JP3486723B2 - 半導体メモリ装置 - Google Patents

半導体メモリ装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0010】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリ装置
に係り、特にダイナミックランダムアクセスメモリ等の
メモリデバイスに関する。
【0020】
【従来の技術】64メガビットクラスのダイナミックラ
ンダムアクセスメモリ(DRAM)においては、チップ
面積の増大による抵抗容量の増大およびこれに起因する
信号伝搬遅延時間の増大がメモリアクセス速度を制限す
る大きな要因となっている。
【0030】図6〜図12を参照して超大規模集積回路
(ULSI)のDRAMにおける従来のアーキテクチャ
を説明する。図6は4M×16ビット構成の64MDR
AMにおける一標準のピン配置図を示し、図7はこのD
RAM内のデータ入出力用のボンドパッドと各対応する
ピンとの接続関係を示す。図8はこの種DRAMにおけ
る従来のメモリ・アレイ・マット配置構造およびデータ
入出力線の配線構造を示し、図9は従来のメモリ・ブロ
ック配置構造およびデータ入出力線の配線構造を示す。
図10はメモリブロック内の要部の構成とメモリアクセ
ス制御回路の構成を示し、図11は従来におけるメモリ
アクセス制御回路の配置位置および配線構成を示し、図
12は従来におけるメモリアクセス時の各部の信号また
はデータの波形またはタイミングを示す。
【0040】図6に示すように、この64MDRAMで
はデータ入出力用の16個のピンDQ0 〜DQ15がLS
Iパッケージ10の上半部に集められている。LSIパ
ッケージ100の上半部の左側面には8個のピンDQ0
,DQ1 ,DQ2 ,DQ3 ,DQ4 ,DQ6 ,DQ7
がこの順に上から下へ一列に配置され、パッケージ10
0の上半部の右側面には8個のピンDQ8 ,DQ9 ,D
Q10,DQ11,DQ12,DQ13,DQ14,DQ15がこの
順に下から上へ一列に配置されている。
【0050】なお、他のピンのうち、VCC,VSSは電源
電圧または基準電圧入力用のピン、/WE,/RAS,
/LCAS,/OEおよび/UCASは各種制御信号入
力用のピン、A0 〜A12はアドレス入力用のピンであ
る。
【0060】このDRAMでは、一時に16ビット構成
の1個のデータが各ビット・データ毎にピンDQ0〜
Q15でパラレルに入出力されるようになっている。たと
えば16ビットのデータにおけるビット配列構成を[d
0,d1,d2,…d14,d15]とすると、最上位のビット
・データd0はピンDQ0で入出力され、第2番目の上位
のビット・データd1はピンDQ1で入出力され、……、
最下位のビット・データd15はピンDQ15で入出力され
るようになっている。
【0070】図7に示すように、この64MDRAMを
搭載する半導体チップ12の表装面の中央部には縦一列
にボンドパッドDQ0 ,DQ15,……,Vss,VCC が
配置されている。これらのパッドは、ワイヤ14および
リードフレーム16を介してそれぞれ対応するピンに接
続されている。ビット・データ入出力用のパッドDQに
注目してみると、両側(左右)のピン配列順序に対応し
て上から順に一列にDQ0 ,DQ15,DQ1 ,DQ14,
DQ2 ,DQ13,DQ3 ,DQ12,DQ4 ,DQ11,D
Q5 ,DQ10,DQ6 ,DQ9 ,DQ7 ,DQ8 が配置
されている。このようなビット・データ入出力用パッド
DQ0 〜DQ15の配置場所および配列順序は、それらの
パッドとそれぞれ対応するフレームリードないしピンと
を連絡するワイヤ14,14が互いに交差(ショート)
しないようにするためであり、ピンの配置場所および配
列順序に対応して必然的に定まるものである。
【0080】なお、図7において、アドレス信号を入力
するためのパッド(アドレスパッド)A0 〜A12は、ア
ドレスピンA0 〜A12の配置場所および配列順序に対応
してチップ12の下部の中心部に上からA12, A0 ,A
11,A1 ,…,A7 ,A5 ,A6 の順序で一列に配置さ
れている。
【0090】図8に示すように、この64MDRAMの
半導体チップには、横一列に4個のメモリアレイ・マッ
トMM0 〜MM3 が上下2段に配置されている。上下で
相対向する一対のメモリアレイ・マット(たとえば上部
のMM0 と下部のMM0 )はロウ・アドレスの割り付け
が相違するだけで、実質的には一体のメモリアレイ・マ
ットとして扱われる。図8において、左半部(L−si
de)および右半部(R−side)は、ほぼ図6のパ
ッケージ10または図7の半導体チップ12の下半部お
よび上半部にそれぞれ対応している。
【0100】各メモリアレイ・マットMMK (k=0,
1,2,3)は、各々が125Kビット容量を有する6
4個のメモリアレイMRをマトリクス状に配置してな
り、全体で8メガビットの記憶容量を有している。各メ
モリアレイ・マットMMk には各々が2列(16個)の
メモリアレイMRからなる4個のメモリブロックMBn
(n=0,1,…,15)が設けられており、チップの
中心軸線またはパッド配置位置側から見て各メモリブロ
ックMBn の正面部にメインアンプMAn が設けられて
いる。
【0110】図9に示すように、これら16個のメモリ
ブロックMB0 〜MB15は、共通のロウ・アドレス信号
AXおよびカラム・アドレス信号AYによって同時にア
ドレス指定され、一時に16ビットのデータ[d0 〜d
15]を書き込み、または読み出すようになっている。こ
うして、第1のメモリブロックMB0 は最上位のビット
・データd0 を格納し、第2のメモリブロックMB1 は
第2番目の上位のビット・データd1 を格納し、…、第
16のメモリブロックMB15は最下位のビット・データ
d15を格納する。
【0120】各メインアンプMAn は、各対応するグロ
ーバルI/OラインGLn を介して各対応するビット・
データdn の入出力用のパッドDQn に接続されてい
る。データの書き込み時には、外部よりパッドDQn に
入力されたビット・データdnが、グローバルI/Oラ
インGLn を介してメインアンプMAn に転送されたの
ち、メインアンプMAn 内のバッファから内部データ入
出力線およびセンスアンプを経由してアドレス信号A
X,AYによりアドレス指定されたメモリブロックMB
n 内の記憶位置に書き込まれるようになっている。
【0130】データの読み出し時には、アドレス信号A
X,AYによりアドレス指定されたメモリブロックMB
n 内の記憶位置からビット線上に読み出されたビット・
データが、センスアンプおよび内部データ入出力線を介
してメインアンプMAn に転送され、そこで増幅された
後、メインアンプMAn 内のバッファからグローバルI
/OラインGLn を介してパッドDQn に転送されるよ
うになっている。
【0140】図10に示すように、各メモリブロックM
Bn におけるメモリアクセスは、主としてアドレスバッ
ファ20、アドレス遷移検出回路(ATD)22、メイ
ンアンプ制御回路(MAC)24、メインアンプ・イコ
ライズ制御回路(MAEQ)26およびカラムアドレス
・プリデコーダ(YS)28からなる全メモリブロック
共通のメモリアクセス制御回路によって制御される。
【0150】図11に示すように、このメモリアクセス
制御回路の各部20〜28は、アドレスパッドA12〜A
6 の付近に設けられている。
【0160】図12のタイミング図につきこのDRAM
におけるデータ読み出しのメモリアクセス時の各部の動
作を説明する。
【0170】このDRAMからデータが読み出されると
きは、メモリアドレス信号と一緒にロウ・アドレス・ス
トローブ信号RAS- およびカラム・アドレス・ストロ
ーブ信号CAS- が与えられる。
【0180】先ず、RAS- がイネーブル状態になるこ
とで(図12の(A) )、各メモリアレイMRにおいて各
ビット線のプリチャージが終了するとともに、少し遅れ
てロウ・アドレス信号AXi がXアドレスデコーダ(図
示せず)に取り込まれ(図12の(C) )、このロウ・ア
ドレス信号AXi によって指定される行のワード線WL
i が活性化される。このワード線WLi が活性化される
ことで、これに接続されている各メモリセルの記憶情報
(データ)がビット線BL上に読み出され、読み出され
たデータはビット補線BL- 上の相補的なデータと一緒
に各行のセンスアンプSAに入力され、そこで差動増幅
される。
【0190】一方、アドレスバッファ20にカラム・ア
ドレス信号AYj が入力またはラッチされると(図12
の(C) )、これに応答してアドレス遷移検出回路22が
ATDパルス[ATD]を発生する(図12の(D) )。
【0200】プリデコーダ28は、アドレスバッファ2
0からのカラム・アドレス信号[AYj ]をATDパル
ス[ATD]に応答してプリデコードし、プリデコード
信号[PYj ]を各メモリブロックMBn に割り当てら
れているYアドレスデコーダYDn に与える。各Yアド
レスデコーダYDj は、プリデコード信号[PYj ]を
デコードし、カラム・アドレス信号[AYj ]によって
指定された列のYアドレス線YSj を立ち上げて所定時
間活性化する(図12の(E) )。
【0210】各メモリブロックMBn において、指定さ
れたYアドレス線YSj が活性化されることで、このY
アドレス線YSj に接続されたセンスアンプSAj の出
力トランスファゲートがオンし、このセンスアンプで増
幅された互いに相補的な一対の読出しデータ[IO],
[IO- ]がそれぞれメモリアレイMR内のローカルI
/OラインIO,IO- 上に出力される。
【0220】また、センスアンプSAj に接続されてい
るメモリアレイMR外部のIOスイッチ30もオンし、
センスアンプSAj からのメモリ読出しデータ[I
O],[IO- ]はIOスイッチ30およびメモリブロ
ックMB内の内部データ入出力線MIO,MIO- を介
してメインアンプMAn へ送られる。
【0230】一方、メインアンプ制御回路24は、アド
レス遷移検出回路22からのATDパルス[ATD]に
応答して、各メインアンプMAn を活性化させるための
MACパルス[MAC]を発生する(図12の(F) )。
また、この[MAC]が立ち上がるのとほぼ同時または
直前に、メインアンプ・イコライズ制御回路26よりM
AEQパルス[MAEQ]が発生される(図12の(G)
)。このMAEQパルス[MAEQ]は、各メインア
ンプMAn 内の所定の節点をイコライズ(短絡状態)し
て実質的な増幅動作を止めておくためのイコライズ制御
信号である。
【0240】しかして、[MAEQ]が立ち下がると、
各メインアンプMAj はセンスアンプからのメモリ読出
しデータに対する増幅動作を開始し、所定電圧レベルの
相補的なメモリ読出しデータを出力する(図12の(I)
)。各メインアンプMAn から出力されたメモリ読出
しデータGIO,GIO- は、各対応するグローバルI
/O線GLn を介してビット・データ入出力パッドDQ
0 〜DQ15付近に設けられている出力バッファ32に転
送され(図12の(J) )、この出力バッファ32からビ
ット・データdn が各対応するパッドDQn へ出力され
る(図12の(L))。なお、[MAC]がディセイブル
状態になると、各メインアンプMCn の動作は終了す
る。
【0250】
【発明が解決しようとする課題】図11に示すように、
従来のこの種DRAMにおいては、ピン配置の規格上か
らビット・データ入出力用パッドDQ0 〜DQ15が半導
体チップ12の片側部分に所定の順序で一列に配置され
る一方で、複数ビットたとえば16ビット構成のデータ
[d0 ,d1 ,……,d15]について各桁のビット・デ
ータd0 〜d15をそれぞれ格納する複数個のメモリブロ
ックMB0 〜MB15がこの順序で、つまりビット・デー
タの桁の順序に対応した順序で、半導体チップ12のほ
ぼ全領域にわたってパッドと同方向に一列に配置されて
いる。
【0260】ここで、各対応するビット・データ入出力
用のパッドDQn とメインアンプMAn とを結ぶグロー
バルI/OラインGLn の長さまたは配線距離に注目し
てみる。
【0270】そうすると、図8および図9において右か
ら左へ向かって順に配置された組(第1の組)に属する
8個のパッド[DQ0 ,DQ1 ,DQ2 ,DQ3 ,DQ
4 ,DQ5 ,DQ6 ,DQ7 ]とそれぞれ対応する左半
部(L−side)のメインアンプMA0 ,MA1 ,M
A2 ,MA3 ,MA4 ,MA5 ,MA6 ,MA7 とを相
互に結ぶグローバルI/OラインGL0 ,GL1 ,GL
2 ,GL3 ,GL4 ,GL5 ,GL6 ,GL7 は、それ
ぞれの配線距離にバラツキがあり、負荷容量は配列順と
逆の順に大きくなっている。特に、右端の第1のパッド
DQ0 と左端の第1のメインアンプMA0 とを結ぶ第1
のグローバルI/OラインGL0 は配線距離が最も長
く、負荷容量は極めて大きい。
【0280】一方で、図8および図9において左から右
へ向かって順に配置された第2の組に属する8個のパッ
ド[DQ8 ,DQ9 ,DQ10,DQ11,DQ12,DQ1
3,DQ14,DQ15]とそれぞれ対応する右半部(R−
side)のメインアンプMA8 ,MA9 ,MA10,M
A11,MA12,MA13,MA14,MA15とを相互に結ぶ
グローバルI/OラインGL8 ,GL9 ,GL10,GL
11,GL12,GL13,GL14,GL15は、ほぼ均一で短
い配線距離を有し、各々の負荷容量は小さい。
【0290】上記のように、従来のDRAMでは、グロ
ーバルI/OラインGLn の配線距離ないし負荷容量に
相当のバラツキがあり、とりわけ第1のグローバルI/
OラインGL0 の配線距離および負荷容量が極めて大き
いため、メインアンプMAからパッドDQへの全体的な
所要信号伝搬時間を律則し、メモリアクセス速度を制限
していた。
【0300】さらに、メモリアクセス時に、アドレス遷
移検出回路22よりATDパルス[ATD]が出力され
てから各メモリブロックMBn でYアドレス線YSが立
ち上がるまでの遅延時間Ta は、プリデコーダ28から
各メモリブロックMBn までの配線距離によって異な
り、左端の第1のメモリブロックMB1 では最も短く、
右端の第16のメモリブロックMB15では最も長い。し
たがって、各メモリブロックMBn でアドレス指定され
た記憶位置(メモリセルMC)から読み出されたデータ
が各メインアンプMAn に送られてくるまでの時間に相
当のバラツキがある。
【0310】このような信号伝搬遅延時間のバラツキに
拘らず全てのメモリブロックMB0〜MB15でメインア
ンプMA0 〜MA15がそれぞれの読出しデータを適時に
増幅できるようにするため、メインアンプ制御回路24
およびメインアンプ・イコライズ制御回路26でそれぞ
れ生成されるMACパルス[MAC],[MAEQ]の
パルス幅Tb ,Tc を大きな幅に設定し、各メインアン
プMAj の動作時間に相当のマージンをもたせていた。
しかし、このようにメインアンプMAを必要以上に長い
時間動作させることは、メインアンプMAの消費電力を
増大させるだけでなく、メモリアクセス時間の増大をも
たらしていた。
【0320】また、上記したように、グローバルI/O
ラインGLn の配線距離ないし負荷容量のバラツキによ
り、メインアンプMA0 〜MA15より出力された読み出
しデータがそれぞれ対応するパッドDQ0 〜DQ15に到
達するまでの時間Td にバラツキがあった。総じて、各
種信号伝搬遅延時間のうち、このグローバルI/Oライ
ンGLn での信号伝搬遅延時間の割合が最も大きいた
め、第1のメモリブロックMB1 から最上位桁のビット
・データd0 が第1のビット・データ入出力用パッドD
Q1 に読み出されるまでの所要時間が最も大きく、これ
がDRAM全体のメモリアクセスの高速化を困難にして
いた。
【0330】本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑み
てなされたもので、メモリアクセス時間の重要な割合を
占める信号伝搬遅延時間を短縮して、メモリアクセス速
度の大幅な向上を実現する半導体メモリ装置を提供する
ことを目的とする。
【0340】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第1の半導体メモリ装置は、各々がそれぞ
れ各桁を構成する複数個のビット・データからなる1つ
のデータが各ビット・データずつ独立したメモリブロッ
クに分配されて格納され、各メモリブロックには各ビッ
ト・データを読み出し時に増幅するためのメインアンプ
が割り当てられ、半導体チップの所定の場所に所定の配
列順序で設けられた複数個のパッドの中で各ビット・デ
ータに割り当てられたパッドが所定のデータ伝送線を介
してそれと対応する前記メインアンプと接続されている
半導体メモリ装置において、前記複数個のビット・デー
タにそれぞれ対応する前記複数個のメモリブロックが
記データの桁の順序から独立した配列順序で前記チップ
上に配列されている構成とした。
【0350】本発明の第2の半導体メモリ装置は、上記
第1の半導体メモリ装置において、前記複数個のビット
・データにそれぞれ対応する前記複数個のメモリプロッ
クが前記ビット・データ用のパッドの配列順序に対応し
た配列順序で前記チップ上に配置されている構成とし
た。
【0360】本発明の第3の半導体メモリ装置は、上記
第2の半導体メモリ装置において、前記ビット・データ
用のパッドは配列順序に関して互いに逆方向の第1の組
と第2の組とに分割され、前記第1の組に属する複数個
の前記パッドにそれぞれ対応する複数個の前記メモリブ
ロックは前記第1の組における前記パッドの配列順序と
同方向の配列順序で配置され、前記第2の組に属する複
数個の前記パッドにそれぞれ対応する複数個の前記メモ
リブロックは前記第2の組における前記パッドの配列順
序と同方向の配列順序で配置される構成とした。
【0370】本発明の第4の半導体メモリ装置は、上記
第2の半導体メモリ装置において、前記ビット・データ
用のパッドは配列順序に関して互いに逆方向の第1の組
と第2の組とに分割され、前記第1の組に属する複数個
の前記パッドはほぼ等しい長さの前記データ伝送線を介
してそれぞれ対応する複数個の前記メインアンプに接続
され、前記第2の組に属する複数個の前記パッドはほぼ
等しい長さの前記データ伝送線を介してそれぞれ対応す
る複数個の前記メインアンプに接続される構成とした。
【0380】また、本発明の第5の半導体メモリ装置
は、複数個のビット・データからなる1つのデータが各
ビット・データずつ独立したメモリブロックに分配され
て格納され、各メモリブロックには各ビット・データを
読出し時に増幅するためのメインアンプが割当てられ、
半導体チップの所定の場所に所定の配列順序で設けられ
た複数個のパッドの中で各ビット・データに割り当てら
れたパッドが所定のデータ伝送線を介してそれと対応す
る前記メインアンプと接続されている半導体メモリ装置
において、前記複数個のメモリブロックの配列位置に関
して前記複数個のメインアンプが複数の組に分割され、
各組毎に異なるタイミングで前記メインアンプの動作を
制御するメインアンプ制御手段が設けられている構成と
した。
【0390】本発明の第6の半導体メモリ装置は、上記
第5の半導体メモリ装置において、各組に属する複数個
の前記メインアンプはほぼ等しい長さの前記データ伝送
線を介してそれぞれ対応する複数個の前記ビット・デー
タ用のパッドに接続されている構成とした。
【0400】
【発明の実施の形態】以下、図1〜図5を参照して本発
明の実施例を説明する。なお、これらの図において従来
技術(図6〜図12)と構成または機能的に共通する部
分には同一の符号を使用している。
【0410】図1は、本発明の一実施例による4M×1
6ビット構成の64MDRAMにおけるメモリアレイ・
マット配置構造およびデータ入出力線の配線構造を示
す。図2は、この実施例によるメモリ・ブロック配置構
造およびデータ入出力線の配線構造を示す。図3は、実
施例によるメモリアクセス制御回路の回路構成、配置位
置および配線構成を示す。図4は、実施例におけるメモ
リアクセス時の各部の信号またはデータの波形またはタ
イミングを示す。図5は、実施例によるメモリアクセス
速度の向上の度合いを従来例と比較して示す。
【0420】本実施例におけるDRAMの基本構成ない
し仕様は、上記した従来のDRAMと共通している。重
要な特徴部分は、図1および図2に示すように、半導体
チップ12の左半部(L−side)においてメモリア
レイ・マットMM0 ,MM1の配置位置およびこれらの
メモリアレイ・マットMM0 ,MM1 内のメモリブロッ
ク(MB0 〜MB3 ),(MB4 〜MB7 )の配置位置
がそれぞれ従来のものと比べて反転していることであ
る。
【0430】左半部(L−side)において、右側
(内側)に第1のメモリアレイ・マットMM0 が配置さ
れ、このマットMM0 内で第1,第2,第3および第4
のメモリブロックMB0 ,MB1 ,MB2 ,MB3 がこ
の順に右から左に向かって一列に配置されている。左側
(外側)には、第2のメモリアレイ・マットMM1 が配
置され、このマットMM1 内で第5,第6,第7および
第8のメモリブロックMB4 ,MB5 ,MB6 ,MB7
がこの順に右から左に向かって一列に配置されている。
チップ中心軸線からみてこれら第1〜第8のメモリブロ
ックMB0 〜MB7 の正面部にはメインアンプMA0 〜
MA7 がそれぞれ設けられている。
【0440】このように、第1〜第8のメモリブロック
MB0 〜MB7 およびメインアンプMA0 〜MA7 がこ
の順に右から左に向かって一列に配置されている構成
は、これらのメモリブロックまたはメインアンプと対応
する第1の組のビット・データ入出力用のパッドDQ0
〜DQ7 の配列方向および配列順序と対応している。
【0450】このようなメモリブロックMB0 〜MB7
の配列構成により、それぞれのメインアンプMA0 〜M
A7 と第1の組のバッドDQ0 〜DQ7 とをそれぞれ電
気的に接続する8本のグローバルI/OラインGL0 〜
GL7 はほぼ均一な長さまたは配線距離を有しており、
したがってそれぞれの負荷または抵抗容量もほぼ均一化
されている。この均一化または平均化により、グローバ
ルI/OラインGLの最大配線距離が従来のほぼ半分に
短縮され、最大負荷容量も半減している。
【0460】右半部(R−side)において、メモリ
アレイ・マットMM2 ,MM3 の配置位置およびこれら
のメモリアレイ・マットMM2MM3内のメモリブロッ
ク(MB8 〜MB11),(MB12〜MB15)の配置位置
は、それぞれ従来と同様にこの順序で左から右へ一列に
配置されている。これら第9〜第16のメモリブロック
MB8 〜MB15の正面部にはメインアンプMA8 〜MA
15がそれぞれ設けられている。これらのメインアンプM
A8 〜MA15は、ほぼ均一で最短距離のグローバルI/
OラインGL8 〜GL15を介して第2の組のそれぞれ対
応するビット・データ入出力用パッドDQ8 〜DQ15に
電気的に接続されている。
【0470】図2に示すように、第1〜第16のメモリ
ブロックMB0 〜MB15は、共通のロウ・アドレス信号
AXおよびカラム・アドレス信号AYによって同時にア
ドレス指定され、一時に16ビットのデータ[d0 〜d
15]を書き込み、または読み出すようになっている。し
たがって、第1のメモリブロックMB0 は最上位のビッ
ト・データd0 を格納し、第2のメモリブロックMB1
は第2番目の上位のビット・データd1 を格納し、…、
第16のメモリブロックMB15は最下位のビット・デー
タd15を格納する。
【0480】このように、本実施例のDRAMでは、1
6ビット構成のデータについて各桁のビット・データ
[d0 ,d1 ,…d14,d15]をそれぞれ格納する16
個のメモリブロックMB0 〜MB15の配列順序が、それ
ら16個のビット・データ[d0 ,d1 ,…d14,d1
5]の桁の順序または順位から独立していて、むしろビ
ット・データ入出力用のパッドDQ0 〜DQ15の配列順
序に対応している。
【0490】すなわち、図1および図2において右から
左へ順に配置された第1の組に属する8個のパッド[D
Q0 ,DQ1 ,…DQ6 ,DQ7 ]にそれぞれ対応する
左半部(L−side)の8個のメモリブロックMB0
,MAB,…,MB6 ,MB7 は、それら第1の組の
パッドの配列順序と同方向の配列順序で配置される。こ
れにより、第1の組のパッドDQ0 〜DQ7 は、ほぼ均
一な長さのグローバルI/OラインGL0 〜GL7 を介
してそれぞれ対応するメモリブロックMB0 〜MB7 の
メインアンプMA0 〜MA7 に接続される。
【0500】また、図1および図2において左から右へ
順に一列に配置された第2の組に属する8個のパッド
[DQ8 ,DQ9 ,…DQ14,DQ15]にそれぞれ対応
する右半部(R−side)の8個のメモリブロックM
B8 ,MB9 ,…,MB14,MB15は、それら第2の組
のパッドの配列順序と同方向の配列順序で配置される。
これにより、第2の組のパッドDQ8 〜DQ15も、ほぼ
均一な長さのグローバルI/OラインGL8 〜GL15を
介してそれぞれ対応するメモリブロックMB8 〜MB15
のメインアンプMA8 〜MA15に接続される。
【0510】本実施例のDRAMにおいて、個々のメモ
リブロックMBn におけるデータ読出し時のメモリアク
セス動作は、上記した従来技術と同様にして行われる。
ただし、左半部(L−side)のメモリブロックMB
0 〜MB7 と右半部(R−side)のメモリブロック
MB8 〜MB15とでメインアンプ動作のタイミングを所
定時間だけずらし、結果的に全体のメモリアクセス時間
を短く揃える工夫が施されている。
【0520】図3に示すように、メモリアクセス制御部
を構成する回路の大部分つまりアドレスバッファ20、
アドレス遷移検出回路(ATD)22、メインアンプ制
御回路(MAC)24’、メインアンプ・イコライズ制
御回路(MAEQ)26’およびカラムアドレス・プリ
デコーダ(YS)28は、アドレスパッドA12〜A6の
付近に設けられている。
【0530】このメモリアクセス制御部において、メイ
ンアンプ制御回路24’およびメインアンプ・イコライ
ズ制御回路26’は、それぞれ従来のものよりも大幅に
短縮されたパルス幅のMACパルス[MAC]およびM
AEQパルス[MAEQ]を生成するように構成されて
いる。
【0540】そして、メインアンプ制御回路24’およ
びメインアンプ・イコライズ制御回路26’の出力端子
は、左半部(L−side)のメモリブロックMB0 〜
MB7 のメインアンプMA0 〜MA7 に直接(正確には
配線を介して)接続されるとともに、左半部(L−si
de)と右半部(R−side)との境界位置付近に設
けられた遅延回路(DLa )40,(DLb )42を介
して右半部(R−side)のメモリブロックMB8 〜
MB15のメインアンプMA8 〜MA15に接続されてい
る。
【0550】次に、図4のタイミング図につき本実施例
のDRAMにおけるデータ読み出しのメモリアクセス時
の各部の動作を説明する。なお、各メモリブロックMB
n ないし各メモリアレイMR内の動作の説明については
図10を参照する。
【0560】先ず、RAS- がイネーブル状態になるこ
とで(図4の(A) )、各メモリアレイMRにおいて各ビ
ット線のプリチャージが終了するとともに、少し遅れて
ロウ・アドレス信号AXi がXアドレスデコーダ(図示
せず)に取り込まれ(図4の(C) )、このロウ・アドレ
ス信号AXi によって指定される行のワード線WLiが
活性化される。このワード線WLi が活性化されること
で、これに接続されている各メモリセルの記憶情報(デ
ータ)がビット線BL上に読み出され、読み出されたデ
ータはビット補線BL- 上の相補的なデータと一緒に各
行のセンスアンプSAに入力され、そこで差動増幅され
る。
【0570】一方、アドレスバッファ20にカラム・ア
ドレス信号AYj が入力またはラッチされると(図4の
(C) )、これに応答してアドレス遷移検出回路22がA
TDパルス[ATD]を発生する(図4の(D) )。
【0580】プリデコーダ28は、アドレスバッファ2
0からのカラム・アドレス信号[AYj ]をATDパル
ス[ATD]に応答してプリデコードし、プリデコード
信号[PYj ]を各メモリブロックMBn に割り当てら
れているYアドレスデコーダYDn に与える。各Yアド
レスデコーダYDj は、プリデコード信号[PYj ]を
デコードし、カラム・アドレス信号[AYj ]によって
指定された列のYアドレス線YSj を立ち上げて所定時
間だけ活性化する。
【0590】ここで、ATDパルス[ATD]の立ち上
がりからYアドレス線YSj の立ち上がりまでの遅延時
間Ta は、プリデコーダ28に近い左半部(L−sid
e)における遅延時間Ta,L よりもプリデコーダ28か
ら遠い右半部(R−side)における遅延時間Ta,R
のほうが大きい(図4の(E),(F) )。
【0600】各メモリブロックMBn において、指定さ
れたYアドレス線YSj が活性化されることで、このY
アドレス線YSj に接続されたセンスアンプSAj の出
力トランスファゲートがオンし、このセンスアンプで増
幅された互いに相補的な一対の読出しデータ[IO],
[IO- ]がそれぞれメモリアレイMR内のローカルI
/OラインIO,IO- 上に出力される。
【0610】この読出しデータ[IO],[IO- ]の
得られる時間はYアドレス線YSjの立ち上がり時間に
依存するため、左半部(L−side)のほうが右半部
(R−side)よりも早い(図4の(K),(L) )。
【0620】また、センスアンプSAj に接続されてい
るメモリアレイMR外部のIOスイッチ30もオンし、
センスアンプSAj からのメモリ読出しデータ[I
O],[IO- ]はIOスイッチ32およびメモリブロ
ックMB内の内部データ入出力線MIO,MIO- を介
してメインアンプMAn へ送られる。
【0630】一方、メインアンプ制御回路24’は、ア
ドレス遷移検出回路22からのATDパルス[ATD]
に応答して、各メインアンプMAn を活性化させるため
のMACパルス[MACL ]を小さなパルス幅で発生す
る。このメインアンプ制御回路24’より出力されたM
ACパルス[MACL ]は、左半部(L−side)の
メインアンプMA0 〜MA7 に対しては直接(特別の遅
延回路を通さずに)供給される(図4の(G) )。右半部
(R−side)のメインアンプMA8 〜MA15に対し
ては、遅延回路40よりMACパルス[MACL ]より
も所定時間だけ遅延したMACパルス[MACR ]が供
給される(図4の(H) )。
【0640】メインアンプ・イコライズ制御回路26’
は、MACパルス[MACL ]が立ち上がるのとほぼ同
時または直前に、イコライズ制御用のMAEQパルス
[MAEQL ]を小さなパルス幅で発生する(図4の
(I) )。このMAEQパルス[MAEQL ]は、左半部
(L−side)のメインアンプMA0 〜MA7 に対し
ては直接(特別の遅延回路を通さずに)供給される。右
半部(R−side)のメインアンプMA8 〜MA15に
対しては、遅延回路42よりMAEQパルス[MAEQ
L ]よりも所定時間だけ遅延したMAEQパルス[MA
EQR ]が供給される(図4の(J) )。
【0650】しかして、先ず[MAEQL ]が立ち下が
ると、左半部(L−side)のメモリブロックMB0
〜MB7 でそれぞれのメインアンプMA0 〜MA7 がセ
ンスアンプSAj からのメモリ読出しデータMIO,M
IO- に対する増幅動作を開始して、所定電圧レベルの
相補的なメモリ読出しデータを出力する(図4の
(M))。これらのメインアンプMA0 〜MA7 よりそれ
ぞれ出力されたメモリ読出しデータGIO,GIO-
は、ほぼ等しい配線距離を有するグローバルI/Oライ
ンGL0 〜GL7 を介して出力バッファ32に転送され
(図4の(M) )、この出力バッファ32からビット・デ
ータd0 〜d7 が各対応するパッドDQ0 〜DQ7 へ出
力される(図4の(R) )。
【0660】一方、[MAEQL ]の立ち下がりから幾
らか遅れて[MAEQR ]が立ち下がると、右半部(R
−side)のメモリブロックMB8 〜MB15でそれぞ
れのメインアンプMA8 〜MA15がセンスアンプSAj
からのメモリ読出しデータMIO,MIO- に対する増
幅動作を開始して、所定電圧レベルの相補的なメモリ読
出しデータを出力する(図4の(L) )。これらのメイン
アンプMA8 〜MA15よりそれぞれ出力されたメモリ読
出しデータGIO,GIO- は、ほぼ等しい配線距離を
有するグローバルI/OラインGL8 〜GL15を介して
出力バッファ32に転送され(図4の(N) )、この出力
バッファ32からビット・データd8 〜d15が各対応す
るパッドDQ8 〜DQ15へ出力される(図4の(S) )。
【0670】ここで、右半部(R−side)側のグロ
ーバルI/OラインGL8 〜GL15における信号伝搬遅
延時間Td,R は、左半部(L−side)側のグローバ
ルI/OラインGL0 〜GL7 における信号伝搬遅延時
間Td,L よりも短いため、遅延回路40,42の遅延時
間を調整することで、左半部(L−side)のメイン
アンプMA0 〜MA7 からのビット・データd0 〜d7
が第1の組のパッドDQ0 〜DQ7 に到着するのとほぼ
同時に、右半部(R−side)のメインアンプMA8
〜MA15からのビット・データd8 〜d15が第2の組の
パッドDQ8 〜DQ15に到着することができる。
【0680】上記のように、本実施例では、メモリブロ
ックMB0 〜MB15に対するメモリアクセス制御、特に
メインアンプMA0 〜MA15の動作の制御に左半部(L
−side)と右半部(R−side)とで時間差をも
たせることにより、図5に示すように、各メインアンプ
MAn の所要活性時間Tb を大幅に短くして電力消費量
を少なくするとともに、メモリブロックMBn毎のメモ
リアクセス時間を平均化し、かつ大幅に時間短縮(TS
)することができる。
【0690】なお、図5は、メモリアクセス速度に影響
する遅延時間または動作時間の中で主要なTa (Yセレ
クト線YSの立ち上がり遅延時間)、Tb (メモリアン
プ活性時間)、Td (グローバルI/OラインGL上の
遅延時間)を加算したものであり、Ta,0 ,Tb,0 ,T
d,0 は第1のメモリブロックMB0 における各遅延また
は動作時間の値であり、Ta,15,Tb,15,Td,15は第1
6のメモリブロックMB15における各遅延または動作時
間の値である。
【0700】上記した実施例は本発明の1つの実施態様
にすぎないものであり、本発明の技術思想の範囲内で種
々の変形・変更が可能である。たとえば、上記実施例の
一変形例として、たとえば第1のメモリブロックMB0
の配置位置と第9のメモリブロックMB8 の配置位置と
を相互に置換することも可能である。この場合、第1の
メモリブロックMB0 はメモリアレイ・マットMM1 内
に置かれ、第9のメモリブロックMB8 はメモリアレイ
・マットMM0 に置かれることになる。両メモリブロッ
クMB0 ,MB8 の配置替えに伴って、それぞれのグロ
ーバルI/OラインGL0 ,GL8 の配線ルートおよび
距離がほぼ置き換わることになる。しかし、これによっ
てグローバルI/OラインGL0 〜GL15における最大
配線距離が増大するわけではないので、上記実施例とほ
ぼ同様の作用効果を得ることができる。
【0710】メモリブロックMBの内部構成やメインア
ンプMAの回路構成は任意のものが可能であり、メモリ
アクセスの制御も種々の方法が可能である。上記した実
施例のDRAMは×16ビット型で、各桁のビット・デ
ータを格納する16個のメモリブロックMB0 〜MB15
を一列に並べて配置する構成であったが、たとえば×8
ビットや×4ビット型にも本発明は適用可能であり、デ
ータのビット数またはメモリブロックの個数は任意に選
択することができる。
【0720】上記実施例におけるパッド(特にビット・
データ入出力用パッドDQ)の配置位置および配列順序
は一標準または一規格にすぎず、任意の規格にしたがっ
て設定された任意のパッド配置または配列に対しても本
発明は適用可能である。
【0730】また、本発明は、DRAMに限らず、読取
り専用メモリ(ROM)やスタティックランダムアクセ
スメモリ(SRAM)等の任意の半導体メモリ装置に適
用可能なものである。ROMにおいては、メインアンプ
は専ら読出しデータを増幅するために動作し、メインア
ンプに接続されるパッドおよび両者間のデータ伝送線は
読出しデータを出力するために機能することになる。
【0740】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、複数のビット構成のデータについて各桁のビット・
データを格納するメモリブロックをデータの桁の順序
ら独立させて配列し、ビット・データ用のパッドとメモ
リブロックのメインアンプとの間のデータ伝送線の配線
長を全体的に最適化するようにしたので、メモリアクセ
ス時間の重要な割合を占める信号伝搬遅延時間を短縮し
て、メモリアクセス速度の大幅な向上を実現することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例による64MDRAMにおけ
るメモリ・アレイ・マット配置構造およびデータ入出力
線の配線構造を示すブロック図である。
【図2】実施例によるメモリ・ブロック配置構造および
データ入出力線の配線構造を示す模式的なブロック図で
ある。
【図3】実施例によるメモリアクセス制御部の回路構
成、配置位置および配線構成を示すブロック図である。
【図4】実施例におけるメモリアクセス時の各部の信号
またはデータの波形またはタイミングを示す信号波形図
である。
【図5】実施例によるメモリアクセス速度の向上の度合
いを従来例と比較して示す図である。
【図6】4M×16ビット構成の64MDRAMにおけ
る一標準のピン配置を示す略平面図である。
【図7】図6のDRAM内のデータ入出力用のボンドパ
ッドと各対応するピンとの接続関係を示す模式的な略平
面図である。
【図8】図6のDRAMにおける従来のメモリアレイ・
マット配置構造およびデータ入出力線の配線構造を示す
ブロック図である。
【図9】図6のDRAMにおける従来のメモリ・ブロッ
ク配置構造およびデータ入出力線の配線構造を模式的に
示すブロック図である。
【図10】図6のDRAMにおけるメモリブロック内の
要部の構成とメモリアクセス制御部の構成を示すブロッ
ク図である。
【図11】図6のDRAMにおいて従来のメモリアクセ
ス制御部の配置位置および配線構成を示すブロック図で
ある。
【図12】従来のメモリアクセス制御によるメモリアク
セス時の各部の信号またはデータの波形またはタイミン
グを示す信号波形図である。
【符号の説明】
10 LSIパッケージ 12 半導体チップ 20 アドレスバッファ 22 アドレス遷移検出回路 24 メインアンプ制御回路 26 メインアンプ・イコライズ制御回路 40,42 遅延回路 DQ0 〜DQ15 ビット・データ入出力用パッド MM0 〜MM3 メモリアレイ・マット MB0 〜MB15 メモリブロック GL0 〜GL15 グローバルI/Oライン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 賢孝 茨城県稲敷郡美浦村木原2355番地 日本 テキサス・インスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 高橋 継雄 東京都青梅市今井2326番地 株式会社日 立製作所デバイス開発センタ内 (72)発明者 鈴木 幸英 東京都青梅市今井2326番地 株式会社日 立製作所デバイス開発センタ内 (56)参考文献 特開 平7−161183(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 27/108 H01L 21/8242 G11C 11/401 G11C 11/41

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 各々がそれぞれ各桁を構成する複数個の
    ビット・データからなる1つのデータが各ビット・デー
    タずつ独立したメモリブロックに分配されて格納され、
    各メモリブロックには各ビット・データを読み出し時に
    増幅するためのメインアンプが割り当てられ、半導体チ
    ップの所定の場所に所定の配列順序で設けられた複数個
    のパッドの中で各ビット・データに割り当てられたパッ
    ドが所定のデータ伝送線を介してそれと対応する前記メ
    インアンプと接続されている半導体メモリ装置におい
    て、 前記複数個のビット・データにそれぞれ対応する前記複
    数個のメモリブロックが前記データの桁の順序から独立
    した配列順序で前記チップ上に配列されていることを特
    徴とする半導体メモリ装置。
  2. 【請求項2】 前記複数個のビット・データにそれぞれ
    対応する前記複数個のメモリブロックが前記ビット・デ
    ータ用パッドの配列順序に対応した配列順序で前記半導
    体チップ上に配置されていることを特徴とする請求項1
    に記載の半導体メモリ装置。
  3. 【請求項3】 前記ビット・データ用のパッドは配列順
    序に関して互いに逆方向の第1の組と第2の組とに分割
    され、前記第1の組に属する複数個の前記パッドにそれ
    ぞれ対応する複数個の前記メモリブロックは前記第1の
    組における前記パッドの配列順序と同方向の配列順序で
    配置され、前記第2の組に属する複数個の前記パッドに
    それぞれ対応する複数個の前記メモリブロックは前記第
    2の組における前記パッドの配列順序と同方向の配列順
    序で配置されることを特徴とする請求項2に記載の半導
    体メモリ装置。
  4. 【請求項4】 前記ビット・データ用のパッドは配列順
    序に関して互いに逆方向の第1の組と第2の組とに分割
    され、前記第1の組に属する複数個の前記パッドはほぼ
    等しい長さの前記データ伝送線を介してそれぞれ対応す
    る複数個の前記メインアンプに接続され、前記第2の組
    に属する複数個の前記パッドはほぼ等しい長さの前記デ
    ータ伝送線を介してそれぞれ対応する複数個の前記メイ
    ンアンプに接続されることを特徴とする請求項2に記載
    の半導体メモリ装置。
  5. 【請求項5】 複数個のビット・データからなる1つの
    データが各ビット・データずつ独立したメモリブロック
    に分配されて格納され、各メモリブロックには各ビット
    ・データを読出し時に増幅するためのメインアンプが割
    当てられ、半導体チップの所定の場所に所定の配列順序
    で設けられた複数個のパッドの中で各ビット・データに
    割り当てられたパッドが所定のデータ伝送線を介してそ
    れと対応する前記メインアンプと接続されている半導体
    メモリ装置において、 前記複数個のメモリブロックの配列位置に関して前記複
    数個のメインアンプが複数の組に分割され、各組毎に異
    なるタイミングで前記メインアンプの動作を制御するメ
    インアンプ制御手段が設けられていることを特徴とする
    半導体メモリ装置。
  6. 【請求項6】 各組に属する複数個の前記メインアンプ
    はほぼ等しい長さの前記データ伝送線を介してそれぞれ
    対応する複数個の前記ビット・データ用のパッドに接続
    されていることを特徴とする請求項5に記載の半導体メ
    モリ装置。
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