JP3616999B2 - Confocal microscope - Google Patents

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治彦 楠瀬
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レーザーテック株式会社
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【0001】 [0001]
【発明の属する技術分野】 BACKGROUND OF THE INVENTION
本発明は、試料等を撮像するコンフォーカル顕微鏡に関する。 The present invention relates to a confocal microscope to image the specimen or the like.
【0002】 [0002]
【従来の技術】 BACKGROUND OF THE INVENTION
従来のコンフォーカル顕微鏡の例は、例えば、特開平10ー104523号公報に開示されている。 Examples of conventional confocal microscope, for example, disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 10 over 104,523. 当該公報に示される従来のコンフォーカル顕微鏡では、1本のスリットを透過した光が試料に対して照明され、試料からの反射光は、1次元CCD(Charge Coupled Device)により受光される構成を採用している。 In conventional confocal microscope shown in this publication, the light transmitted through the one slit is illuminated to the sample, light reflected from the sample, adopt a configuration in which is received by a one-dimensional CCD (Charge Coupled Device) doing.
【0003】 [0003]
【発明が解決しようとする課題】 [Problems that the Invention is to Solve
従来のコンフォーカル顕微鏡では、一本のスリットを透過した光のみが試料に対して照明されるため、光の使用効率が低いという問題点があった。 In conventional confocal microscope, only the light transmitted through the single slit is to be illuminated to the sample, use efficiency of light is disadvantageously low. その結果、充分な輝度信号を得るために長時間露光が必要となるので、撮像時間が長くなるという問題点もあった。 As a result, since it is necessary to long exposure to obtain a sufficient luminance signal, there is a problem that the imaging time becomes long.
【0004】 [0004]
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、光の使用効率を高め、撮像時間の短縮化を達成することができるコンフォーカル顕微鏡を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve this problem, increase the use efficiency of light, and an object thereof is to provide a confocal microscope capable of achieving shortening of the imaging time.
【0005】 [0005]
【課題を解決するための手段】 In order to solve the problems]
本発明にかかるコンフォーカル顕微鏡は、光源と、前記光源から発する光を複数のライン状の輝線に変換する輝線変換手段と、前記輝線変換手段により変換した複数の輝線を走査する輝線走査手段と、前記輝線変換手段と共役な位置に設置された試料上に前記輝線を結像し、当該試料からの反射光又は透過光を結像面に結像する結像手段と、前記結像手段により結像される結像面に配置された2次元アレイ光検出器であって、 前記輝線の方向に画素が配列され、当該輝線の方向に画素のデータを出力する2次元アレイ光検出器と、前記2次元アレイ光検出器の画素のうち、前記輝線により照明された照明領域の画素のデータのみを使用して画像を形成する画像形成手段を備えたものである。 Confocal microscope according to the present invention includes a light source, a bright line conversion means for converting the light emitted from the light source into a plurality of line-shaped bright line, and emission lines scanning means for scanning a plurality of bright lines converted by the bright line converting means, and imaging the bright line on the sample placed in the bright line conversion means and a position conjugate with the imaging means for imaging on the imaging surface reflected light or transmitted light from the sample, forming by the image forming means a two-dimensional array light detector disposed on the imaging plane to be imaged, pixels arranged in the direction of the emission line, a two-dimensional array light detector for outputting data of pixels in the direction of the emission line, the among the pixels of the 2-dimensional array light detector, in which an image forming means for forming an image by using only data of the pixel of the illumination area illuminated by the bright line. このような構成により、照明光の使用効率を高め、撮像時間の短縮化を達成することができる。 With this configuration, more efficient use of illumination light, it is possible to achieve a shortening of the imaging time.
【0006】 [0006]
ここで、望ましい実施の形態によれば、前記輝線変換手段は、複数のスリットを有するマルチスリットである。 Here, according to a preferred embodiment, the bright line conversion means is a multi-slit having a plurality of slits.
【0007】 [0007]
また、前記輝線変換手段は、透過型液晶パネルにより構成すると共に、前記輝線走査手段も、当該透過型液晶パネルによって光を透過させる部分を走査することにより構成してもよい。 Further, the bright line converting means may be constituted by a transmission type liquid crystal panel, the bright line scanning means may also be configured by scanning a portion that transmits light by the transmissive liquid crystal panel.
【0008】 [0008]
さらに、前記輝線変換手段は、デジタルマイクロミラー装置により構成すると共に、前記輝線走査手段も、当該デジタルマイクロミラー装置によりミラーのオン状態を走査することにより構成してもよい。 Further, the bright line converting means may be constituted by a digital micromirror device, the bright line scanning means may also be configured by scanning the on-state of the mirror by the digital micromirror device.
【0009】 [0009]
また、前記画像形成手段は、前記2次元アレイ光検出器の画素のうち、前記輝線により照明された照明領域の画素のデータのみを使用して画像を形成するコンフォーカル画像形成モードと、全面を照明し、全ての画像データを取り込み、その画像データに基づき画像を形成するノンコンフォーカル画像形成モードを選択する手段を備えるようにするとよい。 Further, the image forming means, among the pixels of the two-dimensional array light detector, a confocal image forming mode for forming an image by using only data of the pixel of the illumination area illuminated by the bright line, the entire surface lighting and capture all of the image data, may be to comprise means for selecting a non-confocal image formation mode for forming an image based on the image data. このような構成により、極めて容易にコンフォーカル画像とノンコンフォーカル画像を切り替えることができる。 With this configuration, it is possible to switch very easily confocal image and a non-confocal image.
【0010】 [0010]
さらに、前記輝線変換手段において発生させる輝線の間隔を制御する輝線間隔制御手段を備えるようにするとよい。 Furthermore, it is preferable to make comprises a bright line interval control means for controlling the distance between the bright line is generated in the emission line converting means. このような構成により、簡単にゴーストを抑制することができる。 With this configuration, it is possible to easily suppress the ghost.
【0011】 [0011]
また、前記輝線走査手段は、前記2次元アレイ光検出器の画素に対して、隣接する画素間の照射の時間差が少なくなるように輝線を走査させることが好ましい。 Further, the bright line scanning means, with respect to the pixels of the two-dimensional array light detector, it is preferable to scan the bright lines so that the time difference is less irradiation between adjacent pixels. これにより、3次元の鮮明な画像を得ることができる。 Thus, it is possible to obtain a clear image of a three-dimensional.
【0012】 [0012]
前記光源を2次元に配列した複数の発振位相の異なるレーザダイオードにより構成するとよい。 It may be configured by different laser diodes of a plurality of oscillation phase of arranging the light source in a two-dimensional. このような構成により、スペックル(小さな斑点)の発生を抑制することができる。 With this configuration, it is possible to suppress the occurrence of the speckle (speckles).
【0013】 [0013]
ここで、前記画像形成手段は、前記輝線による照明領域が予め定めた画素以上に亘っている場合に、基準サンプルを撮像した際のそれらの画素に対する照明の輝度に基づいて、重み付き移動平均処理又は重み付き平均処理を行い、画像形成の際に当該処理結果に基づいて補正するとよい。 Here, the image forming unit, when the illumination area by the bright line is for more than a predetermined pixel, based on the reference sample to the brightness of illumination for those pixel when captured, moving average processing weighted or performs weighted average processing, it is corrected based on the processing results during image formation. このような構成により、光学系を調整することなく、位置ずれを容易に調整することができる。 With this configuration, without adjusting the optical system, it is possible to easily adjust the positional deviation. また、画面の輝度が一定になるように重み係数を調整することによりシェーディングを補正することができる。 Further, it is possible to correct the shading by the brightness of the screen to adjust the weighting factors to be constant.
【0014】 [0014]
また、前記2次元アレイ光検出器をカラー撮像素子により構成し、基準サンプルを撮像した場合に、当該カラー撮像素子の特定の色の画素により検出される照度に基づいて照明領域の位置ずれを検出する位置ずれ検出手段をさらに備えるようにしてもよい。 Further, the two-dimensional array light detector is constituted by a color imaging device, when imaging a reference sample, detecting the positional deviation of the illumination area based on the illuminance detected by the specific color of a pixel of the color image sensor displacement detection means for may be further provided with a. このような構成により、位置ずれを容易に検出することができる。 With this configuration, it is possible to easily detect the positional deviation.
さらに、複数の輝線の間隔と前記2次元アレイ光検出器の画素の間隔を調整するために光学系に倍率調整機能及び光軸調整機能を備えるようにしてもよい。 Furthermore, it may be provided with a magnification adjustment function and an optical axis adjusting function for the optical system to adjust the distance between pixels of the spacings between the plurality of emission lines the two-dimensional array photodetectors. これにより、容易に調整が可能となる。 This allows easy adjustment.
【0015】 [0015]
【発明の実施の形態】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
以下、複数の発明の実施の形態を用いて本発明について説明する。 The following describes the present invention with reference to the embodiment of the plurality of the invention.
【0016】 [0016]
発明の実施の形態1. DESCRIPTION OF THE INVENTION Embodiment 1.
本実施の形態1にかかるコンフォーカル顕微鏡の構成例を図1に示す。 A configuration example of a confocal microscope according to the first embodiment shown in FIG. 図に示されるように当該コンフォーカル顕微鏡は、ランプ1、マルチスリット2、対物レンズ31、32、33、34、35、ガルバノメータ4、ビームスプリッタ5、2次元アレイ光検出器7を備え、試料6を撮像する。 The confocal microscope as shown in the figure, a lamp 1, a multi-slit 2, the objective lens 31, 32, 33, 34, galvanometer 4, comprises a beam splitter 5,2-dimensional array light detector 7, the sample 6 the imaging. 尚、この例では、理解の容易化のため構成を簡略化しているが、さらに他の構成を備えていてもよいことは言うまでもない。 In this example, although a simplified configuration for ease of understanding, may further comprise other configurations can of course.
【0017】 [0017]
ランプ1は、例えば白色光源、蛍光励起光源等であり、さらに具体的には、水銀ランプ、ハロゲンランプ等種々の光源を用いることができる。 Lamp 1, for example a white light source, a fluorescence excitation light source or the like, and more specifically, it is possible to use a mercury lamp, a halogen lamp or the like various light sources. また、発振位相の異なるレーザダイオードを2次元に配列して光源を構成してもよい。 It is also possible to constitute the light source by arraying different laser diode oscillation phase in a two-dimensional. 発振位相の異なるレーザダイオードを発振させることにより、スペクル(小さな斑点)の発生を抑制することができる。 By oscillating the different laser diode oscillation phase, it is possible to suppress the occurrence of speckle (speckles).
【0018】 [0018]
マルチスリット2は、ランプ1の近傍に設けられ、ランプ1から発する照明光を透過させるスリットを複数有している。 Multi-slit 2 is provided in the vicinity of the lamp 1 has a plurality of slits that transmit the illumination light emitted from a lamp 1. 具体的な構成例を図2に示す。 A specific configuration example shown in FIG. 図において、21はスリットであり、22は照明光の透過を遮る遮光部分である。 In the figure, 21 is a slit, 22 is a light blocking part that blocks the transmission of illumination light. 複数のスリット21は、それぞれ平行にマルチスリット2のH方向の全辺に亘って設けられた開口である。 A plurality of slits 21 is an opening provided on the entire side parallel to the multi-slit 2 in the H direction respectively. スリット21の間隔については、試料6の反射光が2次元アレイ光検出器7に入射された際に、各スリット21に対応する反射光間で互いに干渉しないか又は干渉が問題とならない所定値以下となるように決定される。 The spacing of slits 21, when the reflected light of the sample 6 is incident on a two-dimensional array light detector 7, or less than a predetermined value or not interfere with each other between the reflected light or the interference is not a problem for each slit 21 It is determined to be.
【0019】 [0019]
レンズ31は、マルチスリット2を透過した光、即ち輝線が入射する位置に設けられる。 Lens 31, the light transmitted through the multi-slit 2, i.e. bright line is provided at a position where the incident.
【0020】 [0020]
ガルバノメータ4は、ランプ1より放射され、マルチスリット2を透過した光が試料7上を走査するように、入射光を反射させる機能を有する。 Galvanometer 4 is emitted from the lamp 1, as light transmitted through the multi-slit 2 scans the sample 7 has a function of reflecting the incident light. このガルバノメータ4は、少なくとも、ミラーと、このミラーの角度を変えるアクチュエータと、アクチュエータの動作を制御する制御部を備え、ミラーの角度を変えることによって走査を実現する。 The galvanometer 4, at least, includes a mirror, an actuator for changing the angle of the mirror, a control unit for controlling the operation of the actuator, realizing the scanning by changing the angle of the mirror.
【0021】 [0021]
リレーレンズ32及び33は、対物レンズ34のひとみをガルバノメータ4にリレーする。 Relay lenses 32 and 33, relay the pupil of the objective lens 34 to the galvanometer 4.
【0022】 [0022]
ビームスプリッタ5は、リレーレンズ33の下方であって、当該対物レンズ33より出射した光が入射する位置に設けられている。 Beam splitter 5, a lower of the relay lens 33, light emitted from the objective lens 33 is provided at a position where the incident.
【0023】 [0023]
対物レンズ34は、ビームスプリッタ5と試料6の間に設けられ、当該ビームスプリッタ5を透過した光が入射する位置であって、試料6を反射した光が入射する位置に設けられている。 The objective lens 34 is provided between the beam splitter 5 and the sample 6, a position where the light transmitted through the beam splitter 5 is incident, the light reflected by the sample 6 is provided at a position where the incident.
【0024】 [0024]
結像レンズ35は、ビームスプリッタ5を反射した試料6からの反射光が入射する位置に設けられている。 An imaging lens 35, reflected light from the sample 6 reflected by the beam splitter 5 is provided at a position where the incident.
【0025】 [0025]
試料6は、マルチスリット2と共役な位置に配置される。 Sample 6 is disposed in the multi-slit 2 at a position conjugate.
【0026】 [0026]
2次元アレイ光検出器7は、2次元マルチ受光素子アレイであって、例えば、エリアCCDである。 2-dimensional array light detector 7 is a two-dimensional multi-photodetector array, for example, an area CCD. この2次元アレイ光検出器7の受光面の例を図3に示す。 An example of the light receiving surface of the two-dimensional array light detector 7 in Fig. このように受光面は、多数の受光素子が配置されている。 The light receiving surface as a number of light receiving elements are arranged. この図では簡略化しているが、実際には、例えば150万画素の受光素子が配置されている。 Although simplified in this figure, actually, for example, 150 million pixels of the light receiving element is arranged. 図3に示す2次元アレイ光検出器7は、マルチスリット2に設けられたスリット21に対応した位置の領域71(図上の白抜き部分)に光が照明される。 2-dimensional array light detector shown in FIG. 3 7, the light is illuminated to a region 71 at positions corresponding to the slits 21 provided in the multi-slit 2 (white portions of the diagram). この照明領域71は、ガルバノメータ4の動作に応じてV方向に移動し、スリット21に対応する間隔分だけスキャンされる。 The illumination region 71 is moved in the V direction in response to operation of the galvanometer 4, it is scanned by the distance amount corresponding to the slit 21. この領域71は、照明領域と共役な部分である。 This region 71 is an illumination region and the conjugate portion.
【0027】 [0027]
本発明では、照明光が当っている照明領域71の画素のデータだけを読み取り、照明光が当っていない非照明領域72の画素のデータは捨て、利用しない。 In the present invention, read only data of the pixel of the illumination area 71 in which the illumination light is hitting, the data of the pixel of the non-illuminated areas 72 which the illumination light is not directed at the discard, not used. このようにすることにより、コンフォーカル画像を取得することができる。 In this way, it is possible to obtain a confocal image. 照明領域71を走査することにより2次元アレイ光検出器7上の画素の全てのデータの取り込みが完了した場合には、図示しない画像形成手段により、これらのデータを合成し、2次元画像を形成する。 When the uptake of all the data of the pixels on the two-dimensional array light detector 7 by scanning the illumination area 71 is completed, the image forming means (not shown), and combines these data, forming a two-dimensional image to. この2次元画像は、所定の記憶手段に格納されるとともに、ディスプレイに表示される。 The 2-dimensional image is stored in a predetermined storage means, it is displayed on the display.
【0028】 [0028]
ここで、2次元アレイ光検出器7の原理的構成図を図4に示す。 Here, a principle configuration diagram of a 2-dimensional array light detector 7 in Fig. この2次元アレイ光検出器7は、インターライン型のCCD固体撮像装置である。 The 2-dimensional array light detector 7 is a interline CCD solid-state imaging device. 図に示されるように、2次元アレイ光検出器7は、水平及び垂直方向に所定ピッチで配列した画素となる複数の受光部701と、各列の受光部701の一側に設けた垂直方向に延びるCCD構造の垂直転送レジスタ702と、各垂直転送レジスタ702の一端に設けたCCD構造の水平転送レジスタ703とを有している。 As shown, the two-dimensional array light detector 7, the horizontal and a plurality of light receiving portions 701 serving as pixels arranged at a predetermined pitch in the vertical direction, the vertical direction is provided on one side of the light receiving portions 701 of each column a vertical transfer register 702 having a CCD structure extending, and a horizontal transfer register 703 of the CCD structure provided at one end of each vertical transfer register 702. そして、各受光部701にその受光量に応じて生じた信号電荷を各々対応する垂直転送レジスタ702に転送し、これら各垂直転送レジスタ702の信号電荷を水平転送レジスタ703へと転送し、1水平ライン毎の信号電荷を読み出すように構成される。 Then, transfer the generated signal charges corresponding to the received light amount each corresponding vertical transfer register 702 to the respective light receiving portions 701, transfer these signal charges in the vertical transfer registers 702 to the horizontal transfer register 703, one horizontal configured to read out the signal charges of each line.
【0029】 [0029]
特に、本発明では、照明領域71のみデータを読み取り、非照明領域72のデータは捨てている。 In particular, the present invention reads data only illumination area 71, the data of the non-illuminated region 72 is discarded. このような処理は、例えば、次のようにして電気的な処理により実行される。 Such processing is performed, for example, by an electrical process in the following manner. 照明領域71に位置する画素のデータと同様に非照明領域72に位置する画素のデータも一旦垂直転送レジスタ702に送られるが、その垂直転送レジスタ702上のデータを一画素ずつ水平転送レジスタ703に送り出す際、非照明領域72の画素のデータは、水平転送レジスタ703上に蓄積し出力せずに、照明領域71の画素のデータのみ出力する。 Although data of pixels positioned pixel data as well as non-illuminated region 72 located in the illumination region 71 is also sent once to the vertical transfer registers 702, the horizontal transfer register 703 the data on the vertical transfer register 702 by one pixel sending time, the data of the pixels of the non-illuminated area 72, without accumulating on the horizontal transfer register 703 outputs, outputs only the data of the pixel of the illumination region 71. また、2次元アレイ光検出器7の出力データに対して、ゲート回路を付加し、非照明領域72の画素のデータの出力を制限し、照明領域71の画素のデータのみ出力するようにしてもよい。 Further, the output data of the two-dimensional array light detector 7, by adding a gate circuit, to limit the output of the data of the pixels of the non-illuminated areas 72, be output only the data of the pixel of the illumination region 71 good. さらには、一旦フレームメモリに格納し、照明領域71のデータのみアドレス指定して読み出すようにしてもよい。 Furthermore, once stored in the frame memory, it may be read by only the addressed data of the illumination area 71. また、2次元アレイ光検出器7を画素毎に読み出しを制御する回路を有するCID(Charge Injection Device)により構成した場合には、非照明領域72の画素から垂直転送レジスタ702への出力を停止し、照明領域71の画素のみ垂直転送レジスタ702へ出力するようにすればよい。 Also, a two-dimensional array light detector 7 in the case of configuring a CID (Charge Injection Device) having a circuit for controlling reading for each pixel, stop the output from the pixels of the non-illuminated region 72 to the vertical transfer registers 702 may be only so as to output to the vertical transfer registers 702 pixels of the illumination region 71.
【0030】 [0030]
続いて、本実施の形態1にかかるコンフォーカル顕微鏡の撮像動作について、説明する。 Subsequently, the imaging operation of the confocal microscope according to the first embodiment will be described.
【0031】 [0031]
まず、ランプ1から発した光は、マルチスリット2に入射する。 First, light emitted from the lamp 1 is incident on the multi-slit 2. マルチスリット2は、スリット21と非透過部分22を有するため、スリット21のみ入射光が通過する。 Multi-slit 2, because it has a non-transmissive portion 22 and the slit 21, only slit 21 incident light passes. マルチスリット2を通過した光、即ちライン状の輝線は、レンズ31により屈折し、ガルバノメータ4に入射する。 The light passing through the multi-slit 2, i.e. linear bright line is refracted by the lens 31, is incident on the galvanometer 4. ガルバノメータ4は、制御信号に応じて自身の角度を設定し、入射光を反射させる。 Galvanometer 4 sets the angle of the own in response to the control signal, to reflect incident light. ガルバノメータ5を反射した光は、リレーレンズ32により屈折する。 Light reflected by the galvanometer 5 is refracted by the relay lens 32. リレーレンズ32により屈折した光は、リレーレンズ33により屈折した後、ビームスプリッタ5を通過し、対物レンズ34により試料6上に結像する。 Light refracted by the relay lens 32 is refracted by the relay lens 33, passes through the beam splitter 5 and forms an image on the sample 6 by the objective lens 34.
【0032】 [0032]
試料6の反射光は、再度、対物レンズ34により屈折した後、ビームスプリッタ5を反射する。 The reflected light of the sample 6 again, after being refracted by the objective lens 34, reflects the beam splitter 5. ビームスプリッタ5により反射された光は、結像レンズ35により屈折した後、2次元アレイ光検出器7上に結像する。 The light reflected by the beam splitter 5 is refracted by the imaging lens 35 forms an image on the two-dimensional array light detector 7. 2次元アレイ光検出器7に対しては、マルチスリット2のスリット21の位置を通過した光のみが照明される。 For 2-dimensional array light detector 7, only the light passing through the position of the slit 21 of the multi-slit 2 is illuminated. 2次元アレイ光検出器7は、照明領域71の画素のみデータを読み取り、非照明領域72の画素のデータは捨てる。 2-dimensional array light detector 7 reads the data only pixels of the illumination region 71, data for pixels of the non-illuminated region 72 is discarded. 続いて、ガルバノメータ4を走査し、同様にして2次元アレイ光検出器7によって照明領域71の画素のデータのみ読み取る。 Subsequently, scanning the galvanometer 4, read only data of the pixel of the illumination region 71 by a two-dimensional array light detector 7 in the same manner. このような処理を試料6の全領域が照明され撮影されるまで繰り返す。 Repeating such processing until the entire area of ​​the sample 6 is illuminated imaging. そして、2次元アレイ光検出器7より出力されたデータを合成し、2次元画像を形成する。 Then, the output from the 2-dimensional array light detector 7 data synthesized to form a two-dimensional image. この2次元画像は、所定の記憶手段に格納されるとともに、ディスプレイに表示される。 The 2-dimensional image is stored in a predetermined storage means, it is displayed on the display.
【0033】 [0033]
以上、説明した通り、本実施の形態1にかかるコンフォーカル顕微鏡によれば、照明光の利用効率が高いので、照度の高い照明が可能となり、短時間でSN比の高いコンフォーカル画像を取り込むことができる。 Above, as described, according to the confocal microscope according to the first embodiment, since the utilization efficiency of the illumination light is high, it enables high illumination illuminance, the incorporation of high confocal images short time SN ratio can. また、ガルバノメータのスキャン角がわずかで済むので、小型のガルバノメータを使用することができる。 Further, since the scan angle of the galvanometer requires only slight, it is possible to use a small galvanometer.
【0034】 [0034]
他方、従来の1次元CCDを用いる方法では、V方向の位置精度がガルバノメータの角度設定精度で決定されたのに対し、本方式では受光素子アレイ上の各受光素子の位置精度でほぼ決定されるため、取り込んだ画像の位置精度、あるいは寸法測長精度が高い。 On the other hand, the method using a conventional one-dimensional CCD, whereas the positional accuracy of the V direction is determined by the angle setting accuracy of the galvanometer, the present method is substantially determined by the positional accuracy of the light receiving elements on the light receiving element array Therefore, the positional accuracy of the captured image or high dimensional measurement accuracy.
【0035】 [0035]
尚、ランプ1を白色光源を用いて照明し、2次元アレイ光検出器7としてカラーCCDを用いればカラー画像を取り込むことができる。 Incidentally, the lamp 1 is illuminated with a white light source, as a two-dimensional array light detector 7 can take a color image by using the color CCD. このとき、カラーCCD上では、RGBが2列に亘って配置されているので照明領域71を2列以上に亘るようにするとよい。 At this time, on the color CCD, it may RGB to the illumination region 71 because it is disposed over two rows so over two or more rows. 特に、試料6の全領域に亘って照明を走査しない場合、即ち粗い画像を出力するような場合には、このようにすることで簡単に画像処理を行なうことができるというメリットがある。 In particular, when the non-scanning illumination over the entire area of ​​the sample 6, when namely that outputs a coarse image has a merit that it is possible to perform easily the image processing by such.
【0036】 [0036]
また、照明領域71の画素より得られたデータのみならず、共役でない非照明領域72の画素からもデータを得た上で積分し、合成すれば、ノンコンフォーカル画像が得られる。 Further, not only the data obtained from the pixel of the illumination region 71, also integrated upon obtaining data from a pixel of the non-illuminated region 72 is not conjugated, if synthetic, non confocal image is obtained. 具体的には、2次元アレイ光検出器7の画素のうち、照明領域71の画素のデータのみを使用して画像を形成するコンフォーカル画像形成モードと、非照明領域72の画素のデータの双方に基づき画像を形成するノンコンフォーカル画像形成モードを選択する手段を設ける。 Specifically, of the two-dimensional array light detector 7 of the pixel, and confocal imaging mode for forming an image by using only data of the pixel illumination region 71, both the data of the pixel of the non-illuminated region 72 It means for selecting a non-confocal image formation mode for forming an image based on provided. 2次元アレイ光検出器7におけるデータの読み出しを制御することによって、極めて容易に、かつ瞬時にコンフォーカル画像とノンコンフォーカル画像を切り替えることが可能となる。 By controlling the reading of data in the two-dimensional array light detector 7, it is possible to switch very easily, and confocal image and a non-confocal image instantly. ノンコンフォーカル画像を得る場合には、光が試料の全領域に照射されるようにマルチスリット2を光路上から外してもよい。 In order to obtain a non-confocal image, a multi-slit 2 may be removed from the optical path so that the light is irradiated to the entire area of ​​the sample.
【0037】 [0037]
発明の実施の形態2. Embodiment Referring 2.
本実施の形態2にかかるコンフォーカル顕微鏡では、光源として、白色光源を用い、照明側に切り替え式のカラーフィルタを使用し、順次RGBを切り替えて照明してそれぞれの色の画像を取り込むことによってカラー画像を構成する方式を採用している。 The confocal microscope according to the second embodiment, a color as a light source, using a white light source, using the switchable color filter of the illumination side, by capturing an image of each color by illuminating switched sequentially RGB It adopts a method of forming the image.
【0038】 [0038]
図5に当該コンフォーカル顕微鏡の構成を示す。 Figure 5 shows the configuration of the confocal microscope. 図に示されるように、白色光源1とマルチスリット2の間にカラーフィルタ8と当該カラーフィルタ8を回転駆動させるモータ9を設けている。 As shown, it is provided with a motor 9 for rotating the color filter 8 and the color filter 8 between the white light source 1 and the multi-slit 2. カラーフィルタ8は、図に示されるように透過領域81、赤色着色領域82、緑色着色領域83、青色着色領域84を有する。 The color filter 8, the transmission area 81 as shown in FIG, red colored region 82, the green colored region 83, with a blue colored region 84. このカラーフィルタ8がモータ9により回転することにより、順次RGBが切り替わる。 By the color filter 8 is rotated by the motor 9, sequential RGB is switched. そして、それぞれの色の画像を適宜2次元アレイ光検出器7により読み取ることによってカラー画像を得ることができる。 Then, it is possible to obtain a color image by reading the image of each color by an appropriate two-dimensional array light detector 7. 他の構成については、基本的に発明の実施の形態1にかかるコンフォーカル顕微鏡と同じであるため説明を省略する。 The other elements omitted because it is same as the confocal microscope according to the first embodiment basically invention.
【0039】 [0039]
発明の実施の形態3. Embodiment Referring 3.
本実施の形態3にかかるコンフォーカル顕微鏡では、マルチスリット2の代わりに透過型液晶パネル10を用いている。 The confocal microscope according to the third embodiment uses a transmissive liquid crystal panel 10 in place of the multi-slit 2.
【0040】 [0040]
図6に当該コンフォーカル顕微鏡の構成を示す。 Figure 6 shows the configuration of the confocal microscope. 透過型液晶パネル10は、図2に示すマルチスリット2と同様に、透過領域となるスリット21を複数設けている。 Transmissive liquid crystal panel 10, similarly to the multi-slit 2 as shown in FIG. 2, is provided with a plurality of slits 21 serving as a transmissive region. 発明の実施の形態1では、ガルバノメータ4によって走査したが、本実施の形態3では、透過型液晶パネル10の透過領域を順次移動させることによって走査することができる。 In the first embodiment of the invention it has been scanned by the galvanometer 4, in the third embodiment, it can be scanned by sequentially moving the transmissive area of ​​the transmissive liquid crystal panel 10. そのため、走査手段としてガルバノメータ4を設ける必要はない。 Therefore, it is not necessary to provide a galvanometer 4 as a scanning means. 他の構成については、基本的に発明の実施の形態1にかかるコンフォーカル顕微鏡と同じであるため説明を省略する。 The other elements omitted because it is same as the confocal microscope according to the first embodiment basically invention.
【0041】 [0041]
発明の実施の形態4. Embodiment Referring 4.
本実施の形態4にかかるコンフォーカル顕微鏡では、マルチスリット2の代わりにデジタルマイクロミラー装置11を用いている。 The confocal microscope according to the fourth embodiment uses a digital micromirror device 11 in place of the multi-slit 2.
【0042】 [0042]
図7に当該コンフォーカル顕微鏡の構成を示す。 Figure 7 shows the configuration of the confocal microscope. デジタルマイクロミラー装置11は、DMD(登録商標)とも呼ばれ、微小なミラーを多数有し、それぞれのミラーを約±10度傾かせることができるように構成されている。 Digital micromirror device 11 is also called a DMD (registered trademark), having a number of micro mirrors, and is configured to be able to tilt the respective mirrors about ± 10 degrees. そして、各ミラーを+10度傾かせるとオン状態に、−10度傾かせるとオフ状態となる。 Then, when the on-state tilting each mirror +10 degrees, when the OFF state tilted -10 degrees. ミラーは、1秒間に千回以上の速度で電子的に傾く。 Mirror tilts electronically thousand or more times the rate per second.
【0043】 [0043]
このデジタルマイクロミラー装置11を、図2に示すマルチスリット2のスリット21に相当する部分をオン状態にするよう制御する。 The digital micro-mirror device 11, and controls so as to turn on the portion corresponding to the slit 21 of the multi-slit 2 as shown in FIG. 発明の実施の形態1では、ガルバノメータ4によって走査したが、本実施の形態4では、デジタルマイクロミラー装置11のオン状態、即ち反射領域を順次シフトさせることによって走査することができる。 In the first embodiment of the invention has been scanned by the galvanometer 4, it can be scanned in the fourth embodiment, the ON state of the digital micromirror device 11, i.e. by sequentially shifting the reflection region. そのため、走査手段としてガルバノメータ4を設ける必要はない。 Therefore, it is not necessary to provide a galvanometer 4 as a scanning means. 他の構成については、基本的に発明の実施の形態1にかかるコンフォーカル顕微鏡と同じであるため説明を省略する。 The other elements omitted because it is same as the confocal microscope according to the first embodiment basically invention.
【0044】 [0044]
このような構成を有するコンフォーカル顕微鏡では、ランプ1から出射された光は、デジタルマイクロミラー装置11に入射する。 The confocal microscope having such a configuration, light emitted from the lamp 1 is incident on the digital micromirror device 11. そして、デジタルマイクロミラー装置11は、スリット21に相当する部分のミラーがオン状態になっているため、そのオン状態のミラーのみランプ1から出射された光を対物レンズ33方向に反射させる。 The digital micromirror device 11, since the mirror portion corresponding to the slit 21 is in the ON state, to reflect light emitted from the lamp 1 only mirrors the ON state to the objective lens 33 direction. その反射光は、リレーレンズ33、対物レンズ34を経て試料6に照射された後、対物レンズ34、ビームスプリッタ5、結像レンズ35を経て2次元アレイ光検出器7の受光面で結像する。 The reflected light, a relay lens 33, after being irradiated to the sample 6 through the objective lens 34, objective lens 34, the beam splitter 5, to form an image-receiving surface of the two-dimensional array light detector 7 through the imaging lens 35 . その後、デジタルマイクロミラー装置11は、オン状態とするミラーを順次シフトさせる。 Thereafter, the digital micromirror device 11, sequentially shifts the mirror to the ON state. このようにして試料6の全領域の照射が完了すると、画像データが合成され、図示しないディスプレイに出力される。 In this manner, when the irradiation of the entire area of ​​the sample 6 is completed, the image data are synthesized and outputted to the display (not shown).
【0045】 [0045]
発明の実施の形態5. EMBODIMENT 5.
次に、2次元アレイ光検出器7にカラーCCDを用いた場合について説明する。 A case will be described below using a color CCD in a two-dimensional array light detector 7. この例では、カラーCCDの画素2列に対して同時に光が照射されるように制御されている。 In this example, it is controlled such that the light is simultaneously emitted to the pixels 2 rows of color CCD. 図8に受光面での照明光の強度分布及び点像強度分布を示す。 Figure 8 shows the intensity distribution and the point spread function of the illumination light on the light receiving surface. 図に示されるように、照明光の強度分布は、点像強度分布の重ね合わせとなっている。 As shown, the intensity distribution of the illumination light has a superposition of point spread. また、隣接する照明領域間の照明光強度分布をみると、照明領域の画素に十分な強度の光が照射されていることが判る。 Looking at the illumination light intensity distribution between the adjacent illumination areas, it can be seen that the light of sufficient intensity to pixels in the illumination area is irradiated.
【0046】 [0046]
続いて、図9、図10、図11、図12を用いて、カラーCCD上の照明領域の移動制御について説明する。 Subsequently, 9, 10, 11, with reference to FIG. 12, a description will be given of a mobile control of the illumination area on the color CCD. 図9に示す照明領域から順次図10、図11、図12と照明領域が移動している。 Sequentially picture from the illuminated area shown in FIG. 9 10, 11, 12 and the illumination region is moving. 図面上で一番上に位置する照明領域について着目すると、図9では、1番目、2番目の列の画素が照射されている。 When paying attention to the illumination area located at the top in the drawing, in FIG. 9, first, the pixel of the second column is irradiated. 次に図10では、5番目、6番目の列の画素が照射されている。 Next in Figure 10, the fifth pixel of the sixth column is irradiated. さらに、図11では、3番目、4番目の列の画素が照射されている。 Further, in FIG. 11, the third, the pixels of the fourth column is irradiated. 最後に、図12では、7番目、8番目の列の画素が照射されている。 Finally, in FIG. 12, the seventh, the pixels of the eighth row is irradiated. 即ち、次のように照明領域がシフトしている。 That is, the illumination area as follows is shifted.
第1、2列→第5、6列→第3、4列→第7、8列【0047】 The first and second row → the fifth and sixth row → the third and fourth row → column seventh and eighth [0047]
このように照明領域をシフトさせると、第1、2列から2列ずつシフトさせた場合と比較して、隣接する画素間の時間差が少なくなることにより鮮明な3次元画像を得ることができるという効果がある。 When in this manner by shifting the illumination area, that as compared with the case of shifting by two rows from the first and second row, it is possible to obtain a clear 3-dimensional image by the time difference between adjacent pixels is reduced effective.
【0048】 [0048]
尚、高いコントラストを持つ試料の画像を取り込む際にゴーストを低減させるためには、図13及び図14に示すように、照明領域の間隔を十分に離すようにするとよい。 In order to reduce the ghosting when capturing an image of a sample with high contrast, as shown in FIGS. 13 and 14, it may be so adequate separation distance of the illumination area. 照明領域が近いと隣接する照明の光が入り込み、ゴーストが発生するため、そのような場合に、照明領域の間隔を広げることによりゴーストの発生を抑制できる。 Lighting of the light illuminated area is adjacent to the close enters, since the ghost is generated, in such a case, it is possible to suppress the occurrence of ghost by increasing the distance of the illumination area. 例えば、4ラインに1本の照明領域を8ラインに1本の照明領域に変更する。 For example, to change to one illumination area of ​​a single illumination area on 8 lines 4 lines. 特に、デジタルマイクロミラー装置11を用いた場合には、このような制御が容易にできる。 In particular, when using a digital micromirror device 11, such control can be easily.
【0049】 [0049]
また、このようにカラーCCDを用いた場合には、基準サンプルを撮影することにより得られた特定の色の画素のデータ、即ち照度のデータに基づいて照明領域と画素との位置ずれを検出することができる。 In the case of using this way a color CCD may detect the positional deviation between the illumination region and the pixel based specific color pixel data obtained by photographing the reference sample, i.e. the illuminance data be able to. 例えば、図9に示すカラーCCDにおいては、各照明領域から出力される緑(G)の画素データが等しくなるような構成を有しているが、等しくなければ、かかる位置ずれが生じていると判断することができる。 For example, in the color CCD shown in FIG. 9, although the pixel data of green (G) output from the illumination area has a such equal configuration, if not equal, the take positional deviation occurs it can be determined. 逆に各照明領域から出力される特定の色の画素のデータが等しくなるように照明領域の位置を調節すれば、位置ずれをなくすことができる。 By adjusting the position of the illumination area so that the data is equal to a particular color of pixels output from each illumination region on the contrary, it is possible to eliminate the positional deviation.
【0050】 [0050]
また、このようなカラーCCDにおいて、RGBのホワイトバランスを、照明光と結像素子との位置関係を変え、照明領域の位置を変えることにより調整することも可能である。 Further, in such a color CCD, the white balance of the RGB, changing the positional relationship between the illumination light and the imaging element can also be adjusted by changing the position of the illumination area.
【0051】 [0051]
発明の実施の形態6. Embodiment Referring 6.
次に、図15を用いてコンフォーカル顕微鏡の具体的な構成例について説明する。 Next, a specific configuration example of a confocal microscope using FIG. この例では、照明手段として水銀ランプ1が設けられている。 In this example, the mercury lamp 1 is provided as an illumination means. そして、水銀ランプ1から出射した光は、コーンレンズ12に入射する。 The light emitted from the mercury lamp 1 is incident on the cone lens 12. コーンレンズ12は、ファーフィールドパターンの中抜けを防止するように入射光を屈折させる。 Cone lens 12 refracts incident light to prevent loss in the far-field pattern. コーンレンズ12により屈折した光は、バンドルファイバー13の入射端に入射する。 Light refracted by the cone lens 12 is incident on the entrance end of the fiber bundle 13. そして、ハンドルファイバー13の出射端から光が出射され、ミラー14により所定角度反射する。 Then, light is emitted from the exit end of the handle fiber 13, a predetermined angle reflected by the mirror 14. ミラー14を反射した光は、対物レンズ32に入射する。 Light reflected by the mirror 14 is incident on the objective lens 32.
【0052】 [0052]
対物レンズ32に入射した光は、屈性し、デジタルマイクロミラー装置11に入射する。 The light incident on the objective lens 32 tropism, enters the digital micromirror device 11. このとき、デジタルマイクロミラー装置11は、図2に示されるようなマルチスリット2のスリット21に相当する場所のミラーがオン状態になるよう制御される。 At this time, the digital micromirror device 11 is controlled such that the location of the mirror corresponding to the slit 21 of the multi-slit 2 as shown in FIG. 2 is turned on. デジタルマイクロミラー装置11は、オン状態にあるミラーによって入射光をレンズ33に出射する。 Digital micromirror device 11 emits the incident light on the lens 33 by the mirror in the ON state. 他方、デジタルマイクロミラー装置11においてオフ状態にあるミラーは、入射光を光トラップ15に反射させる。 On the other hand, the mirror in the off state in the digital micromirror device 11 reflects the incident light on the light trap 15. デジタルマイクロミラー装置11から出射される光は、図2に示されるようなマルチスリット2を透過した光と同等になる。 Light emitted from the digital micromirror device 11 is equivalent to the light transmitted through the multi-slit 2 as shown in FIG. 出射光は、レンズ33により屈折され、ビームスプリッタ5を透過する。 Emitted light is refracted by the lens 33, passes through the beam splitter 5. ビームスプリッタ5を透過した光は、対物レンズ34により屈折され試料6上に集光する。 Light transmitted through the beam splitter 5 is condensed on the refractive specimen 6 by an objective lens 34.
【0053】 [0053]
試料6の反射光は、再度対物レンズ34により屈折し、ビームスプリッタ5に入射する。 The reflected light of the sample 6 is refracted by the objective lens 34 again, and is incident on the beam splitter 5. そして、ビームスプリッタ5に入射した光は、当該ビームスプリッタ5を反射し、結像レンズ35に入射する。 The light incident on the beam splitter 5 reflects the beam splitter 5 is incident on the imaging lens 35. 結像レンズ35に入射した光は、屈折し、カラーCCD7に入射する。 The light incident on the imaging lens 35, refracted, and enters a color CCD 7. カラーCCD7に対しては、デジタルマイクロミラーデバイス11のオン状態にあるミラーにより反射された光のみが照明される。 For color CCD 7, only the light reflected by the mirror in the on state of the digital micromirror device 11 is illuminated. カラーCCD7は、照明領域71の画素のみデータを読み取り、非照明領域72の画素のデータは捨てる。 Color CCD7 reads data only pixels of the illumination region 71, data for pixels of the non-illuminated region 72 is discarded. そして、順次、デジタルマイクロミラーデバイス11によって反射光を走査し、試料6の所定領域を全て撮像する。 Then, sequentially scanning the reflected light by the DMD 11 is imaged every a predetermined region of the sample 6. カラーCCD7より出力されたデータを合成することにより、2次元画像を形成する。 By synthesizing the data output from the color CCD 7, to form a two-dimensional image. この2次元画像は、所定の記憶手段に格納されるとともに、ディスプレイに表示される。 The 2-dimensional image is stored in a predetermined storage means, it is displayed on the display.
【0054】 [0054]
以上、説明した通り、本実施の形態6にかかるコンフォーカル顕微鏡によれば、照明光の利用効率が高いので、照度の高い照明が可能となり、短時間でSN比の高いコンフォーカル画像を取り込むことができる。 Above, as described, according to the confocal microscope according to the sixth embodiment, since the utilization efficiency of the illumination light is high, it enables high illumination illuminance, the incorporation of high confocal images short time SN ratio can.
【0055】 [0055]
発明の実施の形態7. Embodiment Referring 7.
本実施の形態7にかかるコンフォーカル顕微鏡の構成を図16に示す。 Such confocal microscope configuration to the seventh embodiment shown in FIG. 16. 図に示されるように、このコンフォーカル顕微鏡では、パーソナルコンピュータ200及びプロジェクタ100を組み合わせて構成している。 As shown, in this confocal microscope, it constitutes a combination of personal computer 200 and the projector 100. パーソナルコンピュータ200のビデオボード201のS−VGAラインは、プロジェクタ100に接続されている。 S-VGA line of video board 201 of the personal computer 200 is connected to the projector 100. また、フレームグラバのRS422ラインは、CCDドライバ73に接続されている。 Further, RS422 line of the frame grabber is connected to the CCD driver 73. そして、DACのラインは、微動ステージドライバ18に接続されている。 Then, DAC line is connected to the fine movement stage driver 18. 従って、パーソナルコンピュータ200のビデオボード201からの出力信号によってデジタルマイクロミラー装置11を制御することができる。 Therefore, it is possible to control the digital micromirror device 11 by the output signal from the video board 201 of the personal computer 200. また、フレームグラバ202からの出力信号によってCCDドライバ73を制御することができる。 Further, it is possible to control the CCD driver 73 by the output signal from the frame grabber 202. そして、DACからの出力信号によって微動ステージドライバ18を制御することができる。 Then, it is possible to control the fine movement stage driver 18 by the output signal from the DAC. 微動ステージドライバ18は、微動ステージ17の動作を駆動することができる。 Fine movement stage driver 18 may drive the operation of the fine motion stage 17. このパーソナルコンピュータ200は、当該コンフォーカル顕微鏡を制御するための制御プログラムをメモリに記憶している。 The personal computer 200 stores a control program for controlling the confocal microscope in the memory. この制御プログラムには、例えば、マルチライン照明、マルチライン画像取り込み、アライメント空間フィルタ関数作成、アライメント/空間フィルタリング処理、ノンインターレース画像形成、Z軸駆動、無限焦点深度画像形成、表面形状画像形成、カラー画像取り込み/表示を実現する制御プログラムが含まれる。 The control program, for example, multi-line lighting, multi-line image capture, alignment space creating filter functions, alignment / spatial filtering, non-interlaced image forming, Z-axis driving, endless focal depth imaging, the surface shape image formation, color It includes a control program for realizing the image capture / display.
【0056】 [0056]
プロジェクタ100は、水銀ランプ1、カラーフィルタ8、モータ9、対物レンズ31及びデジタルマイクロミラー装置11を備えている。 The projector 100 is a mercury lamp 1, the color filter 8, a motor 9, an objective lens 31 and the digital micromirror device 11.
【0057】 [0057]
このような構成のコンフォーカル顕微鏡の撮像動作について簡単に説明する。 Briefly described imaging operation of confocal microscope having such a configuration. 水銀ランプ1の照明光は、カラーフィルタ8によって着色された後、ミラー14によってデジタルマイクロミラー装置11に入射する。 Illumination light of a mercury lamp 1, after being colored by the color filter 8, is incident on the digital micromirror device 11 by the mirror 14. このとき、デジタルマイクロミラー装置11は、図2に示されるようなマルチスリット2のスリット21に相当する場所のミラーがオン状態になるよう制御される。 At this time, the digital micromirror device 11 is controlled such that the location of the mirror corresponding to the slit 21 of the multi-slit 2 as shown in FIG. 2 is turned on. デジタルマイクロミラー装置11は、オン状態にあるミラーによって入射光をプロジェクタ100の外部に設置された対物レンズ32に出射する。 Digital micromirror device 11 emits the objective lens 32 installed incident light to the outside of the projector 100 by the mirrors in the on state. 他方、デジタルマイクロミラー装置11においてオフ状態にあるミラーは、入射光を図示しない光トラップに反射させる。 On the other hand, the mirror in the off state in the digital micromirror device 11 reflects a light trap (not shown) incident light. デジタルマイクロミラー装置11から出射される光は、図2に示されるようなマルチスリット2を透過した光と同等になる。 Light emitted from the digital micromirror device 11 is equivalent to the light transmitted through the multi-slit 2 as shown in FIG.
【0058】 [0058]
レンズ32に入射した光は、屈折し、ビームスプリッタ5に入射する。 The light incident on the lens 32, refracted, enters the beam splitter 5. また、ビームスプリッタ5に入射した光の一部は、このビームスプリッタ5を透過し、対物レンズ33により屈折した後、XYZステージ16上の試料に集光する。 A part of the light incident on the beam splitter 5, passes through the beam splitter 5, is refracted by the objective lens 33, is focused on the sample on the XYZ stage 16. 試料より反射した光は、対物レンズ33により屈折し、ビームスプリッタ5により反射される。 The light reflected from the sample is refracted by the objective lens 33, it is reflected by the beam splitter 5. この反射光は、結像レンズ35により屈折し、CCD7に集光する。 The reflected light is refracted by the imaging lens 35, it is focused on CCD 7. CCD7は、照明光が当っている照明領域71の画素のデータだけを読み取り、照明光が当っていない非照明領域72の画素のデータは捨て、利用しない。 CCD7 reads only the data of the pixel of the illumination area 71 in which the illumination light is hitting, the data of the pixel of the non-illuminated areas 72 which the illumination light is not directed at the discard, not used. このようにすることにより、コンフォーカル画像を取得することができる。 In this way, it is possible to obtain a confocal image.
【0059】 [0059]
さらにデジタルマイクロミラー装置11を制御し、照明領域71を走査する。 Further controls the digital micromirror device 11, to scan the illumination region 71. 2次元アレイ光検出器7上の画素の全てのデータの取り込みが完了した場合には、これらのデータを合成し、2次元画像を形成する。 If all of the data capture of the pixels on the 2-dimensional array light detector 7 is completed, it synthesizes these data to form a two-dimensional image. この2次元画像は、所定の記憶手段に格納されるとともに、ディスプレイに表示される。 The 2-dimensional image is stored in a predetermined storage means, it is displayed on the display.
【0060】 [0060]
さらに、本実施の形態7にかかるコンフォーカル顕微鏡は、デジタルマイクロミラー装置11とCCD7の画素の位置ずれを補正する機能を有している。 Furthermore, confocal microscope according to the seventh embodiment has a function of correcting the positional deviation of the pixels of the digital micromirror device 11 and CCD 7. 位置ずれの補正処理は、レンズ交換時に行なっても良く、また、新規に画像を撮影する度に行なうようにしてもよい。 Correction of positional deviation may be performed at the time of lens exchange, also may be performed each time the photographed image new. この機能について、以下に詳細に説明する。 This function will be described in more detail below.
【0061】 [0061]
図17は、当該位置ずれ補正機能を実現する上で必要なアライメント空間フィルタ関数の作成処理を示すフローチャートである。 Figure 17 is a flowchart showing a creation process of alignment spatial filter function necessary for realizing the positional deviation correcting function. まず、コンフォーカル顕微鏡のXYZステージ16上に基準サンプルを取り付ける(S101)。 First, mount the reference sample on the XYZ stage 16 of the confocal microscope (S101). この基準サンプルは、入射した光を一様かつ均一に反射させる反射体であり、例えば、鏡やシリコンウエハである。 The reference sample is a reflector which uniformly and evenly reflect incident light, for example, a mirror or a silicon wafer. 次に、プロジェクタ100のデジタルマイクロミラー装置11を制御して、マルチライン照明を行なう(S102)。 Then, by controlling the digital micromirror device 11 of the projector 100, performs a multi-line illumination (S102). そして、このマルチライン照明に対応する基準サンプルからの反射光をCCD7により読み取り、マルチライン画像を取り込む(S103)。 Then, the reflected light from the reference samples corresponding to the multi-line illumination read by CCD 7, taking the multi-line image (S103). 最後に取り込んだマルチライン画像に基づき、アライメント空間フィルタ関数を作成する(S104)。 Finally, based on the multi-line image captured, to create the alignment spatial filter function (S104).
【0062】 [0062]
さらに、図18を用いて、当該アライメント空間フィルタ関数の作成について説明する。 Furthermore, with reference to FIG. 18, described the creation of the alignment spatial filter function. 図18では、CCD7の画素とともに、受光面での点像強度分布が示されている。 In Figure 18, together with the pixel of CCD 7, point spread on the light receiving surface is shown. 通常、デジタルマイクロミラー装置11を制御することにより、CCD7に照射される光は、複数のライン状の輝線を構成し、輝線からなる照明領域71がCCD7の画素の一列に一致するように光学系が設計されている。 Usually, by controlling the digital micromirror device 11, light irradiated on CCD7 constitute a plurality of line-shaped bright line, an optical system as the illumination region 71 consisting of bright lines matches in a row of pixels of CCD7 There has been designed. しかしながら、CCD7の端部付近では、照明領域71がCCD7の画素の一列に一致しない場合が発生してしまう。 However, near the end of the CCD 7, when the illumination area 71 do not match in a row of pixels of the CCD 7 occurs. 図17の下方の白抜き部分は、CCD7の画素の一列に当該照明領域71が一致した場合を示している。 Void portion of the lower part of FIG. 17 shows a case where the illumination area 71 matches in a row of pixels of the CCD 7. この場合には、照明領域71が一致した画素のみからデータを読み取ることによってコンフォーカル画像を最終的に得ることができる。 In this case, it is possible to obtain a confocal image finally by reading the data from only the pixels illuminated region 71 are matched.
【0063】 [0063]
図17の上方の白抜き部分では、CCD7の画素の2列に当該照明領域が亘っている。 Above the white part of FIG. 17, the lighting area is over two rows of pixels of CCD 7. この場合、これら2列の画素列よりデータを読み取るとともに、それぞれの輝度に対する重み付けのための係数を決定する。 In this case, the read data from the pixel columns of these two columns, determining the coefficients for the weighting for each luminance. この図に示す例では、CCD7の画素の2列のほぼ中間位置に光のラインが位置しているため、2列の画素のデータに対する重み付けを均等にしている。 In the illustrated example, because of the position light line substantially intermediate position between the two rows of pixels of CCD 7, it is equally weighted for two rows of pixel data. そして、かかる重み付け係数を加味して、重み付け移動平均処理又は重み付け平均処理を行い輝度を算出する。 Then, in consideration of such a weighting factor, it performs weighting moving average or weighted average processing to calculate the brightness.
【0064】 [0064]
このような処理を実行するためには、基準平面を観察し、照明領域71のうち照明が一画素列のみならず複数画素列に及ぶ場合、V方向の局所的な輝度の重心を求める。 To perform such a process, observe the reference plane, if the span multiple pixel columns not illuminating only one pixel column of the illumination region 71, obtains the local luminance center of the V direction. そして、重心に近い2列の画素列に対して重み付き移動平均処理又は重み付き平均処理により、デジタルマイクロミラー装置11とCCD7との画素の位置ずれを補正する。 By weighted moving average processing or weighted averaging processing for the pixel columns of the two rows closer to the center of gravity, to correct the positional deviation of the pixels of the digital micromirror device 11 and CCD 7. V方向の画素数をCCD7の画素数で処理する場合は、重み付き移動平均処理とし、デジタルマイクロミラー装置11の画素数に合わせる場合は、重み付き平均処理とする。 When processing the number of pixels in the V direction by the number of pixels of CCD7 is a weighted moving average processing, if to match the number of pixels of the digital micromirror device 11, and the weighted average processing. 尚、照明領域71以外の画素については輝度は0とする。 Note that the pixels other than the illumination area 71 is brightness is 0.
【0065】 [0065]
ここで、n番目とn+1番目の画素列について重み付き移動平均処理を行なうとすると、輝度lnは次のように表すことができる。 Here, when performing the weighted moving average for the n-th and (n + 1) th pixel column, the luminance ln can be expressed as follows.
ln=aln+bl(n+1) ここでa+b=1である。 ln = aln + bl (n + 1) is where a + b = 1.
【0066】 [0066]
他方、重み付き平均処理を行なう場合には、輝度lnは次のように表すことができる。 On the other hand, when performing the weighted averaging process, the brightness ln can be expressed as follows.
ln=al2n+bl(2n+1) ここでa+b=1である。 ln = al2n + bl (2n + 1) which is where a + b = 1.
【0067】 [0067]
また、照明領域71が画素列にV方向に一様にずれる場合のみならず、光学系の歪みによって斜めにずれる場合もある。 The illumination region 71 is not only shifted uniformly in the V direction pixel rows, sometimes displaced obliquely by the strain of the optical system. この場合にも、画素毎に輝度の重心を求めて、重み付き移動平均処理又は重み付き平均処理を行なう。 In this case, seeking the center of gravity of luminance for each pixel, performs weighted moving average or weighted average processing. このため、例えば、ある画素では、n番目とn+1番目の画素列について処理をし、他の画素では、n番目とn−1番目の画素列について処理を行なうというように、異なる画素列について処理を行なうことになる。 Thus, for example, in one pixel, the processing for n-th and (n + 1) th pixel column, the other pixels, so that perform processing for the n-th and n-1 th pixel column, the different pixel column process It will be carried out.
【0068】 [0068]
さらに、シェーディングと呼ばれる、全体的な輝度のばらつきを修正するために、画素列毎に輝度に乗ずる係数を変えるようにしてもよい。 Further, called shading, in order to correct variations in the overall brightness may be changed coefficients for multiplying the luminance for each pixel column. 具体的には、上記輝度lnの式において、a+bを1とはせずに、暗く輝度の小さい画素列ではa+b>1の任意の値とし、明るく輝度の大きい画素列ではa+b<1の任意の値とする。 Specifically, in the formula of the luminance ln, without the 1 to a + b, dark small pixel row luminance to any value a + b> 1, is a large pixel columns of the bright luminance a + b <1 in any and value.
【0069】 [0069]
尚、この実施の形態にかかるコンフォーカル顕微鏡では、照明領域71をCCD7の画素一列に一致させているが、これに限らず、複数列に一致させるような場合であっても、同様にして位置ずれを補正することができる。 In the confocal microscope according to this embodiment, is made to coincide with the illumination area 71 to a pixel a line of CCD 7, not limited to this, even when the match in a plurality of rows, similarly located it is possible to correct the deviation. 例えば、2列に一致させるような場合には、V方向の局所的な輝度の重心を求め、重心に近い3列に対して重み付き移動平均処理又は重み付き平均処理を行なう。 For example, in the case that match the two columns obtains local luminance center of the V direction, performing weighted moving average, or weighted average processing on the three rows closer to the center of gravity.
【0070】 [0070]
このようにして、補正処理をした後は、求められたアライメント空間フィルタ関数に従って、試料6の画像を撮影する。 In this way, after the correction processing, in accordance with the alignment spatial filter function obtained, to capture an image of the sample 6.
【0071】 [0071]
発明の実施の形態8. Embodiment Referring 8.
本実施の形態8にかかるコンフォーカル顕微鏡では、特に蛍光観察に適した構成を有している。 In this embodiment a confocal microscope according to the eighth, in particular having a configuration suitable for fluorescent observation.
【0072】 [0072]
まず、蛍光を観察する場合、撮像素子にイメージインテンシファイヤ付のCCDを利用するとよい。 First, when observing the fluorescence, we may utilize a CCD dated image intensifier to the image sensor. また、ビームスプリッターをダイクロイックミラーとし、短波長である励起光は透過し、励起光よりも長波長である蛍光は反射させてイメージインテンシファイヤに入射させる。 Further, the beam splitter is a dichroic mirror, the excitation light is a short wavelength is transmitted through the fluorescent is a longer wavelength than the excitation light is incident on the image intensifier is reflected. これによってビームスプリッタでの光量の損失を最低にすることができる。 This makes it possible to a minimum the loss of the light amount of the beam splitter.
【0073】 [0073]
さらに、図19に示す構成のように、カラーの蛍光画像を得るためには切り替え式のダイクロイックフィルタ8(カラーフィルタ)をCCDカメラ7の前に配置するようにしてもよい。 Furthermore, as in the configuration shown in FIG. 19, may be color fluorescence image in order to obtain the switchable dichroic filter 8 (color filter) be arranged in front of the CCD camera 7. ここで、励起光源1として水銀ランプは、405nmの発振波長のレーザーダイオード等を使用することが好ましい。 Here, a mercury lamp as an excitation light source 1, it is preferable to use a laser diode or the like of 405nm oscillation wavelength.
【0074】 [0074]
発明の実施の形態9. Embodiment Referring 9.
本実施の形態9にかかるコンフォーカル顕微鏡では、特に画素ずれ合わせの機能を有している。 The confocal microscope according to the ninth embodiment, in particular a function of the pixel shift alignment. 図20に当該コンフォーカル顕微鏡の構成例を示す。 Figure 20 shows a configuration example of the confocal microscope.
【0075】 [0075]
画素ずれ合わせのために、照明スリット像と受光素子のピッチを合わせるために照明側または結像側のいずれかのレンズを倍率調整レンズとしている。 For pixel shift alignment, one of the lenses of the illumination-side or image side to match the pitch of the light receiving element and the illuminating slit image has a magnification adjustment lens. この例では、倍率調整レンズ361及び362を設けている。 In this example, it is provided magnification adjustment lens 361 and 362.
【0076】 [0076]
また、照明スリット像と受光素子の位置ずれを調整するために、照明側、結像側のいずれか一方の光軸上に光軸調整機構(ビームポジショナー)を設けているる。 Further, in order to adjust the displacement of the illumination slit image and the light receiving element, an illumination side, volume provided an optical axis adjusting mechanism (beam positioner) on one of the optical axis of the imaging side. この例では、ビームポジショナー161及び162を設けている。 In this example, there is provided a beam positioner 161 and 162.
【0077】 [0077]
発明の実施の形態10. Embodiment 10 of the invention.
本実施の形態10にかかるコンフォーカル顕微鏡では、特に光の利用効率が高い顕微鏡である。 The confocal microscope according to Embodiment 10 of the present embodiment, in particular the use efficiency of light is high microscope. 図21に当該コンフォーカル顕微鏡の構成例を示す。 Figure 21 shows a configuration example of the confocal microscope.
【0078】 [0078]
ビームスプリッター52に偏光ビームスプリッターを使用することができ、その場合は対物レンズ34の上に1/4波長板17を配置する。 Can use a polarizing beam splitter to the beam splitter 52, in which case the placing quarter-wave plate 17 on the objective lens 34. これによって光量の損失を最低に出来る。 This can be the loss of the amount of light to a minimum. つまり金属薄膜を利用したビームスプリッタの場合は透過率が約30%、反射率が約30%なので往復で9%の光しか利用出来ない。 Or about 30% transmittance in the case of the beam splitter which utilizes a metal thin film, the reflectance is only available 9% of the light in a reciprocating Since about 30%. 一方偏光ビームスプリッタ52を使用すると、ランプ1からの光のP偏光成分のみが透過し、1/4波長板17で円偏光となり、対物レンズ34に入射する。 On the other hand when using the polarizing beam splitter 52, only the P-polarized component of the light from the lamp 1 is transmitted into the circularly polarized light by the / 4 wavelength plate 17, it enters the objective lens 34. 試料6からの反射光は1/4波長板17を再び逆方向から透過してS偏光となるので、偏光ビームスプリッタ52で結像レンズ35側に反射する。 Since light reflected from the sample 6 becomes S polarized transmitted from the opposite direction again quarter-wave plate 17, reflected on the imaging lens 35 side by the polarization beam splitter 52. よって約50%の光を利用できる。 Therefore available about 50% of the light.
【0079】 [0079]
その他の実施の形態. Other embodiment of the present invention.
上述の例では、反射型顕微鏡を例に挙げたが、透過型顕微鏡に対しても本発明を適用できる。 In the above example, it is cited a reflection microscope as an example, also the present invention can be applied to the transmission type microscope.
【0080】 [0080]
【発明の効果】 【Effect of the invention】
本発明によれば、光の使用効率を高め、撮像時間の短縮化を達成することができるコンフォーカル顕微鏡を提供することができる。 According to the present invention, more efficient use of light, it is possible to provide a confocal microscope capable of achieving shortening of the imaging time.
【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
【図1】本発明の実施の形態1にかかるコンフォーカル顕微鏡の構成を示す図である。 1 is a diagram showing the configuration of a confocal microscope according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明にかかるマルチスリットの構成を示す図である。 Is a diagram illustrating a multi-slit structure according to the present invention; FIG.
【図3】本発明にかかる2次元アレイ光検出器の受光面を示す図である。 3 is a diagram showing a light receiving surface of the two-dimensional array light detector according to the present invention.
【図4】本発明にかかる2次元アレイ光検出器のブロック図である。 4 is a block diagram of a 2-dimensional array light detector according to the present invention.
【図5】本発明の実施の形態2にかかるコンフォーカル顕微鏡の構成を示す図である。 5 is a diagram showing the configuration of a confocal microscope according to a second embodiment of the present invention.
【図6】本発明の実施の形態3にかかるコンフォーカル顕微鏡の構成を示す図である。 6 is a diagram showing the configuration of a confocal microscope according to the third embodiment of the present invention.
【図7】本発明の実施の形態4にかかるコンフォーカル顕微鏡の構成を示す図である。 7 is a diagram showing the configuration of a confocal microscope according to the fourth embodiment of the present invention.
【図8】本発明の実施の形態5における受光面での照明光の強度分布及び点像強度分布を示す図である。 8 is a diagram showing the intensity distribution and the point spread function of the illumination light on the light receiving surface in a fifth embodiment of the present invention.
【図9】本発明の実施の形態5におけるカラーCCD上の照明領域の移動制御を説明するための図である。 9 is a diagram for explaining the movement control of the illumination area on the color CCD in a fifth embodiment of the present invention.
【図10】本発明の実施の形態5におけるカラーCCD上の照明領域の移動制御を説明するための図である。 Is a diagram for explaining the movement control of the illumination area on the color CCD according to a fifth embodiment of the invention; FIG.
【図11】本発明の実施の形態5におけるカラーCCD上の照明領域の移動制御を説明するための図である。 11 is a diagram for explaining the movement control of the illumination area on the color CCD in a fifth embodiment of the present invention.
【図12】本発明の実施の形態5におけるカラーCCD上の照明領域の移動制御を説明するための図である。 12 is a diagram for explaining the movement control of the illumination area on the color CCD in a fifth embodiment of the present invention.
【図13】本発明の実施の形態5におけるカラーCCD上の照明領域の移動制御を説明するための図である。 13 is a diagram for explaining the movement control of the illumination area on the color CCD in a fifth embodiment of the present invention.
【図14】本発明の実施の形態5におけるカラーCCD上の照明領域の移動制御を説明するための図である。 14 is a diagram for explaining the movement control of the illumination area on the color CCD in a fifth embodiment of the present invention.
【図15】本発明の実施の形態6にかかるコンフォーカル顕微鏡の構成を示す図である。 15 is a diagram showing the configuration of a confocal microscope according to a sixth embodiment of the present invention.
【図16】本発明の実施の形態7にかかるコンフォーカル顕微鏡の構成を示す図である。 16 is a diagram showing the configuration of a confocal microscope according to the seventh embodiment of the present invention.
【図17】本発明の実施の形態7におけるアライメント空間フィルタ関数の作成処理を示すフローチャートである。 17 is a flowchart showing a creation process of alignment spatial filter function according to a seventh embodiment of the present invention.
【図18】本発明の実施の形態7における受光面での照明光の強度分布を示す図である。 18 is a diagram showing the intensity distribution of the illumination light on the light receiving surface in the seventh embodiment of the present invention.
【図19】本発明の実施の形態8にかかるコンフォーカル顕微鏡の構成を示す図である。 19 is a diagram showing the configuration of a confocal microscope according to an eighth embodiment of the present invention.
【図20】本発明の実施の形態9にかかるコンフォーカル顕微鏡の構成を示す図である。 20 is a diagram showing the configuration of a confocal microscope according to a ninth embodiment of the present invention.
【図21】本発明の実施の形態10にかかるコンフォーカル顕微鏡の構成を示す図である。 21 is a diagram showing the configuration of a confocal microscope according to the tenth embodiment of the present invention.
【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS
1 ランプ 2 マルチスリット 3 対物レンズ 4 ガルバノメータ5 ビームスプリッタ 7 2次元アレイ光検出器 8 カラーフィルタ10 透過型液晶パネル 11 デジタルマイクロミラー装置 1 Lamp 2 multi-slit 3 objective lens 4 galvanometer 5 beam splitter 7 2-dimensional array light detector 8 color filter 10 a transmissive liquid crystal panel 11 a digital micromirror device

Claims (9)

  1. 光源と、 And the light source,
    前記光源から発する光を複数のライン状の輝線に変換する輝線変換手段と、 A bright line conversion means for converting the light emitted from the light source into a plurality of line-shaped bright line,
    前記輝線変換手段により変換した複数の輝線を走査する輝線走査手段と、 A bright line scanning means for scanning a plurality of bright lines converted by the bright line converting means,
    前記輝線変換手段と共役な位置に設置された試料上に前記輝線を結像し、当該試料からの反射光又は透過光を結像面に結像する結像手段と、 The bright line imaged on the sample placed in the bright line conversion means and a position conjugate with the imaging means for imaging on the imaging surface reflected light or transmitted light from the sample,
    前記結像手段により結像される結像面に配置された2次元アレイ光検出器であって、前記輝線の方向に画素が配列され、当該輝線の方向に画素のデータを出力する2次元アレイ光検出器と、 A two-dimensional array light detector disposed on the imaging plane is imaged by the imaging means, the pixels are arranged in the direction of the emission line, a two-dimensional array for outputting data of pixels in the direction of the emission line a photodetector,
    前記2次元アレイ光検出器の画素のうち、前記輝線により照明された照明領域の画素のデータのみを使用して画像を形成する画像形成手段とを備え、 Among the pixels of the two-dimensional array light detector, and an image forming means for forming an image by using only data of the pixel of the illumination area illuminated by the bright line,
    前記輝線変換手段は、透過型液晶パネルにより構成すると共に、 Together with the bright line converting means constituted by a transmission type liquid crystal panel,
    前記輝線走査手段も、当該透過型液晶パネルによって光を透過させる部分を走査することにより構成している請求項1記載のコンフォーカル顕微鏡。 The bright line scanning means also confocal microscope according to claim 1, wherein the constituting by scanning a portion that transmits light by the transmissive liquid crystal panel.
  2. 光源と、 And the light source,
    前記光源から発する光を複数のライン状の輝線に変換する輝線変換手段と、 A bright line conversion means for converting the light emitted from the light source into a plurality of line-shaped bright line,
    前記輝線変換手段により変換した複数の輝線を走査する輝線走査手段と、 A bright line scanning means for scanning a plurality of bright lines converted by the bright line converting means,
    前記輝線変換手段と共役な位置に設置された試料上に前記輝線を結像し、当該試料からの反射光又は透過光を結像面に結像する結像手段と、 The bright line imaged on the sample placed in the bright line conversion means and a position conjugate with the imaging means for imaging on the imaging surface reflected light or transmitted light from the sample,
    前記結像手段により結像される結像面に配置された2次元アレイ光検出器であって、前記輝線の方向に画素が配列され、当該輝線の方向に画素のデータを出力する2次元アレイ光検出器と、 A two-dimensional array light detector disposed on the imaging plane is imaged by the imaging means, the pixels are arranged in the direction of the emission line, a two-dimensional array for outputting data of pixels in the direction of the emission line a photodetector,
    前記2次元アレイ光検出器の画素のうち、前記輝線により照明された照明領域の画素のデータのみを使用して画像を形成する画像形成手段とを備え、 Among the pixels of the two-dimensional array light detector, and an image forming means for forming an image by using only data of the pixel of the illumination area illuminated by the bright line,
    前記輝線変換手段は、デジタルマイクロミラー装置により構成すると共に、 The bright line converting means may be constituted by a digital micromirror device,
    前記輝線走査手段も、当該デジタルマイクロミラー装置によりミラーのオン状態を走査することにより構成しているコンフォーカル顕微鏡。 The bright line scanning means also confocal microscope constituting by scanning the on-state of the mirror by the digital micromirror device.
  3. 前記画像形成手段は、前記2次元アレイ光検出器の画素のうち、前記輝線により照明された照明領域の画素のデータのみを使用して画像を形成するコンフォーカル画像形成モードと、前記輝線により全面を照明し照明された照明領域の全ての画像データを取り込み、取り込んだ画像データに基づき画像を形成するノンコンフォーカル画像形成モードを選択する手段を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載のコンフォーカル顕微鏡。 Said image forming means, among the pixels of the two-dimensional array light detector, a confocal image forming mode for forming an image by using only data of the pixel of the illumination area illuminated by the bright line, the entire surface by the emission line capture all of the image data of the illumination illuminates illumination area, characterized in that it comprises means for selecting a non-confocal image formation mode for forming an image based on image data captured according to claim 1 or 2 confocal microscope according to.
  4. 前記輝線変換手段において発生させる輝線の間隔を制御する輝線間隔制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のコンフォーカル顕微鏡。 Confocal microscope according to claim 1 or 2, further comprising a bright line interval control means for controlling the distance between the bright line is generated in the emission line converting means.
  5. 前記輝線走査手段は、前記2次元アレイ光検出器の画素に対して、隣接する画素間の照射の時間差が少なくなるように輝線を走査させることを特徴とする請求項1又は2に記載のコンフォーカル顕微鏡。 The bright line scanning means, con according to the pixels of the two-dimensional array light detector, to claim 1 or 2, characterized in that scanning the bright lines so that the time difference of illumination between the pixels is reduced adjacent confocal microscope.
  6. 前記光源を2次元に配列した複数の発振位相の異なるレーザダイオードにより構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載のコンフォーカル顕微鏡。 Confocal microscope according to claim 1 or 2, characterized by being configured by different laser diodes of a plurality of oscillation phase of arranging the light source in a two-dimensional.
  7. 前記画像形成手段は、前記輝線による照明領域が予め定めた画素以上に亘っている場合に、基準サンプルを撮像した際のそれらの画素に対する照明の輝度に基づいて、重み付き移動平均処理又は重み付き平均処理を行い、画像形成の際に当該処理結果に基づいて補正することを特徴とする請求項1又は2に記載のコンフォーカル顕微鏡。 The image forming unit, when the illumination area by the bright line is for more than a predetermined pixel, based on the reference sample to the brightness of illumination for those pixel when captured, the moving average processing or weighted weighted averaging performed, confocal microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the correction based on the processing results during image formation.
  8. 前記2次元アレイ光検出器をカラー撮像素子により構成し、 The 2-dimensional array light detector is constituted by a color imaging device,
    基準サンプルを撮像した場合に、当該カラー撮像素子の特定の色の画素により検出される照度に基づいて照明領域の位置ずれを検出する位置ずれ検出手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のコンフォーカル顕微鏡。 When imaging a reference sample, according to claim 1, wherein, further comprising a positional displacement detecting means for detecting a positional shift of the illumination area based on the illuminance detected by the specific color of a pixel of the color image sensor or confocal microscope according to.
  9. 複数の輝線の間隔と前記2次元アレイ光検出器の画素の間隔を調整するために光学系に倍率調整機能及び光軸調整機能を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のコンフォーカル顕微鏡。 Con according to claim 1 or 2, further comprising a magnification adjustment function and an optical axis adjusting function for the optical system to adjust the spacing of the pixels of a plurality of bright lines spacing between the 2-dimensional array light detector confocal microscope.
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