JP3302242B2 - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JP3302242B2
JP3302242B2 JP33727695A JP33727695A JP3302242B2 JP 3302242 B2 JP3302242 B2 JP 3302242B2 JP 33727695 A JP33727695 A JP 33727695A JP 33727695 A JP33727695 A JP 33727695A JP 3302242 B2 JP3302242 B2 JP 3302242B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は固体撮像装置に関
し、特に出力信号電荷中に含まれる暗時電荷出力の割合
をほぼ均一に保持可能な固体撮像装置の高集積化に好適
なものである。
【0002】
【従来の技術】固体撮像装置の基本的な動作は、入射光
の明暗の強度に応じて振幅が変化する出力信号を得るこ
とができるが、この出力信号のみでは、色についての情
報は何も得ることができない。色信号を得るためには、
並列に信号を取り出すか、または、何らかの形で信号を
多重して取り出すことが必要となる。色信号を得るため
の方式の一つに、点順次方式がある。
【0003】図3は、従来の点順次方式CCDリニアイ
メージセンサの概略構成図であり、説明の簡単のため信
号出力部近傍の一構成単位分のみ示している。
【0004】この点順次方式CCDリニアイメージセン
サは、順次配設された第1色画素P31、第2色画素P
32、第3色画素P33からなる画素列30と、画素列
30に略平行に配設されたシフトゲート34と、画素列
30及びシフトゲート34に略平行に配設され、第1の
駆動信号φ1により駆動される電極(E31、E32、
E33、...)及び第2の駆動信号φ2により駆動さ
れる電極、出力部39を備えたCCDアナログシフトレ
ジスタ36とから構成されている。
【0005】画素列30は、第1色、第2色、第3色の
色フィルタを撮像装置の1画素ごとに順次設けた第1色
画素P31、第2色画素P32、第3色画素P33を配
設したものであり、この構成により第1色、第2色、第
3色の信号が1画素ごとに繰り返される出力信号を得る
ことができる。すなわち、第1色画素P31、第2色画
素P32、第3色画素P33において発生した信号電荷
は、シフトゲート34によりそれぞれ電極E31、E3
2、E33に移送された後、CCDアナログシフトレジ
スタ36により順次転送され、出力部39から点順次出
力信号として出力される。
【0006】ところで、現在に至るまで年々半導体装置
一般に高集積化の要請が高まってきており、この傾向は
今後も続くと考えられ、このことは固体撮像装置におい
ても同様である。より高度な高集積化を実現するため、
様々な技術が開発されているが、点順次方式CCDリニ
アイメージセンサにおいては、画素列の配列形態を通常
の直線状のものとは異なる特殊な形態としたものがあ
る。
【0007】図4は、画素列の配列形態に特徴がある従
来の点順次方式CCDリニアイメージセンサの概略構成
図であり、説明の簡単のため信号出力部近傍の一構成単
位分のみ示している。
【0008】図4の点順次方式CCDリニアイメージセ
ンサにおいては、略平行に配設されたCCDアナログシ
フトレジスタ46及び47と、これらCCDアナログシ
フトレジスタ46及び47間に、それぞれに沿って略平
行に配設されたシフトゲート44及び45とが備えら
れ、これらシフトゲート44及び45間に、画素列40
が配設されている。
【0009】画素列40の配列形態は、CCDアナログ
シフトレジスタ46に平行に第1色画素P41が順次配
設された第1の画素列40Aと、第1の画素列40Aを
構成する第1色画素に対しCCDアナログシフトレジス
タ47と平行な方向に半画素分ずれて、CCDアナログ
シフトレジスタ47に平行に第2色画素P42、第3色
画素P43が交互に順次配設された第2の画素列40B
とを一単位とする配列形態となっている。
【0010】CCDアナログシフトレジスタ46及び4
7は、それぞれ第1の駆動信号φ1により駆動される電
極(E41、E42、E43、...及びE41’、E
42’、E43’、...)及び第2の駆動信号φ2に
より駆動される電極、出力部49及び49’から構成さ
れている。
【0011】第1色画素P41、第2色画素P42、第
3色画素P43において発生した信号電荷は、シフトゲ
ート44及び45によりそれぞれ電極E41、E42、
E43、E41’、E42’、E43’に移送された
後、CCDアナログシフトレジスタ46及び47により
それぞれ順次転送され、出力部49及び49’から点順
次出力信号として出力される。
【0012】固体撮像装置は、通常、信号電荷転送方向
の長さが信号電荷転送方向に直交する方向の幅に比して
非常に長い。したがって、上記画素の配列形態を採用す
ることにより、信号電荷転送方向に直交する方向の幅が
若干増加しても、信号電荷転送方向の長さを縮小するこ
とにより、固体撮像装置の高集積化を実現することがで
きる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図4の
点順次方式CCDリニアイメージセンサにおいては、そ
の構成上、以下のような問題点があった。
【0014】CCDリニアイメージセンサにおいては、
通常、その周辺に配設される他の回路等から発生する熱
や、製造工程におけるマスクの合わせずれによる画素、
電極の大きさのばらつき等に起因して、出力信号電荷中
の真の信号電荷出力の他に暗時電荷出力が発生する。
【0015】図3の点順次方式CCDリニアイメージセ
ンサのように単一のCCDアナログシフトレジスタを備
えた構成では、出力信号電荷中の暗時電荷出力の割合は
常にほぼ均一となるが、図4の点順次方式CCDリニア
イメージセンサのように2本のCCDアナログシフトレ
ジスタを備えた構成においては、一方のCCDアナログ
シフトレジスタ中で発生する暗時電荷出力の大きさと他
方のCCDアナログシフトレジスタ中で発生する暗時電
荷出力の大きさとは異なるのが通常である。したがっ
て、出力部49と出力部49’とにおける出力信号電荷
中の暗時電荷出力の割合は相違し、表示装置における表
示むら等の原因となる。
【0016】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、出力信号電荷中に含まれる暗時電荷出
力の割合をほぼ均一に保持しつつ、高集積化が可能な固
体撮像装置を提供することである。
【0017】
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明に係る固体撮像装
置によれば、複数の画素が配設された画素列と、複数の
転送電極が、画素列が配設される画素領域では画素列の
両側に2列に離間して各列配設され、転送されてきた信
号電荷を出力する出力部と画素領域との間において2列
が1列に合流するように配設され、かつ、画素からの信
号電荷出力を受け取るときは、2列の転送電極の信号電
荷転送方向に直交する方向においてそれぞれ対応する2
個の転送電極のうち一方の転送電極のみが信号電荷出力
を受け取って一方の転送電極下に存在する第1の暗時電
荷出力とともに転送し、他方の転送電極はその下に存在
する第2の暗時電荷出力のみを転送し、2列が1列に合
流する部分において信号電荷出力と第1の暗時電荷出力
と第2の暗時電荷出力とが足し合わされて出力されるC
CDシフトレジスタと、2列をなして配設された転送電
極の一方の列と画素列との間及び他方の列と画素列との
間にそれぞれ配設された2本のシフトゲートとを備えた
ことを特徴とし、CCDレジスタは、複数の転送電極
が、画素列が配設される画素領域では画素列の両側に2
列に離間して各列配設され、転送されてきた信号電荷を
出力する出力部と画素領域との間において2列が1列に
合流するように配設され、かつ、画素からの信号電荷出
力を受け取るときは、2列の転送電極の信号電荷転送方
向に直交する方向においてそれぞれ対応する2個の転送
電極のうち一方の転送電極のみが信号電荷出力を受け取
って一方の転送電極下に存在する第1の暗時電荷出力と
ともに転送し、他方の転送電極はその下に存在する第2
の暗時電荷出力のみを転送し、2列が1列に合流する部
分において信号電荷出力と第1の暗時電荷出力と第2の
暗時電荷出力とが足し合わされて出力されるものとした
ので、高集積化のため画素列を単純な直線状でない配列
形態とした場合であっても、出力信号電荷中に含まれる
暗時電荷出力の割合を均一化することができる。
【0019】一構成単位が複数色画素からなり、各色の
信号電荷を所定順序で出力する点順次方式により出力可
能な配列形態に画素が配設された画素列と、複数の転送
電極が、画素が配設される画素領域では画素列の両側に
略平行な2列に離間して各列直線状に配設され、転送さ
れてきた信号電荷を出力する出力部と画素領域との間に
おいて2列が1列に合流するように配設され、かつ、画
素からの信号電荷出力を受け取るときは、2列の転送電
極の信号電荷転送方向に直交する方向においてそれぞれ
対応する2個の転送電極のうち一方の転送電極のみが信
号電荷出力を受け取って一方の転送電極下に存在する第
1の暗時電荷出力とともに転送し、他方の転送電極はそ
の下に存在する第2の暗時電荷出力のみを転送し、2列
が1列に合流する部分において信号電荷出力と第1の暗
時電荷出力と第2の暗時電荷出力とが足し合わされて出
力されるCCDシフトレジスタと、転送電極が直線状に
配設された2列の一方の列と画素列との間及び他方の列
と画素列との間に、各列及び画素列に略平行にそれぞれ
配設された2本のシフトゲートとを備えたことを特徴と
し、CCDレジスタは、複数の転送電極が、画素が配設
される画素領域では画素列の両側に略平行な2列に離間
して各列直線状に配設され、転送されてきた信号電荷を
出力する出力部と画素領域との間において2列が1列に
合流するように配設され、かつ、画素からの信号電荷出
力を受け取るときは、2列の転送電極の信号電荷転送方
向に直交する方向においてそれぞれ対応する2個の転送
電極のうち一方の転送電極のみが信号電荷出力を受け取
って一方の転送電極下に存在する第1の暗時電荷出力と
ともに転送し、他方の転送電極はその下に存在する第2
の暗時電荷出力のみを転送し、2列が1列に合流する部
分において信号電荷出力と第1の暗時電荷出力と第2の
暗時電荷出力とが足し合わされて出力されるものとした
ので、高集積化のため画素列を単純な直線状でない配列
形態とした場合であっても、出力信号電荷中に含まれる
暗時電荷出力の割合を均一化することができる。
【0020】画素列は、3色の画素からなる画素列であ
るものとしたので、均一かつ高解像度のカラー撮像が可
能な固体撮像装置を高集積化することができる。
【0021】画素列は、2本のシフトゲートのうち一方
のシフトゲートに対し相互に隣接して配設された第1の
面積の第1色画素と、第1色画素及び他方のシフトゲー
トに対し相互に隣接して配設された第1の面積とほぼ同
一の面積の第2色画素と、第1色画素及び第2色画素並
びに一方及び他方のシフトゲートのすべてに対し相互に
隣接して配設された第1の面積の約2倍の面積の第3色
画素とを一構成単位とする画素列であるものとしたの
で、出力信号電荷中に含まれる暗時電荷出力の割合を均
一に保持しつつ、所定色の感度が向上したカラー撮像が
可能な固体撮像装置を高集積化することができる。
【0022】画素列は、2本のシフトゲートのうち一方
のシフトゲートに対し相互に隣接して配設された第1の
面積の第1色画素と、第1色画素及び一方のシフトゲー
トに対し相互に隣接して配設された第1の面積とほぼ同
一の面積の第2色画素と、第1色画素及び第2色画素並
びに他方のシフトゲートのすべてに対し相互に隣接して
配設された第1の面積の約2倍の面積の第3色画素とを
一構成単位とする画素列であるものとしたので、出力信
号電荷中に含まれる暗時電荷出力の割合を均一に保持し
つつ、所定色の感度が向上したカラー撮像が可能な固体
撮像装置を高集積化することができる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る固体撮像装置
の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0024】図1は、本発明に係る第1の点順次方式C
CDリニアイメージセンサの概略構成図であり、説明の
簡単のため信号出力部近傍の一構成単位分のみ示してい
る。
【0025】図1の本発明に係る第1の点順次方式CC
Dリニアイメージセンサには、画素領域において略平行
に配設されたCCDアナログシフトレジスタ16及び1
7と、これらCCDアナログシフトレジスタ16及び1
7の画素領域部分間に、それぞれに沿って略平行に配設
されたシフトゲート14及び15とが備えられ、これら
シフトゲート14及び15間に、画素列10が配設され
ている。CCDアナログシフトレジスタ16及び17
は、これらを構成する電極が、出力部近傍部18に近づ
くにしたがい徐々に相互に接近し、出力部近傍部18で
合流して1本のCCDアナログシフトレジスタとなり、
単一の共通出力部19を備えた構成となっており、当該
部分が本発明に係る固体撮像装置の最も特徴的な部分で
ある。
【0026】CCDアナログシフトレジスタ16及び1
7は、それぞれ第1の駆動信号φ1により駆動される電
極(E11、E12、E13、...及びE11’、E
12’、E13’、...)及び第2の駆動信号φ2に
より駆動される電極から構成され、さらに前述のよう
に、出力部近傍部18で合流して1本のCCDアナログ
シフトレジスタとなり、出力部近傍部18に備えられた
共通出力部19から構成されている。
【0027】画素列10の配列形態は、面積が同一でC
CDアナログシフトレジスタ16及び17の画素領域に
おける電荷転送方向と直交する方向に一方及び他方が相
互に隣接して配設された第1色画素P11及び第2色画
素P12と、面積が第1色画素P11または第2色画素
P12の約2倍でこれら第1色画素P11及び第2色画
素P12に隣接して配設された第3色画素P13とを一
単位とする配列形態となっている。
【0028】第1色画素P11、第2色画素P12、第
3色画素P13において発生した真の信号電荷出力は、
シフトゲート14及び15によりそれぞれ電極E11、
E12’、E13に移送される。
【0029】この際、CCDアナログシフトレジスタ1
6及び17を構成する各電極にはそれぞれ暗時電荷出力
が発生している。暗時電荷出力の大きさは周辺環境に影
響されるため、CCDアナログシフトレジスタ16を構
成する各電極に発生する暗時電荷出力の大きさは相互に
ほぼ均一であり、CCDアナログシフトレジスタ17を
構成する各電極に発生する暗時電荷出力の大きさも相互
にほぼ均一であると考えられるが、CCDアナログシフ
トレジスタ16を構成する各電極に発生する暗時電荷出
力の大きさとCCDアナログシフトレジスタ17を構成
する各電極に発生する暗時電荷出力の大きさとはある程
度差異があるのが通常である。本発明に係るCCDリニ
アイメージセンサにおいては、その構成上、最終的に出
力される出力信号電荷中の暗時電荷出力の割合は以下の
ように必然的に均一化されることとなる。
【0030】第1色画素P11において発生した真の信
号電荷出力S1がシフトゲート14によりCCDアナロ
グシフトレジスタ16の電極E11に移送されると、電
極E11中に発生し存在していた暗時電荷出力Q1と足
し合わされることになる。このとき同時にCCDアナロ
グシフトレジスタ17の電極E11’にも暗時電荷出力
Q1’が存在している。これら信号電荷出力は順次出力
部19に向かって転送されていき、出力部近傍部18に
おいて合流し足し合わされることとなる。すなわち、最
終的に出力部19から出力される出力信号電荷はS1+
Q1+Q1’となる。
【0031】第2色画素P12及び第3色画素P13に
おいて発生した真の信号電荷出力も同様に出力される。
第2色画素P12において発生した真の信号電荷出力S
2がシフトゲート15によりCCDアナログシフトレジ
スタ17の電極E12’に移送されると、電極E12’
中に発生し存在していた暗時電荷出力Q1’と足し合わ
されることになる。このとき同時にCCDアナログシフ
トレジスタ16の電極E12にも暗時電荷出力Q1が存
在している。これら信号電荷出力は順次出力部19に向
かって転送されていき、出力部近傍部18において合流
し足し合わされることとなる。すなわち、最終的に出力
部19から出力される出力信号電荷はS2+Q1+Q
1’となる。第3色画素P13において発生した真の信
号電荷出力S3がシフトゲート14によりCCDアナロ
グシフトレジスタ16の電極E13に移送されると、電
極E13中に発生し存在していた暗時電荷出力Q1と足
し合わされることになる。このとき同時にCCDアナロ
グシフトレジスタ17の電極E13’にも暗時電荷出力
Q1’が存在している。これら信号電荷出力は順次出力
部19に向かって転送されていき、出力部近傍部18に
おいて合流し足し合わされることとなる。すなわち、最
終的に出力部19から出力される出力信号電荷はS3+
Q1+Q1’となる。
【0032】以上のように、各画素において発生した信
号電荷出力は点順次方式で転送され、最終的に出力部か
ら出力される出力信号電荷中の暗時電荷出力は常にQ1
+Q1’となり、同一CCDアナログシフトレジスタを
構成する各電極中に発生し存在する暗時電荷出力の大き
さはほぼ均一であると考えられるので、Q1+Q1’の
大きさは常にほぼ一定であると考えることができ、出力
信号電荷中に含まれる暗時電荷出力の割合は均一化され
ることとなる。
【0033】また、本発明に係るCCDリニアイメージ
センサにおいては、第3色画素P13の開口面積が第1
色画素P11または第2色画素P12の開口面積に比し
て約2倍であることから、例えば、第1色、第2色、第
3色とされる3色のうちある1色についてのCCDリニ
アイメージセンサの感度が低い場合は、当該1色を画素
の開口面積が広い第3色とすることにより感度を向上さ
せることができ、全体としての色のバランスも改善する
ことができる。
【0034】さらに、前述したように、固体撮像装置
は、通常、信号電荷転送方向の長さが信号電荷転送方向
に直交する方向の幅に比して非常に長く、したがって、
本発明に係るCCDリニアイメージセンサの画素の配列
形態を採用することにより、信号電荷転送方向に直交す
る方向の幅が若干増加しても、信号電荷転送方向の長さ
を約2/3に縮小することにより、固体撮像装置の高集
積化を実現することができる。
【0035】図2は、本発明に係る第2の点順次方式C
CDリニアイメージセンサの概略構成図であり、説明の
簡単のため信号出力部近傍の一構成単位分のみ示してい
る。本発明に係る第2の点順次方式CCDリニアイメー
ジセンサの構成は、画素の配列形態を除き、本発明に係
る第1の点順次方式CCDリニアイメージセンサの構成
と同様の構成である。
【0036】すなわち、図2の本発明に係る第2の点順
次方式CCDリニアイメージセンサには、画素領域にお
いて略平行に配設されたCCDアナログシフトレジスタ
26及び27と、これらCCDアナログシフトレジスタ
26及び27の画素領域部分間に、それぞれに沿って略
平行に配設されたシフトゲート24及び25とが備えら
れ、これらシフトゲート24及び25間に、画素列20
が配設されている。CCDアナログシフトレジスタ26
及び27は、これらを構成する電極が、出力部近傍部2
8に近づくにしたがい徐々に相互に接近し、出力部近傍
部28で合流して1本のCCDアナログシフトレジスタ
となり、単一の共通出力部29を備えた構成となってお
り、当該部分が本発明に係る固体撮像装置の最も特徴的
な部分であることは、本発明に係る第1の点順次方式C
CDリニアイメージセンサと同様である。
【0037】CCDアナログシフトレジスタ26及び2
7は、それぞれ第1の駆動信号φ1により駆動される電
極(E21、E22、E23、...及びE21’、E
22’、E23’、...)及び第2の駆動信号φ2に
より駆動される電極から構成され、さらに前述のよう
に、出力部近傍部28で合流して1本のCCDアナログ
シフトレジスタとなり、出力部近傍部28に備えられた
共通出力部29から構成されている。
【0038】画素列20の配列形態は、面積が同一でC
CDアナログシフトレジスタ26及び27の画素領域に
おける電荷転送方向に一方及び他方が相互に隣接し、か
つ、それぞれシフトゲート24に隣接して配設された第
1色画素P21及び第3色画素P23と、面積が第1色
画素P21または第3色画素P23の約2倍でこれら第
1色画素P21及び第3色画素P23とシフトゲート2
5との間に配設された第2色画素P22とを一単位とす
る配列形態となっている。
【0039】この構成により、本発明に係る第1のCC
Dリニアイメージセンサと同様の効果を得ることができ
る。
【0040】画素の配列形態は、出力信号電荷を点順次
方式で転送することができる配列形態であれば、例え
ば、図1における第1色画素P11及び第2色画素P1
2と第3色画素P13とを入れ換える配列、図2におけ
る第1色画素P21及び第3色画素P23と第2色画素
P22とを入れ換える配列、あるいはその他の配列形態
としても良い。
【0041】
【0042】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る固体
撮像装置によれば、CCDレジスタは、複数の転送電極
が、画素列が配設される画素領域では画素列の両側に2
列に離間して各列配設され、転送されてきた信号電荷を
出力する出力部と画素領域との間において2列が1列に
合流するように配設され、かつ、画素からの信号電荷出
力を受け取るときは、2列の転送電極の信号電荷転送方
向に直交する方向においてそれぞれ対応する2個の転送
電極のうち一方の転送電極のみが信号電荷出力を受け取
って一方の転送電極下に存在する第1の暗時電荷出力と
ともに転送し、他方の転送電極はその下に存在する第2
の暗時電荷出力のみを転送し、2列が1列に合流する部
分において信号電荷出力と第1の暗時電荷出力と第2の
暗時電荷出力とが足し合わされて出力されるものとした
ので、高集積化のため画素列を単純な直線状でない配列
形態とした場合であっても、出力信号電荷中に含まれる
暗時電荷出力の割合を均一化することができる。
【0043】あるいは、CCDレジスタは、複数の転送
電極が、画素が配設される画素領域では画素列の両側に
略平行な2列に離間して各列直線状に配設され、転送さ
れてきた信号電荷を出力する出力部と画素領域との間に
おいて2列が1列に合流するように配設され、かつ、画
素からの信号電荷出力を受け取るときは、2列の転送電
極の信号電荷転送方向に直交する方向においてそれぞれ
対応する2個の転送電極のうち一方の転送電極のみが信
号電荷出力を受け取って一方の転送電極下に存在する第
1の暗時電荷出力とともに転送し、他方の転送電極はそ
の下に存在する第2の暗時電荷出力のみを転送し、2列
が1列に合流する部分において信号電荷出力と第1の暗
時電荷出力と第2の暗時電荷出力とが足し合わされて出
力されるものとしたので、高集積化のため画素列を単純
な直線状でない配列形態とした場合であっても、出力信
号電荷中に含まれる暗時電荷出力の割合を均一化するこ
とができる。
【0044】画素列は、3色の画素からなる画素列であ
るものとしたので、均一かつ高解像度のカラー撮像が可
能な固体撮像装置を高集積化することができる。
【0045】画素列は、2本のシフトゲートのうち一方
のシフトゲートに対し相互に隣接して配設された第1の
面積の第1色画素と、第1色画素及び他方のシフトゲー
トに対し相互に隣接して配設された第1の面積とほぼ同
一の面積の第2色画素と、第1色画素及び第2色画素並
びに一方及び他方のシフトゲートのすべてに対し相互に
隣接して配設された第1の面積の約2倍の面積の第3色
画素とを一構成単位とする画素列であるものとしたの
で、出力信号電荷中に含まれる暗時電荷出力の割合を均
一に保持しつつ、所定色の感度が向上したカラー撮像が
可能な固体撮像装置を高集積化することができる。
【0046】画素列は、2本のシフトゲートのうち一方
のシフトゲートに対し相互に隣接して配設された第1の
面積の第1色画素と、第1色画素及び一方のシフトゲー
トに対し相互に隣接して配設された第1の面積とほぼ同
一の面積の第2色画素と、第1色画素及び第2色画素並
びに他方のシフトゲートのすべてに対し相互に隣接して
配設された第1の面積の約2倍の面積の第3色画素とを
一構成単位とする画素列であるものとしたので、出力信
号電荷中に含まれる暗時電荷出力の割合を均一に保持し
つつ、所定色の感度が向上したカラー撮像が可能な固体
撮像装置を高集積化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る第1のCCDリニアイメージセン
サの概略構成図。
【図2】本発明に係る第2のCCDリニアイメージセン
サの概略構成図。
【図3】従来の点順次方式CCDリニアイメージセンサ
の概略構成図。
【図4】画素列の配列形態に特徴がある従来の点順次方
式CCDリニアイメージセンサの概略構成図。
【符号の説明】
10、20、30、40、40A、40B 画素列 P11、P21、P31、P41 第1色画素 P12、P22、P32、P42 第2色画素 P13、P23、P33、P43 第3色画素 E11〜E13、E11’〜E13’、E21〜E2
3、E21’〜E23’、 E31〜E33、E41〜E43、E41’〜E43’
転送電極 14、15、24、25、34、44、45 シフトゲ
ート 16、17、26、27、36、46、47 CCDア
ナログシフトレジスタ 18、28 出力部近傍部 19、29、39、49、49’ 出力部
フロントページの続き (72)発明者 早 川 良 広 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地1 東芝マイクロエレクトロニクス株式会 社内 (72)発明者 山 田 哲 生 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地1 東芝マイクロエレクトロニクス株式会 社内 (56)参考文献 特開 平7−46371(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/339 H01L 27/148 H01L 29/762 H04N 5/335 H04N 9/07

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の画素が配設された画素列と、 複数の転送電極が、前記画素列が配設される画素領域で
    は前記画素列の両側に2列に離間して各列配設され、転
    送されてきた信号電荷を出力する出力部と前記画素領域
    との間において前記2列が1列に合流するように配設さ
    れ、かつ、前記画素からの信号電荷出力を受け取るとき
    は、前記2列の前記転送電極の信号電荷転送方向に直交
    する方向においてそれぞれ対応する2個の前記転送電極
    のうち一方の前記転送電極のみが前記信号電荷出力を受
    け取って前記一方の前記転送電極下に存在する第1の暗
    時電荷出力とともに転送し、他方の前記転送電極はその
    下に存在する第2の暗時電荷出力のみを転送し、前記2
    列が前記1列に合流する部分において前記信号電荷出力
    と前記第1の暗時電荷出力と前記第2の暗時電荷出力と
    が足し合わされて出力されるCCDシフトレジスタと、 前記2列をなして配設された前記転送電極の一方の列と
    前記画素列との間及び他方の列と前記画素列との間にそ
    れぞれ配設された2本のシフトゲートとを備えたことを
    特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】一構成単位が複数色画素からなり、各色の
    信号電荷を所定順序で出力する点順次方式により出力可
    能な配列形態に画素が配設された画素列と、 複数の転送電極が、前記画素が配設される画素領域では
    前記画素列の両側に略平行な2列に離間して各列直線状
    に配設され、転送されてきた信号電荷を出力する出力部
    と前記画素領域との間において前記2列が1列に合流す
    るように配設され、かつ、前記画素からの信号電荷出力
    を受け取るときは、前記2列の前記転送電極の信号電荷
    転送方向に直交する方向においてそれぞれ対応する2個
    の前記転送電極のうち一方の前記転送電極のみが前記信
    号電荷出力を受け取って前記一方の前記転送電極下に存
    在する第1の暗時電荷出力とともに転送し、他方の前記
    転送電極はその下に存在する第2の暗時電荷出力のみを
    転送し、前記2列が前記1列に合流する部分において前
    記信号電荷出力と前記第1の暗時電荷出力と前記第2の
    暗時電荷出力とが足し合わされて出力されるCCDシフ
    トレジスタと、 前記転送電極が直線状に配設された前記2列の一方の列
    と前記画素列との間及び他方の列と前記画素列との間
    に、前記各列及び前記画素列に略平行にそれぞれ配設さ
    れた2本のシフトゲートとを備えたことを特徴とする固
    体撮像装置。
  3. 【請求項3】請求項1又は2に記載の固体撮像装置にお
    いて、前記画素列は、3色の画素からなる画素列である
    ことを特徴とする固体撮像装置。
  4. 【請求項4】請求項3に記載の固体撮像装置において、
    前記画素列は、前記2本のシフトゲートのうち一方のシ
    フトゲートに対し相互に隣接して配設された第1の面積
    の第1色画素と、前記第1色画素及び前記他方のシフト
    ゲートに対し相互に隣接して配設された前記第1の面積
    とほぼ同一の面積の第2色画素と、前記第1色画素及び
    第2色画素並びに前記一方及び他方のシフトゲートのす
    べてに対し相互に隣接して配設された前記第1の面積の
    約2倍の面積の第3色画素とを一構成単位とする画素列
    であることを備えたことを特徴とする固体撮像装置。
  5. 【請求項5】請求項3に記載の固体撮像装置において、
    前記画素列は、前記2本のシフトゲートのうち一方のシ
    フトゲートに対し相互に隣接して配設された第1の面積
    の第1色画素と、前記第1色画素及び前記一方のシフト
    ゲートに対し相互に隣接して配設された前記第1の面積
    とほぼ同一の面積の第2色画素と、前記第1色画素及び
    第2色画素並びに前記他方のシフトゲートのすべてに対
    し相互に隣接して配設された前記第1の面積の約2倍の
    面積の第3色画素とを一構成単位とする画素列であるこ
    とを備えたことを特徴とする固体撮像装置。
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