JP3060883B2 - Process gas chromatograph - Google Patents

Process gas chromatograph

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JP3060883B2
JP3060883B2 JP7094848A JP9484895A JP3060883B2 JP 3060883 B2 JP3060883 B2 JP 3060883B2 JP 7094848 A JP7094848 A JP 7094848A JP 9484895 A JP9484895 A JP 9484895A JP 3060883 B2 JP3060883 B2 JP 3060883B2
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gas chromatograph
process gas
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通明 三浦
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Yokogawa Electric Corp
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プロセスの成分分析に
用いられるプロセスガスクロマトグラフに関し、更に詳
しくは、試料中の成分を高精度に測定することのできる
プロセスガスクロマトグラフに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a process gas chromatograph used for analyzing components of a process, and more particularly, to a process gas chromatograph capable of measuring components in a sample with high accuracy.

【0002】[0002]

【従来の技術】プロセスガスクロマトグラフは、プロセ
スから分離した試料を分離カラムに導いてキャリアガス
でクロマトグラフィックに展開し、分離カラムで分離し
た各成分を検出器で検出して試料中の成分の濃度を測定
するものである。プロセスは、このプロセスガスクロマ
トグラフで測定された濃度に基づいて各成分が適正な濃
度となるように監視及び制御される。このようなプロセ
スの監視制御をタイムリーに精度良く行うため、プロセ
スから抽出された試料は、迅速にプロセスガスクロマト
グラフにてサンプリングされ、測定される。
2. Description of the Related Art In a process gas chromatograph, a sample separated from a process is introduced to a separation column, developed chromatographically with a carrier gas, and each component separated in the separation column is detected by a detector to detect the concentration of the component in the sample. Is measured. The process is monitored and controlled so that each component has an appropriate concentration based on the concentration measured by the process gas chromatograph. In order to perform such monitoring and control of the process in a timely and accurate manner, a sample extracted from the process is promptly sampled and measured by a process gas chromatograph.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このような従来のプロ
セスガスクロマトグラフにおいては、試料を液体のまま
サンプリングする場合、サンプリングの量が通常1〜3
μLと少ないことより、サンプル液中に微細な気泡やダ
ストが存在あるいは発生しても採取量(計量値)の変動
が大きく、そのため最終的にカラムによる成分分離・検
出後に得られる成分値の信頼性が乏しいという欠点があ
った。
In such a conventional process gas chromatograph, when a sample is sampled in a liquid state, the amount of sampling is usually 1 to 3.
Since the sample volume is as small as μL, the amount of sample (measured value) fluctuates greatly even if fine bubbles and dust are present or generated in the sample solution. There was a drawback that the property was poor.

【0004】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、計量部でサンプリングされた試料の量が適正で
あるかどうかをサンプリング毎に検証するようにしたも
ので、最終の検出器で検出した試料の分析結果の信頼性
を確保し、プロセスの監視・制御することのできるプロ
セスガスクロマトグラフを提供することを目的としてい
る。
[0004] The present invention has been made in view of such a point, and it is intended to verify, at each sampling, whether or not the amount of a sample sampled by a measuring section is appropriate. An object of the present invention is to provide a process gas chromatograph that can ensure the reliability of the analysis result of a sample detected by the method and can monitor and control the process.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、計量部でサンプリングされた試料
を気化器で気化してカラムに導き、分離した成分を検出
器で分析するプロセスガスクロマトグラフにおいて、前
記気化器と前記カラムとの間に設けられていて、前記気
化器で気化された試料の量を検出する熱伝導度検出器
と、この熱伝導度検出器が検出した試料の量に関するデ
ータと前記計量部から試料が適正に前記熱伝導度検出器
に導かれて測定された時のデータとを比較する比較手段
と、を具備し、前記比較手段で比較した値が所定値から
ずれた時に、サンプリングに異常があることを判断する
ようにしたことを特徴としている。
According to the present invention, a sample sampled in a measuring section is vaporized by a vaporizer and guided to a column, and separated components are analyzed by a detector. In a process gas chromatograph, a thermal conductivity detector provided between the vaporizer and the column to detect an amount of a sample vaporized by the vaporizer, and a sample detected by the thermal conductivity detector Comparing means for comparing data relating to the amount of the sample with data obtained when the sample from the measuring section is properly guided to the thermal conductivity detector, and the value compared by the comparing means is a predetermined value. When the value deviates from the value, it is determined that there is an abnormality in the sampling.

【0006】[0006]

【作用】本発明の各構成要素は次のような作用をする。
熱伝導度検出器は、気化器で気化され、分離カラムに送
出される試料の量を検出する。比較手段は、熱伝導度検
出器が検出した試料の量に関するデータと計量部から試
料が適正に熱伝導度検出器に導かれて測定された時のデ
ータとを単純比較、あるいは統計的手段により評価判定
する。
The components of the present invention operate as follows.
The thermal conductivity detector detects the amount of the sample vaporized by the vaporizer and sent to the separation column. The comparing means simply compares the data on the amount of the sample detected by the thermal conductivity detector with the data when the sample is properly guided from the measuring section to the thermal conductivity detector and measured, or by statistical means. Evaluation is determined.

【0007】[0007]

【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を詳細
に説明する。図1は、本発明のプロセスガスクロマトグ
ラフの一実施例を示した構成ブロック図である。図中、
1はサンプリングバルブ、1Aはサンプリングバルブ中
にある、例えば1μLで試料を採取する計量部である。
計量部1Aで計量された試料は、サンプリングバルブ1
が切替えられると、キャリアガスによって気化器2に搬
送される。
An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration block diagram showing one embodiment of the process gas chromatograph of the present invention. In the figure,
Reference numeral 1 denotes a sampling valve, and 1A denotes a measuring unit in the sampling valve, for example, for collecting a sample in 1 μL.
The sample weighed by the measuring section 1A is supplied to the sampling valve 1
Is switched to the vaporizer 2 by the carrier gas.

【0008】気化器2で気化された試料は、一部がスプ
リッタ3で分離され、サンプル ヴァリディション デ
ィテクタ4(SVD、以下、熱伝導度検出器4という)
に搬送される。熱伝導度検出器4は、内容積が小さく、
且つ流通路に拡散部分のない、あるいは少ないものであ
って、気化器2から供給された試料を含むキャリアガス
の熱伝導度に基づく値を測定し、試料の量を検出する。
[0008] A sample vaporized by the vaporizer 2 is partially separated by a splitter 3 and is subjected to a sample validation detector 4 (SVD, hereinafter referred to as a thermal conductivity detector 4).
Transported to The thermal conductivity detector 4 has a small internal volume,
The amount of the sample is detected by measuring a value based on the thermal conductivity of the carrier gas containing the sample supplied from the vaporizer 2 and having no or few diffusion portions in the flow passage.

【0009】熱伝導度検出器4で測定された試料の量
(ピーク値)は、バックラッシュカラム5を介して分離
カラム6に供給される試料の量であって、例えば、1μ
Lの試料が計量部1Aから正常に熱伝導度検出器4に導
かれ測定された時のデータ(ピーク値)と比較される。
尚、この1μLは、スプリッタで分割された部分を差し
引いた量である。7は比較部で、熱伝導度検出器4で測
定された試料の量と1μLの計量部で正常に試料が採取
された場合に得られているデータとを比較する。
The amount (peak value) of the sample measured by the thermal conductivity detector 4 is the amount of the sample supplied to the separation column 6 via the backlash column 5 and is, for example, 1 μm.
The L sample is normally guided from the measuring section 1A to the thermal conductivity detector 4 and compared with data (peak value) when measured.
Note that this 1 μL is an amount obtained by subtracting a portion divided by the splitter. Reference numeral 7 denotes a comparison unit which compares the amount of the sample measured by the thermal conductivity detector 4 with data obtained when the sample is normally collected by the 1 μL measuring unit.

【0010】比較部7での比較結果が予め設定された基
準値からずれた場合、例えば熱伝導度検出器4で測定さ
れたピーク値が低下した場合は、サンプリングに異常が
あると判断し、検出器8の測定データを測定結果から除
外することや、警報を出すようにする。
When the comparison result in the comparison unit 7 deviates from a preset reference value, for example, when the peak value measured by the thermal conductivity detector 4 decreases, it is determined that there is abnormality in the sampling, The measurement data of the detector 8 is excluded from the measurement result, and an alarm is issued.

【0011】[0011]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明のプ
ロセスガスクロマトグラフは、分離カラムの前段に熱伝
導度検出器を設け、計量部でサンプリングされた試料の
量が適正であるかどうかをサンプリング毎に検証してい
るので、常に、最終の検出器で測定される試料の分析結
果の信頼性を確保することができる。
As described in detail above, the process gas chromatograph of the present invention is provided with a thermal conductivity detector in front of the separation column to determine whether the amount of the sample sampled in the measuring section is appropriate. Since the verification is performed for each sampling, the reliability of the analysis result of the sample measured by the final detector can always be ensured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプロセスガスクロマトグラフの一実施
例を示した構成ブロック図である。
FIG. 1 is a configuration block diagram showing one embodiment of a process gas chromatograph of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 サンプリングバルブ 4 熱伝導度検出器 6 分離カラム 7 比較部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sampling valve 4 Thermal conductivity detector 6 Separation column 7 Comparison part

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 計量部でサンプリングされた試料を気化
器で気化してカラムに導き、分離した成分を検出器で分
析するプロセスガスクロマトグラフにおいて、 前記気化器と前記カラムとの間に設けられていて、前記
気化器で気化された試料の量を検出する熱伝導度検出器
と、 この熱伝導度検出器が検出した試料の量に関するデータ
と前記計量部から試料が適正に熱伝導度検出器に導かれ
て測定された時のデータとを比較する比較手段と、 を具備し、前記比較手段で比較した値が所定値からずれ
た時に、サンプリングに異常があることを判断するよう
にしたことを特徴としたプロセスガスクロマトグラフ。
1. A process gas chromatograph in which a sample sampled in a measuring section is vaporized by a vaporizer and led to a column, and separated components are analyzed by a detector. The process gas chromatograph is provided between the vaporizer and the column. A thermal conductivity detector for detecting the amount of the sample vaporized by the vaporizer; and data relating to the amount of the sample detected by the thermal conductivity detector, and the heat conductivity detector for appropriately detecting the sample from the measuring unit. Comparing means for comparing the data at the time measured by being guided to, wherein when the value compared by the comparing means deviates from a predetermined value, it is determined that there is an abnormality in the sampling. Process gas chromatograph characterized by the following.
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