JP3019703B2 - Manufacturing method of ceramic electronic components - Google Patents

Manufacturing method of ceramic electronic components

Info

Publication number
JP3019703B2
JP3019703B2 JP5332373A JP33237393A JP3019703B2 JP 3019703 B2 JP3019703 B2 JP 3019703B2 JP 5332373 A JP5332373 A JP 5332373A JP 33237393 A JP33237393 A JP 33237393A JP 3019703 B2 JP3019703 B2 JP 3019703B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
external electrode
ceramic electronic
plating
electronic component
plating film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP5332373A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH07192967A (en
Inventor
和弘 宮▼崎▲
正士 森本
康信 米田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=18254245&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP3019703(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP5332373A priority Critical patent/JP3019703B2/en
Publication of JPH07192967A publication Critical patent/JPH07192967A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3019703B2 publication Critical patent/JP3019703B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Capacitors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば積層コンデンサ
等のセラミック電子部品の製造方法に関し、特に外部電
極形成工程が改良されたセラミック電子部品の製造方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic electronic component such as a multilayer capacitor, and more particularly to a method for manufacturing a ceramic electronic component in which an external electrode forming step is improved.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のセラミック電子部品の製造方法の
一例として、積層コンデンサの製造方法を図1及び図2
を参照して説明する。
2. Description of the Related Art As an example of a conventional method for manufacturing a ceramic electronic component, a method for manufacturing a multilayer capacitor is shown in FIGS.
This will be described with reference to FIG.

【0003】複数の内部電極2〜6が誘電体セラミック
層を介して重なり合うようにして配置された焼結体より
なるセラミック電子部品素体1を用意する。このセラミ
ック電子部品素体1の両端面1a,1bを覆うように、
Ag含有導電ペーストを塗布し、焼き付けることにより
外部電極7,8を形成する。
[0003] A ceramic electronic component body 1 made of a sintered body in which a plurality of internal electrodes 2 to 6 are arranged so as to overlap with each other via a dielectric ceramic layer is prepared. In order to cover both end surfaces 1a and 1b of the ceramic electronic component body 1,
The external electrodes 7 and 8 are formed by applying and baking an Ag-containing conductive paste.

【0004】外部電極7,8は、外部との電気的接続に
用いられるものであるが、Agを主体とするため、半田
付けを行った場合に半田くわれ現象により外部電極7,
8が消失したり、腐食したりするという問題がある。そ
こで、従来、図2に一方の外部電極8側を拡大して示す
ように、外部電極8を形成した後、さらにNiよりなる
第1のメッキ膜9を湿式メッキにより形成していた。さ
らに、Niよりなる第1のメッキ膜9は半田付け性が充
分でないため、第1のメッキ膜9上に、半田付け性を高
めるためにSnやSn−Pbからなる第2のメッキ膜1
0を湿式メッキより形成していた。
The external electrodes 7 and 8 are used for electrical connection with the outside. However, since the external electrodes 7 and 8 are mainly made of Ag, the external electrodes 7 and 8 may be broken by soldering when soldering is performed.
8 is lost or corroded. Therefore, conventionally, as shown in an enlarged view of one external electrode 8 side in FIG. 2, after forming the external electrode 8, a first plating film 9 made of Ni is further formed by wet plating. Further, since the first plating film 9 made of Ni has insufficient solderability, the second plating film 1 made of Sn or Sn—Pb is formed on the first plating film 9 in order to enhance the solderability.
0 was formed by wet plating.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、導電ペ
ーストの焼付けにより形成されるAgを主体とする外部
電極7,8は多数の細孔を有する。従って、図2に矢印
で示すように、湿式メッキに際して用いた強酸性のメッ
キ液が、外部電極8を通過し、セラミック電子部品素体
1内に、特にセラミック電子部品素体1を構成している
セラミック層と内部電極との間の界面に到達することが
あった。
However, the external electrodes 7, 8 mainly composed of Ag formed by baking a conductive paste have a large number of pores. Therefore, as shown by the arrow in FIG. 2, the strongly acidic plating solution used in the wet plating passes through the external electrode 8 and forms the ceramic electronic component body 1, especially the ceramic electronic component body 1. In some cases reached the interface between the ceramic layer and the internal electrode.

【0006】強酸性のメッキ液がセラミック電子部品素
体1内に侵入すると、内部電極とセラミック層との間に
層間剥離が生じ、はなはだしき場合には、厚み方向にお
いて隣接する内部電極同士に至るクラックが生じ、絶縁
抵抗が大幅に低下することがあった。これは、以下のメ
カニズムにより発生すると考えられる。
When a strongly acidic plating solution enters the ceramic electronic component body 1, delamination occurs between the internal electrodes and the ceramic layer, and in the case of a bare layer, cracks reaching the internal electrodes adjacent in the thickness direction. Occurred, and the insulation resistance was sometimes significantly reduced. This is considered to occur by the following mechanism.

【0007】すなわち、湿式メッキ時に、Agよりなる
外部電極7,8の細孔を通り、メッキ液がセラミック層
と内部電極との界面に到達する。メッキ中は、通常、セ
ラミック電子部品素体1が陰極側とされているため、内
部電極とセラミック層との界面に存在していると考えら
れる内部電極構成金属の酸化物、例えばNiOが還元さ
れ、それによって上記界面において層間剥離現象が生じ
る。さらに、時間の経過とともに、上記還元反応が内部
にまで進行し、ある時点において対向内部電極間に跨が
るようなクラックが発生し、絶縁抵抗が大幅に低下して
いるものと考えられる。
That is, during the wet plating, the plating solution reaches the interface between the ceramic layer and the internal electrode through the pores of the external electrodes 7 and 8 made of Ag. During plating, since the ceramic electronic component body 1 is usually on the cathode side, an oxide of a metal constituting the internal electrode, which is considered to be present at the interface between the internal electrode and the ceramic layer, for example, NiO is reduced. This causes a delamination phenomenon at the interface. Further, it is considered that the above-mentioned reduction reaction progresses to the inside with the passage of time, and a crack that straddles between the opposing internal electrodes occurs at a certain point in time, and the insulation resistance is considered to be significantly reduced.

【0008】他方、上記外部電極7,8の焼付けの際に
は、通常、Al2 3 粉等の金属酸化物粉が敷粉として
用いられている。すなわち、図3に示すように外部電極
7,8上に導電ペーストを塗布した後、敷粉11を散布
した平面12上にセラミック電子部品素体1を載置し
て、導電ペーストの焼付けを行っていた。敷粉は最終的
には除去されねばならないため、導電ペーストを焼付け
た後、通常水洗いにより除去していた。しかしながら、
上記水洗いでは、敷粉を確実にかつ完全に除去すること
ができなかった。
On the other hand, when the external electrodes 7 and 8 are baked, a metal oxide powder such as Al 2 O 3 powder is usually used as a lint powder. That is, as shown in FIG. 3, after the conductive paste is applied on the external electrodes 7 and 8, the ceramic electronic component body 1 is placed on the flat surface 12 on which the laying powder 11 is scattered, and the conductive paste is baked. I was Since the bedding powder must be finally removed, the conductive paste is usually baked and then removed by washing with water. However,
In the above-mentioned washing with water, the bedding powder could not be completely and completely removed.

【0009】その結果、外部電極7,8の表面に敷粉が
部分的に存在したり、並びに導電ペースト中のガラスフ
リットが不均一に析出したりするため、第1,第2のメ
ッキ膜を9,10を形成した場合、均一な厚みの第1,
第2のメッキ膜9,10を形成することができず、かつ
メッキ膜表面の光沢も低下しがちであった。
As a result, the powders are partially present on the surfaces of the external electrodes 7 and 8, and the glass frit in the conductive paste is deposited unevenly. When 9 and 10 are formed, the first and the first with uniform thickness
The second plating films 9 and 10 could not be formed, and the gloss of the plating film surface tended to decrease.

【0010】本発明の目的は、外部電極上にメッキ膜を
形成するにあたり、メッキ液のセラミック電子部品素体
内への侵入を抑制することができ、かつ光沢の良好なメ
ッキ膜を均一な厚みにかつ安定に形成することを可能と
する工程を備えたセラミック電子部品の製造方法を提供
することにある。
[0010] An object of the present invention is to form a plating film on an external electrode by suppressing the intrusion of a plating solution into a ceramic electronic component body, and providing a plating film having a good gloss to a uniform thickness. It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing a ceramic electronic component having a step of enabling stable formation.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、セラミック電
子部品素体に導電ペーストを付与し、該導電ペーストを
焼き付けて外部電極を形成する工程と、前記セラミック
電子部品素体の外部電極をバレル研磨する工程と、バレ
ル研磨後に、前記外部電極上に湿式メッキにより少なく
とも1のメッキ膜を形成する工程とを備えることを特徴
とする、セラミック電子部品の製造方法である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a process for applying a conductive paste to a ceramic electronic component body and baking the conductive paste to form an external electrode; A method for manufacturing a ceramic electronic component, comprising: a step of polishing; and a step of forming at least one plating film on the external electrode by wet plating after barrel polishing.

【0012】[0012]

【作用】本発明の方法では、外部電極形成後に、バレル
研磨により外部電極表面が平滑化される。従って、該研
磨により外部電極表面の細孔が塞がれ、それによって、
メッキに際してのメッキ液のセラミック電子部品素体内
への侵入を防止することができる。
According to the method of the present invention, after the external electrode is formed, the surface of the external electrode is smoothed by barrel polishing. Therefore, the pores on the surface of the external electrode are closed by the polishing, whereby
It is possible to prevent the plating solution from entering the ceramic electronic component during plating.

【0013】また、上記研磨により外部電極表面が平滑
化されるため、その上にメッキ膜を均一な厚みにかつ安
定に形成することができ、さらにメッキ膜の光沢も良好
なものとなる。
Further, since the surface of the external electrode is smoothed by the above-mentioned polishing, a plating film having a uniform thickness can be stably formed thereon, and the gloss of the plating film can be improved.

【0014】すなわち、本発明は、導電ペーストの焼付
けにより形成される外部電極に不可避的に形成される細
孔を研磨により閉塞するとともに、外部電極表面を平滑
化する工程を備えることに特徴を有する。
That is, the present invention is characterized in that a step of closing pores inevitably formed in an external electrode formed by baking a conductive paste by polishing and smoothing the surface of the external electrode is provided. .

【0015】[0015]

【実施例の説明】以下、本発明の実施例を説明すること
により、本発明を明らかにする。実験例1 常法に従って、3.2×1.6×1.25mmの寸法の
積層コンデンサ用のセラミック電子部品素体を用意し
た。次に、上記セラミック電子部品素体の両端面にAg
ペーストを塗布し、焼付けることによって、外部電極を
形成し、図1に示した構造を得た。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be clarified by describing embodiments of the present invention. Experimental Example 1 According to a conventional method, a ceramic electronic component element having a dimension of 3.2 × 1.6 × 1.25 mm for a multilayer capacitor was prepared. Next, Ag was applied to both end faces of the ceramic electronic component body.
An external electrode was formed by applying and baking the paste to obtain the structure shown in FIG.

【0016】しかる後、図4に示す容量500mlの円
筒型のポット20内に、外部電極の形成された上記セラ
ミック電子部品素体21を1000個投入し、さらに水
200ml及びアルミナからなる直径3mmの研磨剤2
2をかさ容積350ml投入し、回転数90rpmで上
記ポット20を軸方向を中心として30分間回転させ
た。このバレル研磨により、外部電極表面が研磨され、
焼結後に存在していた細孔が閉塞され、かつ不均一に析
出していたガラスフリットが削り取られ、外部電極表面
が平滑化された。 上記のようにして研磨された積層コ
ンデンサ用チップ(実施例)及び上記バレル研磨を行っ
ていない積層コンデンサ用チップ(比較例)につき、外
部電極表面にNiを2μmの厚みに電解メッキし、さら
に以下の要領でSnメッキ性を評価した。
Thereafter, 1,000 ceramic electronic component bodies 21 each having an external electrode formed therein are put into a cylindrical pot 20 having a capacity of 500 ml shown in FIG. 4, and further, 200 ml of water and a 3 mm diameter alumina are formed. Abrasive 2
2, and the pot 20 was rotated around the axial direction for 30 minutes at a rotation speed of 90 rpm. By this barrel polishing, the external electrode surface is polished,
The pores that existed after sintering were closed, and the glass frit that had precipitated unevenly was scraped off, and the surface of the external electrode was smoothed. Regarding the multilayer capacitor chip polished as described above (Example) and the multilayer capacitor chip not subjected to the barrel polishing (Comparative Example), Ni was electrolytically plated on the external electrode surface to a thickness of 2 μm. The Sn plating property was evaluated in the same manner as described above.

【0017】Snメッキ性の評価…Snメッキ浴中に、
通常の電流密度の3倍の電流を流してNiメッキ膜上に
Snメッキを行い、メッキ後のセラミック電子部品素体
における層間剥離の有無を超音波探傷法により検出し
た。なお、下記の表1に示す層間剥離率は、実施例及び
比較例それぞれ各1000個について層間剥離が発生し
た割合を示したものである。
Evaluation of Sn plating property: In a Sn plating bath,
Sn plating was performed on the Ni plating film by flowing a current three times the normal current density, and the presence or absence of delamination in the plated ceramic electronic component body was detected by an ultrasonic flaw detection method. The delamination rate shown in Table 1 below indicates the rate at which delamination occurred for each of 1000 examples and comparative examples.

【0018】また、上記のようにしてSnがメッキされ
た実施例及び比較例各1000個の積層コンデンサチッ
プにつき、相対湿度85%及び温度70℃の環境の下に
1000時間放置した後、両端面の外部電極間の絶縁抵
抗を測定することにより耐湿負荷試験を行った。結果を
表1に併せて示す。
Further, each of the 1000 laminated capacitor chips of the embodiment and the comparative example, on which Sn was plated as described above, was allowed to stand for 1000 hours in an environment of a relative humidity of 85% and a temperature of 70 ° C. The moisture resistance load test was performed by measuring the insulation resistance between the external electrodes. The results are shown in Table 1.

【0019】[0019]

【表1】 [Table 1]

【0020】表1から明らかなように、実施例のように
上記条件で外部電極を研磨した後、Niメッキ膜及びS
nメッキ膜を形成すれば、層間剥離率をほぼ0とするこ
とができ、かつ耐湿負荷試験において不良と判断される
ものが皆無となることがわかる。すなわち、上記バレル
研磨により、外部電極表面の細孔が閉塞され、かつ表面
に存在していた不要ガラスフリットを除去することがで
きるため、層間剥離現象を効果的に防止し得るものと考
えられる。
As is clear from Table 1, after the external electrodes were polished under the above conditions as in the embodiment, the Ni plating film and the S
It can be seen that when the n-plated film is formed, the delamination rate can be made substantially zero, and none of the components is judged to be defective in the moisture resistance load test. That is, it is considered that pores on the surface of the external electrode are closed and unnecessary glass frit existing on the surface can be removed by the barrel polishing, so that the delamination phenomenon can be effectively prevented.

【0021】実験例2 次に、実験例1と同様にして、ただし、研磨条件を変更
することにより、メッキ膜表面の光沢やメッキ後の外部
電極不良等の発生について実験した。
EXPERIMENTAL EXAMPLE 2 Next, an experiment was conducted in the same manner as in Experimental Example 1 except that the polishing conditions were changed to generate gloss on the surface of the plating film and occurrence of defective external electrodes after plating.

【0022】ポットの回転速度の選定 直径5mmの球状の多数のセラミックボールを研磨材と
して用い、ポットの回転速度を0〜200rpmの間で
変化させ、30分間ポットを回転させた。以後の工程は
実験例1と同様にしてNiメッキ膜及びSnメッキ膜を
形成した。形成されたメッキ膜表面の光沢を測定した。
この光沢度については、外観を目視により評価し、光沢
度の優れたものから光沢度が充分でないものまでを10
段階に分けて評価した。結果を図5に示す。
Selection of Rotation Speed of Pot Using a large number of spherical ceramic balls having a diameter of 5 mm as abrasives, the rotation speed of the pot was changed between 0 and 200 rpm, and the pot was rotated for 30 minutes. In the subsequent steps, a Ni plating film and a Sn plating film were formed in the same manner as in Experimental Example 1. The gloss of the surface of the formed plating film was measured.
Regarding the gloss, the external appearance was evaluated by visual observation, and 10 to 10 from excellent gloss to insufficient gloss.
The evaluation was divided into stages. FIG. 5 shows the results.

【0023】図5から明らかなように、回転速度が低い
場合には、研磨材がポットの内壁をずり落ちてしまうた
めか、また、回転速度が高すぎる場合には、ポットの内
壁と一緒に研磨材及びコンデンサチップが回転してしま
うためか、外部電極表面の研磨が充分に行われず、最終
的なメッキ膜表面の光沢度が充分でなかった。従って、
バレル研磨を行っておくことによりメッキ膜表面の光沢
度を改善するには、50〜150rpmの回転速度で行
うことが好ましい。
As is apparent from FIG. 5, the polishing material slips down the inner wall of the pot when the rotation speed is low, and together with the inner wall of the pot when the rotation speed is too high. The surface of the external electrode was not sufficiently polished, possibly due to rotation of the abrasive and the capacitor chip, and the glossiness of the final plating film surface was not sufficient. Therefore,
In order to improve the glossiness of the plating film surface by performing barrel polishing, it is preferable to perform the rotation at a rotation speed of 50 to 150 rpm.

【0024】研磨材の径の選定 ポットの回転速度を90rpmとし、90分間ポットを
回転させてバレル研磨を行った。バレル研磨後は実験例
1と同様にしてメッキ膜を形成し、さらにメッキ膜表面
の光沢度をの回転速度の選定と同様にして行った。結
果を下記の表2に示す。
Selection of Diameter of Abrasive Material Barrel polishing was performed by rotating the pot for 90 minutes while setting the rotation speed of the pot to 90 rpm. After barrel polishing, a plating film was formed in the same manner as in Experimental Example 1, and the gloss of the plating film surface was determined in the same manner as the selection of the rotation speed. The results are shown in Table 2 below.

【0025】[0025]

【表2】 [Table 2]

【0026】表2から明らかなように、研磨材の径を2
〜10mmの範囲とすれば、メッキ膜表面の光沢度が良
好であることがわかる。上記バレル研磨はポット内にお
いて研磨材が落下して積層コンデンサチップの外部電極
表面に衝突した際の衝撃により行われるものと思われる
が、研磨材の径が2mm未満では研磨材の重量が小さく
なるため上記衝撃が小さくなり過ぎ、充分な研磨効果が
得られないものと考えられる。また、逆に、研磨材の径
が大き過ぎる場合には、ポット内において研磨材が均一
に分布されないためか、研磨ばらつきが生じ、最終的に
積層コンデンサチップ間においてメッキ膜の光沢ばらつ
きが大きかった。
As is apparent from Table 2, the diameter of the abrasive is 2
It can be seen that when the thickness is in the range of 10 to 10 mm, the glossiness of the plating film surface is good. The above barrel polishing is thought to be performed by an impact when the abrasive falls in the pot and collides with the external electrode surface of the multilayer capacitor chip. However, when the diameter of the abrasive is less than 2 mm, the weight of the abrasive decreases. Therefore, it is considered that the impact becomes too small and a sufficient polishing effect cannot be obtained. Conversely, if the diameter of the abrasive is too large, the abrasive may not be evenly distributed in the pot, or polishing variation may occur, and finally the gloss variation of the plating film between the multilayer capacitor chips was large. .

【0027】研磨時間の選定 直径5mmのセラミックボールからなる研磨材を用い、
90rpmの回転速度で下記の表3に示す時間内で研磨
した。以後の工程は実験例1と同様にし、さらにメッキ
膜表面の光沢度を上記と同様にして評価した。また、研
磨後の外部電極エッジ部分における削れ量、すなわち図
1の矢印Aで示すエッジ部分における外部電極の膜厚を
測定した。
Selection of polishing time Using an abrasive made of ceramic balls having a diameter of 5 mm,
Polishing was performed at a rotation speed of 90 rpm within the time shown in Table 3 below. The subsequent steps were the same as in Experimental Example 1, and the glossiness of the plating film surface was evaluated in the same manner as described above. In addition, the shaving amount at the edge of the external electrode after polishing, that is, the thickness of the external electrode at the edge indicated by arrow A in FIG. 1 was measured.

【0028】結果を下記の表3に示す。The results are shown in Table 3 below.

【0029】[0029]

【表3】 [Table 3]

【0030】表3から明らかなように、バレル研磨時間
を30分以上とすることにより外部電極表面のメッキ膜
の光沢度が良好となり、30分未満では研磨が充分に行
われないためか、メッキ膜表面の光沢度が充分でなかっ
た。
As is clear from Table 3, by setting the barrel polishing time to 30 minutes or more, the glossiness of the plating film on the surface of the external electrode is improved. If the polishing time is less than 30 minutes, polishing is not sufficiently performed. The glossiness of the film surface was not sufficient.

【0031】また、エッジ部の外部電極の厚みは、セラ
ミック電子部品素体端面と側面並びに上面及び下面の外
部電極部分との間の電気的接続を確保するために重要で
あり、湿式メッキ時のメッキ液の内部への侵入を防止す
るためにも重要であり、さらに、耐半田くわれ現象を防
止するためにも重要である。ところが、バレル研磨時間
が90分を超えると、エッジ部における外部電極削れ量
が5μmを超え、従ってエッジ部における外部電極の厚
みが薄くなりすぎ、不適当であることがわかる。
The thickness of the external electrode at the edge portion is important for ensuring electrical connection between the end surface of the ceramic electronic component body and the external electrode portions on the side surface and the upper and lower surfaces. This is important for preventing the plating solution from entering the inside, and is also important for preventing the solder cracking resistance. However, when the barrel polishing time exceeds 90 minutes, the shaving amount of the external electrode at the edge portion exceeds 5 μm, and therefore, the thickness of the external electrode at the edge portion becomes too thin, which is inappropriate.

【0032】上記バレル研磨に際してのポットの回転
速度の選定、研磨材の径の選定及びバレル時間の選
定から、上記積層コンデンサチップの外部電極表面を研
磨するに際しては、直径2〜10mm程度の球状のセラ
ミック材を研磨材として用い、バレル研磨に際しての回
転速度を50〜150rpmとし、30〜90分の間ポ
ットを回転させることが好ましいことがわかる。
From the selection of the rotation speed of the pot, the selection of the diameter of the abrasive, and the selection of the barrel time during the barrel polishing, when polishing the external electrode surface of the multilayer capacitor chip, a spherical shape having a diameter of about 2 to 10 mm is used. It can be seen that it is preferable to use a ceramic material as an abrasive, set the rotation speed during barrel polishing to 50 to 150 rpm, and rotate the pot for 30 to 90 minutes.

【0033】しかしながら、上記バレル研磨に際しての
ポットの回転数、研磨材の径及びバレル研磨時間につい
ては、対象となるセラミック電子部品素体の組成、寸法
及び外部電極の組成及び寸法等によって異なるため、上
記範囲が好ましいとは必ずしもいえない場合もある。す
なわち、上記研磨条件は対象物によって異なるため、一
義的に定め得ないものである。
However, the number of rotations of the pot, the diameter of the abrasive, and the barrel polishing time during the barrel polishing vary depending on the composition and dimensions of the target ceramic electronic component body and the composition and dimensions of the external electrodes. The above range may not always be preferable. That is, since the polishing conditions vary depending on the object, they cannot be uniquely determined.

【0034】なお、上記実施例の説明は、積層コンデン
サについて行ったが、本発明は、積層コンデンサ等の積
層セラミック電子部品以外の他のセラミック電子部品の
製造方法にも適用し得るものである。すなわち、内部電
極が存在しないセラミック電子部品においても外部電極
表面に湿式メッキによりメッキ膜を形成する場合には、
本発明の製造方法を適用することにより、外部電極上の
メッキ表面の光沢度を高めることができ、かつ均一なメ
ッキ膜を安定に形成することができる。
Although the above embodiment has been described with reference to a multilayer capacitor, the present invention can be applied to a method of manufacturing a ceramic electronic component other than a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer capacitor. In other words, when a plating film is formed by wet plating on the surface of an external electrode even in a ceramic electronic component having no internal electrode,
By applying the manufacturing method of the present invention, the glossiness of the plating surface on the external electrode can be increased, and a uniform plating film can be stably formed.

【0035】[0035]

【発明の効果】本発明では、外部電極形成後のメッキ膜
の形成に先立ち、外部電極を研磨するため、該研磨によ
り導電ペーストで焼き付けられた外部電極中の細孔を塞
ぐことができる。従って、湿式メッキに際し、メッキ液
がセラミック電子部品素体内に侵入することを防止する
ことができるため、積層セラミック電子部品では層間剥
がれを防止することができ、かつ絶縁抵抗の低下等を確
実に防止することが可能となる。特に、内部電極とし
て、Ni等の卑金属からなるものを用いた場合には、メ
ッキ液による酸化等を確実に防止することができ、従っ
て、より一層耐湿性に優れた信頼性の高いセラミック電
子部品を提供することができる。
According to the present invention, since the external electrode is polished prior to the formation of the plating film after the external electrode is formed, the polishing can close the pores in the external electrode baked with the conductive paste. Therefore, it is possible to prevent the plating solution from entering the ceramic electronic component body during wet plating, so that it is possible to prevent delamination between layers in the multilayer ceramic electronic component and to reliably prevent a decrease in insulation resistance and the like. It is possible to do. In particular, when an internal electrode made of a base metal such as Ni is used, oxidation or the like by a plating solution can be reliably prevented, and therefore, a highly reliable ceramic electronic component with even more excellent moisture resistance. Can be provided.

【0036】さらに、上記バレル研磨により、外部電極
表面の異物が確実に除去されるため、メッキ不足等のメ
ッキ不良を低減することができる。本願発明者によれ
ば、メッキ不良発生率は、従来20ppm程度てあった
のに対し、本発明の方法では5ppm以下に低減し得る
ことが確かめられている。
Further, since the foreign matter on the surface of the external electrode is reliably removed by the barrel polishing, plating defects such as insufficient plating can be reduced. According to the inventor of the present application, it has been confirmed that the plating failure occurrence rate can be reduced to 5 ppm or less in the method of the present invention, while the plating failure occurrence rate was conventionally about 20 ppm.

【0037】また、上記研磨を行っておくことにより、
最終的に形成されるメッキ膜表面の光沢度が高められ、
かつ光沢度のばらつきが低減される。従って、外観品位
の優れたセラミック電子部品を提供することができる。
Further, by performing the above polishing,
The glossiness of the finally formed plating film surface is increased,
In addition, variations in glossiness are reduced. Therefore, a ceramic electronic component having excellent appearance quality can be provided.

【0038】また、外部電極表面が平滑になるため、半
田付け性も高められる。
Further, since the surface of the external electrode becomes smooth, the solderability is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】外部電極が形成された積層コンデンサチップを
示す断面図。
FIG. 1 is a sectional view showing a multilayer capacitor chip on which external electrodes are formed.

【図2】外部電極上にメッキ膜を形成した状態を示す部
分切欠拡大断面図。
FIG. 2 is a partially cutaway enlarged sectional view showing a state where a plating film is formed on an external electrode.

【図3】外部電極焼付け時の積層コンデンサチップを示
す部分切欠断面図。
FIG. 3 is a partially cutaway sectional view showing a multilayer capacitor chip when external electrodes are baked.

【図4】バレル研磨を説明するための斜視図。FIG. 4 is a perspective view for explaining barrel polishing.

【図5】バレル研磨に際してのポットの回転数と、外部
電極上のメッキ膜表面の光沢度との関係を示す図。
FIG. 5 is a diagram showing a relationship between the number of rotations of a pot during barrel polishing and the glossiness of a plating film surface on an external electrode.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…セラミック電子部品素体 7,8…外部電極 9,10…メッキ膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ceramic electronic component body 7, 8 ... External electrode 9, 10 ... Plating film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−192108(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 1/14 H01G 1/147 H01G 4/12 H01G 4/30 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-1-192108 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01G 1/14 H01G 1/147 H01G 4 / 12 H01G 4/30

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 セラミック電子部品素体に導電ペースト
を付与し、該導電ペーストを焼き付けて外部電極を形成
する工程と、 前記セラミック電子部品素体の外部電極をバレル研磨す
る工程と、 バレル研磨後に、前記外部電極上に湿式メッキにより少
なくとも1のメッキ膜を形成する工程とを備えることを
特徴とする、セラミック電子部品の製造方法。
A step of applying a conductive paste to the ceramic electronic component body and baking the conductive paste to form an external electrode; a step of barrel polishing the external electrode of the ceramic electronic component body; Forming at least one plating film on the external electrodes by wet plating.
JP5332373A 1993-12-27 1993-12-27 Manufacturing method of ceramic electronic components Expired - Lifetime JP3019703B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5332373A JP3019703B2 (en) 1993-12-27 1993-12-27 Manufacturing method of ceramic electronic components

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5332373A JP3019703B2 (en) 1993-12-27 1993-12-27 Manufacturing method of ceramic electronic components

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07192967A JPH07192967A (en) 1995-07-28
JP3019703B2 true JP3019703B2 (en) 2000-03-13

Family

ID=18254245

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5332373A Expired - Lifetime JP3019703B2 (en) 1993-12-27 1993-12-27 Manufacturing method of ceramic electronic components

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3019703B2 (en)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11283441A (en) * 1998-03-30 1999-10-15 Kyocera Corp Conductive paste and electronic part
JP3654785B2 (en) 1999-02-04 2005-06-02 株式会社村田製作所 Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor
JP4496635B2 (en) * 2000-10-30 2010-07-07 株式会社村田製作所 Manufacturing method of electronic parts
JP4687670B2 (en) * 2007-03-14 2011-05-25 Tdk株式会社 Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component
JP5221282B2 (en) * 2008-10-29 2013-06-26 Tdk株式会社 Ceramic multilayer electronic component and manufacturing method thereof
JP2011124403A (en) * 2009-12-11 2011-06-23 Koa Corp Method of manufacturing electronic components
WO2014115358A1 (en) * 2013-01-25 2014-07-31 株式会社村田製作所 Module and manufacturing method thereof
JP6747273B2 (en) 2016-12-13 2020-08-26 株式会社村田製作所 Electronic component manufacturing method and electronic component
JP2021190618A (en) * 2020-06-02 2021-12-13 Tdk株式会社 Multilayer inductor component

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07192967A (en) 1995-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5805409A (en) Multi-layer electronic part having external electrodes that have a thermosetting resin and metal particles
JP5056485B2 (en) Multilayer electronic component and manufacturing method thereof
JP4807410B2 (en) Multilayer electronic component and manufacturing method thereof
JPH097877A (en) Multilayered ceramic chip capacitor and manufacture thereof
JP3531543B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component and multilayer ceramic electronic component
JP5799948B2 (en) Ceramic electronic component and method for manufacturing the same
JP4933968B2 (en) Ceramic electronic components
JP5099609B2 (en) Multilayer electronic components
US7379288B2 (en) Monolithic ceramic electronic component and method for manufacturing the same
JP2015035581A (en) Ceramic electronic component and method for manufacturing the same
US11495407B2 (en) Capacitor component
JP3019703B2 (en) Manufacturing method of ceramic electronic components
JP3367426B2 (en) Ceramic electronic component and method of manufacturing the same
JP3548775B2 (en) Conductive paste and ceramic electronic components
JPH11243029A (en) Conducting paste for terminal and laminated ceramic capacitor
JP7534987B2 (en) Ceramic Electronic Components
JP5835047B2 (en) Ceramic electronic components
JP4513129B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component and multilayer ceramic electronic component
JP4637440B2 (en) Manufacturing method of ceramic element
JP2618019B2 (en) Conductive paint for plating base and plating method using the same
JPH0722268A (en) Chip device
JP3744710B2 (en) Multilayer ceramic capacitor
JPH0878279A (en) Formation of outer electrode on electronic chip device
JP5221282B2 (en) Ceramic multilayer electronic component and manufacturing method thereof
US20230115608A1 (en) Multilayer ceramic capacitor