JP3984692B2 - Substrate width reversing device - Google Patents

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【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、フィルム張付装置におけるフィルム張り付けの前工程で、基板を幅方向にセンタリングした後に、これを180°表裏を反転するようにされた基板幅寄せ反転装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
感光性樹脂層を有する積層体フィルムを、プリント配線盤用基板、液晶パネル用ガラス基板、プラズマディスプレイ用基板に例示される基板の表面に張り付けるフィルム張付装置がある。
【0003】
このようなフィルム張付装置は、基板搬送装置により基板を搬送させ、その上面に前記積層体フィルムを、その感光性樹脂層が対面するようにして張り付けるものであり、この積層体フィルムは、連続的あるいは基板長さに応じて切断して、前記基板と共に、回転する一対のラミネーティングロール間に通すことによって張り付けるようにされている。
【0004】
近年、プリント配線盤の回路、液晶パネルやプラズマディスプレイにおける画素が高精細化して、基板表面にわずかな埃が付着しても、そのままフィルムを張り付けて後工程でパターンを焼き付けた場合、その埃等が付着した部分の画素が不良品の原因となってしまうという問題点を生じている。
【0005】
これに対して、基板のフィルム張付面を下向き(下面)とし、この下面に下側からフィルムを張り付けるようにしたフィルム張付方法及び装置が提案されている。
【0006】
この場合、フィルム張付面は搬送ローラ等に接触させることができないので、フィルム張付面を上向きにしてラミネーティングロール近傍まで搬送し、ここで基板を、フィルム張付面と反対側の面から吸着して180°反転した状態で、そのままラミネーティングロール間に供給することになる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、基板を、ラミネーティングロール間に送り込む場合、この基板の幅方向中央位置をラミネーティングロールにおけるセンターラインに一致させる、いわゆる幅寄せと称されるセンタリング工程が必要となる。
【0008】
従来のセンタリングを行うための基板幅寄せ装置は、搬送ローラ上の基板を、搬送ローラと直交する方向に回転する多数のローラによって持ち上げた状態で、基板幅方向両端を幅寄せ板等によって基板幅方向内側に押してセンタリングするようにされている。
【0009】
ここで、前述のように、基板のフィルム張付面を下向きにしてフィルムを張り付ける下張り型のフィルム張付装置においては、基板反転の際に、フィルム張付面の反対側面である下側面を吸着手段によって吸着し、180°反転する必要があるが、基板搬送ローラ近傍において、基板を下側面から吸着することは、吸着板と搬送ローラとが干渉するため、非常に困難である。特に、近年基板が大型化していて、この大型化した基板を吸着するためにも吸着板は大型としなければならず、搬送ローラとの干渉が避けられない。
【0010】
又、搬送ローラによって基板を搬送すると、基板が大型の場合、搬送時間が長くなり、装置の効率が低下してしまう。従って、最近では、基板をロボットにより搬入するようになっている。
【0011】
一方、フィルム張付装置は、各種の幅の基板に対応してフィルムを張り付けることができるものでなければならないので、前記吸着板は最小サイズの基板よりも小さい大きさとしなければならない。
【0012】
従って、最大サイズの基板の場合は吸着板により吸着された状態で、その両端が大きく垂れ下がることがあり、反転型のフィルム張付装置における基板幅寄せ装置は、従来のように、搬送ローラ上に平板状に載置されている基板の幅寄せ装置をそのまま用いることができない。
【0013】
又、水平の吸着板上に基板を載せた状態で幅寄せすることも考えられるが、この場合、前述のように吸着板面積を充分に大きくすることができないので、最大サイズの基板が吸着板から滑り落ちてしまうという不都合がある。
【0015】
この発明は、幅方向両端が垂れ下がり易い基板を確実に幅寄せできると共に、これを180°反転してフィルム張付面を損傷したりすることなく、ラミネーティングロールに送り込むことができるようにした基板幅寄せ反転装置を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
この発明は、請求項のように、基板を、ほぼ水平状態で、回転する一対のラミネーティングロールの間にフィルムと共に送り込んで、基板上部表面にフィルムを張り付けるフィルム張付装置における前記ラミネーティングロール入側に配置され、前記ラミネーティングロールに対して、前記基板の幅方向位置を調節する基板幅寄せ装置と、この基板幅寄せ装置による幅寄せ後に、前記基板を180°反転させ、且つ、前記ラミネーティングロールに搬送する基板反転装置と、を有してなる基板幅寄せ反転装置において、
前記基板幅寄せ装置は、前記基板の水平な搬送経路に対して、幅方向両外側から内側に水平に進退自在、且つ、基板搬送方向の軸により回転自在に支持され、前記基板の幅方向両端近傍部分を下方から支持する位置まで基板幅方向内側に突出し、且つ、前記搬送経路上の基板の幅方向両端よりも外側に引込み可能とされた二組の基板受けローラ群と、前記基板受けローラ群上の基板に対して幅方向両外側から進退自在、且つ、この基板の幅方向両端を押して基板の幅方向位置を調節する二組の幅寄せ部材と、前記基板受けローラ群及び幅寄せ部材を基板幅方向に進退させる基板受けローラ群駆動装置及び幅寄せ部材駆動装置を同期して、又は、独立に作動させる制御手段と、を有してなり、
前記基板反転装置は、二組の前記基板受けローラ群の間及び二組の前記幅寄せ部材の間に下方向から臨入し、前記基板下部表面を負圧により吸着自在吸着板と、この吸着板を基板幅方向の中心軸線廻りに180°反転駆動する回転装置と、この回転装置を上下動及び基板送り方向に往復動自在に支持するとともに、反転した基板を水平状態で、前記一対のラミネーティングロールに搬送可能な吸着板搬送装置と、を有して構成し、上記目的を達成するものである。
【0018】
又、請求項のように、請求項において、前記基板反転装置は、基板送り方向における前記基板の吸着開始位置で、前記基板を、前記吸着板により前記基板受けローラ群よりも高い位置に持ち上げ自在とされたことを特徴としてもよい。
【0019】
更に、請求項のように、請求項において、前記基板反転装置は、前記基板の幅方向両端近傍部が、前記基板受けローラ群に支持される際、及び、前記基板幅寄せ装置による幅寄せ動作までの間、前記吸着板を、前記基板受けローラ群の高さ位置よりも低く下降させるようにしてもよい。
【0020】
この発明においては、基板幅寄せ装置における基板受けローラ群によって垂れ下がった基板幅方向両端近傍部分を下方から支持し、この状態で幅寄せ部材によって基板幅方向両端を押して、基板受けローラ群上を基板が幅方向に移動することによって、確実に幅寄せ作業を行うことができる。
【0021】
又、基板反転装置は、幅寄せ終了後の基板を、フィルム張付面と反対側から吸着し、これを180°回転して、フィルム吸着面を下向きにしてラミネーティングロールに送り込むことができる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【0023】
図1に示されるように、本発明に係る基板幅寄せ反転装置10は、フィルム張付装置(全体図示省略)における回転する一対のラミネーティングロール12A、12Bに向けて、図1において左側から基板幅寄せ装置14及び基板反転装置16を、この順で配置して構成されている。
【0024】
前記基板反転装置16は、基板幅寄せ装置14においてラミネーティングロール12A、12Bに対してセンタリング(幅寄せ)された基板18を、その下側面で吸着した後、持ち上げ、且つその上昇位置で180°反転させて、反転した基板18をそのまま一対のラミネーティングロール12A、12B間に水平に送り込むようにされている。
【0025】
前記基板幅寄せ装置14は、ロボット(全体図示省略)のハンド部20によって、図1において左側から搬入されてきた基板18を、その幅方向両端外側から内側に押すことによって、その幅方向中心線を前記ラミネーティングロール12A、12Bのセンターラインに合致するように幅寄せするものである。
【0026】
この基板幅寄せ装置14は、前記ハンド部20上の基板18に対して、幅方向両外側から内側に進退自在、且つ、基板搬送方向の軸22A(図4参照)により回転自在に支持され、基板幅方向内側に突出したとき、前記基板18の幅方向両端近傍部分を下方から支持可能とされた基板受けローラ22を、基板搬送方向に複数(左右各4個)設けてなる基板受けローラ群24を備えている。
【0027】
又、基板幅寄せ装置14は、前記基板受けローラ群24によって下方から支持された状態の基板18に対して、幅方向両外側から進退自在、且つ、この基板18の幅方向両端を押して基板18の幅方向位置を調節する幅寄せ部材26を備えている。
【0028】
前記基板受けローラ群24は、エアシリンダ28Aを含む基板受けローラ群駆動装置28によって、基板幅方向に進退されるようになっている。
【0029】
又、前記幅寄せ部材26は、エアシリンダ30Aを含む幅寄せ部材駆動装置30によって基板幅方向に進退されるようになっている。
【0030】
前記エアシリンダ28A、30Aは、制御装置32によって、同期して又は独立に作動され得るようになっている。
【0031】
前記基板受けローラ群24を構成する基板受けローラ22は、図1及び図2に示されるように、基板18の搬送路に対して基板幅方向両外側位置に左右対称に、且つ基板送り方向に水平に長く配置されたローラ支持部材34A、34Bに各4個ずつ支持されている。
【0032】
更に詳細には、図3、図4に示されるように、各ローラ支持部材34A、34Bの各々には、基板搬送路の幅方向中心に向けて突出された4個のブラケット35が所定間隔で取り付けられ、このブラケット35に対して前記基板受けローラ22の軸22Aが支持される構成となっている。
【0033】
前記基板受けローラ群駆動装置28は、前記エアシリンダ28Aと、前記ローラ支持部材34A、34Bを水平方向且つ基板搬送路の幅方向中心に向かって進退可能に支持するガイドシャフト28Bとから構成されている。
【0034】
なお、前記基板受けローラ群24を構成する各基板受けローラ22の上端は、図1に示されるように、基板18がロボットのハンド部20によって、基板幅寄せ反転装置10内に搬入されたとき、その搬入停止位置における基板18の下側面のよりも低くなるようにされている。
【0035】
前記幅寄せ部材26は、前記ローラ支持部材34A、34Bと平行で、且つ基板搬送路の幅方向中心に対向する面が鉛直押面26A(図1、図4、図5参照)となるようにされた樹脂製板状部材であり、且つ、ガイドシャフト30Bの先端に支持されている。
【0036】
前記幅寄せ部材駆動装置30は、前記エアシリンダ30Aとガイドシャフト30Bとを含んで構成されている。
【0037】
前記幅寄せ部材26の、前記基板受けローラ22の上側に重なる位置には、該基板受けローラ22と干渉しないように逃げ溝30Cが形成されている。
【0038】
図1〜図5に示されるように、前記エアシリンダ28A、30A、ガイドシャフト28B、30Bは平行、且つ、基板搬送路の幅方向中心に向かって水平に進退できるように、支持ブロック体29Aを介して装置のフレーム29に支持されている。
【0039】
前記ガイドシャフト30Bの基端部と支持ブロック体29Aとの間には、交換可能なスぺーサ33が配置され、基板18のサイズに応じて、幅寄せ部材26の最大突出距離を規制できるようにされている。
【0040】
又、前記ローラ支持部材34Aの、前記基板受けローラ22近傍位置には、この基板受けローラ22上に基板18が載置されているか否かを検出する光センサ31(図3参照)が配置されている。
【0041】
この光センサ31の検出信号は前記制御装置32に出力され、制御装置32は、この信号にもとづき、前記エアシリンダ30Aを駆動して、幅寄せ部材26を突出させるようにされている(図7参照)。
【0042】
次に、前記基板反転装置16について説明する。
【0043】
この基板反転装置16は、前記ハンド部20によって水平に搬入されてきた基板18に下方から接近し、負圧により吸着することができるようにされた吸着板36と、この吸着板36を、水平且つ基板搬送方向と直交して配置された回転軸36Aを介して回転自在に支持する支持フレーム38と、この支持フレーム38を上下方向移動自在に支持する昇降装置40(図6参照)と、レール42に沿って基板搬送方向に、且つ、水平に移動自在に支持されると共に、前記昇降装置40を支持する移動台44と、この移動台44に連結されたベルト46Aを含んで構成され、移動台44をレール42に沿って往復動させるための移動装置46と、を備えて構成されている。
【0044】
又、前記吸着板36の表面(図6において上面)の吸着面36Bには多数の吸着孔36C(図1参照)が設けられ、負圧により基板18を吸着できるようにされている。
【0045】
前記吸着面36Bは、フッ素樹脂を削り出してなり、多数の吸着孔36Cは、この板状の吸着面36Bに、外方に拡開するロート状に形成されている。
【0046】
又、この吸着孔36Cの各々には、フッ素樹脂製の吸着盤36Dが、先端がわずかに突出した状態で配置され、且つ、これにバキュームパイプ36Eから負圧が印加されることにより、基板18を確実に吸着保持できるようにされている(図8参照)。
【0047】
更に、吸着板36には、電熱線等の発熱体(図示省略)が内蔵され、基板18が予め加熱されている場合には、吸着面36Bに吸着された基板18が、部分的に冷却されないようにしている。
【0048】
前記吸着板36は、回転軸36Aとともに回転装置37により180°回転され得るようになっている。この回転装置37はベルトホイール37Aと、モータ37Bと、ベルト37Cとを含んで構成されている。
【0049】
前記吸着板36を一体的に支持する回転軸36Aの、図2において左端は、支持フレーム38から外側に突出し、その突出端には、上記ベルトホイール37Aが取り付けられている。ベルトホイール37Aには、モータ37Bによって駆動されるベルト37Cが巻き掛けられ、これにより、吸着板36はモータ37Bによって図6(A)に示されるように、吸着面36Bが上向きの状態と、図6(B)に示されるように、吸着面36Bが下向きの状態となり得るようにされている。
【0050】
前記昇降装置40は、前記移動台44に対して、支持フレーム38を鉛直方向に案内するように取り付けられた左右一対のガイドシャフト40Aと、このガイドシャフト40Aと平行に取り付けられ、移動台44に対して支持フレーム38を鉛直方向に上下動させるエアシリンダ40Bと、を含んで構成されている。
【0051】
前記移動装置46は、図2に示されるように、基板幅寄せ反転装置10の前面(基板装入側面)に取り付けられたモータ46Bと、このモータ46Bによって回転駆動されるベルトプーリ46Cと、前記ラミネーティングロール12A、12Bの入側近傍に配置されたベルトプーリ46Dと、これらベルトプーリ46C、46Dに巻回されると共に、前記移動台44が取り付けられたベルト46Aとを有してなり、モータ46Bによってベルト46Aを駆動することにより、これに取り付けられた移動台44、及び、これに搭載されている昇降装置40、支持フレーム38及び吸着板36を、前記基板幅寄せ装置14とラミネーティングロール12A、12B入側近傍位置との間で往復駆動するようにされている。
【0052】
ここで、前記吸着板36は、図6(A)に示されるように、待機状態では、ハンド部20によって搬入された基板18の下側面よりもわずかに下方位置となるようにされ、又図6(B)に示されるように、180°反転され、その吸着面36Bが下向きのとき、該吸着面36Bに吸着されている基板18が、前記一対のラミネーティングロール12A、12Bの間の高さ位置となるようにされている。
【0053】
図1の符号50は基板加熱装置を示す。この基板加熱装置50は、9枚の加熱パネル51を含んで構成され、基板18が、図6(B)に示されるように、基板反転装置16の吸着板36に吸着された状態でラミネーティングロール12に噛み込まれて搬入される間に、下方から基板18を加熱して、ラミネーティングロール12による積層体フィルム52の張付けに最適な温度にまで昇温させるものである。
【0054】
前記加熱パネル51の幅方向両外側位置には、搬入される基板18の幅方向両端を支持する左右各2個のガイドローラ54が設けられている。
【0055】
前記ガイドローラ54は耐熱樹脂製であり、、図1に示されるように、基板幅方向に左右一対の水平の支持バー56に、前記ラミネーティングロール12A、12Bと平行な回転軸により回転自在に支持されている。
【0056】
前記支持バー56は金属製であり、基板幅方向両外側位置で左右一対の支持板58の基板幅方向内端に取付支持されている(図1、10参照)。
【0057】
前記支持板58は、図10及び図11に示されるように、各々一対のガイドシャフト60により鉛直方向に案内されつつ、エアシリンダ62によって上下方向に移動され得るようになっている。
【0058】
前記基板18は、図10に示されるように、吸着板36によって吸着、反転され、一対のラミネーティングロール12A、12B間の高さ位置で、水平に搬送されてくるが、前記ガイドローラ54は、エアシリンダ62により、支持板58、支持バー56を介して前記基板18の高さよりも低い位置に待機され、且つ、図11に示されるように、前記基板18の下側面の高さ位置にまで上昇され得るようになっている。
【0059】
前記支持バー56の、前記ラミネーティングロール12B側先端に隣接し、且つラミネーティングロール12との間の位置には、気体吹付け部材64が配置されている。
【0060】
この気体吹付け部材64は、水平のレール66に沿って、エアシリンダ68により、図10の位置から図11の位置までラミネーティングロール12B方向に進退自在とされ、その先端には、ラミネーティングロール12Bと略等しい曲率の凹湾曲面64Aが形成されていて、ここから、下側のラミネーティングロール12Bに巻き掛けられる前記積層体フィルム52に向かって圧縮空気等の気体を吹付け、積層体フィルム52をラミネーティングロール12に密着させると共に、これを幅方向均一に冷却するようにされている。
【0061】
前記気体吹付け部材64の、ラミネーティングロール12と反対側の後端(図9において左端)には、ガイドローラ64Bが、前記ガイドロール54と基板幅方向同一位置で、且つこれらガイドローラ54と平行に回転するように配置されている。なお、ガイドローラ64Bはシャフト64Cに沿って、基板幅方向位置調節自在とされている。
【0062】
前記気体吹付け部材64におけるガイドローラ64Bの上端の高さは、前記ガイドローラ54上端の高さよりもわずかに(例えば5mm程度)低くされている。
【0063】
前記支持板58は、基板幅方向長さの寸法が異なるものに交換可能であり、この交換によって、前記ガイドローラ54の、基板幅方向位置を変更できるようにされている。
【0064】
図1、図10に示されるように、前記ガイドローラ54は左右各2個づつ、基板送り方向に間隔をもって支持バー56に支持されているが、ガイドローラ54の基板送り方向の間、及びラミネーティングロール12A、12B側のガイドローラ54と気体吹付け部材64のガイドローラ64Bとの間には、ガイドローラ54の上端よりもわずかに(5mm程度)低い水平の支持プレート55が設けられ、移動中の基板18の先端がガイドローラ54、64Bの下側に入り込まないようにされている。
【0065】
図10の符号69は、基板加熱装置50の台車を示す。この台車69は、基板幅方向に移動自在であり、ラミネーティングロール12A、12B間に積層体フィルム52をセットする際等の作業スペースのため、あるいはメンテナンスのため必要なときに、基板加熱装置50全体を引き出すことができる。
【0066】
前記台車69の基板幅方向両側端からは、基板加熱装置50全体を挟み込むように一対の側板69Aが立設され、且つ、前記基板反転装置16の上端よりも高い位置に、水平の遮蔽板69Bが左右の側板69A、69A間に張り渡して設けられている。この遮蔽板69Bは、上方からの下降気流により基板18が冷却されないようにするものである。
【0067】
図10及び図11の符号70は、フィルムガイドロールを示す。このフィルムガイドロール70は、前記下側のラミネーティングロール12の入側近傍に配置され、図10において実線で示される位置に駆動装置(図示省略)によって揺動されたとき、ラミネーティングロール12A、12Bに対して積層体フィルム52が非接触となるように、これを案内し、又図11に示される位置に揺動されたとき、積層体フィルム52が下側のラミネーティングロール12Bに巻き掛けられるようにするものである。
【0068】
前記積層体フィルム52は、図12に示されるように、透光性支持フィルム52Aに感光性樹脂層52Bを積層した上から、更にカバーフィルム52Cによって被うことにより構成され、図13に示されるように、フィルムロール72からテンションロール群74、ハーフカッター76、カバーフィルム剥離装置78、吸着ロール80及びガイドロール82を経て、前記下側のラミネーティングロール12Bに巻き掛け供給されるようになっている。
【0069】
前記吸着ロール80は、その表面に、負圧が印加される多数の吸着孔(図示省略)が形成されていて、外周に巻き掛けられる積層体フィルム52を適宜な負圧によって吸着しつつ、送ることにより、前記ラミネーティングロール12A、12Bと吸着ロール82の間、及び、吸着ロール80と前記テンションロール群74との間における積層体フィルム52の張力を最適制御できるようにされている。
【0070】
前記ハーフカッター76は、フィルム送り方向に離間した一対のディスクカッター76A、76Bと、このディスクカッター76A、76Bの上側に配置され、ディスクカッター76A、76Bによって上方に押される積層体フィルム52を支持して、これを切断させるカッター台76Cと、を備えて構成されている。
【0071】
ここで、ディスクカッター76A、76B及びカッター台76Cは、走行装置(図示省略)によりフィルム送り方向に往復動自在とされ、カバーフィルム52Cを切断する際には、積層体フィルム52と同期してフィルム送り方向に走行しつつ、ディスクカッター76A、76Bをフィルム幅方向に移動させて、カバーフィルム52Cを切断するフライングカット(走間カット)を行うものである。
【0072】
前記ハーフカッター76における一対のディスクカッター76A、76Bのフィルム送り方向の間隔は、前記ラミネーティングロール12A、12B間に送り込まれてくる基板18の間隔とほぼ等しくされている。
【0073】
前記カバーフィルム剥離装置78は、粘着テープロール78Aと、スイングロール78Bと、カバーフィルム巻取りロール78Cとから構成され、粘着テープロール78から巻き出された粘着テープ79の粘着面側を上向き且つ外側に、前記スイングロール78Bに巻き掛けた後、カバーフィルム巻取りロール78Cによって巻き取るようにし、スイングロール78Bは、制御装置32によって制御されるスイング機構78Dにより、前記吸着ロール80の入側位置で、積層体フィルム52を介して受けロール78Eに押し付られて、カバーフィルム52Cに粘着テープ79の粘着面が押し付けられるようにされている。
【0074】
粘着テープ79は、カバーフィルム52Cに粘着された状態でカバーフィルム巻取りロール78Cによって巻き取られるので、カバーフィルム52Cは感光性樹脂層52Bから引き剥がされて、粘着テープ79と共にカバーフィルム巻取りロール78Cに巻き取られる。
【0075】
前記スイング機構78Dによって粘着テープ79がカバーフィルム52Cに押し付けられる範囲は、前記ハーフカッター76の一対のディスクカッター76A、76Bによって形成された切断線の間の部分以外とされ、これにより切断線間の部分を残して、カバーフィルム52Cが剥離されるようにされている。
【0076】
前記積層体フィルム52は、上記のようにカバーフィルム剥離装置78によって各基板18、18間部分を残して剥離され、感光性樹脂層52Bが露出された状態で下側のラミネーティングロール12Bに送り込まれる。
【0077】
前記上側のラミネーティングロール12Aは、位置固定の下側のラミネーティングロール12Bに対して、図14に示されるように、揺動レバー84により離接自在に指示され、この揺動レバー84は、軸85により装置のサイドフレーム86に揺動自在に支持され、ラミネーティングロール12Aと反対側の端部において、エアシリンダ88に連結され、このエアシリンダ88の伸縮によって揺動されるようになっている。
【0078】
前記ラミネーティングロール12A、12Bの基板及び積層体フィルム送り出し方向下流には、ラミネーティングロール12A、12B側から、第1のニップロール90、搬送ロール92、第2のニップロール94、ロータリーカッター96がこの順で配置されている。
【0079】
前記第1のニップロール90は、上側ロール90Aと下側ロール90Bからなり、両者間に、基板18及びこれに張り付けられている積層体フィルム52を挟み込むようにされている。
【0080】
上側ロール90Aは、略L字型の揺動自在のレバー91Aの先端に取り付けられ、エアシリンダ91Bによりレバー91Aを揺動させることによって、下側ロール90Bに離接自在とされている。
【0081】
又、前記第2のニップロール94は、上側ロール94Aと下側ロール94Bとから構成されている。上側ロール94Aは、軸95Aにより揺動自在に支持されたレバー95Bの先端に回転自在に支持されているフリーロールであり、自重により下側ロール94Bとの間に基板18及び積層体フィルム52を挟み込むようにされている。
【0082】
ここで、前記第1のニップロール90における上側ロール90Aは、ベルト98Aにより、又、搬送ロール92と、第2のニップフロール94における下側ロール94Bは、ベルト98Bにより、モータ(図示省略)からの回転力が伝達され、ラミネーティングロール12A、12Bの送り速度と同期して回転され得るようになっている。
【0083】
前記ロータリーカッター96は、回転刃96Aと直線刃96Bとから構成されている。回転刃96Aは、水平且つ基板幅方向に配置された円筒部材96Cの外側に切刃96Dを螺旋状又は斜めの直線状に巻き付けた構成であり、直線刃96Bは、円筒部材96Cの中心軸線と平行に基板幅方向に長い直線状に配置されていて、その先端が、前記回転刃96Aの切刃の回転軌跡に対して、基板18に張り付けられている積層体フィルム52の通過軌跡上で接触できるようにされている。
【0084】
前記円筒部材96Cの切刃96Dが、図14に示されるように、積層体フィルム52の通過面よりも下側位置にあるとき、前記積層体フィルム52は、円筒部材96Cの上側で、且つ切刃96Dの円形の通過軌跡の内側を通るようにされている。
【0085】
従って、この状態から、円筒部材96Cが回転されると、切刃96Dと直線刃96Bとの間で積層体フィルム52が切断されることになる。
【0086】
図14の符号99は、前記第2のニップロール94とロータリーカッター96との間に配置され、第2のニップロール94を通過した積層体フィルム52又は、積層体フィルム52が張付けられた基板18が、確実に水平にロータリーカッター96を通るようにガイドする水平ガイド板を示す。
【0087】
積層体フィルム52及び基板18は、水平のガイド板99の上側を通過する。なお、ガイド板99に代えて、下方から圧縮空気等を吹付けて、積層体フィルム52及び基板18が水平状態で進行するようにしてもよい。
【0088】
前記直線刃96Bは、図に示されるように、揺動レバー97の先端に取り付けられ、揺動軸97Aを中心として揺動され、図14において反時計方向に揺動されたとき、積層体フィルム52の切断可能位置となり、又時計方向に揺動されたとき、積層体フィルム52及び基板18と干渉しない待機位置となるようにされている。
【0089】
揺動レバー97は、エアシリンダ97Bによって、直線刃96Bと反対側の端部で上下方向に駆動されることによって揺動されるようになっている。
【0090】
ここで、前記揺動レバー97は、基板幅方向に長く形成されているが、その上側位置には、エア吹付け管100が配置され、揺動レバー97に基板幅方向に適宜間隔で形成された吹抜け孔97Cを介して、前記回転刃96A方向に圧縮空気を吹付けることができるようにされている。
【0091】
従って、回転刃96Aと直線刃96Bとによって切断された積層体フィルム52は、エア吹付け管100から、吹抜け孔97Cを通って吹付けられた圧縮空気によって、下方に押されるか又は吹き飛ばされる。
【0092】
前記回転刃96Aの出側且つ下側には、基板幅方向に長い切断片受け102が配置されている。
【0093】
この切断受け102は、内側のトレイ102Aにより落下してきた積層体フィルム52の切断片を受け止めると共に、外側ガイド102Bに対して外側に引き出すことができるようにされ、これによって、トレイ102Aに溜まった積層体フィルム52の切断片を取り出すことができるようされている。
【0094】
図1及び図9に示されるように、前記基板加熱装置50近傍には、4個の光センサ50A〜50Dが配置されている。
【0095】
光センサ50Aは、前記加熱パネル51の入側に配置され、吸着板36によって搬送されてくる基板18の先端及び後端を検出するようにされている。
【0096】
前記光センサ50Bは、図9に示されるように、基板18が加熱パネル51のラミネーティングロール12A、12B側端部近傍に到達したとき、これを検出するようにされている。又、光センサ50Cは、前記ガイドロール54を支持するための支持板58よりも基板幅方向外側位置であって、基板送り方向には、前記光センサ50Bと略同一位置に配置され、基板18を搬送してくる移動台44を検出するようにされている。
【0097】
更に、前記光センサ50Dは、ラミネーティングロール12A、12Bの入側上方で、且つ基板幅方向中央位置に配置され、搬送されてくる基板18の先端を検出するようにされている。
【0098】
これら光センサ50A〜50Dの出力信号は、前記制御装置32に入力され、制御装置32は、この信号に基づいて、基板反転装置16、エアシリンダ62、68、88及び91B等を制御するが、その詳細は後述する。
【0099】
次に、上記基板幅寄せ反転装置10の作用について説明する。
【0100】
ロボットのハンド部20によって基板18を基板幅寄せ反転装置10における基板幅寄せ装置14に搬入する際には、前記基板反転装置16の吸着板36を、図1に示されるように、基板搬入位置での基板18の中心となるように移動させておき、且つ、昇降装置40によって、図2に示されるように、基板18の位置よりも低くなるようにしておく。
【0101】
更に、エアシリンダ28Aにより、図5において二点鎖線で示されるように、ローラ支持部材34A、34Bを駆動し、基板受けローラ群24における基板受けローラ22が、搬入された基板18の幅方向両端部を下方から支持できる位置にしておく。この状態で、基板18をハンド部20によって基板受けローラ群24の上方に搬入し、次に下降させて、基板18の幅方向両端が基板受けローラ群24によって下方から支持された状態とし、更にハンド部20を下降させ、基板18を基板受けローラ群24に移載する。
【0102】
ハンド部20によって基板18を搬送する際に、基板18の幅方向中央部分が垂れ下がる場合があるが、上記吸着板36が、ハンド部20によって基板18を基板幅寄せ装置14の位置に搬入する際に、基板18よりもわずかに低い位置とされているので、基板受けローラ群24によって支持される直前に垂れ下がりが吸着板36により持ち上げられて矯正される。
【0103】
光センサ31が基板18を検出すると、制御装置32により、ハンド部20を退出させると共に、エアシリンダ30Aにより、幅寄せ部材26を基板幅方向内側に駆動し、基板受けローラ群24によって下方から支持されている状態の基板18を幅寄せする。
【0104】
このとき、基板受けローラ22の回転面は、幅寄せ部材26の突出方向と一致しているので、基板18は抵抗無く幅寄せ移動される。
【0105】
幅寄せ部材26の突出量は、前記スペーサ33の長さによって規制される。又、幅寄せ部材26が移動するとき、該幅寄せ部材26の下側には逃げ溝30Cが形成されているので、前記基板受けローラ22と干渉することがない。
【0106】
前記基板幅寄せ装置14による幅寄せ後、直ちに、エアシリンダ28A、30Aにより基板受けローラ群24及び幅寄せ部材26を、前記フレーム29の外側に退避させる。これらの退避後に、昇降装置40によって、基板反転装置16の吸着板36を上昇させる。
【0107】
このとき、吸着板36の上面である吸着面の吸着孔36Cに予め負圧を印加し、吸着面36Bが基板18の下側面に接触したとき、これを吸着できるようにしておく。
【0108】
吸着板36が、昇降装置40によって、図2、図6(A)に示される二点鎖線の位置にまで上昇されたとき、上昇が停止され、同時に、回転装置37によって回転軸36A及び吸着板36を180°回転させ、吸着板36の吸着面36Bを下向きとする。この状態で、図6(B)に示されるように、移動装置46により移動台44をラミネーティングロール12方向に移動させる。
【0109】
前記吸着板36は、その吸着面36Bが下向きに反転したとき、前記一対のラミネーティングロール12、12間の位置となるようにされているので、移動台44がラミネーティングロール12方向に進行するとき、吸着面36Bに吸着されている基板18は、そのまま上下一対のラミネーティングロール12A、12B間に、積層体フィルム52と共に噛み込まれることになる。
【0110】
しかし、吸着板36に吸着されている基板18は、薄く、且つ吸着板36よりも大きいので、その外周部が垂れ下がり、そのままでは、前記一対のラミネーティングロール12A、12B間に噛み込まれることができない。
【0111】
このため、基板18の先端が、前記光センサ50Aにより検出されたとき、移動台44を停止させ、この状態で、エアシリンダ62により支持バー56及びこれに支持された前記ガイドローラ54を、図9、図10に示されるように、基板18の通過面よりも下方位置に待機させておき、移動台44をラミネーティングロール12A、12B方向に進行させる。基板18の先端が光センサ50Bにより検出されると移動台44を停止させてから、前記ガイドローラ54を上昇させ、基板18の幅方向両端を、前記一対のラミネーティングロール12A、12B間の高さ位置に持ち上げて矯正する。
【0112】
なお、これ以前に、前記フィルムガイドロール70を図10の実線の位置から二点鎖線の位置、又は図11に示される位置にまで反時計方向に駆動し、積層体フィルム52が下側のラミネーティングロール12Bに巻き掛けられるようにすると共に、前記気体吹付け部材64をエアシリンダ68により、図10の状態から図11に示される位置にまで前進させ、その先端の凹湾曲面64Aから圧縮空気等の気体を噴出して、積層体フィルム52をラミネーティングロール12Bに密着させ、且つ幅方向に均一に冷却させるようにしておく。
【0113】
このとき、前記気体吹付け部材64に取り付けられているガイドローラ64Bは、図11に示されるように、前記ガイドローラ54と等ピッチの位置で、ガイドローラ54の上端面よりもわずかに低い位置とされる。
【0114】
前記ガイドローラ64Bによって幅方向両端が水平に持ち上げられた基板18は、移動台44を再駆動することによってラミネーティングロール12A、12B方向に水平に搬送される。
【0115】
このとき、基板18の進行方向先端はわずかに垂れ下がっているが、前記気体吹付け部材64に取り付けられているガイドローラ64Bは、ガイドローラ54よりもわずかに低い位置にあるので、搬送される基板18の先端はガイドローラ64Bに円滑に乗り上げて、水平状態となったまま、前記一対のラミネーティングロール12A、12B間に送り込まれることになる。
【0116】
前記移動台44のラミネーティングロール12方向への進行速度は、ラミネーティングロール12A、12Bによる基板18の送り速度と同期させておく。
【0117】
なお、前記ラミネーティングロール12A、12Bは、加熱された状態で常時回転していて、基板18が搬送されてこない間は、上側のラミネーティングロール12Aが揺動レバー84によって、下側のラミネーティングロール12Bから離間する「開」状態とされているが、搬送されてくる基板18の先端が、前記光センサ50Dによって検出されてから、この基板18の先端がラミネーティングロール12A、12Bの接点位置に到達するタイミングで、制御装置32により、エアシリンダ88を介して揺動レバー84が駆動され、上側のラミネーティングロール12Aが、搬入されてきた基板18の先端をラミネーティングロール12Bとの間に挟み込むようにされている。
【0118】
前記吸着板36の吸着面36Bによる、基板18の吸着は、基板18がラミネーティングロール12A、12Bにある程度噛み込まれるまで維持され、これによって基板18のセンタリングが確保されるが、光センサ50Cが移動台44を検出したとき、吸着面36Bの負圧が解除される。
【0119】
基板18を解放した後の吸着板36は、移動装置46によって図6(A)に実線で示される位置にまで戻り、再度反転され、吸着面36Bが上向きの状態で次の基板搬入まで待機される。
【0120】
次にロボットのハンド部20によって搬入されてきた基板18は、直ちに、前述と同様に、幅寄せされた後、吸着板36によって吸着、反転され、前記基板加熱装置50の手前で待機させる。
【0121】
先行する基板18がラミネーティングロール12A、12Bによって挟み込まれ、且つ搬送され、基板18の後端が光センサ50によって検出されると、次の基板18の、移動装置46による基板加熱装置50の位置への搬入が開始される。
【0122】
前記基板18と共にラミネーティングロール12A、12B間に送り込まれ、且つ基板18に張り付けられる積層体フィルム52は、前述の如く、フィルムロール72から巻き出された後、ディスクカッター76A、76Bにより、そのカバーフィルム52Cが所定位置で幅方向に切断され、次に、カバーフィルム剥離装置78によって、基板18に張り付けられる範囲でカバーフィルム52Cが剥離され、感光性樹脂層52Bが露出された状態で、ラミネーティングロール12Bに供給される。
【0123】
なお、積層体フィルム52の先端は、先頭の基板18がラミネーティングロール12A、12B間に送り込まれてくる前に、前記フィルムガイドロール70を経て、回転するラミネーティングロール12A、12Bに接触しないようにした状態で、前記第1及び第2のニップロール90、94間に挟み込んでセットしておく。
【0124】
順次搬入されてくる基板18のうち、先頭の基板18が前記ロータリーカッター96の位置に到達するまでの間の積層体フィルム52は不要であるので、ロータリーカッター96により、所定長さに細かく複数に切断され処理される。
【0125】
更に詳細には、積層体フィルム52が張り付けられた状態の先頭の基板18の先端が、ロータリーカッター96の位置に到達するまでの間の積層体フィルムは、基板18と共に図14において右方向に送り込みつつ、ロータリーカッター96における回転刃96Aを定速で時計方向に回転させると、回転刃96Aの先端の切刃96Dが直線刃96Bに接触する都度、積層体フィルム52をその先端から所定長さずつ切り落としていくことになる。
【0126】
切断された積層体フィルム52の先端部は、切刃96Dにより図13において右方向に運ばれるが、前記エア吹付け管100から吹抜け孔97Cを通って吹付けられる圧縮空気流によって回転刃96Aから振り落とされて、切断片受け102のトレイ102Aに順次落下して、回収される。
【0127】
前記ロータリーカッター96は、先頭の基板18以降の各基板間での積層体フィルム52が到達する毎に、前記直線刃96Bをエアシリンダ97Bにより揺動レバー97を介して揺動させることにより、切断し、且つ切断後は直線刃96Bが基板18と干渉しないように、図14において時計方向に揺動され、次の切断に備えて待機される。
【0128】
上記のようにして、ロボットのハンド部20により搬送されてきた基板18を、基板幅寄せ装置14において幅寄せし、基板反転装置16により反転し、且つラミネーティングロール12A、12B間に積層体フィルム52と共に送り込み、積層体フィルム52における、カバーフィルム52Cが剥離されて露出された感光性樹脂層52Bを基板18に張付け、しかる後、ロータリーカッター96により各基板間で積層体フィルム52を切断することにより、積層体フィルム52が張付けられた状態の基板18を形成する。
【0129】
なお、上記基板幅寄せ反転装置10における吸着板36は、回転軸36Aを中心として180°反転され得るように構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば吸着板を反転アームの先端に取り付けて、該反転アームを180°回動させることにより基板を反転させるようにしてもよい。
【0130】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、基板の反転に際して基板を確実に幅寄せすることができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板幅寄せ反転装置の実施の形態の例を示す平面図
【図2】同基板幅寄せ反転装置の正面図
【図3】同基板幅寄せ反転装置における基板幅寄せ装置を拡大して示す平面図
【図4】同正面図
【図5】同側面図
【図6】上記基板幅寄せ反転装置における基板反転装置を示す側面図
【図7】同基板幅寄せ反転装置の制御系を示すブロック図
【図8】前記基板反転装置における吸着板を拡大して示す断面図
【図9】図1のIX−IX線に沿う拡大視図
【図10】図1のX−X線相当部分の拡大視図
【図11】基板と積層体フィルムがラミネーティングロールに送り込まれる状態を示す図10と同様の拡大視図
【図12】積層体フィルムを拡大して示す断面図
【図13】ラミネーティングロールに積層体フィルムを供給するフィルム供給系統を示す略示側面図
【図14】ラミネーティングロール及びその出側の基板搬送系統を示す略示断面図
【符号の説明】
10…基板幅寄せ反転装置
12A、12B…ラミネーティングロール
14…基板幅寄せ装置
16…基板反転装置
18…基板
20…ハンド部
22…基板受けローラ
22A…軸
24…基板受けローラ群
26…幅寄せ部材
26A…鉛直押面
28…基板受けローラ群駆動装置
28A…エアシリンダ
28B…ガイドシャフト
30…幅寄せ部材駆動装置
30A…エアシリンダ
30B…ガイドシャフト
30C…逃げ溝
32…制御装置
34A、34B…ローラ支持部材
36…吸着板
36B…吸着面
36C…吸着孔
37…回転装置
40…昇降装置
44…移動台
46…移動装置
52…積層体フィルム
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
In the present invention, the substrate is centered in the width direction in the pre-process of film pasting in the film pasting apparatus. And In addition, the present invention relates to a substrate width adjusting and reversing device adapted to reverse the front and back by 180 °.
[0002]
[Prior art]
There is a film sticking device for attaching a laminate film having a photosensitive resin layer to the surface of a substrate exemplified by a substrate for a printed wiring board, a glass substrate for a liquid crystal panel, and a substrate for a plasma display.
[0003]
Such a film sticking device is a device that transports a substrate by a substrate transport device, and pastes the laminate film on its upper surface so that its photosensitive resin layer faces, The substrate is cut continuously or according to the length of the substrate, and pasted together with the substrate by passing between a pair of rotating laminating rolls.
[0004]
In recent years, even in the case of printed circuit board circuits, pixels in liquid crystal panels and plasma displays with high definition and slight dust adhering to the substrate surface, if the film is pasted and the pattern is burned in the subsequent process, the dust etc. This causes a problem that the pixel in the portion where the toner adheres causes defective products.
[0005]
On the other hand, a film pasting method and apparatus have been proposed in which the film pasting surface of the substrate faces downward (lower surface) and the film is pasted on the lower surface from below.
[0006]
In this case, since the film tensioning surface cannot be brought into contact with the conveying roller or the like, the film tensioning surface is directed upward and conveyed to the vicinity of the laminating roll, where the substrate is separated from the surface opposite to the film tensioning surface. In the state where it is sucked and inverted 180 °, it is supplied as it is between the laminating rolls.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, when the substrate is fed between the laminating rolls, a so-called centering process called so-called width alignment is required in which the center position in the width direction of the substrate coincides with the center line of the laminating roll.
[0008]
A conventional substrate width adjusting device for centering is a substrate width adjustment device in which the substrate on the conveyance roller is lifted by a number of rollers that rotate in a direction perpendicular to the conveyance roller, and the width of the substrate is adjusted by a width alignment plate or the like. It is designed to be centered by pushing inward.
[0009]
Here, as described above, in the underlay type film sticking apparatus for sticking the film with the film sticking surface of the substrate facing downward, the lower side surface that is the opposite side of the film sticking surface is reversed when the substrate is reversed. Adsorption by the adsorption means and it is necessary to reverse 180 °, but it is very difficult to adsorb the substrate from the lower side in the vicinity of the substrate conveyance roller because the adsorption plate and the conveyance roller interfere with each other. In particular, in recent years, the size of the substrate has increased, and in order to adsorb the enlarged substrate, the suction plate must be made large, and interference with the transport roller is inevitable.
[0010]
Further, when the substrate is transported by the transport roller, when the substrate is large, the transport time becomes long and the efficiency of the apparatus is lowered. Therefore, recently, a substrate is carried in by a robot.
[0011]
On the other hand, since the film sticking apparatus must be capable of sticking a film corresponding to substrates of various widths, the suction plate must be smaller than the minimum size substrate.
[0012]
Therefore, in the case of the substrate of the maximum size, both ends of the substrate may be drooped greatly while being sucked by the suction plate. It is not possible to directly use a substrate width adjusting device placed on a flat plate.
[0013]
In addition, it is conceivable that the substrate is placed in a state where the substrate is placed on a horizontal suction plate, but in this case, since the suction plate area cannot be sufficiently increased as described above, the substrate of the maximum size is placed on the suction plate. There is an inconvenience of slipping off.
[0015]
This invention Substrate width reversal is possible to ensure that the substrates that are likely to sag at both ends in the width direction can be reliably shifted, and can be fed to the laminating roll without inverting the film by 180 ° and damaging the film tensioning surface. An object is to provide an apparatus.
[0017]
[Means for Solving the Problems]
This invention , Claims 1 The substrate is fed with the film between a pair of rotating laminating rolls in a substantially horizontal state as shown in FIG. Top A substrate width-adjusting device that is disposed on the laminating roll entry side of the film pasting device for attaching a film to the surface and adjusts the position in the width direction of the substrate relative to the laminating roll, and the substrate width-adjusting device Substrate width reversing device comprising: a substrate reversing device that reverses the substrate by 180 ° after width-shifting and conveys the substrate to the laminating roll.
The substrate width adjusting device is supported so as to be able to move forward and backward horizontally from the outside in the width direction to the inside with respect to the horizontal transfer path of the substrate and to be rotatable by an axis in the substrate transfer direction. Projected inward in the substrate width direction to the position to support the neighboring portion from below, and was able to be pulled in outside the both ends in the width direction of the substrate on the transfer path Two sets of The substrate receiving roller group and the substrate on the substrate receiving roller group can be moved forward and backward from both sides in the width direction, and the width direction position of the substrate is adjusted by pressing both ends of the substrate in the width direction. Two sets of A width adjusting member, and a substrate receiving roller group driving device for moving the substrate receiving roller group and the width adjusting member forward and backward in the substrate width direction and a control means for operating the width adjusting member driving device synchronously or independently. And
The substrate reversing device is Enter from between the two sets of the substrate receiving roller group and between the two sets of the width adjusting members from below, The substrate Bottom surface Can be adsorbed by negative pressure Na A suction plate, a rotating device that reversely drives the suction plate by 180 ° about the central axis in the substrate width direction, and supports the rotating device so that it can move up and down and reciprocate in the substrate feed direction, and the inverted substrate is in a horizontal state. Thus, the suction plate transport device that can be transported to the pair of laminating rolls is configured to achieve the above object.
[0018]
Claims 2 As in the claim 1 The substrate reversing device may be configured such that the substrate can be lifted to a position higher than the substrate receiving roller group by the suction plate at the suction start position of the substrate in the substrate feeding direction.
[0019]
Further claims 3 As in the claim 2 In the substrate reversing device, when the vicinity of both ends in the width direction of the substrate is supported by the substrate receiving roller group, and until the width aligning operation by the substrate width aligning device, the suction plate is You may make it fall below the height position of a board | substrate receiving roller group.
[0020]
In the present invention, the portions near the both ends in the substrate width direction hanging down by the substrate receiving roller group in the substrate width adjusting device are supported from below, and in this state, the both ends in the substrate width direction are pushed by the width adjusting member, and the substrate receiving roller group is moved over the substrate. As a result of the movement in the width direction, the width-shifting operation can be performed reliably.
[0021]
Further, the substrate reversing device can adsorb the substrate after width adjustment from the side opposite to the film tensioning surface, rotate it 180 °, and send it to the laminating roll with the film adsorbing surface facing downward.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
[0023]
As shown in FIG. 1, a substrate width-shifting reversing device 10 according to the present invention is a substrate from the left side in FIG. 1 toward a pair of rotating laminating rolls 12A and 12B in a film tensioning device (not shown). The width adjusting device 14 and the substrate reversing device 16 are arranged in this order.
[0024]
The substrate reversing device 16 lifts the substrate 18 centered (width-adjusted) with respect to the laminating rolls 12A and 12B in the substrate width-adjusting device 14, lifts it, and lifts it 180 ° at its raised position. Inverted, the substrate 18 that has been inverted is fed horizontally between the pair of laminating rolls 12A and 12B.
[0025]
The substrate width adjusting device 14 is configured such that the substrate 18 carried from the left side in FIG. 1 is pushed inward from the outside in the width direction by the hand unit 20 of the robot (entire illustration is omitted). Are aligned so as to match the center line of the laminating rolls 12A, 12B.
[0026]
The substrate width adjusting device 14 is supported by the substrate 18 on the hand unit 20 so as to be able to advance and retract inward from both sides in the width direction and to be rotatable by a shaft 22A (see FIG. 4) in the substrate transport direction. A substrate receiving roller group in which a plurality of substrate receiving rollers 22 (four each on the left and right sides) are provided in the substrate transport direction so as to be able to support the vicinity of both ends in the width direction of the substrate 18 from below when protruding inward in the substrate width direction. 24.
[0027]
Further, the substrate width adjusting device 14 can move forward and backward from both sides in the width direction with respect to the substrate 18 supported from below by the substrate receiving roller group 24, and pushes both ends in the width direction of the substrate 18 to push the substrate 18 together. A width adjusting member 26 for adjusting the position in the width direction is provided.
[0028]
The substrate receiving roller group 24 is advanced and retracted in the substrate width direction by a substrate receiving roller group driving device 28 including an air cylinder 28A.
[0029]
Further, the width adjusting member 26 is advanced and retracted in the substrate width direction by a width adjusting member driving device 30 including an air cylinder 30A.
[0030]
The air cylinders 28A, 30A can be operated synchronously or independently by the control device 32.
[0031]
As shown in FIGS. 1 and 2, the substrate receiving rollers 22 constituting the substrate receiving roller group 24 are symmetric with respect to the conveyance path of the substrate 18 in both lateral positions in the substrate width direction and in the substrate feeding direction. Four each are supported by roller support members 34A and 34B arranged horizontally long.
[0032]
More specifically, as shown in FIGS. 3 and 4, each of the roller support members 34 </ b> A and 34 </ b> B is provided with four brackets 35 protruding toward the center in the width direction of the substrate transport path at predetermined intervals. The shaft 22 </ b> A of the substrate receiving roller 22 is supported by the bracket 35.
[0033]
The substrate receiving roller group driving device 28 includes the air cylinder 28A and a guide shaft 28B that supports the roller support members 34A and 34B so that the roller support members 34A and 34B can advance and retreat in the horizontal direction and toward the center in the width direction of the substrate transport path. Yes.
[0034]
The upper ends of the substrate receiving rollers 22 constituting the substrate receiving roller group 24 are as shown in FIG. 1 when the substrate 18 is carried into the substrate width adjusting / reversing device 10 by the robot hand 20. The lower side surface of the substrate 18 at the loading stop position is lower.
[0035]
The width adjusting member 26 is parallel to the roller support members 34A and 34B, and has a surface facing the center in the width direction of the substrate transport path as a vertical pressing surface 26A (see FIGS. 1, 4, and 5). And is supported at the tip of the guide shaft 30B.
[0036]
The width adjusting member driving device 30 includes the air cylinder 30A and a guide shaft 30B.
[0037]
A clearance groove 30 </ b> C is formed at a position where the width adjusting member 26 overlaps the upper side of the substrate receiving roller 22 so as not to interfere with the substrate receiving roller 22.
[0038]
As shown in FIGS. 1 to 5, the air cylinders 28 </ b> A, 30 </ b> A and the guide shafts 28 </ b> B, 30 </ b> B are parallel, and the support block body 29 </ b> A is moved back and forth horizontally toward the center in the width direction of the substrate transport path. And is supported by the frame 29 of the apparatus.
[0039]
An exchangeable spacer 33 is arranged between the base end portion of the guide shaft 30B and the support block body 29A so that the maximum protruding distance of the width adjusting member 26 can be regulated according to the size of the substrate 18. Has been.
[0040]
Further, an optical sensor 31 (see FIG. 3) for detecting whether or not the substrate 18 is placed on the substrate receiving roller 22 is disposed in the vicinity of the substrate receiving roller 22 of the roller support member 34A. ing.
[0041]
The detection signal of the optical sensor 31 is output to the control device 32, and the control device 32 drives the air cylinder 30A based on this signal to project the width adjusting member 26 (FIG. 7). reference).
[0042]
Next, the substrate reversing device 16 will be described.
[0043]
The substrate reversing device 16 approaches the substrate 18 that has been horizontally carried in by the hand unit 20 from below, and adsorbs the adsorbing plate 36 that can be adsorbed by negative pressure. A support frame 38 that rotatably supports a rotation shaft 36A disposed orthogonal to the substrate transport direction, a lifting device 40 (see FIG. 6) that supports the support frame 38 so as to be movable in the vertical direction, and a rail. 42 includes a moving table 44 that supports the lifting device 40 and a belt 46A connected to the moving table 44, and is supported by the moving table 44 in the substrate transfer direction and horizontally. And a moving device 46 for reciprocating the table 44 along the rail 42.
[0044]
A suction surface 36B on the surface of the suction plate 36 (upper surface in FIG. 6) is provided with a number of suction holes 36C (see FIG. 1) so that the substrate 18 can be sucked by negative pressure.
[0045]
The adsorption surface 36B is formed by cutting out a fluororesin, and a large number of adsorption holes 36C are formed in a funnel shape that expands outward on the plate-like adsorption surface 36B.
[0046]
Further, a fluororesin suction disk 36D is disposed in each of the suction holes 36C with its tip slightly protruding, and a negative pressure is applied to the substrate 18 from the vacuum pipe 36E. Can be reliably sucked and held (see FIG. 8).
[0047]
Further, the suction plate 36 incorporates a heating element such as a heating wire (not shown). When the substrate 18 is preheated, the substrate 18 sucked on the suction surface 36B is not partially cooled. I am doing so.
[0048]
The suction plate 36 can be rotated 180 ° by a rotating device 37 together with a rotating shaft 36A. The rotating device 37 includes a belt wheel 37A, a motor 37B, and a belt 37C.
[0049]
The left end of the rotating shaft 36A that integrally supports the suction plate 36 in FIG. 2 protrudes outward from the support frame 38, and the belt wheel 37A is attached to the protruding end. A belt 37C driven by a motor 37B is wound around the belt wheel 37A. As a result, the suction plate 36 has a suction surface 36B facing upward as shown in FIG. As shown in FIG. 6B, the suction surface 36B can be in a downward state.
[0050]
The lifting device 40 is attached to the moving table 44 in parallel with the pair of left and right guide shafts 40A attached to guide the support frame 38 in the vertical direction. On the other hand, it includes an air cylinder 40B that moves the support frame 38 up and down in the vertical direction.
[0051]
As shown in FIG. 2, the moving device 46 includes a motor 46B attached to the front surface (substrate loading side surface) of the substrate width-reversing device 10, a belt pulley 46C that is rotationally driven by the motor 46B, A belt pulley 46D disposed in the vicinity of the entry side of the laminating rolls 12A and 12B, and a belt 46A wound around the belt pulleys 46C and 46D and attached with the moving table 44; When the belt 46A is driven by 46B, the movable table 44 attached to the belt 46A, and the lifting device 40, the support frame 38 and the suction plate 36 mounted on the moving table 44, the substrate width adjusting device 14 and the laminating roll 12A and 12B are driven to reciprocate between the positions near the entry side.
[0052]
Here, as shown in FIG. 6A, the suction plate 36 is positioned slightly below the lower surface of the substrate 18 carried by the hand unit 20 in the standby state. 6 (B), when the suction surface 36B is turned downward by 180 ° and the suction surface 36B is facing downward, the substrate 18 sucked by the suction surface 36B is positioned between the pair of laminating rolls 12A and 12B. It is supposed to be in the position.
[0053]
Reference numeral 50 in FIG. 1 denotes a substrate heating apparatus. The substrate heating device 50 is configured to include nine heating panels 51, and the substrate 18 is laminated in a state where the substrate 18 is adsorbed to the adsorption plate 36 of the substrate reversing device 16 as shown in FIG. 6B. While being bitten by the roll 12 and carried in, the substrate 18 is heated from below to raise the temperature to an optimum temperature for the lamination film 52 to be stuck by the laminating roll 12.
[0054]
Two guide rollers 54 on the left and right sides for supporting both ends in the width direction of the substrate 18 to be loaded are provided at both outer positions in the width direction of the heating panel 51.
[0055]
The guide roller 54 is made of heat-resistant resin, and as shown in FIG. 1, it can be freely rotated on a pair of left and right horizontal support bars 56 in the substrate width direction by a rotation axis parallel to the laminating rolls 12A and 12B. It is supported.
[0056]
The support bar 56 is made of metal, and is mounted and supported on the inner ends in the substrate width direction of the pair of left and right support plates 58 at both outer positions in the substrate width direction (see FIGS. 1 and 10).
[0057]
As shown in FIGS. 10 and 11, the support plate 58 can be moved vertically by an air cylinder 62 while being guided in a vertical direction by a pair of guide shafts 60.
[0058]
As shown in FIG. 10, the substrate 18 is sucked and reversed by the suction plate 36 and is transported horizontally at a height position between the pair of laminating rolls 12A and 12B. The air cylinder 62 waits at a position lower than the height of the substrate 18 via the support plate 58 and the support bar 56, and as shown in FIG. Can be raised up to.
[0059]
A gas blowing member 64 is disposed at a position adjacent to the laminating roll 12 </ b> B side end of the support bar 56 and between the support bar 56 and the laminating roll 12.
[0060]
This gas blowing member 64 can be moved forward and backward in the direction of the laminating roll 12B from the position of FIG. 10 to the position of FIG. 11 along the horizontal rail 66 by an air cylinder 68. A concave curved surface 64A having a curvature substantially equal to 12B is formed, from which a gas such as compressed air is blown toward the laminated film 52 wound around the lower laminating roll 12B, and the laminated film 52 is brought into close contact with the laminating roll 12 and is cooled uniformly in the width direction.
[0061]
At the rear end (the left end in FIG. 9) opposite to the laminating roll 12 of the gas blowing member 64, a guide roller 64B is located at the same position as the guide roll 54 in the substrate width direction. They are arranged to rotate in parallel. The guide roller 64B is adjustable in the substrate width direction position along the shaft 64C.
[0062]
The height of the upper end of the guide roller 64B in the gas blowing member 64 is slightly lower (for example, about 5 mm) than the height of the upper end of the guide roller 54.
[0063]
The support plate 58 can be replaced with one having a different length in the substrate width direction. By this replacement, the position of the guide roller 54 in the substrate width direction can be changed.
[0064]
As shown in FIGS. 1 and 10, the guide roller 54 is supported by the support bar 56 at two intervals on the left and right sides with a gap in the substrate feeding direction. A horizontal support plate 55 slightly lower than the upper end of the guide roller 54 (about 5 mm) is provided between the guide roller 54 on the side of the ting rolls 12A and 12B and the guide roller 64B of the gas blowing member 64. The front end of the substrate 18 is prevented from entering the lower side of the guide rollers 54 and 64B.
[0065]
Reference numeral 69 in FIG. 10 indicates a carriage of the substrate heating apparatus 50. The carriage 69 is movable in the substrate width direction, and is used for a work space such as when the laminated film 52 is set between the laminating rolls 12A and 12B, or when necessary for maintenance. The whole can be pulled out.
[0066]
A pair of side plates 69A are erected from both ends of the carriage 69 in the substrate width direction so as to sandwich the entire substrate heating device 50, and a horizontal shielding plate 69B is provided at a position higher than the upper end of the substrate reversing device 16. Is provided between the left and right side plates 69A, 69A. The shielding plate 69B prevents the substrate 18 from being cooled by the downward airflow from above.
[0067]
The code | symbol 70 of FIG.10 and FIG.11 shows a film guide roll. When the film guide roll 70 is disposed in the vicinity of the entry side of the lower laminating roll 12 and is swung by a driving device (not shown) at a position indicated by a solid line in FIG. 10, the laminating roll 12A, The laminated film 52 is guided so that the laminated film 52 is not in contact with 12B, and when the laminated film 52 is swung to the position shown in FIG. 11, the laminated film 52 is wound around the lower laminating roll 12B. It is to be made.
[0068]
As shown in FIG. 12, the laminate film 52 is formed by laminating a photosensitive resin layer 52B on a translucent support film 52A and then covering it with a cover film 52C, as shown in FIG. Thus, the film roll 72 is wound and supplied to the lower laminating roll 12B through the tension roll group 74, the half cutter 76, the cover film peeling device 78, the suction roll 80, and the guide roll 82. Yes.
[0069]
The adsorbing roll 80 has a large number of adsorbing holes (not shown) to which negative pressure is applied formed on the surface thereof, and sends the laminated film 52 wound around the outer periphery while adsorbing it with an appropriate negative pressure. Thus, the tension of the laminate film 52 between the laminating rolls 12A and 12B and the suction roll 82 and between the suction roll 80 and the tension roll group 74 can be optimally controlled.
[0070]
The half cutter 76 supports a laminated film 52 that is disposed above the pair of disc cutters 76A and 76B spaced apart in the film feeding direction and is pushed upward by the disc cutters 76A and 76B. And a cutter base 76 </ b> C for cutting it.
[0071]
Here, the disk cutters 76A and 76B and the cutter table 76C are reciprocally movable in the film feeding direction by a traveling device (not shown). When the cover film 52C is cut, the film is synchronized with the laminate film 52. While traveling in the feeding direction, the disk cutters 76A and 76B are moved in the film width direction to perform a flying cut (cutting between runs) for cutting the cover film 52C.
[0072]
The distance between the pair of disk cutters 76A, 76B in the half cutter 76 in the film feeding direction is substantially equal to the distance between the substrates 18 fed between the laminating rolls 12A, 12B.
[0073]
The cover film peeling device 78 is composed of an adhesive tape roll 78A, a swing roll 78B, and a cover film take-up roll 78C, and the adhesive surface side of the adhesive tape 79 unwound from the adhesive tape roll 78 faces upward and outward. In addition, after being wound around the swing roll 78B, the cover roll is taken up by a cover film take-up roll 78C. The pressure-sensitive adhesive surface of the pressure-sensitive adhesive tape 79 is pressed against the cover film 52C by being pressed against the receiving roll 78E through the laminate film 52.
[0074]
Since the adhesive tape 79 is wound on the cover film take-up roll 78C while being adhered to the cover film 52C, the cover film 52C is peeled off from the photosensitive resin layer 52B, and the cover film take-up roll together with the adhesive tape 79. It is wound on 78C.
[0075]
The range in which the adhesive tape 79 is pressed against the cover film 52C by the swing mechanism 78D is other than the portion between the cutting lines formed by the pair of disk cutters 76A and 76B of the half cutter 76. The cover film 52C is peeled off leaving a portion.
[0076]
The laminate film 52 is peeled off by the cover film peeling device 78 as described above, leaving the portion between the substrates 18 and 18, and sent to the lower laminating roll 12B with the photosensitive resin layer 52B exposed. It is.
[0077]
As shown in FIG. 14, the upper laminating roll 12A is instructed to be detachable from a lower laminating roll 12B whose position is fixed, as shown in FIG. The shaft 85 is swingably supported by the side frame 86 of the apparatus, and is connected to the air cylinder 88 at the end opposite to the laminating roll 12A, and is swung by the expansion and contraction of the air cylinder 88. Yes.
[0078]
On the downstream side of the laminating rolls 12A and 12B and the laminate film feeding direction, the first nip roll 90, the transport roll 92, the second nip roll 94, and the rotary cutter 96 are arranged in this order from the laminating rolls 12A and 12B side. Is arranged in.
[0079]
The first nip roll 90 is composed of an upper roll 90A and a lower roll 90B, and the substrate 18 and the laminate film 52 attached thereto are sandwiched therebetween.
[0080]
The upper roll 90A is attached to the tip end of a substantially L-shaped swingable lever 91A, and is swingable to and from the lower roll 90B by swinging the lever 91A by an air cylinder 91B.
[0081]
The second nip roll 94 includes an upper roll 94A and a lower roll 94B. The upper roll 94A is a free roll that is rotatably supported at the tip of a lever 95B that is swingably supported by a shaft 95A, and the substrate 18 and the laminate film 52 are placed between the lower roll 94B and its own weight. It is made to pinch.
[0082]
Here, the upper roll 90A in the first nip roll 90 is from a motor (not shown) by a belt 98A, and the transport roll 92 and the lower roll 94B in the second nip fleur 94 are from a motor (not shown). A rotational force is transmitted so that it can be rotated in synchronism with the feeding speed of the laminating rolls 12A, 12B.
[0083]
The rotary cutter 96 includes a rotary blade 96A and a straight blade 96B. The rotary blade 96A has a configuration in which a cutting blade 96D is wound in a spiral or oblique straight line around a cylindrical member 96C arranged horizontally and in the substrate width direction, and the straight blade 96B has a central axis line of the cylindrical member 96C. It is arranged in a straight line that is long in the substrate width direction in parallel, and its tip contacts the rotation locus of the cutting blade of the rotary blade 96A on the passage locus of the laminate film 52 attached to the substrate 18. It has been made possible.
[0084]
As shown in FIG. 14, when the cutting edge 96D of the cylindrical member 96C is at a position lower than the passage surface of the laminated film 52, the laminated film 52 is above the cylindrical member 96C and is cut. It passes through the inside of a circular passage locus of the blade 96D.
[0085]
Therefore, when the cylindrical member 96C is rotated from this state, the laminate film 52 is cut between the cutting blade 96D and the straight blade 96B.
[0086]
Reference numeral 99 in FIG. 14 denotes a laminate film 52 that is disposed between the second nip roll 94 and the rotary cutter 96 and has passed through the second nip roll 94 or the substrate 18 to which the laminate film 52 is attached. The horizontal guide plate which guides so that it may pass horizontally through the rotary cutter 96 reliably is shown.
[0087]
The laminate film 52 and the substrate 18 pass above the horizontal guide plate 99. Instead of the guide plate 99, compressed air or the like may be blown from below so that the laminate film 52 and the substrate 18 travel in a horizontal state.
[0088]
As shown in the figure, the straight blade 96B is attached to the tip of the swing lever 97, swings about the swing shaft 97A, and swings counterclockwise in FIG. 52, and a standby position that does not interfere with the laminate film 52 and the substrate 18 when it is swung clockwise.
[0089]
The swing lever 97 is swung by being driven up and down by an air cylinder 97B at the end opposite to the straight blade 96B.
[0090]
Here, the swing lever 97 is formed to be long in the substrate width direction, and an air blowing tube 100 is disposed at an upper position thereof, and the swing lever 97 is formed at an appropriate interval in the substrate width direction. The compressed air can be blown in the direction of the rotary blade 96A through the blow-through hole 97C.
[0091]
Accordingly, the laminate film 52 cut by the rotary blade 96A and the straight blade 96B is pushed downward or blown away by the compressed air blown from the air blowing tube 100 through the blow-through hole 97C.
[0092]
A cut piece receiver 102 that is long in the substrate width direction is disposed on the exit side and the lower side of the rotary blade 96A.
[0093]
The cutting receptacle 102 receives a cut piece of the laminated film 52 that has fallen by the inner tray 102A, and can be pulled out to the outer guide 102B. A cut piece of the body film 52 can be taken out.
[0094]
As shown in FIGS. 1 and 9, four optical sensors 50 </ b> A to 50 </ b> D are disposed in the vicinity of the substrate heating device 50.
[0095]
The optical sensor 50 </ b> A is arranged on the entrance side of the heating panel 51 and detects the front end and the rear end of the substrate 18 conveyed by the suction plate 36.
[0096]
As shown in FIG. 9, the optical sensor 50 </ b> B detects the substrate 18 when it reaches the vicinity of the laminating rolls 12 </ b> A and 12 </ b> B side ends of the heating panel 51. Further, the optical sensor 50C is located outside the support plate 58 for supporting the guide roll 54 in the substrate width direction, and is disposed at substantially the same position as the optical sensor 50B in the substrate feeding direction. It is configured to detect a moving table 44 that conveys.
[0097]
Further, the optical sensor 50D is arranged at the upper side of the entrance side of the laminating rolls 12A and 12B and at the center position in the substrate width direction, and detects the tip of the substrate 18 being conveyed.
[0098]
The output signals of these optical sensors 50A to 50D are input to the control device 32, and the control device 32 controls the substrate reversing device 16, the air cylinders 62, 68, 88, 91B and the like based on this signal. Details thereof will be described later.
[0099]
Next, the operation of the substrate width adjusting and reversing device 10 will be described.
[0100]
When the substrate 18 is carried into the substrate width adjusting device 14 in the substrate width adjusting and reversing device 10 by the robot hand unit 20, the suction plate 36 of the substrate reversing device 16 is moved to the substrate loading position as shown in FIG. The substrate 18 is moved to the center of the substrate 18 and is lowered by the lifting device 40 so as to be lower than the position of the substrate 18 as shown in FIG.
[0101]
Further, the roller support members 34A and 34B are driven by the air cylinder 28A as shown by a two-dot chain line in FIG. 5, and the substrate receiving rollers 22 in the substrate receiving roller group 24 are moved at both ends in the width direction of the loaded substrate 18. Keep the part in a position where it can be supported from below. In this state, the substrate 18 is carried into the upper part of the substrate receiving roller group 24 by the hand unit 20 and then lowered so that both ends in the width direction of the substrate 18 are supported from below by the substrate receiving roller group 24. The hand unit 20 is lowered and the substrate 18 is transferred to the substrate receiving roller group 24.
[0102]
When the substrate 18 is transported by the hand unit 20, the central portion in the width direction of the substrate 18 may hang down, but when the suction plate 36 carries the substrate 18 into the position of the substrate width adjusting device 14 by the hand unit 20. In addition, since the position is slightly lower than the substrate 18, the sag is lifted and corrected by the suction plate 36 immediately before being supported by the substrate receiving roller group 24.
[0103]
When the optical sensor 31 detects the substrate 18, the hand unit 20 is retracted by the control device 32, and the width adjusting member 26 is driven inward in the substrate width direction by the air cylinder 30 </ b> A and is supported from below by the substrate receiving roller group 24. The board | substrate 18 of the state currently made is brought near.
[0104]
At this time, since the rotation surface of the substrate receiving roller 22 coincides with the protruding direction of the width adjusting member 26, the substrate 18 is moved in the width direction without resistance.
[0105]
The protruding amount of the width adjusting member 26 is regulated by the length of the spacer 33. Further, when the width adjusting member 26 moves, the clearance groove 30C is formed on the lower side of the width adjusting member 26, so that it does not interfere with the substrate receiving roller 22.
[0106]
Immediately after the width adjustment by the substrate width adjusting device 14, the substrate receiving roller group 24 and the width adjusting member 26 are retracted to the outside of the frame 29 by the air cylinders 28A and 30A. After these retreats, the lifting plate 40 raises the suction plate 36 of the substrate reversing device 16.
[0107]
At this time, a negative pressure is applied in advance to the suction hole 36C of the suction surface, which is the upper surface of the suction plate 36, so that when the suction surface 36B comes into contact with the lower surface of the substrate 18, it can be sucked.
[0108]
When the suction plate 36 is raised to the position of the two-dot chain line shown in FIG. 2 and FIG. 6A by the lifting device 40, the rise is stopped, and at the same time, the rotary device 37 rotates the rotary shaft 36 </ b> A and the suction plate. 36 is rotated 180 ° so that the suction surface 36B of the suction plate 36 faces downward. In this state, as shown in FIG. 6B, the moving table 44 is moved in the direction of the laminating roll 12 by the moving device 46.
[0109]
The suction plate 36 is positioned between the pair of laminating rolls 12 and 12 when the suction surface 36B is inverted downward, so that the moving table 44 advances in the direction of the laminating roll 12. At this time, the substrate 18 adsorbed on the adsorbing surface 36B is interdigitated with the laminated film 52 between the pair of upper and lower laminating rolls 12A and 12B.
[0110]
However, since the substrate 18 adsorbed to the adsorption plate 36 is thin and larger than the adsorption plate 36, the outer peripheral portion of the substrate 18 hangs down and can be caught between the pair of laminating rolls 12A and 12B. Can not.
[0111]
Therefore, when the front end of the substrate 18 is detected by the optical sensor 50A, the moving table 44 is stopped, and in this state, the support bar 56 and the guide roller 54 supported by the air cylinder 62 are illustrated. 9. As shown in FIG. 10, the moving base 44 is moved in the direction of the laminating rolls 12A and 12B by waiting at a position below the passage surface of the substrate 18. When the front end of the substrate 18 is detected by the optical sensor 50B, the moving table 44 is stopped, and then the guide roller 54 is raised so that both ends of the substrate 18 in the width direction are high between the pair of laminating rolls 12A and 12B. Lift it up and correct.
[0112]
Prior to this, the film guide roll 70 was driven counterclockwise from the position of the solid line in FIG. 10 to the position of the two-dot chain line or the position shown in FIG. The air blowing member 64 is advanced from the state shown in FIG. 10 to the position shown in FIG. 11 by the air cylinder 68, and compressed air flows from the concave curved surface 64A at the tip thereof. Etc. are jetted to bring the laminate film 52 into close contact with the laminating roll 12B and to cool it uniformly in the width direction.
[0113]
At this time, as shown in FIG. 11, the guide roller 64 </ b> B attached to the gas blowing member 64 is at a position slightly equidistant from the upper end surface of the guide roller 54 at a position equal to the guide roller 54. It is said.
[0114]
The substrate 18 whose both ends in the width direction are horizontally lifted by the guide roller 64B is transported horizontally in the direction of the laminating rolls 12A and 12B by re-driving the movable table 44.
[0115]
At this time, the front end of the substrate 18 in the advancing direction slightly hangs down, but the guide roller 64B attached to the gas blowing member 64 is at a position slightly lower than the guide roller 54. The tip of 18 rides smoothly on the guide roller 64B and is fed between the pair of laminating rolls 12A and 12B while remaining in a horizontal state.
[0116]
The traveling speed of the moving table 44 in the direction of the laminating roll 12 is synchronized with the feeding speed of the substrate 18 by the laminating rolls 12A and 12B.
[0117]
The laminating rolls 12A and 12B are always rotated in a heated state, and while the substrate 18 is not transported, the upper laminating roll 12A is moved downward by the swing lever 84. Although it is in an “open” state separated from the roll 12B, the front end of the substrate 18 being conveyed is detected by the optical sensor 50D, and then the front end of the substrate 18 is the contact position of the laminating rolls 12A and 12B. The control device 32 drives the swing lever 84 through the air cylinder 88 at the timing when the upper laminating roll 12A is positioned between the laminating roll 12B and the leading end of the substrate 18 that has been loaded. It is made to pinch.
[0118]
The suction of the substrate 18 by the suction surface 36B of the suction plate 36 is maintained until the substrate 18 is bitten by the laminating rolls 12A and 12B to a certain extent, whereby the centering of the substrate 18 is ensured. When the moving table 44 is detected, the negative pressure on the suction surface 36B is released.
[0119]
After the substrate 18 is released, the suction plate 36 is returned to the position indicated by the solid line in FIG. 6A by the moving device 46, is reversed again, and waits until the next substrate is loaded with the suction surface 36B facing upward. The
[0120]
Next, the substrate 18 carried in by the robot's hand unit 20 is immediately brought in the same manner as described above, and then sucked and reversed by the suction plate 36 and is put on standby in front of the substrate heating device 50.
[0121]
When the preceding substrate 18 is sandwiched and conveyed by the laminating rolls 12A and 12B and the rear end of the substrate 18 is detected by the optical sensor 50, the position of the substrate heating device 50 by the moving device 46 of the next substrate 18 is detected. Carrying in is started.
[0122]
The laminate film 52 fed between the laminating rolls 12A and 12B together with the substrate 18 and attached to the substrate 18 is unwound from the film roll 72 as described above, and then covered by the disk cutters 76A and 76B. The film 52C is cut in the width direction at a predetermined position, and then the cover film 52C is peeled off by the cover film peeling device 78 as far as it is attached to the substrate 18, and the laminating is performed with the photosensitive resin layer 52B exposed. Supplied to the roll 12B.
[0123]
Note that the leading end of the laminate film 52 does not come into contact with the rotating laminating rolls 12A and 12B through the film guide roll 70 before the top substrate 18 is fed between the laminating rolls 12A and 12B. In this state, the first and second nip rolls 90 and 94 are sandwiched and set.
[0124]
Of the substrates 18 that are sequentially carried in, the laminate film 52 is not required until the top substrate 18 reaches the position of the rotary cutter 96. Disconnected and processed.
[0125]
More specifically, the laminate film is fed in the right direction in FIG. 14 together with the substrate 18 until the leading end of the first substrate 18 with the laminate film 52 attached has reached the position of the rotary cutter 96. On the other hand, when the rotary blade 96A of the rotary cutter 96 is rotated clockwise at a constant speed, the laminate film 52 is moved from the tip by a predetermined length each time the cutting blade 96D at the tip of the rotary blade 96A comes into contact with the straight blade 96B. It will be cut off.
[0126]
The front end portion of the cut laminate film 52 is conveyed rightward in FIG. 13 by the cutting blade 96D, but from the rotary blade 96A by the compressed air flow blown from the air blowing tube 100 through the blow-through hole 97C. It is shaken off, and falls sequentially onto the tray 102A of the cut piece receptacle 102 and is collected.
[0127]
The rotary cutter 96 is cut by swinging the linear blade 96B via the swing lever 97 by the air cylinder 97B each time the laminated film 52 reaches between the substrates after the leading substrate 18. In addition, after cutting, the straight blade 96B is swung clockwise in FIG. 14 so as not to interfere with the substrate 18, and is ready for the next cutting.
[0128]
As described above, the substrate 18 conveyed by the hand unit 20 of the robot is width-adjusted by the substrate width aligning device 14, reversed by the substrate reversing device 16, and a laminate film between the laminating rolls 12A and 12B. 52, the photosensitive resin layer 52 </ b> B exposed by peeling the cover film 52 </ b> C in the laminate film 52 is attached to the substrate 18, and then the laminate film 52 is cut between the substrates by the rotary cutter 96. Thus, the substrate 18 in a state where the laminate film 52 is stuck is formed.
[0129]
The suction plate 36 in the substrate width-shifting reversing device 10 is configured so that it can be turned 180 ° around the rotation shaft 36A. However, the present invention is not limited to this, and for example, a suction plate is used. The substrate may be reversed by attaching to the tip of the reversing arm and rotating the reversing arm 180 °.
[0130]
【The invention's effect】
Since the present invention is configured as described above, it has an excellent effect that the substrate can be surely brought closer when the substrate is reversed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an example of an embodiment of a substrate width-shifting and reversing device according to the present invention.
FIG. 2 is a front view of the substrate width adjusting and reversing device.
FIG. 3 is an enlarged plan view showing a substrate width adjusting device in the substrate width adjusting and reversing device.
Fig. 4 Front view
FIG. 5 is a side view of the same.
FIG. 6 is a side view showing a substrate reversing device in the substrate width-shifting reversing device.
FIG. 7 is a block diagram showing a control system of the substrate width adjusting and reversing device.
FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of a suction plate in the substrate reversing apparatus.
9 is an enlarged view taken along line IX-IX in FIG.
10 is an enlarged view of a portion corresponding to line XX in FIG.
11 is an enlarged view similar to FIG. 10 showing a state in which the substrate and the laminate film are fed into a laminating roll.
FIG. 12 is an enlarged cross-sectional view showing a laminate film
FIG. 13 is a schematic side view showing a film supply system for supplying a laminate film to a laminating roll.
FIG. 14 is a schematic cross-sectional view showing a laminating roll and a substrate transport system on the exit side thereof.
[Explanation of symbols]
10 ... Substrate width reversing device
12A, 12B ... Laminating roll
14 ... Substrate width adjustment device
16 ... Substrate reversing device
18 ... Board
20 ... Hand part
22 ... Substrate receiving roller
22A ... axis
24. Substrate receiving roller group
26: Alignment member
26A ... Vertical surface
28 ... Substrate receiving roller group driving device
28A ... Air cylinder
28B ... Guide shaft
30 ... Width-shifting member driving device
30A ... Air cylinder
30B ... Guide shaft
30C ... escape groove
32 ... Control device
34A, 34B ... Roller support member
36 ... Suction plate
36B ... Suction surface
36C ... Suction hole
37 ... Rotating device
40 ... Lifting device
44 ... Moving table
46 ... Moving device
52 ... Laminated film

Claims (3)

基板を、ほぼ水平状態で、回転する一対のラミネーティングロールの間にフィルムと共に送り込んで、基板上部表面にフィルムを張り付けるフィルム張付装置における前記ラミネーティングロール入側に配置され、前記ラミネーティングロールに対して、前記基板の幅方向位置を調節する基板幅寄せ装置と、この基板幅寄せ装置による幅寄せ後に、前記基板を180°反転させ、且つ、前記ラミネーティングロールに搬送する基板反転装置と、を有してなる基板幅寄せ反転装置において、
前記基板幅寄せ装置は、前記基板の水平な搬送経路に対して、幅方向両外側から内側に水平に進退自在、且つ、基板搬送方向の軸により回転自在に支持され、前記基板の幅方向両端近傍部分を下方から支持する位置まで基板幅方向内側に突出し、且つ、前記搬送経路上の基板の幅方向両端よりも外側に引込み可能とされた二組の基板受けローラ群と、前記基板受けローラ群上の基板に対して幅方向両外側から進退自在、且つ、この基板の幅方向両端を押して基板の幅方向位置を調節する二組の幅寄せ部材と、前記基板受けローラ群及び幅寄せ部材を基板幅方向に進退させる基板受けローラ群駆動装置及び幅寄せ部材駆動装置を同期して、又は、独立に作動させる制御手段と、を有してなり、
前記基板反転装置は、二組の前記基板受けローラ群の間及び二組の前記幅寄せ部材の間に下方向から臨入し、前記基板下部表面を負圧により吸着自在吸着板と、この吸着板を基板幅方向の中心軸線廻りに180°反転駆動する回転装置と、この回転装置を上下動及び基板送り方向に往復動自在に支持するとともに、反転した基板を水平状態で、前記一対のラミネーティングロールに搬送可能な吸着板搬送装置と、を有してなることを特徴とする基板幅寄せ反転装置。
The laminating roll is disposed on the laminating roll entry side in the film laminating apparatus that feeds the substrate together with the film between a pair of rotating laminating rolls in a substantially horizontal state and attaches the film to the upper surface of the substrate. In contrast, a substrate width adjusting device that adjusts the position in the width direction of the substrate, and a substrate reversing device that reverses the substrate by 180 ° and transports the substrate to the laminating roll after width alignment by the substrate width adjusting device, In a substrate width reversing device comprising:
The substrate width adjusting device is supported so as to be able to move forward and backward horizontally from the outside in the width direction to the inside with respect to the horizontal transfer path of the substrate and to be rotatable by an axis in the substrate transfer direction. Two sets of substrate receiving rollers that protrude inward in the substrate width direction to a position that supports a neighboring portion from below, and that can be retracted outside both ends in the width direction of the substrate on the transport path, and the substrate receiving rollers Two sets of width-adjusting members that can move forward and backward from both sides in the width direction with respect to the substrates on the group and adjust the position in the width direction of the substrates by pressing both ends in the width direction of the substrates, and the substrate receiving roller group and the width-adjusting members And a control means for operating the substrate receiving roller group driving device and the width-shifting member driving device for advancing and retreating in the substrate width direction synchronously or independently.
The substrate reversing device enters from between the two sets of the substrate receiving roller groups and the two sets of the width-adjusting members from below, and an adsorption plate that can adsorb the lower surface of the substrate by negative pressure, A rotating device that reversely drives the suction plate 180 ° around the central axis in the substrate width direction, and supports the rotating device so that the rotating device can be moved up and down and reciprocated in the substrate feed direction. An apparatus for reversing the width of a substrate, comprising: a suction plate transporting device capable of transporting to a laminating roll.
請求項において、前記基板反転装置は、基板送り方向における前記基板の吸着開始位置で、前記基板を、前記吸着板により前記基板受けローラ群よりも高い位置に持ち上げ自在とされたことを特徴とする基板幅寄せ反転装置。2. The substrate reversing device according to claim 1 , wherein the substrate can be lifted to a position higher than the substrate receiving roller group by the suction plate at the suction start position of the substrate in the substrate feeding direction. Substrate width reversing device. 請求項において、前記基板反転装置は、前記基板の幅方向両端近傍部が、前記基板受けローラ群に支持される際、及び、前記基板幅寄せ装置による幅寄せ動作までの間、前記吸着板を、前記基板受けローラ群の高さ位置よりも低く下降させるようにされたことを特徴とする基板幅寄せ反転装置。 3. The substrate reversing device according to claim 2 , wherein the suction plate includes a portion where the vicinity of both ends in the width direction of the substrate is supported by the substrate receiving roller group and until a width aligning operation by the substrate width aligning device. Is lowered below the height position of the substrate receiving roller group.
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