JP3705237B2 - Manufacturing system and a method of manufacturing a display device using the organic electroluminescent element - Google Patents

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Description

【0001】 [0001]
【発明の属する技術分野】 BACKGROUND OF THE INVENTION
本発明は、有機電界発光素子(有機エレクトロルミネッセンス素子;以下「有機EL素子」という) を用いた表示装置の製造システムおよび製造方法に関する。 The present invention relates to an organic electroluminescent device; a manufacturing system and a method of manufacturing a display device using the (organic electroluminescence element hereinafter referred to as "organic EL device").
【0002】 [0002]
【従来の技術】 BACKGROUND OF THE INVENTION
近年、平面型の表示装置として、有機EL素子を発光素子としたもの(以下「有機ELディスプレイ」という)が注目を集めている。 Recently, as a flat type display device, obtained by the organic EL element and the light-emitting element (hereinafter referred to as "organic EL displays") has attracted attention. この有機ELディスプレイは、バックライトが不要な自発光型のフラットパネルディスプレイであり、自発光型に特有の視野角の広いディスプレイを実現できるという利点を有する。 The organic EL display includes a backlight is unnecessary emissive flat panel displays has the advantage of realizing a wide display of specific viewing angle to the self-luminous. また、必要な画素のみを点灯させればよいため消費電力の点でバックライト型(液晶ディスプレイ等)に比べて有利であるとともに、今後実用化が期待されている高精細度の高速のビデオ信号に対して十分な応答性能を具備すると考えられている。 Further, the advantageous compared to the backlight type in terms of the necessary pixel only power for it is sufficient to light up the (liquid crystal display), high-speed video signals of high definition which is expected in the future practical use It is believed to include a sufficient response performance for.
【0003】 [0003]
このような有機ELディスプレイに用いられる有機EL素子は、一般に、有機材料を上下から電極(陽極および陰極)で挟み込む構造を持つ。 The organic EL display organic EL element used in generally has a structure sandwiching the organic material from above and below the electrodes (anode and cathode). そして、有機材料からなる有機層に対して、陽極から正孔が、陰極から電子がそれぞれ注入され、その有機層にて正孔と電子が再結合して発光が生じるようになっている。 Then, the organic layer comprising an organic material, a hole from the anode, electrons are injected respectively from cathode, the holes and electrons in the organic layer is adapted to recombine to emit light occurs. このとき、有機EL素子では、10V以下の駆動電圧で数百〜数万cd/m 2の輝度が得られる。 In this case, the organic EL device, the luminance of several hundreds to several tens of thousands of cd / m 2 is obtained by the following drive voltage 10V. また、有機材料(蛍光物質)を適宜選択することによって、所望する色彩の発光も得ることができる。 Further, by appropriately selecting the organic material (phosphor) can also be obtained emission of desired color. これらのことから、有機EL素子は、マルチカラーまたはフルカラーの表示装置を構成するための発光素子として、非常に有望視されている。 From these, the organic EL element as the light emitting element for a display device of a multi-color or full color, has been very promising.
【0004】 [0004]
ところで、有機EL素子における有機層は、通常、正孔(ホール)注入層、正孔輸送層、発光層、電荷注入層等といった三〜五層が積層されてなる。 Incidentally, the organic layers in the organic EL device, usually, hole-injection layer, a hole transport layer, luminescent layer, three to five layers such as the charge injection layer are laminated. ただし、各層を形成する有機材料は、耐水性が低く、ウエットプロセスを利用できない。 However, the organic material forming each layer has low water resistance, can not be used wet process. そのため、有機層を形成する際には、真空薄膜成膜技術を利用した真空蒸着によって各層を順に成膜して積層構造とするのが一般的である。 Therefore, in forming the organic layer, it is common to the laminated structure by sequentially depositing each layer by vacuum deposition using a vacuum thin film forming technique. また、例えばフルカラーの画像表示を行う場合であれば、R(赤),G(緑),B(青)の各色成分に対応した3種類の有機材料からなる有機層を、それぞれ異なる画素位置に成膜しなければならない。 Further, for example, in the case of performing full color image display, R (red), G (green), the organic layer consisting of three kinds of organic material corresponding to each color component of the B (blue), the different pixel positions It must be deposited. そのため、カラー対応の有機層を形成する際には、それぞれの色成分に対応した開孔パターンのマスクを逐一交換したり、あるいは同一パターンのマスクをその都度位置合わせしつつ、各色成分毎に各層を順にパターニング成膜する、といった手法が用いられている。 Therefore, when forming the organic layer of color correspondence, or one by one exchange mask opening pattern corresponding to the respective color components, or each time while aligning the mask with the same pattern, each layer for each color component sequentially patterning deposited, methods have been used, such as.
【0005】 [0005]
【発明が解決しようとする課題】 [Problems that the Invention is to Solve
しかしながら、従来の手法では、有機EL素子の有機層を成膜するのにあたって、以下に述べるような難点が生じてしまうことが考えられる。 However, in the conventional method, when the forming the organic layer of the organic EL element, it is considered that a drawback as described below occurs.
【0006】 [0006]
例えば、従来は、積層構造の有機層を形成するのにあたり、真空チャンバ内の蒸着源(有機材料の種類)を、各層を成膜する度に変更するといった手法を用いることがあるが、この場合には、各色成分毎に三〜五回分だけ有機材料の温度上昇を行うための時間が余分にかかるとともに、蒸発レートの安定化を行うための時間も必要となってしまう。 For example, conventionally, when forming the organic layer of the laminated structure, the deposition source in the vacuum chamber (the kind of the organic material), it is possible to use techniques such change every time of forming the respective layers, in this case the, with time-consuming extra for the temperature rise of the organic material by three to five times for each color component, it becomes necessary time to do to stabilize the evaporation rate. そのため、有機層の迅速な成膜が困難になってしまい、結果として有機EL素子を製造する上でのタクトタイムに難が生じることが懸念される。 Therefore, rapid formation of the organic layer becomes difficult, results tact time in manufacturing an organic EL element that flame occurs is feared as.
【0007】 [0007]
また、従来は、例えば、同一の真空チャンバ内に複数の蒸着源を配設するとともに、各蒸着源を開閉自在なシャッタ等で覆うことにより、各層の選択的な成膜を迅速に行い得るようにするといった手法を用いることもある。 Further, conventionally, for example, as well as arranging a plurality of evaporation sources in the same vacuum chamber by covering the respective evaporation sources with openable shutters, etc., may quickly perform selective deposition of each layer sometimes use a method such that the. ところが、この場合には、各層の有機材料の温度を安定に維持するのに数十分の時間を要するため、シャッタ等で覆われ成膜に用いない有機材料であっても、蒸発レートを安定させるまでの間に多くを消費してしまう。 However, in this case, since it takes several tens of minutes to maintain the temperature of the organic material layers stably, even organic material is not used for film formation is covered by the shutter or the like, a stable evaporation rate It consumes a lot between up to. つまり、選択的な成膜を行う場合には、有機材料の無駄が生じてしまい、材料消費量の増加に起因する有機EL素子のコスト上昇を招いてしまうおそれがある。 That is, when performing selective deposition, will be wasted resulting organic materials, which may resulting in an increase in cost of the organic EL element due to an increase in material consumption.
【0008】 [0008]
さらには、各層をそれぞれ異なる真空チャンバ内で成膜すること、すなわち一つの真空チャンバと一つの有機材料とを対応させることも考えられるが、この場合には、有機層の多層化に伴って多くの真空チャンバが必要になってしまうため、設備コストや設置スペース等の点で難が生じてしまう。 Furthermore, by depositing each layer at a different vacuum chamber, respectively, that it is conceivable to adapt the one vacuum chamber and one of the organic material, in this case, often with the multi-layered organic layer since the vacuum chamber becomes necessary, flame occurs at the point of such equipment cost and installation space.
【0009】 [0009]
そこで、本発明は、短いタクトタイムおよび少ない材料消費量での成膜を可能にすることで、迅速かつ低コストで製造することのできる有機EL素子を用いた表示装置の製造システムおよび製造方法を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention is that it allows the formation of a short tact time and less material consumption, manufacturing systems and manufacturing method of a display device using an organic EL element that can be manufactured quickly and cost an object of the present invention is to provide.
【0010】 [0010]
【課題を解決するための手段】 In order to solve the problems]
本発明は、上記目的を達成するために案出された有機EL素子を用いた表示装置の製造システムで、基板上に複数層が順次積層されてなる有機EL素子を用いた表示装置を製造するためのものであって、前記複数層に対応する複数の蒸着源が並べて配設されているとともに、前記基板上の被成膜箇所が前記複数の蒸着源と対向する位置を順に通過するように当該基板と前記複数の蒸着源との相対位置を可変させる搬送手段が設けられている有機電界発光素子の製造装置を複数備え、各製造装置がそれぞれ異なる色成分に対応した有機電界発光素子を形成するように構成されているとともに、前記基板および前記マスクが各製造装置を順に通過するように構成されており、各製造装置それぞれの前段に前記基板と当該基板上の被成膜箇所のパタ The present invention is a manufacturing system of a display device using an organic EL element which is devised in order to achieve the above object, producing a display device using an organic EL element in which a plurality layers on a substrate, which are sequentially stacked be for, a plurality of deposition sources are arranged side by side corresponding to said plurality of layers, so as to pass the position where the deposition target point on the substrate is opposed to the plurality of deposition source in order a plurality of apparatus for producing an organic electroluminescent device conveying means for varying the relative position between the substrate and the plurality of deposition sources are provided, forming an organic electroluminescence device each manufacturing apparatus corresponding to different color components, respectively together are configured to, the substrate and the mask are arranged to pass through each manufacturing apparatus in order, pattern of the deposition positions of the substrate and the substrate in front of each of manufacturing apparatuses ニングに用いられるマスクとの位置合わせを行うアライメント装置が配設されていることを特徴とする。 Wherein the alignment device for aligning the mask used in training are provided.
【0011】 [0011]
また、本発明は、上記目的を達成するために案出された有機EL素子を用いた表示装置の製造方法で、基板上に複数層が順次積層されてなる有機電界発光素子を用いた表示装置を製造する方法であって、前記基板と当該基板上の被成膜箇所のパターニングに用いられるマスクとの位置合わせを行い、並列配置された複数の蒸着源と対向する位置を順に通過するように、前記基板および前記マスクと前記複数の蒸着源との相対位置を可変させ、当該基板上の被成膜箇所に前記複数層を積層させて一つの色成分に対応する有機電界発光素子を形成する工程を行い、前記工程を行う複数の製造装置を前記基板および前記マスクが順に通過するようにして前記工程を複数回繰り返すとともに、その複数回繰り返す各工程を前記基板上の被成膜箇所を相 Further, the present invention is a method of manufacturing a display device using an organic EL element which is devised in order to achieve the above object, a display device using an organic electroluminescent device multiple layers on a substrate, which are sequentially stacked a method of manufacturing a, so as to pass through the alignment was carried out, arranged in parallel a plurality of deposition sources facing the positions of the mask used in patterning of the film-forming portion of the substrate and the substrate in this order , the substrate and by varying the relative positions of the plurality of deposition source and the mask to form the organic electroluminescent elements corresponding to the plurality of layers by stacking one color component to be deposited position on the substrate perform steps, the conjunction process the substrate and the mask a plurality of manufacturing apparatuses for performing repeats multiple times the process so as to pass sequentially, the phase to be deposited locations on each step the substrate and repeating the plurality of times させて行うことにより、前記基板上に複数の色成分に対応する各有機電界発光素子が配設されてなる表示装置を構成することを特徴とする。 By performing by, characterized in that each organic electroluminescent elements corresponding to the plurality of color components on said substrate constituting a display device arranged therein.
【0013】 [0013]
上記構成の表示装置の製造システムおよび上記手順の表示装置の製造方法によれば、基板上の被成膜箇所には、その基板が各蒸着源と対向する位置を順に通過する度に、各蒸着源からの蒸着材料による成膜が行われる。 According to the manufacturing method of a display device manufacturing system and the procedure of the display device having the above structure, the deposition target locations on the substrate, each time passing through the position where the substrate is opposed to the evaporation source in order, each vapor deposition film is formed by vapor deposition material from the source. つまり、基板が各蒸着源と対向する位置を通過した後には、その基板上の被成膜箇所に複数層が順次積層されることになる。 In other words, after passing through the position where the substrate is opposed to the evaporation source, a plurality layers are sequentially stacked on the deposition target locations on the substrate. したがって、基板上への複数層の成膜にあたり、各蒸着源に対する処理準備(温度上昇や蒸着レートの安定化等)を略同時に行え、またその場合であっても各蒸着源からの蒸着材料が無駄なく成膜に用いられることになる。 Therefore, when forming the plurality of layers on a substrate, the process prepared for each deposition source (stabilization of the temperature rise and the evaporation rate or the like) substantially performed simultaneously and the vapor deposition material from each deposition source even when the It will be used to without waste deposition.
【0014】 [0014]
しかも、複数層が順次積層されてなる有機EL素子の形成を、 基板およびマスクが複数の製造装置を順に通過するようにしつつ複数の色成分に対応する分だけ繰り返す。 Moreover, repeated formation of an organic EL element in which a plurality layer are sequentially laminated, by an amount corresponding to a plurality of color components while like substrate and the mask to pass through a plurality of manufacturing devices in order. したがって、基板上に複数の有機EL素子が配設されてなる表示装置を構成する場合であっても、各有機EL素子の形成を連続的に行うことが可能となり、しかも各有機EL素子について成膜処理準備や蒸着材料消費量の効率化等が実現可能となる。 Therefore, even when constituting a display device in which a plurality of organic EL elements arranged therein on the substrate, it is possible to perform the formation of the organic EL elements sequentially, moreover formed for each organic EL element increasing efficiency in membrane treatment preparation and deposition material consumption can be realized.
【0015】 [0015]
さらには、基板とマスクとの位置合わせを行った後に、基板およびマスクと蒸着源との相対位置を可変させるので、その相対位置可変の度に異なる状態のアライメント(パターニング成膜)に対応することが可能となり、連続的に複数の有機EL素子を形成する場合であっても、それぞれに対応したパターニング成膜を適切に行えるようになる。 Further, after the alignment of the substrate and the mask, so varying the relative position between the substrate and the mask and the evaporation source, it corresponds to the alignment of the time in different state of the relative position varying (patterned deposition) It becomes possible, even if the continuously forming a plurality of organic EL elements, so properly perform the patterning film formation corresponding to each.
【0016】 [0016]
【発明の実施の形態】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
以下、図面に基づき本発明に係る有機EL素子を用いた表示装置の製造システムおよび製造方法について説明する。 Hereinafter, the manufacturing system and manufacturing method of the display device will be described using an organic EL element according to the present invention based on the drawings. 図1は本発明に係る製造システムを構成する製造装置の概略構成例を示す模式図、図2はその要部の構成例を示す模式図、図3はその製造装置によって製造される有機EL素子の概略構成例を示す模式図、図4はその有機EL素子を製造する際に用いられる搬送治具の概略構成例を示す模式図、図5は本発明に係る製造システムの構成例を示す模式図である。 Figure 1 is a schematic diagram showing an exemplary configuration of a manufacturing apparatus constituting the production system according to the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration example of a main portion thereof, the organic EL element 3 is manufactured by the manufacturing apparatus schematic diagram showing a schematic configuration example of FIG. 4 is a schematic diagram showing a schematic configuration example of a conveying jig used for manufacturing the organic EL device, schematically showing a configuration example of a manufacturing system according to Figure 5 the present invention it is a diagram.
【0017】 [0017]
先ず、はじめに、有機EL素子の概略構成について簡単に説明する。 First, at the beginning, it will be briefly described a schematic configuration of an organic EL device. 図3に示すように、本実施形態において製造される有機EL素子1は、有機ELディスプレイを構成するためのガラス基板2上に形成されたもので、それぞれ異なる材料からなる複数の有機層1a〜1dが順次積層されてなるものである。 As shown in FIG. 3, the organic EL device 1 produced in this embodiment it has been formed on the glass substrate 2 for constituting the organic EL display, a plurality of organic layers of different materials, respectively 1a~ 1d is made are successively stacked. なお、ここでは、積層される層数が四つである場合を例に挙げているが、これに限定されないことは勿論である。 Here, although an example in number of layers to be stacked is four that it is of course not limited thereto.
【0018】 [0018]
ところで、ガラス基板2上には、図示はしていないが、例えばR,G,Bの各色成分に対応した複数の有機EL素子1が、所定パターンに従ってマトリクス状に縦横に配列されている。 Meanwhile, on the glass substrate 2, though not shown, for example, R, G, and a plurality of organic EL elements 1 corresponding to respective color components B, and are arranged vertically and horizontally in a matrix according to a predetermined pattern. 各有機EL素子1の間の相違は、有機層1a〜1dを構成する有機材料(蛍光物質)にある。 The difference between the organic EL element 1 is in the organic material constituting the organic layer 1 a to 1 d (fluorescent substance). これにより、これらガラス基板2および各有機EL素子1を備えて構成された有機ELディスプレイでは、各有機EL素子に所定波長の光を選択的に発生させて、カラー画像の表示を行うことが可能になるのである。 Accordingly, in the organic EL display that is configured with the glass substrates 2 and the organic EL element 1, by selectively generate light of a predetermined wavelength to each of the organic EL element, it can be displayed in the color image it is to become.
【0019】 [0019]
このようなカラー画像を表示するための各有機EL素子1の配列は、例えばR,G,Bの各色成分に対応したパターニング成膜によって各有機EL素子1を形成することで実現可能となる。 Such color image sequence of each organic EL device 1 for displaying, for example R, G, can be realized by forming each organic EL element 1 by patterning deposition corresponding to each color component of B. ここで、パターニング成膜のために用いられる搬送治具の概略構成について説明する。 Here will be described a schematic configuration of a conveying jig used for patterning the film formation. パターニング成膜は、図4に示すように、平板状に形成され、鉄(Fe)やニッケル(Ni)等の強磁性体からなるメタルマスク3を用いて行われる。 Patterning deposition, as shown in FIG. 4, is formed in a plate shape is performed by using a metal mask 3 made of a ferromagnetic material such as iron (Fe) or nickel (Ni). メタルマスク3には、所定の成膜パターンに対応した複数の開孔3aが穿設されている。 The metal mask 3, a plurality of apertures 3a corresponding to the predetermined deposition pattern are drilled. そして、被成膜物であるガラス基板2の一面側を覆うようにそのガラス基板2と密着した状態で、ガラス基板2の他面側に配された電磁石4が発生させる磁力によって固定されるようになっている。 Then, in close contact with a glass substrate 2 so as to cover one surface of the glass substrate 2 is deposition material, such that the electromagnets 4 disposed on the other side of the glass substrate 2 is fixed by the magnetic force generated It has become. このように構成される一体型の搬送治具によって、ガラス基板2上には、所定パターンの成膜を行うことができ、また複数種類のメタルマスク3を用意すれば異なるパターンの多層成膜を行うこともでき、結果として複数の有機EL素子1を縦横に配列することが可能となるのである。 Thus the integral transport jig constructed, on the glass substrate 2 can form a film having a predetermined pattern and a multilayer deposition of different patterns by preparing a plurality of types of metal mask 3 it also is the is possible to arrange a plurality of the organic EL device 1 vertically and horizontally as a result of performing.
【0020】 [0020]
次に、以上のような搬送治具を用いてガラス基板2上に有機EL素子1を形成して有機ELディスプレイを構成するための製造システムについて説明する。 Next, description will be given of a manufacturing system for forming the organic EL display and an organic EL element 1 on the glass substrate 2 by using the above-described conveying jig. 本実施形態で説明する製造システムは、カラー画像の表示が可能な有機ELディスプレイを構成すべく、R,G,Bの各色成分に対応したパターニング成膜を行って、ガラス基板2上に複数の有機EL素子1を縦横に配列するためのものである。 Production system described in the present embodiment, in order to constitute the organic EL display capable of displaying color images, R, G, by patterning deposition corresponding to each color component of B, the plurality on a glass substrate 2 the organic EL device 1 is intended for arranging in a matrix.
【0021】 [0021]
そのために、図5に示すように、本実施形態で説明する製造システムは、大別すると、外部からガラス基板2が供給される基板供給部11と、そのガラス基板2に対してクリーニングや活性化等の前処理を行う前処理部12と、R色に対応したアライメント(ガラス基板2とメタルマスク3との位置合わせおよび固定)を行うR色アライメント部13rと、R色に対応したパターニング成膜を行うR色成膜部14rと、G色に対応したアライメントを行うG色アライメント部13gと、G色に対応したパターニング成膜を行うG色成膜部14gと、B色に対応したアライメントを行うB色アライメント部13bと、B色に対応したパターニング成膜を行うB色成膜部14bと、ガラス基板2とメタルマスク3との分離等の後処理を行う後処理 Therefore, as shown in FIG. 5, the manufacturing system described in this embodiment is roughly composed of a substrate supply portion 11 of the glass substrate 2 is supplied from the outside, cleaning and activation for the glass substrate 2 a preprocessing unit 12 for preprocessing performs etc., and R color alignment unit 13r for aligning corresponding to R color (alignment and fixation of the glass substrate 2 and the metal mask 3), patterned deposition corresponding to R color and R IroNarumaku portion 14r to perform, and G color alignment unit 13g for aligning corresponding to the G color, and the G IroNarumaku portion 14g of patterning film formation corresponding to the G color, the alignment corresponding to the B color workup and B color alignment unit 13b for performing a B IroNarumaku portion 14b of patterning film formation corresponding to the B color, the post-separation or the like of the glass substrate 2 and the metal mask 3 performed 15と、ガラス基板2から分離されたメタルマスク3等をR色アライメント部13rへ供給するリターン部16と、パターニング成膜により各色に対応する有機EL素子1が形成された後のガラス基板2を排出する基板排出部17と、から構成されている。 15, such as a metal mask 3 which is separated from the glass substrate 2 and a return section 16 supplies to the R color alignment unit 13r, the glass substrate 2 after the organic EL element 1 corresponding to the respective colors by patterning deposition is formed a substrate discharging portion 17 for discharging, and a.
【0022】 [0022]
これらの各部11〜17のうち、R色成膜部14r、G色成膜部14gおよびB色成膜部14bが、本実施形態で説明する有機EL素子の製造装置に該当する。 Among these units 11 to 17, R IroNarumaku unit 14r, G IroNarumaku portion 14g and the B IroNarumaku portion 14b is applicable to the manufacturing apparatus of an organic EL element described in this embodiment. すなわち、R色成膜部14r、G色成膜部14gおよびB色成膜部14bが、それぞれR,G,Bの各色成分に対応した有機EL素子1を形成するように構成されている。 Ie, R IroNarumaku unit 14r, G IroNarumaku portion 14g and the B IroNarumaku portion 14b is configured so as to form R, G, and organic EL elements 1 corresponding to the B color components, respectively.
【0023】 [0023]
なお、R色アライメント部13rから後処理部15までの間では、ガラス基板2は、メタルマスク3および電磁石4と一体型の搬送治具を構成した状態で取り扱われるものとする。 In addition, between the R color alignment unit 13r to the post-processing section 15, the glass substrate 2 shall be handled in a state of constituting the metal mask 3 and electromagnet 4 and integrated transport jig. したがって、ガラス基板2、メタルマスク3および電磁石4からなる搬送治具は、R色成膜部14r、G色成膜部14gおよびB色成膜部14bを順に通過することになる。 Therefore, the glass substrate 2, the conveying jig made of metal mask 3 and the electromagnet 4 will pass through R IroNarumaku portion 14r, the G IroNarumaku portion 14g and the B IroNarumaku portion 14b in this order.
【0024】 [0024]
また、R色成膜部14r、G色成膜部14gおよびB色成膜部14bの前段には、それぞれR色アライメント部13r、G色アライメント部13gおよびB色アライメント部13bが配設されていることから、互いに異なる状態のアライメント(パターニング成膜)に対応することが可能である。 In addition, R IroNarumaku unit 14r, the front of the G IroNarumaku portion 14g and the B IroNarumaku portion 14b, respectively R color alignment unit 13r, and G color alignment portion 13g and the B color alignment portion 13b is disposed since there can be corresponding to the different states alignment (patterned deposition) from each other. これらの各部11〜17の間でのガラス基板2または搬送治具の移載やアライメント調整等は、ここではその説明を省略するが、周知のハンドリングロボットや搬送コンベア等を用いて行うものとする。 Transfer and alignment adjustment of the glass substrate 2 or the conveying jig between these units 11 to 17, wherein the is omitted, it is assumed that conducted by using conventional handling robot and conveyor etc. .
【0025】 [0025]
さらに、これらの各部11〜17は、リターン部16の存在によって閉ループ構造を構築している。 Furthermore, these units 11 to 17 are developing a closed-loop structure by the presence of the return portion 16. これにより、搬送治具を構成するメタルマスク3および電磁石4は、R色成膜部14r、G色成膜部14g、B色成膜部14bおよびリターン部16からなる閉ループ内を循環することになる。 Thus, the metal mask 3 and the electromagnet 4 constituting the conveying jig, R IroNarumaku unit 14r, G IroNarumaku portion 14 g, to circulate in a closed loop consisting of B IroNarumaku portion 14b and a return portion 16 Become. 具体的には、R色成膜部14r、G色成膜部14g、B色成膜部14bおよびリターン部16が、R色アライメント部13r、G色アライメント部13g、B色アライメント部13bおよび後処理部15を頂点とする方形状に配されている。 Specifically, R IroNarumaku unit 14r, G IroNarumaku portion 14 g, B IroNarumaku portion 14b and a return portion 16, R color alignment unit 13r, G color alignment unit 13 g, B color alignment unit 13b and after It is arranged the processor 15 to the rectangular shape having vertices. ただし、閉ループ構造は、必ずしも方形状である必要はない。 However, the closed-loop structure does not necessarily have to be the way shape. 例えば、直線状に配されたR色アライメント部13r、G色アライメント部13gおよびB色アライメント部13bに沿うようにしてリターン部16を配設することで、閉ループ構造を構築することも考えられる。 For example, linearly arranged the R color alignment unit 13r, by disposing the return portion 16 so as to follow the G color alignment portion 13g and the B color alignment unit 13b, it is conceivable to construct a closed-loop structure.
【0026】 [0026]
次に、以上のような製造システムにて用いられる有機EL素子の製造装置、すなわちR色成膜部14r、G色成膜部14gおよびB色成膜部14bの詳細について、図1および図2を参照しながら説明する。 Next, a manufacturing apparatus of an organic EL element used in the manufacturing system as described above, i.e., R IroNarumaku unit 14r, the details of G IroNarumaku portion 14g and the B IroNarumaku portion 14b, FIGS. 1 and 2 It refers to the will be described.
【0027】 [0027]
図1に示すように、R色成膜部14r、G色成膜部14gおよびB色成膜部14b(以下、これらを単に「素子製造装置」という)は、いずれも、真空チャンバ141と、その真空チャンバ141内に並列配置された複数の蒸着源142a〜142dと、ガラス基板2と各蒸着源142a〜142dとの相対位置を可変させるための搬送手段143と、真空チャンバ141内への一体型の搬送治具の搬入口および排出口(ただし、いずれも不図示)と、を備えている。 As shown in FIG. 1, R IroNarumaku unit 14r, G IroNarumaku portion 14g and the B IroNarumaku portion 14b (hereinafter, simply referred to as "device manufacturing apparatus") are both a vacuum chamber 141, a plurality of deposition sources 142a to 142d arranged in parallel to the vacuum chamber 141 that, and the transfer mechanism 143 for varying the relative position between the glass substrate 2 and the evaporation source 142a to 142d, one into the vacuum chamber 141 entrance of forms of transfer jig and an outlet (provided that both are not shown) includes a, a.
【0028】 [0028]
このうち、各蒸着源142a〜142dは、それぞれがガラス基板2上に成膜する複数の有機層1a〜1dに対応している。 Among them, the deposition source 142a~142d each correspond to a plurality of organic layers 1a~1d of forming on the glass substrate 2. 例えば、上述したように有機層1a〜1dの層数が四つの場合には、図2(a)に示すように、搬送手段143による相対位置可変方向に沿って一列に並んだ四つの蒸着源142a〜142dを設け、それぞれに異なる有機材料を蒸発させるようにすることが考えられる。 For example, when the number of layers of the organic layer 1a~1d of quadruplicate as described above, as shown in FIG. 2 (a), four evaporation sources arranged in a row along the relative position varying direction by the conveying means 143 the provided 142a to 142d, it is conceivable to vaporize the different organic materials, respectively. ただし、ここでは、並設された蒸着源142a〜142dの数が四つである場合を例に挙げているが、上述した有機層1a〜1dの層数と同様に、これに限定されないことは勿論である。 However, here, the number of juxtaposed deposition source 142a~142d is an example in which the four that as with the number of layers of the organic layer 1a~1d described above, is not limited to this as a matter of course. しかも、必ずしも有機層1a〜1dの層数と蒸着源142a〜142dの数とが一致している必要はない。 Moreover, it is not always necessary to the number of layers of the organic layer 1a~1d and the number of deposition source 142a~142d match. 例えば、同じ有機材料を蒸発させる蒸着源を隣り合って二つ以上設けるようにしてもよく、この場合には、有機層1a〜1dの層数が四つであっても、蒸着源142a〜142dの数は五つ以上となる。 For example, may be provided two or more adjacent deposition source for evaporating the same organic material, in this case, the number of layers of the organic layer 1a~1d are even four that evaporation source 142a~142d the number will be five or more. つまり、ここでいう有機層1a〜1dに対応する数には、有機層1a〜1dと同一の数の他に、有機層1a〜1dよりも多い数も含む。 That is, in this the number corresponding to the organic layer 1 a to 1 d referred, in addition to the number of identical and the organic layers 1 a to 1 d, including greater number than the organic layer 1 a to 1 d.
【0029】 [0029]
また、各蒸着源142a〜142dは、図2(b)に示すように、いずれも、搬送手段143による相対位置可変方向と略直交する方向に延びる線状に構成されている。 Each deposition source 142a~142d, as shown in FIG. 2 (b), both, are configured in a line shape extending in a direction substantially perpendicular to the relative position changing direction by the conveying means 143. つまり、各蒸着源142a〜142dは、ガラス基板2の進行方向と略直交する辺の長さを充分にカバーするだけの蒸着幅を有しており、かつ、その蒸着幅の全域にわたって均一な有機材料の分布が得られるようになっている。 That is, each evaporation source 142a~142d has a deposition width of only enough to cover the length of the side substantially orthogonal to the traveling direction of the glass substrate 2, and, uniform over the entire area of ​​the deposition width organic distribution of material is adapted to be obtained.
【0030】 [0030]
さらに、各蒸着源142a〜142dは、例えばヒータ144の加熱によって有機材料を蒸発させるが、それぞれに独立した温度コントローラ145が接続しているとともに、各温度コントローラ145が成膜の厚さを膜厚センサ146によってモニタしているので、任意の蒸着レートが安定して保たれるようになっている。 Furthermore, the deposition source 142a~142d is, for example, evaporating the organic material by heating of the heater 144, the film thickness with temperature controller 145 is connected to separate each, each temperature controller 145 is the thickness of the deposition since monitored by sensor 146, any evaporation rate is adapted to be maintained stably. つまり、温度コントローラ145および膜厚センサ146によって、各蒸着源142a〜142dは、それぞれ個別に蒸着レートがコントロールされるようになっている。 In other words, the temperature controller 145 and the thickness sensor 146, the deposition source 142a~142d are each individually evaporation rate is adapted to be controlled. ただし、蒸着レートのコントロールは、温度コントローラ145等によるものに限定されることはなく、これとは別に、あるいはこれに追加して、例えば各蒸着源142a〜142dとガラス基板2との距離を個別に調整するための機構を設けることも考えられる。 However, control of the rate of deposition is not limited to those caused by the temperature controller 145 and the like, Alternatively, or in addition thereto, for example, the distance between each deposition source 142a~142d and the glass substrate 2 separate it is conceivable to provide a mechanism for adjusting the.
【0031】 [0031]
なお、各蒸着源142a〜142dの周囲には、将来的な有機層の増加にも容易に対応可能とすべく、予備の蒸発源設置スペースを設けておくことが望ましい。 Incidentally, around each deposition source 142a to 142d, in order to easily adaptable to an increase in the future organic layer, it is desirable to provide the evaporation source installation space for the spare.
【0032】 [0032]
また図1において、搬送手段143は、ガラス基板2を含む一体型の搬送治具を移動させることで、そのガラス基板2と各蒸着源142a〜142dとの相対位置を可変させるようになっている。 In Figure 1, the transport means 143, by moving the integrated transport jig comprising a glass substrate 2, which is a relative position between the glass substrate 2 and the evaporation source 142a~142d so as to variably . このとき、搬送手段143では、搬送治具の移動を真空中で行う必要があることや、蒸着によるゴミの問題等を考慮して、搬送治具を搭載した台車を閉じたワイヤに接続し、そのワイヤを外部からサーボモータ等によって定速駆動して引っ張る、といったシンプルな方式を採用し、これによりその搬送治具の移動を実現することが考えられる。 At this time, the transfer means 143, and it is necessary to perform the movement of the conveying jig in a vacuum, in view of the problems such as the waste by evaporation, connected to the closed wires equipped with trolley for conveying jig, pulled and driven at a constant speed by a servo motor or the like that wires from the outside, a simple method is adopted such, thereby it is conceivable to realize the movement of the conveying jig. ただし、脱ガスの対策等がなされていれば、周知技術であるボールネジやベルトコンベア等による搬送方式を用いても構わないことは勿論である。 However, if measures such as the degassing is performed, it is needless to say that may be using the transfer method using a ball screw or belt conveyor or the like are well known in the art.
【0033】 [0033]
次に、以上のように構成された素子製造装置における処理動作例、すなわち本発明に係る有機EL素子の製造方法について説明する。 Then, the process operation example in configured device manufacturing apparatus as described above, i.e. the method of manufacturing an organic EL element according to the present invention will be described.
【0034】 [0034]
ガラス基板2上に有機EL素子1を形成するのにあたっては、先ず、素子製造装置の前工程、具体的にはR色アライメント部13r、G色アライメント部13gまたはB色アライメント部13bにて、ガラス基板2とメタルマスク3との精密アライメントが行われる。 In forming the organic EL element 1 on the glass substrate 2, first, in the preceding step, specifically, the R color alignment unit 13r, G color alignment portion 13g or B color alignment portion 13b of the device manufacturing apparatus, a glass precision alignment of the substrate 2 and the metal mask 3 is performed. この精密アライメントは、例えば、予め付されたアライメントマークを画像処理等によって検出認識することによって行われる。 This precise alignment is performed, for example, by detecting recognizing alignment mark provided in advance by the image processing and the like. そして、精密アライメントの後、ガラス基板2とメタルマスク3とは、電磁石4による磁力を介して一体型の搬送治具を構成し、ハンドリングロボットや搬送コンベア等によって搬入口から素子製造装置の真空チャンバ141内に搬送される。 After precision alignment, the glass substrate 2 and the metal mask 3 constitute a conveying jig integrated via a magnetic force by the electromagnet 4, the vacuum chamber of the device manufacturing apparatus from the loading port by the handling robot and conveyor etc. It is transported to the 141.
【0035】 [0035]
真空チャンバ141内では、例えばガラス基板2上に材料A,B,C,Dの各有機層1a〜1dを成膜する場合、これらに対応する各蒸着源142a〜142dが、搬送手段143による相対位置可変方向に沿って材料A,B,C,Dの順に配置されている。 In the vacuum chamber 141, for example, the material on the glass substrate 2 A, B, C, when forming each organic layer 1a~1d and D, each evaporation source 142a~142d corresponding to these, the relative by the conveying means 143 material a along a position varying direction, B, C, are arranged in the order of D. そして、各蒸着源142a〜142dは、既に説明したように、ガラス基板2の横幅を充分にカバーする蒸着幅を持ち、かつ、均一な分布を持っている。 Each deposition source 142a~142d, as already described, having a deposition width which adequately cover the width of the glass substrate 2, and has a uniform distribution.
【0036】 [0036]
したがって、真空チャンバ141内に搬送された一体型の搬送治具を搬送手段143が移動させ、その搬送治具を構成するガラス基板2の被成膜箇所、すなわちメタルマスク3の開孔3aが穿設された部分が、材料A,B,C,Dの順に配置された各蒸着源142a〜142dと対向する位置を順に通過すると、そのガラス基板2の被成膜箇所には、材料A,B,C,Dの順に各有機層1a〜1dが積層された状態に成膜されることになる。 Therefore, an integrated transport jig which is conveyed into the vacuum chamber 141 is moved conveying means 143, the deposition point of the glass substrate 2 constituting the conveying jig, i.e. openings 3a of the metal mask 3 is puncture setting portion is, after passing through the material a, B, C, each evaporation source 142a~142d a position facing arranged in the order of D in order, the film-forming portion of the glass substrate 2, materials a, B , C, so that the organic layer 1a~1d is deposited in a state of being stacked in this order D. つまり、各有機層1a〜1dの成膜は、一体型の搬送治具が各蒸着源142a〜142d上を通過することによって、連続して行われる。 That is, the deposition of the organic layer 1a~1d, by the integral conveying jig passes over each deposition source 142a to 142d, are performed continuously.
【0037】 [0037]
このとき、各蒸着源142a〜142dは、 予め設定された条件に従いつつ、それぞれ個別に温度コントローラ145等によって蒸着レートがコントロールされるようになっている。 In this case, the deposition source 142a~142d, while subject to the preset condition, so that the deposition rate is controlled by a respective individual temperature controller 145 or the like. 蒸着レートの設定は、各有機層1a〜1dの膜厚比とこれらに対応する各蒸着源142a〜142dの蒸着レートとの間の比が等しくなり、かつ、設定後の蒸着レートの値が最大になるようにする。 Maximum setting of the deposition rate, the ratio is equal between the deposition rate of each deposition source 142a~142d corresponding to these and the film thickness ratio of the respective organic layers 1 a to 1 d, and the value of the deposition rate after setting to be in. このようにするためには、有機材料の耐熱特性上最も厳しいものに蒸着レートを合わせればよい。 To do so may, combined the evaporation rate to what the most severe heat resistance of organic materials.
【0038】 [0038]
具体的には、以下の述べるように各蒸着源142a〜142dの蒸着レートを設定することが考えられる。 Specifically, it is considered to set the deposition rate of each deposition source 142a~142d as described below. 例えば、必要となる各有機層1a〜1dの膜厚を成膜するのに、各蒸着源142a〜142dが設定可能な最大蒸着レートで成膜を行うと、それぞれ10分、8分、12分、5分といった時間を要する場合を例に挙げる。 For example, for depositing a film thickness of each organic layer 1a~1d required, when performing film formation at a maximum deposition rate can be set by each deposition source 142a to 142d, 10 min each, 8 minutes, 12 minutes , cited as an example a case where time-consuming, such as 5 minutes. この場合、それぞれを最大蒸着レートとすると、一体型の搬送治具が各蒸着源142a〜142dを一定速度で通過するため、各有機層1a〜1dが所望する膜厚とはならない。 In this case, when each the maximum evaporation rate, since the integral conveying jig passes each evaporation source 142a~142d at a constant rate, not a thickness of the organic layer 1a~1d desires. したがって、この場合に、各蒸着源142a〜142dの蒸着レートは、最も時間が掛かり12分を要する蒸着源142cに合わせ、その時間内で各有機層1a〜1dが所望する膜厚となるように設定する。 Therefore, in this case, deposition rate of each deposition source 142a~142d the most time suit deposition source 142c requiring 12 minutes takes, to a thickness of each organic layer 1a~1d in that time is desired set to. このとき、必要ならば、ある有機層に対応する蒸着源を隣り合って2つ以上設け、全体の蒸着レートを最適効率化するようにしてもよい。 At this time, if necessary, adjacent the deposition source corresponding to a certain organic layer provided two or more, may be optimum efficiency of the whole of the evaporation rate.
【0039】 [0039]
なお、必要となる各有機層1a〜1dの成膜にどの程度の時間を要するかは、各蒸着源142a〜142dの蒸着レートと一体型の搬送治具の移動速度とから特定することができる。 Note that either requires how long to form each organic layer 1a~1d required can be specified from the moving speed of the deposition rate and integrated conveying jig of each deposition source 142a~142d . このことから、搬送治具の移動速度のコントロールによって、各有機層1a〜1dの膜厚を制御することも考えられる。 Therefore, the control of the moving speed of the conveying jig, it is conceivable to control the thickness of each organic layer 1 a to 1 d.
【0040】 [0040]
このようにして、各蒸着源142a〜142d上における一体型の搬送治具の通過、すなわち各有機層1a〜1dの成膜が連続して行われると、成膜の終わった搬送治具は、ハンドリングロボットや搬送コンベア等によって、搬出口から素子製造装置の真空チャンバ141外へ搬出される。 In this way, the passage of the conveying jig integrated on each vapor deposition source 142a to 142d, that is, the formation of the organic layer 1a~1d is continuously performed, the conveyance jig was over the film formation, the handling robot or conveyor or the like, is carried out from the carry-out port to the vacuum chamber 141 outside of the device manufacturing apparatus. そして、次の色成分に対応した素子製造装置へ送られて、再び上述した場合と同様の精密アライメントおよび成膜処理が行われる。 Then, sent to the next device manufacturing apparatus corresponding to the color components is performed precise alignment and deposition process similar to the case described above again. これを繰り返すことによって、ガラス基板2上には、R,G,Bの各色成分に対応した有機EL素子1が縦横に配列されるのである。 By repeating this, on the glass substrate 2 is the R, G, organic EL elements 1 corresponding to each color component of B is arranged vertically and horizontally.
【0041】 [0041]
以上のように、本実施形態で説明した有機EL素子1の製造方法およびこれを実行する素子製造装置によれば、並列配置された複数の蒸着源142a〜142dと対向する位置を順に通過するように、ガラス基板2を含む一体型の搬送治具を移動させて、そのガラス基板2上の被成膜箇所に各有機層1a〜1dを順次積層させるようになっている。 As described above, according to the manufacturing method and the device manufacturing apparatus for executing this organic EL device 1 described in this embodiment, so as to pass through the plurality of deposition source 142a~142d a position facing arranged in parallel in this order to, by moving the conveying jig integral including glass substrate 2 so as sequentially to stack the organic layer 1a~1d deposition target locations on the glass substrate 2. すなわち、ガラス基板2上の被成膜箇所には、そのガラス基板2が各蒸着源142a〜142dと対向する位置を順に通過する度に、各蒸着源142a〜142dからの蒸着材料による成膜が行われることになる。 That is, the deposition target locations on the glass substrate 2, each time passing through the position where the glass substrate 2 are opposed to each evaporation source 142a~142d sequentially, film formation by vapor deposition material from each deposition source 142a~142d will take place is that.
【0042】 [0042]
したがって、本実施形態の有機EL素子1の製造方法および素子製造装置によれば、ガラス基板2上への各有機層1a〜1dの成膜にあたり、各蒸着源142a〜142dに対する処理準備(温度上昇や蒸着レートの安定化等)を略同時に行うことができる。 Therefore, according to the manufacturing method and the device manufacturing apparatus of an organic EL device 1 of the present embodiment, when the formation of the organic layer 1a~1d onto the glass substrate 2, the process preparation (temperature rise for each deposition source 142a~142d stabilization etc.) and evaporation rate substantially can be performed simultaneously. そのため、各有機材料毎に温度上昇を行ったり蒸発レートの安定化を行ったりする時間が余分に必要となることがないので、各有機層1a〜1dの迅速な成膜が実現可能となり、結果として有機EL素子1を製造する上でのタクトタイム向上が期待できる。 Therefore, since no time or perform a stabilization of the evaporation rate or the temperature was increased for each organic material is additionally required, rapid formation of the organic layer 1a~1d becomes feasible, result tact time increase in manufacturing an organic EL element 1 as can be expected.
【0043】 [0043]
具体的には、上述した場合と同様、例えば四層構造の各有機層1a〜1dの膜厚を成膜するのに、各蒸着源142a〜142dが設定可能な最大蒸着レートで成膜を行うと、それぞれ10分、8分、12分、5分といった時間を要する場合を例に挙げる。 Specifically, as in the case described above, for example, for depositing a film thickness of each organic layer 1a~1d of four-layer structure, the film is formed at the maximum deposition rate can be set by each vapor deposition source 142a~142d If, given 10 minutes each, 8 minutes, 12 minutes, a case requiring 5 minutes such time as an example. この場合、従来の手法であると、10分+8分+12分+5分=合計35分を要することが考えられるが、本実施形態の製造方法および素子製造装置によれば、最も時間の掛かる蒸着レートに合わせるため、12分+蒸着源142a〜142d全体の通過時間8分=合計20分となり、結果として約40%のタクトタイム短縮を実現することができる。 In this case, if there in a conventional manner, it is conceivable to take a +12 min + 5 min = Total 35 min 10 min + 8 min, according to the manufacturing method and the device manufacturing apparatus of the present embodiment, the most time-consuming evaporation rate order to meet, is 12 minutes + deposition source 142a~142d total transit time 8 min = a total of 20 minutes, it is possible to realize about 40% tact time as a result.
【0044】 [0044]
しかも、本実施形態の有機EL素子1の製造方法および素子製造装置によれば、各蒸着源142a〜142dと対向する位置をガラス基板2が順に通過することによって、各有機層1a〜1dの成膜が連続して行われるので、各蒸着源142a〜142dからの蒸着材料が無駄なく成膜に用いられることになる。 Moreover, according to the manufacturing method and the device manufacturing apparatus of an organic EL device 1 of the present embodiment, by the position opposed to the respective evaporation sources 142a~142d glass substrate 2 passes sequentially formed in the organic layer 1a~1d because film is continuously performed, so that the deposition material from the deposition source 142a~142d is used without waste deposition. 各蒸着源142a〜142dにおける材料消費量の効率向上化が図れ、タクトタイムの短縮と同様の材料消費率の削減が見込まれるので、従来よりも有機EL素子1のコスト削減を実現し得ることが期待できる。 Hakare efficiency improvement of the material consumption in the evaporation source 142a to 142d, because the reduction of the shortening and similar material consumption rate of tact time is expected, but also the conventional can realize cost reduction of the organic EL element 1 It can be expected.
【0045】 [0045]
さらに、本実施形態の有機EL素子1の製造方法および素子製造装置では、一つの真空チャンバ141内で複数の有機層1a〜1dの成膜を連続して行うようになっているので、有機層1a〜1dが多層化する場合であっても一つの真空チャンバ141があれば済む。 Furthermore, in the manufacturing method and device manufacturing apparatus of an organic EL device 1 of the present embodiment, since so as to perform in succession the deposition of the plurality of organic layers 1a~1d within one vacuum chamber 141, the organic layer 1a~1d suffices if there is a vacuum chamber 141 even when the multi-layered. すなわち、多くの真空チャンバを必要としなくても、成膜処理の迅速化や材料消費量の効率向上化等が図れる。 That is, without requiring more vacuum chamber, faster and improved efficiency of material consumption in the film forming process can be achieved. したがって、設備コストや設置スペース等の増加を招くことなく、有機EL素子1の製造タクトタイム向上やコスト削減等を実現することが可能となる。 Accordingly, without increasing the other equipment cost and installation space, it is possible to realize the production tact time improvement and cost reduction of the organic EL element 1.
【0046】 [0046]
また、本実施形態の素子製造装置では、各蒸着源142a〜142dが搬送手段143による相対位置可変方向と略直交する方向に延びる線状に構成されている。 Furthermore, in device manufacturing apparatus of this embodiment, the deposition source 142a~142d is configured linearly extending in a direction substantially orthogonal to the relative position changing direction by the conveying means 143. したがって、当該直交方向において各有機層1a〜1dの膜厚が均一化するので、各有機層1a〜1dを連続して成膜する場合であっても、それぞれの膜厚精度等を確保するのが非常に容易となる。 Therefore, the the film thickness of each organic layer 1 a to 1 d in the orthogonal direction is uniform, even when continuously formed each organic layer 1 a to 1 d, to ensure the film thickness accuracy and the like It is very easy. ただし、各蒸着源142a〜142dは、上述したような線状に構成することが望ましいが、必ずしも線状である必要はなく、例えば点状に構成されたものであっても、それらを並設すれば、製造タクトタイム向上やコスト削減等が実現可能となる。 However, the deposition source 142a~142d, it is desirable to configure a line shape as described above, need not necessarily be linear, even those that are configured, for example, point-like, juxtaposed them if production tact time improvement and cost reduction, etc. can be achieved.
【0047】 [0047]
また、本実施形態の素子製造装置では、搬送手段143が一体型の搬送治具を移動させることで、ガラス基板2と各蒸着源142a〜142dとの相対位置を可変させるようになっている。 Furthermore, in device manufacturing apparatus of this embodiment has a carry unit 143 is adapted to varying the relative positions of and moving the conveying jig integral, and the glass substrate 2 and the evaporation source 142a to 142d. したがって、その相対位置可変を、シンプルな方式で、かつ、高精度に行うことが、非常に容易となる。 Therefore, the relative position varying, in a simple manner, and to perform with high accuracy, is very easy. ただし、ガラス基板2ではなく、各蒸着源142a〜142dを移動させても構わないことはいうまでもない。 However, the glass substrate 2 without, of course, may be moved each deposition source 142a to 142d.
【0048】 [0048]
また、本実施形態の素子製造装置では、各蒸着源142a〜142dに対応して温度コントローラ145等を設けることによって、各蒸着源142a〜142d毎に個別に蒸着レートをコントロールし得るようになっている。 Furthermore, in device manufacturing apparatus of this embodiment, by providing the temperature controller 145 or the like corresponding to each deposition source 142a to 142d, so can control the individual deposition rates for each deposition source 142a to 142d there. したがって、一体型の搬送治具が各蒸着源142a〜142d上を一定速度で通過しても、各有機層1a〜1dの膜厚を所望値に成膜することが可能となる。 Therefore, it is possible to form even through integral conveying jig of the above each evaporation source 142a~142d at a constant speed, the thickness of each organic layer 1a~1d to the desired value. さらには、各蒸着源142a〜142d毎に膜厚のモニタ結果を基にしたフィードバック制御等を行うことも可能となるので、より一層成膜の高精度化を実現し得るようにもなる。 Further, since it is possible to perform feedback control or the like based on the thickness of the monitoring results for each deposition source 142a to 142d, it becomes also adapted to achieve a further high accuracy of film deposition.
【0049】 [0049]
また、本実施形態で説明した有機ELディスプレイの製造システムおよびその製造システムを用いた製造方法によれば、ガラス基板2、メタルマスク3および電磁石4からなる搬送治具が、それぞれ異なる色成分に対応したR色成膜部14r、G色成膜部14gおよびB色成膜部14bを順に通過するようになっている。 According to the manufacturing method using the manufacturing system and manufacturing system of the organic EL displays described in the present embodiment, the glass substrate 2, conveying jig made of metal mask 3 and the electromagnet 4, corresponding to different color components the R IroNarumaku portion 14r, is adapted to pass through the G IroNarumaku portion 14g and the B IroNarumaku portion 14b in this order. したがって、R,G,Bの各色成分に対応した有機EL素子1からなる有機ELディスプレイを連続的に構成することが可能となり、しかもその際に各有機EL素子1について上述したように成膜処理準備や蒸着材料消費量の効率化等が実現可能となる。 Thus, R, G, continuously it is possible to constitute the organic EL display comprising an organic EL element 1 corresponding to each color component of B, yet the film-forming process as described above for the organic EL element 1 at that time increasing efficiency in preparation and deposition material consumption can be realized.
【0050】 [0050]
さらに、本実施形態の製造システムによれば、R色アライメント部13r、G色アライメント部13gおよびB色アライメント部13bが各色に対応したアライメントを個別に行うので、R色成膜部14r、G色成膜部14gおよびB色成膜部14bが連続的に各色の有機EL素子1を形成する場合であっても、各色に対応したパターニング成膜を適切に行うことが可能となる。 Further, according to the manufacturing system of this embodiment, R color alignment unit 13r, since G color alignment portion 13g and the B color alignment unit 13b performs individual alignment corresponding to each color, R IroNarumaku portion 14r, the G color even when the film forming section 14g and the B IroNarumaku portion 14b forms a continuous organic EL element 1 of each color, it is possible to appropriately perform patterning deposition corresponding to each color.
【0051】 [0051]
また、本実施形態の製造システムによれば、リターン部16の存在によって閉ループ構造を構築されていることから、搬送治具が当該閉ループ内を循環することになる。 Further, according to the manufacturing system of the present embodiment, because it is constructed a closed loop structure by the presence of the return portion 16, so that the conveying jig is circulated within the closed loop. したがって、各色成分に対応した有機EL素子1を連続的に形成する場合であっても、その一連の流れの完全自動化が実現可能となり、有機ELディスプレイの製造の効率化を図る上で非常に好適なものとなる。 Therefore, even when the organic EL element 1 corresponding to each color component formed continuously, the full automation of the series of flow becomes feasible, very suitable in achieving the efficiency of manufacturing an organic EL display become a thing.
【0052】 [0052]
特に、本実施形態で説明したように、閉ループ構造を方形状とした場合には、リターン部16による搬送治具の移動距離を最も短くすることができ、しかも製造システムの設置面積も省スペース化が可能となることから、結果としてシステム構成の小型化や低コスト化等が実現容易となる。 In particular, as described in the present embodiment, when the closed-loop structure and rectangular shape can be the shortest movement distance of the transfer jig by the return portion 16, moreover footprint of the production system is also space saving since it is possible, the result size and cost and the like of the system configuration is facilitated implemented as.
【0053】 [0053]
なお、本実施形態では、本発明の実施の好適な具体例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、種々変形することが可能である。 In the present embodiment has been described using a preferred embodiment of the present invention, the present invention is not limited thereto and may be variously modified. すなわち、本実施形態で説明した素子製造装置を構成する一連の構成要素の材質、形状、動作機構等は、必ずしもこれらに限られるものではなく、各構成要素の機能を同様に確保することが可能な限り、自由に変更可能である。 That is, the material of the set of components constituting the device manufacturing apparatus described in the present embodiment, the shape, operation mechanism, etc. is not necessarily limited thereto, can be similarly ensured function of each component as long as such, it can be freely changed. この場合においても、本実施形態の場合と同様の効果を得ることができる。 In this case, it is possible to obtain the same effects as the present embodiment. 例えば、本実施形態では、板状のガラス基板2上に有機EL素子1を形成する場合を例に挙げて説明したが、樹脂材料からなるフィルム素材等のようなロール状の基板であっても、全く同様に対応することができる。 For example, in the present embodiment has been described taking a case of forming the organic EL element 1 on the plate-like glass substrate 2 as an example, be a roll-shaped substrate such as a film material such as made of a resin material It may correspond quite similarly.
【0054】 [0054]
【発明の効果】 【Effect of the invention】
以上に説明したように、本発明に係る有機EL素子を用いた表示装置の製造システムおよび製造方法では、有機EL素子が成膜される基板とマスクとその被成膜箇所のパターニングに用いられるマスクとの位置合わせを行った後に、並列配置された複数の蒸着源と対向する位置を順に通過するように、有機EL素子が成膜される基板と各蒸着源との相対位置を可変させて、その基板上の被成膜箇所に複数層を順次積層させるようになっているので、従来に比べて短いタクトタイムおよび少ない材料消費量での成膜が可能となり、結果として迅速かつ低コストで有機EL素子を製造することができるようになる。 As described above, in the manufacturing system and manufacturing method of a display device using an organic EL element according to the present invention, it used a substrate and mask organic EL element is formed with the patterning of the film-forming portion Mask after the alignment of the, so as to pass through the position facing the plurality of evaporation sources arranged in parallel in this order, and the relative position between the substrate and the deposition source organic EL element is formed is varied, since adapted to sequentially stacking a plurality of layers to be deposited portion of the substrate, film formation becomes possible in a short tact time and less material consumption compared with a conventional, organic quickly and cost as a result it is possible to manufacture an EL element.
【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
【図1】 本発明に係る製造システムを構成する製造装置の概略構成例を示す模式図である。 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration example of a manufacturing apparatus constituting the production system of the present invention.
【図2】 本発明に係る製造システムを構成する製造装置の要部の構成例を示す模式図であり、(a)はその要部を正面から見た図、(b)はその要部を側面からみた図である。 Figure 2 is a schematic diagram showing an example of a configuration of part of the manufacturing apparatus constituting the production system according to the present invention, figure, (b) the main portion thereof as seen from (a) is a front of the main portion thereof is a view as seen from the side.
【図3】 本発明に係る製造システムを構成する製造装置によって製造される有機EL素子の概略構成例を示す模式図である。 3 is a schematic diagram showing a schematic configuration example of the organic EL device manufactured by the manufacturing apparatus constituting the production system of the present invention.
【図4】 有機EL素子を製造する際に用いられる搬送治具の概略構成例を示す模式図である。 4 is a schematic diagram showing a schematic configuration example of a conveying jig used for manufacturing the organic EL element.
【図5】 本発明に係る有機EL素子を用いた表示装置の製造システムの構成例を示す模式図である。 5 is a schematic view showing a configuration example of a manufacturing system of a display device using an organic EL element according to the present invention.
【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS
1…有機EL素子、1a,1b,1c,1d…有機層、2…ガラス基板、3…メタルマスク、14r…R色成膜部、14g…G色成膜部、14b…B色成膜部、141…真空チャンバ、142a,142b,142c,142d…蒸着源、143…搬送手段、144…ヒータ、145…温度コントローラ、146…膜厚センサ 1 ... organic EL element, 1a, 1b, 1c, 1d ... organic layer, 2 ... glass substrate, 3 ... metal mask, 14r ... R IroNarumaku portion, 14 g ... G IroNarumaku portion, 14b ... B IroNarumaku unit , 141 ... vacuum chamber, 142a, 142b, 142c, 142d ... vapor deposition source, 143 ... transfer means, 144 ... heater, 145 ... temperature controller, 146 ... the film thickness sensor

Claims (5)

  1. 基板上に複数層が順次積層されてなる有機電界発光素子を用いた表示装置の製造システムであって、 Multiple layers on a substrate a manufacturing system of a display device using an organic electroluminescent device formed by sequentially stacking,
    前記複数層に対応する複数の蒸着源が並べて配設されているとともに、前記基板上の被成膜箇所が前記複数の蒸着源と対向する位置を順に通過するように当該基板と前記複数の蒸着源との相対位置を可変させる搬送手段が設けられている有機電界発光素子の製造装置を複数備え、 Together are arranged side by side a plurality of deposition sources corresponding to the plurality of layers, deposited deposition target locations on the substrate of the with the substrate more to pass through a position opposed to the plurality of deposition source in order a plurality of apparatus for producing an organic electroluminescent device is conveying means for varying the relative position of the source is provided,
    各製造装置がそれぞれ異なる色成分に対応した有機電界発光素子を形成するように構成されているとともに、 With each manufacturing apparatus is configured to form an organic electroluminescent elements corresponding to different color components, respectively,
    前記基板および前記マスクが各製造装置を順に通過するように構成されており、 Is configured such that the substrate and the mask passes through each manufacturing apparatus in order,
    各製造装置それぞれの前段に前記基板と当該基板上の被成膜箇所のパターニングに用いられるマスクとの位置合わせを行うアライメント装置が配設されている ことを特徴とする有機電界発光素子を用いた表示装置の製造システム。 It uses an organic electroluminescent device, characterized in that alignment to align the mask used for patterning the deposition target locations on the substrate and the substrate in front of each of manufacturing apparatuses device is arranged production system of the display device.
  2. 複数の製造装置および各製造装置に対応して配設されたアライメント装置に加えて、最後段の製造装置を通過したマスクを最前段のアライメント装置へ供給するリターン装置を備え、各製造装置、各アライメント装置およびリターン装置によって閉ループ構造が構築されている ことを特徴とする請求項1記載の有機電界発光素子を用いた表示装置の製造システム。 In addition to the plurality of manufacturing apparatuses and alignment device which is disposed in correspondence with the manufacturing apparatus, a mask that has passed through the apparatus for manufacturing a final stage comprises a return device for supplying to the forefront stage of the alignment device, the manufacturing apparatus, each manufacturing system of a display device using an organic electroluminescent device of claim 1, wherein the closed loop structure is constructed by the alignment device and return device.
  3. 前記閉ループ構造は、各製造装置およびリターン装置が各アライメント装置を頂点とする方形状に配されることで構築されている ことを特徴とする請求項2記載の有機電界発光素子を用いた表示装置の製造システム。 The closed loop structure, the manufacturing apparatus and the return device is a display device that uses an organic electroluminescent device of claim 2, wherein is built by disposed in rectangular shape having vertices each alignment device manufacturing system.
  4. 基板上に複数層が順次積層されてなる有機電界発光素子を用いた表示装置の製造方法であって、 Multiple layers on a substrate A method of manufacturing a display device using an organic electroluminescent device formed by sequentially stacking,
    前記基板と当該基板上の被成膜箇所のパターニングに用いられるマスクとの位置合わせを行い、並列配置された複数の蒸着源と対向する位置を順に通過するように、前記基板および前記マスクと前記複数の蒸着源との相対位置を可変させ、当該基板上の被成膜箇所に前記複数層を積層させて一つの色成分に対応する有機電界発光素子を形成する工程を行い、 Wherein aligns the substrate and the mask used to pattern the deposition target locations on the substrate, so as to pass through the position facing the plurality of evaporation sources arranged in parallel in this order, the said substrate and the mask to vary the relative positions of the plurality of deposition sources, a step of forming an organic electroluminescent light emitting elements corresponding to the plurality of layers are stacked with one color component to be deposited position on the substrate,
    前記工程を行う複数の製造装置を前記基板および前記マスクが順に通過するようにして前記工程を複数回繰り返すとともに、その複数回繰り返す各工程を前記基板上の被成膜箇所を相違させて行うことにより、前記基板上に複数の色成分に対応する各有機電界発光素子が配設されてなる表示装置を構成する ことを特徴とする有機電界発光素子を用いた表示装置の製造方法。 With repeated a plurality of times the steps the substrate and the mask a plurality of manufacturing apparatus for performing the process so as to pass through in order, to perform each step of repeating the plurality of times by different the deposition target position on the substrate the method of manufacturing a display device in which each organic electroluminescent device using an organic electroluminescent device characterized by a display device that arranged therein corresponding to the plurality of color components on the substrate.
  5. 前記基板および前記マスクが閉ループ内を循環することによって、前記工程が複数回繰り返される ことを特徴とする請求項4記載の有機電界発光素子を用いた表示装置の製造方法。 By the substrate and said mask is circulated in a closed loop, the step method of manufacturing a display device using the organic electroluminescent device of claim 4, wherein the repeated multiple times.
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