JP4008828B2 - Contact displacement sensor - Google Patents

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【0001】 [0001]
【発明の属する技術分野】 BACKGROUND OF THE INVENTION
本発明は、被検出対象物に接触子を接触させ、その接触子の変位量に基づいて被検出対象物の変位量を測定する接触式変位センサに関する。 The present invention comprises contacting the contacts on the detection object, relates to a contact type displacement sensor for measuring the displacement of the detection object based on the displacement amount of the contact.
【0002】 [0002]
【従来の技術】 BACKGROUND OF THE INVENTION
従来より、被検出対象物に接触子を接触させ、その接触子の変位量に基づいて被検出対象物の変位量を測定する接触式変位センサが供されている(例えば特許文献1参照)。 Conventionally, contacting the contacts on the detection object, and (for example, see Patent Document 1) which is provided a contact-type displacement sensor for measuring the displacement of the detection object based on the displacement amount of the contact.
【0003】 [0003]
【特許文献1】 [Patent Document 1]
特開平10−274501号公報【0004】 Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-274501 [0004]
【発明が解決しようとする課題】 [Problems that the Invention is to Solve
ところで、この種の接触式変位センサは、接触子が被検出対象物に対して接触した位置と離れた位置との間で往復変位する構成であるので、接触子の機械的な寿命が提示されており、作業者は、接触子や当該接触子を駆動させるための駆動機構のメンテナンス(補修や交換など)を定期的に行う必要がある。 However, contact-type displacement sensors of this type, since the contact is in the configuration of the reciprocating displacement between a position distant from the position of contact against the detection object, the mechanical life of the contacts is presented and which, the operator needs to perform maintenance of the driving mechanism for driving the contact or the contacts (such as repair or replacement) periodically.
【0005】 [0005]
しかしながら、上記した特許文献1に記載したものでは、接触子の変位回数を作業者に知らせる手段がないので、作業者が接触子の変位回数を知ることができない。 However, those described in Patent Document 1 described above, since there is no means for informing a displacement frequency of contact to the operator, the operator can not know the displacement times of the contactor. そのため、接触子や駆動機構のメンテナンスが必要となる適切な時期に、作業者が接触子や駆動機構のメンテナンスを確実に行うことができないという問題があった。 Therefore, an appropriate time to maintenance of the contact and drive mechanism is required, the operator has a problem that it is impossible to reliably perform the maintenance of contact and drive mechanism.
【0006】 [0006]
本発明は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、接触子や駆動機構のメンテナンスが必要となる適切な時期に、作業者が接触子や駆動機構のメンテナンスを確実に行うことができる接触式変位センサを提供することにある。 The present invention has been made in view of the above, and its object is the appropriate time for maintenance of the contact and drive mechanism is required, perform reliably maintenance worker contact and drive mechanism to provide a contact-type displacement sensor capable.
【0007】 [0007]
【課題を解決するための手段】 In order to solve the problems]
請求項1に記載した接触式変位センサは、 Contact displacement sensor according to claim 1,
被検出対象物に接触可能に構成され、接触時と非接触時との間で所定方向に往復変位する接触子と、 Is configured to be in contact with the detection object, a contact that reciprocally displaced in a predetermined direction between the time and the non-contact time of contact,
前記接触子の変位を検出し、その検出された変位に応じた検出信号を出力する検出手段と、 Detecting a displacement of the contact, a detecting means for outputting a detection signal corresponding to the detected displacement,
前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記被検出対象物の変位量を測定する測定手段とを備えた接触式変位センサにおいて、 In the contact type displacement sensor and a measurement unit operable to measure the amount of displacement of the detection object based on a detection signal output from said detecting means,
前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記接触子の変位回数をカウントするカウント手段と、 Counting means for counting the displacement times of the contactor on the basis of a detection signal output from said detecting means,
前記カウント手段においてカウントされた変位回数が予め設定された基準回数に到達したときに警報出力を行う警報手段とを備え And a warning means for performing warning output when the count displacement count in said counting means has reached a preset reference number of times,
前記接触子は、複数の検出パターンを備えて構成され、 The contactor is configured to include a plurality of detection patterns,
前記検出手段は、各々が前記複数の検出パターンを検出するように配置されると共に前記接触子の変位に応じて位相の互いに異なる交流信号を出力する複数の検出素子により構成され、 The detection means is composed of a plurality of detecting elements that output different AC signal phase in accordance with the displacement of the contactor with each being arranged to detect the plurality of detection patterns,
前記カウント手段は、前記複数の検出素子の各々から出力された交流信号の位相差を検出し、位相差の正負の反転を検出したときに前記接触子の変位回数をカウントするように構成したところに特徴を有する。 It said counting means, when the plurality of detecting a phase difference between the output AC signal from each detector element, and configured to count a displacement frequency of said contacts upon detection of a positive and negative inversion of the phase difference to have the feature.
【0008】 [0008]
このものによれば、カウント手段は、検出手段から出力された検出信号に基づいて接触子の変位回数をカウントし、警報手段は、カウント手段においてカウントされた変位回数が予め設定された基準回数に到達すると、警報出力を行うように構成したので、予め基準回数として接触子や駆動機構のメンテナンスを行うのに適した回数を設定しておくことにより、接触子の変位回数が当該接触子や駆動機構のメンテナンスを行うのに適した回数に到達したときに警報出力を行わせることができる。 According to this one, counting means counts the displacement frequency of contacts based on the detection signal outputted from the detection means, the warning means, the reference number of times counted displaced preset times in counting means Upon reaching, since it is configured to perform alarm output in advance by setting the number of times suitable for the maintenance of contact and drive mechanism as reference number, displacement times of the contact is the contact and drive it can perform a warning output when it reaches the number of times suitable for the maintenance of the mechanism.
【0009】 [0009]
これにより、接触子や駆動機構のメンテナンスが必要となる時期を作業者に適切に知らせることができ、接触子や駆動機構のメンテナンスが必要となる適切な時期に、作業者が接触子や駆動機構のメンテナンスを確実に行うことができる。 Thus, the contact or the time at which maintenance of the drive mechanism is required can be appropriately inform the operator, at the appropriate time needed maintenance of the contact and drive mechanism, the worker contacts or the drive mechanism it is possible to perform the maintenance of certainty. また、接触子の変位回数を交流信号の位相差に基づいて検出することができる。 Further, it can be detected based on the displacement frequency of contact to the phase difference of the AC signal.
【0010】 [0010]
請求項2に記載した接触式変位センサは、 Contact displacement sensor according to claim 2,
請求項1に記載した接触式変位センサにおいて、 In the contact type displacement sensor according to claim 1,
前記接触子は、前記複数の検出パターンとして前記接触子の変位方向に沿って形成された複数のスリットを備えて構成され、 The contactor is configured to include a plurality of slits formed along a direction of displacement of the contactor as the plurality of detection patterns,
前記検出素子は、光を投じる投光素子と、前記接触子の往復位置を挟むように前記投光素子に対向して配置されると共に前記投光素子から投じられた光を受光する受光素子とにより構成されているところに特徴を有する。 The detecting element, a light receiving element for receiving a light projecting element to cast light, the light cast from the light emitting element while being arranged to face the light emitting element so as to sandwich the reciprocal position of the contactor characterized in place being constituted by.
【0011】 [0011]
このものによれば、 検出素子を投光素子と受光素子とにより構成することにより、接触子の変位を光学的に検出するように構成したので、周囲に金属が配置されていたり磁界が形成されていたりしたとしても、それらにより悪影響を受けることなく、被検出対象物の変位量を適切に測定することができ、しかも、接触子の変位回数を適切に検出することができる。 According to this one, by constructing the detecting element by the light projecting element and a light receiving element, since it is configured to detect the displacement of the contact optically, magnetic field or are arranged metal around it is formed even or have them by without being adversely affected, it is possible to properly measure the amount of displacement of the detection object, moreover, it is possible to appropriately detect displacement number of the contact.
【0013】 [0013]
請求項3に記載した接触式変位センサは、 Contact displacement sensor according to claim 3,
被検出対象物に接触可能に構成され、接触時と非接触時との間で所定方向に往復変位する接触子と、 Is configured to be in contact with the detection object, a contact that reciprocally displaced in a predetermined direction between the time and the non-contact time of contact,
前記接触子の変位を検出し、その検出された変位に応じた検出信号を出力する検出手段と、 Detecting a displacement of the contact, a detecting means for outputting a detection signal corresponding to the detected displacement,
前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記被検出対象物の変位量を測定する測定手段とを備えた接触式変位センサにおいて、 In the contact type displacement sensor and a measurement unit operable to measure the amount of displacement of the detection object based on a detection signal output from said detecting means,
前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記接触子の変位回数をカウントするカウント手段と、 Counting means for counting the displacement times of the contactor on the basis of a detection signal output from said detecting means,
前記カウント手段においてカウントされた変位回数が予め設定された基準回数に到達したときに警報出力を行う警報手段と、 And warning means for performing warning output when the counted displaced count has reached the reference number of times set in advance in the counting means,
不揮発性の記憶手段と、 And a non-volatile memory means,
前記カウント手段においてカウントされた変位回数を前記記憶手段に記憶させ、前記カウント手段が変位回数をカウントする毎に、前記記憶手段に記憶されている変位回数を更新記憶させる制御手段とを備え、 Said counting displacement count in counting means is stored in the storage means, for each of the counting means for counting the displacement number, and a control means for updating and storing a displacement number stored in the storage means,
前記警報手段は、前記記憶手段に更新記憶された変位回数が予め設定された基準回数に到達したときに警報出力を行い、 It said alarm unit performs warning output when displacement number which is updated and stored in the storage means has reached a reference number of times set in advance,
前記接触子は、複数の検出パターンを備えて構成され、 The contactor is configured to include a plurality of detection patterns,
前記検出手段は、各々が前記複数の検出パターンを検出するように配置されると共に前記接触子の変位に応じて位相の互いに異なる交流信号を出力する複数の検出素子により構成され、 The detection means is composed of a plurality of detecting elements that output different AC signal phase in accordance with the displacement of the contactor with each being arranged to detect the plurality of detection patterns,
前記カウント手段は、前記複数の検出素子の各々から出力された交流信号の位相差を検出し、位相差の正負の反転を検出したときに前記接触子の変位回数をカウントするよう構成したところに特徴を有する。 The counting means, where it detects the phase difference between the output AC signal from each of said plurality of detector elements, configured to count the displacement times of the contactor when it detects a positive and negative inversion of the phase difference having the features.
このものによれば、 カウント手段は、検出手段から出力された検出信号に基づいて接触子の変位回数をカウントし、警報手段は、カウント手段においてカウントされた変位回数が予め設定された基準回数に到達すると、警報出力を行うように構成したので、予め基準回数として接触子や駆動機構のメンテナンスを行うのに適した回数を設定しておくことにより、接触子の変位回数が当該接触子や駆動機構のメンテナンスを行うのに適した回数に到達したときに警報出力を行わせることができる。 According to this one, counting means counts the displacement frequency of contacts based on the detection signal outputted from the detection means, the warning means, the reference number of times counted displaced preset times in counting means Upon reaching, since it is configured to perform alarm output in advance by setting the number of times suitable for the maintenance of contact and drive mechanism as reference number, displacement times of the contact is the contact and drive it can perform a warning output when it reaches the number of times suitable for the maintenance of the mechanism.
これにより、接触子や駆動機構のメンテナンスが必要となる時期を作業者に適切に知らせることができ、接触子や駆動機構のメンテナンスが必要となる適切な時期に、作業者が接触子や駆動機構のメンテナンスを確実に行うことができる。 Thus, the contact or the time at which maintenance of the drive mechanism is required can be appropriately inform the operator, at the appropriate time needed maintenance of the contact and drive mechanism, the worker contacts or the drive mechanism it is possible to perform the maintenance of certainty.
また、制御手段は、カウント手段においてカウントされた変位回数を不揮発性の記憶手段に記憶させ、カウント手段が変位回数をカウントする毎に、記憶手段に記憶されている変位回数を更新記憶させ、警報手段は、記憶手段に更新記憶された変位回数が予め設定された基準回数に到達すると、警報出力を行うように構成したので、センサの駆動電源を一時的に断ったとしても、接触子の変位回数が初期化(リセット)されることなく、接触子の変位回数を保持させておくことができる。 Further, the control means, the counting displacement count in counting means is stored in a nonvolatile storage means, for each count means for counting the displacement times, the displacement count stored in the storage means is updated and stored, alarm means, when the displacement times that are updated and stored in the storage unit reaches a preset reference number of times, it is arranged that an alarm output, even turned down drive power of the sensor temporarily, contact displacement number initialized (reset) without being, can be kept in holding the displacement times of the contactor.
これにより、センサの駆動電源を一時的に断ったとしても、上記した請求項1に記載したものと同様にして、接触子や駆動機構のメンテナンスが必要となる時期を作業者に適切に知らせることができ、接触子や駆動機構のメンテナンスが必要となる適切な時期に、作業者が接触子や駆動機構のメンテナンスを確実に行うことができる。 Accordingly, even when turned down drive power of the sensor temporarily, in a manner similar to that described in claim 1 mentioned above, properly informed that the operator when to maintenance of the contact and drive mechanism is required can be, at the right time needed maintenance of the contact and drive mechanism, the operator can be reliably maintained in contact and the drive mechanism.
また、接触子の変位回数を交流信号の位相差に基づいて検出することができる。 Further, it can be detected based on the displacement frequency of contact to the phase difference of the AC signal.
【0014】 [0014]
請求項4に記載した接触式変位センサは、 Contact displacement sensor according to claim 4,
請求項3に記載した接触式変位センサにおいて、 In the contact type displacement sensor according to claim 3,
前記接触子は、前記複数の検出パターンとして前記接触子の変位方向に沿って形成された複数のスリットを備えて構成され、 The contactor is configured to include a plurality of slits formed along a direction of displacement of the contactor as the plurality of detection patterns,
前記検出素子は、光を投じる投光素子と、前記接触子の往復位置を挟むように前記投光素子に対向して配置されると共に前記投光素子から投じられた光を受光する受光素子とにより構成したところに特徴を有する。 The detecting element, a light receiving element for receiving a light projecting element to cast light, the light cast from the light emitting element while being arranged to face the light emitting element so as to sandwich the reciprocal position of the contactor characterized in was composed of.
【0015】 [0015]
このものによれば、検出素子を投光素子と受光素子とにより構成することにより、接触子の変位を光学的に検出するように構成したので、周囲に金属が配置されていたり磁界が形成されていたりしたとしても、それらにより悪影響を受けることなく、被検出対象物の変位量を適切に測定することができ、しかも、接触子の変位回数を適切に検出することができる。 According to this one, by constructing the detecting element by the light projecting element and a light receiving element, since it is configured to detect the displacement of the contact optically, magnetic field or are arranged metal around it is formed even or have them by without being adversely affected, it is possible to properly measure the amount of displacement of the detection object, moreover, it is possible to appropriately detect displacement number of the contact.
【0016】 [0016]
【発明の実施の形態】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(第1実施例) (First Embodiment)
以下、本発明の第1実施例について、図1ないし図8を参照して説明する。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. まず、図2は、接触式変位センサのセンサ本体の構成を概略的に示している。 First, FIG. 2 shows a schematic configuration of a sensor body of the contact-type displacement sensor. 接触式変位センサ1のセンサ本体(センサヘッド)2は、直方体状の本体部3と、本体部3内を図2中矢印A1,A2方向に往復変位する接触子4とを備えて構成されている。 Sensor body (sensor head) 2 of a contact type displacement sensor 1 includes a rectangular main body portion 3, it is configured by a contact 4 that reciprocally displaced in the main body portion 3 in FIG. 2 by the arrow A1, A2 direction there. 接触子4は、その先端部4aが半球状に形成されている。 Contact 4 has its front end portion 4a is formed in a hemispherical shape. この場合、接触子4は、必要に応じてゴムベロー(図示せず)が所定位置に装着されている構成であっても良い。 In this case, contact 4 is Gomubero (not shown) may be configured that is mounted in a predetermined position as necessary.
【0017】 [0017]
接触子4には、図3(a)に示すように、その変位方向に沿って、複数の第1の変位検出用スリット5a〜5n(本発明でいう検出パターン)が直線状に等間隔で形成されていると共に、複数の第2の変位検出用スリット6a〜6n(本発明でいう検出パターン)が直線状に等間隔で形成されている。 The contact 4, as shown in FIG. 3 (a), along the displacement direction, a plurality of first displacement detection slits 5a to 5n (detection pattern of the present invention) are equally spaced in a straight line together are formed, a plurality of second displacement detection slits 6a to 6n (detection pattern of the present invention) are formed at equal intervals in a straight line. また、接触子4には、これら複数の第1の変位検出用スリット5a〜5nおよび第2の変位検出用スリット6a〜6nの下方に、1つの原点検出用スリット7も形成されている。 Further, the contact 4, the lower of the plurality of first displacement detection slit 5a~5n and second displacement detection slit 6a to 6n, 1 single origin detection slit 7 is also formed.
【0018】 [0018]
この場合、複数の第1の変位検出用スリット5a〜5nと複数の第2の変位検出用スリット6a〜6nとの各々は、スリットの幅と隣接するスリット間の幅(図3中「d」にて示す)とが同一に形成されている。 In this case, each of the plurality of first displacement detection slit 5a~5n a plurality of second displacement detection slit 6a~6n, the width between the slits and the adjacent width of the slit (in FIG. 3, "d" at shown) are formed on the same. また、複数の第1の変位検出用スリット5a〜5nと複数の第2の変位検出用スリット6a〜6nとは、これらスリットの幅および隣接するスリット間の幅の半分の長さ(「d/2」)だけ互いにずれて形成されている。 Further, the plurality of first displacement detection slit 5a~5n a plurality of second displacement detection slit 6a to 6n, half the length of the width between slit width and adjacent slits ( "d / only 2 ") are formed offset from one another.
【0019】 [0019]
図1は、接触式変位センサ1の電気的な構成を機能ブロック図として示している。 Figure 1 shows an electrical configuration of a contact displacement sensor 1 as a functional block diagram. 接触式変位センサ1は、CPU8(本発明でいう検出手段、測定手段、カウント手段、制御手段)、第1の変位検出用投光素子9、第2の変位検出用投光素子10、原点検出用投光素子11、第1の変位検出用受光素子12、第2の変位検出用受光素子13、原点検出用受光素子14、記憶部15(本発明でいう記憶手段)および表示部16(本発明でいう警報手段)などを備えて構成されている。 Contact displacement sensor 1, CPU 8 (detecting means in the present invention, the measuring means, counting means, control means), a first displacement detection light projecting element 9, the second displacement detection light emitting element 10, the origin detection use the light projecting element 11, a first displacement detection light receiving element 12, the second displacement detection light receiving element 13, the reference point detection light receiving element 14, the storage unit 15 (storage means referred to in the present invention) and a display unit 16 (the and it is configured to include the warning means) and referred to in the invention. 各投光素子9〜11は、例えばLED(発光ダイオード)から構成されており、各受光素子12〜14は、例えばPD(フォトダイオード)から構成されている。 Each light emitting element 9 to 11, for example LED is composed of a (light emitting diodes), each of the light receiving elements 12 to 14 is composed of, for example PD (photodiode).
【0020】 [0020]
CPU8は、マイクロコンピュータを主体として構成されており、制御プログラムを実行して接触式変位センサ1の動作全般を制御する。 CPU8 is composed of a microcomputer mainly controls the overall operation of the contact displacement sensor 1 by executing a control program.
第1の変位検出用投光素子9と第1の変位検出用受光素子12とは、図3(b)、(c)に示すように、接触子4に形成された第1の変位検出用スリット5a〜5nの往復位置を挟むように対向して配置されている。 A first displacement detection light projecting element 9 and the first displacement detection light receiving element 12, FIG. 3 (b), the as shown in (c), for the first displacement detection formed in contact 4 They are arranged opposite so as to sandwich the reciprocal position of the slit 5a to 5n. 第1の変位検出用投光素子9は、CPU8から投光駆動信号が入力されると、光を所定時間にわたって投じる。 The first displacement detection light projecting element 9, the light emitting driving signal is inputted from the CPU 8, cast light over a predetermined period of time. 第1の変位検出用受光素子12は、第1の変位検出用投光素子9から投じられた光が第1の変位検出用スリット5a〜5nのいずれかを通じて受光されると、受光信号を第1のコンパレータ17に出力する。 First displacement detection light-receiving element 12, the light cast from the first displacement detection light projecting element 9 is received through one of the first displacement detection slit 5a to 5n, the light reception signal first output to the first comparator 17.
【0021】 [0021]
第1のコンパレータ17は、第1の変位検出用受光素子12から受光信号が入力されると、入力された受光信号の信号レベルと閾値とを比較し、受光信号の信号レベルが閾値以上であると、ハイレベルの検出信号をCPU8に出力し、これに対して、受光信号の信号レベルが閾値未満であると、ロウレベルの検出信号をCPU8に出力する。 The first comparator 17, the light receiving signal from the first displacement detection light receiving element 12 is inputted, compares the signal level with a threshold value of the input received signal is the signal level of the light reception signal is equal to or larger than the threshold If, and outputs a detection signal of high level to the CPU 8, which relative to the signal level of the received light signal is less than the threshold value, it outputs a low level detection signal to the CPU 8. これにより、CPU8は、第1のコンパレータ17から入力された検出信号がハイレベルであることを検出することにより、第1の変位検出用投光素子9から投じられた光が第1の変位検出用スリット5a〜5nのいずれかを通じて第1の変位検出用受光素子12に受光されたことを検出する。 Thus, CPU 8, by the detection signal input from the first comparator 17 detects that the high level, the light cast from the first displacement detection light emitting element 9 is first displacement detection It detects that it has been received by the first displacement detection light receiving element 12 through one of the use slits 5a to 5n.
【0022】 [0022]
第2の変位検出用投光素子10と第2の変位検出用受光素子13とは、図3(b)、(c)に示すように、各々が第1の変位検出用投光素子9と第1の変位検出用受光素子12とに隣接し、接触子4に形成された第2の変位検出用スリット6a〜6nの往復位置を挟むように対向して配置されている。 A second displacement detection light projecting element 10 and the second displacement detection light receiving element 13, FIG. 3 (b), the as shown in (c), each of the first displacement detection light projecting element 9 adjacent to the first displacement detection light receiving element 12 are arranged opposite to each other to sandwich the reciprocal position of the second displacement detection slits 6a~6n formed in contact 4. 第2の変位検出用投光素子10は、CPU8から投光駆動信号が入力されると、光を所定時間にわたって投じる。 The second displacement detection light projecting element 10 is cast when the light projecting drive signal is input from the CPU 8, a light for a predetermined time. 第2の変位検出用受光素子13は、第2の変位検出用投光素子10から投じられた光が第2の変位検出用スリット6a〜6nのいずれかを通じて受光されると、受光信号を第2のコンパレータ18に出力する。 Second displacement detection light-receiving element 13, the light cast from the second displacement detection light emitting element 10 is received through one of the second displacement detection slit 6a to 6n, the light reception signal first and outputs it to the second comparator 18.
【0023】 [0023]
第2のコンパレータ18は、第2の変位検出用受光素子13から受光信号が入力されると、入力された受光信号の信号レベルと閾値とを比較し、受光信号の信号レベルが閾値以上であると、ハイレベルの検出信号を反転回路19に出力し、これに対して、受光信号の信号レベルが閾値未満であると、ロウレベルの検出信号を反転回路19に出力する。 The second comparator 18, when receiving the signal from the second displacement detection light receiving element 13 is inputted, compares the signal level with a threshold value of the input received signal is the signal level of the light reception signal is equal to or larger than the threshold If, and outputs a detection signal of high level to the inverting circuit 19, whereas the signal level of the received light signal is less than the threshold value, it outputs a low level detection signal to the inverting circuit 19.
【0024】 [0024]
反転回路19は、入力された検出信号の正負を反転して出力するもので、つまり、第2のコンパレータ18からハイレベルの検出信号が入力されると、ロウレベルの検出信号をCPU8に出力し、これに対して、第2のコンパレータ18からロウレベルの検出信号が入力されると、ハイレベルの検出信号をCPU8に出力する。 Inverting circuit 19 is for inverting and outputting the sign of the input detection signal, that is, when the high-level detection signal from the second comparator 18 is input, and outputs a low level detection signal to the CPU 8, in contrast, when the detection signal of low level from the second comparator 18 is input, and outputs a detection signal of high level to the CPU 8. これにより、CPU8は、反転回路19から入力された検出信号がロウレベルであることを検出することにより、第2の変位検出用投光素子10から投じられた光が第2の変位検出用スリット6a〜6nのいずれかを通じて第2の変位検出用受光素子13に受光されたことを検出する。 Thus, CPU 8 is inverted by the detection signal input from the circuit 19 detects that a low level, the second light cast from the displacement detection light emitting element 10 is a second displacement detection slit 6a It detects that it has been received by the second displacement detection light receiving element 13 through one of ~6N.
【0025】 [0025]
原点検出用投光素子11と原点検出用受光素子14とは、図3(c)に示すように、各々が第1の変位検出用投光素子9や第2の変位検出用投光素子10と第1の変位検出用受光素子12や第2の変位検出用受光素子13との下方に、接触子4に形成された原点検出用スリット7の往復位置を挟むように対向して配置されている。 The origin detection light projecting element 11 and the origin detection light-receiving element 14, FIG. 3 as shown in (c), each first displacement detection light projecting element 9 and the second displacement detection light projecting element 10 When under the first displacement detection light receiving element 12 and the second displacement detection light receiving element 13, it is disposed opposite so as to sandwich the reciprocal position of the origin detection slit 7 formed in the contact 4 there. 原点検出用投光素子11は、CPU8から投光駆動信号が入力されると、光を所定時間にわたって投じる。 Reference point detection light emitting element 11, the light emitting driving signal is inputted from the CPU 8, cast light over a predetermined period of time. 原点検出用受光素子14は、原点検出用投光素子11から投じられた光が原点検出用スリット7を通じて受光されると、受光信号を第3のコンパレータ20に出力する。 Reference point detection light receiving element 14, the light cast from the origin detection light emitting element 11 is received through the origin detection slit 7, and outputs the received signal to the third comparator 20.
【0026】 [0026]
第3のコンパレータ20は、原点検出用受光素子14から受光信号が入力されると、入力された受光信号の信号レベルと閾値とを比較し、受光信号の信号レベルが閾値以上であると、ハイレベルの検出信号をCPU8に出力し、これに対して、受光信号の信号レベルが閾値未満であると、ロウレベルの検出信号をCPU8に出力する。 The third comparator 20, when the light receiving signal is input from the origin detection light-receiving element 14 compares the signal level with a threshold value of the input received signal, the signal level of the light receiving signal is equal to or greater than the threshold value, high outputs a level detection signal to the CPU 8, which relative to the signal level of the received light signal is less than the threshold value, it outputs a low level detection signal to the CPU 8. これにより、CPU8は、第3のコンパレータ20から入力された検出信号がハイレベルであることを検出することにより、原点検出用投光素子11から投じられた光が原点検出用スリット7を通じて原点検出用受光素子14に受光されたことを検出する。 Thus, CPU 8, by the detection signal input from the third comparator 20 detects that the high level, the origin detection light cast from the origin detection light emitting element 11 through the origin detection slit 7 It detects that it has been received in use receiving element 14.
【0027】 [0027]
ところで、第1の変位検出用スリット5a〜5nの全ては、接触子4が原点に位置している場合に第1の変位検出用投光素子9から投じられた光が第1の変位検出用受光素子12に受光されない位置に形成されている。 Incidentally, all of the first displacement detection slit 5a to 5n, a first light cast from the displacement detection light emitting element 9 is first displacement detected when contact 4 is located at the origin It is formed on not the light receiving position on the light receiving element 12. また、第2の変位検出用スリット6a〜6nの全ては、接触子4が原点に位置している場合に第2の変位検出用投光素子10から投じられた光が第2の変位検出用受光素子13に受光されない位置に形成されている。 Also, all of the second displacement detection slit 6a to 6n, a second light cast from the displacement detection light projecting element 10 of the second displacement detection when contact 4 is located at the origin It is formed on not the light receiving position on the light receiving element 13. つまり、CPU8は、第1の変位検出用投光素子9または第2の変位検出用投光素子10から投じられた光が第1の変位検出用受光素子12または第2の変位検出用受光素子13に受光されたことを検出することにより、接触子4が原点から変位していることを検出することが可能となる。 That, CPU 8, the first displacement detection light projecting element 9 or the second displacement light cast from the detection light projecting element 10 first displacement detection light receiving element 12 or the second displacement detection light-receiving element by detecting that it has been received by 13, it is possible to detect that the contact 4 is displaced from the origin.
【0028】 [0028]
原点検出用スリット7は、接触子4が原点に位置している場合に原点検出用投光素子11から投じられた光が原点検出用受光素子14に受光される位置に形成されている。 Origin detection slit 7 is formed at a position where light contact 4 is cast from the origin detection light emitting element 11 when being positioned at the origin is received by the reference point detection light receiving elements 14. つまり、CPU8は、原点検出用投光素子11から投じられた光が原点検出用受光素子14に受光されたことを検出することにより、接触子4が原点に位置していることを検出することが可能となる。 That, CPU 8, by detecting that the light cast from the origin detection light emitting element 11 is received by the reference point detection light receiving element 14, to detect that the contact 4 is located at the origin it is possible.
【0029】 [0029]
また、接触子4が変位すると、第1の変位検出用投光素子9から投じられた光が第1の変位検出用スリット5a〜5nのいずれかを通じて第1の変位検出用受光素子12に受光されたか否かに応じて、第1の変位検出用受光素子12から出力される検出信号のレベルが連続的に変化し、第1の変位検出用受光素子12から検出信号がパルス状となって出力される。 Further, when the contact 4 is displaced, the first displacement detection light projecting element light cast from 9 received by the first displacement detection light receiving element 12 through either of the first displacement detection slit 5a~5n depending on whether it is, the level of the detection signal output from the first displacement detection light receiving element 12 is continuously changed, the detection signal from the first displacement detection light receiving element 12 becomes a pulse-like is output. これと同様にして、接触子4が変位すると、第2の変位検出用投光素子10から投じられた光が第2の変位検出用スリット6a〜6nのいずれかを通じて第2の変位検出用受光素子13に受光されたか否かに応じて、第2の変位検出用受光素子13から出力される検出信号のレベルが連続的に変化し、第2の変位検出用受光素子13から検出信号がパルス状となって出力される。 In the same manner, when the contact 4 is displaced, the light cast from the second displacement detection light emitting element 10 is a second displacement detection light-receiving through one of the second displacement detection slit 6a~6n depending on whether it is received by the element 13, the level of the detection signal output from the second displacement detection light receiving element 13 is continuously changed, the detection signal from the second displacement detection light receiving element 13 pulses It is output as Jo.
【0030】 [0030]
これにより、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12や第2の変位検出用受光素子13から入力された検出信号のパルスの個数をカウントすることにより、接触子4の変位量を検出することが可能となり、被検出対象物の変位量を測定することが可能となる。 Thus, CPU 8, by counting the number of pulses of the input detection signal from the first displacement detection light receiving element 12 and the second displacement detection light receiving element 13, for detecting the amount of displacement of the contact 4 it becomes possible, it becomes possible to measure the amount of displacement of the detection object. 具体的には、第1の変位検出用スリット5a〜5nや第2の変位検出用スリット6a〜6nが例えば1ミクロンの等間隔で形成されていれば、1個のパルスをカウントすることにより、1ミクロンの変位量を検出することが可能となる。 Specifically, if it is formed at regular intervals of the first displacement detection slit 5a~5n and second displacement detection slit 6a~6n for example 1 micron, by counting one pulse, it is possible to detect the displacement amount of 1 micron. 尚、これら第1の変位検出用受光素子12や第2の変位検出用受光素子13から出力される検出信号は、本発明でいう交流信号に相当する。 The detection signals outputted from the first displacement detection light receiving element 12 and the second displacement detection light-receiving element 13 corresponds to the AC signal in the present invention.
【0031】 [0031]
記憶部15は、不揮発性のメモリから構成されており、詳しくは後述するように、CPU8が接触子4の変位回数をカウントする毎に、接触子4の変位回数を更新記憶する。 Storage unit 15 is composed of a nonvolatile memory, as will be described later in detail, CPU 8 is each time counting the displacement times of the contactor 4, updates and stores the displacement times of the contactor 4. この場合、記憶部15は、不揮発性の特性を有しているので、センサの駆動電源が一時的に断たれたとしても、接触子4の変位回数を保持している。 In this case, the storage unit 15, since they have non-volatile properties, even as a driving power source of the sensor is temporarily interrupted, and holds the displacement times of the contactor 4. 表示部16は、例えば液晶ディスプレイから構成されており、CPU8が測定した被検出対象物の変位量を表示したりする。 The display unit 16 composed of, for example, a liquid crystal display, and displays the amount of displacement of the detection object CPU8 was measured.
【0032】 [0032]
ところで、本実施例では、上記したように複数の第1の変位検出用スリット5a〜5nと複数の第2の変位検出用スリット6a〜6nとがスリットの幅および隣接するスリット間の幅の半分の長さだけ互いにずれて形成されていることにより、接触子4の変位量を検出することに加えて、接触子4の変位方向をも検出することが可能となる。 Incidentally, in this embodiment, half of the width between the slits and the plurality of first displacement detection slit 5a~5n a plurality of second displacement detection slit 6a~6n to width and adjacent slits as described above by the formed offset from one another by a length, in addition to detecting the amount of displacement of the contact 4, it is possible to detect the displacement direction of the contact 4.
【0033】 [0033]
つまり、複数の第1の変位検出用スリット5a〜5nと複数の第2の変位検出用スリット6a〜6nとが互いにずれて形成されている構成では、接触子4が下から上に向かって変位すると、最初に、第1の変位検出用投光素子9から投じられた光が第1の変位検出用スリット5a〜5nを通じて第1の変位検出用受光素子12に受光され、これに続いて、第2の変位検出用投光素子10から投じられた光が第2の変位検出用スリット6a〜6nを通じて第2の変位検出用受光素子13に受光されることになるので、図4に示すように、第1の変位検出用受光素子12から入力された検出信号のロウレベルからハイレベルへの立上がりの変化を検出した後に、第2の変位検出用受光素子13から入力された検出信号のハイレベルからロウレベル That is, in the configuration in which a plurality of first displacement detection slit 5a~5n and a plurality of second displacement detection slit 6a~6n are formed offset from one another, the contact 4 is from the bottom to the top displacement Then, first, the first displacement detection light projecting element light cast from 9 is received in the first displacement detection light receiving element 12 through the first displacement detection slits 5a to 5n, following which, since the second displacement detection light projecting element light cast from the 10 is to be received by the second displacement detection light receiving element 13 through the second displacement detection slits 6a to 6n, as shown in FIG. 4 to, after detecting the rise of the change to the high level from the low level of the detection signal inputted from the first displacement detection light receiving element 12, the high level of the detection signal input from the second displacement detection light receiving element 13 the low level from の立下りの変化を検出することにより、接触子4が下から上に向かって変位したことを検出することが可能となる。 By detecting the change in the fall, the contact 4 is made possible to detect that it has displaced from bottom to top.
【0034】 [0034]
これに対して、接触子4が上から下に向かって変位すると、最初に、第2の変位検出用投光素子10から投じられた光が第2の変位検出用スリット6a〜6nを通じて第2の変位検出用受光素子13に受光され、これに続いて、第1の変位検出用投光素子9から投じられた光が第1の変位検出用スリット5a〜5nを通じて第1の変位検出用受光素子12に受光されることになるので、第2の変位検出用受光素子13から入力された検出信号のハイレベルからロウレベルへの立下りの変化を検出した後に、第1の変位検出用受光素子12から入力された検出信号のロウレベルからハイレベルへの立上がりの変化を検出することにより、接触子4が上から下に向かって変位したことを検出することが可能となる。 In contrast, when the contact 4 is displaced from top to bottom, first, second light cast from the second displacement detection light emitting element 10 through the second displacement detection slit 6a to 6n 2 is received in the displacement detection light receiving elements 13, following which, the light cast from the first displacement detection light emitting element 9 is first displacement detection light-receiving through the first displacement detection slit 5a~5n it means that is received by the element 12, after detecting a change in the fall to the low level from the high level of the detection signal input from the second displacement detection light receiving element 13, a first displacement detection light-receiving element by detecting the rising edge of the change from the low level of the input detection signal to the high level from 12, it is possible to contact 4 detects that it has displaced from top to bottom.
【0035】 [0035]
次に、上記した構成の作用について、図5ないし図8も参照して説明する。 Next, the operation of the above configuration will be described with reference FIGS. 5-8 also.
【0036】 [0036]
CPU8は、一連の投受光処理を行う(ステップS1)。 CPU8 performs a series of light emitting and receiving process (step S1). 具体的には、CPU8は、投光駆動信号を第1の変位検出用投光素子9に出力することにより、第1の変位検出用投光素子9から光を投じさせ(ステップS2)、投光駆動信号を第2の変位検出用投光素子10に出力することにより、第2の変位検出用投光素子10から光を投じさせ(ステップS3)、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルを判定し(ステップS4)、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルを判定する(ステップS5)。 Specifically, CPU 8 by outputting a light projecting drive signal to the first displacement detection light projecting element 9, let cast light from the first displacement detection light projecting element 9 (step S2), the projection by outputting an optical drive signal to the second displacement detection light emitting element 10, from the two displacement detection light projecting element 10 let cast light (step S3), and the first displacement detection light receiving element 12 determining the level of the input detection signal through the first comparator 17 (step S4), and determines the level of the input detection signal from the second displacement detection light receiving element 13 through the second comparator 18 and the inverting circuit 19 (step S5).
【0037】 [0037]
ここで、第1の変位検出用投光素子9と第1の変位検出用受光素子12とにより形成される光軸(図8中Pにて示す)の第1の変位検出用スリット5a〜5nに対する位置と、第2の変位検出用投光素子10と第2の変位検出用受光素子13とにより形成される光軸(図8中Qにて示す)の第2の変位検出用スリット6a〜6nに対する位置とが、図8(a)に示す位置関係であれば、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであることを検出することになり(ステップS6にて「YES」、図4中T1参照) Here, the first displacement detection slit 5a~5n the optical axis formed by the first displacement detection light projecting element 9 and the first displacement detection light receiving element 12 (shown in in FIG. 8 P) position and, a second displacement detection light projecting element 10 of the second displacement detection slit 6a~ the optical axis formed by the second displacement detection light-receiving element 13 (shown in in FIG. 8 Q) for and position relative to 6n is, if the positional relationship shown in FIG. 8 (a), CPU 8, the level of the input detection signal through the first comparator 17 from the first displacement detection light receiving element 12 is located at the high level and results in detecting the level of the second displacement detection light receiving element 13 a second comparator 18 and the inverting circuit 19 inputted detection signal through is at a high level (at step S6 is "YES" see in Figure 4 T1) 接触子4が原点から変位したことを検出し、変位量をカウントする(ステップS7)。 It detects that the contact 4 is displaced from the origin, for counting the displacement amount (step S7). 尚、図8では、説明の都合上、接触子4を水平方向に90度回転させた状態で示している。 In FIG. 8, for convenience of explanation, it is shown in a state rotated 90 degrees from the contact 4 in the horizontal direction.
【0038】 [0038]
次いで、CPU8は、上記した一連の投受光処理を再度行う(ステップS8)。 Then, CPU 8 executes a series of light emitting and receiving process described above again (step S8). ここで、第1の変位検出用投光素子9と第1の変位検出用受光素子12とにより形成される光軸の第1の変位検出用スリット5a〜5nに対する位置と、第2の変位検出用投光素子10と第2の変位検出用受光素子13とにより形成される光軸の第2の変位検出用スリット6a〜6nに対する位置とが、図8(b)示す位置関係であれば、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであることを検出することになり(ステップS9にて「YES」、図4中T2参照)、接触子4が引続いて変位したことを検出し、 Here, the position relative to the first displacement and the detection light projecting element 9 first displacement detection light receiving element 12 and the first optical axis formed by the displacement detection slits 5a to 5n, the second displacement detection a position on the second displacement detection slit 6a~6n the optical axis formed by the use light projecting element 10 and the second displacement detection light receiving element 13, if the positional relationship shown FIG. 8 (b), the CPU8 the level of the first detection signal inputted from the displacement detection light receiving element 12 through the first comparator 17 is at a high level, and, from the second displacement detection light receiving element 13 and the second comparator 18 level of the input detection signal through the inverting circuit 19 is to detect that a low level ( "YES" in step S9, referring in FIG. 4 T2), detects that the contact 4 is displaced subsequently and, 位量を再度カウントする(ステップS10)。 Counting the position quantity again (step S10).
【0039】 [0039]
この場合、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12から入力された検出信号のロウレベルからハイレベルへの立上がりの変化を検出した後に、第2の変位検出用受光素子13から入力された検出信号のハイレベルからロウレベルへの立下りの変化を検出したので、接触子4が下から上に向かって変位したことを検出することになる。 In this case, CPU 8, after detecting the rise of the change to the high level from the low level of the first detection signal inputted from the displacement detection light receiving element 12, the detection input from the second displacement detection light receiving element 13 since the signal of high level to detect changes falling to a low level, will detect that the contact 4 are displaced from bottom to top.
【0040】 [0040]
これに対して、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであることを検出するか、または、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであることを検出すると(ステップS9にて「NO」)、投光駆動信号を原点検出用投光素子11に出力することにより、原点検出用投光素子11から光を投じさせ(ステップS11)、原点検出用受光素子14から第3のコンパレータ20を通じて入力された検出信号のレベルを判定する(ステップS12)。 In contrast, CPU 8 is either level of the first detection signal inputted from the displacement detection light receiving element 12 through the first comparator 17 detects that it is a low level, or the second displacement detection light-receiving When the level of the second comparator 18 and the inverting circuit 19 inputted detection signal through the device 13 detects that a high level ( "NO" in step S9), and the light projecting element for origin detection light projection driving signal by outputting to 11, let cast light from the reference point detection light emitting element 11 (step S11), and determines the level of the input detection signal from the origin detection light-receiving element 14 through the third comparator 20 (step S12 ).
【0041】 [0041]
ここで、CPU8は、原点検出用受光素子14から第3のコンパレータ20を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであることを検出すると(ステップS13にて「YES」)、接触子4が原点に復帰したことを検出し、変位回数をカウントする変位回数カウント処理を行う(ステップS14)。 Here, CPU 8, when the level of the detection signal from the reference point detection light receiving element 14 is inputted through the third comparator 20 detects that a high level ( "YES" at step S13), and contact 4 the origin detects that has returned to, perform displacement number counting processing for counting the displacement times (step S14).
【0042】 [0042]
つまり、本実施例では、CPU8は、原点検出用受光素子14から第3のコンパレータ20を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであることを検出することにより、第1の変位検出用受光素子12から出力された検出信号と第2の変位検出用受光素子13から出力された検出信号との位相差の正負が反転したことを検出し、接触子4が原点に復帰したことを検出する。 That is, in this embodiment, CPU 8, by the level of the detection signal from the reference point detection light receiving element 14 is inputted through the third comparator 20 detects that the high level, the first displacement detection light-receiving element It detects that the positive and negative phase difference between the output detection signal obtained by inverting the detection signal outputted from the 12 and the second displacement detection light receiving element 13, the contact 4 detects that it has returned to the origin.
【0043】 [0043]
さて、CPU8は、変位回数カウント処理に移行すると、これまでにカウントされた変位量に基づいて被検出対象物の変位量を測定し(ステップS15)、測定された被検出対象物の変位量を表示部16に表示させる(ステップS16)。 Now, CPU 8, when the process proceeds to the displacement number counting process, so far, based on the counted amount of displacement by measuring the displacement amount of the detection object (step S15), and the amount of displacement of the measured object detected object on the display unit 16 (step S16).
【0044】 [0044]
次いで、CPU8は、これまでにカウントされた変位量をリセット(初期化)し(ステップS17)、記憶部15に更新記憶されている変位回数を読出し(ステップS18)、読出された変位回数をインクリメント(「1」を加算)する(ステップS19)。 Then, CPU 8, this counted displacement until the reset (initialization) (Step S17), it reads the displacement times that are updated and stored in the storage unit 15 (step S18), and increments the displacement number which is read ( "1" is added) (step S19).
【0045】 [0045]
そして、CPU8は、インクリメントされた変位回数と予め設定された基準回数とを比較する(ステップS20)。 Then, CPU 8 compares the preset reference number of times the increment displacement count (step S20). ここで、基準回数は、作業者により任意に設定可能なものであり、作業者は、接触子4や駆動機構の性能や、接触子4や駆動機構の使用期間や、被検出対象物の種類や、場合によっては、接触式変位センサ1の設置環境などの様々な要因から判断した接触子4や駆動機構をメンテナンスするのに適切な回数を設定すれば良いものである。 Here, the reference number is one that can be set arbitrarily by the operator, the operator, the performance and the contact 4 and the drive mechanism, and the life of the contactor 4 and the drive mechanism, the type of the detected object and, in some cases, in which may be set an appropriate number of times to maintain the contact 4 and the drive mechanism is determined from various factors such as the installation environment contact displacement sensor 1.
【0046】 [0046]
ここで、CPU8は、インクリメントされた変位回数が基準回数に到達していなければ(ステップS20にて「NO」)、インクリメントされた変位回数を記憶部15に更新記憶させ(ステップS21)、上記したステップS1に戻り、これと同様の処理を繰返して行う。 Here, CPU 8, unless incremented displacement number has not reached the reference number of times (at step S20 is "NO"), it is updated and stored incremented displacement number in the storage unit 15 (step S21), and the above returning to step S1, repeating the same process as this.
【0047】 [0047]
これに対して、CPU8は、インクリメントされた変位回数が基準回数に到達していれば(ステップS20にて「YES」)、警報出力を行う(ステップS22)。 In contrast, CPU 8 is, if incremented displacement number reaches the reference number of times ( "YES" in step S20), an alarm output (step S22). 具体的には、CPU8は、例えば「接触子のメンテナンス時期です。接触子をメンテナンスして下さい」という表示ガイダンスを表示部16に表示させる。 Specifically, CPU8 is, for example, "is the maintenance time of the contact. Contact the Please Maintenance" is displayed on the display unit 16 display guidance that. また、CPU8は、接触式変位センサ1が音声出力機能を備えていれば、例えば「接触子のメンテナンス時期です。接触子をメンテナンスして下さい」という音声ガイダンスを出力させても良い。 In addition, CPU8 is, if the contact displacement sensor 1 is equipped with a voice output function, for example, "is the maintenance time of the contact. Contact the Please maintenance" may be to output the voice guidance that.
【0048】 [0048]
以上に説明した処理により、このようにして表示ガイダンスが表示されることにより、接触子4の変位回数が当該接触子4や駆動機構のメンテナンスを行うのに適した回数に到達したことを作業者に知らせることができ、接触子4や駆動機構のメンテナンスを作業者に促すことができる。 By the processing described above, by displaying guidance this way is displayed, the work that displacement number of contact 4 reaches to the number of times suitable for performing maintenance of the contact 4 and the drive mechanism's it can inform, it is possible to encourage the maintenance of contact 4 and the drive mechanism to the worker.
【0049】 [0049]
ところで、CPU8は、接触子4が引続いて変位したことを検出し、変位量を再度カウントした後には(ステップS10)、これ以降、上記したステップS8〜S14の処理と同様の処理を行う(ステップS23〜S29)。 Incidentally, CPU 8 detects that the contact 4 is displaced subsequently, is after counting the displacement again (step S10), and thereafter, performs the same processing steps S8~S14 described above ( step S23~S29). この場合は、第1の変位検出用投光素子9と第1の変位検出用受光素子12とにより形成される光軸の第1の変位検出用スリット5a〜5nに対する位置と、第2の変位検出用投光素子10と第2の変位検出用受光素子13とにより形成される光軸の第2の変位検出用スリット6a〜6nに対する位置とが、図8(c)に示す位置関係であれば、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであることを検出することになり(ステップS24にて「YES」、図4中T3参照)、接触子4が引続いて変位したことを In this case, a position relative to the first displacement detection slit 5a~5n the optical axis formed by the first displacement detection light projecting element 9 and the first displacement detection light receiving element 12, the second displacement any position relative to the second displacement detection slit 6a~6n optical axis formed by the detecting light projecting element 10 and the second displacement detection light receiving element 13 is, in a positional relationship shown in FIG. 8 (c) if, CPU 8, the level of the first detection signal inputted from the displacement detection light receiving element 12 through the first comparator 17 is the low level, and, from the second displacement detection light-receiving element 13 and the second comparator 18 and level of the input detection signal through the inverting circuit 19 is to detect that a low level ( "YES" in step S24, see in FIG. 4 T3), that the contact 4 is displaced subsequently 出し、変位量を再度カウントする(ステップS25)。 Out, and counts the amount of displacement again (step S25).
【0050】 [0050]
次いで、CPU8は、接触子4が引続いて変位したことを検出し、変位量を再度カウントした後には、これ以降も、上記したステップS8〜S14の処理と同様の処理を行う(ステップS30〜S36)。 Then, CPU 8 detects that the contact 4 is displaced subsequently, after counting the amount of displacement again, even after this, performs processing similar to the processing in step S8~S14 described above (step S30~ S36). この場合は、第1の変位検出用投光素子9と第1の変位検出用受光素子12とにより形成される光軸の第1の変位検出用スリット5a〜5nに対する位置と、第2の変位検出用投光素子10と第2の変位検出用受光素子13とにより形成される光軸の第2の変位検出用スリット6a〜6nに対する位置とが、図8(d)に示す位置関係であれば、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであることを検出することになり(ステップS31にて「YES」、図4中T4参照)、接触子4が引続いて変位したことを In this case, a position relative to the first displacement detection slit 5a~5n the optical axis formed by the first displacement detection light projecting element 9 and the first displacement detection light receiving element 12, the second displacement any position relative to the second displacement detection slit 6a~6n optical axis formed by the detecting light projecting element 10 and the second displacement detection light receiving element 13 is, in a positional relationship shown in FIG. 8 (d) if, CPU 8, the level of the first detection signal inputted from the displacement detection light receiving element 12 through the first comparator 17 is the low level, and, from the second displacement detection light-receiving element 13 and the second comparator 18 and level of the input detection signal through the inverting circuit 19 is to detect that a high level ( "YES" in step S31, see in FIG. 4 T4), the contact 4 is displaced subsequently the 出し、変位量を再度カウントする(ステップS32)。 Out, and counts the amount of displacement again (step S32).
【0051】 [0051]
そして、CPU8は、接触子4が引続いて変位したことを検出し、変位量を再度カウントした後には、これ以降も、上記したステップS8〜S14の処理と同様の処理を行う(ステップS37〜S43)。 Then, CPU 8 detects that the contact 4 is displaced subsequently, after counting the amount of displacement again, even after this, performs processing similar to the processing in step S8~S14 described above (step S37~ S43). この場合は、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであることを検出することになり(ステップS38にて「YES」、図4中T5参照)、接触子4が引続いて変位したことを検出し、変位量を再度カウントする(ステップS39)。 In this case, CPU 8, the level of the input detection signal through the first comparator 17 from the first displacement detection light receiving element 12 is at a high level, and, from the second displacement detection light-receiving element 13 second level of the comparator 18 and the inverting circuit input detection signal through 19 is to detect that a high level ( "YES" in step S38, the reference in Figure 4 T5), with contact 4 is subsequently detects that displaced counts the displacement again (step S39).
【0052】 [0052]
以上に説明したように第1実施例によれば、接触式変位センサ1において、接触子4の変位回数をカウントし、カウントされた変位回数が予め設定された基準回数に到達すると、例えば「接触子のメンテナンス時期です。接触子をメンテナンスして下さい」という表示ガイダンスを表示させるなどの警報出力を行うように構成したので、予め基準回数として接触子4や当該接触子4を駆動させるための駆動機構のメンテナンスを行うのに適した回数を設定しておくことにより、接触子4や駆動機構のメンテナンスが必要となる時期を作業者に適切に知らせることができ、接触子4や駆動機構のメンテナンスが必要となる適切な時期に、作業者が接触子4や駆動機構のメンテナンスを確実に行うことができる。 According to the first embodiment as described above, the contact displacement sensor 1 counts the displacement times of the contactor 4, the counted displacement number reaches a preset reference number of times, for example "Contact is the maintenance time of the child. since it is configured so as to perform the alarm output, such as to display a display guidance that should be maintenance of the contacts ", the drive for driving the contact 4 and the contact 4 in advance as a reference number of times by setting the number of times suitable for performing maintenance of the mechanism, the maintenance of contact 4 and the time at which maintenance of the drive mechanism is required can be appropriately inform the operator, the contact 4 and the drive mechanism the right time is required, the operator can be reliably maintained in contact 4 and the drive mechanism.
【0053】 [0053]
また、この場合、カウントされた変位回数を不揮発性の記憶部15に記憶させ、変位回数をカウントする毎に、記憶部15に記憶されている変位回数を更新記憶させ、更新記憶された変位回数が予め設定された基準回数に到達すると、警報出力を行うように構成したので、センサの駆動電源を一時的に断ったとしても、接触子4の変位回数が初期化されることなく、接触子4の変位回数を保持させておくことができる。 In this case, the count displacement number is stored in a nonvolatile storage unit 15, each time counting the displacement times, the displacement count stored in the storage unit 15 is updated and stored, updated and stored displacement number When but reaches the reference number of times set in advance, it is arranged that an alarm output, even turned down drive power of the sensor temporarily without displacement number of contact 4 is initialized, the contact displacement number 4 can be allowed to hold.
【0054】 [0054]
さらに、この場合、接触子4の変位を光学的に検出するように構成したので、周囲に金属が配置されていたり磁界が形成されていたりしたとしても、それらにより悪影響を受けることなく、被検出対象物の変位量を適切に測定することができ、しかも、接触子4の変位回数を適切に検出することができる。 Furthermore, in this case, since it is configured to detect the displacement of the contact 4 optically, even or are formed the magnetic field or are arranged metal around without being adversely affected by them to be detected the amount of displacement of the object can be properly determined, moreover, it is possible to appropriately detect the displacement frequency of contact 4.
【0055】 [0055]
(第2実施例) (Second Embodiment)
次に、本発明の第2実施例について、図9ないし図11を参照して説明する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 尚、上記した第1実施例と同一部分については説明を省略し、異なる部分について説明する。 Note that for the first embodiment and the same parts described above will be omitted, different parts will be described. 上記した第1実施例は、接触子4に原点検出用スリット7が形成されていることにより、接触子4が原点に復帰したか否かを判定することにより、変位回数をカウントする変位回数カウント処理を行うように構成したものであるが、これに対して、この第2実施例は、検出信号のレベルが反転したか否かを判定することにより、ストローク回数をカウントするストローク回数カウント処理を行うように構成したものである。 First embodiment described above, by being the origin detection slit 7 into contact 4 is formed by determining whether the contact 4 is returned to the origin, the displacement number count for counting the displacement times although those configured to perform processing, contrast, the second embodiment, by the level of the detection signal to determine whether the reversal, the number of strokes counting process for counting the number of strokes it is obtained by configured to perform.
【0056】 [0056]
すなわち、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであることを検出した後に(ステップS53)、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであることを検出すると(ステップS58にて「YES」)、ストローク回数カウント処理に移行する(ステップS59)。 That, CPU 8, the level of the first detection signal inputted from the displacement detection light receiving element 12 through the first comparator 17 is at a high level and the second comparator from the second displacement detection light receiving element 13 18 and after the level of the detection signal inputted through the inverting circuit 19 detects that the high level (step S53), the first displacement detection light receiving element 12 of the first input detection signal through comparator 17 level is the low level, and at the second from the displacement detection light receiving element 13 when the level of the second comparator 18 and the inversion detection signal inputted through the circuit 19 detects that the high level (step S58 " YES "), the process proceeds to the stroke number count processing (step S59).
【0057】 [0057]
また、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであることを検出した後に(ステップS56)、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであることを検出すると(ステップS63にて「YES」)、ストローク回数カウント処理に移行する(ステップS64)。 Further, CPU 8, the level of the first detection signal inputted from the displacement detection light receiving element 12 through the first comparator 17 is at a high level and the second comparator from the second displacement detection light receiving element 13 18 and after the level of the detection signal inputted through the inverting circuit 19 detects that a low level (step S56), the level of the input detected signal through the first displacement detection light receiving element 12 first comparator 17 "There is a high level, and, when the level of the second displacement detection light receiving element 13 a second comparator 18 and input through the inverting circuit 19 the detection signal is detected to be a high level at (step S63 YES "), the process proceeds to the stroke number count processing (step S64).
【0058】 [0058]
また、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであることを検出した後に(ステップS61)、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであることを検出すると(ステップS68にて「YES」)、ストローク回数カウント処理に移行する(ステップS69)。 Further, CPU 8, the level of the first detection signal inputted from the displacement detection light receiving element 12 through the first comparator 17 is the low level, and, from the second displacement detection light-receiving element 13 and the second comparator 18 and after the level of the input detection signal through the inverting circuit 19 detects that a low level (step S61), the level of the input detected signal through the first displacement detection light receiving element 12 first comparator 17 at a high level, and, when the level of the second displacement detection light receiving element 13 a second comparator 18 and the inverting circuit 19 inputted detection signal through detects that a low level (at step S68 is "YES" ), the process proceeds to the stroke number count processing (step S69).
【0059】 [0059]
さらに、CPU8は、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがハイレベルであることを検出した後に(ステップS66)、第1の変位検出用受光素子12から第1のコンパレータ17を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであり、且つ、第2の変位検出用受光素子13から第2のコンパレータ18および反転回路19を通じて入力された検出信号のレベルがロウレベルであることを検出すると(ステップS73にて「YES」)、ストローク回数カウント処理に移行する(ステップS74)。 Furthermore, CPU 8, the level of the first detection signal inputted from the displacement detection light receiving element 12 through the first comparator 17 is the low level, and, from the second displacement detection light-receiving element 13 and the second comparator 18 and after the level of the input detection signal through the inverting circuit 19 detects that the high level (step S66), the level of the input detected signal through the first displacement detection light receiving element 12 first comparator 17 There is a low level, and, when the level of the second displacement detection light receiving element 13 a second comparator 18 and the inverting circuit 19 inputted detection signal through detects that a low level (at step S73 is "YES" ), the process proceeds to the stroke number count processing (step S74).
【0060】 [0060]
そして、CPU8は、ストローク回数カウント処理に移行すると、インクリメントされたストローク回数と予め設定された第1の基準回数とを比較し(ステップS81)、インクリメントされたストローク回数が第1の基準回数に到達していれば(ステップS81にて「YES」)、第1の警報出力を行う(ステップS82)。 Then, CPU 8, when the process proceeds to the stroke number count processing is compared with the first reference number set in advance and incremented number of strokes (step S81), the incremented number of strokes reaches the first reference number if (step "YES" at S81), it performs the first alarm output (step S82). 次いで、CPU8は、インクリメントされたストローク回数と予め設定された第2の基準回数とを比較し(ステップS83)、インクリメントされたストローク回数が第2の基準回数に到達していれば(ステップS83にて「YES」)、第2の警報出力を行う(ステップS84)。 Then, CPU 8, the second comparing the reference number of times (step S83) set in advance and incremented number of strokes, if the incremented number of strokes long as it reaches the second reference number (in Step S83 "YES"), the second alarm output performing Te (step S84).
【0061】 [0061]
この場合、第1の基準回数は第2の基準回数よりも小さな値であり、接触子4が駆動機構よりもメンテナンスが必要となる周期が短いことから、第1の警報出力は、接触子4のメンテナンスを促すための警報出力であり、第2の警報出力は、駆動機構のメンテナンスを促すための警報出力である。 In this case, the first reference number is smaller than the second reference count, since the period of contact 4 is required maintenance than the driving mechanism is short, the first alarm output, contact 4 an alarm output for urging the maintenance of, the second alarm output is an alarm output for urging the maintenance of the drive mechanism.
【0062】 [0062]
以上に説明したように第2実施例によれば、接触式変位センサ1において、接触子4のストローク回数をカウントし、カウントされたストローク回数が予め設定された基準回数に到達すると、例えば「接触子のメンテナンス時期です。接触子をメンテナンスして下さい」という表示ガイダンスを表示させるなどの警報出力を行うように構成したので、上記した第1実施例に記載したものと同様にして、予め基準回数として接触子4や駆動機構のメンテナンスを行うのに適した回数を設定しておくことにより、接触子4や駆動機構のメンテナンスが必要となる時期を作業者に適切に知らせることができ、接触子4や駆動機構のメンテナンスが必要となる適切な時期に、作業者が接触子4や駆動機構のメンテナンスを確実に行うことができる。 According to the second embodiment as described above, the contact displacement sensor 1, counts the number of strokes of the contact 4, the counted number of strokes reaches the preset reference number of times, for example "Contact This maintenance time of the child. since it is configured to perform alarm output such as displaying a display guidance that Please maintain contact ", in a manner similar to that described in the first embodiment described above, pre-reference number as by setting the number of times suitable for the maintenance of the contact 4 and the drive mechanism, it is possible to properly notify the time when maintenance of the contact 4 and the drive mechanism is required to the operator, the contact the appropriate time maintenance of 4 and the drive mechanism is required, the operator can be reliably maintained in contact 4 and the drive mechanism.
【0063】 [0063]
また、この場合は、上記した第1実施例に記載したもの比較すると、接触子4が原点に復帰したか否かを判定して変位回数をカウントするのではなく、検出信号のレベルが反転したか否かを判定してストローク回数をカウントするように構成したので、原点検出用スリット7、原点検出用投光素子11および原点検出用受光素子14を不要とすることができる。 Also, in this case, when compared those described in the first embodiment described above, instead of counting displacement number to determine whether the contact 4 is returned to the origin, the level of the detection signal is inverted since it is configured to count the number of strokes to determine whether or not the origin detection slit 7, the reference point detection light projecting element 11 and the reference point detection light receiving element 14 can be eliminated.
【0064】 [0064]
(その他の実施例) (Other embodiments)
本発明は、上記した実施例にのみ限定されるものではなく、以下のように変形または拡張することができる。 The present invention is not limited to the embodiments described above, it can be modified or expanded as follows.
接触子の変位を検出する毎に変位回数をインクリメントし、インクリメントされた変位回数が基準回数に到達したときに警報出力を行う構成に限らず、予め基準回数を設定しておき、接触子の変位を検出する毎に基準回数をデクリメントし、デクリメントされた基準回数が所定回数(例えば「0」)に到達したときに警報出力を行う構成であっても良い。 Incrementing a displacement number to each time of detecting the displacement of the contact is not limited to the configuration in which an alarm output when the increment displacement count has reached the reference number of times, set in advance a reference number, the displacement of the contact It decrements the reference count for each to detect a decremented reference number may be configured to perform a warning output when it reaches the predetermined number (e.g., "0").
【0065】 [0065]
第2の変位検出用受光素子とCPUとの間の反転回路が省略された構成であっても良く、また、第1の変位検出用受光素子とCPUとの間に反転回路が追加された構成であっても良い。 Inverting circuit may be a abbreviated configuration between the second displacement detection light-receiving element and the CPU, also a configuration in which the inverting circuit is added between the first displacement detection light-receiving element and the CPU it may be.
変位検出用のスリットを2列で形成する構成に限らず、変位検出用のスリットを3列以上に形成する構成し、3個以上の変位検出用投光素子を配置すると共に、3個以上の変位検出用受光素子を配置する構成であっても良い。 Not limited to the structure that forms a slit for displacement detection in two rows, forming a slit for displacement detection in three or more rows constitute, together with arranging three or more displacement detection light projecting element, three or more It is configured to place the displacement detection light receiving elements may be.
【0066】 [0066]
図12に示すように、接触子21に変位検出用のスリット22a〜22nを1列で形成し、2本の光軸(図12中P´,Q´にて示す)が互いにずれて形成されるように2個の変位検出用投光素子23,24および2個の変位検出用受光素子25,26を配置する構成であっても良い。 As shown in FIG. 12, the slits 22a~22n for displacement detection contact 21 is formed in one row, two optical axes (in FIG. 12 P', shown in Q') is formed offset from one another it may be configured to place the two displacement detection light projecting element 23, 24 and two displacement detection light-receiving element 25 and 26 so that. この場合、スリットの幅および隣接するスリット間の幅(図12中「d´」にて示す)は、2本の光軸間の幅(図12中「a」にて示す)よりも、幅広に形成されることになる。 In this case, (indicated by in FIG. 12, "d'") width between slit width and adjacent slits, than the width between the two optical axes (in FIG. 12 indicated by "a"), wide It will be formed.
【0067】 [0067]
接触子にスリットを形成することにより、接触子の変位を光学的に検出する構成に限らず、接触子に磁気パターン(N極およびS極の配列パターン)を設けることにより、接触子の変位を磁気的に検出する構成であっても良い。 By forming the slits in the contacts it is not limited to the configuration for detecting the displacement of the contact optically, by providing a magnetic pattern (arrangement pattern of N and S poles) in contact, the displacement of the contact it may be magnetically detected configure.
図13に示すように、接触子31の先端部に球体32を設け、被検出対象物が変位すると、接触子31が軸33を回動中心として図13中B1,B2方向に回動することに応じて、扇形状に形成された検出部34も軸33を回動中心として図13中C1,C2方向に回動し、検出部34に円弧状に形成された検出パターン34a〜34eの円弧状の回動を検出することにより、被検出対象物の変位量を測定する構成であっても良い。 As shown in FIG. 13, a sphere 32 provided at the distal end portion of the contact 31, when the detection object is displaced, the contact 31 is rotated 13 in B1, B2 direction the shaft 33 as the pivot center depending on pivots the detector 34 is also the axis 33 formed in a fan shape in FIG. 13 in C1, C2 direction as the pivot center, the circle of the detection pattern 34a~34e formed arcuately detector 34 by detecting the arcuate rotation, it may be configured to measure the displacement of the detection object. この場合、被検出対象物の変位量を測定する方法は、光学的な方法であっても良いし、磁気的な方法であっても良い。 In this case, a method of measuring the displacement of the detection object may be a optical method may be a magnetic method.
【0068】 [0068]
図14に示すように、被検出対象物が変位すると、コイル41a〜41cが巻付けられた鉄心42内を接触子(図示せず)と連結されたコア43が図14中D1,D2方向に移動することにより、接触子の変位を検出し、被検出対象物の変位量を測定する構成であっても良い。 As shown in FIG. 14, when the detection object is displaced, the inside core 42 coil 41a~41c is wound contact in the core 43 which is connected (not shown) in FIG. 14 D1, the D2 direction by moving, detects the displacement of the contact may be configured to measure the displacement of the detection object. この場合は、コイル41a〜41cから出力された信号に基づいて接触子の絶対位置を検出することが可能となる。 In this case, it is possible to detect the absolute position of the contacts on the basis of the signal output from the coil 41a to 41c.
接触子にスリットが直接形成される構成に限らず、接触子とは別体に設けられたスピンドルにスリットが形成される構成であっても良い。 Not limited to the configuration in which the slits are formed directly on the contacts may be configured to the contact slit to a spindle which is disposed separately are formed.
【0069】 [0069]
【発明の効果】 【Effect of the invention】
以上の説明によって明らかなように、本発明の接触式変位センサによれば、検出手段から出力された検出信号に基づいて接触子の変位回数をカウントし、カウント手段においてカウントされた変位回数が予め設定された基準回数に到達すると、警報手段が警報出力を行うようになるので、予め基準回数として接触子や駆動機構のメンテナンスを行うのに適した回数を設定しておくことにより、接触子の変位回数が当該接触子や駆動機構のメンテナンスを行うのに適した回数に到達したときに警報出力を行わせることができる。 As evidenced by the above description, according to the contact displacement sensor of the present invention, it counts the displacement frequency of contacts based on the detection signal outputted from the detection means, counting displacement count in counting means previously Upon reaching the set reference number, since the alarm means is to perform an alarm output, by setting the number of times suitable for the maintenance of contact and drive mechanism as previously reference number, of the contact it can perform a warning output when the displacement count has reached the number of times suitable for the maintenance of the contact and drive mechanism. これにより、接触子や駆動機構のメンテナンスが必要となる時期を作業者に適切に知らせることができ、メンテナンスが必要となる適切な時期に、作業者が接触子や駆動機構のメンテナンスを確実に行うことができる。 Carried thereby, the timing of maintenance of the contact and drive mechanism is required can be appropriately inform the operator, at the appropriate time needed maintenance, to ensure the maintenance worker contact and drive mechanism be able to.
【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
【図1】 本発明の第1実施例を示す機能ブロック図【図2】 センサ本体部の構成を概略的に示す図【図3】 投光素子および受光素子と接触子との位置関係を概略的に示す図【図4】 検出信号のレベルの変化を示すタイムチャート【図5】 フローチャート【図6】 図5相当図【図7】 図5相当図【図8】 光軸と変位検出用スリットとの位置関係を概略的に示す図【図9】 本発明の第2実施例を示すフローチャート【図10】 図9相当図【図11】 図9相当図【図12】 変形例を示す図【図13】 他の変形例を示す図【図14】 他の変形例を示す【符号の説明】 1 is a schematic of the positional relationship between the Figure 3 shows the light projecting element and a light receiving element and the contacts functional block diagram showing a first embodiment of the arrangement of Figure 2 the sensor body shown schematically in the present invention time chart FIG. 5 is a flowchart FIG. 6 is a view corresponding to FIG. 5 FIG. 7 is a view corresponding to FIG. 5 [8] and the optical axis displacement detection slits which indicates a change in the level of Figure 4 shows the detection signal showing manner It shows a second flowchart showing an embodiment [10] FIG 9 corresponding to FIG 11 9 corresponding to FIG 12 shows a modification of FIG. 9 the invention schematically showing the positional relationship between [ Figure 13 shows the Figure 14 is a another modification showing another modification eXPLANATION oF REFERENCE nUMERALS
図面中、1は接触式変位センサ、4は接触子、5a〜5nは第1の変位検出用スリット(検出パターン、スリット)、6a〜6nは第2の変位検出用スリット(検出パターン、スリット)、8はCPU(検出手段、測定手段、カウント手段、制御手段)、9は第1の変位検出用投光素子(投光素子)、10は第2の変位検出用投光素子(投光素子)、11は原点検出用投光素子(投光素子)、12は第1の変位検出用受光素子(受光素子)、13は第2の変位検出用受光素子(受光素子)、14は原点検出用受光素子(受光素子)、15は記憶部(記憶手段)、16は表示部(警報手段)、21は接触子、22a〜22nは変位検出用のスリット(検出パターン、スリット)、23,24は変位検出用投光素子(投光素子)、25,26は変 In the drawings, the contact displacement sensor 1, the contactor, 5a to 5n first displacement detection slit 4 (detection pattern, slit), 6a to 6n and the second displacement detection slit (detection pattern, slit) , the CPU 8 (detecting means, measuring means, counting means, control means), a first displacement detection light emitting element (light emitting element) 9, the 10 second displacement detection light emitting element (light emitting element ), 11 point detection light emitting element (light emitting element), 12 first displacement detection light-receiving element (light receiving element), a second displacement detection light-receiving element 13 (light receiving element), 14 origin detecting use the light receiving element (light receiving element), 15 storage unit (storage means), a display unit (alarm means) 16, 21 contact, 22a through 22n is slit for displacement detection (detection pattern, slit), 23 and 24 displacement detection light emitting element (light emitting element), 25 and 26 are strange 検出用受光素子(受光素子)、31は接触子である。 Detecting light-receiving element (light receiving element), 31 is a contact.

Claims (4)

  1. 被検出対象物に接触可能に構成され、接触時と非接触時との間で所定方向に往復変位する接触子と、 Is configured to be in contact with the detection object, a contact that reciprocally displaced in a predetermined direction between the time and the non-contact time of contact,
    前記接触子の変位を検出し、その検出された変位に応じた検出信号を出力する検出手段と、 Detecting a displacement of the contact, a detecting means for outputting a detection signal corresponding to the detected displacement,
    前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記被検出対象物の変位量を測定する測定手段とを備えた接触式変位センサにおいて、 In the contact type displacement sensor and a measurement unit operable to measure the amount of displacement of the detection object based on a detection signal output from said detecting means,
    前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記接触子の変位回数をカウントするカウント手段と、 Counting means for counting the displacement times of the contactor on the basis of a detection signal output from said detecting means,
    前記カウント手段においてカウントされた変位回数が予め設定された基準回数に到達したときに警報出力を行う警報手段とを備え And a warning means for performing warning output when the count displacement count in said counting means has reached a preset reference number of times,
    前記接触子は、複数の検出パターンを備えて構成され、 The contactor is configured to include a plurality of detection patterns,
    前記検出手段は、各々が前記複数の検出パターンを検出するように配置されると共に前記接触子の変位に応じて位相の互いに異なる交流信号を出力する複数の検出素子により構成され、 The detection means is composed of a plurality of detecting elements that output different AC signal phase in accordance with the displacement of the contactor with each being arranged to detect the plurality of detection patterns,
    前記カウント手段は、前記複数の検出素子の各々から出力された交流信号の位相差を検出し、位相差の正負の反転を検出したときに前記接触子の変位回数をカウントすることを特徴とする接触式変位センサ。 The counting means detects a phase difference between the output AC signal from each of said plurality of detector elements, characterized by counting the displacement times of the contactor when it detects a positive and negative inversion of the phase difference contact displacement sensor.
  2. 請求項1に記載した接触式変位センサにおいて、 In the contact type displacement sensor according to claim 1,
    前記接触子は、前記複数の検出パターンとして前記接触子の変位方向に沿って形成された複数のスリットを備えて構成され、 The contactor is configured to include a plurality of slits formed along a direction of displacement of the contactor as the plurality of detection patterns,
    前記検出素子は、光を投じる投光素子と、前記接触子の往復位置を挟むように前記投光素子に対向して配置されると共に前記投光素子から投じられた光を受光する受光素子とにより構成されていることを特徴とする接触式変位センサ。 The detecting element, a light receiving element for receiving a light projecting element to cast light, the light cast from the light emitting element while being arranged to face the light emitting element so as to sandwich the reciprocal position of the contactor contact displacement sensor, characterized in that it is constituted by.
  3. 被検出対象物に接触可能に構成され、接触時と非接触時との間で所定方向に往復変位する接触子と、 Is configured to be in contact with the detection object, a contact that reciprocally displaced in a predetermined direction between the time and the non-contact time of contact,
    前記接触子の変位を検出し、その検出された変位に応じた検出信号を出力する検出手段と、 Detecting a displacement of the contact, a detecting means for outputting a detection signal corresponding to the detected displacement,
    前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記被検出対象物の変位量を測定する測定手段とを備えた接触式変位センサにおいて、 In the contact type displacement sensor and a measurement unit operable to measure the amount of displacement of the detection object based on a detection signal output from said detecting means,
    前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記接触子の変位回数をカウントするカウント手段と、 Counting means for counting the displacement times of the contactor on the basis of a detection signal output from said detecting means,
    前記カウント手段においてカウントされた変位回数が予め設定された基準回数に到達したときに警報出力を行う警報手段と、 And warning means for performing warning output when the counted displaced count has reached the reference number of times set in advance in the counting means,
    不揮発性の記憶手段と、 And a non-volatile memory means,
    前記カウント手段においてカウントされた変位回数を前記記憶手段に記憶させ、前記カウント手段が変位回数をカウントする毎に、前記記憶手段に記憶されている変位回数を更新記憶させる制御手段とを備え、 Said counting displacement count in counting means is stored in the storage means, for each of the counting means for counting the displacement number, and a control means for updating and storing a displacement number stored in the storage means,
    前記警報手段は、前記記憶手段に更新記憶された変位回数が予め設定された基準回数に到達したときに警報出力を行い、 It said alarm unit performs warning output when displacement number which is updated and stored in the storage means has reached a reference number of times set in advance,
    前記接触子は、複数の検出パターンを備えて構成され、 The contactor is configured to include a plurality of detection patterns,
    前記検出手段は、各々が前記複数の検出パターンを検出するように配置されると共に前記接触子の変位に応じて位相の互いに異なる交流信号を出力する複数の検出素子により構成され、 The detection means is composed of a plurality of detecting elements that output different AC signal phase in accordance with the displacement of the contactor with each being arranged to detect the plurality of detection patterns,
    前記カウント手段は、前記複数の検出素子の各々から出力された交流信号の位相差を検出し、位相差の正負の反転を検出したときに前記接触子の変位回数をカウントすることを特徴とする接触式変位センサ。 The counting means detects a phase difference between the output AC signal from each of said plurality of detector elements, characterized by counting the displacement times of the contactor when it detects a positive and negative inversion of the phase difference contact displacement sensor.
  4. 請求項3に記載した接触式変位センサにおいて、 In the contact type displacement sensor according to claim 3,
    前記接触子は、前記複数の検出パターンとして前記接触子の変位方向に沿って形成された複数のスリットを備えて構成され、 The contactor is configured to include a plurality of slits formed along a direction of displacement of the contactor as the plurality of detection patterns,
    前記検出素子は、光を投じる投光素子と、前記接触子の往復位置を挟むように前記投光素子に対向して配置されると共に前記投光素子から投じられた光を受光する受光素子とにより構成されていることを特徴とする接触式変位センサ。 The detecting element, a light receiving element for receiving a light projecting element to cast light, the light cast from the light emitting element while being arranged to face the light emitting element so as to sandwich the reciprocal position of the contactor contact displacement sensor, characterized in that it is constituted by.
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