JP2842388B2 - Surface mount optical module - Google Patents

Surface mount optical module

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JP2842388B2
JP2842388B2 JP8180288A JP18028896A JP2842388B2 JP 2842388 B2 JP2842388 B2 JP 2842388B2 JP 8180288 A JP8180288 A JP 8180288A JP 18028896 A JP18028896 A JP 18028896A JP 2842388 B2 JP2842388 B2 JP 2842388B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は発光素子と受光素子
を備える通信用光モジュールに関し、特に素子を表面実
装した光モジュールに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a communication optical module having a light emitting element and a light receiving element, and more particularly to an optical module having elements mounted on a surface.

【0002】[0002]

【従来の技術】光通信は光ファイバ、半導体レーザ(L
D)、発光ダイオード(LED)、フォトダイオード
(PD)を始めとして、光スイッチ、光変調器、アイソ
レータ、光導波路等の受動、能動素子の高性能、高機能
化により応用範囲が拡大されつつある。近年、より多く
の情報を伝達する要求が高まる中で、コンピュータ端末
間、交換器や大型コンピュータ間のデータ伝送を並列に
行う並列伝送、あるいは一般家庭への高度情報サービス
等、加入者系への適用が考えられている。この光加入者
系の場合、光素子はもとより光素子を機能的に構成した
光モジュールの低価格化が不可欠とされている。そのた
めには、光素子をマイクロオプティック的にプロック状
に配列する従来の同軸型のモジュール構成から、複数の
光素子を同一基板上に配列する、いわば電子部品のプリ
ント基板的なモジュール構成が望ましいとされている。
2. Description of the Related Art Optical communication uses an optical fiber or a semiconductor laser (L).
D), light-emitting diodes (LEDs), photodiodes (PDs), and other optical switches, optical modulators, isolators, optical waveguides, and other passive and active elements with higher performance and higher functionality have expanded their application range. . In recent years, as the demand for transmitting more information has increased, parallel transmission of data between computer terminals, exchanges and large computers in parallel, or advanced information services for general households, etc. Application is considered. In the case of this optical subscriber system, it is indispensable to reduce the price of an optical module in which the optical element is functionally configured as well as the optical element. For this purpose, it is desirable to adopt a module configuration in which a plurality of optical elements are arranged on the same substrate, that is, a module configuration similar to a printed circuit board of electronic components, from a conventional coaxial module configuration in which optical elements are arranged in a block shape in a micro-optic manner. Have been.

【0003】図3は、LDと、LD光モニタ用PDと光
ファイバからなる平面型送信モジュールの一例を示す図
である。実装基板21に設けられたV溝22に光ファイ
バ23の端部が固定され、前記実装基板21に表面実装
したLD24から出射されたレーザ光がこの光ファイバ
23の端面から入射されるようにLD24の発光端面光
ファイバ23の一端面に対向させて実装基板に搭載す
る。また、このLD24からの出射光強度を一定に保つ
ために、LD24の反対側端面から出射されるレーザ光
をモニタするための表面受光型のPD26は、その受光
面26aがLD24の反対側端面に対向されるように、
前記実装基板21とは別に設けられたPD基板25に実
装される。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a flat transmission module including an LD, a PD for monitoring an LD light, and an optical fiber. An end of the optical fiber 23 is fixed to a V-groove 22 provided on the mounting substrate 21, and the laser beam emitted from the LD 24 surface-mounted on the mounting substrate 21 is set so that the laser light is incident from the end face of the optical fiber 23. The light emitting end face optical fiber 23 is mounted on a mounting board so as to face one end face. In order to keep the intensity of the light emitted from the LD 24 constant, the surface light receiving type PD 26 for monitoring the laser light emitted from the opposite end face of the LD 24 has a light receiving surface 26 a on the opposite end face of the LD 24. As opposed to
It is mounted on a PD board 25 provided separately from the mounting board 21.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】このような送信モジュ
ールでは、LD24は実装基板11上に位置合わせマー
カの画像認識等を利用して位置決めされるため、その位
置精度には極めて高いものが得られる。また、光ファイ
バ23は実装基板21に形成されているV溝22により
位置決めが行われため、実装基板21に対して高精度に
位置決めされる。これに対し、LD光モニタ用のPD2
6は表面受光型であるため、LD24からの出射光を受
光するためには実装基板21に表面実装することはでき
ず、そのため、このPD26は受光光路を約90度変換
した状態に実装する必要があり、同図に示したように実
装基板21とは90度の角度方向に向けられた専用のP
D実装基板25に実装されている。したがって、実装基
板21に対してPD実装基板25を高精度に位置決めす
る必要があり、そのための位置決めが極めて困難なもの
となる。また、実装基板21とPD実装基板25との間
を電気接続するための二次元配線が必要となり、部品や
実装コストが高くなるという問題もある。
In such a transmission module, since the LD 24 is positioned on the mounting substrate 11 by utilizing image recognition of a positioning marker or the like, an extremely high positional accuracy can be obtained. . Further, the positioning of the optical fiber 23 is performed by the V-groove 22 formed in the mounting substrate 21, so that the optical fiber 23 is positioned with respect to the mounting substrate 21 with high accuracy. On the other hand, PD2 for LD light monitor
6 is a surface light-receiving type, it cannot be surface-mounted on the mounting substrate 21 to receive light emitted from the LD 24. Therefore, the PD 26 needs to be mounted in a state where the light-receiving optical path is converted by about 90 degrees. As shown in the figure, there is a dedicated P which is oriented at an angle of 90 degrees with the mounting board 21.
It is mounted on a D mounting board 25. Therefore, it is necessary to position the PD mounting board 25 with high precision with respect to the mounting board 21, and positioning for that purpose is extremely difficult. Further, two-dimensional wiring for electrically connecting the mounting substrate 21 and the PD mounting substrate 25 is required, and there is also a problem that components and mounting costs increase.

【0005】本発明の目的は、PDの高精度な位置決め
とその実装を容易に行うことを可能とし、かつ低コスト
化を実現した表面実装型光モジュールを提供することに
ある。
An object of the present invention is to provide a surface-mount type optical module which enables high-accuracy positioning of a PD and its mounting easily, and realizes low cost.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、実装基板の表
面に沿って伝送される光を受光するための受光素子を備
える光モジュールにおいて、表面受光型の受光素子はそ
の受光面が伝送される光よりも高い位置において実装基
板に対向されるように実装基板に表面実装され、かつこ
の受光面に対向される実装基板の表面上には伝送される
光を反射する反射バンプを有することを特徴とする。ま
た、本発明を送信用光モジュールとして構成する場合に
は、端面発光型の発光素子と、この発光素子の出射光を
受光する表面受光型の受光素子とが同一実装基板上に平
面配置され、受光素子の受光面は実装基板上において出
射光よりも高位置に設定され、かつこの受光面に対向す
る実装基板の表面上に半球状の金属バンプからなる反射
バンプが形成されていることを特徴とする。また、発光
素子および受光素子は金属バンプにより実装基板に固定
されることが好ましい。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is directed to an optical module having a light receiving element for receiving light transmitted along the surface of a mounting substrate. That the surface is mounted on the mounting board so as to face the mounting board at a position higher than that of the light, and that a reflection bump for reflecting transmitted light is provided on the surface of the mounting board facing the light receiving surface. Features. When the present invention is configured as an optical module for transmission, an edge-emitting light-emitting element and a surface-light-receiving light-receiving element that receives light emitted from the light-emitting element are arranged on the same mounting board, The light receiving surface of the light receiving element is set at a position higher than the emitted light on the mounting substrate, and a reflective bump made of a hemispherical metal bump is formed on the surface of the mounting substrate facing the light receiving surface. And Further, it is preferable that the light emitting element and the light receiving element are fixed to the mounting board by metal bumps.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図1は本発明の第1実施形態の送信
用光モジュールの断面構造を示す図である。シリコン実
装基板11にはシリコン結晶の結晶方位と異方性エッチ
ング技術とによって所要角度のV溝12が形成され、こ
のV溝12に光ファイバ13の一端部が位置決めされた
状態で固定されている。また、前記光ファイバ13の一
端部に対向する実装基板11の表面には金属薄膜により
図外の電極が形成され、この電極にAuSn等の金属バ
ンプ15を用いて端面発光型のLD14が表面実装され
る。このLD14は両端面からLD光を出射する構成で
あり、その一方の端面が前記光ファイバ13に対向位置
され、かつその端面から出射されるLD光の出射光軸は
前記実装基板11の表面に近い高さ位置となるように設
定され、かつこのLD光の光軸に対して前記光ファイバ
13の光軸が一致される。なお、この例では、LD14
は1〜2μmの寸法精度で実装基板11に実装される必
要があるため、前記金属バンプ15には20μm程度の
高さ寸法の金属バンプが用いられる。このため、LD1
4の光軸はチップ下面から5μmの高さ位置であるた
め、結果としてLD14の光軸は実装基板11の表面か
ら25μmの位置となる。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional structure of a transmitting optical module according to a first embodiment of the present invention. A V-groove 12 having a required angle is formed in the silicon mounting substrate 11 by the crystal orientation of the silicon crystal and the anisotropic etching technique, and one end of the optical fiber 13 is fixed to the V-groove 12 in a positioned state. . An electrode (not shown) is formed of a metal thin film on the surface of the mounting substrate 11 facing one end of the optical fiber 13, and an edge emitting LD 14 is surface-mounted using a metal bump 15 such as AuSn on the electrode. Is done. The LD 14 is configured to emit LD light from both end faces, one end face of which is positioned to face the optical fiber 13, and the emission optical axis of the LD light emitted from the end face is located on the surface of the mounting substrate 11. The optical axis of the optical fiber 13 is set to be close to the height position, and the optical axis of the optical fiber 13 coincides with the optical axis of the LD light. In this example, the LD 14
Since the metal bumps 15 need to be mounted on the mounting substrate 11 with a dimensional accuracy of 1 to 2 μm, metal bumps having a height of about 20 μm are used as the metal bumps 15. For this reason, LD1
The optical axis of No. 4 is located at a height of 5 μm from the lower surface of the chip. As a result, the optical axis of LD 14 is at a position of 25 μm from the surface of the mounting substrate 11.

【0008】一方、前記LD14の反対側の端面に対向
するように、表面受光型のLD光モニタ用のPD16が
前記実装基板11に表面実装される。このPD16の実
装に際しては、実装基板11に設けられた図外の電極を
利用した金属バンプ17を用いており、しかもそのとき
にPD16の受光面が実装基板11の表面と対向するよ
うに下方に向けて実装を行っている。この場合、PD1
6はLD14の出射光の一部を受光すれば良いために、
その位置精度は5μm程度であれば十分であり、金属バ
ンプ17には80〜100μm程度の高さ寸法の金属バ
ンプを用いることが可能である。これにより、PD16
の受光面16aの高さ位置は、LD14の出射光の光軸
位置よりも高い位置となる。そして、前記実装基板11
の表面の前記PD16の直下位置、すなわちその受光面
16aの略直下位置には、図外の電極が形成されてお
り、この電極上に高さが50μm程度の半球状の金属バ
ンプ、すなわち反射バンプ18が形成されている。
On the other hand, a surface-receiving type PD monitor 16 for LD light monitoring is surface-mounted on the mounting substrate 11 so as to face the opposite end face of the LD 14. When mounting the PD 16, a metal bump 17 using an electrode (not shown) provided on the mounting substrate 11 is used, and at that time, the light receiving surface of the PD 16 faces downward so as to face the surface of the mounting substrate 11. We are implementing for. In this case, PD1
6 only needs to receive a part of the light emitted from the LD 14,
It is sufficient that the positional accuracy is about 5 μm, and a metal bump having a height of about 80 to 100 μm can be used as the metal bump 17. Thereby, PD16
The height position of the light receiving surface 16a is higher than the optical axis position of the light emitted from the LD. And the mounting substrate 11
A non-illustrated electrode is formed at a position directly below the PD 16 on the surface of the PD, that is, a position substantially directly below the light receiving surface 16a, and a hemispherical metal bump having a height of about 50 μm, that is, a reflective bump is formed on the electrode. 18 are formed.

【0009】この構成によれば、LD14の一端面から
出射されたLD光は、実装基板11の表面に沿って伝送
(進行)されて光ファイバ13の一端面に入射され、光
ファイバ13を介して伝送される。また、LD14の他
端面から出射されたLD光は、実装基板11の表面に沿
って光ファイバ13とは反対方向に伝送され、その一部
は反射バンプ18に投射され、ここで反射される。そし
て、反射されたLD光のうち、上方に向けて反射された
LD光はPD16の受光面16aに投射され、ここで受
光される。これにより、LD14から出射されるLD光
をPD16においてモニタし、このモニタ出力を利用す
ることでLD14におけるLD光強度等の制御等が実現
される。
According to this configuration, the LD light emitted from one end face of the LD 14 is transmitted (progressed) along the surface of the mounting substrate 11, is incident on one end face of the optical fiber 13, and passes through the optical fiber 13. Transmitted. The LD light emitted from the other end surface of the LD 14 is transmitted along the surface of the mounting substrate 11 in the direction opposite to the optical fiber 13, and a part of the light is projected on the reflective bump 18 and reflected there. Then, of the reflected LD light, the LD light reflected upward is projected on the light receiving surface 16a of the PD 16 and received here. Thus, the LD light emitted from the LD 14 is monitored by the PD 16, and control of the LD light intensity and the like in the LD 14 is realized by using the monitor output.

【0010】このように、この実施形態では表面受光型
のPD16を端面発光型のLD14と並べて表面実装し
てもLD光を受光することが可能となる。したがって、
PD16をLD14と同様な手法により実装基板11に
対して表面実装することができ、実装作業の容易化を図
るとともに、位置精度の高い実装が可能となる。また、
反射バンプ18に対するPD16の位置決めも容易に行
うことができる。さらに、PD16に対する電気配線は
電極と共に実装基板11に形成した図外の金属配線パタ
ーンをそのまま利用することができ、しかも実装基板1
1とは別のPD実装基板が不要であるため、部品点数か
削減できるとともに配線作業が不要であり、低コスト化
が可能となる。
As described above, in this embodiment, it is possible to receive the LD light even when the surface light receiving type PD 16 is mounted on the surface with the edge emitting type LD 14 side by side. Therefore,
The PD 16 can be surface-mounted on the mounting substrate 11 in the same manner as the LD 14, so that the mounting operation can be facilitated and mounting with high positional accuracy can be performed. Also,
The positioning of the PD 16 with respect to the reflective bump 18 can be easily performed. Further, the electric wiring for the PD 16 can use the metal wiring pattern (not shown) formed on the mounting board 11 together with the electrodes as it is, and
Since a separate PD mounting board is not required, the number of components can be reduced, wiring work is unnecessary, and cost can be reduced.

【0011】なお、反射バンプ18は、LD14やPD
16の各金属バンプ15,17と同様な手法、例えば電
極上に金属をメッキし、このメッキを溶融させてその表
面張力で半球状に形成する手法が利用できる。このた
め、特殊なマイクロレンズやマイクロミラーを用いて前
記したような光の反射を行うような場合に比較しても、
これらの部品が不要となり、かつそのための取付作業が
不要とされることになり、さらなる低コスト化および製
造の容易化が実現できる。
The reflection bump 18 is formed of the LD 14 or PD.
A technique similar to the technique of each of the 16 metal bumps 15, 17 can be used, for example, a technique of plating a metal on an electrode, melting the plating, and forming a hemisphere by the surface tension. For this reason, even when compared to the case of performing light reflection as described above using a special microlens or micromirror,
These components become unnecessary, and the mounting work therefor becomes unnecessary, so that further reduction in cost and ease of manufacture can be realized.

【0012】図2は本発明の第2の実施形態の断面構造
を示す図であり、第1の実施形態と等価な部分には同一
符号を付してある。この実施形態では、光伝送路として
光ファイバに代えて光導波路19を用いており、端面発
光型のLD14から出射されたLD光を光導波路19に
入射させてその伝送を行うものである。この実施形態に
おいても、LD14の反対側の端面から出射されるLD
光を、表面受光型のPD16の受光面16aの直下に設
けた反射バンプ18によって反射させて受光させている
ため、PD16の表面実装を可能とし、PD16を高精
度にかつ容易に実装することができる。また、LD光を
反射するために金属バンプで構成される反射バンプ18
を用いているために、製造を容易にしかも低コストに行
うことができる。
FIG. 2 is a view showing a cross-sectional structure of a second embodiment of the present invention, and portions equivalent to those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals. In this embodiment, an optical waveguide 19 is used instead of an optical fiber as an optical transmission path, and the LD light emitted from the edge emitting type LD 14 is transmitted to the optical waveguide 19 by being made incident on the optical waveguide 19. Also in this embodiment, the LD emitted from the opposite end face of the LD 14
Since the light is reflected and received by the reflective bumps 18 provided directly below the light receiving surface 16a of the surface light receiving type PD 16, the surface mounting of the PD 16 is enabled, and the PD 16 can be mounted with high precision and ease. it can. Further, a reflection bump 18 made of a metal bump for reflecting the LD light.
, The production can be performed easily and at low cost.

【0013】なお、前記各実施形態では、実装基板とし
てシリコン基板を用いているが、アルミナ等の絶縁基板
を用いた場合でも同じである。また、金属バンプとして
はPbSn等の他の金属を用いることも可能である。
In each of the above embodiments, a silicon substrate is used as a mounting substrate. However, the same applies when an insulating substrate such as alumina is used. Further, other metal such as PbSn can be used as the metal bump.

【0014】また、前記各実施形態では、本発明を送信
用光モジュールに適用しているが、光ファイバや光導波
路と、これらを伝送されてきた光を受光するためPDと
を光結合して受信用光モジュールを構成する場合にも本
発明を適用することが可能である。
In each of the above embodiments, the present invention is applied to an optical module for transmission. However, an optical fiber or an optical waveguide is optically coupled to a PD for receiving the light transmitted therethrough. The present invention can be applied to a case where a receiving optical module is configured.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、表
面受光型の受光素子を表面実装するとともに、この受光
素子の受光面に対向する位置の実装基板に反射バンプを
形成しているので、実装基板に沿って伝送される光を反
射バンプにより反射させて受光面において受光すること
が可能となる。このため、受光素子を実装基板に表面実
装して光モジュールを構成することができ、受光素子の
実装が容易なものにできるとともに、受光素子への配線
を簡略化して低コスト化が可能となる。また、反射バン
プとして受光素子を実装するための金属バンプを利用す
ることで、反射バンプを素子の実装と同時に形成するこ
とができ、しかもマイクロレンズやマイクロミラー等の
特殊な光学部品が不要となり、低コスト化をさらに促進
することができる。
As described above, according to the present invention, the light receiving element of the surface light receiving type is surface-mounted, and the reflection bump is formed on the mounting substrate at a position facing the light receiving surface of the light receiving element. The light transmitted along the mounting board can be reflected by the reflective bumps and received on the light receiving surface. For this reason, the light receiving element can be surface-mounted on the mounting substrate to form an optical module, the mounting of the light receiving element can be facilitated, and the wiring to the light receiving element can be simplified to reduce the cost. . Also, by using a metal bump for mounting the light receiving element as the reflective bump, the reflective bump can be formed simultaneously with the mounting of the element, and special optical components such as microlenses and micromirrors are not required. Cost reduction can be further promoted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光モジュールの第1の実施形態の断面
構成図である。
FIG. 1 is a sectional configuration diagram of a first embodiment of an optical module of the present invention.

【図2】本発明の光モジュールの第2の実施形態の断面
構成図である。
FIG. 2 is a sectional configuration diagram of a second embodiment of the optical module of the present invention.

【図3】従来の光モジュールの一例の断面構成図であ
る。
FIG. 3 is a cross-sectional configuration diagram of an example of a conventional optical module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 シリコン実装基板 12 V溝 13 光ファイバ 14 LD(レーザダイオード) 15,17 金属バンプ 16 PD(レーザモニタ用フォトダイオード) 18 反射バンプ 19 光導波路 Reference Signs List 11 silicon mounting substrate 12 V groove 13 optical fiber 14 LD (laser diode) 15, 17 metal bump 16 PD (photodiode for laser monitor) 18 reflective bump 19 optical waveguide

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02B 6/42 G02B 6/26Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G02B 6/42 G02B 6/26

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 実装基板の表面に沿って伝送される光を
受光するための表面受光型の受光素子を備える光モジュ
ールにおいて、前記受光素子はその受光面が前記伝送さ
れる光よりも高い位置において前記実装基板に対向され
た状態で実装基板に表面実装され、かつ前記受光面に対
向される前記実装基板の表面上に前記伝送される光を反
射する反射バンプを有することを特徴とする表面実装型
光モジュール。
1. An optical module comprising a light receiving element of a surface light receiving type for receiving light transmitted along a surface of a mounting board, wherein the light receiving element has a light receiving surface higher than the transmitted light. A surface mounted on the mounting substrate in a state facing the mounting substrate, and having a reflective bump for reflecting the transmitted light on a surface of the mounting substrate facing the light receiving surface. Mountable optical module.
【請求項2】 端面発光型の発光素子と、この発光素子
の出射光を受光する表面受光型の受光素子とが同一実装
基板上に平面配置され、前記受光素子の受光面は前記実
装基板上において前記出射光よりも高位置に設定され、
かつこの受光面に対向する前記実装基板の表面上に半球
状の金属バンプからなる反射バンプが形成されているこ
とを特徴とする表面実装型光モジュール。
2. A light emitting element of an edge emitting type and a light receiving element of a surface light receiving type for receiving light emitted from the light emitting element are arranged on the same mounting substrate in a plane, and a light receiving surface of the light receiving element is on the mounting substrate. At a higher position than the emitted light,
A surface-mounted optical module, wherein a reflective bump made of a hemispherical metal bump is formed on a surface of the mounting substrate facing the light-receiving surface.
【請求項3】 端面発光型光素子の一端面からの出射光
が入射される光ファイバまたは光導波路からなる光伝送
手段が設けられ、受光素子は前記発光素子の他端面から
の出射光を受光する請求項2の表面実装型光モジュー
ル。
3. An optical transmission means comprising an optical fiber or an optical waveguide into which light emitted from one end face of the edge emitting optical element is incident, and the light receiving element receives light emitted from the other end face of the light emitting element. The surface mount type optical module according to claim 2.
【請求項4】 発光素子および受光素子は金属バンプに
より実装基板に固定される請求項3の表面実装型光モジ
ュール。
4. The surface mount type optical module according to claim 3, wherein the light emitting element and the light receiving element are fixed to the mounting board by metal bumps.
【請求項5】 受光素子を実装する金属バンプは、発光
素子を実装する金属バンプよりも大径である請求項4の
表面実装型光モジュール。
5. The surface mount type optical module according to claim 4, wherein the metal bump for mounting the light receiving element has a larger diameter than the metal bump for mounting the light emitting element.
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