JP3384757B2 - 微細形状転写品の製造方法及び光学部材の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回折光学素子やフ
レネルレンズや液晶表示パネル用の光拡散シートなどの
光学部材等の微細形状転写品を製造する方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】図１
は、従来のフレネルレンズなどの光学部材を製造する転
写型の一例を図示したものであり、転写型21は、超精密
旋盤等により微細形状22を彫刻したマスター型を型本体
23とし、この型本体23に該型本体23の取り扱いを容易に
する為の治具部材24を設け、この転写型21に設けられた
微細形状22をＵＶ硬化性樹脂に転写して光学部材を製造
している。尚、符号25は、転写型21上にＵＶ硬化性樹脂
を流し込んでラミロール工程を行う際、該ＵＶ硬化性樹
脂の流れ止めとなる凹部25である（図１（ａ）参照）。

【０００３】また、前記転写型21をマスター型とし、該
転写型21からシリコーン樹脂26に微細形状22を転写し、
更にこのシリコーン樹脂型26から適宜な樹脂27に微細形
状22'を転写して樹脂型27を形成することにより、転写
型21から量産用の樹脂型27を形成し、該樹脂型27に設け
られた微細形状22をＵＶ硬化性樹脂に転写して光学部材
を製造する場合もある（図１（ｂ），（ｃ）参照、以
下、上記光学部材を製造する方法を従来例という）。

【０００４】しかし、この従来例には下記の問題点があ
る。

【０００５】 型本体23に微細形状22を形成する際、
機械加工で微細形状22を形成すると、微細形状22側に向
かって型本体23に反りが生じてしまい、転写型21から形
成される製品や樹脂型27に該反りが残るおそれがある。
また、この反りがＵＶ硬化性樹脂を均一な厚さにする際
のラミロール工程を複雑にし、製造される光学部材の精
度が悪化してしまう。特に大型のフレネルレンズを製造
した場合、中心部と外周部でＵＶ硬化性樹脂の厚さのバ
ラツキが大きくなってしまう。また、このバラツキを阻
止する為にラミロール圧力を上げると微細形状を破損さ
せてしまう場合がある。

【０００６】 型本体23に回折素子として微細形状22
を形成する際、型本体23の形成にフォトリソグラフィが
採用される場合があるが、この方法はマスクの位置合わ
せや露光，エッチング処理等当然のことながら非常に時
間のかかる厄介な方法である。また、フォトリソグラフ
ィで加工できる素材はガラスやウエハーのように非常に
高価であり、転写型21が非常にコスト高になる。

【０００７】 上記のように型本体23としてフォト
リソグラフィ品を使用した場合、フォトリソグラフィで
使用できる素材が脆く、しかも、サイズや形状などが限
定されることから、フォトリソグラフィ品そのままでは
取り扱いが非常に厄介で量産に適さない。

【０００８】 上記，のようにフォトリソグラフ
ィで作成された型は円形のものが多く、治具部材24をセ
ットする際の形状合わせなどが厄介である。

【０００９】 型本体23と治具部材24との間に微妙な
段差が生じてしまい、転写型21上若しくは該転写型21か
ら形成される樹脂型27上にＵＶ硬化性樹脂を流し込んで
ラミロール加工を行う場合、ＵＶ硬化性樹脂の厚さを所
望にできなくなるおそれが発生し、ラミロール加工の条
件出しが複雑になってしまう。特に、大型のフレネルレ
ンズの場合、で記載したように、型本体23が反りが大
きくなり、平坦，平滑な治具部材24をセットした場合、
位置によって段差が大きくなってしまうところがある。

【００１０】 フレネルレンズを製造する場合、必要
とされる光学的特性が同じであれば、製造しようとする
フレネルレンズの大きさの大小に拘わらず同じ転写型21
から大きなフレネルレンズも小さなフレネルレンズも製
造できる（液晶表示パネル用の光拡散シートについて
も、光指向性が同じであれば同様である。）。従って、
従来においては前記転写型21の作成コストの問題から、
先ず大きな転写型21を作成し、該転写型21からＵＶ硬化
性樹脂に微細形状を転写してフレネルレンズを作成し、
このフレネルレンズの必要部分（中心部分）を切り出し
て所望の大きさのフレネルレンズを製造しているが、こ
の方法では、小さいフレネルレンズを製造する場合、切
り捨てるＵＶ硬化性樹脂の歩留まりが悪いなど、製品が
コスト高となる。

【００１１】 マイクロフレネルレンズや回折光学素
子を製造する場合、型本体23のサイズは３〜６インチ程
度と小さい為、取り扱いが厄介で量産性が悪い。

【００１２】本発明は、上記問題点を解決した実用性，
生産性，コスト安に秀れた微細形状転写品の製造方法及
び光学部材の製造方法を提供するものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】添付図面を参照して本発
明の要旨を説明する。

【００１４】微細形状１が形成された第一型２を設け、
この第一型２の微細形状１を第一硬化性樹脂３に転写し
て転写微細形状１'を有する第一硬化性樹脂３製の第二
型４を設け、この第二型４を転写微細形状１'面が下側
となるようにして支持材５に載置し、この支持材５に載
置された第二型４の周囲に硬化後に柔軟性を有する第二
硬化性樹脂６を流し込み、硬化後、剥離して第二型４と
第二硬化性樹脂６とが一体化した第三型７を設け、この
第三型７に第三硬化性樹脂８を流し込み、硬化後、剥離
して第三型７中の第二型４の転写微細形状１'が転写さ
れた第三硬化性樹脂８製の第四型９を設け、この第四型
９に設けられた微細形状１”を転写して微細形状転写品
や該微細形状転写品を製造する型を形成することを特徴
とする微細形状転写品の製造方法に係るものである。

【００１５】また、請求項１記載の微細形状転写品の製
造方法において、第四型９に設けられた微細形状１”面
にＵＶ硬化性樹脂10を流し込み、このＵＶ硬化性樹脂10
を第四型９とで挟持する状態に透明板若しくは透明シー
トから成る透明支持材11を設け、続いて、ＵＶ硬化性樹
脂10を硬化させてＵＶ硬化性樹脂10と透明支持材11とが
一体化された透明支持材11付ＵＶ硬化性樹脂10を第四型
９から剥離して微細形状転写品を形成することを特徴と
する微細形状転写品の製造方法に係るものである。

【００１６】また、請求項２記載の微細形状転写品の製
造方法において、支持材５の上面にして第二型４の載置
位置の側部に凹部12を設け、この凹部12を第二硬化性樹
脂６及び第三硬化性樹脂８に転写して第四型９に凹部13
を設け、この凹部13を第四型９におけるＵＶ硬化性樹脂
10の流れ止め凹部13に設定したことを特徴とする微細形
状転写品の製造方法に係るものである。

【００１７】また、請求項３記載の微細形状転写品の製
造方法において、凹部12は、支持材５の上面にして第二
型４の載置位置の側部に所定間隔を置いて点在せしめら
れていることを特徴とする微細形状転写品の製造方法に
係るものである。

【００１８】また、請求項１〜４いずれか１項に記載の
微細形状転写品の製造方法において、第一硬化性樹脂３
として硬化後に柔軟性を有する常温硬化性樹脂を使用し
たことを特徴とする微細形状転写品の製造方法に係るも
のである。

【００１９】また、請求項１〜５いずれか１項に記載の
微細形状転写品の製造方法において、第一硬化性樹脂３
としてシリコーン樹脂，ウレタン樹脂若しくはこれらの
樹脂にフィラーを添加した樹脂を使用したことを特徴と
する微細形状転写品の製造方法に係るものである。

【００２０】また、請求項１〜６いずれか１項に記載の
微細形状転写品の製造方法において、第二硬化性樹脂６
としてシリコーン樹脂，ウレタン樹脂若しくはこれらの
樹脂にフィラーを添加した樹脂を使用したことを特徴と
する微細形状転写品の製造方法に係るものである。

【００２１】また、請求項１〜７いずれか１項に記載の
微細形状転写品の製造方法において、第一硬化性樹脂３
と第二硬化性樹脂６とが同一素材であることを特徴とす
る微細形状転写品の製造方法に係るものである。

【００２２】また、請求項１〜８いずれか１項に記載の
微細形状転写品の製造方法において、第一硬化性樹脂３
及び第二硬化性樹脂６を２０〜６０℃で硬化することを
特徴とする微細形状転写品の製造方法に係るものであ
る。

【００２３】また、請求項１〜９いずれか１項に記載の
微細形状転写品の製造方法において、第三硬化性樹脂８
としてエポキシ樹脂を使用したことを特徴とする微細形
状転写品の製造方法に係るものである。

【００２４】また、請求項１０記載の微細形状転写品の
製造方法において、エポキシ樹脂の硬化剤として酸無水
物系硬化剤を使用したことを特徴とする微細形状転写品
の製造方法に係るものである。

【００２５】また、請求項１〜１１いずれか１項に記載
の微細形状転写品の製造方法によって、プロジェクター
テレビ用のフレネルレンズ，回折光学素子、マイクロフ
レネルレンズ若しくは液晶表示パネル用の光拡散シート
などの光学部材を形成することを特徴とする光学部材の
製造方法に係るものである。

【００２６】

【発明の作用及び効果】マスター型となる第一型２から
第二型４を複数形成し、この第二型４で第三型７を形成
し該第三型７を利用して製品を製造する型となり得る第
四型９を形成するから、１つの第一型２から第二型４
（第三型７）を多数形成することができ、また、この第
二型４（第三型７）から第四型９も多数形成することが
でき、コスト安で微細形状転写品を製造する為の型を形
成できることになる。

【００２７】また、第二型４から第四型９を形成する
際、該第二型４の周囲に第二硬化性樹脂６が設けられた
第三型７の状態であるから、型の取り扱いが容易であ
る。また、第三型７において周囲部の第二硬化性樹脂６
部分が柔軟性を有しているから、型の取り扱いが容易で
あるとともに、支持材５からの第三型７の脱型や、第三
型７からの第四型９の脱型も容易になる。

【００２８】本発明は上述のようにするから、フレネル
レンズや光拡散シートのような光学部材などの微細形状
転写品の型を低コストで簡単に形成できることになり、
必然的に低コストで微細形状転写品を形成することがで
きる実用性，生産性に秀れた微細形状の転写方法とな
る。

【００２９】

【発明の実施の形態】図２〜８は本発明の一実施例を図
示したものであり、以下に説明する。

【００３０】本実施例は液晶表示パネル用の光拡散シー
トの製造方法に係るものである。

【００３１】先ず、光拡散シートを製造する為の転写型
の形成方法について詳述する。

【００３２】製造しようとする光拡散シートと逆凹凸形
状の微細形状１を適宜な基板に公知の方法により形成し
て第一型２を形成する（図２参照）。

【００３３】続いて、第一型２の微細形状１面に第一硬
化性樹脂３を配設して該第一硬化性樹脂３に微細形状１
を転写し（図３参照）、この第一硬化性樹脂３を硬化後
剥離して第二型４を形成する。

【００３４】続いて、第二型４を転写微細形状１'面が
下側となるようにして支持材５上に載置する。この際、
転写微細形状１'面が均一に支持材５に接するように載
置する。尚、図示したものは、支持材５に第二型４を２
つ載置した場合であるが、載置する第二型４は１つでも
３つ以上でも良い（多いほど量産性が向上する）。ま
た、載置する多数の第二型４を隣接状態に配設しても良
い。

【００３５】この支持材５の上面にして第二型３の載置
位置の側部には凹部12が設けられている。この凹部12は
後述する第四型９において、ＵＶ硬化性樹脂10をラミロ
ール加工する際、該ＵＶ硬化性樹脂10の流れ止め作用を
発揮する第四型９の凹部13を形成することになる。

【００３６】また、この凹部12は所定間隔を置いて点在
状態に２列並設される。また、この２列の凹部12は、前
列側（第二型３に近い側）の凹部12の間隔に後列側の凹
部12'が位置するように設定する。また、凹部12を、支
持材５に載置した第二型３の側部全周部位に設けてＵＶ
硬化性樹脂10の流れ止め作用を高めても良い。

【００３７】また、第二型４を載置する支持材５の表面
は０.０４ｍｍ以下の平行度で、鏡面が好ましいが、後
述する第四型９において使用されるラミロールの材質や
加圧方式によっては平行度をおとしても良い。

【００３８】続いて、第二型４が載置された支持材５の
周囲に所定間隔を置いて仕切板14を囲繞状態に設け、該
仕切板14内に第二硬化性樹脂６を流し込んだ後、該第二
硬化性樹脂６を硬化させて第二型４と一体化し（図４参
照）、その後、第二硬化性樹脂６を支持材５及び仕切板
14から剥離し、第二硬化性樹脂６に第二型４が埋め込ま
れ且つ第二型４の転写微細形状１'面が周囲の第二硬化
性樹脂６と面一状態になった第三型７を形成する。ま
た、この第三型７には、前記支持材５の凹部12が転写さ
れて凸部16・16'が形成される。

【００３９】また、この第三型７を形成する際、仕切板
14と支持材５との隙間部分に流し込まれた第二硬化性樹
脂６部分が第三型７の上面周囲に繞設状態で突出する突
出壁15となる。

【００４０】続いて、第三型７を、該第三型７に埋め込
まれた第二型４の転写微細形状１'面が上側となるよう
にし、該第三型７に第三硬化性樹脂８を流し込んで該第
三硬化性樹脂８に第三型７中の第二型４の転写微細形状
１'を転写し（図５参照）、第三硬化性樹脂８を硬化後
第三型７から剥離して微細形状１”を有する第四型９を
形成する（図６参照）。また、この際、前記突出壁15が
第三硬化性樹脂８の流出を防止する流出防止部15とな
る。

【００４１】この第四型９が、実際に光拡散シートを製
造する転写型となる。

【００４２】第一硬化性樹脂３はシリコーン樹脂を使用
する。また、シリコーン樹脂以外にも、硬化後に柔軟性
を有する常温硬化性樹脂、具体的には、ウレタン樹脂若
しくはこれらの樹脂に耐久性（引き裂き強度）を上げる
為や線膨張係数を低下して転写寸法精度を合わせる為の
フィラー（充填材，添加材）を添加した樹脂を使用して
も良い。尚、フィラーにより引き裂き強度を高めると、
繰り返し使用に耐え易くなる。

【００４３】第二硬化性樹脂６もシリコーン樹脂を使用
する。また、シリコーン樹脂以外にも、硬化後に柔軟性
を有する常温硬化性樹脂、具体的には、ウレタン樹脂若
しくはこれらの樹脂に耐久性を上げる為や，線膨張係数
を低下して硬化収縮を抑える為のフィラー（充填材，添
加材）を添加した樹脂を使用しても良い。また、第二硬
化性樹脂６は第一硬化性樹脂３と同一素材を使用すると
第二硬化性樹脂６と第二型４（第一硬化性樹脂３製）と
が可及的に一体化し好適となる。尚、フィラーにより硬
化収縮を抑えると、該硬化収縮による第二型４の形状の
変形を阻止できる。

【００４４】第一硬化性樹脂３及び第二硬化性樹脂６の
特性を限定したのは、第一硬化性樹脂３及び第二硬化性
樹脂６が柔軟性を有していないと、支持材５からの第三
型７の脱型や、第三型７からの第四型９の脱型が困難に
なるおそれがあるからである。

【００４５】また、第一硬化性樹脂３及び第二硬化性樹
脂６としてシリコーン樹脂を使用した場合、シリコーン
樹脂はゴム質であるため、一般には線膨張係数が大きく
温度変化に敏感に作用し易い。この場合、第四型９の寸
法精度（第一型２と第四型９の微細形状部分における転
写寸法精度）、第三硬化性樹脂８の硬化収縮，エージン
グによる寸法変化を考慮し、常温より高めの環境である
２０〜６０℃、好ましくは５０〜６０℃で硬化させるこ
とで微細形状部分の寸法精度の秀れた第四型９を形成で
きることになる。

【００４６】また、第三硬化性樹脂８としては可及的に
寸法安定性や耐久性に秀れた樹脂を使用すると良く、本
実施例ではエポキシ樹脂を使用している。また、生産工
程で使用するＵＶ（紫外線）硬化性樹脂10との剥離性を
良くする為、エポキシ樹脂は酸無水物系硬化剤を採用し
たものを使用すると良い。

【００４７】また、支持材５は任意に凹部12を形成し易
く、且つ平行度，面アラサが良いものが望ましい。本実
施例においては、鉄を使用し、ハードクロムメッキで防
錆処理を行ったものを使用した。

【００４８】次に第四型９を使用してＵＶ（紫外線）硬
化性樹脂10製の光拡散シートを製造する方法について詳
述する。

【００４９】第四型９を微細形状１”面が上側となるよ
うに位置させ、該第四型９上にＵＶ硬化性樹脂10を敷設
状態に配設し、続いて、該ＵＶ硬化性樹脂10上にＰＥＴ
製やＰＣ製などの透明板や透明シートなどの透明支持板
11を載置し、続いて、該透明支持板11上からロールなど
の適宜な押圧荷重を負荷してＵＶ硬化性樹脂10層の厚さ
を調節しながら、該透明支持板11と第四型９との間にＵ
Ｖ硬化性樹脂10を行き渡らせる（図７参照）。また、こ
のＵＶ硬化性樹脂10を行き渡らせる際、余分なＵＶ硬化
性樹脂10は第四型９に設けられた凹部13・13'に流し込
まれて該凹部13・13'内に溜まり、第四型９から外部に
漏洩したりしないことになる。

【００５０】尚、実施したロールは硬質ゴムロール（巾
６００ｍｍ）で、圧力３ｋｇ／ｃｍ²，２ｍ／ｍｉｎの
スピードで一定速度でラミネートを行ったが、この時、
第四型９の表面が略水平となっている（第四型９を形成
する際、第三型７の転写微細形状１'部分（第二型４部
分）と周囲（第二硬化性樹脂６）との間に段差がない
為、該第三型７から形成される第四型９の微細形状１”
部分と周囲との間にも段差が生じない。唯、厳密には微
細形状の高さ分だけ微細形状１”は外周より高い）が、
ラミネート後の樹脂厚さムラは殆ど発生せず、硬化後の
ＵＶ硬化性樹脂10の微細形状１”部分の寸法バラツキを
測定しても４００×３００のサイズで±２０μｍ以下で
あった。

【００５１】また、透明支持材11は紫外線を透過させ且
つＵＶ硬化性樹脂10と接着する透明な素材を使用するこ
とが望ましく、本実施例においてはプライマー付ＰＥＴ
（ポリエステル）シートやＰＣ（ポリカーボネート）シ
ート、ＭＳ（ＰＭＭＡ（ポリメチルメタアクリレート）
とスチレンの共重合体）板やＰＣ板を使用している。

【００５２】続いて、第四型９上に設けたＵＶ硬化性樹
脂10に透明支持材11を透過させる形で紫外線を照射して
該ＵＶ硬化性樹脂10を硬化させる。

【００５３】続いて、硬化したＵＶ硬化性樹脂10と透明
支持材11とが一体になった透明支持材11付ＵＶ硬化性樹
脂10を第四型９から剥離する。この透明支持材11付ＵＶ
硬化性樹脂10には、前記凹部13・13'内に溜まったＵＶ
硬化性樹脂10が凸部17・17'として点在状態に形成され
る（図８参照）。

【００５４】続いて、硬化した透明支持材11付ＵＶ硬化
性樹脂10を切削などの適宜な加工手段によって型抜きす
ると、該型抜きされた透明支持材11付ＵＶ硬化性樹脂10
が光拡散シートとなる。

【００５５】本実施例は上述のようにするから、光拡散
シートを形成する型である第四型９の形成において、マ
スター型である第一型２から第二型４を多数形成する故
に光拡散シートを形成する転写型がコスト安で、必然的
に光拡散シートもコスト安となる実用性，生産性に秀れ
た微細形状転写品の製造方法となる。

【００５６】また、第二型４を形成した後、一旦該第二
型４が埋め込まれた第三型７を形成し、この第三型７を
使用して第四型９を形成するから、第三型７から第四型
９を多数形成することで第四型９をより一層コスト安に
することができるより一層生産性に秀れた微細形状転写
品の製造方法となる。

【００５７】また、第二型４が柔軟性を有しているか
ら、該第二型４を第一型２から脱型する際に第一型２の
破損等のおそれがなく、この第二型４の取り扱いも容易
で、また、第三型７も柔軟性を有しているから、第三型
７から第四型９を脱型する際に第三型７及び第四型９の
破損等のおそれがなく、この第三型７の取り扱いも容易
になる実用性，生産性に秀れた微細形状転写品の製造方
法となる。

【００５８】また、ＵＶ硬化性樹脂10は硬化時における
硬化収縮は一般的には５〜８％と大きいが、透明支持材
11に対してＵＶ硬化性樹脂10の厚さは薄く、一体となる
透明支持材11の保持力により該ＵＶ硬化性樹脂10の硬化
の影響による寸法誤差が極めて少なくなり、サブミクロ
ンレベルでの形状転写精度，数％以下の寸法転写精度を
要求される微細形状１でも、第一型２から第四型９まで
の転写工程や、ＵＶ硬化時の硬化温度や、透明支持板11
及び第四型９の線膨張係数（熱膨張係数，湿度膨張係数
の両方を含む）を考慮することで、第一型２から直接微
細形状１を転写する方法と同様の正確な転写が第四型９
からでも可能となり、寸法精度を要求される製品を精度
良く製造できることになる実用性に秀れた微細形状転写
品の転写方法となる。

【００５９】また、転写型を全てフォトリソグラフィ加
工品や金型彫刻品とするとフォトリソグラフィ加工品で
はガラス基板やウエハーが脆いために該転写型が脆く、
また、金型彫刻品では重量に問題があり、取り扱いに注
意を払わなければならなくなるが、本実施例では第二型
４，第三型７及び第四型９はいずれも取り扱い容易で軽
量な素材であるため、転写型（第四型９）の形成工程や
光拡散シートの製造工程において型の取り扱いが容易に
なる実用性，作業性に秀れた微細形状転写品の転写方法
となる。

【００６０】また、第四型９からのＵＶ硬化性樹脂10の
漏洩を防止する流れ止め凹部13・13'を第三型９を形成
する際に支持材５から第二硬化性樹脂６に転写し、更に
第三硬化性樹脂８に転写して形成するから、従来のよう
に転写型21ごとの治具部材24に流れ止め用の凹部25を設
ける構成に比してコスト安で転写型(第四型９）に流れ
止め凹部13・13'を設けることができるより一層実用
性，生産性に秀れた微細形状転写品の転写方法となる。

【００６１】また、透明支持材11付ＵＶ硬化性樹脂10に
形成された凸部17・17'が、繞設状態ではなく、所定間
隔を置いた点在状態の構成となるから、ＵＶ硬化性樹脂
10の硬化の際、該凸部17・17'の硬化収縮によって製品
に反りなどが発生しないことになり、製品の型抜きを精
度良くできることになる一層実用性，生産性に秀れた微
細形状転写品の転写方法となる。

【００６２】また、大型フレネルレンズを製造する場合
には、第一型２に形成されてしまう反りが、図４に図示
した工程において、第二型４を支持材５上に載置する際
に矯正されることになり（第二型４には第一型２から反
りが転写されるが、第二型４は柔軟性を有している為、
支持材５上に載置すると該反りがなくなる。）、よっ
て、第四型９には反りがなく、厚さムラのないフレネル
レンズを形成できることになるより一層実用性，生産
性，寸法精度に秀れた微細形状転写品の転写方法とな
る。

【００６３】本実施例により液晶表示パネル用の光拡散
シートを製造したところ、従来例の転写型21から転写す
る方法のものと同様の精度のものを得ることができた。
また、液晶テレビ用の小型のフレネルレンズも同様に製
造することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来例の説明側断面図である。

【図２】本実施例の第一型２の説明平面図である。

【図３】本実施例の第二型４の形成工程を示す説明側断
面図である。

【図４】本実施例の第三型７の形成工程を示す説明側断
面図である。

【図５】本実施例の第四型９の形成工程を示す説明側断
面図である。

【図６】本実施例の第四型９の説明側断面図である。

【図７】本実施例の光拡散シートの形成工程を示す説明
側断面図である。

【図８】本実施例の光拡散シートの形成工程を示す説明
平面である。

【符号の説明】

１・１” 微細形状 １'転写微細形状 ２ 第一型 ３ 第一硬化性樹脂 ４ 第二型 ５ 支持材 ６ 第二硬化性樹脂 ７ 第三型 ８ 第三硬化性樹脂 ９ 第四型 10 ＵＶ硬化性樹脂 11 透明支持材 12 凹部 13 凹部，流れ止め凹部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ Ｇ０２Ｂ 5/18 Ｇ０２Ｂ 5/18 // Ｂ２９Ｋ 105:24 Ｂ２９Ｋ 105:24 Ｂ２９Ｌ 11:00 Ｂ２９Ｌ 11:00 (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B29C 33/40 B29C 39/02 B29C 39/26 G02B 3/00 G02B 3/08 G02B 5/18

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 微細形状が形成された第一型を設け、こ
   の第一型の微細形状を第一硬化性樹脂に転写して転写微
   細形状を有する第一硬化性樹脂製の第二型を設け、この
   第二型を転写微細形状面が下側となるようにして支持材
   に載置し、この支持材に載置された第二型の周囲に硬化
   後に柔軟性を有する第二硬化性樹脂を流し込み、硬化
   後、剥離して第二型と第二硬化性樹脂とが一体化した第
   三型を設け、この第三型に第三硬化性樹脂を流し込み、
   硬化後、剥離して第三型中の第二型の転写微細形状が転
   写された第三硬化性樹脂製の第四型を設け、この第四型
   に設けられた微細形状を転写して微細形状転写品や該微
   細形状転写品を製造する型を形成することを特徴とする
   微細形状転写品の製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の微細形状転写品の製造方
   法において、第四型に設けられた微細形状面にＵＶ硬化
   性樹脂を流し込み、このＵＶ硬化性樹脂を第四型とで挟
   持する状態に透明板若しくは透明シートから成る透明支
   持材を設け、続いて、ＵＶ硬化性樹脂を硬化させてＵＶ
   硬化性樹脂と透明支持材とが一体化された透明支持材付
   ＵＶ硬化性樹脂を第四型から剥離して微細形状転写品を
   形成することを特徴とする微細形状転写品の製造方法。
3. 【請求項３】 請求項２記載の微細形状転写品の製造方
   法において、支持材の上面にして第二型の載置位置の側
   部に凹部を設け、この凹部を第二硬化性樹脂及び第三硬
   化性樹脂に転写して第四型に凹部を設け、この凹部を第
   四型におけるＵＶ硬化性樹脂の流れ止め凹部に設定した
   ことを特徴とする微細形状転写品の製造方法。
4. 【請求項４】 請求項３記載の微細形状転写品の製造方
   法において、凹部は、支持材の上面にして第二型の載置
   位置の側部に所定間隔を置いて点在せしめられているこ
   とを特徴とする微細形状転写品の製造方法。
5. 【請求項５】 請求項１〜４いずれか１項に記載の微細
   形状転写品の製造方法において、第一硬化性樹脂として
   硬化後に柔軟性を有する常温硬化性樹脂を使用したこと
   を特徴とする微細形状転写品の製造方法。
6. 【請求項６】 請求項１〜５いずれか１項に記載の微細
   形状転写品の製造方法において、第一硬化性樹脂として
   シリコーン樹脂，ウレタン樹脂若しくはこれらの樹脂に
   フィラーを添加した樹脂を使用したことを特徴とする微
   細形状転写品の製造方法。
7. 【請求項７】 請求項１〜６いずれか１項に記載の微細
   形状転写品の製造方法において、第二硬化性樹脂として
   シリコーン樹脂，ウレタン樹脂若しくはこれらの樹脂に
   フィラーを添加した樹脂を使用したことを特徴とする微
   細形状転写品の製造方法。
8. 【請求項８】 請求項１〜７いずれか１項に記載の微細
   形状転写品の製造方法において、第一硬化性樹脂と第二
   硬化性樹脂とが同一素材であることを特徴とする微細形
   状転写品の製造方法。
9. 【請求項９】 請求項１〜８いずれか１項に記載の微細
   形状転写品の製造方法において、第一硬化性樹脂及び第
   二硬化性樹脂を２０〜６０℃で硬化することを特徴とす
   る微細形状転写品の製造方法。
10. 【請求項１０】 請求項１〜９いずれか１項に記載の微
    細形状転写品の製造方法において、第三硬化性樹脂とし
    てエポキシ樹脂を使用したことを特徴とする微細形状転
    写品の製造方法。
11. 【請求項１１】 請求項１０記載の微細形状転写品の製
    造方法において、エポキシ樹脂の硬化剤として酸無水物
    系硬化剤を使用したことを特徴とする微細形状転写品の
    製造方法。
12. 【請求項１２】 請求項１〜１１いずれか１項に記載の
    微細形状転写品の製造方法によって、プロジェクターテ
    レビ用のフレネルレンズ，回折光学素子、マイクロフレ
    ネルレンズ若しくは液晶表示パネル用の光拡散シートな
    どの光学部材を形成することを特徴とする光学部材の製
    造方法。