JP3377024B2 - Grinding method and apparatus of a semiconductor wafer - Google Patents

Grinding method and apparatus of a semiconductor wafer

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高男 稲葉
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【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェーハの研削方法及びその装置に係り、特に半導体ウェーハの製造最終工程で半導体ウェーハの裏面を研削加工する研削方法及びその装置に関する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [0001] The present invention relates relates to a grinding method and apparatus of the semiconductor wafer, and grinding method in particular grinding a back surface of the semiconductor wafer in the manufacturing final step of a semiconductor wafer on the device. 【0002】 【従来の技術】半導体ウェーハの製造最終工程では、半導体ウェーハの裏面研削加工が行われている。 [0002] In manufacturing the final step of a semiconductor wafer, the back surface grinding of a semiconductor wafer is performed. 裏面研削終了した半導体ウェーハは、酸化膜形成処理等のウェーハ処理が施された後、ダイシング工程に送られる。 Semiconductor wafer by the back surface grinding completed after the wafer processing such as oxide film formation treatment is performed, it is sent to the dicing process. 【0003】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の半導体ウェーハの研削方法では、半導体ウェーハの裏面研削に起因して半導体ウェーハのエッジ部分に脆い加工変質層が発生し、この加工変質層によって半導体ウェーハが破損する場合があるという欠点がある。 [0003] The present invention is, however, in the grinding method of the conventional semiconductor wafer, brittle deformed layer is generated in the edge portion of the semiconductor wafer due to the back grinding of semiconductor wafers, the damaged layer there is a disadvantage that the semiconductor wafer and there is a case to be damaged by. このような不具合は、半導体ウェーハの裏面研削終了後に、半導体ウェーハのエッジを面取り加工して加工変質層を除去すれば良いが、裏面が研削された極薄い半導体ウェーハを面取り加工することは非常に困難で実施できないという欠点がある。 Such problem, after back grinding the end of the semiconductor wafer, an edge of the semiconductor wafer may be chamfered to remove the damaged layer, but the chamfering an extremely thin semiconductor wafer back surface is ground very there is a disadvantage that can not be carried out is difficult. 【0004】本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、半導体ウェーハの裏面研削時に半導体ウェーハのエッジ部分に発生した加工変質層を簡単に除去することができる半導体ウェーハの研削方法及びその装置を提供することを目的とする。 [0004] The present invention has such has been made in view of the circumstances, and method of grinding a semiconductor wafer which can be easily removed damaged layer generated in the edge portion of the semiconductor wafer at the time of grinding the back surface of the semiconductor wafer and to provide the apparatus. 【0005】 【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成するために、 極薄の半導体ウェーハを保持するとともに [0005] [Means for Solving the Problems The present invention, in order to achieve the object, holds the ultra-thin semiconductor wafers
該半導体ウェーハの径よりも大きい径で円盤状に形成さ Disc-shaped in form of a large diameter than the diameter of the semiconductor wafer
れたテーブルと、前記テーブルに保持された前記半導体ウェーハの片面に押し付けられて、該半導体ウェーハの片面を研削加工する研削用砥石と、前記テーブルに保持された前記半導体ウェーハのエッジに対してその回転軸線が傾斜した状態で上方から押し付けられて、該半導体ウェーハの前記片面側のエッジを面取り加工する棒状の面取り用砥石と、を備え、前記研削用砥石による研削加工と、前記面取り用砥石による面取り加工とを同時に行うことを特徴としている。 A table, pressed against the one side of the semiconductor wafer held on the table, and the grinding stone for grinding the one surface of the semiconductor wafer, that the edge of the semiconductor wafer held on the table pressed against from above in a state where the rotation axis is inclined, and a chamfering grindstone rod-shaped chamfering the one side edge of the semiconductor wafer, and grinding by the grinding stone, according to the grindstone for chamfering It is characterized by performing the chamfering simultaneously. 【0006】 【0007】本発明によれば、研削用砥石による半導体ウェーハの片面の研削加工と、面取り用砥石による半導体ウェーハのエッジの面取り加工とを同時に行う。 [0006] According to the present invention performs a single side grinding of a semiconductor wafer by grinding grindstone, the semiconductor wafer by chamfering grindstone edge chamfering and at the same time. このように、研削加工と面取り加工とを同時に行うと、研削加工終了後の極薄い半導体ウェーハを面取りするよりも、面取りが容易になる。 Thus, when grinding and chamfering at the same time, rather than chamfering the very thin semiconductor wafer after the grinding completion, chamfering is facilitated. よって、本発明は、半導体ウェーハのエッジ部分に発生する加工変質層を簡単に除去することができる。 Accordingly, the present invention can be easily removed damaged layer generated in the edge portion of the semiconductor wafer. 【0008】 【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係る半導体ウェーハの研削方法及びその装置の好ましい実施の形態について詳説する。 [0008] will be described in detail preferred embodiments of the grinding method and apparatus for a semiconductor wafer according to the present invention in accordance PREFERRED EMBODIMENTS accompanying drawings. 図1は、本発明の実施の形態の半導体ウェーハの研削装置を示す全体構造図である。 Figure 1 is an overall structural view showing a grinding apparatus for a semiconductor wafer according to the embodiment of this invention. 同図に示す半導体ウェーハの研削装置10は、主として吸着テーブル12、研削用砥石装置14、及び面取り用砥石装置16から構成される。 Grinding apparatus 10 of the semiconductor wafer shown in the figure, mainly the suction table 12, the grinding stone 14, and a chamfering grindstone for device 16. 【0009】前記吸着テーブル12は円盤状に形成され、その下面にモータ18の出力軸20が吸着テーブル12の中心軸と同軸上に取り付けられている。 [0009] The suction table 12 is formed in a disk shape, the output shaft 20 of the motor 18 is mounted coaxially with the central axis of the suction table 12 on its lower surface. この吸着テーブル12は、モータ18の駆動力によって図中矢印A方向に回転される。 The suction table 12 is rotated in direction of arrow A by the driving force of the motor 18. また、吸着テーブル12の上面には、図示しないバッキング材が設けられ、このバッキング材に半導体ウェーハ22の表面22Aが吸着されている。 On the upper surface of the suction table 12, a backing material (not shown) is provided, the surface 22A of the semiconductor wafer 22 is adsorbed to the backing material. これにより、半導体ウェーハ22は、吸着テーブル12上に保持されて、吸着テーブル12と共に回転される。 Thus, the semiconductor wafer 22 is held on the suction table 12 is rotated together with the suction table 12. 【0010】前記研削用砥石装置14は、カップ型砥石24、モータ26、及びエアシリンダ28等から構成される。 [0010] The grinding stone 14 is composed of a cup-shaped grindstone 24, a motor 26, and the air cylinder 28 and the like. 前記カップ型砥石24は、吸着テーブル12に吸着保持された半導体ウェーハ22の裏面22Bを研削加工する砥石であり、砥石部分25を下向きにして設けられている。 The cup-shaped grinding wheel 24 is a grinding wheel for grinding the back surface 22B of the semiconductor wafer 22 sucked and held by the suction table 12 is provided with a grinding wheel portion 25 downward. また、カップ型砥石24は、上面にモータ2 Further, a cup-shaped grinding wheel 24, the motor on the upper surface 2
6の出力軸30がカップ型砥石24の中心軸と同軸上に取り付けられ、このモータ26の駆動力によって図中矢印B方向に回転される。 Output shaft 30 of 6 is attached to the central shaft coaxially of the cup-shaped grindstone 24 is rotated in the direction of arrow B by the driving force of the motor 26. 【0011】前記モータ26の上部には、エアシリンダ28のピストン32が取り付けられている。 [0011] on top of the motor 26, the piston 32 of the air cylinder 28 is attached. したがって、エアシリンダ28を駆動してピストン32を伸縮動作させると、カップ型砥石24を半導体ウェーハ22に対して進退移動させることができる。 Therefore, it is possible when driving the air cylinder 28 extending and retracting the piston 32, move back and forth a cup-shaped grinding wheel 24 to the semiconductor wafer 22. よって、カップ型砥石24を半導体ウェーハ22の裏面22Bに押圧当接させて送り動作させることにより、半導体ウェーハ22 Thus, by pressing to contact with the feed operating on the rear surface 22B of the semiconductor wafer 22 a cup-shaped grindstone 24, the semiconductor wafer 22
の裏面22Bをカップ型砥石24で研削することができる。 It is possible to grind the backside 22B a cup-shaped grinding wheel 24. なお、前記エアシリンダ28は、研削装置本体11 Incidentally, the air cylinder 28, the grinding device main body 11
上に立設されたL字状の支柱34に固定されている。 It is fixed to the L-shaped strut 34 which is erected above. 【0012】前記面取り用砥石装置16は、砥石36、 [0012] The grindstone for chamfering device 16, the grinding wheel 36,
モータ38、及び上下駆動機構等から構成される。 Composed of the motor 38, and vertical drive mechanism or the like. 前記砥石36は、吸着テーブル12に吸着保持された半導体ウェーハ22の裏面22Bのエッジ22Cを面取り加工する棒状の砥石である。 The grinding wheel 36 is a grinding bar-shaped chamfered edge 22C of the rear surface 22B of the semiconductor wafer 22 sucked and held by the suction table 12. この砥石36は、モータ38の出力軸40に固着されている。 The grinding wheel 36 is fixed to the output shaft 40 of the motor 38. また、モータ38は、半導体ウェーハ22のエッジ22Cに対して砥石36がその回転軸線が傾斜した状態で当接するように、支持部材42の下部に傾斜して固定されている。 The motor 38, as the grinding wheel 36 against the edge 22C of the semiconductor wafer 22 is the rotation axis thereof abuts in an inclined, is fixed to be inclined to the lower portion of the support member 42. 【0013】前記支持部材42には、上下駆動機構を構成するナット部材44が固定されている。 [0013] The support member 42, nut member 44 constituting the vertical driving mechanism are fixed. このナット部材44は、同じく上下駆動機構を構成するねじ送り装置のねじ棒46に螺合されると共に、直進ガイド部材48 The nut member 44, with screwed to the screw rod 46 of the screw feeder also constituting a vertical drive mechanism, the rectilinear guide members 48
に係合されている。 It is engaged in. また、前記ねじ棒46の上端には、 Further, the upper end of the threaded rod 46,
モータ50の図示しない出力軸が連結されている。 An output shaft (not shown) of the motor 50 is connected. したがって、モータ50を駆動してねじ棒46を正転/逆転させると、ナット部材44等を介して砥石36を上下移動させることができる。 Therefore, when the forward / reverse the screw rod 46 by driving the motor 50, thereby vertically moving the grinding wheel 36 via the nut member 44 and the like. よって、砥石36を半導体ウェーハ22のエッジ22Cに当接させて送り動作させることにより、半導体ウェーハ22のエッジ22Cを面取りすることができる。 Therefore, by operating the feed is brought into contact with the grinding wheel 36 to the edge 22C of the semiconductor wafer 22 can be chamfered edge 22C of the semiconductor wafer 22. なお、前記モータ50は、研削装置本体11上に立設されたL字状の支柱52に固定され、 Incidentally, the motor 50 is fixed to L-shaped support column 52 provided upright on the grinding apparatus main body 11,
この支柱52に前記直進ガイド部材48が設けられている。 The straight guide member 48 is provided on the support post 52. 【0014】次に、前記の如く構成された半導体ウェーハの研削装置の作用について説明する。 [0014] Next, the operation of the grinding apparatus for a semiconductor wafer which is constructed in the above-mentioned. まず、研削対象の半導体ウェーハ22を、その表面22Aを下向きにして吸着テーブル12の上面に吸着保持させる。 First, the grinding object of the semiconductor wafer 22, and the surface 22A downward adsorbed and held on an upper surface of the suction table 12. 次に、半導体ウェーハ22をモータ18で回転させると共に、カップ型砥石24をモータ26で回転させ、そして砥石3 Next, the semiconductor wafer 22 is rotated by a motor 18, a cup-shaped grinding wheel 24 is rotated by a motor 26, and the grinding wheel 3
6をモータ38で回転させる。 6 is rotated by a motor 38. 【0015】次いで、裏面研削用のカップ型砥石24 [0015] Then, a cup-shaped grinding wheel 24 for grinding the back surface
を、エアシリンダ28のピストン32を伸長させることにより下降移動させて、カップ型砥石24の砥石部分2 And is lowered moved by extending the piston 32 of the air cylinder 28, the grinding wheel portion of the cup-shaped grindstone 24 2
5を半導体ウェーハ22の裏面22Bに押圧当接させる。 5 on the back surface 22B of the semiconductor wafer 22 to the pressed contact. そして、この動作に連動して、面取り用の砥石36 Then, in conjunction with this operation, the grinding wheel 36 for chamfering
を、ねじ送り装置によって下降移動させて、半導体ウェーハ22のエッジ22Cに押圧当接させる。 And it is lowered moved by screw feeding device, thereby pressing into contact with the edge 22C of the semiconductor wafer 22. 【0016】これにより、カップ型砥石24によって裏面研削が行われ、これと同時に砥石36によってエッジ22Cの面取りが行われる。 [0016] Thus, the back surface grinding is performed by a cup-shaped grinding wheel 24, which chamfered edge 22C is performed by the grindstone 36 at the same time. 図2は、裏面研削前の半導体ウェーハ22の要部拡大断面図である。 Figure 2 is an enlarged cross-sectional view of the back surface before grinding the semiconductor wafer 22. 同図に示すように裏面研削前の半導体ウェーハ22は、エッジ22C The semiconductor wafer 22 before backside grinding, as shown in the figure, the edge 22C
が両面ともテーパ状に予め面取りされている。 There are previously chamfered in a tapered shape on both sides. この半導体ウェーハ22の裏面22Bを、面取り加工を行わずに研削すると図3に示すように、エッジ22Cの裏面22 The back surface 22B of the semiconductor wafer 22, as shown in FIG. 3 when grinding without chamfering the rear surface of the edge 22C 22
B側の面取り部分も一緒に研削されてエッジ22Cが先鋭状になり、また、エッジ22Cに加工変質層が発生して半導体ウェーハ22が脆くなる。 Chamfered portion B side is ground together edge 22C becomes pointed, also, the semiconductor wafer 22 is brittle affected layer at the edge 22C is generated. 【0017】これに対して、本実施の形態では、研削加工と同時に面取り加工を行っているので、エッジ22C [0017] In contrast, in the present embodiment, since simultaneously performed chamfering and grinding, edge 22C
に発生した加工変質層を、面取り用の砥石36で直ちに研削することができる。 The damaged layer generated in, can be immediately ground with the grinding wheel 36 for chamfering. よって、本実施の形態では、加工変質層を簡単に除去することができる。 Therefore, in this embodiment, it is possible to easily remove the work-affected layer. また、裏面研削終了後の裏面22B側のエッジ22Cに、図4に示すテーパ状の面取りを施すこともできる。 Further, on the back surface 22B side edge 22C after backside grinding completion, it may be subjected to tapered chamfer shown in FIG. 【0018】なお、この半導体ウェーハの研削装置による研削方法は、スルーフィード研削又はインフィード研削とする。 [0018] It should be noted that the grinding process according to the grinding apparatus of the semiconductor wafer, and through-feed grinding or in-feed grinding. そして、エッジの面取り時間は、裏面研削時間よりも長く設定することが面取り精度を向上させる点から好ましい。 Then, the edge of the chamfer time be longer than the back surface grinding time from the viewpoint of improving the chamfering accuracy. また、スパークアウト研削を行う場合には、エッジの面取り時間を同時間、または長く設定することが好ましい。 Further, when the spark-out grinding, it is preferable that the chamfer time of the edge setting the time, or longer. 【0019】本実施の形態では、半導体ウェーハを研削する研削装置について説明したが、これに限られるものではなく、研磨布等の研磨体で半導体ウェーハを研磨する研磨装置にも適用することができる。 [0019] In the present embodiment has been described grinding apparatus for grinding a semiconductor wafer is not limited to this and can be applied to a polishing apparatus for polishing a semiconductor wafer in a polishing member such as a polishing cloth . 【0020】 【発明の効果】以上説明したように本発明に係る半導体ウェーハの研削装置によれば、研削用砥石による半導体ウェーハの片面の研削加工と、テーブルに保持された半導体ウェーハのエッジに対してその回転軸線が傾斜した状態で上方から押し付けられる棒状の面取り用砥石による半導体ウェーハのエッジの面取り加工とを同時に行うようにしたので、半導体ウェーハのエッジ部分に発生する加工変質層を簡単に除去することができる。 According to the grinding apparatus for a semiconductor wafer according to the present invention, as described above, according to the present invention, the one side of the grinding of a semiconductor wafer by grinding stone, to the edge of the semiconductor wafer held on the table because the rotational axis is to perform the chamfering of an edge of a semiconductor wafer by chamfering grindstone of the rod-shaped imposed from above in an inclined simultaneously Te, easily remove a work-affected layer generated in an edge portion of the semiconductor wafer can do.

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の実施の形態に係る半導体ウェーハの研削装置の全体構造図【図2】裏面研削前の半導体ウェーハの要部拡大断面図【図3】裏面研削加工のみ実施した半導体ウェーハの要部断面拡大図【図4】裏面研削加工と面取り加工とを同時に実施した半導体ウェーハの要部拡大断面図【符号の説明】 10…半導体ウェーハの研削装置12…吸着テーブル14…研削用砥石装置16…面取り用砥石装置22…半導体ウェーハ24…カップ型砥石(裏面研削用砥石) 36…砥石(面取り用砥石) Overall Structure Figure 2 shows enlarged cross-sectional view of the back surface before grinding the semiconductor wafer of the semiconductor wafer grinding apparatus according to an embodiment of BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS [Figure 1] The present invention Figure 3 backgrinding main part enlarged sectional view of a semiconductor wafer embodying processed only [4] the back surface grinding and chamfering and enlarged sectional view of the semiconductor wafer was carried simultaneously eXPLANATION oF REFERENCE nUMERALS 10 ... semiconductor wafer grinding apparatus 12 ... suction table 14: grinding stone 16 ... grindstone for chamfering device 22 ... semiconductor wafer 24 ... cup-shaped grindstone (grindstone for grinding a back surface) 36 ... grinding wheel (grindstone for chamfering)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−37169(JP,A) 特開 平2−303759(JP,A) 特開 平7−40213(JP,A) 特開 平5−102111(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl. 7 ,DB名) B24B 1/00 - 9/00 H01L 21/304 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (56) reference Patent flat 8-37169 (JP, a) JP flat 2-303759 (JP, a) JP flat 7-40213 (JP, a) JP flat 5 102111 (JP, a) (58 ) investigated the field (Int.Cl. 7, DB name) B24B 1/00 - 9/00 H01L 21/304

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 極薄の半導体ウェーハを保持するとともに (57) [Claims 1] holds the semiconductor wafer extremely thin
    該半導体ウェーハの径よりも大きい径で円盤状に形成さ Disc-shaped in form of a large diameter than the diameter of the semiconductor wafer
    れたテーブルと、 前記テーブルに保持された前記半導体ウェーハの片面に押し付けられて、該半導体ウェーハの片面を研削加工する研削用砥石と、 前記テーブルに保持された前記半導体ウェーハのエッジに対してその回転軸線が傾斜した状態で上方から押し付けられて、該半導体ウェーハの前記片面側のエッジを面取り加工する棒状の面取り用砥石と、 を備え、前記研削用砥石による研削加工と、前記面取り用砥石による面取り加工とを同時に行うことを特徴とする半導体ウェーハの研削装置。 A table, pressed against the one side of the semiconductor wafer held on the table, and the grinding stone for grinding the one surface of the semiconductor wafer, that the edge of the semiconductor wafer held on the table pressed against from above in a state where the rotation axis is inclined, and a chamfering grindstone rod-shaped chamfering the one side edge of the semiconductor wafer, and grinding by the grinding stone, according to the grindstone for chamfering grinding apparatus for semiconductor wafer, comprising performing the chamfering simultaneously.
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