JP3152166B2 - Anisotropic conductive sheet and manufacturing method thereof - Google Patents

Anisotropic conductive sheet and manufacturing method thereof

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JP3152166B2 JP12901497A JP12901497A JP3152166B2 JP 3152166 B2 JP3152166 B2 JP 3152166B2 JP 12901497 A JP12901497 A JP 12901497A JP 12901497 A JP12901497 A JP 12901497A JP 3152166 B2 JP3152166 B2 JP 3152166B2
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秀之 土井
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ジェイエスアール株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ICおよびプリント回路基板の検査治具、あるいは実装用ICソケットおよびプリント回路基板などのコネクタ、あるいはその周辺部におけるICカード用コネクタなど、特に微細な多点電気接続を達成するために用いられる異方導電性シートの製造方法に関するものである。 The present invention relates to the, IC and printed circuit board inspection jig, or connectors such as mounting IC socket and the printed circuit board, or a connector for an IC card at the periphery, in particular fine multipoint a method of manufacturing the anisotropically conductive sheet used in order to achieve electrical connection.

【0002】本発明の異方導電性シートは、厚み方向に良好な導電性および加圧導電性を有しており、それぞれの特性別に好適に用い得る技術分野をさらに詳しく説明すれば、以下のようである。 [0002] The anisotropic conductive sheet of the present invention has good conductivity and pressure conductive properties in the thickness direction and, more detail description of the art that can be suitably used for each respective characteristics, the following It is the case.

【0003】(特に良導電性を利用する分野) 1) IC、LSI、MCMなどの集積回路の電気接続用ソケット、特に、BGA用ソケット 2) LCDパネル用コネクタ 3) プリント回路基板の実装用コネクタ 4) PCカードの端子およびコネクタ 5) 異方導電性接着シート、異方導電性接着テープ、 [0003] (especially good conductive areas utilizing) 1) IC, LSI, the electrical connecting socket of the integrated circuit, such as MCM, in particular, BGA socket 2) LCD panel connector 3) printed circuit board mounting connector 4) PC card terminals and connectors 5) anisotropic conductive adhesive sheet, the anisotropic conductive adhesive tape,
異方導電性粘着シート、異方導電性粘着テープ 6) IC検査、プリント回路基板検査用のシート状探針(特に加圧導電性を利用する分野) 7) 感圧スイッチ、リミットスイッチ、キーボード 8) 感圧ボリューム、鍵盤、座標入力装置、ジョイスティック 9) 感触センサ 10) 圧力分布測定センサ Anisotropic conductive adhesive sheet, the anisotropic conductive adhesive tape 6) IC test, the printed circuit sheet-like probe (particularly in the field utilizing a pressurized conductive property for the substrate inspection) 7) pressure sensitive switch, limit switch, a keyboard 8 ) pressure sensitive volume, keyboard, a coordinate input device, a joystick 9) touch sensor 10) a pressure distribution measurement sensor

【0004】 [0004]

【従来の技術】従来、前述のような技術分野に用いられている異方導電性シートは、厚さ方向にのみ導電性を有するもの、または、加圧されたときに厚さ方向にのみ導電性を示す多数の加圧導電性導電部を有するものであり、種々の構造のものが、例えば、特公昭56−489 Conventionally, anisotropically conductive sheet used in the art, such as described above, those having conductivity only in the thickness direction, or, only conductive in the thickness direction when pressurized those having a plurality of pressurized conductive conductive part showing a sex, those having various structures, for example, JP-B-56-489
51号公報、特開昭51−93393号公報、特開昭5 51 JP, Sho 51-93393, JP-Sho 5
3−147772号公報、特開昭54−146873号公報、特開平7−105741号公報、米国特許第4, 3-147772, JP-Sho 54-146873, JP-A No. 7-105741, JP-US 4,
292,261号公報などにより、知られている。 Due 292,261, JP-known.

【0005】以下に、従来の異方導電性シートとその製造方法の概略を説明する。 [0005] Hereinafter, an outline of a conventional anisotropic conductive sheet and a manufacturing method thereof.

【0006】異方導電性シートを表面から見ると、図1 [0006] Looking at the anisotropic conductive sheet from the surface, as shown in FIG. 1
および図2に示すように、例えば、シリコーンゴムからなる厚さ1mm程度のシート1に、多数の導電部2が島状にあるいは帯状に形成されている。 And as shown in FIG. 2, for example, a sheet 1 having a thickness of about 1mm made of silicone rubber, a number of conductive portions 2 are formed in a strip shape or in an island shape. シートの断面を拡大して模式図としたものを図3に示す。 An enlarged cross-section of the sheet shown in Figure 3 that the schematic diagram. 図3において、 3,
導電部2は、例えば、ニッケルの粒子がシートの厚さ方向に連続して連なった粒子列が複数個集合して形成されたものである。 Conductive portion 2 are, for example, those particles columns nickel particles were continuous continuously in the thickness direction of the sheet is formed by a plurality set. このシートは、厚さ方向には導電性を有するが、面方向には導電性を有しないので、異方導電性シートと呼称されている。 This sheet is the thickness direction has a conductivity, since the plane direction not electrically conductive, are referred to as anisotropic conductive sheet.

【0007】このような異方導電性シートの製造方法を図4により説明する。 [0007] illustrating a method of manufacturing such anisotropically conductive sheet by FIG. 一対の電磁石の磁極3と4との間に強磁性体からなる金型5(上下一対からなる)を置く。 Placing the mold 5 (consisting of upper and lower pair) made of a ferromagnetic material between the pole 3 and 4 of the pair of electromagnets. 金型5と成形用スペーサ6とで取り囲まれた空間(室;成形空間)に、液状のシリコーンゴムにニッケル粒子を混合したもの(成形材料7)を入れ、磁場をかけると、ニッケル粒子は一対の磁極部M間で磁場の方向に整列する。 Space enclosed by the mold 5 and molded spacer 6; the (chamber forming space), a mixture of nickel particles in the liquid silicone rubber put (molding material 7), when applying a magnetic field, the nickel particles pair aligned in the direction of the magnetic field between the magnetic pole portions M. 前記の空間(室)は、厚さ約1mmの平板状であり、この空間でシートを成形する。 Wherein the space (chamber) is a flat plate having a thickness of about 1 mm, forming the sheet in this space. この状態で液状シリコーンゴムを加熱して硬化させると、異方導電性シートが出来上がる。 When heating the liquid silicone rubber is cured in this state, be ready anisotropically conductive sheet. 図4では、金型5は、金型基板8と磁極部Mおよびこれら磁極部Mの周辺を埋める非磁性体部Nからなっている。 In Figure 4, the mold 5 is made from non-magnetic portion N to fill the periphery of the mold substrate 8 and the magnetic pole portion M and the magnetic poles unit M. 非磁性体部Nは、例えば、エポキシ樹脂やフェノール樹脂などの耐熱性樹脂からなっており、磁極部Mと非磁性体部Nとの表面は、通常、同じ水平面からなっている。 Non-magnetic portion N is, for example, from heat-resistant resin such as epoxy resin, phenol resin, the surface of the magnetic pole portion M and the non-magnetic portion N is usually made from the same horizontal plane. 非磁極部Nと磁極部Mがあるとき、磁場をかけると、導電性強磁性粒子(例えばニッケル粒子)が磁極部Mに集中するので、シート面側から見ると、導電部2が磁極部Mの形に合わせて島状あるいは帯状に形成される。 When there is a non-magnetic pole portion N and the magnetic pole portion M, when applying a magnetic field, since the conductive ferromagnetic particles (e.g. nickel particles) are concentrated at the magnetic pole section M, when viewed from the sheet surface side, the conductive portion 2 are magnetic pole portion M It is formed in an island-like or strip in accordance with the shape of.

【0008】非磁極部Nが無く、平らな表面全面が磁極部Mの金型を用いた場合にも、導電性強磁性粒子はやはり厚さ方向に整列し、面方向にはランダムに均一に薄く分布するので、厚さ方向にのみ導電性を有する異方導電性シートが得られる。 [0008] Non-magnetic pole portion N without, when flat the whole surface using a mold of the magnetic pole portion M also, conductive ferromagnetic particles aligned again thickness direction, randomly uniformly in the surface direction since thin distribution, anisotropic conductive sheet having conductivity only in the thickness direction is obtained. この場合、シート面全体にわたり導電性を有するが、導通抵抗は高い。 In this case, a conductive over the entire sheet surface, the conduction resistance is high.

【0009】これに対して、図1、図2に示した異方導電性シートは、導電部2が島状あるいは帯状になっており、この部分は導電性強磁性粒子が局在し、より高密度になっているので、導通抵抗が小さい。 [0009] In contrast, FIG. 1, the anisotropic conductive sheet shown in FIG. 2, the conductive portion 2 has become an island-like or strip, this part conductive ferromagnetic particles are localized, more since has become dense, the conduction resistance is small.

【0010】本発明は、後者のタイプ(図1、図2)の異方導電性シートの導通抵抗をさらに小さくしたものに関する。 The present invention, the latter type (Fig. 1, Fig. 2) about that further reduced the conduction resistance of the anisotropic conductive sheet. なお、異方導電性シートには、シート材料のゴム弾性による加圧導電性を利用したものと、単に良導電性を利用するものとがあるが、基本構成は同じであり、 Incidentally, in the anisotropically conductive sheet, and those utilizing pressurized conductive due elastomeric sheet material, but simply and those utilizing well-conducting, the basic configuration is the same,
本発明においても一方に限定するものではない。 It is not limited to one in the present invention.

【0011】以上に説明した異方導電性シートの製造技術は、特開昭54−146873号公報に記載されている。 [0011] manufacturing techniques anisotropic conductive sheet described above is disclosed in JP-A-54-146873. 異方導電性シートに関する特許はその後も公開されているが、製造技術の基本的なことは、特開昭54−1 Patents on the anisotropic conductive sheet is thereafter published, basics of manufacturing technology, JP 54-1
46873号公報を越えるものではなかった。 It did not exceed 46873 JP.

【0012】なお、前記の例では、異方導電性シートにおける導電部2と絶縁部とが同じ水平面に形成されたものであるが、特開平7−105741号に記載されたもの、すなわち、異方導電性シートの導電部が絶縁部の面から凸状に少し盛り上がった形状であってもよい。 [0012] Incidentally, as in the above example, the conductive portion 2 in the anisotropically conductive sheet and the insulating portion is but one formed in the same horizontal plane, as described in JP-A-7-105741, i.e., different conductive part of the anisotropically conductive sheet may have a slightly raised shape convexly from the surface of the insulating portion. また、凹状にへこんだ形状であってもよい。 In addition, it may be a concave shape in a concave shape.

【0013】ところで、従来の異方導電性シートの導通抵抗は、導電性粒子のみからなる集合体の抵抗値から期待される値よりもかなり大きくなっており、この導通抵抗をより一層小さくすることが望まれているのが現状である。 By the way, the conduction resistance of the conventional anisotropically conductive sheet is considerably larger than the value expected from the resistance value of the aggregate comprising only the conductive particles, it is further reduced the conduction resistance is at present is desired.

【0014】特開昭54−146873号公報で代表的に示される従来技術で製造した異方導電性シートの導電部を顕微鏡で観察した結果を、模式図として、図5、図6、図7に示す。 [0014] The in JP 54-146873 discloses a conductive portion of the anisotropic conductive sheet produced typically in the prior art shown result of observation with a microscope, as schematically, 5, 6, 7 to show. シート面から見た導電部の拡大模式図である図5(a)と、導電部の中央部のシート厚さ方向の断面の拡大模式図(磁極部も示す)である図5(b) Figure 5 is an enlarged schematic view of the conductive portion when viewed from the sheet surface (a) and an enlarged schematic view of a sheet thickness direction of the cross section of the central portion of the conductive portion 5 which is (magnetic pole portion is also shown) (b)
に示すように、導電性強磁性粒子11がシートの厚み方向に配列して導電性強磁性粒子列12を構成しており、 As shown in, conductive ferromagnetic particles 11 constitute the conductive ferromagnetic particles columns 12 are arranged in the thickness direction of the sheet,
これら粒子列12によりシート厚み方向の導電性が実現されている。 Conductive sheet thickness direction is realized by the particles column 12. しかし、これら粒子列12は、所望の位置(対向する磁極部MとMで挟持されている部分)、すなわち、導電部2に均等に存在するのではなく、縦断面構造では、図5(b)に見るように、鼓型に集合しており、磁極部Mの表面近傍、すなわちシート表面における集合状態は、図5(a)に見るように、中心部が疎になっていた。 However, these particles column 12, the desired position (the portion that is sandwiched between opposed pole portion M and M), i.e., rather than present uniformly in the conductive portion 2, a longitudinal section structure, FIG. 5 (b as seen in), has been set to the hourglass, near the surface of the magnetic pole portion M, i.e. a set state in the sheet surface, as seen in FIG. 5 (a), the center had become sparse. また、従来の異方導電性シートは、図7 Further, the conventional anisotropically conductive sheet, Fig. 7
(a)に示すように、導電部2内において粒子列11が部分的に小さい集団を作り、小集団が複数個不均一に集まって導電部2を形成したものがあった。 (A), the particle column 11 in the conductive portion 2 is made partially small population, small population had obtained by forming a conductive portion 2 gathering a plurality uneven. このような導電性強磁性粒子11の集合状態が、従来のシートにおいて、導電部2の導通抵抗をより小さくすることができない原因になっているものと思われる。 State of aggregation such conductive ferromagnetic particles 11, in a conventional sheet, it is believed that is causing that can not be made smaller the conduction resistance of the conductive portion 2. 従来の異方導電性シート10の導通抵抗値では、このシート10をソケットあるいはコネクタのような電子回路の実装用に用いるには、不充分であった。 The conduction resistance of the conventional anisotropically conductive sheet 10, the use of this sheet 10 for mounting of electronic circuits, such as a socket or connector, was insufficient. また、従来の異方導電性シート10では、前述のように、導電性を付与したい導電部2 Further, in the conventional anisotropic conductive sheet 10, as described above, I would like to impart conductivity conductive part 2
において、導電性強磁性粒子11が密に均一に集合しておらず、いわば、その周縁部分に広がった状態になっており、隣接した導電部との間の距離が接近し、短絡する場合が生じるので、隣接した導電部2、2間の間隙(以下、磁極ピッチと記す)をさらに狭くすることができず、シート10の所定面積における導電部2の密度をより高くすることができないでいる。 In the conductive ferromagnetic particles 11 are not assembled densely and uniformly, so to speak, and in a state spread on the peripheral portion, close the distance between the adjacent conductive portions, may be short-circuited since they produce, the gap between the conductive portions 2 adjacent (hereinafter, referred to as magnetic pole pitch) can not be further narrowed, and not be able to further increase the density of the conductive portion 2 in a predetermined area of ​​the sheet 10 . さらに、同様の理由により、磁極ピッチを越える厚さ寸法のシートの成形ができないでいる。 Furthermore, for the same reason, they are not able to mold a sheet of thickness in excess of the magnetic pole pitch.

【0015】 [0015]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来の事情に鑑みてなされたもので、その第1の課題は、ソケットあるいはコネクタのような電子回路の実装用に用いることができる程度に導通抵抗が小さい異方導電性シートを提供することにある。 [SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above conventional circumstances, the first problem, to the extent that can be used for mounting of electronic circuits, such as a socket or connector and to provide a conduction resistance is small anisotropically conductive sheet. また、本発明の第2の課題は、その導電部の中心部にまで導電性強磁性粒子を密に局在させた異方導電性シートを提供することにある。 A second object of the present invention is to provide an anisotropic conductive sheet tightly to localize the conductive ferromagnetic particles to the center of the conductive portion. 本発明の第3の課題は、隣接した導電部2の中心間距離(磁極ピッチ)が極めて小であり、かつ導電部相互は電気的に絶縁されており、導電部以外の部分には導電性粒子が実質的に存在しない異方導電性シートを提供することにある。 A third object of the present invention, the distance between the centers of adjacent conductive portions 2 (magnetic pole pitch) is extremely small, and the conductive portion mutually are electrically insulated, the portions other than the conductive part electrically conductive particles to provide an anisotropically conductive sheet substantially absent. さらに、本発明の第4の課題は、小さい圧縮変位から良好な電気接続が達成できる加圧導電型の異方導電性シートを提供することにある。 Furthermore, a fourth object of the present invention is to provide an anisotropic conductive sheet of pressure conductive type which can achieve good electrical connection from the small compression displacement. さらにまた、本発明の第5の課題は、厚さ寸法の大きな異方導電性シートを提供することにある。 Furthermore, a fifth object of the present invention is to provide a large anisotropic conductive sheet having a thickness dimension.

【0016】そして、本発明のさらなる課題は、前述の異方導電性シートを製造することのできる製造方法を提供することにある。 [0016] Then, a further object of the present invention is to provide a manufacturing method capable of manufacturing the anisotropic conductive sheet described above.

【0017】 [0017]

【課題を解決するための手段】本願発明者は、前記課題を解決するために、鋭意研究を重ねたところ、以下のような知見を得るに至った。 Inventors SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, was diligent studies, and have obtained the following findings.

【0018】従来の異方導電性シートの導電部における導電性強磁性粒子の集合状態が均一でない原因は、異方導電性シートを成形する金型において、磁場の強度分布が、図5(c)に示すように、磁極部Mの周縁部分で極大になっているためである。 The cause aggregation state is not uniform in the conventional anisotropic conductive conductive ferromagnetic particles in the conductive portion of the sheet, in the mold for molding the anisotropic conductive sheet, the intensity distribution of the magnetic field, FIG. 5 (c as shown in), because that is a maximum at the peripheral portion of the magnetic pole portion M. さらに、従来の異方導電性シートおよびその製造金型として、図6(a)(b)、 Further, as a conventional anisotropic conductive sheet and its manufacturing mold, FIG. 6 (a) (b),
図7(a)(b)に示す構造のものについても考察した。 Also discussed the structure shown in FIG 7 (a) (b). 図6の異方導電性シートでは、導電部2における導電性強磁性粒子11の分布状態が、磁極部M間のみに局在されず、周辺にも磁性導電性粒子11′が残っている。 The anisotropic conductive sheet of FIG. 6, the distribution state of the conductive ferromagnetic particles 11 in the conductive portion 2 is not localized only between magnetic pole portions M, is left-magnetic conductive particles 11 'to surroundings. 図7の異方導電性シートでは、図7(b)で製造したシートを上側から見たとき、磁性粒子は図7(a)のように凝集したものが隙間をもって不均一に分布している。 The anisotropic conductive sheet of FIG. 7, when viewed in a sheet made from the upper side in FIG. 7 (b), the magnetic particles that agglomerated as shown in FIG. 7 (a) are unevenly distributed with a gap . また、シートを下側から見たとき、シートの一方の表面近傍において中心部に疎な部分が生じている。 Also, when viewing the sheet from the lower side, sparse part has occurred in the heart in one of the vicinity of the surface of the sheet.

【0019】磁場中の強磁性粒子に働く力は、強磁性粒子が存在する位置における磁場強度と磁場勾配との積に比例し、磁場勾配が磁場分布の極大の位置で符号を変える。 The force acting on the ferromagnetic particles in the magnetic field is proportional to the product of the field strength and the magnetic field gradient at the position where the ferromagnetic particles are present, the magnetic field gradient changes sign at the location of the maximum of the magnetic field distribution. したがって、磁場分布の極大の周辺に存在する強磁性粒子は極大の位置に向かう力を受ける。 Accordingly, the ferromagnetic particles present in the periphery of the maximum of the magnetic field distribution is subjected to a force directed toward the position of the maxima. すなわち、磁場強度分布の極大が存在すると、強磁性粒子は極大の位置に局在する。 That is, when the maximum of the magnetic field intensity distribution is present, the ferromagnetic particles are localized at the position of the maxima.

【0020】図5に示した導電部2における強磁性粒子11の鼓型集合形状は、次のように説明される。 The hourglass set the shape of the ferromagnetic particles 11 in the conductive portion 2 shown in FIG. 5 is explained as follows. 磁極表面に近い面上の磁場分布には、磁極周縁の位置に極大が存在するので、強磁性粒子11は磁極周縁の位置に局在する。 The magnetic field distribution on the closer to the pole surface faces, since maxima are present at the position of the magnetic pole periphery, ferromagnetic particles 11 is localized at the position of the magnetic pole periphery. そこで、異方導電性シート10の導電部2を表面から観察すると中央部分に強磁性粒子11の疎な部分が存在する。 Therefore, sparse part of the ferromagnetic particles 11 are present Observing conductive portion 2 of the anisotropic conductive sheet 10 from the surface center. 一方、対向磁極間中央位置の水平面では、磁極周縁位置にあった極大が消えて磁極中央位置に極大が現れるので(図12参照)、強磁性粒子11は磁極中央位置を中心に局在する。 On the other hand, in the horizontal plane between the opposite magnetic pole center, since maxima appearing at the magnetic pole center disappears maximum was in pole peripheral position (see FIG. 12), the ferromagnetic particles 11 is localized around the magnetic pole center. 両者の中間の面上の磁場分布形状は、両者の磁場分布形状の間を連続的に変化するので、強磁性粒子の局在半径も連続的に変化し、鼓型形状をなす強磁性粒子分布を構成する。 Magnetic field distribution shape on both the intermediate surface, so varies between two of the magnetic field distribution shape continuously localization radius of ferromagnetic particles also continuously varied ferromagnetic particle distribution forming a hourglass shape constitute a.

【0021】図6に示したシートは、磁極部Mの径を細くした場合で、導電部2は中央部分まで導電性強磁性粒子11が密に存在するが、隣接導電部との間には局在されない導電性強磁性粒子11′が残る。 The sheet shown in FIG. 6, if you reduce the diameter of the pole portion M, the conductive portion 2 are electrically conductive ferromagnetic particles 11 to the central portion is densely present, between the adjacent conductive portion not localized conductive ferromagnetic particles 11 'remains. このような粒子11の集合形状は、次のように説明される。 Set the shape of such particles 11, is explained as follows. 図5の場合と同様に磁極表面に近い面上の磁場分布には磁極周縁の位置に極大が存在するが、磁極径を細くしたことにより、磁極周縁の極大位置が接近し、磁極中央部の磁場強度が増大し平坦に近づくので、対向する磁極部M−M間に存在する導電性強磁性粒子を磁極周縁部に局在させる力が減少し、磁極周縁に外側から局在しようとする粒子の圧力で磁極中央位置まで導電性強磁性粒子11が押し込まれたものと説明される。 The magnetic field distribution on the near surface in the same manner as the magnetic pole surface in the case of FIG. 5 there is maximum in the position of the magnetic pole periphery, but by the thin pole diameter, maximum position of the magnetic pole peripheral approaches, the magnetic pole center portion since the magnetic field strength is approached flat increased, the conductive ferromagnetic particles present between the opposed magnetic pole portion M-M force to localize decreases the magnetic pole peripheral portion, it attempts to localize the outside magnetic pole peripheral particles conductive ferromagnetic particles 11 are described as pushed by the pressure to the magnetic pole center. また、磁極径を細くしたことから、隣接磁極間に磁場強度も磁場勾配も小さい領域が増加し、その領域に存在する導電性強磁性粒子11に働く力が弱く、局在できない粒子が残る。 Further, since the thin magnetic pole diameter, adjacent the magnetic field strength between the magnetic poles even region is small is increased magnetic field gradient, weak force acting on the conductive ferromagnetic particles 11 present in the region, localization can not particles remain.

【0022】図7の場合は、特開平7−105741号公報に記載されているように、異方導電性シート10の導電部2が凸状に成形された異方導電性シートであり、 The case of FIG. 7, as described in JP-A-7-105741, a anisotropic conductive sheet conductive portion 2 of the anisotropically conductive sheet 10 is molded in a convex shape,
磁極部Mより小さい開口部を持つ絶縁性シートPを当てて成形空間を構成している。 Constitute a molding space by applying the insulating sheet P with the magnetic pole portion M is smaller than the opening. このシートの金型では、凸状の径に比べて磁極部Mの径が大きく、凸状部分の位置には磁場強度分布の極大が無く、磁極周縁よりも内部の位置の磁場強度分布は一定に近いので、導電性強磁性粒子11は、上下方向に鎖状に連なって列を作るが、列が集合する力は弱いので小集団が不均一に分布する。 The mold of the sheet, a large diameter of the pole portion M as compared with the convex diameter, no maximum in the magnetic field intensity distribution at the position of the convex portion, the magnetic field intensity distribution inside positions than the magnetic poles periphery constant It is close to, conductive ferromagnetic particles 11 is queuing continuous to the vertical direction in a chain, the force which the column set is weak because a small population is distributed unevenly. この導電性強磁性粒子11の分布形態は、非磁性体部Nのない全面が平らな平面の磁極部の金型によって成形された異方導電性シートの導電性粒子の分布形態に類似している。 Distribution form of the conductive ferromagnetic particles 11, similar to the distribution form of the non-magnetic portion N without entirely anisotropically conductive sheet of the conductive particles molded by the mold of the magnetic pole portion of the flat plane there.

【0023】このように、従来の異方導電性シートにおいて、導電部の中心部まで均一かつ密に導電性強磁性粒子が集合されない原因が、異方導電性シートを成形する従来の金型において、磁場強度分布のZ軸成分が、図5 [0023] Thus, in the conventional anisotropic conductive sheet, causes uniformly and intimately conductive ferromagnetic particles to the center is not a set of conductive parts, in the conventional mold for molding an anisotropic conductive sheet , Z-axis component of the magnetic field intensity distribution, Figure 5
(c)に示すように、小磁極の周縁部分で極大になっていることにあること、このような磁場強度分布形状を支配する主な因子が金型の小磁極の形状であることが、解った。 (C), the that that has a maximum at the peripheral portion of the small pole, that the major factor governing such magnetic field strength distribution profile is in the form of small magnetic poles of the mold, It was found.

【0024】この因子と導電部の形状との関係を明確にするために、磁極部の縦断面形状(磁極面に垂直な断面)が、図8(矩形;従来の金型)、図9(先端の角を丸めた断面矩形状)、図10(先端部を半円形にしたものの先端を水平に切り取った形状)、図11(先端部が半円形)の4種類の形状を有する一対のモデル金型(上型と下型)を作り、このモデル金型を磁石による上下方向の外部磁場の中に置いて、金型内の磁場強度分布のZ [0024] In order to clarify the relationship between the shape of this factor and the conductive portion, vertical section of the magnetic pole portion (a cross section perpendicular to the pole surface), FIG. 8 (a rectangle; conventional mold), 9 ( tip rectangular section with rounded corners), FIG. 10 (a shape truncated but the tip was in a semi-circular horizontal), a pair of models with 4 kinds of shapes of FIG. 11 (tip semicircular) making the mold (upper and lower dies), at the model mold in the vertical direction of the external magnetic field by the magnet, Z of the magnetic field intensity distribution in the mold
軸成分(上下方向の成分)を測定した。 It was measured axial component (component in the vertical direction). 測定に用いたモデル金型の寸法は、磁極幅、磁極高さ、磁極ピッチ、上型磁極表面と下型磁極表面との間の間隔(以下、単に対向磁極間隔と記す)は、形状に関わらず一定とし、それぞれ、10mm、10mm、20mm、10mmとした。 The dimensions of the model mold used in the measurement, the magnetic pole width, pole height, spacing between the magnetic pole pitch, the upper mold surface of the magnetic pole and the lower mold surface of the magnetic pole (hereinafter simply referred to as opposing pole interval), regardless of the shape not a constant, respectively, and 10mm, 10mm, 20mm, and 10mm. また、磁場強度分布の測定の位置は、対向磁極間隔の5%、15%、25%、45%、下型磁極表面から離れた4つの面上とし、磁場センサーとしてホール素子を用いて走査測定した。 The position of the measurement of the magnetic field intensity distribution is 5% of the opposing magnetic pole interval, 15%, 25%, 45%, and the four faces away from the lower mold pole surface, scanning measurement using a Hall element as a magnetic field sensors did. それぞれの測定結果を、図12、 Each measurement result, FIG. 12,
図13、図14、図15に示す。 13, 14, shown in FIG. 15. また、測定結果をここには示さないが、さらに断面尖塔状、断面台形状、先端を円形とした断面台形状の磁極に付いても同様な測定を行った。 Although not shown here the measurement results were subjected to the same measurements even with further steeple-like sectional shape, a trapezoidal cross section, the magnetic poles of the trapezoidal cross section of the tip is circular.

【0025】これらの一連の測定結果から以下のことが明らかになった。 [0025] revealed the following from these series of measurement results. (1) 図8に示した従来の金型と同じ磁極形状である断面矩形状磁極では、図12に示すように、金型の下側磁極表面から対向磁極間隔の5%離れた面上(a)の磁場強度分布が磁極の周縁で急峻に極大になること。 (1) In the cross-sectional rectangular shaped magnetic pole is the same pole shape as conventional mold shown in FIG. 8, as shown in FIG. 12, 5% of the opposing magnetic pole distance from the lower magnetic pole surface of the mold away on a surface ( field strength distribution of a) be a sharply maximum at the periphery of the pole. 15%の面上(b)では前記位置の極大が緩らかな極大に変化し、25%(c)および45% On 15% of the surface (b) the maximum of the said position is slow, et al kana maxima changes, 25% (c) and 45%
(d)の面上では前記位置の極大が消えて磁極中央の位置に新たな極大が現れること。 New maximum appears that the position of the magnetic pole center disappears maximum of the position on the surface of the (d). これらの知見から、従来の金型で成形された異方導電性シートの導電部の導電性強磁性粒子の多様な局在形態図(図5、6、7)が説明される。 These findings, various localization form view of a conductive ferromagnetic particles of the conductive portion of the anisotropic conductive sheet formed by conventional molding (Fig. 5, 6, 7) is described. (2) 図9に示した、断面形状が先端の角を丸めた矩形形状の磁極(水平直線部分60%、丸め部分両側20%)では、図13に示すように、磁極表面から対向磁極間隔の5%離れた面上(a)の磁場強度分布の極大が、断面矩形状磁極の場合の磁極周縁の位置から、 (2) shown in FIG. 9, the magnetic poles of the rectangular shape cross section with rounded corners of the tip (the horizontal straight portion 60%, rounded portion sides 20%), as shown in FIG. 13, opposed magnetic pole distance from the magnetic pole surface the maximum of the magnetic field intensity distribution of 5% apart on the surface (a) is, from the position of the magnetic pole periphery in the case of a rectangular cross section magnetic pole,
先端角を丸めた分、すなわち、磁極表面が平面から曲面に移る位置に移動し、磁極周縁部の磁場勾配が緩やかになっている。 Min with rounded tip angle, i.e., moved to a position where the magnetic pole surface moves from the plane to a curved surface, the magnetic field gradient of the magnetic pole peripheral portion is gentle. また、ピークの高さが減少し、中央部の磁場強度が増大している。 The height of the peak is reduced, the magnetic field strength of the central portion is increased. 15%の面上(b)では前記極大が消えて平坦化し、25%および45%の面上では磁極中央の位置に新たな極大が現れている。 On 15% of the surface (b) in the maximum disappears flattened, a new maximum appears in the position of the magnetic pole center on 25% and 45% of the surface. このような矩形磁極の角を丸めることによる磁場分布形状の変化は、 Changes in the magnetic field distribution shape by rounding the corners of such a square pole,
さらに丸め部分を大きくしていくと、その極限の磁極形状である、丸め部分が両側50%で水平直線部分の無い磁極、すなわち断面形状が先端部半円形の磁極の磁場分布(図15)まで連続的に変化する。 As you further rounded larger moiety that is the limiting of the pole shape, until the pole is no rounding portion of the horizontal linear portion of 50% on both sides, i.e. the cross-sectional shape is tip magnetic field distribution of the semi-circular pole (Fig. 15) continuously changes. (3) 図10に示した、断面形状が先端部半円形の磁極の先端の一部を (3) shown in FIG. 10, the cross-sectional shape a part of the distal end portion of the semi-circular pole tip
前記磁極面に平行な直線状 (最大水平幅の30%)とした磁極では、図14に示すように、磁極表面から対向磁極間隔の5%離れた面上(a)の磁場強度分布に2つの小さな極大が現れるのみで、10%の面上(b)では前記極大が消え、15%の面上(c)では、先端部半円形の磁極の磁場分布(図15)と同様な形になっている。 2 The pole pieces parallel to a straight line (30% of the maximum horizontal width) on the pole face, as shown in FIG. 14, the magnetic field intensity distribution of 5% apart on the surface of the opposing magnetic pole distance from the magnetic pole surface (a) One of the small peak appears only, disappear 10% on the surface (b) in the maximum, in the 15% of the surface (c), the same shape as tip magnetic field distribution of the semi-circular pole (Fig. 15) going on.
(4) 図11に示した断面形状が先端部半円形の磁極では、磁場強度分布は、図15のようになる。 (4) in cross-sectional shape of the tip semicircular pole shown in FIG. 11, the magnetic field intensity distribution is as shown in Figure 15. 磁場強度分布の極大の位置が対向磁極間のどの位置の水平面上においても、磁極の中央位置のZ方向の軸上にある。 Also in the horizontal plane in any position between the opposed magnetic pole position of the maximum of the magnetic field intensity distribution, in the Z axis of the center positions of the magnetic poles.

【0026】本発明は、前記知見に基づいてなされたもので、本発明の方法により得られる異方導電性シートは、絶縁部とこの絶縁部により囲まれた複数の導電部とからなるシート状部材であり、前記導電部はシートの厚さ方向に配列した導電性強磁性粒子からなり、シート表面側から見た前記集合体における前記導電性強磁性粒子の集合密度が均一かつ密になっていることを特徴とする。 [0026] The present invention has been made based on the findings, the anisotropic conductive sheet obtained by the process of the present invention, sheet comprising a plurality of conductive portions surrounded by the insulating portion and the insulating portion a member, the conductive portion is made of a thickness direction in sequence with the conductive ferromagnetic particles of the sheet, the set density of the conductive ferromagnetic particles in the aggregate as viewed from the sheet surface side becomes uniformly and intimately and said that you are. ここで、集合密度が均一かつ密とは、集合体部分を拡大して観察したとき、図16,図21のように、粒子が均一かつ密に分布している状態を意味する。 Here, the uniform and dense aggregate density, when observed by enlarging the aggregate portion, FIG. 16, as shown in FIG. 21 means a state in which the particles are uniformly and densely distributed. すなわち、集合体部分の粒子の分散状態は均一であって欠落部分が認められない状態(密状態)である。 That is, the dispersion state of the particles of the aggregate portion is in a state where no missing part a uniform observed (tight state). 前述した図5 The above-mentioned Fig. 5
(a)、図6(a)、図7(a)は、均一でない例である。 (A), FIG. 6 (a), the FIG. 7 (a) is an example not uniform. 前記集合体の最小幅とは、図2の導電部2において、導電部が円形(島状)の場合、該円の直径であり、 Wherein the minimum width of the assembly, the conductive portion 2 of FIG. 2, when the conductive portion is circular (islands), a circle with a diameter,
導電部2が矩形(線または帯状)の場合、該矩形の短辺の長さ、言い替えると、線または帯の太さをそれぞれ意味する。 When the conductive portion 2 is rectangular (linear or strip), the length of the short side of the rectangle, in other words, means the thickness of a line or band, respectively.

【0027】 [0027]

【0028】 [0028]

【0029】 [0029]

【0030】 [0030]

【0031】 [0031]

【0032】 [0032]

【0033】 [0033]

【0034】 [0034]

【0035】本発明の請求項1の異方導電性シートの製造方法は、磁場が局在化するように強磁性体からなる複数の小磁極を設けた対向する一対の金型磁極の間に、成形空間を設け、該成形空間に、成形条件下で流動可能な硬化性材料に導電性強磁性粒子を分散した成形材料を配置し、前記一対の金型磁極により、該成形材料中の導電性強磁性粒子を局在化させるとともに、該成形材料を硬化させて異方導電性シートを製造する方法であって、前記金型磁極の磁極表面からの距離が成形時の対向磁極間隔の0%以上25%未満の範囲内の前記成形空間における前記金型磁極の磁極面に平行ないずれかの平面上において、磁場強度分布の該磁極面に垂直な成分(Z軸成分)が、前記各小磁極のほぼ中央の軸上において極大を示していることを特 The method of manufacturing the anisotropically conductive sheet according to claim 1 of the present invention, between the pair of molds poles facing the magnetic field has a plurality of small magnetic poles made of a ferromagnetic material so as to localize the molding space is provided, in the molding space, a molding material obtained by dispersing conductive ferromagnetic particles in flowable curable material in the molding conditions placed by the pair of molds pole, conductive in the molding material with localizing sex ferromagnetic particles, a method of manufacturing the anisotropic conductive sheet to cure the molding material, the distance from the magnetic pole surface of the mold magnetic poles of opposite magnetic pole spacing in molding 0 in% to 25% less of the molding on the mold pole pole face any plane parallel to the space within the range, the component perpendicular to the magnetic pole face of the magnetic field intensity distribution (Z-axis component), each JP that shows a maximum at the approximate center axis of the small pole とする。 To. すなわち、小磁極の形状が図11のときは、図15で示すように、対向する小磁極間の磁極面に平行な全ての平面上で、磁場強度分布が小磁極の中央軸上で極大を示す。 That is, when the shape of the small magnetic poles of FIG. 11, as shown in Figure 15, on all planes parallel to the pole face between the small magnetic poles opposing the magnetic field intensity distribution of the maximum on the center axis of the small pole show. 小磁極の形状が図9、 Small pole shape 9,
図10のときは、図13、図14で示すように、磁極表面から対向磁極間隔のそれぞれ20%、10%以上離れた平面上で磁場強度分布が小磁極の中央軸上で極大を示す。 When the 10, 13, as shown in Figure 14, each 20 percent of the opposing magnetic pole distance from the pole surface, shows a maximum at the central axis of the magnetic field intensity distribution is a small pole on 10% or more apart planes. このような空間を成形空間とし、この成形空間に成形材料を置いて磁場を掛け、成形材料を硬化させるのが請求項1の発明である。 Such space and the molding space, multiplied by the magnetic field at a molding material into the molding space, an invention of claim 1 to cure the molding material. なお、この請求項1において、 Incidentally, in the first aspect,
導電性強磁性体粒子の局在化は、均一にするほうが好ましいが、この場合の“均一な局在化”とは、前記のように、導電性強磁性粒子が集合してなる導電部における粒子の集合密度が均一であることを意味している。 Conductive localization of ferromagnetic particles is preferably better be uniform, the "uniform localization" in this case, as described above, in the conductive portion in which the conductive ferromagnetic particles formed by aggregation it means that the set density of the particles is uniform. また、 Also,
請求項2の異方導電性シートの製造方法は、前記請求項1の製造方法において、前記小磁極の少なくとも一つの垂直断面形状を、先端に向かって幅が狭くなり、該幅の基端部から先端部に向かう減少の割合が増加しており、 Method of manufacturing the anisotropic conductive sheet according to claim 2, wherein the manufacturing method according to claim 1, at least one vertical cross-section of the small pole width is narrowed toward the tip end, a base end portion of the width rate of decrease toward the distal end portion is increased from,
その先端部分に該断面形状の前記磁極面に平行な幅の最大値の60%以下の前記磁極面に平行な直線状部分が存在する形状とし、かつ、該小磁極を面状に配列してなる金型磁極を、前記金型磁極として用いることを特徴とする。 A shape wherein less than 60% of the pole faces parallel straight portion of the maximum value of the width parallel to the pole face of the cross-sectional shape is present at the distal end portion, and by arranging said small pole surface the made mold poles, is characterized by using as said mold pole.

【0036】請求項3の異方導電性シートの製造方法は、前記請求項2の異方導電性シートの製造方法において、前記磁極面に平行な直線部分が、前記小磁極の断面形状の前記磁極面に平行な幅の最大値の50%以下であることを特徴とする The method of manufacturing the anisotropic conductive sheet according to claim 3, wherein the anisotropic conductive sheet manufacturing method according to claim 2, linear portion parallel to said pole surface, said cross-sectional shape of the small pole characterized in that more than 50% of the maximum value of the width parallel to the magnetic pole surface

【0037】請求項4の異方導電性シートの製造方法は、前記請求項1の異方導電性シートの製造方法において、前記小磁極の少なくとも一つの垂直断面形状を、先端に向かって幅が狭くなり、該幅の基端部から先端部に向かう減少の割合が増加しており、その先端部分には前記磁極面に平行な直線状部分が存在しない形状とし、かつ、該小磁極を面状に配列してなる金型磁極を、前記金型磁極として用いることを特徴とする。 The method of manufacturing the anisotropic conductive sheet according to claim 4 is the manufacturing method of the anisotropically conductive sheet of claim 1, at least one vertical cross-section of the small pole, the width toward the distal end narrows has increased rate of decrease toward the distal end from the proximal end of said width, a shape having no parallel straight portion to said pole face at its front end portion, and a surface of said small pole the mold magnetic poles formed by arranging the Jo, is characterized by using as said mold pole.

【0038】請求項5の異方導電性シートの製造方法は、前記請求項1ないし4の異方導電性シートの製造方法において、前記硬化性の成形材料が、該シートの製造時に磁場を掛けるときに流動性を有し、その後、硬化する性質を有する電気絶縁性の高分子材料であることを特徴とする。 The method of manufacturing the anisotropic conductive sheet according to claim 5, in claim 1 to the anisotropic conductive sheet manufacturing method of 4, wherein the curing of the molded material, applying a magnetic field at the time of manufacture of the sheet It has fluidity when, thereafter, can be a polymer material of electrically insulating having a property of hardening.

【0039】請求項6の異方導電性シートの製造方法は、前記請求項5の異方導電性シートの製造方法において、前記電気絶縁性の高分子材料が、シリコーンゴム、 The method of manufacturing the anisotropic conductive sheet according to claim 6, in the anisotropic conductive sheet manufacturing method of claim 5, wherein the electrically insulating polymeric material, silicone rubber,
エチレンプロピレン系ゴム、ウレタン系ゴム、フッ素系ゴム、ポリエステル系ゴム、スチレンブタジエン系ゴム、スチレンブタジエンブロック共重合体ゴム、スチレンイソプロピレンブロック共重合体ゴム、軟質エポキシ樹脂、熱可塑性エラストマー、熱可塑性軟質樹脂から選択され、シート製造時の温度において液状または流動性を有するものであることを特徴とする。 Ethylene-propylene rubber, urethane rubber, fluorinated rubber, polyester rubber, styrene-butadiene rubber, styrene-butadiene block copolymer rubber, styrene isopropylene block copolymer rubber, flexible epoxy resin, a thermoplastic elastomer, a thermoplastic soft is selected from a resin, and wherein the one having a liquid or flowable at temperatures of at sheet manufacturing.

【0040】請求項7の異方導電性シートの製造方法は、前記請求項5または6の異方導電性シートの製造方法において、前記電気絶縁性の高分子材料は、成形後は架橋構造を有するものであることを特徴とする。 The method of manufacturing the anisotropic conductive sheet according to claim 7, in the anisotropic conductive sheet manufacturing method of claim 5 or 6, wherein the electrically insulating polymeric material, after forming a crosslinked structure and wherein the one having.

【0041】請求項8の異方導電性シートの製造方法は、前記請求項5ないし7の異方導電性シートの製造方法において、前記電気絶縁性の高分子材料は、成形後は固体状かつゴム弾性を有するものであることを特徴とする。 The method of manufacturing the anisotropic conductive sheet according to claim 8, in the production method of the anisotropic conductive sheet of the claims 5 to 7, wherein the electrically insulating polymer material, after molding the solid and characterized in that it is one having a rubber elasticity.

【0042】請求項9の異方導電性シートの製造方法は、前記請求項1ないし8の異方導電性シートの製造方法において、前記導電性強磁性粒子は、粒子として強磁性を有し、かつ少なくとも表面が導電性を有することを特徴とする。 The method of manufacturing the anisotropic conductive sheet according to claim 9, in the production method of the anisotropic conductive sheet of the claims 1 to 8, wherein the conductive ferromagnetic particles have a ferromagnetic as particles, and characterized in that it has at least the surface is conductive.

【0043】請求項10の異方導電性シートの製造方法は、前記請求項9の異方導電性シートの製造方法において、前記導電性強磁性粒子は、単体の強磁性金属粒子、 The method of manufacturing the anisotropic conductive sheet according to claim 10, in the anisotropic conductive sheet manufacturing method of claim 9, wherein the conductive ferromagnetic particles, single ferromagnetic metal particles,
金属で被覆された有機または無機材料からなる被覆粒子、およびこれらの混合粒子のいずれかであることを特徴とする。 Coated particles made of an organic or inorganic material coated with a metal, and is characterized in that any of these mixed particles.

【0044】請求項11の異方導電性シートの製造方法は、前記請求項10の異方導電性シートの製造方法において、前記導電性強磁性粒子は、ニッケル、鉄、コバルト等の強磁性を示す金属の粒子もしくはこれらを含む合金の粒子、鉄等の強磁性金属のウィスカー、短繊維状の強磁性金属、またはこれらの粒子または短繊維物に、 The method of manufacturing the anisotropic conductive sheet according to claim 11, in the anisotropic conductive sheet manufacturing method of claim 10, wherein the conductive ferromagnetic particles, nickel, iron, ferromagnetic cobalt particles of alloys containing these particles or metals showing ferromagnetic metal whiskers such as iron, ferromagnetic metal or the particles or short fibers thereof, the short fibrous,
金、銀、銅、錫、パラジウム、ロジウムから選ばれる金属をメッキ等により被覆したもの、非磁性金属粒子もしくはガラスビーズ等の無機質粒子またはポリマー粒子に、鉄、ニッケル、コバルト等の導電性強磁性金属のメッキを施したもの、またはこれらの混合粒子のいずれかであることを特徴とする。 Gold, silver, copper, covered by a tin, palladium, plating a metal selected from rhodium, the inorganic particles or polymer particles such as non-magnetic metal particles or glass beads, iron, nickel, conductive ferromagnetic cobalt those plated with metal, or, characterized in that any of these mixed particles.

【0045】 [0045]

【0046】 [0046]

【0047】 [0047]

【0048】 [0048]

【0049】 [0049]

【0050】 [0050]

【0051】 [0051]

【0052】 [0052]

【0053】 [0053]

【0054】 [0054]

【0055】すなわち、本発明に用いて好適な異方導電性シートの製造装置は、一対の磁石の間に、磁場が局在化するように強磁性体からなる複数の小磁極を設けた対向する一対の金型磁極を備えてなり、前記一対の金型磁極の間に、成形条件下で流動可能な硬化性材料に導電性強磁性材料を分散した成形材料を配置し、前記一対の金型磁極により、該成形材料中の前記導電性強磁性粒子を局在化させ、加熱手段により該成形材料を加熱硬化させる異方導電性シートの製造装置であって、前記各小磁極のそれぞれの前記金型磁極の表面に垂直少なくとも一つの面に沿う断面形状が、先端に向かって幅が狭くなり、 [0055] That is, the manufacturing apparatus of the preferred anisotropic conductive sheet used in the present invention, opposing provided between the pair of magnets, a plurality of small magnetic poles made of a ferromagnetic material so the magnetic field is localized to be provided with a pair of molds poles, between the pair of molds pole, placing a molding material obtained by dispersing conductive ferromagnetic material to flowable curable material in the molding conditions, the pair of metal the type magnetic poles, to localize the conductive ferromagnetic particles in the molding material by heating means apparatus for manufacturing the anisotropically conductive sheet is cured by heating the molding material, wherein each of the small pole sectional shape along the vertical at least one surface on the surface of the mold magnetic pole width is narrowed toward the tip end,
該幅の基端部から先端部に向かう減少割合が増加しており、その先端部分に該断面形状の前記磁極面に平行な幅の最大値の60%以下、好ましくは50%以下の前記磁極面に平行な直線部分が存在する形状であることを特徴とする。 Reduction ratio toward the tip end from the base end portion of the width is increasing, 60% of the maximum value of the width parallel to the pole face of the cross-sectional shape in its tip portion, preferably the magnetic pole of 50% or less characterized in that it is shaped to present parallel straight portions in the surface. また、本発明に用いて好適な異方導電性シートの製造装置の他の構成は、前記各小磁極のそれぞれの前記金型磁極の表面に垂直な少なくとも一つの面に沿う断面形状が、先端に向かって幅が狭くなり、該幅の基端部から先端部に向かう減少割合が増加しており、その先端部分に前記磁極面に平行な直線部分が存在しない形状であることを特徴とする。 Another configuration of a manufacturing apparatus according to a preferred anisotropic conductive sheet used in the present invention, the cross-sectional shape along at least one surface perpendicular to the surface of each of the mold magnetic poles of each of the small pole tip width is narrowed toward the has increased reduction ratio toward the tip end from the base end portion of the width, and wherein the linear portion parallel to the pole face at the tip portion has a shape that does not exist .

【0056】製造装置の前者の例は、図10で示すように、断面形状が先端に向かって凸の曲線をもって幅が狭くなり、かつ、頂部に水平直線部分があるもので、図1 Former example of [0056] manufacturing apparatus, as shown in Figure 10, the width is narrowed with a convex curve toward the tip cross-sectional shape, and in which the top portion has a horizontal linear portion, FIG. 1
4に示すように、磁極表面からの距離が対向磁極間隔の10%以上離れると、磁場強度分布のピークが小磁極の中央軸上の一つとなり、請求項1、請求項10の発明の実施に好ましいものである。 As shown in 4, the distance from the magnetic pole surface away more than 10% of the opposed magnetic pole spacing, the peak of the magnetic field intensity distribution becomes the one on the central axis of the small magnetic poles, the implementation of claim 1, the invention of claim 10 in is preferred. この磁極面に平行な直線状部分は、断面形状における前記磁極面に平行な幅の最大値(すなわち、小磁極Mの一番太い部分、通常は小磁極の底部を意味し、小磁極Mが中太りの形状の場合には、 Linear portion parallel to the pole faces, the maximum width parallel to the magnetic pole surface in cross section (i.e., the thickest portion of the small pole M, usually refers to the bottom of a small magnetic pole, the small pole M is in the case of medium-thickening of the shape,
最も太い部分の幅を意味する。 It refers to the width of the thickest part. )の60%以下、好ましくは50%以下、さらに好ましくは30%以下の形状である。 ) 60% or less, preferably 50% or less, more preferably 30% or less of the shape. また、断面形状の凸曲線部分と水平直線部分の接続点では連続(例えば、円弧と接線)であることが好ましい。 Further, it is preferable that the connection points of the convex curved portion and the horizontal linear portion of the cross-sectional shape which is continuous (e.g., arcs and tangential). 前記水平直線部分が前記幅の最大値の30%のとき、磁極表面からの距離が対向磁極間隔の10%以上離れると、磁場強度分布のピークが一つとなるので、図2 When the horizontal linear portion of 30% of the maximum value of the width, the distance from the magnetic pole surface away 10% or more of the opposing magnetic pole interval, the peak of the magnetic field intensity distribution becomes one, 2
0に示すように、小磁極53aと成形材料の間に対向磁極間隔の10%以上のスペーサSを挟むことにより、導電性強磁性粒子の局在性のよい異方導電性シートが成形できる。 As shown in 0, by sandwiching the 10% or more spacers S of the opposing magnetic pole gap between the molding material and the small magnetic poles 53a, localization good anisotropically conductive sheet of conductive ferromagnetic particles can be formed. また、製造装置の後者の例は、図11で示すような断面形状が円または長円の一部(代表的には半分) The latter example of the manufacturing apparatus, a part of the cross section circular or oval as shown in Figure 11 (typically half)
からなるものである。 It is made of.

【0057】前記製造装置の説明から分かるように、本発明に用いて好適な金型磁極は、異方導電性シートを構成する強磁性体粒子を局在させるための金型磁極であって、予め成形された強磁性体製の小磁極が面状に配列されており、かつ、該小磁極の少なくとも一つの垂直断面形状が、先端に向かって幅が狭くなり、該幅の基端部から先端部に向かう減少の割合が増加しており、その先端部分に該断面形状の前記磁極面に平行な幅の最大値の6 [0057] As can be seen from the description of the manufacturing apparatus, suitable molds pole with the present invention is a mold poles for localizing ferromagnetic particles constituting the anisotropically conductive sheet, and preformed ferromagnetic made of small magnetic poles are arranged in a planar shape and at least one vertical cross-section of the small pole width is narrowed toward the tip end, from the base end portion of the width and rate of decrease towards the tip increases, the maximum value of the width parallel to the pole face of the cross-sectional shape at the distal end portion 6
0%以下、好ましくは50%以下の前記磁極面に平行な直線状部分が存在する形状、あるいは、その先端部分には前記磁極面に平行な直線状部分が存在しない形状であることを特徴とする。 0% or less, preferably said the shape exists parallel straight portion to said pole face of less than 50% or, at its front end portion is a shape having no parallel straight portion to said pole face to.

【0058】前記小磁極としては、 半球状や球状などの頂部が球状であることが好ましい。 [0058] Examples small pole, it is preferable top of such a hemispherical or spherical spherical. この場合の頂部が球状に成形された小磁極とは、例えば、鉄製の球(直径1 The small pole top of the case is formed into a spherical shape, for example, iron spheres (diameter 1
0数ミリ以下)、または長軸方向の一端が丸められた鉄製の柱(直径10数ミリ以下、長さは直径の1〜数倍) 0 several millimeters or less), or long axis direction end iron rounded posts (hereinafter diameter 10 several millimeters, several times 1 length diameter)
である。 It is. 形状は、前記の球状、一端が丸められた柱状のほか、両端が丸められた柱状(柱は、4角柱、円柱、多角柱等から選ばれる)、卵形、さらに、断面が円形あるいは長円形のワイヤー状がある。 Shape, the spherical, other columnar one end rounded, columnar at both ends rounded (pillar 4 prismatic, cylindrical, selected from polygonal, etc.), oval, further cross-section round or oval there is wire-shaped. ここで、ワイヤー状のものは、長軸を金型面に平行にして固定する。 Here, those wire shape, and fixed to the parallel major axis to the mold surface. 前記において、面状とは、通常、平面状であるが、球面の一部の面であってもよい。 In the above, the surface, usually a flat, or may be a part of the surface of the sphere. 小磁極の配列は、異方導電性シートにおける導電性強磁性粒子の集合体のパターンに応じて任意に設計する。 Sequence of small magnetic poles, arbitrarily designed in accordance with the pattern of the aggregate of conductive ferromagnetic particles in the anisotropically conductive sheet. 集合体を線状に設計する場合は、小磁極としてワイヤー状の強磁性体を使用する。 When designing an assembly a line shape, using a wire-shaped ferromagnetic as a small pole. 小磁極の固定は、非磁性体材料であればよく、例えば、セラミックス、アルミニウム、銅、真鍮、ステンレス、樹脂等からなる板やシリコンウエハーなどの板を用い、固定の方法としては、例えば、これらの板に小磁極を填め込む孔を開けて用いる。 Fixing of the small magnetic poles may be any non-magnetic material, e.g., ceramics, aluminum, copper, brass, stainless steel, a plate such as a plate or a silicon wafer formed of a resin or the like, as the method of fixation, for example, those used to open the plate fitted into the small pole in the hole. 小磁極の固定は、液状の硬化性樹脂、例えば、液状エポキシ樹脂で行ってもよい。 Fixing of the small magnetic poles, liquid curable resin, for example, may be carried out in the liquid epoxy resin. 固定方法は、 Fixed method,
これらの例示に限定されることなく、公知の常套手段が用いられる。 Without being limited to these examples, known conventional means are used.

【0059】上記球状の小磁極を用いた場合の模式図を、図22(a)(b)に示した。 [0059] A schematic diagram of a case where a small magnetic poles of the sphere, as shown in FIG. 22 (a) (b). この図22において、符号40は磁極板(強磁性材料性の金型基板)であり、41は球状小磁極、42はこの小磁極41を磁極板40に配列し固定するための非磁性材料製の板である。 In FIG. 22, reference numeral 40 is a pole plate (mold substrate of the ferromagnetic material property), 41 spherical small pole, 42 made of non-magnetic material for securing arranging the small pole 41 to pole plate 40 it is a plate.

【0060】前記本発明の第5の課題、すなわち「厚さ寸法の大きな異方導電性シートを提供すること」について説明する。 [0060] illustrating the fifth object of the present invention, i.e. "to provide a larger anisotropic conductive sheet having a thickness dimension" about. 従来の技術では、導電部のピッチと同程度の厚さの異方導電性シートを製造することが限界であった。 In the prior art, to produce an anisotropic conductive sheet having a thickness comparable to the pitch of the conductive portion was limited. しかし、本発明の方法では、導電部ピッチの2倍程度のシート厚さであっても導通抵抗の小さい異方導電性シートが製造可能である。 However, in the method of the present invention, even 2 times the sheet thickness of the conductive portion pitch small conduction resistance anisotropically conductive sheet can be produced.

【0061】 [0061]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明は、この実施の形態になんら限定されるものではない。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail using embodiments of the present invention, the invention is not be limited to this embodiment.

【0062】図16および図17に、その要部を示すように、本発明の異方導電性シート30は、絶縁部31とこの絶縁部31により囲まれた複数の導電部32とが幅方向に形成されてなる通常の厚み0.1〜10mm、好ましくは0.3〜2mmのシート状部材である。 [0062] 16 and 17, as shown in a main portion thereof, the anisotropically conductive sheet 30 of the present invention, a plurality of conductive portions 32 and the width direction surrounded by the insulating portion 31 of the insulating portion 31 Toko normal thickness is formed comprising a 0.1 to 10 mm, a sheet-like member preferably 0.3 to 2 mm. 前記導電部32は、シートの厚さ方向に配列した導電性磁性粒子列33の集合体からなり、該集合体の最小幅は、10 The conductive portion 32 is made of an aggregate of conductive magnetic particles columns 33 arranged in the thickness direction of the sheet, the minimum width of the aggregate is 10
mm未満である。 It is less than mm.

【0063】図16に示すように、シート表面側から見た前記集合体における前記導電性強磁性粒子列33の分布は、集合密度が均一で、内部に低密度な部分(図5 [0063] As shown in FIG. 16, the distribution of the conductive ferromagnetic particles row 33 in the assembly as viewed from the sheet surface side, the set density is uniform, low density portions therein (FIG. 5
(a)、図7(a)は集合密度が不均一な例)がないことが特徴となっている。 (A), FIG. 7 (a) is the distinctive feature that there is no set density nonuniform example).

【0064】このような異方導電性シート30を成形するには、図18に示すように、導電性強磁性粒子51が高分子材料50中に混合されてなる成形材料52を加熱成形する際に、導電部形成予定部分mに印加する磁場強度分布を、該導電部形成予定部分mのシート厚み方向(Z軸方向)のほぼ中央の軸上において極大Pを有する状態にする必要がある。 [0064] In order to form such an anisotropically conductive sheet 30, as shown in FIG. 18, when the conductive ferromagnetic particles 51 are heated molding the molding material 52 formed by mixing in a polymeric material 50 , the magnetic field intensity distribution to be applied to the conductive portion formation portion m, it is necessary to state having the maximum P at substantially the center on the axis of the conductive portion formation portion sheet thickness direction of the m (Z-axis direction).

【0065】そのための具体的手段としては、図19に示すように、流動材料あるいは成形条件下で流動状態を有する材料50に導電性強磁性粒子51を分散した成形材料52を配置し、前記導電性強磁性粒子51を局在化させ、該成形材料を硬化させて異方導電性シートを得る異方導電性シート成形金型を、磁場が局在化するように強磁性体からなる複数の小磁極53を金型基板54に設けてなる対向する一対の金型磁極55、56から構成し、前記小磁極53を、前記金型磁極55、56の表面に垂直な少なくとも一つ面に沿う断面形状が先端に向かって幅が狭くなる形状に、成形することを特徴としている。 [0065] As specific means for this, as shown in FIG. 19, to place the molding material 52 obtained by dispersing conductive ferromagnetic particles 51 in the material 50 having a fluidized state in a fluidized material or molding conditions, the conductive sex ferromagnetic particles 51 to localize, the anisotropic conductive sheet molding die to obtain the anisotropic conductive sheet to cure the molding material, a magnetic field is more of a ferromagnetic material so as to localize the small pole 53 and a pair of molds pole 55, 56 that faces formed by providing a mold substrate 54, along the small magnetic poles 53, on at least one surface perpendicular to the surface of the mold magnetic pole 55 and 56 the shape in which the cross-sectional shape width decreases toward the tip, is characterized by molding. この場合、複数の小磁極53相互の隙間部分は、例えば、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、等の耐熱性樹脂、およびこれらの樹脂に非磁性体の耐熱性充填材を配合したもの、および銅、アルミニウム、ステンレス等の非磁性の金属、あるいはセラミックから選ばれる非磁性材料57からなっている。 In this case, those gaps portion of the plurality of small magnetic poles 53 each other, for example, obtained by blending polyimide resin, epoxy resin, phenol resin, heat-resistant resin etc., and the heat resistance filler nonmagnetic these resins, and copper, aluminum, are made of non-magnetic material 57 selected non-magnetic metal or ceramic, such as stainless steel. さらに、 further,
小磁極としては、図20に示すように、断面円形部材の先端を平面化した形状の小磁極53aでもよい。 The small pole, as shown in FIG. 20, be in the tip of the circular cross section member even small magnetic poles 53a planarization shape. このような小磁極53aを金型に形成し、磁極と成形材料との間にスペーサーSを挿入し、シート30を製造すると、 When such a small magnetic pole 53a is formed in a mold, inserting a spacer S between the pole and the molding material to produce the sheet 30,
図20、図21に示すように、形成されたシート30の導電部32では、ほぼ均一に強磁性粒子51が集合する。 20, as shown in FIG. 21, the conductive portions 32 of the sheet 30 which is formed, the ferromagnetic particles 51 is set substantially uniformly. したがって、この先端を平面化した形状の小磁極5 Therefore, small magnetic pole 5 having a shape planarizing the tip
3aも実用に適する。 3a are also suitable for practical use. また、前記小磁極が対向する金型の一方にのみ設けられ、片側の金型は平面磁極であってもよい。 Further, the small magnetic poles provided on only one of the mold opposite one side of the mold may be planar pole. この金型の場合には、スペーサーを平面磁極と成形材料との間に挿入することが望ましい。 In the case of the mold, it is desirable to insert a spacer between the planar pole and molding materials. この金型を、小磁極を双方に設けた金型と比較すると、導電性強磁性粒子の局在性能では劣るが、金型の位置合わせを不要にするので、異方導電性シート製造上の利点が大きい。 The mold, when compared to a mold which is provided on both the small pole, but inferior in localization performance of conductive ferromagnetic particles, so eliminating the need for alignment of the mold, the anisotropic conductive sheet manufacturing of the advantage is large.

【0066】(材料について) 図16〜図21を用いて説明する。 [0066] (the materials) will be described with reference to FIGS. 16 to 21. 本発明の異方導電性シート30の絶縁部31は、シート製造時の磁場を掛けるときに流動性を有し、その後、硬化する性質を有する電気絶縁性の高分子材料50が使用される。 Insulating portion 31 of the anisotropically conductive sheet 30 of the present invention has fluidity when applying a magnetic field during sheet manufacturing, then the electrical insulating properties of the polymer material 50 is used that has the property of curing. すなわち、 That is,
シートの製造時において、導電性強磁性粒子51が小磁極に集合することが可能な程度に流動性を有し、その後、硬化して導電性強磁性粒子51を固定するものである。 During manufacture of the sheet, the conductive ferromagnetic particles 51 has a fluid to the extent that can be set to a small pole, but then, to fix the conductive ferromagnetic particles 51 and cured.

【0067】このような材料として、シリコーンゴム、 [0067] As such a material, silicone rubber,
エチレンプロピレン系ゴム、ウレタン系ゴム、フッ素系ゴム、ポリエステル系ゴム、スチレンブタジェン系ゴム、スチレンブタジェンブロック共重合体ゴム、スチレンイソプロピレンブロック共重合体ゴム、軟質エポキシ樹脂などがある。 Ethylene-propylene rubber, urethane rubber, fluorinated rubber, polyester rubber, styrene-butadiene rubber, styrene butadiene block copolymer rubber, styrene isopropylene block copolymer rubber, and the like flexible epoxy resin. これらはシート製造時の温度において液状または流動性を有することが必要である。 These are required to have a liquid or flowable at temperatures of at sheet manufacturing. 好ましくは、例えば、熱硬化型のシリコーンゴムのように、常温で液状であり、加熱により硬化して固形ゴムになるものである。 Preferably, for example, as a thermosetting silicone rubber is liquid at normal temperature, it is made of a solid rubber and cured by heating. 常温で固体であっても、シート製造時に流動性となり、シート製造後は固体となるもの、例えば、軟質液状エポキシ樹脂、熱可塑性エラストマー、熱可塑性軟質樹脂なども用いられる。 Be solid at room temperature, it becomes flowable during sheet production, after the sheet production made solid, for example, a soft liquid epoxy resin, a thermoplastic elastomer, and thermoplastic soft resin is also used. なお、シート製造後は、架橋構造を有するものが耐熱性、耐久性等において好ましい。 Note that after sheet production, those having a crosslinked structure heat resistance, preferable in durability.

【0068】これらは、シート状態において、固体であるが、ゴム弾性を有するものが好ましい。 [0068] These, in sheet form, which is solid, preferably has a rubber elasticity. シートの用途によっては、弾性が小さいものであってもよい。 In some applications the sheets may be of elastic small. また、 Also,
シートの用途によっては、接着性あるいは粘着性を有する材料であってもよい。 In some applications of the sheet may be a material having adhesiveness or tackiness. これらの高分子材料は、前記の例示に限定されるものではなく、異方導電性シートとして用いられることが従来から知られているもの、あるいは、前記材料と同等ないし類似の機能を有する材料であれば特に限定されるものではない。 These polymeric materials are not limited to the illustrated above, those to be used as an anisotropic conductive sheet has been known, or a material having a material equivalent or similar features but the present invention is not particularly limited as long.

【0069】シート30の導電部32を構成する導電性強磁性粒子51は、粒子として強磁性を有し、かつ少なくとも表面が導電性を有するものである。 [0069] conductive ferromagnetic particles 51 constituting the conductive portion 32 of the seat 30 has a ferromagnetic as particles, and those having at least a surface conductive. すなわち、単体の強磁性金属であっても複合粒子、すなわち混合物粒子であっても、金属で被覆された有機または無機材料からなる被覆粒子であってもよい。 That is, the composite particles may be a single ferromagnetic metal, i.e. be a mixture particle, or may be a coated particle comprising an organic or inorganic material coated with a metal.

【0070】このような導電性強磁性粒子51として、 [0070] As such conductive ferromagnetic particles 51,
例えば、ニッケル、鉄、コバルト等の強磁性を示す金属の粒子もしくはこれらを含む合金の粒子、またはこれらの粒子に、金、銀、銅、錫、パラジウム、ロジウム等をメッキ等により被覆したもの、非磁性金属粒子もしくはガラスビーズ等の無機質粒子またはポリマー粒子に、 For example, those of nickel, iron, particles of metals exhibiting ferromagnetism such as cobalt or particles of an alloy containing these, or these particles, gold, silver, copper, tin, palladium, rhodium or the like is coated by plating or the like, the inorganic particles or polymer particles such as non-magnetic metal particles or glass beads,
鉄、ニッケル、コバルト等の導電性強磁性金属のメッキを施したもの等を挙げることができる。 Mention may be made of iron, nickel, such as those plated conductive ferromagnetic metals such as cobalt. 製造コストの低減化を図る観点からは、特に、ニッケル、鉄、または、 From the viewpoint of reducing the manufacturing cost, particularly, nickel, iron, or
これらの合金の粒子が好ましく、また導通抵抗が小さいことの電気的特性を利用するソケット、コネクタ等の用途で金メッキされた粒子を好ましく用いることができる。 Preferably the particles of these alloys, also a socket that utilizes the electrical characteristics of that conduction resistance is small, it can be preferably used gold particles in applications such as a connector. なお、導電性強磁性粒子51としては、好ましいものとは言えないが、鉄等のウィスカー(ひげ結晶)、短繊維状の強磁性金属を用いることも可能である。 As the conductive ferromagnetic particles 51, but it can not be said preferable, whiskers such as iron (whiskers), it is also possible to use a ferromagnetic metal short fiber.

【0071】なお、本発明の異方導電性シートは、それ自体単独の製品として製造され、単独で取り扱われるものを主に対象としている。 [0071] Incidentally, anisotropic conductive sheet of the present invention are prepared as a product of itself alone, it is intended primarily for those handled alone. しかしながら、上記本発明の構成は、例えば、特開平4−151889号公報に記載されているような、回路基板と、該回路基板のリード電極領域の表面上に一体的に形成された異方導電性コネクター層とからなる回路基板装置に容易に適用することができ、本発明の製造方法もまた、該公報に記載の回路基板装置の製造方法に容易に適用することができる。 However, construction of the present invention, for example, as described in JP-A-4-151889, the circuit board and, different Hoshirubeden integrally formed on the surface of the lead electrode region of the circuit board can be easily applied to a circuit board device comprising a sexual connector layer, the production method of the present invention can also be readily applied to the production method of the circuit board device according to this publication.

【0072】 [0072]

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。 EXAMPLES Hereinafter, an embodiment of the present invention.

【0073】(実施例1) 導電性強磁性粒子からなる直径が約0.4mmφの円柱状導電部を1mmピッチで正方格子状に961個(31 [0073] (Example 1) 961 in a square lattice shape at 1mm pitch cylindrical conductive portion of the made of a conductive ferromagnetic particles diameter of about 0.4 mm (31
×31)配列した厚さ1mmの異方導電性シートを作成する方法。 × 31) how to create an anisotropic conductive sheet having a thickness of 1mm was arranged.

【0074】(金型の作成方法) 従来の垂直断面が矩形状の小磁極を備えた鉄製の平板状金型を一旦製作した後、型電極タイプの放電加工機を用い、小磁極の先端部の球面化を行った。 [0074] After the (mold creating) a conventional vertical cross section is temporarily produced an iron plate-shaped mold having a rectangular small-pole, with discharge machine type electrode type, small pole tip portion It was carried out of the spherical surface of.

【0075】図23に示すように、厚さ5mm、縦50 [0075] As shown in FIG. 23, the thickness of 5 mm, the longitudinal 50
mm、横50mmの強磁性体である鉄平板2枚を一対の金型基板60とし、それぞれの基板表面に、深さ1m mm, the Teppei plate two are ferromagnetic lateral 50mm and a pair of mold board 60, on each of the substrate surface, the depth 1m
m、幅0.4mmの溝61を、1mm間隔で縦横32本づつ碁盤目状に形成した。 m, a groove 61 of width 0.4 mm, were formed in a matrix 32 by one grid form at 1mm intervals. これらの溝61に囲まれた4 Surrounded by these grooves 61 4
角柱の部分が従来の矩形状断面の小磁極62である。 Portion of the prism is smaller pole 62 of a conventional rectangular cross-section.

【0076】この小磁極62の先端部分を球面化するために、図24に示すように、平板状の電極材料63を用い、この電極材料63の表面の前記小磁極62に対応する位置に、先端が直径0.6mmの半球面状の穴64を961個、1mm間隔で正方格子配列に開けたものを放電加工機用の型電極65とした。 [0076] In order to spherical the tip of the small pole 62, as shown in FIG. 24, using a plate-shaped electrode material 63, in a position corresponding to the small pole 62 of the surface of the electrode material 63, tip has a semi-spherical shape 961 holes 64 of the type electrode 65 for electric discharge machine what opened in a square lattice array at 1mm intervals with a diameter 0.6 mm. この型電極65を放電加工機に取り付け、図25(a)に示すように、前記金型基板60と位置合わせを行い、放電加工により各小磁極62の先端部を、図25(b)に示すように、球面化した。 Mounting this type electrode 65 on the discharge machine, as shown in FIG. 25 (a), aligns with the mold substrate 60, the distal end portion of the small pole 62 by electric discharge machining, in FIG. 25 (b) as shown, the sphere of.

【0077】次に、図25(c)に示すように、この先端が球面化された小磁極62′を有する金型基板60の溝61の部分にアルミニウム充填剤入りのエポキシ樹脂66を充填し、金型表面を平面化して、島状導電部が正方格子配列した異方導電性シートを成形するに適した金型67を製作した。 [0077] Next, as shown in FIG. 25 (c), the aluminum filled epoxy resin 66 filled into the groove 61 of the die substrate 60 having a small magnetic pole 62 'of the tip is spherical of the mold surface is planarized, an island-shaped conductive portion is fabricated mold 67 suitable for forming the anisotropically conductive sheets square lattice array.

【0078】また、厚さ1mm、外形50mm、内形3 [0078] In addition, the thickness of 1mm, the outer 50mm, inner shape 3
5mmの非磁性ステンレス製の正方形の枠1枚を一対の金型の間に挟み、異方導電性シートの成形空間を作るためのスペーサとした。 A single frame of nonmagnetic stainless steel square 5mm sandwiched between a pair of molds, and a spacer for making the molding space of the anisotropically conductive sheet. 2枚の金型基板とスペーサには、 The two mold substrate and the spacer,
相互間の正確な位置合わせを行うために、位置合わせピン用の直径4mmφの穴を4隅に用意した。 For accurate alignment between each other we were prepared hole diameter 4mmφ for alignment pins at four corners.

【0079】(異方導電性シートの成形) 熱硬化型シリコーンゴムに平均粒径40μmの金メッキした導電性強磁性ニッケル粒子を10体積%の割合で混合し、均一に分散し、流動性成形材料を調製し、上記スペーサで作られた一対の金型67の間の成形空間に充填する(図26参照)。 [0079] (molding of the anisotropic conductive sheet) The gold-plated conductive ferromagnetic nickel particles having an average particle diameter of 40μm to the heat-curable silicone rubber were mixed at a ratio of 10 vol%, uniformly dispersed, flowable molding material It is prepared and filled in the molding space between the pair of molds 67 made by the spacer (see Fig. 26).

【0080】図26に示すように、上記成形材料100 [0080] As shown in FIG. 26, the molding material 100
の充填された金型67を電磁石装置93の対向する一対の平らな磁極90の間に密接配置する。 Closely disposed between the pair of flat magnetic pole 90 opposing the filled mold 67 an electromagnet device 93. 電磁石装置の一対の磁極90のそれそれの表面には金型加熱用の板状ヒータ91が断熱層92を介して取り付けてある。 To it that the surface of the pair of magnetic poles 90 of the electromagnet device plate heater 91 for mold heating is attached via an insulating layer 92. このように金型67を配置することにより、金型67は電磁石93の磁極の一部となり、小磁極62′(図19の53 By thus placing the mold 67, the mold 67 becomes part of the magnetic pole of the electromagnet 93, the small pole 62 '(FIG. 19 53
と同じ)のある対向する一対の表面それぞれが電磁石9 Each pair of surfaces electromagnet 9 facing a same) and
3の新たな一対の磁極表面となる。 The 3 new pair of pole surfaces. 以下、この電磁石の新たな磁極を金型磁極と表現し、電磁石装置の磁極90 Hereinafter, a new magnetic pole of the electromagnet is expressed as mold poles, the magnetic poles of the electromagnet device 90
と区別する。 Distinguish it.

【0081】次に、電磁石93を励磁し、一対の金型磁極表面の間にある上記成形材料100の充填された成形空間に、小磁極62′によって作られる磁場分布の磁場を発生させ、成形材料100中に分散している導電性強磁性粒子51(図17参照)を柱状に局在させる。 Next, it excites the electromagnet 93, the filled molding space of the molding material 100 that is between the pair of molds pole surface generates a magnetic field of the magnetic field distribution produced by the small magnetic poles 62 ', molded conductive ferromagnetic particles 51 dispersed in the material 100 (see FIG. 17) is localized to columnar. 励磁磁場強度と励磁時間は、成形材料100の粘性および硬化時間、導電性強磁性粒子51の材質および形状と大きさ、金型67の小磁極62′の形状と大きさ、成形する異方導電性シートの厚さなど多くの要因に依存する。 Excitation field strength and excitation time, viscosity and curing time of the molding material 100, conductive ferromagnetic material of the particles 51 and the shape and size, the small magnetic poles 62 'of the shape and size of the mold 67, anisotropic conductive shaping It depends on many factors such as the thickness of sexual sheet. ここでは、金型磁極間の平均の磁場強度を約5kOeに励磁し、室温に10分間おいて導電性強磁性粒子51の局在化を進めた後、金型加熱用ヒータを用いて金型温度を100℃に上げて30分間保ち、さらに局在化を進めながら成形材料100の硬化を行った。 Here, the average of the magnetic field strength between the mold poles excited about 5 kOe, after promoting localization of conductive ferromagnetic particles 51 at 10 minutes at room temperature, the mold using a mold heater keeping the temperature was raised to 100 ° C. 30 minutes for curing the molding material 100 while further promoting localization. 次に、電磁石93 Next, the electromagnet 93
の励磁を零磁場まで下げ、金型67を取り外し、金型温度が約70℃まで下がった時点で金型67を開き、成形された異方導電性シートを取り出した。 Lowering the excitation of a to zero magnetic field, remove the mold 67, the mold is opened 67 when the mold temperature is lowered to about 70 ° C., was removed anisotropically conductive sheet formed. このシートを表面側から顕微鏡で見ると、粒子集合体中の粒子の集合密度は均一であった。 Looking under a microscope the sheet from the surface side, the set density of the particles in the particle aggregates was uniform. また、集合体部の断面を見ると、粒子は柱状に集合していた。 Looking at the cross section of the assembly part, the particles were assembled into a columnar shape. このシートの導通抵抗は十分に小であった。 Conduction resistance of the sheet was sufficiently small.

【0082】(実施例2) 幅約0.2mmの帯状の導電部が1mmピッチで平行に31列並んだ厚さ1mmの異方導電性シートの製造方法。 [0082] (Example 2) Width anisotropic conductive sheet manufacturing method of the parallel 31 rows aligned 1mm thick band-shaped conductive portion is 1mm pitch of about 0.2 mm.

【0083】図27に示すように、厚さ5mm、縦50 [0083] As shown in FIG. 27, the thickness of 5 mm, the longitudinal 50
mm、横50mmの強磁性体である鉄製の平板2枚を一対の金型基板70とし、それぞれの表面に、関数曲線の加工が可能なワイヤ放電加工機を用いて、先端の垂直断面形状が半円形の直鎖状の小磁極72を31列、1mm mm, two iron flat plate of a ferromagnetic material in the transverse 50mm and a pair of molds substrate 70, on each surface, by using a processing capable wire electric discharge machine function curve, the vertical cross-section of the tip semicircular linear small magnetic poles 72 to 31 rows, 1 mm
ピッチで互いに平行に加工し、溝73の部分にはアルミニウム充填剤を配合したエポキシ樹脂(不図示)を充填し、金型表面を平面化して、帯状の導電部を持つ異方導電性シートを成形するに適した金型を製作した。 Parallel processed one another at a pitch, filled with epoxy resin in the portion of the groove 73 formulated with aluminum filler (not shown), the mold surface is planarized, an anisotropic conductive sheet having a strip-shaped conductive portion It was fabricated a mold suitable for molding. 小磁極の72の垂直断面形状は、高さ1mm、底面から0.7 Vertical cross-section of the small magnetic poles of 72, 0.7 from a height 1 mm, the bottom surface
mm高さまでは幅0.6mmで一定とし、それより先端部は、半径0.3mmの半円形とした。 mm to a height and a constant width 0.6mm, it from the tip portion has a semi-circular with a radius 0.3 mm.

【0084】また、厚さ1mm、外形50mm、内形3 [0084] In addition, the thickness of 1mm, the outer 50mm, inner shape 3
5mmの非磁性ステンレス製の正方形の枠1枚を、一対の金型の間に挟み、異方導電性シートの成形空間を作るためのスペーサとした。 A single frame of nonmagnetic stainless steel square 5 mm, sandwiched between a pair of molds, and a spacer for making the molding space of the anisotropically conductive sheet. 2枚の金型基板とスペーサには、相互間の正確な位置合わせを行うために、位置合せピン用の直径4mmφの穴を4隅に用意した。 The two mold substrate and the spacer, in order to perform accurate alignment between each other were prepared hole diameter 4mmφ for alignment pins in the four corners.

【0085】この金型基板を用いて、前記実施例1と同様にして、異方導電性シートを製造した。 [0085] Using the mold substrate, in the same manner as in Example 1 to produce an anisotropic conductive sheet. 得られたシートの表面および粒子集合体部の断面は、実施例1と同様であった。 The resulting surface and cross section of the particle assembly of the sheet was the same as in Example 1. このシートの導通抵抗は十分に小であった。 Conduction resistance of the sheet was sufficiently small.

【0086】(実施例3) 前記実施例1と同様にして、厚さ;0.7mm、導電部の直径;0.5mmφ、導電部ピッチ;1.27mmのシートを作製した。 [0086] (Example 3) In the same manner as in Example 1, the thickness; to prepare a sheet of 1.27 mm; 0.7 mm, the diameter of the conductive portion; 0.5 mm [phi, conductive portion pitch. また、比較例として同寸法のシートを従来の金型により作製した。 Also, a sheet of the same dimensions was produced by a conventional mold as a comparative example. 図28に、これらのシートの導電部における導通抵抗の圧縮歪み依存性の測定結果を示す。 Figure 28 shows the results of measurement of compressive strain dependence of the conduction resistance of the conductive portions of the sheets. 測定は、室温で、それぞれのシートの各6点づつの導電部について行った。 Measurements at room temperature were performed on the conductive portion of the 6-point increments of each sheet. 測定結果は、本発明の方法により製造されたシートと従来法によるシートで明確に2つの群に分かれた。 The measurement results are divided into clearly two groups in the seat by the seat and the conventional method produced by the process of the present invention. 上の群が従来法による異方導電性シートの測定結果で、下の群が本発明による異方導電性シートの測定結果である。 In the measurement result of the anisotropic conductive sheet according to the group is the conventional method above, the group of lower is the measurement result of the anisotropic conductive sheet according to the present invention. これから明らかなように、 As is obvious from,
本発明の方法により製造された異方導電性シートの導通抵抗は、従来法によるものと比較して、およそ1桁小さい抵抗値であることが分かる。 Conduction resistance of the anisotropic conductive sheet produced by the method of the present invention, compared with that by the conventional method, it is found that approximately one order of magnitude smaller resistance value.

【0087】(実施例4) (金型の作成) 50mm角で、厚さが0.60mmのアルミニウム板の中央部に、1mmピッチで直径0.60mmの孔を正方格子状に961個(31×31)配列するように開けた。 [0087] (Example 4) (mold creation) 50 mm square, the center of the aluminum plate having a thickness of 0.60mm, 961 pieces of holes of diameter 0.60mm in a square lattice pattern with 1mm pitch (31 × 31) opened so as to be arranged. これら全ての孔に直径0.60mmの鋼球を置き、 All these holes placed a steel ball having a diameter of 0.60 mm,
プレスを用いて填め込んだ。 It fitted using a press. アルミニウム板の片面に厚さ20μmのステンレスシートを接着剤で貼り、他面を50mm角の厚さが5mmの鉄製の金型基板に固定することにより、金型磁極を作成した。 Bonding the stainless steel sheet having a thickness of 20μm on one side of the aluminum plate with an adhesive, by the other side the thickness of 50mm square fixed to the iron mold substrate of 5 mm, was prepared mold pole. なお、金型磁極は、 In addition, mold poles,
2枚作成し、ステンレスシート面側で2枚を合わせ、それぞれの面の正方格子状に配列した鋼球が正しく向かい合うようにした。 Create two, and combined two stainless sheet surface side, steel balls arranged in a square lattice of each surface is as face correctly. 外形50mm角、枠幅が5mmで、厚さが1mmのステンレス製の正方形の枠1枚を、一対の金型の間に挟み、異方導電性シートの成形空間を作るためのスペーサとした。 Contour 50mm square, a frame width of 5 mm, a single frame of stainless steel square thickness 1 mm, sandwiched between a pair of molds, and a spacer for making the molding space of the anisotropically conductive sheet.

【0088】(異方導電性シートの成形) 前述のようにして制作した金型を用いたほかは、実施例1と全く同様にして、異方導電性シートを作製した。 [0088] (molding of the anisotropic conductive sheet) except for using a mold which is produced in the manner described above, in the same manner as in Example 1 to prepare an anisotropic conductive sheet. 得られたシートは、1mmピッチで31×31個の強磁性体粒子の集合体であり、集合体表面を顕微鏡で見ると、 The resulting sheet is a collection of 31 × 31 pieces of ferromagnetic particles 1mm pitch, looking at the aggregate surface of a microscope,
粒子集合体中の分散状態は均一であり、欠落部分は認められなかった。 Dispersion state in the particles aggregate are uniform, missing part was observed. すなわち、粒子の集合密度は均一であった。 That is, the set density of the particles was uniform. また、集合体と集合体との間には、磁性体粒子は認められなかった。 In addition, between the aggregate of an aggregate, the magnetic particles were not observed.

【0089】この異方導電性シートを一つの粒子集合体の中心を通って厚さ方向に切断し、粒子の集合状態を観察した。 [0089] This anisotropically conductive sheet through the center of one of the particle aggregate was cut in the thickness direction was observed state of aggregation of the particles. その結果は、図17とほとんど同じであり、粒子の縦列が厚さ方向の中間部分で少し膨らんだ形状であった。 The result is almost the same as FIG. 17, was slightly bulged in the middle portion of the column is the thickness direction of the particle. このシートの導電抵抗は十分に小さいものであった。 Conductive resistance of the sheet were sufficiently small.

【0090】 [0090]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、 As described in the foregoing, according to the present invention,
ソケットあるいはコネクタのような電子回路の実装用に用いることができる程度に導通抵抗が小さい異方導電性シートを、また、その導電部の中心部にまで導電性強磁性粒子を密に局在させた異方導電性シートを、さらに、 A socket or electronic circuit anisotropically conductive sheet conduction resistance is small enough to be used for implementation, such as connectors, also intimately bringing localized conductive ferromagnetic particles to the center of the conductive portion and the anisotropic conductive sheet, further,
小さい圧縮変位から良好な電気接続が達成できる加圧導電型の異方導電性シートを、さらにまた、厚さ寸法の大きな異方導電性シートを、そして、これらの異方導電性シートを製造するのに好適な製造方法を、提供することができる。 Good electrical connection of the pressure conductive type achievable anisotropically conductive sheet from a small compression displacement, furthermore, a large anisotropic conductive sheet thickness and to produce these anisotropically conductive sheet the suitable production method for, can be provided.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】従来の異方導電性シートの外観図である。 1 is an external view of a conventional anisotropic conductive sheet.

【図2】他の従来の異方導電性シートの外観図である。 Figure 2 is an external view of another conventional anisotropic conductive sheet.

【図3】異方導電性シートの垂直断面の模式図である。 3 is a schematic view of the vertical cross section of the anisotropic conductive sheet.

【図4】従来の異方導電性シートの製造装置の断面構成図である。 4 is a cross-sectional view of a conventional anisotropic conductive sheet manufacturing apparatus.

【図5】従来の金型の磁極の断面形状が矩形状である場合のシート導電部の形状と、該金型の磁極形状と磁場分布の関係を示すもので、(a)は導電部のシート表面から見た模式図であり、(b)は導電部の垂直断面形状と磁極形状を示す模式図であり、(c)は磁極表面近傍の磁場強度分布(Z軸成分)を示すグラフである。 [5] shows the conventional cross-sectional shape of the mold of the magnetic poles of the sheet conductive portion of the case is a rectangular shape, the relationship between the pole-shaped and the magnetic field distribution of the mold, (a) shows the conductive portion is a schematic view as viewed from the sheet surface, a graph showing the (b) is a schematic diagram showing a vertical cross-section and the magnetic pole shape of the conductive portion, (c) is the magnetic field intensity distribution near the magnetic pole surface (Z-axis component) is there.

【図6】従来の細い断面矩形状磁極の場合の導電部の形状と磁極形状の関係を示すもので、(a)は導電部のシート表面から見た模式図であり、(b)は導電部の垂直断面の模式図である。 [6] shows the relationship between the shape and the magnetic pole shape of the conductive portion of the conventional thin rectangular section poles, (a) is a schematic view as viewed from the sheet surface of the conductive portion, (b) the conductive it is a schematic view of a vertical section of parts.

【図7】従来の断面矩形状磁極の場合で、導電部が凸状の異方導電性シート(凸状部寸法<磁極寸法)における導電部の形状と磁極形状との関係を示すもので、(a) [7] In the case of the conventional rectangular cross-section pole, those conductive parts showing the relationship between the shape and the magnetic pole shape of the conductive portion of the convex anisotropic conductive sheet (convex portion size <pole dimensions), (a)
は導電部のシート表面から見た模式図であり、(b)は導電部の垂直断面の模式図である。 Is a schematic view as viewed from the sheet surface of the conductive portion, (b) is a schematic view of the vertical cross section of the conductive portion.

【図8】従来の磁極の断面形状を矩形としたモデル磁極金型の断面模式図である。 8 is a cross-sectional schematic view of a cross section of a conventional magnetic pole a rectangular model poles mold.

【図9】磁極の断面形状を、矩形の先端の角を丸めた形状としたモデル磁極金型の断面模式図である。 [9] The magnetic poles of the cross-sectional shape, a cross-sectional schematic view of a model magnetic poles mold was shaped with rounded corners of the rectangular tip.

【図10】磁極の断面形状が、先端半円形の先端部に水平直線部分を設けた形状としたモデル磁極金型の断面模式図である。 [10] pole cross-sectional shape, a cross-sectional schematic view of a model pole molds a shape having a horizontal linear portion on the tip portion of the tip semicircular.

【図11】磁極の断面形状を円形状としたモデル磁極金型の断面模式図である。 11 is a cross-sectional schematic view of a model magnetic poles mold the magnetic poles of the cross-sectional shape is circular shape.

【図12】磁極が断面矩形状である場合の対向磁極間の磁場強度分布の測定結果を示すグラフである。 [12] pole is a graph showing the measurement results of the magnetic field intensity distribution between the opposing magnetic poles where a rectangular cross section.

【図13】磁極の断面形状を、矩形の先端の角を丸めた形状とした場合の対向磁極間の磁場強度分布の測定結果を示すグラフである。 [13] The magnetic poles of the cross-sectional shape is a graph showing the measurement results of the magnetic field intensity distribution between the opposing magnetic poles in the case of a shape with rounded corners of the rectangular tip.

【図14】磁極の断面形状を、先端半円形の先端部に水平直線部分を設けた形状とした場合の対向磁極間の磁場強度分布の測定結果を示すグラフである。 [14] The magnetic poles of the cross-sectional shape is a graph showing the measurement results of the magnetic field intensity distribution between the opposing magnetic poles in the case of a shape having a horizontal linear portion on the tip portion of the tip semicircular.

【図15】磁極が断面円形状である場合の対向磁極間の磁場強度分布の測定結果を示すグラフである。 [15] pole is a graph showing the measurement results of the magnetic field intensity distribution between the opposing magnetic poles where a circular cross-section.

【図16】磁極が断面円形状である場合の導電部の粒子配列を表面から見た模式図である。 [16] pole is a schematic view of the arrangement of particles of the conductive portion of the case is circular in cross section from the surface.

【図17】磁極が断面円形状である場合の導電部の粒子配列を導電部の垂直断面にて見た模式図である。 [17] pole is a schematic view of the arrangement of particles of the conductive portion of the case is circular in cross section in vertical cross section of the conductive portion.

【図18】金型の対向磁極間の磁場強度分布と成形材料層の導電部形成予定部分mとの位置関係を示した模式図である。 18 is a schematic diagram showing the positional relationship between the conductive portion formation portion m of the magnetic field intensity distribution and the molding material layer between the opposite poles of the mold.

【図19】金型の対向磁極間に成形材料を置いた時の要部の模式図である。 19 is a schematic view of a main part when placing the molding material between opposing poles of the mold.

【図20】磁極が先端を平面化した断面円形状を有する場合の導電部の粒子配列を垂直断面から見た模式図である。 [20] pole is a schematic view of the particle array of the conductive portion when viewed from a vertical cross section having a circular cross-section in plan of the tip.

【図21】磁極が先端を平面化した断面円形状を有する場合の導電部の粒子配列を導電部の表面にて見た模式図である。 [21] pole is a schematic view of the arrangement of particles of the conductive portion on the surface of the conductive portion when it has a circular cross-section in plan of the tip.

【図22】球状の小磁極を用いた金型磁極の一例を示す模式図であり、(a)は側断面図、(b)は平面図である。 Figure 22 is a schematic diagram showing an example of a mold poles with small pole spherical, (a) shows the side cross-sectional view, (b) is a plan view.

【図23】従来の金型基板の斜視図である。 Figure 23 is a perspective view of a conventional mold substrate. また、本発明の第1の実施例の金型を製造する中間段階における金型基板の斜視図である。 Also, a perspective view of a mold substrate at an intermediate stage of manufacturing the mold of the first embodiment of the present invention.

【図24】本発明の第1の実施例を説明するもので、金型の小磁極を成形するための放電加工機用型電極の斜視図である。 [Figure 24] serve to explain the first embodiment of the present invention, it is a perspective view of the EDM machine type electrode for forming a small magnetic poles of the mold.

【図25】本発明の第1の実施例を説明するもので、 [Figure 25] serve to explain the first embodiment of the present invention,
(a)は金型基板と放電加工機用型電極とを位置合せした時の断面模式図であり、(b)は小磁極の先端を曲面加工した後の金型基板の断面模式図であり、(c)は完成した金型の断面模式図である。 (A) is a schematic sectional view when aligning the die substrate and for an electrical discharge machine type electrode, (b) is a sectional schematic view of a mold substrate after curved working tip of the small pole , (c) is a schematic sectional view of the completed mold.

【図26】本発明の第1の実施例を説明するもので、電磁石装置に取り付けた金型によりシートを成形している状態を示す断面模式図である。 [Figure 26] serve to explain the first embodiment of the present invention, it is a schematic sectional view showing a state of forming the sheet by a die attached to the electromagnet apparatus.

【図27】本発明の第2の実施例を説明するもので、金型基板の斜視図である。 [Figure 27] serve to explain the second embodiment of the present invention, it is a perspective view of a mold substrate.

【図28】本発明にかかる異方導電性シートと従来の異方導電性シートのそれぞれの導電部における導通抵抗の圧縮歪依存性を示すグラフである。 28 is a graph showing the compressive strain dependence of the conduction resistance of each of the conductive parts of the anisotropically conductive sheet and the conventional anisotropic conductive sheet according to the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

30 異方導電性シート 31 絶縁部 32 導電部 33 導電性磁性粒子列 40 磁極板(強磁性材料性の金型基板) 41 球状小磁極 42 非磁性材料製の板 50 高分子材料 51 導電性強磁性粒子 52 成形材料 53、53a、62′、72 小磁極 54 金型基板 55、56 金型磁極 60、70 金型基板 61、73 溝 62 小磁極 63 電極材料 64 半球面状の穴 65 放電加工機用の型電極 66 アルミニウム充填剤入りのエポキシ樹脂 67 金型 90 電磁石装置の対向する一対の平らな磁極 91 金型加熱用の板状ヒータ 92 断熱層 93 電磁石 100 成形材料 30 anisotropic conductive sheet 31 insulating section 32 conductive portion 33 electrically conductive magnetic particles columns 40 pole plate (a ferromagnetic material of the mold substrate) 41 spherical small pole 42 non-magnetic material plate made of 50 polymer material 51 conductive Strong magnetic particles 52 molding material 53, 53 a, 62 ', 72 small pole 54 mold substrate 55 and 56 mold poles 60 and 70 the mold board 61 and 73 grooves 62 small pole 63 electrode material 64 hemispherical hole 65 EDM type electrode 66 of aluminum filled epoxy resin 67 opposing plate heater 92 heat insulating layer 93 electromagnets 100 molding a pair of planar pole 91 molds for heating the mold 90 electromagnetic device for machine

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−100822(JP,A) 特開 昭54−146873(JP,A) 特開 昭53−147772(JP,A) 特開 昭59−127810(JP,A) 特開 平4−151889(JP,A) 特開 平3−183974(JP,A) 特開 平3−141506(JP,A) 特開 平7−106380(JP,A) 特開 平3−196416(JP,A) 特開 平3−250609(JP,A) 特開 平7−105741(JP,A) 特開 平5−32755(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl. 7 ,DB名) H01R 11/01 H01R 43/00 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (56) reference Patent flat 1-100822 (JP, a) JP Akira 54-146873 (JP, a) JP Akira 53-147772 (JP, a) JP Akira 59- 127810 (JP, A) Patent Rights 4-151889 (JP, A) Patent Rights 3-183974 (JP, A) Patent Rights 3-141506 (JP, A) Patent Rights 7-106380 (JP, A) Patent flat 3-196416 (JP, a) JP flat 3-250609 (JP, a) JP flat 7-105741 (JP, a) JP flat 5-32755 (JP, a) (58) field of investigation (Int.Cl. 7, DB name) H01R 11/01 H01R 43/00

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】 (57) [the claims]
  1. 【請求項1】 磁場が局在化するように強磁性体からなる複数の小磁極を設けた対向する一対の金型磁極の間に、成形空間を設け、該成形空間に、成形条件下で流動可能な硬化性材料に導電性強磁性粒子を分散した成形材料を配置し、前記一対の金型磁極により、該成形材料中の導電性強磁性粒子を局在化させるとともに、該成形材料を硬化させて異方導電性シートを製造する方法であって、 前記金型磁極の磁極表面からの距離が成形時の対向磁極間隔の0%以上25%未満の範囲内の前記成形空間における前記金型磁極の磁極面に平行ないずれかの平面上において、磁場強度分布の該磁極面に垂直な成分(Z軸成分)が、前記各小磁極のほぼ中央の軸上において極大を示していることを特徴とする異方導電性シートの製造方法。 To 1. A magnetic field between a pair of molds pole facing provided with a plurality of small magnetic poles made of a ferromagnetic material so as to localize, the molding space is provided, in the molding space, the molding conditions the molding material obtained by dispersing conductive ferromagnetic particles in flowable curable material placed by the pair of molds pole, causes localized conductive ferromagnetic particles in the molding material, the molding material a method for producing an anisotropically conductive sheet is cured, the distance from the magnetic pole surface of the mold magnetic poles in the molding space in the range of 0% to less than 25 percent of the opposing magnetic pole interval during molding die on type magnetic pole face any plane parallel to, the component perpendicular to the magnetic pole face of the magnetic field intensity distribution (Z-axis component), show the maximum at the approximate center axis of said each of the small pole the anisotropic conductive sheet manufacturing method according to claim.
  2. 【請求項2】 前記小磁極の少なくとも一つの垂直断面形状を、先端に向かって幅が狭くなり、該幅の基端部から先端部に向かう減少の割合が増加しており、その先端部分に該断面形状の前記磁極面に平行な幅の最大値の6 The method according to claim 2 wherein at least one vertical cross-section of the small pole width is narrowed toward the tip end, the percentage of decrease toward the distal end from the proximal end of the width is increasing, in the tip portion 6 of the maximum value of width parallel to the pole face of the cross-sectional shape
    0%以下の前記磁極面に平行な直線状部分が存在する形状とし、かつ、小磁極を面状に配列してなる金型磁極を、前記金型磁極として用いることを特徴とする請求項1に記載の異方導電性シートの製造方法。 0% or less of the pole faces shaped to present parallel straight portions, and claim 1, characterized in that the mold magnetic poles formed by arranging small pole surface, is used as the mold pole the anisotropic conductive sheet manufacturing method according to.
  3. 【請求項3】 前記磁極面に平行な直線部分が、前記小磁極の断面形状の前記磁極面に平行な幅の最大値の50 3. A linear portion parallel to said pole surface, 50 of the maximum value of width parallel to the pole faces of the cross-sectional shape of the small pole
    %以下であることを特徴とする請求項2に記載の異方導電性シートの製造方法。 The anisotropic conductive sheet manufacturing method according to claim 2, characterized in that% or less.
  4. 【請求項4】 前記小磁極の少なくとも一つの垂直断面形状を、先端に向かって幅が狭くなり、該幅の基端部から先端部に向かう減少の割合が増加しており、その先端部分には前記磁極面に平行な直線状部分が存在しない形状とし、かつ、該小磁極を面状に配列してなる金型磁極を、前記金型磁極として用いることを特徴とする請求項1に記載の異方導電性シートの製造方法。 Wherein at least one vertical cross-section of the small pole width is narrowed toward the tip end, the percentage of decrease toward the distal end from the proximal end of the width is increasing, in the tip portion is a shape having no parallel straight portion to said pole face, and, according to claim 1, the mold magnetic poles formed by arranging the said small pole surface, which is characterized by using as said mold pole the anisotropic conductive sheet manufacturing process of the.
  5. 【請求項5】 前記硬化性の成形材料が、該シートの製造時に磁場を掛けるときに流動性を有し、その後、硬化する性質を有する電気絶縁性の高分子材料であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の異方導電性シートの製造方法。 Wherein said curable molding material has fluidity when applying a magnetic field at the time of manufacture of the sheet, then, it can be a polymer material of electrically insulating having a property of hardening the anisotropic conductive sheet manufacturing method according to any one of claims 1 to 4.
  6. 【請求項6】 前記電気絶縁性の高分子材料が、シリコーンゴム、エチレンプロピレン系ゴム、ウレタン系ゴム、フッ素系ゴム、ポリエステル系ゴム、スチレンブタジエン系ゴム、スチレンブタジエンブロック共重合体ゴム、スチレンイソプロピレンブロック共重合体ゴム、軟質エポキシ樹脂、熱可塑性エラストマー、熱可塑性軟質樹脂から選択され、シート製造時の温度において液状または流動性を有するものであることを特徴とする請求項5に記載の異方導電性シートの製造方法。 Wherein said electrically insulating polymeric material, silicone rubber, ethylene-propylene rubber, urethane rubber, fluorinated rubber, polyester rubber, styrene-butadiene rubber, styrene-butadiene block copolymer rubber, Suchiren'iso propylene block copolymer rubber, flexible epoxy resin, a thermoplastic elastomer is selected from thermoplastic soft resin, sheet during production of the different according to claim 5, characterized in that with a liquid or flowable at temperatures anisotropically conductive sheet production method of.
  7. 【請求項7】 前記電気絶縁性の高分子材料は、成形後は架橋構造を有するものであることを特徴とする請求項5または6に記載の異方導電性シートの製造方法。 Wherein said electrically insulating polymer material, anisotropic conductive sheet manufacturing method according to claim 5 or 6, characterized in that after molding and has a crosslinked structure.
  8. 【請求項8】 前記電気絶縁性の高分子材料は、成形後は固体状かつゴム弾性を有するものであることを特徴とする請求項5ないし7のいずれかに記載の異方導電性シートの製造方法。 Wherein said electrically insulating polymer material, after molding the solid and according to any one of claims 5 to 7, characterized in that having rubber elasticity of the anisotropic conductive sheet Production method.
  9. 【請求項9】 前記導電性強磁性粒子は、粒子として強磁性を有し、かつ少なくとも表面が導電性を有することを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の異方導電性シートの製造方法。 Wherein said conductive ferromagnetic particles, the anisotropically conductive sheet according to any one of claims 1 to 8, characterized in that has a ferromagnetic as particles and at least the surface is electrically conductive the method of production.
  10. 【請求項10】 前記導電性強磁性粒子は、単体の強磁性金属粒子、金属で被覆された有機または無機材料からなる被覆粒子、およびこれらの混合粒子のいずれかであることを特徴とする請求項9に記載の異方導電性シートの製造方法。 Wherein said conductive ferromagnetic particles, single ferromagnetic metal particles, coated particles made of an organic or inorganic material coated with a metal, and claims, characterized in that any of these mixed particles the anisotropic conductive sheet manufacturing method according to claim 9.
  11. 【請求項11】 前記導電性強磁性粒子は、ニッケル、 Wherein said conductive ferromagnetic particles, nickel,
    鉄、コバルト等の強磁性を示す金属の粒子もしくはこれらを含む合金の粒子、鉄等の強磁性金属のウィスカー、 Iron, particles of an alloy containing particles or these metals exhibiting ferromagnetism such as cobalt, a ferromagnetic metal whiskers such as iron,
    短繊維状の強磁性金属、またはこれらの粒子または短繊維物に、金、銀、銅、錫、パラジウム、ロジウムから選ばれる金属をメッキ等により被覆したもの、非磁性金属粒子もしくはガラスビーズ等の無機質粒子またはポリマー粒子に、鉄、ニッケル、コバルト等の導電性強磁性金属のメッキを施したもの、またはこれらの混合粒子のいずれかであることを特徴とする請求項10に記載の異方導電性シートの製造方法。 The ferromagnetic metal or particles or short fibers thereof thereof, the short fibrous, gold, silver, copper, tin, palladium, covered by plating a metal selected from rhodium, non-magnetic metal particles or glass beads, etc. the inorganic particles or polymer particles, iron, nickel, those plated with conductive ferromagnetic metals such as cobalt, or different Hoshirubeden of claim 10, characterized in that any of these mixed particles method of manufacturing a sexual sheet.
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