JP3785538B2 - シリンダにおけるセンサ取付構造及び取付方法 - Google Patents

シリンダにおけるセンサ取付構造及び取付方法 Download PDF

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    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • F15B15/2892Means for indicating the position, e.g. end of stroke characterised by the attachment means

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体圧シリンダにおいて、そのピストンの位置等を検出するためのセンサをシリンダ本体の外面に取り付けるセンサ取付構造及びセンサ取付方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、センサの取付位置をシリンダ本体の軸方向に調整できるようにするため、シリンダ本体の外面に設けられた軸方向に長い長溝に、センサを内蔵したセンサケースの少なくとも一部分を摺動可能に嵌合させ、センサケースを長溝に対して固定手段で固定することが行われている。
【0003】
この種のセンサ取付構造の中から、センサケースを長溝に対して固定する固定手段に特徴があるものとして、例えば次の特許文献に記載のものがあった。
▲1▼ 特許文献1(特開2001−280310号公報)
図1及び図2に示すように、この第1の従来例では、センサケース100をシリンダ本体101の長溝102に対して固定する固定手段として、雄ねじ部材103と四角形のナット104とを用いる。センサケース100の一端には、上面が平らな突部100aが一体に設けられている。この突部100aの上側は欠如部となっているため、突部100aの高さは、センサ素子(図示せず)を内蔵した胴部100bよりも段差をもって低くなっている、突部100aの中央には、上下に貫通する貫通孔105が設けられている。
【0004】
雄ねじ部材103は、雄ねじ部103aと、これよりも小径で雄ねじの無い軸部103bとからなる。ナット104は、ねじ部材103の雄ねじ部103aに螺合する雌ねじ104aを有する。
【0005】
一方、長溝102は、開口部102aと、これよりも幅員が両側に拡がって底面が円弧をなす断面U形の溝内部102bとからなり、溝内部102bの上端両側に水平な肩部102cが形成されている。ナット104は、この溝内部102bの幅員に合致する幅員となっている。
【0006】
雄ねじ部材103の軸部103bは貫通孔105に挿入され、ナット104は雄ねじ部材103の雄ねじ部103aに螺合される。そして、この状態でセンサケース100自体は長溝102に摺動可能に嵌合され、雄ねじ部材103を一定の方向に回して、その軸部103bの先端が長溝102の底面に圧接するとともに、ナット104が長溝102の肩部102cに圧接する状態にすることにより、センサケース100は、長溝102に対して摺動しないように固定される。
【0007】
▲2▼ 特許文献2(実用新案登録第2592877号公報)
図3及び図4に示すように、この第2の従来例では、センサケース200をシリンダ本体201の長溝202に対して固定する固定手段として、雄ねじ部材203と雌ねじ部材204とを用いる。センサケース200の一端には、下側が欠如部200aとなる突部200bが一体に設けられている。この突部200bの上面には、センサ素子(図示せず)を内蔵した胴部200cに続いて、傾斜した両側の肩部200dが形成されている。突部200bの中央には、上下に貫通する貫通孔205が設けられている。
【0008】
雄ねじ部材203は、その全長にわたる雄ねじ203aを有する。雌ねじ部材204は、雄ねじ部材203の雄ねじ203aに螺合する雌ねじ204aを有する。
【0009】
一方、長溝202は、開口部202aと、これよりも幅員が両側に拡がって底面が円弧をなす断面U形の溝内部202bとからなり、溝内部202bの上端両側に、傾斜した肩部202cが形成されている。
【0010】
雌ねじ部材204は突部200bの下側に配置され、雄ねじ部材203は、突部200bの貫通孔205に貫通させて雌ねじ部材203の雄ねじ203aに螺合される。そして、この状態でセンサケース200自体は長溝202に摺動可能に嵌合され、雄ねじ部材203を一定の方向に回して、その先端が長溝202の底面に圧接するとともに、突部200bが雌ねじ部材204にて押し上げられて肩部200dが長溝202の肩部202cに圧接する状態にすることにより、センサケース200は、長溝202に対して摺動しないように固定される。
【0011】
▲3▼ 特許文献3(実公平6−50643号公報)
図5及び図6に示すように、この第3の従来例では、センサケース300をシリンダ本体301の長溝302に対して固定する固定手段として、雄ねじ部材303と固定板304とを用いる。センサケース300の一端の突部300aは、センサ素子305を内蔵した胴部300bからそのまま突出しており、この突部300aには、横方向に貫通する矩形の貫通孔300cと、この貫通孔300cの中央を上下に貫通する円形の貫通孔300dとが設けられている。
【0012】
雄ねじ部材303は、その全長にわたる雄ねじ303aを有する。固定板304は、センサケース300の矩形の貫通孔300cに適合して貫通する断面形状及びサイズとなっており、その中央には、上下に貫通するねじ孔306が設けられている。
【0013】
一方、長溝302は、開口部302aと、これよりも幅員が両側に拡がって底面が台形をなす溝内部302bとからなり、溝内部302bの上端両側に水平な肩部302cが形成されている。
【0014】
固定板304は、センサケース300の横方向の貫通孔300cに挿入され、雄ねじ部材303は、センサケース300の縦方向の貫通孔300dを通じて固定板304のねじ孔306に螺合されている。そして、この状態でセンサケース300自体は長溝302に摺動可能に嵌合され、雄ねじ部材303を一定の方向に回して、その先端が長溝302の底面に圧接するとともに、固定板304が長溝302の肩部302cに圧接する状態にすることにより、センサケース300は、長溝302に対して摺動しないように固定される。
【0015】
▲4▼ 特許文献4(実公平6−50644号公報)
図7に示すように、この第4の従来例では、センサケース400をシリンダ本体401の長溝402に対して固定する固定手段として、雄ねじ部材403とナット404とを用いる。センサケース400の両側面には、その全長にわたる凸部400aが設けられ、またセンサケース400の一端部には、下面に凹部400bが形成されているとともに、この凹部400bの中央へ貫通する貫通孔404cが設けられている。
【0016】
雄ねじ部材403は、その全長にわたる雄ねじ403aを有する。ナット404は、雄ねじ部材403の雄ねじ403aに螺合する雌ねじ404aを有する。
【0017】
一方、長溝402は、従来例▲3▼の場合と同様に、開口部402aと、これよりも幅員が両側に拡がって底面が台形をなす溝内部402bとからなり、溝内部402bの上端両側に水平な肩部402cが形成されている。
【0018】
ナット404は、センサケース400の凹部400bに嵌合され、雄ねじ部材403は、貫通孔404cを通じてナット404の雌ねじ404aに螺合されている。そして、この状態でセンサケース400自体は長溝402に摺動可能に嵌合され、雄ねじ部材403を一定の方向に回して、その先端が長溝402の底面に圧接するとともに、センサケース400の凸部400aが長溝402の肩部402cに圧接する状態にすることにより、センサケース400は、長溝402に対して摺動しないように固定される。
【0019】
【特許文献1】
特開2001−280310号公報(第4頁、図5)
【特許文献2】
実用新案登録第2592877号公報(第4頁、図2、図3)
【特許文献3】
実公平6−50643号公報(第2頁、第1図、第2図)
【特許文献4】
実公平6−50644号公報(第2頁、第2図)
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、第1〜第4の従来例▲1▼〜▲4▼によるとそれぞれ次のような問題点があった。
<従来例▲1▼>
雄ねじ部材103の軸部103bをセンサケース100の貫通孔105に挿入させ、更に雄ねじ部材103の雄ねじ部103aにナット104を螺合させなければならないので、組み立てが面倒であるとともに、センサケース100を長溝102に対して固定状態としたときの安定性が悪い。ナット104は、必ず長溝102に適合させなければならないので、長溝102の断面形状が異なる場合、例えば長溝の肩部が図4のように傾斜しているだけでも、適用できない。
【0021】
<従来例▲2▼>
センサケース200自体の肩部200dを長溝202の肩部202cに圧接させて固定するため、センサケース200と長溝202とを、必ず同じ断面形状にしなければならないので、長溝202の断面形状が異なる場合、それぞれに合わせたセンサケースが必要となる。雌ねじ部材204をセンサケース200の突部200bの下側に配置し、雄ねじ部材203を、突部200bの貫通孔205に貫通させて雌ねじ部材203の雌ねじ部203aに螺合させなければならないので、組み立てが面倒である。
【0022】
<従来例▲3▼>
センサケース300に、矩形の横方向貫通孔300cと、円形の縦方向貫通孔300dを設けなければならないので、センサケース300の製造が面倒である。横方向貫通孔300cに固定板304を挿入し、そのねじ孔306と縦方向貫通孔300dとを一致させておいて、縦方向貫通孔300dを通じて雄ねじ部材303をねじ孔306に螺合させなければならないので、組み立てが面倒である。
【0023】
<従来例▲4▼>
センサケー400に、凸部400a、凹部400b、貫通孔404cを設けなければならないので、センサケース400の製造が面倒である。センサケー400の凹部400bにナット404を嵌合させ、雄ねじ部材403を貫通孔404cを通じてナット404の雌ねじ部404aに螺合させなければならないので、組み立てが面倒である。
【0024】
そこで、本発明の目的は、上述した従来例に比べ、構造が単純で組み立てが容易であるに加え、センサケースをシリンダ本体の長溝に対して安定した状態で固定でき、しかもその位置調整も簡単に行えるセンサ取付構造及び取付方法を提供することにある。
【0025】
【課題を解決するための手段】
本発明のセンサ取付構造では、センサケースの一端の突部に雌ねじが設けられ、この雌ねじに、固定手段として頭部を有する雄ねじ部材が螺合され、その頭部はセンサケースの突部と共にシリンダ本体の長溝内に位置し、該頭部が長溝の内面の肩部に圧接する状態となるように雄ねじ部材を逆締めすることにより、センサケースが長溝に固定されている。
【0026】
その好ましい形態では次のような構成にされる。
センサケースの突部は、センサを内蔵している胴部よりも高さが低く、雄ねじ部材の頭部は、長溝の内面の肩部に圧接した状態で、センサケースの突部の上面と胴部の上面との中間の高さになる。
【0027】
雄ねじ部材の頭部は、長溝の内面の肩部に圧接した状態で、長溝の開口面から突出しない大きさになっている。
【0028】
雄ねじ部材の頭部が長溝の内面の肩部に圧接したとき、センサケースの突部の下面が長溝の底面と密着する。
雄ねじ部材の頭部を円錐台形とすると、種々の長溝に対する適用性が高い。
【0029】
センサケースの突部に筒形ナットが埋設され、雄ねじ部材は、このナットの雌ねじに螺合されている。
その場合、センサケースは樹脂製、雄ねじ部材及び筒形ナットは金属製とする。
【0030】
また、別の形態では、センサケースの突部にねじ孔が設けられているとともに、該突部上にナットが固定されてその雌ねじとねじ孔とが連続し、これらに雄ねじ部材が螺合されている。
その場合、センサケースは樹脂製、雄ねじ部材及び筒形ナットは金属製とする。
【0031】
本発明のセンサ取付方法は、センサケースの一端の突部に設けられた雌ねじに、固定手段として頭部を有する雄ねじ部材を螺合するステップと、該雄ねじ部材の頭部がセンサケースの突部と共にシリンダ本体の長溝内に位置するように、センサケースの一部分を長溝に対しその一端から嵌合させるステップと、雄ねじ部材の頭部が長溝の内面の肩部に圧接する状態となるように雄ねじ部材を逆締めして、センサケースを長溝に固定するステップとを有する。
【0032】
その好ましい具体的形態は次のとおりである。
センサケースの突部に埋設された筒形ナットの雌ねじに雄ねじ部材を螺合させる。
長溝の深さや断面形状が異なる場合、長溝の肩部から底面までの深さの大小に応じた大きさの頭部を有する雄ねじ部材を用い、該雄ねじ部材を筒形ナットの雌ねじに螺合させる
【0033】
センサケースのねじ孔を有する突部上にナットを固着して、該ナットの雌ねじ及びセンサケースの突部のねじ孔に雄ねじ部材を螺合させる。
長溝の深さや断面形状が異なる場合、長溝の肩部から底面までの深さの大小に応じた厚さのナットを用い、該ナットをセンサケースの突部上に固着することで対応する。又は、長溝の肩部から底面までの深さの大小に応じた大きさの頭部を有する雄ねじ部材を用い、該雄ねじ部材をナットの雌ねじ及びセンサケースの突部のねじ孔に螺合させることで対応する。
【0034】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【0035】
図8に、本発明を適用するシリンダ本体1とセンサケース2とのそれぞれの一例の全体の斜視図を示す。
シリンダ本体1は矩形であって、上下左右の4面のそれぞれに、その両端にわたる軸方向に長い長溝3がそれぞれ2本ずつ平行に設けられている。シリンダ本体1内には、図示しないピストンが摺動自在に嵌装されており、シリンダ本体1の例えば上面に設けられた一対の流体給排ポート4から圧力流体を給排することにより、ピストンがピストンロッド5と一体に作動される。
【0036】
センサケース2は中空の胴部2aを有し、その内部には、シリンダ本体1内のピストンをシリンダ本体1外で検出できる磁気的センサ(磁気近接スイッチ)等の図示しないセンサが内蔵されている。センサケース2は、図9に示すように、シリンダ本体1の設置状況等に応じた任意の長溝3に嵌合され、シリンダ本体1内のピストンを検出する所望の位置で後述のように長溝3に固定される。
【0037】
各長溝3は、開口部3aと、これよりも幅員が両側に拡がって底面が円弧をなす断面U形の溝内部3bとからなり、溝内部3bの上端両側に肩部3cが形成されている。図9の例では、この肩部3cは、溝内部3bの中心から見て水平になっている。
【0038】
図10〜図15にセンサケース2側の構成の第1実施例を示す。このセンサケース2は樹脂で一体成形され、その横長の中空の胴部2aは、円形の上部を水平にカットした断面形状(D形断面)の下部2bと、その水平カット面に乗せたような矩形断面の上部2cとからなり、上部2cの幅員は、下部2bの円形断面の直径よりも小さい。胴部2a内にはセンサ6が内蔵されている。図10では、このセンサ6として磁気近接スイッチを示している。
【0039】
胴部2aの一端には、その下部2bからこれと同じ幅員で一体に突出するD形断面の突部2dが設けられている。この突部2dの四角形の上面2eは、胴部2aの下部2bと上部2cとの境界高さよりも低いところから水平に延びていて、この上面2eと胴部2aの水平な上面2fとの間に高さHの段差が形成されている。
【0040】
突部2dの中央には、その水平な上面2eから円弧をなす下面2gまで達する金属製の筒形ナット7が埋設されている。そして、この筒形ナット7の雌ねじ7aに雄ねじ部材8が螺合されている。雄ねじ部材8は、雄ねじ8aと、その外径よりも大きい頭部8bとを有するいわゆる小ねじ(machine screw)であって、頭部8bは円錐台形をなし、その水平な頂面にはマイナス溝8cが設けられている。頭部8bの最大外径は、突部2dの幅員及び長さを越えないサイズとなっている。
【0041】
この第1実施例のセンサケース2は、シリンダ本体1の長溝3に次のようにセットされる。
センサケース2の全体を、雄ねじ部材8の頭部8bと共に、長溝3に対してその一端から嵌合させ、長溝3内を目的の位置(ピストンの検出位置)まで摺動させたら、雄ねじ部材8のマイナス溝8cにドライバを掛けて、雄ねじ部材8を筒形ナット7に対して逆方向、つまり頭部8bが上昇していく方向にドライバで回し、図16に示すように、センサケース2の突部2dの下面2gが長溝3の底面に密着したまま、頭部8bの傾斜面が長溝3の両側の肩部3cに圧接するように、雄ねじ部材8を逆締めする。
【0042】
これにより、センサケース2は、長溝3に対し摺動しないようにその内部に固定される。このとき、雄ねじ部材8の頭部8bは、長溝3の開口面から突出しないとともに、センサケース2の胴部2aの上面2fの高さを越えることもなく、それと突部2dの上面2eとの段差の高さHの範囲内に納まる。このため、頭部8bに外部から物が当たって雄ねじ部材8が緩むようなことを回避できる。
【0043】
図17〜図22にセンサケース2側の構成の第2実施例を示す。このセンサケース2では、第1実施例における筒形ナット7に代えて、センサケース2の突部2dに、上下面に貫通するねじ孔2hが設けられているとともに、この突部2dの四角形の上面に、同形のナット9が接着剤等で固着されている。該ナット9の雌ねじ9aは、ねじ孔2hと一連に連続し、これら雌ねじ9a及びねじ孔2hに、第1実施例と同様の雄ねじ部材8が螺合されている。センサケース2は樹脂製、雄ねじ部材8及びナット9は金属製である。その他の構成は第1実施例と同様である。
【0044】
この第2実施例のセンサケース2をシリンダ本体1の長溝3にセットする場合、センサケース2の全体を、雄ねじ部材8の頭部8bと共に、長溝3に対してその一端から嵌合させ、長溝3内を目的の位置(ピストンの検出位置)まで摺動させたら、雄ねじ部材8のマイナス溝8cにドライバを掛けて、雄ねじ部材8をナット9及びねじ孔2hに対して逆方向、つまり頭部8bが上昇していく方向にドライバで回し、図23に示すように、センサケース2の突部2dの下面2gが長溝3の底面に密着したまま、頭部8bの傾斜面が長溝3の両側の肩部3cに圧接するように、雄ねじ部材8を逆締めする。
【0045】
雄ねじ部材8の頭部8bは、第1及び第2実施例のいずれの場合も円錐台形であるため、長溝3の断面形状、特にその内面の肩部3cの高さや形状が異なっていても対応できる。図24〜図26に、第2実施例の場合を例にしてそのことを示す。
【0046】
図24の場合、長溝3は、矩形断面の開口部3aと、円形の上部が欠如した断面C形の溝内部3bとからなり、この溝内部3bの両側上端部分が肩部3cとなっていて、この肩部3cに雄ねじ部材8の頭部8bの傾斜面が圧接する。
【0047】
図25の場合、長溝3は、矩形断面の開口部3aと断面U形の溝内部3bとからなり、この溝内部3bの両側上端に、その中心から見て水平な肩部3cが形成されており、この肩部3cに雄ねじ部材8の頭部8bの傾斜面が圧接する。
【0048】
図26の場合、長溝3は、図24の場合と同様に矩形断面の開口部3aと断面C形の溝内部3dとからなり、この溝内部3dの両側上端部分が円弧の一部分である肩部3cとなっているが、図24の場合よりも、溝内部3dが大きくて肩部3cの高さが高いので、雄ねじ部材8の頭部8bの高さを高くして肩部3cに圧接させる。
【0049】
長溝3の内面の肩部3cの高さが更に高くなると、雄ねじ部材8の頭部8bを肩部3cに圧接させるに当たり、雄ねじ部材8の雄ねじ8aとナット9の雌ねじ9aとの必要螺合長さが足りなくなるが、その場合は、図27に示すように、図24〜図26の場合よりも厚さが厚いナット9をセンサケース2の突部2dの上面に固着することで対応できる。図27の場合、肩部3cは傾斜している。
【0050】
また、図28に示すように、ナット9は変えないで、頭部8bの大きさが大きい雄ねじ部材8を用いることでも対応できる。頭部8bの大きさが異なる雄ねじ部材8を用いて、長溝3の違いに対応させることは、筒形ナット7を埋設した第1実施例の場合にも適用できる。
【0051】
上述のように、雄ねじ部材8の頭部8bは円錐台形とするのが、種々の長溝3に対する適応性が高いので好ましいが、図29に示すように、長溝3が矩形断面の開口部3aと断面C形の溝内部3dとからなり、この溝内部3dの両側上端部分が円弧の一部分である肩部3cとなっているような場合には、雄ねじ部材8の頭部8bは丸形であってもよい。また、図30に示すように、長溝3の肩部3cが溝内部3bの中心から見て水平になっている場合には、頭部8bは断面矩形であってもよい。更に、マイナス溝8cに代えてプラス溝としてもよい。
【0052】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、センサケースの一端の突部に雌ねじが設けられ、この雌ねじに、固定手段として頭部を有する雄ねじ部材が螺合され、その頭部はセンサケースの突部と共にシリンダ本体の長溝内に位置し、該頭部が長溝の内面の肩部に圧接する状態となるように雄ねじ部材を逆締めすることにより、センサケースが長溝に固定されているので、従来例に比べ、構造が単純で組み立てが容易であるに加え、センサケースをシリンダ本体の長溝に対して安定した状態で固定でき、しかもその位置調整も簡単に行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の従来例の分解斜視図である。
【図2】その軸方向と直交する方向の断面図である。
【図3】第2の従来例の斜視図である。
【図4】その断面図である。
【図5】第3の従来例の軸方向の断面図である。
【図6】その軸方向と直交する方向の断面図である。
【図7】第4の従来例の軸方向と直交する方向の断面図である。
【図8】本発明を適用するシリンダ本体とセンサケースとのそれぞれの一例の全体の斜視図である。
【図9】センサケースをシリンダ本体の長溝内にセットした状態の正面図である。
【図10】センサケース側の構成の第1実施例を示す軸方向の断面図である。
【図11】その平面図である。
【図12】同じく側面図である。
【図13】同じく底面図である。
【図14】図12のI−I線断面図である。
【図15】正面図である。
【図16】長溝内にセットした状態の断面図である。
【図17】センサケース側の構成の第2実施例を示す軸方向の断面図である。
【図18】その平面図である。
【図19】同じく側面図である。
【図20】同じく底面図である。
【図21】図19のII−II線断面図である。
【図22】正面図である。
【図23】長溝内にセットした状態の断面図である。
【図24】長溝の内面の肩部の高さや形状が異なっていても対応できることを第2実施例について示し、(A)は端面図、(B)は断面図である。
【図25】同様のことを示し、(A)は端面図、(B)は断面図である。
【図26】同様のことを示し、(A)は端面図、(B)は断面図である。
【図27】厚さの厚いナットに変えた場合の変形例を示し、(A)は端面図、(B)は断面図である。
【図28】頭部が大きい雄ねじ部材に変えた場合の変形例を示し、(A)は端面図、(B)は断面図である。
【図29】頭部が丸形の雄ねじ部材に変えた場合の変形例を示し、(A)は端面図、(B)は断面図である。
【図30】頭部が断面矩形の雄ねじ部材に変えた場合の変形例を示し、(A)は端面図、(B)は断面図である。
【符号の説明】
1 シリンダ本体
2 センサケース
2a 胴部
2b 下部
2c 上部
2d 突部
2e 突部の上面
2f 胴部の上面
2g 突部の下面
2h ねじ孔
3 長溝
3a 開口部
3b 溝内部
3c 肩部
4 流体給排ポート
5 ピストンロッド
6 センサ
7 筒形ナット
8 雄ねじ部材
8a 雄ねじ
8b 頭部
8c マイナス溝
9 ナット
9a 雌ねじ

Claims (15)

  1. シリンダ本体の外面に設けられた軸方向に長い長溝に、センサ素子を内蔵したセンサケースの少なくとも一部分を摺動可能に嵌合させ、センサケースを長溝に対して固定手段で固定するシリンダにおけるセンサ取付構造であって、前記センサケースの一端の突部に雌ねじが設けられ、この雌ねじに、前記固定手段として頭部を有する雄ねじ部材が螺合され、その頭部はセンサケースの突部と共に前記長溝内に位置し、該頭部が長溝の内面の肩部に圧接する状態となるように雄ねじ部材を逆締めすることにより、センサケースが長溝に固定されていることを特徴とするシリンダにおけるセンサ取付構造。
  2. センサケースの突部は、センサを内蔵している胴部よりも高さが低く、雄ねじ部材の頭部は、長溝の内面の肩部に圧接した状態で、センサケースの突部の上面と胴部の上面との中間の高さになることを特徴とする請求項1に記載のセンサ取付構造。
  3. 雄ねじ部材の頭部は、長溝の内面の肩部に圧接した状態で、長溝の開口面から突出しない大きさになっていることを特徴とする請求項2に記載のセンサ取付構造。
  4. 雄ねじ部材の頭部が長溝の内面の肩部に圧接したとき、センサケースの突部の下面が長溝の底面と密着することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のセンサ取付構造。
  5. 雄ねじ部材の頭部が円錐台形であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のセンサ取付構造。
  6. センサケースの突部に筒形ナットが埋設され、該ナットの雌ねじに雄ねじ部材が螺合されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のセンサ取付構造。
  7. センサケースが樹脂製、雄ねじ部材及び筒形ナットが金属製であることを特徴とする請求項6に記載のセンサ取付構造。
  8. センサケースの突部にねじ孔が設けられているとともに、該突部上にナットが固定されてその雌ねじと前記ねじ孔とが連続し、これらに雄ねじ部材が螺合されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のセンサ取付構造。
  9. センサケースが樹脂製、雄ねじ部材及びナットが金属製であることを特徴とする請求項8に記載のセンサ取付構造。
  10. シリンダ本体の外面に設けられた軸方向に長い長溝に、センサ素子を内蔵したセンサケースの一部分を摺動可能に嵌合させ、センサケースを長溝に対して固定手段で固定するシリンダにおけるセンサ取付方法であって、センサケースの一端の突部に設けられた雌ねじに、前記固定手段として頭部を有する雄ねじ部材を螺合するステップと、該雄ねじ部材の頭部がセンサケースの突部と共に前記長溝内に位置するように、センサケースの一部分を長溝に対しその一端から嵌合させるステップと、前記雄ねじ部材の頭部が長溝の内面の肩部に圧接する状態となるように雄ねじ部材を逆締めして、センサケースを長溝に固定するステップとを有することを特徴とするシリンダにおけるセンサ取付方法。
  11. センサケースの突部に埋設された筒形ナットの雌ねじに雄ねじ部材を螺合させることを特徴とする請求項10に記載のセンサ取付方法。
  12. 長溝の肩部から底面までの深さの大小に応じた大きさの頭部を有する雄ねじ部材を用い、該雄ねじ部材を筒形ナットの雌ねじに螺合させることを特徴とする請求項11に記載のセンサ取付方法。
  13. センサケースのねじ孔を有する突部上にナットを固着して、該ナットの雌ねじ及びセンサケースの突部のねじ孔に雄ねじ部材を螺合させることを特徴とする請求項10に記載のセンサ取付方法。
  14. 長溝の肩部から底面までの深さの大小に応じた厚さのナットを用い、該ナットをセンサケースの突部上に固着することを特徴とする請求項13に記載のセンサ取付方法。
  15. 長溝の肩部から底面までの深さの大小に応じた大きさの頭部を有する雄ねじ部材を用い、該雄ねじ部材をナットの雌ねじ及びセンサケースの突部のねじ孔に螺合させることを特徴とする請求項13に記載のセンサ取付方法。
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