JP3387356B2 - Gas discharge display panel and method of manufacturing the same - Google Patents
Gas discharge display panel and method of manufacturing the sameInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル等のガス放電表示パネル及びその製造方法に
関するものであり、とくにガス放電表示パネルにおける
バリアリブの形成方法に係わるものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas discharge display panel such as a plasma display panel and a method for manufacturing the same, and more particularly to a method for forming barrier ribs in the gas discharge display panel.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、プラズマディスプレイパネル等の
ガス放電表示パネルにおけるバリアリブの形成方法とし
ては、基板上にガラスペーストをスクリーン印刷により
パタン印刷して焼成し、このような工程を繰り返して所
定の高さのバリアリブを形成していた。しかしながら、
このような方法ではパタン幅の精度やパタンのピッチず
れが大きいために、表示パネルの高精細化や大画面化に
対応するのは困難であった。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of forming barrier ribs in a gas discharge display panel such as a plasma display panel, a glass paste is pattern-printed on a substrate by screen printing and baked, and such a step is repeated to obtain a predetermined height Had formed barrier ribs. However,
With such a method, it is difficult to deal with the high definition and the large screen of the display panel because the accuracy of the pattern width and the pitch deviation of the pattern are large.
【0003】そこで、これらの問題点を解決するバリア
リブ形成法として、例えば特開平6−36683号公報
に記載されたサンドブラスト法がある。図3の工程図を
用いてサンドブラスト法について説明する。図におい
て、1は基板、2はバリアリブ材、5は研磨材、12は
耐サンドブラスト材、13はマスク、14はバリアリブ
である。まず、基板1上に所定の膜厚のガラスペースト
などを材料とするバリアリブ材2をほぼ全面に形成し、
その上に耐サンドブラスト性を有するマスク材12を全
面に形成する。マスク材としてはブラスト処理時に研磨
材5の衝突を吸収するようなクッション性を有する高分
子材料が用いられる。このマスク材12を写真製版技術
を用いてパタン形成し、マスク13を形成する。このマ
スク13を用いて研磨材5を基板に吹き付けるサンドブ
ラスト加工を行い、バリアリブ材2を切削してバリアリ
ブ14のパタン形成を行う。最後にマスク13を除去
し、焼成を行ってバリアリブ14が完成する。Therefore, as a barrier rib forming method for solving these problems, for example, there is a sandblast method described in Japanese Patent Laid-Open No. 6-36683. The sandblast method will be described with reference to the process chart of FIG. In the figure, 1 is a substrate, 2 is a barrier rib material, 5 is an abrasive material, 12 is a sandblast resistant material, 13 is a mask, and 14 is a barrier rib. First, a barrier rib material 2 made of glass paste or the like having a predetermined thickness is formed on the substrate 1 almost all over the surface,
A mask material 12 having sandblast resistance is formed on the entire surface. As the mask material, a polymer material having a cushioning property that absorbs the collision of the abrasive 5 during the blasting process is used. This mask material 12 is patterned using a photolithography technique to form a mask 13. Sandblasting is performed by spraying the abrasive 5 onto the substrate using the mask 13, and the barrier rib 2 is cut to form the pattern of the barrier rib 14. Finally, the mask 13 is removed and firing is performed to complete the barrier rib 14.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来のバリアリブの形
成法は以上のようにしてなされており、サンドブラスト
法によりバリアリブを形成する場合、従来からのパタン
印刷の積み重ねに比べ工程が複雑になる問題があった。
即ち、パタン印刷の積み重ねの場合は印刷と焼成でバリ
アリブが完成するが、サンドブラスト法の場合は全面印
刷と耐サンドブラスト材の形成、耐サンドブラスト材の
パタン形成、サンドブラスト加工、耐サンドブラスト材
の除去、焼成が必要であった。The conventional method of forming barrier ribs is as described above, and when the barrier ribs are formed by the sandblast method, there is a problem that the process becomes complicated as compared with the conventional stacking of pattern printing. there were.
That is, in the case of stacking of pattern printing, the barrier ribs are completed by printing and firing, but in the case of the sandblasting method, full surface printing and formation of sandblast resistant material, pattern formation of sandblast resistant material, sandblasting, removal of sandblast resistant material, firing Was needed.
【0005】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、サンドブラスト法における複雑
な工程を減少させることにより、高精細化、大画面化が
可能であり、かつ製造が容易なガス放電表示パネルを提
供するものである。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and by reducing the complicated steps in the sandblast method, it is possible to realize high definition and a large screen, and it is easy to manufacture. Gas discharge display panel.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明の第1の構成に
よるガス放電表示パネルは、基板上に所定のパタンを有
し、放電空間を形成するバリアリブを有するガス放電表
示パネルにおいて、無機質粉末を基体とし、前記基板上
に所定の厚さで形成され、サンドブラストによって除去
可能な第1のバリアリブ材を、この第1のバリアリブ材
上に所定の厚さで形成され、無機質粉末を基体として耐
サンドブラスト性を与える添加物が添加され、かつ第1
のバリアリブ材の軟化点よりも低い軟化点を有する第2
のバリアリブ材の不要部分をレーザ加工により除去する
ことにより所定の形状にパターニングして形成された耐
サンドブラスト性マスクを用いてサンドブラストし、こ
の耐サンドブラスト性マスクと同一パタンに残された前
記第1のバリアリブ材と前記耐サンドブラスト性マスク
とを焼成して形成されたバリアリブを有するものであ
る。A gas discharge display panel according to a first structure of the present invention is a gas discharge display panel having a predetermined pattern on a substrate and having barrier ribs forming a discharge space, wherein an inorganic powder is used. A first barrier rib material, which is used as a base body and has a predetermined thickness and which can be removed by sandblasting, is formed on the first barrier rib material with a predetermined thickness. The additive that imparts the property is added , and
Having a softening point lower than that of the barrier rib material of
The sandblasting-resistant mask formed by patterning into a predetermined shape by removing unnecessary portions of the barrier rib material by laser processing is sandblasted, and the first pattern left in the same pattern as the sandblasting-resistant mask. The barrier rib is formed by firing the barrier rib material and the sandblast resistant mask.
【0007】[0007]
【0008】[0008]
【0009】[0009]
【0010】[0010]
【0011】この発明の第2の構成によるガス放電表示
パネルは、基板上に所定のパタンを有し、放電空間を形
成するバリアリブを有するガス放電表示パネルにおい
て、無機質粉末を基体とし、前記基板上に所定の厚さで
形成され、サンドブラストによって除去可能なバリアリ
ブ材を、前記バリアリブ材上面を所定の厚さとパタンで
レーザアニールすることにより形成された耐サンドブラ
スト性マスクを用いてサンドブラストし、前記耐サンド
ブラスト性マスクと同一パタンに残された前記バリアリ
ブ材と、前記耐サンドブラスト性マスクとを焼成して形
成されたバリアリブを有するものである。A gas discharge display panel according to a second structure of the present invention is a gas discharge display panel having a predetermined pattern on a substrate and having barrier ribs forming a discharge space. A barrier rib material that is formed with a predetermined thickness and that can be removed by sandblasting, is sandblasted using a sandblasting-resistant mask formed by laser-annealing the upper surface of the barrier rib material with a predetermined thickness and pattern. The barrier rib material left in the same pattern as that of the mask and the barrier rib formed by firing the sandblast resistant mask.
【0012】この発明の第1の方法によるガス放電表示
パネルの製造方法は、ガス放電表示パネルのバリアリブ
を形成するに当り、無機質粉末を基体とし、サンドブラ
ストによって除去可能な第1のバリアリブ材を、基板上
に所定の厚さで形成する工程、無機質粉末を基体とし、
耐サンドブラスト性を与える添加物が添加された第2の
バリアリブ材を前記第1のバリアリブ材上に所定の厚さ
で形成する工程、この第2のバリアリブ材の不要部分を
レーザ加工により除去して所定の形状にパターニングし
て耐サンドブラスト性マスクを形成する工程、前記第1
のバリアリブ材を、前記耐サンドブラスト性マスクを用
いてサンドブラストする工程、および前記耐サンドブラ
スト性マスクと同一パタンに残された前記第1のバリア
リブ材と、前記耐サンドブラスト性マスクとを焼成して
前記バリアリブを形成する工程を備えたものである。In the method of manufacturing a gas discharge display panel according to the first method of the present invention, in forming the barrier ribs of the gas discharge display panel, the first barrier rib material which is made of inorganic powder and is removable by sandblasting is used. Step of forming a predetermined thickness on the substrate, the inorganic powder as a base,
A second barrier rib material, to which an additive imparting sandblast resistance is added, is formed on the first barrier rib material to have a predetermined thickness.
And the unnecessary portion of the second barrier rib material.
It is removed by laser processing and patterned into a predetermined shape
Forming a sandblasting-resistant mask by the first step
Of the barrier rib material, the first barrier left step sandblasting, and the resistance to sandblast mask the same pattern by using the sandblast resistance mask
And the rib material is obtained by a step of forming a <br/> the barrier ribs by sintering and the sandblast resistance mask.
【0013】この発明の第2の方法によるガス放電表示
パネルの製造方法は、ガス放電表示パネルのバリアリブ
を形成するに当り、無機質粉末を基体とし、サンドブラ
ストによって除去可能なバリアリブ材を、基板上に所定
の厚さで形成する工程、前記バリアリブ材上面を所定の
厚さとパタンでレーザアニールすることにより耐サンド
ブラスト性マスクを形成する工程、前記バリアリブ材
を、前記耐サンドブラスト性マスクを用いてサンドブラ
ストする工程、および前記耐サンドブラスト性マスクと
同一パタンに残された前記バリアリブ材と、前記耐サン
ドブラスト性マスクとを焼成して前記バリアリブを形成
する工程を備えたものである。In the method of manufacturing a gas discharge display panel according to the second method of the present invention, when forming the barrier rib of the gas discharge display panel, a barrier rib material which is made of inorganic powder and is removable by sandblasting is formed on the substrate. Forming a predetermined thickness, forming a sandblasting-resistant mask by laser annealing the upper surface of the barrier rib material with a predetermined thickness and pattern, and sandblasting the barrier rib material using the sandblasting-resistant mask , And the barrier rib material left in the same pattern as the sandblast resistant mask, and the sun resistant material.
Those having a step of forming the barrier ribs by sintering and Doburasuto mask.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】実施の形態1.
この発明の実施の形態1を図1を用いて説明する。図1
において、1は基板、2はサンドブラストによって除去
可能な材料からなる第1のバリアリブ材、9は耐サンド
ブラスト性を有する第2のバリアリブ材、10はマス
ク、11はバリアリブである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiment 1 . The first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Figure 1
In, 1 is the substrate, 2 is removed by sandblasting
A first barrier rib material made of a possible material , 9 is a second barrier rib material having sandblast resistance, 10 is a mask, and 11 is a barrier rib.
【0015】まず、図1(a)に示すように、基板1上
に所定の膜厚の第1のバリアリブ材2を全面に形成し、
その上に第2のバリアリブ材9を全面に形成する。ここ
で、一例として、基板1としてはソーダライムガラスな
どのガラス基板、第1のバリアリブ材2としては、ガラ
スやセラミック等の無機質粉末を基体とするペーストを
用い、150〜200μm程度の膜厚に全面に印刷す
る。第2のバリアリブ材9としては、上記第1のバリア
リブ材2と同様なガラスペーストに、耐サンドブラスト
性を有する樹脂等の材料を添加したガラスペーストを用
い、10〜20μm程度の膜厚に全面に印刷する。耐サ
ンドブラスト性を得るためにガラスペーストに添加する
添加物としては、ゴム系のレジン等が好ましく、添加の
割合は固形分の5〜20%が好ましい。第1のバリアリ
ブ材2の膜厚は150〜200μm程度であり、全面印
刷を重ねて行う場合は、重ね塗りの最後の印刷工程を第
2のバリアリブ材9の形成工程としてもよい。First, as shown in FIG. 1A, a first barrier rib material 2 having a predetermined film thickness is formed on the entire surface of a substrate 1,
The second barrier rib material 9 is formed on the entire surface. Here, as an example, a glass substrate such as soda lime glass is used as the substrate 1, a paste based on an inorganic powder such as glass or ceramic is used as the first barrier rib material 2, and a film thickness of about 150 to 200 μm is used. Print on the entire surface. As the second barrier rib material 9, a glass paste in which a material such as a resin having sandblast resistance is added to the same glass paste as the first barrier rib material 2 is used, and the entire thickness is about 10 to 20 μm. Print. As an additive to be added to the glass paste for obtaining sandblast resistance, a rubber resin or the like is preferable, and the addition ratio is preferably 5 to 20% of the solid content. The film thickness of the first barrier rib material 2 is about 150 to 200 μm, and when the entire surface printing is performed repeatedly, the last printing step of overcoating may be the step of forming the second barrier rib material 9.
【0016】次に、図1(b)に示すように、第2のバ
リアリブ材9の不要部分をレーザ加工により除去して所
定の形状にパターニングし、マスク10を形成する。前
述したように、第2のバリアリブ材9は第1のバリアリ
ブ材2と同等の材料を基体とし、これにレジン等の材料
を所定量添加することにより、耐サンドブラスト性を強
化することができ、形成されたマスク10はサンドブラ
スト加工に際しての耐サンドブラスト性マスクとして機
能する。[0016] Next, as shown in FIG. 1 (b), patterning the unnecessary portion of the second barrier rib member 9 in the shape of to Tokoro <br/> constant removed by laser processing to form a mask 10. As described above, the second barrier rib material 9 is made of the same material as the first barrier rib material 2 as a base, and by adding a predetermined amount of material such as resin to this, sandblast resistance can be enhanced, The formed mask 10 functions as a sandblast resistant mask during sandblasting.
【0017】次に、図1(c)に示すように、マスク1
0を介して研磨材5を基板に吹き付けるサンドブラスト
加工を行い、第1のバリアリブ材2を切削してバリアリ
ブ11を形成する。このようにして形成されたバリアリ
ブ11は、図1(d)に示すように、第1のバリアリブ
材と第2のバリアリブ材の2つの部分で形成されてお
り、第2のバリアリブ材の部分は焼成工程によりレジン
等の添加物が消失してバリアリブ材と同じ基体が残るた
め、2つの部分はほぼ同じ構成材料で構成されることに
なる。従って、マスクとして機能する第2のバリアリブ
材を従来のマスク13のように除去する必要はなく、バ
リアリブ11を構成する材料として残しておくことがで
き、製造工程を減少することができる。[0017] Next, as shown in FIG. 1 (c), the mask 1
Sandblasting is performed in which the abrasive 5 is sprayed onto the substrate through 0, and the first barrier rib material 2 is cut to form the barrier rib 11. Barrier ribs 11 formed in this manner, as shown in FIG. 1 (d), a first barrier rib member is formed in two parts of the second barrier rib material, the portion of the second barrier rib material Additives such as resin disappear due to the firing process, and the same substrate as the barrier rib material remains, so that the two parts are made of substantially the same constituent material. Therefore, it is not necessary to remove the second barrier rib material that functions as a mask unlike the conventional mask 13, and it is possible to leave the second barrier rib material as a material for forming the barrier rib 11 and reduce the manufacturing process.
【0018】実施の形態2.
この発明の実施の形態2を説明する。上記各実施の形態
において、第1のバリアリブ材2を全面に均一に形成す
る方法としては、スクリーン印刷法により全面に亘った
膜を形成し、これを繰り返して積層印刷を行うとよい。
ガラスペーストの粘度や構成比を変化させたり、スクリ
ーン版のメッシュの大きさを変化させることで、1回の
印刷で10〜30ミクロンの膜厚が印刷される。目的の
膜厚に合わせて印刷を数回行い、第1のバリアリブ材2
を積み重ねる。第2のバリアリブ材9の形成も第1のバ
リアリブ材2の形成と同様に行う。Embodiment 2 . Embodiment 2 of the present invention will be described. In each of the above-described embodiments, as a method for uniformly forming the first barrier rib material 2 on the entire surface, it is preferable to form a film over the entire surface by a screen printing method and repeat this to perform laminated printing.
By changing the viscosity and composition ratio of the glass paste or changing the size of the mesh of the screen plate, a film thickness of 10 to 30 microns can be printed by one printing. Printing is performed several times according to the desired film thickness, and the first barrier rib material 2
Stack up. The formation of the second barrier rib material 9 is performed similarly to the formation of the first barrier rib material 2.
【0019】実施の形態3.
この発明の実施の形態3を説明する。上記各実施の形態
において、第1のバリアリブ材2を全面に均一に形成す
る方法としては、例えばロールコート法により100〜
200ミクロンの厚膜を一括形成してもよい。ロールコ
ート法は一定の間隔で離れた2本のロールにガラスペー
ストを流し込み、ロール間の間隔で規制される膜厚とな
るペーストを基板に転写する方法である。スクリーン印
刷法の積層印刷に比べて工程が少なくなる。 Third Embodiment The third embodiment of the present invention will be described. In each of the above-described embodiments, a method for uniformly forming the first barrier rib material 2 on the entire surface is, for example, 100 to 100 by a roll coating method.
A 200-micron thick film may be collectively formed. The roll coating method is a method in which a glass paste is poured into two rolls separated by a constant interval, and a paste having a film thickness regulated by the interval between the rolls is transferred onto a substrate. The number of steps is reduced as compared with the laminated printing of the screen printing method.
【0020】実施の形態4.
この発明の実施の形態4について説明する。上記各実施
の形態において、第1のバリアリブ材2に白色顔料を、
第2のバリアリブ材9に黒色顔料を添加することによ
り、バリアリブ本体は白色で最上面のみが黒色のバリア
リブ11が形成される。この結果として、蛍光体の発光
輝度が向上し、コントラスト比が高いガス放電表示パネ
ルが得られる。 Fourth Embodiment A fourth embodiment of the present invention will be described. In each of the above embodiments, a white pigment is used for the first barrier rib material 2,
By adding the black pigment to the second barrier rib material 9, the barrier rib main body is white and the barrier rib 11 having only the uppermost surface black is formed. As a result, the emission brightness of the phosphor is improved, and a gas discharge display panel having a high contrast ratio can be obtained.
【0021】なお、上記実施の形態において、第1のバ
リアリブ材2と第2のバリアリブ材9とに共に白色顔料
を添加することにより白色のバリアリブ11を形成して
もよい。この結果として、蛍光体の発光輝度が向上す
る。In the above embodiment, the white barrier rib 11 may be formed by adding a white pigment to both the first barrier rib material 2 and the second barrier rib material 9. As a result, the emission brightness of the phosphor is improved.
【0022】実施の形態5.
この発明の実施の形態5について説明する。上記各実施
の形態において、例えば、第1のバリアリブ材2に用い
られるガラスフリットの軟化点を550℃とし、第2の
バリアリブ材9に用いられるガラスフリットの軟化点を
530℃とした場合、550℃でバリアリブ材を焼成す
ると、第1のバリアリブ材は焼成による溶解が少なく形
状を保持できるが、第2のバリアリブ材は焼成による溶
解により形状が崩れる。第2のバリアリブ材は第1のバ
リアリブ材に比べて膜厚が薄いのでバリアリブ全体の形
は崩れないが、バリアリブ上部の形状が丸みをおびる。
このような丸みを帯びた形状は、対向するガラス基板に
形成されたMgO膜等の保護膜を接合してパネルを形成
する際に、バリアリブ上に突起がないため、バリアリブ
及び保護膜が損傷し難くくなり有利となる。以上のよう
に、第2のバリアリブ材に用いられるガラスフリットの
軟化点を選択することで、バリアリブ上部の形状を制御
することができるようになる。 Fifth Embodiment Embodiment 5 of the present invention will be described. In each of the above embodiments, for example, when the softening point of the glass frit used for the first barrier rib material 2 is 550 ° C. and the softening point of the glass frit used for the second barrier rib material 9 is 530 ° C., 550 ° C. When the barrier rib material is fired at 0 ° C., the first barrier rib material is less melted by firing and can retain its shape, but the second barrier rib material loses its shape due to melting by firing. Since the second barrier rib material has a smaller film thickness than the first barrier rib material, the shape of the entire barrier rib does not collapse, but the shape of the upper portion of the barrier rib is rounded.
Such a rounded shape causes damage to the barrier rib and the protective film because there is no protrusion on the barrier rib when a protective film such as an MgO film formed on an opposing glass substrate is joined to form a panel. It becomes difficult and advantageous. As described above, by selecting the softening point of the glass frit used for the second barrier rib material, the shape of the upper part of the barrier rib can be controlled.
【0023】実施の形態6.
この発明の実施の形態6を図2を用いて説明する。図2
において、15は部分焼結された領域、16はレーザ
光、17はバリアリブである。 Sixth Embodiment The sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Figure 2
In the figure, 15 is a partially sintered region, 16 is a laser beam, and 17 is a barrier rib.
【0024】まず、図2(a)に示すように、基板1上
に所定の膜厚のバリアリブ材2を全面に形成する。ここ
で、一例として、基板1としてはソーダライムガラスな
どのガラス基板、バリアリブ材2としては、ガラスやセ
ラミック等の無機質粉末を基体とするペーストを用い、
150〜200μm程度の膜厚に全面に印刷する。[0024] First, as shown in FIG. 2 (a), is formed on the entire surface of the barrier rib material 2 of a predetermined thickness on the substrate 1. Here, as an example, a glass substrate such as soda lime glass is used as the substrate 1, and a paste based on an inorganic powder such as glass or ceramic is used as the barrier rib material 2.
Printing is performed on the entire surface to a film thickness of about 150 to 200 μm.
【0025】次に、図2(b)に示すように、バリアリ
ブパタンにあわせてバリアリブ材2上面の所定領域にレ
ーザ光16を照射し、照射部分のバリアリブ材2を所定
の膜厚(10〜20μm程度)だけ選択的にアニールし
て部分焼結する。この部分焼結した領域15は固いため
に耐サンドブラスト性を有し、サンドブラスト加工に際
しての耐サンドブラスト性マスクとして機能する。な
お、焼結の程度は完全である必要はなく、耐サンドブラ
スト性が得られればよい。Next, as shown in FIG. 2 (b), the laser beam 16 is irradiated on a predetermined region of the barrier rib material 2 top to fit the barrier rib pattern, the barrier rib material 2 a predetermined thickness of the irradiated portion (10 (About 20 μm) to selectively anneal and partially sinter. Since this partially sintered region 15 is hard, it has sandblast resistance and functions as a sandblast resistance mask during sandblasting. Note that the degree of sintering does not have to be perfect, as long as sandblast resistance is obtained.
【0026】次に、図2(c)に示すように、焼結され
た領域15のバリアリブ材を耐サンドブラスト性マスク
として研磨材5を基板に吹き付けるサンドブラスト加工
を行い、焼結していないバリアリブ材2を切削し、図2
(d)に示すようにバリアリブ17を形成する。このよ
うにして形成されたバリアリブ17は、図2(d)に示
すように、部分焼結していないバリアリブ材2と部分焼
結しているバリアリブ材15の2つの部分で形成されて
おり、2つの部分はほぼ同じ構成材料で構成されること
になる。従って、マスクとして機能するバリアリブ材1
5を従来のマスク13のように除去する必要はなく、バ
リアリブ17を構成する材料として残しておくことがで
き、製造工程を減少することができる。また、上記実施
の形態1のように、第2のバリアリブ材を第1のバリア
リブ材とは別に形成する必要がなく、製造工程を減少す
ることができる。なお、本実施の形態において、形成さ
れたバリアリブ17の上面に、黒色顔料を添加した層を
形成することにより、最上面のみが黒色のバリアリブを
形成し、コントラスト比の高いガス放電表示パネルを得
るようにしてもよい。Next, as shown in FIG. 2 (c), the barrier rib material in the sintered region 15 is used as a sandblasting-resistant mask for sandblasting the abrasive 5 onto the substrate, and the unsintered barrier rib material is subjected to sandblasting. 2 cut, Figure 2
Barrier ribs 17 are formed as shown in FIG. Thus barrier rib 17 formed, as shown in FIG. 2 (d), are formed of two parts barrier rib material 2 and partial sintering to have barrier rib material 15 which is not partial sintering, The two parts will be composed of substantially the same materials of construction. Therefore, the barrier rib material 1 that functions as a mask
It is not necessary to remove 5 unlike the conventional mask 13, and the barrier rib 17 can be left as a material that constitutes the barrier rib 17, and the number of manufacturing steps can be reduced. Further, unlike the first embodiment, it is not necessary to form the second barrier rib material separately from the first barrier rib material, and the number of manufacturing steps can be reduced. In the present embodiment, a black pigment is added to the upper surface of the formed barrier rib 17 to form a black barrier rib only on the uppermost surface, and a gas discharge display panel having a high contrast ratio is obtained. You may do it.
【0027】[0027]
【発明の効果】以上のように、この発明の第1の構成に
よれば、基板上に所定のパタンを有し、放電空間を形成
するバリアリブを有するガス放電表示パネルにおいて、
無機質粉末を基体とし、前記基板上に所定の厚さで形成
され、サンドブラストによって除去可能な第1のバリア
リブ材を、この第1のバリアリブ材上に所定の厚さで形
成され、無機質粉末を基体として耐サンドブラスト性を
与える添加物が添加され、かつ第1のバリアリブ材の軟
化点よりも低い軟化点を有する第2のバリアリブ材の不
要部分をレーザ加工により除去することにより所定の形
状にパターニングして形成された耐サンドブラスト性マ
スクを用いてサンドブラストし、この耐サンドブラスト
性マスクと同一パタンに残された前記第1のバリアリブ
材と前記耐サンドブラスト性マスクとを焼成して形成さ
れたバリアリブを有するので、高精細化、大画面化が可
能であり、かつ製造が容易なガス放電表示パネルが実現
できる。また、第2のバリアリブ材の軟化点は第1のバ
リアリブ材の軟化点よりも低いので、焼成後のバリアリ
ブの上部の形状を任意に変えることができ、高品質のガ
ス放電表示パネルを作成することができる。 As described above, according to the first configuration of the present invention, in the gas discharge display panel having the predetermined pattern on the substrate and the barrier rib forming the discharge space,
A first barrier rib material, which is formed on the substrate with a predetermined thickness and is removable by sandblasting, is formed on the first barrier rib material with a predetermined thickness by using the inorganic powder as a base. Is added as an additive to provide sandblast resistance , and the softness of the first barrier rib material is increased.
Sandblasting is performed using a sandblasting-resistant mask formed by patterning into a predetermined shape by removing unnecessary portions of the second barrier rib material having a softening point lower than the softening point by laser processing, and this sandblasting-resistant mask Since it has a barrier rib formed by firing the first barrier rib material and the sandblast resistant mask left in the same pattern as the above, it is possible to achieve high definition and a large screen, and a gas that is easy to manufacture. A discharge display panel can be realized. The softening point of the second barrier rib material is the same as that of the first barrier rib material.
Since it is lower than the softening point of the rear rib material, the barrier
You can change the shape of the upper part of the
A discharge display panel can be created.
【0028】[0028]
【0029】[0029]
【0030】[0030]
【0031】[0031]
【0032】また、この発明の第2の構成によれば、基
板上に所定のパタンを有し、放電空間を形成するバリア
リブを有するガス放電表示パネルにおいて、無機質粉末
を基体とし、前記基板上に所定の厚さで形成され、サン
ドブラストによって除去可能なバリアリブ材を、前記バ
リアリブ材上面を所定の厚さとパタンでレーザアニール
することにより形成された耐サンドブラスト性マスクを
用いてサンドブラストし、前記耐サンドブラスト性マス
クと同一パタンに残された前記バリアリブ材と、前記耐
サンドブラスト性マスクとを焼成して形成されたバリア
リブを有するので、高精細化、大画面化が可能であり、
かつ製造が容易なガス放電表示パネルが実現できる。According to the second aspect of the present invention, in the gas discharge display panel having the predetermined pattern on the substrate and the barrier rib forming the discharge space, the inorganic powder is used as the base and the substrate is formed on the substrate. The barrier rib material formed with a predetermined thickness and removable by sandblasting is sandblasted using a sandblasting-resistant mask formed by laser annealing the upper surface of the barrier rib material with a predetermined thickness and pattern, and the sandblasting resistance is improved. Since the barrier rib material left in the same pattern as the mask and the barrier rib formed by baking the sandblast resistant mask, high definition and large screen are possible,
In addition, a gas discharge display panel that is easy to manufacture can be realized.
【0033】また、この発明の第1の方法のガス放電表
示パネルの製造方法によれば、ガス放電表示パネルのバ
リアリブを形成するに当り、無機質粉末を基体とし、サ
ンドブラストによって除去可能な第1のバリアリブ材
を、基板上に所定の厚さで形成する工程、無機質粉末を
基体とし、耐サンドブラスト性を与える添加物が添加さ
れた第2のバリアリブ材を前記第1のバリアリブ材上に
所定の厚さで形成する工程、この第2のバリアリブ材の
不要部分をレーザ加工により除去して所定の形状にパタ
ーニングして耐サンドブラスト性マスクを形成する工
程、前記第1のバリアリブ材を、前記耐サンドブラスト
性マスクを用いてサンドブラストする工程、および前記
耐サンドブラスト性マスクと同一パタンに残された前記
第1のバリアリブ材と、前記耐サンドブラスト性マスク
とを焼成して前記バリアリブを形成する工程を備えたの
で、製造工程が減少でき、高精度で製造が容易なガス放
電表示パネルが実現できる。Further, according to the method of manufacturing the gas discharge display panel of the first method of the present invention, in forming the barrier rib of the gas discharge display panel, the first powder which is made of the inorganic powder as a base and can be removed by sandblasting is used. A step of forming a barrier rib material with a predetermined thickness on a substrate, a second barrier rib material having an inorganic powder as a base and an additive for imparting sandblast resistance added thereto, and having a predetermined thickness on the first barrier rib material. Of forming the second barrier rib material
Unnecessary parts are removed by laser processing and patterned into a predetermined shape.
To form a sandblast resistant mask
Degree, the first barrier rib member, and the first barrier rib material left step and the sandblast resistance mask the same pattern to sandblasting using the sandblast resistance mask, the sandblast resistance mask
Since the method includes the step of firing and to form the barrier ribs, the number of manufacturing steps can be reduced, and a gas discharge display panel with high accuracy and easy manufacturing can be realized.
【0034】また、この発明の第2の方法のガス放電表
示パネルの製造方法によれば、ガス放電表示パネルのバ
リアリブを形成するに当り、無機質粉末を基体とし、サ
ンドブラストによって除去可能なバリアリブ材を、基板
上に所定の厚さで形成する工程、前記バリアリブ材上面
を所定の厚さとパタンでレーザアニールすることにより
耐サンドブラスト性マスクを形成する工程、前記バリア
リブ材を、前記耐サンドブラスト性マスクを用いてサン
ドブラストする工程、および前記耐サンドブラスト性マ
スクと同一パタンに残された前記バリアリブ材と、前記
耐サンドブラスト性マスクとを焼成して前記バリアリブ
を形成する工程を備えたので、製造工程がさらに減少で
き、高精度で製造が容易なガス放電表示パネルが実現で
きる。Further, according to the method of manufacturing the gas discharge display panel of the second method of the present invention, in forming the barrier rib of the gas discharge display panel, the barrier rib material which is made of the inorganic powder and is removable by sandblasting is used. A step of forming a sandblast-resistant mask by laser annealing the upper surface of the barrier rib material with a predetermined thickness and pattern on the substrate, a step of forming the barrier rib material on the substrate with a predetermined thickness, and a step of forming the barrier rib material with the sandblast-resistant mask. Sandblasting with the sandblasting step, and the barrier rib material left in the same pattern as the sandblast resistant mask ,
Since the method includes the step of forming the barrier rib by firing the sandblast resistant mask , the number of manufacturing steps can be further reduced, and a gas discharge display panel with high accuracy and easy manufacturing can be realized.
【図1】 この発明の実施の形態1によるガス放電表示
パネルのバリアリブ形成方法を示す工程図である。FIG. 1 is a process diagram showing a method of forming barrier ribs of a gas discharge display panel according to Embodiment 1 of the present invention.
【図2】 この発明の実施の形態6によるガス放電表示
パネルのバリアリブ形成方法を示す工程図である。FIG. 2 is a process drawing showing a method of forming barrier ribs of a gas discharge display panel according to Embodiment 6 of the present invention.
【図3】 従来のガス放電表示パネルのバリアリブ形成
方法を示す工程図である。 FIG. 3 Barrier rib formation of a conventional gas discharge display panel
It is process drawing which shows a method.
1 基板、2 第1のバリアリブ材、9 第2のバリア
リブ材、10,13マスク、5 研磨材、11,14,
17 バリアリブ、12 耐サンドブラスト材、15
部分焼結された領域、16 レーザ光。1 Substrate, 2 First Barrier Rib Material, 9 Second Barrier Rib Material 10, 13 Mask, 5 Abrasive Material, 11, 14,
17 Barrier rib, 12 Sandblast resistant material, 15
Partially sintered area, 16 laser light.
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 9/02 H01J 11/02 Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 9/02 H01J 11/02
Claims (4)
を形成するバリアリブを有するガス放電表示パネルにお
いて、無機質粉末を基体とし、前記基板上に所定の厚さ
で形成され、サンドブラストによって除去可能な第1の
バリアリブ材を、この第1のバリアリブ材上に所定の厚
さで形成され、無機質粉末を基体として耐サンドブラス
ト性を与える添加物が添加され、かつ第1のバリアリブ
材の軟化点よりも低い軟化点を有する第2のバリアリブ
材の不要部分をレーザ加工により除去することにより所
定の形状にパターニングして形成された耐サンドブラス
ト性マスクを用いてサンドブラストし、この耐サンドブ
ラスト性マスクと同一パタンに残された前記第1のバリ
アリブ材と前記耐サンドブラスト性マスクとを焼成して
形成されたバリアリブを有するガス放電表示パネル。1. A gas discharge display panel having a predetermined pattern on a substrate and having barrier ribs for forming a discharge space, wherein the inorganic powder is used as a base and is formed to have a predetermined thickness on the substrate and removed by sandblasting. A possible first barrier rib material is formed with a predetermined thickness on the first barrier rib material, and an additive that imparts sandblast resistance to the inorganic powder as a base is added to the first barrier rib material.
Sandblasting using a sandblasting-resistant mask formed by patterning into a predetermined shape by removing unnecessary portions of the second barrier rib material having a softening point lower than the softening point of the material by laser processing. Discharge display panel having barrier ribs formed by firing the first barrier rib material and the sandblast resistant mask that are left in the same pattern as the protective mask.
を形成するバリアリブを有するガス放電表示パネルにお
いて、無機質粉末を基体とし、前記基板上に所定の厚さ
で形成され、サンドブラストによって除去可能なバリア
リブ材を、前記バリアリブ材上面を所定の厚さとパタン
でレーザアニールすることにより形成された耐サンドブ
ラスト性マスクを用いてサンドブラストし、前記耐サン
ドブラスト性マスクと同一パタンに残された前記バリア
リブ材と、前記耐サンドブラスト性マスクとを焼成して
形成されたバリアリブを有するガス放電表示パネル。2. A gas discharge display panel having a predetermined pattern on a substrate and having barrier ribs for forming a discharge space, wherein inorganic powder is used as a substrate, and the substrate is formed to have a predetermined thickness and removed by sandblasting. The possible barrier rib material is sandblasted using a sandblast resistant mask formed by laser annealing the upper surface of the barrier rib material with a predetermined thickness and pattern, and the barrier rib material left in the same pattern as the sandblast resistant mask. And a barrier rib formed by firing the sandblast resistant mask.
するに当り、無機質粉末を基体とし、サンドブラストに
よって除去可能な第1のバリアリブ材を、基板上に所定
の厚さで形成する工程、無機質粉末を基体とし、耐サン
ドブラスト性を与える添加物が添加された第2のバリア
リブ材を前記第1のバリアリブ材上に所定の厚さで形成
する工程、この第2のバリアリブ材の不要部分をレーザ
加工により除去して所定の形状にパターニングして耐サ
ンドブラスト性マスクを形成する工程、前記第1のバリ
アリブ材を、前記耐サンドブラスト性マスクを用いてサ
ンドブラストする工程、および前記耐サンドブラスト性
マスクと同一パタンに残された前記第1のバリアリブ材
と、前記耐サンドブラスト性マスクとを焼成して前記バ
リアリブを形成する工程を備えたガス放電表示パネルの
製造方法。3. A step of forming a first barrier rib material having a predetermined thickness on a substrate by using an inorganic powder as a base in forming a barrier rib of a gas discharge display panel, the inorganic powder being a base material. A step of forming a second barrier rib material having a predetermined thickness on the first barrier rib material, which is a base material and to which an additive imparting sandblast resistance is added, by laser processing an unnecessary portion of the second barrier rib material; Removing and patterning into a predetermined shape to form a sandblast resistant mask, sandblasting the first barrier rib material using the sandblast resistant mask, and leaving the same pattern as the sandblast resistant mask. The barrier ribs are formed by firing the first barrier rib material and the sandblast resistant mask that have been formed. A method of manufacturing a gas discharge display panel, comprising steps.
するに当り、無機質粉末を基体とし、サンドブラストに
よって除去可能なバリアリブ材を、基板上に所定の厚さ
で形成する工程、前記バリアリブ材上面を所定の厚さと
パタンでレーザアニールすることにより耐サンドブラス
ト性マスクを形成する工程、前記バリアリブ材を、前記
耐サンドブラスト性マスクを用いてサンドブラストする
工程、および前記耐サンドブラスト性マスクと同一パタ
ンに残された前記バリアリブ材と、前記耐サンドブラス
ト性マスクとを焼成して前記バリアリブを形成する工程
を備えたガス放電表示パネルの製造方法。4. When forming barrier ribs of a gas discharge display panel, a step of forming a barrier rib material, which is made of an inorganic powder and is removable by sandblasting, with a predetermined thickness on a substrate, and the upper surface of the barrier rib material is predetermined. A step of forming a sandblast resistant mask by laser annealing with a thickness and a pattern, the step of sandblasting the barrier rib material using the sandblast resistant mask, and the step of leaving the same pattern as the sandblast resistant mask. A method of manufacturing a gas discharge display panel, comprising a step of firing a barrier rib material and the sandblast resistant mask to form the barrier rib.
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---|---|---|---|
JP7366697A JP3387356B2 (en) | 1997-03-26 | 1997-03-26 | Gas discharge display panel and method of manufacturing the same |
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JPH10269936A JPH10269936A (en) | 1998-10-09 |
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