JP3914035B2 - Suction table and suction fixing method - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶表示装置の製造工程の1つであるアウターリードボンディング(OLB)工程において、液晶表示装置のガラス基板を真空吸着によってテーブルの表面に吸着固定するに用いて好適な吸着テーブル及び吸着固定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えばアウターリードボンディング(OLB)工程では、ガラス基板に形成された端子部を清掃する端子清掃工程があり、この工程では液晶基板端子清掃装置が用いられる。
【0003】
この液晶基板端子清掃装置について図5を参照して説明する。
【0004】
図5(a),(b)に示すように、従来知られている液晶基板端子清掃装置は、吸着テーブル1を有し、この吸着テーブル1上にガラス基板10が真空吸着により固定される。この固定状態で、図5(b)に示すように、2個のローラ2がガラス基板10を挟んで上下に配置されると共に、溶剤が滴下された清掃テープ3を介してガラス基板10の端子部に上下から押し付けられる。この状態で、吸着テーブル1に固定されたガラス基板10を吸着テーブル1ごと移動することによって、上下の清掃テープ3が、ガラス基板10の端子部の上面と下面に接触した状態で同時に移動して上記端子部が清掃される。
【0005】
この時、清掃テープ3とガラス基板10の間に摩擦力が生じるため、吸着テーブル1上でガラス基板10の位置がずれることで良好な清掃が妨げられることのないように、従来では吸着テーブル1として、図6に示すような吸着面全体に同心円の吸着用溝11を形成した吸着テーブルを採用し、必要な吸着保持力を得るようにしていた。
【0006】
図7は、図6に示した吸着テーブル1に形成されている吸着用溝11の詳細構成例を示した断面図である。
【0007】
図7に示す様に、吸着テーブル1の表面(吸着面に同じ)に設けられた断面が四角形状の吸着用溝11が、キリ穴12によりテーブル内部を通る吸着用配管穴13と連通し、吸着用配管穴13を図示しない真空ポンプ等の真空源により減圧することにより、その上部に載せられたガラス基板10を吸着用溝11で真空吸着して吸着テーブル1上に固定する様になっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような同心円状の吸着用溝11が吸着面のほぼ全面に形成された従来の吸着テーブル1により、強度が弱い薄いガラス板を用いたガラス基板10を上述のずれが生じない吸着力にて吸着すると、その吸着力が強過ぎてガラス基板10のガラス面に吸着痕がついてしまい、ガラス面の一部が例えば同心円状に変形してしまうという不具合が生じてしまっていた。
【0009】
この変形はガラス基板10を吸着テーブル1から外した後も残り、このようなガラス基板10を用いて液晶表示パネルを組み立てて表示させると、上記吸着痕の部分には画像が表示されないという不具合が生じる。
【0010】
そこで、ガラス面に吸着痕が付かないように吸着テーブル1の吸着保持力を弱めると、ガラス基板10の清掃時の摩擦力によりガラス基板10がずれて良好な清掃が行なえなくなるという問題があった。
【0011】
特に、上記ガラス基板10の中央部分(後述する外周のシール部材から離れているので強度が低い)で吸着痕が発生しやすかった。
【0012】
尚、上記したガラス基板の種類には様々な物があるが、最近のノートパソコン等のモバイル機器に搭載される液晶表示パネル用のガラス基板は薄く且つ軽くする傾向にあり、薄く強度が弱いガラス基板を吸着テーブル1で吸着して清掃するようなケースがこれから多数出て来る傾向にあり、上記のような問題を早急に解決することが要請される。
【0013】
本発明は、上述の如き従来の課題を解決するためになされたもので、その目的は、強度の弱い基板を吸着した場合でも、基板に吸着痕が付くことを防止できる吸着テーブル及び吸着固定方法を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の第1の特徴は、2枚のガラス板の間に液晶が介在され、この液晶を封入するために、前記2枚のガラス板の外周部が、その外周辺に沿って塗布されたシール部材により封止されている液晶基板を吸着固定するための吸着テーブルであって、前記吸着テーブルの外形は、前記液晶基板が固定された状態でこの液晶基板の外周に形成された端子部が吸着テーブルより外方に位置するような大きさとされ、前記液晶基板の外周に形成された端子部の清掃が、2個のローラが前記端子部を挟んで上下に配置された清掃装置により行われる清掃時に前記端子部にかかる摩擦力によって生じる前記液晶基板の回転モーメントに抗する抵抗力を大きくするように、前記液晶基板における前記シール部材により前記ガラス板の強度が比較的高い場所である前記外周部を集中して吸着固定する吸着手段を具備することである。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明を実施した吸着テーブルを有する吸着装置の構成を示した平面図である。但し、従来例に対応する部分には同一符号を付して説明する。
【0017】
この吸着装置の吸着テーブル1は、四角形状をした吸着面(テーブル表面)の外周部に集中して四角形状の複数本の吸着用溝11を周辺部から内側に向かって並んで形成し、吸着面の中心部付近には吸着用溝11がない構造となっている。言い換えるならば、吸着テーブル1の吸着面の外周部に沿って四角形状にループした吸着用溝11を吸着面の外周端から中心方向に複数本並べて形成している。
【0018】
各吸着用溝11は、図7に示す様に、所々でキリ穴12を通してテーブル内部の吸着用配管穴13に連通している。上記吸着用配管穴13は、図1に示した配管14を介して真空源16に接続されており、上記吸着テーブル1上にガラス基板10が載置された状態(図2(a)参照)で上記真空源16が動作することにより、上記ガラス基板10が真空吸着により固定される。このガラス基板10が固定された状態で、従来技術の欄で述べた様な端子清掃工程が行われる。
【0019】
なお、吸着テーブル1の外形は、図2(a)に示されるように従来よりも大きく、しかもこの吸着テーブル1上にガラス基板10が固定された状態で、このガラス基板10の外周に形成された端子部Aが吸着テーブル1より外方に位置するような大きさとされる。
【0020】
次に本実施形態の動作について説明する。吸着テーブル1の吸着面に図2(a)に示すようにガラス基板10を載置した後、上記真空源16の動作によりテーブル内部の吸着用配管穴13を減圧することにより吸着用溝11を減圧して、ガラス基板10をこれら溝11で吸着して吸着テーブル1に固定する。
【0021】
本実施形態によれば、吸着テーブル1の外周部に近い場所に集中的に吸着用溝11を形成してガラス基板10の外周に近い部分(外周部)をこれら吸着用溝11により吸着して固定するため、ガラス基板10の外側にある端子部Aの清掃時に、この部分に摩擦力が掛かってガラス基板10の中心を軸として回転させるようなモーメントが働いた場合、ガラス基板10を吸着テーブル1に固定する吸着部分が回転中心から離れたところの外周部にあるため、たとえ吸着力の付与される面積が従来より小さくても前記回転中心付近を吸着した場合に比べて特に回転モーメントに対する抵抗力を大きくすることができる。
【0022】
即ち、ガラス基板10の外周部の吸着は、ずれに対して大きな抵抗となり、小さな吸着面積(保持力)でもガラス基板10がずれにくいため、吸着用溝11のガラス基板10に対する吸着力を弱くしても、前記摩擦力によりガラス基板10にずれが生じることを防止することができる。すなわち、吸着を確実にしながら吸着力を弱めることができるので、ガラス基板10のガラス面に吸着痕が発生しにくくなる。
【0023】
ここで、図1に示すように吸着用溝11を吸着テーブル1の外周部に集中させると、吸着用溝11の数を減らして上記吸着用溝11上の吸着面積を小さくした場合でも、ガラス基板10の端子部Aを清掃する際に生じる摩擦力に対してガラス基板10の清掃が良好に行なえる程度の保持力を得られることが実験により確認されている。
【0024】
また、ガラス基板10が図3に示すような液晶基板の場合、2枚のガラス板21の間には液晶22が介在されており、この液晶22を封入するために、2枚のガラス板21の外周部は、その外周辺に沿って塗布されたシール部材23により封止されている。このため、ガラス基板10の外周に近い部分は、このシール部材23の存在により吸着力に対するガラス板21の強度が比較的高くなっている。
【0025】
従って、図2(a)に示すように、上記吸着面の外周部に集中して設けられた吸着用溝11を、ガラス基板10の外周部、即ち、シール部材23によりガラス板21の強度が比較的高い場所またはその近辺に対向するようにして設けることで、この強度の比較的高い場所が吸着されることになり、この理由からもガラス基板10のガラス面に吸着痕が発生することを防止できる。
【0026】
更に、吸着用溝11の形状を4角形としたため、吸着テーブル1の外周部には、ガラス基板10の外周辺に塗布されたシール部材23と対向するようにして吸着用溝11を無駄なく集中させることができ、その分、ガラス基板10の外周部を効果的に吸着して、上記効果を得ることができる。
【0027】
尚、上記した吸着テーブル1の外周部に集中して形成した吸着用溝11の本数が多ければ多いほど、ガラス基板10に対する吸着面積が広くなるため、吸着用溝1本当たりの吸着力を小さくしても、全体としてのガラス基板10に対する吸着力を確保でき、しかも、ガラス基板10に対する吸着痕を付きにくくすることができる。だからといって、吸着用溝11の本数を増加させると、しまいには吸着用溝11が吸着テーブル1の中心部に形成されてしまうため、この中心部付近の溝11はガラス基板10の外周部を吸着していないので、前記摩擦力に対するガラス基板10のずれを効果的に防止する吸着力として充分に機能しない。従って、吸着用溝11の本数と吸着用溝1本当たりの吸着力との関係には最適な関係があり、本例はそのようなことを考慮して図1に示したような数の吸着用溝11を吸着テーブル1の周辺に形成しているが、吸着用溝11の形態は例えばジグザグ形であっても良いし、この例に限定されない。
【0028】
また、ここで、図2(b)に示すように、吸着テーブル1に対しガラス基板10が小さく、ガラス基板10の外端が吸着用溝11の内の外周側の溝11Aより内周側に位置する様な場合、上記外周側の吸着用溝11Aを使用しない様にすることもできる。上記外周側の吸着用溝11Aのみを使用しない様にするには、一例として、各吸着用溝11を個別に吸引して減圧する様に構成すれば良い。
【0029】
図4は、本発明による吸着装置の第2の実施形態の構成を示した平面図である。但し、従来例に対応する部分には同一符号を付して説明する。この吸着装置の吸着テーブル1は、図1に示した第1の実施形態と同様に、四角形状をした吸着面の外周部に集中して四角形状の複数の吸着用溝11を形成し、吸着面の中心部付近には吸着用溝がない構造を有している。各吸着用溝11は、図7に示す様に、所々でキリ穴12を通してテーブル内部の吸着用配管穴13に連通し、この吸着用配管穴13が外部の配管14に接続されている。
【0030】
本第2実施形態の特徴部分は、この配管14を圧力調整弁15を介して真空源16に接続し、圧力調整弁15を制御装置17により制御し、吸着用溝11の減圧度、即ち吸着力を調整できる構成にある。他の構成は、上記第1実施形態と同様である。
【0031】
次に本実施形態の動作について説明する。吸着テーブル1の吸着面にガラス基板10を載置した後、真空源16により圧力調整弁15、配管14を介して、テーブル内部の吸着用配管穴を減圧することにより、吸着用溝11を真空にして、ガラス基板10をこの溝11で吸着して吸着テーブル1に固定する。
【0032】
その際、制御装置17はガラス基板10のガラス板21(図3参照)の厚みに応じて圧力調整弁15を制御して、吸着用溝11の減圧度を調整し、適切な吸着力にてガラス基板10を吸着テーブル1に吸着する制御を行う。
【0033】
即ち、ガラス基板10のガラス板21が薄いほどその強度が小さくなるため、吸着テーブル1の吸着力が大きいとガラス基板10のガラス板21に吸着痕が付きやすい、一方、ガラス基板10のガラス板21が厚いとその強度が大きくなるため、吸着テーブル1の吸着力が多少大きくなってもガラス板21に吸着痕が付きにくく、しかも、吸着力が大きい分、ガラス基板10は外部から与えられる摩擦力で動かされず、その固定位置がより安定して、端子部の清掃を良好に行なうことができる。
【0034】
従って、ガラス基板10のガラス板21の厚みに応じて、吸着痕が付かず且つ吸着テーブル1への固定がずれない(ガラス基板の端子部の清掃が良好に行なえる程度にずれないということである)最適な吸着力を選定し、制御装置17により吸着テーブル1の吸着力を保持するガラス基板10の厚みに応じて制御することにより、各種のガラス基板10に対してガラス板21に吸着痕を残さず、且つ、吸着テーブル1に吸着固定されたガラス基板10がずれないようにして、端子部の清掃を行うことができる。
【0035】
尚、本発明は上記実施形態に限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲において、具体的な構成、機能、作用、効果において、他の種々の形態によっても実施することができる。
【0036】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、強度の弱い基板を吸着した場合でも基板に吸着痕が付くことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を実施した吸着テーブルを有する吸着装置の構成を示した平面図である。
【図2】図1に示した吸着テーブルにガラス基板を吸着した状態を示した断面図である。
【図3】図2に示したガラス基板の構造例を示した断面図である。
【図4】本発明を実施した吸着装置の第2の実施形態の構成を示した平面図である。
【図5】一般のガラス基板の端子部の清掃状態を説明するための平面図と側面図である。
【図6】従来の吸着テーブルの吸着面を示した平面図である。
【図7】一般の吸着テーブルに形成された吸着用溝を含む部分断面図である。
【符号の説明】
1 吸着テーブル
10 ガラス基板
11 吸着用溝
12 キリ穴
14 配管
15 圧力調整弁
16 真空源
17 制御装置
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention provides, for example, an adsorption table suitable for use in adsorbing and fixing a glass substrate of a liquid crystal display device to the surface of the table by vacuum adsorption in an outer lead bonding (OLB) process, which is one of the manufacturing processes of a liquid crystal display device. The present invention relates to an adsorption fixing method.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, for example, in an outer lead bonding (OLB) process, there is a terminal cleaning process for cleaning a terminal portion formed on a glass substrate. In this process, a liquid crystal substrate terminal cleaning device is used.
[0003]
This liquid crystal substrate terminal cleaning apparatus will be described with reference to FIG.
[0004]
As shown in FIGS. 5A and 5B, a conventionally known liquid crystal substrate terminal cleaning apparatus has a suction table 1 on which a glass substrate 10 is fixed by vacuum suction. In this fixed state, as shown in FIG. 5B, the two rollers 2 are arranged above and below the glass substrate 10 and the terminals of the glass substrate 10 are passed through the cleaning tape 3 onto which the solvent has been dropped. Pressed against the top and bottom. In this state, by moving the glass substrate 10 fixed to the suction table 1 together with the suction table 1, the upper and lower cleaning tapes 3 are simultaneously moved in contact with the upper and lower surfaces of the terminal portions of the glass substrate 10. The terminal part is cleaned.
[0005]
At this time, since a frictional force is generated between the cleaning tape 3 and the glass substrate 10, conventionally, the suction table 1 is not disturbed by preventing the position of the glass substrate 10 from being shifted on the suction table 1. As shown in FIG. 6, a suction table in which concentric suction grooves 11 are formed on the entire suction surface as shown in FIG. 6 is employed to obtain a necessary suction holding force.
[0006]
FIG. 7 is a sectional view showing a detailed configuration example of the suction groove 11 formed in the suction table 1 shown in FIG.
[0007]
As shown in FIG. 7, the suction groove 11 having a rectangular cross section provided on the surface of the suction table 1 (same as the suction surface) communicates with the suction pipe hole 13 passing through the table through the drill hole 12, By depressurizing the suction piping hole 13 with a vacuum source such as a vacuum pump (not shown), the glass substrate 10 placed on the suction piping hole 13 is vacuum-sucked by the suction groove 11 and fixed on the suction table 1. Yes.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, with the conventional suction table 1 in which the concentric suction grooves 11 as described above are formed on almost the entire suction surface, the glass substrate 10 using a thin glass plate with low strength is suctioned without causing the above-described deviation. When adsorbed by force, the adsorbing force is too strong and an adsorption mark is formed on the glass surface of the glass substrate 10, causing a problem that a part of the glass surface is deformed, for example, concentrically.
[0009]
This deformation remains even after the glass substrate 10 is removed from the suction table 1, and when such a glass substrate 10 is used to assemble and display a liquid crystal display panel, an image is not displayed on the suction mark portion. Arise.
[0010]
Therefore, if the suction holding force of the suction table 1 is weakened so that the glass surface does not have suction marks, there is a problem that the glass substrate 10 is displaced due to the frictional force at the time of cleaning the glass substrate 10 and good cleaning cannot be performed. .
[0011]
In particular, adsorption marks were likely to occur at the central portion of the glass substrate 10 (because it was separated from the outer peripheral sealing member described later and thus the strength was low).
[0012]
There are various types of glass substrates described above, but glass substrates for liquid crystal display panels mounted on recent mobile devices such as notebook personal computers tend to be thin and light, and are thin and weak glass. Many cases in which a substrate is sucked and cleaned by the suction table 1 tend to come out from now on, and it is required to solve the above problems as soon as possible.
[0013]
The present invention has been made in order to solve the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a suction table and a suction fixing method capable of preventing a suction mark from being attached to a substrate even when a weak substrate is sucked. Is to provide.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the first feature of the present invention is that a liquid crystal is interposed between two glass plates, and the outer peripheral portion of the two glass plates has an outer periphery in order to enclose the liquid crystal. An adsorption table for adsorbing and fixing a liquid crystal substrate sealed by a sealing member applied along the outer periphery of the liquid crystal substrate with the liquid crystal substrate being fixed to the outer periphery of the liquid crystal substrate The formed terminal portion is sized so as to be located outside the suction table, and cleaning of the terminal portion formed on the outer periphery of the liquid crystal substrate is arranged with two rollers up and down across the terminal portion. The sealing member in the liquid crystal substrate increases the resistance against the rotational moment of the liquid crystal substrate generated by the frictional force applied to the terminal portion during cleaning performed by the cleaning device. It is provided with a suction means that concentrates and fixes the outer peripheral portion, which is a place where the strength of the plate is relatively high .
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a suction apparatus having a suction table according to the present invention. However, portions corresponding to the conventional example will be described with the same reference numerals.
[0017]
The suction table 1 of this suction device is formed by forming a plurality of square-shaped suction grooves 11 side by side from the periphery to the inside by concentrating on the outer periphery of a rectangular suction surface (table surface). In the vicinity of the center of the surface, there is no suction groove 11. In other words, a plurality of suction grooves 11 looped in a square shape along the outer peripheral portion of the suction surface of the suction table 1 are formed side by side in the center direction from the outer peripheral end of the suction surface.
[0018]
As shown in FIG. 7, each suction groove 11 communicates with a suction piping hole 13 inside the table through a drill hole 12 in some places. The suction piping hole 13 is connected to the vacuum source 16 via the piping 14 shown in FIG. 1, and the glass substrate 10 is placed on the suction table 1 (see FIG. 2A). When the vacuum source 16 operates, the glass substrate 10 is fixed by vacuum suction. With the glass substrate 10 fixed, a terminal cleaning process as described in the section of the prior art is performed.
[0019]
The outer shape of the suction table 1 is larger than the conventional one as shown in FIG. 2A, and is formed on the outer periphery of the glass substrate 10 with the glass substrate 10 fixed on the suction table 1. The terminal A is sized so as to be located outside the suction table 1.
[0020]
Next, the operation of this embodiment will be described. After placing the glass substrate 10 on the suction surface of the suction table 1 as shown in FIG. 2A, the suction groove 11 is formed by depressurizing the suction pipe hole 13 inside the table by the operation of the vacuum source 16. The pressure is reduced, and the glass substrate 10 is sucked by these grooves 11 and fixed to the suction table 1.
[0021]
According to the present embodiment, the suction grooves 11 are formed in a concentrated manner near the outer periphery of the suction table 1, and the portions (outer peripheral portions) near the outer periphery of the glass substrate 10 are sucked by the suction grooves 11. In order to fix, when cleaning the terminal portion A outside the glass substrate 10, if a frictional force is applied to this portion and a moment that rotates about the center of the glass substrate 10 acts, the glass substrate 10 is attached to the suction table. Since the attracting portion fixed to 1 is on the outer peripheral portion away from the rotation center, even if the area to which the attracting force is applied is smaller than in the conventional case, the resistance to the rotation moment is particularly greater than when the vicinity of the rotation center is attracted. The power can be increased.
[0022]
That is, the suction of the outer peripheral portion of the glass substrate 10 becomes a large resistance against the shift, and the glass substrate 10 is not easily shifted even with a small suction area (holding force), so the suction force of the suction groove 11 to the glass substrate 10 is weakened. However, it is possible to prevent the glass substrate 10 from being displaced due to the frictional force. That is, since the suction force can be weakened while ensuring the suction, suction marks are hardly generated on the glass surface of the glass substrate 10.
[0023]
Here, when the suction grooves 11 are concentrated on the outer periphery of the suction table 1 as shown in FIG. 1, even if the suction area on the suction grooves 11 is reduced by reducing the number of the suction grooves 11, the glass It has been experimentally confirmed that a holding force sufficient to clean the glass substrate 10 can be obtained against the frictional force generated when the terminal portion A of the substrate 10 is cleaned.
[0024]
When the glass substrate 10 is a liquid crystal substrate as shown in FIG. 3, the liquid crystal 22 is interposed between the two glass plates 21, and the two glass plates 21 are sealed in order to enclose the liquid crystal 22. The outer peripheral portion is sealed with a seal member 23 applied along the outer periphery thereof. For this reason, in the part near the outer periphery of the glass substrate 10, the strength of the glass plate 21 against the adsorption force is relatively high due to the presence of the seal member 23.
[0025]
Therefore, as shown in FIG. 2A, the strength of the glass plate 21 is increased by the outer peripheral portion of the glass substrate 10, that is, the sealing member 23. By providing it so as to face a relatively high place or the vicinity thereof, a place having a relatively high strength is adsorbed, and for this reason, an adsorption mark is generated on the glass surface of the glass substrate 10. Can be prevented.
[0026]
Further, since the shape of the suction groove 11 is a quadrangular shape, the suction groove 11 is concentrated on the outer peripheral portion of the suction table 1 so as to face the seal member 23 applied to the outer periphery of the glass substrate 10 without waste. Accordingly, the outer periphery of the glass substrate 10 can be effectively adsorbed to obtain the above effect.
[0027]
Note that the larger the number of suction grooves 11 formed concentrated on the outer periphery of the suction table 1, the larger the suction area for the glass substrate 10. Therefore, the suction force per suction groove becomes smaller. Even if it is, the adsorption | suction force with respect to the glass substrate 10 as a whole can be ensured, and also the adsorption | suction trace with respect to the glass substrate 10 can be made hard to attach. However, if the number of the suction grooves 11 is increased, the suction grooves 11 will eventually be formed at the central portion of the suction table 1, so that the grooves 11 near the central portion attract the outer peripheral portion of the glass substrate 10. Therefore, it does not function sufficiently as an adsorption force that effectively prevents the glass substrate 10 from shifting with respect to the frictional force. Therefore, there is an optimum relationship between the number of the suction grooves 11 and the suction force per suction groove, and in this example, the number of suction grooves as shown in FIG. Although the groove 11 for suction is formed in the periphery of the suction table 1, the shape of the groove 11 for suction may be, for example, a zigzag shape, and is not limited to this example.
[0028]
Here, as shown in FIG. 2B, the glass substrate 10 is smaller than the suction table 1 and the outer end of the glass substrate 10 is closer to the inner peripheral side than the outer peripheral groove 11A in the suction groove 11. In such a case, it is possible not to use the suction groove 11A on the outer peripheral side. In order not to use only the suction groove 11A on the outer peripheral side, as an example, the suction grooves 11 may be individually sucked and decompressed.
[0029]
FIG. 4 is a plan view showing the configuration of the second embodiment of the adsorption device according to the present invention. However, portions corresponding to the conventional example will be described with the same reference numerals. As in the first embodiment shown in FIG. 1, the suction table 1 of this suction device concentrates on the outer peripheral portion of the rectangular suction surface to form a plurality of rectangular suction grooves 11 to suck It has a structure without an adsorption groove near the center of the surface. As shown in FIG. 7, each suction groove 11 communicates with a suction pipe hole 13 inside the table through a drill hole 12 in some places, and this suction pipe hole 13 is connected to an external pipe 14.
[0030]
The characteristic part of the second embodiment is that this pipe 14 is connected to a vacuum source 16 via a pressure regulating valve 15, and the pressure regulating valve 15 is controlled by a control device 17, and the degree of decompression of the adsorption groove 11, that is, adsorption. The power can be adjusted. Other configurations are the same as those of the first embodiment.
[0031]
Next, the operation of this embodiment will be described. After the glass substrate 10 is placed on the suction surface of the suction table 1, the suction groove 11 is vacuumed by depressurizing the suction pipe hole inside the table via the pressure control valve 15 and the pipe 14 by the vacuum source 16. Then, the glass substrate 10 is sucked by the groove 11 and fixed to the suction table 1.
[0032]
At that time, the control device 17 controls the pressure adjusting valve 15 according to the thickness of the glass plate 21 (see FIG. 3) of the glass substrate 10 to adjust the degree of decompression of the suction groove 11, with an appropriate suction force. Control for adsorbing the glass substrate 10 to the adsorption table 1 is performed.
[0033]
That is, the thinner the glass plate 21 of the glass substrate 10, the lower the strength. Therefore, if the suction force of the suction table 1 is large, the glass plate 21 of the glass substrate 10 is likely to have suction marks. Since the strength is increased when the thickness 21 is thick, even if the suction force of the suction table 1 is increased to some extent, the glass plate 21 is less likely to have a suction mark. It is not moved by force, the fixing position is more stable, and the terminal portion can be cleaned well.
[0034]
Therefore, according to the thickness of the glass plate 21 of the glass substrate 10, there is no suction mark and the fixing to the suction table 1 is not shifted (the glass substrate terminal portion is not shifted to such an extent that the terminal portion of the glass substrate can be cleaned well). By selecting an optimal suction force and controlling the suction force of the suction table 1 by the control device 17 according to the thickness of the glass substrate 10, suction marks on the glass plate 21 with respect to various glass substrates 10. In addition, the terminal portion can be cleaned in such a manner that the glass substrate 10 that is sucked and fixed to the suction table 1 is not displaced.
[0035]
In addition, this invention is not limited to the said embodiment, In the range which does not deviate from the summary, it can implement also with another various form in a concrete structure, a function, an effect | action, and an effect.
[0036]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the present invention, even when a weak substrate is adsorbed, it is possible to prevent an adsorption mark from being attached to the substrate.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a suction device having a suction table according to the present invention.
2 is a cross-sectional view showing a state in which a glass substrate is sucked onto the suction table shown in FIG.
3 is a cross-sectional view showing an example of the structure of the glass substrate shown in FIG.
FIG. 4 is a plan view showing the configuration of a second embodiment of the adsorption device embodying the present invention.
FIGS. 5A and 5B are a plan view and a side view for explaining a cleaning state of a terminal portion of a general glass substrate. FIGS.
FIG. 6 is a plan view showing a suction surface of a conventional suction table.
FIG. 7 is a partial cross-sectional view including a suction groove formed in a general suction table.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Suction table 10 Glass substrate 11 Suction groove 12 Drill hole 14 Pipe 15 Pressure adjustment valve 16 Vacuum source 17 Controller

Claims (4)

  1. 2枚のガラス板の間に液晶が介在され、この液晶を封入するために、前記2枚のガラス板の外周部が、その外周辺に沿って塗布されたシール部材により封止されている液晶基板を吸着固定するための吸着テーブルであって、
    前記吸着テーブルの外形は、前記液晶基板が固定された状態でこの液晶基板の外周に形成された端子部が吸着テーブルより外方に位置するような大きさとされ、
    前記液晶基板の外周に形成された端子部の清掃が、2個のローラが前記端子部を挟んで上下に配置された清掃装置により行われる清掃時に前記端子部にかかる摩擦力によって生じる前記液晶基板の回転モーメントに抗する抵抗力を大きくするように、前記液晶基板における前記シール部材により前記ガラス板の強度が比較的高い場所である前記外周部を集中して吸着固定する吸着手段を具備することを特徴とする吸着テーブル。
    Liquid crystal is interposed between two glass plates, and in order to enclose the liquid crystal, a liquid crystal substrate in which the outer peripheral portion of the two glass plates is sealed by a sealing member applied along the outer periphery thereof is provided. An adsorption table for adsorbing and fixing,
    The outer shape of the suction table is sized such that a terminal portion formed on the outer periphery of the liquid crystal substrate is positioned outward from the suction table in a state where the liquid crystal substrate is fixed.
    The liquid crystal substrate in which the cleaning of the terminal parts formed on the outer periphery of the liquid crystal substrate, caused by the frictional force exerted on the terminal portion at the time of cleaning performed by the two rollers cleaning device which is arranged vertically across the terminal portions A suction means for concentrating and fixing the outer peripheral portion, which is a place where the strength of the glass plate is relatively high, by the seal member in the liquid crystal substrate so as to increase a resistance force against the rotational moment of the liquid crystal substrate. Adsorption table featuring.
  2. 前記吸着手段が、前記吸着テーブルの表面に形成された吸着用溝と、前記吸着テーブルの表面に前記基板が載置された状態で前記吸着用溝を減圧する減圧手段とを具備することを特徴とする請求項1に記載の吸着テーブル。  The suction unit includes a suction groove formed on a surface of the suction table, and a decompression unit that decompresses the suction groove in a state where the substrate is placed on the surface of the suction table. The suction table according to claim 1.
  3. 前記減圧手段が、前記吸着用溝を減圧させるための真空源と、前記吸着用溝と前記真空源との間を連通する配管に配設され前記吸着用溝の減圧度を前記基板の種類に応じて変化させて前記基板に対する吸着力を制御する圧力制御手段とを具備することを特徴とする請求項2に記載の吸着テーブル。  The depressurizing means is disposed in a vacuum source for depressurizing the adsorption groove, and a pipe communicating between the adsorption groove and the vacuum source, and the depressurization degree of the adsorption groove is set to the type of the substrate. The suction table according to claim 2, further comprising pressure control means for controlling the suction force to the substrate by changing it accordingly.
  4. 前記テーブルの表面は四角形状で、このテーブルの表面の外周部に沿って四角形状にループした吸着用溝をテーブル表面の外周端から中心方向に複数本並べて形成することを特徴とする請求項2又は3に記載の吸着テーブル。  The surface of the table has a quadrangular shape, and a plurality of suction grooves looped in a quadrangular shape along the outer peripheral portion of the surface of the table are formed side by side in the center direction from the outer peripheral end of the table surface. Or the suction table of 3.
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