JP3282197B2 - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JP3282197B2 JP3282197B2 JP30879891A JP30879891A JP3282197B2 JP 3282197 B2 JP3282197 B2 JP 3282197B2 JP 30879891 A JP30879891 A JP 30879891A JP 30879891 A JP30879891 A JP 30879891A JP 3282197 B2 JP3282197 B2 JP 3282197B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- manufacturing
- glass
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、酸化物磁性材料である
フェライトを用いた磁気ヘッドの製造方法に関する。
フェライトを用いた磁気ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】以下に従来の磁気ヘッドの製造方法につ
いて説明する。
いて説明する。
【０００３】図８に示すように、巻線窓を有するＣ字型
形状のフェライトコア１と、Ｉ字型形状のフェライトコ
ア２の各フェライトコアの突合わせ面は、変質層を除去
してある。
形状のフェライトコア１と、Ｉ字型形状のフェライトコ
ア２の各フェライトコアの突合わせ面は、変質層を除去
してある。
【０００４】図９に示すように、フェライトコア１の突
合わせ面にセンダストの磁性薄膜３を成膜した後、図１
０に示すように、磁性薄膜３の上に磁気ギャップとなる
ガラス薄膜５を所定の厚さで成膜する。図１１に示すよ
うに２つのフェライトコア１，２を重ね合わせ治具によ
り加圧した後、フロントボンディングガラス６を挿入
し、電気炉にて加熱する工程を経て、ガラス薄膜５と溶
融したフロントボンディングガラス６でフェライトコア
１，２を強固に接合させる。この後、所定寸法に加工し
てメタルインギャップタイプの磁気ヘッドとする。
合わせ面にセンダストの磁性薄膜３を成膜した後、図１
０に示すように、磁性薄膜３の上に磁気ギャップとなる
ガラス薄膜５を所定の厚さで成膜する。図１１に示すよ
うに２つのフェライトコア１，２を重ね合わせ治具によ
り加圧した後、フロントボンディングガラス６を挿入
し、電気炉にて加熱する工程を経て、ガラス薄膜５と溶
融したフロントボンディングガラス６でフェライトコア
１，２を強固に接合させる。この後、所定寸法に加工し
てメタルインギャップタイプの磁気ヘッドとする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の方法では、磁性薄膜５の特性劣化を少なくする温度
領域においては、磁性薄膜５上でのフロントボンディン
グガラス６の流動性が悪く、付着強度が弱く、またガラ
スクラックとかコアはずれが発生するという問題点を有
していた。
来の方法では、磁性薄膜５の特性劣化を少なくする温度
領域においては、磁性薄膜５上でのフロントボンディン
グガラス６の流動性が悪く、付着強度が弱く、またガラ
スクラックとかコアはずれが発生するという問題点を有
していた。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、フロントボンディングガラスの流動性を良くして付
着強度を高め、ガラスクラックやコアはずれが発生しな
い信頼性の高い磁気ヘッドの製造方法を提供することを
目的とする。
で、フロントボンディングガラスの流動性を良くして付
着強度を高め、ガラスクラックやコアはずれが発生しな
い信頼性の高い磁気ヘッドの製造方法を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の磁気ヘッドの製造方法は、一対の磁気コアの
少なくとも一方のギャップ突き合わせ面に形成された変
質層を除去した後に、ギャップ突き合わせ面に高磁束密
度を有する一層の磁性薄膜を３μｍ未満の厚さに成膜
し、磁性薄膜の上に一層のフェライト薄膜をスパッタリ
ングにより０.０４μｍ以上０.０８μｍ未満の厚さで成
膜した後、フェライト薄膜の上に磁気ギャップとなるガ
ラス薄膜を形成し、その後に一対の磁気コアをボンディ
ングガラスを用いて接合する構成を有している。
に本発明の磁気ヘッドの製造方法は、一対の磁気コアの
少なくとも一方のギャップ突き合わせ面に形成された変
質層を除去した後に、ギャップ突き合わせ面に高磁束密
度を有する一層の磁性薄膜を３μｍ未満の厚さに成膜
し、磁性薄膜の上に一層のフェライト薄膜をスパッタリ
ングにより０.０４μｍ以上０.０８μｍ未満の厚さで成
膜した後、フェライト薄膜の上に磁気ギャップとなるガ
ラス薄膜を形成し、その後に一対の磁気コアをボンディ
ングガラスを用いて接合する構成を有している。
【０００８】
【作用】この方法により、フロントボンディングガラス
の流動性が良くなり、付着強度を強くすることとなる。
の流動性が良くなり、付着強度を強くすることとなる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１０】本発明の一実施例を示す図１ないし図５で
は、従来例と同一部品に同一番号を付して説明は省略す
る。
は、従来例と同一部品に同一番号を付して説明は省略す
る。
【００１１】図１に示した突合わせ面の変質層を除去し
たフェライトコア１，２を用い、図２に示すように、フ
ェライトコア１の突合わせ面にセンダストの磁性薄膜３
を１.８μｍの膜厚にスパッタリングにより成膜する。
たフェライトコア１，２を用い、図２に示すように、フ
ェライトコア１の突合わせ面にセンダストの磁性薄膜３
を１.８μｍの膜厚にスパッタリングにより成膜する。
【００１２】磁性薄膜の厚さが３μｍ以上になるとセン
ダストとフェライト間の熱膨張係数の差により応力が大
きくなりフェライトにクラックが発生しやすくなる。
ダストとフェライト間の熱膨張係数の差により応力が大
きくなりフェライトにクラックが発生しやすくなる。
【００１３】次に図３に示すように、磁性薄膜３の上に
フェライト膜４を０.０４μｍの厚さになるように成膜
する。このときフェライト膜４が０.０８μｍ以上の厚
さになるとギャップ長を制御し難くなり、また０.０３
μｍ未満の厚さではガラスの流動性が悪くなる。
フェライト膜４を０.０４μｍの厚さになるように成膜
する。このときフェライト膜４が０.０８μｍ以上の厚
さになるとギャップ長を制御し難くなり、また０.０３
μｍ未満の厚さではガラスの流動性が悪くなる。
【００１４】次に図４に示すように、磁気ギャップを構
成する面に、磁気ギャップとなる石英ガラス，鉛ガラス
などのガラス薄膜５をスパッタリングにより所定の厚さ
に成膜する。
成する面に、磁気ギャップとなる石英ガラス，鉛ガラス
などのガラス薄膜５をスパッタリングにより所定の厚さ
に成膜する。
【００１５】ついで、２つのフェライトコア１，２を重
ね合わせ治具により加圧した後、ガラス薄膜５のガラス
の融点より５０℃以上低い融点のボンディングガラス
（ＳｉＯ2−ＰｂＯ−Ｌｉ2Ｏ−Ｎａ2Ｏ−Ｋ2Ｏ−Ａｌ2
Ｏ3系，転移点３７２℃）６を挿入して、電気炉にて５
５０℃で加熱溶着する。
ね合わせ治具により加圧した後、ガラス薄膜５のガラス
の融点より５０℃以上低い融点のボンディングガラス
（ＳｉＯ2−ＰｂＯ−Ｌｉ2Ｏ−Ｎａ2Ｏ−Ｋ2Ｏ−Ａｌ2
Ｏ3系，転移点３７２℃）６を挿入して、電気炉にて５
５０℃で加熱溶着する。
【００１６】本実施例の磁気ヘッドの製造方法による磁
気ヘッドのフロントボンディングガラス６と磁性薄膜３
の間の接合状態を顕微鏡により観察した結果を図６に模
式的に図示した。図６よりわかるようにフロントボンデ
ィングガラス６と磁性薄膜３の間には隙間はできずガラ
スクラックは発生していない。それに対し、従来の磁気
ヘッド製造方法による磁気ヘッドのフロントボンディン
グガラス６と磁性薄膜３の間の接合状態を顕微鏡により
観察し、模式的に図示した図７よりわかるように、フロ
ントボンディングガラス６と磁性薄膜３との間に隙間７
ができ、この隙間７よりガラスクラックやコアはずれが
発生する。
気ヘッドのフロントボンディングガラス６と磁性薄膜３
の間の接合状態を顕微鏡により観察した結果を図６に模
式的に図示した。図６よりわかるようにフロントボンデ
ィングガラス６と磁性薄膜３の間には隙間はできずガラ
スクラックは発生していない。それに対し、従来の磁気
ヘッド製造方法による磁気ヘッドのフロントボンディン
グガラス６と磁性薄膜３の間の接合状態を顕微鏡により
観察し、模式的に図示した図７よりわかるように、フロ
ントボンディングガラス６と磁性薄膜３との間に隙間７
ができ、この隙間７よりガラスクラックやコアはずれが
発生する。
【００１７】
【発明の効果】以上の実施例の説明からも明らかなよう
に本発明は、一対の磁気コアの少なくとも一方のギャッ
プ突き合わせ面に形成された変質層を除去した後に、ギ
ャップ突き合わせ面に高磁束密度を有する一層の磁性薄
膜を３μｍ未満の厚さに成膜し、磁性薄膜の上に一層の
フェライト薄膜をスパッタリングにより０.０４μｍ以
上０.０８μｍ未満の厚さで成膜した後、フェライト薄
膜の上に磁気ギャップとなるガラス薄膜を形成し、その
後に一対の磁気コアをボンディングガラスを用いて接合
する構成を有していることにより、フロントボンディン
グガラスの流動性が良くなり付着強度を高め、ガラスク
ラックやコアはずれが発生しない信頼性の高い優れた磁
気ヘッドの製造方法を実現できるものである。
に本発明は、一対の磁気コアの少なくとも一方のギャッ
プ突き合わせ面に形成された変質層を除去した後に、ギ
ャップ突き合わせ面に高磁束密度を有する一層の磁性薄
膜を３μｍ未満の厚さに成膜し、磁性薄膜の上に一層の
フェライト薄膜をスパッタリングにより０.０４μｍ以
上０.０８μｍ未満の厚さで成膜した後、フェライト薄
膜の上に磁気ギャップとなるガラス薄膜を形成し、その
後に一対の磁気コアをボンディングガラスを用いて接合
する構成を有していることにより、フロントボンディン
グガラスの流動性が良くなり付着強度を高め、ガラスク
ラックやコアはずれが発生しない信頼性の高い優れた磁
気ヘッドの製造方法を実現できるものである。
【図１】本発明の一実施例の磁気ヘッドの製造方法のフ
ェライトコアの斜視図
ェライトコアの斜視図
【図２】同磁気ヘッドの製造方法で図１のフェライトコ
アに磁性薄膜を成膜した状態を示す斜視図
アに磁性薄膜を成膜した状態を示す斜視図
【図３】同磁気ヘッドの製造方法で図２のフェライトコ
アにフェライト膜を成膜した状態を示す斜視図
アにフェライト膜を成膜した状態を示す斜視図
【図４】同磁気ヘッドの製造方法で図３のフェライトコ
アにガラス薄膜を成膜した状態を示す斜視図
アにガラス薄膜を成膜した状態を示す斜視図
【図５】同磁気ヘッドの製造方法で図４のフェライトコ
アを密着させ、ギャップ部にフロントボンディングガラ
スを挿入した状態を示す斜視図
アを密着させ、ギャップ部にフロントボンディングガラ
スを挿入した状態を示す斜視図
【図６】同磁気ヘッドの製造方法による磁気ヘッドの要
部断面図
部断面図
【図７】従来の磁気ヘッドの製造方法による磁気ヘッド
の要部断面図
の要部断面図
【図８】同磁気ヘッドの製造方法のフェライトコアの斜
視図
視図
【図９】同磁気ヘッドの製造方法で図８のフェライトコ
アに磁性薄膜を成膜した状態を示す斜視図
アに磁性薄膜を成膜した状態を示す斜視図
【図１０】同磁気ヘッドの製造方法で図９のフェライト
コアにガラス薄膜を成膜した状態を示す斜視図
コアにガラス薄膜を成膜した状態を示す斜視図
【図１１】同磁気ヘッドの製造方法で図１０のフェライ
トコアを密着させ、ギャップ部にフロントボンディング
ガラスを挿入した状態を示す斜視図
トコアを密着させ、ギャップ部にフロントボンディング
ガラスを挿入した状態を示す斜視図
１ フェライトコア ２ フェライトコア ３ 磁性薄膜 ４ フェライト膜 ５ ガラス薄膜 ６ フロントボンディングガラス
Claims (1)
- 【請求項１】 一対の磁気コアで形成する磁気ギャップ
を有する磁気ヘッドの製造方法であって、一対の磁気コ
アの少なくとも一方のギャップ突き合わせ面に形成され
た変質層を除去した後に、前記ギャップ突き合わせ面に
高磁束密度を有する一層の磁性薄膜を３μｍ未満の厚さ
に成膜し、前記磁性薄膜の上に一層のフェライト薄膜を
スパッタリングにより０.０４μｍ以上０.０８μｍ未満
の厚さで成膜した後、前記フェライト薄膜の上に磁気ギ
ャップとなるガラス薄膜を形成し、その後に前記一対の
磁気コアをボンディングガラスを用いて接合する磁気ヘ
ッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30879891A JP3282197B2 (ja) | 1991-11-25 | 1991-11-25 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30879891A JP3282197B2 (ja) | 1991-11-25 | 1991-11-25 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05143923A JPH05143923A (ja) | 1993-06-11 |
| JP3282197B2 true JP3282197B2 (ja) | 2002-05-13 |
Family
ID=17985439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30879891A Expired - Fee Related JP3282197B2 (ja) | 1991-11-25 | 1991-11-25 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3282197B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6885427B2 (en) | 2002-03-15 | 2005-04-26 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus for liquid crystal display device having alignment system with one end provided inside vacuum chamber |
-
1991
- 1991-11-25 JP JP30879891A patent/JP3282197B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05143923A (ja) | 1993-06-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6219398B2 (ja) | ||
| JP3282197B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0152808B2 (ja) | ||
| JPS6226089B2 (ja) | ||
| JPH0477963B2 (ja) | ||
| JPH0778853B2 (ja) | 浮動型磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| JP3114220B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP3151855B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP2874787B2 (ja) | 合金磁性薄膜積層体の製造方法 | |
| JPS635802B2 (ja) | ||
| JPH05166126A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS6265215A (ja) | 磁気ヘツド用コアのギヤツプ部接合方法 | |
| JPH0620214A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH06231440A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH10283610A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH02276010A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0548242Y2 (ja) | ||
| JPS6254807A (ja) | 磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| JPS6265214A (ja) | 磁気ヘツド用コアのギヤツプ部接合方法 | |
| JPH0334124B2 (ja) | ||
| JPH03194711A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH01109504A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH05143924A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH09161216A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法および磁気ヘッド | |
| JPH0235619A (ja) | 浮上型複合磁気ヘッド及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |