JP3075542B2 - Ｉｃ試験装置用恒温槽 - Google Patents
Ｉｃ試験装置用恒温槽Info
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- JP3075542B2 JP3075542B2 JP03224221A JP22422191A JP3075542B2 JP 3075542 B2 JP3075542 B2 JP 3075542B2 JP 03224221 A JP03224221 A JP 03224221A JP 22422191 A JP22422191 A JP 22422191A JP 3075542 B2 JP3075542 B2 JP 3075542B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- unit
- hot air
- outlet
- constant temperature
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、多数のＩＣ測定部に
おける温度を一様にするＩＣ試験装置用恒温槽に関す
る。
おける温度を一様にするＩＣ試験装置用恒温槽に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣについての評価或いはＩＣ受け入れ
検査は、多数のＩＣを恒温槽に収容して恒温状態におい
て一度に同時に実施される。この様な用途に供されるＩ
Ｃ試験装置用恒温槽の従来例を図１を参照して説明す
る。
検査は、多数のＩＣを恒温槽に収容して恒温状態におい
て一度に同時に実施される。この様な用途に供されるＩ
Ｃ試験装置用恒温槽の従来例を図１を参照して説明す
る。
【０００３】図１において、１はＩＣ試験装置用恒温槽
のケースである。ケース１は、図においてその右上方領
域にファン・ユニット２およびヒータ・ユニット３を収
容し、その下方領域に多数のＩＣを同時に測定する多数
のＩＣ測定部が構成される。４は熱風を案内するダクト
であり、その下端はケース１の右上方領域を形成するケ
ース下面に係合してこれらの間に熱風流通路が形成され
る。５はケース背面基板であり、この背面基板５にはコ
ンタクト・ユニット（レール・ユニット）６が取り付け
られる。
のケースである。ケース１は、図においてその右上方領
域にファン・ユニット２およびヒータ・ユニット３を収
容し、その下方領域に多数のＩＣを同時に測定する多数
のＩＣ測定部が構成される。４は熱風を案内するダクト
であり、その下端はケース１の右上方領域を形成するケ
ース下面に係合してこれらの間に熱風流通路が形成され
る。５はケース背面基板であり、この背面基板５にはコ
ンタクト・ユニット（レール・ユニット）６が取り付け
られる。
【０００４】コンタクト・ユニット６は図２に示される
が如きものである。コンタクト・ユニット６は上述した
通りケースの背面基板５に取り付けられ、測定されるべ
きＩＣ７をＩＣ測定部８に位置決め保持するためのもの
である。ＩＣ７は、共に上下方向に延伸するレール９お
よびルーフ１０とストッパ１１の３者により図示される
が如くに位置決めされるのであるが、その詳細について
は説明を省略する。なお、多数のＩＣ測定部８における
温度が一様であるか否かを判断するには測定部８におけ
る温度を測定する必要があることは言うまでもないこと
であるが、そのためには例えばＰｔセンサをＩＣ測定部
８に位置決め保持されたＩＣ７の近傍に配置する。
が如きものである。コンタクト・ユニット６は上述した
通りケースの背面基板５に取り付けられ、測定されるべ
きＩＣ７をＩＣ測定部８に位置決め保持するためのもの
である。ＩＣ７は、共に上下方向に延伸するレール９お
よびルーフ１０とストッパ１１の３者により図示される
が如くに位置決めされるのであるが、その詳細について
は説明を省略する。なお、多数のＩＣ測定部８における
温度が一様であるか否かを判断するには測定部８におけ
る温度を測定する必要があることは言うまでもないこと
であるが、そのためには例えばＰｔセンサをＩＣ測定部
８に位置決め保持されたＩＣ７の近傍に配置する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述されたＩＣ試験装
置用恒温槽の従来例において、ファン・ユニット２によ
り生ぜしめられた高速空気の流れはヒータ・ユニット３
に到達し、ここにおいて熱交換されながらダクト４によ
り案内されて図１の矢印により示されるが如くに流通す
る。即ち、加熱された熱風の流れはダクト４により偏向
されて上から下向きに吹き出され、流通、循環せしめら
れる。この従来例の場合、ＩＣ測定部８は合計３２箇所
構成されるのであるが、何分にもコンタクト・ユニット
６は図２に示されるが如く大変に複雑な形状構造を有す
るものであることから、３２箇所のＩＣ測定部８に加熱
された高速空気を一様に流通、循環せしめることは容易
なことではないのである。現実に、恒温槽内温度を一様
に１００℃としたい場合、恒温槽内上部を１００℃に保
持したものとすると、下部は９０℃程度にしかならな
い。実際は、ＩＣ測定部８すべてについて設定温度±３
℃程度の精度におさめたく、種々の対策を講じてきたた
のであるが、今の所この精度を実現することはできてい
ない。
置用恒温槽の従来例において、ファン・ユニット２によ
り生ぜしめられた高速空気の流れはヒータ・ユニット３
に到達し、ここにおいて熱交換されながらダクト４によ
り案内されて図１の矢印により示されるが如くに流通す
る。即ち、加熱された熱風の流れはダクト４により偏向
されて上から下向きに吹き出され、流通、循環せしめら
れる。この従来例の場合、ＩＣ測定部８は合計３２箇所
構成されるのであるが、何分にもコンタクト・ユニット
６は図２に示されるが如く大変に複雑な形状構造を有す
るものであることから、３２箇所のＩＣ測定部８に加熱
された高速空気を一様に流通、循環せしめることは容易
なことではないのである。現実に、恒温槽内温度を一様
に１００℃としたい場合、恒温槽内上部を１００℃に保
持したものとすると、下部は９０℃程度にしかならな
い。実際は、ＩＣ測定部８すべてについて設定温度±３
℃程度の精度におさめたく、種々の対策を講じてきたた
のであるが、今の所この精度を実現することはできてい
ない。
【０００６】この発明は、上述の通りの問題を解消しよ
うとするものである。
うとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】ケース１を具備し、ケー
ス１の上方領域にはファン・ユニット２およびヒータ・
ユニット３を収容し、その下方領域には多数のＩＣ測定
部８を構成するコンタクト・ユニット６を収容し、熱風
および冷風を案内するダクト４を具備するＩＣ試験装置
用恒温槽において、ダクト４とケース１とによりこれら
の間に熱風流通路を形成し、熱風流通路の下端はケース
下方領域下部において開口するものとした。
ス１の上方領域にはファン・ユニット２およびヒータ・
ユニット３を収容し、その下方領域には多数のＩＣ測定
部８を構成するコンタクト・ユニット６を収容し、熱風
および冷風を案内するダクト４を具備するＩＣ試験装置
用恒温槽において、ダクト４とケース１とによりこれら
の間に熱風流通路を形成し、熱風流通路の下端はケース
下方領域下部において開口するものとした。
【０００８】
【実施例】この発明の実施例を図３を参照して説明す
る。図３について、図１における参照数字と共通する参
照数字は互いに同一の部材を示すものとする。図３に示
されるこの発明のＩＣ試験装置用恒温槽は図１に示され
る従来のＩＣ試験装置用恒温槽におけるダクト４の先端
部にケース１底面近傍に達する垂直延長部４’を付加し
たものに相当する。この垂直延長部４’は、ダクト４の
先端部からケース１底面近傍に迄達する前面板１２と、
前面板１２の左右両端部において屈曲してケースの背面
基板５に達すると共に下端はケース１底面に達する左右
の側面板１３とにより構成される。結局、この垂直延長
部４’とケースの背面基板５との間にも熱風流通路が形
成され、そしてこの熱風流通路の下端はケース下方領域
下部、即ちケース１底面近傍において開口するものであ
る。従って、ダクト４とケース１の右上方領域を形成す
るケース下面との間に形成される熱風流通路とダクトの
垂直延長部４’とケースの背面基板５との間に形成され
る熱風流通路とは互いに連通しており、ヒータ・ユニッ
ト３から送り出される熱風はこれら連通する熱風流通路
を流れ下り、図３において矢印で示される如くに恒温槽
下部から上向きに吹き出され、流通、循環せしめられ
る。
る。図３について、図１における参照数字と共通する参
照数字は互いに同一の部材を示すものとする。図３に示
されるこの発明のＩＣ試験装置用恒温槽は図１に示され
る従来のＩＣ試験装置用恒温槽におけるダクト４の先端
部にケース１底面近傍に達する垂直延長部４’を付加し
たものに相当する。この垂直延長部４’は、ダクト４の
先端部からケース１底面近傍に迄達する前面板１２と、
前面板１２の左右両端部において屈曲してケースの背面
基板５に達すると共に下端はケース１底面に達する左右
の側面板１３とにより構成される。結局、この垂直延長
部４’とケースの背面基板５との間にも熱風流通路が形
成され、そしてこの熱風流通路の下端はケース下方領域
下部、即ちケース１底面近傍において開口するものであ
る。従って、ダクト４とケース１の右上方領域を形成す
るケース下面との間に形成される熱風流通路とダクトの
垂直延長部４’とケースの背面基板５との間に形成され
る熱風流通路とは互いに連通しており、ヒータ・ユニッ
ト３から送り出される熱風はこれら連通する熱風流通路
を流れ下り、図３において矢印で示される如くに恒温槽
下部から上向きに吹き出され、流通、循環せしめられ
る。
【０００９】
【発明の効果】熱風の流れが恒温槽内に上から下向きに
吹き出され、流通、循環せしめられるＩＣ試験装置用恒
温槽について、ＩＣ測定部８すべてについて設定温度±
３℃程度の精度におさめるべく種々の対策を講じてもこ
の精度を実現することができなかったのであるが、この
発明によってダクト４の先端部にケース１底面近傍に達
する垂直延長部４’を付加するという一見極く簡単な構
成を採用して熱風流通路を形成し、熱風を図３において
矢印で示されるが如くに恒温槽下部から上向きに吹き出
し、流通循環せしめたところ、ＩＣ測定部８すべてにつ
いて設定温度±３℃の精度は充分に保たれていることを
実測することができた。ＩＣ試験装置用恒温槽について
この程度の精度を保つことにより、ＩＣについての評価
或いはＩＣ受け入れ検査の信頼性は充分に担保されるに
到った。
吹き出され、流通、循環せしめられるＩＣ試験装置用恒
温槽について、ＩＣ測定部８すべてについて設定温度±
３℃程度の精度におさめるべく種々の対策を講じてもこ
の精度を実現することができなかったのであるが、この
発明によってダクト４の先端部にケース１底面近傍に達
する垂直延長部４’を付加するという一見極く簡単な構
成を採用して熱風流通路を形成し、熱風を図３において
矢印で示されるが如くに恒温槽下部から上向きに吹き出
し、流通循環せしめたところ、ＩＣ測定部８すべてにつ
いて設定温度±３℃の精度は充分に保たれていることを
実測することができた。ＩＣ試験装置用恒温槽について
この程度の精度を保つことにより、ＩＣについての評価
或いはＩＣ受け入れ検査の信頼性は充分に担保されるに
到った。
【図１】ＩＣ試験装置用恒温槽の従来例を示す図。
【図２】ＩＣ試験装置に使用されるコンタクト・ユニッ
トを示す図。
トを示す図。
【図３】この発明のＩＣ試験装置用恒温槽を示す図。
１ ケース ２ ファン・ユニット ３ ヒータ・ユニット ４ ダクト ６ コンタクト・ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66
Claims (2)
- 【請求項１】 ケースを具備し、そのケースの上方領域
にはファン・ユニットおよびヒータ・ユニットを収容
し、その下方領域には多数のＩＣ測定部を構成するコン
タクト・ユニットを収容し、熱風を案内するダクトを具
備するＩＣ試験装置用恒温槽において、上記コンタクト・ユニットの収容部の背面の基板を構成
要素とし、 上部の一端に上記熱風の送入口が形成され、下部の他端
にその熱風を上記コンタクト・ユニットの収容部の下部
に送出する送出口が形成されている熱風流通路を具備す
る ことを特徴とするＩＣ試験装置用恒温槽。 - 【請求項２】 ケースと、 上記ケース内の上方領域内に設けられたファン・ユニッ
トと、 ヒータ・ユニットを収容し、一端が上記ファン・ユニッ
トの送出口にこれとほぼ同一大きさ形状で連結された送
入口とされ、他端が送出口とされたダクトと、 上部の一端が上記ダクトの送出口に、これとほぼ同一大
きさ形状で連結された送入口とされ、その送入口とほぼ
同一大きさ形状を保持して下方向に延長され、下部の他
端がコンタクト・ユニット収容部側を除いて上記ケース
の底板に当接されて、その底板と共に上記コンタクト・
ユニット収容部側に空気を送出する送出口が構成され、
上記ケースの上下方向に延長した背面基板の背面を一面
の構成要素とした熱風流通路と、 その熱風流通路と、その送出口に対向する上記ケースの
上下方向に延長した前面板との間の空間により構成され
た上記コンタクト・ユニット収容部と、 上記コンタクト・ユニット収容部の上部から送出された
空気を、上記ファン・ユニットの送入口に導く通路とが
設けられていることを特徴とするＩＣ試験装置用恒温
槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03224221A JP3075542B2 (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | Ｉｃ試験装置用恒温槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03224221A JP3075542B2 (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | Ｉｃ試験装置用恒温槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0560830A JPH0560830A (ja) | 1993-03-12 |
| JP3075542B2 true JP3075542B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=16810409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03224221A Expired - Lifetime JP3075542B2 (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | Ｉｃ試験装置用恒温槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3075542B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100811418B1 (ko) * | 2007-06-08 | 2008-03-07 | 김기영 | 골판 판재 |
| ITMI20071704A1 (it) | 2007-08-30 | 2009-02-28 | Ind Cartarie Tronchetti Spa | Apparecchiatura per l'incollaggio di due o piu' veli per la realizzazione di prodotti tipo tissue |
-
1991
- 1991-09-04 JP JP03224221A patent/JP3075542B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0560830A (ja) | 1993-03-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000509 |