JP3080874B2 - Floor assembly structure of the clean room - Google Patents

Floor assembly structure of the clean room

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昇 浜
喜久夫 石田
照明 青木
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松下電子工業株式会社
株式会社大林組
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【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、空気を流通させるクリーンルームの床組構造に関する。 The present invention relates to relates to floor assembly structure of the clean room for circulating air.

【0002】 [0002]

【従来の技術】精密機械やIC等の生産工場は、埃等の微細な異物を排除したクリーンルームとして構成される。 BACKGROUND OF THE INVENTION precision machinery and IC and the like of the production plant is configured as a clean room which eliminated the fine foreign matter such as dust. このクリーンルームは、天井に設けたフィルタ付きのファンから無塵空気を室内に供給しつつ、前記床面から室内の空気を排出することにより、室内が無塵状態に維持されるようになっている。 The clean room, while supplying the fan with filter provided on the ceiling of the dust-free air into the room, by discharging the room air from the floor surface, so that the chamber is maintained in a dust-free state .

【0003】ところで、前記クリーンルームの床構造としては、図4に示すワッフルスラブ方式と、図5に示す根太受梁方式とが知られている。 [0003] The floor structure of the clean room, and waffles slab method shown in FIG. 4, are known and joists receiving beam method shown in FIG. 前者のワッフルスラブ方式では、RC造等によって格子状のスラブ1を構築し、この格子状スラブ1に形成されるグレーチングサイズの開口部1aの上側にグレーチング2を敷設するようになっている。 In the former waffle slab type, building a lattice-like slab 1 by RC structure or the like, and laid grating 2 on the upper side of the opening 1a of the grating size formed in the lattice shape slab 1. そして、前記グレーチング2は正方形状をしており、これに伴って前記開口部1aもこのグレーチング2より僅かに小さい寸法の正方形状に形成される。 Then, the grating 2 has a square shape, and the opening 1a in accordance with this are also formed in a square shape slightly smaller than the grating 2.

【0004】一方、後者の根太受梁方式では、RC造, [0004] On the other hand, in the latter of the joists receiving beam method, RC concrete,
S造またはSRC造によって平行に根太受梁3を構築し、これら根太受梁3間にこれらと直交する方向に掛け渡して複数の根太4を配置すると共に、これら根太4の上側にグレーチング2を敷設するようになっている。 Building a parallel joist receiving beam 3 by S granulation or SRC Concrete, together spanned in a direction perpendicular to these between these joists receiving beam 3 arranging a plurality of joists 4, the grating 2 on the upper side of the joist 4 It is adapted to laying. そして、前記根太受梁3の配置間隔はグレーチングサイズの整数倍に設定され、かつ、前記根太4の配置間隔はグレーチングサイズに設定される。 The arrangement interval of the joists receiving beam 3 is set to an integer multiple of the grating size, and arrangement intervals of the joists 4 is set to grating size.

【0005】 [0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる従来のクリーンルームの床組構造にあっては、図4に示したワッフルスラブ方式では、空気を排気するための開口部1aがグレーチング2一枚一枚の寸法に規制されて、床面積全体に対する開口部1aの面積の総和が小さく、排気効率があまり良くないという問題があった。 [SUMMARY OF THE INVENTION However, according In the floor assembly structure of the conventional clean room, a waffle slab system shown in FIG. 4, 2 one by one opening portion 1a grating for exhausting air is restricted to the dimensions, the total area of ​​the opening portion 1a with respect to the entire floor area is small, the exhaust efficiency there is a problem that not so good. また、前記開口部1aの開口面積が小さいことと、1枚のグレーチング2に対応させて各開口部1aが分断されていることとによって、クリーンルーム内に設置する生産設備に対する配管等の床下から床上への取り込み位置が大きく規制されていた。 Moreover, a possible opening area of ​​the opening 1a is smaller, by the fact that each opening portion 1a to correspond to one of the grating 2 is partitioned, the floor from underfloor piping for production facilities to be installed in a clean room capture position to have been greatly restricted. このことによって、生産ラインのレイアウト設計の自由度が大きく制限を受けてしまうという問題があった。 Thereby, there is a problem that the degree of freedom in layout design of production lines will undergo significantly limited.

【0006】また、クリーンルーム内では振動を嫌うため、いずれかの箇所で発生した振動が室内全体に伝播するのを防止すべく、グレーチング2は互いを個々に縁切りした状態で配設するようにしている。 Further, since the dislike vibration in a clean room, in order to prevent the vibration generated by any portion propagates to entire room, grating 2 so as to disposed in a state of edge cutting individually each other there. この点グレーチング2を一枚一枚載置する構成のワッフルスラブ方式は都合がよい。 This point grating 2 waffle slab method of construction to be placed one by one is convenient. ところが、図5に示した根太受梁方式では、一方向に平行に流して構築されている根太受梁3間に掛け渡して根太4を配置しているため、各グレーチング2は個々独立に配設されていながらも、同一の根太4 However, in the joist receiving beam method shown in FIG. 5, since the placing joists 4 spanned between joists receiving beam 3 which is constructed parallel to flow in one direction, each grating 2 distribution individually independently while has been set, the same joists 4
に複数載置されていることから、いずれかのグレーチング2で発生した振動は、根太4を介して隣接するグレーチング2に伝播されることとなり、排気効率を確保すべく開口部面積を大きくとれる点では有利であるものの、 More since placed is, vibrations generated in one of grating 2, will be propagated to the grating 2 adjacent through the joists 4, in that the opening area can be made large to ensure the exhaust efficiency although the advantageous,
例えば作業員が通行した時の微振動や、ある生産機器で発生される微振動等がこれら根太4を介して伝播し易く、これら微振動が他の生産機器に伝播された場合には精密加工に好ましくない影響を与えてしまう。 For example micro-vibration or when the operator has traffic, easier micro vibration generated in a certain production equipment is propagated through these joists 4, precision machining if these micro-vibration is propagated to other production equipment It would adversely affect the. また、上述したように根太受梁3が一方向に配置されるため構造的に異方性となり、これら根太受梁3とこの根太受梁3 Further, structurally becomes anisotropic for joists receiving beam 3 is arranged in one direction as described above, these joists receiving beam 3 and the joist receiving beam 3
を支持する図外の大梁の梁成を均等化することが難しくなり、グレーチング2下の床下高さが大きくなりやすいという各種課題があった。 The RyoNaru girders of an unillustrated supporting it difficult to equalize the underfloor height of the lower grating 2 had various problems that tends greater.

【0007】そこで、本発明はかかる従来の課題に鑑みて、床面の開口面積を大きく設定して、室内空気の排出効率を増大すると共に、微振動の伝播を効果的に遮断し、かつ、梁成の均等化を図ることができるクリーンルームの床組構造を提供することを目的とする。 [0007] The present invention is in view of the conventional problems relating, the opening area of ​​the floor surface large set, with increasing discharge efficiency of room air, and blocks the propagation of micro-vibration effectively, and, and to provide a floor assembly structure of the clean room in which it is possible to equalize the RyoNaru.

【0008】 [0008]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するために本発明は、開口部の上面にグレーチングを敷設して床面を形成し、室内の空気をこのグレーチングを介して床下に排出するようにしたクリーンルームにおいて、柱間を連結する大梁と、この大梁間に架設される小梁とで構成される格子の各辺の寸法を、グレーチングサイズの2以上の整数倍に設定し、これら格子によって区画される各開口部の上面にグレーチングサイズのピッチで平行に掛け渡して根太を配置すると共に、かつこれら根太の配置方向を格子単位で適宜に異ならせ、これら根太の上側にグレーチングを敷設して床面を構成する。 To accomplish the SUMMARY OF THE INVENTION The above object is, so that laying the grating on the upper surface of the opening to form a floor, for discharging the indoor air to the underfloor through the grating in clean room was a girder for connecting the posts, the dimension of each side of the lattice composed of the joists to be spanned the large Harima, set to 2 or more integer multiples of the grating size, these grid with placing joists passing parallel multiplied by the pitch of the grating size on the upper surface of each opening is defined, and the orientation of these joists were appropriately varied in lattice units, laying the grating on the upper side of the joists constitute the floor surface.

【0009】また、かかる構成において前記大梁と前記小梁とで構成される格子の縦横の各辺の寸法を等しくして、これら大梁および小梁で囲まれる各開口部を正方形状に形成することが望ましい。 [0009] The at equal dimensions of each side of the vertical and horizontal constituted lattice by the girders and the joists in such a configuration, to form the openings surrounded by these girders and joists in a square shape that It is desirable

【0010】さらに、前記大梁が連結されるそれぞれの柱位置が、グレーチングサイズの整数倍の寸法の正方形状の各頂点となるように設定することが望ましい。 Furthermore, the respective column positions where the girders are connected, it is desirable to set such that the square shape of each vertex of the integral multiple of the dimensions of the grating size.

【0011】以上の構成により本発明のクリーンルームの床組構造にあっては、大梁と小梁とを格子状に組合わせ、これら格子で区画した開口部の上面に掛け渡した根太の上側にグレーチングを敷設したので、このグレーチングを通して室内の空気を床下に排出できる。 [0011] In the floor assembly structure of the clean room of the present invention the above configuration, the girders and joists combined in a lattice grating above the joists passed over the upper surface of the opening which is defined by these lattice Having laid, it can be discharged indoor air to the underfloor through the grating. このとき、前記大梁と小梁が格子状となっていることにより、 At this time, by the girders and joists are a lattice shape,
等方性の構造とすることができ、床面全体で梁成の均等化を図ることができる。 Can be isotropic structure, it is possible to equalize the RyoNaru across the floor. また、前記格子の各辺の寸法をグレーチングサイズの2以上の整数倍に設定し、この格子状の開口部に根太を掛け渡してグレーチングを敷設するようにしたので、床面全体の開口面積を大きく確保することができ、室内の空気排出効率を向上することができると共に、それぞれの開口部の面積を大きく形成できるため、配管等を床下から床上へ取り込む際の位置の自由度が増し、延いては、この配管が接続される生産ラインのレイアウト設計の自由度が増大する。 Also, the size of each side of the grid is set to 2 or more integer multiples of the grating size. Thus laying grating spanned the joists to the opening of the lattice-shaped, the opening area of ​​the entire floor surface large can be secured, it is possible to improve the air discharge efficiency of the chamber, for the area of ​​the respective openings can be increased formation, such freedom of position when taking the floor to floor increases the piping, extending information, the degree of freedom in layout design of production line the pipe is connected is increased. 更に、前記根太は格子を単位として適宜にそれらの配置方向が異なるように設定されるので、根太の方向が互いに異なる格子相互間では、隣接する一方の格子部分で発生した振動が、根太を介して他方の格子部分に直接伝播されるのを遮断することができ、たとえば、作業員が通行するエリアと微振動でさえも嫌う生産機器の設備エリアとを、根太の配置方向を異ならせることで分けることができ、微振動等が伝播されるのを防止若しくは大幅に遮断することができる。 Furthermore, since the joists as appropriate to their orientation grid units are set differently, in the direction between the mutually different lattice mutually joists, vibrations generated in one of the grid portion adjacent, via the joists Te other can be blocked from being propagated directly to the grid portion, for example, the equipment area of ​​production equipment dislike even area and fine vibrations workers to traffic, by varying the orientation of the joist divide it possible, slight vibration or the like can be prevented or significantly blocked from being propagated.

【0012】また、前記大梁と前記小梁とで構成される格子の縦横の各辺の寸法を等しくして、大梁および小梁で囲まれるそれぞれの開口部を正方形状に形成することにより、梁成の更なる均等化を達成することができる。 [0012] The at equal dimensions of each side of the vertical and horizontal constituted lattice by the girders and the joists, by forming the respective opening surrounded by girders and joists in a square shape, the beam it is possible to achieve a further equalization of the deposition.

【0013】更に、前記大梁が連結されるそれぞれの柱位置が、グレーチングサイズの整数倍の寸法の正方形状の各頂点となるように設定することにより、各柱によって支持される大梁が正方形に組まれることとなって、構造強度をさらに等方化して、梁成の均等化をさらに向上することができる。 Furthermore, the respective pillar position where girders are connected is, by setting to be an integral multiple of the square of each vertex of the dimensions of the grating size, girders assembled in a square, which is supported by the posts become be, further isotropic the structural strength, it is possible to further improve the equalization of RyoNaru.

【0014】 [0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を添付図面を参照して詳細に説明する。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings will be described in detail. 図1,図2,図3は本発明のクリーンルームの床組構造の一実施例を示し、図1は4本の柱で囲まれた床組の要部平面図、図2は図1中A 1, 2, 3 show an embodiment of a floor assembly structure of the clean room of the present invention, FIG. 1 the floor set of fragmentary plan view surrounded by four pillars, 2 in Figure 1 A
−A線からの断面図、図3は床面に敷設されるグレーチングの平面図である。 Sectional view from -A line, FIG. 3 is a plan view of a grating which is laid on the floor.

【0015】本実施形態は基本的には、開口部24の上面にグレーチング18を敷設して床面を形成し、室内の空気をこのグレーチング18を介して床下に排出するようにしたクリーンルームにおいて、柱10間を連結する大梁12と、この大梁12間に架設される小梁14とで構成される格子の各辺の寸法を、グレーチングサイズa [0015] The present embodiment is basically laying the upper surface grating 18 of the opening 24 to form a floor, in a clean room in which the indoor air to be discharged to the underfloor through the grating 18, a girder 12 for connecting the pillars 10, the dimension of each side of the lattice composed of the joists 14 are installed between the girders 12, grating size a
の2以上の整数倍に設定し、これら格子によって区画される各開口部24の上面にグレーチングサイズaのピッチで平行に掛け渡して根太16を配置すると共に、かつこれら根太16の配置方向を格子単位で適宜に異ならせ、これら根太16の上側にグレーチング18を敷設して床面を構成するようになっている。 2 or more is set to an integral multiple, passing parallel over with placing joists 16 at a pitch of upper surface grating size a of each opening 24 which is defined by these gratings, and the orientation of these joists 16 grating appropriately varied in the unit, so as to constitute a floor laying upside grating 18 of the joist 16. そして、当該構成において、大梁12と小梁14とで構成される格子の縦横の各辺の寸法を等しくして、これら大梁12および小梁14で囲まれる各開口部24を正方形状に形成するとともに、さらに大梁12が連結されるそれぞれの柱10 Then, in the configuration, at equal dimensions of each side of the vertical and horizontal constituted lattice by the girder 12 and the beams 14 to form the openings 24 surrounded by these girders 12 and the beams 14 in a square shape together, each pillar 10, further girders 12 are connected
位置が、グレーチングサイズaの整数倍の寸法の正方形状の各頂点となるように設定するようになっている。 Position is adapted to set to a square shape of each vertex of the integral multiple of the dimensions of the grating size a.

【0016】即ち、本実施形態のクリーンルームの床組構造は図1,図2に示すように、柱10間を連結する大梁12の中間部分に小梁14が架設されて床下部分が構成され、そして、これら大梁12,小梁14の上側に根太16を掛け渡し、さらにこの根太16の上側に、図3 [0016] That is, the floor assembly structure of the clean room of the present embodiment 1, as shown in FIG. 2, are the beams 14 bridged intermediate portion of the girder 12 connecting the posts 10 underfloor portion is configured, and these girders 12, passes over the joists 16 to the upper side of the joists 14, further on the upper side of the joists 16, FIG. 3
に示す網状または多孔状として形成される正方形のグレーチング18を敷設することにより、クリーンルームの床面20が構築される。 By laying the grating 18 square formed as reticulated or porous shown in, the floor 20 of the clean room is constructed. 前記柱10および大梁12,小梁14はRC造またはSRC造として構築される。 It said post 10 and girders 12, the beams 14 are constructed as RC structure or SRC Concrete.

【0017】前記大梁12と小梁14とは図1に示したように格子状に組合わされ、この格子を構成する各辺の寸法はグレーチングサイズa(このグレーチングサイズaは、前記グレーチング18の一辺の寸法を表すものとする。)の2以上の整数倍に設定され、かつ、それぞれの大梁12と小梁14の上側には、I型鋼等でなる前記根太16を取付けるためのインサート22がグレーチングサイズaと等しいピッチで植設される。 [0017] The the girders 12 and the beams 14 are combined in a grid pattern as shown in FIG. 1, the dimension of each side constituting the grid grating size a (the grating size a is one side of the grating 18 denote the dimension.) is set to 2 or more integer multiples of, and, on the upper side of each of the girder 12 and the beams 14, the insert 22 for attaching the joists 16 made of type I steel or the like grating is implanted in size a equal pitch. 本実施形態では前記大梁12と小梁14とで構成される格子の縦横の各辺の寸法を等しくして、大梁12および小梁14で囲まれるそれぞれの開口部24を正方形状に形成してある。 In this embodiment with equal dimensions of each side of the vertical and horizontal constituted grating between the girders 12 and the beams 14, to form a respective opening 24 surrounded by the girder 12 and the beams 14 in a square shape is there.

【0018】そして、前記大梁12および小梁14の上側には、前記インサート22を介して根太16をそれぞれの前記開口部24において平行に取付けてある。 [0018] Then, the above the girder 12 and the beams 14, are mounted in parallel in each of the openings 24 a joist 16 through the insert 22. このとき、前記インサート22はグレーチングサイズaのピッチで設けられているため、このインサート22に取付けられたそれぞれの根太16はグレーチングサイズaの間隔をもって配置される。 At this time, the insert 22 because it has provided at a pitch of grating sizes a, each joist 16 attached to this insert 22 is disposed with a spacing of grating size a.

【0019】ここで、図1に示したように4本の柱10 [0019] Here, four pillars 10, as shown in FIG. 1
で囲まれた中央部分に配置される開口部24aを各種機器が設置される機器領域Xとして設定すると共に、この機器領域Xの周縁部に配置される開口部24bを作業通路が設けられる通路領域Yとして設定する。 Central opening 24a which is disposed in a portion and sets as the device region X in which various devices are installed, the passage area of ​​the opening 24b is a working channel is provided which is disposed on the periphery of the device region X surrounded by set as Y. そして、前記機器領域Xと前記通路領域Yとに設けられる前記根太16の配置方向を直交させて、異ならせてある。 Then, the by orthogonal arrangement direction of the joists 16 provided in the device region X and the passage region Y, it is made different. このようにして大梁12および小梁14の上側に取付けられた根太16の上側に、前記グレーチング18を隙間なく敷設することにより前記床面20が構築される。 In this way the upper girder 12 and joists 16 attached to the upper side of the joists 14, the floor 20 is constructed by laying the grating 18 without a gap.

【0020】前記グレーチング18を敷設した床下部分は、図外のダクトを介してクリーンルームの天井に設けたフィルタ付きのファンに連通されており、このファンからクリーンルーム内に供給された除塵された空気は、 The underfloor moiety laying the grating 18 is communicated with the fan with filter provided on the ceiling of the clean room via a non-illustrated duct, the air dust supplied into the clean room from the fan ,
床面のグレーチング18を通して格子状に組合わされた大梁12と小梁14との開口部24から前記ファンに還流され、クリーンルーム内が常時無塵化されるようになっている。 Is refluxed with girder 12 which is combined in a grid through grating 18 of the floor surface from the opening 24 of the joists 14 to the fan, the clean room is adapted to be always free Chilika.

【0021】以上の構成により本実施形態のクリーンルームの床組構造にあっては、大梁12と小梁14とを格子状に組合わせ、これら格子で区画した開口部24の上面に掛け渡した根太16の上側にグレーチング18を敷設するようになっており、床下部分を構成する前記大梁12および小梁14が格子状に組合わされているため、 [0021] In the floor assembly structure of the clean room of the present embodiment With the above structure, joists and the girder 12 and the beams 14 in combination in a lattice shape, it looped over the upper surface of the opening 24 which is partitioned by these grid 16 are adapted to the upper side in laying grating 18, for the configuring the underfloor portion girders 12 and the beams 14 are combined in a grid,
構造強度に等方性をもたせることができて、床面全体で梁成の均等化を図ることができる。 To be able to have an isotropic structure strength, it can be equalized in RyoNaru across the floor.

【0022】また、前記格子の各辺の寸法をグレーチングサイズaの2以上の整数倍に設定し、この格子状の開口部24に根太16を掛け渡してグレーチング18を敷設するようにしたので、床面20全体の開口面積を大きく確保することができる。 Further, the size of each side of the grid is set to 2 or more integer multiples of the grating size a, since so as to lay the grating 18 passes over the joists 16 to the grid-like openings 24, it is possible to ensure a large opening area of ​​the entire floor surface 20. 従って、このように開口面積が大きくなることにより、室内の空気排出効率を向上することができると共に、それぞれの開口部24の面積が複数枚のグレーチング18を連続させた大きさとなるため、配管等を床下から床上へ取り込む際の位置の自由度が増し、延いては、この配管が接続される生産ラインをレイアウトする際に、その設計自由度が増大される。 Therefore, by this way the opening area increases, the it is possible to improve the air discharge efficiency of the chamber, the size of the area of ​​the respective openings 24 was continuously a plurality of grating 18, piping, etc. the degree of freedom position when taking the floor to floor increases, and by extension, when laying out the production line the pipe is connected, the design flexibility is increased.

【0023】更に、前記根太16は格子を単位として適宜にそれらの配置方向が異なるように設定される、具体的には、床面の作業通路が設けられる通路領域Yと、各種機器が設置される機器領域Xとで配置方向を直交させたので、このように根太16が互いに直交する格子のエリア相互間では、根太16を介して直接に微振動が伝播するのを遮断することができる。 Furthermore, the joists 16 are appropriately their orientation is set to be different from the lattice as a unit, specifically, a passage area Y where the working channel of the floor surface are provided, various devices are installed since was perpendicular arrangement direction and that device region X, in this way, inter-area mutual lattice joists 16 are orthogonal to each other, it is possible to finely vibrate directly through the joists 16 to block the propagation. 従って、たとえば、作業員が通行するエリアと微振動でさえも嫌う生産機器の設備エリアとを、根太16の配置方向を異ならせることで分けることができ、微振動等が伝播されるのを防止若しくは大幅に遮断することができる。 Thus, for example, prevent the equipment area of ​​production equipment dislike even area and fine vibrations workers to traffic, can be divided by varying the orientation of the joists 16, from micro vibration is propagated or it can be significantly interrupted.

【0024】更にまた、本実施形態では前記大梁12と前記小梁14とで構成される格子の縦横の各辺の寸法を等しくして、これら大梁12および小梁14で囲まれるそれぞれの開口部24を正方形状に形成したので、梁成の更なる均等化を達成することができる。 [0024] Furthermore, in the present embodiment with equal dimensions of each side of the vertical and horizontal constituted grating between the girders 12 and the joists 14, each of the openings surrounded by these girders 12 and the beams 14 since the formation of the 24 square shape, it is possible to achieve a further equalization of RyoNaru.

【0025】ところで、図1に示した本実施形態では前記大梁12が接続される柱10は、隣接するもの同士が横方向に開口部24の四個分の寸法だけ離れ、かつ、縦方向に2個分の寸法だけ離れて、それぞれの柱10が長方形の各頂点となるように配置されている場合を開示しているが、これに限ることなく、それぞれの柱10を正方形の各頂点となるように配置することが望ましく、このように正方形状に配置することにより、各柱10によって支持される大梁12を構造的・寸法的に等価なものとでき、これにより構造強度の等方化を確保して床面2 By the way, the pillar 10 of the girder 12 in the present embodiment shown in FIG. 1 are connected, spaced by the dimension of the four pieces of the adjacent ones openings 24 in the lateral direction and the longitudinal direction apart by a dimension of the two partial, but each column 10 discloses a case which is disposed to form vertices of a rectangle, not limited to this, and each vertex of each pillar 10 square it is desirable to arrange so that, by thus arranging a square shape, a girder 12 which is supported by the pillars 10 can structurally-dimensionally equivalents, thereby structural strength equal Kataka to ensure to the floor 2
0全体にわたる梁成の均等化を更に向上することができる。 0 equalization of throughout RyoNaru can be further improved.

【0026】 [0026]

【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項1に示すクリーンルームの床組構造にあっては、大梁と、この大梁間に架設される小梁とで構成される格子で区画した開口部の上面に掛け渡して根太を配置すると共に、これら根太の上側にグレーチングを敷設して床面を構成したので、格子状に組合わされた大梁と小梁とによって等方性の構造とすることができ、梁成を床面全体で均等化することができて、床下高さを低く押さえることができる。 In the floor assembly structure of the clean room shown in claim 1 of the present invention as described in the foregoing, the girders and, opening partitioned by the lattice composed of the joists to be spanned the large Harima It spanned the upper surface of the part with placing joists, so to constitute a floor laying the grating on the upper side of these joists, be structured isotropic by the girders and joists, which are combined in a grid it can be the RyoNaru able to equalize across the floor surface, it is possible to suppress the underfloor height low.

【0027】また、大梁と、この大梁間に架設される小梁とで構成される格子の各辺の寸法を、グレーチングサイズの2以上の整数倍に設定したので、格子で区画されたそれぞれの開口部を大きく取れ、延いては、床面全体の開口面積を大きく確保することができ、室内の空気排出効率を向上することができる。 Further, the girders, the dimension of each side of the lattice composed of the joists to be spanned the large Harima, since the set to two or more integral multiple of grating size, each of which is partitioned by the lattice Taking an opening large, by extension, it is possible to secure a large opening area of ​​the entire floor surface, it is possible to improve the air discharge efficiency of the chamber. さらに、それぞれの開口面積を大きく形成できることにより、配管等を床下から床上へ取り込む位置の自由度が増し、延いては、この配管が接続される生産ラインのレイアウト設計の自由度を増大することができる。 Furthermore, the ability to increase forming respective opening areas, increases the degree of freedom of the position to take to bed the piping underfloor, and by extension, to increase the degree of freedom in layout design of production line the pipe is connected it can.

【0028】更にまた、これら根太の配置方向を格子単位で適宜に異ならせるようにしたので、根太の方向が互いに異なる格子相互間では、互いに根太を介して直接に微振動が伝播するのを遮断することができる。 [0028] Furthermore, since the orientation of these joists were made different appropriately in grid units, in the direction between the mutually different lattice mutually joists, blocking the propagation of the micro-vibration directly through the joists to one another can do.

【0029】また、本発明の請求項2にあっては大梁と小梁とで構成される格子の縦横の各辺の寸法を等しくして、これら大梁および小梁で囲まれる各開口部を正方形状に形成したので、梁成の更なる均等化を達成することができる。 Further, in the second aspect of the present invention with equal dimensions of each side of the vertical and horizontal constituted grating between girders and joists, squares the openings surrounded by these girders and joists Having formed Jo, we can achieve a further equalization of RyoNaru.

【0030】更に、本発明の請求項3にあっては、大梁が連結されるそれぞれの柱位置が、グレーチングサイズの整数倍の寸法の正方形状の各頂点となるように設定したので、各柱によって支持される大梁が正方形状に組まれることとなって、構造強度をさらに等方化することができ、梁成の均等化を更に向上することができるという各種優れた効果を奏する。 Furthermore, in the third aspect of the present invention, each of the pillars position where girders are connected is, since the set to have a square shape of each vertex of the integral multiple of the dimensions of the grating size, each pillar girders supported is turned be assembled in a square shape by, can be further isotropic the structural strength, it exhibits various excellent effect can be further improved equalization of RyoNaru.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の一実施例を示す4本の柱で囲まれた床組の要部平面図である。 1 is a floor set of fragmentary plan view surrounded by four pillars showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1中A−A線からの断面図である。 2 is a cross-sectional view of the in Figure 1 A-A line.

【図3】本発明の一実施例の床面に敷設されるグレーチングの平面図である。 3 is a plan view of a grating which is laid on the floor of an embodiment of the present invention.

【図4】従来の床組構造の一実施例を示し、(a)は要部平面図,(b)は(a)のB−B線断面図である。 Figure 4 shows one embodiment of a conventional floor assembly structure, (a) shows the main part plan view, the (b) is a sectional view taken on line B-B of (a).

【図5】従来の床組構造の他の実施例を示し、(a)は要部平面図、(b)は(a)のC−C線断面図、(c) Figure 5 shows another embodiment of a conventional floor assembly structure, (a) shows the main part plan view, (b) sectional view taken along line C-C of (a), (c)
は(a)のD−D線断面図である。 Is sectional view taken along line D-D in (a).

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10 柱 12 大梁 14 小梁 16 根太 18 グレーチング 20 床面 24 開口部 X 機器領域 Y 通路領域 10 Column 12 girder 14 the beams 16 joists 18 grating 20 floor surface 24 opening X device region Y channel area

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石田 喜久夫 大阪府大阪市中央区北浜東4番33号 株 式会社大林組本店内 (56)参考文献 特開 昭64−62550(JP,A) 特開 昭62−288256(JP,A) 特開 昭60−192053(JP,A) 実開 平1−168746(JP,U) 実開 昭61−197428(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl. 7 ,DB名) F24F 7/06 F24F 13/08 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Kikuo Ishida, Chuo-ku, Osaka-shi Kitahamahigashi No. 4 No. 33 Co., Ltd. Obayashi in the head office (56) reference Patent Sho 64-62550 (JP, a) JP Akira 62-288256 (JP, a) JP Akira 60-192053 (JP, a) JitsuHiraku flat 1-168746 (JP, U) JitsuHiraku Akira 61-197428 (JP, U) (58) investigated the field (Int .Cl. 7, DB name) F24F 7/06 F24F 13/08

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】 (57) [the claims]
  1. 【請求項1】 開口部の上面にグレーチングを敷設して床面を形成し、室内の空気をこのグレーチングを介して床下に排出するようにしたクリーンルームにおいて、 柱間を連結する大梁と、この大梁間に架設される小梁とで構成される格子の各辺の寸法を、グレーチングサイズの2以上の整数倍に設定し、これら格子によって区画される各開口部の上面にグレーチングサイズのピッチで平行に掛け渡して根太を配置すると共に、かつこれら根太の配置方向を格子単位で適宜に異ならせ、これら根太の上側にグレーチングを敷設して床面を構成することを特徴とするクリーンルームの床組構造。 1. A laying the grating on the upper surface of the opening to form a floor, in a clean room which is adapted to discharge indoor air to the underfloor through the grating, and girders for connecting the posts, the girders the dimensions of each side of the lattice composed of the joists are installed between, is set to 2 or more integer multiples of the grating size, parallel at a pitch of grating sizes on the upper surface of each opening which is defined by these lattice the spanned with placing joists and suitably by varying the orientation of these joists grid units, floor assembly structure of the clean room, characterized in that laying the grating on the upper side of the joist constituting the floor surface .
  2. 【請求項2】 前記大梁と前記小梁とで構成される格子の縦横の各辺の寸法を等しくして、これら大梁および小梁で囲まれる各開口部を正方形状に形成することを特徴とする請求項1に記載のクリーンルームの床組構造。 2. With the same dimensions of each side of the vertical and horizontal constituted lattice by the girders and the joists, and characterized by forming each opening surrounded by these girders and joists in a square shape floor assembly structure of the clean room according to claim 1.
  3. 【請求項3】 前記大梁が連結されるそれぞれの柱位置が、グレーチングサイズの整数倍の寸法の正方形状の各頂点となるように設定したことを特徴とする請求項1または2に記載のクリーンルームの床組構造。 Wherein the respective pillar position where girders are connected is, a clean room according to claim 1 or 2, characterized in that set to be square of each vertex of the integral multiple of the dimensions of the grating size floor assembly structure of.
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