JP2884458B2 - 液晶表示パネルの製造方法 - Google Patents
液晶表示パネルの製造方法Info
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70383—Direct write, i.e. pattern is written directly without the use of a mask by one or multiple beams
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- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S359/00—Optical: systems and elements
- Y10S359/90—Methods
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は液晶ディスプレイ、液晶
プロジェクター等に用いられる液晶表示パネル、特にマ
イクロレンズを利用することにより実用開口率の向上を
図った液晶表示パネルの製造方法に関する。
プロジェクター等に用いられる液晶表示パネル、特にマ
イクロレンズを利用することにより実用開口率の向上を
図った液晶表示パネルの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来マイクロレンズを利用した液晶表示
パネルについては、既に特開昭57−157215、特
開昭60−26213、特開平2−1816、等に開示
されている。これらはいずれもマイクロレンズを形成し
たガラス基板を液晶表示パネルに貼付するか又は液晶表
示パネル上に直接マイクロレンズを構成していた。
パネルについては、既に特開昭57−157215、特
開昭60−26213、特開平2−1816、等に開示
されている。これらはいずれもマイクロレンズを形成し
たガラス基板を液晶表示パネルに貼付するか又は液晶表
示パネル上に直接マイクロレンズを構成していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例では、その製法上、有効画素部以外を遮蔽する遮光マ
スクとマイクロレンズとのアライメントが必須となり、
そのためアライメント誤差に対応した遮光マスク開口の
冗長設計が必要になり、これにより不要光遮蔽の不完全
性が避けられなくなるという問題が有った。
例では、その製法上、有効画素部以外を遮蔽する遮光マ
スクとマイクロレンズとのアライメントが必須となり、
そのためアライメント誤差に対応した遮光マスク開口の
冗長設計が必要になり、これにより不要光遮蔽の不完全
性が避けられなくなるという問題が有った。
【0004】本発明の目的は、上記従来技術の問題に鑑
み、無駄の無い不要光の遮蔽を行うことにある。
み、無駄の無い不要光の遮蔽を行うことにある。
【0005】
【課題を解決するための手段及び作用】上記目的は以下
の構成により達成される。
の構成により達成される。
【0006】即ち本発明は、対向する第1の基板と第2
の基板との間に液晶を挟持し、該第1の基板はアレイ状
に配列した複数のマイクロレンズを有し、該マイクロレ
ンズのそれぞれは1つ又は複数の液晶画素に対応してい
るマトリックス表示型の液晶表示パネルの製造方法にお
いて、前記第1の基板にポジ型感光性樹脂を設ける工程
と、前記マイクロレンズを介して該ポジ型感光性樹脂を
露光する工程と、該ポジ型感光性樹脂を現像してパター
ン化することにより遮光マスクを形成する工程とを少な
くとも有することを特徴とする液晶表示パネルの製造方
法にある。
の基板との間に液晶を挟持し、該第1の基板はアレイ状
に配列した複数のマイクロレンズを有し、該マイクロレ
ンズのそれぞれは1つ又は複数の液晶画素に対応してい
るマトリックス表示型の液晶表示パネルの製造方法にお
いて、前記第1の基板にポジ型感光性樹脂を設ける工程
と、前記マイクロレンズを介して該ポジ型感光性樹脂を
露光する工程と、該ポジ型感光性樹脂を現像してパター
ン化することにより遮光マスクを形成する工程とを少な
くとも有することを特徴とする液晶表示パネルの製造方
法にある。
【0007】本発明によれば、遮光マスクを形成する際
のフォトリソグラフィー露光プロセスをマイクロレンズ
を透して行なうことにより、遮光マスクとマイクロレン
ズがセルフアライメント化されるため、マイクロレンズ
による集光光束と、遮光マスクの開口とが完全に一致
し、迷光等の不要光の遮蔽を、無駄が無く非常に良好に
行うことができる。
のフォトリソグラフィー露光プロセスをマイクロレンズ
を透して行なうことにより、遮光マスクとマイクロレン
ズがセルフアライメント化されるため、マイクロレンズ
による集光光束と、遮光マスクの開口とが完全に一致
し、迷光等の不要光の遮蔽を、無駄が無く非常に良好に
行うことができる。
【0008】本発明において、遮光マスクの材料として
は、ポジ型感光性被染色樹脂や、顔料を分散したポジ型
感光性樹脂等が適用でき、上記ポジ型感光性被染色樹
脂、例えばノボラック樹脂系レジストを遮光マスクとし
て用いる場合には、フォトリソグラフィ露光を行い現像
した後、例えばアントラキノン系黒色染料等により染色
する。
は、ポジ型感光性被染色樹脂や、顔料を分散したポジ型
感光性樹脂等が適用でき、上記ポジ型感光性被染色樹
脂、例えばノボラック樹脂系レジストを遮光マスクとし
て用いる場合には、フォトリソグラフィ露光を行い現像
した後、例えばアントラキノン系黒色染料等により染色
する。
【0009】また、本発明に用いられるマイクロレンズ
としては、特に限定されるものではなく、GI型のもの
や、樹脂による凸形状タイプのもの等が適用できる。
としては、特に限定されるものではなく、GI型のもの
や、樹脂による凸形状タイプのもの等が適用できる。
【0010】
【実施例】以下、実施例を用いて本発明を詳述する。
【0011】実施例1 図1は本実施例の液晶表示パネルの断面構成図であり、
図2は遮光マスクの製造プロセスを説明するための図で
ある。ここで2はマイクロレンズガラス基板、4は対向
ガラス基板、13はTFTガラス基板である。マイクロ
レンズガラス基板2が接着された対向ガラス基板4とT
FTガラス基板13との間に液晶9を挟み、これらの外
側両面に偏光板1と14が貼付された構成になってい
る。
図2は遮光マスクの製造プロセスを説明するための図で
ある。ここで2はマイクロレンズガラス基板、4は対向
ガラス基板、13はTFTガラス基板である。マイクロ
レンズガラス基板2が接着された対向ガラス基板4とT
FTガラス基板13との間に液晶9を挟み、これらの外
側両面に偏光板1と14が貼付された構成になってい
る。
【0012】以下にその製造プロセスを示す。
【0013】1)GI型マイクロレンズ3が形成された
ガラス基板2とガラス基板4をホットプレス、耐熱性接
着剤等にて接着する。
ガラス基板2とガラス基板4をホットプレス、耐熱性接
着剤等にて接着する。
【0014】2)図2(a)に示されるようにガラス基
板4上にポジ型感光性被染色樹脂層15を塗布形成し、
マイクロレンズガラス基板2側から露光することにより
マイクロレンズの集光に応じた露光を樹脂層15に行
う。
板4上にポジ型感光性被染色樹脂層15を塗布形成し、
マイクロレンズガラス基板2側から露光することにより
マイクロレンズの集光に応じた露光を樹脂層15に行
う。
【0015】3)樹脂層15を現像して図2(b)のご
ときマイクロレンズの集光エリアが抜けた形状のパター
ンを得る。
ときマイクロレンズの集光エリアが抜けた形状のパター
ンを得る。
【0016】4)この樹脂パターンを染色して遮光マス
ク5を得る。
ク5を得る。
【0017】5)シリカ系、エポキシ系、アクリル系、
ポリイミド系等の無機酸化物又は樹脂からなるトップコ
ート層6を形成する。
ポリイミド系等の無機酸化物又は樹脂からなるトップコ
ート層6を形成する。
【0018】6)ITO等から成る対向電極7をスパッ
タリング等にて成膜する。
タリング等にて成膜する。
【0019】7)配向膜8を形成する。(ラビング処理
含む) 8)以上のようにして構成した第1の基板と、TFT1
1、画素電極12、信号電極、走査電極、配向膜10等
が形成されたTFTガラス基板13(第2の基板)との
間でセル化する。(遮光マスク5にてTFT11を遮光
するようにアライメントする) 9)液晶9を注入し、封口後、偏光板1,14を外側両
面に貼付する。
含む) 8)以上のようにして構成した第1の基板と、TFT1
1、画素電極12、信号電極、走査電極、配向膜10等
が形成されたTFTガラス基板13(第2の基板)との
間でセル化する。(遮光マスク5にてTFT11を遮光
するようにアライメントする) 9)液晶9を注入し、封口後、偏光板1,14を外側両
面に貼付する。
【0020】このようにして製造された液晶表示パネル
はマイクロレンズと遮光マスクがセルフアライメント化
されるため、図1に示したように、マイクロレンズ3に
よる集光光束(光線は図中矢印で示す)と遮光マスク6
の開口とが完全に一致し、迷光等の不要光の遮蔽を無駄
が無く非常に良好に行うことができる。
はマイクロレンズと遮光マスクがセルフアライメント化
されるため、図1に示したように、マイクロレンズ3に
よる集光光束(光線は図中矢印で示す)と遮光マスク6
の開口とが完全に一致し、迷光等の不要光の遮蔽を無駄
が無く非常に良好に行うことができる。
【0021】本実施例ではマイクロレンズガラス基板2
と対向ガラス基板4とを接着して用いているが、この様
なタイプに限定される訳では無く、対向ガラス基板に直
接マイクロレンズを形成したようなモノリシックタイプ
のものについても同様に本実施例の製法を適用すること
ができる。
と対向ガラス基板4とを接着して用いているが、この様
なタイプに限定される訳では無く、対向ガラス基板に直
接マイクロレンズを形成したようなモノリシックタイプ
のものについても同様に本実施例の製法を適用すること
ができる。
【0022】またマイクロレンズの形態もドット型の2
次元アレイ又はシリンドリカルなもののアレイのどちら
も適用可能である。
次元アレイ又はシリンドリカルなもののアレイのどちら
も適用可能である。
【0023】実施例2 図3は本実施例の遮光マスクの製造プロセスを説明する
ための図である。液晶表示パネル全体の構成は実施例1
と全く同じである。以下に全体の製造プロセスを示す。
ための図である。液晶表示パネル全体の構成は実施例1
と全く同じである。以下に全体の製造プロセスを示す。
【0024】1)GI型マイクロレンズ3が形成された
ガラス基板2とガラス基板4をホットプレス、耐熱性接
着剤等にて接着する。
ガラス基板2とガラス基板4をホットプレス、耐熱性接
着剤等にて接着する。
【0025】2)図3(a)に示されるようにガラス基
板4上に顔料を分散したポジ型感光性樹脂層16を塗布
形成し、マイクロレンズガラス基板2側から露光するこ
とによりマイクロレンズの集光に応じた露光を樹脂層1
6に行う。
板4上に顔料を分散したポジ型感光性樹脂層16を塗布
形成し、マイクロレンズガラス基板2側から露光するこ
とによりマイクロレンズの集光に応じた露光を樹脂層1
6に行う。
【0026】3)樹脂層16を現像して図3(b)のご
ときマイクロレンズの集光エリアが抜けた形状のパター
ン(遮光マスク5’)を得る。
ときマイクロレンズの集光エリアが抜けた形状のパター
ン(遮光マスク5’)を得る。
【0027】4)シリカ系、エポキシ系、アクリル系、
ポリイミド系等の無機酸化物又は樹脂からなるトップコ
ート層6を形成する。
ポリイミド系等の無機酸化物又は樹脂からなるトップコ
ート層6を形成する。
【0028】5)ITO等から成る対向電極7をスパッ
タリング等にて成膜する。
タリング等にて成膜する。
【0029】6)配向膜8を形成する。(ラビング処理
含む) 7)以上のようにして構成した第1の基板と、TFT1
1、画素電極12、信号電極、走査電極、配向膜10等
が形成されたTFTガラス基板13(第2の基板)との
間でセル化する。(遮光マスク5’にてTFT11を遮
光するようにアライメントする) 8)液晶9を注入し、封口後、偏光板1,14を外側両
面に貼付する。
含む) 7)以上のようにして構成した第1の基板と、TFT1
1、画素電極12、信号電極、走査電極、配向膜10等
が形成されたTFTガラス基板13(第2の基板)との
間でセル化する。(遮光マスク5’にてTFT11を遮
光するようにアライメントする) 8)液晶9を注入し、封口後、偏光板1,14を外側両
面に貼付する。
【0030】このようにして製造された液晶表示パネル
は実施例1と比較して製造工程が一工程短縮されるとと
もに、実施例1と全く同じ効果を有する。
は実施例1と比較して製造工程が一工程短縮されるとと
もに、実施例1と全く同じ効果を有する。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、液晶表示パネルの
遮光マスクを形成する際のフォトリソグラフィー露光プ
ロセスをマイクロレンズを透して行なうことにより、遮
光マスクとマイクロレンズとのアライメントがセルフア
ライメント化され、マイクロレンズによる集光光束と遮
光マスクの開口とが完全に一致するため、不要光の遮蔽
を無駄が無く非常に良好に行うことができる。
遮光マスクを形成する際のフォトリソグラフィー露光プ
ロセスをマイクロレンズを透して行なうことにより、遮
光マスクとマイクロレンズとのアライメントがセルフア
ライメント化され、マイクロレンズによる集光光束と遮
光マスクの開口とが完全に一致するため、不要光の遮蔽
を無駄が無く非常に良好に行うことができる。
【0032】また、このようにして作製された液晶表示
パネルは、実用開口率が向上し、より鮮明な画像表示が
可能となる。
パネルは、実用開口率が向上し、より鮮明な画像表示が
可能となる。
【図1】本発明の液晶表示パネルの断面構成図の一例で
ある。
ある。
【図2】本発明に係る遮光マスクの製造プロセスの一例
を説明するための図である。
を説明するための図である。
【図3】本発明に係る遮光マスクの製造プロセスの一例
を説明するための図である。
を説明するための図である。
1,14 偏光板 2 マイクロレンズガラス基板 3 マイクロレンズ 4 対向ガラス基板 5,5’ 遮光マスク 6 トップコート層 7 対向電極 8,10 配向膜 9 液晶層 11 TFT 12 画素電極 13 TFTガラス基板 15 被染色樹脂層 16 顔料分散樹脂層
Claims (4)
- 【請求項1】 対向する第1の基板と第2の基板との間
に液晶を挟持し、該第1の基板はアレイ状に配列した複
数のマイクロレンズを有し、該マイクロレンズのそれぞ
れは1つ又は複数の液晶画素に対応しているマトリック
ス表示型の液晶表示パネルの製造方法において、前記第
1の基板にポジ型感光性樹脂を設ける工程と、前記マイ
クロレンズを介して該ポジ型感光性樹脂を露光する工程
と、該ポジ型感光性樹脂を現像してパターン化すること
により遮光マスクを形成する工程とを少なくとも有する
ことを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。 - 【請求項2】 前記第2の基板にTFTを形成する工程
を有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示パ
ネルの製造方法。 - 【請求項3】 前記パターン化後に前記ポジ型感光性樹
脂を染色する工程を有することを特徴とする請求項1又
は2に記載の液晶表示パネルの製造方法。 - 【請求項4】 前記ポジ型感光性樹脂が顔料を分散した
ポジ型感光性樹脂であることを特徴とする請求項1又は
2に記載の液晶表示パネルの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4143716A JP2884458B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 液晶表示パネルの製造方法 |
EP93303586A EP0570176B1 (en) | 1992-05-11 | 1993-05-10 | Liquid crystal display panel and process for production thereof |
DE69320099T DE69320099T2 (de) | 1992-05-11 | 1993-05-10 | Flüssigkristallanzeigetafel und Verfahren zu ihrer Herstellung |
US08/059,290 US5473453A (en) | 1992-05-11 | 1993-05-11 | Liquid crystal display with opaque film formed by exposure through microlens |
US08/528,650 US5666176A (en) | 1992-05-11 | 1995-09-07 | Process for producing liquid crystal display panel by photolithography using microlenses |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4143716A JP2884458B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 液晶表示パネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05313153A JPH05313153A (ja) | 1993-11-26 |
JP2884458B2 true JP2884458B2 (ja) | 1999-04-19 |
Family
ID=15345329
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4143716A Expired - Fee Related JP2884458B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 液晶表示パネルの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5473453A (ja) |
EP (1) | EP0570176B1 (ja) |
JP (1) | JP2884458B2 (ja) |
DE (1) | DE69320099T2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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US6788460B2 (en) * | 1998-04-15 | 2004-09-07 | Duke University | Projection screen apparatus |
US20030206342A1 (en) * | 1993-05-12 | 2003-11-06 | Bright View Technologies, Inc. | Micro-lens array based light transmission screen |
DE69429209T2 (de) * | 1993-06-01 | 2002-06-27 | Sharp Kk | Bildanzeigevorrichtung mit rückseitiger Beleuchtung |
JP3040667B2 (ja) * | 1994-08-29 | 2000-05-15 | シャープ株式会社 | 透過型表示装置の輝点欠陥修正方法 |
US5606436A (en) * | 1994-11-21 | 1997-02-25 | Proxima Corporation | Liquid crystal projection panel construction and method of making same |
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WO1997016765A1 (en) * | 1995-11-02 | 1997-05-09 | Philips Electronics N.V. | Picture display device |
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KR100213968B1 (ko) * | 1996-07-15 | 1999-08-02 | 구자홍 | 액정표시장치 |
KR100229618B1 (ko) * | 1996-10-09 | 1999-11-15 | 구자홍 | 마이크로렌즈를 가지는 액정표시장치 |
JP3249077B2 (ja) * | 1996-10-18 | 2002-01-21 | キヤノン株式会社 | マトリクス基板と液晶装置 |
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JPH11142844A (ja) | 1997-11-07 | 1999-05-28 | Canon Inc | 液晶表示装置 |
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