JP3074309B1 - 磁気記録媒体の磁化状態評価方法 - Google Patents

磁気記録媒体の磁化状態評価方法

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Abstract

【要約】 【目的】 特定濃度領域における領域形状や個々の領域
サイズを検出することのできる高精度な特定濃度領域の
抽出方法を提供する。 【構成】 特定濃度領域を抽出するための濃淡画像を作
成し、その濃淡画像の類似した濃度値を有する画素が構
成する領域を遺伝的アルゴリズムで算出して、特定濃度
領域を抽出することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の磁化状
態を評価する方法に係り、特に磁気力顕微鏡(Magnetic
Force Microscope :以下MFMと略記する)から得ら
れる濃淡画像を解析して、クラスタサイズを算出し、そ
のクラスタサイズから磁気記録媒体の磁化状態を評価す
方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】MFMは、微小空間での漏洩磁場を数十
nmの分解能で観察できることから、磁気記録媒体の磁
化状態をサブミクロンオーダーで評価できるという特長
を有している。MFM信号(ディジタル信号)をクラス
タ抽出に用いる従来の手法は、周波数分析や統計処理を
利用していた。
【0003】具体的な手法として、記録がなされている
磁気記録媒体のMFM画像から信号成分を取り除いた2
次元の媒体ノイズ像を用いて磁気クラスタサイズを検出
する手法が提案されている〔「MFMを用いたCoCr
Ta面内記録媒体の媒体ノイズに関する検討」信学技報
TECHNICAL REPORT OF IEICE MR98−9(1998−
06)参照〕。
【0004】この従来法1の手法はMFM画像の白黒の
領域が、磁気クラスタから生成する洩れ磁束を反映して
いることを利用している。ここで用いるクラスタ(原子
又は分子が数十個から1000個程度凝集してできた小
集合体)のサイズは、トラック幅方向ならびにトラック
方向に平均して得られる平均値である。
【0005】また他の手法として、ACイレーズ状態に
おけるクラスタサイズに関する評価を、MFM観察像の
RMS(Root Mean Square)値により評価する手法が提
案されている〔「Magnetic Clusters, Intergranular E
xchange Interaction and Their Microstructural Basi
s in Thin Film Longitudinal Media 」(IEEE TRANSAC
TIONS ON MAGNETICS. VOL,33 No.5 SEPTEMBER 1997)参
照〕。
【0006】この従来法2の手法は、クラスタサイズが
大きいと、クラスタ間の境界における磁極が大きくなる
から、MFM観察像のコントラスト、すなわちRMS値
に反映させて磁気クラスタサイズを検出する方法であ
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】前述の2つの手法は、
クラスタの境界における磁極の大きさによって間接的に
評価するものである。しかしこれらの方法では、MFM
信号を本来の2次元信号として処理していないため、ク
ラスタサイズの平均値を算出することは可能であるが、
クラスタ形状やクラスタの個別のサイズを検出すること
はできず、そのため高精度な抽出は困難である。
【0008】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点を解決し、磁気記録媒体のクラスタサイズを高精度
に検出することのできる磁気記録媒体の磁化状態評価方
を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、磁化状態を評価する磁気記録媒体の信号
記録部分に対して磁気力顕微鏡の探針を走査させて各測
定点の磁化強度を測定し、 その各測定点の磁化強度を画
素の濃度値に変換して濃淡画像を作成し、 その濃淡画像
上において類似した濃度値を有する画素で構成する領域
を遺伝的アルゴリズムで算出して当該濃淡画像から特定
濃度領域を抽出し、その特定濃度領域を例えば楕円形な
どの所定の形状で表示し、 その所定形状の面積から当該
磁気記録媒体のクラスタサイズを判別し、そのクラスタ
サイズから磁気記録媒体の磁化状態を評価することを特
徴とするものである。
【0010】
【発明の実施の形態】MRヘッドの出現により高密度記
録の開発がさらに進み、この高密度記録に適した磁気記
録媒体としてCo−Cr−Ta−Pt系の磁気記録媒体
が注目されており、このような媒体に信号を記録したと
きの磁化状態を高精度で評価することが重要な課題とな
っている。
【0011】MFMは、磁気記録媒体の表面に傷を付け
ることなく、しかも微小空間での漏洩磁場が観察できる
ことから、磁気記録媒体の磁化状態を評価する上で好適
である。本発明に係る特定濃度領域の抽出方法を、MF
Mを使用した磁気記録媒体の磁気特性の評価方法に適用
した場合を例にして説明する。
【0012】まず、Co−Cr−Ta−Pt系の磁気記
録媒体に対してMRヘッドを用い、所定の記録密度(例
えば130kFCI)で信号を記録する。
【0013】次に各磁気記録媒体の信号記録部分(2μ
m×2μmの矩形部分)に対してMFMの探針を走査さ
せ、磁化強度の測定を行なう。MFMによる走査は、1
走査の測定点は512点で、走査方向と平行な方向に5
12回の走査を繰り返して、512(行)×512
(列)のデータを得る。このデータに基づいて磁気力の
勾配を16ビットに量子化し、その量子化値を画素の濃
度値とし、階調の低い部分が黒、階調の高い部分が白く
なるようなMFMによる濃淡画像を作成する。
【0014】このMFM画像において、類似した濃度値
を有する画素が構成する領域を検出する。領域形状を表
現するパラメータ(例えば領域形状を楕円で表すとする
と、その位置と長軸と長短軸比と傾きがパラメータとな
る)を遺伝的アルゴリズムGA(最適化アルゴリズムの
1つ)で算出する。遺伝子構造は、領域形状を表すパラ
メータの二進表現であり、評価関数は、領域内画素と特
定画素との平均2乗誤差(MSE)と楕円面積の大きさ
により定義する。このような評価関数の下で、MSEが
小さく、面積の大きな領域が抽出される。
【0015】遺伝子的アルゴリズム(GA)は生物進化
の原理に基づくアルゴリズムであり、確率統計論的な探
索手法として有意である。GAは基本的には、「選択」
と「交叉」と「突然変異」の3種類の遺伝的操作を繰り
返して行なう。解の候補は、遺伝情報をもつ染色体に1
次元的に表現される。そして各世代は、個体の集合体で
構成されている。
【0016】次にGAの処理手順について個別に説明す
る。
【0017】手順1.初期集団の発生 まず初期集団の発生を行なう。それぞれ遺伝子をランダ
ムに選び、1個の楕円を生成する。1つの楕円は、楕円
の中心位置:(x0i,y0i)、長軸:La 、傾き:
θi 、長軸と短軸の比:P=Lb /La の計4つの遺伝
子で表現(定義)される。このように内部構造が定義さ
れた個体を予め決められた数(本実施の形態では300
個)だけ生成し、それらによって初期集団が構成され
る。
【0018】手順2.各個体の適応度の計算 初期集団又は交叉の結果得られた個体の表現型から、後
記の式(3)を用いて適応度を算出する(評価関数の設
定)。
【0019】ディジタル画像f(x,y)を領域分割し
た結果生成されたi番目の楕円の精度は、平均2乗誤差
(MSE:Mean Square Error )を用いて以下の式で表
すことができる。
【0020】
【数1】
……(1)
【0021】但し、Ri はi番目の楕円内の領域、Ni
はRi 内の画素数、f’は検出したい真の画素値を表
す。関数F(k),〔k={f(xi ,yi )−f’}
2 〕は、以下の式を設定した。
【0022】 F(k)=Ak4 ……(2) 領域分割された結果の適応度は、MSEだけでなく、楕
円の大きさも加味する。
【0023】 Fitness (i)=−C1 MSE(i)+C2 (La +Lb ) ……(3) 式中のFitness (i)は適応度、C1 MSE(i)はM
SE、C2 (La +Lb )は楕円の大きさを表す。な
お、式(2),(3)中のF,C1 ,C2 の値は、適宜
設定される。このようにして各個体の適応度が算出さ
れ、より良い個体が高い適応度の評価を受ける。
【0024】手順3.選択淘汰の実行 個々の個体の適応度が決定されると、それに基づいて個
体の選択淘汰がなされ、最良個体とみなされる適応度の
大きな個体E個(本実施の形態では100個)を次世代
に残す(エリート保存戦略)。また、その他について
は、適応度に比例した確率で選択淘汰を行なうルーレッ
ト戦略を採用する。ルーレット戦略によって「親1」,
「親2」を選び、これらを交叉することにより、「子」
(次世代の個体)を得る。交叉方法については、次の手
順4で説明する。
【0025】手順4.交叉の実行 選択交配を行なう個体対が決定すると、次に染色体の交
叉を行なう。それぞれの遺伝子の存続範囲を等間隔量子
化し、その量子化番号をバイナリ表現し、2点交叉を行
なう。この交叉により親の形質を受け継ぐ子を生成する
ため、「親1」と最も近い位置にある個体(楕円の中心
位置が最も近い個体)を「親2」とし、1回の交叉で子
供は2個生成される。具体的な交叉方法は種々あるが基
本的には、「親1」と「親2」の双方の染色体の一部ず
つを採って、子供の染色体を作る。
【0026】手順5.突然変異の実行 次に突然変異の操作を加える。コード化された遺伝子の
各ピットを、設定された突然変異確率(本実施の形態で
は0.3%)に従って反転させる。
【0027】手順6.世代の評価 交叉により生成された個体とエリートを合わせた個体の
うち、適応度が高い上位N1 個の個体の集合を1世代の
結果として評価する。この評価は、上位I1 個の個体の
適応度の平均値によって行なう。このとき、重なりが大
きい個体は排除して考える。すなわち、適応度が高い個
体を優先させる。その結果、残った個体数がI1 個を下
回る場合は、その個体数での適応度の平均値を求める。
【0028】シミュレーションの条件を満たさない場合
は、前記手順2に戻る。そのとき、重なりを考慮して個
体を排除した結果、残った個体数がI1 個を下回る場合
は、足りない個数を初期集団の発生のときと同様の手順
で発生させる。
【0029】これらの操作が終了すると新しい世代の個
体集団が生成し、その新しい集団に対してまた適応度の
計算、選択淘汰、交叉、突然変異ならびに世代の評価が
なされて、さらに新たな世代の個体集団が生成される。
このようにして適応度の計算から世代の評価までのルー
チンを繰り返して実行し、1つの個体が持っている適応
度の平均値が変更しなくなると、このルーチンを終了す
る。
【0030】本発明はこのように遺伝的アルゴリズムを
用い、MFM画像上で類似した濃度値を有する画素が構
成する領域を精度よく抽出することができる。そしてこ
の特定濃度領域の抽出により、クラスタサイズを算出
し、そのクラスタサイズから磁気記録媒体の品質を予測
することが可能となる。
【0031】すなわちクラスタサイズが大きい磁気記録
媒体ほど、単位クラスタのもつ磁化(M)が強い。隣接
するクラスタの磁化が異なる場合、クラスタの境界部分
には磁極が生じ、その磁極の大きさは磁化の大きさに依
存する(ρ=−▽・M)。
【0032】簡単なモデルにおけるMFM出力信号のシ
ミュレーション結果を図1に示す。この図は磁気クラス
タの境界におけるMFM出力信号を示しており、図中の
P値〔この例ではMFM出力信号が200(a.
u.)〕がしきい値で、MFM出力信号における画素値
をもつ領域(図中の斜線部分)を検出すれば、それによ
ってクラスタサイズを評価することができる。図中の曲
線|Ma |はクラスタサイズが大きいもの、|Mb |は
クラスタサイズが小さいものを示している。
【0033】前記実施の形態では、類似した濃度値を有
する画素が構成する領域の形状を表現するパラメータと
して楕円形状を用いたが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、例えば三角形以上の多角形あるいは星形な
ど任意の形状で表すことができる。
【0034】前記実施の形態では本発明を磁気媒体の磁
気特性を評価するためのMFM信号解析方法に適用した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば鉱
石成分解析装置、医療診断装置(例えば白血球検出装
置、精子検出装置など)、球状黒鉛分析装置など各種装
置の出力画像における特定濃度領域の抽出方法に適用す
ることが可能である。
【0035】
【発明の効果】図2ないし図5は各磁気記録媒体のMF
M画像で、図2は磁気記録媒体のうちのサンプルA(磁
気特性の良い磁気記録媒体)のMFM画像を示す図、図
3はその図2を図6に示すように4つに分けたうちの左
上の拡大図、図4は磁気記録媒体のうちのサンプルD
(磁気特性の悪い磁気記録媒体)のMFM画像を示す
図、図5はその図4を図6に示すように4つに分けたう
ちの左上の拡大図である。
【0036】これらはMFMにより512(行)×51
2(列)のデータを得て、それに基づいて磁気力の勾配
を16ビットに量子化し、その量子化値を画素の濃度値
とし、白から黒の間の濃淡を216通りの階調度の異なる
灰色で表した濃淡画像である。
【0037】各磁気記録媒体のからまでの各部分を
前記従来法1で分析した結果を示せば、次の通りであ
る。図2ならびに図3に示すサンプルA(磁気特性の良
い磁気記録媒体)を、図7に示すようにMFM画像を左
側から右側に走査した場合の結果 の部分 20.5556 の部分 21.9600 の部分 19.1733 の部分 19.8395 同サンプルAを図8に示すようにMFM画像を上側から
下側に走査した場合の結果 の部分 19.9600 の部分 19.8310 の部分 19.8625 の部分 21.6622 図4ならびに図5に示すサンプルD(磁気特性の悪い磁
気記録媒体)を、図7に示すようにMFM画像を左側か
ら右側に走査した場合の結果 の部分 24.7213 の部分 24.6515 の部分 25.0727 の部分 27.0351 同サンプルDを図8に示すようにMFM画像を上側から
下側に走査した場合の結果 の部分 26.2182 の部分 24.3167 の部分 20.2840 の部分 20.7867 この従来法1では、提案手法により算出された前記の値
が小さい媒体が良い磁気記録媒体であると判断してい
た。しかし、例えばサンプルDのMFM画像を上側から
下側に走査した場合の結果(20.2840)と、サ
ンプルAのMFM画像を左側から右側に走査した場合の
結果(21.9600)を比較すると、サンプルAは
磁気特性の良い磁気記録媒体であるにもかかわらず、サ
ンプルDの値よりも大きいという逆の結果が出ている。
【0038】これは提案手法が、大量のデータを平均化
しなければ精度の良い結果が得られないという問題の一
つの現れであり、MFM画像を2次元画像として処理し
ていないために起こる。その確証として前述のように、
MFM画像を左側から右側に走査した場合と上側から下
側に走査した場合の結果に違いが出てくる。
【0039】またこの従来法1では、MFM画像を2次
元画像として処理していないため、磁気記録媒体の良し
悪しを判断するクラスタがどのように分布しているのか
知ることはできない。
【0040】これに対して本発明の抽出方法では、MF
M画像を2次元画像として処理しているため、前述のよ
うな問題は生じないうえ、磁気記録媒体の良し悪しを判
断するクラスタの分布状態も知ることができる。
【0041】前記磁気記録媒体のからまでの各部分
を前記従来法2に従って算出したRMS値を示せば、次
の通りである。図2ならびに図3に示すサンプルAを、
図7に示すようにMFM画像を左側から右側に走査した
場合の結果 の部分 3.2935×104 の部分 3.3208×104 の部分 3.3194×104 の部分 3.2941×104 図4ならびに図5に示すサンプルDを、図8に示すよう
にMFM画像を上側から下側に走査した場合の結果 の部分 3.3325×104 の部分 3.3396×104 の部分 3.3318×104 の部分 3.3131×104 この従来法2では、RMS値の小さい媒体が良い磁気記
録媒体であると判断していた。しかし、例えばサンプル
Aの結果(3.3208×104 )と、サンプルDの
結果(3.3131×104 )を比較すると、サンプ
ルAは磁気特性の良い磁気記録媒体であるにもかかわら
ず、サンプルDのRMS値よりも大きいという逆の結果
が出ている。
【0042】これは提案手法が、大量のデータを平均化
しなければ精度の良い結果が得られないという問題の一
つの現れである。これに対して本発明の抽出方法では、
MFM画像を2次元画像として処理しているため、前述
のような問題は生じない。
【0043】図9ならびに図10は、前記図3ならびに
図5のMFM濃淡画像において本発明の方法で特定濃度
領域を楕円形状で抽出した状態を示す図である。これら
の図から明らかなように本発明の抽出方法により、特定
濃度領域における領域形状ならびに個々の領域サイズを
検出することのでき、これに基づいて磁気記録媒体の磁
化状態が評価できる。
【0044】本発明は前述のように、 磁化状態を評価
する磁気記録媒体の信号記録部分に対して磁気力顕微鏡
の探針を走査させて各測定点の磁化強度を測定し、 その
各測定点の磁化強度を画素の濃度値に変換して濃淡画像
を作成し、 その濃淡画像上において類似した濃度値を有
する画素で構成する領域を遺伝的アルゴリズムで算出し
て当該濃淡画像から特定濃度領域を抽出し、その特定濃
度領域を所定の形状で表示し、 その所定形状の面積から
当該磁気記録媒体のクラスタサイズを判別し、そのクラ
スタサイズから磁気記録媒体の磁化状態を評価すること
特徴とするもので、磁気特性の正確な評価ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】モデルでの磁気クラスタの境界におけるMFM
出力信号のシミュレーション結果を示す図である。
【図2】サンプルA(磁気記録媒体)のMFM画像を示
す図である。
【図3】その図2を4つに分けたうちの左上の拡大図
である。
【図4】サンプルD(磁気記録媒体)のMFM画像を示
す図である。
【図5】その図4を4つに分けたうちの左上の拡大図
である。
【図6】MFM画像の分割状態を示す図である。
【図7】MFM画像上でのデータ処理の順序を示す図で
ある。
【図8】MFM画像上でのデータ処理の順序を示す図で
ある。
【図9】図3のMFM画像において本発明の方法で特定
濃度領域を抽出した状態を示す図である。
【図10】図5のMFM画像において本発明の方法で特
定濃度領域を抽出した状態を示す図である。
フロントページの続き (73)特許権者 392016203 ムトウ建設工業株式会社 北海道札幌市白石区本郷通13丁目南4番 1号 (73)特許権者 000241957 北海道電力株式会社 北海道札幌市中央区大通東1丁目2番地 (72)発明者 長谷山 美紀 北海道札幌市北区北6条西6丁目2の1 朝日プラザ503 (72)発明者 武笠 幸一 北海道札幌市中央区南13条西5丁目1− 1−901 (72)発明者 末岡 和久 北海道札幌市東区北16条東16丁目3−20 ハイツ雪01 (72)発明者 武隈 育子 北海道札北広島市山手町5丁目3−15 (56)参考文献 特開 平10−285395(JP,A) 特開 平4−119481(JP,A) 特開 平10−198902(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G06T 7/00 G01N 27/72 G06T 1/00 JICSTファイル(JOIS)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁化状態を評価する磁気記録媒体の信号
    記録部分に対して磁気力顕微鏡の探針を走査させて各測
    定点の磁化強度を測定し、 その各測定点の磁化強度を画素の濃度値に変換して濃淡
    画像を作成し、 その濃淡画像上において類似した濃度値を有する画素で
    構成する領域を遺伝的アルゴリズムで算出して当該濃淡
    画像から特定濃度領域を抽出し、その特定濃度領域を所
    定の形状で表示し、 その所定形状の面積から当該磁気記録媒体のクラスタサ
    イズを判別し、そのクラスタサイズから磁気記録媒体の
    磁化状態を評価することを特徴とする磁気記録媒体の磁
    化状態評価方法
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