JP2833506B2 - 磁気検出装置 - Google Patents
磁気検出装置Info
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- JP2833506B2 JP2833506B2 JP3392995A JP3392995A JP2833506B2 JP 2833506 B2 JP2833506 B2 JP 2833506B2 JP 3392995 A JP3392995 A JP 3392995A JP 3392995 A JP3392995 A JP 3392995A JP 2833506 B2 JP2833506 B2 JP 2833506B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のＳＱＵＩＤを用
いて被測定磁界を複数点において検出する、いわゆるマ
ルチチャンネルの磁気検出装置に関し、例えば生体磁気
計測等の微弱磁気を高精度の計測する分野に適した磁気
検出装置に関する。
いて被測定磁界を複数点において検出する、いわゆるマ
ルチチャンネルの磁気検出装置に関し、例えば生体磁気
計測等の微弱磁気を高精度の計測する分野に適した磁気
検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】生体磁気計測における脳磁界の測定等に
おいては、脳からの微弱磁界を複数点において検出する
必要があり、このような場合、通常は複数のＳＱＵＩＤ
を用いたマルチチャンネル型の磁気検出装置が用いられ
る。
おいては、脳からの微弱磁界を複数点において検出する
必要があり、このような場合、通常は複数のＳＱＵＩＤ
を用いたマルチチャンネル型の磁気検出装置が用いられ
る。
【０００３】ところで、このような計測にあっては、測
定すべき磁界のほかに外部の磁気雑音源からの磁界の影
響を除去する必要がある。その対策として、従来のこの
種の装置では、各ＳＱＵＩＤの検出部であるピックアッ
プコイルとして、より高次の微分型グラジオメータを用
いるか、あるいは、実際の測定に供する複数のＳＱＵＩ
Ｄのほかに、参照用のＳＱＵＩＤを１つ以上設けて磁気
雑音成分を測定し、その測定結果を実際の測定に供され
ている各ＳＱＵＩＤの出力から減算する等によって、磁
気雑音成分を除去している。
定すべき磁界のほかに外部の磁気雑音源からの磁界の影
響を除去する必要がある。その対策として、従来のこの
種の装置では、各ＳＱＵＩＤの検出部であるピックアッ
プコイルとして、より高次の微分型グラジオメータを用
いるか、あるいは、実際の測定に供する複数のＳＱＵＩ
Ｄのほかに、参照用のＳＱＵＩＤを１つ以上設けて磁気
雑音成分を測定し、その測定結果を実際の測定に供され
ている各ＳＱＵＩＤの出力から減算する等によって、磁
気雑音成分を除去している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の磁
気雑音除去対策のうち、前者の高次の微分型グラジオメ
ータを用いる方法は、装置がより複雑化するという欠点
がある。また、後者の参照用のＳＱＵＩＤを別途設ける
方法は、参照用の装置が余分に必要となるばかりでな
く、磁気雑音源が測定すべき磁界の近くに存在する場合
には、測定用のＳＱＵＩＤの検出部のある空間と、参照
用のＳＱＵＩＤの検出部のある空間とで、雑音源からの
影響が大きく異なり、外来磁気雑音の除去が不完全とな
る場合があった。
気雑音除去対策のうち、前者の高次の微分型グラジオメ
ータを用いる方法は、装置がより複雑化するという欠点
がある。また、後者の参照用のＳＱＵＩＤを別途設ける
方法は、参照用の装置が余分に必要となるばかりでな
く、磁気雑音源が測定すべき磁界の近くに存在する場合
には、測定用のＳＱＵＩＤの検出部のある空間と、参照
用のＳＱＵＩＤの検出部のある空間とで、雑音源からの
影響が大きく異なり、外来磁気雑音の除去が不完全とな
る場合があった。
【０００５】本発明はこのような実情に鑑みてなされた
もので、特に高次の微分型グラジオメータを用いること
なく、かつ、参照用のＳＱＵＩＤを設けることなく、比
較的磁気雑音源の位置が被測定空間に近くても、確実に
その影響を除去することのできる磁気検出装置の提供を
目的としている。
もので、特に高次の微分型グラジオメータを用いること
なく、かつ、参照用のＳＱＵＩＤを設けることなく、比
較的磁気雑音源の位置が被測定空間に近くても、確実に
その影響を除去することのできる磁気検出装置の提供を
目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の磁気検出装置は、測定用の各ＳＱＵＩＤの
検出部１２(1)・・・１２(n) を、それぞれの位置および検
出軸の方向を既知の状態で配置するとともに、その各Ｓ
ＱＵＩＤのうち、少なくとも３つのＳＱＵＩＤによる検
出信号から、その検出磁気のベクトル成分を算出する演
算手段１４ｂと、その演算結果を用いて、各ＳＱＵＩＤ
の個々の検出部１２(1)・・・１２(n) の位置および方向に
対応する磁気のベクトル成分を算出して、その算出結果
を各ＳＱＵＩＤの個々の検出信号から減算して磁気雑音
成分を除去する補正演算手段１４ｃを備えたことによっ
て特徴づけられる。
め、本発明の磁気検出装置は、測定用の各ＳＱＵＩＤの
検出部１２(1)・・・１２(n) を、それぞれの位置および検
出軸の方向を既知の状態で配置するとともに、その各Ｓ
ＱＵＩＤのうち、少なくとも３つのＳＱＵＩＤによる検
出信号から、その検出磁気のベクトル成分を算出する演
算手段１４ｂと、その演算結果を用いて、各ＳＱＵＩＤ
の個々の検出部１２(1)・・・１２(n) の位置および方向に
対応する磁気のベクトル成分を算出して、その算出結果
を各ＳＱＵＩＤの個々の検出信号から減算して磁気雑音
成分を除去する補正演算手段１４ｃを備えたことによっ
て特徴づけられる。
【０００７】
【作用】測定用の各ＳＱＵＩＤの検出部１２(1)・・・１２
(n) により検出される磁気は、被測定磁気源からの磁気
と、磁気雑音源からの磁気の双方が含まれるが、磁気雑
音源は被測定磁気源との比較においては各検出部１２
(1)・・・１２(n) よりも遠方にあるが故に、これらの各検
出部１２(1)・・・１２(n) は、磁気雑音源からのほぼ等し
い磁界を受けていると考えることができる。
(n) により検出される磁気は、被測定磁気源からの磁気
と、磁気雑音源からの磁気の双方が含まれるが、磁気雑
音源は被測定磁気源との比較においては各検出部１２
(1)・・・１２(n) よりも遠方にあるが故に、これらの各検
出部１２(1)・・・１２(n) は、磁気雑音源からのほぼ等し
い磁界を受けていると考えることができる。
【０００８】そこで、位置と方向が既知の少なくとも３
つの検出部からの検出信号を用いてその検出磁気のベク
トル成分を演算すると、その演算結果は、その演算に供
した３つ以上の検出部が置かれている空間に存在する平
均的な磁気の大きさと方向をを表すデータとなる。この
データから、個々の検出部１２(1)・・・１２(n) の位置と
方向に対応する磁気のベクトル成分を算出して、その算
出結果を各ＳＱＵＩＤによる検出結果から減算すること
により、磁気雑音成分の影響が除去されて、被測定磁界
による寄与分のみを抽出できる。
つの検出部からの検出信号を用いてその検出磁気のベク
トル成分を演算すると、その演算結果は、その演算に供
した３つ以上の検出部が置かれている空間に存在する平
均的な磁気の大きさと方向をを表すデータとなる。この
データから、個々の検出部１２(1)・・・１２(n) の位置と
方向に対応する磁気のベクトル成分を算出して、その算
出結果を各ＳＱＵＩＤによる検出結果から減算すること
により、磁気雑音成分の影響が除去されて、被測定磁界
による寄与分のみを抽出できる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明実施例の構成を示す模式図で、
ｎチャンネルの１次微分磁束計に本発明を適用した例を
示している。
ｎチャンネルの１次微分磁束計に本発明を適用した例を
示している。
【００１０】複数の磁気測定チャンネルはそれぞれ、Ｓ
ＱＵＩＤ素子１０とその駆動回路１１、およびピックア
ップコイル１２によって構成されている。各ＳＱＵＩＤ
素子１０(1)・・・１０(n) は、ＳＱＵＩＤリングのほかに
これと磁気的に結合されたインプットコイル、および駆
動回路１１(1)・・・１１(n) に接続されたフィードバック
コイル等を備えている。
ＱＵＩＤ素子１０とその駆動回路１１、およびピックア
ップコイル１２によって構成されている。各ＳＱＵＩＤ
素子１０(1)・・・１０(n) は、ＳＱＵＩＤリングのほかに
これと磁気的に結合されたインプットコイル、および駆
動回路１１(1)・・・１１(n) に接続されたフィードバック
コイル等を備えている。
【００１１】各ピックアップコイル１２(1)・・・１２(n)
は、例えば１次微分型のグラジオメータであって、各Ｓ
ＱＵＩＤ素子１０(1)・・・１０(n) 内のインプットコイル
とともに超伝導閉ループを形成しており、入力磁界をそ
れぞれに対応するＳＱＵＩＤ素子１０(1)・・・１０(n) 内
のＳＱＵＩＤリングに伝達する。これらの各ピックアッ
プコイル１２(1)・・・１２(n) は、被測定物Ｗ（被測定磁
気源）に近接して配置されており、その各位置とコイル
軸（検出軸）の方向はそれぞれ既知である。
は、例えば１次微分型のグラジオメータであって、各Ｓ
ＱＵＩＤ素子１０(1)・・・１０(n) 内のインプットコイル
とともに超伝導閉ループを形成しており、入力磁界をそ
れぞれに対応するＳＱＵＩＤ素子１０(1)・・・１０(n) 内
のＳＱＵＩＤリングに伝達する。これらの各ピックアッ
プコイル１２(1)・・・１２(n) は、被測定物Ｗ（被測定磁
気源）に近接して配置されており、その各位置とコイル
軸（検出軸）の方向はそれぞれ既知である。
【００１２】駆動回路１１(1)・・・１１(n) は磁束ロック
回路と称される公知の回路で、例えばＡＦ発振器からの
交流電流を、フィードバックコイルに流してＳＱＵＩＤ
リングに交流磁束を印加し、その状態でのＳＱＵＩＤリ
ングの出力を増幅してＡＦ発振器からの基準信号と比べ
て位相検波し、さらにこれを積分型増幅器およびフィー
ドバックコイルを介してＳＱＵＩＤリングにフィードバ
ックするという構成をとり、対応するピックアップコイ
ル１２(1)・・・１２(n) への入力磁気の大きさに対応した
電気信号を出力することができる。この各駆動回路１１
(1)・・・１１(n)からの出力信号は、それぞれＡ−Ｄ変換
器１３(1)・・・１３(n) によってデジタル化された後、コ
ンピュータ１４に採り込まれる。
回路と称される公知の回路で、例えばＡＦ発振器からの
交流電流を、フィードバックコイルに流してＳＱＵＩＤ
リングに交流磁束を印加し、その状態でのＳＱＵＩＤリ
ングの出力を増幅してＡＦ発振器からの基準信号と比べ
て位相検波し、さらにこれを積分型増幅器およびフィー
ドバックコイルを介してＳＱＵＩＤリングにフィードバ
ックするという構成をとり、対応するピックアップコイ
ル１２(1)・・・１２(n) への入力磁気の大きさに対応した
電気信号を出力することができる。この各駆動回路１１
(1)・・・１１(n)からの出力信号は、それぞれＡ−Ｄ変換
器１３(1)・・・１３(n) によってデジタル化された後、コ
ンピュータ１４に採り込まれる。
【００１３】コンピュータ１４は、この図１においてそ
の機能を模式的にブロック図化して表すように、各ＳＱ
ＵＩＤからの磁気検出データＤ1 ・・Ｄn を記憶するメモ
リ１４ａと、そのメモリ１４ａの内容を用いた後述する
演算によって、測定空間における磁気ベクトルＤmx′，
Ｄmy′，Ｄmz′を算出する演算部１４ｂと、その演算結
果から、個々のピックアップコイル１２(1)・・・１２(n)
の位置と方向に対応した仮想出力データＤ1 ′・・Ｄn ′
を算出し、その各値を個々の実際の磁気検出データＤ1
・・Ｄn から減算して、雑音成分を除去する補正演算部１
４ｃを備えている。
の機能を模式的にブロック図化して表すように、各ＳＱ
ＵＩＤからの磁気検出データＤ1 ・・Ｄn を記憶するメモ
リ１４ａと、そのメモリ１４ａの内容を用いた後述する
演算によって、測定空間における磁気ベクトルＤmx′，
Ｄmy′，Ｄmz′を算出する演算部１４ｂと、その演算結
果から、個々のピックアップコイル１２(1)・・・１２(n)
の位置と方向に対応した仮想出力データＤ1 ′・・Ｄn ′
を算出し、その各値を個々の実際の磁気検出データＤ1
・・Ｄn から減算して、雑音成分を除去する補正演算部１
４ｃを備えている。
【００１４】図２はコンピュータ１４によるデータ処理
の内容の概略を示すフローチャートで、以下、この図を
参照しつつ、本発明実施例の作用を述べる。まず、各Ａ
−Ｄ変換器１３(1)・・・１３(n) によりデジタル化された
１〜ｎチャンネルの各ＳＱＵＩＤによる磁気検出データ
Ｄ1 ・・Ｄn を採取し、ＲＡＭ等からなるメモリ１４ａに
格納する。次に、そのメモリ１４ａ内のデータから、１
〜ｎの各チャンネルについて、その各ピックアップコイ
ル１２(1)・・・１２(n) の配設位置付近での磁気ベクトル
算出する。すなわち、例えば第ｍチャンネルのＳＱＵＩ
Ｄによる磁気検出データをＤm とし、その第ｍチャンネ
ルのピックアップコイル１２(m) の近傍にピックアップ
コイルを持つチャンネルをｍ＋１，ｍ＋２，ｍ＋３・・と
したとき、その少なくとも３つのチャンネルのＳＱＵＩ
Ｄによる磁気検出データＤm+1,Ｄm+2,Ｄm+3 ・・から、第
ｍチャンネルのピックアップコイル１２(m) の配設位置
近傍に存在する磁気の近似的なベクトル成分Ｄmx′，Ｄ
my′，およびＤmzを算出することができる。このベクト
ル成分Ｄmx′, Ｄmy′, Ｄmz′は、上記したｍ＋１，ｍ
＋２，ｍ＋３・・のチャンネルのピックアップコイルが置
かれている空間に存在する平均的な磁気の大きさと方向
を表すデータとなる。
の内容の概略を示すフローチャートで、以下、この図を
参照しつつ、本発明実施例の作用を述べる。まず、各Ａ
−Ｄ変換器１３(1)・・・１３(n) によりデジタル化された
１〜ｎチャンネルの各ＳＱＵＩＤによる磁気検出データ
Ｄ1 ・・Ｄn を採取し、ＲＡＭ等からなるメモリ１４ａに
格納する。次に、そのメモリ１４ａ内のデータから、１
〜ｎの各チャンネルについて、その各ピックアップコイ
ル１２(1)・・・１２(n) の配設位置付近での磁気ベクトル
算出する。すなわち、例えば第ｍチャンネルのＳＱＵＩ
Ｄによる磁気検出データをＤm とし、その第ｍチャンネ
ルのピックアップコイル１２(m) の近傍にピックアップ
コイルを持つチャンネルをｍ＋１，ｍ＋２，ｍ＋３・・と
したとき、その少なくとも３つのチャンネルのＳＱＵＩ
Ｄによる磁気検出データＤm+1,Ｄm+2,Ｄm+3 ・・から、第
ｍチャンネルのピックアップコイル１２(m) の配設位置
近傍に存在する磁気の近似的なベクトル成分Ｄmx′，Ｄ
my′，およびＤmzを算出することができる。このベクト
ル成分Ｄmx′, Ｄmy′, Ｄmz′は、上記したｍ＋１，ｍ
＋２，ｍ＋３・・のチャンネルのピックアップコイルが置
かれている空間に存在する平均的な磁気の大きさと方向
を表すデータとなる。
【００１５】次に、そのベクトル成分Ｄmx′, Ｄmy′,
Ｄmz′から、第ｍチャンネルのピックアップコイル１２
(m) の位置と方向への磁気成分Ｄm ′を算出する。そし
て、このＤm ′の値を、第ｍチャンネルのＳＱＵＩＤに
よる実際の検出データＤm から減算する。この減算後の
値ｄm は、その第ｍチャンネルのピックアップコイル
(m) によって拾われた実際の磁気のデータと、そのピッ
クアップコイル１２(m)の近傍空間に平均的に存在する
磁気を、同じ位置並びに方向で仮想的に検出した検出デ
ータとの差分であり、これは、外来磁気雑音の寄与がよ
り小さい、より高次の微分型グラジオメータをソフトウ
エア的に実現したことと等価となる。
Ｄmz′から、第ｍチャンネルのピックアップコイル１２
(m) の位置と方向への磁気成分Ｄm ′を算出する。そし
て、このＤm ′の値を、第ｍチャンネルのＳＱＵＩＤに
よる実際の検出データＤm から減算する。この減算後の
値ｄm は、その第ｍチャンネルのピックアップコイル
(m) によって拾われた実際の磁気のデータと、そのピッ
クアップコイル１２(m)の近傍空間に平均的に存在する
磁気を、同じ位置並びに方向で仮想的に検出した検出デ
ータとの差分であり、これは、外来磁気雑音の寄与がよ
り小さい、より高次の微分型グラジオメータをソフトウ
エア的に実現したことと等価となる。
【００１６】以上の処理を、第１チャンネルから第ｎチ
ャンネルの全てのデータに対して施す。つまり各チャン
ネルの実測データＤ1 〜Ｄn から、上記のようにして算
出したそれぞれの仮想的な検出データＤ1 ′〜Ｄn ′を
減算した値ｄ1 〜ｄn を求め、その各値を磁気検出デー
タとして順次記憶する。
ャンネルの全てのデータに対して施す。つまり各チャン
ネルの実測データＤ1 〜Ｄn から、上記のようにして算
出したそれぞれの仮想的な検出データＤ1 ′〜Ｄn ′を
減算した値ｄ1 〜ｄn を求め、その各値を磁気検出デー
タとして順次記憶する。
【００１７】なお、注目するチャンネルの近傍空間にお
ける磁気のベクトル成分Ｄmx′, Ｄ my′, Ｄmz′を求め
るためには、注目チャンネルｍを除く少なくとも３つの
チャンネルの出力が必要であり、また、４チャンネル以
上の出力からこのベクトルを求める場合は、そのうち１
チャンネルは注目するチャンネルｍ自体の出力であって
もよい。
ける磁気のベクトル成分Ｄmx′, Ｄ my′, Ｄmz′を求め
るためには、注目チャンネルｍを除く少なくとも３つの
チャンネルの出力が必要であり、また、４チャンネル以
上の出力からこのベクトルを求める場合は、そのうち１
チャンネルは注目するチャンネルｍ自体の出力であって
もよい。
【００１８】また、以上の実施例では、各ＳＱＵＩＤの
検出部（ピックアップコイル）として１次微分型のグラ
ジオメータを用いたが、ピックアップコイルはより高次
の微分型グラジオメータを採用してもよいし、マグネト
メータであってもよく、更には、ピックアップコイルを
用いずにＳＱＵＩＤリング自体で直接磁気を拾うように
してもよい。
検出部（ピックアップコイル）として１次微分型のグラ
ジオメータを用いたが、ピックアップコイルはより高次
の微分型グラジオメータを採用してもよいし、マグネト
メータであってもよく、更には、ピックアップコイルを
用いずにＳＱＵＩＤリング自体で直接磁気を拾うように
してもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数のＳＱＵＩＤの検出部を、それぞれの位置並びに方
向を既知の状態で配置するとともに、その各ＳＱＵＩＤ
により検出された磁気信号から、その測定空間の平均的
な磁気のベクトル成分を演算するとともに、そのベクト
ル成分を用いて、個々のＳＱＵＩＤの検出部の検出部の
位置と方向に対応した成分を算出し、その算出結果を実
際の個々のＳＱＵＩＤによる検出結果から減算して外来
磁気雑音を補正するように構成したので、従来のように
複雑なより高次の微分型グラジオメータを用いる必要が
なく、また、専用の参照用のＳＱＵＩＤを設ける必要が
なくなり、装置構成が簡単化される。しかも、補正すべ
き磁気雑音は実質的に被測定空間内において平均的に測
定されるため、磁気雑音源が被測定空間にある程度近接
していても、従来の参照用ＳＱＵＩＤを設ける場合に比
して、その磁気雑音をより高精度のもとに除去すること
ができる。
複数のＳＱＵＩＤの検出部を、それぞれの位置並びに方
向を既知の状態で配置するとともに、その各ＳＱＵＩＤ
により検出された磁気信号から、その測定空間の平均的
な磁気のベクトル成分を演算するとともに、そのベクト
ル成分を用いて、個々のＳＱＵＩＤの検出部の検出部の
位置と方向に対応した成分を算出し、その算出結果を実
際の個々のＳＱＵＩＤによる検出結果から減算して外来
磁気雑音を補正するように構成したので、従来のように
複雑なより高次の微分型グラジオメータを用いる必要が
なく、また、専用の参照用のＳＱＵＩＤを設ける必要が
なくなり、装置構成が簡単化される。しかも、補正すべ
き磁気雑音は実質的に被測定空間内において平均的に測
定されるため、磁気雑音源が被測定空間にある程度近接
していても、従来の参照用ＳＱＵＩＤを設ける場合に比
して、その磁気雑音をより高精度のもとに除去すること
ができる。
【図１】本発明実施例の構成を示す模式図
【図２】そのコンピュータ１４によるデータ処理の内容
の概略を示すフローチャート
の概略を示すフローチャート
１０(1)・・・１０(n) ＳＱＵＩＤ素子 １１(1)・・・１１(n） 駆動回路 １２(1)・・・１２(n） ピックアップコイル １３(1)・・・１３(n） Ａ−Ｄ変換器 １４ コンピュータ １４ａ メモリ １４ｂ 演算部 １４ｃ 補正演算部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 33/02 G01N 27/72 G01R 33/035 H01L 39/22
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のＳＱＵＩＤを用いて被測定磁界を
複数点で検出するマルチチャンネルの磁気検出装置にお
いて、上記各ＳＱＵＩＤの検出部が、それぞれの位置お
よび検出軸の方向を既知の状態で配置されているととも
に、その各ＳＱＵＩＤのうち、少なくとも３つのＳＱＵ
ＩＤによる検出信号から、その検出磁気のベクトル成分
を算出する演算手段と、その演算結果を用いて、上記各
ＳＱＵＩＤの個々の検出部の位置および方向に対応する
磁気のベクトル成分を算出して、その算出結果を各ＳＱ
ＵＩＤの個々の検出信号から減算して磁気雑音成分を除
去する補正演算手段を備えたことを特徴とする磁気検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3392995A JP2833506B2 (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | 磁気検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3392995A JP2833506B2 (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | 磁気検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08226959A JPH08226959A (ja) | 1996-09-03 |
| JP2833506B2 true JP2833506B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=12400214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3392995A Expired - Fee Related JP2833506B2 (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | 磁気検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2833506B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI115324B (fi) * | 2003-03-14 | 2005-04-15 | Elekta Neuromag Oy | Menetelmä ja järjestelmä monikanavaisen mittaussignaalin käsittelemiseksi |
| JP2017191039A (ja) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 磁場計測装置及び磁場計測装置の校正方法 |
-
1995
- 1995-02-22 JP JP3392995A patent/JP2833506B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08226959A (ja) | 1996-09-03 |
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