JP2921399B2 - Manufacturing method of backing stamper - Google Patents

Manufacturing method of backing stamper

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JP2921399B2
JP2921399B2 JP6143051A JP14305194A JP2921399B2 JP 2921399 B2 JP2921399 B2 JP 2921399B2 JP 6143051 A JP6143051 A JP 6143051A JP 14305194 A JP14305194 A JP 14305194A JP 2921399 B2 JP2921399 B2 JP 2921399B2
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JP
Japan
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diameter
stamper
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glass master
backing
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Inventor
一郎 平田
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日本電気株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、裏打ち用スタンパの製
造方法に関し、とくに裏打ち作業の簡易化を図った裏打
ち用スタンパの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a backing stamper, and more particularly to a method for manufacturing a backing stamper for simplifying a backing operation.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の裏打ち用スタンパの製造方法は、
図3に示すようにパターンを露光し現像したガラス原盤
51に導電膜52を被覆し、電鋳治具に装着する際に、
ガラス原盤51を凹状電極53内に収納したのち導電膜
52と凹状電極53とを電気的に接続するためのコンタ
クトリング54を載せてからフタ55をかぶせ、しかる
のち押しネジ56を締めてガラス原盤51を電鋳治具に
装着する、という手法が採用されていた。
2. Description of the Related Art A conventional method for manufacturing a backing stamper is as follows.
As shown in FIG. 3, when a conductive film 52 is coated on a glass master 51 on which a pattern has been exposed and developed, and is mounted on an electroforming jig,
After accommodating the glass master 51 in the concave electrode 53, a contact ring 54 for electrically connecting the conductive film 52 and the concave electrode 53 is placed thereon, and then a lid 55 is put thereon. A method of mounting 51 on an electroforming jig has been adopted.

【0003】ここで、符号60は凹状電極53を囲むよ
うにしてフタ55の内側に配設されたカバーを示し、符
号61は押しネジ56を固定するための止め板を示す。
Here, reference numeral 60 denotes a cover disposed inside the lid 55 so as to surround the concave electrode 53, and reference numeral 61 denotes a stopper plate for fixing the set screw 56.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の裏打ち用ス
タンパの製造方法にあっては、製造の一プロセスである
電鋳工程において、図3に示すように導電膜52の領域
の内、フタ55の開口部に対応する部分には電鋳膜57
が電着される。このため裏打ちした後に、スタンパ58
を旋盤等を用いて所要寸法に内外径加工する必要が生じ
ていた。
In the above-mentioned conventional method of manufacturing a backing stamper, in the electroforming step, which is one of the manufacturing processes, as shown in FIG. An electroformed film 57 is provided at a portion corresponding to the opening of
Is electrodeposited. Therefore, after lining, the stamper 58
It is necessary to machine the inner and outer diameters to required dimensions using a lathe or the like.

【0005】しかしながら、この旋盤等を用いた内外径
加工作業で、切削くず等の異物がスパッタ膜側(情報
面)に挟み込まれると当該スタンパが傷つくため、異物
の挟み込みには十分注意しながら徐々に加工する必要が
あった。このため、当該作業には多くの時間と労力を要
するという不都合が生じていた。
However, when foreign matter such as cutting debris is caught in the sputtered film side (information surface) in the inner and outer diameter machining operation using the lathe or the like, the stamper is damaged. Had to be processed. For this reason, there has been a disadvantage that the work requires a lot of time and labor.

【0006】例えば、直径350〔mm〕,厚さ250
〔μm〕のニッケル製スタンパを、内径100〔m
m〕,外径310〔mm〕に施盤で加工する場合には、
約5時間を要していた。
For example, a diameter of 350 [mm] and a thickness of 250
[Μm] nickel stamper with an inner diameter of 100 [m
m], when processing with a lathe to an outer diameter of 310 [mm],
It took about 5 hours.

【0007】[0007]

【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくにスタンパに損傷を与えることなくスタ
ンパの内外径を、迅速に所定寸法に設定し得る裏打ち用
スタンパの製造方法を提供することを、その目的とす
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to provide a method of manufacturing a backing stamper capable of improving the disadvantages of the prior art and, in particular, rapidly setting the inner and outer diameters of the stamper to predetermined dimensions without damaging the stamper. That is its purpose.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、パターンを露光し現像したガラス原盤
に導電膜を被覆したのち、電鋳治具に装着してスパッタ
膜を被覆する裏打ち用スタンパの製造方法において、電
鋳治具への装着に際し、まずガラス原盤の中心部に、内
径仕上げ寸法と同一寸法の外形寸法を備えた内径マスク
を装着し、同時に外形仕上げ寸法と同一寸法の内径を有
し前述したガラス原盤を係止する機能を備えた外径マス
クを装着する、等の構成を採っている。
In order to achieve the above object, according to the present invention, after a conductive film is coated on a glass master disk on which a pattern has been exposed and developed, it is mounted on an electroforming jig to cover a sputtered film. In the method of manufacturing a stamper for use, when mounting on an electroforming jig, first, an inner diameter mask having the same outer dimensions as the inner diameter finishing dimensions is attached to the center of the glass master, and at the same time, For example, an outer diameter mask having an inner diameter and having a function of locking the above-mentioned glass master is attached.

【0009】[0009]

【作 用】本発明において製造されるスタンパは、内径
マスクと外径マスクでマスクした部分が導電膜のみとな
る。このため、ハサミ等で容易に内径加工および外径加
工を行うことが可能となり、このため、従来5〜6時間
かかった仕上げ工程時間を僅か15分前後で,しかもス
タンパを損傷することなく迅速加工することができた。
[Operation] In the stamper manufactured in the present invention, the portion masked by the inner diameter mask and the outer diameter mask is only the conductive film. For this reason, it is possible to easily perform the inner diameter processing and the outer diameter processing with scissors or the like, so that the finishing process time, which conventionally took 5 to 6 hours, can be reduced to about 15 minutes, and rapid processing without damaging the stamper. We were able to.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図1に基づいて説
明する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

【0011】この図1に示す実施例では、スタンパの製
造に際し、まず、パターンを露光し現像したガラス原盤
1に導電膜2を被覆したのち、電鋳治具3にホルダ3A
を介してボルト止めしたのち、スパッタ膜(電鋳膜)4
を被覆する。
In the embodiment shown in FIG. 1, in manufacturing a stamper, first, a conductive film 2 is coated on a glass master 1 on which a pattern is exposed and developed, and then a holder 3A is mounted on an electroforming jig 3.
After bolting through, a sputtered film (electroformed film) 4
Is coated.

【0012】電鋳治具3への装着に際しては、ガラス原
盤1の中心部に、内径仕上げ寸法と同一寸法の外形寸法
の内径マスク5を装着し、同時に外形仕上げ寸法と同一
寸法の内径を有する外径マスクが装着される。
At the time of mounting on the electroforming jig 3, an inner diameter mask 5 having the same outer dimensions as the inner diameter finishing dimensions is mounted at the center of the glass master 1, and at the same time, having the same inner diameter as the outer finishing dimensions. An outer diameter mask is attached.

【0013】この外径マスクについては、本実施例では
前述したホルダ3Aの内径部分,即ちガラス原盤1を係
止する部分が、その外径マスクとして機能し得るように
なっている。
In the present embodiment, the inner diameter portion of the holder 3A, that is, the portion for locking the glass master 1 in this embodiment can function as the outer diameter mask.

【0014】また、本実施例では、内径マスク5として
は茸状に形成されたものが使用されている。そして、ガ
ラス原盤1の中心部には予め貫通穴1Aが形成され、こ
の貫通穴1A部分に、前述した内径マスク5の軸心5A
部分が挿入されるようになっている。
In this embodiment, the inner diameter mask 5 is formed in a mushroom shape. A through hole 1A is formed in the center of the glass master 1 in advance, and the shaft center 5A of the inner diameter mask 5 is formed in the through hole 1A.
The part is to be inserted.

【0015】そして、本実施例において製造されたスタ
ンパ(導電膜2とスパッタ膜4とにより成る膜)11に
あっては、内径マスク5と外径マスク(ホルダ3Aの内
径部分)でマスクした部分が導電膜2のみとなるため、
ハサミ等で容易に内径加工および外径加工を行うことが
可能となった。例えば、直径350〔mm〕,厚さ25
0〔μm〕のニッケル製スタンパ11においては、内径
100〔mm〕、外径310〔mm〕に切断する際、わ
ずか15分で,しかもスタンパ11を損傷することなく
加工することができた。
In the stamper (film composed of the conductive film 2 and the sputtered film 4) 11 manufactured in this embodiment, a portion masked by the inner diameter mask 5 and the outer diameter mask (the inner diameter portion of the holder 3A). Is only the conductive film 2,
Inner diameter processing and outer diameter processing can be easily performed with scissors or the like. For example, diameter 350 [mm], thickness 25
In the case of the nickel stamper 11 of 0 [μm], when the inner diameter was cut into 100 [mm] and the outer diameter was 310 [mm], it could be processed in only 15 minutes without damaging the stamper 11.

【0016】次に、他の実施例を図2に基づいて説明す
る。
Next, another embodiment will be described with reference to FIG.

【0017】この図2に示す他の実施例は、前述した図
1の実施例と同様に、まず、パターンを露光し現像した
ガラス原盤1に導電膜2を被覆する。そして、電鋳治具
の一部をなすカバー10およびフタ15内にガラス原盤
1を装着する際に、ガラス原盤1を凹状電極13内に収
納したのち、導電膜2と凹状電極13とを電気的に接続
するためのコンタクトリング13Aを載せ、その後、外
形マスク15Aを介してフタ15をかぶせる。しかるの
ち、押しネジ16を締めてガラス原盤1を固定し、その
後、スパッタ膜(電鋳膜)14を被覆する。
In the other embodiment shown in FIG. 2, similarly to the above-described embodiment of FIG. 1, first, a conductive film 2 is coated on a glass master 1 on which a pattern has been exposed and developed. Then, when mounting the glass master 1 in the cover 10 and the lid 15 forming part of the electroforming jig, the glass master 1 is housed in the concave electrode 13 and then the conductive film 2 and the concave electrode 13 are electrically connected. A contact ring 13A for connection is placed, and then a lid 15 is put on via a contour mask 15A. Thereafter, the glass screw 1 is fixed by tightening the set screw 16, and thereafter, the sputtered film (electroformed film) 14 is covered.

【0018】スパッタ膜(電鋳膜)14の被覆に際して
は、ガラス原盤1の中心部に、予め形成された貫通穴1
Aに、内径仕上げ寸法と同一寸法の外形寸法の内径マス
ク5が装着される。内径マスク5は茸状に形成されたも
のが使用されている。符号5Aは内径マスク5の軸心部
分を示す。
At the time of coating the sputtered film (electroformed film) 14, the through hole 1 formed in advance is formed in the center of the glass master 1.
At A, an inner diameter mask 5 having the same outer dimensions as the inner diameter finishing dimensions is mounted. The inner diameter mask 5 used is formed in a mushroom shape. Reference numeral 5A indicates an axial center portion of the inner diameter mask 5.

【0019】また、この内径マスク5には、そのガラス
原盤1に当接する部分の外周側に、リング状突出部5a
が設けられている。そして、このリング状突出部5a
ラス原盤1に接することによって当該ガラス原盤1の
内周部が外部に対してマスクされるようになっている。
図2において、符号2は導電膜を示す。
The inner diameter mask 5 has a ring-shaped protruding portion 5a on the outer peripheral side of the portion that comes into contact with the glass master 1.
Is provided. Then, this ring-shaped protrusion 5a
The inner peripheral portion of the glass master 1 by to contact the glass master disk 1 is adapted to be masked from the outside.
In FIG. 2, reference numeral 2 denotes a conductive film.

【0020】この場合、外形マスク15Aは、環状の円
盤からなり、その内径側で前述したガラス原盤1に当接
する部分に、リング状突出部15aが設けられたものが
使用されている。そして、このリング状突出部15a
ラス原盤1に接することによってガラス原盤1の周囲
が外部に対してマスクされるようになっている。その他
の構成は、前述した従来例と同一となっている。
In this case, the outer shape mask 15A is formed of an annular disk, and a ring-shaped protrusion 15a is provided at a portion of the inner diameter side of the outer shape mask 15A in contact with the glass master 1 described above. Then, this ring-shaped protrusion 15a
By to contact the glass master 1 is around the glass master 1 is adapted to be masked from the outside. Other configurations are the same as those of the above-described conventional example.

【0021】このようにしても、前述した図1の実施例
と同一の作用効果を備えたものを得ることができる。
In this manner, a device having the same function and effect as the embodiment of FIG. 1 can be obtained.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明は以上のように構成され機能する
ので、これによると、スタンパ製造の一プロセスである
電鋳工程において、内外径加工する部分を予めマスクし
ておくことにより、電鋳後のマスク部分が導電膜のみと
なり、従って、裏打ち後に容易にカッターナイフまたは
ハサミ等で加工することができることとなり、このた
め、裏打ち作業を迅速に且つ容易になし得るという従来
にない優れた裏打ち用スタンパの製造方法を提供するこ
とができる。
The present invention is constructed and functions as described above. According to this, in the electroforming step which is one of the stamper manufacturing processes, the portion to be processed for the inner and outer diameters is masked in advance, so that the electroforming can be performed. The subsequent mask portion is only a conductive film, and therefore can be easily processed with a cutter knife or scissors or the like after the backing. For this reason, the backing work can be performed quickly and easily. A method for manufacturing a stamper can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例を示す概略断面図である。FIG. 2 is a schematic sectional view showing another embodiment of the present invention.

【図3】従来の裏打ち用スタンパの製造方法の断面図で
ある。
FIG. 3 is a sectional view of a conventional method for manufacturing a backing stamper.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス原盤 1A 貫通穴 2 導電膜 3 電鋳治具 3A 外径マスクとして機能するホルダ 4,14 スパッタ膜(電鋳膜) 5 内径マスク 5a リング状突出部 13A コンタクトリング 15A 外径マスク 15a リング状突出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass master 1A Through-hole 2 Conductive film 3 Electroforming jig 3A Holder functioning as an outer diameter mask 4, 14 Sputtering film (electroforming film) 5 Inner diameter mask 5a Ring-shaped protrusion 13A Contact ring 15A Outer diameter mask 15a Ring shape Protrusion

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C25D 1/00 G11B 7/26 511 Continuation of front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) C25D 1/00 G11B 7/26 511

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】(57) [Claims]
  1. 【請求項1】 パターンを露光し現像したガラス原盤に
    導電膜を被覆したのち、電鋳治具に装着してスパッタ膜
    を被覆する裏打ち用スタンパの製造方法において、 前記電鋳治具への装着に際し、前記ガラス原盤の中心部
    に、内径仕上げ寸法と同一寸法の外形寸法を備えた内径
    マスクを装着し、同時に外形仕上げ寸法と同一寸法の内
    径を有し前記ガラス原盤を係止する機能を備えた外径マ
    スクを装着することを特徴とした裏打ち用スタンパの製
    造方法。
    1. A method of manufacturing a backing stamper for coating a conductive film on a glass master disk on which a pattern has been exposed and developed, and then mounting the same on an electroforming jig. At the time, a central part of the glass master is equipped with an inner diameter mask having an outer dimension equal to the inner diameter finish dimension, and at the same time, has a function of locking the glass master having an inner diameter equal to the outer diameter finish dimension. A method of manufacturing a stamper for lining, characterized by mounting an outer diameter mask.
  2. 【請求項2】 前記内径マスクを茸状に形成すると共
    に、前記ガラス原盤の中心部に予め貫通穴を形成し、こ
    の貫通穴部分に、前記内径マスクの軸心部分を挿入する
    ようにしたことを特徴とする請求項1記載の裏打ち用ス
    タンパの製造方法。
    2. The inner diameter mask is formed in a mushroom shape, a through hole is formed in the center of the glass master in advance, and an axis portion of the inner diameter mask is inserted into the through hole portion.
    2. The method for manufacturing a backing stamper according to claim 1, wherein:
  3. 【請求項3】 前記外径マスクをコンタクトリングを介
    して装着するようにしたことを特徴とする請求項1又は
    2記載の裏打ち用スタンパの製造方法。
    3. The method for producing a backing stamper according to claim 1 or 2, characterized in that so as to mount the outer diameter mask through a contact ring.
JP6143051A 1994-06-24 1994-06-24 Manufacturing method of backing stamper Expired - Lifetime JP2921399B2 (en)

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