JP2937014B2 - 位置決めマーク検出装置 - Google Patents

位置決めマーク検出装置

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JP2937014B2
JP2937014B2 JP10921994A JP10921994A JP2937014B2 JP 2937014 B2 JP2937014 B2 JP 2937014B2 JP 10921994 A JP10921994 A JP 10921994A JP 10921994 A JP10921994 A JP 10921994A JP 2937014 B2 JP2937014 B2 JP 2937014B2
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淳 斧城
憲也 和田
義宏 小塩
寛 梅津
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば一対のワークを
相互に重ね合わせるため等において、少なくとも一つの
ワークに設けた一対からなる位置決めマークを、単一の
光学系と2個の撮像手段によって検出して、それぞれの
位置を認識するための位置決めマーク検出装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】電子部品や電気機器等においては、一方
側のワークに他方のワークを接合するように組み付ける
場合がある。例えば、液晶パネルの製造工程において、
液晶セルの周縁部にたいして、ドライバICを搭載した
TCP(Tape Carrier Package)からなるTAB(Tape
Automated Bonding)が実装されるが、このTABを液
晶セルに実装するために、ACF(異方性導電膜:Anis
otropic Conductive Film )が用いられ、液晶セルとT
ABとを間にACFを介して熱圧着するようにしてい
る。ここで、TABに形成される出力リードのピッチは
微細化の傾向にあり、最近では0.07mm程度という
ように極めて微細なピッチ間隔のものが用いられるよう
になってきている。従って、液晶セルにTABを実装す
る際には、両者を極めて厳格に位置合わせして接合しな
ければ、液晶セル側の電極とTAB側の出力リードを電
気的に接続できなくなる。
【0003】前述した液晶セルとTABというように、
2つの部材を正確に接合できるようにするためには、そ
れぞれハンドリング手段に装着するが、この時に両者の
位置を正確に認識しなければならない。この位置の認識
を可能ならしめるために、所謂アライメントマークと呼
ばれる位置決めマークが各部材に設けられて、これらア
ライメントマークを基準として2つの部材の位置を認識
して、相互に位置合わせを行うようにしている。それぞ
れのハンドリング手段により、相互に位置合わせされる
2部材が同一水平面に配置されていたとすると、これら
2部材の位置合わせを行うには、それぞれ2箇所にアラ
イメントマークが設けられておれば、これら各2箇所の
アライメントマークのXY方向及び回転方向の位置ずれ
を検出することによって、位置合せを行うことができ
る。ここで、各部材に設けられるアライメントマークは
できるだけ離れた位置に設ける方が、正確な位置検出が
可能となる。
【0004】アライメントマークの検出とその位置認識
は、通常、画像認識により行われる。このために、2部
材のそれぞれのアライメントマークを設けた部位に照明
光を照射する照明手段と、この照明下でアライメントマ
ークを撮像する撮像手段とからなるマーク検出装置と、
このマーク検出装置によって検出された各アライメント
マークのXY座標軸上の位置を認識して、それらのXY
方向及び回転方向の位置ずれの量を演算する画像処理手
段とを備える構成とする。そして、この画像処理手段か
らの位置補正信号に基づいて、一方側の部材または両部
材のハンドリング手段によって、位置の調整を行うこと
ができる。
【0005】マーク検出装置は、実際上では、光源や照
明レンズ,対物レンズ等の光学系と、CCDカメラ等か
らなる撮像手段とから構成されるが、各アライメントマ
ークを個別的に検出するように構成すると、アライメン
トマークは4箇所あることから、4台のマーク検出装置
が必要となり、装置構成が大型化することになる。しか
も、各マーク検出装置が相互に極めて厳格に位置合わせ
されていなければならず、4台の各マーク検出装置を誤
差なく組み付けることは著しく困難であり、また僅かで
も誤差があると、その累積により検出精度が著しく低下
するという問題点がある。また、1台のマーク検出装置
を移動させて、それぞれのアライメントマークを検出す
ることも考えられるが、そのように構成すると、移動時
に誤差が生じる等のために、やはり厳格な位置検出がで
きなくなる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本出願人は、
相互に重ね合わせられる2つのアライメントマークを1
個の撮像手段で検出するようになし、かつ光学系を共通
とすることによって、単一の光学系と2個の撮像手段と
からなるマーク検出ユニットを形成するようにしたもの
を開発した。このように構成すると、マーク検出装置の
構成が著しく簡略化でき、しかも組み付け誤差の累積等
が防止されるので、位置検出精度が著しく向上する等の
利点がある。このように、マーク検出ユニットを用いる
ことにより、種々の利点があるものの、なお問題がない
訳ではない。
【0007】即ち、前述したTABを液晶セルに実装す
る際に用いられるマーク位置決め装置として用いる場合
において、異なるサイズの液晶セル及びTABに対して
は、撮像手段の位置を変える必要があり、また照明手段
による照明領域も変えなければならない。特に、1個の
液晶セルに対して複数のTABが実装されるが、その位
置によっては異なるサイズのTABが設けられることが
あり、このような場合には、前述したマーク検出ユニッ
トによっては位置検出を行えないというような問題点が
ある。
【0008】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、異なる位置に設けた
位置マークを容易に、しかも確実に検出できるようにす
ることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、本発明は、左右一対の位置決めマークを設けた少
なくとも一つのワークに対して、照明手段により位置決
めマークを設けた部位を照明した状態で、撮像手段によ
り位置決めマークを撮像して、それらの位置を認識する
ためのものであって、前記ワークからの反射光の光路に
は、両位置決めマークの中間の位置で光路を左右に分割
するために、相互に所定角度をもって配設した一対から
なる反射ミラーを備えた光路分割手段と、この光路分割
手段における各反射ミラーに対面させるように配設さ
れ、これら各反射ミラーに投影されている位置決めマー
クを撮像する一対の撮像手段と、これら各撮像手段によ
る撮像視野範囲を各反射ミラーの傾き方向に向けて変位
させるために、両撮像手段を連動変位させる駆動手段と
から構成したことをその特徴とするものである。
【0010】
【作用】ある水平面内でXY方向及び回転方向の位置を
検出するために、位置決めマークが一対形成されるが、
これら両位置決めマークには対称中心がある。このため
に、照明手段からの照明下によるワークから反射する物
体光の光路を一対からなる反射ミラーで2つに分割する
が、このために両反射ミラーを一対からなる位置決めマ
ークの対称中心を基準として、この対称中心が交点とな
るようにして左右に傾けた状態に配設する。これによっ
て、各位置決めマークの物体像はそれぞれ左右に分離す
る。そして、これら2つの反射ミラーに対して一対の撮
像手段を対向配設することによって、これら各反射ミラ
ーに投影された各位置決めマークをそれぞれの撮像手段
により撮像させることができる。2個の撮像手段をこの
ように配置することにより、それらが相互に干渉するこ
とがなくなる。相接合される2つのワークを近接した位
置に配設することによって、一方のワークと他方のワー
クとの右側,左側に設けた各2個の位置決めマークがそ
れぞれの反射ミラーに投影される。そして、これら各2
個の位置決めマークは、その間隔の広狭に拘らず各反射
ミラーに対面させて設けた撮像手段の視野内に入れるこ
とができる。
【0011】位置決めマークは対称に設けられているか
ら、2つの反射ミラーの傾きの交点位置にある限り、位
置決めマークの間隔が変化すると、2つの反射ミラー上
では、位置決めマークが前述した2つの反射ミラーの傾
きの交点の位置に近づくか、遠ざかるかする。従って、
各反射ミラーに対面する状態に設けられている2個の撮
像手段を駆動手段によって、この方向に同時に連動して
往復動できるようにすることにより、位置決めマークの
位置が変化しても、確実に撮像手段の視野内に納めるこ
とができる。
【0012】照明手段による照明光は、位置決めマーク
の最大幅をカバーできる範囲のものとする。ここで、広
い範囲を照明すると、中央部分と周辺部分との間の光量
の差が大きくなる。従って、最も間隔の大きな位置決め
マークの位置には十分な光量で照明できなくなることが
ある。これを避けるには、ワークに照射される照明光の
幅は位置決めマークの最大幅より大きく、しかも位置決
めマークが設けられる部位以外には光が及ばないよう
に、照明光の光路が扁平な長方形状となるようにする形
状の導光部材を用いれば良い。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。而して、本実施例においては、液晶パネル
の製造工程において、液晶セルにTABを実装するため
の位置決めマークを検出する装置として構成したものを
示すが、本発明の位置決めマーク検出装置はこれに限定
されるものではなく、要は一対の位置決めマークが設け
られており、これらを共通の光学系と2個の撮像手段を
用いて位置決めマークを検出するためのものとして用い
ることができ、また2つの部材の位置決めマークを同時
に1つの撮像手段の視野に入れなければならないもので
はない。
【0014】まず、図1に液晶パネルの全体構成を示
す。図中において、1は液晶セルを示し、この液晶セル
1は2枚のガラス基板2,3を備え、このガラス基板
2,3には透明電極膜が形成され、また偏光膜や位相差
膜が積層されており、その間には液晶材が封入されてい
る。また、カラーディスプレイとして用いられる場合に
は、さらにカラーフィルタが積層されることになる。こ
の液晶セル1を構成するガラス基板2の外周縁部にはT
AB4が複数枚貼り付けられることになる。このTAB
4は、ドライバIC5が搭載されており、このドライバ
IC5には入力リード6aと出力リード6bとが延在さ
れている。入力リード6aは印刷回路基板7に接続さ
れ、また出力リード6bはガラス基板2の電極8と接続
されている。
【0015】TAB4を液晶セル1に実装するに当って
は、図2に示したように、ACF9が用いられ、液晶セ
ル1に予めACF9を貼着しておき、このACF9の上
からTAB4を重ね合わせて、熱圧着して固定すること
により行われる。このTAB4を実装する際に、TAB
4の出力リード6bが液晶セル1のガラス基板2におけ
る電極8と電気的に接続されなければならないから、両
者が正確に重なり合うように位置調整を行わなければな
らない。この位置合わせを可能ならしめるために、液晶
セル1には、多数並んだ電極8の左右両側の位置にセル
側の位置決めマークとしてのアライメントマーク10
a,10bが設けられており、またTAB4側にも、電
極8と同数設けた入力リード6aの左右両側の位置にT
AB側の位置決めマークとしてのアライメントマーク1
1a,11bが形成されている。従って、左側のアライ
メントマーク10aと11a及び右側のアライメントマ
ーク10bと11bとがそれぞれ正確に重なり合うよう
に接合すれば、出力リード6bが電極8と電気的に接続
されることになる。
【0016】液晶セル1は可動テーブル12上に位置決
めした状態にしてセットし、またTAB4はロボットの
作動ヘッドに設けた真空吸着手段13により吸着保持さ
せる。そして、可動テーブル12はXY方向に位置微調
整を行えるようになし、また真空吸着手段13は回転方
向に位置調整ができるようになっている。この真空吸着
手段13の回転中心は、TAB4に設けた両側のアライ
メントマーク11a,11bの対称中心位置となってい
る。そして、真空吸着手段13により吸着されたTAB
4は、可動テーブル12上にセットされている液晶セル
1に近接する位置に変位させて、その下方に設けたマー
ク検出装置14によって、液晶セル1のアライメントマ
ーク10aとTAB4のアライメントマーク11aと
を、またアライメントマーク10bとアライメントマー
ク11bとを同時に撮像して、それらのXY座標軸上の
位置を割り出して、両者の間に位置ずれがあれば、その
補正を行うようになっている。ここで、このXY座標軸
上の位置ずれは、一方側の部材のみで行うこともできる
が、この実施例においては、XY方向の位置ずれは可動
テーブル12を駆動することにより補正し、また回転方
向(θ方向)のずれは真空吸着手段13側で補正するよ
うになし、この状態で、TAB4側を持ち上げて所定距
離だけ前進させた後に、下降させて、液晶セル1と重ね
合わせて仮圧着させ、次のステーションで、加熱しなが
ら圧着する、所謂本圧着が行われる。
【0017】図3にマーク検出装置14の構成を示す。
同図において、20は光源ランプ、21は集光部材、2
2は導光部材、23は照明用レンズをそれぞれ示し、光
源ランプ20は棒状のものが用いられ、この光源ランプ
20からの照明光は凹曲面状に形成した集光部材21に
よりほぼ扁平な長方形状となるように集光されるように
なっている。この集光部材21により集光された位置に
は、導光部材22の入射面が臨んでおり、照明光はこの
導光部材22に入射される。導光部材22は、図4に示
したように、扁平な長方形状の断面を有するロッド状の
ガラスからなり、その外周面には光が外部に漏れないよ
うにするための反射膜22aがコーティングされてい
る。これによって、照明光は、その光路断面が扁平な長
方形の形状となる。そして、この導光部材22の出射面
には筐体24の照明光取り入れ口24aに臨んでいる。
照明用レンズ23は、この筐体24の照明光取り入れ口
24aに装着されており、この照明用レンズ23を介し
た照明光は筐体24内に導かれて、この筐体24内に設
けたハーフミラー25に反射して光路が90°曲折され
るようになっている。
【0018】ハーフミラー25で反射した照明光は、筐
体24の入出射口24bを介して液晶セル1及びTAB
4のアライメントマーク10a,10b及び11a,1
1bに向けて照射されるようになっている。ここで、照
明光の照射はこれらアライメントマークに対して落射的
にのみ行うと、マークの材質等によっては、後述する撮
像手段29a,29bで撮像した時に鮮明な画像が得ら
れないことがあるので、補助的に斜光照明が行われるよ
うになっており、このために筐体24には斜光照明部2
6が設けられる。
【0019】前述した照明下での物体光は入出射口24
bから筐体24内に導かれて、ハーフミラー25を透過
して、対物レンズ27に入射されるようになっている。
この対物レンズ27の結像側の位置には、2枚の反射ミ
ラー28a,28bからなるプリズム型の光路分割部材
28が設けられており、この光路分割部材28を構成す
る反射ミラー28a,28bは、対物レンズ27の光軸
を中心として、45°の角度を持って左右に傾斜するよ
うに配設されており、これら各反射ミラー28a,28
bには、撮像手段としてのCCDカメラ29a,29b
が対向配設されている。ここで、光路分割部材28は、
実質的にアライメントマーク10aと10b及びアライ
メントマーク11aと11bとの中間位置、即ちこれら
各一対からなるアライメントマークの対称中心を中心と
して左右に分けられることになる。従って、CCDカメ
ラ29a,29bは光路分割部材28を挟んで相対向す
る位置に配設されているから、左右のアライメント間隔
が短い場合でも、CCDカメラ29a,29bを相互に
干渉させることなく配置できるようになる。
【0020】以上のように構成することによって、照明
手段を含む光学系を共通にして、液晶セル1及びTAB
4に形成したアライメントマーク10a,10b及び1
1a,11bを2個のCCDカメラ29a,29bで撮
像できる。即ち、図5に示したように、一方のCCDカ
メラ29aがアライメントマーク10a,11aを視野
内に収め、また他方のCCDカメラ29bではアライメ
ントマーク10b,11bを視野内に収めることができ
る。
【0021】これら2つのCCDカメラ29a,29b
の画像データは、図6に示したように、画像処理回路3
0に入力されて、CCDカメラ29a,29bの視野内
での各アライメントマークの位置と、CCDカメラ29
a,29b間の間隔とに基づいて、XY座標軸上の各ア
ライメントマークの位置を検出する。そして、この画像
処理回路30からの信号に基づいて、位置ずれ演算回路
31によって液晶セル1側のアライメントマーク10
a,10bとTAB4側のアライメントマーク11a,
11bとの間のずれを演算して、この位置ずれのうち、
θ方向の成分はTAB4の真空吸着手段13が装着され
ているロボットを駆動するロボットサーボ回路32に入
力して、TAB4を所定角度回転させ、またXY方向の
ずれ成分は、液晶セル1がセットされている可動テーブ
ル12を駆動するテーブルサーボ回路33に入力して、
この可動テーブル12をXY方向に移動させることによ
って、それぞれ位置調整がなされる。
【0022】今、CCDカメラ29a,29bからの画
像データに基づいて、図7に示したように、各アライメ
ントマークのうち、アライメントマーク10aは位置
(x1,y1 )にあり、アライメントマーク10bは位
置(x2 ,y2 )、アライメントマーク11aは位置
(x3 ,y3 )、アライメントマーク11bは位置(x
4,y4 )にそれぞれあることが検出されたとする。ア
ライメントマーク10a,10bを結ぶ線L1 とアライ
メントマーク11a,11bを結ぶ線L2 とが平行であ
れば、液晶セル1とTAB4とは、θ方向の位置が合っ
ているが、その間に角度Δθがあると、ロボットサーボ
回路32を作動させて、TAB4を、アライメントマー
ク11a,11bの対称中心O1 を中心として所定角度
回転させることによって、アライメントマーク11a,
11bが線L3 上に並ぶようになり、即ちアライメント
マーク10a,10bを結ぶ線L1 と平行となるように
位置補正が行われる。また、このように、アライメント
マーク11a,11bが線L3となると、アライメント
マーク11aは位置(x3 ′,y3 ′)、アライメント
マーク11bは位置(x4 ′,y4 ′)となり、これら
の位置と液晶セル1のアライメントマーク10aの位置
(x1 ,y1 )、アライメントマーク10bの位置(x
2 ,y2 )と比較される。ここで、θ方向の補正が行わ
れているから、アライメントマーク10aの位置(x
1 ,y1 )と、補正されたアライメントマーク11aは
位置(x3 ′,y3 ′)との位置の差を演算すれば良
い。そして、x1 −x3 ′=0で、y1 −y3 ′=Δy
(ここで、Δyは、位置合せ時における液晶セル1とT
AB4との間隔である)とするための液晶セル1のXY
方向の移動量が演算されて、この演算結果がテーブルサ
ーボ回路33に入力されて、可動テーブル12をXY方
向に位置調整する。
【0023】以上のようにして液晶セル1及びTAB4
の位置合せを行った後に、ロボットを作動させることに
よって、この液晶セル1とTAB4とが、電極8と出力
リード6bとが正確に接合された状態にして重ね合わせ
ることができる。
【0024】ところで、異なる形状の液晶セルの場合は
当然として、単一の液晶セルであっても、TABの実装
位置によっては、異なる寸法のTABが用いられること
がある。このTABの寸法の違いは、主にこのTABに
形成される出力リードの本数の差に起因する。従って、
当然アライメントマークの間隔も異なってくる。このア
ライメントマークの間隔は、通常10mm〜50mmと
いうように、著しく大きなものであるために、CCDカ
メラ29a,29bを固定的に設けていたのでは、視野
に収めることができないものがある。そこで、本発明に
おいては、CCDカメラ29a,29bを連動させて変
位させることにより、アライメントマークの間隔の変化
に対処するように構成した。
【0025】液晶セル1及びTAB4に設けられるアラ
イメントマーク10a,10bと11a,11bとの間
隔は同一である。しかも、これら各一対からなるアライ
メントマーク10a,10b及びアライメントマーク1
1a,11bには対称中心O1 ,O2 があることから、
両者の位置が合っておれば、通常はこれら対称中心O
1 ,O2 は光路分割部材28を構成する反射ミラー28
a,28bの傾きの交点の位置と一致することになる。
従って、反射ミラー28a,28b上において、アライ
メントマークが投影されるのは、間隔が狭ければ、交点
に近い位置にあり、また間隔が広くなれば、交点から遠
い位置となる。
【0026】そこで、照明レンズ23を介して照射され
る照明光の幅をアライメントマーク間の間隔のうち、最
大の間隔のものであっても、それらを照明できる幅を持
たせる。一方、アライメントマーク間の間隔が変化して
も、位置合せを行う際に液晶セル1が配置される位置と
TAB4が配置される部位との間の相対位置関係を変え
る必要はないことから、液晶セル1側のアライメントマ
ーク10a,10bと、TAB4側のアライメントマー
ク11a,11bとの間の間隔よりある程度広くしてお
けば良い。従って、照明範囲は、幅方向、即ち左右のア
ライメントマーク間隔方向に広い扁平な長方形状とす
る。照明用光学系として、導光部材22及び照明用レン
ズ23を用いていることから、この導光部材22の形状
を適宜のものとすることによって、任意の形状の光路断
面を持った照明光を照射でき、しかもこの光路断面の全
体にわたってほぼ均一な光量とすることができる。
【0027】次に、撮像手段としてのCCDカメラ29
a,29bを駆動手段40により、連動して移動させる
ことができるように構成している。これらCCDカメラ
29a,29bの移動方向としては、反射ミラー28
a,28bに投影されるアライメントマークの変位方向
である。前述したように、アライメントマーク間隔の違
いに基づく反射ミラー28a,28bへの投影位置の変
位方向は、両反射ミラー28a,28bの傾きの交点に
近接・離間する方向である。従って、駆動手段40の構
成としては、CCDカメラ29a,29bをそれぞれガ
イドレール41a,41bに沿って光路分割部材28へ
の入射光路と平行な方向に移動可能なスライドブロック
42a,42bに装着して、かつこれらスライドブロッ
ク42a,42bを連結部材43により連結して、この
連結部材43にボールナット44を装着し、このボール
ナット44にパルスモータ45により回転されるボール
ねじ46を螺挿する。
【0028】以上のように構成することによって、図8
に示したように、アライメントマーク10a,11aと
10b,11bとの間隔がD1 である場合には、CCD
カメラ29a,29bを実線の位置に配置すれば、これ
らのアライメントマークをCCDカメラ29a,29b
の視野範囲に収めることができ、また同図に仮想線で示
したように、アライメントマーク10a,11aと10
b,11bとの間隔がD1 より短いD2 である場合に
は、パルスモータ45を作動させて、CCDカメラ29
a,29bを支持するスライドブロック42a,42b
を一体的に移動させて、CCDカメラ29a,29bを
同時に光路分割部材28を構成する反射ミラー28a,
28bの交点方向に向けて移動させる。これによって、
間隔D2 開いた位置に形成したアライメントマーク10
a,11aは、CCDカメラ29aで、またアライメン
トマーク10b,11bはCCDカメラ29bの視野に
収めることができる。なお、図面上では、簡略化のため
に、CCDカメラは一方のCCDカメラ29aだけを示
している。
【0029】ここで、アライメントマーク間隔がD1
2 とは異なっていることから、このアライメントマー
ク間隔が変化した時に、画像処理回路30で各アライメ
ントマークのXY座標軸上の位置を割り出すに当って
は、アライメントマークを撮像するCCDカメラ29
a,29bの配置間隔を検出しなければならない。この
配置間隔の検出は、例えばパルスモータ46のパルス数
を検出するか、またはボールねじ45の回転を検出する
か、さらには同時に変位するCCDカメラ29a,29
bまたはその一方の実際の位置をポテンショメータ等で
検出するカメラ位置検出手段47を設けて、このカメラ
位置検出手段47からの信号を画像処理回路30に取り
込むようにする。
【0030】以上のように構成することによって、光路
分割部材28を構成する反射ミラー28a,28bを所
定の大きさ、即ち傾き方向の長さを所定のものとすれ
ば、アライメント間隔が変化しても、パルスモータ45
を作動させるだけで、左右のアライメントマークの間隔
が極めて狭いものから、間隔が広いものまで、CCDカ
メラ29a,29bによって確実に視野に収めることが
でき、これらCCDカメラ29a,29bからの画像信
号に基づいて、液晶セル1とTAB4との間の位置ずれ
を正確かつ確実に検出できるようになり、両者の位置合
せが可能となる。従って、液晶セル及びこの液晶セルに
搭載されるTABが異なるものである場合に、パルスモ
ータ46を作動させて、CCDカメラ29a,29bを
移動させるようにする。また、一つの液晶セルであって
も、TABが実装される位置によっては異なるサイズの
TABを用いる必要があるが、このような場合でも、C
CDカメラ29a,29bを移動させることにより対処
できるようになる。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ワーク
における一対の位置決めマークの中間の位置で光路を左
右に分割するように配設した一対からなる反射ミラーを
備えた光路分割手段を設け、またこの光路分割手段にお
ける各反射ミラーに対面させるように一対の撮像手段を
配設し、これら各撮像手段を駆動手段に設けて、両撮像
手段の撮像視野範囲を各反射ミラーの傾き方向に向けて
変位させるように構成したので、異なる位置に設けた位
置マークを容易に、しかも確実に検出できるようになる
等といった優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の位置決めマーク検出装置が用いて、位
置検出される部材としての得衣装パネルの外観図であ
る。
【図2】液晶セルへのTABの装着装置の構成説明図で
ある。
【図3】位置決めマークとしてのアライメントマークを
検出する装置の構成説明図である。
【図4】導光部材の構成説明図である。
【図5】CCDカメラで撮像した画像を示す説明図であ
る。
【図6】液晶セルとTABとの位置合せ機構の回路構成
図である。
【図7】アライメントマークの座標位置とその位置ずれ
を検出に関する作用説明図である。
【図8】アライメントマーク間隔の変化とCCDカメラ
の位置との関係を示す作用説明図である。
【符号の説明】
1 液晶セル 4 TAB 10a,10b,11a,11b アライメントマーク 20 照明ランプ 21 集光部材 22 導光部材 23 照明用レンズ 25 ハーフミラー 27 対物レンズ 28 光路分割部材 28a.28b 反射ミラー 29a.29b CCDカメラ 30 画像処理回路 31 位置ずれ演算回路 40 駆動手段 41a,41b ガイドレール 42a,42b スライドブロック 43 連結部材 44 ボールナット 45 パルスモータ 46 ボールねじ 47 カメラ位置検出手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 梅津 寛 東京都千代田区大手町二丁目6番2号 日立電子エンジニアリング株式会社内 (56)参考文献 特開 平6−347233(JP,A) 特開 平2−218536(JP,A) 特開 昭62−277503(JP,A) 特開 昭62−150108(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 11/00 - 11/30

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 左右一対の位置決めマークを設けた少な
    くとも一つのワークに対して、照明手段により位置決め
    マークを設けた部位を照明した状態で、撮像手段により
    位置決めマークを撮像して、それらの位置を認識するた
    めのものにおいて、前記ワークからの反射光の光路に
    は、両位置決めマークの中間の位置で光路を左右に分割
    するために、相互に所定角度をもって配設した一対から
    なる反射ミラーを備えた光路分割手段と、この光路分割
    手段における各反射ミラーに対面させるように配設さ
    れ、これら各反射ミラーに投影されている位置決めマー
    クを撮像する一対の撮像手段と、これら各撮像手段によ
    る撮像視野範囲を各反射ミラーの傾き方向に向けて変位
    させるために、両撮像手段を連動変位させる駆動手段と
    から構成したことを特徴とする位置決めマーク検出装
    置。
  2. 【請求項2】 前記照明手段は、光源ランプと、この光
    源ランプからの光の光路断面がほぼ扁平な長方形状とな
    るようにしてガイドする角形の導光部材と、この導光部
    材の出射端側に臨むように配置した照明用レンズとを有
    し、この照明用レンズによって、前記ワークに設けられ
    る位置決めマークの最大離間距離より広い扁平な長方形
    状の照明光を照射するように構成したことを特徴とする
    請求項1記載の位置決めマーク検出装置。
  3. 【請求項3】 前記ワークは一対からなり、これら両ワ
    ークに設けたそれぞれ一対の位置決め部材における相互
    に位置合せされる2つの位置決めマークを前記各撮像手
    段によって同時に撮影するように構成したことを特徴と
    する請求項1または2記載の位置決めマーク検出装置。
  4. 【請求項4】 それぞれ一対からなるアライメントマー
    クを設けた液晶セルとTABとを近接した位置に配置し
    て、これらアライメントマークが設けられている部位に
    向けて照射するために、光源ランプと、この光源ランプ
    からの照明光を、ほぼ扁平な長方形状となるようにして
    伝送する導光部材と、この導光部材からの光を前記アラ
    イメントマークが設けられている部位に照射するように
    照明光を導く照明用レンズとを備え、この照明用レンズ
    からの照明光をハーフミラーに反射させることにより光
    路を90°曲折させて、アライメントマークを設けた部
    位を照明し、この照明下で得られる物体像をハーフミラ
    ーを透過させて、対物レンズに入射させ、この対物レン
    ズの光軸中心を境として、それぞれ相反する方向に45
    °傾けた状態に一対の反射ミラーを設けた光路分割部材
    を対物レンズの結像側に設けると共に、これら一対の反
    射ミラーにそれぞれ撮像手段を対向配設させて、これら
    一対の撮像手段を連動して変位させる駆動手段に設け
    て、これら各撮像手段による視野範囲を両反射ミラーの
    交点位置に対して近接・離間する方向に変えることがで
    きる構成としたことを特徴とする位置決めマーク検出装
    置。
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