JP3477223B2 - 球面部を有するタンクの検査装置 - Google Patents
球面部を有するタンクの検査装置Info
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- JP3477223B2 JP3477223B2 JP10355393A JP10355393A JP3477223B2 JP 3477223 B2 JP3477223 B2 JP 3477223B2 JP 10355393 A JP10355393 A JP 10355393A JP 10355393 A JP10355393 A JP 10355393A JP 3477223 B2 JP3477223 B2 JP 3477223B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、球面部を有するタンク
の検査装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】大型ＬＮＧ船のタンクとしては、従来、
例えば図３（全体縦断面図）に示すように、船体構造０
２ａに支持されたアルミ製の球型タンク０１と、同球型
タンク０１の外面を被覆する防熱材０２と、防熱材０２
の船体構造０２ａから上方に突出する部分の外面を被覆
するタンクカバー０３等とから形成されるものが知られ
ている。このような球型タンク構造では、球型タンク０
１，防熱材０２，タンクカバー０３等を点検するため
に、同図に示すように、固定足場０５が、防熱材０２と
タンクカバー０３との間に形成された空間０３ａに、タ
ンクカバー０３に沿うとともにその上下端がそれぞれタ
ンクカバー０３，船体の受台０４に溶接されて、タンク
１基当たり平面図的に等間隔で４個程度配設されてい
る。そして、検査員はタンクカバー０３の側面部に設け
られたマンホール０６から空間０３ａ内に入り、固定式
足場０５を使用して防熱材０２等の目視検査を行ってい
る。 【０００３】しかしながら、このような手段では、下記
のような欠点がある。 （１）検査員は固定式足場０５の上から球型タンク０１
の中心角９０°程度の範囲の防熱材０２等を目視検査し
なければならず、特に球型タンク０１の赤道部分では検
査範囲が広くなり、比較的遠方も目視検査せねばならな
いので、精度が悪くなり、したがって信頼性が低下す
る。 （２）検査員による目視検査は高所作業となり、安全性
の問題がある。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情に鑑みて提案されたもので、防熱材等を全範囲にわ
たって比較的接近して検査可能とするとともに、検査員
に高所作業が伴わない、したがって検査精度及び安全性
に優れた球型部を有するタンクの検査装置を提供するこ
とを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】そのために、本発明の球
面部を有するタンクの検査装置は、上部が半球面形状
で、船体構造により支持されるタンクと、前記船体構造
から上方に突出するタンク上部を覆うタンクカバーと、
前記タンクの外面に沿うように前記船体構造の受台に環
状に布設された下部環状レールと、前記タンクの外面に
沿うように環状に布設されるとともに前記タンクカバー
に支持される上部環状レールと、上端部が前記上部環状
レールに走行可能に支持されるとともに下端部が前記下
部環状レールに走行可能に支持されて前記タンクと前記
タンクカバーとの間の空間を旋回移動する旋回式足場
と、当該旋回式足場の央部に設けられ、前記旋回式足場
を前記タンクの半球面の周りに移動させながら全景を撮
影する全体監視カメラと、前記旋回式足場の円弧状レー
ルに沿って昇降する検査用台車と、当該検査用台車に自
動腕部材を介して取り付けられ、当該検査用台車の前記
円弧状レールに沿った昇降に伴って前記タンクの上部半
球面を部分的に順次詳細に撮影する局部監視カメラ及び
照明灯と、前記旋回式足場を遠隔制御するとともに、前
記局部監視カメラ及び前記照明灯を前記自動腕部材で遠
隔自動制御する遠隔制御装置と、を備えていることを特
徴とする。 【０００６】 【作用】本発明では、旋回式足場は、上端部が前記上部
環状レールに走行可能に支持されるとともに下端部が前
記下部環状レールに走行可能に支持されており、この旋
回式足場がタンクとタンクカバーとの間の空間を旋回移
動することにより、上記球面部の外面の全範囲にわたっ
て接近した検査が可能となり、検査精度が向上する。ま
た、旋回式足場の旋回駆動および検査装置の操作を遠隔
操作できるため、検査員が空間に立入ることが不要とな
り、安全性を確保できる。さらに、旋回式足場をタンク
補修工事用足場としても利用することができ、メンテナ
ンス時の費用や時間を節約することが可能となる。 【０００７】 【実施例】以下、図面により本発明の一実施例としての
球面部を有するタンクの検査装置について説明すると、
図１（Ａ）はその全体縦断面図、図１（Ｂ）は同平面
図、図２（Ａ）はその旋回式足場の下部の詳細縦断面
図、図２（Ｂ）は同上部の詳細縦断面図である。なお図
１（Ａ),（Ｂ），図２（Ａ),（Ｂ）中図３と同じ符号は
ほぼ同一の部材を示している。この実施例は、ＬＮＧ船
の球型タンクを例にしており、図１（Ａ),（Ｂ）におい
て、符号１は船体構造０２ａの受台０４の上面に、球型
タンク０１の外面に沿うように環状に布設された下部環
状レールを、また符号２は空間０３ａの上部にタンクカ
バー０３から竪筒状支材０３ｂで支持されるとともに、
球型タンク０１の外面に沿うように環状に布設された上
部環状レールをそれぞれ示している。また符号３は、球
型タンク０１の上半部の球面部の上部中心点（北極点）
を旋回中心として上半部の球面部の外面に沿って旋回可
能な、側面視１／４円弧状の旋回式足場を示している。
この旋回式足場３は、空間０３ａ内に配設されるととも
に、上端部を上部環状レール２に走行可能に支持され、
下端部を下部環状レール１に走行可能に支持されて、球
型タンク０１の上半部の外面に沿って旋回可能に配設さ
れている。この実施例の場合、旋回式足場は軽量化のた
め、アルミ製のものが用いられている。旋回式足場３の
下部を船体構造０２ａに固定することが可能な固縛機構
４が船体構造０２ａに設けられ、さらに、旋回式足場３
の上面に沿って円弧状レール６が布設されている。円弧
状レール６に沿って旋回式足場３の上面に沿って昇降
（移動）可能な台車５が配設されている。タンクカバー
０３の側壁部に台車５の遠隔制御用電線等を接続するコ
ネクターが付設され、さらに旋回式足場３の央部に全体
監視カメラ８が設けられている。 【０００８】旋回式足場３の下部には、図２（Ａ）に示
すように、下部環状レール１の外面に布設されたラック
９に噛合可能な小歯車１１，下部環状レール１の上面に
転動可能な移動用ローラー１０，下部環状レール１の内
面に転動可能な案内用ローラー１３がそれぞれ取り付け
られている。符号１２は小歯車１１を駆動するための竪
型モータを示している。台車５に照明灯１６，局部監視
カメラ１７を備えた自動腕部材１８が取り付けられてい
る。符号１４は台車５の案内用ローラー，符号１５は台
車５の吊り索をそれぞれ示している。 【０００９】旋回式足場３の上部には、上部環状レール
２の上面を転動することが可能な移動用ローラー１９及
び上部環状レール２の側面に転動可能な案内用ローラー
２０が設けられ、さらに、吊り索１５を巻込むことが可
能な台車用ウィンチ２１が設けられている。 【００１０】このような装置において、防熱材０２等の
検査は、ＬＮＧ船が岸壁等に係留された状態で球型タン
クの空間０３ａをガスフリーにして、旋回式足場３を固
縛機構４から外し、コネクター７に検査装置の制御機構
を接続し、レセプタクルから陸上電気等を得てから、検
査員は任意の上甲板上位置でモニターテレビを見ながら
自動腕部材１８で照明灯１６や局部監視カメラ１７を遠
隔自動制御することで行われる。その際、検査員は全体
監視カメラ８で全景を撮しながら、旋回式足場３を球型
タンク０１の上半部の周りに移動させるとともに、旋回
式足場３の円弧状レール６の上に検査用台車５を昇降さ
せ、局部監視カメラ１７で球型タンク０１の上半部を部
分的に順次詳細に撮しながら上甲板上から防熱材０２等
の検査をすることができる。そして、異常個所を発見し
たならば、作業員が旋回式足場３を使用して該部に接近
し、防熱材０２等の補修をする。なお、旋回式足場３は
下端部の竪型モータ１２のほかに、上端部にもモータを
付設して、上下のモータを同調させて移動させることも
できる。 【００１１】このように、この実施例の装置によれば、
上半部を球面部に形成されたタンクであって、上記球面
部の外面を保護すべく、同球面部の外面との間に空間を
あけて配設されたタンクカバーを備えたタンクにおい
て、上記球面部の上部に設けた竪筒状支材０３ｂを中心
として同球面部の外面に沿って旋回可能な旋回式足場３
を設け、この旋回式足場３に台車５を移動可能に搭載
し、かつ、台車５に照明灯１６，局部監視カメラ１７等
の検査機構を取り付けるとともに、旋回式足場３および
検査機構を遠隔操作できるようにしたため、次のような
効果が得られる。（１）球面部の全範囲にわたって接近
して検査を行うことが可能となるため、検査の精度が良
くなり、したがって検査の信頼性が向上する。（２）検
査員はタンクカバーの外から球面部の外面に取り付けら
れた防熱材等をも検査することが可能となり，防熱材と
タンクカバーとの間に形成された空間に入ることが不要
となって、作業の安全性が向上する。（３）旋回式足場
をタンク補修工事用の足場としても利用することがで
き、補修工事に要する費用や時間を節約する事が可能と
なり、経済性が向上する。 【００１２】 【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば次
のような効果が得られる。 （１）旋回式足場が、タンクとタンクカバーとの間の空
間を旋回移動することにより、タンク上部の半球面部の
外面の全範囲にわたって接近した検査が可能となり、検
査精度が向上する。 （２）旋回式足場の旋回駆動および検査装置の操作を遠
隔操作できるため、検査員が防熱材とタンクカバーとの
間に形成された空間に立入ることが不要となり、安全性
を確保することができる。 （３）旋回式足場をタンク補修工事用足場としても利用
することができ、メンテナンス時の費用や時間を節約す
ることが可能となる。 （４）旋回式足場は、下端部が、下部環状レールを介し
て船体構造に支持されており、タンクやタンクカバーに
加わる旋回式足場の荷重を減少させることができる。そ
の結果、タンクやタンクカバーの強度を低くすることが
できる。 （５）旋回式足場は、上端部が上部環状レールを介して
タンクカバーに支持されているので、タンクに直接支持
されている場合に比して、タンク内の貨物の冷熱が、旋
回式足場を介して放熱することが減少する。
の検査装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】大型ＬＮＧ船のタンクとしては、従来、
例えば図３（全体縦断面図）に示すように、船体構造０
２ａに支持されたアルミ製の球型タンク０１と、同球型
タンク０１の外面を被覆する防熱材０２と、防熱材０２
の船体構造０２ａから上方に突出する部分の外面を被覆
するタンクカバー０３等とから形成されるものが知られ
ている。このような球型タンク構造では、球型タンク０
１，防熱材０２，タンクカバー０３等を点検するため
に、同図に示すように、固定足場０５が、防熱材０２と
タンクカバー０３との間に形成された空間０３ａに、タ
ンクカバー０３に沿うとともにその上下端がそれぞれタ
ンクカバー０３，船体の受台０４に溶接されて、タンク
１基当たり平面図的に等間隔で４個程度配設されてい
る。そして、検査員はタンクカバー０３の側面部に設け
られたマンホール０６から空間０３ａ内に入り、固定式
足場０５を使用して防熱材０２等の目視検査を行ってい
る。 【０００３】しかしながら、このような手段では、下記
のような欠点がある。 （１）検査員は固定式足場０５の上から球型タンク０１
の中心角９０°程度の範囲の防熱材０２等を目視検査し
なければならず、特に球型タンク０１の赤道部分では検
査範囲が広くなり、比較的遠方も目視検査せねばならな
いので、精度が悪くなり、したがって信頼性が低下す
る。 （２）検査員による目視検査は高所作業となり、安全性
の問題がある。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情に鑑みて提案されたもので、防熱材等を全範囲にわ
たって比較的接近して検査可能とするとともに、検査員
に高所作業が伴わない、したがって検査精度及び安全性
に優れた球型部を有するタンクの検査装置を提供するこ
とを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】そのために、本発明の球
面部を有するタンクの検査装置は、上部が半球面形状
で、船体構造により支持されるタンクと、前記船体構造
から上方に突出するタンク上部を覆うタンクカバーと、
前記タンクの外面に沿うように前記船体構造の受台に環
状に布設された下部環状レールと、前記タンクの外面に
沿うように環状に布設されるとともに前記タンクカバー
に支持される上部環状レールと、上端部が前記上部環状
レールに走行可能に支持されるとともに下端部が前記下
部環状レールに走行可能に支持されて前記タンクと前記
タンクカバーとの間の空間を旋回移動する旋回式足場
と、当該旋回式足場の央部に設けられ、前記旋回式足場
を前記タンクの半球面の周りに移動させながら全景を撮
影する全体監視カメラと、前記旋回式足場の円弧状レー
ルに沿って昇降する検査用台車と、当該検査用台車に自
動腕部材を介して取り付けられ、当該検査用台車の前記
円弧状レールに沿った昇降に伴って前記タンクの上部半
球面を部分的に順次詳細に撮影する局部監視カメラ及び
照明灯と、前記旋回式足場を遠隔制御するとともに、前
記局部監視カメラ及び前記照明灯を前記自動腕部材で遠
隔自動制御する遠隔制御装置と、を備えていることを特
徴とする。 【０００６】 【作用】本発明では、旋回式足場は、上端部が前記上部
環状レールに走行可能に支持されるとともに下端部が前
記下部環状レールに走行可能に支持されており、この旋
回式足場がタンクとタンクカバーとの間の空間を旋回移
動することにより、上記球面部の外面の全範囲にわたっ
て接近した検査が可能となり、検査精度が向上する。ま
た、旋回式足場の旋回駆動および検査装置の操作を遠隔
操作できるため、検査員が空間に立入ることが不要とな
り、安全性を確保できる。さらに、旋回式足場をタンク
補修工事用足場としても利用することができ、メンテナ
ンス時の費用や時間を節約することが可能となる。 【０００７】 【実施例】以下、図面により本発明の一実施例としての
球面部を有するタンクの検査装置について説明すると、
図１（Ａ）はその全体縦断面図、図１（Ｂ）は同平面
図、図２（Ａ）はその旋回式足場の下部の詳細縦断面
図、図２（Ｂ）は同上部の詳細縦断面図である。なお図
１（Ａ),（Ｂ），図２（Ａ),（Ｂ）中図３と同じ符号は
ほぼ同一の部材を示している。この実施例は、ＬＮＧ船
の球型タンクを例にしており、図１（Ａ),（Ｂ）におい
て、符号１は船体構造０２ａの受台０４の上面に、球型
タンク０１の外面に沿うように環状に布設された下部環
状レールを、また符号２は空間０３ａの上部にタンクカ
バー０３から竪筒状支材０３ｂで支持されるとともに、
球型タンク０１の外面に沿うように環状に布設された上
部環状レールをそれぞれ示している。また符号３は、球
型タンク０１の上半部の球面部の上部中心点（北極点）
を旋回中心として上半部の球面部の外面に沿って旋回可
能な、側面視１／４円弧状の旋回式足場を示している。
この旋回式足場３は、空間０３ａ内に配設されるととも
に、上端部を上部環状レール２に走行可能に支持され、
下端部を下部環状レール１に走行可能に支持されて、球
型タンク０１の上半部の外面に沿って旋回可能に配設さ
れている。この実施例の場合、旋回式足場は軽量化のた
め、アルミ製のものが用いられている。旋回式足場３の
下部を船体構造０２ａに固定することが可能な固縛機構
４が船体構造０２ａに設けられ、さらに、旋回式足場３
の上面に沿って円弧状レール６が布設されている。円弧
状レール６に沿って旋回式足場３の上面に沿って昇降
（移動）可能な台車５が配設されている。タンクカバー
０３の側壁部に台車５の遠隔制御用電線等を接続するコ
ネクターが付設され、さらに旋回式足場３の央部に全体
監視カメラ８が設けられている。 【０００８】旋回式足場３の下部には、図２（Ａ）に示
すように、下部環状レール１の外面に布設されたラック
９に噛合可能な小歯車１１，下部環状レール１の上面に
転動可能な移動用ローラー１０，下部環状レール１の内
面に転動可能な案内用ローラー１３がそれぞれ取り付け
られている。符号１２は小歯車１１を駆動するための竪
型モータを示している。台車５に照明灯１６，局部監視
カメラ１７を備えた自動腕部材１８が取り付けられてい
る。符号１４は台車５の案内用ローラー，符号１５は台
車５の吊り索をそれぞれ示している。 【０００９】旋回式足場３の上部には、上部環状レール
２の上面を転動することが可能な移動用ローラー１９及
び上部環状レール２の側面に転動可能な案内用ローラー
２０が設けられ、さらに、吊り索１５を巻込むことが可
能な台車用ウィンチ２１が設けられている。 【００１０】このような装置において、防熱材０２等の
検査は、ＬＮＧ船が岸壁等に係留された状態で球型タン
クの空間０３ａをガスフリーにして、旋回式足場３を固
縛機構４から外し、コネクター７に検査装置の制御機構
を接続し、レセプタクルから陸上電気等を得てから、検
査員は任意の上甲板上位置でモニターテレビを見ながら
自動腕部材１８で照明灯１６や局部監視カメラ１７を遠
隔自動制御することで行われる。その際、検査員は全体
監視カメラ８で全景を撮しながら、旋回式足場３を球型
タンク０１の上半部の周りに移動させるとともに、旋回
式足場３の円弧状レール６の上に検査用台車５を昇降さ
せ、局部監視カメラ１７で球型タンク０１の上半部を部
分的に順次詳細に撮しながら上甲板上から防熱材０２等
の検査をすることができる。そして、異常個所を発見し
たならば、作業員が旋回式足場３を使用して該部に接近
し、防熱材０２等の補修をする。なお、旋回式足場３は
下端部の竪型モータ１２のほかに、上端部にもモータを
付設して、上下のモータを同調させて移動させることも
できる。 【００１１】このように、この実施例の装置によれば、
上半部を球面部に形成されたタンクであって、上記球面
部の外面を保護すべく、同球面部の外面との間に空間を
あけて配設されたタンクカバーを備えたタンクにおい
て、上記球面部の上部に設けた竪筒状支材０３ｂを中心
として同球面部の外面に沿って旋回可能な旋回式足場３
を設け、この旋回式足場３に台車５を移動可能に搭載
し、かつ、台車５に照明灯１６，局部監視カメラ１７等
の検査機構を取り付けるとともに、旋回式足場３および
検査機構を遠隔操作できるようにしたため、次のような
効果が得られる。（１）球面部の全範囲にわたって接近
して検査を行うことが可能となるため、検査の精度が良
くなり、したがって検査の信頼性が向上する。（２）検
査員はタンクカバーの外から球面部の外面に取り付けら
れた防熱材等をも検査することが可能となり，防熱材と
タンクカバーとの間に形成された空間に入ることが不要
となって、作業の安全性が向上する。（３）旋回式足場
をタンク補修工事用の足場としても利用することがで
き、補修工事に要する費用や時間を節約する事が可能と
なり、経済性が向上する。 【００１２】 【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば次
のような効果が得られる。 （１）旋回式足場が、タンクとタンクカバーとの間の空
間を旋回移動することにより、タンク上部の半球面部の
外面の全範囲にわたって接近した検査が可能となり、検
査精度が向上する。 （２）旋回式足場の旋回駆動および検査装置の操作を遠
隔操作できるため、検査員が防熱材とタンクカバーとの
間に形成された空間に立入ることが不要となり、安全性
を確保することができる。 （３）旋回式足場をタンク補修工事用足場としても利用
することができ、メンテナンス時の費用や時間を節約す
ることが可能となる。 （４）旋回式足場は、下端部が、下部環状レールを介し
て船体構造に支持されており、タンクやタンクカバーに
加わる旋回式足場の荷重を減少させることができる。そ
の結果、タンクやタンクカバーの強度を低くすることが
できる。 （５）旋回式足場は、上端部が上部環状レールを介して
タンクカバーに支持されているので、タンクに直接支持
されている場合に比して、タンク内の貨物の冷熱が、旋
回式足場を介して放熱することが減少する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を図３に示すＬＮＧ船の球型タンクに適
用した一実施例を示し、（Ａ),（Ｂ）はそれぞれ全体縦
断面図、平面図である。 【図２】図１の旋回式足場３を示し、（Ａ),（Ｂ）はそ
れぞれ下部部分拡大縦断面図、上部部分拡大縦断面図で
ある。 【図３】従来のＬＮＧ船の球型タンク検査構造を示す全
体縦断面図である。 【符号の説明】 １ 下部環状レール ２ 上部環状レール ３ 旋回式足場 ４ 固縛機構 ５ 検査用台車 ６ 円弧状レール ７ コネクター ８ 全体監視カメラ ９ ラック １０ 移動用ローラー １１ 小歯車 １２ モータ １３ 案内用ローラー １４ 案内用ローラー １５ 吊り索 １６ 照明灯 １７ 局部監視カメラ １８ 自動腕部材 １９ 移動用ローラー ２０ 案内用ローラー ２１ 台車用ウィンチ ０１ 球型タンク ０２ 防熱材 ０２ａ 船体構造 ０３ タンクカバー ０３ａ 空間 ０３ｂ 竪筒状支材 ０４ 受台 ０６ マンホール
用した一実施例を示し、（Ａ),（Ｂ）はそれぞれ全体縦
断面図、平面図である。 【図２】図１の旋回式足場３を示し、（Ａ),（Ｂ）はそ
れぞれ下部部分拡大縦断面図、上部部分拡大縦断面図で
ある。 【図３】従来のＬＮＧ船の球型タンク検査構造を示す全
体縦断面図である。 【符号の説明】 １ 下部環状レール ２ 上部環状レール ３ 旋回式足場 ４ 固縛機構 ５ 検査用台車 ６ 円弧状レール ７ コネクター ８ 全体監視カメラ ９ ラック １０ 移動用ローラー １１ 小歯車 １２ モータ １３ 案内用ローラー １４ 案内用ローラー １５ 吊り索 １６ 照明灯 １７ 局部監視カメラ １８ 自動腕部材 １９ 移動用ローラー ２０ 案内用ローラー ２１ 台車用ウィンチ ０１ 球型タンク ０２ 防熱材 ０２ａ 船体構造 ０３ タンクカバー ０３ａ 空間 ０３ｂ 竪筒状支材 ０４ 受台 ０６ マンホール
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭61−110052（ＪＰ，Ａ)
特開 昭48−78513（ＪＰ，Ａ)
特開 昭51−49778（ＪＰ，Ａ)
実開 昭61−113291（ＪＰ，Ｕ)
実開 平１−123794（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭49−75217（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B65D 90/00
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 上部が半球面形状で、船体構造により支
持されるタンクと、前記船体構造から上方に突出するタ
ンク上部を覆うタンクカバーと、前記タンクの外面に沿
うように前記船体構造の受台に環状に布設された下部環
状レールと、前記タンクの外面に沿うように環状に布設
されるとともに前記タンクカバーに支持される上部環状
レールと、上端部が前記上部環状レールに走行可能に支
持されるとともに下端部が前記下部環状レールに走行可
能に支持されて前記タンクと前記タンクカバーとの間の
空間を旋回移動する旋回式足場と、当該旋回式足場の央
部に設けられ、前記旋回式足場を前記タンクの半球面の
周りに移動させながら全景を撮影する全体監視カメラ
と、前記旋回式足場の円弧状レールに沿って昇降する検
査用台車と、当該検査用台車に自動腕部材を介して取り
付けられ、当該検査用台車の前記円弧状レールに沿った
昇降に伴って前記タンクの上部半球面を部分的に順次詳
細に撮影する局部監視カメラ及び照明灯と、前記旋回式
足場を遠隔制御するとともに、前記局部監視カメラ及び
前記照明灯を前記自動腕部材で遠隔自動制御する遠隔制
御装置と、を備えていることを特徴とする、球面部を有
するタンクの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10355393A JP3477223B2 (ja) | 1993-04-06 | 1993-04-06 | 球面部を有するタンクの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10355393A JP3477223B2 (ja) | 1993-04-06 | 1993-04-06 | 球面部を有するタンクの検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06293384A JPH06293384A (ja) | 1994-10-21 |
| JP3477223B2 true JP3477223B2 (ja) | 2003-12-10 |
Family
ID=14357020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10355393A Expired - Fee Related JP3477223B2 (ja) | 1993-04-06 | 1993-04-06 | 球面部を有するタンクの検査装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP3477223B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH10214768A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
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1993
- 1993-04-06 JP JP10355393A patent/JP3477223B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH06293384A (ja) | 1994-10-21 |
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