JP4032006B2 - Film carrier tape for mounting electronic components - Google Patents

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【0001】
【発明の技術分野】
本発明は、ピンホール等の欠陥の少ない電子部品実装用フィルムキャリアテープ(TAB(Tape Automated Bonding)テープ)に関する。更に詳しくは本発明は、ピンホール等の欠陥の少ない電子部品実装用フィルムキャリアテープおよび絶縁フィルム上に所望の形状に形成された配線パターンをデバイスのパンプなどと接合するリード部を残してソルダーレジストを塗布する工程を含む電子部品実装用フィルムキャリアテープ(TABテープ)を製造する際に、塗布されたソルダーレジストにピンホールが生じにくい電子部品実装用フィルムキャリアテープ(TABテープ)に関する。
【0002】
【発明の技術的背景】
電子部品実装用フィルムキャリアテープ(TABテープ)は、ポリイミドフィルムのような絶縁フィルムに銅箔を貼着し、この銅箔の上にフォトレジストを塗布してこのフォトレジストを所望の形状に露光し不要部分を除去してマスキングした後、酸でエッチングして銅箔を所望のパターンにエッチングし、マスキング剤を除去し、さらに、形成されたリード部を除いてソルダーレジストを塗布した後、リード部にスズ等のようなデバイスのバンプと例えば共晶物を形成してデバイスをボンディング可能な金属メッキをすることにより製造されている。
【0003】
このようなTABテープの製造においてソルダーレジストは、絶縁性の樹脂を塗工可能なように有機溶媒に溶解若しくは分散させた塗工液として用いられており、配線パターンが形成された表面にスクリーン印刷技術を利用して塗布されている。
【0004】
このようにソルダーレジストを塗布することにより、形成された配線パターンを保護すると共に隣接する配線パターン同士を確実に絶縁し、さらに、次の工程であるメッキ工程におけるマスキング剤ともなる。
【0005】
このソルダーレジスト層は、エポキシ系樹脂あるいはポリイミド系樹脂などが溶媒に溶解若しくは分散した液を、通常は10μm程度の厚さに塗布し、120〜160℃程度の温度に加熱することにより、これらの樹脂を硬化させることにより形成されている。
【0006】
しかしながら、このようなソルダーレジスト塗布液中には、微細な気泡が含有されており、ソルダーレジスト塗布液を塗布後に加熱硬化させる際に、この微細な気泡がソルダーレジスト層にボイドあるいはピンホールを形成する。リードピッチが広い従来のTABテープでは、こうした多少のボイドあるいはピンホールは問題になることが少なかったが、近時注目されているピッチ幅が100μmに満たないようなファインピッチのTABテープでは、こうした僅かなボイドあるいはピンホールの発生によっても、例えば配線パターン間に生ずることもあるマイグレーションなどによって電子機器の信頼性が低下するという問題がある。
【0007】
こうしたボイドあるいはピンホールの発生を防止するために、例えば特開平8−124968号公報には、「配線間の保護並びに絶縁のための被覆層を有するTCP用TABテープの製造方法において、真空中のベーク処理で乾燥並びに反応凝固させて前記被覆層を形成することを特徴とするTCP用TABテープの製造方法。」が開示されている。
【0008】
しかしながら、この公報に開示されている方法では、ベーク処理を真空で行うことにより、ソルダーレジスト層に含有される気泡をソルダーレジストが硬化する前に除去しようとするものであり、従ってソルダーレジスト塗布液中には、従来と同様に微細な気泡が含有されている。減圧条件でソルダーレジストを硬化させることにより、ソルダーレジスト層中に含有される気泡は除去し易くなるが、ソルダーレジスト塗布液自体が気泡を含有している以上、含有される気泡を完全に除去することは不可能に近く、従って、この方法においてもボイドあるいはピンホールの生成を完全に防止することはできない。
【0009】
ところで、ソルダーレジスト塗布液を調製する際には、ソルダーレジスト塗布液に巻き込まれた空気によって微細な泡(気泡)が含有されないように、ソルダーレジスト塗布液中に少量のシリコーン系消泡剤を配合するのが一般的である。こうしたシリコーン系消泡剤は、優れた消泡作用を有しており、このようなシリコーン系消泡剤を配合することにより、ソルダーレジスト塗布液中に含まれる気泡量を非常に少なくすることができ、ボイドあるいはピンホールの生成を防止する手段としてシリコーン系消泡剤の使用は極めて有効性が高い。
【0010】
ところで、TABテープにデバイスを実装後、このTABテープはデバイスを含めた領域を樹脂で封止して使用される。ところが、シリコーン系消泡剤は、他の樹脂との相溶性が低く、しかも耐熱性が高いことから、ソルダーレジストを加熱硬化する際にソルダーレジスト表面に滲み出し、この滲み出したシリコーン系消泡剤によって封止樹脂がはじかれることがあり、ボンディングされたデバイスを完全に封止できないことがある。
【0011】
また、ソルダーレジストを硬化させる際に滲み出したシリコーン系消泡剤はインナーリード表面などに付着することがあり、このように付着したシリコーン系消泡剤を除去することは極めて困難である。そして、このようにしてインナーリードにシリコーン系消泡剤が付着すると、インナーリードとデバイスのバンプとの間で接続不良が生じやすいという問題もある。
【0012】
【発明の目的】
本発明は、ピンホール等の欠陥の極めて少ないソルダーレジスト層が形成されたTABテープを提供することを目的としている。また、本発明は、インナーリードにデバイスが実装された後、この実装されたデバイスを含む領域を樹脂で封止する際にこの封止樹脂がはじかれることがないTABテープを提供することを目的としている。
【0013】
さらに本発明は、インナーリードとデバイスのバンプとの接続性が良好なTABテープを提供することを目的としている。
【0014】
【発明の概要】
本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープは、絶縁フィルム表面に所望の配線パターンが形成され、該配線パターンのリード部を除く部分に、ウレタン樹脂またはウレタン樹脂のエラストマー変性物を含む脱泡処理ソルダーレジスト塗布液の120〜165メッシュ範囲のスクリーンマスク塗布を用いた塗布により形成されたソルダーレジスト塗布層を常圧で40〜170℃の範囲内で段階的に昇温して形成された硬化体からなる厚さ25〜40μmのソルダーレジスト層が形成されてなり、該ソルダーレジスト層には、ピンホールあるいはボイドが形成されておらず、かつフィルムキャリアテープにはシリコーン消泡剤が付着していないインナーリードを有し、そして、該シリコーン消泡剤が付着していないインナーリードには、一部に銅が拡散した0.1〜0.6μmの厚さのスズメッキ層が形成されていることを特徴としている。
【0015】
本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープは、絶縁フィルム表面に銅箔を接着し、該銅箔をエッチングして所望の配線パターンを形成した後、該エッチングにより形成されたリード部を除く配線パターンを覆うようにソルダーレジストを塗布する工程を有する電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法において、該ソルダーレジスト塗布液を、平均塗布厚さ25〜40μmの範囲内であって、かつ塗布されたソルダーレジスト層が実質的にピンホールを有しないように塗布するにより製造することができる。
【0016】
本発明で使用されるソルダーレジスト塗布液は、有機溶媒中に溶解若しくは分散された硬化性樹脂を含有し、かつ該ソルダーレジスト塗布液がシロキサン骨格を有する成分を含有していない。即ち、本発明で使用されるソルダーレジスト塗布液には、シリコーン系消泡剤を実質的に含有していない。
【0017】
ソルダーレジスト塗布液の調製中等に塗布液が発泡すると、発生した泡が塗布液中に内包され、この内包される気泡によってソルダーレジスト層にボイドあるいはピンホール等が形成されることから、一般にはこうした発泡を防止するために、ソルダーレジスト塗布液には、消泡剤が含有されている。そして、この消泡剤として最も効果が高いのは、シリコーン系消泡剤である。ところが、ソルダーレジスト塗布液にシリコーン系消泡剤を配合すると、ソルダーレジストが加熱硬化する際にシリコーン系消泡剤が表面ににじみ出しやすく、デバイスをボンディングした後、このデバイス付近を樹脂で封止しようとしてもにじみ出たシリコーン系消泡剤によって樹脂がはじかれてしまうという問題を生ずる。この樹脂のはじきは、特にベースフィルム上で顕著に表される。また、滲み出した(ブリードした)シリコーン系消泡剤がインナーリードの表面などに付着すると、デバイスのボンディング不良が発生することが判った。
【0018】
シリコーン系消泡剤を配合しなければ上記のような問題は生じないが、ソルダーレジスト塗布液を調製する際に塗布液に微細な気泡が含有されやすく、形成されたソルダーレジスト層に微細な気泡が除かれることによりボイドあるいはピンホールが形成される。
【0019】
本発明者は、上記のような種々の問題を有するが、その消泡効果が高いことから依然として使用され続けているシリコーン系消泡剤を用いることなく、ボイドあるいはピンホール等が発生しにくいTABテープ法について検討した結果、第1にソルダーレジスト層の厚さを一定の範囲内にすることによりボイドあるいはピンホールの発生を防止できるとの知見を得た。さらに、こうしたソルダーレジスト層の厚さの他に、ソルダーレジスト塗布液の攪拌方法、ソルダーレジストの塗布方法および塗布装置等を改善することにより、従来必ず使用しなければならないと考えられていたシリコーン系消泡剤を使用せずにボイドあるいはピンホールの発生を防止することができるのである。
【0020】
【発明の具体的説明】
次に、本発明のTABテープ、および、このTABテープを製造する方法について具体的に説明する。
【0021】
図1、 図2に示すように、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープ1には、絶縁フィルム10と、この表面に、例えば接着剤層12により貼着された電解銅箔からなる配線パターン30がこの順序で積層されている。この電解銅箔は、上面にフォトレジストを塗布し所望のパターンを露光し、現像した後、酸等を用いることによりエッチングして所望の配線パターン30が形成される。そして、この配線パターン30のインナーリード或いはアウターリードの部分を除いて、その表面を保護するようにソルダーレジスト20が塗布されている。
【0022】
本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープを構成する絶縁フィルム10は、可撓性樹脂フィルムからなる。また、この絶縁フィルム10は、エッチングする際に酸などと接触することからこうした薬品に侵されない耐薬品性、および、ボンディングする際の加熱によっても変質しないような耐熱性を有している。このような可撓性樹脂フィルムを素材の例としては、ガラスエポキシ、BTレジン、ポリエステル、ポリアミドおよびポリイミドなどを挙げることができる。特に本発明ではポリイミドからなるフィルムを用いることが好ましい。
【0023】
絶縁フィルム10を構成するポリイミドフィルムの例としては、ピロメリット酸2無水物と芳香族ジアミンとから合成される全芳香族ポリイミド、ビフェニルテトラカルボン酸2無水物と芳香族ジアミンとから合成されるビフェニル骨格を有する全芳香族ポリイミドを挙げることができる。特に本発明ではビフェニル骨格を有する全芳香族ポリイミド(例;商品名:ユーピレックス、宇部興産(株)製)が好ましく使用される。このような絶縁フィルム10の厚さは、通常は25〜125μm、好ましくは50〜75μmの範囲内にある。
【0024】
このような絶縁フィルム10には、デバイスホール41、スプロケットホール42、アウターリードの切断穴、さらに屈曲部を有する場合には、屈曲位置にフレックススリット等がパンチングにより形成されている。
【0025】
配線パターン30は、上記のような所定の穴41、42・・・が形成された絶縁フィルム10の少なくとも一方の面に、絶縁性の接着剤を塗布して接着剤層12を形成し、この接着剤層12のより銅箔を接着し、この銅箔をエッチングすることにより形成される。ここで銅箔としては、電解銅箔および圧延銅箔のいずれをも使用することができるが、本発明では、昨今のファインピッチ化に対応可能な電解銅箔を使用することが好ましい。
【0026】
ここで使用される接着剤には、耐熱性、耐薬品性、接着力、可撓性等の特性が必要になる。このような特性を有する接着剤の例としては、エポキシ系接着剤およびフェノール系接着剤を挙げることができる。このような接着剤は、ウレタン樹脂、メラミン樹脂、ポリビニルアセタール樹脂などで変性されていてもよく、またエポキシ樹脂自体がゴム変性されていてもよい。このような接着剤は通常は加熱硬化性である。このような接着剤層の厚さは、通常は8〜23μm、好ましくは10〜21μmの範囲内にある。なお、上記のような絶縁フィルム10に銅箔を貼着する際には、接着剤を用いることなく貼着することもできる。
【0027】
このような接着剤からなる接着剤層12は、絶縁フィルム10の表面に塗布して設けても良いし、また電解銅箔の表面に塗布して設けても良い。ここで使用される電解銅箔としてはTABテープの製造に通常使用されている厚さの銅箔を使用することができるが、ファインピッチのTABテープを製造するためには、銅箔として通常は6〜75μmの範囲内、好ましくは9〜75μm、さらに好ましくは9〜50μmの範囲内にある銅箔を使用する。このような薄い電解銅箔を使用することにより、狭ピッチ幅のインナーリードを容易に形成することが可能になる。
【0028】
このように絶縁フィルムの表面に銅箔を貼着した後、この銅箔の表面にフォトレジストを塗布し、このフォトレジストに所望の配線パターンを焼き付けてフォトレジストを硬化させ、硬化していない部分のフォトレジストを除去する。また逆に、露光することにより、特定媒体に溶解可能となるフォトレジストを使用することもできる。
【0029】
こうして硬化したフォトレジストによって所望の配線パターンが形成された銅箔をエッチングして、フォトレジストの存在しない部分の銅箔を溶解除去して絶縁フィルムの表面に銅箔からなる配線パターン30を形成する。
【0030】
こうしてエッチングにより配線パターン30を形成した後、硬化したフォトレジストを、例えばアルカリ溶液などで除去する。
【0031】
本発明では、このように所定の配線パターンを形成した後、次の工程でメッキするインナーリード51及びアウターリード52の先端部を除いてソルダーレジスト塗布液を塗布する。
【0032】
本発明で使用されるソルダーレジスト塗布液には、硬化性樹脂が有機溶媒に溶解若しくは分散しており、このソルダーレジスト塗布液には、シリコーン系消泡剤は含有されていないことが好ましい。
【0033】
本発明で使用されるソルダーレジスト塗布液中に含有される硬化性樹脂は、ウレタン樹脂、ウレタン樹脂のエラストマー変性物を含有するものであることが好ましい。特にエラストマー変性物を使用することが好ましい。このエラストマー変性には、ウレタン樹脂にエラストマー成分を混合して変性する方法と、ウレタン樹脂を形成するモノマーと、エラストマーを形成するモノマーとを共重合させる方法があるが、本発明ではいずれのエラストマー変性物を使用することができるが、特にエラストマーを形成するモノマーを共重合させて、主成分である樹脂に弾性を付与する方法によって形成されたエラストマー変性物を使用することが特に好ましい。
【0034】
例えば、本発明においてソルダーレジスト塗布液を形成するための樹脂としてウレタン樹脂を例にして説明すると、本発明では、ソルダーレジストを形成するウレタン樹脂としては、(a)数平均分子量が1000〜8000の範囲内にあり、かつ1分子当たり2〜10個の水酸基を有するポリブタジエンポリオール、(b)数平均分子量が13000〜30000であって、かつ1分子当たり2〜10個の水酸基を有するポリエステルポリオール、(c)数平均分子量が1000〜8000であって、かつ1分子当たり2〜10個の水酸基を有するポリブタジエンポリブロックイソシアネートを必須成分として、ポリオールの重量比が固形分において(a):(b)=40:60〜90:10であり、ポリブロックイソシアネート(c)の量がポリオールの総水酸基当量に対し、0.8〜3.5当量の量で含有されるウレタン樹脂が好ましく使用される。
【0035】
上記(a)成分により、耐熱性、耐薬品性等、剛直性樹脂に見られる特性と、可撓性、低収縮性等、軟質性樹脂に見られる特性の両者を樹脂に付与することができる。
【0036】
分子量が上記規定する範囲より小さい場合、あるいは、1分子当たりの水酸基の数が上記範囲よりも大きくなる場合は、硬化時の架橋密度が高くなるために、より固い硬化物となり、ソルダーレジストに柔軟性及び硬化後の低収縮性などの特性を充分には付与できないことがある。また、分子量が上記規定する範囲よりも大きい場合、1分子当たりの水酸基の数が上記の範囲よりも小さい場合は、硬化時の架橋密度が低くなり、硬化物は柔軟性を有するものの、硬化体の耐熱性、耐薬品性が低下しやすい。
【0037】
上記(b)成分は、柔軟性向上、硬化後の低収縮性等、柔軟性硬化物に見られる特性を付与させると共に、樹脂骨格に含まれる極性の高いエステル結合によって下地との密着性を向上させるものである。
【0038】
上記(c)成分は、耐熱性、耐薬品性等剛直性樹脂に見られる特性と、可撓性、低収縮性等、柔軟性樹脂に見られる特性の両者を樹脂に付与するものである。分子量が上記規定する範囲よりも小さい場合、1分子当たりの水酸基の数が上記規定する範囲よりも大きい場合は、硬化後の架橋密度が高くなり、より固い硬化物となり、硬化塗膜柔軟性および硬化時の低収縮性が充分に確保されないことがある。また、分子量がこの範囲よりも小さい場合は、硬化時の架橋密度が低くなるため、より柔軟な硬化物となる反面、硬化塗膜の耐熱性及び薬品性が低下することがある。また、この成分(a)がポリブタジエン骨格であることにより、ソルダーレジストの柔軟性及び硬化時の低収縮性をより向上させることができる。
【0039】
ポリブタジエンポリオール(a)を単独で用いて、これをポリブタジエンポリイソシアネート(b)で硬化させると、耐熱性、耐薬品性、柔軟性、硬化時の低収縮性等の特性については比較的バランスがとりやすいが、これらの特性の中で、柔軟性、硬化時の低収縮性、下地との密着性に関してはさらに改善の余地がある。こうした特性を改善するために、ポリエステルポリオールを組み合わせて使用することが必要になる。すなわち(a):(b)=40:60〜90:10の範囲内で混合して用いることが好ましく、ポリオール(a)がこの範囲よりも少ないと、架橋密度が下がりすぎるため、塗膜の耐熱性、耐薬品性等の特性が低下しやすい。また、ポリブタジエンポリブロックイソシアネート(c)の量は、ポリオールの総水酸基当量に対し、0.8〜3.5当量となることが好ましく、これよりも多い場合も少ない場合も共に架橋密度が低くなるため、塗膜の耐熱性、耐薬品性が充分に改善されないことがある。
【0041】
また、本発明において、ソルダーレジスト塗布液中には、上記のような樹脂成分の他に、硬化促進剤、充填剤、添加剤、チキソ剤、溶剤等、通常ソルダーレジスト塗布液に添加される物質を添加することができる。さらに、ソルダーレジスト層の可撓性等の特性を向上させるために、ゴム微粒子のような弾性を有する微粒子などを配合することも可能である。
【0042】
このようなソルダーレジスト塗布液を塗工可能なように通常の攪拌装置を用いて攪拌すると、微細な気泡が塗布液中に混入し、このように一旦混入した微細な気泡は通常の方法で除去することは非常に難しい。従って、従来から樹脂成分に対して1〜3重量%程度のシリコーン系消泡剤を配合して、微細な気泡が発生するのを防止してボイドあるいはピンホールの発生を防止していた。しかしながら、このようにシリコーン系消泡剤を用いたとしても、例えば一般的な攪拌装置であるプロペラ型の攪拌装置を使用した場合には、微細な気泡の混入を完全に防止することはできない。
【0043】
本発明において、ソルダーレジスト塗布液を混合する際には、図3に示すような、容器61が自転し、この容器61が公転する攪拌装置を使用することが好ましい。このような攪拌装置を用いることにより、ソルダーレジスト塗布液を良好に混合することができると共に、ソルダーレジスト塗布液に混入している微細な気泡を除去することができる。このときの公転速度は1000〜4000rpm、自転速度は300〜1200rpmの範囲内にあることが好ましい。このような装置を用いた脱気泡処理に要する時間は、通常は5秒〜15分、好ましくは1〜10分である。このような条件で処理することにより、ソルダーレジスト塗布液に大きな遠心力が連続的にかかり、ソルダーレジスト塗布液中に含有される微細な気泡の殆どが除去される。
【0044】
さらに、本発明では、上記のような脱気泡処理を施した塗布液をスクリーン印刷技術を利用して塗布する。従来、このスクリーン印刷技術を利用したソルダーレジスト塗布液の塗布には、180メッシュ程度の比較的目開きの小さいスクリーンマスクが使用されているが、本発明では、こうした従来から一般に使用されているスクリーンマスクよりも目開きの大きいスクリーンマスクを使用する。
【0045】
特に本発明では、120〜165メッシュの範囲内のスクリーンマスクを使用する。このようなスクリーンマスクを用いることにより、ソルダーレジストの塗布厚さを25〜40μmの範囲内とすることができ、このようにソルダーレジストの厚さを上記のように厚くすることにより、ピンホールの形成を防止することができる。殊にこのようにソルダーレジストを厚くする本発明のTABテープにおいては、ソルダーレジストが弾性を有していることが好ましい。そして、本発明ではソルダーレジストの樹脂成分としてエラストマー変性物を使用すればソルダーレジストを厚く塗工してもソルダーレジストにクラック等が発生することを有効に防止することができる。
【0046】
こうしたソルダーレジスト塗布液は、スキージエッジを用いて塗布する。通常このスキージエッジとしては、底部が平坦な板状のスキージエッジが使用される。従って、このスキージエッジは、スクリーンマスクに対してほぼ直角に接触しながらソルダーレジストを塗布する。しかしながら、このように底部が平坦な板状のスキージエッジでは、スクリーンマスク上のソルダーレジストのためが少なくなりやすく、ソルダーレジストの塗布厚さを充分に確保することが困難になる。
【0047】
本発明では、図4に示すように、このスキージエッジ70をスキージエッジ厚さの少なくとも1/10、好ましくは1/9〜1/2に亘って、スクリーンマスク72に対して通常は45度以下の角度、好ましくは30〜45度の角度で接触するように幅方向に切欠71を形成して使用する。このように切欠71を形成することにより、この切欠71部分にソルダーレジスト塗布液がより多く保持され、ソルダーレジストの厚塗りが可能になる。
【0048】
さらに、本発明では、このような切欠71を有するスキージエッジ70を用いて、ソルダーレジスト塗布液を塗布するに際して、スクリーンマスク72上を通常は50〜200mm/秒の範囲内の速度、好ましくは80〜150mm/秒の範囲内の速度で移動させてソルダーレジスト塗布液を塗布する。このように従来よりもゆっくりスキージエッジ70を移動させてソルダーレジスト塗布液を塗布することにより、気泡が巻き込まれにくくなり、また、スキージエッジ70に切欠71を形成することにより、気泡含有量の少ないソルダーレジスト塗布液を多量にスクリーンマスクのソルダーレジスト塗布部分に供給することができるので、シリコーン系消泡剤を用いなくとも、絶縁フィルム上に形成された配線パターンを覆うように気泡含有量の少ないソルダーレジスト層を所定の厚さで形成することができる。そして、このようにして形成されたソルダーレジスト層には、気泡が実質的に含有されていないので、ピンホールあるいはボイド等が形成されることはない。
【0049】
さらに、本発明では、上記のようにしてソルダーレジスト塗布液を塗布した後、より穏和な条件でこのソルダーレジスト層中に含有される樹脂を硬化させることにより、仮に少量の気泡が含有される場合であっても、これらの気泡が消失した後、ソルダーレジストの有するセルフレベリング性によって消泡した部分に樹脂が流れ込み、ボイドあるいはピンホールの発生を防止できる。すなわち、本発明では、ソルダーレジスト塗布液を塗布した後、40℃〜170℃の範囲内で段階的に昇温してソルダーレジスト層中に含有される溶剤を除去すると共に、樹脂を硬化させる。このときの段階的昇温の例としては、第1硬化段階における硬化温度を90℃以下に設定して硬化対象物をこの第1硬化段階で5〜120分間保持した後、徐々に温度を挙げて90℃よりも高い第2硬化段階に移行させる。この第2硬化段階では90℃よりも高い温度、好ましくは95〜180℃程度の温度で10〜300分間硬化対象物を保持する。上記例は、2段階で硬化させる例であるが、同様にして3段階以上の多段階であってもよい。なお、このように多段階に温度設定をして硬化させる場合、ある硬化段階から次の硬化段階に加熱する際には、できるだけ穏和な条件で昇温することが好ましく、たとえば、上記の例で示したように、第1硬化段階から第2硬化段階への昇温速度は、通常は、0.01℃/1分間〜10℃/1分間、好ましくは0.1℃/1分間〜5℃/1分間の範囲内にするとよい。
【0050】
なお、この加熱には、通常のヒーターの他、熱風、(遠)赤外線ヒーター等を使用することができる
【0051】
こうしてソルダーレジスト層を形成した後、この配線パターンおよびソルダーレジスト層の形成された絶縁フィルムをメッキ槽に移動して、配線パターンの表面にスズメッキ層を形成するスズメッキ層は、無電解スズメッキあるいは電気スズメッキ等の方法によって形成される。こうして形成された当初のスズメッキ層は、通常は実質的にスズから形成されているが、このスズメッキ層の特性を損なわない範囲内で他の金属が含有されていても良い。
【0052】
スズメッキ層の厚さは、0.1〜0.6μmの範囲内にあることが好ましい。このような厚さでスズメッキ層を形成することにより、インナーリードとデバイスのバンプをボンディングする際、バンプを形成する金等の金属とスズとが適量の共晶物を形成するので、インナーリードとバンプとを良好に接合することができると共に、過度の共晶物が形成されることがなく、ファインピッチのTABテープであってもボンディングの際にインナーリード部で短絡が生ずることが少ない。このスズメッキ層は、ソルダーレジスト層が形成されている部分から露出している配線パターン全面に形成される。こうしてスズメッキ層を形成した後、加熱することにより、リードを形成する銅の一部がスズメッキ層に拡散し、リード部からのウィスカーの生成を抑制することができる。また、上記のようにしてスズメッキ層を形成した後、形成されたスズメッキ層の表面に薄いスズメッキ層が形成されるようにスズメッキ(フラッシュメッキ)することによっても、ウィスカーの生成を制御することができる。
【0053】
上記の方法では、ソルダーレジスト層を形成した後に、メッキ層を形成するが、メッキ層を形成した後にソルダーレジストを塗布する前にメッキ層を形成しても良い。すなわち、エッチングにより配線パターンを形成した後、この配線パターンが形成された絶縁フィルムをメッキ槽に移して例えばスズメッキ層を形成し、次いで、こうしてメッキ層が形成された上からソルダーレジストを塗布することができる。
【0054】
こうして形成されたTABテープには、通常の方法に従ってデバイスをボンディングすることができる。
【0055】
こうしてデバイスをボンディングした後、通常の方法に従って、樹脂塗布してデバイスを封止する。本発明では、シリコーン系消泡剤を使用していないので、このような封止樹脂がベースフィルム上などで封止不良(密着不良)を起こすことがない。
【0056】
【発明の効果】
本発明で使用するソルダーレジスト塗布液中には、シリコーン系消泡剤は含有されていない。このように本発明のソルダーレジスト塗布液は、シリコーン系消泡剤を含有していないけれども、ソルダーレジスト塗布液の塗布厚さ、さらにソルダーレジストの攪拌方法の改善、塗布装置の改良、印刷方法の改良、乾燥方法の改良などによりソルダーレジスト層にボイドあるいはピンホールなどが発生するのを防止することができる。
【0057】
そして、本発明で使用するソルダーレジストは、シリコーン系消泡剤を含有していないので、インナーリードに良好にデバイスをボンディングすることができると共に、デバイスをボンディングした後、このデバイスを含む部分を樹脂で封止する際ににじみ出たシリコーン系消泡剤によって樹脂による封止性が低下することがない。また、本発明で使用されるソルダーレジストは、シリコーン系消泡剤を使用していないので、工場全体がシリコーン汚染されることがないとの利点もある。
【0058】
【実施例】
次に本発明の実施例を示して本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
【0059】
【実施例1】
厚さ75μmのポリイミドフィルムに、パンチングにより、デバイスホール、スプロケットホールを形成した。次いで、このポリイミドフィルム表面に、エポキシ系接着剤を塗布し、厚さ18μmの銅箔を貼着した。
【0060】
さらに、この銅箔上にフォトレジストを塗布し、このフォトレジストを露光し、さらにエッチングすることにより銅箔に配線パターンを形成した。
【0061】
これとは別に、シリコーン系消泡剤を含有していないウレタン系ソルダーレジスト塗布液を、自転公転型攪拌装置(株式会社シンキー製、コンディショニングミキサーMX−201)に入れ、自転速度600rpm、公転速度2000rpmの速度で2分間攪拌して、含有される微細な気泡の大部分を除去した脱泡ウレタン系ソルダーレジスト塗布液を得た。
【0062】
次いで、インナーリードおよびアウターリードの先端部がマスキングされたシルクスクリーン(目開き150メッシュ)に、塗布方向のエッジが図4に示すように、切欠かれたスキージエッジを配置し、ここに上記のようにして調製した脱泡ウレタン系ソルダーレジスト塗布液を供給した。上記のように配置したソルダーレジスト塗布装置を用いて、形成された配線パターンの上からウレタン系の脱泡ソルダーレジストを乾燥厚さが40μmになるように、スキージエッジの移動速度;80mm/secの塗布速度で塗布した。
【0063】
こうしてソルダーレジストを塗布した後、80〜140℃の温度に段階的に2.5時間かけて昇温して加熱してソルダーレジストを硬化させた。なお、この加熱は、常圧で行った。
【0064】
こうしてソルダーレジスト層を形成した後、このフィルムを無電解スズメッキ層に移してソルダーレジストが塗工されていない配線パターン表面に0.2μmの厚さでスズメッキ層を形成した。
【0065】
スズメッキ層を形成した後、このTABテープを120℃の温度に1時間保持した。
【0066】
こうして得られたTABテープ100個について、ソルダーレジスト層のピンホールおよびボイドの数を測定したところ、TABテープ1個当たりのピンホールあるいはボイドの平均発生数は、0.01個であり、実質的にボイドあるいはピンホールは発生しなかった。
【0067】
上記のようにして100個のTABテープについてボンディング不良を測定した結果、ボンディング不良は実質的に見られなかった。
【0068】
こうして得られたTABテープにデバイスをボンディングし、このデバイスを含む部分にエポキシ系樹脂を塗布してデバイスを封止したが、封止樹脂はデバイスおよびTABテープに良好に密着して封止不良は見られなかった。
【0069】
なお、本発明におけるピンホールあるいはボイドの平均発生数およびボンディング不良は、100個のTABテープを1単位として測定した平均値である。
【0070】
【比較例1】
厚さ75μmのポリイミドフィルムに、パンチングにより、デバイスホール、スプロケットホールを形成した。次いで、このポリイミドフィルム表面に、エポキシ系接着剤を塗布し、厚さ18μmの銅箔を貼着した。
【0071】
さらに、この銅箔上にフォトレジストを塗布し、このフォトレジストを露光し、さらにエッチングすることにより銅箔に配線パターンを形成した。
【0072】
これとは別に、シリコーン系消泡剤を含有していないウレタン系ソルダーレジスト塗布液を、実施例1と同様に処理して、脱泡ウレタン系ソルダーレジスト塗布液を得た。
【0073】
次いで、インナーリードおよびアウターリードの先端部がマスキングされたシルクスクリーン(目開き180メッシュ)に、エッジに切欠の形成されていないスキージエッジを配置し、ここに上記のようにして調製した脱泡ウレタン系ソルダーレジスト塗布液を供給し、実施例1と同様にして、ウレタン系の脱泡ソルダーレジストを乾燥厚さが20μmになるように、スキージエッジの移動速度;120mm/secの塗布速度で塗布した。
【0074】
こうして塗布したソルダーレジストを実施例1と同様にして硬化させた。
【0075】
こうしてソルダーレジスト層を形成した後、このフィルムを無電解スズメッキ層に移してソルダーレジストが塗工されていない配線パターン表面に0.2μmの厚さでスズメッキ層を形成した。
【0076】
スズメッキ層を形成した後、このTABテープを120℃の温度に1時間保持した。
【0077】
こうして得られたTABテープ100個について、ソルダーレジスト層のピンホールおよびボイドの数を測定したところ、TABテープ1個当たりのピンホールあるいはボイドの平均発生数は、0.1個であり、TABテープの歩留まり低下の主要因となった。
【0078】
上記のようにして100個のTABテープについてボンディング不良を測定した結果、ボンディング不良は実質的に見られなかった。
【0079】
こうして得られたTABテープにデバイスをボンディングし、このデバイスを含む部分にエポキシ系樹脂を塗布してデバイスを封止したが、封止樹脂はデバイスおよびTABテープに良好に密着して封止不良は見られなかった。
【0080】
【比較例2】
実施例1と同様にエッチングして配線パターンを形成した。
【0081】
これとは別にシリコーン系消泡剤を1重量%含有するウレタン系ソルダーレジストを、プロペラ型攪拌機にいれ、100rpmで15分間攪拌してウレタン系ソルダーレジストの塗布液を得た。
【0082】
次いで、インナーリードおよびアウターリードの先端部がマスキングされたシルクスクリーン(目開き180メッシュ)に、エッジに切欠の形成されていないスキージエッジを配置し、ここに上記のようにして調製した脱泡ウレタン系ソルダーレジスト塗布液を供給し、実施例1と同様にして、ウレタン系の脱泡ソルダーレジストを乾燥厚さが25μmになるように、スキージエッジの移動速度;120mm/secの塗布速度で塗布した。
【0083】
こうして塗布したソルダーレジストを実施例1と同様にして硬化させた。
【0084】
こうしてソルダーレジスト層を形成した後、このフィルムを無電解スズメッキ層に移してソルダーレジストが塗工されていない配線パターン表面に0.2μmの厚さでスズメッキ層を形成した。
【0085】
スズメッキ層を形成した後、このTABテープを120℃の温度に1時間保持した。
【0086】
こうして得られたTABテープ100個について、ソルダーレジスト層のピンホールおよびボイドの数を測定したところ、TABテープ1個当たりのピンホールあるいはボイドの平均発生数は、0.01個であり、実質的にボイドあるいはピンホールは発生しなかった。
【0087】
上記のようにして100個のTABテープについてボンディング不良を測定した結果、ボンディング不良は実質的に見られなかった。
【0088】
こうして得られたTABテープにデバイスをボンディングし、このデバイスを含む部分にエポキシ系樹脂を塗布してデバイスを封止したが、封止樹脂はデバイスホール近傍のベースフィルム上で80個にはじきがみられ封止不良が生じていた。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの例を模式的に示す平面図である。
【図2】 図2は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの例を模式的に示す断面図である。
【図3】 図3は、自転公転型攪拌装置を模式的に示す図である。
【図4】 図4は、本発明で使用するスキージエッジを模式的に示す図である。
【符号の説明】
1・・・TABテープ
10・・・絶縁フィルム
12・・・接着剤層
20・・・ソルダーレジスト
30・・・銅箔(配線パターン)
41・・・デバイスホール
42・・・スプロケットホール
51・・・インナーリード
52・・・アウターリード
61・・・容器
70・・・スキージエッジ
71・・・切欠
72・・・スクリーンマスク
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a film carrier tape (TAB (Tape Automated Bonding) tape) for mounting electronic components with few defects such as pinholes. More specifically, the present invention relates to a film resist tape for mounting electronic components with few defects such as pinholes and a solder resist that leaves a lead portion for joining a wiring pattern formed in a desired shape on an insulating film to a pump of a device. The present invention relates to an electronic component mounting film carrier tape (TAB tape) that hardly causes pinholes in an applied solder resist when a film carrier tape (TAB tape) for mounting an electronic component including a step of coating is manufactured.
[0002]
TECHNICAL BACKGROUND OF THE INVENTION
A film carrier tape (TAB tape) for mounting electronic components is obtained by attaching a copper foil to an insulating film such as a polyimide film, applying a photoresist on the copper foil, and exposing the photoresist to a desired shape. After removing unnecessary parts and masking, etching with acid to etch the copper foil into the desired pattern, removing the masking agent, and applying the solder resist except the formed lead part, then lead part For example, it is manufactured by forming a eutectic with a bump of a device such as tin, and performing metal plating capable of bonding the device.
[0003]
In the manufacture of such TAB tape, the solder resist is used as a coating solution dissolved or dispersed in an organic solvent so that an insulating resin can be applied, and screen printing is performed on the surface on which the wiring pattern is formed. It is applied using technology.
[0004]
By applying the solder resist in this way, the formed wiring pattern is protected, adjacent wiring patterns are reliably insulated from each other, and further, it becomes a masking agent in the next plating process.
[0005]
This solder resist layer is formed by applying a solution in which an epoxy resin or a polyimide resin is dissolved or dispersed in a solvent, usually to a thickness of about 10 μm, and heating to a temperature of about 120 to 160 ° C. It is formed by curing the resin.
[0006]
However, such solder resist coating liquid contains fine bubbles, and these fine bubbles form voids or pinholes in the solder resist layer when the solder resist coating liquid is heated and cured after coating. To do. In conventional TAB tapes with a wide lead pitch, these voids or pinholes rarely become a problem, but in TAB tapes with fine pitches where the pitch width currently attracting attention is less than 100 μm, Even if slight voids or pinholes are generated, there is a problem that the reliability of the electronic device is lowered due to, for example, migration that may occur between wiring patterns.
[0007]
In order to prevent the occurrence of such voids or pinholes, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-124968 discloses that “in a method of manufacturing a TAB tape for TCP having a coating layer for protection and insulation between wirings in a vacuum. “A method for producing a TAB tape for TCP, wherein the coating layer is formed by drying and reaction solidification by baking treatment”.
[0008]
However, the method disclosed in this publication is intended to remove bubbles contained in the solder resist layer before the solder resist is hardened by performing a baking process in a vacuum, and therefore, a solder resist coating solution. Inside, fine bubbles are contained as in the conventional case. By curing the solder resist under reduced pressure conditions, the bubbles contained in the solder resist layer can be easily removed. However, as long as the solder resist coating liquid itself contains bubbles, the contained bubbles are completely removed. It is almost impossible to do so, and even this method cannot completely prevent the generation of voids or pinholes.
[0009]
By the way, when preparing a solder resist coating solution, a small amount of a silicone-based antifoaming agent is blended in the solder resist coating solution so that fine bubbles (bubbles) are not contained by the air entrained in the solder resist coating solution. It is common to do. Such a silicone-based antifoaming agent has an excellent defoaming action, and by blending such a silicone-based antifoaming agent, the amount of bubbles contained in the solder resist coating solution can be greatly reduced. The use of silicone antifoaming agent is extremely effective as a means for preventing the formation of voids or pinholes.
[0010]
By the way, after mounting a device on a TAB tape, the TAB tape is used by sealing an area including the device with a resin. However, since silicone antifoaming agents have low compatibility with other resins and high heat resistance, they exude to the solder resist surface when the solder resist is heated and cured, and this exuding silicone antifoaming agent The sealing resin may be repelled by the agent, and the bonded device may not be completely sealed.
[0011]
In addition, the silicone-based antifoaming agent that has oozed out when the solder resist is cured may adhere to the inner lead surface and the like, and it is extremely difficult to remove the silicone-based antifoaming agent thus adhered. And when a silicone type antifoamer adheres to an inner lead in this way, there also exists a problem that a connection defect tends to arise between an inner lead and a bump of a device.
[0012]
OBJECT OF THE INVENTION
An object of this invention is to provide the TAB tape in which the soldering resist layer with very few defects, such as a pinhole, was formed. Another object of the present invention is to provide a TAB tape in which the sealing resin is not repelled when a region including the mounted device is sealed with resin after the device is mounted on the inner lead. It is said.
[0013]
A further object of the present invention is to provide a TAB tape with good connectivity between inner leads and device bumps.
[0014]
SUMMARY OF THE INVENTION
  The film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention has a desired wiring pattern formed on the surface of the insulating film, and a urethane resin is formed on the wiring pattern except for the lead portionOrA solder resist coating layer formed by coating a defoaming solder resist coating solution containing a modified urethane resin elastomer using a screen mask coating in the range of 120 to 165 mesh is applied at a normal pressure within a range of 40 to 170 ° C. A solder resist layer having a thickness of 25 to 40 μm made of a cured product formed by raising the temperature is formed, and no pinhole or void is formed in the solder resist layer, and the film carrier tape InInner lead without silicone antifoamAnd theInner lead without silicone antifoamIs characterized in that a tin plating layer having a thickness of 0.1 to 0.6 μm, in which copper is diffused in part, is formed.
[0015]
  The film carrier tape for mounting electronic components of the present invention is a wiring pattern excluding a lead portion formed by etching after bonding a copper foil to an insulating film surface and etching the copper foil to form a desired wiring pattern. In the method for producing a film carrier tape for mounting electronic components, which has a step of coating a solder resist so as to cover the solder resist, the solder resist coating solution has an average coating thickness.25-40It can manufacture by apply | coating so that it may exist in the range of micrometer, and the apply | coated soldering resist layer does not have a pinhole substantially.
[0016]
The solder resist coating solution used in the present invention contains a curable resin dissolved or dispersed in an organic solvent, and the solder resist coating solution does not contain a component having a siloxane skeleton. That is, the solder resist coating solution used in the present invention does not substantially contain a silicone-based antifoaming agent.
[0017]
When the coating solution is foamed during the preparation of the solder resist coating solution, etc., the generated foam is included in the coating solution, and voids or pinholes are formed in the solder resist layer by the included bubbles. In order to prevent foaming, the solder resist coating solution contains an antifoaming agent. The most effective antifoaming agent is a silicone-based antifoaming agent. However, when a silicone-based antifoaming agent is added to the solder resist coating solution, the silicone-based antifoaming agent is likely to ooze out on the surface when the solder resist is heated and cured. After bonding the device, the vicinity of this device is sealed with resin. Even if it tries to do so, the problem arises that the resin is repelled by the silicone-based antifoaming agent that has exuded. The repellency of this resin is particularly prominent on the base film. Further, it was found that when the exuded (bleeded) silicone-based antifoaming agent adheres to the surface of the inner lead, a bonding failure of the device occurs.
[0018]
The above problems will not occur unless a silicone-based antifoaming agent is added, but when preparing a solder resist coating solution, fine bubbles tend to be contained in the coating solution, and fine bubbles are formed in the formed solder resist layer. By removing, voids or pinholes are formed.
[0019]
The inventor has various problems as described above, but without using a silicone-based antifoaming agent that is still used because of its high antifoaming effect, TAB is less likely to generate voids or pinholes. As a result of studying the tape method, firstly, it was found that generation of voids or pinholes can be prevented by keeping the thickness of the solder resist layer within a certain range. Furthermore, in addition to the thickness of the solder resist layer, by improving the method of stirring the solder resist coating solution, the method of applying the solder resist, and the coating device, it has conventionally been considered that the silicone system that must always be used Generation of voids or pinholes can be prevented without using an antifoaming agent.
[0020]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, the TAB tape of the present invention and the method for producing the TAB tape will be specifically described.
[0021]
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, an electronic component mounting film carrier tape 1 according to the present invention has an insulating film 10 and a wiring pattern made of an electrolytic copper foil adhered to the surface with, for example, an adhesive layer 12. 30 are stacked in this order. This electrolytic copper foil is coated with a photoresist on the top surface, exposed to a desired pattern, developed, and then etched by using an acid or the like to form a desired wiring pattern 30. A solder resist 20 is applied to protect the surface of the wiring pattern 30 except for the inner lead or outer lead portion.
[0022]
The insulating film 10 constituting the electronic component mounting film carrier tape of the present invention is made of a flexible resin film. Further, the insulating film 10 has chemical resistance that is not affected by such chemicals because it comes into contact with an acid during etching, and heat resistance that does not deteriorate due to heating during bonding. Examples of such a flexible resin film include glass epoxy, BT resin, polyester, polyamide, and polyimide. In particular, in the present invention, it is preferable to use a film made of polyimide.
[0023]
Examples of the polyimide film constituting the insulating film 10 include fully aromatic polyimide synthesized from pyromellitic dianhydride and aromatic diamine, and biphenyl synthesized from biphenyltetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine. Mention may be made of wholly aromatic polyimides having a skeleton. In particular, in the present invention, a wholly aromatic polyimide having a biphenyl skeleton (eg, trade name: Upilex, manufactured by Ube Industries, Ltd.) is preferably used. The thickness of the insulating film 10 is usually in the range of 25 to 125 μm, preferably 50 to 75 μm.
[0024]
When such an insulating film 10 has a device hole 41, a sprocket hole 42, a cut hole of an outer lead, and a bent portion, a flex slit or the like is formed by punching at the bent position.
[0025]
The wiring pattern 30 forms an adhesive layer 12 by applying an insulating adhesive to at least one surface of the insulating film 10 in which the predetermined holes 41, 42... Are formed as described above. The adhesive layer 12 is formed by bonding a copper foil and etching the copper foil. Here, as the copper foil, either an electrolytic copper foil or a rolled copper foil can be used. In the present invention, it is preferable to use an electrolytic copper foil that can cope with the recent fine pitch.
[0026]
The adhesive used here needs to have characteristics such as heat resistance, chemical resistance, adhesive strength, and flexibility. Examples of adhesives having such characteristics include epoxy adhesives and phenolic adhesives. Such an adhesive may be modified with a urethane resin, a melamine resin, a polyvinyl acetal resin, or the like, or the epoxy resin itself may be rubber-modified. Such adhesives are usually heat curable. The thickness of such an adhesive layer is usually in the range of 8 to 23 μm, preferably 10 to 21 μm. In addition, when sticking copper foil to the above insulating films 10, it can also stick without using an adhesive agent.
[0027]
The adhesive layer 12 made of such an adhesive may be applied on the surface of the insulating film 10 or may be applied on the surface of the electrolytic copper foil. As the electrolytic copper foil used here, a copper foil having a thickness usually used in the manufacture of a TAB tape can be used, but in order to manufacture a fine pitch TAB tape, the copper foil is usually used as a copper foil. A copper foil in the range of 6 to 75 μm, preferably 9 to 75 μm, more preferably 9 to 50 μm is used. By using such a thin electrolytic copper foil, it becomes possible to easily form an inner lead with a narrow pitch width.
[0028]
After affixing the copper foil to the surface of the insulating film in this way, a photoresist is applied to the surface of the copper foil, and a desired wiring pattern is baked on the photoresist to cure the photoresist. Remove the photoresist. Conversely, a photoresist that can be dissolved in a specific medium by exposure can also be used.
[0029]
The copper foil on which the desired wiring pattern is formed by the photoresist thus cured is etched to dissolve and remove the copper foil where the photoresist does not exist, thereby forming the wiring pattern 30 made of copper foil on the surface of the insulating film. .
[0030]
After the wiring pattern 30 is thus formed by etching, the hardened photoresist is removed, for example, with an alkaline solution.
[0031]
In the present invention, after a predetermined wiring pattern is formed in this way, a solder resist coating solution is applied except for the tips of the inner lead 51 and outer lead 52 to be plated in the next step.
[0032]
In the solder resist coating solution used in the present invention, a curable resin is dissolved or dispersed in an organic solvent, and the solder resist coating solution preferably contains no silicone antifoaming agent.
[0033]
  The curable resin contained in the solder resist coating solution used in the present invention is, Urethane resins, elastomer modified products of urethane resinsIt is preferable to contain. It is particularly preferable to use a modified elastomer. For this elastomer modificationTo urethane resinA method of modifying by mixing elastomer components;, Urethane resinThere is a method of copolymerizing a monomer that forms an elastomer and a monomer that forms an elastomer. In the present invention, any modified elastomer can be used. It is particularly preferable to use an elastomer-modified product formed by a method of imparting elasticity to the resin component.
[0034]
For example, in the present invention, a urethane resin is described as an example of the resin for forming the solder resist coating solution. In the present invention, as the urethane resin forming the solder resist, (a) the number average molecular weight is 1000 to 8000. A polybutadiene polyol having a molecular weight of 2 to 10 hydroxyl groups per molecule, (b) a polyester polyol having a number average molecular weight of 13,000 to 30000 and having 2 to 10 hydroxyl groups per molecule; c) A polybutadiene polyblocked isocyanate having a number average molecular weight of 1000 to 8000 and having 2 to 10 hydroxyl groups per molecule is an essential component, and the weight ratio of polyol is (a) :( b) = 40:60 to 90:10, and the amount of polyblock isocyanate (c) is equivalent to the total hydroxyl groups of the polyol. A urethane resin contained in an amount of 0.8 to 3.5 equivalents relative to the amount is preferably used.
[0035]
With the component (a), it is possible to impart to the resin both the properties found in a rigid resin such as heat resistance and chemical resistance, and the properties found in a soft resin such as flexibility and low shrinkage. .
[0036]
When the molecular weight is smaller than the above specified range, or when the number of hydroxyl groups per molecule is larger than the above range, the crosslink density at the time of curing becomes high, so that the hardened product is obtained and the solder resist is flexible. And properties such as low shrinkage after curing may not be sufficiently imparted. Further, when the molecular weight is larger than the range specified above, when the number of hydroxyl groups per molecule is smaller than the above range, the crosslinking density at the time of curing becomes low, and the cured product has flexibility, but the cured product Heat resistance and chemical resistance are likely to decrease.
[0037]
The above component (b) gives the properties found in flexible cured products such as improved flexibility and low shrinkage after curing, and also improves adhesion to the substrate by a highly polar ester bond contained in the resin skeleton. It is something to be made.
[0038]
The component (c) imparts to the resin both the characteristics found in rigid resins such as heat resistance and chemical resistance, and the characteristics found in flexible resins such as flexibility and low shrinkage. When the molecular weight is smaller than the range specified above, when the number of hydroxyl groups per molecule is larger than the range specified above, the crosslink density after curing is increased, resulting in a harder cured product, Low shrinkage during curing may not be ensured sufficiently. On the other hand, when the molecular weight is smaller than this range, the crosslinking density at the time of curing is lowered, so that a more flexible cured product is obtained, but the heat resistance and chemical properties of the cured coating film may be lowered. Further, since the component (a) is a polybutadiene skeleton, the flexibility of the solder resist and the low shrinkage at the time of curing can be further improved.
[0039]
When polybutadiene polyol (a) is used alone and cured with polybutadiene polyisocyanate (b), properties such as heat resistance, chemical resistance, flexibility, and low shrinkage during curing are relatively balanced. Although easy, among these properties, there is room for further improvement in terms of flexibility, low shrinkage during curing, and adhesion to the substrate. In order to improve these properties, it is necessary to use a combination of polyester polyols. That is, (a) :( b) = 40: 60 to 90:10 are preferably mixed and used. If the polyol (a) is less than this range, the crosslinking density is too low. Characteristics such as heat resistance and chemical resistance are likely to deteriorate. The amount of the polybutadiene polyblock isocyanate (c) is preferably 0.8 to 3.5 equivalents relative to the total hydroxyl equivalent of the polyol, and the crosslink density is low in both cases where the amount is higher or lower. Therefore, the heat resistance and chemical resistance of the coating film may not be sufficiently improved.
[0041]
In the present invention, in addition to the resin components as described above, the solder resist coating solution contains a curing accelerator, a filler, an additive, a thixotropic agent, a solvent, etc., which are usually added to the solder resist coating solution. Can be added. Furthermore, in order to improve the characteristics such as flexibility of the solder resist layer, it is possible to blend fine particles having elasticity such as rubber fine particles.
[0042]
When stirring with a normal stirring device so that such a solder resist coating solution can be applied, fine bubbles are mixed in the coating solution, and the fine bubbles once mixed are removed by a normal method. It is very difficult to do. Therefore, conventionally, about 1 to 3% by weight of a silicone-based antifoaming agent is blended with respect to the resin component to prevent generation of fine bubbles and to prevent generation of voids or pinholes. However, even when the silicone-based antifoaming agent is used as described above, for example, when a propeller type stirring device, which is a general stirring device, is used, mixing of fine bubbles cannot be completely prevented.
[0043]
In the present invention, when mixing the solder resist coating liquid, it is preferable to use a stirring device as shown in FIG. 3 in which the container 61 rotates and the container 61 revolves. By using such a stirrer, the solder resist coating solution can be mixed well and fine bubbles mixed in the solder resist coating solution can be removed. The revolution speed at this time is preferably in the range of 1000 to 4000 rpm, and the rotation speed is in the range of 300 to 1200 rpm. The time required for the defoaming treatment using such an apparatus is usually 5 seconds to 15 minutes, preferably 1 to 10 minutes. By processing under such conditions, a large centrifugal force is continuously applied to the solder resist coating solution, and most of the fine bubbles contained in the solder resist coating solution are removed.
[0044]
Furthermore, in the present invention, the coating liquid that has been subjected to the defoaming treatment as described above is applied using a screen printing technique. Conventionally, a screen mask having a relatively small mesh size of about 180 mesh has been used for application of the solder resist coating liquid using this screen printing technique. In the present invention, such a conventionally used screen is generally used. Use a screen mask with a larger opening than the mask.
[0045]
  Especially in the present invention, Use a screen mask in the range of 120-165 mesh.By using such a screen mask, the solder resist coating thickness25-40 μmThe thickness of the solder resist can be increased as described above, so that pinholes can be prevented from being formed. In particular, in the TAB tape of the present invention in which the solder resist is thus thickened, it is preferable that the solder resist has elasticity. In the present invention, if an elastomer-modified product is used as the resin component of the solder resist, cracks and the like can be effectively prevented from being generated in the solder resist even when the solder resist is applied thickly.
[0046]
Such a solder resist coating solution is applied using a squeegee edge. Usually, as this squeegee edge, a plate-like squeegee edge having a flat bottom is used. Accordingly, the squeegee edge applies the solder resist while being in contact with the screen mask at a substantially right angle. However, such a plate-like squeegee edge with a flat bottom tends to reduce the amount of solder resist on the screen mask, making it difficult to ensure a sufficient coating thickness of the solder resist.
[0047]
In the present invention, as shown in FIG. 4, the squeegee edge 70 is at least 1/10, preferably 1/9 to 1/2 of the squeegee edge thickness, usually 45 degrees or less with respect to the screen mask 72. The cutout 71 is formed in the width direction so as to contact at an angle of, preferably 30 to 45 degrees. By forming the notch 71 in this way, more solder resist coating solution is retained in the notch 71 portion, and thick coating of the solder resist becomes possible.
[0048]
Further, in the present invention, when the solder resist coating liquid is applied using the squeegee edge 70 having such a notch 71, the speed on the screen mask 72 is usually within a range of 50 to 200 mm / second, preferably 80. The solder resist coating solution is applied by moving at a speed in the range of ˜150 mm / sec. In this way, by moving the squeegee edge 70 more slowly than before and applying the solder resist coating liquid, it becomes difficult for bubbles to be caught, and by forming the notch 71 in the squeegee edge 70, the bubble content is low. Since a large amount of solder resist coating solution can be supplied to the solder resist coating part of the screen mask, the content of bubbles is low so as to cover the wiring pattern formed on the insulating film without using a silicone-based antifoaming agent. The solder resist layer can be formed with a predetermined thickness. The solder resist layer thus formed does not substantially contain bubbles, so that no pinholes or voids are formed.
[0049]
  Furthermore, in this invention, after apply | coating a soldering resist coating liquid as mentioned above, by hardening | curing resin contained in this soldering resist layer on milder conditions, when a small amount of bubbles are contained temporarily However, after these bubbles disappear, the resin flows into the defoamed portion due to the self-leveling property of the solder resist, and generation of voids or pinholes can be prevented. That is, in the present invention, after applying the solder resist coating solution,40 ° C-170 ° CIn this range, the temperature is raised stepwise to remove the solvent contained in the solder resist layer and to cure the resin. As an example of the stepwise temperature increase at this time, the curing temperature in the first curing stage is set to 90 ° C. or lower, and the curing object is held in the first curing stage for 5 to 120 minutes, and then the temperature is gradually raised. To a second curing stage higher than 90 ° C. In this second curing stage, the object to be cured is held for 10 to 300 minutes at a temperature higher than 90 ° C., preferably about 95 to 180 ° C. The above example is an example of curing in two stages, but it may be a multistage of three or more stages in the same manner. When curing by setting the temperature in multiple stages as described above, it is preferable to raise the temperature under a mild condition as much as possible when heating from one curing stage to the next curing stage. For example, in the above example, As shown, the rate of temperature increase from the first curing stage to the second curing stage is usually 0.01 ° C./1 minute to 10 ° C./1 minute, preferably 0.1 ° C./1 minute to 5 ° C. / Must be within 1 minute.
[0050]
  For this heating, a normal air heater, hot air, a (far) infrared heater or the like can be used..
[0051]
    After forming the solder resist layer in this way, the wiring pattern and the insulating film on which the solder resist layer is formed are moved to a plating tank to form a tin plating layer on the surface of the wiring pattern..The tin plating layer is formed by a method such as electroless tin plating or electric tin plating. The initial tin-plated layer thus formed is usually substantially made of tin, but other metals may be contained within a range that does not impair the properties of the tin-plated layer.
[0052]
The thickness of the tin plating layer is preferably in the range of 0.1 to 0.6 μm. By forming the tin plating layer with such a thickness, when bonding the inner lead and the bump of the device, a metal such as gold forming the bump and tin form an appropriate amount of eutectic, so the inner lead and Bumps can be satisfactorily bonded, excessive eutectic is not formed, and even a fine pitch TAB tape is less likely to cause a short circuit at the inner lead portion during bonding. This tin plating layer is formed on the entire surface of the wiring pattern exposed from the portion where the solder resist layer is formed. By forming the tin plating layer in this way and heating, a part of the copper forming the lead diffuses into the tin plating layer, and the generation of whiskers from the lead portion can be suppressed. Further, after the tin plating layer is formed as described above, the formation of whiskers can also be controlled by performing tin plating (flash plating) so that a thin tin plating layer is formed on the surface of the formed tin plating layer. .
[0053]
In the above method, the plating layer is formed after the solder resist layer is formed, but the plating layer may be formed after the plating layer is formed and before the solder resist is applied. That is, after forming a wiring pattern by etching, the insulating film on which the wiring pattern is formed is transferred to a plating tank to form, for example, a tin plating layer, and then a solder resist is applied on the plating layer thus formed. Can do.
[0054]
A device can be bonded to the TAB tape thus formed according to a normal method.
[0055]
After the device is bonded in this way, resin is applied and the device is sealed according to a normal method. In the present invention, since no silicone-based antifoaming agent is used, such a sealing resin does not cause a sealing failure (adhesion failure) on the base film or the like.
[0056]
【The invention's effect】
The solder resist coating solution used in the present invention contains no silicone antifoaming agent. Thus, although the solder resist coating liquid of the present invention does not contain a silicone-based antifoaming agent, the coating thickness of the solder resist coating liquid, the improvement of the solder resist stirring method, the improvement of the coating apparatus, the printing method It is possible to prevent voids or pinholes from being generated in the solder resist layer by improvement or improvement of the drying method.
[0057]
Since the solder resist used in the present invention does not contain a silicone-based antifoaming agent, it is possible to bond the device to the inner lead satisfactorily, and after bonding the device, the portion including this device is made of resin. The silicone-based antifoaming agent that oozes out when sealed with does not deteriorate the sealing performance with the resin. Moreover, since the solder resist used in the present invention does not use a silicone-based antifoaming agent, there is an advantage that the entire factory is not contaminated with silicone.
[0058]
【Example】
EXAMPLES Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples of the present invention, but the present invention is not limited thereto.
[0059]
[Example 1]
Device holes and sprocket holes were formed in a 75 μm thick polyimide film by punching. Next, an epoxy adhesive was applied to the polyimide film surface, and a copper foil having a thickness of 18 μm was adhered.
[0060]
Further, a photoresist was applied on the copper foil, the photoresist was exposed, and further etched to form a wiring pattern on the copper foil.
[0061]
Separately, a urethane-based solder resist coating solution that does not contain a silicone-based antifoaming agent is placed in a rotation / revolution stirrer (conditioning mixer MX-201, manufactured by Sinky Corporation), and a rotation speed of 600 rpm and a rotation speed of 2000 rpm. The defoamed urethane-based solder resist coating solution from which most of the contained fine bubbles were removed was obtained by stirring at a speed of 2 minutes.
[0062]
Next, a cut-out squeegee edge is arranged on the silk screen (mesh 150 mesh) with the tips of the inner leads and outer leads masked as shown in FIG. The defoamed urethane solder resist coating solution prepared as described above was supplied. Using the solder resist coating apparatus arranged as described above, the movement speed of the squeegee edge; 80 mm / sec so that the dry thickness of the urethane-based defoamed solder resist is 40 μm from above the formed wiring pattern; Coating was performed at a coating speed.
[0063]
After the solder resist was applied in this way, the temperature was raised stepwise to a temperature of 80 to 140 ° C. over 2.5 hours and heated to cure the solder resist. This heating was performed at normal pressure.
[0064]
After forming the solder resist layer in this way, this film was transferred to the electroless tin plating layer, and a tin plating layer was formed with a thickness of 0.2 μm on the surface of the wiring pattern on which the solder resist was not applied.
[0065]
After forming the tin plating layer, the TAB tape was held at a temperature of 120 ° C. for 1 hour.
[0066]
When the number of pinholes and voids in the solder resist layer was measured for 100 TAB tapes thus obtained, the average number of pinholes or voids generated per TAB tape was 0.01, which was substantially There were no voids or pinholes.
[0067]
As a result of measuring bonding failure with respect to 100 TAB tapes as described above, bonding failure was not substantially observed.
[0068]
The device was bonded to the TAB tape thus obtained, and the epoxy resin was applied to the portion including the device to seal the device. However, the sealing resin adhered well to the device and the TAB tape, and the sealing failure was I couldn't see it.
[0069]
In the present invention, the average number of pinholes or voids and bonding failure are average values measured with 100 TAB tapes as one unit.
[0070]
[Comparative Example 1]
Device holes and sprocket holes were formed in a 75 μm thick polyimide film by punching. Next, an epoxy adhesive was applied to the polyimide film surface, and a copper foil having a thickness of 18 μm was adhered.
[0071]
Further, a photoresist was applied on the copper foil, the photoresist was exposed, and further etched to form a wiring pattern on the copper foil.
[0072]
Separately from this, a urethane solder resist coating solution containing no silicone antifoaming agent was treated in the same manner as in Example 1 to obtain a defoamed urethane solder resist coating solution.
[0073]
Next, a squeegee edge with no notches formed on the edge is placed on a silk screen (mesh 180 mesh) with the inner lead and outer lead tips masked, and defoamed urethane prepared as described above. A solder resist coating solution was supplied, and in the same manner as in Example 1, a urethane-based defoaming solder resist was applied at a squeegee edge moving speed of 120 mm / sec so that the dry thickness was 20 μm. .
[0074]
The solder resist thus applied was cured in the same manner as in Example 1.
[0075]
After forming the solder resist layer in this way, this film was transferred to the electroless tin plating layer, and a tin plating layer was formed with a thickness of 0.2 μm on the surface of the wiring pattern on which the solder resist was not applied.
[0076]
After forming the tin plating layer, the TAB tape was held at a temperature of 120 ° C. for 1 hour.
[0077]
With respect to 100 TAB tapes thus obtained, the number of pinholes and voids in the solder resist layer was measured. The average number of pinholes or voids generated per TAB tape was 0.1. Became the main factor in the decline in yield.
[0078]
As a result of measuring bonding failure with respect to 100 TAB tapes as described above, bonding failure was not substantially observed.
[0079]
The device was bonded to the TAB tape thus obtained, and the epoxy resin was applied to the portion including the device to seal the device. However, the sealing resin adhered well to the device and the TAB tape, and the sealing failure was I couldn't see it.
[0080]
[Comparative Example 2]
Etching was performed in the same manner as in Example 1 to form a wiring pattern.
[0081]
Separately, a urethane solder resist containing 1% by weight of a silicone antifoaming agent was placed in a propeller type stirrer and stirred at 100 rpm for 15 minutes to obtain a urethane solder resist coating solution.
[0082]
Next, a squeegee edge with no notches formed on the edge is placed on a silk screen (mesh 180 mesh) with the inner lead and outer lead tips masked, and defoamed urethane prepared as described above. A solder resist coating solution was supplied, and in the same manner as in Example 1, a urethane-based defoaming solder resist was applied at a squeegee edge moving speed of 120 mm / sec so that the dry thickness was 25 μm. .
[0083]
The solder resist thus applied was cured in the same manner as in Example 1.
[0084]
After forming the solder resist layer in this way, this film was transferred to the electroless tin plating layer, and a tin plating layer was formed with a thickness of 0.2 μm on the surface of the wiring pattern on which the solder resist was not applied.
[0085]
After forming the tin plating layer, the TAB tape was held at a temperature of 120 ° C. for 1 hour.
[0086]
When the number of pinholes and voids in the solder resist layer was measured for 100 TAB tapes thus obtained, the average number of pinholes or voids generated per TAB tape was 0.01, which was substantially There were no voids or pinholes.
[0087]
As a result of measuring bonding failure with respect to 100 TAB tapes as described above, bonding failure was not substantially observed.
[0088]
The device was bonded to the TAB tape thus obtained, and an epoxy resin was applied to the portion including the device to seal the device. The sealing resin was repelled by 80 pieces on the base film near the device hole. There was a sealing failure.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view schematically showing an example of a film carrier tape for mounting electronic components.
FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing an example of a film carrier tape for mounting electronic components.
FIG. 3 is a diagram schematically showing a rotation and revolution type stirring device.
FIG. 4 is a diagram schematically showing a squeegee edge used in the present invention.
[Explanation of symbols]
1 ... TAB tape
10 ... Insulating film
12 ... Adhesive layer
20 ... Solder resist
30 ... Copper foil (wiring pattern)
41 ... Device Hall
42 ... Sprocket hole
51 ... Inner lead
52 ... Outer lead
61 ... Container
70 ... Squeegee edge
71 ... Notch
72 ... Screen mask

Claims (2)

絶縁フィルム表面に所望の配線パターンが形成され、該配線パターンのリード部を除く部分に、ウレタン樹脂またはウレタン樹脂のエラストマー変性物を含む脱泡処理ソルダーレジスト塗布液の120〜165メッシュ範囲のスクリーンマスク塗布を用いた塗布により形成されたソルダーレジスト塗布層を常圧で40〜170℃の範囲内で段階的に昇温して形成された硬化体からなる厚さ25〜40μmのソルダーレジスト層が形成されてなり、該ソルダーレジスト層には、ピンホールあるいはボイドが形成されておらず、かつフィルムキャリアテープにはシリコーン消泡剤が付着していないインナーリードを有し、そして、該シリコーン消泡剤が付着していないインナーリードには、一部に銅が拡散した0.1〜0.6μmの厚さのスズメッキ層が形成されていることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープ。A screen mask in the range of 120 to 165 mesh of a defoaming solder resist coating solution containing a desired wiring pattern on the surface of the insulating film and containing urethane resin or a modified elastomer of urethane resin in a portion excluding the lead portion of the wiring pattern A solder resist layer having a thickness of 25 to 40 μm is formed of a cured product formed by heating the solder resist coating layer formed by coating using a coating stepwise within a range of 40 to 170 ° C. at normal pressure. The solder resist layer does not have pinholes or voids, and the film carrier tape has an inner lead to which no silicone antifoaming agent is attached , and the silicone antifoaming agent. the inner lead but unattached, tin plating thickness of 0.1~0.6μm which copper is diffused into a portion Film carrier tape for mounting electronic components, characterized in that There are formed. 上記絶縁フィルムが、ポリイミドフィルムであることを特徴とする請求項第1項記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープ。  The film carrier tape for mounting electronic parts according to claim 1, wherein the insulating film is a polyimide film.
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