JP2818768B2 - Crosslinkable curable resin composition - Google Patents

Crosslinkable curable resin composition

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JP2818768B2 JP26351189A JP26351189A JP2818768B2 JP 2818768 B2 JP2818768 B2 JP 2818768B2 JP 26351189 A JP26351189 A JP 26351189A JP 26351189 A JP26351189 A JP 26351189A JP 2818768 B2 JP2818768 B2 JP 2818768B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明はアルカリ性水溶液によつて現像可能な光重合
性又は放射線重合性樹脂組成物に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photopolymerizable or radiation polymerizable resin composition that can be developed with an aqueous alkaline solution.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年プリント配線板作製用フオトレジストとして光重
合性樹脂層を支持フイルムと保護フイルムとでサンドイ
ツチ状にはさんだ構造のいわゆるドライフイルムレジス
トが広く使用されている。光重合性樹脂層としては未露
光部を塩素系有機溶剤で現像除去する溶剤現像型と、未
露光部をアルカリ水溶液によつて現像除去するアルカリ
現像型とが知られているが、環境への影響および製造コ
ストの有利さからアルカリ現像型のドライフイルムレジ
ストが主流になりつつある。
In recent years, a so-called dry film resist having a structure in which a photopolymerizable resin layer is sandwiched between a support film and a protective film as a photoresist for producing a printed wiring board has been widely used. As the photopolymerizable resin layer, there are known a solvent development type in which an unexposed portion is developed and removed with a chlorine-based organic solvent and an alkali development type in which an unexposed portion is developed and removed with an aqueous alkali solution. Alkaline development type dry film resists are becoming mainstream because of the influence and the advantage of manufacturing cost.

保護フイルムと支持フイルムとを有するアルカリ現像
型ドライフイルムレジストの使用法はまず、該ドライフ
イルムレジストより保護フイルムを剥離しながら光重合
性樹脂面を銅張積層板に熱にてラミネートし、次いでレ
ジストフイルムの支持フイルム面にフオトツールを密着
させ要硬化部を紫外線等で露光硬化させる。次いで支持
フイルムを剥がした後炭酸ナトリウムなどの弱アルカリ
水溶液により未露光部を現像除去しレジストの回路パタ
ーンを得る。この後、銅スルーホール法の場合には、銅
表面をエツチングした後、水酸化ナトリウムなどの強ア
ルカリ水溶液によつて硬化レジストを剥離させ、プリン
ト配線板を得る。また、半田スルーホール法の場合に
は、銅めつきおよび半田めつきを施した後、硬化レジス
トを強アルカリ水溶液で剥離し、さらに露出した銅をエ
ツチングすることによりプリント配線板を得る。
The method of using an alkali development type dry film resist having a protective film and a support film is as follows. First, while peeling the protective film from the dry film resist, the photopolymerizable resin surface is heat-laminated on a copper-clad laminate, and then the resist is formed. A photo tool is brought into close contact with the supporting film surface of the film, and the hardened portions are exposed and cured by ultraviolet rays or the like. Next, after the support film is peeled off, the unexposed portions are developed and removed with a weak alkaline aqueous solution such as sodium carbonate to obtain a resist circuit pattern. Thereafter, in the case of the copper through-hole method, after etching the copper surface, the cured resist is peeled off with a strong alkali aqueous solution such as sodium hydroxide to obtain a printed wiring board. In the case of the solder through-hole method, after performing copper plating and solder plating, the hardened resist is peeled off with a strong alkaline aqueous solution, and the exposed copper is etched to obtain a printed wiring board.

上記工程中、ドライフイルムレジストは、エツチング
レジストあるいはめつきレジストとして十分な耐性を有
していなければならないことは当然のことであり、これ
までは主にこのような耐性を向上させる為に種々の検討
が成されてきた。
During the above process, it is natural that the dry film resist must have sufficient resistance as an etching resist or a plating resist. Until now, various kinds of resists have been mainly used to improve such resistance. Considerations have been made.

しかしながら従来のアルカリ現像型ドライフイルムレ
ジストには硬化レジストを強アルカリ水溶液によつて剥
離させるのに必要な時間(剥離時間)が長いという欠点
を有しているものが多かつた。剥離時間が長いと基板の
銅表面がアルカリによつて酸化、変色しその後のエツチ
ングなどの工程に悪影響を与えるだけでなく、半田スル
ーホール法の場合には、半田が強アルカリ水溶液によつ
て溶解するため、エツチング工程中にパターンの細りや
断線が生じたり、フユージングができなくなることがあ
つた。
However, many conventional alkali-developed dry film resists have the disadvantage that the time required for peeling off the cured resist with a strong alkaline aqueous solution (stripping time) is long. If the stripping time is long, the copper surface of the substrate is oxidized and discolored by alkali, which adversely affects processes such as etching, and in the case of the solder through hole method, the solder is dissolved by a strong alkaline aqueous solution. Therefore, during the etching step, the pattern may be thinned or broken, or the fusing may not be performed.

一方、従来のアルカリ現像型ドライフイルムレジスト
の中で剥離時間が短かいものは、強アルカリ性の剥離板
によつて剥離した硬化レジスト剥離片が、その剥離液に
溶解しやすいという欠点を有していた。硬化レジスト剥
離片が剥離液に溶解しやすいと、剥離片が剥離槽中に滞
留している間に容易に膨潤してゲル状となり、このゲル
状物が剥離片を回収するために剥離機に設けられたフイ
ルターの目を頻繁に詰まらせる。その結果剥離液の循環
量が減少して硬化レジストの剥離ができなくなつたり、
剥離液が剥離槽からオーバーフローし、槽の周囲を汚染
することがあつた。
On the other hand, conventional alkaline-developed dry film resists having a short stripping time have the disadvantage that cured resist strips separated by a strongly alkaline stripping plate are easily dissolved in the stripping solution. Was. When the cured resist strip is easily dissolved in the stripping solution, the strip is easily swollen and gelled while the strip remains in the stripping tank, and the gel-like material is passed through a stripping machine to collect the strip. Frequent clogging of the provided filters. As a result, the circulation amount of the stripping liquid decreases and the hardened resist cannot be stripped,
In some cases, the stripping solution overflowed from the stripping tank and contaminate the periphery of the tank.

さらに従来のアルカリ現像型ドライフイルムレジスト
の中で剥離時間が短かいものは、強アルカリ性の剥離液
によつて剥離した硬化レジスト剥離片のサイズが大きす
ぎる。あるいは小さすぎるという欠点を有していた。剥
離片が大きすぎると(>45mm角)、その剥離片が自動剥
離機の搬送ローラーにからみつき装置のトラブルを引き
起こすことがあつた。このため特開昭64−10235号公報
では特定の架橋性モノマーを使用することにより、剥離
片のサイズを細片化する試みが成されているが、剥離片
が微細であると(<2mm角)、剥離機に設けられた剥離
片回収用のフイルターのメツシユを通り抜けやすくなる
ので、剥離片が液循環ポンプやスプレーノズル内にまで
入り込み、剥離液の循環を阻害したり、除去されずに剥
離液中に長時間滞留する剥離片により剥離液の劣化が急
速に進んだり、剥離片が溶解し、頻繁に液交換をしなけ
ればならなかつた。
Further, among the conventional alkali-developed dry film resists having a short stripping time, the size of the cured resist strip which has been stripped by a strong alkali stripping solution is too large. Or it had the disadvantage of being too small. If the peeled piece was too large (> 45 mm square), the peeled piece could cling to the transport roller of the automatic peeling machine, causing trouble in the device. For this reason, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 64-10235 discloses an attempt to reduce the size of a peeled piece by using a specific crosslinkable monomer, but when the peeled piece is fine (<2 mm square). ) 、 Since it is easy to pass through the mesh of the filter for collecting strips provided in the stripping machine, the strips enter into the liquid circulation pump or spray nozzle and hinder circulation of stripping solution or strip without being removed Due to the strips staying in the solution for a long time, the stripping solution deteriorates rapidly or the strips dissolve and the liquid must be replaced frequently.

このように従来のドライフイルムレジストでは、短か
い剥離時間、適当な剥離片のサイズおよび剥離片の剥離
液への非溶解性を同時に満足させることはできなかつ
た。
As described above, in the conventional dry film resist, it was not possible to simultaneously satisfy a short stripping time, an appropriate size of a stripping piece, and insolubility of the stripping piece in a stripping solution.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

本発明の目的は、上記欠点を克服し剥離時間が短か
く、剥離片が適当なサイズになり、かつ剥離片が剥離液
に容易に溶解しないアルカリ現像型光重合性又は放射線
重合型の架橋性樹脂組成物を提供することにある。
An object of the present invention is to overcome the above-mentioned drawbacks, to shorten the stripping time, to make the strips of an appropriate size, and to easily dissolve the strips in the stripping solution. It is to provide a resin composition.

〔問題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明者らは上記目的を達成すべく鋭意検討した結
果、次のような光重合性樹脂組成物を使用することでこ
れらの目的が達成されることを見出し、本発明を乾性す
るに至つた。
The present inventors have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, have found that these objects can be achieved by using the following photopolymerizable resin composition, leading to drying of the present invention. .

即ち本発明は、 (a) 3〜15個の炭素原子を有するα,β−不飽和カ
ルボキシル基含有単量体の1種またはそれ以上の化合物
から成る第1重合性物質15〜35重量%、 一般式〔I〕 (式中R1はH、1〜6個の炭素原子を有するアルキル基
またはハロゲン原子である) で示される化合物およびその環置換誘導体より成る群か
ら選ばれる1種またはそれ以上の化合物から成る第2重
合性物質2〜25重量%、 アルキル基が1〜8個の炭素原子を有するアルキルア
クリレートおよびヒドロキシアルキル基が2〜8個の炭
素原子を有するヒドロキシアルキルアクリレートより成
る群から選ばれる1種またはそれ以上の化合物から成る
第3重合性物質10〜40重量%、 アルキル基が1〜8個の炭素原子を有するアルキルメ
タクリレートおよびヒドロキシアルキル基が2〜8個の
炭素原子を有するヒドロキシアルキルメタクリレートよ
り成る群から選ばれる1種またはそれ以上の化合物から
成る第4重合性物質30〜65重量%を共重合して成るバイ
ンダー用熱可塑性重合体40〜70重量部、 (b) 一般式〔II〕 (式中R2は炭素原子数3〜6個のアルキレン基であり、
R3およびR4はHまたはCH3であり、nは5〜9になるよ
うな正の整数である) で示される化合物を51〜100重量%含有する1分子中に
1個以上のエチレン性不飽和基を有する架橋性単量体25
〜50重量部 および (c) 光重合開始剤0〜10重量部なる範囲で総量100
重量部となるように組合せた架橋硬化型樹脂組成物 にある。
That is, the present invention provides: (a) 15 to 35% by weight of a first polymerizable substance comprising one or more compounds of an α, β-unsaturated carboxyl group-containing monomer having 3 to 15 carbon atoms; General formula [I] Wherein R 1 is H, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a halogen atom, and one or more compounds selected from the group consisting of ring-substituted derivatives thereof. (2) 2 to 25% by weight of a polymerizable substance, one selected from the group consisting of an alkyl acrylate having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms and a hydroxyalkyl acrylate having a hydroxyalkyl group having 2 to 8 carbon atoms or 10 to 40% by weight of a third polymerizable substance comprising a further compound, wherein the alkyl group comprises alkyl methacrylate having 1 to 8 carbon atoms and the hydroxyalkyl group comprises hydroxyalkyl methacrylate having 2 to 8 carbon atoms. A fourth polymerizable material consisting of one or more compounds selected from the group, copolymerized with 30 to 65% by weight 40 to 70 parts by weight of a thermoplastic polymer for a binder, (b) a general formula [II] (Wherein R 2 is an alkylene group having 3 to 6 carbon atoms,
R 3 and R 4 are H or CH 3 , and n is a positive integer such as 5 to 9) wherein at least one ethylenic compound is contained in one molecule containing 51 to 100% by weight of a compound represented by the formula: Crosslinkable monomer 25 having an unsaturated group
To 50 parts by weight and (c) 0 to 10 parts by weight of the photopolymerization initiator in a total amount of 100
It is a cross-linking curable resin composition that is combined so as to be parts by weight.

本発明の架橋性樹脂組成物を構成するバインダー用熱
可塑性重合体中には、炭酸ナトリウム等のアルカリ希薄
水溶液で現像できるよう、3〜15個の炭素原子を有する
α,β−不飽和カルボキシル基含有単量体の1種または
それ以上を第1重合性物質として15〜35重量%なる割合
で共重合させることが必要である。使用し得るこのカル
ボン酸型単量体の例としては、アクリル酸、メタクリル
酸、ケイ皮酸、クロトン酸、ソルビン酸、イタコン酸、
プロピオール酸、マレイン酸およびフマル酸などがあ
り、またこれらの半エステル類あるいは無水物も使用可
能である。これらのうち最も好ましい化合物はアクリル
酸とメタクリル酸である。これらのカルボン酸型成分
は、共重合体中の含有量が15〜35重量%、好ましくは18
〜30重量%の範囲となるように用いることが望ましい。
共重合体中のカルボン酸成分含有量が15重量%未満のも
のはアルカリ水溶液によつて現像ができないかまたは現
像時間が長くかかりすぎて解像度の低下を引きおこす。
一方該カルボン酸の共重合量が35重量%を越えたもの
は、その現像時間が極めて短かくなりすぎ、高解像度パ
ターンを得るには現像コントロールが困難となり、また
硬化部の耐水性も低下する。
The thermoplastic polymer for a binder constituting the crosslinkable resin composition of the present invention contains an α, β-unsaturated carboxyl group having 3 to 15 carbon atoms so that it can be developed with a dilute aqueous alkali solution such as sodium carbonate. It is necessary to copolymerize one or more of the contained monomers as the first polymerizable substance at a ratio of 15 to 35% by weight. Examples of this carboxylic acid type monomer that can be used include acrylic acid, methacrylic acid, cinnamic acid, crotonic acid, sorbic acid, itaconic acid,
There are propiolic acid, maleic acid and fumaric acid, and half esters or anhydrides thereof can also be used. The most preferred of these are acrylic acid and methacrylic acid. These carboxylic acid type components have a content in the copolymer of 15 to 35% by weight, preferably 18 to 35% by weight.
It is desirable to use it so as to be in the range of about 30% by weight.
When the content of the carboxylic acid component in the copolymer is less than 15% by weight, development cannot be carried out with an aqueous alkali solution or the development time is too long, resulting in a decrease in resolution.
On the other hand, when the carboxylic acid copolymerization amount exceeds 35% by weight, the development time becomes too short, the development control becomes difficult to obtain a high-resolution pattern, and the water resistance of the cured portion also decreases. .

バインダー樹脂中に共重合させる第2重合性物質は、
一般式〔I〕 (式中R1はH、1〜6個の炭素原子を有するアルキル基
またはハロゲン原子である) で示される化合物である。該物質のベンゼン環は、ニト
ロ基、アルコキシ基、アシル基、カルボキシル基、スル
ホン基、ヒドロキシル基またはハロゲン等の官能基で置
換されていてもよく、ベンゼン核の置換残基は1〜5の
範囲であつてよい。好ましい置換基は、メチルまたはt
−ブチル基等の単一のアルキル基である。これらの化合
物のうち最も好ましい化合物はスチレンである。これら
の第2の重合性成分は、バインダー用熱可塑性共重合体
中2〜25重量%、好ましくは3〜20重量%の範囲となる
ように共重合させることが必要である。該成分の共重合
量が2重量%未満のものでは優れた耐薬品性、特に耐め
つき性を備えたレジスト材を得ることができず、逆に該
成分が25重量%を越えたものでは得られるドライフイル
ムレジストのレジスト樹脂槽が硬すぎて基板上のレジス
トが剥離を起こしやすくなり、また現像や剥離に要する
時間が長くなる。
The second polymerizable substance to be copolymerized in the binder resin,
General formula [I] (Wherein R 1 is H, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a halogen atom). The benzene ring of the substance may be substituted with a functional group such as a nitro group, an alkoxy group, an acyl group, a carboxyl group, a sulfone group, a hydroxyl group or a halogen. May be used. Preferred substituents are methyl or t.
-A single alkyl group such as a butyl group. The most preferred of these compounds is styrene. These second polymerizable components need to be copolymerized so as to be in the range of 2 to 25% by weight, preferably 3 to 20% by weight in the thermoplastic copolymer for a binder. If the copolymerization amount of the component is less than 2% by weight, it is not possible to obtain a resist material having excellent chemical resistance, in particular, a plating resistance, and if the component exceeds 25% by weight, The resist resin bath of the obtained dry film resist is too hard, so that the resist on the substrate is easily peeled, and the time required for development and peeling becomes long.

バインダー樹脂中に含有され得る第3重合性物質は、
炭素原子数1〜8のアルキル基を有するアルキルアクリ
レートおよび炭素原子数2〜8のヒドロキシアルキル基
を有するヒドロキシアルキルアクリレートである。これ
らの化合物の例としては、メチルアクリレート、エチル
アクリレート、n−プロピルアクリレート、iso−プロ
ピルアクリレート、n−ブチルアクリレート、sec−ブ
チルアクリレート、t−ブチルアクリレート、2−ヒド
ロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルア
クリレート、2−エチルヘキシルアクリレート等が挙げ
られる。これらの化合物のうち最も好ましい化合物は、
メチルアクリレート、エチルアクリレート、n−ブチル
アクリレートおよび2−エチルヘキシルアクリレートで
ある。これらアクリレート型成分は、本発明の光重合性
又は放射線硬化型樹脂組成物に適度な柔軟性を付与する
ため、バインダー用熱可塑性共重合体に10〜40重量%、
好ましくは15〜35重量%の範囲となるように共重合させ
ることが必要である。アクリレート型成分の含有量が10
重量%未満のものでは十分に柔軟性のあるドライフイル
ムレジストが得られず、基材への密着性、基材表面の凹
凸へのレジスト樹脂の埋まり込み性不十分でレジストの
耐めつき性が低下する。一方該第3の重合性物質の共重
合量が40重量%を越えたものは逆にレジスト樹脂が柔ら
かすぎて得られるドライフイルムレジストをロールに巻
いて保存する際にレジスト樹脂が支持フイルムの間から
経時的ににじみ出るいわゆるコールドフロー現象の原因
となる。
The third polymerizable substance that can be contained in the binder resin,
An alkyl acrylate having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms and a hydroxyalkyl acrylate having a hydroxyalkyl group having 2 to 8 carbon atoms. Examples of these compounds include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, iso-propyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, t-butyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate And 2-ethylhexyl acrylate. The most preferred of these compounds are
Methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl acrylate and 2-ethylhexyl acrylate. These acrylate-type components, in order to impart appropriate flexibility to the photopolymerizable or radiation-curable resin composition of the present invention, 10 to 40% by weight of the binder thermoplastic copolymer,
It is necessary to copolymerize so as to be preferably in the range of 15 to 35% by weight. Acrylate type component content of 10
If the amount is less than 10% by weight, a sufficiently flexible dry film resist cannot be obtained, and the adhesion of the resist resin to the substrate and the embedding property of the resist resin into the unevenness of the substrate surface are insufficient, and the resisting resistance of the resist is insufficient. descend. On the other hand, when the copolymerization amount of the third polymerizable substance exceeds 40% by weight, on the other hand, the resist resin is too soft, and when the resist film is wound around a roll and stored, the resist resin becomes less than the support film. Causes a so-called cold flow phenomenon that oozes out with time.

バインダー樹脂中に共重合する第4重合性物質は、ア
ルキルアクリレートまたはヒドロキシアルキルアクリレ
ートと相まつてバインダー用熱可塑性重合体に適度なガ
ラス転移温度(Tg)を与えるために共重合されるもので
あり、炭素原子数1〜8のアルキル基を有するアルキル
メタクリレートおよび炭素原子数2〜8のヒドロキシア
ルキル基を有するヒドロキシアルキルメタクリレートで
ある。これらの化合物の例としては、メチルメタクリレ
ート、エチルメタクリレート、n−プロピルメタクリレ
ート、iso−プロピルメタクリレート、n−ブチルメタ
クリレート、sec−ブチルメタクリレート、t−ブチル
メタクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−エチ
ルヘキシルメタクリレート等が挙げられる。これらの化
合物のうち最も好ましい化合物はメチルメタクリレート
である。これらメタクリレート成分は、バインダー用熱
可塑性共重合体中30〜65重量%、好ましくは35〜60重量
%の範囲となるように共重合させることが必要である。
The fourth polymerizable substance copolymerized in the binder resin is copolymerized with the alkyl acrylate or hydroxyalkyl acrylate to give the thermoplastic polymer for a binder an appropriate glass transition temperature (Tg), An alkyl methacrylate having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms and a hydroxyalkyl methacrylate having a hydroxyalkyl group having 2 to 8 carbon atoms. Examples of these compounds include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, iso-propyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate And 2-ethylhexyl methacrylate. The most preferred of these compounds is methyl methacrylate. These methacrylate components need to be copolymerized so as to be in the range of 30 to 65% by weight, preferably 35 to 60% by weight in the thermoplastic copolymer for a binder.

本発明の目的を達成するには、本発明において使用す
るバインダー用熱可塑性重合体は前記特定の単量体から
成る重合体であることが必要であり、また重量平均分子
量は40,000〜500,000の範囲のものが望ましい。重量平
均分子量が40,000未満のものはドライフイルムレジスト
とした際にコールドフロー現象を起こしやすく、逆に重
量平均分子量が500,000を越えたものは未露光部のアル
カル現像液に対する溶解性が不足し、その現像性が劣り
現像時間が極めて長くかかりすぎて解像度の低下および
回路パターンの生産性の低下を引き起こす。
In order to achieve the object of the present invention, the thermoplastic polymer for a binder used in the present invention needs to be a polymer composed of the specific monomer, and the weight average molecular weight is in the range of 40,000 to 500,000. Is desirable. Those having a weight average molecular weight of less than 40,000 are liable to cause a cold flow phenomenon when used as a dry film resist, while those having a weight average molecular weight of more than 500,000 have insufficient solubility in an unexposed portion in an alkali developing solution. Developability is poor, and development time is extremely long, which causes a decrease in resolution and a decrease in circuit pattern productivity.

本発明において使用するバインダー用熱可塑性重合体
は、光重合性樹脂組成物100重量部中に40〜70重量部、
好ましくは45〜65重量部含有される。バインダー用熱可
塑性重合体の含有量が40重量部未満の光重合性樹脂組成
物は得られるドライフイルムレジストの感光層のフイル
ム形成性が損われ十分な膜強度が得られずコールドフロ
ーが発生しやすい。一方該熱可塑性重合体の含有量が70
重量部を越えたものは光硬化膜がもろく、基材との密着
力が損われ、十分な耐薬品性、特に耐めつき性、耐エツ
チング性が得られない。
The thermoplastic polymer for the binder used in the present invention, 40 to 70 parts by weight in 100 parts by weight of the photopolymerizable resin composition,
Preferably, the content is 45 to 65 parts by weight. A photopolymerizable resin composition containing less than 40 parts by weight of a thermoplastic polymer for a binder may impair the film forming property of the photosensitive layer of the obtained dry film resist, fail to obtain sufficient film strength, and cause cold flow. Cheap. On the other hand, the content of the thermoplastic polymer is 70
If the amount exceeds the weight part, the photocurable film is fragile, the adhesion to the substrate is impaired, and sufficient chemical resistance, particularly adhesion resistance and etching resistance, cannot be obtained.

本発明の組成物を構成する1分子中に1個以上のエチ
レン性不飽和基を有する1種またはそれ以上の化合物よ
りなる架橋性単量体中には一般式〔II〕 (式中R2は炭素原子数3〜6個のアルキレン基であり、
R3およびR4はHまたはCH3であり、nはn=5〜9にな
るような正の整数である) で示される化合物を51〜100重量%含有することが必須
であり、好ましくは55〜90重量%である。該化合物の含
有量が51重量%未満の架橋性単量体を用いて得たドライ
フイルムレジストは、そのアルカリ水溶液による硬化レ
ジストの剥離時間が増大すると共に剥離片が剥離液に極
めて溶解しやすくなり、また剥離片を適当なサイズに制
御することが困難になる。
In a crosslinkable monomer comprising one or more compounds having one or more ethylenically unsaturated groups in one molecule constituting the composition of the present invention, a compound represented by the general formula [II]: (Wherein R 2 is an alkylene group having 3 to 6 carbon atoms,
R 3 and R 4 are H or CH 3 , and n is a positive integer such that n = 5 to 9). 55 to 90% by weight. A dry film resist obtained using a crosslinkable monomer having a content of the compound of less than 51% by weight has an increased release time of a cured resist by an aqueous alkali solution, and a release piece is extremely easily dissolved in a release liquid. In addition, it becomes difficult to control the size of the peeled piece to an appropriate size.

式〔II〕中、R2は炭素原子数3〜6個のアルキレン基
である。R2が炭素原子数2以下の化合物たとえばポリエ
チレングリコールジアクリレート等を用いて作つた架橋
性樹脂組成物を硬化させた場合には、その架橋密度が上
がり過ぎて剥離時間が長くなるだけでなく、この架橋性
単量体の親水性が高くなつてしまうため、硬化レジスト
の剥離片が非常に細かくなり過ぎると共に剥離液に容易
に溶解してしまうため好ましくない。一方R2が炭素原子
数7以上の化合物を用いて作つた架橋性樹脂組成物は逆
に硬化性が不十分となり耐薬品性、特に耐めつき性や耐
エツチング性が低下するため好ましくない。
In the formula [II], R 2 is an alkylene group having 3 to 6 carbon atoms. If the R 2 is obtained by curing the SakuTsuta crosslinkable resin composition using a number 2 following compounds carbon atoms such as polyethylene glycol diacrylate and the like, as well as its crosslinking density is too high stripping time is long, Since the hydrophilicity of the crosslinkable monomer is increased, the strips of the cured resist become too fine and easily dissolved in a stripping solution, which is not preferable. On the other hand, a crosslinkable resin composition prepared by using a compound in which R 2 has 7 or more carbon atoms is not preferable because, on the contrary, the curability is insufficient and the chemical resistance, particularly the plating resistance and the etching resistance are lowered.

式〔II〕中、nはn=5〜9になるような正の整数で
ある。nが4以下なる化合物を用いて作つた架橋性樹脂
組成物を硬化させた場合にはその架橋密度が上がりすぎ
て剥離時間が長くなるだけでなく、硬化レジストの剥離
片が細かくなり過ぎて剥離機のフイルターのメツシユを
通り抜けやすくなり好ましくない。一方nが10以上のも
のを用いて作つた架橋性樹脂組成物は逆に硬化性が不十
分となり耐薬品性、特に耐めつき性や耐エツチング性が
低下するだけでなく、剥離片が大きすぎて剥離機の搬送
ローラーにからみつき好ましくない。
In the formula [II], n is a positive integer such that n = 5 to 9. When a crosslinkable resin composition made using a compound in which n is 4 or less is cured, the crosslink density becomes too high, so that not only the peeling time becomes longer, but also the peeled pieces of the cured resist become too fine and peeled. It is not preferable because it easily passes through the mesh of the filter of the machine. On the other hand, a crosslinkable resin composition prepared using a resin having n of 10 or more has insufficient curability, and not only decreases the chemical resistance, particularly the plating resistance and the etching resistance, but also has a large release piece. It is not preferable because it is too entangled with the transport roller of the peeling machine.

従つて本発明の目的とする良好な耐薬品性と優れた易
剥離性、剥離片非溶解性および適当な剥離片サイズを同
時に満足させる架橋性樹脂組成物を得るには、式〔II〕
中、R2は炭素原子数3〜6個のアルキレン基であり、且
つnは5〜9の範囲になければならない。
Therefore, in order to obtain a crosslinkable resin composition which simultaneously satisfies good chemical resistance and excellent easy peeling property, insoluble property of stripping pieces and an appropriate size of stripping pieces, the formula (II)
Wherein R 2 is an alkylene group having 3 to 6 carbon atoms, and n must be in the range of 5 to 9.

式〔II〕で示される化合物としては、ヘキサ−1,3−
プロパンジオールジ(メタ)アクリレート(ヘキサは
〔II〕式においてn=6であることを、1,3−プロパン
ジオールはR2=−CH2CH2CH2−であることを、また(メ
タ)アクリレートは、R3,R4=H又はCH3であることを示
す。以下の表現も同様である)、オクタ−1,3−プロパ
ンジオールジ(メタ)アクリレート、ヘキサプロピレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、オクタプロピレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、ノナ−1,2−ブタ
ンジオールジ(メタ)アクリレート、ヘキサ−1,3−ブ
タンジオールジ(メタ)アクリレート、オクタ−1,3−
ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタ−1,4
−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ノナ−2,3
−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタ−2
−メチル−1,3−プロパンジオールジ(メタ)アクリレ
ート、ヘプタ−2−メチル−1,3−プロパンジオールジ
(メタ)アクリレート、ノナ−2−メチル−1,3−プロ
パンジオールジ(メタ)アクリレート、ヘプタ−1,1−
ジメチル−1,2−エタンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、オクタ−1,2−ペンタンジオールジ(メタ)アクリ
レート、ノナ−1,3−ペンタンジオールジ(メタ)アク
リレート、ヘキサ−1,4−ペンタンジオールジ(メタ)
アクリレート、ヘプタ−1,5−ペンタンジオールジ(メ
タ)アクリレート、オクタ−2,3−ペンタンジオールジ
(メタ)アクリレート、ヘプタ−2,4−ペンタンジオー
ルジ(メタ)アクリレート、ヘキサ−2,2−ジメチル−
1,3−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、オク
タ−2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオールジ(メタ)
アクリレート、オクタ−1,2−ヘキサンジオールジ(メ
タ)アクリレート、ヘキサ−1,3−ヘキサンジオールジ
(メタ)アクリレート、ヘプタ−1,4−ヘキサンジオー
ルジ(メタ)アクリレート、ペンタ−1,5−ヘキサンジ
オールジ(メタ)アクリレート、ヘプタ−1,6−ヘキサ
ンジオールジ(メタ)アクリレート、オクタ−2,3−ヘ
キサンジオールジ(メタ)アクリレート、ノナ−2,4−
ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ヘプタ−2,
5−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ヘキサ
−3,4−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート等が
挙げられる。中でも好ましい化合物はR2の炭素数が3個
の下記一般式〔III〕 (式中、R3およびR4はHまたはCH3であり、nはn=5
〜9になるような正の整数である)で示されるペンタプ
ロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ヘキサプ
ロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ヘプタプ
ロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、オクタプ
ロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ノナプロ
ピレングリコールジ(メタ)アクリレートであり、市販
品としては例えばNK−エステル9pG、NK−エステルAPG−
400(いずれも新中村化学工業(株)製)等がある。さ
らに好ましい化合物は〔III〕式においてn=7である
ヘプタプロピンレングリコールジ(メタ)アクリレート
であり、市販品としては例えばNK−エステルAPG−400
(新中村化学工業(株)製)等がある。これらは単独で
用いてもよいが、2種以上を混合して使用してもよい。
As the compound represented by the formula (II), hexa-1,3-
Propanediol di (meth) acrylate (hexa represents n = 6 in the formula [II], 1,3-propanediol represents R 2 = —CH 2 CH 2 CH 2 —, and (meth) The acrylate indicates that R 3 , R 4 HH or CH 3. The same applies to the following expressions), octa-1,3-propanediol di (meth) acrylate, hexapropylene glycol di (meth) acrylate Octapropylene glycol di (meth) acrylate, nona-1,2-butanediol di (meth) acrylate, hexa-1,3-butanediol di (meth) acrylate, octa-1,3-
Butanediol di (meth) acrylate, penta-1,4
-Butanediol di (meth) acrylate, nona-2,3
-Butanediol di (meth) acrylate, penta-2
-Methyl-1,3-propanediol di (meth) acrylate, hepta-2-methyl-1,3-propanediol di (meth) acrylate, nona-2-methyl-1,3-propanediol di (meth) acrylate , Hepta-1,1-
Dimethyl-1,2-ethanediol di (meth) acrylate, octa-1,2-pentanediol di (meth) acrylate, nona-1,3-pentanediol di (meth) acrylate, hexa-1,4-pentanediol Di (meta)
Acrylate, hepta-1,5-pentanediol di (meth) acrylate, octa-2,3-pentanediol di (meth) acrylate, hepta-2,4-pentanediol di (meth) acrylate, hexa-2,2- Dimethyl-
1,3-propanediol di (meth) acrylate, octa-2,2-dimethyl-1,3-propanediol di (meth)
Acrylate, octa-1,2-hexanediol di (meth) acrylate, hexa-1,3-hexanediol di (meth) acrylate, hepta-1,4-hexanediol di (meth) acrylate, penta-1,5- Hexanediol di (meth) acrylate, hepta-1,6-hexanediol di (meth) acrylate, octa-2,3-hexanediol di (meth) acrylate, nona-2,4-
Hexanediol di (meth) acrylate, hepta-2,
5-hexanediol di (meth) acrylate, hexa-3,4-hexanediol di (meth) acrylate, and the like. Among them, preferred compounds are those represented by the following general formula [III] wherein R 2 has 3 carbon atoms. Wherein R 3 and R 4 are H or CH 3 and n is n = 5
Pentapropylene glycol di (meth) acrylate, hexapropylene glycol di (meth) acrylate, heptapropylene glycol di (meth) acrylate, octapropylene glycol di (meth) acrylate represented by the following formula: And nonapropylene glycol di (meth) acrylate. Commercial products such as NK-ester 9pG and NK-ester APG-
400 (all manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.). A more preferred compound is heptapropyne glycol di (meth) acrylate where n = 7 in the formula [III], and commercially available products such as NK-ester APG-400
(Made by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.). These may be used alone or in combination of two or more.

式〔III〕で示される架橋性単量体以外に使用できる
架橋性単量体としては1分子中に1個以上のエチレン性
不飽和基を有する化合物であればよく、その例としては
フエノキシジエトキシ(メタ)アクリレート、ポリエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタン
ジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオ
ールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール
ジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス〔4−(メタ)ア
クリロキシポリエトキシフエニル〕プロパン、2,2−ビ
ス〔4−(メタ)アクリロキシポリプロピレンオキシフ
エニル〕プロパン、ヒドロキシピパリン酸ネオペンチル
グリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メ
タ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレー
ト、トリメチロールエタンジ(メタ)アクリレート、ト
リメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメ
チロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロ
ールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロー
ルプロパントリス〔ポリエトキシ(メタ)アクリレー
ト〕、トリメチロールプロパントリス〔ポリプロピレン
オキシ(メタ)アクリレート〕、イソシアヌル酸トリエ
チロールジ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸トリ
エチロールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリ
トールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール
トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテト
ラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
(メタ)アクリレート、式〔II〕でn=1〜4の化合
物、式〔II〕でnが10以上の化合物等の多価アルコール
の(メタ)アクリレート、n−ブトキシメチルアクリル
アミド、iso−ブトキシメチルアクリルアミド等のアク
リルアミド誘導体、エポキシ(メタ)アクリレート類お
よびウレタン(メタ)アクリレート類などが挙げられこ
れらは1種あるいは混合して使用することができるし、
使用しなくてもよい。
The crosslinkable monomer other than the crosslinkable monomer represented by the formula [III] may be any compound having one or more ethylenically unsaturated groups in one molecule. Sidiethoxy (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, 1,3-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 2, 2-bis [4- (meth) acryloxypolyethoxyphenyl] propane, 2,2-bis [4- (meth) acryloxypolypropyleneoxyphenyl] propane, neopentylglycol di (meth) acrylate hydroxypiparate , Glycerin di (meth) acrylate, glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolethanedi ( (T) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tris [polyethoxy (meth) acrylate], trimethylolpropane tris [polypropyleneoxy (Meth) acrylate], triethylol di (meth) acrylate isocyanurate, triethylol tri (meth) acrylate isocyanurate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipenta Erythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol (Meth) acrylates of polyhydric alcohols such as ta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, compounds of formula [II] wherein n = 1 to 4, and compounds of formula [II] wherein n is 10 or more; acrylamide derivatives such as n-butoxymethylacrylamide and iso-butoxymethylacrylamide; epoxy (meth) acrylates and urethane (meth) acrylates; and these can be used alone or in combination.
It does not have to be used.

本発明の光重合性樹脂組成物に本発明の目的である硬
化レジストの優れた易剥離性と適当な剥離片サイズ、お
よび剥離片のアルカリ溶液への非溶解性を付与するため
には、前記特定のバインダー用熱可塑性重合体40〜70重
量部に対し、式〔II〕で示される架橋性単量体を特定量
配合した架橋性単量体を25〜50重量部併用することが必
要不可欠であつて、本発明の範囲外の組成物では本発明
の目的である優れた易剥離性と適当な剥離片サイズおよ
び剥離片非溶解性を同時に達成し得たドライフイルムレ
ジストとすることはできない。本発明で使用する熱可塑
性重合体は前記したように特定量のカルボン酸型単量体
を共重合成分として使用することによりアルカリ水溶液
によるレジストの現像および剥離を可能にするが、特に
式〔II〕で示される架橋性単量体をこれらの熱可塑性重
合体に特定量以上配合することによつて、従来技術から
は予期せぬほど優れた易剥離性、適当な剥離片サイズお
よび剥離片非溶解性を発現し得たドライフイルムレジス
トとすることができたのである。その詳細な機構は十分
には解明できていないが、式〔II〕で示される架橋性単
量体を使用することによつて光重合性樹脂組成物が適度
に硬化すると共に、架橋性単量体〔II〕の適度な親水性
のために硬化レジストがアルカリ水溶液によつて膨潤す
る際の膨潤圧不均一性が大きくなるため易剥離性が向上
し、且つ硬化レジストが適度な大きさに割れながら剥離
したものと予想される。またこの架橋性単量体〔II〕の
分子構造が反面適度に疎水性であるためにアルカリ水溶
液への溶解性が低下し剥離片が非溶解化したものと考え
られる。
In order to provide the photopolymerizable resin composition of the present invention with excellent easy peelability and an appropriate peeling piece size of the cured resist that is the object of the present invention, and to impart insolubility of the peeling piece to an alkaline solution, It is indispensable to use 25 to 50 parts by weight of a crosslinkable monomer obtained by mixing a specific amount of the crosslinkable monomer represented by the formula [II] with respect to 40 to 70 parts by weight of a specific thermoplastic polymer for a binder. Therefore, a composition outside the scope of the present invention cannot be used as a dry film resist capable of simultaneously achieving excellent easy peelability and an appropriate peeling piece size and peeling piece insolubility which are the objects of the present invention. . The thermoplastic polymer used in the present invention enables the development and stripping of the resist with an aqueous alkali solution by using a specific amount of a carboxylic acid type monomer as a copolymer component as described above. By adding a crosslinkable monomer represented by the formula (1) to these thermoplastic polymers in a specific amount or more, the easily peelable properties, the appropriate size of the peelable pieces, and the properties of the peelable pieces which are unexpectedly excellent from the prior art. Thus, it was possible to obtain a dry film resist capable of exhibiting solubility. Although the detailed mechanism has not been fully elucidated, the use of the crosslinkable monomer represented by the formula [II] allows the photopolymerizable resin composition to be appropriately cured and the crosslinkable monomer to be cured. The non-uniform swelling pressure when the cured resist swells with an alkaline aqueous solution due to the moderate hydrophilicity of the body [II] improves the easy peeling property, and breaks the cured resist into an appropriate size. It is expected that it peeled off. In addition, it is considered that the molecular structure of the crosslinkable monomer [II] is moderately hydrophobic, but the solubility in an aqueous alkaline solution is reduced, and the peeled pieces are insoluble.

本発明において使用するエチレン性不飽和基を有する
架橋性単量体は、本発明の架橋性樹脂組成物100重量部
中に25〜50重量部、好ましくは30〜45重量部含有され
る。該架橋性単量体の含有量が25重量部未満のものは該
光重合性組成物が光によつて十分に硬化せず、耐薬品
性、特に耐めつき性、耐エツチング性が低下し、一方該
架橋性単量体の含有量が50重量部を越えて多いものをド
ライフイルムレジストとした場合は、コールドフローが
発生しやすくなり、また光硬化物のアルカリ水溶液によ
る易剥離性が低下する。
The crosslinkable monomer having an ethylenically unsaturated group used in the present invention is contained in an amount of 25 to 50 parts by weight, preferably 30 to 45 parts by weight, per 100 parts by weight of the crosslinkable resin composition of the present invention. When the content of the crosslinkable monomer is less than 25 parts by weight, the photopolymerizable composition is not sufficiently cured by light, and the chemical resistance, particularly the plating resistance and the etching resistance are reduced. On the other hand, when the content of the crosslinkable monomer is more than 50 parts by weight as a dry film resist, cold flow is likely to occur, and the peelability of the photocured product by an aqueous alkali solution is reduced. I do.

本発明の架橋性樹脂組成物を光重合させるに際して用
いる光重合開始剤は、ベンゾフエノン、ミヒラーズケト
ン、4,4′−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフエノン、
t−ブチルアントラキノン、2−エチルアントラキノ
ン、チオキサントン類、ベンゾインアルキルエーテル
類、ベンジルケタール類等公知のものを用いることがで
き、これらは1種以上を併用できる。
The photopolymerization initiator used for photopolymerizing the crosslinkable resin composition of the present invention includes benzophenone, Michler's ketone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone,
Known materials such as t-butylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, thioxanthones, benzoin alkyl ethers, and benzyl ketals can be used, and one or more of these can be used in combination.

本発明において使用する光重合開始剤は、紫外線で硬
化させる場合には、架橋性樹脂組成物100重量部中に0.1
〜10重量部含有される。0.1重量部未満の場合には得ら
れる架橋性樹脂組成物が十分に光硬化せず、一方10重量
部を越える場合には熱的に不安定になる。また本発明の
架橋性樹脂組成物を電子線で硬化させる場合には、光重
合開始剤は含まれていなくてもよい。
The photopolymerization initiator used in the present invention, when cured with ultraviolet light, 0.1% by weight in 100 parts by weight of the crosslinkable resin composition.
-10 parts by weight. When the amount is less than 0.1 part by weight, the obtained crosslinkable resin composition is not sufficiently cured by light, while when it exceeds 10 parts by weight, it becomes thermally unstable. When the crosslinkable resin composition of the present invention is cured with an electron beam, a photopolymerization initiator may not be contained.

本発明の架橋性樹脂組成物には、耐めつき性をより一
層向上させるためにテトラゾールまたはその誘導体を含
有させることが好ましい。テトラゾールあるいはその誘
導体は少量の添加で金属面への密着性を向上させること
ができ、その例としては1−フエニルテトラゾール、5
−フエニルテトラゾール、5−アミノテトラゾール、5
−アミノ−1−メチルテトラゾール、5−アミノ−2−
フエニルテトラゾール、5−メルカプト−1−フエニル
テトラゾール、5−メルカプト−1−メチルテトラゾー
ル等が挙げられ、これらは1種以上を併用できる。上記
テトラゾール類以外の化合物たとえばベンゾトリアゾー
ル、ベンズイミダゾール等は耐めつき性を向上させるに
は多量に使用しなければ優れた効果が得られにくく、一
方多量に使用すると本発明の架橋性樹脂組成物の感度を
低下させるだけでなく、現像後あるいは剥離後も銅表面
にこれらの化合物が残留してめつきの付着を悪くした
り、エツチングを遅らせたりするため好ましくない。テ
トラゾールあるいはその誘導体の使用量は、バインダー
用熱可塑性重合体、架橋性単量体および光重合開始剤の
合計100重量部に対し0.005〜5重量部の範囲であること
が好ましい。0.005重量部未満では耐めつき性の向上が
明確には認められず、一方5重量部を越えると架橋性樹
脂組成物への溶解に長時間を要し、また架橋性樹脂組成
物の感度も低下する。
The crosslinkable resin composition of the present invention preferably contains tetrazole or a derivative thereof in order to further improve the plating resistance. Addition of a small amount of tetrazole or a derivative thereof can improve the adhesion to a metal surface, and examples thereof include 1-phenyltetrazole,
-Phenyltetrazole, 5-aminotetrazole, 5
-Amino-1-methyltetrazole, 5-amino-2-
Examples thereof include phenyltetrazole, 5-mercapto-1-phenyltetrazole, 5-mercapto-1-methyltetrazole, and one or more of these can be used in combination. Compounds other than the above-mentioned tetrazoles, such as benzotriazole and benzimidazole, are difficult to obtain excellent effects unless used in large amounts in order to improve the plating resistance, whereas when used in large amounts, the crosslinkable resin composition of the present invention In addition to reducing the sensitivity, these compounds remain on the copper surface even after development or peeling, thereby deteriorating adhesion and delaying etching. The amount of tetrazole or its derivative used is preferably in the range of 0.005 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the thermoplastic polymer for the binder, the crosslinkable monomer and the photopolymerization initiator. If the amount is less than 0.005 parts by weight, no improvement in the adhesion resistance is clearly observed, while if it exceeds 5 parts by weight, it takes a long time to dissolve in the crosslinkable resin composition, and the sensitivity of the crosslinkable resin composition also increases. descend.

本発明の架橋性樹脂組成物は必要に応じて熱重合禁止
剤、染料、可塑剤および充填剤のような成分を添加する
こともできる。
The crosslinkable resin composition of the present invention may contain components such as a thermal polymerization inhibitor, a dye, a plasticizer and a filler, if necessary.

本発明の架橋性樹脂組成物は希釈剤の不存在下でもそ
のまま対象とする基材上に成膜することができるが、沸
点のあまり高くない溶剤、例えばアセトン、メチルエチ
ルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ジク
ロロメタン、クロロホルム、メチルアルコール、エチル
アルコール、イソプロピルアルコール等の1種またはそ
れ以上に溶解、混合して使用した方が成膜は容易であ
る。これら溶剤の使用量は架橋性樹脂組成物100重量部
に対して200重量部以下、好ましくは50〜150重量部であ
る。
Although the crosslinkable resin composition of the present invention can be formed into a film on a target substrate as it is even in the absence of a diluent, a solvent having a very low boiling point, for example, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, It is easier to form a film by dissolving and mixing one or more of dichloromethane, chloroform, methyl alcohol, ethyl alcohol, and isopropyl alcohol. The use amount of these solvents is 200 parts by weight or less, preferably 50 to 150 parts by weight, based on 100 parts by weight of the crosslinkable resin composition.

また、本発明の架橋性樹脂組成物を用いてドライフイ
ルムレジストを形成させるには、プレードコーター、ロ
ツドコーター、ナイフコーター、ロールドクターコータ
ー、コンマコーター、リバースロールコーター、トラン
スフアロールコーター、グラビアコーター、キスロール
コーター、カーテンコーター等を用いて塗布することが
できるが、組成物に溶剤を使用する場合には溶剤を飛散
させる必要がある。支持体としてはポリエステル等のプ
ラスチツクフイルムが主に用いられる。乾燥機としては
可燃性有機溶剤を使用する場合には安全性の点から蒸気
による空気加熱式の熱源を備えたものを用い乾燥機内の
熱風を向流接触せしめる方式およびノズルより支持体に
吹きつける方式等が用いられる。乾燥機の形状は、アー
チ式、フラツト式等目的に合わせて選択して用いられ
る。
Further, in order to form a dry film resist using the crosslinkable resin composition of the present invention, a blade coater, a rod coater, a knife coater, a roll doctor coater, a comma coater, a reverse roll coater, a transfer roll coater, a gravure coater, a kiss roll The composition can be applied using a coater, a curtain coater or the like. However, when a solvent is used in the composition, it is necessary to disperse the solvent. As a support, a plastic film such as polyester is mainly used. If a flammable organic solvent is used as the dryer, use a device equipped with an air-heated heat source using steam from the viewpoint of safety.Use a method in which the hot air in the dryer is brought into countercurrent contact and blow it to the support from the nozzle. A method or the like is used. The shape of the dryer is selected and used according to the purpose such as an arch type or a flat type.

乾燥後のドライフイルムレジストには必要ならばポリ
エチレンやポリプロピレンのような保護フイルムをラミ
ネートして用いてもよい。
If necessary, a protective film such as polyethylene or polypropylene may be laminated on the dried film resist after drying.

以上のようにして製造したドライフイルムレジストは
易剥離性、剥離片サイズおよび剥離片非溶解性が極めて
良好で、エツチング用およびめつき用レジストとして作
業性、工程通過性能に優れ、高解像度パターンが得られ
る。
The dry film resist manufactured as described above has excellent peelability, peeling piece size and peeling piece insolubility is extremely good, and has excellent workability as an etching and plating resist, process passability, and high resolution pattern. can get.

〔実施例〕〔Example〕

以下、実施例により本発明を具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to examples.

合成例 窒素導入口、撹拌機、コンデンサーおよび温度計を備
えた1000mlの4つ口フラスコに、窒素雰囲気下でイソプ
ロピルアルコール100g、メチルエチルケトン100gおよび
表−1に示した組成の単量体200gを入れ、撹拌しながら
湯浴の温度を80℃に上げた。次いでアゾビスイソブチロ
ニトリル1.0gを10gのイソプロピルアルコールに溶解し
て添加し、4時間重合した。次いで1.0gのアゾビスイソ
ブチロニトリルを10gのイソプロピルアルコールに溶解
し、これを30分置きに5回に分けて添加した後、フラス
コ内温を溶剤の沸点まで上昇させてその温度で2時間重
合させた。重合終了後イソプロピルアルコール100gを添
加して重合反応物をフラスコより取り出し、バインダー
樹脂溶液を調製し表−1に示したバインダー用樹脂溶液
A〜Fを得た。なお、各組成における単量体混合物の重
合率はいずれも99.5%以上であつた。またバインダー樹
脂溶液中の固型分量はいずれも38.7重量%であつた。
Synthesis Example 100 g of isopropyl alcohol, 100 g of methyl ethyl ketone and 200 g of a monomer having the composition shown in Table 1 were placed in a 1000 ml four-necked flask equipped with a nitrogen inlet, a stirrer, a condenser, and a thermometer under a nitrogen atmosphere. The temperature of the hot water bath was raised to 80 ° C. while stirring. Next, 1.0 g of azobisisobutyronitrile was dissolved in 10 g of isopropyl alcohol and added, followed by polymerization for 4 hours. Next, 1.0 g of azobisisobutyronitrile was dissolved in 10 g of isopropyl alcohol, and the solution was added in five portions every 30 minutes. The temperature inside the flask was raised to the boiling point of the solvent, and the temperature was increased to 2 hours at that temperature. Polymerized. After completion of the polymerization, 100 g of isopropyl alcohol was added, the polymerization reaction product was taken out of the flask, and a binder resin solution was prepared to obtain binder resin solutions A to F shown in Table 1. The polymerization rate of the monomer mixture in each composition was 99.5% or more. The solid content in the binder resin solution was 38.7% by weight.

実施例1〜11,比較例1〜14 合成例で得たバインダー樹脂溶液A〜Fを用いて表−
2の組成を有する光重合性樹脂組成物を調合した。
Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 14 Using the binder resin solutions A to F obtained in the synthesis examples,
A photopolymerizable resin composition having the composition of No. 2 was prepared.

この調合した組成物をプロペラ型ミキサーで撹拌し、
ブレードコータにより厚さ25μm、幅360mmのポリエス
テルフイルム上に塗工幅340mmに塗布した。次いで幅400
mm、高さ100mm、長さ8mの乾燥機中を向流にして熱風を
送り込み、乾燥塗工厚さを50μmとした。この時の塗工
速度は5m/分、熱風温度を90℃とした。次いでその乾燥
塗膜上に、厚さ35μmのポリエチレン製保護フイルムを
ラミネートして、その後120mの長さにロールに巻き取つ
た。このロールを23℃の恒温室に横向きにして5日間放
置し、ロール端面からのコールドフローの状態を目視で
観察し、その結果を表−3に示した。
Stir the blended composition with a propeller mixer,
It was applied to a coating width of 340 mm on a polyester film having a thickness of 25 μm and a width of 360 mm by a blade coater. Then width 400
Hot air was blown in countercurrent through a dryer having a thickness of 100 mm, a height of 100 mm, and a length of 8 m to make the dry coating thickness 50 μm. At this time, the coating speed was 5 m / min, and the hot air temperature was 90 ° C. Next, a polyethylene protective film having a thickness of 35 μm was laminated on the dried coating film, and then wound into a roll having a length of 120 m. The roll was left sideways in a constant temperature room at 23 ° C. for 5 days, and the state of cold flow from the roll end face was visually observed. The results are shown in Table 3.

得られたドライフイルムレジストは、保護フイルムを
剥離しながら塗布膜面を銅張積層板に熱ラミネートし、
銅張積層板の温度が室温に戻つた後、ポリエステルフイ
ルム面にフオトツールを密着して超高圧水銀灯で露光し
た。超高圧水銀灯はウシオ電機USH−102Dを用い、100mJ
/cm2照射した。この際の露光強度はウシオ電機紫外線強
度計UIT−100に受光器UVD−365Pを取りつけて測定し、5
mw/cm2とした。露光後20分放置して支持フイルムを剥離
して、1%炭酸ナトリウム水溶液で現像した。現像は液
温30℃、スプレー圧1.4kg/cm2とし、スプレーと基板の
距離を10cmとして行なつた。次いで中性脱脂剤に室温で
約1分間浸漬し脱脂した後、オーバーフロータンクでス
プレー水洗を約1分間行ない、その後20%の過硫酸アン
モニウム水溶液中に1分間浸漬した後、再びスプレー水
洗を約1分間行なつた。その後10%の硫酸に1分間浸漬
し、再びスプレー水洗を1分間行なつた。次いで10%硫
酸に1分間浸漬した後、硫酸銅めつき液に浸漬し、2.3A
/dm2で75分間銅めつきを行なつた。この時の液温は22℃
であつた。めつき終了後、直ちに水洗し、15%硼弗化水
素酸水溶液に1分間浸漬した後、ハイスロー半田めつき
液に浸漬し、1.8A/dm2で18分間半田めつきを行なつた。
この時の液温は22℃であつた。めつき終了後、水洗を行
ない、その後乾燥した。各ドライフイルムレジストの耐
めつき性を表−3に示した。なお、銅めつき液および半
田めつき液の組成は次の通りである。
The obtained dry film resist is heat-laminated to the copper clad laminate while the protective film is peeled off,
After the temperature of the copper-clad laminate returned to room temperature, a phototool was adhered to the polyester film surface and exposed with an ultra-high pressure mercury lamp. UHIO USH-102D ultrahigh-pressure mercury lamp, 100mJ
/ cm 2 . The exposure intensity at this time was measured by attaching the UVD-365P receiver to Ushio Electric UV intensity meter UIT-100 and measuring 5 times.
mw / cm 2 . After being exposed for 20 minutes, the support film was peeled off and developed with a 1% aqueous solution of sodium carbonate. The development was performed with a liquid temperature of 30 ° C., a spray pressure of 1.4 kg / cm 2, and a distance between the spray and the substrate of 10 cm. Then, after immersion in a neutral degreaser at room temperature for about 1 minute to degrease, spray water washing is performed for about 1 minute in an overflow tank, and then immersed in a 20% ammonium persulfate aqueous solution for 1 minute, and then spray water washing again for about 1 minute Got it. Thereafter, it was immersed in 10% sulfuric acid for 1 minute, and spray-washed again for 1 minute. Next, after immersing in 10% sulfuric acid for 1 minute, immersing in copper sulfate plating solution, 2.3A
Copper plating was performed at / dm 2 for 75 minutes. The liquid temperature at this time is 22 ° C
It was. Immediately after the completion of the plating, the plate was washed with water, immersed in a 15% aqueous solution of borofluoric acid for 1 minute, immersed in a high-throw soldering solution, and soldered at 1.8 A / dm 2 for 18 minutes.
The liquid temperature at this time was 22 ° C. After the plating, the product was washed with water and then dried. Table 3 shows the plating resistance of each dry film resist. The compositions of the copper plating solution and the solder plating solution are as follows.

(銅めつき液) 硫 酸 銅 75g/ 98%硫酸 190g/ 36%塩酸 0.12ml/ 光 沢 剤 5ml/ (半田めつき液) 錫 15 g/ 鉛 10 g/ 遊離硼弗化水素酸 400 g/ 遊離硼酸 21.6g/ ペプトン 5.2g/ 半田めつき後のサンプルを用いて、45℃の3%水酸化
ナトリウム水溶液でレジストを剥離した。剥離はサンプ
ルとスプレーノズルとの距離を10cmとし、スプレー圧1.
0kg/cm2で行なつた。この時のレジストの剥離に要した
時間と剥離片のサイズを測定し、その結果も表−3に示
した。
(Copper plating liquid) Copper sulfate 75g / 98% sulfuric acid 190g / 36% hydrochloric acid 0.12ml / Luminous agent 5ml / (Soldering liquid) Tin 15g / Lead 10g / Free hydrofluoric acid 400g / Using a sample after free soldering 21.6 g / peptone 5.2 g / solder, the resist was stripped with a 3% sodium hydroxide aqueous solution at 45 ° C. For peeling, the distance between the sample and the spray nozzle was 10 cm, and the spray pressure was 1.
The test was performed at 0 kg / cm 2 . At this time, the time required for removing the resist and the size of the strip were measured, and the results are also shown in Table-3.

剥離評価後の剥離片を回収し、3%水酸化ナトリウム
水溶液を入れたビーカー中に入れ密封した後、恒温水槽
を用いて45℃に24時間保ち、剥離片が溶解したかどうか
を目視で観察した。その結果も表−3に示した。
The peeled pieces after the peeling evaluation were collected, placed in a beaker containing a 3% sodium hydroxide aqueous solution, sealed, and then kept at 45 ° C. for 24 hours using a thermostatic water bath, and visually observed whether the peeled pieces were dissolved. did. The results are also shown in Table 3.

〔発明の効果〕 以上詳述したように、本発明の架橋性樹脂組成物をド
ライフイルムに用いることにより、剥離時間が短かく、
剥離片が適当なサイズになり、かつ剥離片が剥離液に容
易に溶解しないという特徴を発現することが可能とな
り、その結果、アルカリによる銅表面の変色や半田剥離
機搬送ローラーへの剥離片のからみつきや剥離液の急速
な劣化、あるいは剥離機のフイルターの目詰まりといつ
たトラブルが解消され、かつ高生産であることから、そ
の工業的価値は極めて大である。
[Effects of the Invention] As described above in detail, by using the crosslinkable resin composition of the present invention for dry film, the peeling time is short,
It is possible to exhibit the characteristic that the peeling piece has an appropriate size, and the peeling piece does not easily dissolve in the peeling solution, and as a result, discoloration of the copper surface due to alkali and peeling of the peeling piece to the solder peeling machine transport roller. The industrial value is extremely large because troubles such as entanglement and rapid deterioration of the stripping solution or clogging of the filter of the stripping machine are eliminated and the production is high.

フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G03F 7/027 502 G03F 7/027 502 7/033 7/033 // C08F 220/10 C08F 220/10 (56)参考文献 特開 平1−10235(JP,A) 特開 昭59−125726(JP,A) 特開 平2−208343(JP,A) 特開 平2−161442(JP,A) 特開 昭62−24246(JP,A) 特開 昭52−94388(JP,A) 特開 平2−154264(JP,A) 特開 平2−43552(JP,A) 特開 昭62−74912(JP,A) 特開 昭56−19752(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C08F 290/00 - 290/06 C08F 299/00 - 299/02 G03F 7/004 G03F 7/027 G03F 7/033Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI G03F 7/027 502 G03F 7/027 502 7/033 7/033 // C08F 220/10 C08F 220/10 (56) References JP1 JP-10-235 (JP, A) JP-A-59-125726 (JP, A) JP-A-2-208343 (JP, A) JP-A-2-161442 (JP, A) JP-A-62-24246 (JP, A) JP-A-52-94388 (JP, A) JP-A-2-154264 (JP, A) JP-A-2-43552 (JP, A) JP-A-62-74912 (JP, A) JP-A-56-1979 19752 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) C08F 290/00-290/06 C08F 299/00-299/02 G03F 7/004 G03F 7/027 G03F 7/033

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】(a) 3〜15個の炭素原子を有するα,
β−不飽和カルボキシル基含有単量体の1種またはそれ
以上の化合物から成る第1重合性物質15〜35重量%、 一般式〔I〕 (式中R1はH、1〜6個の炭素原子を有するアルキル基
またはハロゲン原子である) で示される化合物およびその環置換誘導体より成る群か
ら選ばれる1種またはそれ以上の化合物から成る第2重
合性物質2〜25重量%、 アルキル基が1〜8個の炭素原子を有するアルキルアク
リレートおよびヒドロキシアルキル基が2〜8個の炭素
原子を有するヒドロキシアルキルアクリレートより成る
群から選ばれる1種またはそれ以上の化合物から成る第
3重合性物質10〜40重量%、 アルキル基が1〜8個の炭素原子を有するアルキルメタ
クリレートおよびヒドロキシアルキル基が2〜8個の炭
素原子を有するヒドロキシアルキルメタクリレートより
成る群から選ばれる1種またはそれ以上の化合物から成
る第4重合性物質30〜65重量%を共重合して成るバイン
ダー用熱可塑性重合体40〜70重量部、 (b) 一般式〔II〕 (式中R2は炭素原子数3〜6個のアルキレン基であり、
R3およびR4はHまたはCH3であり、nは5〜9になるよ
うな正の整数である) で示される化合物を51〜100重量%含有する1分子中に
1個以上のエチレン性不飽和基を有する架橋性単量体25
〜50重量部、 および (c) 光重合開始剤0〜10重量部なる範囲で総量100
重量部となるように組合せた架橋硬化型樹脂組成物。
(A) α, having 3 to 15 carbon atoms,
15 to 35% by weight of a first polymerizable substance comprising one or more compounds of a β-unsaturated carboxyl group-containing monomer; Wherein R 1 is H, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a halogen atom, and one or more compounds selected from the group consisting of ring-substituted derivatives thereof. (2) 2 to 25% by weight of a polymerizable substance, one selected from the group consisting of an alkyl acrylate having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms and a hydroxyalkyl acrylate having a hydroxyalkyl group having 2 to 8 carbon atoms or 10 to 40% by weight of a third polymerizable substance comprising a further compound, wherein the alkyl group comprises alkyl methacrylate having 1 to 8 carbon atoms and the hydroxyalkyl group comprises hydroxyalkyl methacrylate having 2 to 8 carbon atoms. A fourth polymerizable material consisting of one or more compounds selected from the group, copolymerized with 30 to 65% by weight 40 to 70 parts by weight of a thermoplastic polymer for a binder, (b) a general formula [II] (Wherein R 2 is an alkylene group having 3 to 6 carbon atoms,
R 3 and R 4 are H or CH 3 , and n is a positive integer such as 5 to 9) wherein at least one ethylenic compound is contained in one molecule containing 51 to 100% by weight of a compound represented by the formula: Crosslinkable monomer 25 having an unsaturated group
(C) 0 to 10 parts by weight of the photopolymerization initiator in a total amount of 100 parts by weight.
A crosslinked curable resin composition which is combined so as to be parts by weight.
【請求項2】1分子中に1個以上のエチレン性不飽和基
を有する架橋性単量体(b)が一般式〔III〕 (式中R3およびR4はHまたはCH3であり、nは5〜9に
なるような正の整数である)で示される化合物を51〜10
0重量%含有することを特徴とする特許請求の範囲第1
項に記載の架橋硬化型樹脂組成物。
2. A crosslinkable monomer (b) having one or more ethylenically unsaturated groups in one molecule is represented by the general formula [III]: Wherein R 3 and R 4 are H or CH 3 , and n is a positive integer such as 5-9.
Claim 1 characterized by containing 0% by weight.
The cross-linking-curable resin composition according to the item.
【請求項3】一般式〔III〕で示される化合物のオキシ
プロピレン繰返し単位数がn=7であることを特徴とす
る特許請求の範囲第2項に記載の架橋硬化型樹脂組成
物。
3. The cross-linkable resin composition according to claim 2, wherein the number of oxypropylene repeating units of the compound represented by the general formula [III] is n = 7.
【請求項4】テトラゾールまたはその誘導体を(a)+
(b)+(c)100重量部に対して0.005〜5重量部含有
することを特徴とする特許請求の範囲第1項,第2項お
よび第3項に記載の架橋硬化型樹脂組成物。
4. The method according to claim 1, wherein the tetrazole or a derivative thereof is (a) +
4. The cross-linking curable resin composition according to claim 1, wherein the content is 0.005 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of (b) + (c).
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