JP3265005B2 - 平面研摩装置 - Google Patents

平面研摩装置

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JP3265005B2
JP3265005B2 JP30121292A JP30121292A JP3265005B2 JP 3265005 B2 JP3265005 B2 JP 3265005B2 JP 30121292 A JP30121292 A JP 30121292A JP 30121292 A JP30121292 A JP 30121292A JP 3265005 B2 JP3265005 B2 JP 3265005B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、保持プレートに装着さ
れた平板状のワークを水平回転する研摩定盤上に押圧し
て研摩する平面研摩装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶テレビ用その他の薄形ガラス
板のような平面板の鏡面研摩を行うには、機枠に昇降可
能として設けた保持プレートに前記ワークを装着し、こ
れを下降させて水平回転している研摩定盤上へと押圧
し、所定の研摩材、スラリーの供給の下に鏡面研摩仕上
を行い、研摩終了後、保持プレートを上昇させて研摩定
盤上で前記ワークの取外しを行い、次工程へ送出してい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、薄形ガ
ラス板のようなワークは、搬送及び保持プレートに対す
る着脱あるいな研摩面の洗浄、清掃等の作業が厄介で、
ワークに損傷や歪みを生ずる可能性があり、特に、下向
きとされた保持プレートのワーク密着面に設けられる案
内枠内にワークを入れ込む作業は、前記案内枠とワーク
との隙間が極めて小さいため困難で熟練を要する。しか
も、このように作業が厄介であるため、1台の研摩機械
に少なくとも1名の作業員をつける必要があって生産性
が無いうえ、ワークの搬送、研摩及びその着脱等よりな
る作業工程を生産ラインとして自動連続化することが困
難である等の課題がある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は前記のような課
題を解決した平面研摩装置を提供するもので、機枠上に
水平回転可能な研摩定盤と縦型の回転軸を所要の間隔を
おいて配置して該回転軸の上端に張設した揺動アームの
下面に保持プレートが下端に設けられた昇降可能なプレ
ート軸を取付けて該保持プレートに係脱自在なワーク保
持パレットに保持させたワークを前記研摩定盤に押圧す
ることにより研摩を行う研摩機本体を設置した研摩ステ
ーションと、該研摩機本体の側方の前記揺動アームによ
る保持プレートの揺動軌跡下にあって前記保持プレート
に対するワーク保持パレットの脱着を行うパレット脱着
ステーションと、該パレット脱着ステーションの隣接位
置にあって前記ワーク保持パレットからのワークの取外
しとワーク保持パレットへのワーク装着を行うワーク脱
着ステーションとを備えた平面研摩装置であって、パレ
ット脱着ステーションにはパレットの昇降搬出装置が設
置されており、また、前記ワーク脱着ステーションには
昇降搬出装置のパレット送出側に設けたパレットの反転
装置と、そのパレット送出側にあってパレットの送出方
向と直交する方向に往復可能で該反転装置から送出され
るパレットを受け取るワーク交換用の作業台車と、この
作業台車のパレット送出側にあって新規ワークを装着し
たパレットを再反転させる再反転装置と、該再反転装置
のパレット送出側にあって新規ワークが装着されたパレ
ットを受取ったうえ前記昇降搬出装置側へ送入可能とす
る搬入装置とが配設されていることを特徴とするもので
ある。
【0005】
【実施例】次に、本発明を図示の実施例に基づいて詳細
に説明する。図1〜図3において、1は研摩機本体であ
って、該研摩機本体1は機枠の上部フレーム2に上面を
研摩面とする研摩定盤3が軸受4に軸支されて下端の駆
動装置5により水平回転可能とされるとともに、研摩定
盤3側方に縦形の回転軸6を軸支してその上端には搖動
アーム7を水平状に取付けて下端のモータ、歯車等より
なる回動装置8に連結してある。そして、搖動アーム7
の先端には縦形のプレート軸9が昇降可能として設けて
あり、その上端は搖動フレーム7に固定した流体圧シリ
ンダ10のピストンロッドに連結してあり、また、プレ
ート軸9の下端には後記するワーク保持パレット22を
保持する保持プレート11が軸受部12により水平回転
自在に取付けてあり、この保持プレート11の対応する
両側端にはワーク保持パレット22を着脱する係止部1
3が設けてある。
【0006】この係止部13は図4に示すように、保持
プレート11の対応する両側に嵌着孔14を形成すると
ともに該嵌着孔14に先端を出没可能に保持プレート1
1のがわめんよりに穿設した案内孔11aに係止ピン1
5を摺動自在に挿通し、該係止ピン15の基端には係止
片16を固定したもので、係止片16の両側には流体圧
等による作動シリンダ17、18が対向して一対配設し
てあり、該作動シリンダ17、18は搖動アーム7の先
端側下部に取り付けた支持アーム19に水平状として取
り付けられてそれぞれのピストンロッド20、21が係
止片16を挟んで対向位置され、該ピストンロッド2
0、21の前進により係止ピン15は係止片16を介し
て左右に進退動され、その先端側が嵌着孔14に出没す
るようになっている。
【0007】22は平板状をしたワーク保持パレット
で、該ワーク保持パレット22は図5、図6に示すよう
に、表面にワークの外形寸法に対応した若干広めでワー
クの厚さより薄い案内枠23が突設してあり、その内側
により区画されるパレット面にはワーク密着保持用のフ
ェルト等よりなる吸着体24が貼着させてある。また、
裏面の両側寄りには保持プレート11への着脱用の取付
ピン25がそれぞれ突設してあり、該取付ピン25は図
4に示すように保持プレート11の嵌着孔14に遊嵌可
能に配設され、その中間部には係止ピン15が挿通され
る係合孔26が穿設してある。なお、27はワーク保持
パレット22へのワーク着脱を容易にするため、案内枠
23を通してワーク保持パレット22に形成される作業
孔であり、このような研摩機本体1は研摩ステーション
100に設置されている。
【0008】28は研摩機本体1の機枠の側方に位置す
るように研摩ステーション100の側方に設けられるパ
レット脱着ステーション200に配設したワーク保持パ
レットの昇降排出装置で、該昇降排出装置28は研摩機
本体1の前記揺動アーム7による保持プレート11の揺
動軌跡下にあって、保持プレート11に保持されたワー
ク保持パレット22は図1に示すように、回動装置8に
よる回動軸6の回動によって搖動する搖動アーム7によ
り昇降搬出装置28上と研摩定盤3上に交互に位置され
る構成としてある。そして、この昇降搬出装置28は図
7の右側に示すように、対向する一対のフレーム29、
29を有し、両フレーム29の上部には適数個の搬出用
ローラ30が相互間にワーク保持パレット22を受取り
可能な間隔を設けて対向状に軸支され、また、フレーム
29、29間にはリフタ31が設置してあり、その昇降
プレート32は流体圧シリンダ33により昇降可能とさ
れ、搖動アーム7により昇降搬出装置28上に位置させ
たワーク保持パレット22を昇降プレート32を上昇さ
せて受け取るとともに、該昇降プレート32を下降させ
ることにより前記ワーク保持パレット22をフレーム2
9のローラ30上へ写し替え可能としてある。更に、研
摩定盤3の側方の昇降搬出装置28の外側には、取付台
34に支持させた流体圧シリンダ35がその軸線をフレ
ーム29に平行として設けてあり、そのピストンロッド
の先端に取付けた作動片36の前進により、ローラ30
上の前記ワーク保持パレット22は昇降搬出装置28の
開放側であるパレット送出側Aへ送出される。
【0009】37は昇降搬出装置28のパレット送出側
Aに配設したワーク保持パレット22の反転装置で、該
反転装置37は図8、図9に示すように、対向する一対
のフレーム38、38を有し、両フレーム38の上部に
は軸受39、39が取付けてある。40は両軸受39間
に位置される一対の側板で、該側板40のそれぞれの外
方へ突設させた反転軸41、41はそれぞれ軸受39、
39に軸支されているとともに、両側板40は適数個の
連結バー42により所定の間隔として一体状に連結さ
れ、従って、側板40、40はフレーム38上で反転軸
41、41を中心に反転自在となっている。そして、側
板40のそれぞれの対向面には、前記同様のローラ30
が上下2列として軸支され、上下のローラ30の間隔は
パレット22がその側方上下を該ローラ30、30の転
送面により挟まれた状態で通過可能となるように位置決
めしてる。また、一方の反転軸41には鎖車43が固定
され、ローラーチェーン44を介して反転用モータ45
の鎖車46と連結されている。
【0010】47は反転装置37のパレット送出側Bに
設けられるワーク交換用の作業台車で、該作業台車47
上で作業者により研摩済ワークと新規ワークとの取り替
えが行われる。作業台車47の台車本体48は図10に
示すように、反転装置37のワーク保持パレット22の
送出方向と直交する方向に立設した一対の対向するフレ
ーム49上に取り付けたレール50、50上を車輪等の
係合体51を介して往復動可能とされている。そして、
台車本体48上には、反転装置37により反転されて上
方をワーク側として排出されるワーク保持パレット22
を受取り可能に、前記同様のローラ30が同様な間隔と
して対向状に軸支させてあり、また、両フレーム49間
には作業台車47を駆動させる流体圧シリンダ52が平
行して設けてあり、その作動片53は台車本体48の図
示されない連結部と係合可能としてある。更に、両フレ
ーム49の端部には取付台54が立設されてこれに流体
圧シリンダ55がその軸線を前記流体圧シリンダ52の
軸線と直交する方向として取付けてあり、そのピストン
ロッドの作業片56により前進した作業台車47上の新
規ワークが上面に装着されたワーク保持パレット22
は、昇降搬出装置28等のパレット搬出方向とは逆方向
へ押出され、すなわち、パレット送出側Cへ送出され
る。
【0011】また、パレット送出側Cには再反転装置5
7がワーク保持パレット22を受取可能として配設さ
れ、該再反転装置57は前記反転装置37と同構造とな
っている。そして、反転装置57のパレット送出側Dに
は、反転により新規ワーク側を下側としたワーク保持パ
レット22を受け取って昇降搬出装置28の方向へ送入
する搬入装置58が配設してある。この搬入装置58は
図7に示すように、反転装置57よりのパレット22を
受取可能として前記同様のローラ30を軸支した一対の
フレーム59、59と該フレーム59、59及び昇降搬
出装置28の全体を取囲む細長い枠状の搖動フレーム6
0を有している。搖動フレーム60はその開放側の基端
を、フレーム59外側に立設した支持脚61上の軸受6
2、62に軸支した搖動軸63に固定されていて、該搖
動軸63を中心として昇降搬出装置28や反転装置57
よりのワーク保持パレット22の送出方向と直交する方
向に搖動可能とされ、搖動フレーム60の対向する内側
には、前記同様のローラ30がフレーム29、59のロ
ーラ30とは直交する向きとして軸支されている。ま
た、搖動フレーム60の先端側は、昇降搬出装置28の
一方のフレーム29に搖動可能に支持された流体圧シリ
ンダ64のピストンロッド65先端に枢支され、該流体
圧シリンダ64の作動により、搖動フレーム60は搖動
軸63を中心に図7実線の上昇位置と鎖線の下降位置と
の間を搖動可能としてある。この搖動における上昇位置
ではそのローラ30はフレーム29及びフレーム59の
それぞれのローラ30より高位置とされ、逆に下降位置
では搖動フレーム60のすべてのローラ30はフレーム
29、59の各ローラ30より低位置となる構造として
ある。従って、昇降搬出装置28上及び反転装置57よ
りパレット22を送出する場合は、搖動フレーム60は
鎖線の下降位置とし、送出が終了した時点で流体圧シリ
ンダ64により搖動フレーム60を上昇位置とすれば、
フレーム59のローラ30上へ送出保持されているワー
ク保持パレット22は、上昇する搖動フレーム60のロ
ーラ30に受け取られて移し替えられ、ワーク保持パレ
ット22は昇降搬出装置28側へ進行可能となる。そし
て、前記した昇降搬出装置28と、パレットの反転装置
37と、そのパレット送出側にあってパレットの送出方
向と直交する方向に往復可能で該反転装置37から送出
されるパレットを受け取るワーク交換用の作業台車47
と、この作業台車47のパレット送出側にあって新規ワ
ークを装着したパレットを再反転させる再反転装置57
と、該再反転装置57のパレット送出側にあって新規ワ
ークが装着されたパレットを受取ったうえ前記昇降搬出
装置28側へ送入可能とする搬入装置58とが設置され
ている部分を前記パレット脱着ステーション200に続
くワーク脱着ステーション300としている。
【0012】66は搖動フレーム60の方向と同方向の
軸線を有する流体圧シリンダで、取付台34に固定して
あり、そのピストンロッドに作動片67が搖動フレーム
60上に受け取られた前記ワーク保持パレット22に係
合可能に取り付けてある。従って、流体圧シリンダ66
の作動により、前記ワーク保持パレット22は作動片6
7に押されて昇降搬出装置28上へ搬入されるようにな
っている。そして前記ワーク保持パレット22が所定の
位置まで前進したら流体圧シリンダ64によりピストン
ロッド65を下降させて搖動フレーム60を下降位置と
すると、途中で搖動フレーム60のローラ30上のワー
ク保持パレット22は昇降搬出装置28のローラ30に
受け取られ、移し替えが行われ、Wはワークを示す。
【0013】このように構成された平面研摩装置では、
まず、研摩機本体1の搖動アーム7を90度回動させて
保持プレート11をパレット脱着ステーション200に
ある昇降搬出装置28上へ位置させておいて、ワーク保
持パレット22の案内枠23内へワークWを吸着体24
の作用により装着し、これを上昇位置とされた搬入装置
58の搖動フレーム60のローラ30上へ載せ、流体圧
シリンダ66を作動させてワーク保持パレット22を昇
降搬出装置28のリフタ31上へ停止させる。次いで、
流体圧シリンダ33により昇降プレート32を上昇させ
て途中で前記ワーク保持パレット22を受け取り、この
状態で更に上昇して待機している保持プレート11の下
面へワーク保持パレット22が当接される。そこでワー
ク保持パレット22の両取付ピン25が保持プレート1
1の嵌着孔14へそれぞれ嵌入される。なお、保持プレ
ート11は図示されない定位置停止装置により、嵌着孔
14が常に一定の位置とされるよう停止保持させてあ
る。その後、作動シリンダ18のピストンロッド21に
より案内孔11aに挿通された係止ピン15を係止片1
6を介して前進させると、その先端が取付ピン25の係
合孔26へ挿通されてワーク保持パレット22の保持プ
レート11への保持が行われる。その後は昇降プレート
32を下降させるとともに搖動アーム7を回動させて保
持プレート11を研摩定盤3上へと位置させ、続いて流
体圧シリンダ10によりプレート軸9を下降させ、下端
のワーク保持パレット22に保持されているワークWを
回転している研摩定盤3上へ押圧する。これにより保持
プレート11が研摩定盤3とワークWとの摩擦により軸
受部12によりつれ回りして、ワークWの表面研摩が行
われる。なお、この間に搖動フレーム60を下降位置と
しておく。
【0014】しかして、研摩終了後はプレート軸9を元
位置へ上昇させると、保持プレート11が図示されない
定位置停止装置により所定の位置に停止保持され、その
後、再び搖動アーム7により保持プレート11を昇降搬
出装置28上へと位置させ、リフタ31の昇降プレート
32を上昇させてワーク保持パレット22の下面へ当接
させる。そして、作動シリンダ17を作動させてピスト
ンロッド20を前進させ、係止片16を前記と逆方向へ
押すと、係止ピン15が後退して取付ピン25の係合孔
26より抜け出てワーク保持パレット22が保持プレー
ト11より解放される。その後、昇降プレート32を下
降させるとワーク保持パレット22は保持プレート11
より離れて昇降プレート32上へ残り、移し替えが行わ
れる。下降途中でワーク保持パレット22はフレーム2
9のローラ30に受け取られ、これに保持される。
【0015】次いで、流体圧シリンダ35により作動片
36を前進させると、下面に研摩済のワークWを装着し
た前記ワーク保持パレット22はパレット送出側Aへ押
し出されてワーク脱着ステーション300にある反転装
置37の上下のローラ30、30間へ進入し、所定の位
置で側板40に設けた図示されないストッパにより停止
保持される。次に、モータ45の駆動により鎖車46、
ローラーチェーン44、鎖車43を経て反転軸41を介
し側板40が180度反転し、ワーク保持パレット22
のワークWは上方位置となる。このワーク保持パレット
22は後続の研摩済として昇降搬出装置28より送出さ
れてくるワーク保持パレットにより、パレット送出側B
へ押出され、待機している作業台車47のローラ30上
へ移行し、所定の位置でストッパ等により停止する。こ
こでワーク保持パレット22上より研摩済のワークWが
作業者により取外され、続いて、新規のワークWが前記
同様にしてワーク保持パレット22へ装着される。
【0016】その後、前記ワーク保持パレット22付の
作業台車47は流体圧シリンダ52の作動により作動片
53を介して図10の左方へ前進し、所定の位置でスト
ッパ等により停止する。続いて、流体圧シリンダ55の
作動で作動片56を介し前記ワーク保持パレット22が
パレット送出側Cへ送出され、待機している反転装置5
7のローラ30、30間へ進入し、前記同様にワーク保
持パレット22が反転されてワークW装着側が下方へ転
換される。このワーク保持パレット22は後続の新規ワ
ークWを装着して進行してくるワーク保持パレット22
によりパレット送出側Dへ押し出され、その後、搬入装
置58のフレーム59に軸支したローラ30上へ移行
し、所定の位置でストッパ等により停止する。続いて、
流体圧シリンダ64の作動により搖動フレーム60が上
昇位置への回動し、その途中で前記ワーク保持パレット
22は、フレーム59のローラ30上より順次搖動フレ
ーム60のローラ30上へ受取られ、搖動フレーム60
が上昇位置に達したところで、流体圧シリンダ66の作
動により作動片67を介してワーク保持パレット22が
昇降搬出装置28上へ送られ、前記作業が繰り返され
る。
【0017】次に、図11は本発明の他の実施例を示す
もので、研摩機本体1を設置した研摩ステーション10
0と、該研摩機本体1の側方の前記揺動アーム7による
保持プレート11の揺動軌跡下にあって前記保持プレー
ト11に対するワーク保持パレット22の脱着を行うパ
レット脱着ステーション200と、該パレット脱着ステ
ーション200の隣接位置にあって前記ワーク保持パレ
ット22からのワークの取外しとワーク保持パレット2
2へのワーク装着を行うワーク脱着ステーション300
とを備えた点では前記した実施例と同様であるが、パレ
ット脱着ステーション200とワーク脱着ステーション
300とを往復動するパレット搬送機70、80が同軸
線に沿って上下2段に配列されていて上段のパレット搬
送機70と下段のパレット搬送機80とはそのいずれか
一方がパレット脱着ステーション200にあるとき他方
はワーク脱着ステーション300にあるように往復動さ
れるものとして一方が保持ぷれーとに対するワーク保持
パレット22の脱着を行っている間にも他方でワーク保
持パレット22へのワークの脱着を行えるようにしてあ
り、また、このパレット脱着ステーション200は2つ
の研摩ステーション100、100を挟む位置に配設さ
れるものとして両研摩ステーション100、100に設
置された研摩機本体1、1のパレット脱着と2台分のワ
ーク保持パレット22に対するワークの脱着を同時にで
も行えるようになっている。なお、前記パレット搬送機
70、80はパレット脱着ステーション200において
図示されない機構により反転できるようにしておくもの
とし、また、ワーク脱着ステーション300に送られた
空のワーク保持パレット22に対するワークの供給は、
ワーク脱着ステーション300に隣接して設けられてい
るワーク装着機91でワークストッカー92からを取り
出してワーク保持パレット22に自動供給するようにし
ておくことが好ましい。なお、この図11において93
は研摩済のワークを次工程に送るコンベヤ、94は揺動
アーム7の逆揺動位置に容易されるドレッシングプレー
トである。
【0018】
【発明の効果】本発明は前記説明により明らかなよう
に、ワークはワーク保持パレットに装着されて一体状と
なって搬送、研摩されるので、ワーク単独の場合で保持
プレートに直接保持させて作業する場合に起こる損傷や
歪みの発生等がなくなって歩留りが向上し、しかも、ワ
ーク保持パレットの保持プレートへの脱着は研摩機本体
が設置された研摩ステーションから離れたパレット脱着
ステーションで行われるうえにワーク保持パレットへの
ワークの脱着も該パレット脱着ステーションとこれに続
くワーク脱着ステーションで装着面を上として行えば、
極めて容易で短時間で終了することとなって能率的であ
り、更に、ワーク保持パレットは循環使用できるので一
人で数組の装置を管理できて省人化が達成できるととも
に、ワークの確実な研摩加工が達成でき、特に、研摩終
了したワークを上側としてワーク保持パレットより外す
ようにすれば、加工面の仕上がり状況のチェックするこ
ともできるなど種々の利点がある。従って、本発明は従
来の問題点を一掃した平面研摩装置として産業の発展に
寄与するところは極めて大きいものがある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の配置関係を示す平面図であ
る。
【図2】本発明の実施例における研摩機の一部切欠正面
図である。
【図3】本発明の実施例における研摩機の一部切欠側面
図である。
【図4】本発明の実施例における係止部の一部切欠正面
図である。
【図5】本発明の実施例におけるワーク保持パレットの
一部切欠正面図である。
【図6】本発明の実施例におけるワーク保持パレットの
底面図である。
【図7】本発明の実施例における昇降搬出装置と搬入装
置の断面図である。
【図8】本発明の実施例における反転装置の側面図であ
る。
【図9】本発明の実施例における反転装置の正面図であ
る。
【図10】本発明の実施例における作業台車の正面図で
ある。
【図11】本発明の他の実施例の配置関係を示す平面図
である。
【符号の説明】
1 研摩機本体 3 研摩定盤 9 プレート軸 11 保持プレート 22 パレット 28 昇降搬出装置 37 反転装置 47 作業台車 57 再反転装置 58 搬入装置 70 パレット搬送機 80 パレット搬送機 91 ワーク装着機 92 ワークストッカー 100 研摩ステーション 200 パレット脱着ステーション 300 ワーク脱着ステーション
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−102973(JP,A) 実開 平3−33053(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B24B 41/06,37/04

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 機枠上に水平回転可能な研摩定盤(3) と
    縦型の回転軸(6) を所要の間隔をおいて配置して該回転
    軸(6) の上端に張設した揺動アーム(7) の下面に保持プ
    レート(11)が下端に設けられた昇降可能なプレート軸
    (9) を取付けて該保持プレート(11)に係脱自在なワーク
    保持パレット(22)に保持させたワークを前記研摩定盤
    (3) に押圧することにより研摩を行う研摩機本体(1) を
    設置した研摩ステーション(100) と、該研摩機本体(1)
    の側方の前記揺動アーム(7) による保持プレート(11)の
    揺動軌跡下にあって前記保持プレート(11)に対するワー
    ク保持パレット(22)の脱着を行うパレット脱着ステーシ
    ョン(200) と、該パレット脱着ステーション(200) の隣
    接位置にあって前記ワーク保持パレット(22)からのワー
    クの取外しとワーク保持パレット(22)へのワーク装着を
    行うワーク脱着ステーション(300) とを備えた平面研摩
    装置であって、パレット脱着ステーション(200) にはパ
    レットの昇降搬出装置(28)が設置されており、また、前
    記ワーク脱着ステーション(300) には昇降搬出装置(28)
    のパレット送出側に設けたパレットの反転装置(37)と、
    そのパレット送出側にあってパレットの送出方向と直交
    する方向に往復可能で該反転装置(37)から送出されるパ
    レットを受け取るワーク交換用の作業台車(47)と、この
    作業台車(47)のパレット送出側にあって新規ワークを装
    着したパレットを再反転させる再反転装置(57)と、該再
    反転装置(57)のパレット送出側にあって新規ワークが装
    着されたパレットを受取ったうえ前記昇降搬出装置(28)
    側へ送入可能とする搬入装置(58)とが配設されている
    とを特徴とする平面研摩装置。
  2. 【請求項2】 パレット脱着ステーション(200) とワー
    ク脱着ステーション(300) とを往復動するパレット搬送
    機(70)、(80)が上下2段に配列して設けられ、上段のパ
    レット搬送機(70)と下段のパレット搬送機(80)とはその
    いずれか一方がパレット脱着ステーション(200) にある
    とき他方はワーク脱着ステーション(300) にあるように
    往復動される請求項1に記載の平面研摩装置。
  3. 【請求項3】 パレット脱着ステーション(200) が2つ
    の研摩ステーション(100) 、(100) を挟む位置に配設さ
    れている請求項2に記載の平面研摩装置。
  4. 【請求項4】 ワーク脱着ステーション(300) に隣接し
    てワーク装着機(91) とワークストッカー(92)が設けられ
    ている請求項またはに記載の平面研摩装置。
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