JP3024307B2 - インクジェットプリンタヘッド - Google Patents
インクジェットプリンタヘッドInfo
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- JP3024307B2 JP3024307B2 JP24572791A JP24572791A JP3024307B2 JP 3024307 B2 JP3024307 B2 JP 3024307B2 JP 24572791 A JP24572791 A JP 24572791A JP 24572791 A JP24572791 A JP 24572791A JP 3024307 B2 JP3024307 B2 JP 3024307B2
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- Japan
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- ink
- printer head
- groove
- jet printer
- piezoelectric element
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- Expired - Lifetime
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タヘッドに関する。
タヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧電素子の剪断変形を利用したイ
ンクジェットプリンタヘッドの製造方法が、特開昭６３
−２４７０５１号公報及び特開平２−１５０３５５号公
報に開示されている。このインクジェットプリンタヘッ
ド記録部は、多数のインク噴射孔を有する液滴ノズルプ
レート（図示せず）と、図８に示す前記ノズルプレート
が接続される多数のインク溝（圧力チャンバー）２１Ａ
と、側面に駆動電極７１Ａが形成された圧電材料からな
る剪断変形圧電素子である側壁２２Ａと、インク補充の
ための給液機構（図示せず）とから構成されている。
ンクジェットプリンタヘッドの製造方法が、特開昭６３
−２４７０５１号公報及び特開平２−１５０３５５号公
報に開示されている。このインクジェットプリンタヘッ
ド記録部は、多数のインク噴射孔を有する液滴ノズルプ
レート（図示せず）と、図８に示す前記ノズルプレート
が接続される多数のインク溝（圧力チャンバー）２１Ａ
と、側面に駆動電極７１Ａが形成された圧電材料からな
る剪断変形圧電素子である側壁２２Ａと、インク補充の
ための給液機構（図示せず）とから構成されている。
【０００３】かかる構成のインクジェットプリンタヘッ
ドは、駆動電極７１Ａに電界を印加すると、側壁２２Ａ
が剪断変形を起こしインク溝２１Ａの容量変化をひきお
こす。その結果、インク溝２１Ａ中の液圧が変化し、ノ
ズルプレートの噴射孔から噴射される。
ドは、駆動電極７１Ａに電界を印加すると、側壁２２Ａ
が剪断変形を起こしインク溝２１Ａの容量変化をひきお
こす。その結果、インク溝２１Ａ中の液圧が変化し、ノ
ズルプレートの噴射孔から噴射される。
【０００４】前記特開昭６３−２４７０５１号公報に
は、前記複数個のインク溝２１Ａを有する圧電素子５３
Ａの製造方法として、基板（図示せず）上に接合された
圧電材料または圧電材料そのものにダイアモンドカッタ
ーブレード・レーザ光等を用いて溝入れ加工し、インク
溝を形成する方法が開示されている。前記圧電素子５３
Ａをインクジェットプリンタヘッドに応用する場合、イ
ンク噴射孔の集積度を向上させるためにはインク溝２１
Ａを高精度に多数個形成する必要があった。また、圧電
材料の剪断変形を有効利用するには、圧電材料の側壁２
２Ａの幅寸法に対して高さ寸法を大きくする必要があ
る。また、側壁２２Ａの側面には駆動電極７１Ａを形成
する必要があり、従来はニッケル、アルミニウム等の金
属材料をスパッタ法・無電界メッキ法等を利用して形成
していた。
は、前記複数個のインク溝２１Ａを有する圧電素子５３
Ａの製造方法として、基板（図示せず）上に接合された
圧電材料または圧電材料そのものにダイアモンドカッタ
ーブレード・レーザ光等を用いて溝入れ加工し、インク
溝を形成する方法が開示されている。前記圧電素子５３
Ａをインクジェットプリンタヘッドに応用する場合、イ
ンク噴射孔の集積度を向上させるためにはインク溝２１
Ａを高精度に多数個形成する必要があった。また、圧電
材料の剪断変形を有効利用するには、圧電材料の側壁２
２Ａの幅寸法に対して高さ寸法を大きくする必要があ
る。また、側壁２２Ａの側面には駆動電極７１Ａを形成
する必要があり、従来はニッケル、アルミニウム等の金
属材料をスパッタ法・無電界メッキ法等を利用して形成
していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ダ
イアモンドカッタープレート・レーザ光等によるインク
溝形成方法は、前記剪断変形に有効な深いインク溝を加
工する場合、製造方法として極めて低能率であり、また
加工による歩留りが悪い上、寸法・ピッチ精度の面でも
問題があった。また、スパッタ法により側壁への電極形
成には、圧電素子をスパッタ装置中で傾斜させる機構が
必要であり、深い溝の側壁への成膜効率が低いという問
題点があった。また、駆動時の電圧降下を考慮すると駆
動電極の厚みはある程度必要であり、この厚い駆動電極
を作成するには駆動電極形成工程におけるコストアップ
を引き起こしていた。
イアモンドカッタープレート・レーザ光等によるインク
溝形成方法は、前記剪断変形に有効な深いインク溝を加
工する場合、製造方法として極めて低能率であり、また
加工による歩留りが悪い上、寸法・ピッチ精度の面でも
問題があった。また、スパッタ法により側壁への電極形
成には、圧電素子をスパッタ装置中で傾斜させる機構が
必要であり、深い溝の側壁への成膜効率が低いという問
題点があった。また、駆動時の電圧降下を考慮すると駆
動電極の厚みはある程度必要であり、この厚い駆動電極
を作成するには駆動電極形成工程におけるコストアップ
を引き起こしていた。
【０００６】また、駆動電極形成方法として無電界メッ
キ法を利用した場合、成膜速度は前記スパッタ法に比べ
て格段に速いものの、メッキ液を微細なインク溝へ流入
せしめることが困難で、無電界メッキ法が適用できる形
状寸法に限界があった。
キ法を利用した場合、成膜速度は前記スパッタ法に比べ
て格段に速いものの、メッキ液を微細なインク溝へ流入
せしめることが困難で、無電界メッキ法が適用できる形
状寸法に限界があった。
【０００７】そこで本発明は上記問題点を解決するため
になされたものであり、深いインク溝を高い集積度で形
成でき、かつ安価に製造できるインクジェットプリンタ
ヘッドを提供することを目的とする。
になされたものであり、深いインク溝を高い集積度で形
成でき、かつ安価に製造できるインクジェットプリンタ
ヘッドを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、複数のインク溝を有し、そのインク溝に貯
溜されたインクを噴射せしめるようにしたインクジェッ
トプリンタヘッドにおいて、幅広の基部と、この基部か
ら突出した幅狭の突出部とからなる断面がほぼＬ字状を
なした複数のエレメントからなり、前記基部同士を接合
せしめて前記突出部間にインク溝を形成したことを特徴
とする。
するために、複数のインク溝を有し、そのインク溝に貯
溜されたインクを噴射せしめるようにしたインクジェッ
トプリンタヘッドにおいて、幅広の基部と、この基部か
ら突出した幅狭の突出部とからなる断面がほぼＬ字状を
なした複数のエレメントからなり、前記基部同士を接合
せしめて前記突出部間にインク溝を形成したことを特徴
とする。
【０００９】上記構成は、前記複数のエレメントは圧電
材料からなり、前記インク溝の高さをその幅よりも大き
く構成したものにおいて好適である。
材料からなり、前記インク溝の高さをその幅よりも大き
く構成したものにおいて好適である。
【００１０】また、好ましくは、前記幅狭の突出部は、
両側面に駆動電極を有する。
両側面に駆動電極を有する。
【００１１】さらに好ましくは、前記複数のインク溝を
覆ってカバープレートを装着する。
覆ってカバープレートを装着する。
【００１２】
【作用】本発明によれば、複数のエレメントの幅広の基
部同士を接合して、幅狭の突出部間にインク溝を形成す
ることで、深いインク溝を高い集積度で配置することが
でき、また、そのための加工も容易となる。
部同士を接合して、幅狭の突出部間にインク溝を形成す
ることで、深いインク溝を高い集積度で配置することが
でき、また、そのための加工も容易となる。
【００１３】圧電材料によりエレメントを形成する場
合、その溝加工は非能率であるが、上記構成によって、
著しく改善され、インク溝の高さをその幅よりも大きく
構成して、効率のよい変形が実現される。
合、その溝加工は非能率であるが、上記構成によって、
著しく改善され、インク溝の高さをその幅よりも大きく
構成して、効率のよい変形が実現される。
【００１４】特に、幅狭の突出部の両側面に駆動電極を
形成することで、溝の内面に電極を形成するものよりも
容易に加工でき、また効率のよい剪断変形が実現され
る。
形成することで、溝の内面に電極を形成するものよりも
容易に加工でき、また効率のよい剪断変形が実現され
る。
【００１５】また、カバープレートを装着することで複
数のインク溝が共通に覆われる。
数のインク溝が共通に覆われる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。なお、本実施例では圧電材料としてチタン酸ジル
コン酸鉛系圧電セラミックス材料を使用した。
する。なお、本実施例では圧電材料としてチタン酸ジル
コン酸鉛系圧電セラミックス材料を使用した。
【００１７】先ず、図１に示す圧電セラミックス基板１
１を用意する。圧電セラミックス基板１１の形状寸法
は、１×２０×０．２ｍｍであり、分極処理は分極方向
１３（１ｍｍ）方向に施されている。分極処理された
後、圧電セラミックス基板１１の１×２０ｍｍの面の片
面のみに駆動電極１２としてスパッタ法によりニッケル
皮膜が約０．５μｍの厚みで形成する。この場合、皮膜
形成面はスパッタ方向と垂直であるので、スパッタ効率
がよい。
１を用意する。圧電セラミックス基板１１の形状寸法
は、１×２０×０．２ｍｍであり、分極処理は分極方向
１３（１ｍｍ）方向に施されている。分極処理された
後、圧電セラミックス基板１１の１×２０ｍｍの面の片
面のみに駆動電極１２としてスパッタ法によりニッケル
皮膜が約０．５μｍの厚みで形成する。この場合、皮膜
形成面はスパッタ方向と垂直であるので、スパッタ効率
がよい。
【００１８】次いで、図２に示すように、前記圧電セラ
ミックス基板１１を裏返し、インク溝部２１と後述の接
合後は側壁となる壁部２２を、ダイアモンド砥石により
研削加工する。インク溝部２１の寸法は、幅０．６ｍ
ｍ、深さ０．１ｍｍである。
ミックス基板１１を裏返し、インク溝部２１と後述の接
合後は側壁となる壁部２２を、ダイアモンド砥石により
研削加工する。インク溝部２１の寸法は、幅０．６ｍ
ｍ、深さ０．１ｍｍである。
【００１９】次いで図３に示すように、インク溝部２１
が形成された圧電セラミックス基板１１の前記溝部２１
の底部に駆動電極３１を形成する。この形成には、前記
スパッタ法を用い、ニッケル皮膜を約０．５μｍの厚み
に形成する。この場合、皮膜形成面はスパッタ方向と垂
直であるので、スパッタ効率が良い。なお、駆動電極１
２，３１の形成は、無電界ニッケルメッキ法を用いて同
時に行っても良い。その場合、インク溝部２１の開口部
寸法が大きいので、従来例で説明したようなメッキ液が
流入しにくいという問題点は生じない。
が形成された圧電セラミックス基板１１の前記溝部２１
の底部に駆動電極３１を形成する。この形成には、前記
スパッタ法を用い、ニッケル皮膜を約０．５μｍの厚み
に形成する。この場合、皮膜形成面はスパッタ方向と垂
直であるので、スパッタ効率が良い。なお、駆動電極１
２，３１の形成は、無電界ニッケルメッキ法を用いて同
時に行っても良い。その場合、インク溝部２１の開口部
寸法が大きいので、従来例で説明したようなメッキ液が
流入しにくいという問題点は生じない。
【００２０】次いで図４に示すように、図３で示した圧
電セラミックス基板１１をインク溝部２１の中央部で切
断し、圧電素子エレメント４１ａ、４１ｂを形成する。
圧電素子エレメント４１ａの外形寸法は、０．４×２０
×０．２ｍｍであり、０．２×２０×０．１ｍｍのイン
ク溝部２１ａが形成されている。壁部２２ａの表裏両面
には、駆動電極１２ａ、３１ａが形成されている。
電セラミックス基板１１をインク溝部２１の中央部で切
断し、圧電素子エレメント４１ａ、４１ｂを形成する。
圧電素子エレメント４１ａの外形寸法は、０．４×２０
×０．２ｍｍであり、０．２×２０×０．１ｍｍのイン
ク溝部２１ａが形成されている。壁部２２ａの表裏両面
には、駆動電極１２ａ、３１ａが形成されている。
【００２１】次いで図５に示すように、圧電素子エレメ
ント４１ａを８個順次接合し、一体化して圧電素子５３
を作成する。圧電素子５３は、外形寸法１．６×２０×
０．１ｍｍのアルミナ製基板５２の１．６×２０の面
に、８個の圧電素子エレメント４１ａの０．２×２０の
面を、接着層５１を介して接着した。インク流路および
圧力チャンバーとして作用するインク溝２１ａが、圧電
素子エレメント４１ａの一体化により７個形成される。
各インク溝２１ａの両側面には駆動電極１２ａ、３１ａ
が形成される。従って、剪断変形を発生する圧電セラミ
ックスの壁２２ａは、壁の幅寸法と高さ寸法の形状比が
２（０．２／０．１）となり、効率のよい剪断変形を実
現できる。
ント４１ａを８個順次接合し、一体化して圧電素子５３
を作成する。圧電素子５３は、外形寸法１．６×２０×
０．１ｍｍのアルミナ製基板５２の１．６×２０の面
に、８個の圧電素子エレメント４１ａの０．２×２０の
面を、接着層５１を介して接着した。インク流路および
圧力チャンバーとして作用するインク溝２１ａが、圧電
素子エレメント４１ａの一体化により７個形成される。
各インク溝２１ａの両側面には駆動電極１２ａ、３１ａ
が形成される。従って、剪断変形を発生する圧電セラミ
ックスの壁２２ａは、壁の幅寸法と高さ寸法の形状比が
２（０．２／０．１）となり、効率のよい剪断変形を実
現できる。
【００２２】図６に、本実施例の圧電素子５３を用いて
作成したインクジェットプリンタヘッド記録部の概略構
成を示す。圧電素子５３は、サイドカバープレート６４
と接着層６５を介して接着される。その後、インク供給
口６１を備えたトップカバープレート６２が接着層６３
を介して接着される。前面にはインク噴射孔６６を備え
たノズルプレート６７が接着される。このようにしてイ
ンクジェットプリンタヘッドの記録部が完成する。
作成したインクジェットプリンタヘッド記録部の概略構
成を示す。圧電素子５３は、サイドカバープレート６４
と接着層６５を介して接着される。その後、インク供給
口６１を備えたトップカバープレート６２が接着層６３
を介して接着される。前面にはインク噴射孔６６を備え
たノズルプレート６７が接着される。このようにしてイ
ンクジェットプリンタヘッドの記録部が完成する。
【００２３】次に、圧電素子５３の動作を説明する。
【００２４】図７にインクジェットプリンタヘッド記録
部の縦断面図を示し、中央部のインク溝（圧力チャンバ
ー）２１の電圧印加時の動作を説明する。
部の縦断面図を示し、中央部のインク溝（圧力チャンバ
ー）２１の電圧印加時の動作を説明する。
【００２５】図７に示すように、インク溝２１の外側両
側面の駆動電極１２、３１を正負極とし、インク溝２１
の内側両側面の壁２２を挟んで対向する駆動電極１２、
３１を負極として電圧を印加すると、インク溝２１の両
側の壁２２には、それぞれ矢印で示した向きの駆動電界
が発生する。各圧電素子エレメントは、分極方向１３を
有するので、壁２２の駆動電極１２、３１を有する部分
は剪断変形を起こし、図示の如くインク溝２１の容積を
増加させる方向に変形する。その後、電圧がオフされる
と、壁２２は電圧印加が行われる前の状態に復帰する。
この際、インク溝２１はその容積を減少させると共に、
インク溝２１内のインクには圧力波が発生する。つま
り、インク溝２１は一種の圧力チャンバーとして動作
し、図６に示したノズルプレート６７のインク噴射孔６
６からインク滴の噴射が起こる。
側面の駆動電極１２、３１を正負極とし、インク溝２１
の内側両側面の壁２２を挟んで対向する駆動電極１２、
３１を負極として電圧を印加すると、インク溝２１の両
側の壁２２には、それぞれ矢印で示した向きの駆動電界
が発生する。各圧電素子エレメントは、分極方向１３を
有するので、壁２２の駆動電極１２、３１を有する部分
は剪断変形を起こし、図示の如くインク溝２１の容積を
増加させる方向に変形する。その後、電圧がオフされる
と、壁２２は電圧印加が行われる前の状態に復帰する。
この際、インク溝２１はその容積を減少させると共に、
インク溝２１内のインクには圧力波が発生する。つま
り、インク溝２１は一種の圧力チャンバーとして動作
し、図６に示したノズルプレート６７のインク噴射孔６
６からインク滴の噴射が起こる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、複
数のエレメントの幅広の基部同士を接合して、幅狭の突
出部間にインク溝を形成することで、深いインク溝を高
い集積度で配置することができ、また、そのための加工
も容易となる。
数のエレメントの幅広の基部同士を接合して、幅狭の突
出部間にインク溝を形成することで、深いインク溝を高
い集積度で配置することができ、また、そのための加工
も容易となる。
【図１】本発明の実施例に用いる圧電セラミックス基板
の斜視図である。
の斜視図である。
【図２】前記圧電セラミックス基板に溝加工をした場合
の斜視図である。
の斜視図である。
【図３】前記溝加工をした圧電セラミックス基板の溝底
部に電極形成をした場合の斜視図である。
部に電極形成をした場合の斜視図である。
【図４】前記溝底部に電極形成した圧電セラミックス基
板を切断して作成した圧電素子エレメントの斜視図であ
る。
板を切断して作成した圧電素子エレメントの斜視図であ
る。
【図５】前記圧電素子エレメントを接合一体化した斜視
図である。
図である。
【図６】前記一体化した圧電素子エレメントにより作成
したインクジェットプリンタヘッド記録部の斜視図であ
る。
したインクジェットプリンタヘッド記録部の斜視図であ
る。
【図７】前記圧電素子エレメントの電圧印加による変形
状態を示す断面図である。
状態を示す断面図である。
【図８】従来の圧電素子の構成を示す概略図である。
１２…駆動電極 ２１…インク溝 ２２…圧電セラミックスの壁（側壁） ３１…駆動電極 ４１…圧電素子エレメント ５３…圧電素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鐘ヶ江 隆弘 愛知県名古屋市瑞穂区苗代町15番１号 ブラザー工業株式会社内 (72)発明者 竹内 誠 愛知県名古屋市瑞穂区苗代町15番１号 ブラザー工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−92460（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−82661（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/16
Claims (4)
- 【請求項１】 複数のインク溝を有し、そのインク溝に
貯溜されたインクを噴射せしめるようにしたインクジェ
ットプリンタヘッドにおいて、 幅広の基部と、この基部から突出した幅狭の突出部とか
らなる断面がほぼＬ字状をなした複数のエレメントから
なり、前記基部同士を接合せしめて前記突出部間にイン
ク溝を形成したことを特徴とするインクジェットプリン
タヘッド。 - 【請求項２】 請求項１において、前記複数のエレメン
トは圧電材料からなり、前記インク溝の高さをその幅よ
りも大きく構成したことを特徴とするインクジェットプ
リンタヘッド。 - 【請求項３】 請求項２において、前記幅狭の突出部
は、両側面に駆動電極を有することを特徴とするインク
ジェットプリンタヘッド 。 - 【請求項４】 請求項１から３のいずれかにおいて、前
記複数のインク溝を覆ってカバープレートを装着するこ
とを特徴とするインクジェットプリンタヘッド 。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24572791A JP3024307B2 (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | インクジェットプリンタヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24572791A JP3024307B2 (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | インクジェットプリンタヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0584905A JPH0584905A (ja) | 1993-04-06 |
| JP3024307B2 true JP3024307B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=17137907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24572791A Expired - Lifetime JP3024307B2 (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | インクジェットプリンタヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3024307B2 (ja) |
-
1991
- 1991-09-25 JP JP24572791A patent/JP3024307B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0584905A (ja) | 1993-04-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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