JP3486041B2 - Semiconductor memory device - Google Patents

Semiconductor memory device

Info

Publication number
JP3486041B2
JP3486041B2 JP03735596A JP3735596A JP3486041B2 JP 3486041 B2 JP3486041 B2 JP 3486041B2 JP 03735596 A JP03735596 A JP 03735596A JP 3735596 A JP3735596 A JP 3735596A JP 3486041 B2 JP3486041 B2 JP 3486041B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
memory cell
redundant
normal
block
blocks
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP03735596A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH08279300A (en
Inventor
井 親 宏 中
沼 弘 之 鯉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP03735596A priority Critical patent/JP3486041B2/en
Publication of JPH08279300A publication Critical patent/JPH08279300A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3486041B2 publication Critical patent/JP3486041B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は半導体メモリ装置に関
し、特に冗長構造を有するダイナミックRAM等の半導
体メモリ装置に好適なものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a semiconductor memory device such as a dynamic RAM having a redundant structure.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体メモリ装置においては、ノーマル
メモリセルに欠陥が生じて不良となった場合に、この不
良メモリセルを予め用意した冗長メモリセルで代替し
て、デバイスを良品として救済することが行われてい
る。これはデバイスの歩留りを向上させるために必須の
技術であり、効率的に救済を行うことが歩留りを向上さ
せ、コストを低減させる上で重要なポイントとなる。
2. Description of the Related Art In a semiconductor memory device, when a normal memory cell becomes defective due to a defect, the defective memory cell can be replaced with a redundant memory cell prepared in advance, and the device can be repaired as a good product. Has been done. This is an indispensable technique for improving the device yield, and efficient relief is an important point for improving the yield and reducing the cost.

【0003】一般的に知られている不良メモリセルの代
替方式は、アドレスに応じて複数に分割されたメモリセ
ルブロックで構成されたメモリセルアレイ中のあるブロ
ックのノーマルメモリセルに欠陥が生じて不良となった
時に、この不良メモリセルを含むブロック全体を冗長メ
モリセルブロックで代替させる方式である。
A generally known alternative method for defective memory cells is defective because a normal memory cell in a certain block in a memory cell array composed of a plurality of memory cell blocks divided according to an address has a defect. In this case, the entire block including the defective memory cell is replaced with the redundant memory cell block.

【0004】以下に、従来例に係る不良メモリセルの代
替方式を採用した半導体メモリ装置について図12、図
13、図14、図15および図16を参照しながら説明
する。
A semiconductor memory device adopting a conventional alternative method of defective memory cells will be described below with reference to FIGS. 12, 13, 14, 15, and 16.

【0005】図12は、従来の半導体メモリ装置のブロ
ック構成図である。図13は、図12における冗長メモ
リセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB00の
回路構成図であり、冗長メモリセルブロック選択用ヒュ
ーズ回路ブロックFB01,FB10,FB11,…,
FB31は冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路
ブロックFB00と同様の構成を有している。図14
は、図12における冗長デコーダSDEC00の回路構
成図であり、冗長デコーダSDEC01,SDEC1
0,SDEC11,…,SDEC31は冗長デコーダS
DE00と同様の構成を有している。図15は、図12
におけるノーマルデコーダコントロール回路NDC0の
回路構成図であり、ノーマルデコーダコントロール回路
NDC1〜NDC3はノーマルデコーダコントロール回
路NDC0と同様の構成を有している。図16は、図1
2におけるノーマルデコーダNDEC00の回路構成図
であり、ノーマルデコーダNDEC01〜NDEC0
n,NDEC10〜NDEC1n,NDEC20〜ND
EC2n,NDEC30〜NDEC3nはノーマルデコ
ーダNDEC00と同様の構成を有している。
FIG. 12 is a block diagram of a conventional semiconductor memory device. FIG. 13 is a circuit configuration diagram of the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 in FIG. 12, which is a redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB01, FB10, FB11 ,.
The FB31 has the same configuration as the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00. 14
FIG. 13 is a circuit configuration diagram of the redundant decoder SDEC00 in FIG. 12, showing redundant decoders SDEC01 and SDEC1.
0, SDEC11, ..., SDEC31 are redundant decoders S
It has the same configuration as DE00. 15 is the same as FIG.
3 is a circuit configuration diagram of a normal decoder control circuit NDC0 in FIG. 1, in which normal decoder control circuits NDC1 to NDC3 have the same configuration as the normal decoder control circuit NDC0. 16 is shown in FIG.
2 is a circuit configuration diagram of a normal decoder NDEC00 in FIG.
n, NDEC10 to NDEC1n, NDEC20 to ND
EC2n and NDEC30 to NDEC3n have the same configuration as the normal decoder NDEC00.

【0006】図12、図13、図14、図15および図
16において、MCA0はメモリセルアレイであり、ノ
ーマルメモリセルブロックNCB00〜NCB0nと冗
長メモリセルブロックSCB00,SCB01を有して
いる。MCA1〜MCA3は、メモリセルアレイMCA
0と同様の構造を成している他のメモリセルアレイであ
り、FB00,FB01,FB10,FB11,…,F
B31は冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブ
ロック、SDEC00,SDEC01,SDEC10,
SDEC11,…,SDEC31は冗長デコーダ、ND
EC00〜NDEC0n,NDEC10〜NDEC1
n,NDEC20〜NDEC2n,NDEC30〜ND
EC3nはノーマルデコーダ、NDC0〜NDC3はノ
ーマルデコーダコントロール回路、XA0〜3,XB0
〜3,XC0〜3はアドレス信号、RSL0〜RSL3
はメモリセルアレイ選択信号、WDRV0〜WDRV3
はワード線駆動信号、WDRV00〜WDRV03,W
DRV10〜WDRV13,WDRV20〜WDRV2
3,WDRV30〜WDRV33はノーマルワード線駆
動信号、WL00,WL01,WL02,WL03,…
はノーマルワード線、SWL00,SWL01,SWL
02,SWL03,SWL04,SWL05,SWL0
6,SWL07は冗長ワード線、RSP00,RSP0
1,RSP10,RSP11,…,RSP31は冗長指
示信号、PRCHは信号、VCCは電源電圧、VSSは
接地電圧、QP0〜QP1はP型MOSトランジスタ、
QN0〜QN47はN型MOSトランジスタ、FU0〜
FU11はヒューズである。
12, FIG. 13, FIG. 14, FIG. 15 and FIG. 16, MCA0 is a memory cell array, which has normal memory cell blocks NCB00 to NCB0n and redundant memory cell blocks SCB00, SCB01. MCA1 to MCA3 are memory cell arrays MCA
0 is another memory cell array having the same structure as 0, FB00, FB01, FB10, FB11, ..., F
B31 is a fuse circuit block for selecting a redundant memory cell block, SDEC00, SDEC01, SDEC10,
SDEC11, ..., SDEC31 are redundant decoders, ND
EC00 to NDEC0n, NDEC10 to NDEC1
n, NDEC20 to NDEC2n, NDEC30 to ND
EC3n is a normal decoder, NDC0 to NDC3 are normal decoder control circuits, and XA0 to XB0.
To 3, XC0 to 3 are address signals, RSL0 to RSL3
Is a memory cell array selection signal, WDRV0 to WDRV3
Is a word line drive signal, WDRV00 to WDRV03, W
DRV10 to WDRV13, WDRV20 to WDRV2
3, WDRV30 to WDRV33 are normal word line drive signals, WL00, WL01, WL02, WL03, ...
Is a normal word line, SWL00, SWL01, SWL
02, SWL03, SWL04, SWL05, SWL0
6, SWL07 is a redundant word line, RSP00, RSP0
1, RSP10, RSP11, ..., RSP31 are redundancy instruction signals, PRCH is a signal, VCC is a power supply voltage, VSS is a ground voltage, QP0 to QP1 are P-type MOS transistors,
QN0 to QN47 are N-type MOS transistors, FU0 to FU0
FU11 is a fuse.

【0007】このような従来例では、各メモリセルアレ
イに、1個当たりノーマルワード線4本を有するノーマ
ルメモリセルブロック複数個と、1個当たり冗長ワード
線4本を有する冗長メモリセルブロック2個とが備えら
れ、これらの冗長メモリセルブロックを選択するため、
各冗長メモリセルブロックに対して冗長メモリセルブロ
ック選択用ヒューズ回路ブロックが設けられている。例
えば、メモリセルアレイMCA0に対してはノーマルメ
モリセルブロックNCB00〜NCB0nを代替するた
めに、2個の冗長メモリセルブロックSCB00,SC
B01に対して冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ
回路ブロックFB00,FB01が設けられている。ま
た、1個のノーマルメモリセルブロックに対して1個ず
つ設けられたノーマルデコーダが各ノーマルメモリセル
ブロックに接続された4本のノーマルワード線を制御
し、1個の冗長メモリセルブロックに対して1個ずつ設
けられた冗長デコーダが各冗長メモリセルブロックに接
続された4本の冗長ワード線を制御する。ワード線駆動
信号WDRV0〜WDRV3は、ロウアドレスの最下位
ビットA0Rとそのすぐ上位ビットA1Rにより部分デ
コードされ、A0R,A1Rそれぞれの論理電圧により
1本が選択され所定のワード線電位となる。アドレス信
号XA0〜3はその上位ビットA2R,A3Rにより、
アドレス信号XB0〜3はさらにその上位ビットA4
R,A5Rにより、アドレス信号XC0〜3はさらにそ
の上位ビットA6R,A7Rによりそれぞれ部分デコー
ドされるように構成する。
In such a conventional example, a plurality of normal memory cell blocks each having four normal word lines and two redundant memory cell blocks each having four redundant word lines are provided in each memory cell array. For selecting these redundant memory cell blocks,
A fuse circuit block for selecting a redundant memory cell block is provided for each redundant memory cell block. For example, for the memory cell array MCA0, in order to replace the normal memory cell blocks NCB00 to NCB0n, two redundant memory cell blocks SCB00, SCB are provided.
Fuse circuit blocks FB00 and FB01 for redundant memory cell block selection are provided for B01. Further, one normal decoder provided for each normal memory cell block controls four normal word lines connected to each normal memory cell block, and for one redundant memory cell block. Redundant decoders provided one by one control four redundant word lines connected to each redundant memory cell block. The word line drive signals WDRV0 to WDRV3 are partially decoded by the least significant bit A0R of the row address and the immediately upper bit A1R thereof, and one of them is selected by the logic voltage of each of A0R and A1R and has a predetermined word line potential. The address signals XA0 to XA3 are set by the upper bits A2R and A3R
The address signals XB0 to XB3 have higher bits A4.
The address signals XC0 to XC3 are further partially decoded by R and A5R by their higher bits A6R and A7R, respectively.

【0008】メモリセルアレイの選択は、メモリセルア
レイ選択信号RSL0〜RSL3により行われる。1個
のメモリセルアレイ中でのノーマルメモリセルブロック
の選択は、アドレス信号XA0〜3,XB0〜3,XC
0〜3によりノーマルデコーダを選択することにより行
われる。選択されたメモリセルブロック中でのノーマル
ワード線の選択は、ワード線駆動信号WDRV0〜WD
RV3がノーマルデコーダコントロール回路をへて各ノ
ーマルデコーダに接続されたノーマルワード線駆動信号
WDRV00〜WDRV03,WDRV10〜WDRV
13,WDRV20〜WDRV23,WDRV30〜W
DRV33により行われる。
The memory cell array is selected by the memory cell array selection signals RSL0 to RSL3. Selection of a normal memory cell block in one memory cell array is performed by address signals XA0-3, XB0-3, XC.
This is performed by selecting the normal decoder from 0 to 3. The normal word line in the selected memory cell block is selected by the word line drive signals WDRV0 to WDV.
RV3 is connected to each normal decoder via the normal decoder control circuit. Normal word line drive signals WDRV00 to WDRV03, WDRV10 to WDRV
13, WDRV20 to WDRV23, WDRV30 to W
It is performed by DRV33.

【0009】上記のような従来の構成において、例え
ば、メモリセルアレイMCA0に備えられたノーマルメ
モリブロックの中に不良メモリセルを含むノーマルメモ
リセルブロックが1個存在し、それを冗長メモリセルブ
ロックSCB00,SCB01のいずれかで代替させた
い場合には、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回
路ブロックFB00,FB01のいずれかにおいて不良
メモリセルを含むブロックのアドレスに対応するヒュー
ズを切断する。その結果、その不良メモリセルを含むブ
ロックはヒューズの切断を行った冗長メモリセルブロッ
ク選択用ヒューズ回路ブロックに対応した冗長メモリセ
ルブロックで代替され、その冗長メモリセルブロックが
使用される。また、不良メモリセルを含むノーマルメモ
リセルブロックが2個存在し、2個の冗長メモリセルブ
ロックSCB00,SCB01を代替として使用したい
場合には、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路
ブロックFB00,FB01それぞれにおいて不良メモ
リセルを含む2個のブロックのそれぞれのアドレスに対
応するヒューズを切断することにより、それらの不良メ
モリセルを含む2個のブロックがそれぞれ冗長メモリセ
ルブロックSCB00,SCB01で代替される。
In the conventional structure as described above, for example, one normal memory cell block including a defective memory cell exists in the normal memory block provided in the memory cell array MCA0, and the normal memory cell block SCB00, When it is desired to substitute one of the SCB01, the fuse corresponding to the address of the block including the defective memory cell is blown in any of the redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks FB00 and FB01. As a result, the block including the defective memory cell is replaced with the redundant memory cell block corresponding to the redundant memory cell block selecting fuse circuit block in which the fuse has been blown, and the redundant memory cell block is used. If there are two normal memory cell blocks including defective memory cells and two redundant memory cell blocks SCB00 and SCB01 are to be used as substitutes, the redundant memory cell block selection fuse circuit blocks FB00 and FB01 are respectively used. By cutting the fuses corresponding to the addresses of the two blocks including the defective memory cells, the two blocks including the defective memory cells are replaced by the redundant memory cell blocks SCB00 and SCB01, respectively.

【0010】以下、従来例に係る不良メモリセルの代替
方式を採用した半導体メモリ装置の詳細な回路動作につ
いて図13、図14および図15を参照しながら説明す
る。
The detailed circuit operation of the semiconductor memory device adopting the alternative method of the defective memory cell according to the conventional example will be described below with reference to FIGS. 13, 14 and 15.

【0011】ここで、メモリセルアレイはMCA0〜M
CA3のうちのMCA0が選択されることとする。初期
状態では、図13に示す冗長メモリセルブロック選択用
ヒューズ回路ブロックFB00において、信号PRCH
が論理“LOW”(以下“L”と記す。)でP型MOS
トランジスタQP0がオン、アドレス信号XA0〜3,
XB0〜3,XC0〜3のすべてが“L”でN型MOS
トランジスタQN0〜QN11がオフであり、冗長指示
信号RSP00は論理“High”(以下“H”と記
す。)となっている。また、すべてのメモリセルアレイ
選択信号RSL0〜RSL3は“L”、すべてのワード
線駆動信号WDRV0〜WDRV3は“L”となってお
り、したがって図14に示す冗長デコーダSDEC00
において、冗長ワード線SWL00〜SWL03は
“L”となっている。
Here, the memory cell array is MCA0-M.
It is assumed that MCA0 of CA3 is selected. In the initial state, in the redundant memory cell block selection fuse circuit block FB00 shown in FIG.
Is a logic "LOW" (hereinafter referred to as "L") P-type MOS
The transistor QP0 is on, and the address signals XA0-3,
XB0-3 and XC0-3 are all "L" and N-type MOS
The transistors QN0 to QN11 are off, and the redundancy instructing signal RSP00 has a logic "High" (hereinafter referred to as "H"). Further, all the memory cell array selection signals RSL0 to RSL3 are "L" and all the word line drive signals WDRV0 to WDRV3 are "L". Therefore, the redundancy decoder SDEC00 shown in FIG.
, The redundant word lines SWL00 to SWL03 are "L".

【0012】まず、信号PRCHが“H”となりP型M
OSトランジスタQP0がオフとなる。続いてはじめは
すべて“L”であったメモリセルアレイ選択信号RSL
0〜RSL3のうちRSL0が“H”となる。さらには
じめはすべて“L”であったアドレス信号XA0〜3の
うちの1本、XB0〜3のうちの1本、XC0〜3のう
ちの1本の計3本が“H”となり、選択するメモリセル
ブロックのアドレスに変化すると、アドレス信号の変化
に対応して12個のN型MOSトランジスタQN0〜Q
N11のうちの3個がオンとなる。
First, the signal PRCH becomes "H" and the P-type M
The OS transistor QP0 is turned off. Then, the memory cell array selection signal RSL which was initially "L"
Of 0 to RSL3, RSL0 becomes "H". Further, at the beginning, one of the address signals XA0 to XA3, which is all "L", one of XB0 to 3 and one of XC0 to 3 becomes "H" and is selected. When the address of the memory cell block changes, twelve N-type MOS transistors QN0 to QN0-Q corresponding to the change of the address signal.
Three of N11 are turned on.

【0013】このとき、この“H”となったアドレスの
組み合わせが、メモリセルアレイMCA0における不良
メモリセルを含むブロックのアドレスではなく、かつ、
メモリセルアレイMCA0に対応して設けられた冗長メ
モリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB0
0,FB01いずれにおいても切断されたヒューズに対
応するアドレスの組み合わせと一致しない場合は、冗長
指示信号RSP00,RSP01いずれも“L”とな
る。したがって、図14に示す冗長デコーダSDEC0
0,SDEC01いずれにおいてメモリセルアレイ選択
信号RSL0が“H”となっても、N型MOSトランジ
スタQN13,QN16,QN19,QN22はオフで
あり、N型MOSトランジスタQN14,QN17,Q
N20,QN23はオンであるため、ワード線駆動信号
WDRV0〜WDRV3のうちの選択された任意の1本
が所定のワード線電位となってもすべての冗長ワード線
SWL00〜SWL07は“L”のままである。すなわ
ち、冗長メモリセルブロックSCB00,SCB01は
いずれも選択されない。
At this time, the combination of the addresses set to "H" is not the address of the block including the defective memory cell in the memory cell array MCA0, and
Redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB0 provided corresponding to the memory cell array MCA0
When neither 0 nor FB01 match the combination of addresses corresponding to the blown fuses, both the redundancy instruction signals RSP00 and RSP01 are "L". Therefore, the redundant decoder SDEC0 shown in FIG.
0 or SDEC01, the N-type MOS transistors QN13, QN16, QN19, and QN22 are off and the N-type MOS transistors QN14, QN17, and QN are turned off even if the memory cell array selection signal RSL0 becomes "H".
Since N20 and QN23 are on, all redundant word lines SWL00 to SWL07 remain "L" even if any one of the selected word line drive signals WDRV0 to WDRV3 becomes a predetermined word line potential. Is. That is, none of the redundant memory cell blocks SCB00 and SCB01 are selected.

【0014】ところが、前述の“H”となったアドレス
の組み合わせが、メモリセルアレイMCA0における不
良メモリセルを含むブロックのアドレスであり、それが
冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックF
B00において切断されたヒューズに対応するアドレス
の組み合わせと一致する場合は、冗長指示信号RSP0
0は“H”のままである。したがって、図14に示す冗
長デコーダSDEC00においてメモリセルアレイ選択
信号RSL0が“H”となると、N型MOSトランジス
タQN13,QN16,QN19,QN22はオンとな
り、N型MOSトランジスタQN14,QN17,QN
20,QN23はオフとなるので、ワード線駆動信号W
DRV0〜WDRV3のうちの選択された任意の1本が
所定のワード線電位となると、その電位は対応する冗長
ワード線へと転送される。すなわち、冗長メモリセルブ
ロックSCB00が選択される。
However, the combination of the above "H" addresses is the address of the block including the defective memory cell in the memory cell array MCA0, which is the redundant memory cell block selecting fuse circuit block F.
If the combination of the addresses corresponding to the blown fuses at B00 matches, the redundancy instruction signal RSP0
0 remains “H”. Therefore, in the redundant decoder SDEC00 shown in FIG. 14, when the memory cell array selection signal RSL0 becomes "H", the N-type MOS transistors QN13, QN16, QN19, QN22 are turned on, and the N-type MOS transistors QN14, QN17, QN.
Since 20 and QN23 are turned off, the word line drive signal W
When a selected one of DRV0 to WDRV3 has a predetermined word line potential, the potential is transferred to the corresponding redundant word line. That is, the redundant memory cell block SCB00 is selected.

【0015】このとき、前述のように冗長指示信号RS
P00が“H”であるため、図15に示すノーマルデコ
ーダコントロール回路NDC0において、メモリセルア
レイ選択信号RSL0が“H”となっても、N型MOS
トランジスタQN25,QN28,QN31,QN34
はオフであり、N型MOSトランジスタQN26,QN
29,QN32,QN35はオンである。したがって、
ワード線駆動信号WDRV0〜WDRV3のうちの選択
された任意の1本が所定のワード線電位となってもすべ
てのノーマルワード線駆動信号WDRV00〜WDRV
03は“L”のままであり、当該メモリセルアレイMC
A0のすべてのノーマルメモリセルブロックNCB00
〜NCB0nは非選択となる。
At this time, as described above, the redundancy instruction signal RS
Since P00 is "H", in the normal decoder control circuit NDC0 shown in FIG. 15, even if the memory cell array selection signal RSL0 becomes "H", the N-type MOS
Transistors QN25, QN28, QN31, QN34
Is off, and N-type MOS transistors QN26, QN
29, QN32, QN35 are on. Therefore,
All the normal word line drive signals WDRV00 to WDRV are generated even if one selected one of the word line drive signals WDRV0 to WDRV3 has a predetermined word line potential.
03 remains "L", and the memory cell array MC concerned
All normal memory cell blocks NCB00 of A0
~ NCB0n is not selected.

【0016】また、前述の“H”となったアドレスの組
み合わせが、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回
路ブロックFB01において切断されたヒューズに対応
するアドレスの組み合わせと一致する場合には、冗長メ
モリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB00
において切断されたヒューズに対応するアドレスの組み
合わせと一致する場合と同様に、冗長メモリセルブロッ
クSCB01が選択され、冗長指示信号RSP01は
“H”であるため、メモリセルアレイMCA0のすべて
のノーマルメモリセルブロックNCB00〜NCB0n
は非選択となる。したがって、前述の“H”となったア
ドレスの組み合わせで選択されるノーマルメモリセルブ
ロックは、そのアドレスに対応するヒューズが切断され
ている冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロ
ックにより選択される冗長メモリセルブロックで代替さ
れることとなる。
If the combination of the above-mentioned "H" addresses coincides with the combination of the addresses corresponding to the fuses blown in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB01, the redundant memory cell block. Fuse circuit block for selection FB00
Similarly to the case where the combination of the addresses corresponding to the blown fuses is matched, the redundant memory cell block SCB01 is selected and the redundancy instruction signal RSP01 is "H". Therefore, all the normal memory cell blocks of the memory cell array MCA0 are selected. NCB00 to NCB0n
Is deselected. Therefore, the normal memory cell block selected by the combination of the above-mentioned "H" addresses is the redundant memory cell selected by the redundant memory cell block selecting fuse circuit block in which the fuse corresponding to the address is cut. It will be replaced by a block.

【0017】ここで、ヒューズを切断するときには、1
つの冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロッ
クにつき、アドレス信号XA0〜3に対応する4本のう
ちの1本、XB0〜3に対応する4本のうちの1本、X
C0〜3に対応する4本のうちの1本の計3本のヒュー
ズを切断する。
Here, when the fuse is blown, 1
For one redundant memory cell block selecting fuse circuit block, one of four corresponding to the address signals XA0 to XA, one of four corresponding to XB0 to 3, and X
One fuse out of four fuses corresponding to C0 to 3 is cut.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来方式の半導体メモリ装置における冗長メモリセル
ブロックによる代替は、1個のノーマルデコーダが制御
する1個のノーマルメモリセルブロックを冗長メモリセ
ルブロック選択用ヒューズ回路ブロックにより1個の冗
長メモリセルブロックで代替させることに限られる。こ
のため代替自由度が低く、また、救済率を向上させるべ
く1つのメモリセルアレイに準備する冗長メモリセルブ
ロックの数を多くするほど多くの冗長メモリセルブロッ
ク選択用ヒューズ回路ブロックが必要とされ、チップ面
積が拡大しコストが増大するという問題がある。
However, the replacement by the redundant memory cell block in the above-mentioned conventional semiconductor memory device is such that one normal memory cell block controlled by one normal decoder is used for selecting the redundant memory cell block. The replacement is limited to one redundant memory cell block by the fuse circuit block. Therefore, the degree of substitution is low, and the more redundant memory cell blocks are prepared in one memory cell array to improve the repair rate, the more redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks are required. There is a problem that the area is expanded and the cost is increased.

【0019】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、チップ面積の増大を抑制し冗長メモリセルブロッ
クの代替効率を高める構造を有する半導体メモリ装置を
提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device having a structure that suppresses an increase in chip area and enhances replacement efficiency of redundant memory cell blocks.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本発明の第1の構成に係
る半導体メモリ装置によれば、複数のノーマルメモリセ
ルブロックと複数の冗長メモリセルブロックとを有する
メモリセルアレイと、上記複数のノーマルメモリセルブ
ロックのうち欠陥のある複数のノーマルメモリセルブロ
ックを上記複数の冗長メモリセルブロックの一部または
全部により代替するために、上記欠陥のある複数のノー
マルメモリセルブロックのアドレスに対応して切断され
る複数のヒューズを有する冗長メモリセルブロック選択
用ヒューズ回路ブロックと、上記ノーマルメモリセルブ
ロックへのアクセスを制御するノーマルデコーダと、上
記冗長メモリセルブロックへのアクセスを制御する冗長
デコーダと、を備え、上記欠陥のある複数のノーマルメ
モリセルブロックのアドレスに対応して上記ヒューズを
切断された上記冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ
回路ブロックからのアドレス信号が上記冗長デコーダへ
入力されることにより、上記欠陥のある複数のノーマル
メモリセルブロックが上記複数の冗長メモリセルブロッ
クの一部または全部で代替され、上記アドレス信号は、
上記冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロッ
クにおいて設定したノーマルメモリセルブロック選択ア
ドレスにおける最下位アドレスの信号であることを特徴
とする。
According to the semiconductor memory device of the first aspect of the present invention, a memory cell array having a plurality of normal memory cell blocks and a plurality of redundant memory cell blocks, and the plurality of normal memories are provided. In order to replace a plurality of defective normal memory cell blocks of the cell blocks with some or all of the plurality of redundant memory cell blocks, the defective normal memory cell blocks are cut corresponding to the addresses of the plurality of defective normal memory cell blocks. A redundant memory cell block selecting fuse circuit block having a plurality of fuses, a normal decoder for controlling access to the normal memory cell block, and a redundant decoder for controlling access to the redundant memory cell block, Multiple defective normal memory cell blocks An address signal from the redundant memory cell block selecting fuse circuit block, in which the fuse has been blown corresponding to an address, is input to the redundant decoder, so that the defective normal memory cell blocks are divided into the plural normal memory cell blocks. The address signal is replaced by a part or all of the redundant memory cell block,
It is a signal of the lowest address in the normal memory cell block selection address set in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block.

【0021】 上記本発明の第1の構成に係る半導体メ
モリ装置において、一のノーマルメモリセルブロックと
上記一のノーマルメモリセルブロックに対して互いに隣
接する他のノーマルメモリセルブロックとの2個の上記
ノーマルメモリセルブロックを2個の上記冗長メモリセ
ルブロックで代替する場合に、上記一のノーマルメモリ
セルブロックのアドレスと上記他のノーマルメモリセル
ブロックのアドレスとのうち、アドレスの共通部分は一
の上記冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロ
ックの共通のヒューズを切断して選択し、互いに異なる
上記最下位アドレスは上記最下位アドレスに対応した複
数のヒューズのうち2個を切断して選択することによ
り、上記2個のノーマルメモリセルブロックを上記2個
の冗長メモリセルブロックで代替することとするとよ
い。
In the semiconductor memory device according to the first configuration of the present invention, two normal memory cell blocks, one normal memory cell block and another normal memory cell block adjacent to the one normal memory cell block, are provided. When the normal memory cell block is replaced by the two redundant memory cell blocks, the common part of the addresses of the address of the one normal memory cell block and the address of the other normal memory cell block is one of the above. By cutting and selecting a common fuse of the redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks, and by cutting and selecting two of the plurality of fuses corresponding to the lowest address, the lowest addresses different from each other are selected. The above two normal memory cell blocks are replaced with the above two redundant memory cell blocks. It is better to replace it with a hook.

【0022】 本発明の第2の構成に係る半導体メモリ
装置によれば、複数のノーマルメモリセルブロックと複
数の冗長メモリセルブロックとを有するメモリセルアレ
イと、上記複数のノーマルメモリセルブロックのうち欠
陥のある複数のノーマルメモリセルブロックを上記複数
の冗長メモリセルブロックの一部または全部により代替
するために、上記欠陥のある複数のノーマルメモリセル
ブロックのアドレスに対応して切断される複数のヒュー
ズを有する冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路
ブロックと、上記ノーマルメモリセルブロックへのアク
セスを制御するノーマルデコーダと、上記冗長メモリセ
ルブロックへのアクセスを制御する冗長デコーダと、を
備え、上記欠陥のある複数のノーマルメモリセルブロッ
クのアドレスに対応して上記ヒューズを切断された上記
冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックか
らのアドレス信号が上記冗長デコーダへ入力されること
により、上記欠陥のある複数のノーマルメモリセルブロ
ックが上記複数の冗長メモリセルブロックの一部または
全部で代替され、上記複数のノーマルメモリセルブロッ
クは、それぞれ、各ノーマルメモリセルブロックごとに
複数のアドレスの組合わせが割り当てられたノーマルメ
モリセルブロックであり、割り当てられた上記アドレス
の組合せの配置形態は、一のノーマルメモリセルブロッ
クに割り当てられたアドレスの組合わせと上記一のノー
マルメモリセルブロックに対して互いに隣接する他のノ
ーマルメモリセルブロックに割り当てられたアドレスの
組合わせとが、上記各アドレスの組合せを構成する上記
複数アドレスのうちのいずれか一のアドレスのみが必ず
互いに異なるように上記アドレスの組合せを配置した配
置形態であることを特徴とする。
According to the semiconductor memory device of the second configuration of the present invention, a memory cell array having a plurality of normal memory cell blocks and a plurality of redundant memory cell blocks, and a defective one of the plurality of normal memory cell blocks. To replace a certain normal memory cell block with a part or all of the plurality of redundant memory cell blocks, a plurality of fuses are cut corresponding to addresses of the defective normal memory cell blocks. A redundant memory cell block selecting fuse circuit block; a normal decoder for controlling access to the normal memory cell block; and a redundant decoder for controlling access to the redundant memory cell block. Corresponds to the address of the normal memory cell block Then, the address signal from the redundant memory cell block selecting fuse circuit block whose fuse has been blown is input to the redundant decoder, so that the defective normal memory cell blocks are transferred to the redundant memory cells. The plurality of normal memory cell blocks are replaced by some or all of the blocks, and each of the plurality of normal memory cell blocks is a normal memory cell block to which a combination of a plurality of addresses is allocated for each normal memory cell block. The arrangement form of the combination is a combination of addresses assigned to one normal memory cell block and a combination of addresses assigned to other normal memory cell blocks adjacent to the one normal memory cell block. Is the union of the above addresses Characterized in that only any one of the addresses of said plurality of addresses which configuration is arranged form always placed the address combination of differently each other.

【0023】 上記本発明の第2の構成に係る半導体メ
モリ装置において、上記ノーマルメモリセルブロックに
割り当てられた上記アドレスの組合わせに応じて決定さ
れる冗長デコーダ選択信号が上記冗長デコーダへ入力さ
れることにより、上記欠陥のある複数のノーマルメモリ
セルブロックが上記複数の冗長メモリセルブロックの一
部または全部で代替されることとするとよい。
In the semiconductor memory device according to the second configuration of the present invention, a redundant decoder selection signal determined according to a combination of the addresses assigned to the normal memory cell block is input to the redundant decoder. As a result, the defective normal memory cell blocks may be replaced with some or all of the redundant memory cell blocks.

【0024】 また、一のノーマルメモリセルブロック
と上記一のノーマルメモリセルブロックに対して互いに
隣接する他のノーマルメモリセルブロックとの2個の上
記ノーマルメモリセルブロックを2個の上記冗長メモリ
セルブロックで代替する場合に、上記一のノーマルメモ
リセルブロックのアドレスと上記他のノーマルメモリセ
ルブロックのアドレスとのうち、アドレスの共通部分は
一の上記冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブ
ロックの共通のヒューズを切断して選択し、互いに異な
るアドレスは上記互いに異なるアドレスに対応した複数
のヒューズのうち2個を切断して選択することにより、
上記2個のノーマルメモリセルブロックを上記2個の冗
長メモリセルブロックで代替することとするとよい。
Further, two normal memory cell blocks, one normal memory cell block and another normal memory cell block adjacent to the one normal memory cell block, are replaced with two normal memory cell blocks and two redundant memory cell blocks. , The common part of the addresses of the address of the one normal memory cell block and the address of the other normal memory cell block is a common fuse of the redundant memory cell block selecting fuse circuit block. By cutting, and selecting different addresses, and by cutting and selecting two of the plurality of fuses corresponding to the different addresses,
It is preferable to replace the two normal memory cell blocks with the two redundant memory cell blocks.

【0025】 上記本発明の第1及び第2の構成に係る
半導体メモリ装置において、上記冗長メモリセルブロッ
ク選択用ヒューズ回路ブロックの個数は、上記冗長メモ
リセルブロックの個数より少ないこととするとよい。
In the semiconductor memory device according to the first and second configurations of the present invention, the number of the redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks may be smaller than the number of the redundant memory cell blocks.

【0026】[0026]

【0027】[0027]

【0028】[0028]

【0029】[0029]

【0030】[0030]

【0031】[0031]

【0032】[0032]

【0033】[0033]

【0034】[0034]

【0035】[0035]

【0036】[0036]

【0037】[0037]

【0038】[0038]

【0039】[0039]

【0040】[0040]

【0041】[0041]

【0042】[0042]

【0043】[0043]

【0044】[0044]

【0045】[0045]

【0046】[0046]

【0047】[0047]

【0048】[0048]

【0049】[0049]

【0050】[0050]

【作用】一の冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回
路ブロックにより、欠陥のある複数のノーマルメモリセ
ルブロックを複数の冗長メモリセルブロックの一部また
は全部により代替する構成とし、且つ、欠陥のある複数
のノーマルメモリセルブロックのアドレスに対応したヒ
ューズを切断された冗長メモリセルブロック選択用ヒュ
ーズ回路ブロックからのアドレス信号が冗長デコーダへ
入力されることにより欠陥のある複数のノーマルメモリ
セルブロックが複数の冗長メモリセルブロックの一部ま
たは全部により代替される構成とし、さらに、上記アド
レス信号は、上記冗長メモリセルブロック選択用ヒュー
ズ回路ブロックにおいて設定したノーマルメモリセルブ
ロック選択アドレスにおける最下位アドレスの信号であ
ることとしたので、冗長メモリセルブロック選択用ヒュ
ーズ回路ブロックの個数を低減させ、代替自由度を確保
しながらチップ面積の増大を抑制することができる。
According to one redundant memory cell block selecting fuse circuit block, a plurality of defective normal memory cell blocks are replaced by a part or all of the redundant memory cell blocks, and a plurality of defective memory cell blocks are selected. The address signal from the redundant memory cell block selecting fuse circuit block, in which the fuse corresponding to the address of the normal memory cell block is blown, is input to the redundant decoder, whereby a plurality of defective normal memory cell blocks are replaced by a plurality of redundant memories. The configuration is such that a part or all of the cell block is substituted, and the address signal is a signal of the lowest address in the normal memory cell block selection address set in the redundant memory cell block selection fuse circuit block. Because I did Reduces the number of redundant memory cell block selection fuse circuit block, it is possible to suppress an increase in chip area while securing the alternate freedom.

【0051】通常、不良の原因となる欠陥が1個のノー
マルメモリセルブロック内に収まらない場合には、その
欠陥は2個の隣接したノーマルメモリセルブロックに跨
ることになるため、2個のノーマルメモリセルブロック
を2個の冗長メモリセルブロックで代替する必要がある
ときは、それら2個のノーマルメモリセルブロックは隣
接したものであることが多い。したがって、互いに隣接
する2個のノーマルメモリセルブロックを2個の冗長メ
モリセルブロックにより代替する場合に、2個のノーマ
ルメモリセルブロックのアドレスのうち、アドレスの共
通部分は共通のヒューズを切断して選択し、互いに異な
る最下位アドレスは最下位アドレスに対応した複数のヒ
ューズのうち2個を切断して選択することとしたので、
一の冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロッ
クで2個のノーマルメモリセルブロックを2個の冗長メ
モリセルブロックにより代替させることにより、冗長メ
モリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックの個数を
低減させ、代替自由度を確保しながらチップ面積の増大
を抑制することができる。
Normally, when a defect that causes a defect does not fit in one normal memory cell block, the defect extends over two adjacent normal memory cell blocks, and therefore, two normal memory cell blocks are used. When it is necessary to replace a memory cell block with two redundant memory cell blocks, the two normal memory cell blocks are often adjacent to each other. Therefore, when the two normal memory cell blocks adjacent to each other are replaced by the two redundant memory cell blocks, the common part of the addresses of the two normal memory cell blocks is cut by cutting the common fuse. Since the lowest addresses that are different from each other are selected by cutting two fuses out of the plurality of fuses corresponding to the lowest addresses,
By replacing two normal memory cell blocks with two redundant memory cell blocks in one redundant memory cell block selecting fuse circuit block, the number of redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks is reduced, and substitution is free. It is possible to suppress the increase of the chip area while ensuring the degree.

【0052】複数のノーマルメモリセルブロックのそれ
ぞれに、各ノーマルメモリセルブロックごとに複数のア
ドレスの組合わせを割り当て、その割り当てられたアド
レスの組合せの配置形態は、一のノーマルメモリセルブ
ロックに割り当てられたアドレスの組合わせと一のノー
マルメモリセルブロックに対して互いに隣接する他のノ
ーマルメモリセルブロックに割り当てられたアドレスの
組合わせとが、各アドレスの組合せを構成する複数アド
レスのうちのいずれか一のアドレスのみが必ず互いに異
なるようにアドレスの組合せを配置した配置形態である
ものとしたので、互いに隣接した2個のノーマルメモリ
セルブロックのそれぞれのアドレスの組合せは、いかな
る組合せを任意に選択しても、必ずアドレスの組合せを
構成する複数アドレスのうち1つを除くすべては同一と
なり、異なるのはいずれか1つのみとなる。その結果、
常に、任意の互いに隣接した2個のノーマルメモリセル
ブロックを、1個の冗長メモリセルブロック選択用ヒュ
ーズ回路ブロックにより2個の冗長メモリセルブロック
で代替させることが可能である。
To each of the plurality of normal memory cell blocks, a combination of a plurality of addresses is assigned to each normal memory cell block, and the arrangement form of the assigned address combinations is assigned to one normal memory cell block. And a combination of addresses assigned to other normal memory cell blocks adjacent to each other for one normal memory cell block is one of a plurality of addresses forming each address combination. Since the arrangement is such that the address combinations are arranged so that only the addresses are always different from each other, any combination of the addresses of the two normal memory cell blocks adjacent to each other can be selected arbitrarily. Even if multiple addresses that make up a combination of addresses are All but one of the scan will be the same, different from the only one either. as a result,
It is always possible to substitute two redundant normal memory cell blocks adjacent to each other with two redundant memory cell blocks by one redundant memory cell block selecting fuse circuit block.

【0053】ノーマルメモリセルブロックに割り当てら
れたアドレスの組合わせに応じて決定される冗長デコー
ダ選択信号が冗長デコーダへ入力されることにより、欠
陥のある複数のノーマルメモリセルブロックが複数の冗
長メモリセルブロックの一部または全部で代替されるも
のとしたので、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ
回路ブロックの個数を低減させ、代替自由度を確保しな
がらチップ面積の増大を抑制することができる。
A redundant decoder selection signal determined according to a combination of addresses assigned to the normal memory cell blocks is input to the redundant decoder, so that a plurality of defective normal memory cell blocks are replaced with a plurality of redundant memory cells. Since some or all of the blocks are replaced, the number of redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks can be reduced, and the increase in chip area can be suppressed while ensuring the degree of replacement.

【0054】一のノーマルメモリセルブロックと一のノ
ーマルメモリセルブロックに対して互いに隣接する他の
ノーマルメモリセルブロックとの2個のノーマルメモリ
セルブロックを2個の冗長メモリセルブロックで代替す
る場合に、一のノーマルメモリセルブロックのアドレス
と他のノーマルメモリセルブロックのアドレスとのう
ち、アドレスの共通部分は一の冗長メモリセルブロック
選択用ヒューズ回路ブロックの共通のヒューズを切断し
て選択し、互いに異なるアドレスは互いに異なるアドレ
スに対応した複数のヒューズのうち2個を切断して選択
することにより、2個のノーマルメモリセルブロックを
2個の冗長メモリセルブロックで代替するものとしたの
で、一の冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブ
ロックで2個のノーマルメモリセルブロックを2個の冗
長メモリセルブロックにより代替させることにより、冗
長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックの個
数を低減させ、代替自由度を確保しながらチップ面積の
増大を抑制することができる。
In the case of replacing two normal memory cell blocks of one normal memory cell block and another normal memory cell block adjacent to the one normal memory cell block with two redundant memory cell blocks. Of the addresses of one normal memory cell block and the addresses of other normal memory cell blocks, the common part of the addresses is selected by cutting the common fuse of the fuse circuit block for selecting one redundant memory cell block, For different addresses, two normal memory cell blocks are replaced by two redundant memory cell blocks by cutting and selecting two fuses from a plurality of fuses corresponding to different addresses. Redundant memory cell block selection fuse circuit block By replacing each memory cell block with two redundant memory cell blocks, it is possible to reduce the number of redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks, and to suppress the increase in chip area while ensuring the degree of substitution. .

【0055】冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回
路ブロックは、冗長メモリセルブロックの個数より可能
な限り少ない個数を設けたものとしたので、冗長メモリ
セルブロック選択用ヒューズ回路ブロックの個数を低減
させ、代替自由度を確保しながらチップ面積の増大を抑
制することができる。
Since the number of redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks is set to be as small as possible than the number of redundant memory cell blocks, the number of redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks is reduced and replaced. An increase in the chip area can be suppressed while ensuring the degree of freedom.

【0056】[0056]

【0057】[0057]

【0058】[0058]

【0059】[0059]

【0060】[0060]

【0061】[0061]

【実施例】以下に、本発明の第1の実施例に係る不良メ
モリセルの代替方式を採用した半導体メモリ装置につい
て図1、図2、図3および図4を参照しながら説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A semiconductor memory device adopting an alternative method of defective memory cells according to a first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1, 2, 3 and 4.

【0062】図1は、第1の実施例に係る半導体メモリ
装置のブロック構成図である。
FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor memory device according to the first embodiment.

【0063】図1のブロック構成図の最上段部分には、
複数のノーマルメモリセルブロックNCB00〜NCB
0nと2個の冗長メモリセルブロックSCB00,SC
B01とを有するメモリセルアレイMCA0が示されて
いる。
At the top of the block diagram of FIG.
A plurality of normal memory cell blocks NCB00 to NCB
0n and two redundant memory cell blocks SCB00, SC
A memory cell array MCA0 having B01 and B01 is shown.

【0064】ノーマルメモリセルブロックNCB00に
はノーマルワード線WL00〜03の一端がそれぞれ接
続されており、ノーマルワード線WL00〜03の他端
はそれぞれノーマルデコーダNDEC00に接続されて
いる。他のノーマルメモリセルブロックNCB01〜N
CB0nと他のノーマルデコーダNDEC01〜0nと
の間もそれぞれノーマルワード線(図中に符号は付して
いない。)により接続されている。
One end of each of the normal word lines WL00 to 03 is connected to the normal memory cell block NCB00, and the other end of each of the normal word lines WL00 to 03 is connected to the normal decoder NDEC00. Other normal memory cell blocks NCB01-N
CB0n and other normal decoders NDEC01 to 0n are also connected by normal word lines (not shown in the figure).

【0065】各ノーマルデコーダNDEC00〜0nに
は、各ノーマルデコーダNDEC00〜NDEC0nが
ノーマルワード線WL00〜03、…により接続された
ノーマルメモリセルブロックのアドレスに対応したアド
レス信号XA0〜3,XB0〜3,XC0〜3のそれぞ
れのうちいずれかが入力され、さらに、ノーマルデコー
ダコントロール回路NDC10からのワード線駆動信号
WDRV00〜03が入力されている。
In each normal decoder NDEC00-0n, the address signals XA0-3, XB0-3 corresponding to the address of the normal memory cell block to which the normal decoders NDEC00-NDEC0n are connected by the normal word lines WL00-03 ,. Any one of XC0 to XC3 is input, and further, the word line drive signals WDRV00 to 03 from the normal decoder control circuit NDC10 are input.

【0066】ノーマルデコーダコントロール回路NDC
10には、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路
ブロックFB00からの冗長指示信号RSP00と、メ
モリセルアレイ選択信号RSL0とが入力されている。
Normal decoder control circuit NDC
The redundancy instruction signal RSP00 from the redundancy memory cell block selection fuse circuit block FB00 and the memory cell array selection signal RSL0 are input to the memory cell 10.

【0067】2個の冗長メモリセルブロックSCB0
0,SCB01には冗長ワード線SWL00〜03,S
WL04〜07の一端がそれぞれ接続されており、冗長
ワード線SWL00〜03,SWL04〜07の他端は
それぞれ冗長デコーダSDEC100,101に接続さ
れている。
Two redundant memory cell blocks SCB0
0, SCB01 have redundant word lines SWL00-03, S
One end of each of WL04 to 07 is connected, and the other ends of the redundant word lines SWL00 to 03 and SWL04 to 07 are connected to the redundant decoders SDEC100 and 101, respectively.

【0068】冗長デコーダSDEC100には、ワード
線駆動信号WDRV0〜3と、アドレス信号XA0,X
A2と、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブ
ロックFB00からの冗長指示信号RSP00と、メモ
リセルアレイ選択信号RSL0とが入力されている。
The redundancy decoder SDEC100 has word line drive signals WDRV0 to WDRV3 and address signals XA0 and XA.
A2, the redundancy instruction signal RSP00 from the redundancy memory cell block selection fuse circuit block FB00, and the memory cell array selection signal RSL0 are input.

【0069】冗長デコーダSDEC101には、ワード
線駆動信号WDRV0〜3と、アドレス信号XA1,X
A3と、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブ
ロックFB00からの冗長指示信号RSP00と、メモ
リセルアレイ選択信号RSL0とが入力されている。
The redundancy decoder SDEC101 has word line drive signals WDRV0 to WDRV3 and address signals XA1 and XA.
A3, the redundancy instruction signal RSP00 from the redundancy memory cell block selection fuse circuit block FB00, and the memory cell array selection signal RSL0 are input.

【0070】以上にブロック構成図の最上段部分の接続
関係を説明したが、各段ごとに同様の接続関係により構
成されている。
The connection relation of the uppermost stage portion of the block diagram has been described above, but each stage has the same connection relation.

【0071】図1における冗長メモリセルブロック選択
用ヒューズ回路ブロックFB00,FB10,FB2
0,FB30は、図13に示した従来例に係る冗長メモ
リセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックと同様の構
成を有している。
Fuse circuit blocks FB00, FB10, FB2 for selecting redundant memory cell blocks in FIG.
0 and FB30 have the same configuration as the redundant memory cell block selecting fuse circuit block according to the conventional example shown in FIG.

【0072】冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回
路ブロックには、信号PRCHにより制御されるP型M
OSトランジスタQP0と、アドレス信号XA0〜3,
XB0〜3,XC0〜3により制御されるN型MOSト
ランジスタQN0〜11とが備えられており、さらに、
P型MOSトランジスタQP0からの信号と、それぞれ
ヒューズFU0〜11およびインバータを介した各N型
MOSトランジスタQN0〜11からの信号とにより制
御されるP型MOSトランジスタQP1が備えられてい
る。したがって、P型MOSトランジスタQP0,1
と、N型MOSトランジスタQN0〜11とからの信号
により、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブ
ロックの出力信号である冗長指示信号RSP00が制御
される。
The redundant memory cell block selecting fuse circuit block includes a P-type M controlled by a signal PRCH.
OS transistor QP0 and address signals XA0-3
N-type MOS transistors QN0 to 11 controlled by XB0 to 3 and XC0 to 3 are provided.
A P-type MOS transistor QP1 controlled by a signal from the P-type MOS transistor QP0 and a signal from each of the N-type MOS transistors QN0 to 11 via the fuses FU0 to 11 and an inverter is provided. Therefore, the P-type MOS transistors QP0,1
And signals from the N-type MOS transistors QN0 to QN11 control the redundancy instructing signal RSP00 which is an output signal of the redundancy memory cell block selecting fuse circuit block.

【0073】図2は、図1における第1の冗長デコーダ
SDEC100の回路構成図であり、冗長デコーダSD
EC110,SDEC120,SDEC130は冗長デ
コーダSDEC100と同様の構成を有している。
FIG. 2 is a circuit diagram of the first redundant decoder SDEC100 shown in FIG.
The EC 110, SDEC 120, and SDEC 130 have the same configuration as the redundant decoder SDEC 100.

【0074】第1の冗長デコーダSDEC100は、ア
ドレス信号XA0,2のORゲートを介した信号と、冗
長指示信号RSP00と、メモリセルアレイ選択信号R
SL0とが入力されるNANDゲートからの信号がイン
バータを介した信号を入力信号としている。入力信号
は、N型MOSトランジスタQN48,51,54,5
7を介してそれぞれN型MOSトランジスタQN49,
52,55,58を制御し、また、インバータを介して
N型MOSトランジスタQN50,53,56,59を
制御する。ワード線駆動信号WDRV0,1,2,3
は、それぞれN型MOSトランジスタQN49とQN5
0、QN52とQN53、QN55とQN56、QN5
8とQN59の制御を経て、冗長ワード線SWL00,
SWL01,SWL02,SWL03を制御する。
The first redundancy decoder SDEC100 has a signal through the OR gates of the address signals XA0 and XA2, a redundancy designating signal RSP00, and a memory cell array selection signal R.
The signal from the NAND gate to which SL0 is input is the signal that has passed through the inverter. The input signals are N-type MOS transistors QN48, 51, 54, 5
N-type MOS transistor QN49,
52, 55, 58, and also controls N-type MOS transistors QN50, 53, 56, 59 via an inverter. Word line drive signal WDRV0, 1, 2, 3
Are N-type MOS transistors QN49 and QN5, respectively.
0, QN52 and QN53, QN55 and QN56, QN5
8 and QN59, the redundant word line SWL00,
It controls SWL01, SWL02, and SWL03.

【0075】図3は、図1における第2の冗長デコーダ
SDEC101の回路構成図であり、冗長デコーダSD
EC111,SDEC121,SDEC131は冗長デ
コーダSDEC101と同様の構成を有している。
FIG. 3 is a circuit configuration diagram of the second redundant decoder SDEC101 in FIG.
The EC111, SDEC121, and SDEC131 have the same configuration as the redundant decoder SDEC101.

【0076】第2の冗長デコーダSDEC101は、ア
ドレス信号XA1,3のORゲートを介した信号と、冗
長指示信号RSP00と、メモリセルアレイ選択信号R
SL0とが入力されるNANDゲートからの信号がイン
バータを介した信号を入力信号としている。入力信号
は、N型MOSトランジスタQN60,63,66,6
9を介してそれぞれN型MOSトランジスタQN61,
64,67,70を制御し、また、インバータを介して
N型MOSトランジスタQN62,65,68,71を
制御する。ワード線駆動信号WDRV0,1,2,3
は、それぞれN型MOSトランジスタQN61とQN6
2、QN64とQN65、QN67とQN68、QN7
0とQN71の制御を経て、冗長ワード線SWL04,
SWL05,SWL06,SWL07を制御する。
The second redundancy decoder SDEC101 has a signal through the OR gates of the address signals XA1 and XA3, a redundancy designating signal RSP00, and a memory cell array selection signal R.
The signal from the NAND gate to which SL0 is input is the signal that has passed through the inverter. The input signals are N-type MOS transistors QN60, 63, 66, 6
N type MOS transistor QN61,
64, 67, 70, and also controls N-type MOS transistors QN62, 65, 68, 71 via inverters. Word line drive signal WDRV0, 1, 2, 3
Are N-type MOS transistors QN61 and QN6, respectively.
2, QN64 and QN65, QN67 and QN68, QN7
0 and the control of QN71, the redundant word line SWL04,
It controls SWL05, SWL06, and SWL07.

【0077】図4は、図1におけるノーマルデコーダコ
ントロール回路NDC10の回路構成図であり、ノーマ
ルデコーダコントロール回路NDC11〜NDC13は
ノーマルデコーダコントロール回路NDC10と同様の
構成を有している。
FIG. 4 is a circuit diagram of the normal decoder control circuit NDC10 shown in FIG. 1. The normal decoder control circuits NDC11 to NDC13 have the same structure as the normal decoder control circuit NDC10.

【0078】ノーマルデコーダコントロール回路には、
冗長指示信号RSP00のインバータを介した信号と、
メモリセルアレイ選択信号RSL0とが入力されるNA
NDゲートからの信号がインバータを介した信号を入力
信号としている。入力信号は、N型MOSトランジスタ
QN72,75,78,81を介してそれぞれN型MO
SトランジスタQN73,76,79,82を制御し、
また、インバータを介してN型MOSトランジスタQN
74,77,80,83を制御する。ワード線駆動信号
WDRV0,1,2,3は、それぞれN型MOSトラン
ジスタQN73とQN74、QN76とQN77、QN
79とQN80、QN82とQN83の制御を経て、ノ
ーマルワード線駆動信号WDRV00,01,02,0
3を制御する。
In the normal decoder control circuit,
A signal of the redundancy instruction signal RSP00 through the inverter,
NA to which the memory cell array selection signal RSL0 is input
The signal from the ND gate receives the signal from the inverter as an input signal. The input signal is transmitted through N-type MOS transistors QN72, 75, 78 and 81 to N-type MO.
Controlling the S-transistors QN73, 76, 79, 82,
In addition, the N-type MOS transistor QN
74, 77, 80, 83 are controlled. The word line drive signals WDRV0, 1, 2, 3 are supplied to N-type MOS transistors QN73 and QN74, QN76 and QN77, QN, respectively.
The normal word line drive signals WDRV00, 01, 02, 0 are controlled through 79 and QN80 and QN82 and QN83.
Control 3

【0079】図1におけるノーマルデコーダNDEC0
0〜NDEC0n,NDEC10〜NDEC1n,ND
EC20〜NDEC2n,NDEC30〜NDEC3n
は、図16に示した従来例に係るノーマルデコーダと同
様の構成を有している。
Normal decoder NDEC0 in FIG.
0-NDEC0n, NDEC10-NDEC1n, ND
EC20 to NDEC2n, NDEC30 to NDEC3n
Has the same configuration as the normal decoder according to the conventional example shown in FIG.

【0080】ノーマルデコーダには、アドレス信号XA
0,XB0,XC0がそれぞれ入力されるNANDゲー
トからの信号がインバータを介した信号を入力信号とし
ている。入力信号は、N型MOSトランジスタQN3
6,39,42,45を介してそれぞれN型MOSトラ
ンジスタQN37,40,43,46を制御し、また、
インバータを介してN型MOSトランジスタQN38,
41,44,47を制御する。ノーマルワード線駆動信
号WDRV00,01,02,03は、それぞれN型M
OSトランジスタQN37とQN38、QN40とQN
41、QN43とQN44、QN46とQN47の制御
を経て、ノーマルワード線WL00,01,02,03
を制御する。
The normal decoder has the address signal XA
The signals from the NAND gate to which 0, XB0, and XC0 are respectively input are the signals passed through the inverter. The input signal is an N-type MOS transistor QN3
The N-type MOS transistors QN37, 40, 43 and 46 are controlled via 6, 39, 42 and 45, respectively, and
N-type MOS transistor QN38 via an inverter,
41, 44, 47 are controlled. The normal word line drive signals WDRV00, 01, 02 and 03 are N-type M
OS transistors QN37 and QN38, QN40 and QN
41, QN43 and QN44, QN46 and QN47, and the normal word lines WL00, 01, 02, 03.
To control.

【0081】図1、図2、図3および図4において、M
CA0はメモリセルアレイでありノーマルメモリセルブ
ロックNCB00〜NCB0nと冗長メモリセルブロッ
クSCB00,SCB01を有し、MCA1〜MCA3
はメモリセルアレイMCA0と同様の構造を成している
他のメモリセルアレイであり、FB00,FB10,F
B20,FB30は冗長メモリセルブロック選択用ヒュ
ーズ回路ブロック、SDEC100,SDEC101,
SDEC110,SDEC111,…,SDEC131
は冗長デコーダ、NDEC00〜NDEC0n,NDE
C10〜NDEC1n,NDEC20〜NDEC2n,
NDEC30〜NDEC3nはノーマルデコーダ、ND
C10,NDC11,NDC12,NDC13はノーマ
ルデコーダコントロール回路、XA0〜3,XB0〜
3,XC0〜3はアドレス信号、RSL0〜RSL3は
メモリセルアレイ選択信号、WDRV0〜WDRV3は
ワード線駆動信号、WDRV00〜WDRV03,WD
RV10〜WDRV13,WDRV20〜WDRV2
3,WDRV30〜WDRV33はノーマルワード線駆
動信号、WL00,WL01,WL02,WL03,…
はノーマルワード線、SWL00,SWL01,SWL
02,SWL03,SWL04,SWL05,SWL0
6,SWL07は冗長ワード線、RSP00,RSP1
0,RSP20,RSP30は冗長指示信号、PRCH
は信号、VCCは電源電圧、VSSは接地電圧、QN4
8〜QN83はN型MOSトランジスタである。
In FIG. 1, FIG. 2, FIG. 3 and FIG.
CA0 is a memory cell array having normal memory cell blocks NCB00 to NCB0n and redundant memory cell blocks SCB00 and SCB01, and MCA1 to MCA3.
Is another memory cell array having the same structure as the memory cell array MCA0, and is FB00, FB10, F
B20 and FB30 are redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks, SDEC100, SDEC101,
SDEC110, SDEC111, ..., SDEC131
Is a redundant decoder, NDEC00 to NDEC0n, NDE
C10-NDEC1n, NDEC20-NDEC2n,
NDEC30 to NDEC3n are normal decoders, ND
C10, NDC11, NDC12, NDC13 are normal decoder control circuits, XA0-3, XB0-
3, XC0 to 3 are address signals, RSL0 to RSL3 are memory cell array selection signals, WDRV0 to WDRV3 are word line drive signals, WDRV00 to WDRV03, WD
RV10 to WDRV13, WDRV20 to WDRV2
3, WDRV30 to WDRV33 are normal word line drive signals, WL00, WL01, WL02, WL03, ...
Is a normal word line, SWL00, SWL01, SWL
02, SWL03, SWL04, SWL05, SWL0
6, SWL07 is a redundant word line, RSP00, RSP1
0, RSP20, RSP30 are redundancy instruction signals, PRCH
Is a signal, VCC is a power supply voltage, VSS is a ground voltage, QN4
8 to QN83 are N-type MOS transistors.

【0082】通常、不良の原因となる欠陥が1個のノー
マルメモリセルブロック内に収まらない場合には、その
欠陥は2個の隣接したノーマルメモリセルブロックに跨
ることになる。このため、2個のノーマルメモリセルブ
ロックを2個の冗長メモリセルブロックで代替する必要
があるときは、それら2個のノーマルメモリセルブロッ
クは隣接したものであることが多い。
Generally, when a defect causing a defect does not fit in one normal memory cell block, the defect extends to two adjacent normal memory cell blocks. Therefore, when it is necessary to substitute two redundant memory cell blocks for two normal memory cell blocks, these two normal memory cell blocks are often adjacent to each other.

【0083】このようなことから第1の実施例は、アド
レスの組み合わせのうちXCとXBが同一でXAのみが
異なるアドレスで選択される隣接した2個のノーマルメ
モリセルブロックにそれぞれ不良メモリセルを含む場合
には、この2個のノーマルメモリセルブロックを2個の
冗長メモリセルブロックで代替させ、不良メモリセルを
含むノーマルメモリセルブロックが1個の場合には、こ
の1個のノーマルメモリセルブロックを2個の冗長メモ
リセルブロックのうちのいずれか1個の冗長メモリセル
ブロックで代替させる。
As described above, in the first embodiment, defective memory cells are respectively assigned to two adjacent normal memory cell blocks selected by addresses having the same XC and XB but different XA in the address combinations. If included, the two normal memory cell blocks are replaced by two redundant memory cell blocks, and if there is one normal memory cell block including a defective memory cell, the one normal memory cell block Is replaced by any one redundant memory cell block of the two redundant memory cell blocks.

【0084】第1の実施例では、メモリセルアレイの構
成は図12におけるメモリセルアレイと同一であり、各
メモリセルアレイに、1個あたりノーマルワード線4本
を有するノーマルメモリセルブロック複数個と、1個あ
たり冗長ワード線4本を有する冗長メモリセルブロック
2個とが備えられている。しかし、それらの冗長メモリ
セルブロックを選択するための冗長メモリセルブロック
選択用ヒューズ回路ブロックが1個であることと、冗長
デコーダにアドレス信号を入力する構成とが、図12に
示す従来の構成とは異なる。
In the first embodiment, the configuration of the memory cell array is the same as that of FIG. 12, and each memory cell array has a plurality of normal memory cell blocks each having four normal word lines and one normal memory cell block. Two redundant memory cell blocks each having four redundant word lines are provided. However, the redundant memory cell block selecting fuse circuit block for selecting those redundant memory cell blocks is one, and the configuration for inputting an address signal to the redundant decoder is different from the conventional configuration shown in FIG. Is different.

【0085】例えば、メモリセルアレイMCA0に対し
てはノーマルメモリセルブロックNCB00〜NCB0
nと、2個の冗長メモリセルブロックSCB00,SC
B01を設けることは従来例と同じであるが、冗長メモ
リセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックはFB00
の1個のみが設けられ、冗長デコーダSDEC100に
はアドレスXA0,XA2が、冗長デコーダSDEC1
01にはアドレスXA1,XA3がそれぞれ入力されて
いる。
For example, for the memory cell array MCA0, normal memory cell blocks NCB00 to NCB0
n and two redundant memory cell blocks SCB00, SC
The provision of B01 is the same as in the conventional example, but the redundant memory cell block selecting fuse circuit block is FB00.
Of the redundant decoder SDEC1 and the addresses XA0 and XA2 are stored in the redundant decoder SDEC1.
Addresses XA1 and XA3 are input to 01, respectively.

【0086】また、従来例と同様、1個のノーマルメモ
リセルブロックに対して1個ずつ設けられたノーマルデ
コーダが各ノーマルメモリセルブロックに接続された4
本のノーマルワード線を制御し、1個の冗長メモリセル
ブロックに対して1個ずつ設けられた冗長デコーダが各
冗長メモリセルブロックに接続された4本の冗長ワード
線を制御する。ワード線駆動信号WDRV0〜WDRV
3はロウアドレスの最下位ビットA0Rとそのすぐ上位
ビットA1Rにより部分デコードされ、A0R,A1R
それぞれの論理電圧により1本が選択され所定のワード
線電位となる。アドレス信号XA0〜3はその上位ビッ
トA2R,A3Rにより、アドレス信号XB0〜3はさ
らにその上位ビットA4R,A5Rにより、アドレス信
号XC0〜3はさらにその上位ビットA6R,A7Rに
よりそれぞれ部分デコードされるように構成する。メモ
リセルアレイの選択はメモリセルアレイ選択信号RSL
0〜RSL3により行われる。1個のメモリセルアレイ
中でのノーマルメモリセルブロックの選択は、アドレス
信号XA0〜3,XB0〜3,XC0〜3によりノーマ
ルデコーダを選択することにより行われる。選択された
メモリセルブロック中でのノーマルワード線の選択は、
ワード線駆動信号WDRV0〜WDRV3がノーマルデ
コーダコントロール回路を経てそれぞれのノーマルデコ
ーダに接続されたノーマルワード線駆動信号WDRV0
0〜WDRV03,WDRV10〜WDRV13,WD
RV20〜WDRV23,WDRV30〜WDRV33
により行われる。
Further, as in the conventional example, one normal decoder provided for each normal memory cell block is connected to each normal memory cell block.
One redundant word line is controlled, and one redundant decoder is provided for each redundant memory cell block to control four redundant word lines connected to each redundant memory cell block. Word line drive signals WDRV0 to WDRV
3 is partially decoded by the least significant bit A0R of the row address and the most significant bit A1R of the row address A0R, A1R.
One is selected by each logic voltage and has a predetermined word line potential. The address signals XA0-3 are partially decoded by their upper bits A2R, A3R, the address signals XB0-3 are further decoded by their upper bits A4R, A5R, and the address signals XC0-3 are further decoded by their upper bits A6R, A7R. Constitute. A memory cell array selection signal RSL is used to select the memory cell array.
0 to RSL3. The selection of the normal memory cell block in one memory cell array is performed by selecting the normal decoder by the address signals XA0-3, XB0-3 and XC0-3. The normal word line selection in the selected memory cell block is
The normal word line drive signals WDRV0 to WDRV0 are connected to the respective normal decoders via the normal decoder control circuit.
0-WDRV03, WDRV10-WDRV13, WD
RV20 to WDRV23, WDRV30 to WDRV33
Done by.

【0087】上記のような本発明の第1の実施例の構成
において、例えば、メモリセルアレイMCA0に備えら
れたノーマルメモリセルブロックの中に不良メモリセル
を含むノーマルメモリセルブロックが1個存在し、それ
を冗長メモリセルブロックSCB00,SCB01のい
ずれかで代替させたい場合には、冗長メモリセルブロッ
ク選択用ヒューズ回路ブロックFB00において不良メ
モリセルを含むブロックのアドレスに対応するヒューズ
を切断することにより、不良メモリセルを含むブロック
は冗長メモリセルブロックで代替され、冗長メモリセル
ブロックが使用される。その際の代替先は、上記不良メ
モリセルを含むブロックのアドレスの組み合わせのうち
XAのアドレスにより選択され、それがXA0またはX
A2であれば冗長メモリセルブロックSCB00が、X
A1またはXA3であれば冗長メモリセルブロックSC
B01が使用される。このとき、冗長メモリセルブロッ
ク選択用ヒューズ回路ブロックFB00において切断す
るヒューズは、アドレス信号XA0〜3に対応する4本
のうちの1本、XB0〜3に対応する4本のうちの1
本、XC0〜3に対応する4本のうちの1本の計3本で
ある。
In the configuration of the first embodiment of the present invention as described above, for example, one normal memory cell block including a defective memory cell exists in the normal memory cell blocks provided in the memory cell array MCA0, When it is desired to replace it with either of the redundant memory cell blocks SCB00 and SCB01, the fuse corresponding to the address of the block including the defective memory cell in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 is broken, and thus the defective memory cell is defective. The block including the memory cell is replaced with the redundant memory cell block, and the redundant memory cell block is used. In this case, the alternative destination is selected by the address of XA in the combination of the addresses of the block including the defective memory cell, which is XA0 or XA.
If A2, the redundant memory cell block SCB00 is X
If A1 or XA3, redundant memory cell block SC
B01 is used. At this time, the fuse blown in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 is one of the four fuses corresponding to the address signals XA0-3 and one of the four fuses corresponding to XB0-3.
This is a total of three, one out of four corresponding to XC0 to XC3.

【0088】また、アドレスXCとXBは同一でXAの
みが異なるアドレスの組み合わせで選択される隣接した
2個のノーマルメモリセルブロックにそれぞれ不良メモ
リセルが含まれ、2個の冗長メモリセルブロックSCB
00,SCB01を使用したい場合には、冗長メモリセ
ルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB00におい
て、不良メモリセルを含む2個のブロックのそれぞれの
アドレスに対応するヒューズを切断することにより、そ
れらの不良メモリセルを含む2個のブロックがそれぞれ
冗長メモリセルブロックSCB00,SCB01で代替
される。このとき、冗長メモリセルブロック選択用ヒュ
ーズ回路ブロックFB00において切断するヒューズ
は、2組のアドレスの組み合わせがXCとXBは同一で
XAのみが異なるものであるため、アドレス信号XC0
〜3に対応する4本のうちの1本、XB0〜3に対応す
る4本のうちの1本、XA0〜3に対応する4本のうち
の2本の計4本である。
Further, two adjacent normal memory cell blocks selected by a combination of addresses having the same addresses XC and XB but different only in XA include defective memory cells, and two redundant memory cell blocks SCB are included.
00 and SCB01 are used, in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00, the fuses corresponding to the respective addresses of the two blocks including the defective memory cell are cut off, thereby The two blocks including the above are replaced by redundant memory cell blocks SCB00 and SCB01, respectively. At this time, since the fuses to be blown in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 have the same combination of two addresses, XC and XB are the same and only XA is different, the address signal XC0
1 to 4 for XB0-3, 1 for 4 for XB0-3, and 2 for 4 for XA0-3.

【0089】以下、第1の実施例に係る不良メモリセル
の代替方式を採用した半導体メモリ装置の詳細な回路動
作について図1、図2、図3、図4および図13を参照
しながら説明する。
The detailed circuit operation of the semiconductor memory device adopting the alternative method of the defective memory cell according to the first embodiment will be described below with reference to FIGS. 1, 2, 3, 4, and 13. .

【0090】ここで、メモリセルアレイはMCA0〜M
CA3のうちのMCA0が選択されることとする。はじ
めは、図13に示す冗長メモリセルブロック選択用ヒュ
ーズ回路ブロックFB00において、信号PRCHが
“L”でP型MOSトランジスタQP0がオン、アドレ
ス信号XA0〜3,XB0〜3,XC0〜3のすべてが
“L”でN型MOSトランジスタQN0〜QN11がオ
フであり、冗長指示信号RSP00は“H”となってい
る。また、すべてのメモリセルアレイ選択信号RSL0
〜RSL3は“L”、すべてのワード線駆動信号WDR
V0〜WDRV3は“L”となっており、したがって図
2,図3にそれぞれ示す冗長デコーダSDEC100,
SDEC101において、冗長ワード線SWL00〜S
WL03,冗長ワード線SWL04〜SWL07は
“L”となっている。
Here, the memory cell array is MCA0 to MCA.
It is assumed that MCA0 of CA3 is selected. First, in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 shown in FIG. 13, the signal PRCH is "L", the P-type MOS transistor QP0 is turned on, and all the address signals XA0-3, XB0-3, and XC0-3. At "L", the N-type MOS transistors QN0 to QN11 are off, and the redundancy instruction signal RSP00 is "H". In addition, all memory cell array selection signals RSL0
~ RSL3 is "L", all word line drive signals WDR
V0 to WDRV3 are "L", and therefore redundant decoders SDEC100, shown in FIGS. 2 and 3, respectively.
In SDEC 101, redundant word lines SWL00 to SWL
WL03 and redundant word lines SWL04 to SWL07 are "L".

【0091】まず、信号PRCHが“H”となりP型M
OSトランジスタQP0がオフとなる。続いてはじめは
すべて“L”であったメモリセルアレイ選択信号RSL
0〜RSL3のうちRSL0が“H”となる。さらには
じめはすべて“L”であったアドレス信号XA0〜3の
うちの1本、XB0〜3のうちの1本、XC0〜3のう
ちの1本の計3本が“H”となり、選択するメモリセル
ブロックのアドレスに変化すると、アドレス信号の変化
に対応して12個のN型MOSトランジスタQN0〜Q
N11のうちの3個がオンとなる。
First, the signal PRCH becomes "H" and the P-type M
The OS transistor QP0 is turned off. Then, the memory cell array selection signal RSL which was initially "L"
Of 0 to RSL3, RSL0 becomes "H". Further, at the beginning, one of the address signals XA0 to XA3, which is all "L", one of XB0 to 3 and one of XC0 to 3 becomes "H" and is selected. When the address of the memory cell block changes, twelve N-type MOS transistors QN0 to QN0-Q corresponding to the change of the address signal.
Three of N11 are turned on.

【0092】このとき、この“H”となったアドレスの
組み合わせが、メモリセルアレイMCA0における不良
メモリセルを含むブロックのアドレスではなく、かつ、
メモリセルアレイMCA0に対応して設けられた冗長メ
モリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB00
において切断されたヒューズに対応するアドレスの組み
合わせと一致しない場合は、冗長指示信号RSP00は
“L”となる。したがって、図2,図3にそれぞれ示す
冗長デコーダSDEC100,SDEC101いずれに
おいてメモリセルアレイ選択信号RSL0が“H”とな
っても、N型MOSトランジスタQN49,QN52,
QN55,QN58,QN61,QN64,QN67,
QN70はオフであり、N型MOSトランジスタQN5
0,QN53,QN56,QN59,QN62,QN6
5,QN68,QN71はオンであるため、ワード線駆
動信号WDRV0〜WDRV3のうちの選択された任意
の1本が所定のワード線電位となってもすべての冗長ワ
ード線SWL00〜SWL07は“L”のままである。
すなわち、冗長メモリセルブロックSCB00,SCB
01はいずれも選択されない。
At this time, the combination of the addresses which have become "H" is not the address of the block including the defective memory cell in the memory cell array MCA0, and
Redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 provided corresponding to the memory cell array MCA0
If the combination of the addresses corresponding to the blown fuses does not match, the redundancy instruction signal RSP00 becomes "L". Therefore, even if the memory cell array selection signal RSL0 becomes "H" in either of the redundant decoders SDEC100 and SDEC101 shown in FIGS. 2 and 3, the N-type MOS transistors QN49, QN52,
QN55, QN58, QN61, QN64, QN67,
QN70 is off and N-type MOS transistor QN5
0, QN53, QN56, QN59, QN62, QN6
Since 5, QN68 and QN71 are on, all the redundant word lines SWL00 to SWL07 are "L" even if any one of the word line drive signals WDRV0 to WDRV3 has a predetermined word line potential. It remains.
That is, the redundant memory cell blocks SCB00, SCB
Neither 01 is selected.

【0093】ところが、前述の“H”となったアドレス
の組み合わせが、メモリセルアレイMCA0における不
良メモリセルを含むブロックのアドレスであり、冗長メ
モリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB00
において該アドレスに対応するヒューズがすべて切断さ
れている場合は、冗長指示信号RSP00は“H”のま
まである。このとき、前述の“H”となったアドレスの
組み合わせのうちXAのアドレスがXA0またはXA2
であって、図2に示す冗長デコーダSDEC100にお
いてメモリセルアレイ選択信号RSL0が“H”となる
と、N型MOSトランジスタQN49,QN52,QN
55,QN58はオンであり、N型MOSトランジスタ
QN50,QN53,QN56,QN59はオフとな
り、さらにワード線駆動信号WDRV0〜WDRV3の
うちの選択された任意の1本が所定のワード線電位とな
ると、その電位は対応する冗長ワード線へと転送され
る。すなわち、冗長メモリセルブロックSCB00が選
択される。
However, the combination of the above "H" addresses is the address of the block including the defective memory cell in the memory cell array MCA0, and the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00.
When all the fuses corresponding to the address are blown in, the redundancy instructing signal RSP00 remains "H". At this time, the address of XA is XA0 or XA2 among the combinations of the above-mentioned "H" addresses.
In the redundant decoder SDEC100 shown in FIG. 2, when the memory cell array selection signal RSL0 becomes "H", the N-type MOS transistors QN49, QN52, QN.
55 and QN58 are on, N-type MOS transistors QN50, QN53, QN56 and QN59 are off, and any one of the word line drive signals WDRV0 to WDRV3 has a predetermined word line potential. The potential is transferred to the corresponding redundant word line. That is, the redundant memory cell block SCB00 is selected.

【0094】また、前述の“H”となったアドレスの組
み合わせのうちXAのアドレスがXA1またはXA3で
あって、図3に示す冗長デコーダSDEC101におい
てメモリセルアレイ選択信号RSL0が“H”となる
と、N型MOSトランジスタQN61,QN64,QN
67,QN70はオンとなり、N型MOSトランジスタ
QN62,QN65,QN68,QN71はオフとな
る。したがって、ワード線駆動信号WDRV0〜WDR
V3のうちの選択された任意の1本が所定のワード線電
位となると、その電位は対応する冗長ワード線へと転送
される。すなわち、冗長メモリセルブロックSCB01
が選択される。
If the address of XA is XA1 or XA3 among the combinations of the above-mentioned "H" addresses and the memory cell array selection signal RSL0 becomes "H" in the redundant decoder SDEC101 shown in FIG. Type MOS transistors QN61, QN64, QN
67 and QN70 are turned on, and N-type MOS transistors QN62, QN65, QN68 and QN71 are turned off. Therefore, the word line drive signals WDRV0 to WDR
When a selected arbitrary one of V3 reaches a predetermined word line potential, that potential is transferred to the corresponding redundant word line. That is, the redundant memory cell block SCB01
Is selected.

【0095】このように冗長メモリセルブロック選択用
ヒューズ回路ブロックFB00において“H”となった
アドレスに対応するヒューズがすべて切断されている場
合には、冗長指示信号RSP00が“H”であるため、
図4に示すノーマルデコーダコントロール回路NDC1
0においてメモリセルアレイ選択信号RSL0が“H”
となっても、N型MOSトランジスタQN73,QN7
6,QN79,QN82はオフであり、N型MOSトラ
ンジスタQN74,QN77,QN80,QN83はオ
ンである。したがって、ワード線駆動信号WDRV0〜
WDRV3のうちの選択された任意の1本が所定のワー
ド線電位となってもすべてのノーマルワード線駆動信号
WDRV00〜WDRV03は“L”のままであり、当
該メモリセルアレイMCA0のすべてのノーマルメモリ
セルブロックNCB00〜NCB0nは非選択となる。
この結果、前述の“H”となったアドレスの組み合わせ
で選択されるノーマルメモリセルブロックは、そのアド
レスの組み合わせのうちXAのアドレスにより選択され
る冗長メモリセルブロックで代替されることとなる。
As described above, when all the fuses corresponding to the address which has become "H" in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 are blown, the redundancy instructing signal RSP00 is "H".
Normal decoder control circuit NDC1 shown in FIG.
0, the memory cell array selection signal RSL0 is "H"
Even if it becomes, N-type MOS transistors QN73, QN7
6, QN79, QN82 are off, and N-type MOS transistors QN74, QN77, QN80, QN83 are on. Therefore, the word line drive signals WDRV0-
All the normal word line drive signals WDRV00 to WDRV03 remain "L" even if any one selected from the WDRV3 has a predetermined word line potential, and all the normal memory cells of the memory cell array MCA0. The blocks NCB00 to NCB0n are unselected.
As a result, the normal memory cell block selected by the combination of the above-mentioned "H" addresses is replaced with the redundant memory cell block selected by the address of XA in the combination of the addresses.

【0096】以下に、本発明の第2の実施例に係る不良
メモリセルの代替方式を採用した半導体メモリ装置につ
いて図5、図6、図7、図8および図9を参照しながら
説明する。
A semiconductor memory device adopting the alternative method of the defective memory cell according to the second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 5, 6, 7, 8 and 9.

【0097】図5は、第2の実施例に係る半導体メモリ
装置のブロック構成図である。
FIG. 5 is a block diagram of a semiconductor memory device according to the second embodiment.

【0098】図5のブロック構成図の最上段部分には、
複数のノーマルメモリセルブロックNCB00〜NCB
0nと2個の冗長メモリセルブロックSCB00,SC
B01とを有するメモリセルアレイMCA0が示されて
いる。
The uppermost part of the block diagram of FIG.
A plurality of normal memory cell blocks NCB00 to NCB
0n and two redundant memory cell blocks SCB00, SC
A memory cell array MCA0 having B01 and B01 is shown.

【0099】ノーマルメモリセルブロックNCB00に
はノーマルワード線WL00〜03の一端がそれぞれ接
続されており、ノーマルワード線WL00〜03の他端
はそれぞれノーマルデコーダNDEC00に接続されて
いる。他のノーマルメモリセルブロックNCB01〜N
CB0nと他のノーマルデコーダNDEC01〜0nと
の間もそれぞれノーマルワード線(図中に符号は付して
いない。)により接続されている。
One end of each of the normal word lines WL00-03 is connected to the normal memory cell block NCB00, and the other end of each of the normal word lines WL00-03 is connected to the normal decoder NDEC00. Other normal memory cell blocks NCB01-N
CB0n and other normal decoders NDEC01 to 0n are also connected by normal word lines (not shown in the figure).

【0100】各ノーマルデコーダNDEC00〜0nに
は、各ノーマルデコーダNDEC00〜NDEC0nが
ノーマルワード線WL00〜03、…により接続された
ノーマルメモリセルブロックのアドレスに対応したアド
レス信号XA0〜3,XB0〜3,XC0〜3のそれぞ
れのうちいずれかが入力され、さらに、ノーマルデコー
ダコントロール回路NDC10からのワード線駆動信号
WDRV00〜03が入力されている。
In each normal decoder NDEC00-0n, the address signals XA0-3, XB0-3 corresponding to the address of the normal memory cell block to which the normal decoders NDEC00-NDEC0n are connected by the normal word lines WL00-03 ,. Any one of XC0 to XC3 is input, and further word line drive signals WDRV00 to 03 from the normal decoder control circuit NDC10 are input.

【0101】ノーマルデコーダコントロール回路NDC
10には、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路
ブロックFB00からの冗長指示信号RSP00と、メ
モリセルアレイ選択信号RSL0とが入力されている。
Normal decoder control circuit NDC
The redundancy instruction signal RSP00 from the redundancy memory cell block selection fuse circuit block FB00 and the memory cell array selection signal RSL0 are input to the memory cell 10.

【0102】2個の冗長メモリセルブロックSCB0
0,SCB01には冗長ワード線SWL00〜03,S
WL04〜07の一端がそれぞれ接続されており、冗長
ワード線SWL00〜03,SWL04〜07の他端は
それぞれ冗長デコーダSDEC300,301に接続さ
れている。
Two redundant memory cell blocks SCB0
0, SCB01 have redundant word lines SWL00-03, S
One ends of WL04 to 07 are connected to each other, and the other ends of the redundant word lines SWL00 to 03 and SWL04 to 07 are connected to the redundant decoders SDEC300 and 301, respectively.

【0103】冗長デコーダSDEC300には、ワード
線駆動信号WDRV0〜3と、冗長デコーダ選択信号S
RSL0と、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回
路ブロックFB00からの冗長指示信号RSP00と、
メモリセルアレイ選択信号RSL0とが入力されてい
る。
The redundant decoder SDEC300 has word line drive signals WDRV0 to WDRV3 and a redundant decoder selection signal S.
RSL0, the redundancy instruction signal RSP00 from the redundancy memory cell block selecting fuse circuit block FB00,
The memory cell array selection signal RSL0 is input.

【0104】冗長デコーダSDEC301には、ワード
線駆動信号WDRV0〜3と、冗長デコーダ選択信号S
RSL1と、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回
路ブロックFB00からの冗長指示信号RSP00と、
メモリセルアレイ選択信号RSL0とが入力されてい
る。
The redundancy decoder SDEC301 has word line drive signals WDRV0 to WDRV3 and a redundancy decoder selection signal S.
RSL1, a redundancy instruction signal RSP00 from the redundancy memory cell block selecting fuse circuit block FB00,
The memory cell array selection signal RSL0 is input.

【0105】以上にブロック構成図の最上段部分の接続
関係を説明したが、各段ごとに同様の接続関係により構
成されている。
The connection relation of the uppermost stage portion of the block diagram has been described above, but each stage has the same connection relation.

【0106】図5における冗長メモリセルブロック選択
用ヒューズ回路ブロックFB00,FB10,FB2
0,FB30は、図13に示した従来例に係る冗長メモ
リセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックと同様の構
成を有している。
Fuse circuit blocks FB00, FB10, FB2 for redundant memory cell block selection in FIG.
0 and FB30 have the same configuration as the redundant memory cell block selecting fuse circuit block according to the conventional example shown in FIG.

【0107】図6は、図5における第1の冗長デコーダ
SDEC300の回路構成図であり、冗長デコーダSD
EC310,SDEC320,SDEC330は冗長デ
コーダSDEC300と同様の構成を有している。
FIG. 6 is a circuit configuration diagram of the first redundant decoder SDEC300 in FIG.
The EC 310, SDEC 320, and SDEC 330 have the same configuration as the redundant decoder SDEC 300.

【0108】第1の冗長デコーダSDEC300は、冗
長デコーダ選択信号SRSL0と、冗長指示信号RSP
00と、メモリセルアレイ選択信号RSL0とが入力さ
れるNANDゲートからの信号がインバータを介した信
号を入力信号としている。入力信号は、N型MOSトラ
ンジスタQN102,105,108,111を介して
それぞれN型MOSトランジスタQN103,106,
109,112を制御し、また、インバータを介してN
型MOSトランジスタQN104,107,110、1
13を制御する。ワード線駆動信号WDRV0,1,
2,3は、それぞれN型MOSトランジスタQN103
とQN104、QN106とQN107、QN109と
QN110、QN112とQN113の制御を経て、冗
長ワード線SWL00,SWL01、SWL02,SW
L03を制御する。
The first redundancy decoder SDEC300 has a redundancy decoder selection signal SRSL0 and a redundancy designating signal RSP.
00 and a signal from the NAND gate to which the memory cell array selection signal RSL0 is input are input through the inverter. The input signal is transmitted via N-type MOS transistors QN102, 105, 108 and 111 to N-type MOS transistors QN103, 106 and 106, respectively.
Controls 109 and 112, and N
Type MOS transistors QN104, 107, 110, 1
Control 13. Word line drive signal WDRV0,1,
2 and 3 are N-type MOS transistors QN103, respectively.
And QN104, QN106 and QN107, QN109 and QN110, QN112 and QN113, and redundant word lines SWL00, SWL01, SWL02, SW.
Control L03.

【0109】図7は、図5における第2の冗長デコーダ
SDEC301の回路構成図であり、冗長デコーダSD
EC311,SDEC321,SDEC331は冗長デ
コーダSDEC301と同様の構成を有している。
FIG. 7 is a circuit configuration diagram of the second redundant decoder SDEC301 in FIG.
The EC 311, SDEC 321, and SDEC 331 have the same configuration as the redundant decoder SDEC 301.

【0110】第2の冗長デコーダSDEC301は、冗
長デコーダ選択信号SRSL1と、冗長指示信号RSP
00と、メモリセルアレイ選択信号RSL0とが入力さ
れるNANDゲートからの信号がインバータを介した信
号を入力信号としている。入力信号は、N型MOSトラ
ンジスタQN114,117,120,123を介して
それぞれN型MOSトランジスタQN115,118,
121,124を制御し、また、インバータを介してN
型MOSトランジスタQN116,119,122,1
25を制御する。ワード線駆動信号WDRV0,1,
2,3は、それぞれN型MOSトランジスタQN115
とQN116、QN118とQN119、QN121と
QN122、QN124とQN125の制御を経て、冗
長ワード線SWL04,SWL05,SWL06,SW
L07を制御する。
The second redundant decoder SDEC301 includes a redundant decoder selection signal SRSL1 and a redundancy instruction signal RSP.
00 and a signal from the NAND gate to which the memory cell array selection signal RSL0 is input are input through the inverter. The input signal is transmitted through N-type MOS transistors QN114, 117, 120 and 123 to N-type MOS transistors QN115, 118 and 118, respectively.
121 and 124 are controlled, and N is supplied via an inverter.
Type MOS transistors QN116, 119, 122, 1
Control 25. Word line drive signal WDRV0,1,
2 and 3 are N-type MOS transistors QN115, respectively.
And QN116, QN118 and QN119, QN121 and QN122, QN124 and QN125, and redundant word lines SWL04, SWL05, SWL06, SW.
Control L07.

【0111】図5におけるノーマルデコーダコントロー
ル回路NDC10〜NDC13は、図4に示した第1の
実施例に係るノーマルデコーダコントロール回路と同様
の構成を有している。
Normal decoder control circuits NDC10 to NDC13 in FIG. 5 have the same structure as the normal decoder control circuit according to the first embodiment shown in FIG.

【0112】図5におけるノーマルデコーダNDEC0
0〜NDEC0n,NDEC10〜NDEC1n,ND
EC20〜NDEC2n,NDEC30〜NDEC3n
は、図16に示した従来例に係るノーマルデコーダと同
様の構成を有している。
Normal decoder NDEC0 in FIG.
0-NDEC0n, NDEC10-NDEC1n, ND
EC20 to NDEC2n, NDEC30 to NDEC3n
Has the same configuration as the normal decoder according to the conventional example shown in FIG.

【0113】図5、図6および図7において、MCA0
はメモリセルアレイでありノーマルメモリセルブロック
NCB00〜NCB0nと冗長メモリセルブロックSC
B00,SCB01を有し、MCA1〜MCA3はメモ
リセルアレイMCA0と同様の構造を成している他のメ
モリセルアレイであり、FB00,FB10,FB2
0,FB30は冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ
回路ブロック、SDEC300,SDEC301,SD
EC310,SDEC311,…,SDEC331は冗
長デコーダ、NDEC00〜NDEC0n,NDEC1
0〜NDEC1n,NDEC20〜NDEC2n,ND
EC30〜NDEC3nはノーマルデコーダ、NDC1
0,NDC11,NDC12,NDC13はノーマルデ
コーダコントロール回路、XA0〜3,XB0〜3,X
C0〜3はアドレス信号、RSL0〜RSL3はメモリ
セルアレイ選択信号、SRSL0,SRSL1は冗長デ
コーダ選択信号、WDRV0〜WDRV3はワード線駆
動信号、WDRV00〜WDRV03,WDRV10〜
WDRV13,WDRV20〜WDRV23,WDRV
30〜WDRV33はノーマルワード線駆動信号、WL
00,WL01,WL02,WL03,…はノーマルワ
ード線、SWL00,SWL01,SWL02,SWL
03,SWL04,SWL05,SWL06,SWL0
7は冗長ワード線、RSP00,RSP10,RSP2
0,RSP30は冗長指示信号、PRCHは信号、VC
Cは電源電圧、VSSは接地電圧、QN102〜QN1
25はN型MOSトランジスタである。
In FIGS. 5, 6 and 7, MCA0
Is a memory cell array, and includes normal memory cell blocks NCB00 to NCB0n and redundant memory cell block SC
BCA and SCB01, and MCA1 to MCA3 are other memory cell arrays having the same structure as the memory cell array MCA0. FB00, FB10, FB2
0, FB30 are redundant memory cell block selection fuse circuit blocks, SDEC300, SDEC301, SD
EC310, SDEC311, ..., SDEC331 are redundant decoders, NDEC00 to NDEC0n, NDEC1.
0-NDEC1n, NDEC20-NDEC2n, ND
EC30 to NDEC3n are normal decoders, NDC1
0, NDC11, NDC12, NDC13 are normal decoder control circuits, XA0-3, XB0-3, X
C0 to 3 are address signals, RSL0 to RSL3 are memory cell array selection signals, SRSL0 and SRSL1 are redundant decoder selection signals, WDRV0 to WDRV3 are word line drive signals, WDRV00 to WDRV03, WDRV10.
WDRV13, WDRV20 to WDRV23, WDRV
30 to WDRV33 are normal word line drive signals, WL
00, WL01, WL02, WL03, ... Are normal word lines, SWL00, SWL01, SWL02, SWL
03, SWL04, SWL05, SWL06, SWL0
7 is a redundant word line, RSP00, RSP10, RSP2
0, RSP30 is a redundancy instruction signal, PRCH is a signal, VC
C is the power supply voltage, VSS is the ground voltage, QN102 to QN1
Reference numeral 25 is an N-type MOS transistor.

【0114】上述のように第1の実施例によれば、一方
と他方とが互いに隣接した2個のノーマルメモリセルブ
ロックのうち、一方のアドレスと他方のアドレスとがX
CおよびXBは同一で最下位アドレスXAのみが異なる
組合せとなるアドレスによって選択される互いに隣接し
た2個のノーマルメモリセルブロックを、1個の冗長メ
モリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックにおいて
同一のアドレスXCおよびXBに共通して対応する2個
のヒューズおよび異なるアドレスXAにそれぞれ対応す
る2個のヒューズの計4本のヒューズを切断することに
より、2個の冗長メモリセルブロックで代替させること
ができる。
As described above, according to the first embodiment, one address and the other address of two normal memory cell blocks, one of which is adjacent to the other, are X-addressed.
C and XB are the same, and two normal memory cell blocks that are adjacent to each other and are selected by an address that is a combination of which only the lowest address XA is different are set to the same address XC in one redundant memory cell block selecting fuse circuit block. And, two fuses commonly corresponding to XB and XB and two fuses corresponding to different addresses XA, respectively, are cut, so that a total of four fuses can be replaced with two redundant memory cell blocks.

【0115】これに対し、第2の実施例の構成は、一方
のアドレスと他方のアドレスとがXCおよびXBは同一
で最下位アドレスXAのみが異なる組合せとなるアドレ
スによって選択される隣接した2個のノーマルメモリセ
ルブロックのみならず、任意の互いに隣接した2個のノ
ーマルメモリセルブロックを、1個の冗長メモリセルブ
ロック選択用ヒューズ回路ブロックにより2個の冗長メ
モリセルブロックで代替させることができるものであ
る。
On the other hand, in the configuration of the second embodiment, two adjacent addresses selected by an address in which one address and the other address have the same XC and XB but different only the lowest address XA. Not only the normal memory cell block but also two normal memory cell blocks adjacent to each other can be replaced by two redundant memory cell blocks by one redundant memory cell block selecting fuse circuit block. Is.

【0116】不良メモリセルを含むノーマルメモリセル
ブロックが1個である場合に、その1個のノーマルメモ
リセルブロックを2個の冗長メモリセルブロックのうち
のいずれか1個の冗長メモリセルブロックで代替させる
ことは第1の実施例と同様であるので、以下、第2の実
施例の構成において、任意の互いに隣接した2個のノー
マルメモリセルブロックを、1個の冗長メモリセルブロ
ック選択用ヒューズ回路ブロックにより2個の冗長メモ
リセルブロックで代替させる場合について説明する。
When there is only one normal memory cell block including a defective memory cell, the one normal memory cell block is replaced with any one of the two redundant memory cell blocks. Since this is the same as that of the first embodiment, hereinafter, in the configuration of the second embodiment, any two adjacent normal memory cell blocks are replaced by one redundant memory cell block selecting fuse circuit. A case in which two redundant memory cell blocks are replaced by blocks will be described.

【0117】第2の実施例では、メモリセルアレイの構
成は図1における第1の実施例に係るメモリセルアレイ
の構成と同一であり、各メモリセルアレイに対して、1
個あたりノーマルワード線4本を有するノーマルメモリ
セルブロック複数個と、1個あたり冗長ワード線4本を
有する冗長メモリセルブロック2個とが備えられてい
る。しかし、冗長デコーダに冗長デコーダ選択信号を入
力することと、任意の互いに隣接した2個のノーマルメ
モリセルブロックの一方のアドレスと他方のアドレスと
の組合せは、常にXC,XB,XAのうち2つが同一と
なり、異なるのは1つのみとなるように、ノーマルメモ
リセルブロックに割り当てられるアドレスを配置した構
成とが、図1に示す上述の第1の実施例の構成とは異な
る。
In the second embodiment, the structure of the memory cell array is the same as that of the memory cell array according to the first embodiment shown in FIG.
A plurality of normal memory cell blocks each having four normal word lines and two redundant memory cell blocks each having four redundant word lines are provided. However, the input of the redundant decoder selection signal to the redundant decoder and the combination of one address and the other address of any two adjacent normal memory cell blocks are always two of XC, XB, and XA. The configuration in which the addresses assigned to the normal memory cell blocks are arranged so that they are the same and only one is different from the configuration of the first embodiment shown in FIG.

【0118】メモリセルアレイの構成については、第1
の実施例と同様に、例えばメモリセルアレイMCA0に
は、ノーマルメモリセルブロックNCB00〜NCB0
nと、2個の冗長メモリセルブロックSCB00,SC
B01を備えている。また、第1の実施例や従来例と同
様、1個のノーマルメモリセルブロックに対して1個ず
つ設けられたノーマルデコーダが各ノーマルメモリセル
ブロックに接続された4本のノーマルワード線を制御
し、1個の冗長メモリセルブロックに対して1個ずつ設
けられた冗長デコーダが各冗長メモリセルブロックに接
続された4本の冗長ワード線を制御する。ワード線駆動
信号WDRV0〜WDRV3はロウアドレスの最下位ビ
ットA0Rとそのすぐ上位ビットA1Rにより部分デコ
ードされ、A0R,A1Rそれぞれの論理電圧により1
本が選択され所定のワード線電位となる。アドレス信号
XA0〜3はその上位ビットA2R,A3Rにより、ア
ドレス信号XB0〜3はさらにその上位ビットA4R,
A5Rにより、アドレス信号XC0〜3はさらにその上
位ビットA6R,A7Rによりそれぞれ部分デコードさ
れるように構成する。メモリセルアレイの選択はメモリ
セルアレイ選択信号RSL0〜RSL3により行われ
る。1個のメモリセルアレイ中でのノーマルメモリセル
ブロックの選択は、アドレス信号XA0〜3,XB0〜
3,XC0〜3によりノーマルデコーダを選択すること
により行われる。選択されたメモリセルブロック中での
ノーマルワード線の選択は、ワード線駆動信号WDRV
0〜WDRV3がノーマルデコーダコントロール回路を
経てそれぞれのノーマルデコーダに接続されたノーマル
ワード線駆動信号WDRV00〜WDRV03,WDR
V10〜WDRV13,WDRV20〜WDRV23,
WDRV30〜WDRV33により行われる。
Regarding the structure of the memory cell array,
In the same manner as in the first embodiment, for example, in the memory cell array MCA0, the normal memory cell blocks NCB00 to NCB0 are included.
n and two redundant memory cell blocks SCB00, SC
It is equipped with B01. Also, as in the first embodiment and the conventional example, a normal decoder provided for each normal memory cell block controls four normal word lines connected to each normal memory cell block. A redundant decoder provided for each redundant memory cell block controls four redundant word lines connected to each redundant memory cell block. The word line drive signals WDRV0 to WDRV3 are partially decoded by the least significant bit A0R of the row address and the most significant bit A1R immediately after that, and set to 1 by the logical voltage of each of A0R and A1R.
A book is selected and has a predetermined word line potential. The address signals XA0-3 are based on their upper bits A2R and A3R, and the address signals XB0-3 are further higher bits A4R and A4R.
The address signal XC0-3 is further partially decoded by the higher bits A6R and A7R by the A5R. The memory cell array is selected by the memory cell array selection signals RSL0 to RSL3. The selection of the normal memory cell block in one memory cell array is performed by selecting the address signals XA0 to XA3 and XB0 to XB0.
This is performed by selecting the normal decoder with XC0-3. The normal word line in the selected memory cell block is selected by the word line drive signal WDRV.
0 to WDRV3 are connected to respective normal decoders via the normal decoder control circuit. Normal word line drive signals WDRV00 to WDRV03, WDR
V10 to WDRV13, WDRV20 to WDRV23,
It is performed by WDRV30 to WDRV33.

【0119】以上は、第1の実施例と同じであるが、第
2の実施例においては、冗長デコーダSDEC300に
は冗長デコーダ選択信号SRSL0が、冗長デコーダS
DEC301には冗長デコーダ選択信号SRSL1がそ
れぞれ入力されている。冗長デコーダ選択信号SRSL
0,SRSL1は、ノーマルメモリセルブロックのアド
レスに応じていずれか一方が“H”となるもので、メモ
リセルアレイ中に配設されたノーマルメモリセルブロッ
クNCB00,NCB02,NCB04,NCB06,
…のアドレス信号が入力されたときにはSRSL0が、
ノーマルメモリセルブロックNCB01,NCB03,
NCB05,NCB07,…のアドレス信号が入力され
たときにはSRSL1が“H”となるように構成する。
The above is the same as that of the first embodiment, but in the second embodiment, the redundant decoder selection signal SRSL0 is sent to the redundant decoder SDEC300.
The redundant decoder selection signal SRSL1 is input to each DEC301. Redundant decoder selection signal SRSL
One of 0 and SRSL1 becomes "H" according to the address of the normal memory cell block, and the normal memory cell blocks NCB00, NCB02, NCB04, NCB06, 6 arranged in the memory cell array are arranged.
When the address signal of ... Is input, SRSL0
Normal memory cell blocks NCB01, NCB03,
When the address signals of NCB05, NCB07, ... Are inputted, SRSL1 becomes "H".

【0120】さらに、ノーマルメモリセルブロックに割
り当てられるアドレスの配置形態に第2の実施例の特徴
があり、第1の実施例の構成とは異なっている。
Further, the arrangement of the addresses assigned to the normal memory cell block is characteristic of the second embodiment, which is different from the configuration of the first embodiment.

【0121】図8は、第2の実施例に係る半導体メモリ
装置におけるノーマルメモリセルブロックに割り当てら
れるアドレスの配置を模式的に表した説明図であり、図
9は、図8と比較対照のため、第1の実施例または従来
の半導体メモリ装置におけるノーマルメモリセルブロッ
クに割り当てられるアドレスの配置を模式的に表した説
明図である。
FIG. 8 is an explanatory view schematically showing the arrangement of addresses assigned to normal memory cell blocks in the semiconductor memory device according to the second embodiment, and FIG. 9 is for comparison with FIG. FIG. 3 is an explanatory diagram schematically showing an arrangement of addresses assigned to normal memory cell blocks in the first embodiment or the conventional semiconductor memory device.

【0122】以下、第2の実施例の構成において、任意
の互いに隣接した2個のノーマルメモリセルブロック
を、1個の冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路
ブロックにより2個の冗長メモリセルブロックで代替可
能とする、ノーマルメモリセルブロックに割り当てられ
るアドレスの配置形態について説明する。
Hereinafter, in the configuration of the second embodiment, two redundant normal memory cell blocks adjacent to each other are replaced with two redundant memory cell blocks by one redundant memory cell block selecting fuse circuit block. The possible arrangement of addresses assigned to the normal memory cell block will be described.

【0123】図9の第1の実施例または従来のアドレス
の配置形態においては、割り当てられたアドレスの配置
は、XC,XB,XAのいずれのアドレスも、図9の左
側から順に0、1、2、3、0、1、2、3、…と繰り
返して配置されている。したがって、互いに隣接した2
個のノーマルメモリセルブロックのそれぞれのアドレス
の組合せは、例えば、(XC0,XB0,XA2)と
(XC0,XB0,XA3)との組合せのようにXCと
XBとの2つは同一でXAのみが異なる場合の他、(X
C0,XB0,XA3)と(XC0,XB1,XA0)
との組合せのようにXCのみが同一でXBとXAとの2
つが異なる場合、(XC0,XB3,XA3)と(XC
1,XB0,XA0)との組合せのようにXC,XB,
XAのすべてが異なる場合の3通りがある。第1の実施
例の構成において、互いに隣接した2個のノーマルメモ
リセルブロックを、1個の冗長メモリセルブロック選択
用ヒューズ回路ブロックにより2個の冗長メモリセルブ
ロックで代替させることができるのは、当該2個のノー
マルメモリセルブロックのそれぞれのアドレスの組合せ
が、上記3通りの場合のうち、XCとXBとの2つは同
一でXAのみが異なる場合に該当するときに限られ、他
の2通りの場合に該当するときは代替させることができ
ない。
In the first embodiment of FIG. 9 or the conventional address arrangement mode, the allocated addresses are arranged such that all the addresses XC, XB and XA are 0, 1, It is repeatedly arranged as 2, 3, 0, 1, 2, 3, .... Therefore, two adjacent two
The combination of the addresses of the normal memory cell blocks is, for example, the combination of (XC0, XB0, XA2) and (XC0, XB0, XA3). Other than different, (X
C0, XB0, XA3) and (XC0, XB1, XA0)
Only XC is the same as the combination with and 2 of XB and XA
If the two are different, (XC0, XB3, XA3) and (XC0
1, XB0, XA0) and XC, XB,
There are three cases where all of the XAs are different. In the configuration of the first embodiment, the two normal memory cell blocks adjacent to each other can be replaced with the two redundant memory cell blocks by the one redundant memory cell block selecting fuse circuit block. Of the three combinations of addresses of the two normal memory cell blocks, two combinations of XC and XB are the same, and only when XA is different. Substitution is not possible in the case of a street.

【0124】これに対して、図8の第2の実施例のアド
レスの配置形態においては、割り当てられたアドレスの
配置は、XC,XB,XAのいずれのアドレスも、図8
の左側から順に、0、1、2、3の配置の次は3、2、
1、0と配置し、また、3、2、1、0の配置の次は
0、1、2、3と配置し、この規則に従って順次配置さ
れている。したがって、互いに隣接した2個のノーマル
メモリセルブロックのそれぞれのアドレスの組合せは、
いかなる組合せを任意に選択しても、必ずXC,XB,
XAのうち2つは同一となり、異なるのはいずれか1つ
のみとなる。
On the other hand, in the address arrangement form of the second embodiment of FIG. 8, the allocation of the assigned addresses is the same as in FIG. 8 for all addresses XC, XB, and XA.
From the left side of the sequence, next to the arrangement of 0, 1, 2, 3 is 3, 2,
They are arranged as 1, 0, and next to the arrangement of 3, 2, 1, 0, they are arranged as 0, 1, 2, 3, and they are arranged sequentially according to this rule. Therefore, the combination of addresses of two normal memory cell blocks adjacent to each other is
No matter which combination you choose, XC, XB,
Two of the XAs are the same, and only one of them is different.

【0125】その結果、第2の実施例の構成において
は、常に、任意の互いに隣接した2個のノーマルメモリ
セルブロックを、1個の冗長メモリセルブロック選択用
ヒューズ回路ブロックにより2個の冗長メモリセルブロ
ックで代替させることが可能である。
As a result, in the structure of the second embodiment, two normal memory cell blocks adjacent to each other are always replaced by two redundant memory cells by one redundant memory cell block selecting fuse circuit block. It is possible to substitute a cell block.

【0126】上記のような本発明の第2の実施例の構成
において、例えば、メモリセルアレイMCA0に備えら
れたノーマルメモリセルブロックの中に不良メモリセル
を含むノーマルメモリセルブロックが1個存在し、それ
を冗長メモリセルブロックSCB00,SCB01のい
ずれかで代替させたい場合には、冗長メモリセルブロッ
ク選択用ヒューズ回路ブロックFB00において不良メ
モリセルを含むブロックのアドレスに対応するヒューズ
を切断することにより、不良メモリセルを含むブロック
は冗長メモリセルブロックで代替され、冗長メモリセル
ブロックが使用される。その際の代替先は、上記不良メ
モリセルを含むブロックのアドレスの組合わせによって
決定される冗長デコーダ選択信号により選択され、SR
LS0が“H”であれば冗長メモリセルブロックSCB
00が、SRLS1が“H”であれば冗長メモリセルブ
ロックSCB01が使用される。このとき、冗長メモリ
セルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB00にお
いて切断するヒューズは、アドレス信号XA0〜3に対
応する4本のうちの1本、XB0〜3に対応する4本の
うちの1本、XC0〜3に対応する4本のうちの1本の
計3本である。
In the configuration of the second embodiment of the present invention as described above, for example, one normal memory cell block including a defective memory cell exists in the normal memory cell blocks provided in the memory cell array MCA0, When it is desired to replace it with either of the redundant memory cell blocks SCB00 and SCB01, the fuse corresponding to the address of the block including the defective memory cell in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 is broken, and thus the defective memory cell is defective. The block including the memory cell is replaced with the redundant memory cell block, and the redundant memory cell block is used. At this time, the alternative destination is selected by the redundant decoder selection signal determined by the combination of the addresses of the block including the defective memory cell, and SR
If LS0 is "H", redundant memory cell block SCB
If 00 is SRLS1 "H", the redundant memory cell block SCB01 is used. At this time, the fuse blown in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 is one of four fuses corresponding to the address signals XA0-3, one of four fuses corresponding to XB0-3, and XC0. 1 out of 4 corresponding to 3 to 3 in total.

【0127】また、一方および他方が互いに隣接した2
個のノーマルメモリセルブロックにそれぞれ不良メモリ
セルが含まれ、2個の冗長メモリセルブロックSCB0
0,SCB01を使用して代替する場合には、冗長メモ
リセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB00に
おいて、不良メモリセルを含む2個のブロックのそれぞ
れのアドレスに対応するヒューズを切断することによ
り、それらの不良メモリセルを含む2個のブロックがそ
れぞれ冗長メモリセルブロックSCB00,SCB01
で代替される。このとき、冗長メモリセルブロック選択
用ヒューズ回路ブロックFB00において切断するヒュ
ーズは、2組のアドレスの組合わせが必ずXC,XB,
XAのうち2つは同一となり、異なるのはいずれか1つ
のみとなるものであるため、同一であるアドレスに対応
したヒューズはそれぞれ4本のうちの各1本、互いに異
なるアドレスに対応したヒューズは4本のうちの2本の
計4本である。
In addition, two of which one and the other are adjacent to each other
Defective memory cells are included in each of the normal memory cell blocks, and two redundant memory cell blocks SCB0
In the case of using 0 and SCB01 for replacement, in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00, the fuses corresponding to the respective addresses of the two blocks including the defective memory cell are blown to cut those fuses. Two blocks including defective memory cells are redundant memory cell blocks SCB00 and SCB01, respectively.
Is replaced by. At this time, the fuses to be blown in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 must have a combination of two addresses XC, XB,
Two of the XAs are the same and only one of them is different. Therefore, the fuse corresponding to the same address is one fuse out of four, and the fuses corresponding to different addresses from each other. Is a total of four out of four.

【0128】以下、第2の実施例に係る不良メモリセル
の代替方式を採用した半導体メモリ装置の詳細な回路動
作について図5、図6、図7、図4および図13を参照
しながら説明する。
The detailed circuit operation of the semiconductor memory device adopting the alternative method of the defective memory cell according to the second embodiment will be described below with reference to FIGS. 5, 6, 7, 4, and 13. .

【0129】ここで、メモリセルアレイはMCA0〜M
CA3のうちのMCA0が選択されることとする。はじ
めは、図13に示す冗長メモリセルブロック選択用ヒュ
ーズ回路ブロックFB00において、信号PRCHが
“L”でP型MOSトランジスタQP0がオン、アドレ
ス信号XA0〜3,XB0〜3,XC0〜3のすべてが
“L”でN型MOSトランジスタQN0〜QN11がオ
フであり、冗長指示信号RSP00は“H”となってい
る。また、すべてのメモリセルアレイ選択信号RSL0
〜RSL3は“L”、すべてのワード線駆動信号WDR
V0〜WDRV3は“L”となっており、したがって図
6,図7にそれぞれ示す冗長デコーダSDEC300,
SDEC301において、冗長ワード線SWL00〜S
WL03,冗長ワード線SWL04〜SWL07は
“L”となっている。
Here, the memory cell array is MCA0 to MCA.
It is assumed that MCA0 of CA3 is selected. First, in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 shown in FIG. 13, the signal PRCH is "L", the P-type MOS transistor QP0 is turned on, and all the address signals XA0-3, XB0-3, and XC0-3. At "L", the N-type MOS transistors QN0 to QN11 are off, and the redundancy instruction signal RSP00 is "H". In addition, all memory cell array selection signals RSL0
~ RSL3 is "L", all word line drive signals WDR
V0 to WDRV3 are "L", and therefore redundant decoders SDEC300, shown in FIGS. 6 and 7, respectively.
In SDEC301, redundant word lines SWL00 to SWL
WL03 and redundant word lines SWL04 to SWL07 are "L".

【0130】まず、信号PRCHが“H”となりP型M
OSトランジスタQP0がオフとなる。続いてはじめは
すべて“L”であったメモリセルアレイ選択信号RSL
0〜RSL3のうちRSL0が“H”となる。さらには
じめはすべて“L”であったアドレス信号XA0〜3の
うちの1本、XB0〜3のうちの1本、XC0〜3のう
ちの1本の計3本が“H”となり、選択するメモリセル
ブロックのアドレスに変化すると、アドレス信号の変化
に対応して12個のN型MOSトランジスタQN0〜Q
N11のうちの3個がオンとなる。
First, the signal PRCH becomes "H" and the P-type M
The OS transistor QP0 is turned off. Then, the memory cell array selection signal RSL which was initially "L"
Of 0 to RSL3, RSL0 becomes "H". Further, at the beginning, one of the address signals XA0 to XA3, which is all "L", one of XB0 to 3 and one of XC0 to 3 becomes "H" and is selected. When the address of the memory cell block changes, twelve N-type MOS transistors QN0 to QN0-Q corresponding to the change of the address signal.
Three of N11 are turned on.

【0131】このとき、この“H”となったアドレスの
組合わせが、メモリセルアレイMCA0における不良メ
モリセルを含むブロックのアドレスではなく、かつ、メ
モリセルアレイMCA0に対応して設けられた冗長メモ
リセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB00に
おいて切断されたヒューズに対応するアドレスの組合わ
せと一致しない場合は、冗長指示信号RSP00は
“L”となる。したがって、図6、図7にそれぞれ示す
冗長デコーダSDEC300,SDEC301いずれに
おいてメモリセルアレイ選択信号RSL0が“H”とな
っても、N型MOSトランジスタQN103,QN10
6,QN109,QN112,QN115,QN11
8,QN121,QN124はオフであり、N型MOS
トランジスタQN104,QN107,QN110,Q
N113,QN116,QN119,QN122,QN
125はオンであるため、ワード線駆動信号WDRV0
〜WDRV3のうちの選択された任意の1本が所定のワ
ード線電位となってもすべての冗長ワード線SWL00
〜SWL07は“L”のままである。すなわち、冗長メ
モリセルブロックSCB00,SCB01はいずれも選
択されない。
At this time, the combination of the addresses set to "H" is not the address of the block including the defective memory cell in the memory cell array MCA0, and the redundant memory cell block provided corresponding to the memory cell array MCA0. When the combination of the addresses corresponding to the blown fuses in the selection fuse circuit block FB00 does not match, the redundancy instruction signal RSP00 becomes "L". Therefore, even if the memory cell array selection signal RSL0 becomes "H" in either of the redundant decoders SDEC300 and SDEC301 shown in FIGS. 6 and 7, the N-type MOS transistors QN103 and QN10
6, QN109, QN112, QN115, QN11
8, QN121, QN124 are off, N-type MOS
Transistors QN104, QN107, QN110, Q
N113, QN116, QN119, QN122, QN
Since 125 is on, the word line drive signal WDRV0
To WDRV3, even if any one selected one has a predetermined word line potential, all redundant word lines SWL00
-SWL07 remains "L". That is, none of the redundant memory cell blocks SCB00 and SCB01 are selected.

【0132】ところが、前述の“H”となったアドレス
の組合わせが、メモリセルアレイMCA0における不良
メモリセルを含むブロックのアドレスであり、冗長メモ
リセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB00に
おいて該アドレスに対応するヒューズがすべて切断され
ている場合は、冗長指示信号RSP00は“H”のまま
である。このとき、前述の“H”となったアドレスの組
合わせにより冗長デコーダ選択信号SRSL0が“H”
となっており、図6に示す冗長デコーダSDEC300
においてメモリセルアレイ選択信号RSL0が“H”と
なると、N型MOSトランジスタQN103,QN10
6,QN109,QN112はオンであり、N型MOS
トランジスタQN104,QN107,QN110,Q
N113はオフとなり、さらにワード線駆動信号WDR
V0〜WDRV3のうちの選択された任意の1本が所定
のワード線電位となると、その電位は対応する冗長ワー
ド線へと転送される。すなわち、冗長メモリセルブロッ
クSCB00が選択される。
However, the combination of the above-mentioned "H" addresses is the address of the block including the defective memory cell in the memory cell array MCA0 and corresponds to the address in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00. When all the fuses are blown, the redundancy instruction signal RSP00 remains "H". At this time, the redundancy decoder selection signal SRSL0 is "H" due to the combination of the above-mentioned "H" addresses.
And the redundant decoder SDEC300 shown in FIG.
When the memory cell array selection signal RSL0 becomes "H" at, the N-type MOS transistors QN103, QN10
6, QN109, QN112 are on, N-type MOS
Transistors QN104, QN107, QN110, Q
N113 turns off, and the word line drive signal WDR
When a selected one of V0 to WDRV3 has a predetermined word line potential, the potential is transferred to the corresponding redundant word line. That is, the redundant memory cell block SCB00 is selected.

【0133】また、前述の“H”となったアドレスの組
合わせにより冗長デコーダ選択信号SRSL1が“H”
となっており、図7に示す冗長デコーダSDEC301
においてメモリセルアレイ選択信号RSL0が“H”と
なると、N型MOSトランジスタQN115,QN11
8,QN121,QN124はオンとなり、N型MOS
トランジスタQN116,QN119,QN122,Q
N125はオフとなる。したがって、ワード線駆動信号
WDRV0〜WDRV3のうちの選択された任意の1本
が所定のワード線電位となると、その電位は対応する冗
長ワード線へと転送される。すなわち、冗長メモリセル
ブロックSCB01が選択される。
Further, the redundant decoder selection signal SRSL1 is set to "H" due to the combination of the above-mentioned "H" addresses.
And the redundant decoder SDEC301 shown in FIG.
When the memory cell array selection signal RSL0 becomes "H" at, the N-type MOS transistors QN115, QN11
8, QN121, QN124 are turned on, and N-type MOS
Transistors QN116, QN119, QN122, Q
N125 is off. Therefore, when any one of the selected word line drive signals WDRV0 to WDRV3 has a predetermined word line potential, that potential is transferred to the corresponding redundant word line. That is, the redundant memory cell block SCB01 is selected.

【0134】このように冗長メモリセルブロック選択用
ヒューズ回路ブロックFB00において“H”となった
アドレスに対応するヒューズがすべて切断されている場
合には、冗長指示信号RSP00が“H”であるため、
図4に示すノーマルデコーダコントロール回路NDC1
0においてメモリセルアレイ選択信号RSL0が“H”
となっても、N型MOSトランジスタQN73,QN7
6,QN79,QN82はオフであり、N型MOSトラ
ンジスタQN74,QN77,QN80,QN83はオ
ンである。したがって、ワード線駆動信号WDRV0〜
WDRV3のうちの選択された任意の1本が所定のワー
ド線電位となってもすべてのノーマルワード線駆動信号
WDRV00〜WDRV03は“L”のままであり、当
該メモリセルアレイMCA0のすべてのノーマルメモリ
セルベロックNCB00〜NCB0nは非選択となる。
この結果、前述の“H”となったアドレスの組合わせで
選択されるノーマルメモリセルブロックは、そのアドレ
スの組合わせに応じて決定される冗長デコーダ選択信号
により選択される冗長メモリセルブロックで代替される
こととなる。
When all the fuses corresponding to the address which has become "H" in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB00 are blown, the redundancy instruction signal RSP00 is "H".
Normal decoder control circuit NDC1 shown in FIG.
0, the memory cell array selection signal RSL0 is "H"
Even if it becomes, N-type MOS transistors QN73, QN7
6, QN79, QN82 are off, and N-type MOS transistors QN74, QN77, QN80, QN83 are on. Therefore, the word line drive signals WDRV0-
All the normal word line drive signals WDRV00 to WDRV03 remain "L" even if any one selected from the WDRV3 has a predetermined word line potential, and all the normal memory cell drive signals WDRV00 to WDRV03 remain unchanged. The locks NCB00 to NCB0n are not selected.
As a result, the normal memory cell block selected by the combination of the above-mentioned "H" addresses is replaced by the redundant memory cell block selected by the redundant decoder selection signal determined according to the combination of the addresses. Will be done.

【0135】以下に、本発明の第3の実施例に係る不良
メモリセルの代替方式を採用した半導体メモリ装置につ
いて図10および図11を参照しながら説明する。
A semiconductor memory device adopting an alternative method of defective memory cells according to the third embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0136】図10は、第3の実施例に係る半導体メモ
リ装置のブロック構成図である。
FIG. 10 is a block diagram of a semiconductor memory device according to the third embodiment.

【0137】図10のブロック構成図の最上段部分に
は、複数のノーマルメモリセルブロックNCB00〜N
CB0nと1個の冗長メモリセルブロックSCB00と
を有するメモリセルアレイMCA20が示されている。
In the uppermost portion of the block diagram of FIG. 10, a plurality of normal memory cell blocks NCB00 to NCB are provided.
A memory cell array MCA20 having CB0n and one redundant memory cell block SCB00 is shown.

【0138】ノーマルメモリセルブロックNCB00に
はノーマルワード線WL00〜03の一端がそれぞれ接
続されており、ノーマルワード線WL00〜03の他端
はそれぞれノーマルデコーダNDEC00に接続されて
いる。他のノーマルメモリセルブロックNCB01〜N
CB0nと他のノーマルデコーダNDEC01〜0nと
の間もそれぞれノーマルワード線(図中に符号は付して
いない。)により接続されている。
One end of the normal word lines WL00-03 is connected to the normal memory cell block NCB00, and the other end of the normal word lines WL00-03 is connected to the normal decoder NDEC00. Other normal memory cell blocks NCB01-N
CB0n and other normal decoders NDEC01 to 0n are also connected by normal word lines (not shown in the figure).

【0139】各ノーマルデコーダNDEC00〜0nに
は、各ノーマルデコーダNDEC00〜NDEC0nが
ノーマルワード線WL00〜03、…により接続された
ノーマルメモリセルブロックのアドレスに対応したアド
レス信号XA0〜3,XB0〜3,XC0〜3のそれぞ
れのうちいずれかが入力され、さらに、ノーマルデコー
ダコントロール回路NDC10からのワード線駆動信号
WDRV00〜03が入力されている。
In each normal decoder NDEC00-0n, the address signals XA0-3, XB0-3 corresponding to the address of the normal memory cell block to which the normal decoders NDEC00-NDEC0n are connected by the normal word lines WL00-03 ,. Any one of XC0 to XC3 is input, and further, the word line drive signals WDRV00 to 03 from the normal decoder control circuit NDC10 are input.

【0140】ノーマルデコーダコントロール回路NDC
10には、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路
ブロックFB200からの冗長指示信号RSP00と、
メモリセルアレイ選択信号RSL0とが入力されてい
る。
Normal decoder control circuit NDC
Reference numeral 10 denotes a redundancy instruction signal RSP00 from the redundancy memory cell block selection fuse circuit block FB200,
The memory cell array selection signal RSL0 is input.

【0141】冗長メモリセルブロックSCB00には冗
長ワード線SWL00〜03の一端がそれぞれ接続され
ており、冗長ワード線SWL00〜03の他端はそれぞ
れ冗長デコーダSDEC00に接続されている。
One end of each redundant word line SWL00-03 is connected to the redundant memory cell block SCB00, and the other end of each redundant word line SWL00-03 is connected to the redundant decoder SDEC00.

【0142】冗長デコーダSDEC00には、ワード線
駆動信号WDRV0〜3と、冗長メモリセルブロック選
択用ヒューズ回路ブロックFB200からの冗長指示信
号RSP00と、メモリセルアレイ選択信号RSL0と
が入力されている。
The word line drive signals WDRV0-3, the redundancy instruction signal RSP00 from the redundancy memory cell block selection fuse circuit block FB200, and the memory cell array selection signal RSL0 are input to the redundancy decoder SDEC00.

【0143】以上にブロック構成図の最上段部分の接続
関係を説明したが、各段ごとに同様の接続関係により構
成されている。
The connection relation of the uppermost stage portion of the block diagram has been described above, but each stage has the same connection relation.

【0144】図11は、図10における冗長メモリセル
ブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB200の回路
構成図であり、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ
回路ブロックFB210,FB220,FB230は冗
長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB
200と同様の構成を有している。
FIG. 11 is a circuit configuration diagram of the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB200 in FIG. 10, and the redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks FB210, FB220, FB230 are redundant memory cell block selecting fuse circuits. Block FB
It has the same configuration as 200.

【0145】冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回
路ブロックFB200には、信号PRCHにより制御さ
れるP型MOSトランジスタQP2と、アドレス信号/
A1R,A1Rにより制御されるN型MOSトランジス
タQN100,101からの信号をそれぞれアドレス信
号XA0〜3により制御するN型MOSトランジスタQ
N84〜91と、アドレス信号XB0〜3により制御さ
れるN型MOSトランジスタQN92〜95と、アドレ
ス信号XC0〜3により制御されるN型MOSトランジ
スタQN96〜99とが備えられており、さらに、P型
MOSトランジスタQP2からの信号と、それぞれヒュ
ーズFU12〜27およびインバータを介した各N型M
OSトランジスタQN84〜99からの信号とにより制
御されるP型MOSトランジスタQP3が備えられてい
る。したがって、P型MOSトランジスタQP2,3
と、N型MOSトランジスタQN84〜99とからの信
号により、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路
ブロックFB200の出力信号である冗長指示信号RS
P00が制御される。
In the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB200, the P-type MOS transistor QP2 controlled by the signal PRCH and the address signal /
N-type MOS transistor Q for controlling signals from N-type MOS transistors QN100, 101 controlled by A1R, A1R by address signals XA0-3, respectively.
N84-91, N-type MOS transistors QN92-95 controlled by address signals XB0-3, and N-type MOS transistors QN96-99 controlled by address signals XC0-3 are provided. A signal from the MOS transistor QP2 and each N-type M via the fuses FU12 to 27 and the inverter.
A P-type MOS transistor QP3 controlled by the signals from the OS transistors QN84 to 99 is provided. Therefore, the P-type MOS transistors QP2, 3
And a signal from the N-type MOS transistors QN84 to 99, the redundancy instruction signal RS which is an output signal of the redundancy memory cell block selecting fuse circuit block FB200.
P00 is controlled.

【0146】図10における冗長デコーダSDEC0
0,SDEC10,SDEC20,SDEC30は図1
4に示す従来例に係る冗長デコーダと同様の構成を有し
ている。
Redundant decoder SDEC0 in FIG.
0, SDEC10, SDEC20, SDEC30 are shown in FIG.
It has the same configuration as the redundant decoder according to the conventional example shown in FIG.

【0147】冗長デコーダSDEC00,10,20,
30は、冗長指示信号RSP00と、メモリセルアレイ
選択信号RSL0とが入力されるNANDゲートからの
信号がインバータを介した信号を入力信号としている。
入力信号は、N型MOSトランジスタQN12,15,
18,21を介してそれぞれN型MOSトランジスタQ
N13,16,19,22を制御し、また、インバータ
を介してN型MOSトランジスタQN14,17,2
0,23を制御する。ワード線駆動信号WDRV0,
1,2,3は、それぞれN型MOSトランジスタQN1
3とQN14、QN16とQN17、QN19とQN2
0、QN22とQN23の制御を経て、冗長ワード線S
WL00,SWL01,SWL02,SWL03を制御
する。
Redundant decoders SDEC00, 10, 20,
A signal from the NAND gate, to which the redundancy instruction signal RSP00 and the memory cell array selection signal RSL0 are input, is an input signal for the signal 30.
The input signals are N-type MOS transistors QN12, 15,
N-type MOS transistor Q via 18 and 21, respectively
N13, 16, 19, 22 are controlled, and N-type MOS transistors QN14, 17, 2 are controlled via an inverter.
0 and 23 are controlled. Word line drive signal WDRV0,
1, 2 and 3 are N-type MOS transistors QN1
3 and QN14, QN16 and QN17, QN19 and QN2
0, QN22 and QN23 are controlled, and the redundant word line S
It controls WL00, SWL01, SWL02, and SWL03.

【0148】図10におけるノーマルデコーダコントロ
ール回路NDC10〜NDC13は図4に示す第1の実
施例に係るノーマルデコーダコントロール回路と同様の
構成を有している。
Normal decoder control circuits NDC10 to NDC13 shown in FIG. 10 have the same structure as the normal decoder control circuit according to the first embodiment shown in FIG.

【0149】図10におけるノーマルデコーダNDEC
00〜NDEC0n,NDEC10〜NDEC1n,N
DEC20〜NDEC2n,NDEC30〜NDEC3
nは図16に示す従来例に係るノーマルデコーダと同様
の構成を有している。
Normal decoder NDEC in FIG.
00 to NDEC0n, NDEC10 to NDEC1n, N
DEC20 to NDEC2n, NDEC30 to NDEC3
n has the same configuration as the normal decoder according to the conventional example shown in FIG.

【0150】図10および図11において、メモリセル
アレイMCA20はノーマルメモリセルブロックNCB
00〜NCB0nと冗長メモリセルブロックSCB00
とを有し、MCA21〜MCA23はメモリセルアレイ
MCA20と同様の構造をなしている他のメモリセルア
レイであり、FB200,FB210,FB220,F
B230は冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路
ブロック、SDEC00,SDEC10,SDEC2
0,SDEC30は冗長デコーダ、NDEC00〜ND
EC0n,NDEC10〜NDEC1n,NDEC20
〜NDEC2n,NDEC30〜NDEC3nはノーマ
ルデコーダ、NDC10,NDC11,NDC12,N
DC13はノーマルデコーダコントロール回路、XA0
〜3,XB0〜3,XC0〜3,/A1R,A1Rはア
ドレス信号、RSL0〜RSL3はメモリセルアレイ選
択信号、WDRV0〜WDRV3はワード線駆動信号、
WDRV00〜WDRV03,WDRV10〜WDRV
13,WDRV20〜WDRV23,WDRV30〜W
DRV33はノーマルワード線駆動信号、WL00,W
L01,WL02,WL03,…はノーマルワード線、
SWL00,SWL01,SWL02,SWL03は冗
長ワード線、RSP00,RSP10,RSP20,R
SP30は冗長指示信号、PRCHは信号、VCCは電
源電圧、VSSは接地電圧、QP2〜QP3はP型MO
Sトランジスタ、QN84〜QN101はN型MOSト
ランジスタである。
In FIGS. 10 and 11, the memory cell array MCA20 is a normal memory cell block NCB.
00-NCB0n and redundant memory cell block SCB00
And MCA21 to MCA23 are other memory cell arrays having the same structure as the memory cell array MCA20. FB200, FB210, FB220, F
B230 is a fuse circuit block for selecting a redundant memory cell block, SDEC00, SDEC10, SDEC2
0, SDEC30 is a redundant decoder, NDEC00 to ND
EC0n, NDEC10 to NDEC1n, NDEC20
˜NDEC2n, NDEC30˜NDEC3n are normal decoders, NDC10, NDC11, NDC12, N
DC13 is a normal decoder control circuit, XA0
~ 3, XB0-3, XC0-3, / A1R, A1R are address signals, RSL0-RSL3 are memory cell array select signals, WDRV0-WDRV3 are word line drive signals,
WDRV00 to WDRV03, WDRV10 to WDRV
13, WDRV20 to WDRV23, WDRV30 to W
DRV33 is a normal word line drive signal, WL00, W
L01, WL02, WL03, ... Are normal word lines,
SWL00, SWL01, SWL02, SWL03 are redundant word lines, and RSP00, RSP10, RSP20, R.
SP30 is a redundancy instruction signal, PRCH is a signal, VCC is a power supply voltage, VSS is a ground voltage, and QP2 to QP3 are P-type MO.
S transistors, QN84 to QN101 are N-type MOS transistors.

【0151】第3の実施例は、アドレスの組み合わせの
うちXCとXBが同一でXAのみが異なるアドレスで選
択される2個のノーマルメモリセルブロックに不良メモ
リセルを含む場合、その2個のノーマルメモリセルブロ
ックそれぞれに接続された4本のノーマルワード線のう
ちそれぞれ2本ずつ計4本のノーマルワード線に対応す
るメモリセルの部分を、冗長ワード線4本を有する冗長
メモリセルブロック1個で代替させることができる。
In the third embodiment, when two normal memory cell blocks selected by an address having the same XC and XB but different XA among address combinations include a defective memory cell, the two normal memory cell blocks are selected. Of the four normal word lines connected to each of the memory cell blocks, the memory cell portion corresponding to a total of four normal word lines, two in total, is formed by one redundant memory cell block having four redundant word lines. It can be replaced.

【0152】第3の実施例では、各メモリセルアレイに
対して、1個あたりノーマルワード線4本を有するノー
マルメモリセルブロック複数個を備えることは従来例と
同じであるが、1個あたり冗長ワード線4本を有する冗
長メモリセルブロックは1個のみ備えられていること
と、その冗長メモリセルブロックを選択するための冗長
メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックにアド
レス信号/A1R,A1Rを入力する構成とが、図12
に示す従来の構成とは異なる。例えば、メモリセルアレ
イMCA20にノーマルメモリセルブロックNCB00
〜NCB0nを備えることは従来例と同じであるが、冗
長メモリセルブロックはSCB00を1個のみ設け、冗
長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックFB
200にはアドレス信号/A1R,A1Rが入力されて
いる。また、1個のノーマルメモリセルブロックに対し
て1個ずつ設けられたノーマルデコーダがそれぞれのノ
ーマルメモリセルブロックに接続された4本のノーマル
ワード線を制御し、1個の冗長メモリセルブロックに対
して1個設けられた冗長デコーダがその冗長メモリセル
ブロックに接続された4本の冗長ワード線を制御する。
ワード線駆動信号WDRV0〜WDRV3はロウアドレ
スの最下位ビットA0Rとそのすぐ上位ビットA1Rに
より部分デコードされ、A0R,A1Rそれぞれの論理
電圧により1本が選択され所定のワード線電位となる。
アドレス信号XA0〜3はその上位ビットA2R,A3
Rにより、アドレス信号XB0〜3はさらにその上位ビ
ットA4R,A5Rにより、アドレス信号XC0〜3は
さらにその上位ビットA6R,A7Rによりそれぞれ部
分デコードされるように構成する。メモリセルアレイの
選択はメモリセルアレイ選択信号RSL0〜RSL3に
より行われる。1個のメモリセルアレイ中でのノーマル
メモリセルブロックの選択は、アドレス信号XA0〜
3,XB0〜3,XC0〜3によりノーマルデコーダを
選択することにより行われる。選択されたメモリセルブ
ロック中でのノーマルワード線の選択は、ワード線駆動
信号WDRV0〜WDRV3がノーマルデコーダコント
ロール回路を経てそれぞれのノーマルデコーダに接続さ
れたノーマルワード線駆動信号WDRV00〜WDRV
03,WDRV10〜WDRV13,WDRV20〜W
DRV23,WDRV30〜WDRV33により行われ
る。
In the third embodiment, each memory cell array is provided with a plurality of normal memory cell blocks each having four normal word lines, which is the same as the conventional example. Only one redundant memory cell block having four lines is provided, and the address signal / A1R, A1R is input to the redundant memory cell block selecting fuse circuit block for selecting the redundant memory cell block. And Fig. 12
Different from the conventional configuration shown in FIG. For example, in the memory cell array MCA20, the normal memory cell block NCB00
.About.NCB0n is the same as the conventional example, but only one redundant memory cell block SCB00 is provided and the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB is provided.
Address signals / A1R and A1R are input to 200. Further, one normal decoder provided for each normal memory cell block controls four normal word lines connected to each normal memory cell block, and one normal memory cell block is provided for each redundant memory cell block. One redundant decoder controls four redundant word lines connected to the redundant memory cell block.
The word line drive signals WDRV0 to WDRV3 are partially decoded by the least significant bit A0R of the row address and the immediately upper bit A1R thereof, and one of them is selected by a logical voltage of each of A0R and A1R to have a predetermined word line potential.
The address signals XA0-3 have upper bits A2R and A3.
By R, the address signals XB0-3 are further partially decoded by their upper bits A4R, A5R, and the address signals XC0-3 are further partially decoded by their higher bits A6R, A7R. The memory cell array is selected by the memory cell array selection signals RSL0 to RSL3. The selection of the normal memory cell block in one memory cell array is performed by address signals XA0 to XA0.
This is performed by selecting the normal decoder by 3, XB0 to 3, XC0 to 3. A normal word line is selected in the selected memory cell block by selecting the normal word line drive signals WDRV00 to WDRV in which the word line drive signals WDRV0 to WDRV3 are connected to the respective normal decoders via the normal decoder control circuit.
03, WDRV10 to WDRV13, WDRV20 to W
It is performed by the DRV 23 and WDRV30 to WDRV33.

【0153】上記のような本発明の第3の実施例の構成
において、例えば、メモリセルアレイMCA20の中
の、XCとXBが同一でXAのみが異なるアドレスの組
み合わせで選択される2個のノーマルメモリセルブロッ
クそれぞれで、ノーマルワード線2本ずつ計4本のノー
マルワード線に対応するノーマルメモリセルの部分を冗
長メモリセルブロックSCB00で代替させたい場合に
は、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロッ
クFB200において不良メモリセルを含む2個のブロ
ックのそれぞれのアドレスに対応するヒューズを切断す
ることにより、冗長メモリセルブロックで代替され、そ
の冗長メモリセルブロックが使用される。
In the configuration of the third embodiment of the present invention as described above, for example, two normal memories in the memory cell array MCA20, which are selected by a combination of addresses where XC and XB are the same and only XA is different. In the case where the redundant memory cell block SCB00 is used to replace the portion of the normal memory cells corresponding to a total of four normal word lines in each cell block with two normal word lines, the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB200 In, the fuses corresponding to the respective addresses of the two blocks including the defective memory cell are blown to be replaced by the redundant memory cell block, and the redundant memory cell block is used.

【0154】このとき、図11に示す冗長メモリセルブ
ロック選択用ヒューズ回路ブロックFB200において
切断するヒューズは、2組のアドレスの組み合わせがX
CとXBは同一でXAのみが異なるものであるため、ア
ドレス信号XC0〜3に対応する4本のうちの1本、X
B0〜3に対応する4本のうちの1本、XA0〜3に対
応する8本のうちの2本の計4本である。XA0〜3に
対応するヒューズの切断は、当該2個のノーマルメモリ
セルブロックのうちの、第1のノーマルメモリセルブロ
ックに接続された4本のノーマルワード線のうちA1R
が“H”で選択される2本のノーマルワード線と、第2
のノーマルメモリセルブロックに接続された4本のノー
マルワード線のうち/A1Rが“H”で選択される2本
のノーマルワード線を併せて冗長メモリセルブロックで
代替させる場合、A1R側で第1のノーマルメモリセル
ブロックのXAに対応するヒューズと/A1R側で第2
のノーマルメモリセルブロックのXAに対応するヒュー
ズを切断する。
At this time, the fuses blown in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB200 shown in FIG.
Since C and XB are the same and only XA is different, one of the four corresponding to the address signals XC0 to XC, X
One of the four corresponding to B0 to 3 and two of the eight corresponding to XA0 to 3 are four in total. The fuses corresponding to XA0 to 3 are cut by cutting A1R of the four normal word lines connected to the first normal memory cell block of the two normal memory cell blocks.
Of two normal word lines selected by "H", and the second
Of the four normal word lines connected to the normal memory cell block of / A1R when the two normal word lines selected by "H" are replaced together by the redundant memory cell block, the first on the A1R side Fuses corresponding to XA of the normal memory cell block and the second on the / A1R side
The fuse corresponding to XA of the normal memory cell block is cut.

【0155】また、冗長メモリセルブロック選択用ヒュ
ーズ回路ブロックFB200において、A1R側と/A
1R側とで同一のXAのアドレスに対応するヒューズを
切断した場合には、従来のように1個のノーマルデコー
ダが制御する1個のノーマルメモリセルブロックを冗長
メモリセルブロックで代替させることになる。
Further, in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB200, it is connected to the A1R side and / A side.
When the fuses corresponding to the same XA address on the 1R side are cut, one normal memory cell block controlled by one normal decoder is replaced with a redundant memory cell block as in the conventional case. .

【0156】以下、第3の実施例に係る不良メモリセル
の代替方式を採用した半導体メモリ装置の詳細な回路動
作について図10、図11、図14および図4を参照し
ながら説明する。
The detailed circuit operation of the semiconductor memory device adopting the alternative method of the defective memory cell according to the third embodiment will be described below with reference to FIGS. 10, 11, 14 and 4.

【0157】ここで、メモリセルアレイはMCA20〜
MCA23のうちのMCA20が選択されることとす
る。はじめは、図11に示す冗長メモリセルブロック選
択用ヒューズ回路ブロックFB200において、信号P
RCHが“L”でP型MOSトランジスタQP2がオ
ン、アドレス信号A1R,/A1R,XA0〜3,XB
0〜3,XC0〜3のすべてが“L”でN型MOSトラ
ンジスタQN84〜QN101がオフであり、冗長指示
信号RSP00は“H”となっている。また、すべての
メモリセルアレイ選択信号RSL0〜RSL3は
“L”、すべてのワード線駆動信号WDRV0〜WDR
V3は“L”となっており、このため図14に示す冗長
デコーダSDEC00において、冗長ワード線SWL0
0〜SWL03は“L”となっている。
Here, the memory cell array is MCA20-.
It is assumed that the MCA 20 of the MCAs 23 is selected. First, in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB200 shown in FIG.
When the RCH is "L", the P-type MOS transistor QP2 is on, and the address signals A1R, / A1R, XA0-3, XB.
0 to 3 and XC0 to 3 are all "L", the N-type MOS transistors QN84 to QN101 are off, and the redundancy instruction signal RSP00 is "H". Further, all the memory cell array selection signals RSL0 to RSL3 are "L", all the word line drive signals WDRV0 to WDR.
V3 is "L", and therefore, in the redundant decoder SDEC00 shown in FIG. 14, the redundant word line SWL0
0 to SWL03 are "L".

【0158】まず、信号PRCHが“H”となりP型M
OSトランジスタQP2がオフとなる。続いて、アドレ
ス信号のうち/A1R,A1Rのいずれか一方が“H”
となり、N型MOSトランジスタQN100,QN10
1のいずれか一方がオンとなる。また、はじめはすべて
“L”であったメモリセルアレイ選択信号RSL0〜R
SL3のうちRSL0が“H”となる。さらにはじめは
すべて“L”であったアドレス信号XA0〜3のうちの
1本、XB0〜3のうちの1本、XC0〜3のうちの1
本の計3本が“H”となり選択するメモリセルブロック
のアドレスに変化すると、16個のN型MOSトランジ
スタQN84〜QN99のうちの4個がオンとなる。
First, the signal PRCH becomes "H" and the P-type M
The OS transistor QP2 is turned off. Then, one of / A1R and A1R of the address signal is "H".
And N-type MOS transistors QN100 and QN10
Either one of 1 is turned on. Further, the memory cell array selection signals RSL0 to RSL which were initially all “L”
RSL0 of SL3 becomes “H”. Further, at first, all of the address signals were "L". One of the address signals XA0-3, one of XB0-3, and one of XC0-3.
When the total of three books becomes "H" and the address of the memory cell block to be selected changes, four of the 16 N-type MOS transistors QN84 to QN99 are turned on.

【0159】このとき、この“H”となったアドレスの
組み合わせが、メモリセルアレイMCA20における不
良メモリセルを含むワード線のアドレスではなく、メモ
リセルアレイMCA20における冗長メモリセルブロッ
ク選択用ヒューズ回路ブロックFB200において切断
されたヒューズに対応するアドレスの組み合わせと一致
しない場合は、冗長指示信号RSP00は“L”となる
ため、図14に示す冗長デコーダSDEC00におい
て、メモリセルアレイ選択信号RSL0が“H”となっ
ても、N型MOSトランジスタQN13,QN16,Q
N19,QN22はオフであり、N型MOSトランジス
タQN14,QN17,QN20,QN23はオンであ
る。したがって、ワード線駆動信号WDRV0〜WDR
V3のうちの選択された任意の1本が所定のワード線電
位となってもすべての冗長ワード線SWL00〜SWL
03は“L”のままである。すなわち、冗長メモリセル
ブロックSCB00は選択されない。
At this time, the combination of the addresses that have become "H" is not the address of the word line including the defective memory cell in the memory cell array MCA20, but is blown in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB200 in the memory cell array MCA20. If the combination of the addresses corresponding to the selected fuses does not match, the redundancy instruction signal RSP00 becomes "L", so that even if the memory cell array selection signal RSL0 becomes "H" in the redundancy decoder SDEC00 shown in FIG. N-type MOS transistors QN13, QN16, Q
N19 and QN22 are off, and N-type MOS transistors QN14, QN17, QN20 and QN23 are on. Therefore, the word line drive signals WDRV0 to WDR
All the redundant word lines SWL00 to SWL even if one selected one of V3 becomes a predetermined word line potential.
03 remains "L". That is, the redundant memory cell block SCB00 is not selected.

【0160】ところが、前述の“H”となったアドレス
の組み合わせが、メモリセルアレイMCA20における
不良メモリセルを含むワード線のアドレスであり、か
つ、冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロッ
クFB200において該アドレスに対応するヒューズが
すべて切断されている場合は、冗長指示信号RSP00
は“H”のままであるため、図14に示す冗長デコーダ
SDEC00においてメモリセルアレイ選択信号RSL
0が“H”となると、N型MOSトランジスタQN1
3,QN16,QN19,QN22はオンとなり、N型
MOSトランジスタQN14,QN17,QN20,Q
N23はオフとなり、ワード線駆動信号WDRV0〜W
DRV3のうちの選択された1本が所定のワード線電位
となると、その電位は対応する冗長ワード線へと転送さ
れる。すなわち、冗長メモリセルブロックSCB00が
選択される。
However, the combination of the above-mentioned "H" addresses is the address of the word line including the defective memory cell in the memory cell array MCA20, and the address in the redundant memory cell block selecting fuse circuit block FB200 is the address. When all the corresponding fuses are cut off, the redundancy instruction signal RSP00
Remains at "H", the memory cell array selection signal RSL in the redundant decoder SDEC00 shown in FIG.
When 0 becomes "H", the N-type MOS transistor QN1
3, QN16, QN19, QN22 are turned on, and N-type MOS transistors QN14, QN17, QN20, Q
N23 is turned off, and word line drive signals WDRV0-WDR
When a selected one of the DRV3 has a predetermined word line potential, that potential is transferred to the corresponding redundant word line. That is, the redundant memory cell block SCB00 is selected.

【0161】このとき、前述のように冗長指示信号RS
P00が“H”であるため、図4に示すノーマルデコー
ダコントロール回路NDC10において、メモリセルア
レイ選択信号RSL0が“H”となっても、N型MOS
トランジスタQN73,QN76,QN79,QN82
はオフであり、N型MOSトランジスタQN74,QN
77,QN80,QN83はオンであるため、ワード線
駆動信号WDRV0〜WDRV3のうちの選択された任
意の1本が所定のワード線電位となってもすべてのノー
マルワード線駆動信号WDRV00〜WDRV03は
“L”のままで、当該メモリセルアレイMCA20のす
べてのノーマルメモリセルブロックNCB00〜NCB
0nは非選択となる。したがって、前述の“H”となっ
たアドレスの組み合わせで選択されるノーマルワード線
は冗長ワード線で代替されることとなる。
At this time, as described above, the redundancy instruction signal RS
Since P00 is "H", in the normal decoder control circuit NDC10 shown in FIG. 4, even if the memory cell array selection signal RSL0 becomes "H", the N-type MOS
Transistors QN73, QN76, QN79, QN82
Is off, and N-type MOS transistors QN74, QN
Since 77, QN80, and QN83 are on, all the normal word line drive signals WDRV00 to WDRV03 are "even if any one of the word line drive signals WDRV0 to WDRV3 has a predetermined word line potential. All normal memory cell blocks NCB00 to NCB of the memory cell array MCA20 are kept as L ″.
0n is not selected. Therefore, the normal word line selected by the combination of the above-mentioned "H" addresses is replaced by the redundant word line.

【0162】[0162]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る半導
体メモリ装置によれば、チップ面積の増大を抑制し、冗
長効率を高めることができる。
As described above, according to the semiconductor memory device of the present invention, the increase in chip area can be suppressed and the redundancy efficiency can be increased.

【0163】[0163]

【0164】[0164]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例に係る半導体メモリ装置
のブロック構成図。
FIG. 1 is a block configuration diagram of a semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】第1の実施例に係る半導体メモリ装置における
第1の冗長デコーダの回路構成図。
FIG. 2 is a circuit configuration diagram of a first redundant decoder in the semiconductor memory device according to the first embodiment.

【図3】第1の実施例に係る半導体メモリ装置における
第2の冗長デコーダの回路構成図。
FIG. 3 is a circuit configuration diagram of a second redundant decoder in the semiconductor memory device according to the first embodiment.

【図4】第1の実施例、第2の実施例および第3の実施
例に係る半導体メモリ装置におけるノーマルデコーダコ
ントロール回路の回路構成図。
FIG. 4 is a circuit configuration diagram of a normal decoder control circuit in the semiconductor memory device according to the first embodiment, the second embodiment, and the third embodiment.

【図5】本発明の第2の実施例に係る半導体メモリ装置
のブロック構成図。
FIG. 5 is a block configuration diagram of a semiconductor memory device according to a second embodiment of the present invention.

【図6】第2の実施例に係る半導体メモリ装置における
第1の冗長デコーダの回路構成図。
FIG. 6 is a circuit configuration diagram of a first redundant decoder in the semiconductor memory device according to the second embodiment.

【図7】第2の実施例に係る半導体メモリ装置における
第2の冗長デコーダの回路構成図。
FIG. 7 is a circuit configuration diagram of a second redundant decoder in the semiconductor memory device according to the second embodiment.

【図8】第2の実施例に係る半導体メモリ装置における
ノーマルメモリセルブロックに割り当てられるアドレス
の配置を模式的に表した説明図。
FIG. 8 is an explanatory diagram schematically showing the arrangement of addresses assigned to normal memory cell blocks in the semiconductor memory device according to the second embodiment.

【図9】第1の実施例または従来の半導体メモリ装置に
おけるノーマルメモリセルブロックに割り当てられるア
ドレスの配置を模式的に表した説明図。
FIG. 9 is an explanatory view schematically showing the arrangement of addresses assigned to normal memory cell blocks in the first embodiment or the conventional semiconductor memory device.

【図10】本発明の第3の実施例に係る半導体メモリ装
置のブロック構成図。
FIG. 10 is a block configuration diagram of a semiconductor memory device according to a third embodiment of the present invention.

【図11】第3の実施例に係る半導体メモリ装置におけ
る冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロック
の回路構成図。
FIG. 11 is a circuit configuration diagram of a redundant memory cell block selecting fuse circuit block in a semiconductor memory device according to a third example.

【図12】従来例に係る半導体メモリ装置のブロック構
成図。
FIG. 12 is a block configuration diagram of a semiconductor memory device according to a conventional example.

【図13】第1の実施例、第2の実施例および従来例に
係る半導体メモリ装置における冗長メモリセルブロック
選択用ヒューズ回路ブロックの回路構成図。
FIG. 13 is a circuit configuration diagram of a redundant memory cell block selecting fuse circuit block in the semiconductor memory device according to the first example, the second example, and the conventional example.

【図14】第3の実施例および従来例に係る半導体メモ
リ装置における冗長デコーダの回路構成図。
FIG. 14 is a circuit configuration diagram of a redundant decoder in a semiconductor memory device according to a third example and a conventional example.

【図15】従来例に係る半導体メモリ装置におけるノー
マルデコーダコントロール回路の回路構成図。
FIG. 15 is a circuit configuration diagram of a normal decoder control circuit in a semiconductor memory device according to a conventional example.

【図16】第1の実施例、第2の実施例、第3の実施例
および従来例に係る半導体メモリ装置におけるノーマル
デコーダの回路構成図。
FIG. 16 is a circuit configuration diagram of a normal decoder in the semiconductor memory device according to the first embodiment, the second embodiment, the third embodiment, and the conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

MCA メモリセルアレイ NCB ノーマルメモリセルブロック SCB 冗長メモリセルブロック WL ノーマルワード線 SWL 冗長ワード線 NDEC ノーマルデコーダ SDEC 冗長デコーダ NDC ノーマルデコーダコントロール回路 WDRV00〜03,10〜13,20〜23,30〜
33 ノーマルワード線駆動信号 WDRV0〜3 ワード線駆動信号 RSL メモリセルアレイ選択信号 SRSL 冗長デコーダ選択信号 XA,XB,XC,A1R,/A1R アドレス信号 FB 冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロ
ック RSP 冗長指示信号 PRCH 信号 VCC 電源電圧 VSS 接地電圧 QP P型MOSトランジスタ QN N型MOSトランジスタ FU ヒューズ
MCA memory cell array NCB normal memory cell block SCB redundant memory cell block WL normal word line SWL redundant word line NDEC normal decoder SDEC redundant decoder NDC normal decoder control circuit WDRV00-03, 10-13, 20-23, 30-
33 normal word line drive signal WDRV0 to 3 word line drive signal RSL memory cell array selection signal SRSL redundant decoder selection signals XA, XB, XC, A1R, / A1R address signal FB redundant memory cell block selection fuse circuit block RSP redundant instruction signal PRCH Signal VCC Power supply voltage VSS Ground voltage QP P-type MOS transistor QN N-type MOS transistor FU Fuse

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−192092(JP,A) 特開 平1−229498(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 29/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-2-192092 (JP, A) JP-A 1-229498 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G11C 29/00

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数のノーマルメモリセルブロックと複数
の冗長メモリセルブロックとを有するメモリセルアレイ
と、 前記複数のノーマルメモリセルブロックのうち欠陥のあ
る複数のノーマルメモリセルブロックを前記複数の冗長
メモリセルブロックの一部または全部により代替するた
めに、前記欠陥のある複数のノーマルメモリセルブロッ
クのアドレスに対応して切断される複数のヒューズを有
する冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロッ
クと、 前記ノーマルメモリセルブロックへのアクセスを制御す
るノーマルデコーダと、 前記冗長メモリセルブロックへのアクセスを制御する冗
長デコーダと、 を備え、 前記欠陥のある複数のノーマルメモリセルブロックのア
ドレスに対応して前記ヒューズを切断された前記冗長メ
モリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックからのア
ドレス信号が前記冗長デコーダへ入力されることによ
り、前記欠陥のある複数のノーマルメモリセルブロック
が前記複数の冗長メモリセルブロックの一部または全部
で代替され、 前記アドレス信号は、前記冗長メモリセルブロック選択
用ヒューズ回路ブロックにおいて設定したノーマルメモ
リセルブロック選択アドレスにおける最下位アドレスの
信号であることを特徴とする半導体メモリ装置。
1. A memory cell array having a plurality of normal memory cell blocks and a plurality of redundant memory cell blocks, and a plurality of defective normal memory cell blocks among the plurality of normal memory cell blocks being the plurality of redundant memory cells. A redundant memory cell block selecting fuse circuit block having a plurality of fuses that are blown corresponding to addresses of the defective normal memory cell blocks in order to substitute some or all of the blocks; and the normal memory. A normal decoder for controlling access to the cell block; and a redundant decoder for controlling access to the redundant memory cell block, wherein the fuse is blown corresponding to addresses of the defective normal memory cell blocks. Redundant memory cell By inputting an address signal from the lock selection fuse circuit block to the redundant decoder, the defective normal memory cell blocks are replaced with a part or all of the redundant memory cell blocks, The signal is a signal of the lowest address in a normal memory cell block selection address set in the redundant memory cell block selection fuse circuit block.
【請求項2】請求項1に記載の半導体メモリ装置におい
て、一のノーマルメモリセルブロックと前記一のノーマ
ルメモリセルブロックに対して互いに隣接する他のノー
マルメモリセルブロックとの2個の前記ノーマルメモリ
セルブロックを2個の前記冗長メモリセルブロックで代
替する場合に、 前記一のノーマルメモリセルブロックのアドレスと前記
他のノーマルメモリセルブロックのアドレスとのうち、
アドレスの共通部分は一の前記冗長メモリセルブロック
選択用ヒューズ回路ブロックの共通のヒューズを切断し
て選択し、互いに異なる前記最下位アドレスは前記最下
位アドレスに対応した複数のヒューズのうち2個を切断
して選択することにより、前記2個のノーマルメモリセ
ルブロックを前記2個の冗長メモリセルブロックで代替
することを特徴とする半導体メモリ装置。
2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the two normal memories are one normal memory cell block and another normal memory cell block adjacent to the one normal memory cell block. When the cell block is replaced with two redundant memory cell blocks, one of the address of the one normal memory cell block and the address of the other normal memory cell block is
The common part of the addresses is selected by cutting a common fuse of one redundant memory cell block selecting fuse circuit block, and the different lowest addresses are two fuses corresponding to the lowest addresses. A semiconductor memory device, wherein the two normal memory cell blocks are replaced with the two redundant memory cell blocks by cutting and selecting.
【請求項3】複数のノーマルメモリセルブロックと複数
の冗長メモリセルブロックとを有するメモリセルアレイ
と、 前記複数のノーマルメモリセルブロックのうち欠陥のあ
る複数のノーマルメモリセルブロックを前記複数の冗長
メモリセルブロックの一部または全部により代替するた
めに、前記欠陥のある複数のノーマルメモリセルブロッ
クのアドレスに対応して切断される複数のヒューズを有
する冗長メモリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロッ
クと、 前記ノーマルメモリセルブロックへのアクセスを制御す
るノーマルデコーダと、 前記冗長メモリセルブロックへのアクセスを制御する冗
長デコーダと、 を備え、 前記欠陥のある複数のノーマルメモリセルブロックのア
ドレスに対応して前記ヒューズを切断された前記冗長メ
モリセルブロック選択用ヒューズ回路ブロックからのア
ドレス信号が前記冗長デコーダへ入力されることによ
り、前記欠陥のある複数のノーマルメモリセルブロック
が前記複数の冗長メモリセルブロックの一部または全部
で代替され、 前記複数のノーマルメモリセルブロックは、それぞれ、
各ノーマルメモリセルブロックごとに複数のアドレスの
組合わせが割り当てられたノーマルメモリセルブロック
であり、 割り当てられた前記アドレスの組合せの配置形態は、一
のノーマルメモリセルブロックに割り当てられたアドレ
スの組合わせと前記一のノーマルメモリセルブロックに
対して互いに隣接する他のノーマルメモリセルブロック
に割り当てられたアドレスの組合わせとが、前記各アド
レスの組合せを構成する前記複数アドレスのうちのいず
れか一のアドレスのみが必ず互いに異なるように前記ア
ドレスの組合せを配置した配置形態であることを特徴と
する半導体メモリ装置。
3. A memory cell array having a plurality of normal memory cell blocks and a plurality of redundant memory cell blocks, and a plurality of defective normal memory cell blocks out of the plurality of normal memory cell blocks. A redundant memory cell block selecting fuse circuit block having a plurality of fuses that are blown corresponding to addresses of the defective normal memory cell blocks in order to substitute some or all of the blocks; and the normal memory. A normal decoder for controlling access to the cell block; and a redundant decoder for controlling access to the redundant memory cell block, wherein the fuse is blown corresponding to addresses of the defective normal memory cell blocks. Redundant memory cell By inputting the address signal from the lock selection fuse circuit block to the redundant decoder, the defective normal memory cell blocks are replaced by a part or all of the redundant memory cell blocks, The normal memory cell blocks of
It is a normal memory cell block in which a combination of a plurality of addresses is assigned to each normal memory cell block, and the arrangement form of the assigned addresses is a combination of addresses assigned to one normal memory cell block. And a combination of addresses assigned to other normal memory cell blocks adjacent to the one normal memory cell block, an address of any one of the plurality of addresses forming a combination of the respective addresses. A semiconductor memory device, wherein the combination of the addresses is arranged so that only the addresses are different from each other.
【請求項4】請求項3に記載の半導体メモリ装置におい
て、前記ノーマルメモリセルブロックに割り当てられた
前記アドレスの組合わせに応じて決定される冗長デコー
ダ選択信号が前記冗長デコーダへ入力されることによ
り、前記欠陥のある複数のノーマルメモリセルブロック
が前記複数の冗長メモリセルブロックの一部または全部
で代替されることを特徴とする半導体メモリ装置。
4. The semiconductor memory device according to claim 3, wherein a redundant decoder selection signal determined according to a combination of the addresses assigned to the normal memory cell block is input to the redundant decoder. A semiconductor memory device, wherein the defective normal memory cell blocks are replaced by a part or all of the redundant memory cell blocks.
【請求項5】請求項4に記載の半導体メモリ装置におい
て、一のノーマルメモリセルブロックと前記一のノーマ
ルメモリセルブロックに対して互いに隣接する他のノー
マルメモリセルブロックとの2個の前記ノーマルメモリ
セルブロックを2個の前記冗長メモリセルブロックで代
替する場合に、 前記一のノーマルメモリセルブロックのアドレスと前記
他のノーマルメモリセルブロックのアドレスとのうち、
アドレスの共通部分は一の前記冗長メモリセルブロック
選択用ヒューズ回路ブロックの共通のヒューズを切断し
て選択し、互いに異なるアドレスは前記互いに異なるア
ドレスに対応した複数のヒューズのうち2個を切断して
選択することにより、前記2個のノーマルメモリセルブ
ロックを前記2個の冗長メモリセルブロックで代替する
ことを特徴とする半導体メモリ装置。
5. The semiconductor memory device according to claim 4, wherein the two normal memories include one normal memory cell block and another normal memory cell block adjacent to the one normal memory cell block. When the cell block is replaced with two redundant memory cell blocks, one of the address of the one normal memory cell block and the address of the other normal memory cell block is
The common part of the addresses is selected by cutting a common fuse of one of the redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks, and different addresses are cut by cutting two fuses corresponding to the different addresses. A semiconductor memory device, wherein the two normal memory cell blocks are replaced by the two redundant memory cell blocks by selecting.
【請求項6】請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体
メモリ装置において、前記冗長メモリセルブロック選択
用ヒューズ回路ブロックの個数は、前記冗長メモリセル
ブロックの個数より少ないことを特徴とする半導体メモ
リ装置。
6. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the number of the redundant memory cell block selecting fuse circuit blocks is smaller than the number of the redundant memory cell blocks. Memory device.
JP03735596A 1995-02-09 1996-01-31 Semiconductor memory device Expired - Fee Related JP3486041B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03735596A JP3486041B2 (en) 1995-02-09 1996-01-31 Semiconductor memory device

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7-22122 1995-02-09
JP2212295 1995-02-09
JP03735596A JP3486041B2 (en) 1995-02-09 1996-01-31 Semiconductor memory device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08279300A JPH08279300A (en) 1996-10-22
JP3486041B2 true JP3486041B2 (en) 2004-01-13

Family

ID=26359299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03735596A Expired - Fee Related JP3486041B2 (en) 1995-02-09 1996-01-31 Semiconductor memory device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3486041B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6018482A (en) * 1997-07-07 2000-01-25 Nec Corporation High efficiency redundancy scheme for semiconductor memory device
JP3204190B2 (en) * 1997-12-26 2001-09-04 日本電気株式会社 Semiconductor storage device
JP4758229B2 (en) * 2003-07-15 2011-08-24 エルピーダメモリ株式会社 Semiconductor memory device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08279300A (en) 1996-10-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6646932B2 (en) Semiconductor memory device having redundancy system
US5469388A (en) Row redundancy circuit suitable for high density semiconductor memory devices
KR950004623B1 (en) Semiconductor memory device with improved redundancy efficiency
KR100790442B1 (en) Memory device with global redundancy and its operating method
JP3597501B2 (en) Semiconductor integrated circuit
US5323353A (en) Method and apparatus for repair of memory by redundancy
JP2012119059A (en) Redundancy program circuit of semiconductor memory device
JPH07220494A (en) Redundancy circuit device
JPH07192491A (en) Method and circuit for row redundancy of semiconductor memory device
JPH07272496A (en) Low redundancy circuit of semiconductor memory
JP2919213B2 (en) Semiconductor memory device
JPH11250688A (en) Semiconductor storage device
KR20000067411A (en) Redundancy circuit capable of repairing defect cell to redundancy cell repeatly
US7227801B2 (en) Semiconductor memory device with reliable fuse circuit
US6621750B2 (en) Semiconductor memory
JP3486041B2 (en) Semiconductor memory device
US6426902B1 (en) Semiconductor memory device having redundancy circuit capable of improving redundancy efficiency
JP4965025B2 (en) Column redundancy circuit with reduced signal path delay
JP2769659B2 (en) Semiconductor storage device
JP3642905B2 (en) Semiconductor memory device capable of reorganizing memory cell array block
US6813198B2 (en) Semiconductor memory device and method of repairing the same
KR101131943B1 (en) Semiconductor memory device and operating method for the same
US5805512A (en) Semiconductor memory device
KR0172349B1 (en) Semiconductor memory equipment having low redundancy circuit
KR100499640B1 (en) Row redundancy circuit and repair method

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees