JP3152206B2 - Auto-focus system and an auto-focus method - Google Patents

Auto-focus system and an auto-focus method

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JP3152206B2 JP17336998A JP17336998A JP3152206B2 JP 3152206 B2 JP3152206 B2 JP 3152206B2 JP 17336998 A JP17336998 A JP 17336998A JP 17336998 A JP17336998 A JP 17336998A JP 3152206 B2 JP3152206 B2 JP 3152206B2
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Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置を主体とする被加工部材を加工する光学的加工装置に於けるオートフォーカス装置及びオートフォーカス方法に関し、 The present invention relates to relates in autofocus device and autofocus method for optically processing apparatus for processing a workpiece consisting mainly of semiconductor devices,
特に、被加工部材を加工する光学的加工装置に於ける画像鮮明度評価値を最適な状態にセットする事が可能なオートフォーカス装置及びオートフォーカス方法に関するものである。 In particular, it relates to an optical processing device in image sharpness evaluation value autofocus device which can be set to an optimum state and autofocus method for processing a workpiece.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来より半導体装置を主体とする光学的加工装置を利用して被加工部材を加工する方法としては、多くの公知例が知られている。 BACKGROUND OF THE INVENTION Conventionally semiconductor device as a method for processing a workpiece using an optical processing apparatus which mainly are known many known examples. 例えば特開平3−4 For example, JP-A-3-4
4608号公報には、被加工部材を光学的に処理する方法に於て、当該被加工部材表面に所定の画像が最適なコントラスト状態で投影されているかを判断する方法に関して記載されており、その為に当該画像のコントラストを評価する為の評価曲線を使用する例が示されている。 The 4608 JP, At a method of processing a workpiece optically, predetermined image on the workpiece surface are described on how to determine if they are being projected in an optimal contrast state, its examples of using the evaluation curve for evaluating the contrast of the image is shown in order.

【0003】係る公知例の当該評価曲線により、当該対物レンズの位置と画像のコントラストの関係が解析出来る。 [0003] By the evaluation curve of the known example of the contrast of the relationship between the position and image of the objective lens can be analyzed. 又特開平3−287106号公報には、当該被加工部材の表面に形成される投影画像のコントラストを評価する為に互いに隣接する画素間の画像データに於ける二乗和を算出する方法が記載されている。 The Matatoku No. 3-287106 discloses a method of calculating the in-squares sum image data between pixels adjacent to each other in order to evaluate the contrast of the projected image to be formed on the surface of the workpiece is described ing.

【0004】更には、特開平7−104178号公報には、イメージセンサ上に形成される画像の内、前ピン像と後ピン像との形状を比較する画像形状比較手段を使用して当該画像を形成する対物レンズの位置を修正する方法が開示されている。 [0004] Furthermore, JP-A-7-104178, among the image formed on the image sensor, the image by using the image shape comparison means for comparing the shape of the front focus image and rear pin image how to fix the position of the objective lens which forms is disclosed. 然しながら、何れの公知例においても、ウェハ、ICチップ、プリント基板などのワークを対象とした自動化装置のフォーカス機構においては、 However, in any of the known examples, wafer, IC chip, the focusing mechanism of the automated device intended for the workpiece, such as a printed circuit board,
一般に対物レンズを動かしながらフォーカス評価値を連続計測し、フォーカス評価値が得られた位置をもってフォーカス合わせが行われる。 Generally the focus evaluation value continuously measured while moving the objective lens, focusing is performed with a position where the focus evaluation value is obtained.

【0005】従って、係る従来の方式では、焦点を合わせるには、高さに応じて対物レンズを何度も作動させなければならないという問題点があり、調整操作が複雑となるばかりでなく、コストの上昇を来す原因でもあった。 Accordingly, in the conventional method according to the focus, there is a problem that must be operated many times objective lens according to the height, not only the adjustment operation becomes complicated, the cost there was also responsible for causing the rise of.

【0006】 [0006]

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的は、上記した従来技術の欠点を改良し、あらかじめ評価保存しておいた所定の半導体基板に於ける基準となる画像鮮明度の曲線を用いることにより、少ない移動・計測回数で効率よく、高速にフォーカスを合わせることができるオートフォーカス装置及びオートフォーカス方法を提供するものである。 OBJECTS OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to improve the drawbacks of the prior art described above, the image sharpness of the curve becomes at the reference to a predetermined semiconductor substrate which has been previously evaluated save by using, efficiently with less movement and measurement times, it is to provide an automatic focusing device and autofocus method can be focused to a high speed.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用するものである。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention to achieve the above object, is to adopt a basic technical configuration, such as shown below. 即ち、本発明に係る第1の態様としては、 被加工部材を光学的に処理する装置であって、当該 That is, a first aspect of the present invention, there is provided an apparatus for processing a workpiece optically, the
光学的処理を実行する光源、当該光源から出力される光 Light source to perform optical processing, the light output from the light source
エネルギーを当該被加工部材に露光せしめる対物レン Objective lens which allowed to exposure energy to the workpiece
ズ、当該対物レンズの配置位置を変動させ焦点位置を調 'S, regulating the is allowed focal position variation the arrangement position of the objective lens
整する対物レンズ駆動手段、当該対物レンズに画像鮮明 An objective lens driving means for settling, image clarity to the objective lens
度評価用光エネルギーを供給する画像鮮明度評価用光 Image sharpness evaluation optical supplies degree evaluation optical energy
源、当該対物レンズを介して照明用の光源から出力され Source, is output from the light source for illumination through the objective lens
る光エネルギーを当該被加工部材に設けられた所定の評 Predetermined leopard light energy provided to the member to be processed that
価用標識部に照射する照明手段、当該対物レンズと被加 Illumination means for irradiating the valence labeling section, the objective lens and the object to be pressurized
工部材との間の距離を変化させながら、当該被加工部材 While changing the distance between the factory member, the member to be processed
に設けられた所定の評価用標識部からの反射光から当該 The from the reflected light from a predetermined evaluation indicator portion provided in
評価用標識部の画像を認識して、当該認識された当該評 It recognizes the image of the evaluation labeling unit, the recognized the Review
価用標識部の画像情報から当該評価用標識部の画像鮮明 Image definition of the evaluation indicator portion from the image information of the valence labeling unit
度評価情報を演算して、画像鮮明度評価曲線を作成する And calculates the degree evaluation information, to create an image sharpness evaluation curve
画像鮮明度評価情報演算手段、当該画像鮮明度評価情報 Image sharpness evaluation information calculating means, the image sharpness evaluation information
演算手段により作成された当該画像鮮明度評価曲線を記 Serial the image sharpness evaluation curve generated by the arithmetic means
憶する画像鮮明度評価曲線記憶手段、当該画像鮮明度評 Image sharpness evaluation curve storage means for憶, the image sharpness commentary
価曲線記憶手段に記憶されている画像鮮明度評価曲線と An image sharpness evaluation curve stored in the valence curve storage means
現在使用している被加工部材に対する現在得られた画像 Currently obtained image relative to the workpiece that is currently in use
鮮明度評価情報とを比較する比較手段、当該比較手段に Comparing means for comparing the sharpness evaluation information, to the comparing means
於ける比較結果から、現在時点に於ける当該対物レンズ From in comparison, in the objective lens in the present time
の配置位置情報を確認すると共に、当該現在時点に於け While confirming the layout position information, orchestra to the present time
る当該対物レンズの配置位置情報と当該画像鮮明度評価 That position information and the image sharpness evaluation of the objective lens
曲線に於ける当該対物レンズで最適画像鮮明度評価が得 Optimum image sharpness evaluation obtained in in the objective lens in the curve
られる位置との差分値を求める差分値演算手段、当該差 Difference value calculating means for calculating a difference value between the position to be, the difference
分値を0とする様に、当該対物レンズの配置位置を調整 Minute value as a 0, adjust the position of the objective lens
する対物レンズ位置調整手段とから構成されている被加 The pressure which is composed of the objective lens position adjusting means for
工部材の光学的処理装置に於けるオートフォーカス装置 In autofocus device in optical processing apparatus Engineering member
であり、又本発明の第2の態様としては、 被加工部材に , And the a second aspect of the present invention is also the workpiece
対して、適宜の加工処理用光源から出力される光エネル In contrast, the light energy outputted from an appropriate processing light source
ギーを対物レンズを介して露光せしめて当該被加工部材 The workpiece ghee are allowed exposure through the objective lens
を光学的に加工処理する装置に於て、当該対物レンズを At a processing for device optically and the objective lens
介して照明用の光源から出力される光エネルギーを当該 The light energy output from a light source for illumination through
被加工部材に設けられた所定の評価用標識部に照射する Irradiating a predetermined evaluation indicator portion provided in the member to be processed
第1の工程、当該対物レンズと被加工部材との間の距離 First step, distance between the objective lens and the workpiece
を変化させながら、当該被加工部材に設けられた所定の While changing a predetermined provided to the member to be processed
評価用標識部からの反射光を 受光する第2の工程当該 A second step for receiving light reflected from the evaluation labeling unit, the
評価用標識部の画像を認識して、当該認識された当該評 It recognizes the image of the evaluation labeling unit, the recognized the Review
価用標識部の画像情報から当該評価用標識部の画像鮮明 Image definition of the evaluation indicator portion from the image information of the valence labeling unit
度評価情報を演算して、画像鮮明度評価曲線を作成する And calculates the degree evaluation information, to create an image sharpness evaluation curve
第3の工程、当該基準画像鮮明度評価曲線を適宜の画像 Third step, an appropriate image the reference image sharpness evaluation curve
鮮明度評価曲線記憶手段に記憶しておく第4の工程、所 Fourth step of storing the sharpness evaluation curve storage means, where
定の被加工部材を当該光学的処理装置に載置する第5の The constant of the workpiece in the fifth placing in the optical processing device
工程、当該照明用光源から出力される光エネルギーを使 Step, using light energy output from the illumination light source
用して当該被加工部材の表面を照射して、当該被加工部 By irradiating the surface of the workpiece to use, the portion to be processed
材の表面に設けられた当該評価用標識部の画像を認識す To recognize an image of the evaluation indicator portion provided on the surface of the wood
る第6の工程、当該画像情報を解析し、当該解析された Sixth step that analyzes the image information, which is the analysis
被加工部材表面に於ける当該評価用標識部の画像情報か Whether the image information in the evaluation indicator portion workpiece surface
ら当該被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を演算する Calculates the image sharpness evaluation information Luo the workpiece surface
第7の工程、当該第7の工程により得られた被加工部材 Seventh step, the workpiece obtained by the seventh step
に対する現在の画像鮮明度評価情報と当該画像鮮明度評 Current image sharpness evaluation information and the image sharpness criticism against
価曲線記憶手段に記憶されている画像鮮明度評価曲線と An image sharpness evaluation curve stored in the valence curve storage means
を比較する第8の工程、当該比較操作に於ける比較結果 Eighth step of comparing, in the comparison result of the comparison operation
から、現在時点に於ける当該対物レンズの配置位置情報 From position information in the objective lens in the present time
を確認する第9の工程、当該現在時点に於ける当該対物 Ninth step to check, in the objective to the present time
レンズの配置位置情報と当該画像鮮明度評価曲線に於け Orchestra the arrangement position information and the image sharpness evaluation curve of the lens
る当該対物レンズで最適画像鮮明度評価が得られる位置 Optimal image definition evaluation is obtained position that the objective lens
との差分値を求める第10の工程、当該差分値を0とす To a tenth step of obtaining a difference value, the difference value 0 between the
る様に、当該対物レンズの駆動手段を操作して当該対物 As that, the objective by operating the driving means of the objective lens
レンズを所定の方向に移動させる第11の工程、とから Eleventh step of moving the lens in a predetermined direction, from city
構成されている被加工部材の光学的処理装置に於けるオ In o the optical processing device of the workpiece that is configured
ートフォーカス方法である It is over autofocus method.

【0008】 [0008]

【発明の実施の形態】本発明に係る半導体装置に於ける被加工部材に対する光学的処理加工を実行する処理装置のオートフォーカス装置及びオートフォーカス方法は、 Autofocus device and autofocus method of processing apparatus for performing optical processing machining for in workpiece in a semiconductor device according to the present invention DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION,
上記した様な技術構成を採用しているので、対物レンズを通して、例えば、CCDカメラによりモニタされるターゲットマークの画像情報に対し、あらかじめある一定間隔で対物レンズの高さを変化させ、その時の画像鮮明度(どのくらい画像のコントラストがはっきりしているかの評価値)を評価し事前にデータベース化しておく。 Because it uses a kind of technical construction described above, through the objective lens, for example, the image information of the target mark that is monitored by the CCD camera, by changing the height of the objective lens at a constant interval in advance, the image at that time to evaluate the sharpness (evaluation value of or the contrast of how much image is clear) keep a database in advance.

【0009】そして、このデータベースは光学的な構成や、ターゲットマークの形状が同一であれば、再現性のよい評価曲線(画像鮮明度)で表される。 [0009] Then, the database optical configuration and, if the shape of the target mark are identical, represented a good evaluation curve reproducible (image sharpness). 次に、実際オートフォーカスを行う場合、ある高さで得られた画像鮮明度と事前に評価保存しておいた所定のマークに対応する画像鮮明度のデータベースからジャストフォーカス位置を算出し、一度にその点にアクチュエータを作動させ焦点を合わせることを特徴とするものである。 Next, the actual case of the automatic focusing, calculates the image sharpness database just focus position from that corresponding to a predetermined mark which has been evaluated stored in the image sharpness and pre-obtained at a certain height, at a time it is characterized in that the focus by operating the actuator to the point.

【0010】 [0010]

【実施例】以下に、本発明に係る半導体装置に対する光学的処理加工装置及びその方法に於て使用されるオートフォーカス装置及びオートフォーカス方法の一具体例の構成を図面を参照しながら詳細に説明する。 EXAMPLES Hereinafter, detail while the configuration of an embodiment of the autofocus device and autofocus methods used At a optical processing processing apparatus and method for a semiconductor device according to the present invention with reference to the drawings described to. 即ち、図1 That is, FIG. 1
は、本発明に係る半導体装置である被加工部材2を加工する半導体加工装置1におけるオートフォーカス装置2 The autofocus apparatus 2 in the semiconductor processing equipment 1 for processing a workpiece 2, which is a semiconductor device according to the present invention
0の一具体例の構成を示す図であって、図中、被加工部材2に対して、適宜の加工処理用光源4から出力される光エネルギーを対物レンズ3を介して露光せしめて当該被加工部材2を光学的に加工処理する装置1に於て、当該対物レンズ3を介して照明用の光源から出力される光エネルギーを当該被加工部材2に照射する照明手段7、 A diagram showing the configuration of an embodiment of a 0, in the figure against the workpiece 2, the target and allowed to expose the light energy output from a suitable processing light source 4 via the objective lens 3 lighting means 7 the working member 2 at a device 1 for processing optically irradiates light energy output from a light source for illumination through the objective lens 3 to the workpiece 2,
当該被加工部材2からの反射光から当該被加工部材2表面の画像を認識して、当該認識された当該被加工部材表面の画像情報から当該被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を演算する画像鮮明度評価情報演算手段11、当該画像鮮明度評価情報の現在の演算値を予め所定の記憶手段14に記憶されている当該被加工部材の基準画像鮮明度評価情報と比較して、当該被加工部材2に於ける基準画像鮮明度評価情報の最高値との差分値を求める差分値演算手段12、当該差分値を0とする様に、当該対物レンズの配置位置を調整する対物レンズ制御手段13とから構成されている被加工部材2の光学的処理装置1に於けるオートフォーカス装置20が示されている。 Recognizes the image of the workpiece 2 surfaces from the reflected light from the workpiece 2, and calculates the image sharpness evaluation information of the workpiece surface from the image information of the recognized the workpiece surface image sharpness evaluation information calculation unit 11, as compared with the image sharpness evaluation current reference image sharpness evaluation information of the workpiece that is stored calculated value in advance in a predetermined storage means 14 of the information, the target workpiece 2 difference value calculating means 12 for calculating a difference value between the maximum value of the in the reference image sharpness evaluation information, the difference value so as to be 0, the objective lens control means for adjusting the position of the objective lens 13. in autofocus device 20 is configured to an optical processing device 1 of the workpiece 2 from is shown.

【0011】本発明に於いては、上記に開示されたオートフォーカス装置20を更に詳細に説明するならば、当該被加工部材3を光学的に処理する装置1であって、当該光学的処理を実行する光源4、当該光源4から出力される光エネルギーを当該被加工部材2に露光せしめる対物レンズ3、当該対物レンズの配置位置を変動させ焦点位置を調整する対物レンズ駆動手段8、当該対物レンズ3に画像鮮明度評価用光エネルギーを供給する画像鮮明度評価用照明光源7、当該画像鮮明度評価用照明光源7 [0011] In the present invention, if further detailed description of the autofocus device 20 disclosed above, a device 1 for processing the workpiece 3 optically, the optical processing light source 4, the objective lens 3 which allowed to expose the light energy output from the light source 4 to the workpiece 2, an objective lens driving means 8 for adjusting the focal position varying the position of the objective lens to perform, the objective lens image sharpness evaluation illumination light source 7 supplies the image sharpness evaluation light energy to 3, the image sharpness evaluation illumination light source 7
からの光が当該被加工部材2で反射して、当該反射光を適宜の画像認識手段22、例えば、観察レンズ9とCC The light is reflected in the workpiece 2 from, the reflected light an appropriate image recognition unit 22, for example, viewing lens 9 and CC
Dカメラ10とから構成された画像認識手段22により読み取られた当該被加工部材2の表面画像に関して、画像鮮明度評価情報を算出する画像鮮明度評価情報演算手段11、当該被加工部材2に於ける基準画像鮮明度評価情報を記憶している基準画像鮮明度評価情報記憶手段1 Respect D camera 10 Metropolitan configured the workpiece second surface image read by the image recognition unit 22 from the image sharpness evaluation information calculation means 11 for calculating an image sharpness evaluation information, at to the workpiece 2 reference image sharpness and stores the reference image sharpness evaluation information takes evaluation information storage means 1
4、当該基準画像鮮明度評価情報記憶手段14に予め記憶されている当該被加工部材2の画像鮮明度評価情報と現在得られた画像鮮明度評価情報とを比較して、当該画像に於けるコントラストが最高値を示す状態とに於ける対物レンズの位置と現在の対物レンズの位置との差分値を演算する比較演算手段12、当該比較演算手段12に於ける比較演算結果から、現在時点に於ける当該対物レンズ3の配置位置情報を確認し、当該対物レンズ3を最適画像鮮明度評価が得られる位置に移動調整する対物レンズ位置調整手段8とから構成されている被加工部材の光学的処理装置1に於けるオートフォーカス装置20である。 4, by comparing the image sharpness evaluation information of the reference image sharpness evaluation information storage unit 14 is stored in advance in the workpiece 2 and the image sharpness evaluation information obtained currently, in on the image comparison calculation means 12 for calculating a difference value between the position of the current objective lens contrast in the objective lens in the state in which the highest value, from in comparison operation result to the comparison operation unit 12, the current time verify in arrangement position information of the objective lens 3, the optical of the workpiece that is an objective lens position adjusting means 8 which are moved and adjusted to a position of the objective lens 3 is optimized image sharpness evaluation obtained it is in autofocus device 20 to the processing apparatus 1.

【0012】本発明に於ける当該対物レンズ3の位置調整手段8は、当該比較演算手段12の出力値を入力する制御手段13と当該制御手段に接続された適宜のドライバ手段15及び当該ドライバ手段15の出力により所定の電流値若しくは電圧値を出力して当該対物レンズの駆動手段のモーター等を駆動させるアクチェータ28とから構成されているものである。 [0012] The position adjusting means in the objective lens 3 in the present invention 8 is appropriate driver means 15 and the driver means connected to the control unit 13 and the control means for inputting the output value of the comparison operation unit 12 the 15 outputs of those which are composed of an actuator 28 for driving the motor of the drive means of the predetermined current value or output to the objective lens voltage values.

【0013】本発明に於ける当該被加工部材2を光学的に処理する装置1は、例えばレーザ装置であっても良く、その場合には、当該光学的処理を実行する光源4はレーザ光源である事が望ましい。 The present invention device 1 for processing in the workpiece 2 optically to, for example may be a laser apparatus, in which case the light source 4 to perform the optical processing by the laser light source there it is desirable. 更に、本発明に於いては、当該被加工部材2は、ウェハ、チップ、プリント基板等から選択された一つの部材である事が望ましいが、 Additionally, in the present invention, the workpiece 2, a wafer, chip, but it is desirable that one of the members selected from the printed circuit board or the like,
本発明に於いては係る具体例に特定されるものではない。 Not to be specified to the specific examples according the in the present invention.

【0014】一方、本発明に於て使用される当該被加工部材2の表面画像に関する画像鮮明度評価情報を算出する画像鮮明度評価情報演算手段は、CCDカメラを含むものである事が望ましく、画像の隣接する各画素間の電気信号を例えば差の二乗和を算出する等の操作を利用してコントラスト情報を求め、更に対物レンズの位置を適宜変更する事によって、例えば、図3に示す様な、画像鮮明度評価曲線を得る事が出来る。 [0014] On the other hand, the image sharpness evaluation information calculation means for calculating the image sharpness evaluation information about the workpiece second surface image used At a present invention, it is desirably one containing a CCD camera, an image of obtains the contrast information by utilizing operation such as calculating the square sum of the electrical signal, for example the difference between the adjacent pixels, by further appropriately changing the position of the objective lens, for example, such as shown in FIG. 3, image sharpness evaluation curve can be obtained.

【0015】つまり、本発明に於て使用する当該基準画像鮮明度評価曲線は、当該被加工部材2の表面に垂直な方向に対して当該対物レンズ3を所定の距離往復動させる事によって得られる、それぞれの対物レンズの位置に於けるコントラスト情報をプロットして連続化する事によって得られるものである。 [0015] That is, the reference image sharpness evaluation curve used At a present invention is obtained by causing the objective lens 3 by a predetermined distance reciprocating with respect to the direction perpendicular to the surface of the workpiece 2 those obtained by successive reduction plots in contrast information on the position of each objective lens. 即ち、本発明に係る当該画像鮮明度評価曲線によって得られる画像鮮明度評価情報は、最適なコントラストが得られる当該対物レンズ3の位置を中心に、当該対物レンズ3が、当該最適なコントラストが得られる位置から離れる方向、つまり当該被加工部材2の表面に垂直な方向に平行に移動させた時に、 That is, the image sharpness evaluation information obtained by the image sharpness evaluation curves according to the present invention, mainly the position of the objective lens 3 that optimum contrast is obtained, the objective lens 3, the optimum contrast is obtained direction away from the position that is, when moving in parallel in a direction perpendicular i.e. on the surface of the workpiece 2,
当該対物レンズの位置とその時点に於けるコントラストの値との関係を表示するものである。 It is for displaying the relationship between the position of the objective lens to a value of at contrast that point.

【0016】従って、或る所望の被加工部材2を加工する場合には、当該被加工部材2に対して、少なくとも一回、当該レーザ光源4ではなく、当該照明用の光源7を使用して当該対物レンズ3を介して照明用の光を当該被加工部材2の表面に照射せしめ、その反射光を当該CC [0016] Therefore, in the case of processing a certain desired workpiece 2, with respect to the workpiece 2, at least once, rather than the laser light source 4, using a light source 7 for the lighting light for illumination through the objective lens 3 brought onto the surface of the workpiece 2, the CC and the reflected light
Dカメラ等で構成されている画像認識手段22で受光し、画像に於ける所定の部分のコントラストに関する解析を当該画像処理手段11と演算手段12によって実行される。 Received by the image recognition means 22 is composed of D camera or the like, the analysis of the contrast of the predetermined portion in the image is executed by the image processing unit 11 and the arithmetic unit 12.

【0017】具体的には、図2に示す様に、当該所望の被加工部材2の適宜の表面部分にコントラストを判断する為に使用されるマーク16(フィデュシャルマーク) [0017] Specifically, as shown in FIG. 2, the mark 16 is used to determine the contrast to the desired appropriate surface portions of the workpiece 2 (fiducial mark)
の部分に当該対物レンズ3を合わせ、当該対物レンズ3 Part combined the objective lens 3, the objective lens 3
を一定の微小間隔で当該被加工部材2の表面に垂直な方向に少なくとも一回、望ましくは複数回移動変位させて、その都度当該マーク16に関するコントラスト、つまり画像鮮明度値を各対物レンズ3の変位位置毎に求め、図3に示す様な画像鮮明度評価情報である曲線を求め、その結果を記憶手段14に記憶させておく。 At least once in a direction perpendicular to the surface of the workpiece 2 at a constant small distance, preferably by a plurality of times the displacement, each time the contrast about the mark 16, i.e. the image sharpness values ​​of the respective objective lenses 3 found for each displacement position, it obtains a curve which is an image sharpness evaluation information such as shown in FIG. 3, allowed to store the result in the storage unit 14.

【0018】係る画像鮮明度評価曲線は、当該被加工部材2に付いての基準画像鮮明度評価情報となり、当該被加工部材の加工処理に於ける最初のステップに於て求めておき、メモリーに記憶させておくものである。 [0018] According image sharpness evaluation curve becomes a reference image sharpness evaluation information attached to the workpiece 2, to previously obtain At a the processing first step in the the workpiece, the memory those to be allowed stored. 係る基準画像鮮明度評価情報曲線は、当該被加工部材2の複数のロットを処理する間、共通に使用されるものである。 Reference image sharpness evaluation information curve relating during processing a plurality of lots of the workpiece 2, and is used in common.

【0019】より正確には、当該被加工部材2の各ロット毎に基準画像鮮明度評価情報曲線を求め直すものであるが、同一のスペックを有する複数個の被加工部材2にあっては、ロット間の誤差は少ないと判断出来るので、 [0019] More precisely, it is intended to re seeking a reference image sharpness evaluation information curve for each lot of the workpiece 2, in the plurality of workpiece 2 having the same specifications, since the error between the lots as small as can be determined,
同一のスペックを持つ複数個の被加工部材2の処理は、 Processing a plurality of workpiece 2 having the same specifications,
同一の基準画像鮮明度評価情報曲線を使用する事が可能である。 It is possible to use the same reference image sharpness evaluation information curve.

【0020】本発明に於いては、一旦当該被加工部材2 [0020] In the invention, once the workpiece 2
に対して該基準画像鮮明度評価情報曲線が形成され、所定の記憶手段14にその情報が記憶された後に、当該個々の被加工部材2に対して個別に、所定の光学的加工処理が行われるものであって、当該処理加工様の光源4から、所定のレーザ光が当該被加工部材2に照射される。 The reference image sharpness evaluation information curve is formed, after which the information is stored in a predetermined storage unit 14, separately for the individual workpiece 2, predetermined optical processing row against It is those divided from the light source 4 of the treatment processing like, a predetermined laser beam is irradiated such a workpiece 2.

【0021】その直前に、本発明に於いては、上記した照明用光源7から所定の照明用光を該対物レンズ3を介して、当該新たに加工すべき被加工部材2の表面に設けられた当該マーク16に照射させその際の当該マーク1 [0021] immediately before the, in the present invention, through the objective lens 3 a predetermined illumination light from the illumination light source 7 as described above, provided in the newly machined workpiece 2 of the surface to be and the mark 1 at that time is emitted to the mark 16
6に関するコントラスト情報、つまり画像鮮明度情報を当該画像認識手段22と画像処理手段11及び演算手段12で求める。 Contrast information about 6, that is obtaining the image sharpness information in the image recognition unit 22 and the image processing unit 11 and the arithmetic unit 12.

【0022】その結果、今求めた当該新規の被加工部材2に於ける当該コントラスト情報を当該記憶手段14に格納されている当該被加工部材2に関する基準画像鮮明度評価情報曲線と比較する事によって、当該対物レンズによる焦点位置の状態が識別する事が可能となる。 [0022] As a result, by comparing the new in the contrast information in the workpiece 2 obtained just a reference image sharpness evaluation information curves relating to the workpiece 2 stored in the storage means 14 , the state of the focus position by the objective lens becomes possible to identify. つまり、今求めた当該新規の被加工部材2に於ける当該コントラスト情報が図4に示す様に、Jのレベルであり当該Jのレベルを図3に示す当該基準画像鮮明度評価情報曲線に当てはめると、例えば位置Kに相当する事が判明する。 That is, now determined the new in the contrast information in the workpiece 2 is as shown in FIG. 4, a level of J fitting level of the J to the reference image sharpness evaluation information curve shown in FIG. 3 and, it turns out to be equivalent to, for example, position K.

【0023】その結果、現在に於ける当該対物レンズ3 [0023] As a result, in the current the objective lens 3
の位置Kと当該被加工部材2に於ける最良のコントラストが得られる対物レンズ3の位置Fとの位置誤差Zが上記した差分値演算手段12により求められるので、その情報を当該制御手段13、ドライバ手段11を介して当該対物レンズ3の位置を変動させるアクチュエータ28 Since the position error Z between the position F of the position K and the objective lens 3 in which the workpiece 2 best in the contrast can be obtained in is determined by the difference value calculating unit 12 described above, the control unit 13 the information, the actuator 28 for varying the position of the objective lens 3 via the driver means 11
を駆動させる事によって、当該対物レンズ3を最適なコントラストが得られる位置Fに移動させる事が出来る。 The by driving, the objective lens 3 an optimal contrast to it can to move to a position F obtained.

【0024】同様に、所定の被加工部材2に於ける当該画像鮮明度のレベルがAであった場合には、同様に当該基準画像鮮明度評価情報曲線上に於て位置Bと位置Cとが検出される事になる。 [0024] Similarly, when a predetermined level of at the image sharpness in the workpiece 2 was A includes a position B At a likewise the reference image sharpness evaluation information on the curve and the position C There will be detected. その後、当該レーザ光源等からなる加工処理光源4からの所定の光エネルギーを当該被加工部材2に照射する事によって、当該被加工部材2の表面に所定の加工処理を施す事になる。 Then, by irradiating a predetermined light energy from processing light source 4 consisting of the laser light source or the like to the workpiece 2, so that the performing predetermined processing on the surface of the workpiece 2.

【0025】次いで、第2枚目の当該被加工部材2を当該装置1にセットし、上記したと同様の対物レンズ3の位置調整を実行する。 [0025] Then, the workpiece 2 in the second sheet is set in the apparatus 1, it executes the position adjustment of the same objective lens 3 and described above. 係る操作を所定の枚数の被加工部材2に対して繰り返し、最終の被加工部材2に対して加工処理が完了する迄同様の操作が繰り返し実行される。 Operation was repeated with respect to the workpiece 2 a predetermined number of according the final processing until the completion similar operation on the workpiece 2 is repeatedly executed.
そして、新たな被加工部材2を加工処理する場合には、 Then, in the case of processing a new workpiece 2,
上記した様に、当該新たな被加工部材2に対して、基準画像鮮明度評価情報曲線を求め、その結果を当該記憶手段14に記憶した後、上記と同様の処理操作を繰り返し実行する事になる。 As noted above, the relative new workpiece 2, obtains a reference image sharpness evaluation information curve, after storing the result in the storage unit 14, to be repeatedly executed the same processing operation Become.

【0026】本発明に於ける当該基準画像鮮明度評価情報は、当該被加工部材2の表面に垂直な方向に対して当該対物レンズ3を所定の距離往復動させる事によって得られる、最適なコントラストが得られる当該対物レンズ3の位置を中心に、当該対物レンズ3が、当該最適なコントラストが得られる位置から離れる方向に測定した当該対物レンズ3の位置とその時点に於けるコントラストの値との関係を表示するものである。 [0026] in the reference image sharpness evaluation information to the present invention are obtained with respect to the direction perpendicular to the surface of the workpiece 2 by causing the objective lens 3 by a predetermined distance reciprocating the optimum contrast around the position of the objective lens 3 to be obtained, the objective lens 3, the optimum contrast between the position and the value of at contrast that point of the objective lens 3 as measured in a direction away from the position obtained it is intended to display the relationship.

【0027】然しながら、当該基準画像鮮明度評価情報曲線は、図3に示すように、当該被加工部材2に関して最良のコントラストが得られる当該対物レンズ3の位置Fを中心として山形の曲線を形成するのが一般的であるので、例えば、或る被加工部材を加工処理する為に当該対物レンズ3の位置を検出するためにコントラスト評価を上記画像鮮明度等で検出する場合、図3に於ける位置Kと位置Lの2箇所の候補地が検出される事になる。 [0027] However, the reference image sharpness evaluation information curve, as shown in FIG. 3, to form a chevron curve around the position F of the objective lens 3 to the best contrast can be obtained with respect to the workpiece 2 since it is common, for example, when the contrast evaluation in order to detect the position of the objective lens 3 a certain workpiece to processing detected by the image sharpness and the like, in FIG. 3 will be two positions in the candidate site position K to the position L is detected.

【0028】つまり、当該最良のコントラストが得られる当該対物レンズ3の位置Fの手前の位置にあるのか、 [0028] That is, whether in front of the position of the position F of the objective lens 3 in which the best contrast is obtained,
当該最良のコントラストが得られる当該対物レンズ3の位置Fを越えた位置にあるのかを判断する必要が生ずる。 Necessary to determine whether a position beyond the position F of the objective lens 3 in which the best contrast is obtained is generated. 係る場合には、例えば、当該対物レンズ3の現在の配置位置を確認するに際して、当該対物レンズ3を当該被加工部材2の表面に対して直角な方向に、上下に微動変位させ、当該被加工部材2の当該画像鮮明度評価情報の変化の方向を判断することによって、識別する事が可能である。 If according, for example, when confirming the current position of the objective lens 3, the objective lens 3 in a direction perpendicular to the surface of the workpiece 2, is the fine displacement in the vertical direction, the workpiece by determining the direction of change of the image sharpness evaluation information member 2, it is possible to identify.

【0029】つまり、当該画像鮮明度評価情報が増加の方向を示す場合には、当該対物レンズ3は、図4のKの位置にいる事が判明し、従って、Z1(=F−K)の距離だけ当該対物レンズ3の位置をFの方向に移動させる事になり、又、当該画像鮮明度評価情報が減少の方向を示す場合には、当該対物レンズ3は、図4のLの位置にいる事が判明し、従って、Z2(=L−F)の距離だけ当該対物レンズ3の位置をFの方向に移動させる事になる。 [0029] That is, when the image sharpness evaluation information indicating the direction of increasing, the objective lens 3, it is found that in a position of K in FIG. 4, therefore, Z1 of (= F-K) distance becomes the position of the objective lens 3 to be moved in the direction of F, also in the case where the image sharpness evaluation information indicating the direction of decline, the objective lens 3, the position of L in FIG. 4 it is found that there, therefore, will be moved by the position of the objective lens 3 in the direction of F distance Z2 (= L-F).

【0030】即ち、本発明に係る当該オートフォーカス方法としては、上記した様に、被加工部材に対して、適宜の加工処理用光源から出力される光エネルギーを対物レンズを介して露光せしめて当該被加工部材を光学的に加工処理する装置に於て、当該対物レンズを介して照明用の光源から出力される光エネルギーを当該被加工部材に照射する工程、当該被加工部材からの反射光から当該被加工部材表面の画像を受光する工程、当該画像を解析し、当該解析された被加工部材表面の画像情報から当該被加工部材表面の画像鮮明度評価情報を演算する工程、 [0030] That is, as the autofocus process according to the present invention, as described above, with respect to the workpiece, the by allowed exposure light energy output from a suitable processing light source through the objective lens the workpiece at a optically processed to device, the light energy output from a light source for illumination through the objective lens irradiating to the workpiece, from the reflected light from the workpiece a step of receiving an image of the workpiece surface, the step of analyzing the image, calculates the image sharpness evaluation information of the analyzed workpiece surface image information from the workpiece surface,
当該画像鮮明度評価情報の現在の演算値を予め所定の記憶手段に記憶されている当該被加工部材の基準画像鮮明度評価情報と比較する工程、当該比較結果に基づいて、 And comparing the said image sharpness evaluation current reference image sharpness evaluation information of the workpiece that is stored in advance in a predetermined storage means calculated value of information, based on the comparison result,
当該被加工部材に於ける基準画像鮮明度評価情報の最高値と現在の時点に於ける対物レンズの位置との差分値を求め、当該差分値を0とする様に、当該対物レンズの配置位置を駆動調整する工程、とから構成されているオートフォーカス方法である。 The calculated difference value between the position of in the objective lens to the maximum value and the current time point in the reference image sharpness evaluation information to be processed member, the difference value so as to be 0, the arrangement position of the objective lens the step of driving adjusting the autofocusing method and a city.

【0031】本発明に係る当該オートフォーカス方法の具体例を図5のフローチャートを参照しながら説明するならば、スタート後、ステップ(1)に於て、所定の被加工部材2に関する基準画像鮮明度評価情報から所定の基準画像鮮明度評価情報曲線を作成するし、ステップ(2)に於て当該基準画像鮮明度評価情報曲線データを適宜の記憶手段14に格納しておく。 [0031] If a specific example of the automatic focusing method according to the present invention will be described with reference to the flowchart of FIG. 5, after the start, step (1) At a reference image sharpness for a given workpiece 2 it creates a predetermined reference image sharpness evaluation information curve from the evaluation information, storing the reference image sharpness evaluation information curve data in a suitable storage means 14 at a step (2).

【0032】その後、ステップ(3)に於て、第1枚目の当該被加工部材2を当該光学的処理装置1に載置すると共に、ステップ(4)に於て、当該照明用光源7から出力される光エネルギーを使用して当該被加工部材2の表面を照射して、当該被加工部材の表面の画像情報を認識する。 [0032] Then, At a step (3), the workpiece 2 in the first sheet while placed on the optical processing device 1, At a step (4), from the illumination light source 7 by irradiating the surface of the workpiece 2 using the light energy output, it recognizes the image information of the surface of the workpiece. 次いでステップ(5)に於て、当該第1の被加工部材2の表面の画像情報から画像鮮明度評価情報を求め、ステップ(6)に進んで、当該被加工部材2の表面の画像に関する当該画像鮮明度評価情報を当該記憶手段14に格納されている当該基準画像鮮明度評価情報曲線と比較する。 Then At a step (5), determine the image sharpness evaluation information from the image information of the first of the workpiece 2 surfaces, the process proceeds to step (6), the related image of the workpiece 2 surfaces an image sharpness evaluation information is compared with the reference image sharpness evaluation information curve stored in the storage unit 14.

【0033】その後ステップ(7)に進んで、当該比較操作によって、当該対物レンズ3の現在の配置位置を確認すると共に、ステップ(8)に於て、当該基準画像鮮明度評価情報曲線の最高のコントラスト状態が得られる対物レンズの位置情報と当該被加工部材2に関する現在の対物レンズ3の位置情報との差分値を求める。 The routine then advances to step (7), by the comparison operation, while confirming the current position of the objective lens 3, At a step (8), the highest of the reference image sharpness evaluation information curve obtaining a difference value between the current position information of the objective lens 3 on the position information and the workpiece 2 of the objective lens where the contrast condition is obtained. 係る差分値を使用して、ステップ(9)に於て、当該差分値を0とする様に、当該対物レンズの駆動手段8を操作して当該対物レンズを所定の方向に移動させる。 Using a difference value according, At a step (9), the difference value so as to be 0, by operating the driving means 8 of the objective lens moves the objective lens in a predetermined direction.

【0034】その後、ステップ(10)に於て、当該被加工部材2に対して所定の加工処理が実行され、ステップ(11)に於て、当該被加工部材2は、最後の被加工部材であるか否かが判断され、NOであれば、ステップ(12)に於て、当該第1の被加工部材2を除去し新たに第2の被加工部材2を搭載させた後、ステップ(4) [0034] Then, At a step (10), predetermined processing with respect to the workpiece 2 is performed, At a step (11), the workpiece 2 is the last of the work member whether there is determined, if NO, the at a step (12), removing the first workpiece 2 after newly is mounted a second workpiece 2, step (4 )
に戻って、上記した各工程が繰り返される。 Returning to, each step described above is repeated.

【0035】ステップ(11)でYESであれば、当該処理操作ルーチンは終了しエンドとなる。 [0035] If YES in step (11), the process operation routine is finished to end. 又、本発明に係る他の態様としては、所定の被加工部材に関する基準画像鮮明度評価情報を作成する第1の工程、当該基準画像鮮明度評価情報を適宜の記憶手段に格納しておく第2 Further, as another embodiment according to the present invention, the storing the first step of creating a reference image sharpness evaluation information for a given workpiece, the reference image sharpness evaluation information in a suitable storage means 2
の工程、1枚目の当該被加工部材を当該光学的処理装置に載置する第3の工程、当該照明用光源から出力される光エネルギーを使用して当該被加工部材の表面を照射して、当該被加工部材の表面の画像情報を認識する第4の工程、当該被加工部材の表面の画像情報から画像鮮明度評価情報を求める第5の工程、当該被加工部材の表面の画像に関する当該画像鮮明度評価情報を当該記憶手段に格納されている当該基準画像鮮明度評価情報と比較する第6の工程、当該比較操作によって、当該対物レンズの現在の配置位置を確認する第7の工程、当該基準画像鮮明度評価情報の最高のコントラスト情報が得られる当該対物レンズ3の位置情報と当該被加工部材3に関する現在の対物レンズ3の位置情報との差分値を求める第8の工程、当該差分値 Step, a third step of placing a first sheet of the workpiece to the optical processing apparatus, and using light energy output from the illumination light source to illuminate the surface of the workpiece , the fourth step of recognizing the image information of the surface of the workpiece, a fifth step of obtaining an image sharpness evaluation information from the image information of the surface of the workpiece, the related image of the surface of the workpiece sixth step of comparing the image sharpness evaluation information and the reference image sharpness evaluation information stored in the storage means, by the comparison operation, a seventh step of confirming the current position of the objective lens, eighth step of obtaining a difference value between the reference image sharpness evaluation best position information and current position information of the objective lens 3 regarding the workpiece 3 of the objective lens 3 in which the contrast information is obtained information, the difference value 0とする様に、当該対物レンズの駆動手段を操作して当該対物レンズを所定の方向に移動させる第9の工程、とから構成されているオートフォーカス方法をコンピュータに実行させる為のプログラムを内蔵した記録媒体である。 As a 0, a built-in program for executing a ninth step of moving by operating the driving means of the objective lens the objective lens in a predetermined direction, the autofocus method and a city on a computer it is the recording medium.

【0036】 [0036]

【発明の効果】本発明に係るオートフォーカス装置及びオートフォーカス方法は、上記した様な技術構成を採用しているので、あらかじめ評価保存しておいた基準画像鮮明度評価情報曲線を用いることにより、従来の方法に比べて、当該対物レンズ3のキャリブレーションに際して、少ない移動・計測回数で効率よく、高速に移動させる事が可能となるので、極めて短時間に効率的にフォーカスを合わせることができる。 Autofocus device and autofocus process according to the present invention, since adopted such technical constitution described above, by using a reference image sharpness evaluation information curve previously evaluated saved, compared to the conventional method, when the calibration of the objective lens 3, efficiently with less movement and measurement times, since it is possible to move at high speed can be matched efficiently focus in a very short time.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】図1(a)は、本発明に係る当該オートフォーカス装置の具体例の構成を説明するブロックダイアグラムである。 [1] Figure 1 (a) is a block diagram for explaining the arrangement of a detailed example of the automatic focusing apparatus according to the present invention.

【図2】図2は、本発明に於ける当該オートフォーカス装置で使用される当該被加工部材の画像鮮明度検出方法の原理を説明する図である。 Figure 2 is a diagram illustrating the principle of image sharpness detection method of the workpiece for use in in the auto focus apparatus according to the present invention.

【図3】図3は、本発明に係る基準画像鮮明度評価情報曲線の一例を示すグラフであり、又当該基準画像鮮明度評価情報曲線に於ける画像鮮明度レベルと対物レンズ位置との関係を説明する図である。 Figure 3 is a graph showing an example of a reference image sharpness evaluation information curve according to the present invention, also the reference image sharpness evaluation information curve relationship between in image sharpness level and an objective lens located is a diagram illustrating a.

【図4】図4は、本発明に係る基準画像鮮明度評価情報曲線を使用して当該対物レンズの位置を調整する方法の原理を説明する図である。 Figure 4 is a diagram for explaining the principle of a method of adjusting the position of the objective lens by using a reference image sharpness evaluation information curve according to the present invention.

【図5】図5は、本発明に係るオートフォーカス方法の一具体例の構成手順を説明するフローチャートである。 Figure 5 is a flowchart for explaining the configuration procedure of one embodiment of the autofocus methods of the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1… 光学的処理装置 2… 被加工部材 3… 対物レンズ 4… 加工処理用光源 5… 反射ミラー 6… ビームスプリッタ 7… 照明用光源 8… 対物レンズ駆動調整手段 9… 観察レンズ 10… CCDカメラ 11… 画像処理手段 12… 演算手段 13… 制御手段 14… 記憶手段 15… ドライバ 16… フィデュシャルマーク 20… オートフォーカス装置 22… 画像認識手段 28… アクチュエータ 1 ... optical processing device 2 ... workpiece 3 ... objective lens 4 ... processing light source 5 ... reflecting mirror 6 ... beam splitter 7 ... illumination light source 8 ... objective lens driving adjusting means 9 ... viewing lens 10 ... CCD camera 11 ... image processing means 12 ... calculating means 13 ... control means 14 ... storage means 15 ... driver 16 ... fiducial mark 20 ... autofocus device 22 ... image recognition means 28 ... actuator

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl. 7識別記号 FI H01L 21/027 H01L 21/30 526A (56)参考文献 特開 平2−20679(JP,A) 特開 平4−253586(JP,A) 特開 平4−190992(JP,A) 特開 平2−20680(JP,A) 特開 平6−14240(JP,A) 特開 平5−83614(JP,A) 特開 平8−166534(JP,A) 特開 平8−160284(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl. 7 ,DB名) G02B 7/36 B23K 26/04 G02B 7/28 G03B 13/36 ────────────────────────────────────────────────── ─── front page continued (51) Int.Cl. 7 identifications FI H01L 21/027 H01L 21/30 526A (56 ) references Patent Rights 2-20679 (JP, a) Patent Rights 4-253586 ( JP, A) Patent Rights 4-190992 (JP, A) Patent Rights 2-20680 (JP, A) Patent Rights 6-14240 (JP, A) Patent Rights 5-83614 (JP, A) JP flat 8-166534 (JP, a) JP flat 8-160284 (JP, a) (58 ) investigated the field (Int.Cl. 7, DB name) G02B 7/36 B23K 26/04 G02B 7/28 G03B 13 / 36

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】 (57) [the claims]
  1. 【請求項1】 被加工部材を光学的に処理する装置であ 1. A device der for processing workpiece optically
    って、当該光学的処理を実行する光源、当該光源から出 I, the light source to perform the optical processing, out the light source
    力される光エネルギーを当該被加工部材に露光せしめる Allowed to exposure light energy force to the member to be processed
    対物レンズ、当該対物レンズの配置位置を変動させ焦点 Objective lens, the focal varying the position of the objective lens
    位置を調整する対物レンズ駆動手段、当該対物レンズに An objective lens driving means for adjusting the position, in the objective lens
    画像鮮明度評価用光エネルギーを供給する画像鮮明度評 It supplies an image sharpness evaluation optical energy image sharpness commentary
    価用光源、当該対物レンズを介して照明用の光源から出 Valence light source, emitted from a light source for illumination through the objective lens
    力される光エネルギーを当該被加工部材に設けられた所 Where the optical energy force provided to the member to be processed
    定の評価用標識部に照射する照明手段、当該対物レンズ Illumination means for irradiating the evaluation indicator of the constant, the objective lens
    と被加工部材との間の距離を変化させながら、当該被加 And while changing the distance between the workpiece, the target pressure
    工部材に設けられた所定の評価用標識部からの反射光か Or reflected light from a predetermined evaluation indicator portion provided in Engineering member
    ら当該評価用標識部の画像を認識して、当該認識された It recognizes the image of Luo the evaluation labeling unit, which is the recognized
    当該評価用標識部の画像情報から当該評価用標識部の画 Image from the image information of the evaluation indicator of the evaluation indicator unit
    像鮮明度評価情報を演算して、画像鮮明度評価曲線を作 By calculating the image sharpness evaluation information, create an image sharpness evaluation curve
    成する画像鮮明度評価情報演算手段、当該画像鮮明度評 Image sharpness evaluation information calculating means for forming, the image sharpness commentary
    価情報演算手段により作成された当該画像鮮明度評価曲 The image sharpness evaluation songs created by valence information calculating means
    線を記憶する画像鮮明度評価曲線記憶手段、当該画像鮮 Image sharpness evaluation curve storage means for storing a line, the image vivid
    明度評価曲線記憶手段に記憶されている画像鮮明度評価 Image sharpness evaluation stored in the brightness evaluation curve storage means
    曲線と現在使用している被加工部材に対する現在得られ Currently obtained with respect to the workpiece using the curve and the current
    た画像鮮明度評価情報とを比較する比較手段、当該比較 Comparing means for comparing the image sharpness evaluation information, the comparative
    手段に於ける比較結果から、現在時点に於ける当該対物 From in comparison to the means, in the objective to the current time
    レンズの配置位置情報を確認すると共に、当該現在時点 Together, the present time to confirm the position information of the lens
    に於ける当該対物レンズの配置位置情報と当該画像鮮明 In the objective lens position information and the image sharpness of the
    度評価曲線に於ける当該対物レンズで最適画像鮮明度評 Optimum image sharpness commentary in in the objective lens in time evaluation curve
    価が得られる位置との差分値を求める差分値演算手段、 Difference value calculating means for calculating a difference value between the position value is obtained,
    当該差分値を0とする様に、当該対物レンズの配置位置 The difference value so as to be 0, the arrangement position of the objective lens
    を調整する対物レンズ位置調整手段とから構成されてい Adjust consists objective lens position adjusting means
    る事を特徴とする被加工部材の光学的処理装置に於ける In the optical processing device of the workpiece which can be characterized by that
    オートフォーカス装置。 Autofocus device.
  2. 【請求項2】 当該被加工部材を光学的に処理する装置 2. A device for processing the workpiece optically
    は、レーザ装置である事を特徴とする請求項1記載のオ Is OH according to claim 1, wherein a is a laser device
    ートフォーカス装置。 Over autofocus system.
  3. 【請求項3】 当該被加工部材は、ウェハ、チップ、プ Wherein the workpiece is a wafer, chip, flop
    リント基板等から選択された一つの部材である事を特徴 Characterized in that, one of the members selected from the lint substrate or the like
    とする請求項1又は2に記載のオートフォーカス装置。 Autofocus device according to claim 1 or 2,.
  4. 【請求項4】 当該被加工部材の表面画像に関する画像 4. The image relating to the surface image of the workpiece
    鮮明度評価情報を算出する画像鮮明度評価情報演算手段 Image sharpness evaluation information calculation means for calculating a sharpness evaluation information
    は、CCDカメラを含むものである事を特徴とする請求 It is claimed, wherein it is intended to include a CCD camera
    項1乃至3の何れかに記載のオートフォーカス装置。 Autofocus device according to any one of claim 1 to 3.
  5. 【請求項5】 当該基準画像鮮明度評価曲線は、当該被 5. The reference image sharpness evaluation curve, the target
    加工部材の表面に垂直な方向に対して当該対物レンズを The objective lens with respect to the direction perpendicular to the surface of the workpiece
    所定の距離往復動させる事によって得られる、最適なコ It is obtained by a predetermined distance reciprocating optimal co
    ントラストが得られる当該対物レンズの位置を中心に、 Around the position of the objective lens contrast is obtained,
    当該対物レンズが、当該最適なコントラストが得られる The objective lens, the optimum contrast is obtained
    位置から離れる方向に測定した当該対物レンズの位置と The position of the objective lens, measured in a direction away from the position
    その時点に於けるコントラストの値との関係を表示する Displaying the relationship between the value of at contrast that point
    ものである事を特徴とする請求項1乃至4の何れかに記 Serial to any one of claims 1 to 4, characterized in that those
    載のオートフォーカス装置。 The placing of the autofocus device.
  6. 【請求項6】 被加工部材に対して、適宜の加工処理用 Against 6. workpiece, for appropriate processing
    光源から出力される光エネルギーを対物レンズを介して The light energy output from the light source through the objective lens
    露光せしめて当該被加工部材を光学的に加工処理する装 Instrumentation which allowed exposure to process optically the workpiece
    置に於て、 当該対物レンズを介して照明用の光源から出力される光 Location At a light output from a light source for illumination through the objective lens
    エネルギーを当該被加工部材に設けられた所定の評価用 Predetermined for evaluation of energy provided to the member to be processed
    標識部に照射する第1の工程、 当該対物レンズと被加工部材との間の距離を変化させな First step of irradiating the label portion, Do not change the distance between the objective lens and the workpiece
    がら、当該被加工部材に設けられた所定の評価用標識部 Unwilling, predetermined evaluation indicator portion provided in the member to be processed
    からの反射光を受光する第2の工程当該評価用標識部の画像を認識して、当該認識された当 A second step for receiving the reflected light from, recognizes the image of the evaluation labeling unit, the recognized person
    該評価用標識部の画像情報から当該評価用標識部の画像 Image of the evaluation indicator portion from the image information of the evaluation indicator unit
    鮮明度評価情報を演算して、画像鮮明度評価曲線を作成 By calculating the sharpness evaluation information, create an image sharpness evaluation curve
    する第3の工程、 当該基準画像鮮明度評価曲線を適宜の画像鮮明度評価曲 Third step, an appropriate image sharpness evaluation song the reference image sharpness evaluation curve
    線記憶手段に記憶しておく第4の工程、 所定の被加工部材を当該光学的処理装置に載置する第5 Fourth step of storing the line memory means, the fifth for placing a predetermined workpiece to the optical processing device
    の工程、 当該照明用光源から出力される光エネルギーを使用して Step, using light energy output from the illumination light source
    当該被加工部材の表面を照射して、当該被加工部材の表 By irradiating the surface of the workpiece, the table of the workpiece
    面に設けられた当該評価用標識部の画像を認識する第6 The recognizing an image of the evaluation indicator portion provided on the surface 6
    の工程、 当該画像情報を解析し、当該解析された被加工部材表面 Process, analyzes the image information, a workpiece surface which is the analysis
    に於ける当該評価用標識部の画像情報から当該被加工部 The portion to be processed from the image information of at the evaluation indicator portion
    材表面の画像鮮明度評価情報を演算する第7の工程、 当該第7の工程により得られた被加工部材に対する現在 Seventh step of calculating the image sharpness evaluation information wood surface, the current for the workpiece obtained by the seventh step
    の画像鮮明度評価情報と当該画像鮮明度評価曲線記憶手 Image sharpness evaluation information and the image sharpness evaluation curve stored hand
    段に記憶されている画像鮮明度評価曲線とを比較する第 The comparing the image sharpness evaluation curve stored in stage
    8の工程、 当該比較操作に於ける比較結果から、現在時点に於ける 8 steps, from in the comparison result in the comparison operation, at the present time
    当該対物レンズの配 置位置情報を確認する第9の工程、 当該現在時点に於ける当該対物レンズの配置位置情報と Ninth step to check the placement location information of the objective lens, and the layout position information in the objective lens in the present time
    当該画像鮮明度評価曲線に於ける当該対物レンズで最適 Optimal in the objective lens on the image sharpness evaluation curve
    画像鮮明度評価が得られる位置との差分値を求める第1 The obtaining a difference value between the position where the image sharpness evaluation is obtained 1
    0の工程、 当該差分値を0とする様に、当該対物レンズの駆動手段 0 step, the difference value so as to be 0, the driving means of the objective lens
    を操作して当該対物レンズを所定の方向に移動させる第 The operates first moves the objective lens in a predetermined direction
    11の工程、 とから構成されている事を特徴とする被加工部材の光学 11 steps, optics workpiece, characterized in that and a metropolitan
    的処理装置に於けるオートフォーカス方法。 In autofocus method processing unit.
  7. 【請求項7】 被加工部材に対して、適宜の加工処理用 Relative 7. workpiece, for appropriate processing
    光源から出力される光エネルギーを対物レンズを介して The light energy output from the light source through the objective lens
    露光せしめて当該被加工部材を光学的に加工処理する装 Instrumentation which allowed exposure to process optically the workpiece
    置に於て、 当該対物レンズを介して照明用の光源から出力される光 Location At a light output from a light source for illumination through the objective lens
    エネルギーを当該被加工部材に設けられた所定の評価用 Predetermined for evaluation of energy provided to the member to be processed
    標識部に照射する第1の工程、 当該対物レンズと被加工部材との間の距離を変化させな First step of irradiating the label portion, Do not change the distance between the objective lens and the workpiece
    がら、当該被加工部材に設けられた所定の評価用標識部 Unwilling, predetermined evaluation indicator portion provided in the member to be processed
    からの反射光を受光する第2の工程当該評価用標識部の画像を認識して、当該認識された当 A second step for receiving the reflected light from, recognizes the image of the evaluation labeling unit, the recognized person
    該評価用標識部の画像情報から当該評価用標識部の画像 Image of the evaluation indicator portion from the image information of the evaluation indicator unit
    鮮明度評価情報を演算して、画像鮮明度評価曲線を作成 By calculating the sharpness evaluation information, create an image sharpness evaluation curve
    する第3の工程当該基準画像鮮明度評価曲線を適宜の画像鮮明度評価曲 Third step, an appropriate image sharpness evaluation song the reference image sharpness evaluation curve
    線記憶手段に記憶しておく第4の工程、 所定の被加工部材を当該光学的処理装置に載置する第5 Fourth step of storing the line memory means, the fifth for placing a predetermined workpiece to the optical processing device
    の工程、 当該照明用光源から出力される光エネルギーを使用して Step, using light energy output from the illumination light source
    当該被加工部材の表面を照射して、当該被加工部材の表 By irradiating the surface of the workpiece, the table of the workpiece
    面に設けられた当該評価用標識部の画像を認識する第6 The recognizing an image of the evaluation indicator portion provided on the surface 6
    の工程、 当該画像情報を解析し、当該解析された被加工部材表面 Process, analyzes the image information, a workpiece surface which is the analysis
    に於ける当該評価用標識部の画像情報から当該被加工部 The portion to be processed from the image information of at the evaluation indicator portion
    材表面の画像鮮明度評価情報を演算する第7の工程、 当該第7の工程により得られた被加工部材に対する現在 Seventh step of calculating the image sharpness evaluation information wood surface, the current for the workpiece obtained by the seventh step
    の画像鮮明度評価情報と当該画像鮮明度評価曲線記憶手 Image sharpness evaluation information and the image sharpness evaluation curve stored hand
    段に記憶されている画像鮮明度評価曲線とを比 較する第 The to compare the image sharpness evaluation curve stored in stage
    8の工程、 当該比較操作に於ける比較結果から、現在時点に於ける 8 steps, from in the comparison result in the comparison operation, at the present time
    当該対物レンズの配置位置情報を確認する第9の工程、 当該現在時点に於ける当該対物レンズの配置位置情報と Ninth step of confirming the position information of the objective lens, and the layout position information in the objective lens in the present time
    当該画像鮮明度評価曲線に於ける当該対物レンズで最適 Optimal in the objective lens on the image sharpness evaluation curve
    画像鮮明度評価が得られる位置との差分値を求める第1 The obtaining a difference value between the position where the image sharpness evaluation is obtained 1
    0の工程、 当該差分値を0とする様に、当該対物レンズの駆動手段 0 step, the difference value so as to be 0, the driving means of the objective lens
    を操作して当該対物レンズを所定の方向に移動させる第 The operates first moves the objective lens in a predetermined direction
    11の工程、 とから構成されているオートフォーカス方法をコンピュ 11 steps, computer autofocus method and a metropolitan
    ータに実行させる為のプログラムを内蔵した記録媒体。 Recording medium with a built-in program to be executed by the over data.
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JP2011227213A (en) * 2010-04-17 2011-11-10 Hitachi High-Technologies Corp Proximity exposure apparatus, alignment method of proximity exposure apparatus and manufacturing method of display panel substrate
JP5293782B2 (en) * 2011-07-27 2013-09-18 三星ダイヤモンド工業株式会社 In-focus position adjusting method, in-focus position adjusting apparatus, and laser processing apparatus
JP6224470B2 (en) * 2014-01-28 2017-11-01 株式会社ディスコ Processing equipment
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