JP3490732B2 - Manufacturing method of plastic aspherical microlens - Google Patents

Manufacturing method of plastic aspherical microlens

Info

Publication number
JP3490732B2
JP3490732B2 JP03113393A JP3113393A JP3490732B2 JP 3490732 B2 JP3490732 B2 JP 3490732B2 JP 03113393 A JP03113393 A JP 03113393A JP 3113393 A JP3113393 A JP 3113393A JP 3490732 B2 JP3490732 B2 JP 3490732B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
resin composition
flat
meth
photomask
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP03113393A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH06222202A (en
Inventor
泰 川原田
吉弘 魚津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Chemical Corp
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Chemical Corp, Mitsubishi Rayon Co Ltd filed Critical Mitsubishi Chemical Corp
Priority to JP03113393A priority Critical patent/JP3490732B2/en
Publication of JPH06222202A publication Critical patent/JPH06222202A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3490732B2 publication Critical patent/JP3490732B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は液晶ディスプレイや光通
信機器、光情報処理装置等に用いられるプラスチック製
非球面マイクロレンズの製造方法に関する。 【0002】 【従来の技術】ガラス板の片面に微小な凸状レンズ部を
有する非球面マイクロレンズの発明が特開昭60−53
927号公報に示されている。 【0003】 【発明の解決しようとする課題】このガラス製のマイク
ロレンズは、Agなどの貴金属を含むガラス板のレンズ部
形成部以外のところに、紫外線を照射した後、熱処理を
加えると、感光した部分のガラスが結晶化する。結晶化
した部分のAgのコロイド微粒子による光吸収のため、こ
の部分は不透明になる。同時に密度変化を生じ、紫外線
未照射部分の透明なガラスは、結晶化した回りの部分の
応力により表面部分が非球面状に盛り上がり、レンズを
形成するという原理にて作られる。 【0004】この方法ではガラス板の熱処理を非常に高
い温度で処理することが必要で、複雑な工程を用いなけ
ればならない。またAgなどの貴金属を含むガラス板が必
要なため、高価なマイクロレンズとなり、その用途開発
に困難をきたしている。プラスチックでこのようなレン
ズを作製する方法としては、金型を用いた射出成型法や
鋳込み成形法をとり得るが、平板面内に形成するレンズ
部の凸面間の光軸対称性をだすのが非常に困難であり、
レンズ部以外の光吸収層を形成できない等の問題点があ
った。 【0005】 【課題を解決するための手段】本発明者等は、重合体
(A) と該重合体(A) を溶解させ、かつ、光重合可能な単
量体(B) とからなる平板状の樹脂組成物に、平行光を照
射すると光の照射方向にそって平板内に層構造が形成さ
れることにより、光を散乱させる半透明体になることを
利用し、図2のようなフォトマスクを平板状の樹脂組成
物にかけて、平行光を照射して平板の光照射部を半透明
状に重合硬化を行った。この際、平板状の樹脂組成物の
光照射部は重合収縮し、未硬化の部分を凹状にすること
ができる。その後、平板面よりフォトマスクを除き、樹
脂組成物の未硬化の円形部分に拡散光を照射して透明に
硬化することにより、本発明の図1の断面図に示すよう
な光散乱部と平面の少なくとも片面が凹状で、光軸対称
性を有するマイクロレンズ部とからなるプラスチック製
非球面マイクロレンズを開発することに成功した。 【0006】本発明においては、平板状樹脂組成物の光
拡散部の形成に平行光を利用しているため、非常に良好
な光軸対称性を有するレンズを得ることができる。 【0007】本発明を実施するに際して用いる単量体
(B) は、光重合可能であることが必要であり、その中で
もラジカル重合性のものが最適である。このラジカル光
重合性の単量体の具体例としては、メチルメタクリレー
ト、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレ
ート、2,2,3,3,4,4,5,5-オクタフルオロプロピル(メ
タ)アクリレート、2,2,3,4,4,4-ヘキサフルオロプロピ
ル(メタ)アクリレート、2,2,2-トリフルオロエチル
(メタ)アクリレート等のフッ素化アルキル(メタ)ア
クリレート(n=1.37〜1.44)、屈折率1.43〜1.62の(メ
タ)アクリレート類、例えばエチル(メタ)アクリレー
ト、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)
アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレー
ト、アルキレングリコールジ(メタ)アクリレート、ト
リメチロールプロパンジまたはトリ(メタ)アクリレー
ト、ペンタエリスリトールジ、トリまたはテトラ(メ
タ)アクリレート、ジグリセリンテトラ(メタ)アクリ
レート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリ
レートなどのほか、ジエチレングリコールビスアリルカ
ーボネート、フッ素化アルキレングリコールポリ(メ
タ)アクリレート、ウレタン系(メタ)アクリレートな
どが挙げられ、これら単量体は単独で、あるいは2種以
上組合せて用いることができ、さらにスチレン、クロル
スチレン、酢酸ビニル等をも併用することができる。 【0008】また、これらの単量体(B) を光重合するた
めに用いる光開始型触媒としては、ベンゾフェノン、ベ
ンゾインアルキルエーテル、4'−イソプロピル−2-ヒド
ロキシ−2-メチル−プロピオフェノン、1-ヒドロキシシ
クロヘキシルフェニルケトン、ベンジルメチルケター
ル、2,2-ジエトキシアセトフェノン、クロロチオキサン
トン、チオキサントン系化合物、ベンゾフェノン系化合
物、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミ
ノ安息香酸イソアミル、N-メチルジエタノールアミン、
トリエチルアミンなどが挙げられる。 【0009】また、単量体(B) の重合をより効率よく完
結させるために、熱開始型触媒を混入することも可能で
ある。この熱開始型触媒としては、普通パーオキサイド
系触媒が用いられる。 【0010】本発明に用いる重合体(A) としては、前記
した単量体(B) に可溶なものであればいかなる重合体を
も用いることができる。その具体例としては、ポリメチ
ルメタクリレート(n=1.49)、ポリメチルメタクリレー
ト系コポリマ(n=1.47〜1.50)、ポリ−4-メチルペンテ
ン-1(n=1.46)、エチレン/酢酸ビニルコポリマ(n=1.
46〜1.50)、ポリカーボネート(n=1.50〜1.57)、ポリ
フッ化ビニリデン(n=1.42)、フッ化ビニリデン/テト
ラフルオロエチレンコポリマ(n=1.42〜1.46)、フッ化
ビニリデン/テトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロ
プロペンコポリマ(n=1.40〜1.46)、ポリフッ化アルキ
ル(メタ)アクリレートポリマなどが挙げられる。 【0011】本発明で用いる樹脂組成物は平板状に賦形
する必要があり、室温での粘度は10,000ポイズ以上、好
ましくは25,000ポイズ以上であることが好ましい。 【0012】本発明の平板状樹脂組成物を硬化するのに
用いる光源としては、炭素アーク灯、高圧水銀灯、超高
圧水銀灯、低圧水銀灯、ケミカルランプ、キセノンラン
プ、メタルハライドランプ、レーザ光等を具体例として
挙げることができるが、第1の工程において用いる平行
光を得るには、これら光源よりの光を必ずコリメートレ
ンズを通して平行光にしてから本発明で用いる樹脂組成
物に照射することが必要である。 【0013】 【発明の効果】本発明は未だ開発されたことのない図1
に示すような光散乱部と、平面の少なくとも片面が凹状
で、光軸対称性を有する透明なマイクロレンズ部とから
なるプラスチック製非球面マイクロレンズおよびその製
造方法にある。本発明におけるプラスチック製マイクロ
レンズは、ガラス製のものと比較し、非常に簡便な方法
で作製でき、またガラス製のものと比べコンパクトであ
り、かつ、軽量である。さらにはその製造コストも非常
に安いものとなっている。 【0014】以下、実施例により本発明をさらに詳細に
説明する。 【0015】 【実施例1】ポリメチルメタクリレート50重量部、ベン
ジルメタクリレート10重量部、メチルメタクリレート33
重量部、2,2,3,3,4,4,5,5-オクタフルオロペンチルメタ
クリレート7重量部、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェ
ニルケトン0.25重量部からなる混合物を、70℃にて加熱
混練して溶解させた。樹脂組成物(25℃での粘度は10万
ポイズである)をポリエステルフィルムに挟み、厚さ0.
5mm の平板状に賦形した。この平板状賦形物にクロム蒸
着し、円形部を光不透過にした直径1mmのマスク部を有
するフォトマスクをかけ、平行光束型光源装置(ウシオ
電機製UT-501C)を用い紫外線を照射した。この時の照射
強度は30mW/cm2であり、照射時間は20分間であった。こ
の時、平行光を照射した部分は半透明となるとともに、
重合収縮を起こし、フォトマスクの部分が凹状となっ
た。この後、さらにフォトマスクを取り除き、40Wのケ
ミカルランプを照射し、未硬化部を重合硬化させると、
凹状部を保持したまま透明に硬化できた。作製した両面
凹状物はレンズ機能を有していた。この凹状部のくぼみ
深さは、平面部から両側で約25μmであった。 【0016】 【実施例2】実施例1で用いたものと同じ樹脂組成物を
用い、この樹脂組成物をポリエステルフィルムに挟み、
直径5cm、厚さ0.5mm の平板状に賦形した。この平板状
賦形物に、直径 650μm、ピッチ間隔 800μmの多数の
円形部を光不透過にしたマスク部を有するフォトマスク
をかけ、その後、実施例1と同様の操作を行った。得ら
れたマイクロレンズのレンズ部は直径 650μmであり、
レンズ間ピッチは 800μm、レンズ部の凹面のくぼみ深
さ27μmの平板状レンズアレイが作製できた。それぞれ
のレンズは均一な性能を有していた。 【0017】 【実施例3】実施例1で用いたものと同じ樹脂組成物を
ポリエステルフィルムに挟み、厚さ1.0mm の平板状物と
した。実施例1で用いたものと同じフォトマスクを、上
記平板状樹脂組成物面にかけ、実施例1と同様の操作に
より樹脂組成物の光硬化処理を行った。この時、実施例
1と同じ型の非球面マイクロレンズが作製できたが、凹
面のくぼみ深さは32μmであった。 【0018】 【比較例1】実施例1で作製したものと同様のポリエス
テルフィルムで挟んだ厚さ0.5mm の平板状樹脂組成物面
に実施例1で用いたものと同じフォトマスクをかけ、40
Wのケミカルランプで散乱光の光照射を20分間行った結
果、マスク部には凹面の形成は見られず、また光照射部
の不透明部の形成もなかった。 【0019】 【実施例4】ポリメチルメタクリレート50重量部、メチ
ルメタクリレート30重量部、2,2,3,3-テトラフルオロプ
ロピルメタクリレート20重量部、1-ヒドロキシシクロヘ
キシルフェニルケトン0.25重量部からなる樹脂混合物
を、65℃にて加熱混練して溶解させて樹脂組成物を作製
した。この樹脂組成物は25℃で粘度が12.5万ポイズであ
った。この樹脂組成物をポリエステルフィルム間に挟
み、直径6cm、厚さ0.5mmの平板状に賦形した。この平
板状賦形物に、直径 350μmの小円のマスク部をピッチ
390μmで多数設けたフォトマスクをかけ、その後、実
施例1と同様にして平行光の照射および散乱光の照射を
行った。レンズ部の直径は 350μmで、そのピッチは 3
90μmであり、レンズ凹面のくぼみ深さは20μmの平板
状レンズアレイが作製できた。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display, an optical communication device, an optical information processing device and the like .
The present invention relates to a method for manufacturing an aspherical micro lens . 2. Description of the Related Art An aspherical microlens having a minute convex lens portion on one side of a glass plate has been disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-53 / 1985.
No. 927. [0003] The glass microlens is exposed to ultraviolet light and then heat-treated after irradiating ultraviolet rays to a portion other than a lens portion forming portion of a glass plate containing a noble metal such as Ag. The portion of the glass crystallized. This portion becomes opaque due to light absorption by the colloidal fine particles of Ag in the crystallized portion. At the same time, the density changes, and the transparent glass in the unirradiated portion is made on the principle that the surface portion rises aspherically due to the stress around the crystallized portion to form a lens. [0004] In this method, the heat treatment of the glass sheet needs to be performed at a very high temperature, and a complicated process must be used. In addition, since a glass plate containing a noble metal such as Ag is required, it becomes an expensive microlens, and it is difficult to develop its use. As a method for producing such a lens using plastic, an injection molding method or a casting method using a mold can be used, but it is necessary to obtain optical axis symmetry between convex surfaces of a lens portion formed in a flat plate surface. Very difficult,
There was a problem that a light absorbing layer other than the lens portion could not be formed. [0005] The present inventors have proposed a polymer
When a flat resin composition comprising (A) and the polymer (A) dissolved and containing a photopolymerizable monomer (B) is irradiated with parallel light, a flat plate is formed along the light irradiation direction. Utilizing the fact that a layer structure is formed therein to form a translucent body that scatters light, a photomask as shown in FIG. The irradiation part was polymerized and cured in a translucent state. At this time, the light irradiation portion of the flat resin composition undergoes polymerization shrinkage, and the uncured portion can be made concave. Thereafter, the photomask is removed from the flat surface, and the uncured circular portion of the resin composition is irradiated with diffused light and cured transparently, so that the light scattering portion and the flat surface as shown in the sectional view of FIG. Has a microlens portion having at least one concave surface and optical axis symmetry, and succeeded in developing a plastic aspherical microlens. In the present invention, since parallel light is used for forming the light diffusing portion of the flat resin composition, a lens having very good optical axis symmetry can be obtained. [0007] Monomers used in carrying out the present invention
(B) needs to be photopolymerizable, and among them, radical polymerizable one is most suitable. Specific examples of the radical photopolymerizable monomer include methyl methacrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, 2,2,3,3,4,4,5,5- Fluorinated alkyl (meth) acrylates such as octafluoropropyl (meth) acrylate, 2,2,3,4,4,4-hexafluoropropyl (meth) acrylate, and 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate (N = 1.37 to 1.44), (meth) acrylates having a refractive index of 1.43 to 1.62, for example, ethyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth)
Acrylate, hydroxyalkyl (meth) acrylate, alkylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di or tri (meth) acrylate, pentaerythritol di, tri or tetra (meth) acrylate, diglycerin tetra (meth) acrylate, dipenta In addition to erythritol hexa (meth) acrylate and the like, diethylene glycol bisallyl carbonate, fluorinated alkylene glycol poly (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate and the like can be mentioned, and these monomers can be used alone or in combination of two or more kinds. It can be used, and styrene, chlorostyrene, vinyl acetate and the like can be used together. The photoinitiated catalysts used for photopolymerizing these monomers (B) include benzophenone, benzoin alkyl ether, 4'-isopropyl-2-hydroxy-2-methyl-propiophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, benzyl methyl ketal, 2,2-diethoxyacetophenone, chlorothioxanthone, thioxanthone compounds, benzophenone compounds, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, N-methyldiethanolamine ,
Triethylamine and the like. In order to complete the polymerization of the monomer (B) more efficiently, it is possible to mix a heat-initiated catalyst. As the heat-initiated catalyst, a peroxide catalyst is usually used. As the polymer (A) used in the present invention, any polymer can be used as long as it is soluble in the above-mentioned monomer (B). Specific examples thereof include polymethyl methacrylate (n = 1.49), polymethyl methacrylate-based copolymer (n = 1.47 to 1.50), poly-4-methylpentene-1 (n = 1.46), and ethylene / vinyl acetate copolymer (n = 1.
46-1.50), polycarbonate (n = 1.50-1.57), polyvinylidene fluoride (n = 1.42), vinylidene fluoride / tetrafluoroethylene copolymer (n = 1.42-1.46), vinylidene fluoride / tetrafluoroethylene / hexafluoropropene Copolymers (n = 1.40 to 1.46), polyfluorinated alkyl (meth) acrylate polymers, and the like. The resin composition used in the present invention must be formed into a flat plate, and has a viscosity at room temperature of 10,000 poise or more, preferably 25,000 poise or more. Examples of the light source used for curing the flat resin composition of the present invention include a carbon arc lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a chemical lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp, and a laser beam. However, in order to obtain the parallel light used in the first step, it is necessary to irradiate the resin composition used in the present invention after making the light from these light sources into parallel light without fail through a collimating lens. . The present invention has not yet been developed.
And an aspherical microlens made of plastic comprising a light scattering portion as shown in (1) and a transparent microlens portion having at least one flat surface concave and having optical axis symmetry, and a method of manufacturing the same. The plastic microlens according to the present invention can be manufactured by a very simple method as compared with a glass microlens, and is more compact and lighter than a glass microlens. Furthermore, the manufacturing cost is very low. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. EXAMPLE 1 50 parts by weight of polymethyl methacrylate, 10 parts by weight of benzyl methacrylate, 33 parts of methyl methacrylate
A mixture consisting of 7 parts by weight of 2,2,3,3,4,4,5,5-octafluoropentyl methacrylate and 0.25 part by weight of 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone was heated and kneaded at 70 ° C. to dissolve the mixture. I let it. A resin composition (having a viscosity of 100,000 poise at 25 ° C.) is sandwiched between polyester films and has a thickness of 0.1
It was shaped into a 5 mm flat plate. Chromium was vapor-deposited on the flat shaped article, and a photomask having a mask section with a diameter of 1 mm in which a circular portion was made light-opaque was applied, and ultraviolet rays were irradiated using a parallel light source device (UT-501C manufactured by Ushio Inc.). . At this time, the irradiation intensity was 30 mW / cm 2 , and the irradiation time was 20 minutes. At this time, the part irradiated with the parallel light becomes translucent,
Polymerization shrinkage occurred, and the portion of the photomask became concave. Thereafter, the photomask is further removed, and a 40 W chemical lamp is irradiated to polymerize and cure the uncured portion.
Transparent curing was possible while maintaining the concave portion. The produced double-sided concave object had a lens function. The concave depth of the concave portion was about 25 μm on both sides from the flat portion. Example 2 The same resin composition as used in Example 1 was used, and this resin composition was sandwiched between polyester films.
It was shaped into a flat plate having a diameter of 5 cm and a thickness of 0.5 mm. A photomask having a mask portion in which a large number of circular portions having a diameter of 650 μm and a pitch interval of 800 μm were made opaque was applied to the flat shaped article, and then the same operation as in Example 1 was performed. The lens part of the obtained micro lens has a diameter of 650 μm,
A flat lens array having an inter-lens pitch of 800 μm and a concave depth of the concave portion of the lens portion of 27 μm was produced. Each lens had uniform performance. Example 3 The same resin composition as used in Example 1 was sandwiched between polyester films to obtain a flat plate having a thickness of 1.0 mm. The same photomask as that used in Example 1 was applied to the flat resin composition surface, and the resin composition was subjected to a photocuring treatment in the same manner as in Example 1. At this time, the same type of aspherical microlens as in Example 1 could be manufactured, but the concave depth of the concave surface was 32 μm. Comparative Example 1 The same photomask as that used in Example 1 was applied to the surface of a 0.5 mm-thick plate-like resin composition sandwiched between the same polyester films produced in Example 1,
As a result of irradiating scattered light with a W chemical lamp for 20 minutes, no concave surface was formed in the mask portion, and no opaque portion was formed in the light irradiated portion. EXAMPLE 4 A resin mixture comprising 50 parts by weight of polymethyl methacrylate, 30 parts by weight of methyl methacrylate, 20 parts by weight of 2,2,3,3-tetrafluoropropyl methacrylate, and 0.25 parts by weight of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone Was heated and kneaded at 65 ° C. and dissolved to prepare a resin composition. This resin composition had a viscosity of 125,000 poise at 25 ° C. This resin composition was sandwiched between polyester films and shaped into a flat plate having a diameter of 6 cm and a thickness of 0.5 mm. Pitch a small circular mask part with a diameter of 350 μm on this flat shaped object.
A large number of photomasks having a thickness of 390 μm were applied, and then irradiation of parallel light and irradiation of scattered light were performed in the same manner as in Example 1. The lens has a diameter of 350 μm and a pitch of 3
A flat lens array having a thickness of 90 μm and a concave depth of the lens concave surface of 20 μm was produced.

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明のマイクロレンズの一例を示す断面図で
ある。 【図2】本発明のマイクロレンズの一例を示す斜視図で
ある。 【図3】本発明で用いるフォトマスクの一例を示す平面
図である。 【符号の説明】 1 ………… 凹レンズ部 2 ………… 光拡散部 3 ………… フォトマスクのマスク部 4 ………… フォトマスクの光透過部
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a sectional view showing an example of a microlens of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing an example of the microlens of the present invention. FIG. 3 is a plan view illustrating an example of a photomask used in the present invention. [Description of Signs] 1... Concave lens portion 2... Light diffusion portion 3... Photomask mask portion 4... Photomask light transmission portion

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−160608(JP,A) 特開 昭63−153501(JP,A) 特開 昭60−53927(JP,A) 特開 昭64−40903(JP,A) 特開 昭64−40946(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 1/00 - 1/08 G02B 3/00 - 3/14 Continuation of front page (56) References JP-A-6-160608 (JP, A) JP-A-63-153501 (JP, A) JP-A-60-53927 (JP, A) JP-A-64-40903 (JP) , A) JP-A-64-40946 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 1/00-1/08 G02B 3/00-3/14

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 重合体(A)と該重合体(A)を溶解す
ることができ、かつ、光重合可能な単量体(B)との樹
脂組成物を賦形した平板面に、小円状のマスク部を有す
るフォトマスクをかけて、平行光を照射して平板に光散
乱部を形成した後、フォトマスクを除いた状態で平板に
散乱光を照射して、平板面の少なくとも片面が凹状で光
軸対称性を有し両面の合計の深さが20μm以上の透明
な凹レンズ部を形成せしめることを特徴とするプラスチ
ック製非球面マイクロレンズの製造方法。
(57) [Claim 1] A resin composition of a polymer (A) and a photopolymerizable monomer (B) capable of dissolving the polymer (A) After applying a photomask having a small circular mask portion to the flat plate surface on which is shaped, irradiating parallel light to form a light scattering portion on the flat plate, the scattered light is applied to the flat plate without the photomask. A method for producing a plastic aspherical microlens, comprising irradiating to form a transparent concave lens portion in which at least one of the flat surfaces is concave, has optical axis symmetry, and the total depth of both surfaces is 20 μm or more. .
JP03113393A 1993-01-28 1993-01-28 Manufacturing method of plastic aspherical microlens Expired - Fee Related JP3490732B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03113393A JP3490732B2 (en) 1993-01-28 1993-01-28 Manufacturing method of plastic aspherical microlens

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03113393A JP3490732B2 (en) 1993-01-28 1993-01-28 Manufacturing method of plastic aspherical microlens

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06222202A JPH06222202A (en) 1994-08-12
JP3490732B2 true JP3490732B2 (en) 2004-01-26

Family

ID=12322936

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03113393A Expired - Fee Related JP3490732B2 (en) 1993-01-28 1993-01-28 Manufacturing method of plastic aspherical microlens

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3490732B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG63687A1 (en) * 1996-01-10 1999-03-30 Sumitomo Chemical Co A microlens-array production method thereof and liquid crystal display device using the same
US9784902B2 (en) 2013-03-25 2017-10-10 3M Innovative Properties Company Dual-sided film with split light spreading structures

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06222202A (en) 1994-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2704047B2 (en) Method of fabricating an array of tapered photopolymerized waveguides
EP0941502B1 (en) Optical structures for diffusing light
WO1996021884A1 (en) Display screen device with array of tapered waveguides
JPH0618739A (en) Production of waveguide
JPS5971830A (en) Manufacture of lens of refractive index distribution type
JP3490732B2 (en) Manufacturing method of plastic aspherical microlens
JP2945939B2 (en) Manufacturing method of light control plate
JP3494672B2 (en) Method for manufacturing plastic aspheric cylindrical lens
JP2002267805A (en) Lens film
JP4423200B2 (en) Apparatus for generating substantially collimated light and method for curing a photopolymerizable layer using the apparatus
JP3504683B2 (en) Method of forming lens region, lens and lens array plate
JP3800685B2 (en) Optical element manufacturing method
JPH06208008A (en) Plastic aspherical microlens and its production
JPH06160608A (en) Aspherical microlens made of plastic and its production
JPH0675105A (en) Lens array plate and its production
JPH06160609A (en) Biconcave faced cylindrical lens made of plastic and its production
JPH06208010A (en) Plastic cylindrical lens and its production
JP3370382B2 (en) Manufacturing method of plastic patterned board
JPS59204519A (en) Preparation of synthetic resin plane lens
JP3335681B2 (en) Resin excipients and their manufacturing method
JP2533859B2 (en) Optical photosensitive resin composition
JP2601832B2 (en) Manufacturing method of patterned board
JPS6153031A (en) Manufacture of refractive index distributed type micro lens
JPH063506A (en) Production of lens and production of lens array plate
JPH03107901A (en) Production of light control plate

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081107

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees