JP3635795B2 - Method and apparatus for detecting fine line defects - Google Patents

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石川島播磨重工業株式会社
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検出対象物を撮像した画像より微細線状欠陥を検出する方法及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
溶接部や金属のヘアクラック或いはコンクリート面のひび割れなどの微細線状欠陥を画像処理技術で自動的に検出することが試みられている。
【0003】
従来、検出対象物を撮像した画像より欠陥を検出するには、その欠陥部が比較的大きくかつ濃淡差の大きい場合には、2段階しきい値法が用いられている。
【0004】
2段階しきい値法では、先ず、低いしきい値で2値化することによって、図10(a)に示すように一部分ではあるが、確実に欠陥である非常に暗い部分11aのみを抽出し、ノイズを含まない画像10aを作成する。次に、高いしきい値で2値化することによって、図10(b)に示すように、ノイズ12bを含むものの欠陥領域11bを全て抽出した画像10bを作成する。最後に、図10(c)に示すように、両画像10a,10bを重ね合わせた画像10cにおいて、高いしきい値により2値化画像の中で、低いしきい値による2値化画像の領域11cを含む領域13を残し、低いしきい値による2値化画像の領域を含まない領域12cをノイズとして除去する。結果的に図10(d)の画像10dに示すように高いしきい値で2値化された領域の中で、低い濃度値を持つ領域を欠陥領域11dとして抽出する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ヘアクラックやひび割れなど抽出すべき領域が細く、かつ周囲との濃淡差が小さい場合、2値化しきい値を低くすると、領域となる線がバラバラに途切れ、高くすると多くのノイズも抽出するため、2段階しきい値法を用いても有効に動作しない。
【0006】
これを図9により説明すると、図9(a)は、ノイズを含まない低いしきい値による2値化画像15a、図9(b)は、全線が抽出できるしきい値で2値化した画像15b、図9(c)は、図9(a)のしきい値よりも高いしきい値で2値化した画像15cを示している。
【0007】
図9(a)の画像15aと図9(b)の画像15bを重ね合わせて図9(d)に示す画像15dとし、この画像15dより、画像15aに含まれる線状欠陥領域16aを含む画像15bの領域16bを抽出しても図9(f)の画像15fに示すように、ノイズ17bは除去できるものの、画像15bの線状欠陥領域16bのように、抽出すべき領域が、バラバラに途切れているため抽出結果の15fで、一部の線状欠陥を抽出できない。
【0008】
また全ての線状欠陥を抽出しようとして、図9(b)の画像15bと図9(c)の画像15cを重ね合わせて、図9(e)に示す画像15eとし、この画像15eより画像15bの中で画像15cの線状領域16cを含む領域を抽出すると、図9(g)の画像16gに示すように欠陥領域16gにはノイズ17gも含んでしまう問題が起こる。
【0009】
このように、2段階しきい値により抽出するには、しきい値の設定によって、抽出すべき領域が抽出できなかったり、抽出すべき領域を抽出できても、ノイズを多く抽出してしまう場合があり、最適なパラメータの設定は困難である。
【0010】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、対象物の抽出ごとにパラメータの変更を行うことなく線状の欠陥を精度良く抽出できる微細線状欠陥の検出方法及びその装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項1の発明は、検出対象物を撮像した画像より微細線状欠陥を検出する方法において、画像に正規化処理を施した後、その正規化画像から濃淡ムラを除去し、濃淡ムラの除去された画像について、ノイズを除去できる低い濃度のしきい値で2値化した領域を初期の核とし、さらにこの領域より少し高い濃度しきい値範囲で新たに2値化した領域が、これまでに得られた領域と近接していれば、その得られた領域に連結する方法を、低い濃度しきい値範囲から高い濃度しきい値範囲まで多段階に反復的に繰り返して行うことにより、線状欠陥候補として検出する微細線状欠陥の検出方法である。 請求項2の発明は、線状欠陥候補を抽出した後、この各線状欠陥候補を直線セグメントに記述し、これら直線セグメントの方向の連続性が局所的に保たれているセグメントを統合すると共に、2つ以上のセグメントが大局的に直線或いは2次曲線を構成しているかを判定し、2次曲線を構成する場合には、構成要素となる各セグメントを結合し、局所的欠陥領域の結合と大局的欠陥領域の結合より、微細線状欠陥を抽出する請求項1記載の微細線状欠陥の検出方法である。
【0012】
請求項3の発明は、検出対象物を撮像した画像より微細線状欠陥を検出する装置において、検出対象物を撮像する画像入力装置と、画像に正規化処理を施した後、その正規化画像から濃淡ムラを除去し、濃淡ムラの除去された画像について、ノイズを除去できる低い濃度のしきい値で2値化した領域を初期の核とし、さらにこの領域より少し高い濃度しきい値範囲で新たに2値化した領域が、これまでに得られた領域と近接していれば、その得られた領域に連結する方法を、低い濃度しきい値範囲から高い濃度しきい値範囲まで多段階に反復的に繰り返して行うことにより、線状欠陥候補として検出する画像処理装置と、この各線状欠陥候補を直線セグメントに記述し、これら直線セグメントの方向の連続性が局所的に保たれているセグメントを統合すると共に、2つ以上のセグメントが大局的に直線或いは2次曲線を構成しているかを判定し、2次曲線を構成する場合には、構成要素となる各セグメントを結合し、局所的欠陥領域の結合と大局的欠陥領域の結合より、微細線状欠陥を抽出する判定装置とを備えた微細線状欠陥装置である。
【0013】
上記構成によれば、画像の濃淡情報のみから、良好な線状欠陥候補をノイズと区別して検出すると共に、得られた線状欠陥候補を局所的/大局的探索で欠陥部を結合することでさらに良好に線状欠陥を検出できる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適一実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【0015】
先ず、微細線状欠陥の検出装置の装置構成を図2により説明する。
【0016】
被検査対象である対象物20を画像入力装置21で撮像し、その取り込んだ画像を画像処理装置22で画像処理して判定装置23にて抽出した微細線状欠陥を判定する。
【0017】
この画像処理と判定の概略を図1により説明すると、処理が開始25され、画像入力26がなされた後、画像正規化処理27を行って、濃淡ヒストグラムの平均値及び分散値を一定値に変換した後、多重多段階スライス法による線状候補領域の抽出28を行い、その抽出した線状候補について連続している線かどうかの判定を大局的探索による領域結合29と局所的探索による領域結合30の双方で評価して、微細線状欠陥領域の抽出31を行った後、処理を終了32する。
【0018】
以下、これらの処理を順に説明する。
【0019】
(1)画像の正規化処理
入力した画像は、その撮像状況によって濃淡にバラツキがあるため、濃度の正規化処理を行う。
【0020】
正規化処理とは、濃度平均値m、標準偏差σの入力画像を、式(1) に従って、濃度平均mN 、標準偏差σN の画像に変換する処理をいう。一般に、正規化処理は、感度が異なるセンサで撮像された同種の画像間の標準化を行う際に有効である。
【0021】
N (x,y)=(σN /σ)(I(x,y)−m)+mN …(1)
ただし、
I(x,y) : 入力原画像の点(x,y)における濃淡値
N (x,y): 正規化画像の点(x,y)における濃淡値
である。
【0022】
図3(a)は、画像全体が暗く、コントラストが低い画像の濃淡ヒストグラムを表している。このような画像を正規化することによって、図3(b)に示すように全体に明るさのバランスがとれ、コントラストの良い画像に変換される。すなわち、照明条件や入力装置の設定条件によって、暗すぎたり、明るすぎたり、或いはコントラストが低いような画像が入力されたとしても、正規化することによって、欠陥領域の濃度範囲が略同じ範囲に変換される。その結果、以後の処理におけるパラメータを略固定することが可能となり、自動化を図ることができる。
【0023】
(2)多重多段階スライス法による線状候補領域の抽出
多重多段階スライス法とは、図4(a)に示すような局所的な濃淡変化を繰り返すヘアクラックを抽出し、かつ、ノイズの包含を避ける方法である。
【0024】
図4(a)に示すよう、正規化した画像中の線状分の濃度分布40に、線状領域41とノイズ42があるとする。この場合、抽出される線状領域41は、濃度範囲T0 〜T4 に濃度が分布し、線状領域41は、T1 〜T4 に濃度が分布し、T4 以上は、対象物の表面である。
【0025】
さて先ず、正規化画像を濃淡モフォロジィ処理によって、画像撮影時の濃淡ムラを除去する。すなわち、正規化画像に対して所定のフィルタサイズで濃淡モフォロジィ処理をし、その画像と正規化画像の濃淡値の差分を求めることで、濃淡ムラの除去された画像が得られる。この画像を、非常に低い濃度しきい値T1 で2値化することによって、図4(b)の▲1▼に示すように、断片的ではあるが確実に線状欠陥の一部41aであるとして判定される部分を抽出する。この抽出画像50は、図5(a)に示すように、ノイズを含まない、線状欠陥51aの領域を示している。
【0026】
次いで、図4(b)の▲2▼に示すように、そのしきい値T1 よりも少し高い濃度しきい値範囲T1 〜T2 の部分41b,42bを2値化により取り出し、これが▲1▼で抽出した部分41aと近接しているかどうかを調べ、近接していれば、図4(b)の▲3▼に示すように結合して連結部分41cとする。この場合、ノイズの部分42bは、線状欠陥の部分41aに近接していないため連結されず、同様にこの段階では、図4(b)の▲2▼の中央の部分41b0 は連結されない。
【0027】
以下同様にして{T1 +(i−1)α<T<T1 +iα i=1,,, N}の部分を取りだし、それがこれまでに抽出した部分に近接するか否かを調べ、近接している場合には線状欠陥として延長登録して、▲3▼の連結部分41cに、▲4▼のT 2 〜T3 の部分41dを連結して▲5▼の連結部分41eとし、さらにこの連結部分41eに▲6▼のT3 〜T4 の部分41fを連結して▲7▼の連結部分41gとする。
【0028】
この操作をN回(図4の例では3回)繰り返して、濃度範囲T1 〜T4 までの連結を終えた後、さらに以上のことを、低いしきい値T1 からN回繰り返し、これらを集計した部分を線状領域とする。このように同じ処理ループをN回(図では3回)繰り返すことにより、▲4▼の部分41d0 は、▲7▼の連結部分41gと連続しているため、▲8▼の連結部分41hとなり、さらに、▲2▼の中央の部分41b0 は、▲8▼の連結部分41hと連続しているため、▲9▼の連結部分41iとされて全ての線状領域が抽出され、またノイズ42b,42d,42f分は、▲1▼の部分41aと連続していないため、抽出されない。
【0029】
このように図5(a)に示した線状欠陥51aの初期領域に含まれない連結領域が、1ループ目の成長で、図5(b)に示すように線状欠陥51gが、次いで2,3ループで、図5(c),図5(d)に示すように、順次成長した線状欠陥51h,51iを抽出することが可能となる。
【0030】
このように多重多段階スライス法にて線状候補を抽出することで、2段階しきい値法よりノイズを抑え、精度良く線状欠陥を抽出することが可能となる。
【0031】
次に、本発明をさらに説明する。
【0032】
多重多段階スライス法による連結処理において、線状領域に対し、大きく離れたノイズ分は、基本的には検出されないが、線状欠陥52に近接しているノイズ53,54については、図5(c),図5(d)に示すようにが検出されてしまう。
【0033】
そこで、以下の処理で、線状欠陥に近接するノイズ分を除去する。
【0034】
(3)局所的及び大局的探索による欠陥領域の結合
多重多段階スライス法を用いても、線状欠陥領域に近接するノイズだけは除去することはできない。このようなノイズは、抽出したい線状欠陥領域の濃度範囲、領域形状、領域面積等が同じであるため、単なる画像処理手法を組み合わせても除去することができない。
【0035】
そこで、飛び飛びに得られた線状領域を直線セグメントに記述し、幾何学的な連続性、及びフィット性を基に、同一欠陥部分として直線セグメントを結合していく。これにより、1本の連続した線状欠陥を抽出すると共に、線状欠陥に近接したノイズを区別することができる。直線セグメントを結合するのに、局所的探索及び大局的探索の2つのアプローチをとる。
【0036】
a.局所的探索による欠陥領域の結合
本処理は、図6に示すように、直線に記述されたセグメント群Sの中から、局所的にみて近距離にあり、かつ方向の連続性が保たれているものを統合していくものである。すなわち、先ず比較的長い直線セグメントS0 をベースセグメントと名付け、このベースセグメントS0 を幅Wだけ太らせたリボン状領域80を生成する。次に、ベースセグメントS0 の端点から、距離r以内に端点を持ち、セグメント全体がリボン領域80内に含まれる直線セグメントの中で方向が同じセグメントS1 を統合し、この操作を成長が止まるまで繰り返す。その際、リボン領域80内に含まれない点線で示したセグメントsは連結候補に入れない。このようにリボン状領域80にある連続性のあるセグメントSを逐次的に探索することで、セグメントSと方向が異なるノイズ分を除去できることとなる。
【0037】
b.大局的探索による欠陥領域の結合
図6に示した局所的探索では、周囲を見渡して隣接する欠陥候補を結合してしまうため、大きく離れた欠陥候補同士を結び付けることはできない。そこで、2つ以上の直線セグメントが直線或いは2次曲線を構成しているか否かを仮説検証によって判定し、大きく離れていても、統合する処理を行う。これにより、マクロ的にみて、直線或いは2次曲線で構成される直線群を検出することができる。
【0038】
図7(a)は、各ベースセグメントS0 ごとに、他の候補セグメントS'0とのペアで直線lを形成できるか否かを判定し、可能である場合には最小二乗法によって直線を生成する。
【0039】
次に、図7(b)に示すように、この直線l上に存在する候補セグメントSを全て検出する。そして、セグメントS群が構成する全直線の長さがあるしきい値以上で、かつその全体の長さに占めるセグメントSの比率が高ければ、図7(c)に示すように線状欠陥71と判定する。その際、点線で示したセグメントsのように、あまりにも大きく離れている場合は、分断して、それぞれの直線群に対して仮説検証を行う。
【0040】
局所的及び大局的探索で線状欠陥を抽出する模式図を図8に示す。
【0041】
先ず、図8(a)は、上述した多重多段階スライス法で抽出した線状欠陥候補を直線セグメント81に記述した画像80aを示す。直線セグメント81から図8(b)に示すように、比較的長さが長いベースセグメントS0 を抽出し、図8(c)では、局所的探索法を用いて、近接し、かつ方向性が保たれるセグメント群を抽出して線状欠陥81cとしている。ただし、81dのように大きく離れたセグメント同士は抽出することができない。図8(d)では、大局的探索法を用いて大きく離れたセグメント群を直線として線状欠陥81dを抽出している。2つの画像80c,80dを合成することにより、図8(e)のように線状欠陥81eのみの画像80eを得ることができる。
【0042】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、画像の濃淡情報のみから、良好な線状欠陥候補をノイズと区別して検出すると共に、得られた線状欠陥候補を局所的/大局的探索で欠陥部を結合することでさらに良好に線状欠陥を検出できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の微細線状欠陥を検出する処理フローを説明する図である。
【図2】本発明の微細線状欠陥を検出する装置構成を示す図である。
【図3】本発明において、正規化処理を説明する図である。
【図4】本発明において、多重多段階スライス法で、線状欠陥を抽出するための説明図である。
【図5】図4の多重多段階スライス法で、線状領域を連結成長させた過程の画像を示す図である。
【図6】本発明において、局所的探索による領域の結合を説明する図である。
【図7】本発明において、大局的探索による領域の結合を説明する図である。
【図8】本発明において、多重多段階スライス法で、抽出した線状欠陥候補から線状欠陥を抽出するまでの模式図を示す図である。
【図9】従来の2段階しきい値法による線状欠陥の抽出を説明する図である。
【図10】同じく従来の2段階しきい値法による線状欠陥の抽出を説明する図である。
【符号の説明】
41a,b,d,f 線状欠陥
42 ノイズ
1 〜T4 多段階の濃度範囲
41i 線状欠陥候補
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method and apparatus for detecting a fine linear defect from an image obtained by imaging a detection object.
[0002]
[Prior art]
Attempts have been made to automatically detect fine linear defects such as welds, metal hair cracks, or cracks in the concrete surface using image processing techniques.
[0003]
Conventionally, in order to detect a defect from an image obtained by imaging an object to be detected, a two-step threshold method is used when the defect portion is relatively large and has a large shading difference.
[0004]
In the two-step threshold method, first, binarization is performed at a low threshold value, so that only a very dark portion 11a which is a part but surely a defect is extracted as shown in FIG. Then, the image 10a including no noise is created. Next, by binarizing with a high threshold value, as shown in FIG. 10B, an image 10b in which all the defective areas 11b including the noise 12b are extracted is created. Finally, as shown in FIG. 10C, in an image 10c obtained by superimposing both images 10a and 10b, a binarized image region with a low threshold value in a binarized image with a high threshold value. The region 13 including 11c is left, and the region 12c not including the binarized image region by the low threshold is removed as noise. As a result, a region having a low density value is extracted as a defect region 11d among regions binarized with a high threshold as shown in an image 10d in FIG.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, if the area to be extracted, such as hair cracks or cracks, is thin and the contrast with the surroundings is small, lowering the binarization threshold results in discontinuous breaks in the area line, and higher noise also extracts more noise. Therefore, even if the two-stage threshold method is used, it does not operate effectively.
[0006]
This will be described with reference to FIG. 9. FIG. 9A shows a binarized image 15a with a low threshold value that does not contain noise, and FIG. 9B shows an image binarized with a threshold value that can extract all lines. 15b and FIG. 9 (c) show an image 15c binarized with a threshold value higher than the threshold value of FIG. 9 (a).
[0007]
The image 15a shown in FIG. 9A and the image 15b shown in FIG. 9B are overlapped to form an image 15d shown in FIG. 9D. From this image 15d, an image including the linear defect area 16a included in the image 15a. Although the noise 17b can be removed as shown in the image 15f of FIG. 9F even if the region 16b of 15b is extracted, the region to be extracted is discontinuously broken like the linear defect region 16b of the image 15b. Therefore, some linear defects cannot be extracted with the extraction result 15f.
[0008]
Further, in order to extract all the linear defects, the image 15b in FIG. 9B and the image 15c in FIG. 9C are overlapped to form an image 15e shown in FIG. 9E. If the region including the linear region 16c of the image 15c is extracted, the problem that the noise 17g is also included in the defect region 16g as shown in the image 16g of FIG.
[0009]
As described above, when extracting with the two-step threshold value, the area to be extracted cannot be extracted or the area to be extracted can be extracted depending on the threshold setting, but a lot of noise is extracted. Therefore, it is difficult to set optimal parameters.
[0010]
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problems and provide a fine linear defect detection method and apparatus capable of accurately extracting a linear defect without changing parameters every time an object is extracted. It is in.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to a first aspect of the present invention, in a method for detecting a fine line defect from an image obtained by imaging a detection object, after performing normalization processing on the image, shading unevenness is detected from the normalized image. For the image that has been removed and the shading unevenness has been removed, the binarized area with a low density threshold that can remove noise is used as the initial nucleus, and a new binary is added in a density threshold range slightly higher than this area. If the converted region is close to the region obtained so far, the method of connecting to the obtained region is repeated in multiple steps from the low concentration threshold range to the high concentration threshold range. This is a method for detecting a fine linear defect that is detected as a candidate for a linear defect by repeating the process. In the invention of claim 2, after extracting the linear defect candidates, each linear defect candidate is described in a straight line segment, and the segments in which the continuity of the direction of the straight line segment is locally maintained are integrated, It is determined whether two or more segments generally form a straight line or a quadratic curve, and when forming a quadratic curve, the constituent segments are combined, and local defect regions are combined. The fine linear defect detection method according to claim 1, wherein the fine linear defect is extracted by combining the global defect regions.
[0012]
According to a third aspect of the present invention, there is provided an apparatus for detecting a fine line defect from an image obtained by imaging a detection object, an image input device for imaging the detection object, and a normalized image after normalizing the image. In the image from which the shading unevenness is removed from the image, the binarized area with a low density threshold that can remove noise is used as an initial nucleus, and the density threshold range slightly higher than this area is used. If the newly binarized area is close to the area obtained so far, the method of connecting to the obtained area is multi-staged from the low density threshold range to the high density threshold range. The image processing apparatus that detects the line defect candidates and the line defect candidates are described in the straight line segments, and the continuity in the direction of the straight line segments is locally maintained. Segment In the case where two or more segments generally form a straight line or a quadratic curve, and a quadratic curve is formed, the constituent segments are combined, This is a fine line defect device including a determination device that extracts fine line defects by combining defect regions and global defect regions.
[0013]
According to the above configuration, a good linear defect candidate is detected and distinguished from noise only from the image grayscale information, and the obtained linear defect candidate is combined with the defect portion by local / global search. Further, it is possible to detect a linear defect more satisfactorily.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0015]
First, the device configuration of the fine line defect detection device will be described with reference to FIG.
[0016]
The object 20 to be inspected is imaged by the image input device 21, the captured image is subjected to image processing by the image processing device 22, and the fine linear defect extracted by the determination device 23 is determined.
[0017]
The outline of the image processing and determination will be described with reference to FIG. 1. After the processing is started 25 and the image input 26 is made, the image normalization processing 27 is performed to convert the average value and variance value of the density histogram into constant values. After that, the line candidate area extraction 28 is performed by the multi-stage slice method, and the extracted line candidates are determined to be continuous lines by the area combination 29 by the global search and the area combination by the local search. After performing the evaluation 31 on both sides and performing the extraction 31 of the fine linear defect region, the process is ended 32.
[0018]
Hereinafter, these processes will be described in order.
[0019]
(1) Image normalization processing Since the input image varies in density depending on the image pickup situation, density normalization processing is performed.
[0020]
The normalization process refers to a process of converting an input image having a density average value m and a standard deviation σ into an image having a density average m N and a standard deviation σ N according to the equation (1). In general, normalization processing is effective when standardizing images of the same type captured by sensors having different sensitivities.
[0021]
I N (x, y) = (σ N / σ) (I (x, y) −m) + m N (1)
However,
I (x, y): Gray value at the point (x, y) of the input original image I N (x, y): Gray value at the point (x, y) of the normalized image.
[0022]
FIG. 3A shows a density histogram of an image that is dark as a whole and has low contrast. By normalizing such an image, the brightness is balanced as a whole as shown in FIG. 3B, and the image is converted into an image with good contrast. That is, even if an image that is too dark, too bright, or has a low contrast is input depending on the illumination conditions or the input device setting conditions, the density range of the defect area is made substantially the same range by normalization. Converted. As a result, parameters in subsequent processing can be substantially fixed, and automation can be achieved.
[0023]
(2) Extraction of Linear Candidate Region by Multiple Multistep Slice Method The multiple multistep slice method extracts hair cracks that repeat local shading changes as shown in FIG. 4A and includes noise. This is how to avoid it.
[0024]
As shown in FIG. 4A, it is assumed that a linear region 41 and noise 42 are present in a linear density distribution 40 in an image. In this case, the concentration of the extracted linear region 41 is distributed in the concentration range T 0 to T 4 , the concentration of the linear region 41 is distributed in T 1 to T 4 , and T 4 or more is the target region. The surface.
[0025]
First, the shading unevenness at the time of image shooting is removed from the normalized image by shading morphology processing. That is, by performing density morphology processing on the normalized image with a predetermined filter size and obtaining the difference between the density values of the image and the normalized image, an image from which density unevenness has been removed can be obtained. By binarizing this image with a very low density threshold value T 1 , as shown in (1) of FIG. A part determined to be present is extracted. As shown in FIG. 5A, the extracted image 50 shows a region of the linear defect 51a that does not include noise.
[0026]
Next, as shown by (2) in FIG. 4B, the portions 41b and 42b of the density threshold value ranges T 1 to T 2 that are slightly higher than the threshold value T 1 are extracted by binarization. It is checked whether or not it is close to the portion 41a extracted in 1 ▼, and if it is close, it is combined as shown in (3) in FIG. In this case, the noise portion 42b is not connected because it is not close to the linear defect portion 41a. Similarly, at this stage, the central portion 41b0 of (2) in FIG. 4B is not connected.
[0027]
In the same manner, a portion of {T 1 + (i−1) α <T <T 1 + iα i = 1,... N} is taken out and it is checked whether or not it is close to the portion extracted so far. proximity if you are in extended registered as a line defect, ▲ 3 ▼ the connecting portion 41c of the, by connecting the portion 41d of the ▲ 4 ▼ of T 2 ~T 3 ▲ 5 ▼ a connection portion 41e of further to this connection to the portion 41e ▲ 6 ▼ by connecting portion 41f of the T 3 through T 4 of ▲ 7 ▼ connecting portion 41g of the.
[0028]
This operation is repeated N times (three times in the example of FIG. 4), and after the connection to the concentration range T 1 to T 4 is completed, the above is repeated N times from the low threshold value T 1. The part which totaled is made into a linear area | region. Thus, by repeating the same processing loop N times (three times in the figure), the portion 41d0 of (4) is continuous with the connecting portion 41g of (7), and therefore becomes the connecting portion 41h of (8). Further, since the central portion 41b0 of (2) is continuous with the connecting portion 41h of (8), all the linear regions are extracted as the connecting portion 41i of (9), and noises 42b and 42d. , 42f are not extracted because they are not continuous with the portion 41a of (1).
[0029]
As described above, the connection region that is not included in the initial region of the linear defect 51a shown in FIG. 5A is the growth of the first loop, the linear defect 51g as shown in FIG. , 3 loops, it is possible to extract the linear defects 51h and 51i that have grown sequentially, as shown in FIGS. 5 (c) and 5 (d).
[0030]
By extracting the line candidates by the multiple multi-stage slice method in this way, it becomes possible to suppress the noise and extract the line defects with high accuracy than the two-stage threshold method.
[0031]
Next, the present invention will be further described.
[0032]
In the connection processing by the multiple multi-step slicing method, a noise component far away from the linear region is basically not detected, but the noises 53 and 54 close to the linear defect 52 are shown in FIG. c), as shown in FIG. 5 (d) is detected.
[0033]
Therefore, noises close to the linear defect are removed by the following process.
[0034]
(3) Even if the combined multiple multi-step slicing method of defect areas by local and global search is used, only noises close to the linear defect area cannot be removed. Such noise cannot be removed even if a simple image processing technique is combined because the linear defect region to be extracted has the same density range, region shape, region area, and the like.
[0035]
Therefore, the linear regions obtained in a jumping manner are described in the straight line segments, and the straight line segments are combined as the same defect portion based on geometric continuity and fit. As a result, one continuous linear defect can be extracted and noise close to the linear defect can be distinguished. Two approaches are used to combine straight line segments: local search and global search.
[0036]
a. Combining defect areas by local search As shown in FIG. 6, this processing is close to the segment group S described in a straight line, and the continuity of the direction is maintained. Things are integrated. That is, first, a relatively long straight line segment S0 is named a base segment, and a ribbon-like region 80 is generated by thickening the base segment S0 by a width W. Next, the segment S1 having the end point within the distance r from the end point of the base segment S0 and having the same direction among the straight segments included in the ribbon region 80 is integrated, and this operation is repeated until the growth stops. . At this time, the segment s indicated by a dotted line not included in the ribbon region 80 is not included in the connection candidate. Thus, by sequentially searching for the continuous segment S in the ribbon-shaped region 80, a noise component having a direction different from that of the segment S can be removed.
[0037]
b. Combining defect areas by global search In the local search shown in FIG. 6, defect candidates that are far apart cannot be connected to each other because adjacent defect candidates are combined while looking around. Therefore, it is determined by hypothesis verification whether or not two or more straight line segments form a straight line or a quadratic curve, and processing for integration is performed even if they are far apart. As a result, it is possible to detect a group of straight lines composed of straight lines or quadratic curves from a macro perspective.
[0038]
FIG. 7 (a) determines, for each base segment S0, whether or not a straight line l can be formed with a pair with another candidate segment S'0, and if possible, a straight line is generated by the least square method. To do.
[0039]
Next, as shown in FIG. 7B, all candidate segments S existing on the straight line l are detected. If the length of all straight lines formed by the segment S group is equal to or greater than a certain threshold value and the ratio of the segment S to the total length is high, a linear defect 71 as shown in FIG. Is determined. At that time, if the segment s is too far apart, as in the segment s indicated by the dotted line, the segmentation is performed and the hypothesis is verified for each straight line group.
[0040]
FIG. 8 shows a schematic diagram for extracting linear defects by local and global search.
[0041]
First, FIG. 8A shows an image 80a in which linear defect candidates extracted by the above-described multi-stage slice method are described in a straight line segment 81. FIG. As shown in FIG. 8 (b), a relatively long base segment S0 is extracted from the straight line segment 81. In FIG. 8 (c), a local search method is used, and the proximity and directivity are maintained. A segment group that sags is extracted to form a linear defect 81c. However, segments that are far apart like 81d cannot be extracted. In FIG. 8 (d), the linear defect 81d is extracted by using a global search method with segments that are far apart as straight lines. By synthesizing the two images 80c and 80d, an image 80e of only the linear defect 81e can be obtained as shown in FIG.
[0042]
【The invention's effect】
In short, according to the present invention, good linear defect candidates are detected and distinguished from noise only from image gray level information, and the obtained linear defect candidates are combined with defect portions by local / global search. Thus, a linear defect can be detected more satisfactorily.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram illustrating a processing flow for detecting fine linear defects according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing an apparatus configuration for detecting fine linear defects according to the present invention.
FIG. 3 is a diagram illustrating normalization processing in the present invention.
FIG. 4 is an explanatory diagram for extracting a linear defect by a multiple multi-stage slice method in the present invention.
5 is a diagram showing an image of a process in which linear regions are connected and grown by the multiple multi-stage slice method of FIG. 4;
FIG. 6 is a diagram illustrating region combination by local search in the present invention.
FIG. 7 is a diagram illustrating region combination by global search in the present invention.
FIG. 8 is a diagram showing a schematic diagram until a linear defect is extracted from extracted linear defect candidates by a multiple multi-stage slicing method in the present invention.
FIG. 9 is a diagram for explaining extraction of a linear defect by a conventional two-step threshold method.
FIG. 10 is a diagram for explaining extraction of linear defects by the conventional two-step threshold method.
[Explanation of symbols]
41a, b, d, f linear defect 42 Noise T 1 through T 4 multi-step concentration range 41i linear defect candidate

Claims (3)

検出対象物を撮像した画像より微細線状欠陥を検出する方法において、画像に正規化処理を施した後、その正規化画像から濃淡ムラを除去し、濃淡ムラの除去された画像について、ノイズを除去できる低い濃度のしきい値で2値化した領域を初期の核とし、さらにこの領域より少し高い濃度しきい値範囲で新たに2値化した領域が、これまでに得られた領域と近接していれば、その得られた領域に連結する方法を、低い濃度しきい値範囲から高い濃度しきい値範囲まで多段階に反復的に繰り返して行うことにより、線状欠陥候補として検出することを特徴とする微細線状欠陥の検出方法。In a method for detecting a fine line defect from an image obtained by imaging an object to be detected, after normalizing the image, shading unevenness is removed from the normalized image, and noise is removed from the image from which shading unevenness has been removed. The region binarized with a low concentration threshold that can be removed is used as the initial nucleus, and the newly binarized region with a concentration threshold range slightly higher than this region is close to the region obtained so far. If this is the case, the method of connecting to the obtained region is repeatedly detected in multiple steps from the low density threshold range to the high density threshold range to detect as a linear defect candidate. A method for detecting fine line defects characterized by the above. 線状欠陥候補を抽出した後、この各線状欠陥候補を直線セグメントに記述し、これら直線セグメントの方向の連続性が局所的に保たれているセグメントを統合すると共に、2つ以上のセグメントが大局的に直線或いは2次曲線を構成しているかを判定し、2次曲線を構成する場合には、構成要素となる各セグメントを結合し、局所的欠陥領域の結合と大局的欠陥領域の結合より、微細線状欠陥を抽出する請求項1記載の微細線状欠陥の検出方法。  After extracting the linear defect candidates, each linear defect candidate is described in a straight line segment, and the segments in which the continuity of the direction of the straight line segments is locally maintained are integrated, and two or more segments are roughly divided. If a linear curve or a quadratic curve is determined and a quadratic curve is formed, the segments as constituent elements are combined, and the combination of local defect areas and global defect areas is combined. The method for detecting fine linear defects according to claim 1, wherein fine linear defects are extracted. 検出対象物を撮像した画像より微細線状欠陥を検出する装置において、検出対象物を撮像する画像入力装置と、画像に正規化処理を施した後、その正規化画像から濃淡ムラを除去し、濃淡ムラの除去された画像について、ノイズを除去できる低い濃度のしきい値で2値化した領域を初期の核とし、さらにこの領域より少し高い濃度しきい値範囲で新たに2値化した領域が、これまでに得られた領域と近接していれば、その得られた領域に連結する方法を、低い濃度しきい値範囲から高い濃度しきい値範囲まで多段階に反復的に繰り返して行うことにより、線状欠陥候補として検出する画像処理装置と、この各線状欠陥候補を直線セグメントに記述し、これら直線セグメントの方向の連続性が局所的に保たれているセグメントを統合すると共に、2つ以上のセグメントが大局的に直線或いは2次曲線を構成しているかを判定し、2次曲線を構成する場合には、構成要素となる各セグメントを結合し、局所的欠陥領域の結合と大局的欠陥領域の結合より、微細線状欠陥を抽出する判定装置とを備えたことを特徴とする微細線状欠陥装置。In an apparatus for detecting a fine line defect from an image obtained by imaging a detection object, an image input apparatus for imaging the detection object, and after normalizing the image, removing shading unevenness from the normalized image, For an image from which shading unevenness has been removed, an area obtained by binarizing with a low density threshold that can remove noise is used as an initial nucleus, and an area newly binarized with a density threshold range slightly higher than this area. However, if it is close to the area obtained so far, the method of connecting to the obtained area is repeatedly performed in multiple steps from the low density threshold range to the high density threshold range. by an image processing apparatus for detecting a linear defect candidate, along with the respective linear defect candidates described straight segment, the direction of the continuity of these straight line segments is to integrate a segment which is locally maintained It is determined whether two or more segments generally form a straight line or a quadratic curve, and in the case of forming a quadratic curve, the constituent segments are combined, and local defect regions are combined. A fine linear defect device comprising: a determination device that extracts a fine linear defect from a combination of global defect regions.
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