JP3113797B2 - Method of modifying a photosensitive chemical film - Google Patents

Method of modifying a photosensitive chemical film

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JP3113797B2 JP07218681A JP21868195A JP3113797B2 JP 3113797 B2 JP3113797 B2 JP 3113797B2 JP 07218681 A JP07218681 A JP 07218681A JP 21868195 A JP21868195 A JP 21868195A JP 3113797 B2 JP3113797 B2 JP 3113797B2
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Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性化学物質膜の改質方法に係り、特に紫外線照射により液晶配向膜をパターン状に改質し、マルチドメインを形成するのに有効な技術に関する。 The present invention relates to relates to a method for modifying photosensitive chemicals membrane, reforming the liquid crystal alignment film in a pattern form in particular ultraviolet radiation, to a technique effective in forming a multi-domain.

【0002】 [0002]

【従来の技術】液晶配向膜において最も基本的な配向特性は、ラビングで規制された配向方向に沿って液晶分子長軸が配向することである。 The most basic orientation characteristics of the Prior Art Liquid crystal alignment layer is that the liquid crystal molecular long axis along the regulated orientation in the rubbing is oriented. 水平配向において、無電界状態で液晶分子長軸を基板と平行に配向させると、電圧印加時にティルトドメインと呼ばれるディスクリネーションが発生する。 In the horizontal orientation, the liquid crystal molecular long axis is oriented parallel to the substrate in an electroless state, disclination called tilt domains when a voltage is applied occurs. この現象は液晶分子が立ち上がる際に、左右何れ回りでもエネルギー的に等価となるためである。 This behavior occurs when the rising liquid crystal molecules is because the energy equivalent in right or left direction. そこで、これを防ぐために無電界の状態で液晶分子が基板面から若干立ち上がった配向(傾斜配向)をさせる必要があり、この傾斜角をプリチルト角と呼んでいる。 Therefore, the liquid crystal molecules in the no electric field state in order to prevent this it is necessary to the orientation rises slightly from the substrate surface (tilt), is called the angle of inclination and pretilt angle.

【0003】プリチルト角は、液晶表示素子の電気光学特性に大きな影響を及ぼし、各種の液晶表示素子により各々特有の値が要求されている。 [0003] pretilt angle, a great influence on the electro-optical properties of the liquid crystal display device, each of the specific value is required by the various liquid crystal display devices. したがって、液晶配向膜のプリチルト角を所定の値に調整できることが必要となる。 Therefore, it is necessary to adjust the pre-tilt angle of the liquid crystal alignment film to a predetermined value. 液晶配向膜として使用されているポリイミドの薄膜の場合、セルを組み立てる前に深紫外光を照射すると、セル組み立てた後注入する液晶分子のプリチルト角が減少することが知られている。 For a thin film of polyimide is used as a liquid crystal alignment film is irradiated with deep ultraviolet light before assembling the cell, pre-tilt angle of liquid crystal molecules to be injected after assembly cells are known to decrease. この特性を利用して液晶セルの一画素を二分割して各々異なったプリチルト角を有する素子を作製し、視野角を改善した液晶表示装置が提案されている。 This property was utilized to prepare a device having a pre-tilt angle each different and bisects one pixel of the liquid crystal cell, the liquid crystal display device has been proposed to improve the viewing angle.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プリチルト角は紫外線量に応じて減少することは判明しているが、従来使用されている水銀キセノンランプでは紫外線のスペクトル強度比が不安定であることに起因してプリチルト角を所定の値に調整するための露光量を決定することができない等の問題があった。 [0007] However, although the pretilt angle can be reduced depending on the amount of ultraviolet light has been found, that in the mercury-xenon lamp is conventionally used is unstable spectral intensity ratio of the ultraviolet due to the pre-tilt angle was a problem such that it is not possible to determine the exposure amount for adjusting to a predetermined value. また、紫外線を照射しすぎると、配向が悪化する等の問題があり、プリチルト角の調整をより精度よく行なえる技術が要望されている。 Also, too much ultraviolet irradiation, there is a problem that the orientation may deteriorate, more accurately perform technical adjustments pretilt angle is demanded. さらに紫外線を照射した部分には紫外線を照射しない部分と異なった電位が生じ、駆動電圧の相違や画像の焼付等の問題を引き起こすことがあるため、感光性化学物質に対して所望の性質を付与することができる技術が要望されていた。 Since the further irradiated with the ultraviolet part resulting a different potential as the portion not irradiated with ultraviolet rays, can cause problems of seizure or the like of the differences or the image of the driving voltage, impart desired properties to the photosensitive chemicals technology that can be has been desired.

【0005】本発明の第1の目的は、スペクトル強度比を一定のものとして露光量を制御し、液晶配向膜のプリチルト角の調整を容易なものとすることができる感光性化学物質膜の改質方法を提供することにある。 [0005] The first object of the present invention controls the amount of exposure the spectral intensity ratio as a constant ones, breaks of the photosensitive chemicals membranes adjustment of pretilt angle of the liquid crystal alignment film can be made easy and to provide a quality way.

【0006】本発明の第2の目的は、プリチルト角の調整をより精度よく行うことができる感光性化学物質膜の改質方法を提供することにある。 A second object of the present invention is to provide a method of modifying a photosensitive chemicals film can be performed more accurately adjust the pretilt angle.

【0007】本発明の第3の目的は、感光性化学物質に対して所望の性質を付与することができる感光性化学物質膜の改質方法を提供することにある。 A third object of the present invention is to provide a method of modifying a photosensitive chemicals film capable of imparting desired properties to the photosensitive chemicals.

【0008】 [0008]

【課題を解決するための手段】上記した本発明の第1の目的は、感光性化学物質の光化学反応により感光性化学物質膜のパターンを形成する方法において、200〜3 A first object of the present invention described above [Means for Solving the Problems] is a method for forming a pattern of photosensitive chemicals film by photochemical reaction of the photosensitive chemicals, 200-3
00nmの間に略単一波長の線スペクトルを有する光源から発した光を前記感光性物質にパターン状に照射し、 Substantially irradiated in a pattern with light emitted from a light source having a line spectrum of a single wavelength to the photosensitive material during nm,
感光性化学物質の反応量を制御する感光性化学物質膜の改質方法によって達成される。 It is achieved by modifying the method of photosensitive chemicals membrane to control the reaction of the photosensitive chemicals.

【0009】この発明においては、200〜300nm [0009] In the present invention, 200~300nm
の間の略単一波長の線スペクトルを発光するレーザー灯あるいは低圧水銀灯を光源とすることによって、光量測定が再現性よく行え、反応経路がより明確になることによって反応制御が精度よく行える。 By a light source substantially laser lamp or low pressure mercury lamp emitting a line spectrum of a single wavelength between, can better light amount measurement reproducibility, allows good reaction control accuracy by the reaction route becomes clearer. 低圧水銀灯のスペクトルは、大部分が深紫外線のエネルギーに相当する水銀原子の長寿命の準安定状態からの発光に相当し、電気エネルギーの多くが非常に単色性の強い深紫外線の形で高い効率で変換される。 Spectrum of the low-pressure mercury lamp, high in most deep corresponds to the light emission from the metastable state of the long lifetime of the mercury atoms which corresponds to the energy of ultraviolet rays, often very form of strong deep ultraviolet monochromatic of electrical energy efficiency in the conversion.

【0010】上記した本発明の第2の目的は、感光性化学物質の光化学反応により感光性化学物質膜のパターンを形成する方法において、前記感光性化学物質に300 A second object of the present invention described above, a method of forming a pattern of photosensitive chemicals film by photochemical reaction of the photosensitive chemicals, 300 to the photosensitive chemicals
nm以上の波長を有する光を照射し、感光性化学物質に活性酸素を発生する反応を選択的に生じさせる感光性化学物質膜の改質方法によって達成される。 Light is irradiated with a wavelength of more than nm, it is achieved by modifying the method of photosensitive chemicals reactions that generate active oxygen causes selectively caused in photosensitive chemicals membrane.

【0011】この発明においては、活性酸素は、通常活性化エネルギーが大きく、起こりにくい反応を容易に引き起こすことができ、この反応によってラジカル生成を起源とする一連の反応とは別の反応が起こっていれば、 [0011] In this invention, the active oxygen is largely normal activation energy, less likely reaction can easily cause, has occurred another reaction is a series of reactions which originate from radicals produced by the reaction lever,
これらを分離し、反応を制御することができることになる。 These were separated, it will be able to control the reaction. 特にプリチルト角の変化に対し酸素の反応への寄与が必要であるから、酸素の反応を制御できれば、プリチルト角の調整が容易となる。 Especially since the change in pretilt angle with respect to a required contribution of oxygen to the reaction, if control of the reaction of oxygen, it becomes easy to adjust the pretilt angle.

【0012】上記した本発明の第3の目的は、感光性化学物質の光化学反応により感光性化学物質膜をパターンを形成する方法において、所望の官能基を含む雰囲気ガス中で前記感光性化学物質に紫外線を照射し、光化学反応による感光性化学物質の分解反応により生じたラジカルの位置に前記官能基を導入する感光性化物質の改質方法によって達成される。 A third object of the present invention described above, a method of forming a pattern of the photosensitive chemicals film by photochemical reaction of the photosensitive chemicals, the photosensitive chemicals in an atmospheric gas containing the desired functional groups the irradiating ultraviolet radiation is accomplished by modifying the method of light-sensitive substances of introducing the functional group at the position of the radicals generated by the decomposition reaction of the photosensitive chemicals by photochemical reactions.

【0013】この発明においては、感光性化学物質に所望の官能基を導入すると、感光性化学物質に官能基に起因する所望の性質を付与することができる。 [0013] In the present invention, the introduction of desired functional groups into a photosensitive chemicals, can impart desired properties attributed to the functional group to the photosensitive chemicals.

【0014】 [0014]

【発明の実施の形態】本発明における最も望ましい態様は、感光性化学物質の光化学反応により感光性化学物質膜のパターンを形成する方法において、低圧水銀灯あるいはレーザーが発する選択された波長の深紫外線を光源とし、前記感光性化学物質にパターン状に深紫外線を照射し、感光性化学物質の吸収波長を調整し、感光性化学物質の分解反応量を制御すると共に感光性化学物質に対する紫外線照射時に感光性化学物質によって活性酸素を発生させて化学物質の酸化を行なうことである。 The most preferred aspect of the Detailed Description of the Invention The present invention provides a method of forming a pattern of photosensitive chemicals film by photochemical reaction of the photosensitive chemicals, deep ultraviolet selected wavelength emitted low-pressure mercury lamp or a laser a light source, said light-sensitive chemicals deep ultraviolet irradiation in a pattern, to adjust the absorption wavelength of the photosensitive chemicals, photosensitive during UV irradiation to the photosensitive chemicals to control the decomposition reaction of the photosensitive chemicals it is to perform the oxidation of the chemical substances by generating active oxygen by gender chemicals.

【0015】この態様では、低圧水銀灯あるいはレーザーが発する選択された波長の深紫外線を光源とすることによって、単色性の強い深紫外線が高い効率が得られ、 [0015] In this embodiment, by a light source deep ultraviolet selected wavelength emitted low-pressure mercury lamp or a laser, a strong deep ultraviolet monochromatic property provides high efficiency,
光量測定が再現性よく行え、しかもプリチルト角の変化に対し酸素の反応への寄与が必要であるから、再現性よく酸素の反応を制御でき、プリチルト角の調整がより容易となる。 Performed better light amount measurement is reproducible, yet because to changes in pretilt angle requires the contribution of oxygen to the reaction, can be controlled reactions with good reproducibility oxygen, it becomes easier to adjust the pretilt angle.

【0016】また、本発明の最も望ましい態様は、感光性化学物質の光化学反応により感光性化学物質膜のパターンを形成する方法において、低圧水銀灯が発する選択された波長の深紫外線を光源とし、前記感光性化学物質にパターン状に深紫外線を照射し、感光性化学物質の反応量を制御すると共に雰囲気ガス中で前記感光性化学物質にパターン状に紫外線を照射し、光化学反応による感光性化学物質の分解反応により生じたラジカルの位置に新たな官能基を導入する態様である。 Further, the most preferred embodiment of the present invention, there is provided a method of photochemically reactive photosensitive chemicals to form a pattern of photosensitive chemicals film, as a light source deep ultraviolet selected wavelength low-pressure mercury lamp emitted, the deep ultraviolet in a pattern on the photosensitive chemicals by irradiation with ultraviolet radiation in a pattern the photosensitive chemicals atmospheric gas to control the reaction amount of the photosensitive chemicals, photosensitive chemicals by photochemical reactions it is a form to introduce new functionality to the position of the radicals generated by the decomposition reaction of.

【0017】この態様では、低圧水銀灯が発する選択された波長の深紫外線を光源とすることによって、単色性の強い深紫外線が高い効率が得られ、光量測定が再現性よく行え、しかも感光性化学物質に再現性よく所望の官能基を導入して感光性化学物質に所望の性質を付与できる。 [0017] In this embodiment, by a light source deep ultraviolet selected wavelength low-pressure mercury lamp emitted, a strong deep ultraviolet monochromatic property provides high efficiency, can well light amount measurement reproducibility, moreover photosensitive chemical by introducing a reproducibly desired functional groups in substances capable of imparting the desired properties to the photosensitive chemicals.

【0018】 [0018]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて更に詳細に説明する。 EXAMPLES Hereinafter, will be described in more detail the present invention based on examples. 図1は、高圧水銀キセノンランプ光源とし、 Figure 1 is a high-pressure mercury-xenon lamp light source,
深紫外線露光に用いるために300nm以上の長波長光を除去するダイクロイックフイルタを組み込んだ従来のマスクアライナー装置の光源スペクトルである。 Incorporating dichroic filter to eliminate or longer wavelength light 300nm for use in deep ultraviolet exposure is a light source spectrum of a conventional mask aligner device. (3K (3K
W水銀キセノンランプ−A:200時間点灯後) 図1において、250nm付近のスペクトル強度は相対的に小さく、またフイルタの特性上、290nm付近のスペクトルを充分に除去することができず、大きな強度を示している。 W mercury xenon lamp -A: 200 hours after the lighting) in FIG. 1, the spectral intensity around 250nm is relatively small, and the characteristics of the filter can not be sufficiently removed spectrum around 290 nm, greater strength shows.

【0019】図2はこのマスクライナーの高圧キセノンランプを同一品番の他のランプと交換してスペクトルを比較したものである。 [0019] Figure 2 is a comparison of spectral and replaced with another lamp of the same part number and high pressure xenon lamps of the mask liner. (3KW水銀キセノンランプ− (3KW mercury-xenon lamp -
B:新品) 図1及び図2から明らかなように、ランプの個体差が大きく、290nm付近のスペクトル成分と250nm付近のスペクトル成分の積分強度比は図1で測定したランプでは、28.9%、図2で測定したランプでは6.6%と大きく異なっている。 B: new) As is clear from FIGS. 1 and 2, the individual difference of the lamp is large, the integrated intensity ratio lamps measured in Figure 1 of the spectral components near the spectral component and 250nm near 290 nm, 28.9% differs significantly from 6.6% in the lamp measured in FIG. また、ランプを長時間を点灯すると、特に短波長のスペクトル強度が速く劣化することが知られておりランプのスペクトル管理が困難であることがわかる。 Further, when lighting the long lamp, it can be seen that may degrade particular spectral intensity of the short wavelength is fast it is difficult to spectrum management of known and lamp.

【0020】これらの緒問題は、水銀キセノンランプ光源のスペクトルが多数の線スペクトルから成り立っており、スペクトルの強度比の不安定さによって引き起こされていることがわかる。 [0020] These cord problems, the spectrum of a mercury xenon lamp light source are made up of a number of line spectra, it can be seen that is caused by instability of the intensity ratio of the spectrum. これはランプの内部が非常に高圧となっており、原子同士の衝突によって、放電で励起された原子の高いエネルギー状態から多数の低エネルギーの電子状態へ無輻射遷移した後、これら多数の電子状態から発生するためであり、高圧放電管を光源として用いる限り原理的には避けることができない。 This is the inside of the lamp becomes extremely high, the collisions between atoms, after non-radiative transition from the higher energy state of the excited atoms to the electronic state of many low energy discharge, many of these electronic states is because the generated from, can not be avoided in principle as long as the use of high-pressure discharge tube as the light source.

【0021】その結果、深紫外線の発光効率は非常に低く、1%以下と見積もられ、無効にに消費されたエネルギーは最終的には露光部分の温度上昇等の弊害をもたらすため、冷却装置や光学系フイルタ等の付帯設備を設け必要が生じるので、装置が大型化かつ複雑化する。 [0021] As a result, the depth luminous efficiency of ultraviolet is very low, is estimated to be 1% or less, the energy consumed disabled because ultimately detrimental such as temperature rise of the exposed portion, the cooling device and the need provided additional equipment, such as an optical system filter occurs, apparatus becomes large and complicated. また、水銀キセノンランプ本体を構成する石英管内部は非常に高圧となるので取扱いには危険が伴う。 Further, in handling inherently dangerous since the internal quartz tube constituting the mercury-xenon lamp body is extremely high. また、光源スペクトルが多数の線スペクトルから成り立っているため、光量の測定を再現性よく行うことは困難である。 Moreover, since the light source spectrum is made up of a number of line spectrum, it is difficult to reproducibly measured amount of light. さらに複数のスペクトルを持った光源によって感光性化学物質は複数の励起状態に励起され、その結果、複数の状態から反応が開始されるので、反応経路が複雑化することが考えられる。 Furthermore photosensitive chemicals by a plurality of light sources having spectral excited in a plurality of the excited state, as a result, since the reaction of a plurality of state is started, it is conceivable that the reaction path complicated.

【0022】本発明においては、深紫外線の光源として、例えば、低圧水銀灯を用いる。 In the present invention, as a deep ultraviolet light source, for example, using a low pressure mercury lamp. この低圧水銀灯では、放電に与えた電気エネルギーの多くが励起された水銀原子の253.7nmの深紫外線のエネルギーに相当する長寿命の準安定状態から発光するため非常に単色性の高い253.7nmの深紫外線が20%前後の高い効率が得られる。 In the low-pressure mercury lamp, high very monochromatic because many emitted from a metastable state of life corresponding to the energy of the deep ultraviolet 253.7nm of excited mercury atoms of the electrical energy imparted to the discharge 253.7nm deep ultraviolet obtain a high efficiency of around 20%. 図3に低圧水銀灯のスペクトルを示すが、253.7nm光の他に184.9nmの強い真空紫外光も同時に放出される。 Shows the spectrum of the low-pressure mercury lamp in FIG. 3, in addition to a strong vacuum ultraviolet light of 184.9nm of 253.7nm light is also emitted simultaneously.

【0023】しかし、この184.9nmの光は放電管に使用される石英中の不純物によって強く吸収させることができる他、大気中の酸素によって強い吸収を受けるため、この波長の光を利用しない場合容易に除去することができる。 [0023] However, if the light of 184.9nm in addition can be strongly absorbed by impurities in the quartz used for the discharge tube, for receiving a strong absorption by atmospheric oxygen, which does not use the light of this wavelength it can be easily removed. したがって、低圧水銀灯を光源とすることによって光量測定を再現性よく行うことができ、反応経路をより明確にすることによって反応制御を精度よく行うことができるようになる。 Therefore, the light quantity measurement can be performed with good reproducibility by a light source a low pressure mercury lamp, it is possible to perform good reaction control accuracy by the reaction path more clearly.

【0024】なお、本発明においては、光源として上記した低圧水銀灯の他にレーザ灯を用いることもできる。 [0024] In the present invention, it is also possible to use a laser light in addition to the low-pressure mercury lamp as described above as a light source.
レーザ灯では、単一スペクトルの光源であるため反応制御がしやすく、また、波長が一定の範囲にあり、特定の吸収が生じることから、低圧水銀灯と同様な効果を発揮することができる。 The laser light, easy control of the reaction and for a light source of a single spectral, also in the range wavelength is constant, since the specific absorption occurs, it is possible to exert the same effect as the low-pressure mercury lamp.

【0025】しかし化合物によっては、目的の反応経路に結びつく吸収が253.7nmに一致するとは限らない。 [0025] Some however compound, not necessarily absorption leading to reaction pathway of interest matches the 253.7 nm. このような場合、化合物のフェニル基に隣接する部位に電子供与基あるいは電子吸引基を導入することによって吸収波長を長波長あるいは短波長にシフトさせ、希望する吸収の位置を253.7nm付近に移動することができる。 In this case, it shifts the absorption wavelength to the long wavelength or short wavelength by introducing an electron donating group or an electron withdrawing group at the adjacent position to the phenyl group of compounds, move the position of the absorption desired near 253.7nm can do. また,逆に希望しない部位の波長が253. In addition, the wavelength of the sites you do not want to reverse the 253.
7nm付近に位置する場合、同様な手法により吸収波長をずらすことができる。 If located near 7 nm, it is possible to shift the absorption wavelength by a similar method.

【0026】図4に液晶配向膜として使用されるポリイミドのUVスペクトルの例を示す。 [0026] An example of a UV spectrum of the polyimide to be used as a liquid crystal alignment film in FIG. 図4においては、2 In FIG. 4, 2
50nm付近から短波長の一連の吸収はすこしずつ波長のずれた吸収を重ね合わせたものであることがわかる。 It can be seen that a series of absorption of a short wavelength from around 50nm is a superposition of the absorption wavelength deviation by little.
図5に示す吸収は同じポリイミドをイミド化する前のポリアミック酸の状態を測定したものである。 Absorption shown in FIG. 5 is a graph of measurement of the state before the polyamic acid imidization same polyimide.

【0027】図5には、図4で観測された230nm付近の吸収が現れていないことがわかる。 [0027] FIG. 5, it can be seen that the absorption in the vicinity of 230nm, which is observed in Figure 4 does not appear. このことから、 From this,
230nmのポリイミドでみられる吸収はイミド基と電子的に結びついたフェニル基の吸収であると思われる。 Absorption seen with polyimide 230nm appears to be the absorption of imide groups and electronically linked phenyl.
このように、これらの複数の吸収は、ポリマー鎖の中に含まれるフェニル基の置かれた環境の違いによって吸収波長がシフトした結果現れたもので、各々異なった部位のフェニル基による吸収が重ね合わされたものである。 Thus, the plurality of absorption, in which the absorption wavelength by the difference in put the environment phenyl group contained in the polymer chain appeared result of the shift, superimposed absorption by phenyl group each different sites it is those that have been.

【0028】したがって、高圧水銀キセノンランプのような広い波長範囲のわたる多数の線発光スペクトルからなる紫外線をポリイミドに照射した場合、ポリマー鎖の中の特定の基を選択的に励起することができず、異なった環境に置かれた複数の部位にあるフェニル基を同時に励起することになり、異なった複数の光化学反応を誘起する結果となる。 [0028] Therefore, when the ultraviolet comprising a number of lines emission spectrum over a wide wavelength range such as a high-pressure mercury-xenon lamp was irradiated to the polyimide, it is not possible to selectively excite specific groups in the polymer chain results in exciting the phenyl group in the plurality of sites placed in different environments simultaneously, resulting in inducing a plurality of different photochemical reactions.

【0029】ポリイミドは深紫外線を吸収してπ−π* [0029] The polyimide absorbs deep ultraviolet π-π *
電子状態に遷移された後、幾つかの反応経路をたどって化学変化を引き起こす。 After the transition to the electronic state, causing a chemical change by following several reaction pathways. 1つはポリマー分子鎖を切断し同時にラジカルを生成する反応であり、このラジカルは何らかの形で最終的にターミネイトされる。 One is a reaction for producing the cut simultaneously radical polymer molecular chains, the radical is finally-terminated somehow. したがって、紫外線照射時に適当なガスを導入することによって、ラジカル終端部に所望の官能基を導入することが可能であり、これによってポリマーに新たな所望の性質を付与することができる。 Thus, by introducing a suitable gas at the ultraviolet irradiation, it is possible to introduce a desired functional group in the radical termination, whereby it is possible to impart new desired properties to the polymer. 例えば、アルコールを雰囲気ガスとして使用すると、アルキル基あるいは水酸基を導入することができる。 For example, the use of alcohol as the atmospheric gas, it is possible to introduce an alkyl group or a hydroxyl group. また、塩化ベンジル(R−O−C The benzyl chloride (R-O-C
l)を雰囲気ガスとして使用すると、ベンジル基(R− With l) as the atmospheric gas, a benzyl group (R-
O基)を感光性化学物質に導入することができる。 The O group) can be introduced into the light-sensitive chemicals.

【0030】次に低圧水銀灯による紫外線照射によりポリイミドの切断に従って、R・ラジカルが発生し、次の反応によって酸素が反応し、プリチルト角に対して影響の大きな分子の極性を変化させるものと思われる。 [0030] according to the following cleavage of the polyimide by ultraviolet irradiation with a low-pressure mercury lamp, R · radicals are generated, oxygen is reacted by subsequent reaction, is believed to change the polarity of the large molecules of impact on pretilt angle .

【0031】R・+ 32 → ROO・ ΔH=− [0031] R · + 3 0 2 → ROO · ΔH = -
10〜28Kcal/mol 一般的に有機化合物の基底状態は1重項スピン状態を持っており、従って、紫外線を吸収することによってスピン状態を保持して1重項励起状態に励起される。 10~28Kcal / mol ground state of general organic compounds have a singlet spin state, therefore, it is excited to singlet excited state to hold the spin state by absorbing ultraviolet light. この一重項励起状態より低いエネルギーを持った3重項状態が存在し、分子が一旦一重項に励起された後、この3重項励起状態に遷移し、ここから反応が進行することが多くの事例で観測されている。 There is the singlet triplet state having an energy lower than the excited state, after the molecules have been temporarily excited to singlet, transitions to the triplet excited state, the reaction Here to proceed much It has been observed in the case.

【0032】一方、酸素は3重項基底状態を持つために一般的にその化学反応活性が抑えられいるが、三重項励起状態の分子との間でエネルギー移動を起こす際に化学的活性の非常に高い一重項酸素(O 2 1 Δ)を生成する。 On the other hand, oxygen is generally the chemical reaction activity is suppressed in order to have a triplet ground state, highly chemically active in causing energy transfer between a triplet excited state molecule high to generate singlet oxygen (O 2 1 Δ) to. この一重項酸素が生成することにより酸素を反応させ、ラジカル反応と類似の効果を得ることができる。 Oxygen reacted by the singlet oxygen is generated, it is possible to obtain an effect similar to a radical reaction.

【0033】このように、感光性化学物質に対して紫外線を照射すると(1)ラジカル生成反応と、(2)一重項酸素の生成反応とが起こり、これらの反応はいずれも感光性化学物質の表面の改質に寄与するものであるが、 [0033] Thus, when irradiated with ultraviolet rays to the photosensitive chemicals (1) radical generation reaction, (2) takes place and the formation reaction of singlet oxygen, both these reactions photosensitive chemicals but it is intended to contribute to the modification of the surface,
このうち(1)ラジカル生成反応が生じると、紫外線を照射した部分と紫外線を照射しない部分における電位差が生じる等の挙動が生じると思われる。 When these (1) radical generation reaction occurs, seems to behave in such a potential difference is caused in the portion not irradiated with the part and ultraviolet was irradiated with ultraviolet rays is caused. 感光性化学物質に対して300nm以上の波長を有する光で反応を起こすと、(1)のラジカル反応が抑制され、(2)一重項酸素の生成反応のみが優先的に生じるから、上記した電位差等の問題を生じることなく、感光性化学物質の表面を改質できることになる。 When reacts with light having a wavelength of more than 300nm of the photosensitive chemicals, is suppressed radical reaction (1), (2) because only formation reaction of singlet oxygen occurs preferentially, the potential difference described above problem without causing equal, so that the surface of the photosensitive chemicals that can be reformatted.

【0034】これはポリマー鎖中に可視光あるいは赤外光に吸収を持つようなより長い共役2重結合を持った吸収部位を設けることによって実現することができる。 [0034] This can be achieved by providing the absorbing site with a long conjugated double bonds than like having absorption in the visible light or infrared light in the polymer chain. また、酸素の3重項基底状態と一重項励起状態とエネルギー差は非常に小さいので可視光あるいは赤外光のような小さなエネルギーの光子吸収によって同様な効果を引き起こすことが可能となるので、ポリマーフィルム中に、 Also, since the since the triplet ground state and a singlet excited state and the energy difference of the oxygen is very small and it is possible to cause the same effect by photon absorption of a small energy, such as visible light or infrared light, the polymer in the film,
例えば、ローダミン系の色素のような上記性質を有する化合物を混合させ、同等の反応を起こさせることもできる。 For example, a compound having the properties such as dye rhodamine mixed, it is also possible to cause the same reaction.

【0035】プリチルト角に対する酸素の寄与について、真空中で紫外線照射してプリチルト角の変化を測定する実験を行った。 [0035] Oxygen contribution for pretilt angle, experiments were conducted to measure the change in pretilt angle by ultraviolet ray irradiation in vacuum. この結果を図6に示す。 The results are shown in Figure 6. 図6から、 From FIG. 6,
プリチルト角に対する変化に対し酸素の反応への寄与が必要であることがわかる。 It can be seen to change with respect pretilt angle requires the contribution of oxygen to the reaction.

【0036】また、液晶素子における電位差に関し、ラジカルが寄与していることも考えられる。 Further, relates the potential difference in the liquid crystal element, it is conceivable to radicals contributes. この場合、一重項酸素によってプリチルト角を変化させる反応を起こすことができれば、ラジカルに起因すると想定される紫外線を照射した部分と照射しない部分における電位差が生じにくいから,駆動電圧の相違や画像の焼付等の問題が解消される。 In this case, if it is possible to cause the reaction to change the pretilt angle by singlet oxygen, because potential difference is unlikely to occur in a portion not irradiated with the portion irradiated with ultraviolet rays is assumed to be due to radical, baking differences or image of the drive voltage problems such as can be solved.

【0037】本発明において、感光性化学物質には、特にポリイミドを例示したが、この他に例えば、ポリスチレン、ベンゼン環を含むポリマー類を適用することができる。 [0037] In the present invention, the photosensitive chemicals, in particular has been illustrated polyimide, In addition to this example, it is possible to apply the polymers containing polystyrene, a benzene ring.

【0038】 [0038]

【発明の効果】本発明によれば、光量測定が再現性よく行え、反応経路がより明確になることによって反応制御が精度よく行える。 According to the present invention, can better light amount measurement reproducibility, allows good reaction control accuracy by the reaction route becomes clearer.

【0039】また、本発明によれば、活性酸素を選択的に発生じさせることができる。 Further, according to the present invention, it is possible to jet selectively generating active oxygen. したがって、特にプリチルト角の変化に対し酸素の反応への寄与が必要であるから、酸素の反応を制御できれば、プリチルト角の調整が容易となる。 Thus, in particular, because the change in pretilt angle with respect to a required contribution of oxygen to the reaction, if control of the reaction of oxygen, it becomes easy to adjust the pretilt angle.

【0040】更に、本発明によれば、感光性化学物質に所望の官能基を導入すると、感光性化学物質に官能基に起因する所望の性質を付与することができる。 [0040] Further, according to the present invention, the introduction of desired functional groups into a photosensitive chemicals, can impart desired properties attributed to the functional group to the photosensitive chemicals.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】高圧水銀キセノンランプ光源を用いた従来のマスクライナー装置の光源スペクトル図である。 1 is a light source spectrum diagram of a conventional mask liner apparatus using a high-pressure mercury-xenon lamp light source.

【図2】高圧キセノンランプを同一品番の他のランプと交換したときのスペクトル図である。 2 is a spectrum diagram when the high-pressure xenon lamp and replaced with another lamp of the same part number.

【図3】低圧水銀灯のスペクトル図である。 FIG. 3 is a spectrum diagram of the low-pressure mercury lamp.

【図4】液晶配向膜として使用されているポリイミドのUV吸収スペクトル図である。 4 is a UV absorption spectrum of the polyimide used as a liquid crystal alignment film.

【図5】図4のポリイミドをイミド化する前のポリアミック酸のUV吸収スペクトル図である。 5 is a UV absorption spectrum before the polyamic acid imidation of polyimide in FIG.

【図6】プリチルト角に対する酸素の反応への寄与を示すためのグラフである。 6 is a graph for showing the contribution of oxygen to the reaction for pretilt angle.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平 洋一 神奈川県大和市下鶴間1623番地14 日本 アイ・ビー・エム株式会社 東京基礎研 究所内 (56)参考文献 特開 平4−187786(JP,A) 特開 平3−259932(JP,A) 特開 平3−182758(JP,A) 特開 平5−13323(JP,A) 特開 昭56−99623(JP,A) 特開 昭61−219026(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl. 7 ,DB名) C08J 7/00 - 7/18 ────────────────────────────────────────────────── ─── front page of the continuation (72) inventor Yoichi Taira Yamato-shi, Kanagawa Shimotsuruma 1623 address 14, IBM Japan, Ltd. Tokyo basic research house (56) reference Patent flat 4-187786 (JP, A) Patent Rights 3-259932 (JP, A) Patent Rights 3-182758 (JP, A) Patent Rights 5-13323 (JP, A) JP Akira 56-99623 (JP, A) JP Akira 61 -219026 (JP, a) (58 ) investigated the field (Int.Cl. 7, DB name) C08J 7/00 - 7/18

Claims (21)

    (57)【特許請求の範囲】 (57) [the claims]
  1. 【請求項1】パターンにそって液晶配向膜に配向された液晶のプレチルト角を選択的に制御する方法であって、 感光性化学物質の液晶配向膜を用意するステップと、 前記感光性化学物質の液晶配向膜の表面を、200〜3 1. A along the pattern A method for selectively controlling the pretilt angle of the liquid crystal alignment in the liquid crystal alignment film, comprising the steps of: providing a liquid crystal alignment film of the photosensitive chemicals, the photosensitive chemicals the surface of the liquid crystal alignment film of, 200-3
    00nmの範囲で略単一波長の線スペクトルを有する光で、パターン状に照射するステップと、 を含み、前記照射する光の露光量を制御することで、前記プレチルト角が選択的に制御されることを特徴とする方法。 In the range of 00nm with light having a line spectrum of substantially a single wavelength, comprises the steps of irradiating in a pattern, by controlling the exposure amount of the illumination light, the pretilt angle is selectively controlled wherein the.
  2. 【請求項2】パターンにそって液晶配向膜に配向された液晶のプレチルト角を選択的に制御する方法であって、 感光性化学物質の液晶配向膜を用意するステップと、 前記感光性化学物質の液晶配向膜の表面を、300nm Wherein along the pattern A method for selectively controlling the pretilt angle of the liquid crystal alignment in the liquid crystal alignment film, comprising the steps of: providing a liquid crystal alignment film of the photosensitive chemicals, the photosensitive chemicals the surface of the liquid crystal alignment film, 300nm
    以上の波長の光で、パターン状に照射するステップと、 それによって励起した前記感光性化学物質が、活性酸素を発生させる反応を選択的に生じさせるステップと、 を含み、前記活性酸素が前記プレチルト角を変化させる反応を生じることを特徴とする方法。 In light of the above wavelength, the step of irradiating in a pattern, the photosensitive chemicals by it excited, comprising the steps of: causing selectively cause reactions to generate active oxygen, wherein the active oxygen is the pretilt wherein the resulting reaction that changes the corner.
  3. 【請求項3】パターンにそって液晶配向膜に配向された液晶のプレチルト角を選択的に制御する方法であって、 感光性化学物質の液晶配向膜を、所望の官能基を含む雰囲気中に置くステップと、 前記感光性化学物質の液晶配向膜の表面を、紫外線光で、パターン状に照射するステップと、 それによって生じた前記感光性化学物質のラジカルの位置に、前記官能基が導入されるステップとを含み、前記導入された官能基が前記プレチルト角を変化させることを特徴とする方法。 3. A along the pattern A method for selectively controlling the pretilt angle of the liquid crystal alignment in the liquid crystal alignment film, a liquid crystal alignment film of the photosensitive chemicals, in an atmosphere containing the desired functional groups and placing the surface of the liquid crystal alignment film of the photosensitive chemicals, ultraviolet light, and the step of irradiating in a pattern, the position of the radical of the photosensitive chemicals produced by it, the functional group is introduced that comprises the steps, wherein said introduced functional group is characterized by changing the pretilt angle.
  4. 【請求項4】前記液晶配向膜がポリイミド系膜である請求項1ないし3いずれか1つに記載の方法。 4. The method according to 3 any one to the liquid crystal alignment film claims 1 a polyimide film.
  5. 【請求項5】前記官能基は、酸素、アルキル基、水酸基、及びベンジル基からなる群から選択される、請求項3に記載の方法。 Wherein said functional groups are oxygen, alkyl groups, is selected from the group consisting of hydroxyl group, and benzyl group, The method of claim 3.
  6. 【請求項6】前記光は、レーザまたは低圧水銀灯から発せられる、請求項1ないし3のいずれか1つに記載の方法。 Wherein said light is emitted from a laser or a low pressure mercury lamp, the method according to any one of claims 1 to 3.
  7. 【請求項7】感光性化学物質の膜の表面の特性を利用するために選択的に制御する改質方法であって、 感光性化学物質の膜を用意するステップと、 前記感光性化学物質に吸収されてその分子内でπ−π* 7. A modified method for selectively controlling in order to utilize the properties of the surface of the film of photosensitive chemicals, comprising: providing a film of photosensitive chemicals on the photosensitive chemicals in absorbed by the molecule π-π *
    遷移が生じるような波長の光で、前記感光性化学物質の膜の表面を、パターン状に照射するステップとを含み、 In light of a wavelength that transition occurs, the surface of the membrane of the photosensitive chemicals, and a step of irradiating in a pattern,
    前記照射によって、前記感光性化学物質の膜の表面が酸化されて、前記表面の特性を変化させることを特徴とする方法。 By the irradiation method of the surface of the membrane of the photosensitive chemicals are oxidized, characterized in that alter the properties of the surface.
  8. 【請求項8】前記酸化は、前記照射された感光性物質がラジカルを生成し、前記ラジカルの位置が酸化されることを特徴とする、請求項7に記載の方法。 Wherein said oxide, the irradiated photosensitive material to generate a radical, the position of the radical characterized in that it is oxidized, The method of claim 7.
  9. 【請求項9】前記酸化は、前記感光性物質に、酸素または所望の官能基が導入されることを特徴とする、請求項7に記載の方法。 Wherein said oxide, said photosensitive material, characterized in that oxygen or desired functional groups are introduced, the method of claim 7.
  10. 【請求項10】前記酸化は、前記照射されて励起した感光性化学物質が、活性酸素を発生する反応を選択的に生じることを特徴とする、請求項7に記載の方法。 Wherein said oxidation is the is irradiated excited photosensitive chemicals, and wherein the reaction to generate an active oxygen selectively occurs, the method according to claim 7.
  11. 【請求項11】前記酸化は、前記活性酸素が、前記感光性化学物質と反応することを特徴とする、請求項10に記載の方法。 Wherein said oxidation is the active oxygen, characterized in that it reacts with the photosensitive chemicals The method of claim 10.
  12. 【請求項12】前記感光性化学物質の膜は、液晶配向膜であり、前記表面の特性を制御することで、前記膜の表面に配向される液晶のプレチルト角が制御される、請求項7に記載の方法。 12. The membrane of the photosensitive chemicals is a liquid crystal alignment layer, wherein by controlling the characteristics of the surface, the pretilt angle of the liquid crystal is oriented to the surface of the film is controlled, according to claim 7 the method according to.
  13. 【請求項13】前記光は、略単一波長の線スペクトルを有する、請求項7に記載の方法。 Wherein said light has a line spectrum of substantially a single wavelength, The method of claim 7.
  14. 【請求項14】前記光の露光量を制御することで、前記が酸化が制御されることを特徴とする、請求項13に記載の方法。 14. By controlling the exposure amount of the light, said characterized in that the oxidation is controlled method of claim 13.
  15. 【請求項15】感光性化学物質の膜の表面の特性を利用するために選択的に制御する改質方法であって、 感光性化学物質の膜を用意するステップと、 前記感光性化学物質の膜の表面を、200〜300nm 15. A reforming method for selectively controlling in order to utilize the properties of the surface of the film of photosensitive chemicals, comprising: providing a film of photosensitive chemicals, of the photosensitive chemicals the surface of the membrane, 200~300nm
    の範囲で略単一波長の線スペクトルを有する光で、パターン状に照射するステップとを含み、それによって、前記感光性化学物質の膜の表面が酸化されて、前記表面の特性を変化させること、及び、前記光の露光量を制御することで、前記表面の酸化が制御されることを特徴とする方法。 With light having a line spectrum of substantially a single wavelength in the range of, and a step of irradiating the patterned, whereby the surface of the film of the photosensitive chemicals by oxidation, changing the characteristics of the surface and, by controlling the exposure amount of the light, wherein the oxidation of the surface is controlled.
  16. 【請求項16】前記光が、レーザまたは低圧水銀灯から発せられることを特徴とする、請求項15に記載の方法。 16. The light, characterized in that emanating from a laser or a low pressure mercury lamp, the method according to claim 15.
  17. 【請求項17】感光性化学物質の膜の表面の特性を利用するために選択的に制御する改質方法であって、 感光性化学物質の膜を用意するステップと、 前記感光性化学物質の膜の表面を、300nm以上の波長を有する光で、パターン状に照射するステップと、 それによって励起した前記感光性化学物質が、活性酸素を発生させる反応を選択的に生じさせるステップと、 を含み、前記活性酸素が前記感光性化学物質と反応して、前記表面の特性を変化させることを特徴とする方法。 17. A reforming method for selectively controlling in order to utilize the properties of the surface of the film of photosensitive chemicals, comprising: providing a film of photosensitive chemicals, of the photosensitive chemicals the surface of the film, with light having a wavelength longer than 300 nm, comprising the steps of: irradiating a pattern, the photosensitive chemicals by it excited the steps of causing selectively cause reactions to generate active oxygen, the , wherein said active oxygen reacts with the photosensitive chemicals, and wherein the changing the properties of the surface.
  18. 【請求項18】感光性化学物質の膜の表面の特性を利用するために選択的に制御する改質方法であって、 感光性化学物質の膜を、所望の官能基を含む雰囲気中に置くステップと、 前記感光性化学物質の膜の表面を、紫外線光でパターン状に照射するステップと、 それによって生じた前記感光性化学物質のラジカルの位置に、前記官能基が導入されるステップとを含む方法。 18. A reforming method for selectively controlling in order to utilize the properties of the surface of the film of photosensitive chemicals, a film of photosensitive chemicals and placed in an atmosphere containing the desired functional groups a step, the surface of the membrane of the photosensitive chemicals, comprising the steps of irradiating a pattern with ultraviolet light, the position of the radical of the photosensitive chemicals caused by it, and a step in which the functional groups are introduced the method comprising.
  19. 【請求項19】前記官能基は、酸素、アルキル基、水酸基、及びベンジル基からなる群から選択される、請求項18に記載の方法。 19. The functional group, oxygen, alkyl groups, is selected from the group consisting of hydroxyl group, and benzyl group, The method of claim 18.
  20. 【請求項20】第1のドメインと第2のドメインとを含むマルチドメイン液晶配向膜であって、 前記第1のドメインと前記第2のドメインは、単一膜上に形成されており、 前記第1のドメインは、光化学反応によってその表面に第1の量だけ酸素が付与されて、第1のプレチルト角を有し、 前記第2のドメインは、第1のプレチルト角とは異なる第2のプレチルト角を有する、液晶配向膜。 20. A multi-domain liquid crystal alignment film comprising a first domain and a second domain, wherein the first domain second domain is formed on a single film, the the first domain on its surface by a photochemical reaction first only oxygen is applied amount, having a first pre-tilt angle, said second domain is different from the second and the first pretilt angle having a pre-tilt angle, the liquid crystal alignment film.
  21. 【請求項21】少なくとも2つの表面領域を含む膜において、 前記膜は感光性化学物質を含み、 前記第1の表面領域は、第1の露光量で紫外線光を照射されて、前記感光性化学物質の表面が酸化されて、第1 21. A film comprising at least two surface regions, wherein the film comprises a photosensitive chemicals, wherein the first surface region, the ultraviolet light is irradiated by the first exposure, the photosensitive chemical surface of a material is oxidized, the first
    の極性が付与され、 前記第2の表面領域は、第1の極性とは異なる第2の極性を有することを特徴とする膜。 The polarity of the grant, said second surface region, film and having a second polarity different from the first polarity.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5689322A (en) * 1993-07-30 1997-11-18 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device having regions with different twist angles
TWI319505B (en) * 2006-05-12 2010-01-11 Taiwan Tft Lcd Ass A liquid crystal display device, method of manufacturing the same

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4685976A (en) * 1985-04-10 1987-08-11 Eaton Corporation Multi-layer semiconductor processing with scavenging between layers by excimer laser
US4631199A (en) * 1985-07-22 1986-12-23 Hughes Aircraft Company Photochemical vapor deposition process for depositing oxide layers
US5308651A (en) * 1986-12-25 1994-05-03 Kawasaki Steel Corp. Photochemical vapor deposition process
US5153023A (en) * 1990-12-03 1992-10-06 Xerox Corporation Process for catalysis of electroless metal plating on plastic
DE69333000D1 (en) * 1992-06-01 2003-06-26 Lg Philips Lcd Co Production process of a liquid crystal display
TW260806B (en) * 1993-11-26 1995-10-21 Ushio Electric Inc
DE4440386A1 (en) * 1994-11-11 1996-05-15 Pacesetter Ab Electrodes for medical applications
EP0727925A1 (en) * 1995-02-14 1996-08-21 Lpkf Cad/Cam Systeme Gmbh Process for structured metallizing of the surface of substrates

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