 1997」では、パラメータ抽出が不要なインラインモニター値を活用したパラメータセットの生成方法などが提案されている。
【0006】
なお、本明細書において、インラインとは、製造ライン中であるという意味であり、インラインデータとは、複数のプロセスを含む半導体素子の製造ラインでの(すなわち、製造中に)デバイス特性をモニタリングしたときの得られたデータをいう。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
現在、LSIやULSIにおいて、特にデジタル回路の特性を決定付けているのはトランジスタなどの能動素子と、配線等の寄生素子(受動素子)である。その影響の度合いは、ほとんど同程度、又は場合によっては寄生素子の方が大きくなってきている。また、LSIやULSIに搭載されるアナログ回路や、純粋なリニアICのようなアナログICにおいては、受動素子は重要な機能素子であり、同時に配線が持つ寄生容量や抵抗も機能素子として働いてしまうので回路設計においてはそれらに繊細な注意を払う。これらの寄生素子もトランジスタなどの能動素子と同様に製造ばらつきの影響を受け、回路特性の変動要因となるのである。
【0008】
ところが、製造ばらつきをSPICEパラメータに取り込んできた従来例は、トランジスタなどの能動素子のパラメータを扱ったものばかりであり、寄生素子などを取り扱った例はほとんどなかった。従って、十分、製造ばらつきを考慮した精度の良い回路シミュレーションができなかった。
【0009】
本発明の目的は以上の問題点を解決し、電子回路を構成する素子だけでなく、寄生素子の製造ばらつきを考慮し、回路シミュレーションの精度を向上することができる、回路シミュレーションのためのパラメータ抽出方法及びパラメータ抽出装置、並びに回路シミュレーションシステムを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る請求項1記載の回路シミュレーションのためのパラメータ抽出方法は、製造ラインにおいて電子回路を含むウエハから、上記電子回路の特性データであるインラインデータをモニタリングし、回路シミュレーションのためのパラメータを抽出するパラメータ抽出方法において、
上記ウエハ中に形成されたモニター装置から電圧対電流特性の測定データを測定するステップと、
上記測定データを第1のデータベースメモリに保存するステップと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてアクティブ素子の構造パラメータを抽出するステップと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてアクティブ素子のACパラメータを抽出するステップと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータと、上記抽出された構造パラメータ及びACパラメータとに基づいてアクティブ素子のDCパラメータを抽出するステップと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてパッシブ素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出するステップと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいて寄生素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出するステップと、
上記抽出されたアクティブ素子の構造パラメータ、ACパラメータ及びDCパラメータと、上記抽出されたパッシブ素子の素子パラメータと、上記抽出された寄生素子の素子パラメータとを、第2のデータベースメモリに保存するステップと、
上記第2のデータベースメモリのデータに基づいて保存されたデータを統計的に解析して回路シミュレーションに必要な特定のパラメータのセットを生成するステップとを含むことを特徴とする。
【0011】
また、請求項2記載のパラメータ抽出方法は、請求項1記載のパラメータ抽出方法において、
上記測定データを測定するステップは、上記アクティブ素子の構造パラメータを抽出するための第1のモニター装置と、上記アクティブ素子のACパラメータを抽出するための第2のモニター装置と、上記アクティブ素子のDCパラメータを抽出するための第3のモニター装置と、パッシブ素子と寄生素子の抵抗パラメータを抽出するための第4のモニター装置と、パッシブ素子と寄生素子の容量パラメータを抽出するための第5のモニター装置を、同一のウエハのスクライブラインに形成し、もしくは、同一ウエハのモニター装置専用領域に形成するステップを含むことを特徴とする。
【0012】
さらに、請求項3記載のパラメータ抽出方法は、請求項2記載のパラメータ抽出方法において、
上記第2のモニター装置は、
実質的に50%のデューティを有する三角波又は正弦波のクロック信号に基づいて、(50+Δ)%のデューティを有する第1のクロック信号と、(50−Δ)%のデューティを有する第2のクロック信号とを発生する信号発生回路と、
それぞれ少なくとも2個のトランジスタから構成され、上記第1と第2のクロック信号が対応して入力される第1と第2のインバータ回路と、
上記第1のインバータ回路の各トランジスタのドレインに接続された被容量測定体と、
上記第2のインバータ回路の各トランジスタのドレインに接続された基準容量測定体とを備え、
上記Δは、上記被容量測定体と上記基準容量測定体とを用いて上記アクティブ素子のACパラメータと、パッシブ素子や寄生素子の容量パラメータを抽出できるように設定されたことを特徴とする。
【0013】
また、請求項4記載のパラメータ抽出方法は、請求項1乃至3のうちのいずれか1つに記載のパラメータ抽出方法において、上記パッシブ素子の素子パラメータを抽出するステップと、上記寄生素子の素子パラメータを抽出するステップは、上記パッシブ素子又は上記寄生素子の容量パラメータを抽出するときに、上記第1のデータベースメモリのデータに基づいて当該素子の容量値を計算し、計算された容量値に基づいて、層間膜厚を一定にしてプロセスの変動分を誘電率のパラメータとして設定するパラメータ抽出方法と、当該素子の仕上がり寸法を一定にしてプロセスの変動分を誘電率のパラメータとして設定するパラメータ抽出方法とを用いて、当該素子の容量パラメータを抽出することを特徴とする。
【0014】
さらに、請求項5記載のパラメータ抽出方法は、請求項1乃至4のうちのいずれか1つに記載のパラメータ抽出方法において、
上記回路シミュレーションに必要な特定のパラメータのセットを生成するステップは、ワーストケースモデルのパラメータセットを生成することを特徴とする。
【0015】
本発明に係る請求項6記載の回路シミュレーションのためのパラメータ抽出装置は、製造ラインにおいて電子回路を含むウエハから、上記電子回路の特性データであるインラインデータをモニタリングし、回路シミュレーションのためのパラメータを抽出するパラメータ抽出装置において、
上記ウエハ中に形成されたモニター装置から電圧対電流特性の測定データを測定する手段と、
上記測定データを保存する第1のデータベースメモリと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてアクティブ素子の構造パラメータを抽出する手段と、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてアクティブ素子のACパラメータを抽出する手段と、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータと、上記抽出された構造パラメータ及びACパラメータとに基づいてアクティブ素子のDCパラメータを抽出する手段と、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてパッシブ素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出する手段と、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいて寄生素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出する手段と、
上記抽出されたアクティブ素子の構造パラメータ、ACパラメータ及びDCパラメータと、上記抽出されたパッシブ素子の素子パラメータと、上記抽出された寄生素子の素子パラメータとを保存する第2のデータベースメモリと、
上記第2のデータベースメモリのデータに基づいて保存されたデータを統計的に解析して回路シミュレーションに必要な特定のパラメータのセットを生成する手段とを備えたことを特徴とする。
【0016】
また、請求項7記載のパラメータ抽出装置は、請求項6記載のパラメータ抽出装置において、
上記測定データを測定する手段は、上記アクティブ素子の構造パラメータを抽出するための第1のモニター装置と、上記アクティブ素子のACパラメータを抽出するための第2のモニター装置と、上記アクティブ素子のDCパラメータを抽出するための第3のモニター装置と、パッシブ素子と寄生素子の抵抗パラメータを抽出するための第4のモニター装置と、パッシブ素子と寄生素子の容量パラメータを抽出するための第5のモニター装置を備え、上記第1と第2と第3のモニター装置は、同一のウエハのスクライブラインに形成し、もしくは、同一ウエハのモニター装置専用領域に形成されたことを特徴とする。
【0017】
さらに、請求項8記載のパラメータ抽出装置は、請求項7記載のパラメータ抽出装置において、
上記第2のモニター装置は、
実質的に50%のデューティを有する三角波又は正弦波のクロック信号に基づいて、(50+Δ)%のデューティを有する第1のクロック信号と、(50−Δ)%のデューティを有する第2のクロック信号とを発生する信号発生回路と、
それぞれ少なくとも2個のトランジスタから構成され、上記第1と第2のクロック信号が対応して入力される第1と第2のインバータ回路と、
上記第1のインバータ回路の各トランジスタのドレインに接続された被容量測定体と、
上記第2のインバータ回路の各トランジスタのドレインに接続された基準容量測定体とを備え、
上記Δは、上記被容量測定体と上記基準容量測定体とを用いて上記アクティブ素子のACパラメータと、パッシブ素子や寄生素子の容量パラメータを抽出できるように設定されたことを特徴とする。
【0018】
また、請求項9記載のパラメータ抽出装置は、請求項6乃至8のうちのいずれか1つに記載のパラメータ抽出装置において、
上記パッシブ素子の素子パラメータを抽出する手段と、上記寄生素子の素子パラメータを抽出する手段は、上記パッシブ素子又は上記寄生素子の容量パラメータを抽出するときに、上記第1のデータベースメモリのデータに基づいて当該素子の容量値を計算し、計算された容量値に基づいて、層間膜厚を一定にしてプロセスの変動分を誘電率のパラメータとして設定するパラメータ抽出方法と、当該素子の仕上がり寸法を一定にしてプロセスの変動分を誘電率のパラメータとして設定するパラメータ抽出方法とを用いて、当該素子の容量パラメータを抽出することを特徴とする。
【0019】
本発明に係る回路シミュレーションシステムは、電子回路のレイアウトデータから回路シミュレーションのためのネットリストを抽出するネットリスト抽出装置と、
請求項6乃至9のうちのいずれか1つに記載のパラメータ抽出装置と、
上記ネットリスト抽出装置によって抽出されたネットリストと、上記パラメータ抽出装置によって生成されたパラメータのセットを用いて、回路シミュレーションを行う回路シミュレーション処理装置とを備えたことを特徴とする。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態について説明する。
【0021】
図1は、本発明に係る一実施形態である回路シミュレーションシステムの構成を示すブロック図であり、図2は、図1のパラメータ抽出装置101の構成を示すブロック図である。図1において、この実施形態に係る回路シミュレーションシステムは、ウエハ20上の電子回路のレイアウトデータから回路シミュレーション用のネットリストを抽出するネットリスト抽出装置100と、トランジスタのような回路を構成する素子だけでなく、抵抗や静電容量(以下、容量という。)、また寄生素子の製造ばらつきを考慮したパラメータを抽出するパラメータ抽出装置101と、上記ネットリストとパラメータセットを用いて回路シミュレーションを行う回路シミュレーション処理装置102とを備えて構成される。ここで、特に、図2において、パッシブ素子パラメータ抽出部14と、寄生素子パラメータ抽出部15とを備えたことを特徴としている。
【0022】
図2において、パラメータ抽出装置101は、製造ラインにおいてLSIなどの半導体装置である、電子回路を含むウエハ20から、上記電子回路の特性データであるインラインデータをモニタリングし、回路シミュレーションのためのパラメータを抽出するものである。
【0023】
インライン測定部10は、ウエハ20中に形成された後述するモニター装置から電圧対電流特性の測定データを測定して、上記測定データを第1のデータベースメモリ21に保存する。次いで、構造パラメータ抽出部11は、第1のデータベースメモリ21に保存されたデータに基づいてアクティブ素子の構造パラメータを抽出し、ACパラメータ抽出部12は、第1のデータベースメモリ21に保存されたデータに基づいてアクティブ素子のACパラメータを抽出し、DCパラメータ抽出部13は、第1のデータベースメモリ21に保存されたデータと、上記抽出された構造パラメータ及びACパラメータとに基づいてアクティブ素子のDCパラメータを抽出する。そして、パッシブ素子パラメータ抽出部14は、第1のデータベースメモリ21に保存されたデータに基づいてパッシブ素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出し、寄生素子パラメータ抽出部15は、第1のデータベースメモリ21に保存されたデータに基づいて寄生素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出する。さらに、上記各抽出部11−15により抽出されたアクティブ素子の構造パラメータ、ACパラメータ及びDCパラメータと、パッシブ素子の素子パラメータと、寄生素子の素子パラメータとは第2のデータベースメモリ22に保存される。そして、パラメータセット生成部16は、第2のデータベースメモリ22のデータに基づいて保存されたデータを統計的に解析して回路シミュレーションに必要な特定のパラメータのセットを生成して、第3のデータベースメモリ23に保存する。
【0024】
なお、インライン測定部10と、各抽出部11−15と、パラメータセット生成部16とは、少なくとも、例えばディジタル計算機などの中央演算制御回路(CPU)を含み、各処理を実行する。
【0025】
図3は、図1のパラメータ抽出装置101によって実行されるパラメータ抽出処理を示すフローチャートである。
【0026】
図3において、まず、ステップS1において、ウエハ20中に形成されたモニター装置から電圧対電流特性の測定データを測定し、ステップS2では、上記測定データを第1のデータベースメモリ21に保存する。次いで、ステップS3では、第1のデータベースメモリ21に保存されたデータに基づいてアクティブ素子の構造パラメータを抽出し、ステップS4では、第1のデータベースメモリ21に保存されたデータに基づいてアクティブ素子のACパラメータを抽出し、ステップS5では、第1のデータベースメモリ21に保存されたデータと、上記抽出された構造パラメータ及びACパラメータとに基づいてアクティブ素子のDCパラメータを抽出する。そして、ステップS6では、第1のデータベースメモリ21に保存されたデータに基づいてパッシブ素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出し、ステップS7では、第1のデータベースメモリ21に保存されたデータに基づいて寄生素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出する。さらに、ステップS8では、上記抽出されたアクティブ素子の構造パラメータ、ACパラメータ及びDCパラメータと、上記抽出されたパッシブ素子の素子パラメータと、上記抽出された寄生素子の素子パラメータとを、第2のデータベースメモリ22に保存し、ステップS9では、第2のデータベースメモリ22のデータに基づいて保存されたデータを統計的に解析して回路シミュレーションに必要な特定のパラメータのセットを生成して当該パラメータ抽出処理を終了する。
【0027】
本実施形態においては、特に、ウエハ20の中に形成したモニター装置から電圧対電流特性を測定するインライン測定部10は、構造パラメータを抽出するためのモニター装置、ACパラメータを抽出するためのモニター装置、DCパラメータを抽出するためのモニター装置と、パッシブ素子と寄生素子の抵抗パラメータを抽出するための第4のモニター装置と、パッシブ素子と寄生素子の容量パラメータを抽出するための第5のモニター装置を、同一のウエハ20のスクライブラインか、同一ウエハのモニター装置専用領域に生成したことを特徴としている。ここで、スクライブラインとは、ウエハ20を複数のチップにスクライブするときの境界線となる部分の領域をいう。すなわち、1枚のウエハ20から回路シミュレーションに必要なすべてのパラメータを抽出できるようにすることで、あるウエハ20の電子回路が不良な動作をしたときにそのウエハ20のパラメータを用いたシミュレーションができ解析、検証が容易となる。
【0028】
図4は、図2のウエハ20中に形成されるモニター装置の一例の構成を示す回路図である。図4では、本実施形態に係るACパラメータの抽出方法を示している。従来、上述したような同一のウエハのスクライブラインのような限られた領域でACパラメータ抽出は非常に困難であった。そこで、本発明に係る実施形態においては、チェミング・フー(Chenming Hu)らの公知のCBCM法(例えば、従来技術文献4「Chenming Hu et al.,”An On-Chip、 Attofarad Interconnect Charge-Based Capacitance Measurement (CBCM) Technique”, IEEE Technical Digest of International Electron Devices Meeting, 1996」参照。)の原理を活用して以下に示すようなモニター回路31でウエハのスクライブライン上に配置できる構成とした。
【0029】
図4において、インライン測定部10内のクロック信号発生器30は、実質的に50%のデューティを有する三角波又は正弦波のクロック信号を、モニター回路31内の各FETトランジスタ(以下、トランジスタという。)のゲートに出力する。モニター回路31は、信号発生回路32と、2個のインバータ回路33a,33bと、被容量測定体34と、基準容量測定体35とを備えて、例えば、ウエハ20のスクライブライン上に形成される。信号発生回路31は、4個のトランジスタを備えて構成され、上記クロック信号に応答して、(50+Δ)%のデューティを有する第1のクロック信号と、(50−Δ)%のデューティを有する第2のクロック信号とを発生してインバータ回路33a,33bに出力する。ここで、Δは、被容量測定体34と基準容量測定体35とを用いて、公知のCBCM法を用いて、上記アクティブ素子のACパラメータを抽出できるように設定され、Δは好ましくは2から48の範囲で設定され、より好ましくは、5から15までの範囲であり、さらにより好ましくは10に設定される。なお、図4において、Wはトランジスタのゲート幅であり、Lはそのゲート長である。
【0030】
各インバータ回路33a,33bは、Pチャンネルトランジスタと、Nチャンネルトランジスタとを備えて構成され、上記第1のクロック信号は、2つのインバータ回路33a,33bの各Pチャンネルトランジスタのゲートに入力される一方、上記第2のクロック信号は、2つのインバータ回路33a,33bの各Nチャンネルトランジスタのゲートに入力される。そして、インバータ回路33aの2個のトランジスタの互いに接続されたドレインからインバータ回路33aの出力信号が出力され、被容量測定体34に印加される。また、インバータ回路33bの2個のトランジスタの互いに接続されたドレインからインバータ回路33bの出力信号が出力され、基準容量測定体35に印加される。本実施形態においてはトランジスタのゲート容量を測定する例を示しているので、被容量測定体34及び基準容量測定体35はそれぞれ、トランジスタを用いて形成されたキャパシタである。配線などの寄生容量を測定する場合は被容量測定体34及び基準容量測定体35はそれぞれ、配線となる。
【0031】
この実施形態では、図4のモニター回路31を用いて、かつ公知のCBCM法を用いてVdd1及びVdd2に流れる電流を測定することにより、容量パラメータを測定する。
【0032】
図4において、クロック信号のデューティの50%からずれた第1と第2のクロック信号を生成する信号発生回路32は、図4に示すように、トランジスタのβ比の異なるインバータ回路を2段用いて構成している。この実施形態においては、モニター回路32への入力信号を、三角波又は正弦波のクロック信号としたことで、インラインでの測定機器の制限がなくし、かつ、デューティの50%からずれた第1と第2のクロック信号をβ比の異なるインバータ回路を2段用いて生成することにより、モニター回路31を、ウエハのスクライブラインに配置できる大きさで形成できるようにしたことを特徴としている。
【0033】
図5は、図3のパラメータ抽出処理においてパッシブ素子及び寄生素子の容量パラメータに対して製造ばらつきの情報を付加する方法を説明するためのウエハ20上の配線例を示す断面図である。すなわち、図5では、抵抗や容量などのパッシブ素子の容量パラメータや、配線などの寄生素子の容量パラメータへの製造ばらつきの情報の持たせる方法について図示している。
【0034】
図5において、ウエハ20の接地導体40上に、配線が無い配線無し層41と、配線がある配線有り層42とが順次積層して形成されている。具体的な製造ばらつきとしては、層間絶縁膜である配線無し層41の膜厚Tの変動によるものや、メタル配線51,52のエッチング仕上がり幅Lmのばらつきによる寸法変動によるものや、誘電率変動によるものなどがある。
【0035】
現在一般に使用されているSPICEシミュレータ装置においては、線幅の寸法パラメータはあるが、膜厚Tのように縦方向や誘電率のパラメータは準備されていない。
【0036】
ここで、膜厚Tの配線無し層41におけるメタル配線51と設置導体40との間のキャパシタの容量Caと、配線有り層42における2個のメタル配線51,52間のキャパシタの容量Cbを表すために、次式で表されるようなモデル式を導入した。なお、メタル配線51と52の間の距離(スペース)はSとする。
【数1】
Ca=(εa’)/T’=(Aεa)/T
ここで、
【数2】
εa’:変動した誘電率
T’:変動した膜厚
εa:理想的な誘電率
T:設計層間値
A:バラツキ補正パラメータ
である。また、
【数3】
Cb=(εb’)/S=(Bεb)/S
ここで、
【数4】
εb’:変動した誘電率
S’:変動したスペース
εb:理想的な誘電率
S:設計スペース値
B:バラツキ補正パラメータ
である。
【0037】
本発明に係る実施形態では、第1のデータベースメモリ21のデータから、アクティブ素子や寄生素子の容量値を計算しその容量値から、層間膜厚Tを一定にして層間膜厚などのプロセスの変動分を誘電率εaのパラメータAに持たすパラメータ抽出方法と、素子の仕上がり寸法Lmを一定にして仕上がり寸法などのプロセスの変動分を誘電率εbのパラメータBに持たすパラメータ抽出方法とを用いて容量パラメータを抽出することとした。なお、図5の例では、線幅Lmの変動がスペースSの変動に対応しその結果カップリング容量Cbが変動する例を示している。そのために、本実施形態では、配線無し層41と配線有り層42に分け、配線無し層41の誘電率εaと配線有り層42の誘電率εbという考え方を導入し、測定した容量値Ca及びCbからパラメータA及びBを抽出する。
【0038】
以上のようにして収集された種々のパラメータは第2のデータベースメモリ22に蓄積される。そこで次のステップとして、統計的に解析し回路シミュレーションに必要な特定のパラメータセット、すなわちワーストケースモデルのパラメータセットを生成する。具体的な方法としては、多変量解析の主成分分析が良く知られており、本実施形態においても、主成分分析でワーストケースモデルのパラメータセットを生成した。このパラメータセットには、上述したようにトランジスタのような回路を構成する素子だけでなく、抵抗や容量、また寄生素子のパラメータも含まれているため、このパラメータセットも用いれば当初目的とした高精度の回路シミュレーションが可能となる。
【0039】
この実施形態においては、特に、電子回路のレイアウトデータから回路シミュレーション用のネットリストを抽出するネットリスト抽出装置100では、図5で示した容量をパラメータA及びBを出力できるモデルが導入され、それを用いる回路シミュレータも同様に、容量パラメータA及びBを扱えるモデルが導入されていることが特徴である。また、図1の回路シミュレーションシステムにおいては、ネットリスト抽出装置100は、ウエハ20の電子回路のレイアウトから寄生容量等の情報の入ったネットリストを抽出する一方、パラメータ抽出装置101は、プロセスの変動分を誘電率のパラメータに持たすパラメータ抽出を行い、さらに、回路シミュレーション処理装置102は、プロセスの変動分を誘電率のパラメータに持たしたモデルを有していることを特徴としている。
【0040】
以上説明したように、本実施形態によれば、製造ラインにおいてウエハ20からインラインデータをモニタリングするインラインパラメータを抽出するパラメータ抽出装置101と、レイアウトデータから回路シミュレーション用のネットリストを抽出するネットリスト抽出装置100と、回路シミュレーション処理装置102とを備える。従って、ウエハの電子回路を構成する素子だけでなく、寄生素子も製造ばらつきを反映したパラメータセットの中に記述し、回路シミュレーションで扱えるようにして製造ばらつきを考慮したシミュレーションが可能となったので、製造ばらつきを考慮して回路動作にマージンを持たせる回路設計の精度を大幅に向上させることができる。
【0041】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、製造ラインにおいてウエハからインラインデータをモニタリングするインラインパラメータを抽出するパラメータ抽出装置と、レイアウトデータから回路シミュレーション用のネットリストを抽出するネットリスト抽出装置と、回路シミュレーション処理装置とを備え、ウエハの電子回路を構成する素子だけでなく、寄生素子も製造ばらつきを反映したパラメータセットの中に記述し、回路シミュレーションで扱えるようにして製造ばらつきを考慮したシミュレーションが可能となったので、製造ばらつきを考慮して回路動作にマージンを持たせる回路設計の精度を大幅に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る一実施形態である回路シミュレーションシステムの構成を示すブロック図である。
【図2】 図1のパラメータ抽出装置101の構成を示すブロック図である。
【図3】 図1のパラメータ抽出装置101によって実行されるパラメータ抽出処理を示すフローチャートである。
【図4】 図2のウエハ20中に形成されるモニター装置の一例の構成を示す回路図である。
【図5】 図3のパラメータ抽出処理においてパッシブ素子及び寄生素子の容量パラメータに対して製造ばらつきの情報を付加する方法を説明するためのウエハ20上の配線例を示す断面図である。
【符号の説明】
10…インライン測定部、
11…構造パラメータ抽出部、
12…ACパラメータ抽出部、
13…DCパラメータ抽出部、
14…パッシブ素子パラメータ抽出部、
15…寄生素子パラメータ抽出部、
16…パラメータセット生成部、
20…ウエハ、
21…第1のデータベースメモリ、
22…第2のデータベースメモリ、
23…第3のデータベースメモリ、
30…クロック信号発生器、
31…モニター回路、
32…信号発生回路、
33a,33b…インバータ回路、
34…被容量測定体、
35…基準容量測定体、
40…接地導体、
41…配線無し層、
42…配線有り層、
51,52…メタル配線、
100…ネットリスト抽出装置、
101…パラメータ抽出装置、
102…回路シミュレーション処理装置。
Claims (10)
- 製造ラインにおいて電子回路を含むウエハから、上記電子回路の特性データであるインラインデータをモニタリングし、回路シミュレーションのためのパラメータを抽出するパラメータ抽出方法において、
上記ウエハ中に形成されたモニター装置から電圧対電流特性の測定データを測定するステップと、
上記測定データを第1のデータベースメモリに保存するステップと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてアクティブ素子の構造パラメータを抽出するステップと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてアクティブ素子のACパラメータを抽出するステップと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータと、上記抽出された構造パラメータ及びACパラメータとに基づいてアクティブ素子のDCパラメータを抽出するステップと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてパッシブ素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出するステップと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいて寄生素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出するステップと、
上記抽出されたアクティブ素子の構造パラメータ、ACパラメータ及びDCパラメータと、上記抽出されたパッシブ素子の素子パラメータと、上記抽出された寄生素子の素子パラメータとを、第2のデータベースメモリに保存するステップと、
上記第2のデータベースメモリのデータに基づいて保存されたデータを統計的に解析して回路シミュレーションに必要な特定のパラメータのセットを生成するステップとを含むことを特徴とする回路シミュレーションのためのパラメータ抽出方法。 - 請求項1記載のパラメータ抽出方法において、
上記測定データを測定するステップは、上記アクティブ素子の構造パラメータを抽出するための第1のモニター装置と、上記アクティブ素子のACパラメータを抽出するための第2のモニター装置と、上記アクティブ素子のDCパラメータを抽出するための第3のモニター装置とパッシブ素子と寄生素子の抵抗パラメータを抽出するための第4のモニター装置と、パッシブ素子と寄生素子の容量パラメータを抽出するための第5のモニター装置を、同一のウエハのスクライブラインに形成し、もしくは、同一ウエハのモニター装置専用領域に形成するステップを含むことを特徴とするパラメータ抽出方法。 - 請求項2記載のパラメータ抽出方法において、
上記第2のモニター装置は、
実質的に50%のデューティを有する三角波又は正弦波のクロック信号に基づいて、(50+Δ)%のデューティを有する第1のクロック信号と、(50−Δ)%のデューティを有する第2のクロック信号とを発生する信号発生回路と、
それぞれ少なくとも2個のトランジスタから構成され、上記第1と第2のクロック信号が対応して入力される第1と第2のインバータ回路と、
上記第1のインバータ回路の各トランジスタのドレインに接続された被容量測定体と、
上記第2のインバータ回路の各トランジスタのドレインに接続された基準容量測定体とを備え、
上記Δは、上記被容量測定体と上記基準容量測定体とを用いて上記アクティブ素子のACパラメータと、パッシブ素子や寄生素子の容量パラメータを抽出できるように設定されたことを特徴とするパラメータ抽出方法。 - 請求項1乃至3のうちのいずれか1つに記載のパラメータ抽出方法において、上記パッシブ素子の素子パラメータを抽出するステップと、上記寄生素子の素子パラメータを抽出するステップは、上記パッシブ素子又は上記寄生素子の容量パラメータを抽出するときに、上記第1のデータベースメモリのデータに基づいて当該素子の容量値を計算し、計算された容量値に基づいて、層間膜厚を一定にしてプロセスの変動分を誘電率のパラメータとして設定するパラメータ抽出方法と、当該素子の仕上がり寸法を一定にしてプロセスの変動分を誘電率のパラメータとして設定するパラメータ抽出方法とを用いて、当該素子の容量パラメータを抽出することを特徴とするパラメータ抽出方法。
- 請求項1乃至4のうちのいずれか1つに記載のパラメータ抽出方法において、
上記回路シミュレーションに必要な特定のパラメータのセットを生成するステップは、ワーストケースモデルのパラメータセットを生成することを特徴とするインラインパラメータ抽出方法。 - 製造ラインにおいて電子回路を含むウエハから、上記電子回路の特性データであるインラインデータをモニタリングし、回路シミュレーションのためのパラメータを抽出するパラメータ抽出装置において、
上記ウエハ中に形成されたモニター装置から電圧対電流特性の測定データを測定する手段と、
上記測定データを保存する第1のデータベースメモリと、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてアクティブ素子の構造パラメータを抽出する手段と、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてアクティブ素子のACパラメータを抽出する手段と、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータと、上記抽出された構造パラメータ及びACパラメータとに基づいてアクティブ素子のDCパラメータを抽出する手段と、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいてパッシブ素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出する手段と、
上記第1のデータベースメモリに保存されたデータに基づいて寄生素子の抵抗パラメータ及び容量パラメータを含む素子パラメータを抽出する手段と、
上記抽出されたアクティブ素子の構造パラメータ、ACパラメータ及びDCパラメータと、上記抽出されたパッシブ素子の素子パラメータと、上記抽出された寄生素子の素子パラメータとを保存する第2のデータベースメモリと、
上記第2のデータベースメモリのデータに基づいて保存されたデータを統計的に解析して回路シミュレーションに必要な特定のパラメータのセットを生成する手段とを備えたことを特徴とする回路シミュレーションのためのパラメータ抽出装置。 - 請求項6記載のパラメータ抽出装置において、
上記測定データを測定する手段は、上記アクティブ素子の構造パラメータを抽出するための第1のモニター装置と、上記アクティブ素子のACパラメータを抽出するための第2のモニター装置と、上記アクティブ素子のDCパラメータを抽出するための第3のモニター装置と、パッシブ素子と寄生素子の抵抗パラメータを抽出するための第4のモニター装置と、パッシブ素子と寄生素子の容量パラメータを抽出するための第5のモニター装置を備え、上記第1と第2と第3のモニター装置は、同一のウエハのスクライブラインに形成し、もしくは、同一ウエハのモニター装置専用領域に形成されたことを特徴とするパラメータ抽出装置。 - 請求項7記載のパラメータ抽出装置において、
上記第2のモニター装置は、
実質的に50%のデューティを有する三角波又は正弦波のクロック信号に基づいて、(50+Δ)%のデューティを有する第1のクロック信号と、(50−Δ)%のデューティを有する第2のクロック信号とを発生する信号発生回路と、
それぞれ少なくとも2個のトランジスタから構成され、上記第1と第2のクロック信号が対応して入力される第1と第2のインバータ回路と、
上記第1のインバータ回路の各トランジスタのドレインに接続された被容量測定体と、
上記第2のインバータ回路の各トランジスタのドレインに接続された基準容量測定体とを備え、
上記Δは、上記被容量測定体と上記基準容量測定体とを用いて上記アクティブ素子のACパラメータと、パッシブ素子や寄生素子の容量パラメータを抽出できるように設定されたことを特徴とするパラメータ抽出装置。 - 請求項6乃至8のうちのいずれか1つに記載のパラメータ抽出装置において、
上記パッシブ素子の素子パラメータを抽出する手段と、上記寄生素子の素子パラメータを抽出する手段は、上記パッシブ素子又は上記寄生素子の容量パラメータを抽出するときに、上記第1のデータベースメモリのデータに基づいて当該素子の容量値を計算し、計算された容量値に基づいて、層間膜厚を一定にしてプロセスの変動分を誘電率のパラメータとして設定するパラメータ抽出方法と、当該素子の仕上がり寸法を一定にしてプロセスの変動分を誘電率のパラメータとして設定するパラメータ抽出方法とを用いて、当該素子の容量パラメータを抽出することを特徴とするパラメータ抽出装置。 - 電子回路のレイアウトデータから回路シミュレーションのためのネットリストを抽出するネットリスト抽出装置と、
請求項6乃至9のうちのいずれか1つに記載のパラメータ抽出装置と、
上記ネットリスト抽出装置によって抽出されたネットリストと、上記パラメータ抽出装置によって生成されたパラメータのセットを用いて、回路シミュレーションを行う回路シミュレーション処理装置とを備えたことを特徴とする回路シミュレーションシステム。
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