JP3629248B2 - 清浄空気供給装置および該装置におけるフィルターの交換方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置、または液晶製造装置に清浄空気を供給する装置および該装置におけるフィルターの交換方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造装置、または液晶製造装置用として使用されている清浄空気供給装置は、ケミカル汚染物除去用フィルター、すなわち酸性物質除去用、アルカリ性物質除去用および有機ガス除去用の各目的別のフィルターが、それぞれ設置場所の作業環境に応じて多段に亘って設置され、該多段に亘って設置されたフィルターに空気を送気するファン部とが一つのケーシングに重ねて収納されてファンフィルター本体とした構造、または前記多段に亘って設置されたフィルターとファン部とが別々のケーシングに収納され、その間をダクトで連結してファンフィルター本体とした構造が公知である。
【０００３】
また最近、半導体の構造が微細になると共に、ケミカルガスによる汚染が半導体製造、または液晶製造に影響を及ぼすようになり、従来の半導体および液晶製造ラインでは、製造装置内にケミカル汚染物質を除去した空気が供給されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来使用されている清浄空気供給装置には、酸性物質除去用、アルカリ性物質除去用および有機ガス除去用の各目的別のフィルターが、それぞれ設置場所の作業環境に応じて多段に亘って設置されており、作業環境の浮遊ガス濃度により、個々のフィルターの寿命に差はあるものの、一般の塵除去用のフィルターの寿命と比較すると極めて短く、前記多段に亘って設置された各フイルターのうち、いずれかの使用済み（寿命のつきた）フィルターの交換時には、清浄空気供給装置を停止すると共に、半導体、または液晶製造ラインを停止して、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場において、ファンフィルター本体の全体を分解して新しいフィルターと交換しなければならないので、半導体、または液晶製造が効率的に行われず、またフィルターの交換作業が非常に手間がかかるという課題があった。
【０００５】
また、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場において、フィルターの交換時および搬送時に、使用済みフィルターに付着した塵が落下し、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場を汚染するという課題があった。
【０００６】
更に、従来の清浄空気供給装置の送風容量は最初に設定され、半導体、または液晶製造装置からの追加要求に小刻みに対応できないという課題があった。
【０００７】
本発明は、前記課題を解決すべくなしたもので、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場において、各目的別のフィルターを複数枚接合して形成された複合フィルターを構成する各フィルターのうち、いずれかの使用済みフィルターの交換時に、複数個のファンフィルター本体の組み合わせより成る清浄空気供給装置の全体を分解することなく、必要な部分のファンフィルター本体のみのフィルターを、新しい交換用フィルターと交換することができ、またフィルターの交換時および搬送時に、使用済みフィルターに付着した塵が落下して作業場を汚染するということもなく、更に清浄空気供給装置の送風容量を任意に設定でき、交換するフィルターを備えたファンフィルター本体の作動のみを停止させて、その他のファンフィルター本体の作動を停止することなく、従って半導体、または液晶製造ラインを停止せず、フィルターを交換することができる清浄空気供給装置および該装置におけるフィルターの交換方法を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、前記複合フィルターを構成するいずれかのフィルターの交換時に、停止されるファンフィルター本体以外のファンフィルター本体の清浄空気の供給量が増加され、ファン制御ユニットによりチャンバーの圧力が一定に保たれるように制御されることを特徴とする清浄空気供給装置、または、
チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、前記ファンフィルター本体のファンケースと複合フィルター、および複合フィルターを構成する各フィルターがそれぞれ分離でき、且つ該各フィルターが横方向にスライドして取出し可能で、前記複合フィルターを構成する各フィルターのうち、いずれかの使用済みフィルターの交換時、該使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のみを停止し、フィルターの交換ができることを特徴とする清浄空気供給装置、あるいは、
チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、複合フィルターを構成する各フィルターのうち、いずれかのフィルターの交換時、新しい交換用フィルターと、使用済みフィルターをそれぞれ収納する同一構成の２個の収納用ボックスが準備され、前記ファン制御ユニットにより該使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンを停止して、前記使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンケースを手前へ少し引出すと共に、複合フィルターを該ファンケース側へずらして、前記送気開口に閉鎖板を挿入して該送気開口を閉鎖した後、前記ファンフィルター本体の使用済みフィルターの横に、交換用フィルターを収納した一方の収納用ボックスを設置すると共に、反対側に空の他方の収納用ボックスを設置し、然る後、前記一方の収納用ボックスに穿設された貫通孔から操作棒を差込んで、交換用フィルターを前方へ押圧してスライドさせて、該交換用フィルターに当接する使用済みフィルターを反対側に押出して、前記交換用フィルターを載置板上の所定位置に載置すると共に、前記使用済みフィルターを反対側の他方の収納用ボックスに収納して、前記各収納用ボックスの開口部を蓋体により閉鎖して、該各収納用ボックスを取去り、その後、前記閉鎖板を引抜き、前記ファンケースを前方へ押圧して、各フィルターを該ファンケースの押圧力により接合して複合フィルターを形成すると共に、前記複合フィルターを該ファンケースおよび前記送気開口の開口端縁部に密着させることを特徴とするフィルターの交換方法、そしてまたは、
チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、複合フィルターを構成する各フィルターのうち、いずれかのフィルターの交換時、新しい交換用フィルターと、使用済みフィルターをそれぞれ収納する同一構成の２個の収納用ボックスが準備され、前記ファン制御ユニットにより該使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンを停止して、前記使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンケースを手前へ少し引出すと共に、複合フィルターを該ファンケース側へずらして、前記送気開口に閉鎖板を挿入して該送気開口を閉鎖した後、前記ファンフィルター本体の使用済みフィルターの横に、空の一方の収納用ボックスを設置し、前記一方の収納用ボックスに穿設された貫通孔から操作棒を差込んで、使用済みフィルターをスライドして引出して、前記一方の収納用ボックスに収納して、該一方の収納用ボックスの開口部を蓋体により閉鎖し、然る後、交換用フィルターを収納した他方の収納用ボックスを、前記使用済みのフィルターを引出した部分に設置し、該他方の収納用ボックスに穿設された貫通孔から操作棒を差込んで、交換用フィルターを前方へ押圧してスライドさせて、前記交換用フィルターを載置板上の所定位置に載置して、他方の収納用ボックスの開口部を蓋体により閉鎖して、該他方の収納用ボックスを取去り、その後、前記閉鎖板を引抜き、前記ファンケースを前方へ押圧して、各フィルターを該ファンケースの押圧力により接合して複合フィルターを形成すると共に、前記複合フィルターを該ファンケースおよび前記送気開口の開口端縁部に密着させることを特徴とするフィルターの交換方法、
を実現することにより、上記課題を解決した。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場に設置される本発明の清浄空気供給装置の全体の斜視図、図２は同縦断面図、図３は同要部の縦断面図を示す。図示していない半導体製造装置、または液晶製造装置へ清浄空気を供給する供給口１を備えたチャンバー２の一方側の壁面３には、複数個間隔を有して該チャンバー２内に清浄空気を送気する送気開口４が穿設され、且つ前記壁面３の外側に複数個のファンフィルター本体５を複数段に亘って収納すると共に、ファン制御ユニット６を収納する保持体７が固定されている。
【００１０】
前記保持体７は、縦杆８および横杆９を立方体枠状に接合固定して枠部材１０を形成すると共に、前記各ファンフィルター本体５を複数段に亘って載置することができるよう、前記枠部材１０に載置板１１を前記ファンフィルター本体５の厚さ分の間隔を有して複数段に亘って固定する一方、該枠部材１０の下端部にファン制御ユニット６を収納する制御ユニット収納部１２を設けて構成されている。なお、前記チャンバー２に設けられた送気開口４の大きさは、前記各ファンフィルター本体５の大きさと略一致する。
【００１１】
前記保持体７の各載置板１１上に、それぞれファンフィルター本体５を載置すると共に、最上段のファンフィルター本体５上の枠部材１０に天板１３を配設する。
【００１２】
前記保持体７の各載置板１１上にそれぞれ載置されるファンフィルター本体５は、下流側に後述する複合フィルター２０に送気する送気用の開口部１４を設けると共に、上流側の後面側板１５に吸気孔１６を穿設して箱型に形成されたファンケース１７内に、モーターＭと、該モーターＭを駆動源として回転するファン１８が装置され、更に前記ファンケース１７の下流側の開口部１４の前方部に、酸性物質除去用、アルカリ性物質除去用および有機ガス除去用の各目的別のフィルター１９を、図４に示すように、複数枚適宜組合わせて（図４においては３枚）一体になるようそれぞれ密着して複合フィルター２０が形成されている。
【００１３】
前記複合フィルター２０を構成する各フィルター１９は、図５・図６に示すように、方形枠体２１の内側壁面に、濾材２２の周面部がホットメルト２３で溶着固定されると共に、前記方形枠体２１の上・下流側の周壁面にウレタンスポンジ等より成るガスケット２４が周設されて形成されている。
【００１４】
そして、前記構成より成る複数枚のフィルター１９の各ガスケット２４面を互いに圧接すると、各フィルター１９のガスケット２４がそれぞれ押圧された型で一体に密着し、各フィルター１９を固定した方形枠体２１の四周より、該各フィルター１９内に空気が侵入することのない、外気と遮断された複合フィルター２０が形成される。
【００１５】
前記複数枚のフィルター１９を接合して一体に形成された複合フィルター２０の最上流側に位置するガスケット２４が、ファンケース１７の開口部１４の外周縁部に密着すると共に、前記複合フィルター２０の最下流側に位置するガスケット２４が、前記チャンバー２に形成された送気開口４の外周縁部に密着することによりファンフィルター本体５が形成される。そして、前記各ファンフィルター本体５がそれぞれ各載置板１１上に載置固定される。
【００１６】
前記のように、各載置板１１にそれぞれ載置固定された各ファンフィルター本体５は、複合フィルター２０を構成する各フイルター１９に装着されたガスケット２４により、各フイルター１９が一体に接合されると共に、複合フィルター２０とファンケース１７およびチャンバー２とが密着されているため、前記各複合フィルター２０を構成する各フィルター１９の方形枠体２１の四周より空気が侵入することがなく、該各複合フィルター２０は、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気と遮断される。
【００１７】
前記保持体７の下方に配設された制御ユニット収納部１２内に収納されるファン制御ユニット６は、フィルターの交換時にモーターＭの速度を設定するフィルター交換時速度指令設定ＶＲ２５と、通常時（フィルターの交換をしないとき）のモーターＭの速度を設定する通常時速度指令設定ＶＲ２６とが、各モーターＭにそれぞれファン制御装置２７と制御装置作動スイッチ２８とを介して接続されて形成されている。なお、図中、２９・３０は、前記フィルター交換時速度指令設定ＶＲ２５と、通常時速度指令設定ＶＲ２６とをそれぞれ択一的に使用、あるいは不使用とするための操作スイッチである。
【００１８】
更に、使用済み（寿命のつきた）フィルターを新しい交換用フィルターと交換する際、前記使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体５の送気開口４より、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気がチャンバー２内に流入しないよう、前記ファンフィルター本体５の送気開口４に閉鎖板３１が挿入・引抜き可能に取付けられる。
【００１９】
前記閉鎖板３１の挿入・引抜き手段は、特に限定する必要はないが、好ましくは図８〜図１１に示すように構成することが推奨される。すなわち、前記閉鎖板３１は、各載置板１１の上面先端縁部と、各載置板１１の上面に位置する各横杆９の下面先端縁部にそれぞれ対設された挿入切欠３２に挿入してスライドさせ、送気開口４を閉鎖できるように形成される。なお、図中３３は閉鎖板３１をスライドさせるときに使用する持ち手である。
【００２０】
次に、前記保持体７の載置板１１上に載置固定された複合フィルターを構成する各フイルターのうち、使用済みフィルターを、新しい交換用フィルターと交換する交換方法について説明する。先ず、本発明の第１の実施の形態におけるフィルターの交換方法においては、新しい交換用フィルター１９を収納するためと、交換される使用済みのフィルター１９ａを収納するための両方を兼ねた収納用ボックス３４が２個準備される。
【００２１】
前記収納用ボックス３４は、図７に示すように、一方部に開口部３５を有すると共に、他方部に壁板３６を有して、内部にフィルターを収納する収納部３７を備えて箱型に形成され、更に前記壁板３６の中央には、通気兼交換作業用の小径の貫通孔３８が穿設されると共に、該貫通孔３８を被覆する呼吸用フィルター３９を取付けた開閉蓋４０が回動自在なるよう前記壁板３６の外側面に軸支されていて、該開閉蓋４０を回動することにより、前記貫通孔３８を開孔、あるいは閉鎖できるよう形成されている。また、前記開口部３５には、蓋板４１をスライドさせて、該開口部３５を開放、あるいは閉鎖できるよう、該蓋板４１が挿入、および取外し自在に装着されている。
【００２２】
そして、前記収納用ボックス３４の貫通孔３８から操作棒４２を差込んで、交換用フィルター１９を前方側へ押圧したり、手前へ引いたり、あるいは該交換用フィルター１９の位置を調整する必要がある。そのため、前記操作棒４２の先端にはフック状の掛止具４３が取付けられると共に、該掛止具４３側に位置する複合フィルター２０を構成する各フィルター１９の一方側の各側面部に、前記掛止具４３を掛止する受止具４４がそれぞれ設けられている。そして、前記掛止具４３を受止具４４に掛止して、前記交換用フィルター１９を前方側へ押圧したり、手前へ引いたりしてスライドさせて位置の調整をすることができる。
【００２３】
次に、本発明方法の第１の実施の形態における使用済みフィルターを、新しい交換用フィルターと交換する方法を、図８〜図１１に基づいて説明する。図においては、最上段部のファンフィルター本体を構成するフィルターの交換方法が示されている。先ず、図１２に示す前記交換しようとする使用済みフィルター１９ａを備えた複合フィルター２０ａに送気しているファンフィルター本体５ａのファン１８ａを、ファン制御ユニット６の前記ファン１８ａの制御装置２７ａを作動させる制御装置作動スイッチ２８ａをＯＦＦして停止させる。
【００２４】
そして、前記操作スイッチ２８ａをＯＦＦして通常時速度指令設定ＶＲ２６の作動を停止させると共に、操作スイッチ２９をＯＮしてフィルター交換時速度指令設定ＶＲ２５を作動可能として、然る後、該フィルター交換時速度指令設定ＶＲ２５を適宜操作して、１個の各ファンフィルター本体５ａが使用できなくなっても、他の各ファンフィルター本体５により供給される清浄空気供給容量を増加するよう残りのファン１８の回転数をアップさせる。これにより、使用済みフィルター１９ａの交換時においても、交換前と同一容量の清浄空気をチャンバー２に供給して、該チャンバー２内の圧力を一定に保つことができる。
【００２５】
次に、前記使用済みフィルター１９ａを備えた複合フィルター２０ａをチャンバー２の送気開口４ａの開口端縁部に押圧していたファンケース１７ａを手前へ少しスライドして引出し、前記ファンケース１７ａと複合フィルター２０ａ、および前記複合フィルター２０ａと送気開口４ａの開口端縁部との密着状態をそれぞれ解除することにより、前記複合フィルター２０ａはファンケース１７ａ方向へもスライドして移動可能となると共に、該複合フィルター２０ａを構成する各フィルター１９も分離し、それぞれ横へスライドして押し出すことが可能となる。
【００２６】
その後、前記複合フィルター２０ａをファンケース１７ａ側へ少しずらし、該複合フィルター２０ａを載置している載置板１１と上方の横杆９の先端縁部にそれぞれ形成された挿入切欠３２に閉鎖板３１を挿入して、持ち手３３を持って前方へスライドさせると、該閉鎖板３１によって、交換作業をするファンフィルター本体５の下流側の送気開口４が閉鎖され、チャンバー２と半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場とは遮断され、該チャンバー２内に半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気が流入することはない。なお、前記閉鎖板３１を挿入する前の状態においても、チャンバー２内が陽圧となっているため、送気開口４から該チャンバー２内に半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気が流入することはない。
【００２７】
そして、前記状態において、交換しようとする使用済みフィルター１９ａの受止具４４を備えた一方側の側面部に、空の収納用ボックス３４ａを配置すると共に、前記使用済みフィルター１９ａの他方側の側面部に、新しい交換用フィルター１９を収納部３７に収納した収納用ボックス３４ｂを配置する。なお、前記収納用ボックス３４ａ、３４ｂは、図示していない台枠等に載置して、使用済みフィルター１９ａの両側面部にそれぞれ配置する。
【００２８】
更に、前記交換用フィルター１９を収納した収納用ボックス３４ｂの開口部３５の蓋板４１を上方へ引き上げて取去り、該開口部３５を開放すると共に、使用済みフィルター１９ａを収納する側の収納用ボックス３４ａの開口部３５の蓋板４１を上方へ引き上げて取去る。然る後、前記交換用フィルター１９を収納した収納用ボックス３４ｂの開閉蓋４０を回動して貫通孔３８を開孔し、該貫通孔３８より操作棒４２を差込んで、該操作棒４２の先端の掛止具４３を交換用フィルター１９の受止具４４に掛止する。そして、前記操作棒４２を前方へ押圧して、交換用フィルター１９を前記開口部３５を通って前方へスライドして移動させると、使用済みフィルター１９ａが、前記交換用フィルター１９によって押圧されてスライドし、前記収納用ボックス３４ａの開口部３５を通って収納部３７に収納される。
【００２９】
前記交換用フィルター１９によって使用済みフィルター１９ａが押圧されて収納用ボックス３４ａに収納されるとき、その押圧力により前記収納用ボックス３４ａ内の空気が流動するので、該流動空気により、使用済みフィルター１９ａに付着した塵を該収納ボックス３４ａ内に落下させ、流動空気のみを外部へ逃すため、フィルター付きの呼吸口が必要となる。そのため、本発明方法においては、収納用ボックス３４を使用済みフイルター１９ａを収納するための収納用ボックス３４ａとしても使用する。そして、前記使用済みフイルター１９ａの収納用ボックス３４ａとして使用する場合は、開閉蓋４０は閉鎖したまま使用し、呼吸用フィルター３９から前記流動空気のみを排気する。すなわち、前記開閉蓋４０を開けた状態では、貫通孔３８は操作棒４２の操作口として作用し、また開閉蓋４０を閉じた状態では、貫通孔３８はフィルター付きの呼吸口として作用する。
【００３０】
前記使用済みフィルター１９ａが、前記収納用ボックス３４ａの収納部３７に収納されると、直ちに開口部３５に蓋体４１を装着し、該使用済みフィルター１９ａに付着した塵が、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場に落下しないようにして、該収納用ボックス３４ａを取去る。
【００３１】
一方、前記交換用複合フィルター１９は、前記操作棒４２により押圧されて、載置板１１上のファンケース１７の前方部にスライドして載置されるが、正確に前記ファンケース１７の前方部の所定位置に載置されるよう、前記操作棒４２を適宜操作して交換用フィルター１９を適宜スライドさせて所定位置に載置し、その後、操作棒４２を取出して、開閉蓋４０を閉じて貫通孔３８を閉鎖すると共に、開口部３５に蓋体４１を装着し、収納部３７内に半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気が入らないようにして、清浄度を保持して、前記収納用ボックス３４ｂを取去る。
【００３２】
前記交換用フィルター１９を所定位置にスライドして移動させた後、前記送気開口４ａを閉鎖していた閉鎖板３１を持ち手３３を持って引抜いて、ファンケース１７を手で前方へ押圧すると、前記交換した新しいフィルター１９は他の交換していないフィルター１９と圧接して複合フィルター２０を形成すると共に、該複合フィルター２０の上流側に前記ファンケース１７が密着され、更に前記複合フィルター２０の下流側をチャンバー２の送気開口４ａの開口端縁部に密着して交換作業を完了する。なお、前記フィルターの交換作業時において、チャンバー２内が陽圧となっていると共に、フィルターの交換作業をしているファンフィルター本体５の送気開口４ａを閉鎖板３１で閉鎖しているため、該送気開口４ａからチャンバー２内に、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気が流入することはなく、前記チャンバー２内の清浄度は維持される。
【００３３】
そしてその後、操作スイッチ２９をＯＦＦして、フィルター交換時速度指令設定ＶＲ２５の作動を停止させると共に、操作スイッチ２８ａをＯＮして通常時速度指令設定ＶＲ２６を作動可能として、然る後、該通常時速度指令設定ＶＲ２６を適宜操作して、すべてのファンフィルター本体５が使用されることにより供給される清浄空気供給容量になるようすべてのファン１８の回転数をダウンさせる。これにより、すべてのファンフィルター本体５が作動するときに必要とされる容量の清浄空気をチャンバー２内に供給することができる。
【００３４】
また、図１３・図１４は本発明方法の第２の実施の形態における使用済みフィルターを交換する方法を示す断面図である。本実施の形態については、第１の実施の形態における交換方法において説明したと同様に、前記図７における収納用ボックス３４を２個準備する。
【００３５】
先ず、前記第１の実施の形態におけるフィルターの交換方法と同様に、図示していないが、使用済みフィルター１９ａを備えたファンケース１７ａを手前へ少しスライドさせて引出すと共に、複合フィルター２０ａも前記ファンケース１７ａ側へ少しずらして閉鎖板３１を挿入切欠３２に挿入してスライドさせて、送気開口４ａを閉鎖する。
【００３６】
そして、１個目の収納用ボックス３４ｃの収納部３７を空にして、使用済みフィルター１９ａの受止具４４を備えた一方側の側面部に配置し、開口部３５の蓋板４１を上方へ引き上げて取去り、該開口部３５を開放すると共に、開閉蓋４０を回動して貫通孔３８を開孔して、該貫通孔３８より操作棒４２を差込んで、該操作棒４２の先端の掛止具４３を前記使用済みフィルター１９ａの受止具４４に掛止して、前記操作棒４２を手前へ引いて、前記使用済みフィルター１９ａを前記開口部３５を通って収納部３７内に収納する。なお、前記収納用ボックス３４ｃは、図示していない台枠等に載置して、使用済みフィルター１９ａの側面部に配置する。
【００３７】
前記使用済みフィルター１９ａが、前記収納用ボックス３４ｃの収納部３７に収納されると、操作棒４２を取出すと共に、開閉蓋４０を閉じて貫通孔３８を閉鎖する一方、直ちに開口部３５に蓋体４１を装着し、該使用済みフィルター１９ａに付着した塵が、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場に落下しないようにして、該収納用ボックス３４ｃを取去る。
【００３８】
その後、収納部３７に交換用フィルター１９を収納した２個目の収納用ボックス３４ｄを、前記使用済みフィルター１９ａを取去った後の載置板１１の側面部に配置して、開口部３５の蓋板４１を上方へ引き上げて取去り、該開口部３５を開放すると共に、開閉蓋４０を回動して貫通孔３８を開孔して、該貫通孔３８より操作棒４２を差込んで、該操作棒４２の先端の掛止具４３を交換用フィルター１９の受止具４４に掛止して、該操作棒４２を前方へ押圧して、交換用フィルター１９を前記開口部３５を通って前方へスライドさせる。なお、前記収納用ボックス３４ｄは、図示していない台枠等に載置して、前記使用済みフィルター１９ａを取去った後の載置板１１の側面部に配置する。
【００３９】
前記交換用フィルター１９は、前記開口部３５を通って載置板１１上のファンケース１７の前方部にスライドして載置されるが、正確に前記ファンケース１７の前方部の所定位置に載置されるよう、前記操作棒４２により該交換用フィルター１９を適宜スライドさせて所定位置に載置し、その後、操作棒４２を取出して、開閉蓋４０を閉じて貫通孔３８を閉鎖すると共に、開口部３５に蓋体４１を装着し、収納部３７内に半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気が入らないようにして、清浄度を保持して、前記収納用ボックス３４ｄを取去る。そして、その後は前記した第１の実施の形態に示したものと同一の作業工程を経て、フィルターの交換作業を完了するのである。
【００４０】
【発明の効果】
本発明は上述のようであるから、半導体製造装置、または液晶製造装置に清浄空気を供給する清浄空気供給装置において、ファンケースと、目的別の作用を有する複数枚のフィルターを接合して形成された複合フィルターとにより構成されるファンフィルター本体が、複数段に亘って装置されると共に、該ファンフィルター本体のファンケースと複合フィルターとが分離可能で、また該複合フィルターを構成する各フィルターがそれぞれ分離でき、且つ前記フィルターのいずれもが横方向にスライドして取出せる構造となっているので、清浄空気供給装置全体を分解することなく、複数段に亘って装置されたファンフィルター本体の、交換時期のきた複合フィルターを構成するいずれかの使用済みのフィルターのみを新しい交換用フィルターと簡単に交換することができる。
そして、前記新しい交換用フィルターを外気に曝すことなく、また、使用済みのフィルターの塵を半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場に撒き散らすことなく、更にフィルターの交換時に、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気をチャンバー内に流入させることなく、フィルターの交換作業ができる。
更に、複数段に亘って装置されたファンフィルター本体のいずれかの段の複合フィルターを交換する際、該ファンフィルター本体のファンを停止しても、ファン制御ユニットにより他のファンフィルター本体の各ファンの回転数を上げることにより、他のファンフィルター本体からの清浄空気の供給量を多くして、チャンバー内の圧力をすべてのファンフィルター本体が作動しているときと同一圧力の一定に保つことができるので、ファンフィルター本体全体を停止する必要がなく、従って半導体製造装置、または液晶製造装置の製造ラインを停止する必要がないので、製造作業を効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明清浄空気供給装置の全体を示す斜視図である。
【図２】本発明清浄空気供給装置の縦断面図である。
【図３】本発明清浄空気供給装置の要部の縦断面図である。
【図４】本発明清浄空気供給装置における複合フィルターの平面図である。
【図５】本発明清浄空気供給装置における複合フィルターを構成するフィルターの斜視図である。
【図６】本発明清浄空気供給装置における複合フィルターを構成するフィルターの縦断面図である。
【図７】本発明清浄空気供給装置におけるフィルター交換時に使用する収納用ボックスの斜視図である。
【図８】本発明清浄空気供給装置における第１の実施の形態による最上段部のファンフィルター本体を構成するフィルターの交換方法を示す全体の斜視図である。
【図９】同要部の斜視図である。
【図１０】同閉鎖板を挿入した状態を示す全体の縦断面図である。
【図１１】同要部の縦断面図である。
【図１２】本発明清浄空気供給装置における制御方法を示す説明図である。
【図１３】本発明清浄空気供給装置における第２の実施の形態によるファンフィルター本体を構成するフィルターの交換方法を示す概略縦断面図である。
【図１４】本発明清浄空気供給装置における第２の実施の形態によるファンフィルター本体を構成するフィルターの交換方法を示す概略縦断面図である。
【符号の説明】
Ｍ モーター、 １ 供給口、 ２ チャンバー、 ３ 壁面、 ４ 送気開口、 ５ ファンフィルター本体、 ６ ファン制御ユニット、 ７ 保持体、８ 縦杆、 ９ 横杆、 １０ 枠部材、 １１ 載置板、 １２ 制御ユニット収納部、 １３ 天板、 １４ 開口部、 １５ 後面側板、 １６ 吸気孔、 １７ ファンケース、 １８ ファン、 １９ フィルター、 ２０ 複合フィルター、 ２１ 方形枠体、 ２２ 濾材、 ２３ ホットメルト、 ２４ ガスケット、 ２５ フィルター交換時速度指令設定ＶＲ、 ２６ 通常時速度指令設定ＶＲ、 ２７ ファン制御装置、 ２８ 制御装置作動スイッチ、２９・３０ 操作スイッチ、 ３１ 閉鎖板、 ３２ 挿入切欠、 ３３ 持ち手、 ３４ 収納用ボックス、 ３５ 開口部、 ３６ 壁板、 ３７ 収納部、 ３８ 貫通孔、 ３９ 呼吸用フィルター、 ４０ 開閉蓋、 ４１ 蓋板、 ４２ 操作棒、 ４３ 掛止具、 ４４ 受止具。
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置、または液晶製造装置に清浄空気を供給する装置および該装置におけるフィルターの交換方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造装置、または液晶製造装置用として使用されている清浄空気供給装置は、ケミカル汚染物除去用フィルター、すなわち酸性物質除去用、アルカリ性物質除去用および有機ガス除去用の各目的別のフィルターが、それぞれ設置場所の作業環境に応じて多段に亘って設置され、該多段に亘って設置されたフィルターに空気を送気するファン部とが一つのケーシングに重ねて収納されてファンフィルター本体とした構造、または前記多段に亘って設置されたフィルターとファン部とが別々のケーシングに収納され、その間をダクトで連結してファンフィルター本体とした構造が公知である。
【０００３】
また最近、半導体の構造が微細になると共に、ケミカルガスによる汚染が半導体製造、または液晶製造に影響を及ぼすようになり、従来の半導体および液晶製造ラインでは、製造装置内にケミカル汚染物質を除去した空気が供給されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来使用されている清浄空気供給装置には、酸性物質除去用、アルカリ性物質除去用および有機ガス除去用の各目的別のフィルターが、それぞれ設置場所の作業環境に応じて多段に亘って設置されており、作業環境の浮遊ガス濃度により、個々のフィルターの寿命に差はあるものの、一般の塵除去用のフィルターの寿命と比較すると極めて短く、前記多段に亘って設置された各フイルターのうち、いずれかの使用済み（寿命のつきた）フィルターの交換時には、清浄空気供給装置を停止すると共に、半導体、または液晶製造ラインを停止して、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場において、ファンフィルター本体の全体を分解して新しいフィルターと交換しなければならないので、半導体、または液晶製造が効率的に行われず、またフィルターの交換作業が非常に手間がかかるという課題があった。
【０００５】
また、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場において、フィルターの交換時および搬送時に、使用済みフィルターに付着した塵が落下し、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場を汚染するという課題があった。
【０００６】
更に、従来の清浄空気供給装置の送風容量は最初に設定され、半導体、または液晶製造装置からの追加要求に小刻みに対応できないという課題があった。
【０００７】
本発明は、前記課題を解決すべくなしたもので、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場において、各目的別のフィルターを複数枚接合して形成された複合フィルターを構成する各フィルターのうち、いずれかの使用済みフィルターの交換時に、複数個のファンフィルター本体の組み合わせより成る清浄空気供給装置の全体を分解することなく、必要な部分のファンフィルター本体のみのフィルターを、新しい交換用フィルターと交換することができ、またフィルターの交換時および搬送時に、使用済みフィルターに付着した塵が落下して作業場を汚染するということもなく、更に清浄空気供給装置の送風容量を任意に設定でき、交換するフィルターを備えたファンフィルター本体の作動のみを停止させて、その他のファンフィルター本体の作動を停止することなく、従って半導体、または液晶製造ラインを停止せず、フィルターを交換することができる清浄空気供給装置および該装置におけるフィルターの交換方法を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、前記複合フィルターを構成するいずれかのフィルターの交換時に、停止されるファンフィルター本体以外のファンフィルター本体の清浄空気の供給量が増加され、ファン制御ユニットによりチャンバーの圧力が一定に保たれるように制御されることを特徴とする清浄空気供給装置、または、
チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、前記ファンフィルター本体のファンケースと複合フィルター、および複合フィルターを構成する各フィルターがそれぞれ分離でき、且つ該各フィルターが横方向にスライドして取出し可能で、前記複合フィルターを構成する各フィルターのうち、いずれかの使用済みフィルターの交換時、該使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のみを停止し、フィルターの交換ができることを特徴とする清浄空気供給装置、あるいは、
チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、複合フィルターを構成する各フィルターのうち、いずれかのフィルターの交換時、新しい交換用フィルターと、使用済みフィルターをそれぞれ収納する同一構成の２個の収納用ボックスが準備され、前記ファン制御ユニットにより該使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンを停止して、前記使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンケースを手前へ少し引出すと共に、複合フィルターを該ファンケース側へずらして、前記送気開口に閉鎖板を挿入して該送気開口を閉鎖した後、前記ファンフィルター本体の使用済みフィルターの横に、交換用フィルターを収納した一方の収納用ボックスを設置すると共に、反対側に空の他方の収納用ボックスを設置し、然る後、前記一方の収納用ボックスに穿設された貫通孔から操作棒を差込んで、交換用フィルターを前方へ押圧してスライドさせて、該交換用フィルターに当接する使用済みフィルターを反対側に押出して、前記交換用フィルターを載置板上の所定位置に載置すると共に、前記使用済みフィルターを反対側の他方の収納用ボックスに収納して、前記各収納用ボックスの開口部を蓋体により閉鎖して、該各収納用ボックスを取去り、その後、前記閉鎖板を引抜き、前記ファンケースを前方へ押圧して、各フィルターを該ファンケースの押圧力により接合して複合フィルターを形成すると共に、前記複合フィルターを該ファンケースおよび前記送気開口の開口端縁部に密着させることを特徴とするフィルターの交換方法、そしてまたは、
チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、複合フィルターを構成する各フィルターのうち、いずれかのフィルターの交換時、新しい交換用フィルターと、使用済みフィルターをそれぞれ収納する同一構成の２個の収納用ボックスが準備され、前記ファン制御ユニットにより該使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンを停止して、前記使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンケースを手前へ少し引出すと共に、複合フィルターを該ファンケース側へずらして、前記送気開口に閉鎖板を挿入して該送気開口を閉鎖した後、前記ファンフィルター本体の使用済みフィルターの横に、空の一方の収納用ボックスを設置し、前記一方の収納用ボックスに穿設された貫通孔から操作棒を差込んで、使用済みフィルターをスライドして引出して、前記一方の収納用ボックスに収納して、該一方の収納用ボックスの開口部を蓋体により閉鎖し、然る後、交換用フィルターを収納した他方の収納用ボックスを、前記使用済みのフィルターを引出した部分に設置し、該他方の収納用ボックスに穿設された貫通孔から操作棒を差込んで、交換用フィルターを前方へ押圧してスライドさせて、前記交換用フィルターを載置板上の所定位置に載置して、他方の収納用ボックスの開口部を蓋体により閉鎖して、該他方の収納用ボックスを取去り、その後、前記閉鎖板を引抜き、前記ファンケースを前方へ押圧して、各フィルターを該ファンケースの押圧力により接合して複合フィルターを形成すると共に、前記複合フィルターを該ファンケースおよび前記送気開口の開口端縁部に密着させることを特徴とするフィルターの交換方法、
を実現することにより、上記課題を解決した。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場に設置される本発明の清浄空気供給装置の全体の斜視図、図２は同縦断面図、図３は同要部の縦断面図を示す。図示していない半導体製造装置、または液晶製造装置へ清浄空気を供給する供給口１を備えたチャンバー２の一方側の壁面３には、複数個間隔を有して該チャンバー２内に清浄空気を送気する送気開口４が穿設され、且つ前記壁面３の外側に複数個のファンフィルター本体５を複数段に亘って収納すると共に、ファン制御ユニット６を収納する保持体７が固定されている。
【００１０】
前記保持体７は、縦杆８および横杆９を立方体枠状に接合固定して枠部材１０を形成すると共に、前記各ファンフィルター本体５を複数段に亘って載置することができるよう、前記枠部材１０に載置板１１を前記ファンフィルター本体５の厚さ分の間隔を有して複数段に亘って固定する一方、該枠部材１０の下端部にファン制御ユニット６を収納する制御ユニット収納部１２を設けて構成されている。なお、前記チャンバー２に設けられた送気開口４の大きさは、前記各ファンフィルター本体５の大きさと略一致する。
【００１１】
前記保持体７の各載置板１１上に、それぞれファンフィルター本体５を載置すると共に、最上段のファンフィルター本体５上の枠部材１０に天板１３を配設する。
【００１２】
前記保持体７の各載置板１１上にそれぞれ載置されるファンフィルター本体５は、下流側に後述する複合フィルター２０に送気する送気用の開口部１４を設けると共に、上流側の後面側板１５に吸気孔１６を穿設して箱型に形成されたファンケース１７内に、モーターＭと、該モーターＭを駆動源として回転するファン１８が装置され、更に前記ファンケース１７の下流側の開口部１４の前方部に、酸性物質除去用、アルカリ性物質除去用および有機ガス除去用の各目的別のフィルター１９を、図４に示すように、複数枚適宜組合わせて（図４においては３枚）一体になるようそれぞれ密着して複合フィルター２０が形成されている。
【００１３】
前記複合フィルター２０を構成する各フィルター１９は、図５・図６に示すように、方形枠体２１の内側壁面に、濾材２２の周面部がホットメルト２３で溶着固定されると共に、前記方形枠体２１の上・下流側の周壁面にウレタンスポンジ等より成るガスケット２４が周設されて形成されている。
【００１４】
そして、前記構成より成る複数枚のフィルター１９の各ガスケット２４面を互いに圧接すると、各フィルター１９のガスケット２４がそれぞれ押圧された型で一体に密着し、各フィルター１９を固定した方形枠体２１の四周より、該各フィルター１９内に空気が侵入することのない、外気と遮断された複合フィルター２０が形成される。
【００１５】
前記複数枚のフィルター１９を接合して一体に形成された複合フィルター２０の最上流側に位置するガスケット２４が、ファンケース１７の開口部１４の外周縁部に密着すると共に、前記複合フィルター２０の最下流側に位置するガスケット２４が、前記チャンバー２に形成された送気開口４の外周縁部に密着することによりファンフィルター本体５が形成される。そして、前記各ファンフィルター本体５がそれぞれ各載置板１１上に載置固定される。
【００１６】
前記のように、各載置板１１にそれぞれ載置固定された各ファンフィルター本体５は、複合フィルター２０を構成する各フイルター１９に装着されたガスケット２４により、各フイルター１９が一体に接合されると共に、複合フィルター２０とファンケース１７およびチャンバー２とが密着されているため、前記各複合フィルター２０を構成する各フィルター１９の方形枠体２１の四周より空気が侵入することがなく、該各複合フィルター２０は、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気と遮断される。
【００１７】
前記保持体７の下方に配設された制御ユニット収納部１２内に収納されるファン制御ユニット６は、フィルターの交換時にモーターＭの速度を設定するフィルター交換時速度指令設定ＶＲ２５と、通常時（フィルターの交換をしないとき）のモーターＭの速度を設定する通常時速度指令設定ＶＲ２６とが、各モーターＭにそれぞれファン制御装置２７と制御装置作動スイッチ２８とを介して接続されて形成されている。なお、図中、２９・３０は、前記フィルター交換時速度指令設定ＶＲ２５と、通常時速度指令設定ＶＲ２６とをそれぞれ択一的に使用、あるいは不使用とするための操作スイッチである。
【００１８】
更に、使用済み（寿命のつきた）フィルターを新しい交換用フィルターと交換する際、前記使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体５の送気開口４より、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気がチャンバー２内に流入しないよう、前記ファンフィルター本体５の送気開口４に閉鎖板３１が挿入・引抜き可能に取付けられる。
【００１９】
前記閉鎖板３１の挿入・引抜き手段は、特に限定する必要はないが、好ましくは図８〜図１１に示すように構成することが推奨される。すなわち、前記閉鎖板３１は、各載置板１１の上面先端縁部と、各載置板１１の上面に位置する各横杆９の下面先端縁部にそれぞれ対設された挿入切欠３２に挿入してスライドさせ、送気開口４を閉鎖できるように形成される。なお、図中３３は閉鎖板３１をスライドさせるときに使用する持ち手である。
【００２０】
次に、前記保持体７の載置板１１上に載置固定された複合フィルターを構成する各フイルターのうち、使用済みフィルターを、新しい交換用フィルターと交換する交換方法について説明する。先ず、本発明の第１の実施の形態におけるフィルターの交換方法においては、新しい交換用フィルター１９を収納するためと、交換される使用済みのフィルター１９ａを収納するための両方を兼ねた収納用ボックス３４が２個準備される。
【００２１】
前記収納用ボックス３４は、図７に示すように、一方部に開口部３５を有すると共に、他方部に壁板３６を有して、内部にフィルターを収納する収納部３７を備えて箱型に形成され、更に前記壁板３６の中央には、通気兼交換作業用の小径の貫通孔３８が穿設されると共に、該貫通孔３８を被覆する呼吸用フィルター３９を取付けた開閉蓋４０が回動自在なるよう前記壁板３６の外側面に軸支されていて、該開閉蓋４０を回動することにより、前記貫通孔３８を開孔、あるいは閉鎖できるよう形成されている。また、前記開口部３５には、蓋板４１をスライドさせて、該開口部３５を開放、あるいは閉鎖できるよう、該蓋板４１が挿入、および取外し自在に装着されている。
【００２２】
そして、前記収納用ボックス３４の貫通孔３８から操作棒４２を差込んで、交換用フィルター１９を前方側へ押圧したり、手前へ引いたり、あるいは該交換用フィルター１９の位置を調整する必要がある。そのため、前記操作棒４２の先端にはフック状の掛止具４３が取付けられると共に、該掛止具４３側に位置する複合フィルター２０を構成する各フィルター１９の一方側の各側面部に、前記掛止具４３を掛止する受止具４４がそれぞれ設けられている。そして、前記掛止具４３を受止具４４に掛止して、前記交換用フィルター１９を前方側へ押圧したり、手前へ引いたりしてスライドさせて位置の調整をすることができる。
【００２３】
次に、本発明方法の第１の実施の形態における使用済みフィルターを、新しい交換用フィルターと交換する方法を、図８〜図１１に基づいて説明する。図においては、最上段部のファンフィルター本体を構成するフィルターの交換方法が示されている。先ず、図１２に示す前記交換しようとする使用済みフィルター１９ａを備えた複合フィルター２０ａに送気しているファンフィルター本体５ａのファン１８ａを、ファン制御ユニット６の前記ファン１８ａの制御装置２７ａを作動させる制御装置作動スイッチ２８ａをＯＦＦして停止させる。
【００２４】
そして、前記操作スイッチ２８ａをＯＦＦして通常時速度指令設定ＶＲ２６の作動を停止させると共に、操作スイッチ２９をＯＮしてフィルター交換時速度指令設定ＶＲ２５を作動可能として、然る後、該フィルター交換時速度指令設定ＶＲ２５を適宜操作して、１個の各ファンフィルター本体５ａが使用できなくなっても、他の各ファンフィルター本体５により供給される清浄空気供給容量を増加するよう残りのファン１８の回転数をアップさせる。これにより、使用済みフィルター１９ａの交換時においても、交換前と同一容量の清浄空気をチャンバー２に供給して、該チャンバー２内の圧力を一定に保つことができる。
【００２５】
次に、前記使用済みフィルター１９ａを備えた複合フィルター２０ａをチャンバー２の送気開口４ａの開口端縁部に押圧していたファンケース１７ａを手前へ少しスライドして引出し、前記ファンケース１７ａと複合フィルター２０ａ、および前記複合フィルター２０ａと送気開口４ａの開口端縁部との密着状態をそれぞれ解除することにより、前記複合フィルター２０ａはファンケース１７ａ方向へもスライドして移動可能となると共に、該複合フィルター２０ａを構成する各フィルター１９も分離し、それぞれ横へスライドして押し出すことが可能となる。
【００２６】
その後、前記複合フィルター２０ａをファンケース１７ａ側へ少しずらし、該複合フィルター２０ａを載置している載置板１１と上方の横杆９の先端縁部にそれぞれ形成された挿入切欠３２に閉鎖板３１を挿入して、持ち手３３を持って前方へスライドさせると、該閉鎖板３１によって、交換作業をするファンフィルター本体５の下流側の送気開口４が閉鎖され、チャンバー２と半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場とは遮断され、該チャンバー２内に半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気が流入することはない。なお、前記閉鎖板３１を挿入する前の状態においても、チャンバー２内が陽圧となっているため、送気開口４から該チャンバー２内に半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気が流入することはない。
【００２７】
そして、前記状態において、交換しようとする使用済みフィルター１９ａの受止具４４を備えた一方側の側面部に、空の収納用ボックス３４ａを配置すると共に、前記使用済みフィルター１９ａの他方側の側面部に、新しい交換用フィルター１９を収納部３７に収納した収納用ボックス３４ｂを配置する。なお、前記収納用ボックス３４ａ、３４ｂは、図示していない台枠等に載置して、使用済みフィルター１９ａの両側面部にそれぞれ配置する。
【００２８】
更に、前記交換用フィルター１９を収納した収納用ボックス３４ｂの開口部３５の蓋板４１を上方へ引き上げて取去り、該開口部３５を開放すると共に、使用済みフィルター１９ａを収納する側の収納用ボックス３４ａの開口部３５の蓋板４１を上方へ引き上げて取去る。然る後、前記交換用フィルター１９を収納した収納用ボックス３４ｂの開閉蓋４０を回動して貫通孔３８を開孔し、該貫通孔３８より操作棒４２を差込んで、該操作棒４２の先端の掛止具４３を交換用フィルター１９の受止具４４に掛止する。そして、前記操作棒４２を前方へ押圧して、交換用フィルター１９を前記開口部３５を通って前方へスライドして移動させると、使用済みフィルター１９ａが、前記交換用フィルター１９によって押圧されてスライドし、前記収納用ボックス３４ａの開口部３５を通って収納部３７に収納される。
【００２９】
前記交換用フィルター１９によって使用済みフィルター１９ａが押圧されて収納用ボックス３４ａに収納されるとき、その押圧力により前記収納用ボックス３４ａ内の空気が流動するので、該流動空気により、使用済みフィルター１９ａに付着した塵を該収納ボックス３４ａ内に落下させ、流動空気のみを外部へ逃すため、フィルター付きの呼吸口が必要となる。そのため、本発明方法においては、収納用ボックス３４を使用済みフイルター１９ａを収納するための収納用ボックス３４ａとしても使用する。そして、前記使用済みフイルター１９ａの収納用ボックス３４ａとして使用する場合は、開閉蓋４０は閉鎖したまま使用し、呼吸用フィルター３９から前記流動空気のみを排気する。すなわち、前記開閉蓋４０を開けた状態では、貫通孔３８は操作棒４２の操作口として作用し、また開閉蓋４０を閉じた状態では、貫通孔３８はフィルター付きの呼吸口として作用する。
【００３０】
前記使用済みフィルター１９ａが、前記収納用ボックス３４ａの収納部３７に収納されると、直ちに開口部３５に蓋体４１を装着し、該使用済みフィルター１９ａに付着した塵が、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場に落下しないようにして、該収納用ボックス３４ａを取去る。
【００３１】
一方、前記交換用複合フィルター１９は、前記操作棒４２により押圧されて、載置板１１上のファンケース１７の前方部にスライドして載置されるが、正確に前記ファンケース１７の前方部の所定位置に載置されるよう、前記操作棒４２を適宜操作して交換用フィルター１９を適宜スライドさせて所定位置に載置し、その後、操作棒４２を取出して、開閉蓋４０を閉じて貫通孔３８を閉鎖すると共に、開口部３５に蓋体４１を装着し、収納部３７内に半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気が入らないようにして、清浄度を保持して、前記収納用ボックス３４ｂを取去る。
【００３２】
前記交換用フィルター１９を所定位置にスライドして移動させた後、前記送気開口４ａを閉鎖していた閉鎖板３１を持ち手３３を持って引抜いて、ファンケース１７を手で前方へ押圧すると、前記交換した新しいフィルター１９は他の交換していないフィルター１９と圧接して複合フィルター２０を形成すると共に、該複合フィルター２０の上流側に前記ファンケース１７が密着され、更に前記複合フィルター２０の下流側をチャンバー２の送気開口４ａの開口端縁部に密着して交換作業を完了する。なお、前記フィルターの交換作業時において、チャンバー２内が陽圧となっていると共に、フィルターの交換作業をしているファンフィルター本体５の送気開口４ａを閉鎖板３１で閉鎖しているため、該送気開口４ａからチャンバー２内に、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気が流入することはなく、前記チャンバー２内の清浄度は維持される。
【００３３】
そしてその後、操作スイッチ２９をＯＦＦして、フィルター交換時速度指令設定ＶＲ２５の作動を停止させると共に、操作スイッチ２８ａをＯＮして通常時速度指令設定ＶＲ２６を作動可能として、然る後、該通常時速度指令設定ＶＲ２６を適宜操作して、すべてのファンフィルター本体５が使用されることにより供給される清浄空気供給容量になるようすべてのファン１８の回転数をダウンさせる。これにより、すべてのファンフィルター本体５が作動するときに必要とされる容量の清浄空気をチャンバー２内に供給することができる。
【００３４】
また、図１３・図１４は本発明方法の第２の実施の形態における使用済みフィルターを交換する方法を示す断面図である。本実施の形態については、第１の実施の形態における交換方法において説明したと同様に、前記図７における収納用ボックス３４を２個準備する。
【００３５】
先ず、前記第１の実施の形態におけるフィルターの交換方法と同様に、図示していないが、使用済みフィルター１９ａを備えたファンケース１７ａを手前へ少しスライドさせて引出すと共に、複合フィルター２０ａも前記ファンケース１７ａ側へ少しずらして閉鎖板３１を挿入切欠３２に挿入してスライドさせて、送気開口４ａを閉鎖する。
【００３６】
そして、１個目の収納用ボックス３４ｃの収納部３７を空にして、使用済みフィルター１９ａの受止具４４を備えた一方側の側面部に配置し、開口部３５の蓋板４１を上方へ引き上げて取去り、該開口部３５を開放すると共に、開閉蓋４０を回動して貫通孔３８を開孔して、該貫通孔３８より操作棒４２を差込んで、該操作棒４２の先端の掛止具４３を前記使用済みフィルター１９ａの受止具４４に掛止して、前記操作棒４２を手前へ引いて、前記使用済みフィルター１９ａを前記開口部３５を通って収納部３７内に収納する。なお、前記収納用ボックス３４ｃは、図示していない台枠等に載置して、使用済みフィルター１９ａの側面部に配置する。
【００３７】
前記使用済みフィルター１９ａが、前記収納用ボックス３４ｃの収納部３７に収納されると、操作棒４２を取出すと共に、開閉蓋４０を閉じて貫通孔３８を閉鎖する一方、直ちに開口部３５に蓋体４１を装着し、該使用済みフィルター１９ａに付着した塵が、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場に落下しないようにして、該収納用ボックス３４ｃを取去る。
【００３８】
その後、収納部３７に交換用フィルター１９を収納した２個目の収納用ボックス３４ｄを、前記使用済みフィルター１９ａを取去った後の載置板１１の側面部に配置して、開口部３５の蓋板４１を上方へ引き上げて取去り、該開口部３５を開放すると共に、開閉蓋４０を回動して貫通孔３８を開孔して、該貫通孔３８より操作棒４２を差込んで、該操作棒４２の先端の掛止具４３を交換用フィルター１９の受止具４４に掛止して、該操作棒４２を前方へ押圧して、交換用フィルター１９を前記開口部３５を通って前方へスライドさせる。なお、前記収納用ボックス３４ｄは、図示していない台枠等に載置して、前記使用済みフィルター１９ａを取去った後の載置板１１の側面部に配置する。
【００３９】
前記交換用フィルター１９は、前記開口部３５を通って載置板１１上のファンケース１７の前方部にスライドして載置されるが、正確に前記ファンケース１７の前方部の所定位置に載置されるよう、前記操作棒４２により該交換用フィルター１９を適宜スライドさせて所定位置に載置し、その後、操作棒４２を取出して、開閉蓋４０を閉じて貫通孔３８を閉鎖すると共に、開口部３５に蓋体４１を装着し、収納部３７内に半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気が入らないようにして、清浄度を保持して、前記収納用ボックス３４ｄを取去る。そして、その後は前記した第１の実施の形態に示したものと同一の作業工程を経て、フィルターの交換作業を完了するのである。
【００４０】
【発明の効果】
本発明は上述のようであるから、半導体製造装置、または液晶製造装置に清浄空気を供給する清浄空気供給装置において、ファンケースと、目的別の作用を有する複数枚のフィルターを接合して形成された複合フィルターとにより構成されるファンフィルター本体が、複数段に亘って装置されると共に、該ファンフィルター本体のファンケースと複合フィルターとが分離可能で、また該複合フィルターを構成する各フィルターがそれぞれ分離でき、且つ前記フィルターのいずれもが横方向にスライドして取出せる構造となっているので、清浄空気供給装置全体を分解することなく、複数段に亘って装置されたファンフィルター本体の、交換時期のきた複合フィルターを構成するいずれかの使用済みのフィルターのみを新しい交換用フィルターと簡単に交換することができる。
そして、前記新しい交換用フィルターを外気に曝すことなく、また、使用済みのフィルターの塵を半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場に撒き散らすことなく、更にフィルターの交換時に、半導体製造装置、または液晶製造装置用の作業場の空気をチャンバー内に流入させることなく、フィルターの交換作業ができる。
更に、複数段に亘って装置されたファンフィルター本体のいずれかの段の複合フィルターを交換する際、該ファンフィルター本体のファンを停止しても、ファン制御ユニットにより他のファンフィルター本体の各ファンの回転数を上げることにより、他のファンフィルター本体からの清浄空気の供給量を多くして、チャンバー内の圧力をすべてのファンフィルター本体が作動しているときと同一圧力の一定に保つことができるので、ファンフィルター本体全体を停止する必要がなく、従って半導体製造装置、または液晶製造装置の製造ラインを停止する必要がないので、製造作業を効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明清浄空気供給装置の全体を示す斜視図である。
【図２】本発明清浄空気供給装置の縦断面図である。
【図３】本発明清浄空気供給装置の要部の縦断面図である。
【図４】本発明清浄空気供給装置における複合フィルターの平面図である。
【図５】本発明清浄空気供給装置における複合フィルターを構成するフィルターの斜視図である。
【図６】本発明清浄空気供給装置における複合フィルターを構成するフィルターの縦断面図である。
【図７】本発明清浄空気供給装置におけるフィルター交換時に使用する収納用ボックスの斜視図である。
【図８】本発明清浄空気供給装置における第１の実施の形態による最上段部のファンフィルター本体を構成するフィルターの交換方法を示す全体の斜視図である。
【図９】同要部の斜視図である。
【図１０】同閉鎖板を挿入した状態を示す全体の縦断面図である。
【図１１】同要部の縦断面図である。
【図１２】本発明清浄空気供給装置における制御方法を示す説明図である。
【図１３】本発明清浄空気供給装置における第２の実施の形態によるファンフィルター本体を構成するフィルターの交換方法を示す概略縦断面図である。
【図１４】本発明清浄空気供給装置における第２の実施の形態によるファンフィルター本体を構成するフィルターの交換方法を示す概略縦断面図である。
【符号の説明】
Ｍ モーター、 １ 供給口、 ２ チャンバー、 ３ 壁面、 ４ 送気開口、 ５ ファンフィルター本体、 ６ ファン制御ユニット、 ７ 保持体、８ 縦杆、 ９ 横杆、 １０ 枠部材、 １１ 載置板、 １２ 制御ユニット収納部、 １３ 天板、 １４ 開口部、 １５ 後面側板、 １６ 吸気孔、 １７ ファンケース、 １８ ファン、 １９ フィルター、 ２０ 複合フィルター、 ２１ 方形枠体、 ２２ 濾材、 ２３ ホットメルト、 ２４ ガスケット、 ２５ フィルター交換時速度指令設定ＶＲ、 ２６ 通常時速度指令設定ＶＲ、 ２７ ファン制御装置、 ２８ 制御装置作動スイッチ、２９・３０ 操作スイッチ、 ３１ 閉鎖板、 ３２ 挿入切欠、 ３３ 持ち手、 ３４ 収納用ボックス、 ３５ 開口部、 ３６ 壁板、 ３７ 収納部、 ３８ 貫通孔、 ３９ 呼吸用フィルター、 ４０ 開閉蓋、 ４１ 蓋板、 ４２ 操作棒、 ４３ 掛止具、 ４４ 受止具。
Claims (5)
- チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、前記複合フィルターを構成するいずれかのフィルターの交換時に、停止されるファンフィルター本体以外のファンフィルター本体の清浄空気の供給量が増加され、ファン制御ユニットによりチャンバーの圧力が一定に保たれるように制御されることを特徴とする清浄空気供給装置。
- チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、前記ファンフィルター本体のファンケースと複合フィルター、および複合フィルターを構成する各フィルターがそれぞれ分離でき、且つ該各フィルターが横方向にスライドして取出し可能で、前記複合フィルターを構成する各フィルターのうち、いずれかの使用済みフィルターの交換時、該使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のみを停止し、フィルターの交換ができることを特徴とする清浄空気供給装置。
- チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、複合フィルターを構成する各フィルターのうち、いずれかのフィルターの交換時、新しい交換用フィルターと、使用済みフィルターをそれぞれ収納する同一構成の２個の収納用ボックスが準備され、前記ファン制御ユニットにより該使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンを停止して、前記使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンケースを手前へ少し引出すと共に、複合フィルターを該ファンケース側へずらして、前記送気開口に閉鎖板を挿入して該送気開口を閉鎖した後、前記ファンフィルター本体の使用済みフィルターの横に、交換用フィルターを収納した一方の収納用ボックスを設置すると共に、反対側に空の他方の収納用ボックスを設置し、然る後、前記一方の収納用ボックスに穿設された貫通孔から操作棒を差込んで、交換用フィルターを前方へ押圧してスライドさせて、該交換用フィルターに当接する使用済みフィルターを反対側に押出して、前記交換用フィルターを載置板上の所定位置に載置すると共に、前記使用済みフィルターを反対側の他方の収納用ボックスに収納して、前記各収納用ボックスの開口部を蓋体により閉鎖して、該各収納用ボックスを取去り、その後、前記閉鎖板を引抜き、前記ファンケースを前方へ押圧して、各フィルターを該ファンケースの押圧力により接合して複合フィルターを形成すると共に、前記複合フィルターを該ファンケースおよび前記送気開口の開口端縁部に密着させることを特徴とするフィルターの交換方法。
- チャンバーの一方側の壁面に複数個間隔を有して送気開口を穿設し、且つ前記壁面の外側に、複数個のファンフィルター本体を複数段に亘って各載置板上に載置して収納すると共に、ファン制御ユニットを収納する保持体が固定され、且つ前記ファンフィルター本体は、ファンを装置したファンケースの前方部に、複数枚のフィルターを一体に接合して形成された複合フィルターが、前記ファンケースと密着、または分離可能に装置されて形成され、更に前記複合フィルターを構成する各フィルターもそれぞれ分離可能に形成された清浄空気供給装置において、複合フィルターを構成する各フィルターのうち、いずれかのフィルターの交換時、新しい交換用フィルターと、使用済みフィルターをそれぞれ収納する同一構成の２個の収納用ボックスが準備され、前記ファン制御ユニットにより該使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンを停止して、前記使用済みフィルターを備えたファンフィルター本体のファンケースを手前へ少し引出すと共に、複合フィルターを該ファンケース側へずらして、前記送気開口に閉鎖板を挿入して該送気開口を閉鎖した後、前記ファンフィルター本体の使用済みフィルターの横に、空の一方の収納用ボックスを設置し、前記一方の収納用ボックスに穿設された貫通孔から操作棒を差込んで、使用済みフィルターをスライドして引出して、前記一方の収納用ボックスに収納して、該一方の収納用ボックスの開口部を蓋体により閉鎖し、然る後、交換用フィルターを収納した他方の収納用ボックスを、前記使用済みのフィルターを引出した部分に設置し、該他方の収納用ボックスに穿設された貫通孔から操作棒を差込んで、交換用フィルターを前方へ押圧してスライドさせて、前記交換用フィルターを載置板上の所定位置に載置して、他方の収納用ボックスの開口部を蓋体により閉鎖して、該他方の収納用ボックスを取去り、その後、前記閉鎖板を引抜き、前記ファンケースを前方へ押圧して、各フィルターを該ファンケースの押圧力により接合して複合フィルターを形成すると共に、前記複合フィルターを該ファンケースおよび前記送気開口の開口端縁部に密着させることを特徴とするフィルターの交換方法。
- 請求項３または４において、収納用ボックスの壁板に穿設された貫通孔にフィルターを備えた開閉蓋を回動自在に取付け、該開閉蓋を回動して前記貫通孔を開孔した状態にしたときは、操作棒の操作口として作用し、また、開閉蓋で該貫通孔を閉じた状態ではフィルター付の呼吸口として作用することを特徴とするフィルターの交換方法。
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