JP3542535B2 - マスクパターンデータ作成システムおよびデータ作成方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はマスクパターンデータ作成システムおよびデータ作成方法に係わり、特にメインチップの製造プロセスとは異なる製造プロセスで作成されたハードマクロパターンデータを搭載したメインチップのマスクパターンデータの合わせ込み作業を改善することが出来るマスクパターンデータ作成システムおよびデータ作成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子の微細化の進展に伴い、1つの半導体基板上に既存の複数のチップを搭載し、これらのチップ相互間を所定の配線で結線することによって、これらのチップの組み合わせに基づいた所望の多機能な処理を実現する半導体装置、いわゆるシステムオンチップを構成することが可能になってきている。
【0003】
この種の従来のシステムオンチップを設計する工程の中に、上述した既存の複数のチップを無駄な空きスペースが生じないように最適配置を行うとともに、信号遅延によるクリティカルパスを最小限に抑えるように配慮しながらチップ相互間の配線をするレイアウト設計工程がある。
【0004】
レイアウト設計工程で適用するマスクパターンデータ作成システムは、例えば異なる製造プロセスで作成されたチップおよびその他機能ブロックを含むハードマクロパターンデータを、これらを搭載する主たるチップ(以下、メインチップと称す)のマスクパターンデータの下位階層に階層配置して構成するために用いられている。
【0005】
つまり、メインチップに搭載するハードマクロは上述したように既存のチップや機能ブロックを用いるので、それぞれのハードマクロが搭載されたメインチップを製造するための製造プロセスに対し、常に同一の製造プロセスで設計されたハードマクロが用意されるとは限らない。そのため、これらのハードマクロを搭載するメインチップの製造プロセスに適合させるためのプロセス変換が必要になっている。
【0006】
上述したメインチップの製造プロセスに適合させるためのプロセス変換の要請に応えるための一般的な方法は、メインチップのマスクパターンデータ作成に先立ち、ハードマクロパターンのプロセス変換を実施する。
【0007】
このプロセス変換で得られたプロセス変換済みのハードマクロパターンデータを用意し、その後にメインチップのマスクパターンデータの作成を行なうというものである。つまり、メインチップの製造プロセスにハードマクロの製造プロセスを合わせるということである。
【0008】
この一般的なメインチップの製造プロセスに適合させるためのプロセス変換方法のフローチャートを示した図8を参照すると、ハードマクロ側のハードマクロパターンデータ格納手段001と、レイヤー変換情報データ格納手段801と、レイヤー変換済みハ−ドマクロパターンデータ格納手段802と、シュリンク情報データ格納手段803と、シュリンク済みハードマクロパターンデータ格納手段804と、ハードマクロ側のレイヤー情報データ格納手段805と、修正済みハードマクロパターンデータ格納手段806と、メインチップ側のレイヤー情報格納手段807と、メインチップ側の部品パターンデータ格納手段004と、メインチップ側のマスクパターンデータ格納手段006とを有する。
【0009】
これらの各種データを用いて、まず、メインチップのマスクパターン作成に先立ち事前に、ハードマクロパターンデータ格納手段001に対して、マスクパターン処理ツール810においてレイヤー変換処理を行う(処理ステップS801)。
【0010】
つまり、メインチップおよびハードマクロそれぞれのレイヤー情報データから作成されたレイヤー変換情報データを格納するレイヤー変換情報データ格納手段801を用いてレイヤー変換処理を施す。
【0011】
レイヤー変換処理が施されたレイヤー変換済みのハ−ドマクロパターンデータが格納されたレイヤー変換済みハ−ドマクロパターンデータ格納手段802に対して、マスクパターン処理ツール810においてメインチップおよびハードマクロそれぞれのシュリンク情報データ格納手段803のデータを用いてシュリンク処理を行う(処理ステップS802)。
【0012】
シュリンク処理を施されたシュリンク済みのハ−ドマクロパターンデータを格納するシュリンク済みのハ−ドマクロパターンデータ格納手段804に対して、マスクパターンデータ作成システム812においてハードマクロ側のレイヤー情報データ格納手段805のデータを用いて修正処理を行う(処理ステップS803)。
【0013】
修正処理が施された修正済みハードマクロパターンデータ格納手段806のデータを適用したハードマクロをメインチップに搭載するために、マスクパターンデータ作成システム813において、ハードマクロ搭載処理を行う(処理ステップS804)。
【0014】
マスクパターンデータ作成システム813においては、さらに、ハードマクロ搭載処理を施されたハードマクロとメインチップ側のレイヤー情報格納手段807のデータとメインチップ側の部品パターンデータ格納手段004のデータとを用いて、メインチップ作成処理を行う(処理ステップS804)。つまり、マスクパターンデータ作成システム812において、メインチップのマスクパターンに搭載するときにハードマクロパターンのパターンデータ形状の修正処理を施す等の合わせ込み作業を実施している。
【0015】
マスクパターンデータ作成システム813において、メインチップのマスクパターンデータ作成を行なうとき、メインチップのマスクパターンにハードマクロパターンが適合しているか否かを確認する(処理ステップS806)。
【0016】
もし、確認結果がNGであったならば、修正処理S803に戻る(戻り作業)とういう動作となる。また、場合によってはそのNG内容に応じて、シュリンク処理S802またはレイヤー変換処理S801まで 戻る(戻り作業)という動作になる。
【0017】
確認結果がOKであったならば、パターンデータ出力処理を行い、パターンデータをメインチップ側のマスクパターンデータ格納手段006に出力する。
【0018】
上述した一連の処理結果において、戻り作業では、事前にプロセス変換処理および修正処理を行なっているにも関わらず、メインチップのマスクパターンデータ作成のときに、ハードマクロパターンデータが適合していない場合には、再度プロセス変換処理および修正処理を行なう必要があるという煩雑さがある。
【0019】
つまり、メインチップのマスクパターンデータ作成と同一でない環境のマスクパターンデータ作成システム上で、ハードマクロパターンデータを扱うことになることに起因する煩雑さである。
【0020】
また、レイヤー変換処理S801、シュリンク処理S802および修正処理S803毎に、外部記憶装置に格納されているレイヤー変換済みハードマクロパターンデータ802、シュリンク済みハードマクロパターンデータ804および修正済みハードマクロパターンデータ806の中から、修正すべきパターンデータを取り間違えて、人為的ミスが発生するという欠点もある。
【0021】
さらには、戻り作業の作業工数が必要であると云う欠点がある。さらにまた、レイヤー変換処理S801、シュリンク処理S802および修正処理S803毎に、外部記憶装置に出力されるレイヤー変換済みハードマクロパターンデータ802、シュリンク済みハードマクロパターンデータ804および修正済みハードマクロパターンデータ806をそれぞれ格納するためのメモリ容量が必要になるという欠点がある。
【0022】
一方、他の従来例が特開平5−267454号公報に記載されている。同公報記載のメインチップ平面図を示した図9を参照すると、このメインチップは、メインチップのマスクパターンとハードマクロパターンとの間にダミーパターンを設けることで、製造プロセスの違いを吸収するという手法である。
【0023】
すなわち、メインチップのマスクパターン900とハードマクロパターン901との間に、ダミーパターン902を設ける。そのダミーパターン902には製造プロセスの違いからなる配線幅と端子ピッチを合わせ込むためのパターンデータ(903〜911)が形成されている。
【0024】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、一般的な従来のマスクパターンデータ作成システムは、各機能に対応したハードマクロを事前に用意し、そのハードマクロパターンをメインチップのマスクパターン上に搭載することで、メインチップのマスクパターンの設計効率を向上させて、大規模化や高機能化に対応している。
【0025】
そのため、プロセス変換を施したハードマクロを事前に用意するための余分な工数や、用意したハードマクロをチップのプロセスに合わせ込む際の人的ミス、戻り作業等が必要になるという欠点がある。
【0026】
また、特開平5−267454号公報に記載されている従来の手法には、メインチップのマスクパターンとハードマクロパターンとの間にダミーパターンを設けることで、製造プロセスの違いを吸収するとしている。この場合、レイヤーやシュリンク値の違いの合わせ込み(プロセス変換)については記載がないため、製造プロセスの違いによって、レイヤーやシュリンク値が異なる場合には対処できないという欠点がある。
【0027】
本発明の目的は、上述した従来の欠点に鑑みなされたものであり、異なる製造プロセスで作成されたハードマクロパターンデータを搭載するメインチップにおいて、マスクパターンデータの合わせ込み作業に関わる戻り作業のないマスクパターンデータ作成システムおよび方法を提供することにある。
【0028】
【課題を解決するための手段】
本発明のマスクパターンデータ作成システムは、同一の半導体基板上に複数のハードマクロを搭載したメインチップのマスクパターンデータの描画、編集および配置処理を行うパターンデータ作成手段と、前記メインチップおよび前記ハードマクロのパターンデータを入出力する入出力手段と、これら入出力手段および前記パターンデータ作成手段に命令を与え、その処理結果を画面表示する制御手段と、前記ハードマクロパターンデータの製造プロセスを前記メインチップの製造プロセスに変換して前記メインチップのマスクパターンデータの下位階層に階層配置するプロセス変換手段と、このプロセス変換手段で作成したプロセス変換情報を格納するプロセス変換情報格納手段とを備え、前記プロセス変換手段は、メインチップ側およびハードマクロ側それぞれのレイヤー情報データとシュリンク情報データとを入力してプロセス変換に必要なレイヤー変換テーブル情報およびシュリンクテーブル情報を含むプロセス変換情報を作成する変換テーブル作成手段と、前記階層配置時の配置情報部分に前記プロセス変換情報を付加情報として付加する変換情報付加処理手段と、前記付加情報を基に前記ハードマクロパターンデータのプロセス変換を実行しその実行結果のハードマクロを搭載するメインチップのマスクパターンデータを外部記憶装置へ出力する変換処理手段とから構成されることを特徴とする。
【0029】
また、前記変換テーブル作成手段は、前記メインチップの製造プロセスに対応するレイヤー情報データをメインチップ側のレイヤー情報データ格納手段から読み込み、かつハードマクロパターンの製造プロセスに対応するレイヤー情報データを、ハードマクロ側のレイヤー情報データ格納手段から読み込み、読み込んだメインチップ側とハードマクロ側それぞれのレイヤー情報データから、互いに重複しない組合せで工程名を抽出し、その工程名にレイヤーデータを対応させた第1のレイヤー変換テーブル情報を、それぞれ前記プロセス変換情報格納手段へ出力するレイヤー変換テーブル情報出力機能と、前記メインチップの製造プロセスに対応するシュリンク情報データをメインチップ側のシュリンク情報データ格納手段から読み込み、かつハードマクロパターンの製造プロセスに対応するシュリンク情報データを、ハードマクロ側のシュリンク情報データ格納手段から読み込み、メインチップ側をシュリンクする前のシュリンク値を1倍とした場合のハードマクロ側のシュリンク値を求めたシュリンクテーブル情報をプロセス変換情報格納手段へ出力するシュリンクテーブル情報出力手段とを有する。
【0030】
さらに、前記変換情報付加処理手段は、前記プロセス変換情報格納手段から読み込んだ前記プロセス変換情報を、前記パターンデータ作成手段の前記配置情報として与えることにより前記付加情報として付加するハードマクロパターンの配置処理機能と、前記パターンデータ作成手段から読み込んだ前記描画処理および前記編集処理からなる一連の修正処理の操作履歴を、前記配置情報に付加情報として付加するハードマクロパターンの修正機能とを有する。
【0031】
さらにまた、前記変換処理手段は、前記ハードマクロパターンの配置処理の場合、シュリンクテーブル情報に置かれたハードマクロパターンのシュリンク値を前記プロセス変換情報格納手段から読み出し、かつ一時記憶装置からもハードマクロパターンの最左下座標値と最右上座標値で決まるデータ領域を読み出し、そのデータ領域を前記ハードマクロパターンのシュリンク値で補正することにより、前記メインチップのシュリンク前のマスクパターン上に占める前記ハードマクロパターンのデータ領域を、該当する前記配置情報に含まれたデータ領域に置き換えて前記一時記憶装置に格納するハードマクロパターンの配置機能を有する。
【0032】
また、前記ハードマクロパターンのシュリンク値はメインチップ側をシュリンクする前の補正値である請求項4記載のマスクパターンデータ作成システム。
【0033】
さらに、前記変換処理手段は、出力処理の場合、一時記憶装置から読み込んだ前記ハードマクロパターンの配置情報に付加されている付加情報に基づき、前記プロセス変換情報格納手段に格納された前記レイヤー変換テーブル情報と前記シュリンクテーブル情報と修正履歴情報とを抽出するとともに、前記一時記憶装置から読み込んだ前記ハードマクロパターンの前記配置情報に対しては、前記修正履歴情報に基づき描画処理および編集処理の修正処理を施し、この修正された前記配置情報の各レイヤーを、前記レイヤー変換テーブル情報に基づき前記メインチップ側のレイヤーに変換し、このレイヤー変換後の前記配置情報を前記ハードマクロ側のシュリンク値に基づきシュリンクすることにより、前記ハードマクロパターンに対するプロセス変換を行い、さらに、このプロセス変換後の前記配置情報を前記メインチップのマスクパターンの下位階層に階層配置されている前記ハードマクロパターンに置き換えて前記一時記憶装置内に戻すことにより、その一時記憶装置に格納されているプロセス変換後の前記メインチップのマスクパターンを外部記憶装置へ出力するパターンデータ出力機能を有する。
【0034】
さらにまた、前記第1のレイヤー情報テーブルに前記メインチップ側と前記ハードマクロ側のレイヤーの表示色設定データをさらに追加した第2のレイヤー情報テーブルを有し、この第2のレイヤー情報テーブルに基づき、前記パターンデータ作成手段およびこのパターンデータ作成手段に命令を与え、その処理結果を画面表示する制御手段は、外部の表示装置の画面に表示される部分が前記メインチップのマスクパターンデータ部分の場合は、メインチップ側の表示色設定をそのまま表示し、前記画面に表示される部分がハードマクロパターンデータ部分である場合は、レイヤー変換後の表示色で表示することにより、前記レイヤー変換後に同一工程となるレイヤーは、前記メインチップ側も前記ハードマクロ側も同一表示色で表示する制御を行うこともできる。
【0035】
また、前記一時記憶装置に格納された前記ハードマクロパターンに対して前記パターンデータ作成手段により行う前記一連の修正作業は、前記ハードマクロパターンに直接修正を施さずに修正作業に応じて生じた前記ハードマクロパターンとの差分データを抽出して前記一時記憶装置に格納する差分データ抽出手段を有し、この差分データ抽出手段で行う修正により前記ハードマクロパターンと異なる派生ハードマクロパターンの発生が無く前記メインチップのマスクパターンデータと前記派生ハードマクロパターンデータとの形状の合わせ作業を不要にすることができる。
【0036】
さらに、前記変換情報付加処理手段における前記プロセス変換情報格納手段および前記修正履歴の内容をテキストデータ化し、このテキストデータを前記配置情報の前記メインチップのマスクパターン上における座標と同一座標に前記付加情報として付加することもできる。
【0037】
さらにまた、前記変換情報付加処理手段における前記プロセス変換情報格納手段および前記修正履歴それぞれの内容を前記一時記憶装置に格納し、その格納されている場所を示す所定の識別番号を、前記配置情報における前記メインチップのマスクパターン上での座標と同一座標に前記付加情報として付加するおともできる。
【0038】
また、前記パターンデータ作成手段の配置処理において前記ハードマクロパターンを階層配置するときに、外部記憶装置から与えられる前記ハードマクロパターンの端子パターン部分を示す端子情報データに基づき前記ハードマクロパターンから端子パターン部分のみを抽出して端子パターンデータを作成する端子パターンデータ作成処理手段を前記プロセス変換手段にさらに備え、前記端子パターンデータ作成処理手段は、前記階層配置をするときには前記ハードマクロパターンを前記端子パターンデータに置き換えて配置し、前記メインチップのマスクパターンを前記外部記憶装置へ出力するときには置き換えてあった前記端子パターンデータを前記ハードマクロパターンに置換えて出力することもできる。
【0039】
さらに、前記変換情報付加処理手段は、前記配置情報に付加された前記プロセス変換情報と前記描画および前記編集処理を行ったときの修正履歴情報からなる付加情報を前記外部記憶装置に付加情報データとして入出力する付加情報入出力手段をさらに備え、前記付加情報データと前記外部記憶装置に出力された前記メインチップのマスクパターンデータと前記ハードマクロパターンデータとを再度入力することにより、前記ハードマクロパターンデータの前記プロセス変換を再現するおともできる。
【0040】
本発明のマスクパターンデータ作成システムのデータ作成方法は、複数のハードマクロを搭載するメインチップの製造プロセスとは異なる製造プロセスで作成されたハードマクロパターンデータを、前記メインチップの製造プロセスに変換して前記メインチップのマスクパターンデータの下位階層に階層配置するプロセス変換手段として、前記メインチップ側および前記ハードマクロ側のレイヤー情報データとシュリンク情報データとを入力し前記プロセス変換情報を作成する変換テーブル作成処理手段と、前記階層配置したときの配置情報部分に前記プロセス変換情報を付加情報として付加する変換情報付加処理手段と、前記付加情報を基に前記ハードマクロパターンデータのプロセス変換を実行しその実行結果のハードマクロを搭載するメインチップのマスクパターンデータを外部記憶装置へ出力する変換処理手段とを用いて、
前記メインチップの製造プロセスに対応する前記レイヤー情報データを読み込む前記メインチップ側のレイヤー情報入力処理ステップと、前記ハードマクロの製造プロセスに対応する前記レイヤー情報データを読み込むハードマクロ側のレイヤー情報入力処理ステップと、これらのレイヤー情報データの読み込みを、前記メインチップに搭載する所定のハードマクロが無くなるまで繰り返し実行し、全てのハードマクロの読み込みが終了すると次の処理ステップへ進む判断処理ステップと、入力した前記メインチップ側およびハードマクロ側それぞれの前記レイヤー情報データから、互いに重複しない組合せで工程名を抽出するレイヤー変換テーブル作成処理ステップと、対応関係の全ての工程名を抽出して記入した前記レイヤー変換テーブル情報を前記プロセス変換情報格納手段へ出力するレイヤー変換テーブル出力処理ステップと、前記メインチップの製造プロセスに対応するシュリンク情報データを前記メインチップ側のシュリンク情報データ格納手段から読み込むメインチップ側のシュリンク情報入力処理ステップと、前記ハードマクロパターンの製造プロセスに対応する前記シュリンク情報データを、前記ハードマクロ側のシュリンク情報データ格納手段から読み込むハードマクロ側のシュリンク情報入力処理ステップと、これらのシュリンク情報データの読み込みを、前記メインチップに搭載する所定のハードマクロが無くなるまで繰り返し実行し、全てのハードマクロの読み込みが終了すると次の処理ステップへ進むシュリンク情報入力判断処理ステップと、前記メインチップ側のシュリンク値を1倍とした場合のハードマクロ側のシュリンク値を求めて前記シュリンクテーブル情報に置くシュリンクテーブル作成処理ステップと、求めた前記シュリンクテーブル情報を前記プロセス変換情報格納手段へ出力するシュリンクテーブル出力処理ステップとからなることを特徴とする。
【0041】
また、前記変換情報付加処理部における処理の種類が前記ハードマクロパターンの配置処理である場合は、前記プロセス変換情報格納手段から前記プロセス変換情報を読み込む変換情報入力処理ステップと、
前記プロセス変換情報格納手段から読み込んだ前記プロセス変換情報を前記配置情報として与えることにより付加情報として付加するための変換情報付加処理ステップと、
処理の種類が前記ハードマクロパターンの修正処理であるパターンデータを追加するための描画処理またはパターンデータを修正するための編集処理である場合は、前記パターンデータ作成手段における一連の前記修正処理の履歴が格納されている操作履歴格納手段から、操作履歴を読み込むための操作履歴入力処理ステップと、
前記操作履歴を前記配置情報に付加情報として付加するための操作履歴付加処理ステップとからなる処理を実行して変換情報付加処理を行う。
【0042】
さらに、前記変換処理部の処理の種類がハードマクロパターンの配置処理である場合は、前記プロセス変換情報格納手段から前記シュリンクテーブル情報に置かれた前記ハードマクロパターンのシュリンク値を読むためのシュリンク情報入力処理ステップと、
前記ハードマクロパターンの最左下座標値と最右上座標値で決まるデータ領域を読み出すためのハードマクロ参照処理ステップと、
前記データ領域を前記ハードマクロパターンのシュリンク値で補正することにより、前記メインチップのシュリンク前のマスクパターン上において前記ハードマクロパターンが占める前記データ領域を得るためにデータ領域補正処理ステップと、
前記データ領域補正処理ステップで得られた前記データ領域を、該当する配置情報にあるデータ領域に置き換えるためのデータ領域置換処理を実行するとともに、実行結果を前記一時記憶装置に格納するデータ領域置換処理ステップとからなる処理を実行して変換処理を行う。
【0043】
さらにまた、前記変換処理部の処理の種類が出力処理の場合は、前記一時記憶装置から前記ハードマクロパターンの前記配置情報に付加されている付加情報を読み込みその付加情報から前記プロセス変換情報格納手段の内容を抽出して前記プロセス変換に必要な前記レイヤー変換テーブル情報と前記シュリンクテーブル情報と前記修正履歴格納手段の内容とを得る変換情報抽出処理ステップと、
前記一時記憶装置から前記ハードマクロパターンのパターンデータを読み込むためのハードマクロ入力処理ステップと、
前記ハードマクロ入力処理で読み込んだハードマクロパターンのパターンデータに対して、前記パターンデータ作成手段における修正履歴格納手段に格納されている内容にしたがい描画処理および編集処理の修正処理ステップと、
前記レイヤー変換テーブル情報にしたがい前記修正処理後のパターンデータの各レイヤーを前記メインチップ側のレイヤーに変換するためのレイヤー変換処理ステップと、
前記シュリンクテーブル情報における前記ハードマクロ側のシュリンク値を用いて、前記レイヤー変換後のパターンデータをシュリンクするシュリンク処理ステップと、
前記メインチップのマスクパターンの下位階層に階層配置されている前記ハードマクロパターンを、延期プロセス変換処理後のパターンデータに前記一時記憶装置内で置き換えるためのハードマクロ置換処理ステップと、
前記一時記憶装置に格納されている前記メインチップのマスクパターンを前記外部記憶装置のマスクパターンデータ格納手段へ出力するパターンデータ出力処理ステップとからなる処理を実行して変換処理を行う。
【0044】
【発明の実施の形態】
まず、本発明の概要を述べる。本発明の第1の実施形態を示す図1およびマスクパターンデータ構造の一例を示す図2において、メインメインチップの製造プロセスとこのメインチップに搭載するハードマクロの製造プロセスとは異なるプロセスであるものとし、プロセス変換に必要な情報として、レイヤー変換に用いるレイヤー変換テーブルとシュリンク処理に必要なシュリンクテーブル情報などがプロセス変換情報格納手段105に格納されている。また、パターンデータ作成手段における描画処理および編集処理など一連の作業の履歴が修正履歴格納手段020に格納されている。
【0045】
パターンデータ入力処理部007は、メインチップのマスクパターンに搭載するハードマクロパターン211(図2(a)、図2(b))としてハードマクロパターンデータをハードマクロパターンデータ格納手段001からを読み込み、一時記憶装置008に格納する。
【0046】
次に、変換情報付加処理手段106はプロセス変換情報格納手段105からレイヤー変換テーブルとシュリンクテーブル情報などを読み出し、メインチップのマスクパターン200(図2(a)、図2(b))の下位階層にハードマクロパターンを階層配置するときの配置情報201(図2(a)、図2(b))の付加情報として付加し、一時記憶装置008に格納する。
【0047】
これらの付加情報を取り出して配置処理部108はメインチップのマスクパターンにハードマクロパターンを配置する。また、配置する上で、パターンデータ形状の修正処理が必要な場合、修正履歴格納手段020から修正履歴情報を読み出し、追加付加する。
【0048】
付加した付加情報を基に変換処理手段107は、ハードマクロパターン211(図2(a)、図2(b))のプロセス変換処理を実行する。このプロセス変換処理では、プロセス変換情報格納手段105に格納されたプロセス変換情報を基にしたレイヤー変換処理およびシュリンク処理と修正履歴情報を基にしたパターンデータ修正処理とを施す。
【0049】
従って、メインチップのマスクパターンデータを作成するマスクパターンデータ作成システム上でハードマクロパターンデータを扱うことができる。つまり、メインチップのマスクパターンデータおよびハードマクロパターンデータを同一環境の下で扱えるということである。
【0050】
本発明では、操作履歴や差分データを修正履歴として配置情報に付加することで、チップのマスクパターンデータを外部ファイルに出力する際に修正履歴を用いてハードマクロパターンデータを修正処理することによって、オリジナルのハードマクロを直接修正せず、チップのマスクパターンデータ作成を可能にしている。
【0051】
操作履歴や差分データなどの修正履歴を用いる方法は、本発明に関連するレイアウトデータ作成システム(一般的にはレイアウト・エディタ)に関わらずエディタ・ツール(ワープロなども含む)においては公知の機能であるので、ここでの具体説明は省略するが、一般的なエディタには、Undo(操作取り消し機能)や、Redo(再操作機能)がある。
【0052】
Undo機能は、直前または何段階か前に行なった編集作業を取り消す処理であり、データはその編集作業前に戻る。
【0053】
Redo機能は、Undo後のデータに関して、取り消した作業を実施し直す機能であり、データはその編集作業を実施した状態になる。
【0054】
これらの機能は、編集前のオリジナルデータに対して、操作履歴と差分データをバッファーなど内部記憶装置に保存し、そのバッファーに保存された操作履歴と差分データを基にUndo/Redoを実現している。
【0055】
本発明における、前述のハードマクロパターンデータの修正処理は、Undo/Redo機能と同様に操作履歴および差分データを用いている。但し、操作履歴と差分データの保存場所に配置情報を用いているところが、従来と異なる部分である。
【0056】
次に、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図1は本発明の第1の実施の形態を示すシステム構成図であり、図2(a)はマスクパターンデータ構造の一例を示す模式図であり、図2(b)はチップの階層構造の模式図である。図1を参照すると、マスクパターンデータ作成システム005は、作成対象となるメインチップの部品パターンデータおよびこのメインチップに搭載するハードマクロパターンデータを入力するとともに、作成したパターンデータを外部記憶装置へ出力する入出力手段017と、マスクパターンデータの一連の編集処理を行なうパターンデータ作成手段019と、メインチップの製造プロセスにハードマクロの製造プロセスを合わせ込むためのプロセス変換を行なうプロセス変換手段103と、これらの各機能を制御する制御手段018とを有している。
【0057】
マスクパターンデータ作成システム005の周辺装置として、入出力手段017にデータを供給するハードマクロ側のハードマクロパターンデータ記憶手段001およびメインチップ側の部品パターンデータ記憶手段004と、入出力手段017からデータを入力するメインチップ側のマスクパターンデータ記憶手段006と、プロセス変換手段103にデータを供給するメインチップ側のレイヤー情報データ記憶手段101およびシュリンク情報データ記憶手段131と、プロセス変換手段103にデータを供給するハードマクロ側のレイヤー情報データ記憶手段102およびシュリンク情報データ記憶手段132と、プロセス変換手段103と変換処理に伴うデータのやりとりするプロセス変換情報格納手段105と、制御手段018のコマンド入力処理部013に制御コマンドを与える入力装置015および制御手段018の画面表示処理部012からの表示データを表示するモニタ装置014とをそれぞれ有する。
【0058】
上述したマスクパターンデータ作成システム005におけるパターンデータ作成手段019は修正履歴格納手段020と描画処理部009と編集処理部010と配置処理部108とを有する。これらの処理は、当業者にとってよく知られている一般的なマスクパターンデータ作成システムにおける処理部と同様であり、これらの処理部に本発明は含まれないので、後述する本発明の説明の中で適宜入出力関係を述べるにとどめ、ここでの詳細な構成の説明は省略する。
【0059】
上述したマスクパターンデータ作成システム005における入出力手段017はパターンデータ入力処理部007およびパターンデータ出力処理部016を有する。
【0060】
パターンデータ入力処理部007は、外部記憶装置のハードマクロ側のハードマクロパターンデータ記憶手段001からメインチップの製造プロセスとは異なる製造プロセスで作成されたハードマクロパターンデータを読み込む。読み込んだデータを一時記憶装置008にハードマクロパターン211(図2(a)、図2b)として格納する。
【0061】
同様に、メインチップと同じ製造プロセスで作成されたメインチップ側の部品パターンデータ格納手段002(図2(a)、図2(b)に対応する)から部品パターンデータ212を読み込み一時憶装置008に格納する。
【0062】
パターンデータ出力処理部016は、マスクパターンデータ作成システム005で作成が終わったメインチップのマスクパターンを、一時記憶装置008から受けて外部記憶装置であるメインチップ側のマスクパターンデータ格納手段006に出力する。
【0063】
プロセス変換手段103は変換テーブル作成処理部104と変換情報付加処理部106と変換処理部107とを有する。
【0064】
変換テーブル作成処理104は、メインチップ側およびハードマクロ側のレイヤー情報データ格納手段101および102のレイヤー情報データと、メインチップ側およびハードマクロ側のレイヤー情報データ格納手段102および132のシュリンク情報データとをそれぞれ入力する。
【0065】
入力したこれらの情報により、プロセス変換に必要なレイヤー変換テーブル情報およびシュリンクテーブル情報を含むプロセス変換情報を作成する。この作成したプロセス変換情報をプロセス変換情報格納手段105に格納する。
【0066】
ここで、レイヤー情報データ格納手段101に格納されたレイヤー情報データとシュリンク情報データ格納手段131に格納されたシュリンク情報データとは、それぞれメインチップの製造プロセスに対応している。
【0067】
一方、レイヤー情報データ格納手段102に格納されたレイヤー情報データとシュリンク情報データ格納手段132に格納されたシュリンク情報データとは、それぞれハードマクロパターンデータの製造プロセスに対応している。
【0068】
なお、配置処理部108において、ハードマクロパターン211(図2(a)、図2(b))をメインチップのマスクパターン200(図2(a)、図2(b))の下位階層に階層配置するとき、シュリンク前のメインチップのマスクパターン200との寸法が一致する様に配置処理される。つまり、変換処理107においてシュリンクテーブル情報に基づきハードマクロパターン211(図2(a)、図2(b))のデータ領域を補正した配置領域を持つものとして配置処理される。
【0069】
また、パターンデータ作成手段019における描画処理部009および編集処理部010などのハードマクロパターン211に対する一連の修正作業の履歴情報は、修正履歴格納手段020に格納される。
【0070】
なお、ここでの修正作業は直接ハードマクロパターン211には施さず、修正作業に応じて生じた差分データを一時記憶装置008に蓄積する。つまり、ハードマクロパターンは原型をそのままの状態で残し、メインチップ側の製造プロセスとの違いによる差分のデータだけを取り出している。
【0071】
さらに、修正履歴格納手段020に格納される履歴情報には、差分データも含まれるようにしてある。従って、差分データは一時記憶装置008および修正履歴格納手段020の両方に蓄積されている。
【0072】
変換情報付加処理部106は、プロセス変換情報格納手段105および修正履歴格納手段020にそれぞれ格納されている内容を、配置情報201に付加情報として付加する。
【0073】
なお、修正作業が発生する毎に、その修正履歴情報は修正履歴格納手段020に格納され、かつ、配置情報201の付加情報に追加付加する。そして、メインチップのマスクパターン200を外部記憶装置へ出力するときには、変換処理部107において、前述した配置領域のみシュリンク後のデータ領域に変更する。さらに、配置情報201に付加された付加情報を基にして、ハードマクロパターン211のプロセス変換処理を行う。すなわち、プロセス変換情報格納手段105に格納されたプロセス変換情報および修正履歴格納手段020に格納された修正履歴情報に基いて修正処理を実施するということである。
【0074】
この修正処理を実施した後、パターンデータ出力処理部016において、プロセス変換後のハードマクロパターンデータであるハードマクロパターン211と共にマスクパターンデータ作成システム005で作成したメインチップのマスクパターン200とを、外部記憶装置のメインチップ側のマスクパターンデータ格納手段006へ出力して格納する。
【0075】
次に、本実施形態の動作を、変換テーブル作成処理部104の動作説明用のフローチャートを示した図3と変換テーブル例を示した表1とシュリンクテーブル例を示した表2とを併せて参照しながら説明する。
【0076】
先ず、図3を参照すると、プロセス変換における前処理としての変換テーブル作成処理部104の動作は、変換テーブル作成処理部104が、メインチップの製造プロセスに対応するレイヤー情報データをメインチップ側のレイヤー情報データ格納手段101から読み込むためにメインチップ側のレイヤー情報入力処理を実行する(処理ステップS301)。
【0077】
変換テーブル作成処理部104は、さらに、ハードマクロパターン211(図2(a)、図2(b))の製造プロセスに対応するレイヤー情報データを、ハードマクロ側のレイヤー情報データ格納手段102から読み込むためにハードマクロ側のレイヤー情報入力処理を実行する(S302)。
【0078】
続いて、変換テーブル作成処理部104は、これらのレイヤー情報データの読み込みを、メインチップに搭載する所定のハードマクロが無くなるまで繰り返し実行し、全てのハードマクロの読み込みが終了するとレイヤー変換テーブル作成処理へ進む(S303)。
【0079】
レイヤ変換テーブル作成処理においてレイヤ変換テーブル作成処理部104は、入力したメインチップ側とハードマクロ側それぞれのレイヤー情報データから、互いに重複しない組合せで工程名を抽出する。
【0080】
ここで表1を参照すると、縦方向を行、横方向を列として、メインチップ側のレイヤー情報データ101は1列目に工程名が記入され、2列目にレイヤー名が記入されるようになっている。例えば、工程名nsubのレイヤーは1であり、wellが2であり、cov(cover)が3であり、diff(diffusion)が4である。
【0081】
一方、ハードマクロ側のレイヤー情報データ102も1列目に工程名が記入され、2列目にレイヤー名が記入されるようになっている。例えば、工程名nsubのレイヤーは1であり、wellが2であり、covに相当する工程は無し、diffが3である。
【0082】
レイヤー変換テーブル情報は、上述したメインチップ側のレイヤー情報データ格納手段101およびハードマクロ側のレイヤー情報データ格納手段102それぞれのレイヤー情報を基にして、第1列が工程名、第2列目がメインチップ側のレイヤー、第3列目がハードマクロ側のレイヤを記入するようになっている。
【0083】
例えば、工程名nsubのレイヤーは1であり、wellが2であり、covはメインチップ側が3であるが、ハードマクロ側には相当する工程は無いのでレイヤーは−1とする。diffはメインチップ側が4であるが、ハードマクロ側は前の工程名で−1となったのでここでは4ではなく3である。
【0084】
これらの対応関係を全ての工程名を抽出して記入する。これらのレイヤー変換テーブル情報をレイヤー変換テーブル出力処理によりプロセス変換情報格納手段105へ出力する(処理ステップS305)。
【0085】
なお、表1において、レイヤー情報データの工程名およびレイヤーの空白部分は、該当する工程名およびレイヤーが無いことを示し、レイヤー情報テーブル部で−1となっている部分は工程名に該当するレイヤーが無い、すなわち、レイヤー変換すべきレイヤーが無いことを示している。
【0086】
【表1】
【0087】
続いて、変換テーブル作成処理部104は、メインチップの製造プロセスに対応するシュリンク情報データをメインチップ側のシュリンク情報データ格納手段131から読み込むためにメインチップ側のシュリンク情報入力処理を実行する(処理ステップS306)。
【0088】
変換テーブル作成処理部104は、さらに、ハードマクロパターン211(図2(a)、図2(b))の製造プロセスに対応するシュリンク情報データを、ハードマクロ側のシュリンク情報データ格納手段132から読み込むためにハードマクロ側のシュリンク情報入力処理を実行する(S307)。
【0089】
続いて、変換テーブル作成処理部104は、これらのシュリンク情報データの読み込みを、メインチップに搭載する所定のハードマクロが無くなるまで繰り返し実行し、全てのハードマクロの読み込みが終了するとシュリンクテーブル作成処理へ進む(S308)。
【0090】
シュリンクテーブル作成処理において変換テーブル作成処理部104は、メインチップ側をシュリンクする前、すなわち、“シュリンク値=1(倍)”とした場合のハードマクロ側のシュリンク値を求める。その求めたシュリンク値を表2に示すシュリンクテーブル情報に置く。
【0091】
例えば、シュリンクテーブル情報を示した表2を参照すると、表の1列目にメインチップ側のシュリンク情報データ131としてデータ値0.5が置かれている。表の2列目にはハードマクロ側のシュリンク情報データ132としてデータ値0.4が置かれている。表の3列目にはシュリンクテーブル情報として、メインチップ側にデータ値1、ハードマクロ側にデータ値0.8がそれぞれ置かれている。
【0092】
【表2】
【0093】
シュリンクテーブルの作成が終わると、次のシュリンクテーブル出力処理ステップへ進む。
【0094】
シュリンクテーブル出力処理において変換テーブル作成処理部104は、抽出したこれらのシュリンクテーブル情報をプロセス変換情報格納手段105へ出力して前処理を終わる(処理ステップS310)。
【0095】
なお、メインチップ側をシュリンク前としているのは、マスクパターンデータの作成を行なう場合はシュリンク前の寸法で作成するのが一般的になっているからである。そのときに、メインチップの製造プロセスとは異なる製造プロセスで作成されているハードマクロである場合は、当然シュリンク値がメインチップのシュリンク値とは異なることになる。
【0096】
従って、メインチップとハードマクロとをシュリンク前の寸法のまま同時にマスクパターンデータ作成システム上で扱うと、シュリンク後、すなわち、製造後の寸法が一致しないことになってしまう。
【0097】
そのため、本発明ではメインチップおよびハードマクロそれぞれのシュリンク値から、メインチップ側をシュリンク前とした時のハードマクロ側のシュリンク値、すなわち、補正値を求めている。
【0098】
なお、ハードマクロパターン211(図2(a)、図2(b))の製造プロセスとは異なる製造プロセスで作成されたその他のハードマクロパターンデータがある場合は、前述した図3のフローチャートにおける、他のハードマクロがあるか無いかの条件分岐処理(処理ステップS303、S308)においてその他のハードマクロに対応するレイヤー情報データおよびシュリンク情報データを読み込んで(処理ステップS302,S307)、作成したレイヤー変換テーブルおよびシュリンクテーブル(処理ステップS304、S309)、をプロセス変換情報105へ出力する(処理ステップS305、S310)。
【0099】
次に、変換情報付加処理部106の動作を、その説明用フローチャートを示した図4および前述した図2をそれぞれ参照しながら説明する。
【0100】
まず、変換情報付加処理部106は、分岐処理(処理ステップS401)において処理の種類がハードマクロパターン211の配置処理(配置処理部108)である場合は、プロセス変換情報格納手段105からプロセス変換情報を読み込む変換情報入力処理を実行する(処理ステップS402)。
【0101】
次に、変換情報付加処理部106は、プロセス変換情報格納手段105から読み込んだプロセス変換情報を配置情報201に与えることにより付加情報として付加するための変換情報付加処理を実行する(処理ステップS403)。
【0102】
ここで、図2(a)および図2(b)の配置情報201は、配置処理部108においてハードマクロパターン211をメインチップのマスクパターン200の下位階層に階層配置したときの配置情報である。
【0103】
また、同様に、配置情報202は、メインチップと同じ製造プロセスで事前に作成された部品パターン212を、メインチップのマスクパターン200の下位階層に階層配置したときの配置情報である。
【0104】
配置情報203は、マスクパターンデータ作成システム005においてメインチップと同じ製造プロセスで作成されたその他のパターンデータ213を、メインチップのマスクパターンデータ006の下位階層に階層配置したときの配置情報である。
【0105】
次に、変換情報付加処理部106は、分岐処理(処理ステップS401)においてパターンデータ作成手段019における処理の種類が、ハードマクロパターン211の修正処理、すなわち、パターンデータを追加するための描画処理(描画処理部009)またはパターンデータを修正するための編集処理(編集処理部010)である場合の処理を実行する。
【0106】
すなわち、変換情報付加処理部106は、描画処理(描画処理部009)および編集処理(編集処理部010)などパターンデータ作成手段019における一連の修正処理の履歴が格納されている修正履歴格納手段(図1では修正履歴と表記)020から、修正履歴を読み込むための修正履歴入力処理を実行する(処理ステップS304)。
【0107】
次に、変換情報付加処理部106は、修正履歴格納手段020から修正履歴を取り出し配置情報201に付加情報として付加するための修正履歴付加処理を実行する(処理ステップS305)。
【0108】
なお、パターンデータ作成手段019における描画処理(描画処理部009)または編集処理(編集処理部010)などの各処理おいて、ハードマクロパターン211の修正処理を行なう場合は、プロセス変換手段105に格納されいるシュリンクテーブル情報を基に、制御手段018の画面表示処理部012が、ハードマクロパターン211のモニタ装置014への画面表示倍率を、メインチップのマスクパターン200と同一寸法になる様に調整して表示させる。
【0109】
次に、変換処理部107の動作を、その説明用フローチャートを示した図5を参照しながら説明する。まず、分岐処理(処理ステップS501)において処理の種類がハードマクロパターン211の配置処理(配置処理部108)である場合を説明する。
【0110】
すなわち、変換処理部107は、プロセス変換情報格納手段105から前述した表2のシュリンクテーブル情報に置かれたハードマクロパターンのシュリンク値を読むためのシュリンク情報入力処理を実行する(処理ステップS502)。ここで、シュリンクテーブル情報は前述した変換テーブル作成処理部104で作成したものであり、ハードマクロパターンのシュリンク値はメインチップ側をシュリンクする前とした場合の補正値である。
【0111】
次に、変換処理部107は、ハードマクロパターン211の最左下座標値と最右上座標値で決まるデータ領域を読み出すためのハードマクロ参照処理を実行する(処理ステップS503)。
【0112】
続いて、変換処理部107は、データ領域をハードマクロパターンのシュリンク値で補正することにより、メインチップのマスクパターン200(つまり、シュリンク前)上においてハードマクロパターン211が占めるデータ領域を得るためにデータ領域補正処理を実行する(処理ステップS504)。
【0113】
さらに、変換処理部107は、前のデータ領域補正処理で得られたデータ領域に対し、該当する配置情報201にあるデータ領域を置き換えるためのデータ領域置換処理を実行するとともに、実行結果を一時記憶装置008に格納する(処理ステップS505)。
【0114】
次に、分岐処理(処理ステップS501)において処理の種類が出力処理(パターンデータ出力処理部016)の場合は、変換処理部107は、変換情報抽出処理を実行する(処理ステップS506)。
【0115】
すなわち、この変換情報抽出処理は、一時記憶装置008からハードマクロパターン211の配置情報201に付加されている付加情報を読み込む。読み込んだ付加情報からプロセス変換情報格納手段105の内容を抽出してプロセス変換処理に必要な各情報、すなわち、前述した表2のレイヤー変換テーブル情報とシュリンクテーブル情報と修正履歴格納手段020の内容とを得る処理である。
【0116】
次に、変換処理部107は、一時記憶装置008からハードマクロパターン211のパターンデータを読み込むためのハードマクロ入力処理を実行する(処理ステップS507)。
【0117】
さらに、変換処理部107は、前のハードマクロ入力処理で読み込んだハードマクロパターン211のパターンデータに対して、パターンデータ作成手段019における一連の修正処理を施すためのデータ修正処理を実行する(処理ステップS508)。すなわち、修正履歴格納手段020に格納されている内容に従いハードマクロパターン211に対して施すべき描画処理(描画処理部009)および編集処理(編集処理部010)等の修正処理を施す処理である。
【0118】
続いて、変換処理部107は、前述した表1のレイヤー変換テーブル情報に従って、修正処理後のパターンデータの各レイヤーをメインチップ側のレイヤーに変換するためのレイヤー変換処理を実行する(処理ステップS509)。
【0119】
さらに、変換処理部107は、前述した表2のシュリンクテーブル情報におけるハードマクロ側のシュリンク値を用いて、前述したレイヤー変換後のパターンデータをシュリンクするシュリンク処理を実行する(処理ステップS510)。このシュリンク処理の実行により、ハードマクロパターン211に対するプロセス変換処理が実施されることになる。
【0120】
さらにまた、変換処理部107は、メインチップのマスクパターン200の下位階層に階層配置されているハードマクロパターン211を、前述したプロセス変換処理後のパターンデータに一時記憶装置008内で置き換えるためのハードマクロ置換処理を実行し、その結果を一時記憶装置008に戻す(処理ステップS511)。
【0121】
続いて、変換処理部107は、一時記憶装置008に格納されているメインチップのマスクパターン200を外部記憶装置のマスクパターンデータ006へ出力するパターンデータ出力処理を実行する(処理ステップ016)。
【0122】
上述した各フローに基づくプロセス変換処理が施されたことによって、メインチップの製造プロセスに適合したハードマクロパターンデータを含むメインチップのマスクパターンデータを得ることができる。
【0123】
なお、メインチップの製造プロセスとさらに異なる製造プロセスをもつハードマクロパターンデータ、つまり、異なる製造プロセスをもつハードマクロパターンデータが複数ある場合においても同様に処理できる。すなわち、変換テーブル作成処理部104の処理ステップS303、S308でも述べた通り、プロセス変換情報格納手段105にそれぞれ該当の製造プロセスの情報を盛り込み、変換情報付加処理部106、変換処理部107等において該当製造プロセスに対してもそれぞれ処理を実施すれば対応可能であることは明白である。
【0124】
上述したように、ハードマクロパターンをレイヤー変換するときに用いるレイヤー変換テーブルおよびシュリンク処理に用いるシュリンクテーブル情報等のプロセス変換情報と、ハードマクロパターンを修正したときの一連の作業の履歴を記憶させた修正履歴情報とを、メインチップのマスクパターンの下位階層に階層配置するときの配置情報に対して付加情報として付加している。従って、メインチップのマスクパターンを外部記憶装置へ出力するときには、付加した付加情報を基にレイヤー変換処理およびシュリンク処理と修正履歴情報を基にしたパターンデータ修正処理、すなわち、プロセス変換処理を実施することが可能になる。
【0125】
また、一時記憶装置に格納されたハードマクロパターンに対してパターンデータ作成手段により行う一連の修正作業は、ハードマクロパターンに直接施さずに修正作業に応じて生じた差分データを一時記憶装置に格納する手段を講じている。従って、ハードマクロパターンそのものを外部記憶装置へ出力した場合は差分データが含まれない、すなわち、ハードマクロパターンデータ(オリジナル)と同一のパターンデータを得ることになるため、派生ハードマクロパターンデータの生成が行なわれることはない。
【0126】
そのため、メインチップのマスクパターンデータ作成と同一環境のマスクパターンデータ作成システム上においても、ハードマクロパターンデータを扱うことができるので、ハードマクロパターンデータのパターンデータ形状を修正するとき、メインチップのマスクパターンデータ形状と直接見比べながら修正作業ができる。
【0127】
また、ハードマクロパターンデータ(オリジナル)に対してレイヤー変換済みハードマクロパターンデータやシュリンク済みハードマクロパターンデータおよび修正済みハードマクロパターンデータ等の派生ハードマクロパターンデータを外部記憶装置に格納しておく必要が無い。
【0128】
また、派生ハードマクロパターンデータを生成することが無いため、従来行なっていたメインチップのマスクパターンデータと派生ハードマクロパターンデータとのパターンデータ形状の合わせ込み作業が不要になり、人為的ミスを防止することができる。
【0129】
さらには、事前に派生ハードマクロパターンデータを準備すること無しに、メインチップの製造プロセスに適合させたハードマクロパターンデータを持ったマスクパターンデータを得ることができる。
【0130】
従って、従来はハードマクロパターンデータをメインチップの製造プロセスに適合させるために、メインチップのマスクパターンデータ作成とは別作業にて行なっていた派生ハードマクロパターンデータ作成作業に対するプロセス変換作業も不要になり、それに伴う作業工数を不要にすることができる。
【0131】
しかも、本実施形態では、派生ハードマクロパターンデータが発生しないので、派生ハードマクロパターンデータを格納するためにデータ格納手段の容量を確保する必要もない。
【0132】
次に、本発明の第2の実施形態を説明する。第1の実施形態で述べた変換情報付加処理部106(図1)におけるプロセス変換情報格納手段105および修正履歴格納手段020を、配置情報201(図2(a)、図2(b))に付加する他の方法として、プロセス変換情報格納手段105および修正履歴格納手段020の内容をテキストデータ化する。このテキストデータを配置情報201(図2(a)、図2(b))のメインチップのマスクパターン200(図2(a)、図2(b))上における座標と同一座標に付加する。このような方法でも、第1の実施形態と同等の効果が得られる。
【0133】
次に、本発明の第3の実施形態を説明する。上述した第2の実施形態に関して、変換情報付加処理部106(図1)におけるプロセス変換情報格納手段105および修正履歴格納手段020を、配置情報201(図2(a)、図2(b))に付加する方法として、プロセス変換情報格納手段105および修正履歴格納手段020それぞれの内容を、マスクパターンデータ作成システム005の内部、例えば一時記憶装置008に格納しておく。その格納されている場所を示す識別番号(ID番号)を、配置情報201(図2(a)、図2(b))におけるメインチップのマスクパターン200(図2(a)、図2(b))上での座標と同一座標に付加することによっても、第1の実施形態と同等の効果が得られる。
【0134】
さらに具体的には、配置情報201に直接、プロセス変換情報(ID=P001)および修正履歴情報(ID=C001)を加える手段を追加する。
【0135】
その一例として、従来の配置情報の例を表4(a)に示し、この従来の配置情報にさらに、直接、プロセス変換情報格納手段105および修正履歴格納手段020を加えた例を表4(b)に示す。
【0136】
この表において、配置情報(Xp,Yp)はチップの下階層に配置されたマスクデータの配置座標を示し、Xp=X座標、Yp=Y座標である。
【0137】
また、データ名称はハードマクロなどのチップの下階層に配置するマスクデータの識別名称であり、ここでは、一例として“HM001”としている。
【0138】
さらに、データ領域はチップの下階層に配置されたマスクデータのチップ上のデータ領域を示し、X1=左下X座標、Y1=左下Y座標、Xr=右下X座標、Yr=右下Y座標である。
【0139】
下階層マスクデータの情報で空欄(…)部分は、従来、配置角度なども配置情報として付加する場合があるが、ここでは本発明と直接関係しないので省略してある。
【0140】
なお、上述した情報をここでは、ID番号として付加しているが、前述した第2の実施例にも示したテキスト情報として、配置情報201に直接付加することもでき、この場合も第1の実施形態と同等の効果が得られる。
【0141】
【表3】
【0142】
さらに、本発明の第4の実施形態を説明する。通常、マスクパターン作成システムではモニター装置などの表示装置にマスクパターンデータを表示するとき、レイヤー毎の表示色の設定を行なっている。
【0143】
しかしながら、上述した各実施形態では、メインチップの製造プロセスとは異なる製造プロセスで作成されたハードマクロを対象としているため、変換処理部107におけるレイヤー変換前では、当然、レイヤーの表示色設定が、メインチップとハードマクロとでは異なってくる。
【0144】
例えば、電極レイヤー等であってもメインチップ側とハードマクロ側とでは、表示色が異なることになる。そのため、上述した各実施形態では、変換情報付加処理部106(図1)におけるプロセス変換情報格納手段105および修正履歴格納手段020を、配置情報201(図2(a)、図2(b))に付加することで効果を得ている。これに対し本実施形態では、前述した表2におけるレイヤー情報データ(101、102)にそれぞれメインチップ側とハードマクロ側のレイヤーの表示色設定をさらに設ける。
【0145】
すなわち、各工程の表示色を示した表4を参照すると、メインチップ側レイヤー情報データ101およびハードマクロ側のレイヤー情報データ102の欄はそれぞれの欄の第1列目に工程名、第2列目にレイヤー、第3列目に表示色を示し、レイヤー変換テーブル情報の欄は、第1列目に工程名、第2列目にメインチップ側のレイヤー、第3列目にハードマクロ側のレイヤー、第4列目に表示色をそれぞれ示してある。
【0146】
【表4】
【0147】
例えば、メインチップ側のレイヤー情報データ101の工程名nsubのレイヤーは1で表示色は茶色であり、工程名wellのレイヤーは2で表示色は濃緑色であり、工程名covのレイヤーは3で表示色は黄色である。ハードマクロ側のレイヤー情報データ102の工程名nsubのレイヤーは1で表示色は赤色であり、工程名wellのレイヤーは2で表示色は青色であり、工程名covに対応する工程はないので空白である。レイヤー変換テーブル情報の工程名nsubのメインチップ側は1、ハードマクロ側も1、表示色は茶色であり、工程名wellのメインチップ側は2、ハードマクロ側も2、表示色は濃緑色であり、工程名covのメインチップ側は3、ハードマクロ側はcov工程がないので−1、表示色は黄色が置かれている。
【0148】
変換テーブル作成処理部104においては、前述したレイヤー変換テーブルと同様にして、表示色変換情報を前述した表3のレイヤー変換テーブル情報に作成する。ここではハードマクロ側のレイヤーが対応するメインチップ側のレイヤーの表示色設定を示すようにする。
【0149】
その表示色設定を、パターンデータ作成手段019および画面表示手段012においてモニタ画面014に表示される部分がメインチップのマスクパターンデータ部分の場合は、メインチップ側の表示色設定をそのまま用いる。
【0150】
モニタ画面014に表示される部分がハードマクロパターンデータ部分である場合は、表示色変換テーブルを用いてレイヤー変換後の表示色を用いる。これにより、レイヤー変換後に同一工程となるレイヤーは、メインチップ側もハードマクロ側も同一表示色となるので、上記の各実施例の効果に加えて表示色の見誤りに起因する人為的ミスが防止でき、設計工数の低減効果がある。
【0151】
さらに、本発明の第5の実施形態を説明する。本実施形態では、メインチップのマスクパターンデータの下位階層に階層配置するハードマクロパターンデータの扱いを更に工夫したものである。この第5の実施形態のシステム構成図を示した図6と、ハードマクロのレイアウトパターン例を示した図7(a)および端子パターン例を示した図7(b)とを併せて参照すると、端子情報データ格納手段601と端子パターンデータ作成処理部602が、上述した各実施形態の構成に対して追加してある。
【0152】
端子情報データ格納手段601は、ハードマクロパターン700の端子部分を示す情報が格納されている。ここで、端子部分を示す情報とは、端子となるパターンデータのレイヤーを記述する方法と、端子となるパターンデータの座標値を示す方法と、端子となるパターンデータ上に付加されているテキストデータを示す方法と、端子となるパターンデータを囲むダミーパターンデータを示す方法等がある。
【0153】
端子パターンデータ作成処理部602では、ハードマクロパターン700を配置処理部108において階層配置するときに、端子情報データ格納手段601に格納された端子情報に従ってハードマクロパターン700から端子パターン部分のみを抽出して、端子パターンデータ708を作成する処理である。
【0154】
ここで、端子パターンデータ708にはハードマクロパターン700にあったパターンデータ(701〜706)は含まれておらず、端子部分707となるパターンデータのみが含まれている。さらに、ハードマクロパターン700を端子パターンデータ708に置き換えて階層配置する。
【0155】
次に、メインチップのマスクパターンを外部ファイルへ出力するときは、置き換えてあった端子パターンデータ708をハードマクロパターン700に置換える処理も行なう。
【0156】
上述したように、本実施形態では、ハードマクロパターンを端子パターンデータに置き換えることによって、マスクパターンデータ作成システム005で扱うデータの格納領域の容量を削減することができ、データ格納手段へのアクセス速度を向上させる効果がある。すなわち、画面表示処理部012や編集処理部010などのコンピュータ処理の負荷を低減することができる。
【0157】
さらにまた、本発明の第6の実施形態を説明する。本実施形態では、その基本的構成は第1の実施形態と同様であるが、変換情報付加処理部106において配置情報201に付加されたプロセス変換情報(プロセス変換情報格納手段105にある)と修正履歴情報(修正履歴情報格納手段020にある)からなる付加情報を外部記憶装置に付加情報データとして入出力する付加情報入出力手段をマスクパターンデータ作成システム005にさらに加えたものである。
【0158】
付加情報入出力手段を加えることによって、付加情報データと外部記憶装置に出力されたメインチップのマスクパターンデータ(マスクパターンデータ格納手段006にある)およびハードマクロパターンデータ(ハードマクロパターンデータ格納手段001に格納されたオリジナルなデータ)とをマスクパターンデータ作成システム005に再度入力することができる。従って、ハードマクロパターンデータのプロセス変換処理を再現することができる。
【0159】
本実施形態により、外部記憶装置に出力されたメインチップのマスクパターンデータ006の下位階層に階層配置されているプロセス変換処理後のハードマクロパターンが人為的ミスなどで改ざんされた場合でも、修正作業など人為的介在なしに改ざん前のハードマクロパターンへの復旧が可能になる。従って、設計効率の向上効果が得られる。
【0160】
【発明の効果】
上述したように、本発明のマスクパターンデータ作成システムおよびデータ作成方法は、メインチップのマスクパターンデータ作成と同一環境のマスクパターンデータ作成システム上においても、ハードマクロパターンデータを扱うことができるので、ハードマクロパターンデータのパターンデータ形状を修正するとき、メインチップのマスクパターンデータ形状と直接見比べながら修正作業ができる。
【0161】
また、ハードマクロパターンデータ(オリジナル)に対してレイヤー変換済みハードマクロパターンデータやシュリンク済みハードマクロパターンデータおよび修正済みハードマクロパターンデータ等の派生ハードマクロパターンデータを生成することが無いため、従来行なっていたメインチップのマスクパターンデータと派生ハードマクロパターンデータとのパターンデータ形状の合わせ込み作業が不要になり、人為的ミスを防止することができる。
【0162】
さらに、事前に派生ハードマクロパターンデータを準備すること無しに、メインチップの製造プロセスに適合させたハードマクロパターンデータを持ったマスクパターンデータを得ることができるので、従来はハードマクロパターンデータをメインチップの製造プロセスに適合させるために、メインチップのマスクパターンデータ作成とは別作業にて行なっていた派生ハードマクロパターンデータ作成作業に対するプロセス変換作業も不要になり、それに伴う作業工数を不要にすることができる。
【0163】
さらにまた、派生ハードマクロパターンデータ発生しないので、派生ハードマクロパターンデータを格納するためにデータ格納手段の容量を特に確保する必要もない、という効果を有する。
【0164】
また、表示色設定を、パターンデータ作成手段019および画面表示手段012においてモニタ画面014に表示される部分がメインチップのマスクパターンデータ部分の場合は、メインチップ側の表示色設定をそのまま用い、モニタ画面014に表示される部分がハードマクロパターンデータ部分である場合は、表示色変換テーブルを用いてレイヤー変換後の表示色を用いるので、レイヤー変換後に同一工程となるレイヤーは、メインチップ側もハードマクロ側も同一表示色となり、表示色の見誤りに起因する人為的ミスが防止でき、設計工数の低減効果がある。
【0165】
さらに、ハードマクロパターンを端子パターンデータに置き換えることによって、画面表示処理部012や編集処理部010などのコンピュータ処理の負荷を低減するのでマスクパターンデータ作成システム005で扱うデータ格納手段へのアクセス速度を向上させる効果がある。
【0166】
さらにまた、外部記憶装置に出力されたメインチップのマスクパターンデータ006の下位階層に階層配置されているプロセス変換処理後のハードマクロパターンが人為的ミスなどで改ざんされた場合でも、修正作業など人為的介在なしに改ざん前のハードマクロパターンへの復旧が可能になるので、設計効率の向上効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態のシステム構成図である。
【図2】(a)マスクパターンデータ構造の一例を示す図である。
(b)マスクパターンデータの階層構造の模式図である。
【図3】変換テーブル作成処理部104の動作説明用のフローチャートである。
【図4】変換情報付加処理部106の動作説明用フローチャートである。
【図5】変換処理部107の動作説明用フローチャートである。
【図6】第5の実施形態のシステム構成図である。
【図7】(a)ハードマクロのレイアウトパターン例を示した図である。
(b)端子パターン例を示した図である。
【図8】従来のプロセス変換方法のフローチャートである。
【図9】従来のメインチップ平面図の一例を示した図である。
【符号の説明】
001 ハードマクロ側のハードマクロパターンデータ格納手段
004 チップ側の部品パターンデータ格納手段
005 マスクパターンデータ作成システム
006 チップ側のマスクパターンデータ格納手段
007 パターンデータ入力処理部
008 一時記憶装置
009 描画処理部
010 編集処理部
012 画面表示処理部
013 コマンド入力処理部
014 モニタ装置
015 入力装置
016 パターンデータ出力処理部
017 入出力手段
018 制御手段
019 パターンデータ作成手段
020 修正履歴格納手段
101 チップ側のレイヤー情報データ格納手段
102 ハードマクロ側のレイヤー情報データ格納手段
103 プロセス変換手段
104 変換テーブル作成処理部
105 プロセス変換情報格納手段
106 変換情報付加処理部
107 変換処理部
108 配置処理部
131 チップ側のシュリンク情報データ格納手段
132 ハードマクロ側のシュリンク情報データ格納手段
601 端子情報データ格納手段
602 端子パターンデータ作成処理部
Claims (16)
- 同一の半導体基板上に複数のハードマクロを搭載したメインチップのマスクパターンデータの描画、編集および配置処理を行うパターンデータ作成手段と、前記メインチップおよび前記ハードマクロのパターンデータを入出力する入出力手段と、これら入出力手段および前記パターンデータ作成手段に命令を与え、その処理結果を画面表示する制御手段と、前記ハードマクロパターンデータの製造プロセスを前記メインチップの製造プロセスに変換して前記メインチップのマスクパターンデータの下位階層に階層配置するプロセス変換手段と、このプロセス変換手段で作成したプロセス変換情報を格納するプロセス変換情報格納手段とを備え、前記プロセス変換手段は、メインチップ側およびハードマクロ側それぞれのレイヤー情報データとシュリンク情報データとを入力してプロセス変換に必要なレイヤー変換テーブル情報およびシュリンクテーブル情報を含むプロセス変換情報を作成する変換テーブル作成手段と、前記階層配置時の配置情報部分に前記プロセス変換情報を付加情報として付加する変換情報付加処理手段と、前記付加情報を基に前記ハードマクロパターンデータのプロセス変換を実行しその実行結果のハードマクロを搭載するメインチップのマスクパターンデータを外部記憶装置へ出力する変換処理手段とから構成されることを特徴とするマスクパターンデータ作成システム。
- 前記変換テーブル作成手段は、前記メインチップの製造プロセスに対応するレイヤー情報データをメインチップ側のレイヤー情報データ格納手段から読み込み、かつハードマクロパターンの製造プロセスに対応するレイヤー情報データを、ハードマクロ側のレイヤー情報データ格納手段から読み込み、読み込んだメインチップ側とハードマクロ側それぞれのレイヤー情報データから、互いに重複しない組合せで工程名を抽出し、その工程名にレイヤーデータを対応させた第1のレイヤー変換テーブル情報を、それぞれ前記プロセス変換情報格納手段へ出力するレイヤー変換テーブル情報出力機能と、前記メインチップの製造プロセスに対応するシュリンク情報データをメインチップ側のシュリンク情報データ格納手段から読み込み、かつハードマクロパターンの製造プロセスに対応するシュリンク情報データを、ハードマクロ側のシュリンク情報データ格納手段から読み込み、メインチップ側をシュリンクする前のシュリンク値を1倍とした場合のハードマクロ側のシュリンク値を求めたシュリンクテーブル情報をプロセス変換情報格納手段へ出力するシュリンクテーブル情報出力機能とを有するマ請求項1記載のスクパターンデータ作成システム。
- 前記変換情報付加処理手段は、前記プロセス変換情報格納手段から読み込んだ前記プロセス変換情報を、前記パターンデータ作成手段の前記配置情報として与えることにより前記付加情報として付加するハードマクロパターンの配置処理機能と、前記パターンデータ作成手段から読み込んだ前記描画処理および前記編集処理からなる一連の修正処理の操作履歴を、前記配置情報に付加情報として付加するハードマクロパターンの修正機能とを有する請求項1記載のマスクパターンデータ作成システム。
- 前記変換処理手段は、前記ハードマクロパターンの配置処理の場合、シュリンクテーブル情報に置かれたハードマクロパターンのシュリンク値を前記プロセス変換情報格納手段から読み出し、かつ一時記憶装置からもハードマクロパターンの最左下座標値と最右上座標値で決まるデータ領域を読み出し、そのデータ領域を前記ハードマクロパターンのシュリンク値で補正することにより、前記メインチップのシュリンク前のマスクパターン上に占める前記ハードマクロパターンのデータ領域を、該当する前記配置情報に含まれたデータ領域に置き換えて前記一時記憶装置に格納するハードマクロパターンの配置機能を有する請求項1記載のマスクパターンデータ作成システム。
- 前記ハードマクロパターンのシュリンク値はメインチップ側をシュリンクする前の補正値である請求項4記載のマスクパターンデータ作成システム。
- 前記変換処理手段は、出力処理の場合、一時記憶装置から読み込んだ前記ハードマクロパターンの配置情報に付加されている付加情報に基づき、前記プロセス変換情報格納手段に格納された前記レイヤー変換テーブル情報と前記シュリンクテーブル情報と修正履歴情報とを抽出するとともに、前記一時記憶装置から読み込んだ前記ハードマクロパターンの前記配置情報に対しては、前記修正履歴情報に基づき描画処理および編集処理の修正処理を施し、この修正された前記配置情報の各レイヤーを、前記レイヤー変換テーブル情報に基づき前記メインチップ側のレイヤーに変換し、このレイヤー変換後の前記配置情報を前記ハードマクロ側のシュリンク値に基づきシュリンクすることにより、前記ハードマクロパターンに対するプロセス変換を行い、さらに、このプロセス変換後の前記配置情報を前記メインチップのマスクパターンの下位階層に階層配置されている前記ハードマクロパターンに置き換えて前記一時記憶装置内に戻すことにより、その一時記憶装置に格納されているプロセス変換後の前記メインチップのマスクパターンを外部記憶装置へ出力するパターンデータ出力機能を有する請求項1記載のマスクパターンデータ作成システム。
- 前記第1のレイヤー情報テーブルに前記メインチップ側と前記ハードマクロ側のレイヤーの表示色設定データをさらに追加した第2のレイヤー情報テーブルを有し、この第2のレイヤー情報テーブルに基づき、前記パターンデータ作成手段およびこのパターンデータ作成手段に命令を与え、その処理結果を画面表示する制御手段は、外部の表示装置の画面に表示される部分が前記メインチップのマスクパターンデータ部分の場合は、メインチップ側の表示色設定をそのまま表示し、前記画面に表示される部分がハードマクロパターンデータ部分である場合は、レイヤー変換後の表示色で表示することにより、前記レイヤー変換後に同一工程となるレイヤーは、前記メインチップ側も前記ハードマクロ側も同一表示色で表示する制御を行う請求項2記載のマスクパターンデータ作成システム。
- 前記一時記憶装置に格納された前記ハードマクロパターンに対して前記パターンデータ作成手段により行う前記一連の修正作業は、前記ハードマクロパターンに直接修正を施さずに修正作業に応じて生じた前記ハードマクロパターンとの差分データを抽出して前記一時記憶装置に格納する差分データ抽出手段を有し、この差分データ抽出手段で行う修正により前記ハードマクロパターンと異なる派生ハードマクロパターンの発生が無く前記メインチップのマスクパターンデータと前記派生ハードマクロパターンデータとの形状の合わせ作業を不要にする請求項3記載のマスクパターンデータ作成システム。
- 前記変換情報付加処理手段は、前記プロセス変換情報格納手段および前記修正履歴の内容をテキストデータ化し、このテキストデータを前記配置情報の前記メインチップのマスクパターン上における座標と同一座標に前記付加情報として付加する請求項3記載のマスクパターンデータ作成システム。
- 前記変換情報付加処理手段は、前記プロセス変換情報格納手段および前記修正履歴それぞれの内容を前記一時記憶装置に格納し、その格納されている場所を示す所定の識別番号を、前記配置情報における前記メインチップのマスクパターン上での座標と同一座標に前記付加情報として付加する請求項3記載のマスクパターンデータ作成システム。
- 前記パターンデータ作成手段の配置処理において前記ハードマクロパターンを階層配置するときに、外部記憶装置から与えられる前記ハードマクロパターンの端子パターン部分を示す端子情報データに基づき前記ハードマクロパターンから端子パターン部分のみを抽出して端子パターンデータを作成する端子パターンデータ作成処理手段を前記プロセス変換手段にさらに備え、前記端子パターンデータ作成処理手段は、前記階層配置をするときには前記ハードマクロパターンを前記端子パターンデータに置き換えて配置し、前記メインチップのマスクパターンを前記外部記憶装置へ出力するときには置き換えてあった前記端子パターンデータを前記ハードマクロパターンに置換えて出力する請求項1記載のマスクパターンデータ作成システム。
- 前記変換情報付加処理手段は、前記配置情報に付加された前記プロセス変換情報と前記描画および前記編集処理を行ったときの修正履歴情報からなる付加情報を前記外部記憶装置に付加情報データとして入出力する付加情報入出力手段をさらに備え、前記付加情報データと前記外部記憶装置に出力された前記メインチップのマスクパターンデータと前記ハードマクロパターンデータとを再度入力することにより、前記ハードマクロパターンデータの前記プロセス変換を再現する請求項1記載のマスクパターンデータ作成システム。
- 複数のハードマクロを搭載するメインチップの製造プロセスとは異なる製造プロセスで作成されたハードマクロパターンデータを、前記メインチップの製造プロセスに変換して前記メインチップのマスクパターンデータの下位階層に階層配置するプロセス変換手段として、前記メインチップ側および前記ハードマクロ側のレイヤー情報データとシュリンク情報データとを入力し前記プロセス変換情報を作成する変換テーブル作成処理手段と、前記階層配置したときの配置情報部分に前記プロセス変換情報を付加情報として付加する変換情報付加処理手段と、前記付加情報を基に前記ハードマクロパターンデータのプロセス変換を実行しその実行結果のハードマクロを搭載するメインチップのマスクパターンデータを外部記憶装置へ出力する変換処理手段とを用いて、
前記メインチップの製造プロセスに対応する前記レイヤー情報データを読み込む前記メインチップ側のレイヤー情報入力処理ステップと、
前記ハードマクロの製造プロセスに対応する前記レイヤー情報データを読み込むハードマクロ側のレイヤー情報入力処理ステップと、
これらのレイヤー情報データの読み込みを、前記メインチップに搭載する所定のハードマクロが無くなるまで繰り返し実行し、全てのハードマクロの読み込みが終了すると次の処理ステップへ進む判断処理ステップと、
入力した前記メインチップ側およびハードマクロ側それぞれの前記レイヤー情報データから、互いに重複しない組合せで工程名を抽出するレイヤー変換テーブル作成処理ステップと、
対応関係の全ての工程名を抽出して記入した前記レイヤー変換テーブル情報を前記プロセス変換情報格納手段へ出力するレイヤー変換テーブル出力処理ステップと、
前記メインチップの製造プロセスに対応するシュリンク情報データを前記メインチップ側のシュリンク情報データ格納手段から読み込むメインチップ側のシュリンク情報入力処理ステップと、
前記ハードマクロパターンの製造プロセスに対応する前記シュリンク情報データを、前記ハードマクロ側のシュリンク情報データ格納手段から読み込むハードマクロ側のシュリンク情報入力処理ステップと、
これらのシュリンク情報データの読み込みを、前記メインチップに搭載する所定のハードマクロが無くなるまで繰り返し実行し、全てのハードマクロの読み込みが終了すると次の処理ステップへ進むシュリンク情報入力判断処理ステップと、前記メインチップ側のシュリンク値を1倍とした場合のハードマクロ側のシュリンク値を求めて前記シュリンクテーブル情報に置くシュリンクテーブル作成処理ステップと、
求めた前記シュリンクテーブル情報を前記プロセス変換情報格納手段へ出力するシュリンクテーブル出力処理ステップとからなる処理を実行してプロセス変換の変換テーブル作成処理を行うことを特徴とするマスクパターンデータ作成システムのデータ作成方法。 - 前記変換情報付加処理部における処理の種類が前記ハードマクロパターンの配置処理である場合は、前記プロセス変換情報格納手段から前記プロセス変換情報を読み込む変換情報入力処理ステップと、
前記プロセス変換情報格納手段から読み込んだ前記プロセス変換情報を前記配置情報として与えることにより付加情報として付加するための変換情報付加処理ステップと、
処理の種類が前記ハードマクロパターンの修正処理であるパターンデータを追加するための描画処理またはパターンデータを修正するための編集処理である場合は、前記パターンデータ作成手段における一連の前記修正処理の履歴が格納されている操作履歴格納手段から、操作履歴を読み込むための操作履歴入力処理ステップと、
前記操作履歴を前記配置情報に付加情報として付加するための操作履歴付加処理ステップとからなる処理を実行して変換情報付加処理を行う請求項13記載のマスクパターンデータ作成システムのデータ作成方法。 - 前記変換処理部の処理の種類がハードマクロパターンの配置処理である場合は、前記プロセス変換情報格納手段から前記シュリンクテーブル情報に置かれた前記ハードマクロパターンのシュリンク値を読むためのシュリンク情報入力処理ステップと、
前記ハードマクロパターンの最左下座標値と最右上座標値で決まるデータ領域を読み出すためのハードマクロ参照処理ステップと、
前記データ領域を前記ハードマクロパターンのシュリンク値で補正することにより、前記メインチップのシュリンク前のマスクパターン上において前記ハードマクロパターンが占める前記データ領域を得るためにデータ領域補正処理ステップと、
前記データ領域補正処理ステップで得られた前記データ領域を、該当する配置情報にあるデータ領域に置き換えるためのデータ領域置換処理を実行するとともに、実行結果を前記一時記憶装置に格納するデータ領域置換処理ステップとからなる処理を実行して変換処理を行う請求項13記載のマスクパターンデータ作成システムのデータ作成方法。 - 前記変換処理部の処理の種類が出力処理の場合は、前記一時記憶装置から前記ハードマクロパターンの前記配置情報に付加されている付加情報を読み込みその付加情報から前記プロセス変換情報格納手段の内容を抽出して前記プロセス変換に必要な前記レイヤー変換テーブル情報と前記シュリンクテーブル情報と前記修正履歴格納手段の内容とを得る変換情報抽出処理ステップと、
前記一時記憶装置から前記ハードマクロパターンのパターンデータを読み込むためのハードマクロ入力処理ステップと、
前記ハードマクロ入力処理で読み込んだハードマクロパターンのパターンデータに対して、前記パターンデータ作成手段における修正履歴格納手段に格納されている内容にしたがい描画処理および編集処理の修正処理ステップと、
前記レイヤー変換テーブル情報にしたがい前記修正処理後のパターンデータの各レイヤーを前記メインチップ側のレイヤーに変換するためのレイヤー変換処理ステップと、
前記シュリンクテーブル情報における前記ハードマクロ側のシュリンク値を用いて、前記レイヤー変換後のパターンデータをシュリンクするシュリンク処理ステップと、
前記メインチップのマスクパターンの下位階層に階層配置されている前記ハードマクロパターンを、延期プロセス変換処理後のパターンデータに前記一時記憶装置内で置き換えるためのハードマクロ置換処理ステップと、
前記一時記憶装置に格納されている前記メインチップのマスクパターンを前記外部記憶装置のマスクパターンデータ格納手段へ出力するパターンデータ出力処理ステップとからなる処理を実行して変換処理を行う請求項15記載のマスクパターンデータ作成システムのデータ作成方法。
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