JP3244193B2 - Plane actuator - Google Patents

Plane actuator

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JP3244193B2 JP16024492A JP16024492A JP3244193B2 JP 3244193 B2 JP3244193 B2 JP 3244193B2 JP 16024492 A JP16024492 A JP 16024492A JP 16024492 A JP16024492 A JP 16024492A JP 3244193 B2 JP3244193 B2 JP 3244193B2
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弘明 石田
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【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、平面上を2次元方向に移動し得る平面アクチュエータに関し、特にその可動子の支持機構に関する。 The present invention relates to relates to a flat actuator capable of moving on a plane in two dimensions, particularly to a support mechanism for the movable element.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来、平面モータの可動子を平面状の固定子上に空隙を介して支持する場合、固定子にエアベアリングを設け、可動子を空気圧によって浮上させて支持している(例えば特開昭59−110366号公報)。 Conventionally, when a support with a gap the moving element of the planar motor in the planar stator, an air bearing is provided in the stator, and supports by floating the movable element by air pressure (e.g. JP-A-59-110366 JP).

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記構成ではエアベアリングのために圧力空気発生装置が必要となり、設備費が高くなる問題があった。 The object of the invention is to be Solved However, in the above configuration becomes necessary pressure air generator for air bearing, there is a problem that the equipment cost is high. また、可動子の固定子に対向する面積が極めて小さい小形平面アクチュエータの場合、エアベアリングが不安定になりやすく、可動子と固定子の空隙長さを安定させるためにはエアベアリングの構造が複雑になるという欠点があった。 Also, in the case of very small compact plane actuator area facing the stator of the movable element tends to become unstable air bearing, complicated structure of the air bearing in order to stabilize the gap length of the mover and the stator there is a drawback that it becomes. 本発明は、圧力空気発生装置を用いることなく、安定して可動子を浮上させ、かつ設備費が安い平面アクチュエータの支持装置を提供することを目的とするものである。 The present invention does not use the compressed air generator device, it is an object to provide a stable floated a movable element, and the supporting device budget plan actuator equipment cost.

【0004】 [0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、凸極がX方向とY方向に等間隔に配列された固定子と、コイルが巻かれて凸極がX方向とY方向に並ぶ2種類の磁極がカバー内に固定された可動子とからなる平面アクチュエータにおいて、前記固定子は、X方向とY方向に並ぶ前記凸極の間の溝とその凸極の先端部に非磁性の充填材が固着されて表面が平面状に形成されており、前記可動子には、 The present invention SUMMARY OF] is salient and the stator arranged at equal intervals in the X direction and the Y direction, coils wound convex poles of two kinds arranged in X and Y directions in the plane actuator pole comprising a movable element which is fixed in the cover, the stator filler nonmagnetic groove and the tip portion of the salient poles between the salient pole arranged in X and Y directions secured to the surface is formed in a planar shape, the mover,
前記X方向磁極または前記Y方向磁極と前記カバーの側面部との間の空間に配置されて前記X方向磁極または前記Y方向磁極の鉄心が伸びている部位の下側に加振器が複数ヶ所固定されており、その加振器の下側にスライダが設けられてその下側面が前記磁極先端部と同一平面をなすとともに前記固定子の表面に対面し、前記スライダが前記固定子の表面と垂直方向に振動できるようになっていることを特徴としている。 The X-direction magnetic pole or the plurality locations is vibration exciter on the lower side of a portion disposed in a space extending the core of the X-direction magnetic pole or the Y-direction magnetic pole between the Y-direction magnetic pole and the side surface portion of the cover is fixed, and the surface of the vibrator and the slider is provided on the lower side of the face on the surface of the stator with its lower surface forms the pole tip flush, the slider is the stator It is characterized by being adapted to be vibrate in a vertical direction. また、前記固定子は、X Moreover, the stator, X
方向とY方向に並ぶ前記凸極の間の溝とその凸極の先端部に非磁性の充填材が固着されて表面が平面状に形成されているとともに、反対側の背面には加振器を介してベースが固定され、前記加振器によって前記固定子の表面と垂直方向に前記固定子を加振することができるようになっており、前記可動子は、前記X方向磁極と前記Y方向磁極の先端部が同一平面をなすとともに前記固定子の表面に空隙を介して対面していることを特徴としており、前記加振器が圧電素子で構成されていることを特徴としている。 Together and Y directions to align the convex groove with the tip of the salient poles between the poles are fixed filler nonmagnetic the surface is formed flat, pressurizing the back of the opposite oscillator base is fixed through said by vibrator being adapted to be able to vibrate the stator perpendicular to the surface direction of the stator, the mover, the said X-direction magnetic pole Y and characterized in that the tip of the direction the magnetic pole is facing through the gap surface of the stator with coplanar, the vibrator is characterized in that it is constituted by a piezoelectric element. さらに請求項4に記載の発明は、凸極がX Furthermore the invention according to claim 4, salient poles is X
方向とY方向に等間隔に配列された固定子と、コイルが巻かれて凸極がX方向とY方向に並ぶ2種類の磁極がカバー内に固定された可動子と、からなる平面アクチュエータにおいて、前記固定子は、X方向とY方向に並ぶ前記凸極の間の溝とその凸極の先端部に非磁性の充填材が固着されて表面が平面状に形成されているとともに、反対側の背面には一部にバネを介してベースが固定されており、前記固定子の背面と対面する前記ベースの面にそれぞれ電極が固着されて交流電圧を印加すると静電力によって前記表面と垂直の方向に加振することができるようになっており、前記可動子は、前記X方向磁極と前記Y方向磁極の先端部が同一平面をなすとともに前記固定子の表面に空隙を介して対面していることを特徴としている。 Direction and Y direction are arranged at equal intervals a stator, a movable element projecting poles are two types of magnetic poles arranged in the X direction and the Y direction is fixed in the cover coil is wound in a planar actuator consisting of the stator with groove and tip is fixed filling material of a non-magnetic and the surface of the salient poles between the salient pole arranged in the X direction and the Y direction is formed in a planar shape, opposite of which the base is fixed through a spring portion on the back, the the respective electrodes on the base surface facing the back surface of the stator to apply an AC voltage is fixed by the electrostatic force said surface and vertical being adapted to be able to vibrate in a direction, the mover is to face the tip portion of the said X-direction magnetic Y-direction magnetic poles through an air gap surface of the stator with coplanar It is characterized in that there.

【0005】 [0005]

【作用】可動子と固定子の互いに対向する面を平板状に形成し、可動子または固定子に高周波の振動を発生する加振器を取り付けて可動子または固定子を振動させるので、可動子と固定子の間に気体のスクィーズ膜を形成し、可動子が固定子上に浮上支持される。 [Action] The facing surfaces of the movable element and the stator is formed into a flat plate, since by attaching a vibrator for generating a high-frequency vibration to vibrate the movable member or stator to the movable member or stator, the mover the squeeze film gas between the stator formed with the movable element is floatingly supported on the stator.

【0006】 [0006]

【実施例】本発明を図に示す実施例について説明する。 EXAMPLES The present invention will embodiment shown in FIG explained.
図1は本発明の電磁形平面モータの実施例を示す側断面図で、固定子1の上面11にはX,Y方向に伸び、かつ等間隔に溝12を設けてあり、碁盤目状に凸極13を形成してある。 Figure 1 is a side sectional view showing an embodiment of an electromagnetic type planar motor of the present invention, the upper surface 11 of the stator 1 X, extending in the Y direction, and equally spaced is provided with a groove 12, in a grid pattern salient 13 is formed with. 凸極13の表面および溝12の中にSiO SiO in the surface and the grooves 12 of the salient poles 13
2などの非磁性材料からなる充填材14を塗布または埋め込んで、固定子1の上面11を平板状に形成してある。 A filler 14 made of a nonmagnetic material such as 2 coating or embedded, is formed with upper surface 11 of the stator 1 in a flat plate shape. 固定子1の上にはX,Y方向に移動し得る可動子2 Mover on the stator 1 may move in X, Y directions 2
を設けてある。 A is provided. 可動子2は、X方向に所定のピッチで配列した凸極31に励磁コイル32を巻回したX方向磁極3と、Y方向に所定のピッチで配列した凸極41に励磁コイル42を巻回したY方向磁極4とを設け、凸極3 Mover 2 is wound the X-direction magnetic poles 3 by winding the exciting coil 32 to salient 31 which are arranged at a predetermined pitch in the X direction, the exciting coil 42 to salient 41 which are arranged at a predetermined pitch in the Y-direction and the Y-direction magnetic pole 4 is provided, salient poles 3
1、41を固定子の凸極13に対向するようにしてある。 It is so as to face the salient pole 13 of the stator to 1,41. X方向磁極3とY方向磁極4に隣接して固定子1の上面11に対して垂直方向にスライダ52を振動する圧電素子51よりなる加振器5を設けてある。 Adjacent to the X-direction magnetic pole 3 and the Y-direction magnetic pole 4 to the upper surface 11 of the stator 1 is provided with vibrator 5 made of a piezoelectric element 51 for vibrating the slider 52 in the vertical direction. 可動子の固定子1に対向する下面21の各凸極の間にはSiO 2などの非磁性材料からなる充填材22を塗布または埋め込んで、移動子2の下面21を平板状に形成してある。 A filler 22 made of a nonmagnetic material such as SiO 2 coating or embedded between each salient pole of the lower surface 21 facing the stator 1 of the movable element, to form a lower surface 21 of the movable element 2 in the shape of a flat plate is there. 2
3はX方向磁極3、Y方向磁極4、圧電素子5を覆うカバーである。 3 X-direction magnetic pole 3, Y-direction magnetic pole 4, a cover for covering the piezoelectric element 5. 圧電素子51に、図示しない電源によって、数KHzの高周波電圧を加えて加振器5を振動させると、スライダ52が固定子1の上面11に対して垂直方向に振動して、移動子2の下面21と固定子1の上面11の間に気体のスクィーズ膜(例えば、雑誌「トライボロジスト」第36巻第7号、1991年、543〜5 The piezoelectric element 51, by a power supply (not shown), to vibrate the vibrator 5 by adding several KHz high-frequency voltage, the slider 52 vibrates in the direction perpendicular to the upper surface 11 of the stator 1, the mover 2 gas squeeze film between the lower surface 21 and the stator 1 of the upper surface 11 (e.g., a magazine "tribological strike" Vol. 36 No. 7, 1991, 543-5
48ページ参照)を生じ、可動子2は10μmオーダの空隙を介して浮上支持される。 Produce 48 see page), the mover 2 is supported by levitation via a space of 10μm order. その後、励磁コイル3 Then, the excitation coil 3
2、42に電圧を印加して可動子2を任意の方向に移動する。 By applying a voltage to move the mover 2 in any direction to 2,42. 図2は第2の実施例で、加振器5を可動子2に設ける代わりに、固定子1とベース6の間に設けたもので、圧電素子51に高周波電圧を印加して固定子1全体を振動させ、固定子1の上面11と可動子2の下面21 Figure 2 is a second embodiment, instead of providing the vibrator 5 to the movable member 2, which was provided between the stator 1 and the base 6, the stator 1 by applying a high frequency voltage to the piezoelectric element 51 the whole is vibrated, the upper surface 11 of the stator 1 and the lower surface of the movable element 2 21
との間に気体のスクィーズ膜を形成し、可動子2を浮上支持するものである。 Squeeze film gas is formed between the one in which the mover 2 is levitated. 図3は第3の実施例で、加振源に圧電素子を使用する代わりに、静電吸引力を利用する静電形加振器7を使用するもので、固定子1とベース6を板状のゴムなどからなるバネ8によって空隙を介して対向するように支持し、固定子1がベース6と対向する面に静電電極71、72を絶縁材73を介して設けてある。 Figure 3 is a third embodiment, instead of using a piezoelectric element to the vibration source, it involves the use of electrostatic shape vibrator 7 utilizing an electrostatic attraction force, the plate stator 1 and the base 6 and supported so as to face each other with a gap by the spring 8 made of Jo rubber, the electrostatic electrode 71 and 72 face the stator 1 is opposed to the base 6 is provided through an insulating material 73. 静電電極71、72に高周波の電位を与えることにより、固定子1を振動させ、固定子1の上面11と可動子2の下面21に気体のスクィーズ膜を形成し、可動子2を浮上支持するものである。 By providing a high frequency voltage to the electrostatic electrode 71 and 72, the stator 1 is vibrated to form a squeeze film of gas on the upper surface 11 and lower surface 21 of the movable element 2 of the stator 1, levitation support the mover 2 it is intended to. なお、以上は電磁形平面モータについて適用した例を説明したが、静電モータなど、他の原理を利用した平面モータに適用してもよい。 The above has been described an example of applying the electromagnetic type planar motor, such as an electrostatic motor, it may be applied to planar motor utilizing other principles.
また、実施例は励磁コイル側を可動子、碁盤目状に形成した凸極を固定子としているが、この構成を逆にしてもよいことは言うまでもない。 Further, embodiments have been stator a salient formed an exciting coil side moving element, in a grid pattern, it is needless to say that it may be the configuration reversed.

【0007】 [0007]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、可動子または固定子に高周波によって加振する加振器を取り付け、固定子と可動子の間に気体のスクィーズ膜を形成して可動子を浮上支持するので、設備費が安く小形で安定した平面アクチュエータを提供できる効果がある。 As described above, according to the present invention, according to the present invention, fitted with a vibrator for vibrating the frequency to the movable member or stator, to form a squeeze film of gas between the stator and the mover since floating supporting the mover, there is an effect capable of providing a stable surface actuator small cheap equipment cost.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の実施例を示す側断面図である。 1 is a side sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例を示す側断面図である。 2 is a side sectional view showing another embodiment of the present invention.

【図3】本発明の他の実施例を示す側断面図である。 3 is a side sectional view showing another embodiment of the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 固定子 11 上面 12 溝 13、31、41 1 stator 11 top 12 grooves 13,31,41
凸極 14、22 充填材 2 可動子 21 下面 3 X方向磁極 4 Y方向磁極 32、42 励磁コイル 5 加振器 51 圧電素子 6 ベース 7 静電加振器 71、72 静電電極 73 絶縁材 8 バネ Salient 14,22 fillers second movable element 21 the lower surface 3 X-direction magnetic pole 4 Y-direction magnetic poles 32 and 42 exciting coil 5 vibrator 51 piezoelectric element 6 base 7 electrostatic exciter 71 and 72 electrostatic electrode 73 insulating material 8 Spring

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−48252(JP,A) 特開 平1−312223(JP,A) 特開 昭62−110019(JP,A) 特開 昭62−255613(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl. 7 ,DB名) H02K 41/02 - 41/035 F16C 32/00 - 32/06 Front page of the continuation (56) Reference Patent Sho 62-48252 (JP, A) JP flat 1-312223 (JP, A) JP Akira 62-110019 (JP, A) JP Akira 62-255613 (JP , a) (58) investigated the field (Int.Cl. 7, DB name) H02K 41/02 - 41/035 F16C 32/00 - 32/06

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】 (57) [the claims]
  1. 【請求項1】 凸極がX方向とY方向に等間隔に配列され 1. A salient are arranged at equal intervals in the X and Y directions
    た固定子と、 コイルが巻かれて凸極がX方向とY方向に並ぶ2種類の And a stator coil is wound convex poles of two kinds arranged in X and Y directions
    磁極がカバー内に固定された可動子と、からなる平面ア And a mover which magnetic poles are fixed in the cover, the plane A consisting of
    クチュエータにおいて、 前記固定子は、X方向とY方向に並ぶ前記凸極の間の溝 In actuator, the stator grooves between the salient pole arranged in the X and Y directions
    とその凸極の先端部に非磁性の充填材が固着されて表面 A fixed filler nonmagnetic the surface to the tip of the salient poles
    が平面状に形成されており、 前記可動子には、前記X方向磁極または前記Y方向磁極 There are formed in a planar shape, the movable element, the X-direction magnetic pole or the Y-direction magnetic pole
    と前記カバーの側面部との間の空間に配置されて前記X Wherein X is disposed in the space between the side surface portion of the cover and
    方向磁極または前記Y方向磁極の鉄心が伸びている部位 Sites that elongation direction pole or core of the Y-direction magnetic pole
    の下側に加振器が複数ヶ所固定されており、その加振器 Shaker under side of which is fixed a plurality places, the vibrator
    の下側にスライダが設けられてその下側面が前記磁極先 Its lower surface is the magnetic pole destination slider is provided on the lower side of the
    端部と同一平面をなすとともに前記固定子の表面に対面 Facing surface of the stator with forming the end portion flush
    し、前記スライダが前記固定子の表面と垂直方向に振動 And, vibrating the slider perpendicular to the surface direction of the stator
    できるようになっていることを特徴とする平面アクチュ Plane Actuator characterized that it is so possible
    エータ Eta.
  2. 【請求項2】 凸極がX方向とY方向に等間隔に配列され 2. A salient are arranged at equal intervals in the X and Y directions
    た固定子と、 コイルが巻かれて凸極がX方向とY方向に並ぶ2種類の And a stator coil is wound convex poles of two kinds arranged in X and Y directions
    磁極がカバー内に固定された可動子と、からなる平面ア And a mover which magnetic poles are fixed in the cover, the plane A consisting of
    クチュエータにおいて、 前記固定子は、X方向とY方向に並ぶ前記凸極の間の溝 In actuator, the stator grooves between the salient pole arranged in the X and Y directions
    とその凸極の先端部に非磁性の充填材が固着されて表面 A fixed filler nonmagnetic the surface to the tip of the salient poles
    が平面状に形成されているとともに、反対側の背面には Together but are formed in a planar shape, the back of the opposite side
    加振器を介してベースが固定され、前記加振器によって Base is fixed through a vibrator, by the vibrator
    前記固定子の表面と垂直方向に前記固定子を加振するこ Child vibrating the stator perpendicular to the surface direction of the stator
    とができるようになっており、 前記可動子は、前記X方向磁極と前記Y方向磁極の先端 And so it is collected by the movable element, the tip of the said X-direction magnetic Y-direction magnetic pole
    部が同一平面をなすとともに前記固定子の表面に空隙を The voids on the surface of the stator with part forms the same plane
    介して対面していることを特徴とする平面アクチュエー Plane actuator, characterized in that faces via
    Data.
  3. 【請求項3】 前記加振器が圧電素子で構成されているこ Wherein this said vibrator is a piezoelectric element
    とを特徴とする請求項1または2記載の平面アクチュエ Plane actuator according to claim 1, wherein the door
    ータ Over data.
  4. 【請求項4】 凸極がX方向とY方向に等間隔に配列され 4. A salient are arranged at equal intervals in the X and Y directions
    た固定子と、 コイルが巻かれて凸極がX方向とY方向に並ぶ2種類の And a stator coil is wound convex poles of two kinds arranged in X and Y directions
    磁極がカバー内に固定された可動子と、からなる平面ア And a mover which magnetic poles are fixed in the cover, the plane A consisting of
    クチュエータにおいて、 前記固定子は、X方向とY方向に並ぶ前記凸極の間の溝 In actuator, the stator grooves between the salient pole arranged in the X and Y directions
    とその凸極の先端部に非磁性の充填材が固着されて表面 A fixed filler nonmagnetic the surface to the tip of the salient poles
    が平面状に形成されているとともに、反対側の背面には Together but are formed in a planar shape, the back of the opposite side
    一部にバネを介してベースが固定されており、前記固定 Some are based is secured via a spring, the fixed
    子の背面と対面する前記ベースの面にそれぞれ電極が固 The solid each electrode to the base surface facing the back of the child
    着されて交流電圧を印加すると静電力によって前記表面 It said surface by electrostatic forces when wearing by applying an AC voltage
    と垂直の方向に加振することができるようになってお You so that it can be vibrated in a direction perpendicular to the
    り、 前記可動子は、前記X方向磁極と前記Y方向磁極の先端 Ri, the mover, the tip of the said X-direction magnetic Y-direction magnetic pole
    部が同一平面をなすとともに前記固定子の表面に空隙を The voids on the surface of the stator with part forms the same plane
    介して対面していることを特徴とする平面アクチュエー Plane actuator, characterized in that faces via
    Data.
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