JP3238230B2 - The liquid crystal display device - Google Patents

The liquid crystal display device

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JP3238230B2
JP3238230B2 JP06120093A JP6120093A JP3238230B2 JP 3238230 B2 JP3238230 B2 JP 3238230B2 JP 06120093 A JP06120093 A JP 06120093A JP 6120093 A JP6120093 A JP 6120093A JP 3238230 B2 JP3238230 B2 JP 3238230B2
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一之 春原
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株式会社東芝
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【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置に関する。 The present invention relates to relates to a liquid crystal display device.

【0002】 [0002]

【従来の技術】液晶表示装置は、薄型、低電圧駆動が可能で腕時計、電卓などの表示装置として広く使用されている。 A liquid crystal display device, thin, widely used as a display device, such as low voltage driving possible watch, calculator. 特にTN型液晶表示方式はTFTなどのアクティブスイッチ素子を組み込むことによりCRT並の表示特性をもたせることができテレビなどにも用いられるようになった。 Particularly TN-type liquid crystal display system is now also used to a TV can be imparted the display characteristics of CRT parallel by incorporating the active switching elements such as TFT.

【0003】しかしながら、従来縦方向に電界をかけるTN型或いはSTN型液晶表示装置は特に視野角に問題があった。 However, the conventional longitudinal TN type or STN type liquid crystal display device applying an electric field to have had particular problems in viewing angle. 視野角は特に中間調表示において狭く、パネルの上下左右で色またはコントラストに大きな差がでている。 Viewing angle is narrow particularly in a halftone display, which makes a major difference in the color or contrast with vertical and horizontal panels. この表示装置は基板に垂直方向に電圧をかけp型液晶を電界方向つまり基板に対して垂直に立たせることにより旋光性を制御する方式であり、表示不良防止のため立ち上がり方向を一方向にしているため液晶分子の立ち上がり方向が決まってしまい上述したような視野角の問題が起きるものである。 The display device is a method for controlling the optical rotation by stand vertically p-type liquid crystal applied voltage in a direction perpendicular to the substrate to the electric field direction, that the substrate, in the direction of the rising direction for display defect prevention in which problems of viewing angle as described above will be decided rising direction of liquid crystal molecules for there occurs.

【0004】これに対しTN型液晶配向させたセルにおいて電圧を基板に横方向つまり水平方向にかけることにより旋光性を制御し表示する方法が提案されている。 [0004] In contrast method of displaying controls the optical rotation has been proposed by subjecting the transverse direction, that the horizontal direction voltage to the substrate in the cell is TN-type liquid crystal orientation. この方式はツイスト配向またはパラレル配向させた液晶セルにおいて同一基板上の電極間に電圧をかけることにより電位差を生じて、基板に対して水平方向に電界を発生させることができる。 This scheme is a potential difference by applying a voltage between electrodes on the same substrate in the liquid crystal cell is twisted or parallel alignment, it is possible to generate an electric field in the horizontal direction with respect to the substrate. 図46にこの様な液晶表示装置のツイスト状態からパラレル状態にスイッチングする例を示す。 Figure 46 shows an example of switching from a twisted state of such a liquid crystal display device in parallel state. この場合電界印加後p型液晶分子は電界方向にその配向を変えようとする。 In this case p-type liquid crystal molecules after the electric field application is trying to change its orientation in the direction of the electric field. これにより初期にツイスト配向を持つ場合ツイスト配向がもっていた旋光性はなくなり、偏光板を通して液晶セルに入射した直線偏光はその偏光面を変えることなく液晶セルより出射することになり、直交ニコル或いは平行ニコルの偏光板を用いることによってスイッチングが可能となる。 Thus early optical rotation of twist orientation had case with twisted alignment is no longer linearly polarized light incident on the liquid crystal cell through the polarizing plate will be emitted from the liquid crystal cell without changing its polarization plane, orthogonal Nicol or parallel switching is made possible by using the polarizing plate of Nicol. この様な横電場方式では電界をかけた状態で液晶分子は基板に水平方向に揃うことになり視野角の問題はある程度解決される。 Liquid crystal molecules while applying an electric field in such a horizontal electric field method is a problem of viewing angle will be aligned in the horizontal direction to the substrate are solved to some extent.

【0005】しかしながら、この方式においては図47 However, in this method 47
に示す様に電界を特定の方向に集中させることが大変困難であり、効率よく電界を集中させることができず、従ってしきい値電圧が高いという問題点を有している。 To have an electric field is difficult hard to be concentrated in a specific direction as shown, can not be concentrated efficiently field, therefore there is a problem that the threshold voltage is high. また、液晶分子は図のような電気力線に沿うように配列し基板に対し垂直方向に揃ってしまう部分が生じてしまうので視野角の問題はいまだ解決されていないのが現状である。 Further, the liquid crystal molecules so that the sequence to portions become aligned in a direction perpendicular to the substrate along the electric field lines as shown in FIG occurs viewing angle problem at present, not been resolved.

【0006】更に、本発明者らの研究の結果この方式では電極周辺で電極壁の影響を受け配向乱れが生じていること、応答速度特に立ち下がりの応答速度が遅い等の問題点を見いだし、このことが表示特性に影響を与えていることが分かった。 Furthermore, the orientation disorder results affected by the electrode wall electrode surrounding this method of study of the present inventors has occurred, the response speed of the falling response speed especially decreases the slow such problems found, this was found to be affecting the display characteristics.

【0007】また近年新しい表示方式の開発が進められ、そのひとつに高分子分散型液晶表示方式がある。 [0007] also been developed in recent years new display system, there is a polymer-dispersed liquid crystal display system in one of them. これは光散乱を動作原理としており、基本的に液晶を高分子マトリックス内に分散させた構造を有している。 This is the light scattering principle of operation have basically the liquid crystal is dispersed in the polymer matrix structure. 液晶を多孔体に含侵させ電圧の有無により液晶の屈折率を変化させ多孔体との屈折率を調整する方法(Appl.Phys.Le Method of adjusting the refractive index of the porous body to change the refractive index of the liquid crystal by the presence or absence of voltage impregnated with liquid to the porous body (Appl.Phys.Le
tt..40(1) 22(1982)) をはじめポリビニルアルコールを用いてネマティック液晶をマイクロカプセル化する方法(特表昭58-501631 )、エポキシ樹脂中に液晶分散硬化させる方法(特表昭61-502128 )、アクリル樹脂中に液晶を分散硬化させる方法等が開発され、最近では低電圧駆動・高コントラストが実現されてきている。 tt..40 (1) 22 a method of microencapsulating nematic liquid crystal with the beginning of polyvinyl alcohol (1982)) (Kohyo Sho 58-501631), a method of liquid crystal dispersed cured in an epoxy resin (Kohyo Sho 61 -502128), it developed a method in which dispersing cured liquid crystal in an acrylic resin, recently have been realized a low voltage drive and high contrast.

【0008】しかしながら、高分子分散型液晶表示装置は表示装置としては散乱方式を利用しているため明暗のコントラストをとり難く直視化が困難という問題点を有している。 However, the polymer dispersion type liquid crystal display device as a display device has a problem that difficulty takes hardly direct the contrast of light and dark for utilizing scattering method. 前記コントラストをとるために高分子分散型液晶表示装置に偏光板を用い直視化を試みているが複屈折効果のため視野角が狭くなるという問題点を有している。 While attempting to direct reduction with a polarizing plate in a polymer dispersed liquid crystal display device has a problem that the viewing angle is narrowed because of the birefringence effect to take the contrast. またコントラストをとるために散乱能を稼ぐ必要がある。 There is also a need to earn a scattering power to take the contrast. 散乱能を稼ぐためには基板間隔を大きくしなければならないがこの場合、基板間隔を大きくすると、しきい値電圧が高くなってしまうという問題点がある。 Although it is necessary to increase the spacing between the substrates in order to make scattering power this case, increasing the distance between the substrates, there is a problem that the threshold voltage becomes high.

【0009】 [0009]

【発明が解決しようとする課題】従来の横方向電界制御によるTN型液晶表示方式は電界方向を集中できないため(1)しきい値電圧が高いという問題点、(2)充分に広く視野角がとれないという問題点、また、(3)電極周辺に液晶配向異常が起きるため表示特性に影響を与えるという問題点、(4)応答速度特に立ち下がり速度が遅いという問題点が存在した。 [Problems that the Invention is to Solve Conventional transverse field TN-type liquid crystal display method based control can not concentrate the electric field direction (1) problem that the threshold voltage is high, (2) is sufficiently wide viewing angle problem that take point, also, (3) a problem that affects the display characteristics for liquid crystal alignment abnormality occurs around the electrode, there was (4) a problem that response speed in particular falling speed is slow point.

【0010】また、従来の縦方向電界制御による高分子分散型液晶表示方式は、高いコントラストをとるために基板間隔を大きくとろうとすると(5)しきい値電圧が高くなるという問題点が存在した。 Further, polymer-dispersed liquid crystal display system according to the conventional vertical electric field control, when trying larger substrate spacing (5) problem threshold voltage increases were present to take high contrast .

【0011】いずれの方式にせよ表示品位の高い表示を得るためには、しきい値電圧が高いという問題があった。 [0011] In order to obtain a high display quality display in any case of the method, there is a problem that the threshold voltage is high.

【0012】従って、本発明は上記問題点を解決し表示品位が高くしきい値電圧の低い液晶表示装置を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention aims to provide a liquid crystal display device with low high threshold voltage display quality to solve the above problems.

【0013】 [0013]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、第1の発明による液晶表示装置は、第1の基板と、 In order to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION The liquid crystal display device according to the first invention comprises a first substrate,
前記第1の基板に対向して配置された第2の基板と、前記第1の基板及び前記第2の基板間に挟持された液晶材料と、前記第1の基板上に配置され前記第1の基板に水平な方向に凸部を有する複数の電極とを有し、隣り合う前記電極間に電位差を加えることによって液晶配列を変化させ表示することを特徴とするものである。 A second substrate disposed to face the first substrate, and a liquid crystal material sandwiched between the first substrate and the second substrate, disposed on the first substrate the first and a plurality of electrodes of a convex portion in a horizontal direction to the substrate, by applying a potential difference between the electrodes adjacent and is characterized in that the display by changing the liquid crystal alignment.

【0014】また、第2の発明による液晶表示装置は、 Further, the liquid crystal display device according to the second invention,
第1の基板と、前記第1の基板に対向して配置された第2の基板と、前記第1の基板及び前記第2の基板間に挟持された液晶材料と、前記第1の基板上に配置され前記第1の基板からの高さが異なる電極とを有し、前記高さの異なる電極間に電位差を加えることによって液晶配列を変化させ表示することを特徴とするものである。 A first substrate and a second substrate disposed to face the first substrate, and a liquid crystal material sandwiched between said first substrate and said second substrate, said first substrate arranged and a height different electrodes from the first substrate, is characterized in that the display by changing the liquid crystal alignment by adding a potential difference between the different electrodes of said height.

【0015】最後に、第3の発明による液晶表示装置は、第1の基板と、前記第1の基板に対向して配置された第2の基板と、前記第1の基板及び前記第2の基板間に配置された高分子マトリックスと、前記高分子マトリックス中に分散された液晶材料と、前記第1の基板上に配置された複数の電極とを有し、隣り合う前記電極間に電位差を加えることによって液晶配列を変化させ表示することを特徴とするものである。 [0015] Finally, the liquid crystal display device according to a third invention comprises a first substrate, a second substrate disposed to face the first substrate, the first substrate and the second a polymer matrix disposed between the substrates, and a liquid crystal material dispersed in the polymer matrix, and a plurality of electrodes disposed on the first substrate, the potential difference between the electrodes adjacent it is characterized in that the display by changing the liquid crystal alignment by adding.

【0016】第1の発明の電極の形状としては、図3に示すように逆台形状の形状であることが望ましい、この場合電極の高さは1000オングストローム(以下Aと記す)以上である事が望ましい。 [0016] It The shape of the first invention of the electrodes, it is desirable that the shape of inverted trapezoid as shown in FIG. 3, the height of this electrode is 1000 Å (hereinafter referred to as A) above It is desirable

【0017】第2の発明の電極の形状としてはAl、I [0017] The shape of the electrode of the second invention Al, I
TO等の電極材料の高さ自体を電極間で差を付けた構造が考えられる。 The height itself gave a difference between the electrode structure of the electrode material such as TO is considered. この場合電極間の高さの差は5000A The difference in height between this electrode 5000A
以上であることが望ましい。 Greater than or equal it is desirable.

【0018】また、図1に示すように電界が掛かる電極13、電極14間の高さの差をSiO X・SiN Xといった無機物または高分子等有機物で形成した絶縁層12 Further, the electrode 13 applied electric field as shown in FIG. 1, the insulating layer 12 formed with the difference in height between the electrodes 14 of an inorganic material or a polymer such as an organic substance such as SiO X · SiN X
により設けることもできる。 It can also be provided by. 更に、図2に示すように絶縁層12の側面に電極13を設けることによっても電気力線を集中させることができ縦方向の液晶配列の歪も形成できる。 Furthermore, the strain of the insulating layer 12 side to the electrode 13 longitudinally LCD sequences can be concentrated lines of electric force by the provision of, as shown in FIG. 2 can also be formed.

【0019】上記絶縁層12の高さは図1の場合300 [0019] The height of the insulating layer 12 in the case of FIG. 1 300
0A以上、図4の場合5000A以上であることが望ましい。 0A above, it is desirable that the case 5000A or more in FIG. 但し、以上の場合共通して表示電極の最高位置同士の差は3000A以上であればよい。 However, the difference between the highest position among the above case common to the display electrode may be at least 3000A.

【0020】第1の発明及び第2の発明において、液晶の配向方向はTN型液晶表示のように視野角また視角方向をもたないため基板のどの方向に配向方向を持ってきてもよいが、好ましくは、電極を設けた基板上での配向方向はかける電界に対し略垂直に設定するのがよく、好ましくは数1を満たすことが望ましい。 [0020] In the first and second aspects of the present invention, the alignment direction of liquid crystal may be brought orientation in any direction of the substrate for no viewing angle The viewing angle direction as TN type liquid crystal display but , preferably, be set substantially perpendicular to the electric field direction of orientation of applying on the substrate provided with the electrodes well, preferably, it is desirable to satisfy the equation (1). これにより、コントラストの高い表示が可能となる。 As a result, it is possible to display with high contrast.

【0021】 [0021]

【数1】80°≦電界に対する配向角度<90° また、ツイスト角は任意で用途によりその設定値を最適値に設定できる。 [Number 1] orientation angle with respect to 80 ° ≦ field <90 ° In addition, the twist angle can be set to an optimum value the setting value depending on the application in any.

【0022】本発明の表示装置に用いる液晶材料は、特にツイストの弾性定数の高いネマティック液晶が望ましい。 The liquid crystal material used in the display device of the present invention, particularly high nematic liquid crystal elastic constant of twist is desirable. また、p型液晶とn型液晶の両方とも本発明の表示装置に用いることはできるが、本発明の表示装置の特長を生かすためp型液晶を用いることが望ましい。 Further, although it is possible to use the display device of the present invention both the p-type liquid crystal and the n-type crystal, it is desirable to use a p-type liquid crystal order to take advantage of the display device of the present invention.

【0023】第3の発明の液晶表示装置は、基板の片方に2種類以上の表示電極を設け電極間の電位差により高分子液晶表示方式で表示することを特徴とするものである。 The liquid crystal display device of the third invention is characterized in that the display by the potential difference between the electrodes provided two or more display electrodes on one substrate with the polymer liquid crystal display system.

【0024】この場合、電極の高さは10000A以上であることが望ましい。 [0024] In this case, it is desirable that the height of the electrode is at least 10000 A. この際電極はSiO X・SiN In this case the electrodes SiO X · SiN
Xといった無機物または高分子等有機物で形成した絶縁層を設けその上または側面に導電体を設けることもできる。 An insulating layer formed of an inorganic material or a polymer such as an organic substance such as X provided may be provided with a conductor on its upper or side. また、電極を2枚の基板を結ぶ壁として用いることにより電極自身を高分子液晶における高分子マトリックスとして用いることができ、これにより散乱能を助長させることができる。 Further, the electrode itself can be used as the polymer matrix in the polymer liquid crystal by using the electrode as a wall connecting the two substrates, thereby making it possible to promote the scattering power.

【0025】第3の発明の表示装置に用いる液晶材料は、p型液晶とn型液晶の両方とも用いることができるが本発明の表示装置の特長を生かすためp型液晶を用いることが望ましい。 The liquid crystal material used for a display device of the third invention, it is desirable to use a p-type crystal because it can be used with both p-type liquid crystal and the n-type liquid crystal utilizing characteristics of a display device of the present invention.

【0026】第1、第2、第3の発明においてマトリックス駆動をさせるために配線を同一基板上に設ける為にはこの配線同士の絶縁性が重要となりSiO X・SiN The first, second, third SiO X · SiN becomes insulating the wirings are important in order to provide on the same substrate wiring in order to matrix drive in invention
X・メタル酸化物又は高分子等有機物で形成した絶縁層を設けることが必須で有る。 It is there necessary to provide the X · metal oxide or insulating layer formed by a polymer or the like organic material.

【0027】また、電極の形状としては、電極のある方の基板の外に逃げていた電気力線を液晶セル中に持ってきて、電気力線の集中を図り電界強度を強くするために電極の高さを高くとることが望ましい。 [0027] The shape of the electrode, the electrode is towards the lines of electric force had escaped out of the substrate of electrode for bring in the liquid crystal cell, to increase the electric field strength achieving concentration of the electric lines of force it is desirable to take a high height. また、絶縁性を持たせた電極同士を交互に設けることが好ましい。 Further, it is preferable to provide alternating between electrodes which gave insulation. 前記電極の電位の低い方或いは電位の高い方のどちらか一方をすべて同電位にすることで駆動的に有利になる。 All either the higher lower or potential of the potential of the electrode is advantageous drivingly by the same potential. 基板にSiO X・SiN X・メタル絶縁物または高分子等有機物で形成した突起物上に導電体を設けた電極により、 The electrode having a conductor on a projection formed by SiO X · SiN X · Metal insulator or a polymer such as an organic substance on the substrate,
より強い電界を得ることができる。 It is possible to obtain a stronger electric field. 壁状に突起物を形成しその壁の側面に電極を設けることにより、電極をスペーサとして利用することもできる。 By providing an electrode on the side surface of the wall to form a protrusion in a wall shape, it is also possible to use an electrode as a spacer.

【0028】更に、本発明の液晶表示に対し、TFTなどのアクティブスイッチ素子を各画素ごとに設けたアクティブマトリックス駆動方式で前記パネルを駆動させることにより鮮明な表示が実現できる。 Furthermore, to the liquid crystal display of the present invention, a clear display by driving the panels active switching element such as a TFT active matrix drive system provided for each pixel can be realized.

【0029】 [0029]

【作用】第1の発明は電極に突起部分を形成することによりその電極の突起部分において電界を集中させることができる。 [Action] The first invention can be concentrated electric field at the protrusion portion of the electrode by forming a protruding portion on the electrode. 図3に電極を逆台形にした場合の電界の集中する様子を示す。 Showing how the electric field concentration when the electrode reversed trapezoid in FIG. 図中11は基板、31は電極、矢印は電気力線を表す。 Figure 11 is a substrate, 31 is an electrode, arrows represent electric field lines. ここで電極の高さは基板表面より、より高く壁状に設けることにより電界を集中させることができ基板表面より離れているバルクの液晶分子を動かすことによって、よりしきい値電圧を低くする効果が望める。 Than the height of the substrate surface where electrode, by moving the liquid crystal molecules in the bulk that is remote from the higher walls form that makes it possible to concentrate an electric field providing a substrate surface, the effect of lowering the more the threshold voltage It can be expected. 但し、電極を高くすると弊害として電極表面の影響を受け液晶の配向が乱され易いということが鋭意検討の結果明らかになった。 However, the fact that the likely orientation of the influence of the electrode surface as a negative effect Higher electrode liquid crystal is disturbed revealed a result of intensive studies. そこで第1の発明は電界の集中を図りながら配向異常が生じない例えば逆台形または鼓型等の電極形状を提供するものである。 Accordingly a first aspect of the present invention is to provide an electrode shape of inverse trapezoid or hourglass like for example that no alignment abnormality while achieving concentration of the electric field. 要するに不透明な電極に突起部分を設けると共に電極と液晶の接する配向の乱れた部分をその突起部分で隠すことにより画面上からはこの配向異常が見えないようにすることができるのである。 In short the disturbed part of the orientation to the opaque electrodes in contact with the electrode and the liquid crystal provided with a protrusion from the screen by hiding its projecting portion it is possible to make the orientation abnormality is not visible.

【0030】第2の発明の液晶表示装置は、基板の片方に2種類以上の高さの異なる表示電極を設けこれら電極間の電位差により液晶の配向方向を制御するものである。 The liquid crystal display device of the second invention is for controlling the alignment direction of liquid crystal by the potential difference between the electrodes provided different display electrodes of two or more types of heights on one substrate. 図4に高さの違う電極間に電界をかけた場合の液晶分子の様子を示す。 Shows the state of liquid crystal molecules when an electric field is applied between the different heights electrode in FIG. 図中11は基板、41は電極、42 Figure 11 is a substrate, 41 is an electrode, 42
は液晶分子である。 It is a liquid crystal molecule. このように、従来大きく垂直方向に回りこんでいた電気力線の垂直成分を電位差が生じる電極間に高さの差を設けることにより電気力線の水平成分を多くとることができる。 Thus, it is possible to take a lot of horizontal component of the electric lines of force by the conventional larger providing a difference in height between the electrodes a potential difference of the vertical component of the electric lines of force were crowded around occurs in the vertical direction. 更に、基板付近の液晶分子を一部立ち上がらせ、液晶配列に一部縦方向の歪みを与えることができる。 Furthermore, not rise portion of the liquid crystal molecules near the substrate, it is possible to provide a distortion of some longitudinally LCD array. 横方向電界のみでツイスト配向方向を変えた場合、電界をなくした時の液晶分子の本来の配向への戻りは液晶配列の歪みが小さい分トルクが小さいので戻る速度が小さいが、第2の発明のように縦方向に液晶配列の歪みを大きくすることによって立ち下がりの応答速度を増加させることが出来る。 If you change the twisted direction only the lateral electric field, but return to the original orientation of the liquid crystal molecules when lost electric field speed is low return so minute torque distortion is small in the liquid crystal array is small, the second invention it is possible to increase the response speed of the fall by increasing the distortion of the liquid crystal arranged in the vertical direction as in the.

【0031】次に、高分子分散型液晶装置は基板間距離を大きくとることは散乱能を十分大きくすることとなり実用上大きな利点がある。 Next, a polymer dispersed liquid crystal device is that a large distance between the substrates may practically great advantage will be sufficiently large scattering power. 第3の発明の液晶表示装置は高分子分散型方式において横電場方式を採用することによって基板間距離によらず電極間距離は一定となり基板間距離を広くすることができる。 The liquid crystal display device of the third invention can be the distance between the electrodes irrespective of the distance between the substrates to increase the distance between the substrates becomes constant by employing the transverse electric mode In the polymer-dispersed type. 従って低電圧で十分な散乱効果を期待できる。 Therefore it can be expected a sufficient scattering effect at a low voltage.

【0032】 [0032]

【実施例】以下に本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。 It will be described in detail with reference to the accompanying drawings embodiments of the present invention to EXAMPLES below.

【0033】(実施例1)図6は本発明の第1の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0033] (Embodiment 1) FIG. 6 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

【0034】先ず、図5に示すように、第1の基板である透明基板11上に1000Aの厚さでITO膜を蒸着しポジ型感光性レジストを用いてスペース幅10μmとしてITO膜をライン状にパターニングする。 [0034] First, As shown in FIG. 5, linear an ITO film as a space width 10μm using an ITO film is deposited positive photosensitive resist in a thickness of 1000A on the first transparent substrate 11 is a substrate It is patterned to. この際I At this time I
TOのパターニング時間を十分長くすることにより基板界面付近をオーバーエッチングさせ、上部幅5μm、基板接合面の幅3μmの逆台形状の電極51を形成する。 The vicinity of the substrate surface is over-etched by sufficiently long TO patterning time, upper width 5 [mu] m, to form the electrode 51 of the inverted trapezoidal shape width 3μm substrate bonding surface.
次に、図6に示すように、基板11上に配向膜を塗布した後、電極51のライン方向にラビング配向処理を行う。 Next, as shown in FIG. 6, after applying the alignment film on the substrate 11, rubbing alignment treatment in the line direction of the electrode 51. 更に第2の基板である透明基板61を配向処理した後、配向方向が90°になるように前記第1及び第2の基板同士を組み合わせスペーサとして5μm径のグラスファイバーを挟みセルにし、Δn=0.10のp型液晶を注入した。 After further alignment treatment a transparent substrate 61 which is a second substrate, the orientation direction of the cell sandwich glass fibers of 5μm diameter as the first and second spacers combining substrates together so that the 90 °, [Delta] n = and implanting p-type liquid crystal 0.10. 偏光板方向はノーマリーブラックとし液晶表示装置を作成した。 Polarizer direction has created a liquid crystal display device is a normally black. 62は電界をかけないときの液晶分子の向いている方向を表す。 62 represents a direction facing the liquid crystal molecules when no applied electric field. この場合液晶分子の長軸方向は基板11付近では紙面に対し垂直方向を向いており基板61付近では紙面に平行方向を向いた状態になっている。 The long axis direction of the case where the liquid crystal molecules is in a state facing the direction parallel to the paper surface in the vicinity of the substrate 61 faces the direction perpendicular to the paper surface in the vicinity of the substrate 11.

【0035】この様に作成した液晶表示装置は従来の電極の断面が長方形の横電場方式のものと比べ、しきい値電圧は8Vと格段に低くなっている。 [0035] Compared This liquid crystal display apparatus produced as a cross-section of a prior art electrode to that of the transverse electric field type rectangular, the threshold voltage has become remarkably and 8V low. 更に、視野角は左右上下65゜(CR>10V)と向上した。 Further, the viewing angle was increased and the left and right vertical 65 ° (CR> 10V). また、隣り合わせた電極間に±10Vの電圧をかけたところ、コントラスト100:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 10V between adjacently electrodes, contrast 100: 1 and good display was obtained.

【0036】以下の実施例では同一部分は同一番号を付してその詳しい説明を省略した。 [0036] In the same parts as the following examples is omitted a detailed description thereof will be denoted by the same numbers.

【0037】(実施例2)図7は本発明の第2の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0037] (Embodiment 2) FIG. 7 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention. 本実施例においては電極材料としてアルミニウムを用いた。 Aluminum is used as the electrode material in the present embodiment.

【0038】先ず、透明基板11上に7000Aの厚さでアルミニウム膜を蒸着しポジ型感光性レジストを用いてスペース幅5μmとしてアルミニウムをライン状にパターニングする。 [0038] First, patterning the aluminum in lines as the space width 5μm using a deposited aluminum film in a thickness of 7000A on the transparent substrate 11 positive photosensitive resist. この際アルミニウムのパターニング時間を十分長くすることにより基板界面付近をオーバーエッチングさせ、上部幅3μm、基板接合面の幅2μmの逆台形状の電極71を形成する。 In this case the vicinity of the substrate surface is over-etched by sufficiently long patterning time of aluminum, upper width 3 [mu] m, to form the electrode 71 of the inverted trapezoidal shape width 2μm of the substrate bonding surfaces.

【0039】次に、基板11上に配向膜を塗布した後、 Next, after an orientation film is coated on the substrate 11,
電極71のライン方向にラビング配向処理を行う。 Subjected to a rubbing alignment treatment in the line direction of the electrode 71. 更にもう1枚の透明基板61を配向処理した後、配向方向が0°になるように基板同士を組み合わせスペーサとして6μm径のポリスチレンビーズを挟みセルにし、Δn= After further alignment treatment; and the other transparent substrate 61, the cell sandwich polystyrene beads 6μm diameter as spacers combining substrates together such that the orientation direction is 0 °, [Delta] n =
0.10のp型液晶を注入した。 And implanting p-type liquid crystal 0.10. 偏光板方向はノーマリーブラックとし液晶表示装置を作成した。 Polarizer direction has created a liquid crystal display device is a normally black. 72は電界をかけないときの液晶分子の向いている方向を表す。 72 represents a direction facing the liquid crystal molecules when no applied electric field. この場合液晶分子の長軸方向は紙面に垂直方向である。 The long axis direction of the case where the liquid crystal molecules is perpendicular to the paper surface.

【0040】この様に作成した液晶表示装置は第1の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は6Vと格段に向上した。 [0040] The liquid crystal display apparatus produced as showed the same effect as the first embodiment, the threshold voltage was improved remarkably and 6V. 更に、視野角も左右上下70゜(CR≧1 Moreover, the viewing angle horizontally and vertically 70 ° (CR ≧ 1
0)と向上した。 0) and was improved. また、隣り合わせた電極間に±8Vの電圧をかけたところ、コントラスト200:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 8V between adjacently electrodes, contrast 200: 1 and good display was obtained.

【0041】(実施例3)図8は本発明の第3の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0041] (Embodiment 3) FIG. 8 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention. 本実施例においては第2の実施例において電極の高さ及び電極ラインのスペース幅を変えたものである。 In the present embodiment is obtained by changing the space widths of the height and the electrode lines of the electrode in the second embodiment. また、スペーサは柱状のものを使用した。 The spacer used was of columnar.

【0042】先ず、透明基板11上に9000Aの厚さでアルミニウム膜を蒸着しポジ型感光性レジストを用いてスペース幅7μmとしてアルミニウムをライン状にパターニングする。 [0042] First, patterning the aluminum in lines as the space width 7μm with deposited aluminum film in a thickness of 9000A on the transparent substrate 11 positive photosensitive resist. この際アルミニウムのパターニング時間を十分長くすることにより基板界面付近をオーバーエッチングさせ、上部幅3μm、基板接合面幅の2μmの逆台形状の電極81を形成する。 In this case the vicinity of the substrate surface is over-etched by sufficiently long patterning time of aluminum, upper width 3 [mu] m, to form the electrode 81 of the inverted trapezoidal shape 2μm substrate bonding surface width.

【0043】次に、基板11上に配向膜を塗布した後、 Next, after an orientation film is coated on the substrate 11,
電極81のライン方向にラビング配向処理を行う。 Subjected to a rubbing alignment treatment in the line direction of the electrode 81. 更にもう1枚の透明基板61を配向処理した後、配向方向が0°になるように基板同士を組み合わせスペーサとして厚さ6μmのポリスチレンビーズを挟みセルにし、Δn After further alignment treatment; and the other transparent substrate 61, the cell sandwich the polystyrene beads having a thickness of 6μm as a spacer combination of substrates to each other such that the orientation direction is 0 °, [Delta] n
=0.10のp型液晶を注入した。 = 0.10 was injected p-type liquid crystal. 偏光板方向はノーマリーブラックとし液晶表示装置を作成した。 Polarizer direction has created a liquid crystal display device is a normally black.

【0044】この様に作成した液晶表示装置は第1の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4.5Vと格段に向上した。 [0044] The liquid crystal display apparatus produced as showed the same effect as the first embodiment, the threshold voltage was improved remarkably and 4.5V. 更に、視野角も左右上下70゜(CR≧ In addition, the viewing angle horizontally and vertically 70 ° (CR ≧
10)と向上した。 10) and was improved. また、隣り合わせた電極間に±6V Further, ± between adjacently electrodes 6V
の電圧をかけたところ、コントラスト200:1と良好な表示が得られた。 Was subjected to the voltage, contrast 200: 1 and good display was obtained.

【0045】(実施例4)図12は本発明の第4の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0045] (Embodiment 4) FIG. 12 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device according to a fourth embodiment of the present invention. 本実施例においては電極を絶縁物であるSiO Xと導電物であるアルミニウムとで構成した。 The electrode in this embodiment is constituted by aluminum is SiO X and conductive material which is an insulator.

【0046】先ず、図9に示すように、透明基板11上に1μmの厚さでSiO X膜を形成した後、感光性レジストを用いてスペース幅7μmとしてSiO Xをライン状にパターニングする。 [0046] First, as shown in FIG. 9, after forming the SiO X film in a thickness of 1μm on the transparent substrate 11 to pattern the SiO X linearly as a space width 7μm using a photosensitive resist. この際SiO Xのパターニング時間を十分長くすることにより基板界面付近をオーバーエッチングさせ、上部幅3μm、基板接合面の幅2μm In this case the vicinity of the substrate surface is over-etched by sufficiently long patterning time of SiO X, upper width 3 [mu] m, the width 2μm of the substrate bonding surfaces
の逆台形状のSiO Xの突起物91を形成する。 Forming a SiO X protrusions 91 of the inverted trapezoid.

【0047】次に、図10に示すように、突起物91を有する基板11上に1000Aの厚さでアルミニウム膜101をCVD法により形成する。 Next, as shown in FIG. 10, an aluminum film 101 is formed by CVD in a thickness of 1000A on the substrate 11 having the projections 91.

【0048】次に、図11に示すように、基板11に直接ついたアルミニウム部分と突起物91上のアルミニウム部分を除去するためにRIE法等の異方性エッチングを基板上方より行い突起物91の側面にアルミニウム膜101を残し電極111を形成した。 Next, as shown in FIG. 11, the substrate 11 directly with the aluminum portion and performed from above the substrate to anisotropic etching such as RIE in order to remove the aluminum portion of the protrusion 91 protrusion 91 to form an electrode 111, leaving the aluminum film 101 on the side surface of the.

【0049】次に、基板11上に配向膜を塗布した後、 Next, after an orientation film is coated on the substrate 11,
電極111のライン方向にラビング配向処理を行う。 Subjected to a rubbing alignment treatment in the line direction of the electrode 111. 更にもう1枚の透明基板61を配向処理した後、配向方向が0°になるように基板同士を組み合わせスペーサとして厚さ6μmのポリスチレンビーズを挟みセルにし、Δ After further alignment treatment; and the other transparent substrate 61, the cell sandwich the polystyrene beads having a thickness of 6μm as a spacer combination of substrates to each other such that the orientation direction is 0 °, delta
n=0.10のp型液晶を注入した。 And implanting p-type liquid crystal n = 0.10. 偏光板方向はノーマリーブラックとし液晶表示装置を作成した。 Polarizer direction has created a liquid crystal display device is a normally black. 72は電解をかけないときの液晶分子の向いている方向を表す。 72 represents a direction facing the liquid crystal molecules when no over electrolysis.

【0050】この様に作成した液晶表示装置は第1の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4.5Vと格段に向上した。 [0050] The liquid crystal display apparatus produced as showed the same effect as the first embodiment, the threshold voltage was improved remarkably and 4.5V. 更に、視野角も左右上下70゜(CR≧ In addition, the viewing angle horizontally and vertically 70 ° (CR ≧
10)と向上した。 10) and was improved. また、隣り合わせた電極間に±6V Further, ± between adjacently electrodes 6V
の電圧をかけたところ、コントラスト200:1と良好な表示が得られた。 Was subjected to the voltage, contrast 200: 1 and good display was obtained.

【0051】(実施例5)図16は本発明の第5の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0051] (Embodiment 5) FIG. 16 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device according to a fifth embodiment of the present invention. 本実施例においては電極を高分子有機物である感光性ポリイミドと導電物であるアルミニウムとで構成した。 The electrode in this embodiment is constituted by an aluminum which is a photosensitive polyimide and the conductive material is a polymer organic material.

【0052】先ず、図13に示すように、透明基板11 [0052] First, as shown in FIG. 13, the transparent substrate 11
上に3μmの厚さでネガ型感光性ポリイミド膜を形成した後、スペース幅7μmとしてポリイミド膜をライン状に幅3μmでパターニングした。 After forming the negative photosensitive polyimide film with a thickness of 3μm on and patterned with a width 3μm a polyimide film in a line shape as the space width 7 [mu] m. この後高温焼成することによりポリイミド膜を収縮させラインの基板垂直断面の中心部分が細い鼓型状の突起物131を形成した。 The central portion of the substrate vertical section line contract the polyimide film was formed a thin hourglass-shaped projections 131 by high temperature firing after this.

【0053】次に、図14に示すように、突起物を有する基板11上に1000Aの厚さでアルミニウム膜10 Next, as shown in FIG. 14, an aluminum film 10 with a thickness of 1000A on the substrate 11 having the projections
1をCVD法により形成する。 1 is formed by CVD.

【0054】次に、図15に示すように、基板11に直接ついたアルミニウム部分と突起物131上のアルミニウム部分を除去するためにRIE法等の異方性エッチングを基板上方より行い突起物131の側面にアルミニウム膜101を残し電極151を形成した。 Next, as shown in FIG. 15, the substrate 11 directly with the aluminum portion and performed from above the substrate to anisotropic etching such as RIE in order to remove the aluminum portion of the protrusion 131 protrusion 131 to form an electrode 151, leaving the aluminum film 101 on the side surface of the.

【0055】次に、基板11上に配向膜を塗布した後、 Next, after an orientation film is coated on the substrate 11,
電極131のライン方向にラビング配向処理を行う。 Subjected to a rubbing alignment treatment in the line direction of the electrode 131. 更にもう1枚の透明基板61を配向処理した後、配向方向が0°になるように基板同士を組み合わせスペーサとして厚さ6μmのポリスチレンビーズを挟みセルにし、Δ After further alignment treatment; and the other transparent substrate 61, the cell sandwich the polystyrene beads having a thickness of 6μm as a spacer combination of substrates to each other such that the orientation direction is 0 °, delta
n=0.10のp型液晶を注入した。 And implanting p-type liquid crystal n = 0.10. 偏光板方向はノーマリーブラックとし液晶表示装置を作成した。 Polarizer direction has created a liquid crystal display device is a normally black. 72は電解をかけないときの液晶分子の向かっている方向を表す。 72 represents a direction that is towards the liquid crystal molecules when no over electrolysis.

【0056】この様に作成した液晶表示装置は第1の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4.5Vと格段に向上した。 [0056] The liquid crystal display apparatus produced as showed the same effect as the first embodiment, the threshold voltage was improved remarkably and 4.5V. 更に、視野角も左右上下75゜(CR≧ In addition, the viewing angle horizontally and vertically 75 ° (CR ≧
10)と向上した。 10) and was improved. また、隣り合わせた電極間に±6V Further, ± between adjacently electrodes 6V
の電圧をかけたところ、コントラスト200:1と良好な表示が得られた。 Was subjected to the voltage, contrast 200: 1 and good display was obtained.

【0057】(実施例6)図19は本発明の第6の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0057] (Embodiment 6) FIG. 19 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device of a sixth embodiment of the present invention. 本実施例においては電界をかける電極間で電極の高さに差をつけたものである。 It is obtained with a difference in height of the electrodes between the electrodes applying an electric field in this embodiment.

【0058】先ず、図17に示すように、透明基板11 [0058] First, as shown in FIG. 17, the transparent substrate 11
上に500Aの厚さでITO膜を蒸着した後、ポジ型感光性レジストを用いてスペース幅10μmとして幅5μ After depositing an ITO film with a thickness of 500A on the width as a space width 10μm by using a positive photosensitive resist 5μ
mのITO膜171をライン状にパターニングする。 Patterning the ITO film 171 m in a line.

【0059】次に、図18に示すように、上記ITO膜171を有する基板11上に3000Aのアルミニウム膜を蒸着し、更にポジ型感光性レジストを用いて上記対向するITO膜171のいずれか一方に重なるようにパターニングし、アルミニウム選択エッチングを行うことにより1種類のITO膜171(a)上にのみアルミニウム膜181を残しもう一方の電極はアルミニウムをエッチングしITO膜171(b)のみが基板表面に残るようにした。 Next, as shown in FIG. 18, either one of the ITO film 171 by depositing an aluminum film of 3000A on the substrate 11, further the face by using a positive photosensitive resist having the ITO film 171 patterned so as to overlap the aluminum selected other electrode leaving the aluminum film 181 only on one type of ITO film 171 (a) by performing the etching to etch the aluminum ITO film 171 (b) only the surface of the substrate It was to remain in. この様にしてスペース幅10μmで電極1 Electrode 1 in the space width 10μm in this manner
82、171(b)を作成した。 You create a 82,171 (b). この2種類の電極は基板上に交互に配置している。 The two electrodes are arranged alternately on the substrate.

【0060】次に、図19に示すように、基板11上に配向膜を塗布した後、電極182、171(b)のライン方向にラビング配向処理を行った。 Next, as shown in FIG. 19, after applying the alignment film on the substrate 11, it was subjected to a rubbing alignment treatment in the line direction of the electrode 182,171 (b). 更にもう1枚の透明基板61を配向処理した後、配向方向が90°になるように基板同士を組み合わせスペーサとして5μm径のグラスファイバーを挟みセルにし、Δn=0.10のp After further alignment treatment; and the other transparent substrate 61, alignment direction on the cell sandwich glass fibers of 5μm diameter as spacers combining substrates together so that the 90 °, Δn = 0.10 of p
型液晶を注入した。 It was injected into the type liquid crystal. 偏光板方向はノーマリーブラックとし液晶表示装置を作成した。 Polarizer direction has created a liquid crystal display device is a normally black. 62は電界をかけないときの液晶分子の向いている方向を表す。 62 represents a direction facing the liquid crystal molecules when no applied electric field.

【0061】この様に作成した液晶表示装置は第1の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は8Vと格段に向上した。 [0061] The liquid crystal display apparatus produced as showed the same effect as the first embodiment, the threshold voltage was improved remarkably and 8V. 更に、視野角も左右上下75゜(CR≧1 In addition, the viewing angle horizontally and vertically 75 ° (CR ≧ 1
0)と向上した。 0) and was improved. また、隣り合わせた電極間に±10V Further, ± between adjacently electrodes 10V
の電圧をかけたところ、コントラスト100:1と良好な表示が得られた。 It was over a period of voltage, contrast 100: 1 and a good display was obtained. また、立ち下がり応答速度を測定したところ、電極間に高さの差をつけないものと比較すると100msecと格段に向上し応答速度の改善が図られた。 The measured decay response speed, improved when compared to those without a difference in height between the electrodes 100msec and significantly improved response rate was achieved.

【0062】(実施例7)図20は本発明の第7の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0062] (Embodiment 7) FIG. 20 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device according to a seventh embodiment of the present invention. 本実施例においては、第6の実施例において電極の幅を2μ In the present embodiment, 2.mu. the width of the electrode in the sixth embodiment
mとし、スペース幅を5μmと変えて実施したものである。 And m, in which was conducted by changing the space widths between 5 [mu] m.

【0063】この様な液晶表示装置は第1の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は6Vと格段に向上した。 [0063] Such a liquid crystal display device showed the same effect as the first embodiment, the threshold voltage was improved remarkably and 6V. 更に、視野角も視野角も左右上下70゜(CR≧1 Furthermore, the left and right vertical 70 ° viewing angle viewing angle (CR ≧ 1
0)と向上した。 0) and was improved. また、隣り合わせた電極間に±10V Further, ± between adjacently electrodes 10V
の電圧をかけたところ、コントラスト200:1と良好な表示が得られた。 Was subjected to the voltage, contrast 200: 1 and good display was obtained. 第6の実施例と比較してコントラストが向上したのは電界の集中の理由からだと考えられ、 The improved to contrast compared to the sixth embodiment is considered that it for reasons of concentration of an electric field,
スペース幅をより狭くするとより特性の優れた表示装置を期待できる。 Expected excellent display device more characteristic when the space width narrower. また、立ち下がり応答速度を測定したところ、電極間に高さの差をつけないものと比較すると8 The measured decay response speed, when compared to those without a difference in height between the electrodes 8
0msecと格段に向上し応答速度の改善が図られた。 Improved significantly improved response speed and 0msec efforts were made.

【0064】(実施例8)図22は本発明の第8の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0064] (Embodiment 8) FIG. 22 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device according to an eighth embodiment of the present invention. 本実施例においては、高い方の電極をアルミニウム、低い方の電極をITOで作成した。 In the present embodiment, the higher the electrode is created aluminum, the lower electrode with ITO.

【0065】先ず、図21に示すように、透明基板11 [0065] First, as shown in FIG. 21, the transparent substrate 11
上に500Aの厚さでITO膜を蒸着した後、ポジ型感光性レジストを用いてスペース幅3μmとして幅3μm After depositing an ITO film with a thickness of 500A on the width 3μm as a space width 3μm using a positive photosensitive resist
のITO膜211をライン状にパターニングする。 Patterning of the ITO film 211 in a line shape. 次に、ITOライン211を有する透明基板11上に厚さ5000Aのアルミニウム膜を蒸着する。 Next, depositing an aluminum film having a thickness of 5000A on the transparent substrate 11 having an ITO line 211. 更に、ポジ型感光性レジストを用いてアルミニウムの選択エッチングを行うことにより前記ITO電極ライン211のライン間の中央部に、スペース幅を1.5μmとなるようにライン幅3μmのアルミニウム電極ライン212を形成する。 Furthermore, the central portion between the lines of the ITO electrode lines 211 by performing the aluminum selective etching using a positive photosensitive resist, an aluminum electrode line 212 having a line width of 3μm as a space width becomes 1.5μm Form. この際アルミニウムパターニング時間を十分長くすることにより基板界面付近をオーバーエッチングさせ基板接合面をライン幅2μmの逆台形状の電極した。 The substrate bonding surface is over-etched near the substrate surface and the electrode of the inverted trapezoidal shape line width 2μm By this time long enough aluminum patterning time. この電極間に電界をかけた場合の電気力線の様子を矢印で示す。 It shows the state of electric lines of force when an electric field is applied between the electrodes by the arrow.

【0066】次に、図22に示すように、基板11上に配向膜を塗布した後、ITO電極211、アルミニウム電極212のライン方向にラビング配向処理を行った。 Next, as shown in FIG. 22, after applying the alignment film on the substrate 11, ITO electrode 211 was subjected to a rubbing alignment treatment in the line direction of the aluminum electrode 212.
更にもう1枚の透明基板61を配向処理した後、配向方向が0°になるように基板同士を組み合わせスペーサとして厚さ6μmのポリスチレンビーズを挟みセルにし、 After further alignment treatment; and the other transparent substrate 61, the cell sandwich the polystyrene beads having a thickness of 6μm as a spacer combination of substrates to each other such that the orientation direction is 0 °,
Δn=0.10のp型液晶を注入した。 And implanting p-type liquid crystal [Delta] n = 0.10. 偏光板方向はノーマリーブラックとし液晶表示装置を作成した。 Polarizer direction has created a liquid crystal display device is a normally black. 62は電界をかけないときの液晶分子の向いている方向を示す。 62 indicates the direction facing the liquid crystal molecules when no applied electric field.

【0067】この様に作成した液晶表示装置は第1の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4.5Vと格段に向上した。 [0067] The liquid crystal display apparatus produced as showed the same effect as the first embodiment, the threshold voltage was improved remarkably and 4.5V. 更に、視野角も左右上下70゜(CR≧ In addition, the viewing angle horizontally and vertically 70 ° (CR ≧
10)゜と向上した。 10) it was ° improved. また、隣り合わせた電極間に±6 Further, ± between adjacently electrodes 6
Vの電圧をかけたところ、コントラスト200:1と良好な表示が得られた。 Was multiplied by the voltage of V, a contrast of 200: 1 and a good display was obtained. また、立ち下がり応答速度を測定したところ、電極間に高さの差をつけないものと比較すると100msecと格段に向上し応答速度の改善が図られた。 The measured decay response speed, improved when compared to those without a difference in height between the electrodes 100msec and significantly improved response rate was achieved.

【0068】(実施例9)図25は本発明の第9の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0068] (Embodiment 9) FIG. 25 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device according to a ninth embodiment of the present invention. 本実施例においては電界をかける電極間で電極の高さに差をつけたものである。 It is obtained with a difference in height of the electrodes between the electrodes applying an electric field in this embodiment.

【0069】先ず、図23に示す用に、透明基板11上に1000Aの厚さでITO膜231を蒸着する。 [0069] First, the use shown in FIG. 23, depositing the ITO film 231 in a thickness of 1000A on the transparent substrate 11. このITO膜231上にネガ型感光性ポリイミドを用いてスペース幅5μmとして、幅3μm、高さ2μmの絶縁層232をライン状に形成する。 This on the ITO film 231 as a space width 5μm using a negative type photosensitive polyimide, forming the width 3 [mu] m, an insulating layer 232 of the height 2μm linearly.

【0070】次に、図24に示す用に、基板11上方からITO241を異方的に蒸着することにより高い方の電極242と低い方の電極243を形成する。 Next, the use shown in FIG. 24, an electrode 243 of the lower and higher electrode 242 towards by evaporation from the substrate 11 upward ITO241 anisotropically. この電極間に電界をかけた場合の電気力線の様子を矢印で示す。 It shows the state of electric lines of force when an electric field is applied between the electrodes by the arrow.

【0071】次に、図25に示す用に、基板11上に配向膜を塗布した後、電極242、243、のライン方向にラビング配向処理を行った。 Next, the use shown in FIG. 25, after applying the alignment film on the substrate 11, electrodes 242 and 243, were subjected to a rubbing alignment treatment in the line direction. 更にもう1枚の透明基板61を配向処理した後、配向方向が0°になるように基板同士を組み合わせスペーサとして6μm径のポリスチレンビーズを挟みセルにし、Δn=0.10のp型液晶を注入した。 After further alignment treatment; and the other transparent substrate 61, alignment direction on the cell sandwich polystyrene beads 6μm diameter as spacers combining substrates together so that the 0 °, implanting p-type liquid crystal [Delta] n = 0.10 did. 偏光板方向はノーマリーブラックとし液晶表示装置を作成した。 Polarizer direction has created a liquid crystal display device is a normally black. 62は電界をかけないときの液晶分子の向いている方向を示す。 62 indicates the direction facing the liquid crystal molecules when no applied electric field.

【0072】この様に作成した液晶表示装置は第1の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は6Vと格段に向上した。 [0072] The liquid crystal display apparatus produced as showed the same effect as the first embodiment, the threshold voltage was improved remarkably and 6V. 更に、視野角も左右上下70゜(CR≧1 Moreover, the viewing angle horizontally and vertically 70 ° (CR ≧ 1
0)と向上した。 0) and was improved. また、隣り合わせた電極間に±8Vの電圧をかけたところ、コントラスト200:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 8V between adjacently electrodes, contrast 200: 1 and good display was obtained. また、立ち下がり応答速度を測定したところ、電極間に高さの差をつけないものと比較すると70msecと格段に向上し応答速度の改善が図られた。 The measured decay response speed, improved when compared to those without a difference in height between the electrodes 70msec and significantly improved response rate was achieved.

【0073】また、本実施例では基板上全ての低い方の電極243が予め同電位で結ばれており、マトリックス駆動上有利である。 [0073] Further, in the present embodiment has the electrode 243 of the lower all substrate is tied in advance by the same potential, which is advantageous on the matrix drive.

【0074】(実施例10)図28は本発明の第10の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0074] (Example 10) FIG. 28 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device according to a tenth embodiment of the present invention.
本実施例においては、第9の実施例において高い方の電極の導電部をアルミニウム、絶縁部をSiO Xに変えたものである。 In the present embodiment, the aluminum conductive portion of the higher electrode in the ninth embodiment is obtained by changing the insulation portion in SiO X.

【0075】先ず、図26に示す用に、透明基板11上に500Aの厚さでITO膜231を蒸着する。 [0075] First, the use shown in FIG. 26, depositing the ITO film 231 at a thickness of 500A on the transparent substrate 11. このI This I
TO膜231上に1μmの厚さでSiO X膜を形成した後、感光性レジストを用いてスペース幅7μmとして、 After forming the SiO X film in a thickness of 1μm on the TO film 231, as a space width 7μm using a photosensitive resist,
上部幅3μm、高さ1μmのSiO X絶縁層261をライン状にパターニングする。 Upper width 3 [mu] m, patterning of the SiO X insulating layer 261 in the height 1μm linearly. この後、スパッタ法により基板11上方から異方的にアルミニウム膜262を10 Thereafter, anisotropically from the substrate 11 upward by sputtering an aluminum film 262 10
00Aの厚さで形成する。 It is formed to a thickness of 00A.

【0076】次に、図27に示す用に、光を通すため、 Next, the use shown in FIG. 27, for the passage of light,
ITO膜231上に直接ついたアルミニウム部分を除去し高い方の電極271、低い方の電極272を形成した。 ITO film 231 is removed directly with aluminum portions over higher electrode 271, to form a lower electrode 272. この電極間に電界をかけた場合の電気力線の様子を矢印で示す。 It shows the state of electric lines of force when an electric field is applied between the electrodes by the arrow.

【0077】次に、図28に示す用に、基板11上に配向膜を塗布した後、電極271、272、のライン方向にラビング配向処理を行った。 Next, the use shown in FIG. 28, after applying the alignment film on the substrate 11, electrodes 271 and 272, were subjected to a rubbing alignment treatment in the line direction. 更に、もう1枚の透明基板61を配向処理した後、配向方向が0°になるように基板同士を組み合わせスペーサとして厚さ6μmのポリスチレンビーズを挟みセルにし、Δn=0.10のp型液晶を注入した。 Further, after the alignment treatment; and the other transparent substrate 61, alignment direction on the cell sandwich the polystyrene beads having a thickness of 6μm as a spacer combination of substrates to each other so that the 0 °, [Delta] n = 0.10 of p-type liquid crystal It was injected. 偏光板方向はノーマリーブラックとし液晶表示装置を作成した。 Polarizer direction has created a liquid crystal display device is a normally black. 62は電界をかけないときの液晶分子の向いている方向を示す。 62 indicates the direction facing the liquid crystal molecules when no applied electric field.

【0078】この様に作成した液晶表示装置は第1の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4Vと格段に向上した。 [0078] The liquid crystal display apparatus produced as showed the same effect as the first embodiment, the threshold voltage was improved remarkably and 4V. 更に、視野角も左右上下70゜(CR≧1 Moreover, the viewing angle horizontally and vertically 70 ° (CR ≧ 1
0)と向上した。 0) and was improved. また、隣り合わせた電極間に±6Vの電圧をかけたところ、コントラスト200:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 6V between adjacently electrodes, contrast 200: 1 and good display was obtained. また、立ち下がり応答速度を測定したところ、電極間に高さの差をつけないものと比較すると100msecと格段に向上し応答速度の改善が図られた。 The measured decay response speed, improved when compared to those without a difference in height between the electrodes 100msec and significantly improved response rate was achieved.

【0079】また、本実施例では第9の実施例と同様、 [0079] Further, in this embodiment similar to the embodiment of the ninth,
低い方の電極272が予め同電位で結ばれており、マトリックス駆動上有利である。 Are connected at the lower electrode 272 is preliminarily same potential, which is advantageous on the matrix drive.

【0080】(実施例11)図30は本発明の第11の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0080] (Example 11) FIG. 30 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device 11 according to the embodiment of the present invention.
本実施例においては、第8の実施例の高い方の電極をS In the present embodiment, the higher of the electrode of the eighth embodiment S
iO X絶縁層と、アルミニウム導電層によって形成したものである。 and iO X insulating layer is obtained by forming an aluminum conductive layer.

【0081】先ず、図29に示すように、透明基板11 [0081] First, as shown in FIG. 29, the transparent substrate 11
上に500Aの厚さでITO膜を蒸着した後、ポジ型感光性レジストを用いてスペース、幅7μmとして幅5μ After depositing an ITO film with a thickness of 500A on the width using a positive photosensitive resist space, the width 7 [mu] m 5 [mu]
mのITO膜211をライン状にパターニングする。 Patterning the ITO film 211 m in a line. 次に、ITOライン211を有する透明基板11上に厚さ1μmのSiO X膜を形成する。 Then, a SiO X film having a thickness of 1μm on the transparent substrate 11 having an ITO line 211. 更に、感光性レジストを用いてSiO X選択エッチングを行うことにより、前記ITO電極ライン211の電極間の中央部に、スペース幅を2μmとなるようにライン幅3μmのSiO X絶縁層ライン291を形成する。 Further, by performing the SiO X selective etching using a photoresist, a central portion between the electrodes of the ITO electrode lines 211, the SiO X insulating layer line 291 having a line width of 3μm as a space width becomes 2μm formed to. 次に、ITOライン21 Then, ITO line 21
1、SiO X絶縁膜ライン291を有する基板11上に1000Aの厚さでアルミ膜をCVDで形成し、SiO 1, an aluminum film is formed by CVD in SiO X insulating film lines 291 thick 1000A on the substrate 11 having of, SiO
X絶縁層291上に残るようにアルミニウム膜292をパターニングし、電極293を形成した。 Patterning the aluminum film 292 so as to be left on the X-insulating layer 291, to form an electrode 293. この電極間に電界をかけた場合の電気力線の様子を矢印で示す。 It shows the state of electric lines of force when an electric field is applied between the electrodes by the arrow.

【0082】次に、図30に示すように、基板11上に配向膜を塗布した後、ITO電極211、高い方の電極293のライン方向にラビング配向処理を行った。 [0082] Next, as shown in FIG. 30, after applying the alignment film on the substrate 11, ITO electrode 211 was subjected to a rubbing alignment treatment in the line direction of higher electrode 293. 更に、もう1枚の透明基板61を配向処理した後、配向方向が0°になるように基板同士を組み合わせスペーサとして厚さ6μmのポリスチレンビーズを挟みセルにし、 Further, after the alignment treatment; and the other transparent substrate 61, the cell sandwich the polystyrene beads having a thickness of 6μm as a spacer combination of substrates to each other such that the orientation direction is 0 °,
Δn=0.10のp型液晶を注入した。 And implanting p-type liquid crystal [Delta] n = 0.10. 偏光板方向はノーマリーブラックとし液晶表示装置を作成した。 Polarizer direction has created a liquid crystal display device is a normally black. 62は電界をかけないときの液晶分子の向いている方向を示す。 62 indicates the direction facing the liquid crystal molecules when no applied electric field.

【0083】この様に作成した液晶表示装置は第1の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4.5と格段に向上した。 [0083] The liquid crystal display apparatus produced as showed the same effect as the first embodiment, the threshold voltage was remarkably improved to 4.5. 更に、視野角も左右上下70゜(CR≧1 Moreover, the viewing angle horizontally and vertically 70 ° (CR ≧ 1
0)と向上した。 0) and was improved. また、隣り合わせた電極間に±6Vの電圧をかけたところ、コントラスト100:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 6V between adjacently electrodes, contrast 100: 1 and good display was obtained. また、立ち下がり応答速度を測定したところ、電極間に高さの差をつけないものと比較すると100msecと格段に向上し応答速度の改善が図られた。 The measured decay response speed, improved when compared to those without a difference in height between the electrodes 100msec and significantly improved response rate was achieved.

【0084】(実施例12)図32は本発明の第12の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0084] (Example 12) FIG. 32 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device which is a twelfth embodiment of the present invention.

【0085】先ず、図31に示すように、透明基板11 [0085] First, as shown in FIG. 31, the transparent substrate 11
上に3μmの厚さでネガ型感光性ポリイミド膜を形成した後、スペース幅7μmとして幅3μmのポリイミド膜をライン状にパターニングする。 After forming the negative photosensitive polyimide film with a thickness of 3μm on to pattern the polyimide film having a width 3μm in a line as space width 7 [mu] m. この後高温焼成することにより収縮を起こし基板垂直断面が鼓型状のポリイミドライン321を形成する。 Substrate vertical section undergoes shrinkage by high temperature firing after which form the hourglass-shaped polyimide line 321. 次に、ポリイミドライン3 Next, a polyimide line 3
21を有する基板11上に厚さ1000AのITO膜3 ITO film 3 having a thickness of 1000A on the substrate 11 having a 21
22をスパッタで異方的に形成し基板に直接ついた部分を電極324とし、ポリイミドライン321とその上部に形成されたITO膜322とで電極323を形成した。 22 was the anisotropically formed directly with a portion of the substrate by sputtering the electrode 324, to form an electrode 323 with a polyimide line 321 and ITO film 322 formed thereon. この電極間に電界をかけた場合の電気力線の様子を矢印で示す。 It shows the state of electric lines of force when an electric field is applied between the electrodes by the arrow.

【0086】次に、図32に示すように、基板11上に配向膜を塗布した後、電極323、324のライン方向にラビング配向処理を行った。 [0086] Next, as shown in FIG. 32, after applying the alignment film on the substrate 11, was subjected to a rubbing alignment treatment in the line direction of the electrode 323 and 324. 更にもう1枚の透明基板61を配向処理した後、配向方向が0°になるように基板同士を組み合わせスペーサとして厚さ6μmのポリスチレンビーズを挟みセルにし、Δn=0.10のp型液晶を注入した。 After further alignment treatment; and the other transparent substrate 61, alignment direction on the cell sandwich the polystyrene beads having a thickness of 6μm as a spacer combination of substrates to each other so that the 0 °, a p-type crystal of [Delta] n = 0.10 injected. 偏光板方向はノーマリーブラックとし液晶表示装置を形成した。 Polarizer direction to form a liquid crystal display device is a normally black. た。 It was. 62は電界をかけないときの液晶分子の向いている方向を示す。 62 indicates the direction facing the liquid crystal molecules when no applied electric field.

【0087】この様に作成した液晶表示装置は第1の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4Vと格段に向上した。 [0087] The liquid crystal display apparatus produced as showed the same effect as the first embodiment, the threshold voltage was improved remarkably and 4V. 更に、視野角も左右上下75゜(CR≧1 In addition, the viewing angle horizontally and vertically 75 ° (CR ≧ 1
0)と向上した。 0) and was improved. また、隣り合わせた電極間に±6Vの電圧をかけたところ、コントラスト100:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 6V between adjacently electrodes, contrast 100: 1 and good display was obtained. また、立ち下がり応答速度を測定したところ、電極間に高さの差をつけないものと比較すると200msecと格段に向上し応答速度の改善が図られた。 The measured decay response speed, improved when compared to those without a difference in height between the electrodes 200msec and significantly improved response rate was achieved.

【0088】(実施例13)図33は本発明の第13の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0088] (Example 13) FIG. 33 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device according to a thirteenth embodiment of the present invention.
本実施例においては、横電場方式で高分子分散型の液晶表示装置を作成した。 In this embodiment, creating the polymer-dispersed liquid crystal display device of the horizontal electric field method.

【0089】先ず、透明基板上11に1000Aの厚さでITO膜を蒸着した後、ポジ型感光性レジストを用いてスペース幅10μmとして幅5μmのITO電極33 [0089] First, transparent after depositing the ITO film on the substrate 11 with a thickness of 1000A, a positive photosensitive resist ITO electrode 33 having a width 5μm as a space width 10μm using
1をライン状に形成する。 It forms 1 linearly.

【0090】次に、マトリックス高分子としてEpon [0090] Next, Epon as the matrix polymer
812のエポキシ樹脂を選び樹脂100重量部に対し硬化剤Capcure3−800を100重量部、液晶E 100 parts by weight of curing agent Capcure3-800 per 100 parts by weight of the resin to select the epoxy resin 812, a liquid crystal E
−7を200重量部を混合した後20μmスペーサを介し前記ITO電極331を有する基板11と、もう一枚の基板61とで挟む。 A substrate 11 having the ITO electrode 331 via a 20μm spacer after mixing -7 200 parts by weight, sandwiched between the other one of the substrate 61.

【0091】次に、60℃で30分熱処理した後100 [0091] Then, after a heat treatment for 30 minutes at 60 ℃ 100
℃まで昇温し、更に10分熱処理をして高分子分散型液晶表示装置を作成した。 ℃ temperature was raised to, creating the polymer-dispersed liquid crystal display device by a further 10 minutes heat treatment. 332は基板間に分散された液晶を表す。 332 denotes a liquid crystal dispersed between the substrates.

【0092】この様に作成した液晶表示装置は、同じ基板間隔で縦方向に電界をかけるタイプのものと比較すると、しきい値電圧は10Vと格段に向上した。 [0092] The liquid crystal display apparatus produced in this manner, when compared to the longitudinal direction at the same substrate gap of a type applying an electric field, the threshold voltage was improved remarkably and 10V. また、隣り合わせた電極間に±30Vの電圧をかけたところ、投射型でコントラスト100:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 30 V between adjacently electrodes, the contrast 100 at the projection type: 1 and good display was obtained.

【0093】(実施例14)図34は本発明の第14の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0093] (Embodiment 14) FIG. 34 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device which is a fourteenth embodiment of the present invention.
本実施例においては、実施例13において電極にアルミニウムを用い、更にその形状を逆台形状にし、高分子材料を変えた液晶表示装置を作成した。 In the present embodiment, aluminum is used as the electrode in Example 13, further its shape inverted trapezoidal shape to prepare a liquid crystal display device with different polymeric materials.

【0094】先ず、透明基板11上に7000Aの厚さでアルミニウム膜を蒸着しポジ型感光性レジストを用いてスペース幅5μmとしてアルミニウムをライン状にパターニングする。 [0094] First, patterning the aluminum in lines as the space width 5μm using a deposited aluminum film in a thickness of 7000A on the transparent substrate 11 positive photosensitive resist. この際アルミニウムパターニング時間を十分長くすることにより基板界面付近をオーバーエッチングさせ、上部幅3μm、基板接合面の幅2μmの逆台形状の電極341を形成する。 In this case aluminum patterning time near the substrate interface is over-etched by sufficiently long, upper width 3 [mu] m, to form an electrode 341 of the inverted trapezoidal shape width 2μm of the substrate bonding surfaces.

【0095】次に、マトリックス高分子としてDevc [0095] Next, Devc as the matrix polymer
on5A・Epon812の2種類のエポキシ樹脂を選び硬化剤としてCapcure3−800を用いてそれぞれ1:1:2の割合で調整し、これを1:2で液晶E Respectively, using the Capcure3-800 as a curing agent to select the two kinds of epoxy resins of on5A · Epon812 1: 1: Adjust the rate of 2, which 1: 2 in liquid crystal E
−7に混合した後20μmスペーサを介し前記アルミニウム電極341を有する基板11ともう一枚の基板61 Substrate 11 having the aluminum electrode 341 through a 20μm spacer after mixing to -7 with another piece of substrate 61
とで挟む。 Sandwiched between.

【0096】次に、50℃で20分熱処理した後90℃ [0096] Next, 90 ℃ after heat treatment for 20 minutes at 50 ℃
まで昇温し、更に5分熱処理をして高分子分散型液晶表示装置を作成した。 Until the temperature was raised to prepare a polymer dispersion type liquid crystal display device with a further 5 minutes heat treatment. 332は基板間に分散された液晶を表す。 332 denotes a liquid crystal dispersed between the substrates.

【0097】この様に作成した液晶表示装置は、第13 [0097] The liquid crystal display device that was created in this manner, the first 13
の実施例よりも更にしきい値電圧を低くすることが可能となり、その値は5Vと格段に向上した。 It is possible to further lower the threshold voltage than the embodiment, the value is improved remarkably and 5V. また、隣り合わせた電極間に±8Vの電圧をかけたところ、投射型でコントラスト200:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 8V between adjacently electrodes, the contrast 200 at the projection type: 1 and good display was obtained.

【0098】(実施例15)図35は本発明の第15の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0098] (Example 15) FIG. 35 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device is a fifteenth embodiment of the present invention.
本実施例においては、実施例14において電極の高さ、 In the present embodiment, the height of the electrode in Example 14,
スペース幅を変えた液晶表示装置を作成した。 A liquid crystal display device was prepared by changing the space width.

【0099】先ず、透明基板11上に9000Aの厚さでアルミニウム膜を蒸着しポジ型感光性レジストを用いてスペース幅7μmとしてアルミニウムをライン状にパターニングする。 [0099] First, patterning the aluminum in lines as the space width 7μm with deposited aluminum film in a thickness of 9000A on the transparent substrate 11 positive photosensitive resist. この際アルミニウムパターニング時間を十分長くすることにより基板界面付近をオーバーエッチングさせ、上部幅3μm、基板接合面の幅2μmの逆台形状の電極351を形成する。 In this case aluminum patterning time near the substrate interface is over-etched by sufficiently long, upper width 3 [mu] m, to form an electrode 351 of the inverted trapezoidal shape width 2μm of the substrate bonding surfaces.

【0100】次に、マトリックス高分子としてポリエステルポリオールとヒドロキシプロピルアクリレートから調整したポリウレタンアクリレート100重量部に対し液晶E−7を400重量部と光重合開始剤2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン40 Next, 400 parts by weight of a liquid crystal E-7 to polyurethane acrylate 100 parts by weight was adjusted from polyester polyol and a hydroxy acrylate as matrix polymer and a photopolymerization initiator 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl propane-1-one 40
重量部を加え混合した後10μmスペーサを介し前記電極351を有する基板11ともう一枚の基板61とで挟む。 Sandwiched between the substrate 11 having the electrode 351 through a 10μm spacer was added and mixed parts with another piece of substrate 61.

【0101】次に、80℃、メタルハライドランプ30 [0101] Then, 80 ℃, a metal halide lamp 30
W/cmの条件下で3分間紫外線照射した後更に90 Further 90 After UV irradiation for 3 minutes under the conditions of W / cm
℃、メタルハライドランプ80W/cmの条件下で3分間紫外線照射を行って高分子分散型液晶表示装置を作成した。 ° C., was prepared polymer dispersed liquid crystal display device performs 3 minutes ultraviolet irradiation under the conditions of a metal halide lamp 80W / cm. 332は基板間に分散された液晶を表す。 332 denotes a liquid crystal dispersed between the substrates.

【0102】この様に作成した液晶表示装置は、第14 [0102] The liquid crystal display device that was created in this manner, the first 14
の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は6Vと格段に向上した。 Showed the same effect as the embodiment of, the threshold voltage was improved remarkably and 6V. また、隣り合わせた電極間に±10Vの電圧をかけたところ、投射型でコントラスト200:1 In addition, as a result of applying a voltage of ± 10V between adjacently electrodes, the contrast 200 at the projection type: 1
と良好な表示が得られた。 And good display was obtained.

【0103】(実施例16)図37は本発明の第16の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0103] (Example 16) FIG. 37 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device which is a sixteenth embodiment of the present invention.

【0104】先ず、図36に示すように、透明基板11 [0104] First, as shown in FIG. 36, the transparent substrate 11
上に10μmの厚さでSiOX 膜を形成した後感光性レジストを用いてスペース幅7μmとしてSiOX をライン状にパターニングする。 Patterning the SiOX linearly as a space width 7μm using a photosensitive resist after forming the SiOX film with a thickness of 10μm thereon. この際パターニング時間を十分長くすることにより基板界面付近をオーバーエッチングさせ、上部幅3μm、基板接合面の幅2μmの逆台形状のSiOX ライン361を形成する。 The vicinity of the substrate surface is over-etched by this time patterning time long enough, the upper width 3 [mu] m, to form a SiOX line 361 inverted trapezoidal shape having a width 2μm of the substrate bonding surfaces.

【0105】次に、図37に示すように、SiOX ライン361を有する基板11上に1000Aの厚さでアルミニウム膜371をCVDで等方的に形成する。 [0105] Next, as shown in FIG. 37, an aluminum film 371 is isotropically formed by CVD to a thickness of 1000A on the substrate 11 having the SiOX line 361. 次に、 next,
基板に直接ついたアルミニウムとSiOX ライン361 Aluminum attached directly to the substrate and SiOX line 361
上部についたアルミニウムを除去するためRIE等により選択エッチングを行い図に示すような電極372を形成する。 Forming the electrode 372 as shown in FIG subjected to selective etching by RIE or the like to remove with aluminum on top.

【0106】次に、マトリックス高分子としてポリエステルポリオールとヒドロキシプロピルアクリレートから調整したポリウレタンアクリレート100重量部に対し液晶E−7を400重量部と光重合開始剤2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン40 [0106] Next, 400 parts by weight of a liquid crystal E-7 to polyurethane acrylate 100 parts by weight was adjusted from polyester polyol and a hydroxy acrylate as matrix polymer and a photopolymerization initiator 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl propane-1-one 40
重量部を加え混合した後50μmスペーサを介し前記電極372を有する基板11ともう一枚の基板61とで挟む。 Sandwiched between the substrate 11 having the electrode 372 through a 50μm spacer was added and mixed parts with another piece of substrate 61.

【0107】次に、80℃、メタルハライドランプ30 [0107] Next, 80 ℃, a metal halide lamp 30
W/cmの条件下で3分間紫外線照射した後更に90 Further 90 After UV irradiation for 3 minutes under the conditions of W / cm
℃、メタルハライドランプ80W/cmの条件下で3分紫外線照射を行って高分子分散型液晶表示装置を作成した。 ° C., was prepared polymer dispersed liquid crystal display device performs 3 minutes ultraviolet irradiation under the conditions of a metal halide lamp 80W / cm. 332は基板間に分散された液晶を表す。 332 denotes a liquid crystal dispersed between the substrates.

【0108】この様に作成した液晶表示装置は、第14 [0108] The liquid crystal display device that was created in this manner, the first 14
の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は6Vと格段に向上した。 Showed the same effect as the embodiment of, the threshold voltage was improved remarkably and 6V. また、隣り合わせた電極間に±10Vの電圧をかけたところ、投射型でコントラスト200:1 In addition, as a result of applying a voltage of ± 10V between adjacently electrodes, the contrast 200 at the projection type: 1
と良好な表示が得られた。 And good display was obtained.

【0109】(実施例17)図39は本発明の第17の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0109] (Embodiment 17) FIG. 39 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device 17 according to the embodiment of the present invention.
本実施例においては、実施例16において電極の絶縁部を鼓型状のポリイミドとして液晶表示装置を作成した。 In the present embodiment, a liquid crystal display was made an insulating portion of the electrode as hourglass-shaped polyimide in Example 16.

【0110】先ず、図38に示すように、透明基板11 [0110] First, as shown in FIG. 38, the transparent substrate 11
上に3μmの厚さでネガ型感光性ポリイミド膜を形成した後、スペース7μmとして幅3μmにポリイミドをライン状にパターニングする。 After forming the negative photosensitive polyimide film with a thickness of 3μm on, patterning the polyimide in lines in the width 3μm as a space 7 [mu] m. 次に、高温焼成を行い、前記ライン状のポリイミドを収縮させ、ラインの基板垂直断面の中心が細い鼓型状のポリイミド381を形成する。 Next, the high temperature firing, to contract the linear polyimide, center of the substrate vertical section line forms a thin hourglass-shaped polyimide 381.

【0111】次に、図39に示すように、前記ポリイミド381を有する基板11上に1000Aの厚さでアルミニウム膜をCVDで等方的に形成する。 [0111] Next, as shown in FIG. 39, the aluminum film is isotropically formed by CVD to a thickness of 1000A on the substrate 11 having the polyimide 381. 次に、基板に直接ついたアルミニウムとポリイミド381突起上部についたアルミニウムを除去するためRIE等により選択エッチングを行い図に示すような電極392を形成する。 Next, an electrode 392 as shown in FIG subjected to selective etching by RIE or the like to remove the direct with aluminum and polyimide 381 aluminum with a protrusion top on the substrate. 図中391はアルミニウムである。 Figure 391 is aluminum.

【0112】次に、マトリックス高分子としてポリエステルポリオールとヒドロキシプロピルアクリレートから調整したポリウレタンアクリレート100重量部を用い、これに対して液晶E−44を400重量部と光重合開始剤2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン20重量部を加え混合した後、100μ [0112] Then, using the polyurethane acrylate 100 parts by weight was adjusted from polyester polyol and a hydroxy acrylate as matrix polymer, which 400 parts by weight of a liquid crystal E-44 with respect to a photopolymerization initiator 2-hydroxy-2- after mixing added methyl-1-phenylpropane-1-one 20 parts by weight, 100 microns
mスペーサを介し前記電極392を有する基板11ともう一枚の基板61とで挟む。 m sandwiched by the spacer and the substrate 11 having the electrodes 392 through the other one of the substrate 61.

【0113】次に、60℃、メタルハライドランプ30 [0113] Next, 60 ℃, a metal halide lamp 30
W/cmの条件下で3分間紫外線照射をした後更に80 Further 80 After a 3 min UV irradiation under a condition of W / cm
℃、メタルハライドランプ80W/cmの条件下で3分紫外線照射を行って高分子分散型液晶表示装置を作成した。 ° C., was prepared polymer dispersed liquid crystal display device performs 3 minutes ultraviolet irradiation under the conditions of a metal halide lamp 80W / cm.

【0114】この様に作成した液晶表示装置は、第14 [0114] The liquid crystal display device that was created in this manner, the first 14
の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は10Vと格段に向上した。 Showed the same effect as the embodiment of, the threshold voltage was improved remarkably and 10V. また、隣り合わせた電極間に±20V Further, ± between adjacently electrodes 20V
の電圧をかけたところ、投射型でコントラスト200: It was over a period of voltage, contrast 200 in the projection type:
1と良好な表示が得られた。 1 and good display was obtained.

【0115】(実施例18)図40は本発明の第18の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0115] (Embodiment 18) FIG. 40 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device 18 according to the embodiment of the present invention.
本実施例においては、第6の実施例を高分子分散型にした液晶表示装置を作成した。 In this embodiment, the sixth embodiment to create a liquid crystal display device in polymer dispersion type.

【0116】先ず、透明基板11上に500Aの厚さでITO膜を蒸着した後、ポジ型感光性レジストを用いてスペース幅10μmとして幅5μmのITO膜401をライン状にパターニングする。 [0116] First, after depositing an ITO film with a thickness of 500A on the transparent substrate 11, patterning the ITO film 401 having a width 5μm in a line as space width 10μm by using a positive photosensitive resist.

【0117】次に、上記ITO膜401を有する基板1 [0117] Next, the substrate 1 having the ITO film 401
1上に9000Aのアルミニウム膜を蒸着し、更にポジ型感光性レジストを用いて上記対抗するITO膜401 ITO film 401 1 by depositing an aluminum film of 9000A on further the counter with a positive photosensitive resist
のいずれか一方に重なるようにパターニングし、アルミニウムの選択エッチングを行うことにより1種類のIT One patterned to overlap one, one type of IT by performing aluminum selective etching of
O膜401(a)上にのみアルミニウム膜402を残しもう一方の電極はアルミニウムをエッチングしITO膜401(b)のみが基板表面に残るようにした。 O film 401 (a) the other electrode leaving the aluminum film 402 only on only the ITO film 401 is etched aluminum (b) is to remain on the substrate surface. この様にしてスペース幅10μmで電極403、401(b) Electrode 403,401 in the space width of 10μm in this manner (b)
を作成した。 It was created. この2種類交の電極は基板上に交互に配置している。 Electrodes of the two exchange are arranged alternately on the substrate.

【0118】次に、マトリックス高分子としてEpon [0118] Next, Epon as the matrix polymer
812のエポキシ樹脂を選び樹脂100重量部に対し硬化剤Capcure3−800 100重量部 液晶E Curing agent per 100 parts by weight of the resin to select the epoxy resin of 812 Capcure3-800 100 parts by weight of the liquid crystal E
−7200重量部を混合した後60μmスペーサを介し前記電極付きの基板ともう一枚の基板61とで挟む。 -7200 interposed between the substrate provided with the electrode through a 60μm spacer after mixing the parts and the other one of the substrate 61.

【0119】次に、60℃で30分熱処理した後100 [0119] Then, after a heat treatment for 30 minutes at 60 ℃ 100
℃まで昇温し、更に10分熱処理をして高分子分散型液晶表示装置を作成した。 ℃ temperature was raised to, creating the polymer-dispersed liquid crystal display device by a further 10 minutes heat treatment.

【0120】この様に作成した液晶表示装置は、第14 [0120] The liquid crystal display device that was created in this manner, the first 14
の実施例と同様の効果を示し、しきいち電圧は5Vと格段に向上した。 Showed the same effect as the embodiment of, the threshold voltage was improved remarkably and 5V. また、隣り合わせた電極間に±10Vの電圧をかけたところ、投射型でコントラスト100:1 In addition, as a result of applying a voltage of ± 10V between adjacently electrodes, the contrast 100 at the projection type: 1
と良好な表示が得られた。 And good display was obtained.

【0121】(実施例19)次に、本発明の第19の実施例を示す。 [0121] Next (Example 19), showing a nineteenth embodiment of the present invention. 本実施例においては、第18の実施例において電極の高さ、ライン幅、スペース幅を変え更に樹脂材料を変えた高分子分散型液晶表示装置を作成した。 In the present embodiment, were prepared height of the electrode in the eighteenth embodiment of a line width, a polymer dispersion type liquid crystal display device with different addition resin material changing the space width.

【0122】先ず、透明基板に500Aの厚さでITO [0122] First, ITO with a thickness of 500A on the transparent substrate
膜を蒸着した後、ポジ型感光性レジストを用いてスペース幅2μmとして幅5μmのITO膜をライン状にパターニングする。 After the deposition of film, the ITO film is patterned in a width 5μm in a line as space width 2μm using a positive photosensitive resist.

【0123】次に、上記ITO膜を有する基板上に30 [0123] Then, 30 on the substrate having the ITO film
μmのアルミニウム膜を蒸着し、更にポジ型感光性レジストを用いて上記対抗するITO膜のいずれか一方に重なるようにパターニングし、アルミニウムの選択エッチングを行うことにより1種類のITO膜上にのみアルミニウム膜を残しもう一方の電極はアルミニウムをエッチングしITO膜のみが基板表面に残るようにした。 Depositing an aluminum film of [mu] m, further using a positive type photosensitive resist is patterned so as to overlap with one of the ITO film to the counter, by performing the aluminum selective etching only on one type of ITO film aluminum the other electrode leaving film only ITO film is etched aluminum was to remain on the substrate surface. この様にしてスペース幅5μm、電極ライン幅5μmの電極を2種類交互に形成した。 Such a manner space width 5 [mu] m, to form an electrode of the electrode line width 5 [mu] m into two types alternately.

【0124】次に、マトリックス高分子としてDevc [0124] Next, Devc as the matrix polymer
on5A・Epon812の2種類のエポキシ樹脂を選び硬化剤としてCapcure3−800を用いてそれぞれ1:1:2の割合で調整し1:2で液晶E−7に混合した後50μmスペーサを介し前記電極付きの基板ともう一枚の基板とで挟む。 Respectively, using the Capcure3-800 as a curing agent to select the two kinds of epoxy resins of on5A · Epon812 1: 1: Adjust the rate of 2 1: wherein with the electrode via a 50μm spacers were mixed in a liquid crystal E-7 with 2 sandwiched between the substrate and the other a single substrate.

【0125】次に、50℃で20分熱処理した後90℃ [0125] Next, 90 ℃ after heat treatment for 20 minutes at 50 ℃
まで昇温し更に5分熱処理をし高分子分散型液晶表示装置を作成した。 The temperature was raised further 5 minutes heat treated to create a polymer-dispersed liquid crystal display device to.

【0126】この様に作成した液晶表示装置は、第14 [0126] The liquid crystal display device that was created in this manner, the first 14
の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は5Vと格段に向上した。 Showed the same effect as the embodiment of, the threshold voltage was improved remarkably and 5V. また、隣り合わせた電極間に±10Vの電圧をかけたところ、直視型でコントラスト50:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 10V between adjacently electrodes, contrast 50 in direct-view: 1 and good display was obtained.

【0127】(実施例20)図41は本発明の第20の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0127] (Embodiment 20) FIG. 41 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device is a twentieth embodiment of the present invention.
本実施例においては、第8の実施例において高分子分散型の液晶表示装置とした。 In this embodiment, a polymer dispersed liquid crystal display device in the eighth embodiment.

【0128】先ず、透明基板11上に500Aの厚さでITO膜を蒸着した後、ポジ型感光性レジストを用いてスペース幅6μmとして幅3μmのITO膜411をライン状にパターニングする。 [0128] First, after depositing an ITO film with a thickness of 500A on the transparent substrate 11, patterning the ITO film 411 having a width 3μm in a line as space width 6μm using a positive photosensitive resist. 次に、ITOライン411 Then, ITO line 411
を有する透明基板11上に厚さ5000Aのアルミニウム膜を蒸着する。 Depositing an aluminum film having a thickness of 5000A on the transparent substrate 11 having. 更に、ポジ型感光性レジストを用いてアルミニウムの選択エッチングを行うことにより前記I Furthermore, the I by performing aluminum selective etching using a positive photosensitive resist
TO電極ライン411のライン間の中央部に、スペース幅を1.5μmとなるようにライン幅3μmのアルミニウム電極ライン412を形成する。 The central portion between the lines of the TO electrode lines 411, to form an aluminum electrode line 412 having a line width of 3μm as a space width becomes 1.5 [mu] m. この際アルミニウムパターニング時間を十分長くすることにより基板界面付近をオーバーエッチングさせ基板接合面をライン幅2μ Line width 2μ substrate bonding surface is over-etched near the substrate interface by this time long enough aluminum patterning time
mの逆台形状の電極した。 And electrodes of the inverted trapezoidal shape m.

【0129】次に、マトリックス高分子として、ポリエステルポリオールとヒドロキシプロピルアクリレートから調整したポリウレタンアクリレートを使用し、このポリウレタンアクリレート100重量部に対し液晶E−7 [0129] Next, as the matrix polymer, using a polyurethane acrylate was prepared from a polyester polyol and a hydroxy acrylate, a liquid crystal E-7 to 100 parts by weight of this polyurethane acrylate
を400重量部、光重合開始剤2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オンを40重量部を加え混合した後10μmスペーサを介し、前記電極41 400 parts by weight, the photopolymerization initiator 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1-one through a 10μm spacer was added and mixed 40 parts by weight, the electrode 41
1、412を有する基板11ともう一枚の基板61とで挟む。 1,412 sandwiched between the other one of the substrate 61 and the substrate 11 having a.

【0130】次に、80℃、メタルハライドランプ30 [0130] Next, 80 ℃, a metal halide lamp 30
W/cmの条件下で3分間紫外線照射をし、更に90 It was 3 minutes ultraviolet irradiation under the conditions of W / cm, further 90
℃、メタルハライドランプ80W/cmの条件下で3分間紫外線照射を行って高分子分散型液晶表示装置を作成した。 ° C., was prepared polymer dispersed liquid crystal display device performs 3 minutes ultraviolet irradiation under the conditions of a metal halide lamp 80W / cm.

【0131】この様に作成した液晶表示素子をクロスニコルとした偏光板2枚で挟み評価を行ったところ、第1 [0131] were evaluated sandwiching the liquid crystal display element that was created in this way in the two polarizing plates which is a cross-Nicol, the first
4の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4Vと格段に向上した。 Showed the same effect as Example 4, the threshold voltage was improved remarkably and 4V. また、隣り合わせた電極間に±6Vの電圧をかけたところ、コントラスト250:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 6V between adjacently electrodes, contrast 250: 1 and good display was obtained. 偏光板で挟むことにより高コントラストでの直視という効果を期待できる。 By sandwiching polarizing plate can be expected an effect of direct view of a high contrast.

【0132】(実施例21)図42は本発明の第21の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0132] (Embodiment 21) FIG. 42 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device is a twenty-first embodiment of the present invention.
本実施例においては、第9の実施例において高分子分散型の液晶表示装置とした。 In this embodiment, a polymer dispersed liquid crystal display device in the ninth embodiment.

【0133】先ず、透明基板11上に1000Aの厚さでITO膜421を蒸着する。 [0133] First, to deposit the ITO layer 421 to a thickness of 1000A on the transparent substrate 11. このITO膜421上にネガ型感光性ポリイミドを用いてスペース幅5μmとして、幅3μm、高さ2μmの絶縁層422をライン状に形成する。 This on the ITO film 421 as a space width 5μm using a negative type photosensitive polyimide, forming the width 3 [mu] m, an insulating layer 422 of the height 2μm linearly.

【0134】次に、基板上方からITO膜423を異方的に蒸着することにより高い方の電極424と低い方の電極425を形成する。 [0134] Next, an electrode 425 of the lower and higher electrode 424 towards by evaporation from the substrate above the ITO film 423 is anisotropically.

【0135】次に、マトリックス高分子としてポリエステルポリオールとヒドロキシプロピルアクリレートから調整したポリウレタンアクリレートを用い、このポリウレタンアクリレート100重量部に対し液晶E−7を4 [0135] Then, using the polyurethane acrylate was prepared from a polyester polyol and a hydroxy acrylate as matrix polymer, a liquid crystal E-7 to 100 parts by weight of this polyurethane acrylate 4
00重量部、光重合開始剤2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オンを40重量部を加え混合した後15μmスペーサを介し基板11ともう一枚の基板61に挟む。 00 parts by weight, a substrate 11 through a 15μm spacer after photopolymerization initiator 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1-one were added and mixed 40 parts by weight sandwich the other one substrate 61.

【0136】次に、80℃、メタルハライドランプ30 [0136] Next, 80 ℃, a metal halide lamp 30
W/cmの条件下で3分間紫外線照射し、更に90℃、 3 minutes to UV irradiation under the conditions of W / cm, further 90 ° C.,
メタルハライドランプ80W/cmの条件下で3分間紫外線照射を行って高分子分散型液晶表示装置を作成した。 Creating the polymer-dispersed liquid crystal display device performs 3 minutes ultraviolet irradiation under the conditions of a metal halide lamp 80W / cm.

【0137】この様に作成した液晶表示素子をクロスニコルとした偏光板2枚で挟み評価を行ったところ、第1 [0137] were evaluated sandwiching the liquid crystal display element that was created in this way in the two polarizing plates which is a cross-Nicol, the first
4の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は6Vと格段に向上した。 Showed the same effect as Example 4, the threshold voltage was improved remarkably and 6V. また、隣り合わせた電極間に±8Vの電圧をかけたところ、コントラスト200:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 8V between adjacently electrodes, contrast 200: 1 and good display was obtained. 第20の実施例と同様偏光板で挟むことにより高コントラストでの直視という効果を期待できる。 It can be expected an effect of direct view of the high contrast by inserting at the 20th embodiment as well as the polarizing plate.

【0138】(実施例22)図43は本発明の第22の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0138] (Example 22) FIG. 43 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device is a twenty-second embodiment of the present invention.
本実施例においては、第10の実施例において高分子分散型の液晶表示装置とした。 In this embodiment, a polymer dispersed liquid crystal display device of the tenth embodiment of the.

【0139】先ず、透明基板11上に500Aの厚さでITO膜431を蒸着する。 [0139] First, to deposit the ITO layer 431 to a thickness of 500A on the transparent substrate 11. このITO膜431上に1 1 on the ITO film 431
μmの厚さでSiOX 膜を形成した後、感光性レジストを用いてスペース幅7μmとして、上部幅3μm、高さ1μmのSiO X絶縁層432をライン状にパターニングする。 After forming the SiOX film with a thickness of [mu] m, as a space width 7μm using a photosensitive resist is patterned upper width 3 [mu] m, an SiO X insulating layer 432 in the height 1μm linearly. この後、スパッタ法により基板11上方から異方的にアルミニウム膜433を1000Aの厚さで形成する。 Thereafter, a anisotropically aluminum film 433 from the substrate 11 upward in a thickness of 1000A by sputtering.

【0140】次に、ITO膜431上に直接ついたアルミニウム部分を除去し高い方の電極434、低い方の電極435を形成した。 [0140] Next, to remove the direct attached aluminum portion on the ITO film 431 higher electrode 434, to form a lower electrode 435.

【0141】次に、マトリックス高分子としてポリエステルポリオールとヒドロキシプロピルアクリレートから調整したポリウレタンアクリレートを用い、このポリウレタンアクリレート100重量部に対し液晶E−44を400重量部、光重合開始剤2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オンを20重量部を加え混合した後10μmスペーサを介し基板11ともう一枚の基板61とで挟む。 [0141] Then, using the polyurethane acrylate was prepared from a polyester polyol and a hydroxy acrylate as matrix polymer, 400 parts by weight of a liquid crystal E-44 To 100 parts by weight of this polyurethane acrylate, a photopolymerization initiator 2- hydroxy-2 - sandwiching the substrate 11 through the 10μm spacer was added and mixed 20 parts by weight of methyl-1-phenylpropane-1-one and the other one of the substrate 61.

【0142】次に、60℃、メタルハライドランプ30 [0142] Next, 60 ℃, a metal halide lamp 30
W/cmの条件下で3分間紫外線照射し、更に80℃、 3 minutes to UV irradiation under the conditions of W / cm, further 80 ° C.,
メタルハライドランプ80W/cmの条件下で3分間紫外線照射を行って高分子分散型液晶表示装置を作成した。 Creating the polymer-dispersed liquid crystal display device performs 3 minutes ultraviolet irradiation under the conditions of a metal halide lamp 80W / cm.

【0143】この様に作成した液晶表示素子をクロスニコルとした偏光板2枚で挟み評価を行ったところ、第1 [0143] were evaluated sandwiching the liquid crystal display element that was created in this way in the two polarizing plates which is a cross-Nicol, the first
4の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4Vと格段に向上した。 Showed the same effect as Example 4, the threshold voltage was improved remarkably and 4V. また、隣り合わせた電極間に±6Vの電圧をかけたところ、コントラスト200:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 6V between adjacently electrodes, contrast 200: 1 and good display was obtained. 第20の実施例と同様偏光板で挟むことにより高コントラストでの直視という効果を期待できる。 It can be expected an effect of direct view of the high contrast by inserting at the 20th embodiment as well as the polarizing plate.

【0144】(実施例23)図44は本発明の第23の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0144] (Embodiment 23) FIG. 44 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device is a twenty-third embodiment of the present invention.
本実施例においては、第11の実施例において高分子分散型の液晶表示装置とした。 In this embodiment, a polymer dispersed liquid crystal display device of the eleventh embodiment of.

【0145】先ず、透明基板11上に500Aの厚さでITO膜を蒸着した後、ポジ型感光性レジストを用いてスペース幅7μmとして、幅5μmのITO膜441をライン状にパターニングする。 [0145] First, after depositing an ITO film with a thickness of 500A on the transparent substrate 11, as the space width 7μm using a positive photosensitive resist, patterning the ITO film 441 having a width 5μm in a line. 次に、ITOライン44 Then, ITO line 44
1を有する透明基板11上に厚さ10μmのSiOX 膜を形成する。 Forming an SiOX film having a thickness of 10μm on the transparent substrate 11 having a 1. 更に、感光性レジストを用いてSiO X選択エッチングを行うことにより、前記ITO電極ライン441の電極間の中央部に、スペース幅を2μmとなるようにライン幅3μmのSiO X絶縁層ライン442を形成する。 Further, by performing the SiO X selective etching using a photoresist, a central portion between the electrodes of the ITO electrode lines 441, the SiO X insulating layer line 442 having a line width of 3μm as a space width becomes 2μm formed to. 次に、ITOライン441、SiOX 絶縁膜ライン442を有する基板11上に1000Aの厚さでアルミ膜をCVDで形成し、SiO X絶縁層442上に残るようにアルミニウム膜443をパターニングし、電極444を形成した。 Next, on the substrate 11 having the ITO line 441, SiOX insulating film lines 442 to a thickness of 1000A was formed an aluminum film by CVD, and patterning the aluminum film 443 to remain on the SiO X insulating layer 442, the electrode 444 It was formed.

【0146】次に、マトリックス高分子としてn−ブチルアクリレート100重量部アクリルオリゴマー200 [0146] Next, n- butyl acrylate 100 parts by weight of acrylic oligomer 200 as the matrix polymer
重量部を用い、これに対して液晶E−44を400重量部と光重合開始剤2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン10重量部を加え混合した後50μmスペーサを介し基板11ともう一枚の基板61 Using parts, which through a 50μm spacer was added and mixed 400 parts by weight of a liquid crystal E-44 and a photopolymerization initiator 2-hydroxy-2-methyl-10 parts by weight with respect to substrate 11 and the other one of the substrate 61
とで挟む。 Sandwiched between.

【0147】次に、80℃、メタルハライドランプ20 [0147] Next, 80 ℃, the metal halide lamp 20
W/cmの条件下で5分間紫外線照射を行い、更にパネル表面に無反射フィルムを張り付け高分子分散型液晶表示装置を作成した。 Under the conditions of W / cm for 5 min UV irradiation to prepare a polymer dispersion type liquid crystal display device affixed nonreflective film further panel surface.

【0148】この様に作成した液晶表示素子は、第14 [0148] The liquid crystal display element that you created in this manner, the first 14
の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4Vと格段に向上した。 Showed the same effect as the embodiment of, the threshold voltage was improved remarkably and 4V. また、隣り合わせた電極間に±6Vの電圧をかけたところ、直視型でコントラスト200:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 6V between adjacently electrodes, contrast 200 direct-view: 1 and good display was obtained.

【0149】(実施例24)次に本発明の第24の実施例を示す。 [0149] A twenty-fourth embodiment of (Example 24) following the present invention. 本実施例においては、第17の実施例において電極の高さ、ライン幅、樹脂材料を変えて液晶表示装置を作成した。 In the present embodiment, the height of the electrodes in the seventeenth embodiment, a liquid crystal display was made by changing the line width, the resin material.

【0150】先ず、透明基板上に20μmの厚さでネガ型感光性ポリイミド膜を形成した後、スペース7μmとして幅3μmにポリイミドをライン状にパターニングする。 [0150] First, after forming a negative type photosensitive polyimide film with a thickness of 20μm on a transparent substrate, patterning the polyimide in lines in the width 3μm as a space 7 [mu] m. 次に、高温焼成を行い、前記ライン状のポリイミドを収縮させ、ラインの基板垂直断面の中心が細い鼓型状のポリイミドを形成する。 Next, the high temperature firing, to contract the linear polyimide, center of the substrate vertical section line forms a thin hourglass-shaped polyimide.

【0151】次に、前記ポリイミドを有する基板上に1 [0151] Next, on the substrate having the polyimide 1
000Aの厚さでアルミニウム膜をCVDで等方的に形成する。 The aluminum film is isotropically formed by CVD to a thickness of 000A. 次に、基板に直接ついたアルミニウムとポリイミド突起上部についたアルミニウムを除去するためRI Then, RI to remove the attached aluminum directly with aluminum and polyimide protrusion upper substrate
E等により選択エッチングを行い電極形成する。 Subjected to selective etching to electrodes formed by such E.

【0152】次に、マトリックス高分子としてn−ブチルアクリレート100重量部アクリルオリゴマー200 [0152] Next, n- butyl acrylate 100 parts by weight of acrylic oligomer 200 as the matrix polymer
重量部を用い、これに対して液晶E−44を400重量部と光重合開始剤2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン10重量部を加え混合した後50μmスペーサを介し基板11ともう一枚の基板61 Using parts, which through a 50μm spacer was added and mixed 400 parts by weight of a liquid crystal E-44 and a photopolymerization initiator 2-hydroxy-2-methyl-10 parts by weight with respect to substrate 11 and the other one of the substrate 61
とで挟む。 Sandwiched between.

【0153】次に、80℃、メタルハライドランプ20 [0153] Next, 80 ℃, the metal halide lamp 20
W/cmの条件下で5分間紫外線照射を行い、更にパネル表面に無反射フィルムを張り付け高分子分散型液晶表示装置を作成した。 Under the conditions of W / cm for 5 min UV irradiation to prepare a polymer dispersion type liquid crystal display device affixed nonreflective film further panel surface.

【0154】この様に作成した液晶表示装置は、第14 [0154] The liquid crystal display device that was created in this manner, the first 14
の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4Vと格段に向上した。 Showed the same effect as the embodiment of, the threshold voltage was improved remarkably and 4V. また、隣り合わせた電極間に±6Vの電圧をかけたところ、直視型でコントラスト200:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 6V between adjacently electrodes, contrast 200 direct-view: 1 and good display was obtained.

【0155】(実施例25)図45は本発明の第24の実施例である液晶表示装置のセル部分の断面図である。 [0155] (Embodiment 25) FIG. 45 is a sectional view of a cell of the liquid crystal display device which is the 24th embodiment of the present invention.
本実施例においては、電極を基板間のギャップスペーサとして用いた液晶表示装置を作成した。 In the present embodiment, a liquid crystal display was made using the electrode as a gap spacer between the substrates. 先ず、透明基板11上に20μmの厚さでネガ型感光性ポリイミド膜を形成した後、スペース7μmとして幅3μmにポリイミドをライン状にパターニングする。 First, after forming a negative type photosensitive polyimide film with a thickness of 20μm on the transparent substrate 11, patterning the polyimide in lines in the width 3μm as a space 7 [mu] m. 次に、高温焼成を行い、前記ライン状のポリイミドを収縮させ、ラインの基板垂直断面の中心が細い鼓型状のポリイミド451を形成する。 Next, the high temperature firing, to contract the linear polyimide, center of the substrate vertical section line forms a thin hourglass-shaped polyimide 451.

【0156】次に、前記ポリイミド451を有する基板11上に1000Aの厚さでアルミニウム膜をCVDで等方的に形成する。 [0156] Next, an aluminum film is isotropically formed by CVD to a thickness of 1000A on the substrate 11 having the polyimide 451. 次に、基板に直接ついたアルミニウムとポリイミド451突起上部についたアルミニウムを除去するためRIE等により選択エッチングを行い図に示すような電極453を形成する。 Next, an electrode 453 as shown in FIG subjected to selective etching by RIE or the like to remove the direct with aluminum and polyimide 451 aluminum with a protrusion top on the substrate. 図中452はアルミニウムである。 Figure 452 is aluminum.

【0157】次に、マトリックス高分子としてn−ブチルアクリレート100重量部アクリルオリゴマー200 [0157] Next, n- butyl acrylate 100 parts by weight of acrylic oligomer 200 as the matrix polymer
重量部を用い、これに対して液晶E−44を400重量部と光重合開始剤2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン10重量部を加え混合した後、基板間隔20μmで基板11ともう一枚の基板61 Using parts, which after mixing added to the liquid crystal E-44 400 parts by weight of a photopolymerization initiator 2-hydroxy-2-methyl-10 parts by weight with respect to the substrate spacing 20μm in substrate 11 and the other one of the substrate 61
とで挟む。 Sandwiched between.

【0158】次に、80℃、メタルハライドランプ20 [0158] Next, 80 ℃, the metal halide lamp 20
W/cmの条件下で5分間紫外線照射を行い、更にパネル表面に無反射フィルムを張り付け高分子分散型液晶表示装置を作成した。 Under the conditions of W / cm for 5 min UV irradiation to prepare a polymer dispersion type liquid crystal display device affixed nonreflective film further panel surface.

【0159】この様に作成した液晶表示装置は、第14 [0159] The liquid crystal display device that was created in this manner, the first 14
の実施例と同様の効果を示し、しきい値電圧は4Vと格段に向上した。 Showed the same effect as the embodiment of, the threshold voltage was improved remarkably and 4V. また、隣り合わせた電極間に±6Vの電圧をかけたところ、直視型でコントラスト200:1と良好な表示が得られた。 In addition, as a result of applying a voltage of ± 6V between adjacently electrodes, contrast 200 direct-view: 1 and good display was obtained.

【0160】 [0160]

【発明の効果】以上詳述したように、第1の発明の液晶表示装置は、ツイスト配向させた液晶セルにおいて一方の基板のみに特定形状の電極を設けその電極間で電位差をつけることにより表示を行い、視野角が広く応答速度が速くしきい値電圧が低く配向異常の少ない良好な表示を行うことができるという実用上大きな利点がある。 As described above in detail, the liquid crystal display device of the first invention, the display by attaching a potential difference between the electrodes provided with an electrode of specific shape only on one substrate in a liquid crystal cell is twisted was carried out, broad response speed viewing angle fast threshold voltage is great practical advantage of being able to perform the alignment abnormality less good display low.

【0161】また、第2の発明の液晶表示装置は、液晶セルにおいて一方の基板のみに電極表面の最高位の位置の異なる電極を設けその電極間で電位差をつけることにより表示を行い、視野角が広く応答速度が速くしきい値電圧が低く配向異常の少ない良好な表示を行うことができるという実用上大きな利点がある。 [0161] The liquid crystal display device of the second invention performs a display by attaching a highest potential different electrodes provided between the electrodes of the position of only the electrode surface one substrate in the liquid crystal cell, the viewing angle it is fast threshold voltage response speed wide there is great practical advantage of being able to perform the alignment abnormality less good display low.

【0162】また、第3の発明の液晶表示装置は、高分子分散型液晶セルにおいて一方の基板のみに電極を設けその電極間で電位差をつけることにより表示を行い、視野角が広く応答速度が速くしきい値電圧が低くコントラストが高い良好な表示を行うことができるという実用上大きな利点がある。 [0162] The liquid crystal display device of the third invention performs a display by attaching a potential difference between the electrodes provided with an electrode only on one substrate in the polymer dispersed liquid crystal cell, the viewing angle is wide response speed fast threshold voltage is low and contrast is great practical advantage of being able to perform highly favorable display.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】 本発明の液晶表示装置の電極による電気力線の様子を示す図 Diagram showing how lines of electric force by the electrode of the liquid crystal display device of the present invention; FIG

【図2】 本発明の液晶表示装置の電極による電気力線の様子を示す図 Diagram showing how lines of electric force by the electrode of the liquid crystal display device of the present invention; FIG

【図3】 本発明の液晶表示装置の電極による電気力線の様子を示す図 Diagram showing how lines of electric force by the electrode of the liquid crystal display device of the present invention; FIG

【図4】 本発明の液晶表示装置の電極による液晶分子の配列の様子を示す図 Diagram showing how the arrangement of liquid crystal molecules by the electrode of the liquid crystal display device of the present invention; FIG

【図5】 本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 FIG. 5 is a cross-sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention

【図6】 本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to a first embodiment of the invention; FIG

【図7】 本発明の第2の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention; FIG

【図8】 本発明の第3の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention; FIG

【図9】 本発明の第4の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 9 is a cross-sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to a fourth embodiment of the present invention

【図10】 本発明の第4の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 10 is a cross-sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to a fourth embodiment of the present invention

【図11】 本発明の第4の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 11 is a cross-sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to a fourth embodiment of the present invention

【図12】 本発明の第4の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to a fourth embodiment of the present invention; FIG

【図13】 本発明の第5の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 13 is a cross-sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to a fifth embodiment of the present invention

【図14】 本発明の第5の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 14 is a cross-sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to a fifth embodiment of the present invention

【図15】 本発明の第5の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 15 is a cross-sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to a fifth embodiment of the present invention

【図16】 本発明の第5の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to a fifth embodiment of Figure 16 the present invention

【図17】 本発明の第6の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 [17] Sixth sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention

【図18】 本発明の第6の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 [18] Sixth sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention

【図19】 本発明の第6の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 6 sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to an embodiment of the 19 present invention

【図20】 本発明の第7の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 7 cross-sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to the embodiment of the FIG. 20 the present invention

【図21】 本発明の第8の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 21 is a sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to an eighth embodiment of the present invention

【図22】 本発明の第8の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to an eighth embodiment of Figure 22 the present invention

【図23】 本発明の第9の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 23 is a cross-sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to a ninth embodiment of the present invention

【図24】 本発明の第9の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to a ninth embodiment of Figure 24 the present invention

【図25】 本発明の第9の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to a ninth embodiment of Figure 25 the present invention

【図26】 本発明の第10の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to the tenth embodiment of Figure 26 the present invention

【図27】 本発明の第10の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 27 is a cross-sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to the tenth embodiment of the present invention

【図28】 本発明の第10の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to the tenth embodiment of Figure 28 the present invention

【図29】 本発明の第11の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 [29] Eleventh sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention

【図30】 本発明の第11の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 11 a cross-sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to the embodiment of the FIG. 30 the present invention

【図31】 本発明の第12の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 31 is a sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to a twelfth embodiment of the present invention

【図32】 本発明の第12の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Figure 32 is a cross-sectional view of a cell of the liquid crystal display device according to a twelfth embodiment of the present invention

【図33】 本発明の第13の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 13 a cross-sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to the embodiment of the FIG. 33 the present invention

【図34】 本発明の第14の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 14 a cross-sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to the embodiment of the FIG. 34 the present invention

【図35】 本発明の第15の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to the fifteenth embodiment of the FIG. 35 the present invention

【図36】 本発明の第16の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 36 is a cross-sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to a sixteenth embodiment of the present invention

【図37】 本発明の第16の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to a sixteenth embodiment of Figure 37 the present invention

【図38】 本発明の第17の実施例に係る液晶表示装置の作成途中の断面図 Figure 38 is a cross-sectional view partially composed of a liquid crystal display device according to an embodiment of the seventeenth of the present invention

【図39】 本発明の第17の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 17 a cross-sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to the embodiment of the FIG. 39 the present invention

【図40】 本発明の第18の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 18 a cross-sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to the embodiment of the FIG. 40 the present invention

【図41】 本発明の第20の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to the twentieth embodiment of FIG. 41 the present invention

【図42】 本発明の第21の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 [Figure 42] 21 cross-sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention

【図43】 本発明の第22の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 [Figure 43] 22 cross-sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention

【図44】 本発明の第23の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 23 a cross-sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to the embodiment of the FIG. 44 the present invention

【図45】 本発明の第25の実施例に係る液晶表示装置のセル部分の断面図 Sectional view of a cell portion of the liquid crystal display device according to the 25th embodiment of Figure 45 the present invention

【図46】 従来の横電場方式の液晶表示装置の液晶分子の配列を表す図 Figure 46 is a diagram representing the arrangement of liquid crystal molecules of the liquid crystal display device of a conventional transverse electric mode

【図47】 従来の横電場方式の液晶表示装置の電気力線を表す図 Figure 47 is a diagram representing the electric force lines of the liquid crystal display device of a conventional transverse electric mode

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

11 透明基板 51 電極 61 透明基板 62 液晶分子 11 transparent substrate 51 electrode 61 transparent substrate 62 liquid crystal molecules

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−218624(JP,A) 特開 平6−241133(JP,A) 特開 昭62−238529(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl. 7 ,DB名) G02F 1/1343 G02F 1/1333 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (56) reference Patent Sho 60-218624 (JP, a) JP flat 6-241133 (JP, a) JP Akira 62-238529 (JP, a) (58) were investigated field (Int.Cl. 7, DB name) G02F 1/1343 G02F 1/1333

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】 (57) [the claims]
  1. 【請求項1】第1の基板と、 前記第1の基板に対向して配置された第2の基板と、 前記第1の基板及び前記第2の基板間に挟持された液晶材料と、 前記第1の基板上に配置された複数の電極と、 を有し、前記複数の電極のうち隣り合う電極間の電位差 [1 claim: a first substrate, a second substrate disposed to face the first substrate, and a liquid crystal material sandwiched between the first substrate and the second substrate, the includes a plurality of electrodes disposed on the first substrate, the potential difference between adjacent electrodes of the plurality of electrodes
    により前記液晶材料の液晶配列を変化させ表示を行う横 Lateral to perform display by changing the liquid crystal alignment of the liquid crystal material by
    電場方式の液晶表示装置において、 各電極は、断面で見たときに、隣り合う電極方向に張り In the liquid crystal display device of the electric field scheme, the electrodes, when viewed in cross-section, tension in adjacent electrode direction
    出した凸部を有することを特徴とする液晶表示装置。 The liquid crystal display device characterized by having a convex portion out.
  2. 【請求項2】 前記電極は、断面で見たときに、前記第 Wherein said electrode, when viewed in cross-section, said first
    1の基板を下にして略逆台形状であることを特徴とする Characterized in that a substantially inverted trapezoidal shape by the first substrate under
    請求項1記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display apparatus according to claim 1.
  3. 【請求項3】 前記電極は、断面で見たときに、高さ方 Wherein the electrode, when viewed in cross-section, towards the height
    向の中央部がくびれた鼓型状であることを特徴とする請 請, wherein the central portion of the direction is hourglass-shaped with constricted
    求項1記載の液晶表示装置。 Motomeko first liquid crystal display device as claimed.
  4. 【請求項4】 前記液晶材料は、高分子に分散されてい Wherein said liquid crystal material, is dispersed in a polymer
    ることを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display device according to claim 1, wherein Rukoto.
  5. 【請求項5】 第1の基板と、 前記第1の基板に対向して配置された第2の基板と、 前記第1の基板及び前記第2の基板間に挟持された液晶 5. A first substrate, the second substrate disposed to face the first substrate, the first substrate and liquid crystal sandwiched between said second substrate
    材料と、 前記第1の基板上に配置された複数の電極と、 を有し、前記複数の電極のうち隣り合う電極間の電位差 A material and a plurality of electrodes disposed on the first substrate, the potential difference between adjacent electrodes of the plurality of electrodes
    により前記液晶材料の液晶配列を変化させ表示を行う横 Lateral to perform display by changing the liquid crystal alignment of the liquid crystal material by
    電場方式の液晶表示装置において、 隣り合う電極同士は、前記第1の基板面からの高さが互 In the liquid crystal display device of the electric field scheme, the electrodes and adjacent, the height from the first substrate surface each other
    いに異なることを特徴とする液晶表示装置。 A liquid crystal display device comprising different are.
  6. 【請求項6】 前記隣り合う電極のうち少なくとも一方 At least one of wherein said adjacent electrode
    が、断面で見たときに、隣り合う電極方向に張り出した But when viewed in cross-section, overhanging adjacent electrodes directions
    凸部を有することを特徴とする請求項5記載の液晶表示 The liquid crystal display according to claim 5, wherein a convex portion
    装置。 apparatus.
  7. 【請求項7】 前記隣り合う電極のうち少なくとも一方 At least one of wherein said adjacent electrode
    が、断面で見たときに、前記第1の基板を下にして略逆 Substantially inverted but when viewed in cross-section, the first substrate and below
    台形状であることを特徴とする請求項6記載の液晶表示 The liquid crystal display according to claim 6, characterized in that the trapezoidal
    装置。 apparatus.
  8. 【請求項8】 前記隣り合う電極のうち少なくとも一方 At least one of wherein said adjacent electrodes
    が、断面で見たときに、高さ方向中央部がくびれた鼓型 Hourglass but when viewed in cross-section, in which constricted height direction central portion
    状であることを特徴とする請求項6記載の液晶表示装 The liquid crystal display instrumentation according to claim 6, characterized in that the Jo
    置。 Location.
  9. 【請求項9】 前記液晶材料は、高分子に分散されてい Wherein said liquid crystal material, is dispersed in a polymer
    ることを特徴とする請求項5記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display device according to claim 5, wherein Rukoto.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5694188A (en) * 1994-09-17 1997-12-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Reflection type liquid crystal display device having comb-shaped wall electrode
TW354380B (en) * 1995-03-17 1999-03-11 Hitachi Ltd A liquid crystal device with a wide visual angle
JP3963974B2 (en) 1995-12-20 2007-08-22 株式会社半導体エネルギー研究所 Liquid crystal electro-optical device
US6449024B1 (en) 1996-01-26 2002-09-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Inc. Liquid crystal electro-optical device utilizing a polymer with an anisotropic refractive index
CN1173216C (en) * 1997-11-03 2004-10-27 三星电子株式会社 Liquid crystal display having modified electrode array
KR100881357B1 (en) 1999-09-07 2009-02-02 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 Liquid crystal display
DE10241301A1 (en) * 2002-09-04 2004-03-18 Merck Patent Gmbh Electrooptic light control element and display and medium for television and computer screens has temperature driven control mechanism
JP4027941B2 (en) 2004-01-16 2007-12-26 シャープ株式会社 Display device and display device
GB0426582D0 (en) * 2004-12-03 2005-01-05 Univ Strathclyde Bistable liquid crystal device
JP4899503B2 (en) * 2006-02-01 2012-03-21 ソニー株式会社 Display device
JP2007212706A (en) * 2006-02-09 2007-08-23 Epson Imaging Devices Corp Liquid crystal display device
JP4812839B2 (en) * 2006-08-08 2011-11-09 シャープ株式会社 TFT substrate, liquid crystal display panel including the same, liquid crystal display device, and method for manufacturing TFT substrate
KR20090063761A (en) * 2007-12-14 2009-06-18 삼성전자주식회사 Display device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100805792B1 (en) * 2005-12-21 2008-02-21 (재)대구경북과학기술연구원 Liquid crystal display using polymer dispersed liquid crystal

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