JP3705085B2 - Piezoelectric inkjet printer head - Google Patents

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【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電式のインクジェットプリンタヘッドにおいて、この印字駆動に使用されるプレート型の圧電アクチュエータに係り、より詳しくは、駆動電圧を印加するためのコモン電極及び個別電極の構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
先行技術の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいては、前記米国特許第5,402,159号明細書におけるFIG.15に記載されているように、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとに形成された平面状の個別電極及び隣接する複数の圧力室に共通するコモン電極により圧電シート(セラミック材料からなるグリーンシート)を挟んで積層したプレート型の圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチュエータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチュエータにおける各個別電極が各圧力室に対応するように積層してなるオンディマンド型の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータにおける表裏両表面と直交する側面に、少なくとも前記各個別電極に電気的に導通する側面電極を、金属の真空蒸着又はスパッタリング、或いは導電性ペーストの塗布等にて形成して、前記各個別電極を、この各側面電極を介して外部に接続するように構成していた。しかし、個別電極の端部が圧電シートの側端面に露出していない場合には側面電極との電気接続が不良になるという問題があった。また、側面電極の形成のために圧電アクチュエータの姿勢を代えて前記側面が上向くようにしてから導電性ペーストを塗布するというように製造工程が複雑になるという問題があった。
【0003】
前記問題を解消するため、プレート型の圧電アクチュエータにおける積層状のコモン電極同士や個別電極同士をそれぞれ電気的に接続させる構成として、特公平7ー96301号公報では、前記各セラミック体には、前記各層の個別電極から延びる引出し電極の電極端子部と外表面の外部電極(表面電極)とに連通するように、セラミック体の厚さ方向に貫通した第1スルーホールと、前記各層のコモン電極から延びる引出し電極の電極端子部と外表面の外部電極(表面電極)とに連通するように各セラミック体の厚さ方向に貫通した第2スルーホールとを備え、前記第1及び第2スルーホールにそれぞれ導電性ペーストを充填して電気的に接続すること提案している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記特公平7ー96301号公報では、前記圧力室やノズルが設けられたキャビティープレートも圧電シート(セラミック材料からなるグリーンシート)にて構成されている。そして、キャビティープレートを除く圧電シートの全てに、前記スルーホールを貫通形成したため、当該スルーホールの位置が前記圧力室やインク流通路と重なると、電気的に短絡することになるため、重ならないように、スルーホールの位置を設定しなければならず、圧電アクチュエータの設計的事項に多くの制約を受けるという問題があった。
【0005】
本発明は、このような問題を解消したプレート型の圧電アクチュエータを提供することを技術的課題とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため、請求項1に記載の発明の圧電アクチュエータは、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートであって、前記複数個の圧力室をそのキャビティプレートの金属製の一面に開口して形成したキャビティプレートと、前記各圧力室にわたって延びる広幅面を有しその広幅面の前記各圧力室に対応する位置に個別電極を形成した複数の圧電シート、及び前記各圧力室にわたって延びる広幅面を有しその広幅面に複数の圧力室にわたって延びるコモン電極を形成した複数の圧電シートを、交互に積層したプレート型の圧電アクチュエータとからなり、前記圧電アクチュエータは、前記キャビティープレートに隣接するシートを除く各圧電シートには、前記積層方向に隣接する個別電極同士又は前記コモン電極同士に連通するスルーホールを設け、該各スルーホールに充填された導電材料を介して、前記全ての層の個別電極同士又は前記全ての層のコモン電極同士を電気的に接続させてなり、前記圧電アクチュエータは、前記キャビティープレートに、前記キャビティプレートに隣接するシートが前記各圧力室を覆って前記キャビティプレートの一面に当接し、且つ当該圧電アクチュエータにおける各個別電極が各圧力室に対応するように積層されているものである。
【0007】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータにおける、前記キャビティープレートから最も離れた位置のシートの外側広幅面に、外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブルが接合される表面電極が形成され、当該表面電極とそれに対応する前記個別電極又は前記コモン電極とを、前記スルーホールを介して電気的に接続させたものである。
【0008】
そして、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電シートにおける個別電極が形成された一方の広幅面にはダミーコモン電極を形成し、前記コモン電極が形成された一方の広幅面にはダミー個別電極を形成し、前記各スルーホールは、前記個別電極とダミー個別電極とが連通する位置及び前記コモン電極とダミーコモン電極とが連通する位置にそれぞれ形成されているものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。図1、図7及び図8は、本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。これらの図において、金属板製のキャビティープレート10に対して積層されるプレート型の圧電アクチュエータ20の上面には、外部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブル40が接着剤にて重ね接合されているものであり、最下層のキャビティープレート10の下面側に開口されたノズルから下向きにインクが吐出するものとする。
【0010】
前記キャビティープレート10は、図3及び図4に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート11、二枚のマニホールドプレート12、スペーサプレート13及びベースプレート14の五枚の薄い金属板を積層した構造である。前記ノズルプレート11には、微小径のインク噴出用のノズル15が、当該ノズルプレート11の長手方向に延びる2つの平行状の基準線11a、11bに沿って、微小ピッチPの間隔で千鳥状配列にて多数個穿設されている。前記二枚のマニホールドプレート12には、インク通路12a、12bが、前記ノズル15の列の両側に沿って延びるように穿設されている。但し、ノズルプレート11に対面する下側マニホールドプレート12におけるインク通路12bは、当該マニホールドプレート12の上側にのみ開放するように凹み形成されている(図4参照)。このインク通路12a、12bは、上側のマニホールドプレート12に対する前記スペーサプレート13の積層により密閉される構造になっている。また、前記ベースプレート14には、その長辺に沿う中心線に対して直交する方向(短辺方向)に延びる細幅の圧力室16の多数個が穿設されている。そして、前記中心線を挟んで左右両側にて平行状の長手基準線14a、14bを設定すると、前記中心線より左側の圧力室16の先端16aは前記左側の長手基準線14a上に位置し、逆に前記長手中心線より右側の圧力室16の先端16aは前記右側の長手基準線14b上に位置し、且つこの左右の圧力室16の先端16aが交互に配置されているので、左右両側の圧力室16は一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されていることになる。
【0011】
この各圧力室16の先端16aは、前記ノズルプレート11における前記千鳥状配列のノズル15に、前記スペーサプレート13及び両マニホールドプレート12に同じく千鳥状配列にて穿設されている微小径の貫通孔17を介して連通している。一方、前記各圧力室16の他端16bは、前記スペーサプレート13における左右両側部位に穿設された貫通孔18を介して、前記両マニホールドプレート12におけるインク通路12a、12bに連通している。なお、前記他端16bは、図4に示すように、ベースプレート14の下面側にのみ開口するように凹み形成されているものである。また、最上層のベースプレート14の一端部に穿設された供給孔19aの上面には、その上方のインクタンクから供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ29が張設されている。
【0012】
これにより、前記ベースプレート14及びスペーサプレート13の一端部に穿設の供給孔19a,19bから前記インク通路12a、12b内に流入したインクは、このインク通路12aから前記各貫通孔18を通って前記各圧力室16内に分配されたのち、この各圧力室16内から前記貫通孔17を通って、当該圧力室16に対応するノズル15に至るという構成になっている。
【0013】
一方、前記圧電アクチュエータ20は、図5に示すように、8枚の圧電シート21a,21b,21c,21d,21e,21f,21g,22と、一枚のトップシート23とを積層した構造で、前記各圧電シートのうち最下段の圧電シート22とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート21b,21d,21fの上面(広幅面)には、前記キャビティープレート10における各圧力室16の箇所ごとに細幅の個別電極24が形成され、各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びている。
【0014】
下から偶数段目の圧電シート21a,21c,21e,21gの上面(広幅面)には、複数個の圧力室16に対して共通のコモン電極25が形成されている。
【0015】
実施形態においては、図4、図5から理解できるように、前記各個別電極24の幅寸法は対応する圧力室16における平面視での広幅部を覆う程度に設定されている。
【0016】
他方、圧力室16はベースプレート14の短辺の中央部側で長辺に沿って2列状に配列されているので、前記コモン電極25は、ベースプレート14の短辺の中央部側を挟んで左右両側の圧力室16、16を一体的に覆うように、偶数段目の圧電シート21a,21c,21e,21gの長辺に沿って延びる平面視略矩形状に形成されると共に、該偶数段目の圧電シート21a,21c,21e,21gの対の短辺の端縁部近傍では当該端縁部のほぼ全長にわたって延びる引き出し部25a,25aが一体的に形成されている。
【0017】
そして、前記偶数段目の圧電シート21a,21c,21e,21gの対の長辺の端縁部近傍の表面であって、前記コモン電極25が形成されていない箇所には、前記各個別電極24と同じ上下位置(対応する位置)に、当該個別電極24と略同じ幅寸法で長さの短いダミー個別電極26を形成する。他方、最下段の圧電シート22とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート21b,21d,21fの上面(広幅面)のうち、前記引き出し部25a,25aに対応する位置(同じ上下位置、圧電シートの対の短辺の端縁部近傍)には、ダミーコモン電極27を形成するのである。
【0018】
前記最上段の絶縁シート23の上面には、その長辺の端縁部に沿って、前記各個別電極24の各々に対する表面電極30と、前記コモン電極25に対する表面電極31とが、設けられている。
【0019】
さらに、前記最下段の圧電シート22を除いて、他の全ての圧電シート21a,21b,21c,21d,21e,21f,21gとトップシート23とには、前記各表面電極30と、それに対応する位置(同じ上下位置)の個別電極24並びにダミー個別電極26とが互いに連通するように、スルーホール32を穿設する。同様に、前記少なくとも1つの表面電極31(実施形態では、トップシート23の4隅の位置の表面電極31)と、それに対応する位置(同じ上下位置)のコモン電極25乃至はその引き出し部25aが互いに連通するように、スルーホール33を穿設し、スルーホール32、33内に充填された導電性材料を介して、各層の個別電極24同士及びそれと対応する位置の表面電極30とが電気的に接続されているように構成し、同じく、各層のコモン電極25同士及びそれと対応する位置の表面電極31とが電気的に接続されているように構成するものである。
【0020】
前記した構成の圧電アクチュエータ20は、以下に述べるような方法で製造される。即ち、前記一つの圧電アクチュエータ20における圧電シート21b,21d,21f、22の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第1素材シート(セラミックグリーンシート)の表面のうち各圧電シートの箇所に、複数個の個別電極24と、捨てパターンの電極としてのダミーコモン電極27を設ける位置に対して予めスルーホール32を穿設する。同様に、圧電シート21a,21c,21e,21gの複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第2素材シート(セラミックグリーンシート)の表面のうち各圧電シートの箇所に、複数個のコモン電極の引き出し部25aと、捨てパターンの電極としてのダミー個別電極26を設ける位置に対して予めスルーホール33を穿設する。さらに、前記と同様に、トップシート23の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第3素材シート(セラミックグリーンシート)の表面のうちトップシート23の箇所に、複数個の表面電極30、31を設ける位置に対してスルーホール32、33を穿設する。
【0021】
そして、各圧電シート21b,21d,21f、22の表面に個別電極24 及びダミーコモン電極27を、圧電シート21a,21c,21e,21gの表面にコモン電極25及びダミー個別電極26を、トップシート23の表面に表面電極30、31の箇所を、それぞれ、導電ペーストのスクリーン印刷にて形成すると、前記各スルーホール32、33は、第1、第2素材シートの上下広幅面に貫通しているので、各スルーホール32、33内にも前記導電ペーストが浸入し、該各スルーホール32、33を介して各電極部分でシートの上下面で導電通可能となる。次いで、各グリーンシートを乾燥した後、積層し、次いで積層方向にプレスすることで一体化して、一枚の積層体にする。その後焼成する。
【0022】
これにより、上下に積層された複数枚の圧電シート21とトップシートとは上下同じ位置の前記個別電極24及びダミー個別電極26が表面電極30の箇所と電気的に接続されるし、同じく上下複数枚のコモン電極25及びダミーコモン電極27が表面電極31の箇所と電気的に接続されることになる(図6参照)。
【0023】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ20は、前記キャビティープレート10に対して、当該圧電アクチュエータ20における各個別電極24が前記キャビティープレート10における各圧力室16の各々に対応するように積層される(図1、図7参照)。また、この圧電アクチュエータ20における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル40が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル40における各種の配線パターン(図示せず)が、前記各表面電極30、31に電気的に接合される。
【0024】
この構成において、前記圧電アクチュエータ20における各個別電極24のうち任意の個別電極24と、コモン電極25との間に電圧を印加することにより、圧電シート21,22のうち前記電圧を印加した個別電極24の部分に圧電による積層方向の歪みが発生し、この歪みにて前記各個別電極24に対応する圧力室16の内容積が縮小されることにより、この圧力室16内のインクが、ノズル15から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる(図8参照)。
【0025】
前記構成の圧電アクチュエータ20においては、積層されている圧電シートの広幅面を厚さ方向に貫通するスルーホール32、33を介して各圧電シートの表面に形成された個別電極24同士やコモン電極25同士を電気的に接続できると共にトップシート23の表面に形成された表面電極30、31にも電気的に接続できるのであって、従来のように、圧電アクチュエータ20の厚さ方向の外周側面にて個別電極24同士やコモン電極25同士を電気的に接続するように、側面電極を形成した場合に比べて、圧電アクチュエータ20の製造中とか、この圧電アクチュエータ20の組み立て中に、ハンドラー又は治具等が接触することに起因する個別電極24同士やコモン電極25同士の導電部の欠落がなくなるという効果を奏する。
【0026】
しかも、圧電アクチュエータ20とキャビティープレート10との接触面となる圧電シート22には、前記スルーホール32、33が形成されていないから、もしキャビティープレート10が導電性材料(例えば、42%ニッケル合金鋼等)で構成されていても、最下層の個別電極24やコモン電極25がキャビティープレート10の表面に対して電気的に接触するおそれが全くなくなる。また、前記キャビティープレート10と隣接する圧電シート22にスルーホール32,33が存在しないから、圧力室16と上下方向で重なる位置に個別電極24やコモン電極25があっても、圧力室16内の水性インクとの電気的短絡現象は発生しない。
【0027】
その結果、圧電アクチュエータ20におけるスルーホール32、33の設置位置に制約がなく設計の自由度が向上するという効果も奏する。
【0028】
個別電極24やコモン電極25は圧電シート21の1つおきの層に形成されるものであるところ、本実施形態のように、上下の個別電極24の間の圧電シートにダミー個別電極26を形成し、同じく上下のコモン電極25の間の圧電シートにダミーコモン電極27を形成し、これらのダミー個別電極26と個別電極24とを連通するようなスルーホール32及びコモン電極25とダミーコモン電極27とを連通するようなスルーホール33をそれぞれ形成することで、上下方向の個別電極24同士もしくはコモン電極25同士の電気的接続がダミー個別電極26またはダミーコモン電極27の各スルーホール32、33を介して確実にできるという顕著な効果を奏する。
【0029】
なお、実施形態では、圧電シート1枚の厚さが30μmであり、個別電極24、コモン電極25及び表面電極30、31の形成時における導電材料の塗布にて当該導電材料は各スルーホール32,33内に浸入(充填)し得る。圧電シートの1枚の厚さが厚い場合には、前記電極(導電)材料の塗布後に塗布面の裏側からの空気の吸引にてスルーホール内への導電材料の浸入(充填)を確実にすることができる。
【0030】
また、前記圧電アクチュエータの積層体を、メッキ液中に浸漬し、この状態で各表面電極30,31に、細幅の電極パターンを介して通電して電気メッキを行うことにより、前記各表面電極30,31の表面に、金属メッキ層を形成するようにしても良い。金属メッキ層は、例えば、ニッケルメッキ層を下地としてその上に金メッキ層を形成するもので、この金属メッキ層の形成により、前記フレキシブルフラットケーブル40における各配線パターンの、前記各表面電極30,31に対する電気的接合性を大幅に向上できる。
【0031】
また、実施形態では、圧電アクチュエータ20の最下層のシートに圧電シート22を用いたが、他の層の圧電シートの歪みを圧力室に伝えるものならば、他の絶縁材料を用いても差し支えない。最上層のトップシート23に圧電材料を用いたが、他の絶縁材料を用いても差し支えない。その場合、圧電シートの歪みのうち、上方(キャビティプレート10と反対側)へ突出する歪みを抑えるものであることが望ましい。
【0032】
また、コモン電極25がアース電位に接続されるならば、コモン電極25のスルーホール33は、キャビティプレート10と電気的に接続していても差し支えない。
【0033】
【発明の作用・効果】
以上に説明したように、請求項1に記載の発明の圧電アクチュエータは、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートであって、前記複数個の圧力室をそのキャビティプレートの金属製の一面に開口して形成したキャビティプレートと、前記各圧力室にわたって延びる広幅面を有しその広幅面の前記各圧力室に対応する位置に個別電極を形成した複数の圧電シート、及び前記各圧力室にわたって延びる広幅面を有しその広幅面に複数の圧力室にわたって延びるコモン電極を形成した複数の圧電シートを、交互に積層したプレート型の圧電アクチュエータとからなり、前記圧電アクチュエータは、前記キャビティープレートに隣接するシートを除く各圧電シートには、前記積層方向に隣接する個別電極同士又は前記コモン電極同士に連通するスルーホールを設け、該各スルーホールに充填された導電材料を介して、前記全ての層の個別電極同士又は前記全ての層のコモン電極同士を電気的に接続させてなり、前記圧電アクチュエータは、前記キャビティープレートに、前記キャビティプレートに隣接するシートが前記各圧力室を覆って前記キャビティプレートの一面に当接し、且つ当該圧電アクチュエータにおける各個別電極が各圧力室に対応するように積層されているものである。
【0034】
従って、本発明では、スルーホールが各圧電シートの広幅面内で厚さ方向に貫通しているから、従来の圧電アクチュエータの厚さ方向の側面に、積層した個別電極同士やコモン電極同士を導通させる側面電極を形成した場合に比べて、圧電アクチュエータの組み立て作業中等における導電部の欠け等がなく、導電性を確実にできるという効果を奏する。
【0035】
また、圧電アクチュエータとキャビティープレートとの接触面となるシートには、前記スルーホールが形成されていないから、たとえキャビティープレートが導電性材料で構成されていても、最下層の個別電極やコモン電極がキャビティープレートの表面に対して電気的接触するおそれが全くなくなる。さらに、前記キャビティープレートと隣接するシートにスルーホールが存在しないから、キャビティープレート側における圧力室と上下方向で重なる位置に個別電極またはコモン電極があっても、圧力室内の水性インクとの電気的短絡現象は発生しない。
【0036】
その結果、圧電アクチュエータにおけるスルーホールの設置位置に制約がなく設計の自由度が向上するという効果も奏する。
【0037】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータにおける、前記キャビティープレートから最も離れた位置のシートの外側広幅面に、外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブルが接合される表面電極が形成され、当該表面電極とそれに対応する前記個別電極又は前記コモン電極とを、前記スルーホールを介して電気的に接続させたものであるから、キャビティープレートから最も離れた位置のシートに形成された表面電極に対して外部電極のフラットケーブルを接続するだけで、電気的接合性を確保し、簡単に外部からの電圧印加にて駆動させることができるという効果を奏する。
【0038】
そして、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電シートにおける個別電極が形成された一方の広幅面にはダミーコモン電極を形成し、前記コモン電極が形成された一方の広幅面にはダミー個別電極を形成し、前記各スルーホールは、前記個別電極とダミー個別電極とが連通する位置及び前記コモン電極とダミーコモン電極とが連通する位置にそれぞれ形成したものであるから、個別電極同士及びコモン電極同士が一層おきごとに形成されている場合であっても、その間にダミー電極が介挿され、その介挿されたダミー電極に導通するスルーホールを介して個別電極同士及びコモン電極同士を確実に導通させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視図である。
【図2】 キャビティープレートと圧電アクチュエータとの一端部を示す拡大斜視図である。
【図3】 キャビティープレートの分解斜視図である。
【図4】 キャビティープレートの部分的拡大斜視図である。
【図5】 圧電アクチュエータの分解斜視図である。
【図6】 スルーホール部で切断した圧電アクチュエータの部分拡大側断面図である。
【図7】 図1のVII −VII 線矢視拡大断面図である。
【図8】 フレキシブルフラットケーブルとキャビティープレートと圧電アクチュエータとを積層した状態の拡大断面図である。
【符号の説明】
10 キャビティープレート
11 ノズルプレート
12 マニホールドプレート
13 スペーサプレート
14 ベースプレート
15 ノズル
16 圧力室
20 圧電アクチュエータ
21a,21b,21c,21d,21e,21f,21g,22 圧電シート
23 トップシート
24 個別電極
25 コモン電極
30,31 表面電極
32,33 スルーホール
40 フレキシブルフラットケーブル
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a plate-type piezoelectric actuator used for driving printing in a piezoelectric ink jet printer head, and more particularly to a configuration of a common electrode and individual electrodes for applying a driving voltage.
[0002]
[Prior art]
In the prior art piezoelectric ink jet printer head, the FIG. 15, a cavity plate having a plurality of nozzles and pressure chambers for each nozzle, a planar individual electrode formed for each pressure chamber, and a plurality of adjacent pressure chambers A plate-type piezoelectric actuator in which a piezoelectric sheet (a green sheet made of a ceramic material) is sandwiched between common electrodes common to each other. The piezoelectric actuator is connected to the cavity plate, and each individual electrode of the piezoelectric actuator is connected to each of the individual electrodes. In an on-demand type piezoelectric ink jet printer head that is laminated so as to correspond to a pressure chamber, a side electrode that is electrically connected to at least each of the individual electrodes is provided on a side surface orthogonal to both the front and back surfaces of the piezoelectric actuator. Of vacuum deposition or sputtering, or of conductive paste Formed by cloth, the individual electrodes, was configured to connect to the outside through the respective side electrodes. However, when the end portions of the individual electrodes are not exposed on the side end surfaces of the piezoelectric sheet, there is a problem that the electrical connection with the side surface electrodes becomes poor. In addition, there is a problem that the manufacturing process becomes complicated in that the conductive paste is applied after changing the posture of the piezoelectric actuator so that the side surface faces upward in order to form the side electrode.
[0003]
In order to solve the above problems, as a configuration in which laminated common electrodes and individual electrodes in a plate-type piezoelectric actuator are electrically connected to each other, in Japanese Patent Publication No. 7-96301, each ceramic body includes the above-described ceramic body. From the first through hole penetrating in the thickness direction of the ceramic body so as to communicate with the electrode terminal portion of the extraction electrode extending from the individual electrode of each layer and the external electrode (surface electrode) on the outer surface, and from the common electrode of each layer A second through hole penetrating in the thickness direction of each ceramic body so as to communicate with the electrode terminal portion of the extending extraction electrode and the external electrode (surface electrode) on the outer surface, and the first and second through holes It has been proposed to electrically connect each with a conductive paste.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in Japanese Patent Publication No. 7-96301, the cavity plate provided with the pressure chambers and nozzles is also composed of a piezoelectric sheet (a green sheet made of a ceramic material). In addition, since the through holes are formed through all of the piezoelectric sheets except the cavity plate, if the positions of the through holes overlap with the pressure chambers or the ink flow passages, they are electrically short-circuited, and thus do not overlap. As described above, the position of the through hole has to be set, and there has been a problem that many restrictions are imposed on the design matters of the piezoelectric actuator.
[0005]
An object of the present invention is to provide a plate-type piezoelectric actuator that solves such problems.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve this technical problem, a piezoelectric actuator according to claim 1 is a cavity plate having a plurality of nozzles and pressure chambers for each of the nozzles. A plurality of piezoelectric plates each having a cavity plate formed on one metal surface of the cavity plate and a wide surface extending over the pressure chambers and individual electrodes formed at positions corresponding to the pressure chambers on the wide surface. sheet, and said composed a plurality of piezoelectric sheets forming a common electrode extending over a plurality of pressure chambers on the wide surface has a wide surface extending over the pressure chambers, the plate type piezoelectric actuator of alternately laminated, the piezoelectric actuators, each piezoelectric sheets except the sheet adjacent to the cavity plate, the individual electrode adjacent to the stacking direction A through hole communicating with each other or the common electrodes is provided, and the individual electrodes of all the layers or the common electrodes of all the layers are electrically connected through the conductive material filled in each through hole. In the piezoelectric actuator, the sheet adjacent to the cavity plate is in contact with one surface of the cavity plate so as to cover the pressure chamber, and each individual electrode in the piezoelectric actuator has each pressure. It is laminated so as to correspond to the chamber .
[0007]
According to a second aspect of the present invention, in the piezoelectric ink jet printer head according to the first aspect, the piezoelectric actuator is connected to an external device on the outer wide surface of the sheet farthest from the cavity plate . A surface electrode to which a flexible flat cable is bonded is formed, and the surface electrode and the corresponding individual electrode or the common electrode are electrically connected through the through hole.
[0008]
According to a third aspect of the present invention, in the piezoelectric ink jet printer head according to the first or second aspect, a dummy common electrode is formed on one wide surface of the piezoelectric sheet on which the individual electrode is formed. A dummy individual electrode is formed on one wide surface on which the common electrode is formed, and each through hole has a position where the individual electrode and the dummy individual electrode communicate with each other, and the common electrode and the dummy common electrode communicate with each other. It is formed at each position.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1, 7 and 8 show a piezoelectric ink jet printer head according to an embodiment of the present invention. In these figures, a flexible flat cable 40 is overlapped and bonded to an upper surface of a plate-type piezoelectric actuator 20 stacked on a metal plate cavity plate 10 with an adhesive for connection to an external device. It is assumed that ink is ejected downward from a nozzle opened on the lower surface side of the lowermost cavity plate 10.
[0010]
The cavity plate 10 is configured as shown in FIGS. That is, it is a structure in which five thin metal plates of a nozzle plate 11, two manifold plates 12, a spacer plate 13, and a base plate 14 are laminated. In the nozzle plate 11, nozzles 15 for ejecting ink with a small diameter are arranged in a staggered manner at intervals of a minute pitch P along two parallel reference lines 11a and 11b extending in the longitudinal direction of the nozzle plate 11. Many are drilled at. In the two manifold plates 12, ink passages 12 a and 12 b are formed so as to extend along both sides of the row of the nozzles 15. However, the ink passage 12b in the lower manifold plate 12 facing the nozzle plate 11 is formed as a recess so as to open only on the upper side of the manifold plate 12 (see FIG. 4). The ink passages 12 a and 12 b are sealed by stacking the spacer plate 13 on the upper manifold plate 12. The base plate 14 is provided with a large number of narrow pressure chambers 16 extending in a direction (short side direction) perpendicular to the center line along the long side. And when the parallel longitudinal reference lines 14a, 14b are set on both the left and right sides with the center line in between, the tip 16a of the pressure chamber 16 on the left side of the center line is located on the left reference line 14a, Conversely, the tip 16a of the pressure chamber 16 on the right side of the longitudinal center line is positioned on the right reference line 14b on the right side, and the tips 16a of the left and right pressure chambers 16 are alternately arranged. The pressure chambers 16 are alternately arranged so that every other pressure chamber 16 extends in the opposite direction.
[0011]
The front end 16a of each pressure chamber 16 is a through hole having a small diameter formed in the staggered arrangement of nozzles 15 in the nozzle plate 11 in the spacer plate 13 and the manifold plates 12 in a staggered arrangement. 17 to communicate with each other. On the other hand, the other end 16 b of each pressure chamber 16 communicates with the ink passages 12 a and 12 b in both the manifold plates 12 through through holes 18 drilled in the left and right side portions of the spacer plate 13. As shown in FIG. 4, the other end 16b is recessed so as to open only on the lower surface side of the base plate. Further, a filter 29 for removing dust in the ink supplied from the ink tank thereabove is stretched on the upper surface of the supply hole 19a formed in one end portion of the uppermost base plate.
[0012]
Thus, the base plate 14 and the supply hole 19a of the drilled at one end of the spacer plate 13, 19b from the ink passage 12a, the ink that has flowed into the 12b, the through the through holes 18 from the ink passage 12a After being distributed in each pressure chamber 16, the pressure chamber 16 passes through the through hole 17 and reaches the nozzle 15 corresponding to the pressure chamber 16.
[0013]
On the other hand, as shown in FIG. 5, the piezoelectric actuator 20 has a structure in which eight piezoelectric sheets 21a, 21b, 21c, 21d, 21e, 21f, 21g, 22 and a single top sheet 23 are laminated. Of the piezoelectric sheets, the lowermost piezoelectric sheet 22 and the upper surfaces (wide surfaces) of the odd-numbered piezoelectric sheets 21b, 21d, and 21f counted upward are wide portions of the pressure plates 16 in the cavity plate 10. A narrow individual electrode 24 is formed on the piezoelectric sheet and extends to the vicinity of the edge of the long side of each piezoelectric sheet.
[0014]
A common electrode 25 common to the plurality of pressure chambers 16 is formed on the upper surfaces (wide surfaces) of the even-numbered piezoelectric sheets 21a, 21c, 21e, and 21g from the bottom.
[0015]
In the embodiment, as can be understood from FIGS. 4 and 5, the width of each individual electrode 24 is set so as to cover the wide portion of the corresponding pressure chamber 16 in plan view.
[0016]
On the other hand, since the pressure chambers 16 are arranged in two rows along the long side on the central side of the short side of the base plate 14, the common electrode 25 is arranged on the left and right sides of the central side of the short side of the base plate 14. The pressure chambers 16 and 16 on both sides are integrally formed so as to have a substantially rectangular shape in plan view extending along the long sides of the even-numbered piezoelectric sheets 21a, 21c, 21e, and 21g. In the vicinity of the edge portions of the short sides of the pair of piezoelectric sheets 21a, 21c, 21e, and 21g, lead portions 25a and 25a that extend over almost the entire length of the edge portions are integrally formed.
[0017]
The individual electrodes 24 are disposed on the surface of the even-stage piezoelectric sheets 21a, 21c, 21e, and 21g near the edge of the long side where the common electrode 25 is not formed. The dummy individual electrodes 26 having the same width as the individual electrodes 24 and a short length are formed at the same vertical position (corresponding position). On the other hand, on the upper surface (wide surface) of the lowermost piezoelectric sheet 22 and the odd-numbered piezoelectric sheets 21b, 21d, 21f counted upward (positions corresponding to the leading portions 25a, 25a (the same vertical position, piezoelectric sheet) The dummy common electrode 27 is formed in the vicinity of the edge of the short side of the pair.
[0018]
On the upper surface of the uppermost insulating sheet 23, a surface electrode 30 for each of the individual electrodes 24 and a surface electrode 31 for the common electrode 25 are provided along the edge of the long side. Yes.
[0019]
Further, except for the lowermost piezoelectric sheet 22, all the other piezoelectric sheets 21a, 21b, 21c, 21d, 21e, 21f, and 21g and the top sheet 23 have the surface electrodes 30 and the corresponding ones. A through hole 32 is formed so that the individual electrode 24 and the dummy individual electrode 26 at the same position (the same vertical position) communicate with each other. Similarly, the at least one surface electrode 31 (in the embodiment, the surface electrode 31 at the four corners of the top sheet 23) and the corresponding common electrode 25 or the lead portion 25a at the corresponding position (the same vertical position) are provided. Through holes 33 are formed so as to communicate with each other, and the individual electrodes 24 of each layer and the surface electrodes 30 corresponding to the layers are electrically connected to each other through the conductive material filled in the through holes 32 and 33. In the same manner, the common electrodes 25 of each layer and the surface electrode 31 at the corresponding position are electrically connected to each other.
[0020]
The piezoelectric actuator 20 having the above-described configuration is manufactured by a method as described below. That is, the piezoelectric sheets 21b, 21d, 21f, and 22 in the one piezoelectric actuator 20 are arranged in a matrix and integrated on the surface of the first material sheet (ceramic green sheet). A through hole 32 is formed in advance at a position where a plurality of individual electrodes 24 and a dummy common electrode 27 as an electrode of a discarded pattern are provided. Similarly, a plurality of common electrodes are formed at each piezoelectric sheet on the surface of a second material sheet (ceramic green sheet) formed by arranging a plurality of piezoelectric sheets 21a, 21c, 21e, and 21g in a matrix. A through hole 33 is formed in advance at a position where the lead portion 25a and the dummy individual electrode 26 as an electrode of a discard pattern are provided. Further, in the same manner as described above, a plurality of surface electrodes 30, 31 are provided on the top sheet 23 in the surface of the third material sheet (ceramic green sheet) formed by arranging a plurality of top sheets 23 in a matrix. Through-holes 32 and 33 are drilled at the positions to be provided.
[0021]
Then, the individual electrodes 24 and dummy common electrodes 27 are provided on the surfaces of the piezoelectric sheets 21b, 21d, 21f, and 22, the common electrodes 25 and dummy individual electrodes 26 are provided on the surfaces of the piezoelectric sheets 21a, 21c, 21e, and 21g, and the top sheet 23. When the surface electrodes 30 and 31 are formed on the surface of the substrate by screen printing of the conductive paste, the through holes 32 and 33 penetrate the upper and lower wide surfaces of the first and second material sheets. The conductive paste also enters the through holes 32 and 33, and the conductive portions can be conducted through the through holes 32 and 33 on the upper and lower surfaces of the sheet at the electrode portions. Next, each green sheet is dried, then laminated, and then integrated by pressing in the laminating direction to form a single laminate. Then, it is fired.
[0022]
As a result, the plurality of piezoelectric sheets 21 and the top sheet that are stacked one above the other are electrically connected to the location of the surface electrode 30 with the individual electrodes 24 and the dummy individual electrodes 26 at the same upper and lower positions. The common electrode 25 and the dummy common electrode 27 are electrically connected to the surface electrode 31 (see FIG. 6).
[0023]
In the plate-type piezoelectric actuator 20 having such a configuration, the individual electrodes 24 in the piezoelectric actuator 20 correspond to the pressure chambers 16 in the cavity plate 10 with respect to the cavity plate 10. (See FIGS. 1 and 7). Further, when the flexible flat cable 40 is pressed against the upper surface of the piezoelectric actuator 20, various wiring patterns (not shown) in the flexible flat cable 40 become the surface electrodes 30, 31. Electrically joined to the
[0024]
In this configuration, by applying a voltage between any individual electrode 24 among the individual electrodes 24 in the piezoelectric actuator 20 and the common electrode 25, the individual electrode to which the voltage is applied among the piezoelectric sheets 21 and 22. A distortion in the stacking direction due to piezoelectricity occurs in the portion 24, and the internal volume of the pressure chamber 16 corresponding to each individual electrode 24 is reduced by the distortion, so that the ink in the pressure chamber 16 is transferred to the nozzle 15. Are ejected into droplets to perform predetermined printing (see FIG. 8).
[0025]
In the piezoelectric actuator 20 having the above-described configuration, the individual electrodes 24 or the common electrode 25 formed on the surface of each piezoelectric sheet through through holes 32 and 33 penetrating the wide surfaces of the laminated piezoelectric sheets in the thickness direction. The electrodes can be electrically connected to each other and can also be electrically connected to the surface electrodes 30 and 31 formed on the surface of the top sheet 23. Compared to the case where the side electrodes are formed so as to electrically connect the individual electrodes 24 and the common electrodes 25 to each other, a handler or a jig or the like is produced during the manufacture of the piezoelectric actuator 20 or during the assembly of the piezoelectric actuator 20. There is an effect that the conductive portions between the individual electrodes 24 and the common electrodes 25 due to contact with each other are eliminated.
[0026]
Moreover, since the through holes 32 and 33 are not formed in the piezoelectric sheet 22 serving as a contact surface between the piezoelectric actuator 20 and the cavity plate 10, the cavity plate 10 is made of a conductive material (for example, 42% nickel). Even if it is made of alloy steel or the like, there is no possibility that the lowermost individual electrode 24 and common electrode 25 are in electrical contact with the surface of the cavity plate 10. Further, since the through-holes 32 and 33 do not exist in the piezoelectric sheet 22 adjacent to the cavity plate 10, even if the individual electrode 24 and the common electrode 25 exist at a position overlapping the pressure chamber 16 in the vertical direction, The electrical short circuit phenomenon with the water-based ink does not occur.
[0027]
As a result, the installation position of the through holes 32 and 33 in the piezoelectric actuator 20 is not limited, and the design freedom is improved.
[0028]
The individual electrode 24 and the common electrode 25 are formed on every other layer of the piezoelectric sheet 21. As in this embodiment, the dummy individual electrode 26 is formed on the piezoelectric sheet between the upper and lower individual electrodes 24. Similarly, the dummy common electrode 27 is formed on the piezoelectric sheet between the upper and lower common electrodes 25, and the through hole 32 and the common electrode 25 and the dummy common electrode 27 that communicate with the dummy individual electrode 26 and the individual electrode 24 are provided. Through-holes 33 that communicate with each other, electrical connection between the individual electrodes 24 in the vertical direction or between the common electrodes 25 can be made through the through-holes 32 and 33 of the dummy individual electrode 26 or the dummy common electrode 27. It has a remarkable effect that it can be surely performed.
[0029]
In the embodiment, the thickness of one piezoelectric sheet is 30 μm, and the conductive material is applied to each through-hole 32, by applying the conductive material when forming the individual electrode 24, the common electrode 25, and the surface electrodes 30, 31. 33 can enter (fill). When the thickness of one piezoelectric sheet is large, the penetration (filling) of the conductive material into the through hole is ensured by suction of air from the back side of the coated surface after the application of the electrode (conductive) material. be able to.
[0030]
In addition, the laminate of the piezoelectric actuators is immersed in a plating solution, and in this state, each surface electrode 30, 31 is energized through a narrow electrode pattern to perform electroplating. A metal plating layer may be formed on the surfaces 30 and 31. The metal plating layer is formed, for example, by forming a gold plating layer thereon with a nickel plating layer as a base. By forming the metal plating layer, the surface electrodes 30, 31 of the wiring patterns in the flexible flat cable 40 are formed. It is possible to greatly improve the electrical bondability to
[0031]
In the embodiment, the piezoelectric sheet 22 is used as the lowermost sheet of the piezoelectric actuator 20, but other insulating materials may be used as long as the distortion of the piezoelectric sheet of the other layer is transmitted to the pressure chamber. . A piezoelectric material is used for the top sheet 23, but other insulating materials may be used. In that case, it is desirable to suppress the distortion of the piezoelectric sheet protruding upward (on the opposite side to the cavity plate 10).
[0032]
If the common electrode 25 is connected to the ground potential, the through hole 33 of the common electrode 25 may be electrically connected to the cavity plate 10.
[0033]
[Operation and effect of the invention]
As described above, the piezoelectric actuator according to the first aspect of the present invention is a cavity plate having a plurality of nozzles and a pressure chamber for each nozzle, and the plurality of pressure chambers are arranged in the cavity. A plurality of piezoelectric sheets having a cavity plate formed by opening on one metal surface of the plate and a wide surface extending over each of the pressure chambers and having individual electrodes formed at positions corresponding to the pressure chambers of the wide surface; And a plate-type piezoelectric actuator in which a plurality of piezoelectric sheets having a wide surface extending over each pressure chamber and having a common electrode extending over a plurality of pressure chambers formed on the wide surface are laminated, the piezoelectric actuator comprising : , to the respective piezoelectric sheets except the sheet adjacent to the cavity plate, the individual electrodes are adjacent in the stacking direction or A through hole communicating with the serial common electrodes are provided, via a conductive material filled in respective through-holes, and electrically connected to the common electrodes of the individual electrodes or between the all layers of the all layers The piezoelectric actuator is configured such that a sheet adjacent to the cavity plate is in contact with one surface of the cavity plate covering the pressure chamber, and each individual electrode in the piezoelectric actuator is in each pressure chamber. It is laminated so as to correspond .
[0034]
Therefore, in the present invention, since the through hole penetrates in the thickness direction within the wide surface of each piezoelectric sheet, the stacked individual electrodes and common electrodes are electrically connected to the side surface in the thickness direction of the conventional piezoelectric actuator. Compared with the case where the side electrode to be formed is formed, there is no chipping of the conductive portion during the assembly operation of the piezoelectric actuator and the like, and there is an effect that the conductivity can be ensured.
[0035]
In addition, since the through hole is not formed in the sheet serving as the contact surface between the piezoelectric actuator and the cavity plate, even if the cavity plate is made of a conductive material, the individual electrode or common in the lowermost layer is used. There is no possibility that the electrode is in electrical contact with the surface of the cavity plate. Further, since there is no through hole in the sheet adjacent to the cavity plate, even if there is an individual electrode or a common electrode in a position overlapping the pressure chamber on the cavity plate side in the vertical direction, the electrical connection with the water-based ink in the pressure chamber can be achieved. Short circuit phenomenon does not occur.
[0036]
As a result, there is no restriction on the installation position of the through hole in the piezoelectric actuator, and the design freedom is improved.
[0037]
According to a second aspect of the present invention, in the piezoelectric ink jet printer head according to the first aspect, the piezoelectric actuator is connected to an external device on the outer wide surface of the sheet farthest from the cavity plate . Because a surface electrode to which a flexible flat cable for bonding is formed is formed, and the surface electrode and the corresponding individual electrode or the common electrode are electrically connected through the through hole, By simply connecting the flat cable of the external electrode to the surface electrode formed on the sheet farthest from the cavity plate, it is possible to ensure electrical jointability and easily drive by applying voltage from the outside. There is an effect that can be.
[0038]
According to a third aspect of the present invention, in the piezoelectric ink jet printer head according to the first or second aspect, a dummy common electrode is formed on one wide surface of the piezoelectric sheet on which the individual electrode is formed. A dummy individual electrode is formed on one wide surface on which the common electrode is formed, and each through hole has a position where the individual electrode and the dummy individual electrode communicate with each other and the common electrode and the dummy common electrode communicate with each other. Therefore, even when the individual electrodes and the common electrodes are formed every other layer, dummy electrodes are inserted between them, and the inserted dummy electrodes are connected to each other. There is an effect that the individual electrodes and the common electrodes can be reliably conducted through the conducting through hole.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded perspective view showing a piezoelectric inkjet printer head according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged perspective view showing one end portions of a cavity plate and a piezoelectric actuator.
FIG. 3 is an exploded perspective view of a cavity plate.
FIG. 4 is a partially enlarged perspective view of a cavity plate.
FIG. 5 is an exploded perspective view of a piezoelectric actuator.
FIG. 6 is a partially enlarged side cross-sectional view of a piezoelectric actuator cut at a through-hole portion.
7 is an enlarged cross-sectional view taken along the line VII-VII in FIG.
FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of a state in which a flexible flat cable, a cavity plate, and a piezoelectric actuator are stacked.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Cavity plate 11 Nozzle plate 12 Manifold plate 13 Spacer plate 14 Base plate 15 Nozzle 16 Pressure chamber 20 Piezoelectric actuator 21a, 21b, 21c, 21d, 21e, 21f, 21g, 22 Piezoelectric sheet 23 Top sheet 24 Individual electrode 25 Common electrode 30 , 31 Surface electrode 32,33 Through hole 40 Flexible flat cable

Claims (3)

  1. 複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートであって、前記複数個の圧力室をそのキャビティプレートの金属製の一面に開口して形成したキャビティプレートと、
    前記各圧力室にわたって延びる広幅面を有しその広幅面の前記各圧力室に対応する位置に個別電極を形成した複数の圧電シート、及び前記各圧力室にわたって延びる広幅面を有しその広幅面に複数の圧力室にわたって延びるコモン電極を形成した複数の圧電シートを、交互に積層したプレート型の圧電アクチュエータとからなり、
    前記圧電アクチュエータは、前記キャビティープレートに隣接するシートを除く各圧電シートには、前記積層方向に隣接する個別電極同士又は前記コモン電極同士に連通するスルーホールを設け、該各スルーホールに充填された導電材料を介して、前記全ての層の個別電極同士又は前記全ての層のコモン電極同士を電気的に接続させてなり、
    前記圧電アクチュエータは、前記キャビティープレートに、前記キャビティプレートに隣接するシートが前記各圧力室を覆って前記キャビティプレートの一面に当接し、且つ当該圧電アクチュエータにおける各個別電極が各圧力室に対応するように積層されていることを特徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッド。
    A cavity plate having a plurality of nozzles and a pressure chamber for each nozzle, the cavity plate formed by opening the plurality of pressure chambers on one metal surface of the cavity plate;
    A plurality of piezoelectric sheets having a wide surface extending over the pressure chambers and having individual electrodes formed at positions corresponding to the pressure chambers of the wide surface, and a wide surface extending over the pressure chambers. A plate type piezoelectric actuator in which a plurality of piezoelectric sheets forming a common electrode extending over a plurality of pressure chambers are alternately stacked,
    In the piezoelectric actuator , each piezoelectric sheet excluding the sheet adjacent to the cavity plate is provided with through holes communicating with the individual electrodes adjacent to each other in the stacking direction or between the common electrodes, and the through holes are filled. Electrically connecting the individual electrodes of all the layers or the common electrodes of all the layers through the conductive material ,
    In the piezoelectric actuator, a sheet adjacent to the cavity plate is in contact with one surface of the cavity plate covering the pressure chambers, and each individual electrode in the piezoelectric actuator corresponds to each pressure chamber. A piezoelectric ink jet printer head characterized by being laminated as described above .
  2. 前記圧電アクチュエータにおける、前記キャビティープレートから最も離れた位置のシートの外側広幅面に、外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブルが接合される表面電極が形成され、当該表面電極とそれに対応する前記個別電極又は前記コモン電極とを、前記スルーホールを介して電気的に接続させたことを特徴とする請求項1に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。In the piezoelectric actuator, the outer broad surface of the sheet farthest from the cavity plate, is formed surface electrodes flexible flat cable for connection with the external device is bonded, the surface electrode and the corresponding 2. The piezoelectric inkjet printer head according to claim 1, wherein the individual electrode or the common electrode is electrically connected through the through hole.
  3. 前記圧電シートにおける個別電極が形成された一方の広幅面にはダミーコモン電極を形成し、
    前記コモン電極が形成された一方の広幅面にはダミー個別電極を形成し、前記各スルーホールは、前記個別電極とダミー個別電極とが連通する位置及び前記コモン電極とダミーコモン電極とが連通する位置にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
    A dummy common electrode is formed on one wide surface of the piezoelectric sheet where the individual electrodes are formed,
    A dummy individual electrode is formed on one wide surface on which the common electrode is formed, and each through hole has a position where the individual electrode and the dummy individual electrode communicate with each other and the common electrode and the dummy common electrode communicate with each other. 3. The piezoelectric ink jet printer head according to claim 1, wherein the piezoelectric ink jet printer head is formed at each position.
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